JP6769049B2 - Multi-layer board - Google Patents

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本発明は、多層基板に関する。特に、スルーホールが配設された多層基板に関する。 The present invention relates to a multilayer substrate. In particular, the present invention relates to a multilayer substrate in which through holes are arranged.

近年、情報通信において用いられるデータ通信の高速化及び大容量化が急激に進められている。そのため、上記の電子機器において、高い周波数特性及び配線多層化を両立したプリント配線板が要求されている。 In recent years, the speed and capacity of data communication used in information communication have been rapidly increased. Therefore, in the above electronic devices, there is a demand for a printed wiring board that has both high frequency characteristics and multi-layer wiring.

情報通信に用いられるプリント配線基板には、信号の伝搬遅延の短縮及び伝送損失の低減を実現するために、低誘電率(低Dk)及び低誘電正接(低Df)が要求される。これらの要求を実現するために、プリント配線基板において多層化された配線間の絶縁層として、ポリフェニレンエーテルを含有する樹脂材料が用いられている。ポリフェニレンエーテルは、電気特性(低誘電率・低誘電正接)に優れ、伝送速度の高速化や伝送損失の低減に効果が期待される化合物である。プリント配線基板の高性能化及び多層化のために、このポリフェニレンエーテルを用いたプリプレグの積層体をプリント配線基板に適用する試みがなされている。 The printed wiring board used for information communication is required to have a low dielectric constant (low Dk) and a low dielectric loss tangent (low Df) in order to shorten the signal propagation delay and reduce the transmission loss. In order to realize these requirements, a resin material containing polyphenylene ether is used as an insulating layer between the multi-layered wirings in the printed wiring board. Polyphenylene ether is a compound that has excellent electrical characteristics (low dielectric constant and low dielectric loss tangent) and is expected to be effective in increasing the transmission speed and reducing the transmission loss. Attempts have been made to apply a laminate of prepregs using this polyphenylene ether to a printed wiring board in order to improve the performance and increase the number of layers of the printed wiring board.

また、プリント配線基板の高性能化及び多層化に伴い、プリント配線基板に用いられる多層基板用材料は薄型化及び高い剛性が要求される。これらの要求を満たすために、例えば特許文献1及び特許文献2では、基材としてガラスクロスを用いたプリプレグが用いられている。 Further, as the performance of the printed wiring board becomes higher and the number of layers increases, the material for the multilayer board used for the printed wiring board is required to be thinner and have higher rigidity. In order to satisfy these requirements, for example, in Patent Document 1 and Patent Document 2, a prepreg using a glass cloth as a base material is used.

特開2002−194212号公報JP-A-2002-194212 特開平10−273518号公報JP-A-10-273518

ところで、プリント配線基板にはんだ付けを施す方法として、プリント基板上にはんだペーストを印刷し、その上に部品を載せて加熱するリフロー方式が汎用されている。また、鉛フリーはんだへの切り替えが進んでいることから、従来のはんだよりも高温での繰り返しの熱処理が必要となる。このような高温での繰り返しの熱処理(熱サイクル)は、多層基板であるプリント配線基板を繰り返し膨張及び収縮させることとなり、特にスルーホールが配設されたプリント配線基板でのデラミネーションを生じさせる。 By the way, as a method of soldering a printed wiring board, a reflow method in which a solder paste is printed on a printed circuit board, and a component is placed on the solder paste and heated is widely used. In addition, since the switch to lead-free solder is progressing, repeated heat treatment at a higher temperature than conventional solder is required. Such repeated heat treatment (thermal cycle) at a high temperature causes the printed wiring board, which is a multilayer board, to be repeatedly expanded and contracted, and in particular, causes delamination in the printed wiring board in which the through holes are arranged.

本発明は、そのような課題に鑑みてなされたものであり、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制する多層基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a multilayer substrate that suppresses lamination in a multilayer substrate in which through holes are arranged.

本発明の一実施形態に係る多層基板は、繊維基材と樹脂組成物とを含むプリプレグが積層した多層基板であって、前記プリプレグを硬化して得られる硬化物において、室温から260℃に20℃/minで加熱し、260℃で5分保持した後、260℃から室温へ20℃/minで冷却するサイクルを5回繰り返した熱サイクルでのZ軸方向の膨張と収縮を合わせた総変位量が、加熱サイクル前の前記硬化物の厚さに対して3.5%以下である。 The multilayer substrate according to the embodiment of the present invention is a multilayer substrate in which a prepreg containing a fiber substrate and a resin composition is laminated, and is a cured product obtained by curing the prepreg at room temperature to 260 ° C. of 20. Total displacement of expansion and contraction in the Z-axis direction in a thermal cycle in which the cycle of heating at ° C./min, holding at 260 ° C. for 5 minutes, and then cooling from 260 ° C. to room temperature at 20 ° C./min was repeated 5 times. The amount is 3.5% or less with respect to the thickness of the cured product before the heating cycle.

また、前記多層基板は複数のスルーホールを備え、前記スルーホールの壁間距離は、0.25mm以上0.8mm以下の間隔で配置されてもよい。 Further, the multilayer substrate may be provided with a plurality of through holes, and the distance between the walls of the through holes may be arranged at intervals of 0.25 mm or more and 0.8 mm or less.

また、本発明の一実施形態に係る多層基板は、繊維基材と樹脂組成物とを含むプリプレグが積層した多層基板であって、前記多層基板は、複数のスルーホールを備え、前記プリプレグを硬化して得られる硬化物において、室温から260℃に20℃/minで加熱し、260℃で5分保持した後、260℃から室温へ20℃/minで冷却するサイクルを5回繰り返した熱サイクルでのZ軸方向の膨張と収縮を合わせた総変位量が、加熱サイクル前の前記硬化物の厚さに対して3.5%以下である。 Further, the multilayer substrate according to the embodiment of the present invention is a multilayer substrate in which a prepreg containing a fiber substrate and a resin composition is laminated, and the multilayer substrate has a plurality of through holes and cures the prepreg. The cured product thus obtained was heated from room temperature to 260 ° C. at 20 ° C./min, held at 260 ° C. for 5 minutes, and then cooled from 260 ° C. to room temperature at 20 ° C./min, which was repeated 5 times. The total amount of displacement including expansion and contraction in the Z-axis direction in the above is 3.5% or less with respect to the thickness of the cured product before the heating cycle.

また、樹脂組成物は、ポリフェニレンエーテル架橋型硬化材を含み、前記ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1000〜7000であり、下記式(I)で表されてもよい。

Figure 0006769049
ここで、式中、Xはアリール基を示し、(Y)mはポリフェニレンエーテル部分を示し、R1〜R3は独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基またはアルキニル基を示す。nは1〜6の整数を示し、qは1〜4の整数を示す。 Further, the resin composition contains a polyphenylene ether crosslinked curing material, and the number average molecular weight of the polyphenylene ether is 1000 to 7000, and may be represented by the following formula (I).
Figure 0006769049
Here, in the formula, X represents an aryl group, (Y) m represents a polyphenylene ether moiety, and R 1 to R 3 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group or an alkynyl group. n represents an integer of 1 to 6, and q represents an integer of 1 to 4.

また、樹脂組成物は、一分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するハロゲン原子を含有しない、数平均分子量が1000以下のエポキシ化合物、数平均分子量5000以下のポリフェニレンエーテル、シアネートエステル化合物、エポキシ化合物及びポリフェニレンエーテルと硬化剤であるシアネートエステル化合物との反応を促進させる硬化触媒、及び、ハロゲン系難燃剤を含有してもよい。 The resin composition also contains an epoxy compound having a number average molecular weight of 1000 or less, a polyphenylene ether having a number average molecular weight of 5000 or less, a cyanate ester compound, and an epoxy compound, which do not contain a halogen atom having at least two epoxy groups in one molecule. And a curing catalyst that promotes the reaction between the polyphenylene ether and the cyanate ester compound as a curing agent, and a halogen-based flame retardant may be contained.

また、前記スルーホールは、銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を充填して形成されてもよい。 Further, the through holes may be formed by filling a metal selected from copper, gold, silver, and alloys thereof.

また、積層した前記プリプレグの間に銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を含む配線層を有してもよい。 Further, a wiring layer containing copper, gold, silver, and a metal selected from an alloy thereof may be provided between the laminated prepregs.

本発明によると、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制する多層基板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a multilayer substrate in which delamination is suppressed in a multilayer substrate in which through holes are arranged.

本発明の一実施形態に係る多層基板の模式図であり、(a)は上面図を示し、(b)は(a)のAAにおける断面図を示す。It is a schematic view of the multilayer substrate which concerns on one Embodiment of this invention, (a) shows the top view, (b) shows the sectional view in AA of (a). 本発明の一実施形態に係る多層基板の模式図であり、図1(b)の部分Bの拡大図である。It is a schematic diagram of the multilayer substrate which concerns on one Embodiment of this invention, and is the enlarged view of the part B of FIG. 1 (b). 本発明の一実施例に係るプリプレグの構成及び評価結果を示す表である。It is a table which shows the structure and evaluation result of the prepreg which concerns on one Example of this invention. 本発明の一実施例に係るプリプレグの構成及び評価結果を示す表である。It is a table which shows the structure and evaluation result of the prepreg which concerns on one Example of this invention.

〈実施形態1〉
以下、本発明に係る多層基板について詳細に説明する。但し、本発明の多層基板は、以下に示す実施形態及び実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。
<Embodiment 1>
Hereinafter, the multilayer substrate according to the present invention will be described in detail. However, the multilayer board of the present invention is not construed as being limited to the description contents of the embodiments and examples shown below.

[多層基板の構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る多層基板100を示す模式図である。図1において、(a)は多層基板100の上面図を示す。また、(b)は(a)のAAにおける多層基板100の断面図を示す。本発明に係る多層基板100は、繊維基材と樹脂組成物とを含むプリプレグ10、金属積層板20及び金属箔30が積層した多層基板である。
[Multilayer board configuration]
FIG. 1 is a schematic view showing a multilayer substrate 100 according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, (a) shows a top view of a multilayer board 100. Further, (b) shows a cross-sectional view of the multilayer substrate 100 in AA of (a). The multilayer substrate 100 according to the present invention is a multilayer substrate in which a prepreg 10 containing a fiber base material and a resin composition, a metal laminated plate 20, and a metal foil 30 are laminated.

本実施形態において、多層基板100を構成するプリプレグを硬化して得られる硬化物において、室温から260℃に20℃/minで加熱して、260℃で5分保持した後、260℃から室温に5分へ20℃/minで冷却するサイクルを5回繰り返した熱サイクルでのZ軸方向(スルーホールの貫通方向)の膨張と収縮を合わせた総変位量が加熱サイクル前の前記硬化物の厚さに対して3.5%以下であることが好ましい。 In the present embodiment, the cured product obtained by curing the prepreg constituting the multilayer substrate 100 is heated from room temperature to 260 ° C. at 20 ° C./min, held at 260 ° C. for 5 minutes, and then brought to room temperature from 260 ° C. The total displacement amount of the expansion and contraction in the Z-axis direction (through hole penetration direction) in the heat cycle in which the cycle of cooling at 20 ° C./min to 5 minutes is repeated 5 times is the thickness of the cured product before the heating cycle. It is preferably 3.5% or less.

本発明者らは、プリプレグを硬化して得られる硬化物において、上記熱サイクルでのZ軸方向の膨張と収縮を合わせた総変位量が加熱サイクル前の前記硬化物の厚さに対して3.5%以下となるプリプレグを選択することにより、デラミネーションを抑制可能であることを見出した。 In the cured product obtained by curing the prepreg, the present inventors have a total displacement amount of the sum of expansion and contraction in the Z-axis direction in the heat cycle of 3 with respect to the thickness of the cured product before the heating cycle. It was found that the displacement can be suppressed by selecting a prepreg having a value of 5.5% or less.

また、一実施形態において、多層基板100は、プリプレグ10、金属積層板20及び金属箔30の積層方向に形成された複数のスルーホール50を備える。複数のスルーホールの壁間距離dは、0.25mm以上0.8mm以下の間隔で配置される。本明細書において、スルーホール間の距離は、スルーホールの中心線間の距離ではなく、スルーホールの壁間の距離とする。 Further, in one embodiment, the multilayer substrate 100 includes a plurality of through holes 50 formed in the laminating direction of the prepreg 10, the metal laminating plate 20, and the metal foil 30. The distance d between the walls of the plurality of through holes is arranged at intervals of 0.25 mm or more and 0.8 mm or less. In the present specification, the distance between the through holes is not the distance between the center lines of the through holes but the distance between the walls of the through holes.

本発明者らは、スルーホールの壁間距離が狭いほど、多層基板に熱サイクルを与えるとデラミネーションが生じやすくなることに着目し、上記スルーホールの壁間距離dの範囲でスルーホールを配置することにより、デラミネーションを抑制可能であることを見出した。 The present inventors have focused on the fact that the narrower the distance between the walls of the through holes, the more likely it is that delamination will occur when a thermal cycle is applied to the multilayer substrate, and the through holes are arranged within the range of the distance d between the walls of the through holes. It was found that the delamination can be suppressed by doing so.

図2に本発明の一実施形態に係る多層基板100の模式図を示す。図2は、図1(b)の部分Bの拡大図である。多層基板100は、詳細には、プリプレグ10と、プリプレグの両面に金属層を配置した金属張積層板20とを積層した構成を有するが、本発明はこれに限定されるものではない。多層基板100は、例えば、回路形成した金属張積層板20を15枚備え、プリプレグ10を金属張積層板20の間に1枚ずつ交互に配し、上下の最外層にもプリプレグ10を1枚ずつ積層し、さらに金属箔30を配置した構成を有する。なお、本発明に係る多層基板100の構成はこれに限定されず、構成するプリプレグ10及び金属張積層板20の総数は、任意に変更可能である。 FIG. 2 shows a schematic view of the multilayer substrate 100 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of a portion B of FIG. 1 (b). In detail, the multilayer substrate 100 has a configuration in which a prepreg 10 and a metal-clad laminate 20 in which metal layers are arranged on both sides of the prepreg are laminated, but the present invention is not limited thereto. The multilayer board 100 includes, for example, 15 circuit-formed metal-clad laminates 20, the prepregs 10 are alternately arranged between the metal-clad laminates 20, and one prepreg 10 is also provided on the upper and lower outermost layers. It has a structure in which metal foils 30 are arranged one by one. The configuration of the multilayer substrate 100 according to the present invention is not limited to this, and the total number of the prepregs 10 and the metal-clad laminate 20 to be configured can be arbitrarily changed.

[プリプレグの構成]
本発明に係る多層基板100に用いるプリプレグは、誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)が低い樹脂組成物であるとともに、熱サイクルを与えることによるデラミネーションを抑制可能である。
[Prepreg configuration]
The prepreg used for the multilayer substrate 100 according to the present invention is a resin composition having a low dielectric constant (Dk) and a dielectric loss tangent (Df), and can suppress delamination due to a thermal cycle.

本発明の実施形態1に係るプリプレグは、例えば、樹脂組成物としてポリフェニレンエーテル樹脂組成物を含み、ポリフェニレンエーテル架橋型硬化剤を含む。 The prepreg according to the first embodiment of the present invention contains, for example, a polyphenylene ether resin composition as a resin composition, and contains a polyphenylene ether crosslinked curing agent.

(ポリフェニレンエーテル)
本発明の実施形態1に係るプリプレグに用いる樹脂組成物に含まれるポリフェニレンエーテルは下記の一般式(1)で表され、数平均分子量が1000以上7000以下のものを用いることができる。

Figure 0006769049
(Polyphenylene ether)
The polyphenylene ether contained in the resin composition used for the prepreg according to the first embodiment of the present invention is represented by the following general formula (1), and those having a number average molecular weight of 1000 or more and 7000 or less can be used.
Figure 0006769049

上記の一般式(1)において、Xはアリール基を示し、(Y)mはポリフェニレンエーテル部分を示し、R1〜R3はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基又はアルキニル基を示す。一般式(1)において、nは1以上6以下の整数であり、qは1以上4以下の整数である。ここで、好ましくは、nは1以上4以下の整数であるとよく、さらに好ましくは、nは1又は2であるとよく、理想的にはnは1であるとよい。また、好ましくは、qは1以上3以下の整数であるとよく、さらに好ましくは、qは1又は2であるとよく、理想的にはqは1であるとよい。 In the above general formula (1), X represents an aryl group, (Y) m represents a polyphenylene ether moiety, and R 1 to R 3 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group or an alkynyl group, respectively. .. In the general formula (1), n is an integer of 1 or more and 6 or less, and q is an integer of 1 or more and 4 or less. Here, n is preferably an integer of 1 or more and 4 or less, more preferably n is 1 or 2, and ideally n is 1. Further, preferably, q is an integer of 1 or more and 3 or less, more preferably q is 1 or 2, and ideally q is 1.

(アリール基)
一般式(1)におけるアリール基としては、芳香族炭化水素基を用いることができる。具体的には、アリール基として、フェニル基、ビフェニル基、インデニル基、及びナフチル基を用いることができ、好ましくはアリール基を用いるとよい。ここで、アリール基は、上記のアリール基が酸素原子で結合されているジフェニルエーテル基等や、カルボニル基で結合されたベンゾフェノン基等、アルキレン基により結合された2,2−ジフェニルプロパン基等を含んでもよい。また、アリール基は、アルキル基(好適にはC1−C6アルキル基、特にメチル基)、アルケニル基、アルキニル基やハロゲン原子など、一般的な置換基によって置換されていてもよい。但し、当該「アリール基」は、酸素原子を介してポリフェニレンエーテル部分に置換されているので、一般的置換基の数の限界は、ポリフェニレンエーテル部分の数に依存する。
(Aryl group)
As the aryl group in the general formula (1), an aromatic hydrocarbon group can be used. Specifically, as the aryl group, a phenyl group, a biphenyl group, an indenyl group, and a naphthyl group can be used, and an aryl group is preferably used. Here, the aryl group includes a 2,2-diphenylpropane group bonded by an alkylene group, such as a diphenyl ether group in which the above aryl group is bonded with an oxygen atom, a benzophenone group bonded with a carbonyl group, and the like. It may be. Further, the aryl group, alkyl group (preferably a C 1 -C 6 alkyl group, particularly methyl group), an alkenyl group, an alkynyl group or a halogen atom, may be substituted by common substituent. However, since the "aryl group" is substituted with a polyphenylene ether moiety via an oxygen atom, the limit on the number of general substituents depends on the number of polyphenylene ether moieties.

(ポリフェニレンエーテル部分)
一般式(1)におけるポリフェニレンエーテル部分は以下の一般式(2)で表され、フェニルオキシ繰返し単位からなる。ここで、フェニル基は、一般的な置換基によって置換されていてもよい。
(Polyphenylene ether part)
The polyphenylene ether moiety in the general formula (1) is represented by the following general formula (2) and is composed of a phenyloxy repeating unit. Here, the phenyl group may be substituted with a general substituent.

Figure 0006769049
Figure 0006769049

上記の一般式(2)において、R4〜R7はそれぞれ水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基又はアルケニルカルボニル基を示す。一般式(2)において、mは1〜100の整数を示す。ここで、mの値は一般式(1)のポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1000以上7000以下となるように調整される。つまり、mは固定値ではなく、ポリフェニレンエーテル樹脂組成物に含まれるポリフェニレンエーテル全体の数平均分子量が1000以上7000以下となるような、ある一定の範囲内の変数であってもよい。 In the above general formula (2), R 4 to R 7 represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group or an alkenylcarbonyl group, respectively. In the general formula (2), m represents an integer of 1 to 100. Here, the value of m is adjusted so that the number average molecular weight of the polyphenylene ether of the general formula (1) is 1000 or more and 7000 or less. That is, m is not a fixed value, but may be a variable within a certain range such that the number average molecular weight of the entire polyphenylene ether contained in the polyphenylene ether resin composition is 1000 or more and 7000 or less.

ここで、ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が7000を超えると、成形時の流動性が低下して多層成形が困難になってしまう。一方、ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1000未満だと、ポリフェニレンエーテル樹脂の本来の優れた誘電特性と耐熱性が得られない可能性がある。より優れた流動性、耐熱性、及び誘電特性を得るためには、ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1200以上5000以下であるとよい。より好ましくは、ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1500以上4500以下であるとよい。 Here, if the number average molecular weight of the polyphenylene ether exceeds 7,000, the fluidity at the time of molding decreases, and multi-layer molding becomes difficult. On the other hand, if the number average molecular weight of the polyphenylene ether is less than 1000, the original excellent dielectric properties and heat resistance of the polyphenylene ether resin may not be obtained. In order to obtain better fluidity, heat resistance, and dielectric properties, the number average molecular weight of the polyphenylene ether is preferably 1200 or more and 5000 or less. More preferably, the number average molecular weight of the polyphenylene ether is 1500 or more and 4500 or less.

また、上記の数平均分子量のポリフェニレンエーテルは、架橋型硬化剤とブレンドしたときの相溶性が非常に良好である。換言すると、ポリフェニレンエーテルは数平均分子量が小さいほど混合物との相溶性が高くなる。したがって、相分離に起因した粘度上昇が起きにくく、低分子量である架橋型硬化剤の揮発が抑制される。その結果、ポリフェニレンエーテル樹脂組成物のビアホール等への埋め込み性を向上させることができる。 Further, the above-mentioned polyphenylene ether having a number average molecular weight has very good compatibility when blended with a crosslinked curing agent. In other words, the smaller the number average molecular weight of polyphenylene ether, the higher the compatibility with the mixture. Therefore, the viscosity increase due to the phase separation is unlikely to occur, and the volatilization of the crosslinked curing agent having a low molecular weight is suppressed. As a result, the embedding property of the polyphenylene ether resin composition in a via hole or the like can be improved.

一般式(2)におけるアルキル基、アルケニル基、及びアルキニル基は、下記で説明する一般式(1)のアルキル基、アルケニル基、及びアルキニル基と同様のものを用いることが可能である。ポリフェニレンエーテル部分のアルケニルカルボニル基としては、上記のアルケニル基により置換されたカルボニル基を用いることができる。具体的には、アクリロイル基、メタクリロイル基を用いることができる。 As the alkyl group, alkenyl group, and alkynyl group in the general formula (2), the same alkyl group, alkenyl group, and alkynyl group in the general formula (1) described below can be used. As the alkenylcarbonyl group of the polyphenylene ether moiety, a carbonyl group substituted with the above alkenyl group can be used. Specifically, an acryloyl group and a methacryloyl group can be used.

ここで、一般式(2)におけるポリフェニレンエーテル部分は、置換基R4〜R7としてビニル基、2−プロピレン基(アリル基)、メタクリロイル基、アクリロイル基、2−プロピン基(プロパルギル基)などの不飽和炭化水素含有基を有していてもよい。ポリフェニレンエーテル部分の置換基R4〜R7に上記の不飽和炭化水素含有基が備えられていることで、架橋型硬化剤のより顕著な効果を得ることができる。 Here, polyphenylene ether moiety in the general formula (2) is a vinyl group as a substituent R 4 to R 7, 2-propylene (allyl), methacryloyl group, an acryloyl group, such as 2-propyne group (propargyl group) It may have an unsaturated hydrocarbon-containing group. When the above-mentioned unsaturated hydrocarbon-containing group is provided in the substituents R 4 to R 7 of the polyphenylene ether moiety, a more remarkable effect of the crosslinked curing agent can be obtained.

上記の基を末端に有するポリフェニレンエーテルは、架橋型硬化剤との相互作用が良好である。したがって、比較的少量の架橋型硬化剤を添加するだけで耐熱性を向上させることができ、低誘電率化を実現することができる。 The polyphenylene ether having the above group at the end has a good interaction with the crosslinked curing agent. Therefore, the heat resistance can be improved and the dielectric constant can be lowered by adding a relatively small amount of the crosslinkable curing agent.

(アルキル基)
一般式(1)及び一般式(2)におけるアルキル基としては、飽和炭化水素基を用いることができる。上記のアルキル基としては、C1−C10アルキル基を用いるとよい。好ましくは、上記のアルキル基としてC1−C6アルキル基を用いるとよい。さらに好ましくは、上記のアルキル基としてC1−C4アルキル基を用いるとよい。さらに好ましくは、上記のアルキル基としてC1−C2アルキル基を用いるとよい。具体的には、アルキル基として、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基を用いることができる。
(Alkyl group)
A saturated hydrocarbon group can be used as the alkyl group in the general formula (1) and the general formula (2). As the above alkyl group, a C 1 − C 10 alkyl group may be used. Preferably, a C 1- C 6 alkyl group is used as the above alkyl group. More preferably, a C 1- C 4 alkyl group may be used as the above alkyl group. More preferably, a C 1- C 2 alkyl group may be used as the above alkyl group. Specifically, as the alkyl group, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, and a hexyl group can be used.

(アルケニル基)
一般式(1)及び一般式(2)におけるアルケニル基としては、構造中に少なくとも一つの炭素−炭素二重結合を有する不飽和炭化水素基を用いることができる。上記のアルケニル基としては、C2−C10アルケニル基を用いるとよい。好ましくは、上記のアルケニル基としてC2−C6アルケニル基を用いるとよい。さらに好ましくは、上記のアルケニル基としてC2−C4アルケニル基を用いるとよい。具体的には、アルケニル基として、エチレン基、1−プロピレン基、2−プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基を用いることができる。
(Alkenyl group)
As the alkenyl group in the general formula (1) and the general formula (2), an unsaturated hydrocarbon group having at least one carbon-carbon double bond in the structure can be used. As the above alkenyl group, a C 2- C 10 alkenyl group may be used. Preferably, it is the use of C 2 -C 6 alkenyl group as an alkenyl group described above. More preferably, a C 2- C 4 alkenyl group may be used as the above alkenyl group. Specifically, as the alkenyl group, an ethylene group, a 1-propylene group, a 2-propylene group, an isopropylene group, a butylene group, an isobutylene group, a pentylene group and a hexylene group can be used.

(アルキニル基)
一般式(1)及び一般式(2)におけるアルキニル基としては、構造中に少なくとも一つの炭素−炭素三重結合を有する不飽和炭化水素基を用いることができる。上記のアルキニル基としては、C2−C10アルキニル基を用いるとよい。好ましくは、上記のアルキニル基としてC2−C6アルキニル基を用いるとよい。さらに好ましくは、上記のアルキニル基としてC2−C4アルキニル基を用いるとよい。具体的には、アルキニル基として、エチン基、1−プロピン基、2−プロピン基、イソプロピン基、ブチン基、イソブチン基、ペンチン基、ヘキシン基を用いることができる。
(Alkynyl group)
As the alkynyl group in the general formula (1) and the general formula (2), an unsaturated hydrocarbon group having at least one carbon-carbon triple bond in the structure can be used. As the above-mentioned alkynyl group, a C 2- C 10 alkynyl group may be used. Preferably, a C 2- C 6 alkynyl group is used as the above-mentioned alkynyl group. More preferably, it is the use of C 2 -C 4 alkynyl group as an alkynyl group as described above. Specifically, as the alkynyl group, an ethine group, a 1-propyne group, a 2-propyne group, an isopropine group, a butine group, an isobutyne group, a pentyne group, and a hexyne group can be used.

(架橋型硬化剤)
本樹脂組成物に含まれる架橋型硬化剤は、ポリフェニレンエーテルを3次元架橋する硬化剤を用いることができる。具体的には、架橋型硬化剤として、多官能ビニル化合物、ビニルベンジルエーテル系化合物、アリルエーテル系化合物、又はトリアルケニルイソシアヌレートを用いることができる。多官能ビニル化合物は、ジビニルベンゼン、ジビニルナフタレン、ジビニルビフェニルを含む。ビニルベンジルエーテル系化合物は、フェノール及びビニルベンジルクロライドの反応によって合成される。アリルエーテル系化合物は、スチレンモノマー、フェノール、及びアリルクロライドの反応によって合成される。トリアルケニルイソシアヌレートは相溶性が良好であり、トリアリルイソシアヌレート(以下TAIC)又はトリアリルシアヌレート(以下TAC)を用いることができる。
(Crosslink type curing agent)
As the cross-linking type curing agent contained in the present resin composition, a curing agent for three-dimensionally cross-linking polyphenylene ether can be used. Specifically, as the cross-linking type curing agent, a polyfunctional vinyl compound, a vinylbenzyl ether compound, an allyl ether compound, or a trialkenyl isocyanurate can be used. Polyfunctional vinyl compounds include divinylbenzene, divinylnaphthalene, and divinylbiphenyl. Vinylbenzyl ether compounds are synthesized by the reaction of phenol and vinylbenzyl chloride. Allyl ether compounds are synthesized by the reaction of styrene monomer, phenol, and allyl chloride. Trialkenyl isocyanurate has good compatibility, and triallyl isocyanurate (hereinafter TAIC) or triallyl cyanurate (hereinafter TAC) can be used.

架橋型硬化剤として、上記の材料の他にも、(メタ)アクリレート化合物(メタクリレート化合物及びアクリレート化合物)を用いることができる。特に、3以上5以下の官能の(メタ)アクリレート化合物を、樹脂組成物全量100質量部に対して3質量部以上20質量部以下含有させるとよい。3以上5以下の官能のメタクリレート化合物としては、トリメチロールプロパントリメタクリレート(TMPT)等を用いることができ、一方、3以上5以下の官能のアクリレート化合物としては、トリメチロールプロパントリアクリレート等を用いることができる。上記の架橋型硬化剤を用いることで、樹脂組成物の耐熱性をさらに向上させることができる。 In addition to the above materials, (meth) acrylate compounds (methacrylate compounds and acrylate compounds) can be used as the crosslinkable curing agent. In particular, it is preferable to contain 3 or more and 5 or less functional (meth) acrylate compounds in an amount of 3 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin composition. Trimethylolpropane trimethacrylate (TMPT) or the like can be used as the functional methacrylate compound of 3 or more and 5 or less, while trimethylolpropane triacrylate or the like can be used as the functional acrylate compound of 3 or more and 5 or less. Can be done. By using the above-mentioned crosslinked curing agent, the heat resistance of the resin composition can be further improved.

(メタ)アクリレート化合物の官能が3未満又は5を超えると、官能が3以上5以下の(メタ)アクリレート化合物に比べて耐熱性が低下してしまう。また、官能が3以上5以下の(メタ)アクリレート化合物であっても、含有量が本樹脂組成物全量100質量部に対して3質量部未満であると、本樹脂組成物の耐熱性向上の効果を十分に得ることができない。一方で、20質量部を超えると、誘電特性や耐湿性が低下してしまう。 When the functionality of the (meth) acrylate compound is less than 3 or more than 5, the heat resistance is lowered as compared with the (meth) acrylate compound having a functionality of 3 or more and 5 or less. Further, even if the (meth) acrylate compound has a functionality of 3 or more and 5 or less, if the content is less than 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin composition, the heat resistance of the resin composition is improved. The effect cannot be fully obtained. On the other hand, if it exceeds 20 parts by mass, the dielectric properties and moisture resistance are deteriorated.

本樹脂組成物におけるポリフェニレンエーテルと架橋型硬化剤との含有比率は、30/70以上90/10以下とするとよい。好ましくは、上記の含有比率は50/50以上90/10以下とするとよい。さらに好ましくは、上記の含有比率は60/40以上90/10以下とするとよい。 The content ratio of the polyphenylene ether and the crosslinked curing agent in the present resin composition is preferably 30/70 or more and 90/10 or less. Preferably, the content ratio is 50/50 or more and 90/10 or less. More preferably, the content ratio is 60/40 or more and 90/10 or less.

ここで、ポリフェニレンエーテルの含有比率が下限よりも小さくなると、樹脂組成物全体の剛性が低くなってしまう。その影響で、樹脂組成物全体の多層化が困難になってしまう。一方、ポリフェニレンエーテルの含有比率が上限よりも大きくなると、樹脂組成物全体の耐熱性が低下してしまう。ポリフェニレンエーテルと架橋型硬化剤との含有比率を上記の範囲に調整することで、良好な樹脂組成物の流動性及び相溶性を得ることができる。したがって、樹脂組成物のビアホール等への埋め込み性を向上させることができる。 Here, if the content ratio of the polyphenylene ether becomes smaller than the lower limit, the rigidity of the entire resin composition becomes low. As a result, it becomes difficult to make the entire resin composition multi-layered. On the other hand, if the content ratio of polyphenylene ether is larger than the upper limit, the heat resistance of the entire resin composition is lowered. By adjusting the content ratio of the polyphenylene ether and the crosslinkable curing agent within the above range, good fluidity and compatibility of the resin composition can be obtained. Therefore, the embedding property of the resin composition in a via hole or the like can be improved.

本発明のプリプレグにおいて、樹脂組成物の比重に基づく体積含有量は、45体積%以上90体積%以下であることが好ましい。 In the prepreg of the present invention, the volume content of the resin composition based on the specific gravity is preferably 45% by volume or more and 90% by volume or less.

(繊維基材)
本発明の一実施形態に係る多層基板100に用いるプリプレグに含まれる繊維基材として、Eガラス、Dガラス、Sガラス、Tガラス、NEガラス、クォーツ等のガラスクロスを用いることができる。また、ガラスクロスの厚みは特に限定されないが、0.01〜0.2mmの範囲の積層板用途に使用されるもので、特に超開繊処理や目詰め処理を施したガラス織布が、寸法安定性の面から好適である。またエポキシシラン処理、アミノシラン処理などのシランカップリング剤などで表面処理したガラスクロスは吸湿耐熱性の面から好適に使用される。また、繊維基材として、液晶ポリエステル繊維基材、アラミド繊維基材等の有機繊維基材を用いることもできる。
(Fiber base material)
As the fiber base material contained in the prepreg used for the multilayer substrate 100 according to the embodiment of the present invention, glass cloth such as E glass, D glass, S glass, T glass, NE glass, and quartz can be used. The thickness of the glass cloth is not particularly limited, but it is used for laminated board applications in the range of 0.01 to 0.2 mm, and in particular, a glass woven cloth that has undergone super-opening treatment or filling treatment has dimensions. It is suitable from the viewpoint of stability. Further, glass cloth surface-treated with a silane coupling agent such as epoxy silane treatment or amino silane treatment is preferably used from the viewpoint of moisture absorption and heat resistance. Further, as the fiber base material, an organic fiber base material such as a liquid crystal polyester fiber base material or an aramid fiber base material can also be used.

(無機充填材)
本発明に係る多層基板100に用いるプリプレグに含まれる無機充填材としては、例えばシリカを含むことができるが、これに限定されるものではない。シリカとしては、例えば、球状合成シリカを用いることができ、平均粒径が10μm以下の微粒子を用いることができる。ここでいう平均粒径とは、添加する充填材のカタログ等の資料に記載された値であってもよく、ランダムに抽出された複数の充填材の平均値又は中央値であってもよい。充填材の平均粒径を上記の条件とすることで、平滑性及び信頼性が高いプリプレグを得ることができる。本発明のプリプレグにおいては、シリカをプリプレグに添加することにより、プリプレグの熱膨張係数の増大を効果的に抑制することができる。
(Inorganic filler)
The inorganic filler contained in the prepreg used for the multilayer substrate 100 according to the present invention may include, for example, silica, but is not limited thereto. As the silica, for example, spherical synthetic silica can be used, and fine particles having an average particle size of 10 μm or less can be used. The average particle size referred to here may be a value described in a material such as a catalog of the filler to be added, or may be an average value or a median value of a plurality of randomly extracted fillers. By setting the average particle size of the filler as the above conditions, a prepreg having high smoothness and reliability can be obtained. In the prepreg of the present invention, by adding silica to the prepreg, an increase in the coefficient of thermal expansion of the prepreg can be effectively suppressed.

(その他の添加剤)
本樹脂組成物は、必要に応じて、未修飾のポリフェニレンエーテル、難燃剤、及び反応開始剤から選択される1以上の添加剤を添加することができる。また、さらにプリント配線基板などの電子機器の製造に用いられる樹脂組成物の一般的な添加成分を添加してもよい。
(Other additives)
The present resin composition can be added with one or more additives selected from unmodified polyphenylene ether, flame retardant, and reaction initiator, if necessary. Further, a general additive component of the resin composition used for manufacturing an electronic device such as a printed wiring board may be added.

(未修飾のポリフェニレンエーテル)
本樹脂組成物は、上記のポリフェニレンエーテルに加え、数平均分子量が9000以上18000以下の未修飾のポリフェニレンエーテルを添加することができる。未修飾のポリフェニレンエーテルを添加することで、樹脂組成物の流動性の制御や耐熱性の向上を実現することができる。また、樹脂組成物中において、充填材などの添加成分の沈殿を抑制することができる。ここで、未修飾のポリフェニレンエーテルとは、分子中に炭素−炭素の不飽和基を有さないポリフェニレンエーテルのことであり、その添加量は、ポリフェニレンエーテルと架橋型硬化剤の合計質量100質量部に対して3質量部以上70質量部以下が好ましい。
(Unmodified polyphenylene ether)
In this resin composition, in addition to the above-mentioned polyphenylene ether, unmodified polyphenylene ether having a number average molecular weight of 9000 or more and 18000 or less can be added. By adding unmodified polyphenylene ether, it is possible to control the fluidity of the resin composition and improve the heat resistance. In addition, precipitation of additive components such as fillers can be suppressed in the resin composition. Here, the unmodified polyphenylene ether is a polyphenylene ether having no carbon-carbon unsaturated group in the molecule, and the amount of the polyphenylene ether added is 100 parts by mass in total mass of the polyphenylene ether and the crosslinked curing agent. It is preferably 3 parts by mass or more and 70 parts by mass or less.

さらに、耐熱性、接着性、寸法安定性を改良するために、スチレン・ブタジエンブロックコポリマー、スチレン・イソプレンブロックコポリマー、1,2−ポリブタジエン、1,4−ポリブタジエン、マレイン酸変性ポリブタジエン、アクリル酸変性ポリブタジエン、及びエポキシ変性ポリブタジエンから選択される1以上の相溶化剤を用いることができる。 Furthermore, in order to improve heat resistance, adhesiveness and dimensional stability, styrene-butadiene block copolymer, styrene-isoprene block copolymer, 1,2-polybutadiene, 1,4-polybutadiene, maleic acid-modified polybutadiene, acrylic acid-modified polybutadiene , And one or more compatibilizers selected from epoxy-modified polybutadiene can be used.

(難燃剤)
本樹脂組成物に難燃剤を添加することで、本樹脂組成物を用いたプリプレグの耐水性、耐湿性、吸湿耐熱性、及びガラス転移点を向上させることができる。難燃剤としては、臭素化有機化合物、例えば芳香族臭素化合物を用いることができる。具体的には、デカブロモジフェニルエタン、4,4−ジブロモビフェニル、エチレンビステトラブロモフタルイミド等を用いることができる。好ましくは、臭素の含有量が樹脂組成物全量100質量部に対して8質量部以上20質量部以下となる量の臭素化有機化合物を含有するとよい。
(Flame retardants)
By adding a flame retardant to the present resin composition, the water resistance, moisture resistance, moisture absorption heat resistance, and glass transition point of the prepreg using the present resin composition can be improved. As the flame retardant, a brominated organic compound, for example, an aromatic bromine compound can be used. Specifically, decabromodiphenylethane, 4,4-dibromobiphenyl, ethylenebistetrabromophthalimide and the like can be used. Preferably, the brominated organic compound is contained in an amount such that the content of bromine is 8 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin composition.

臭素の含有量が下限よりも小さくなると、プリプレグの難燃性が低下し、UL規格94V−0レベルの難燃性を維持することができなくなってしまう。一方、臭素の含有量が上限よりも大きくなると、プリプレグの加熱時に臭素が解離しやすくなり、プリプレグの耐熱性が低下してしまう。 If the content of bromine is smaller than the lower limit, the flame retardancy of the prepreg is lowered, and the flame retardancy of UL standard 94V-0 level cannot be maintained. On the other hand, if the content of bromine is larger than the upper limit, bromine tends to dissociate when the prepreg is heated, and the heat resistance of the prepreg is lowered.

(反応開始剤)
本樹脂組成物に反応開始剤を添加することで、架橋型硬化剤のより顕著な効果を得ることができる。反応開始剤としては、適度な温度及び時間で樹脂組成物の硬化を促進することによって、樹脂組成物の耐熱性等の特性を向上できるものであれば一般的な材料を用いることができる。具体的には、α,α'−ビス(t−ブチルパーオキシ−m−イソプロピル)ベンゼン、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)−3−ヘキシン、過酸化ベンゾイル、3,3',5,5'−テトラメチル−1,4−ジフェノキノン、クロラニル、2,4,6−トリ−t−ブチルフェノキシル、t−ブチルペルオキシイソプロピルモノカーボネート、アゾビスイソブチロニトリル等の酸化剤を用いることができる。ここで、必要に応じてカルボン酸金属塩などを添加して、硬化反応をさらに促進させてもよい。
(Reaction initiator)
By adding a reaction initiator to the present resin composition, a more remarkable effect of the crosslinked curing agent can be obtained. As the reaction initiator, a general material can be used as long as it can improve the properties such as heat resistance of the resin composition by accelerating the curing of the resin composition at an appropriate temperature and time. Specifically, α, α'-bis (t-butylperoxy-m-isopropyl) benzene, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) -3-hexine, benzoyl peroxide. , 3,3', 5,5'-tetramethyl-1,4-diphenoquinone, chloranyl, 2,4,6-tri-t-butylphenoxyl, t-butylperoxyisopropyl monocarbonate, azobisisobutyronitrile And other oxidizing agents can be used. Here, if necessary, a metal carboxylic acid salt or the like may be added to further accelerate the curing reaction.

[スルーホールの構成]
本実施形態において、スルーホール50は、銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属で構成され、これらの金属を充填して形成される。本発明に係る多層基板100は、上述したプリプレグとこれらの金属との組み合わせにより、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制することが可能である。
[Through hole configuration]
In the present embodiment, the through hole 50 is composed of a metal selected from copper, gold, silver, and an alloy thereof, and is formed by filling these metals. In the multilayer substrate 100 according to the present invention, delamination can be suppressed in the multilayer substrate in which the through holes are arranged by the combination of the above-mentioned prepreg and these metals.

また、本実施形態において、積層したプリプレグの間に銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を含む配線層を有する。本実施形態において、配線層は、金属張積層板20に配置された金属層により構成される。本発明に係る多層基板100は、上述したプリプレグとこれらの配線層を構成する金属との組み合わせにより、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制することが可能である。 Further, in the present embodiment, a wiring layer containing copper, gold, silver, and a metal selected from an alloy thereof is provided between the laminated prepregs. In the present embodiment, the wiring layer is composed of a metal layer arranged on the metal-clad laminate 20. In the multilayer substrate 100 according to the present invention, delamination can be suppressed in the multilayer substrate in which the through holes are arranged by the combination of the above-mentioned prepreg and the metal constituting these wiring layers.

以上説明したように、本実施形態に係る多層基板は、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制する多層基板を提供することができる。
[プリプレグの製造方法]
本発明の実施形態1に係るプリプレグを作製する方法について説明する。まず、ポリフェニレンエーテル、架橋型硬化剤、及び添加剤を有機溶媒と混合し、ワニスを形成する。この有機溶媒としては、臭素化有機化合物を溶解せず、樹脂成分を溶解し、反応に悪影響を及ぼすものでなければ特に限定されない。例えば、メチルエチルケトン等のケトン類、ジブチルエーテル等のエーテル類、酢酸エチル等のエステル類、ジメチルホルムアミド等のアミド類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、トリクロロエチレン等の塩素化炭化水素等の適当な有機溶媒を一種あるいは二種以上を混合して用いられる。ワニスの樹脂固形分の濃度は、ワニスを基材に含浸する作業に応じて適当に調整すればよく、例えば40質量%以上90質量%以下とすることができる。
As described above, the multilayer substrate according to the present embodiment can provide a multilayer substrate that suppresses lamination in a multilayer substrate in which through holes are arranged.
[Manufacturing method of prepreg]
A method for producing the prepreg according to the first embodiment of the present invention will be described. First, polyphenylene ether, a crosslinked curing agent, and an additive are mixed with an organic solvent to form a varnish. The organic solvent is not particularly limited as long as it does not dissolve the brominated organic compound, dissolves the resin component, and adversely affects the reaction. For example, ketones such as methyl ethyl ketone, ethers such as dibutyl ether, esters such as ethyl acetate, amides such as dimethylformamide, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, chlorinated hydrocarbons such as trichloroethylene and the like. One or a mixture of two or more suitable organic solvents of the above is used. The concentration of the resin solid content of the varnish may be appropriately adjusted according to the work of impregnating the base material with the varnish, and may be, for example, 40% by mass or more and 90% by mass or less.

上記のワニスを基材に含浸し、さらに加熱乾燥し有機溶媒を除去させるとともに基材中の樹脂を半硬化させることによって、プリプレグを得ることができる。本発明によるプリプレグにおいて、基材としてはガラスクロスを用いることができる。 A prepreg can be obtained by impregnating the base material with the above varnish, further heating and drying to remove the organic solvent, and semi-curing the resin in the base material. In the prepreg according to the present invention, a glass cloth can be used as the base material.

基材へのワニスの含浸量は、プリプレグ中の樹脂固形分の質量比率が35質量%以上になるようにするのが好ましい。基材の誘電率は樹脂の誘電率よりも大きいため、このプリプレグを用いて得られたプリント配線基板の誘電率を小さくするには、プリプレグ中の樹脂固形分の含有量を上記の質量比率より多くするとよい。ワニスを含浸させた基材は、80℃以上180℃以下の温度で1分以上10分以下の時間加熱することができる。 The amount of varnish impregnated in the base material is preferably such that the mass ratio of the resin solid content in the prepreg is 35% by mass or more. Since the dielectric constant of the base material is larger than the dielectric constant of the resin, in order to reduce the dielectric constant of the printed wiring board obtained by using this prepreg, the content of the resin solid content in the prepreg is calculated from the above mass ratio. It is good to increase. The base material impregnated with the varnish can be heated at a temperature of 80 ° C. or higher and 180 ° C. or lower for 1 minute or longer and 10 minutes or shorter.

[多層基板(プリント配線基板)の製造方法]
ここでは、上記のようにして作製したプリプレグを用いた多層基板100の製造方法について説明する。まず、プリプレグを一枚または複数枚重ね、さらにその上下の両面又は片面に銅箔等の金属箔を重ねて、その積層体を加熱加圧成形する。この成形によって、両面又は片面に金属箔を有する積層体を作製することができる。この積層体の金属箔をパターニング及びエッチング加工して回路形成することで多層基板を得ることができる。また、回路が形成された金属箔を間に挟んで複数枚のプリプレグを重ねて加熱加圧成形することで、多層基板を作製することができる。
[Manufacturing method of multilayer board (printed wiring board)]
Here, a method for manufacturing the multilayer substrate 100 using the prepreg produced as described above will be described. First, one or a plurality of prepregs are stacked, and then a metal foil such as a copper foil is laminated on both upper and lower surfaces or one side thereof, and the laminate is heat-press molded. By this molding, a laminate having metal foils on both sides or one side can be produced. A multilayer substrate can be obtained by patterning and etching the metal foil of the laminated body to form a circuit. Further, a multilayer substrate can be produced by stacking a plurality of prepregs with a metal foil on which a circuit is formed sandwiched between them and performing heat and pressure molding.

加熱加圧成形条件は、用いる樹脂組成物の原料の含有比率により異なるが、一般的には170℃以上230℃以下、圧力1.0MPa以上6.0MPa以下(10kg/cm2以上60kg/cm2以下)の条件で適切な時間、加熱加圧するのが好ましい。 The heating and pressure molding conditions vary depending on the content ratio of the raw materials of the resin composition used, but are generally 170 ° C or higher and 230 ° C or lower, and the pressure is 1.0 MPa or higher and 6.0 MPa or lower (10 kg / cm 2 or higher and 60 kg / cm 2). It is preferable to heat and pressurize for an appropriate time under the following conditions).

本発明に係る多層基板に用いられる金属箔としては、表面粗さ(十点平均粗さ:Rz)が2μm以下であり、プリプレグによって樹脂層が形成される側の表面(プリプレグと接触する側の表面)が、防錆や樹脂層との密着性向上のために亜鉛又は亜鉛合金にて処理され、さらにビニル基含有シランカップリング剤などによるカップリング処理がなされた銅箔を用いることができる。このような銅箔は樹脂層(絶縁層)との密着がよく、高周波特性に優れたプリント配線基板が得られる。なお、銅箔を亜鉛又は亜鉛合金にて処理する場合、銅箔の表面に亜鉛や亜鉛合金をめっき法により形成することができる。また、配線層を形成する金属として、銅以外に、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を用いることもできる。 The metal foil used for the multilayer substrate according to the present invention has a surface roughness (ten-point average roughness: Rz) of 2 μm or less, and the surface on the side where the resin layer is formed by the prepreg (the side in contact with the prepreg). A copper foil whose surface) is treated with zinc or a zinc alloy in order to prevent rust and improve the adhesion to the resin layer, and further treated with a vinyl group-containing silane coupling agent or the like can be used. Such a copper foil has good adhesion to a resin layer (insulating layer), and a printed wiring board having excellent high frequency characteristics can be obtained. When the copper foil is treated with zinc or a zinc alloy, zinc or a zinc alloy can be formed on the surface of the copper foil by a plating method. Further, as the metal forming the wiring layer, in addition to copper, a metal selected from gold, silver, and alloys thereof can also be used.

このように形成された多層基板の積層方向に、ドリルにより穿孔して貫通穴を形成する。多層基板において、各貫通穴の壁間距離が0.25mm以上0.8mm以下となるように貫通穴を形成する。金属めっきを施して、貫通穴に金属を充填して、スルーホールを形成する。 A through hole is formed by drilling a hole in the stacking direction of the multilayer substrate thus formed. In the multilayer board, the through holes are formed so that the distance between the walls of each through hole is 0.25 mm or more and 0.8 mm or less. Metal plating is applied and the through holes are filled with metal to form through holes.

このようにして得られた多層基板は、低Dk及び低Dfを実現することができる。また、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制することができる。さらに、成形性、耐水性、耐湿性、吸湿耐熱性に優れ、ガラス転移点が高いプリント配線基板を得ることができる。 The multilayer board thus obtained can realize low Dk and low Df. Further, in a multilayer substrate in which through holes are arranged, delamination can be suppressed. Further, it is possible to obtain a printed wiring board having excellent moldability, water resistance, moisture resistance, moisture absorption and heat resistance, and a high glass transition point.

〈実施形態2〉
以下、本発明に係る多層基板について詳細に説明する。但し、本発明の多層基板は、以下に示す実施形態及び実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。
<Embodiment 2>
Hereinafter, the multilayer substrate according to the present invention will be described in detail. However, the multilayer board of the present invention is not construed as being limited to the description contents of the embodiments and examples shown below.

[多層基板の構成]
実施形態2に係る多層基板の基本的な構成は実施形態1と同様である。実施形態2においては、多層基板100のプリプレグ10及び30に用いる材料において、実施形態1とは異なる。本実施形態において、複数のスルーホールの壁間距離dは、0.25mm以上0.8mm以下の間隔で配置される。これにより、多層基板におけるデラミネーションを抑制可能である。
[Multilayer board configuration]
The basic configuration of the multilayer board according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment. In the second embodiment, the materials used for the prepregs 10 and 30 of the multilayer substrate 100 are different from those in the first embodiment. In the present embodiment, the inter-wall distances d of the plurality of through holes are arranged at intervals of 0.25 mm or more and 0.8 mm or less. As a result, delamination in the multilayer board can be suppressed.

[プリプレグの構成]
本発明の実施形態2に係るプリプレグは、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、シアネートエステル化合物、硬化触媒、及び、ハロゲン系難燃剤を含有する。エポキシ化合物は、数平均分子量が1000以下で、一分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するハロゲン原子を含有しない。また、ポリフェニレンエーテルは数平均分子量が5000以下である。また、硬化触媒は、エポキシ化合物及びポリフェニレンエーテルと硬化剤であるシアン酸エステル化合物との反応を促進させる。
[Prepreg configuration]
The prepreg according to the second embodiment of the present invention contains an epoxy compound, a polyphenylene ether, a cyanate ester compound, a curing catalyst, and a halogen-based flame retardant. Epoxy compounds have a number average molecular weight of 1000 or less and do not contain halogen atoms having at least two epoxy groups in one molecule. Further, polyphenylene ether has a number average molecular weight of 5000 or less. In addition, the curing catalyst promotes the reaction between the epoxy compound and the polyphenylene ether and the cyanate ester compound which is a curing agent.

(エポキシ化合物)
エポキシ化合物としては、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物等を用いることができる。これらは、単独で用いることもでき、複数を組み合わせて用いることもできる。上記のうち、特にジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物がポリフェニレンエーテルとの相溶性が良好であるため好ましい。なお、本樹脂組成物には、ハロゲン化エポキシ化合物を含有しないことが好ましいが、本発明の効果を損なわない範囲であれば、必要に応じて添加してもよい。
(Epoxy compound)
As the epoxy compound, a dicyclopentadiene type epoxy compound, a bisphenol A type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound, a phenol novolac type epoxy compound, a naphthalene type epoxy compound, a biphenyl type epoxy compound and the like can be used. These can be used alone or in combination of two or more. Of the above, a dicyclopentadiene type epoxy compound, a bisphenol A type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound, and a biphenyl type epoxy compound are particularly preferable because they have good compatibility with polyphenylene ether. The resin composition preferably does not contain a halogenated epoxy compound, but may be added as needed as long as the effects of the present invention are not impaired.

本実施形態のプリプレグにおけるエポキシ化合物の含有割合は、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分の合計量100質量部に対して、20質量部以上60質量部以下であることが好ましい。より好ましくは、エポキシ化合物の含有割合は30質量部以上50質量部以下であるとよい。エポキシ化合物の含有割合を上記の範囲とすることで、充分な耐熱性と優れた機械的特性及び電気特性を維持することができる。 The content ratio of the epoxy compound in the prepreg of the present embodiment is preferably 20 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components of the epoxy compound, the polyphenylene ether, and the cyanate ester compound. More preferably, the content ratio of the epoxy compound is 30 parts by mass or more and 50 parts by mass or less. By setting the content ratio of the epoxy compound in the above range, sufficient heat resistance and excellent mechanical and electrical properties can be maintained.

(ポリフェニレンエーテル)
ポリフェニレンエーテルとしては、数平均分子量は5000以下であり、好ましくは2000以上4000以下である。
(Polyphenylene ether)
The polyphenylene ether has a number average molecular weight of 5000 or less, preferably 2000 or more and 4000 or less.

ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が5000を超えると、流動性が悪くなり、またエポキシ基との反応性も低下してしまう。そのため、硬化反応に長い時間がかかってしまい、硬化系に取り込まれず未反応のものが増加してガラス転移温度が低下し、十分な耐熱性の改善が得られなくなる。 If the number average molecular weight of the polyphenylene ether exceeds 5000, the fluidity is deteriorated and the reactivity with the epoxy group is also lowered. Therefore, the curing reaction takes a long time, the number of unreacted substances that are not incorporated into the curing system increases, the glass transition temperature decreases, and sufficient improvement in heat resistance cannot be obtained.

本実施形態のプリプレグにおけるポリフェニレンエーテルの含有割合は、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分の合計量100質量部に対して、20質量部以上60質量部以下であることが好ましい。より好ましくは、ポリフェニレンエーテルの含有割合は20質量部以上40質量部以下であるとよい。ポリフェニレンエーテルの含有割合が上記の範囲であることで、優れた誘電特性を得ることができる。 The content ratio of the polyphenylene ether in the prepreg of the present embodiment is preferably 20 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components of the epoxy compound, the polyphenylene ether, and the cyanate ester compound. More preferably, the content ratio of polyphenylene ether is 20 parts by mass or more and 40 parts by mass or less. When the content ratio of polyphenylene ether is in the above range, excellent dielectric properties can be obtained.

(シアン酸エステル化合物)
シアン酸エステル化合物としては、1分子中に2個以上のシアネート基を有する化合物を用いることができる。具体的には、2,2−ビス(4−シアナートフェニル)プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−シアナートフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナートフェニル)エタン等、又はこれらの誘導体等の芳香族系シアン酸エステル化合物等を用いることができる。これらは、単独で用いることもでき、複数を組み合わせて用いることもできる。
(Cyanide ester compound)
As the cyanate ester compound, a compound having two or more cyanate groups in one molecule can be used. Specifically, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, bis (3,5-dimethyl-4-cyanatophenyl) methane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) ethane, etc. Alternatively, aromatic cyanate ester compounds such as these derivatives can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

シアン酸エステル化合物は、エポキシ樹脂を形成するためのエポキシ化合物の硬化剤として作用し、剛直な骨格を形成する成分である。したがって、高いガラス転移点(Tg)を得ることができる。また、低粘度であるために得られる樹脂ワニスの高流動性を維持することができる。 The cyanate ester compound is a component that acts as a curing agent for the epoxy compound for forming an epoxy resin and forms a rigid skeleton. Therefore, a high glass transition point (Tg) can be obtained. Moreover, since the viscosity is low, the high fluidity of the obtained resin varnish can be maintained.

本実施形態のプリプレグにおけるシアン酸エステル化合物の含有割合は、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分の合計量100質量部に対して、20質量部以上60質量部以下であることが好ましい。より好ましくは、シアン酸エステル化合物の含有割合は20質量部以上40質量部以下であるとよい。シアン酸エステル化合物の含有割合が上記の範囲であることで、十分な耐熱性を得ることができ、基材に対する含浸性に優れ、樹脂ワニス中でも結晶が析出しにくくすることができる。 The content ratio of the cyanate ester compound in the prepreg of the present embodiment is 20 parts by mass or more and 60 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components of the epoxy compound, the polyphenylene ether, and the cyanate ester compound. preferable. More preferably, the content ratio of the cyanide ester compound is 20 parts by mass or more and 40 parts by mass or less. When the content ratio of the cyanate ester compound is in the above range, sufficient heat resistance can be obtained, the impregnation property to the base material is excellent, and crystals can be prevented from being precipitated even in the resin varnish.

(硬化触媒)
硬化触媒としては、オクタン酸、ステアリン酸、アセチルアセトネート、ナフテン酸、サリチル酸等の有機酸のZn,Cu,Fe等の有機金属塩、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の3級アミン、2−エチル−4−イミダゾール、4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類等を用いることができる。これらは、単独で用いることもでき、複数を組み合わせて用いることもできる。上記のうち、有機金属塩、特にオクタン酸亜鉛がより高い耐熱性が得られるため好ましい。
(Curing catalyst)
Examples of the curing catalyst include organic metal salts such as Zn, Cu and Fe of organic acids such as octanoic acid, stearic acid, acetylacetonate, naphthenic acid and salicylic acid, tertiary amines such as triethylamine and triethanolamine, and 2-ethyl-. Imidazoles such as 4-imidazole and 4-methylimidazole can be used. These can be used alone or in combination of two or more. Of the above, organometallic salts, particularly zinc octanate, are preferable because they provide higher heat resistance.

本実施形態のプリプレグにおける硬化触媒の含有割合は、例えば有機金属塩を用いる場合には、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分の合計量100質量部に対して0.005質量部以上5質量部以下とすることができる。また、例えばイミダゾール類を用いる場合には、硬化触媒の含有割合はエポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分の合計量100質量部に対して0.01質量部以上5質量部以下とすることができる。 The content ratio of the curing catalyst in the prepreg of the present embodiment is 0.005 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components of the epoxy compound, the polyphenylene ether, and the cyanate ester compound, for example, when an organometallic salt is used. It can be 5 parts by mass or less. Further, for example, when imidazoles are used, the content ratio of the curing catalyst is 0.01 part by mass or more and 5 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components of the epoxy compound, polyphenylene ether, and cyanate ester compound. can do.

本発明のプリプレグにおいて、樹脂組成物の比重に基づく体積含有量は、45体積%以上90体積%以下であることが好ましい。 In the prepreg of the present invention, the volume content of the resin composition based on the specific gravity is preferably 45% by volume or more and 90% by volume or less.

(ハロゲン系難燃剤)
ハロゲン系難燃剤としては、トルエン等の溶媒により調整されるワニス中で溶解しないハロゲン系難燃剤を用いることができる。具体的には、ハロゲン系難燃剤としては、エチレンジペンタブロモベンゼン、エチレンビステトラブロモフタルイミド、デカブロモジフェニルオキサイド、テトラデカブロモジフェノキシベンゼン、ビス(トリブロモフェノキシ)エタン等を用いることができる。上記のうち、特にエチレンジペンタブロモベンゼン、エチレンビステトラブロモフタルイミド、デカブロモジフェニルオキサイド、テトラデカブロモジフェノキシベンゼンは、融点が300℃以上で耐熱性が高いため、プリプレグの耐熱性を向上させることができる。融点が300℃以上の耐熱性が高いハロゲン系難燃剤を用いると、高温時におけるハロゲンの脱離を抑制することができるため、硬化物の分解による耐熱性の低下を抑制することができる。
(Halogen flame retardant)
As the halogen-based flame retardant, a halogen-based flame retardant that does not dissolve in a varnish prepared with a solvent such as toluene can be used. Specifically, as the halogen-based flame retardant, ethylenedipentabromobenzene, ethylenebistetrabromophthalimide, decabromodiphenyloxide, tetradecabromodiphenoxybenzene, bis (tribromophenoxy) ethane and the like can be used. Of the above, ethylenedipentabromobenzene, ethylenebistetrabromophthalimide, decabromodiphenyloxide, and tetradecabromodiphenoxybenzene have high heat resistance at a melting point of 300 ° C. or higher, and therefore, the heat resistance of the prepreg should be improved. Can be done. When a halogen-based flame retardant having a melting point of 300 ° C. or higher and high heat resistance is used, desorption of halogen at high temperature can be suppressed, so that deterioration of heat resistance due to decomposition of the cured product can be suppressed.

ハロゲン系難燃剤の分散状態における平均粒子径は、0.1μm以上50μm以下、より好ましくは1μm以上10μm以下であることが耐熱性及び層間の絶縁性を充分に維持できる。なお、上記の平均粒子径は、(株)島津製作所製の粒度分布計(SALD−2100)等により測定することができる。 The average particle size of the halogen-based flame retardant in the dispersed state is 0.1 μm or more and 50 μm or less, more preferably 1 μm or more and 10 μm or less, so that heat resistance and insulation between layers can be sufficiently maintained. The above average particle size can be measured with a particle size distribution meter (SALD-2100) manufactured by Shimadzu Corporation.

本実施形態のプリプレグにおけるハロゲン系難燃剤の含有割合は、得られる硬化物中の樹脂成分(すなわち、無機成分を除いた成分)全量100質量部中にハロゲン濃度が5質量部以上30質量部以下になるような割合で含有させることが好ましい。 The content ratio of the halogen-based flame retardant in the prepreg of the present embodiment is such that the halogen concentration is 5 parts by mass or more and 30 parts by mass or less in 100 parts by mass of the total amount of the resin component (that is, the component excluding the inorganic component) in the obtained cured product. It is preferable to contain the content in such a proportion as follows.

(繊維基材)
本発明のプリプレグに含まれる繊維基材として、Eガラス、Dガラス、Sガラス、Tガラス、NEガラス、クォーツ等のガラスクロスを用いることができる。また、ガラスクロスの厚みは特に限定されないが、0.01〜0.2mmの範囲の積層板用途に使用されるもので、特に超開繊処理や目詰め処理を施したガラス織布が、寸法安定性の面から好適である。またエポキシシラン処理、アミノシラン処理などのシランカップリング剤などで表面処理したガラスクロスは吸湿耐熱性の面から好適に使用される。また、繊維基材として、液晶ポリエステル繊維基材、アラミド繊維基材等の有機繊維基材を用いることもできる。
(Fiber base material)
As the fiber base material contained in the prepreg of the present invention, glass cloth such as E glass, D glass, S glass, T glass, NE glass, and quartz can be used. The thickness of the glass cloth is not particularly limited, but it is used for laminated board applications in the range of 0.01 to 0.2 mm, and in particular, a glass woven cloth that has undergone super-opening treatment or filling treatment has dimensions. It is suitable from the viewpoint of stability. Further, glass cloth surface-treated with a silane coupling agent such as epoxy silane treatment or amino silane treatment is preferably used from the viewpoint of moisture absorption and heat resistance. Further, as the fiber base material, an organic fiber base material such as a liquid crystal polyester fiber base material or an aramid fiber base material can also be used.

(無機充填材)
本実施形態に係るプリプレグに含まれる無機充填材としては、例えばシリカを含むことができるが、これに限定されるものではない。シリカとしては、例えば、球状合成シリカを用いることができ、平均粒径が10μm以下の微粒子を用いることができる。ここでいう平均粒径とは、添加する充填材のカタログ等の資料に記載された値であってもよく、ランダムに抽出された複数の充填材の平均値又は中央値であってもよい。充填材の平均粒径を上記の条件とすることで、平滑性及び信頼性が高いプリプレグを得ることができる。本発明のプリプレグにおいては、シリカをプリプレグに添加することにより、プリプレグの熱膨張係数の増大を効果的に抑制することができ、結果として、プリプレグ全体の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)を低減することができる。
(Inorganic filler)
The inorganic filler contained in the prepreg according to the present embodiment may include, for example, silica, but is not limited thereto. As the silica, for example, spherical synthetic silica can be used, and fine particles having an average particle size of 10 μm or less can be used. The average particle size referred to here may be a value described in a material such as a catalog of the filler to be added, or may be an average value or a median value of a plurality of randomly extracted fillers. By setting the average particle size of the filler as the above conditions, a prepreg having high smoothness and reliability can be obtained. In the prepreg of the present invention, by adding silica to the prepreg, an increase in the coefficient of thermal expansion of the prepreg can be effectively suppressed, and as a result, the dielectric constant (Dk) and the dielectric loss tangent (Df) of the entire prepreg can be suppressed. Can be reduced.

本発明の樹脂組成物は、上記の無機充填材以外にも、プリント配線基板などの電子機器の製造に用いられる樹脂組成物の一般的な添加成分を添加してもよい。例えば、熱安定剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、染料や顔料、滑剤等を添加してもよい。 In addition to the above-mentioned inorganic filler, the resin composition of the present invention may contain general additive components of the resin composition used for manufacturing electronic devices such as printed wiring boards. For example, heat stabilizers, antistatic agents, ultraviolet absorbers, flame retardants, dyes and pigments, lubricants and the like may be added.

(その他の添加剤)
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、未修飾のポリフェニレンエーテル、及び反応開始剤から選択される1以上の添加剤を添加することができる。また、さらにプリント配線基板などの電子機器の製造に用いられる樹脂組成物の一般的な添加成分を添加してもよい。未修飾のポリフェニレンエーテル、及び反応開始剤については、実施形態1で説明したため、詳細な説明は省略する。
(Other additives)
If necessary, the resin composition of the present invention can be added with an unmodified polyphenylene ether and one or more additives selected from the reaction initiator. Further, a general additive component of the resin composition used for manufacturing an electronic device such as a printed wiring board may be added. Since the unmodified polyphenylene ether and the reaction initiator have been described in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

[スルーホールの構成]
本実施形態において、スルーホール50は、銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属で構成され、これらの金属を充填して形成される。本発明に係る多層基板100は、上述したプリプレグとこれらの金属との組み合わせにより、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制することが可能である。
[Through hole configuration]
In the present embodiment, the through hole 50 is composed of a metal selected from copper, gold, silver, and an alloy thereof, and is formed by filling these metals. In the multilayer substrate 100 according to the present invention, delamination can be suppressed in the multilayer substrate in which the through holes are arranged by the combination of the above-mentioned prepreg and these metals.

また、本実施形態において、積層したプリプレグの間に銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を含む配線層を有する。本実施形態において、配線層は、金属張積層板20に配置された金属層により構成される。本発明に係る多層基板100は、上述したプリプレグとこれらの配線層を構成する金属との組み合わせにより、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制することが可能である。 Further, in the present embodiment, a wiring layer containing copper, gold, silver, and a metal selected from an alloy thereof is provided between the laminated prepregs. In the present embodiment, the wiring layer is composed of a metal layer arranged on the metal-clad laminate 20. In the multilayer substrate 100 according to the present invention, delamination can be suppressed in the multilayer substrate in which the through holes are arranged by the combination of the above-mentioned prepreg and the metal constituting these wiring layers.

以上説明したように、本実施形態に係る多層基板は、スルーホールが配設された多層基板において、デラミネーションを抑制する多層基板を提供することができる。 As described above, the multilayer substrate according to the present embodiment can provide a multilayer substrate that suppresses lamination in a multilayer substrate in which through holes are arranged.

[プリプレグの製造方法]
本発明の実施形態2に係るプリプレグの本樹脂組成物は、エポキシ化合物、ポリフェニレンエーテル、及びシアン酸エステル化合物の成分は何れも樹脂ワニス中で溶解されたものであり、無機充填材の成分は、樹脂ワニス中で溶解されず、分散されているものである。このような樹脂ワニスは、例えば、以下のようにして調製される。
[Manufacturing method of prepreg]
In the present resin composition of the prepreg according to the second embodiment of the present invention, the components of the epoxy compound, the polyphenylene ether, and the cyanate ester compound are all dissolved in the resin varnish, and the components of the inorganic filler are: It is not dissolved but dispersed in the resin varnish. Such a resin varnish is prepared, for example, as follows.

まずは、ポリフェニレンエーテルの樹脂溶液にエポキシ化合物及びシアン酸エステル化合物を所定量溶解させる。この溶解は室温で行われてもよく、加熱しながら行われてもよい。エポキシ化合物及びシアン酸エステル化合物としては、室温でトルエン等の溶媒に溶解する材料を用いることで、樹脂ワニス中で析出物の生成を抑制することができる。 First, a predetermined amount of an epoxy compound and a cyanate ester compound is dissolved in a resin solution of polyphenylene ether. This dissolution may be carried out at room temperature or while heating. As the epoxy compound and the cyanate ester compound, the formation of precipitates in the resin varnish can be suppressed by using a material that dissolves in a solvent such as toluene at room temperature.

ここで、添加剤として無機充填材を添加する場合、充填材を添加した後にボールミル、ビーズミル、プラネタリーミキサー、ロールミル等を用いて、所定の分散状態になるまで分散させることにより、樹脂ワニスが調製される。 Here, when an inorganic filler is added as an additive, a resin varnish is prepared by adding the filler and then dispersing the filler until a predetermined dispersion state is obtained using a ball mill, a bead mill, a planetary mixer, a roll mill, or the like. Will be done.

上記のようにして得られた樹脂ワニスを、実施形態1と同様の製造方法で基材に含浸、乾燥させることでプリプレグを得ることができる。また、実施形態1と同様の製造方法で多層基板を得ることができる。 A prepreg can be obtained by impregnating the base material with the resin varnish obtained as described above and drying it by the same production method as in the first embodiment. Further, a multilayer substrate can be obtained by the same manufacturing method as in the first embodiment.

以下に、本発明の実施形態1及び実施形態2に係る多層基板を作製し、Z軸方向の変位量及びデラミネーションの有無を評価した結果について具体的に説明する。以下に示す実施例1乃至実施例3は実施形態1の実施例に相当し、実施例4乃至実施例7は実施形態2の実施例に相当する。 Hereinafter, the results of producing the multilayer substrate according to the first and second embodiments of the present invention and evaluating the amount of displacement in the Z-axis direction and the presence or absence of delamination will be specifically described. Examples 1 to 3 shown below correspond to the examples of the first embodiment, and Examples 4 to 7 correspond to the examples of the second embodiment.

まず、実施例1乃至実施例3に用いたポリフェニレンエーテルについて説明する。 First, the polyphenylene ether used in Examples 1 to 3 will be described.

(ポリフェニレンエーテル(1))
攪拌装置、温度計、空気導入管、じゃま板のついた12リットルの縦長反応器にCuBr2 3.88g(17.4mmol)、N,N'−ジ−t−ブチルエチレンジアミン 0.75g(4.4mmol)、n−ブチルジメチルアミン 28.04g(277.6mmol)、トルエン 2600gを仕込み、反応温度40℃にて攪拌を行い、あらかじめ2300gのメタノールに溶解させた2,2’,3,3’,5,5’−ヘキサメチル−(1,1'−ビフェノール)−4,4’−ジオール 129.3g(0.48mol)、2,6−ジメチルフェノール233.7g(1.92mol)、2,3,6−トリメチルフェノール 64.9g(0.48mol)、N,N'−ジ−t−ブチルエチレンジアミン 0.51g(2.9mmol)、n−ブチルジメチルアミン 10.90g(108.0mmol)の混合溶液を、窒素と空気とを混合して酸素濃度8%に調整した混合ガスを5.2リットル/minの流速でバブリングを行いながら230分かけて滴下し、攪拌を行った。
(Polyphenylene ether (1))
CuBr 2 3.88 g (17.4 mmol), N, N'-di-t-butylethylenediamine 0.75 g (4.) in a 12 liter longitudinal reactor with agitator, thermometer, air inlet tube and baffle plate. 4 mmol), 28.04 g (277.6 mmol) of n-butyldimethylamine, and 2600 g of toluene were charged, stirred at a reaction temperature of 40 ° C., and 2,2', 3,3', which had been previously dissolved in 2300 g of methanol. 5,5'-Hexamethyl- (1,1'-biphenol) -4,4'-diol 129.3 g (0.48 mol), 2,6-dimethylphenol 233.7 g (1.92 mol), 2,3 A mixed solution of 64.9 g (0.48 mol) of 6-trimethylphenol, 0.51 g (2.9 mmol) of N, N'-di-t-butylethylenediamine, and 10.90 g (108.0 mmol) of n-butyldimethylamine. , Nitrogen and air were mixed to adjust the oxygen concentration to 8%, and the mixed gas was added dropwise over 230 minutes while bubbling at a flow rate of 5.2 liters / min, and the mixture was stirred.

滴下終了後、エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム 19.89g(52.3mmol)を溶解した水1500gを加え、反応を停止した。水層と有機層を分液し、有機層を1Nの塩酸水溶液、次いで純水で洗浄した。得られた溶液をエバポレータで50wt%に濃縮し、2官能性フェニレンエーテルオリゴマー体(樹脂「A」)のトルエン溶液を836.5g得た。樹脂「A」の数平均分子量は986、重量平均分子量は1530、水酸基当量が471であった。 After completion of the dropwise addition, 1500 g of water in which 19.89 g (52.3 mmol) of ethylenediaminetetraacetic acid tetrasodium was dissolved was added, and the reaction was stopped. The aqueous layer and the organic layer were separated, and the organic layer was washed with a 1N aqueous hydrochloric acid solution and then pure water. The obtained solution was concentrated to 50 wt% with an evaporator to obtain 836.5 g of a toluene solution of a bifunctional phenylene ether oligomer (resin "A"). The number average molecular weight of the resin "A" was 986, the weight average molecular weight was 1530, and the hydroxyl group equivalent was 471.

攪拌装置、温度計、還流管を備えた反応器に樹脂「A」のトルエン溶液 836.5g、ビニルベンジルクロライド(商品名CMS−P;セイミケミカル(株)製) 162.6g、塩化メチレン 1600g、ベンジルジメチルアミン 12.95g、純水 420g、30.5wt% NaOH水溶液 178.0gを仕込み、反応温度40℃で攪拌を行った。24時間攪拌を行った後、有機層を1Nの塩酸水溶液、次いで純水で洗浄した。得られた溶液をエバポレータで濃縮し、メタノール中へ滴下して固形化を行い、濾過により固体を回収、真空乾燥して「ポリフェニレンエーテル(1)」503.5gを得た。「ポリフェニレンエーテル(1)」の数平均分子量は1187、重量平均分子量は1675、ビニル基当量は590g/ビニル基であった。 A reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and a reflux tube contains 836.5 g of a toluene solution of resin "A", 162.6 g of vinylbenzyl chloride (trade name: CMS-P; manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.), 1600 g of methylene chloride. 12.95 g of benzyldimethylamine, 420 g of pure water, and 178.0 g of a 30.5 wt% NaOH aqueous solution were charged, and the mixture was stirred at a reaction temperature of 40 ° C. After stirring for 24 hours, the organic layer was washed with 1N aqueous hydrochloric acid solution and then pure water. The obtained solution was concentrated with an evaporator, dropped into methanol to solidify, and the solid was recovered by filtration and vacuum dried to obtain 503.5 g of "polyphenylene ether (1)". The number average molecular weight of "polyphenylene ether (1)" was 1187, the weight average molecular weight was 1675, and the vinyl group equivalent was 590 g / vinyl group.

(ポリフェニレンエーテル(2))
攪拌装置、温度計、空気導入管、じゃま板のついた12リットルの縦長反応器にCuBr2 9.36g(42.1mmol)、N,N’−ジ−t−ブチルエチレンジアミン 1.81g(10.5mmol)、n−ブチルジメチルアミン 67.77g(671.0mmol)、トルエン 2600gを仕込み、反応温度40℃にて攪拌を行い、あらかじめ2300gのメタノールに溶解させた2,2’,3,3’,5,5’−ヘキサメチル−(1,1’−ビフェノール)−4,4’−ジオール 129.32g(0.48mol)、2,6−ジメチルフェノール 878.4g(7.2mol)、N,N’−ジ−t−ブチルエチレンジアミン 1.22g(7.2mmol)、n−ブチルジメチルアミン 26.35g(260.9mmol)の混合溶液を、窒素と空気とを混合して酸素濃度8%に調整した混合ガスを5.2リットル/minの流速でバブリングを行いながら230分かけて滴下し、攪拌を行った。
(Polyphenylene ether (2))
CuBr 2 9.36 g (42.1 mmol), N, N'-di-t-butylethylenediamine 1.81 g (10.) in a 12 liter longitudinal reactor with agitator, thermometer, air inlet tube and baffle plate. 5 mmol), 67.77 g (671.0 mmol) of n-butyldimethylamine, and 2600 g of toluene were charged, stirred at a reaction temperature of 40 ° C., and 2,2', 3,3', which had been previously dissolved in 2300 g of methanol. 5,5'-Hexamethyl- (1,1'-biphenol) -4,4'-diol 129.32 g (0.48 mol), 2,6-dimethylphenol 878.4 g (7.2 mol), N, N' A mixed solution of 1.22 g (7.2 mmol) of -di-t-butylethylenediamine and 26.35 g (260.9 mmol) of n-butyldimethylamine was mixed with nitrogen and air to adjust the oxygen concentration to 8%. The gas was added dropwise over 230 minutes while bubbling at a flow rate of 5.2 liters / min, and the mixture was stirred.

滴下終了後、エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム 48.06g(126.4mmol)を溶解した水1500gを加え、反応を停止した。水層と有機層を分液し、有機層を1Nの塩酸水溶液、次いで純水で洗浄した。得られた溶液をエバポレータで50wt%に濃縮し、2官能性フェニレンエーテルオリゴマー体(樹脂「B」)のトルエン溶液を1981g得た。樹脂「B」の数平均分子量は1975、重量平均分子量は3514、水酸基当量が990であった。 After completion of the dropping, 1500 g of water in which 48.06 g (126.4 mmol) of ethylenediaminetetraacetic acid tetrasodium was dissolved was added, and the reaction was stopped. The aqueous layer and the organic layer were separated, and the organic layer was washed with a 1N aqueous hydrochloric acid solution and then pure water. The obtained solution was concentrated to 50 wt% with an evaporator to obtain 1981 g of a toluene solution of a bifunctional phenylene ether oligomer (resin "B"). The number average molecular weight of the resin "B" was 1975, the weight average molecular weight was 3514, and the hydroxyl group equivalent was 990.

攪拌装置、温度計、還流管を備えた反応器に樹脂「B」のトルエン溶液 833.4g、ビニルベンジルクロライド(商品名CMS−P;セイミケミカル(株)製) 76.7g、塩化メチレン 1600g、ベンジルジメチルアミン 6.2g、純水 199.5g、30.5wt% NaOH水溶液 83.6gを仕込み、反応温度40℃で攪拌を行った。24時間攪拌を行った後、有機層を1Nの塩酸水溶液、次いで純水で洗浄した。得られた溶液をエバポレータで濃縮し、メタノール中へ滴下して固形化を行い、濾過により固体を回収、真空乾燥して「ポリフェニレンエーテル(2)」450.1gを得た。ビニル「ポリフェニレンエーテル(2)」の数平均分子量は2250、重量平均分子量は3920、ビニル基当量は1189g/ビニル基であった。 A reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and a reflux tube contains 833.4 g of a toluene solution of resin "B", 76.7 g of vinylbenzyl chloride (trade name: CMS-P; manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.), 1600 g of methylene chloride. 6.2 g of benzyldimethylamine, 199.5 g of pure water, and 83.6 g of a 30.5 wt% NaOH aqueous solution were charged, and the mixture was stirred at a reaction temperature of 40 ° C. After stirring for 24 hours, the organic layer was washed with 1N aqueous hydrochloric acid solution and then pure water. The obtained solution was concentrated with an evaporator, dropped into methanol for solidification, and the solid was recovered by filtration and vacuum dried to obtain 450.1 g of "polyphenylene ether (2)". The number average molecular weight of the vinyl "polyphenylene ether (2)" was 2250, the weight average molecular weight was 3920, and the vinyl group equivalent was 1189 g / vinyl group.

次に、実施例1乃至実施例3のプリプレグ及び多層基板の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the prepreg and the multilayer substrate of Examples 1 to 3 will be described.

[実施例1]
上記のポリフェニレンエーテル(1)を70質量部準備し、溶媒としてトルエンを100質量部加えて80℃にて30分混合、攪拌して完全に溶解した。このようにして得られたポリフェニレンエーテル溶液に対して、架橋型硬化剤として日本化成株式会社製「TAIC」を30質量部、難燃剤として臭素化有機化合物であるエチレンビス(ペンタブロモフェニル)(アルベマール日本株式会社製「SAYTEX8010(商品名)」)を20質量部、及び無機充填材として球状合成シリカ(株式会社アドマテックス社製「SC2050(商品名)」)を24質量部、を配合した。これらを溶媒であるトルエン中で混合、分散、溶解して、トルエンで固形分65%に希釈し、樹脂組成物のワニスを得た。上記の難燃剤が、ポリフェニレンエーテル及びTAICに非反応の臭素化有機化合物であるので、樹脂組成物であるワニス中で、難燃剤はトルエンには溶解せずに分散していた。
[Example 1]
70 parts by mass of the above polyphenylene ether (1) was prepared, 100 parts by mass of toluene was added as a solvent, and the mixture was mixed at 80 ° C. for 30 minutes and stirred to completely dissolve. With respect to the polyphenylene ether solution thus obtained, 30 parts by mass of "TAIC" manufactured by Nihon Kasei Co., Ltd. as a crosslinkable curing agent and ethylenebis (pentabromophenyl) (Albemar), which is a brominated organic compound, as a flame retardant. 20 parts by mass of "SAYTEX8010 (trade name)" manufactured by Japan Co., Ltd. and 24 parts by mass of spherical synthetic silica ("SC2050 (trade name)" manufactured by Admatex Co., Ltd.) as an inorganic filler were blended. These were mixed, dispersed and dissolved in toluene as a solvent, and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish of a resin composition. Since the flame retardant is a brominated organic compound that does not react with polyphenylene ether and TAIC, the flame retardant was dispersed in the varnish, which is a resin composition, without being dissolved in toluene.

次に、基材としてIPC No.#3313のEガラスクロスを用い、上記のワニスを含浸させた後、温度170℃、5分間の条件で加熱乾燥し、溶媒を除去して樹脂組成物が55体積%、厚さ0.1mmのプリプレグを得た。このようにして得られたプリプレグを8枚重ね、その上下両側に厚さ18μmの銅箔(3EC−III、三井金属鉱業(株)製)を重ねた。温度220℃、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、120分間の成形条件で加熱加圧し、厚さ0.8mmの両面銅張積層板を得た。次に、得られた銅張積層板を用いて、熱サイクル試験後のZ軸方向変位量の評価を行った。評価結果を図3に示す。 Next, as a base material, IPC No. After impregnating the above varnish with # 3313 E glass cloth, the resin composition was heat-dried at a temperature of 170 ° C. for 5 minutes to remove the solvent, and the resin composition was 55% by volume and 0.1 mm thick. I got a prepreg. Eight prepregs thus obtained were stacked, and copper foils (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm were laminated on the upper and lower sides thereof. A double-sided copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm was obtained by heating and pressurizing under molding conditions of a temperature of 220 ° C., a pressure of 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), and 120 minutes. Next, using the obtained copper-clad laminate, the amount of displacement in the Z-axis direction after the thermal cycle test was evaluated. The evaluation results are shown in FIG.

また、上記により得られた厚さ0.1mmのプリプレグに35μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を上下に配置し、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度220℃で120分間の積層成型を行い、絶縁層厚さ0.1mmの銅張積層板を得た。基材として、IPC No.#2116のEガラスクロスをワニスに含浸させ、170℃5分加熱して、樹脂量55%、厚さ0.13mmのプリプレグを得た。 Further, a 35 μm-thick electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) was placed vertically on the 0.1 mm-thick prepreg obtained as described above, and the pressure was 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ) and the temperature. Lamination molding was performed at 220 ° C. for 120 minutes to obtain a copper-clad laminate having an insulating layer thickness of 0.1 mm. As a base material, IPC No. The varnish was impregnated with # 2116 E glass cloth and heated at 170 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin amount of 55% and a thickness of 0.13 mm.

上記により得られた0.1mmの両面銅張積層板を15枚用意した。この両面銅張積層板に回路形成を施し、上記により得られた厚さ0.13mmのプリプレグを各両面銅張積層板の間に1枚ずつ交互に配し、上下の最外層にも上記0.13mmのプリプレグを1枚ずつ積層し、さらに18μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を配置した構成にて(圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度200℃で60分間の)プレス積層成形を実施し、接着硬化させることで32層基板を得た。 Fifteen 0.1 mm double-sided copper-clad laminates obtained as described above were prepared. A circuit is formed on this double-sided copper-clad laminate, and the 0.13 mm thick prepregs obtained above are alternately arranged between the double-sided copper-clad laminates, and the upper and lower outermost layers also have the above 0.13 mm. The prepregs of the above were laminated one by one, and an electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm was further arranged (pressure 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), temperature 200 ° C. 60. A 32-layer substrate was obtained by performing press laminating molding (for minutes) and adhesive curing.

この多層基板の積層方向に、ドリルにより穿孔して穴径0.25mmのスルーホール接続信頼性評価用の貫通穴を設けた。多層基板の各貫通穴の壁間距離は、0.55mmとなるように設け、銅めっきを施して厚み15μmの銅めっき層を形成した。得られた多層基板両面に回路を形成し、熱サイクル試験後のデラミネーション評価を行った。評価結果を図3に示す。 Through holes for evaluating through-hole connection reliability having a hole diameter of 0.25 mm were provided by drilling in the stacking direction of the multilayer substrate. The distance between the walls of the through holes of the multilayer board was set to 0.55 mm, and copper plating was performed to form a copper plating layer having a thickness of 15 μm. Circuits were formed on both sides of the obtained multilayer board, and delamination evaluation was performed after the thermal cycle test. The evaluation results are shown in FIG.

[実施例2]
実施例2では、上記のポリフェニレンエーテル(2)を70質量部準備し、溶媒としてトルエンを100質量部加えて80℃にて30分混合、攪拌して完全に溶解した。このようにして得られたポリフェニレンエーテル溶液に対して、架橋型硬化剤として日本化成株式会社製「TAIC」を30質量部、難燃剤として臭素化有機化合物であるエチレンビス(ペンタブロモフェニル)(アルベマール日本株式会社製「SAYTEX8010(商品名)」)を20質量部、及び無機充填材として球状合成シリカ(株式会社アドマテックス社製「SC2050(商品名)」)を24質量部、を配合した。これらを溶媒であるトルエン中で混合、分散、溶解して、トルエンで固形分65%に希釈し、樹脂組成物のワニスを得た。上記の難燃剤が、ポリフェニレンエーテル及びTAICに非反応の臭素化有機化合物であるので、樹脂組成物であるワニス中で、難燃剤はトルエンには溶解せずに分散していた。
[Example 2]
In Example 2, 70 parts by mass of the above polyphenylene ether (2) was prepared, 100 parts by mass of toluene was added as a solvent, and the mixture was mixed at 80 ° C. for 30 minutes and stirred to completely dissolve. With respect to the polyphenylene ether solution thus obtained, 30 parts by mass of "TAIC" manufactured by Nihon Kasei Co., Ltd. was used as a cross-linking curing agent, and ethylene bis (pentabromophenyl) (Albemar), which is a brominated organic compound, was used as a flame retardant. 20 parts by mass of "SAYTEX8010 (trade name)" manufactured by Japan Co., Ltd. and 24 parts by mass of spherical synthetic silica ("SC2050 (trade name)" manufactured by Admatex Co., Ltd.) as an inorganic filler were blended. These were mixed, dispersed and dissolved in toluene as a solvent, and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish of a resin composition. Since the flame retardant is a brominated organic compound that does not react with polyphenylene ether and TAIC, the flame retardant was dispersed in the varnish, which is a resin composition, without being dissolved in toluene.

次に、基材としてIPC No.#2116のEガラスクロスを用い、上記のワニスを含浸させた後、温度170℃、5分間の条件で加熱乾燥し、溶媒を除去して樹脂組成物が55体積%のプリプレグを得た。以下、実施例1と同様に銅張積層板を作製し、熱サイクル試験後のZ軸方向変位量の評価を行った。評価結果を図3に示す。 Next, as a base material, IPC No. After impregnating the above varnish with # 2116 E glass cloth, the mixture was heated and dried at a temperature of 170 ° C. for 5 minutes to remove the solvent to obtain a prepreg having a resin composition of 55% by volume. Hereinafter, a copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, and the amount of displacement in the Z-axis direction after the thermal cycle test was evaluated. The evaluation results are shown in FIG.

また、実施例1と同様に32層基板を作成した。この多層基板の積層方向に、ドリルにより穿孔して穴径0.25mmのスルーホール接続信頼性評価用の貫通穴を設けた。多層基板の各貫通穴の壁間距離は、0.55mmとなるように設け、銅めっきを施して厚み15μmの銅めっき層を形成した。得られた多層基板両面に回路を形成し、熱サイクル試験後のデラミネーション評価を行った。評価結果を図3に示す。 Further, a 32-layer substrate was prepared in the same manner as in Example 1. Through holes for evaluating through-hole connection reliability having a hole diameter of 0.25 mm were provided by drilling in the stacking direction of the multilayer substrate. The distance between the walls of the through holes of the multilayer board was set to 0.55 mm, and copper plating was performed to form a copper plating layer having a thickness of 15 μm. Circuits were formed on both sides of the obtained multilayer board, and delamination evaluation was performed after the thermal cycle test. The evaluation results are shown in FIG.

[実施例3]
実施例3として、実施例1で得られたワニスを使用し、厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板の壁間距離を0.7mmとした以外は、実施例1と同様の方法により、厚さ0.8mmの銅張積層板及びスルーホール壁間0.7mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および32層基板の物性評価結果を表3に示す。
[Example 3]
As Example 3, the varnish obtained in Example 1 was used, and the distance between the walls of a 32-layer substrate using a copper-clad laminate having a thickness of 0.1 mm and a prepreg having a thickness of 0.13 mm was set to 0.7 mm. A copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and a 32-layer substrate having a through-hole wall spacing of 0.7 mm were obtained by the same method as in Example 1. Table 3 shows the physical property evaluation results of the obtained copper-clad laminate with a thickness of 0.8 mm and the 32-layer substrate.

[比較例1]
比較例1として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(E1123P、DIC社製)85質量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(N−680、DIC社製)15質量部、硬化剤として、ジシアンジアミド(DICY(D25F)、日本カーバイド社製)2.5質量部を混合し、トルエンで固形分65%に希釈しワニスを得た。
[Comparative Example 1]
As Comparative Example 1, 85 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin (E1123P, manufactured by DIC), 15 parts by mass of cresol novolac type epoxy resin (N-680, manufactured by DIC), and dicyandiamide (DICY (D25F)) as a curing agent. (Manufactured by Nippon Carbide) 2.5 parts by mass was mixed and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish.

得られたワニスを使用した、厚さ0.1mmのプリプレグ、厚さ0.1mmのプリプレグを使用した銅張積層板、厚さ0.13mmのプリプレグの作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板の作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.55mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および32層基板の物性評価結果を図3に示す。 Using the obtained varnish, a prepreg having a thickness of 0.1 mm, a copper-clad laminate using a prepreg having a thickness of 0.1 mm, and a prepreg having a thickness of 0.13 mm were prepared in the same manner as in Example 1 to obtain a thickness. The production of the 32-layer substrate using the 0.1 mm thick copper-clad laminate and the 0.13 mm thick prepreg was performed in the same manner as in Example 1, and the distance between the 0.8 mm thick copper-clad laminate and the through-hole wall. A 0.55 mm 32-layer substrate was obtained. FIG. 3 shows the results of physical property evaluation of the obtained copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and the 32-layer substrate.

[比較例2]
比較例2として、比較例1で得られたワニスを使用し、厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板のスルーホール壁間距離を0.7mmとした以外は、実施例1と同様の方法により、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.7mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および多層基板の評価結果を図3に示す。
[Comparative Example 2]
As Comparative Example 2, the varnish obtained in Comparative Example 1 was used, and the distance between the through-hole walls of a 32-layer substrate using a copper-clad laminate having a thickness of 0.1 mm and a prepreg having a thickness of 0.13 mm was set to 0. A copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and a 32-layer substrate having a through-hole wall distance of 0.7 mm were obtained by the same method as in Example 1 except that the thickness was 7 mm. FIG. 3 shows the evaluation results of the obtained copper-clad laminate and multilayer substrate having a thickness of 0.8 mm.

[比較例3]
比較例3として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(E1123P、DIC社製)85質量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(N−680、DIC社製)15質量部、硬化剤として、ジシアンジアミド(DICY(D25F)、日本カーバイド社製)2.5質量部、焼成タルク(BST200L、日本タルク社製)32質量部を混合し、トルエンで固形分65%に希釈しワニスを得た。
[Comparative Example 3]
As Comparative Example 3, 85 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin (E1123P, manufactured by DIC), 15 parts by mass of cresol novolac type epoxy resin (N-680, manufactured by DIC), and dicyandiamide (DICY (D25F)) as a curing agent. 2.5 parts by mass of (manufactured by Nippon Carbide) and 32 parts by mass of calcined talc (BST200L, manufactured by Nippon Tarku) were mixed and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish.

得られたワニスを使用した、厚さ0.1mmのプリプレグ、厚さ0.1mmのプリプレグを使用した銅張積層板、厚さ0.13mmのプリプレグの作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板の作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.55mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および多層基板の評価結果を図3に示す。 Using the obtained varnish, a prepreg having a thickness of 0.1 mm, a copper-clad laminate using a prepreg having a thickness of 0.1 mm, and a prepreg having a thickness of 0.13 mm were prepared in the same manner as in Example 1 to obtain a thickness. The production of the 32-layer substrate using the 0.1 mm thick copper-clad laminate and the 0.13 mm thick prepreg was performed in the same manner as in Example 1, and the distance between the 0.8 mm thick copper-clad laminate and the through-hole wall. A 0.55 mm 32-layer substrate was obtained. FIG. 3 shows the evaluation results of the obtained copper-clad laminate and multilayer substrate having a thickness of 0.8 mm.

[比較例4]
比較例4として、比較例3で得られたワニスを使用し、厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板のスルーホール壁間距離を0.7mmとした以外は、実施例1と同様に行い、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.7mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および多層基板の評価結果を図3に示す。
[Comparative Example 4]
As Comparative Example 4, the varnish obtained in Comparative Example 3 was used, and the distance between the through-hole walls of a 32-layer substrate using a copper-clad laminate having a thickness of 0.1 mm and a prepreg having a thickness of 0.13 mm was set to 0. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the thickness was 7 mm, and a copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and a 32-layer substrate having a through-hole wall distance of 0.7 mm were obtained. FIG. 3 shows the evaluation results of the obtained copper-clad laminate and multilayer substrate having a thickness of 0.8 mm.

(Z軸方向変位量の測定)
絶縁層厚さ0.8mmの銅張積層板の銅箔を除去し、室温から260℃に20℃/minで加熱し、260℃で5分保持した後、260℃から室温に20℃/minで冷却するサイクルを5回繰り返した熱サイクルでのZ軸方向の膨張と収縮を合わせた総変位量を測定した。
(Measurement of displacement in the Z-axis direction)
The copper foil of the copper-clad laminate with an insulating layer thickness of 0.8 mm is removed, heated from room temperature to 260 ° C. at 20 ° C./min, held at 260 ° C. for 5 minutes, and then cooled from 260 ° C. to room temperature at 20 ° C./min. The total displacement amount including the expansion and contraction in the Z-axis direction in the thermal cycle in which the cooling cycle was repeated 5 times was measured.

(デラミネーション評価)
多層基板を、室温から最大温度260℃となるリフロー処理を実施し、室温まで冷却する工程を10回繰り返し、熱サイクル後の断面研磨により、層間のデラミネーションの有無を確認した。
(Delamination evaluation)
The multilayer substrate was reflowed from room temperature to a maximum temperature of 260 ° C., the step of cooling to room temperature was repeated 10 times, and the presence or absence of delamination between layers was confirmed by cross-section polishing after the heat cycle.

図3に実施例1乃至実施例3、比較例1乃至4の構成及び評価結果を示す。 FIG. 3 shows the configurations and evaluation results of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4.

図3に示すように、本発明に係るプリプレグを用いた実施形態1乃至実施例3の銅張積層板では、熱サイクル前後のZ軸方向の変位量は3%以下であり、デラミネーションが抑制されることを示唆した。一方、本発明に係るプリプレグとは異なる材料で形成した比較例1乃至4の銅張積層板では、熱サイクル前後のZ軸方向の変位量が3%を超え、デラミネーションが生じる可能性を示唆した。また、実施例1乃至実施例3及び比較例1乃至4の多層基板について、デラミネーション評価した結果、実施例1乃至実施例3の多層基板においてはデラミネーションが認められなかったのに対し、比較例1乃至4の多層基板ではデラミネーションが生じていた。これらの結果より、本発明に係る多層基板においては、熱サイクルを与えてもデラミネーションが生じないことが明らかとなった。 As shown in FIG. 3, in the copper-clad laminates of the first to third embodiments using the prepreg according to the present invention, the displacement amount in the Z-axis direction before and after the thermal cycle is 3% or less, and delamination is suppressed. It was suggested that it would be done. On the other hand, in the copper-clad laminates of Comparative Examples 1 to 4 formed of a material different from the prepreg according to the present invention, the amount of displacement in the Z-axis direction before and after the thermal cycle exceeds 3%, suggesting that delamination may occur. did. Further, as a result of delamination evaluation of the multilayer boards of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4, no delamination was observed in the multilayer boards of Examples 1 to 3, but comparison was made. Delamination occurred in the multilayer boards of Examples 1 to 4. From these results, it was clarified that in the multilayer substrate according to the present invention, delamination does not occur even if a thermal cycle is applied.

続いて、実施例4乃至実施例7に用いたポリフェニレンエーテル、及びエポキシ化合物について説明する。 Subsequently, the polyphenylene ether and the epoxy compound used in Examples 4 to 7 will be described.

(ポリフェニレンエーテル(3))
「ポリフェニレンエーテル(3)」として、ポリフェニレンエーテルの末端が水酸基であるポリフェニレンエーテル(SABICイノベーティブプラスチックス社製のSA90)を用いた。「ポリフェニレンエーテル(3)」の重量平均分子量は1700である。
(Polyphenylene ether (3))
As the "polyphenylene ether (3)", a polyphenylene ether (SA90 manufactured by SABIC Innovative Plastics Co., Ltd.) having a hydroxyl group at the end of the polyphenylene ether was used. The weight average molecular weight of "polyphenylene ether (3)" is 1700.

(エポキシ化合物(1))
エポキシ化合物としては、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物(DIC製「エピクロンHP7200(商品名)」)を用いた。エピクロンHP7200の数平均分子量は550である。
(Epoxy compound (1))
As the epoxy compound, a dicyclopentadiene type epoxy compound (“Epiclon HP7200 (trade name)” manufactured by DIC) was used. The number average molecular weight of Epicron HP7200 is 550.

(エポキシ化合物(2))
エポキシ化合物としては、ナフタレン骨格変性エポキシ樹脂(DIC製「エピクロンHP4032D(商品名)」)を用いた。エピクロンHP4032Dの数平均分子量は280である。
(Epoxy compound (2))
As the epoxy compound, a naphthalene skeleton-modified epoxy resin (“Epiclon HP4032D (trade name)” manufactured by DIC) was used. The number average molecular weight of Epicron HP4032D is 280.

次に、実施例4乃至実施例7のプリプレグ及び多層基板の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the prepreg and the multilayer substrate of Examples 4 to 7 will be described.

[実施例4]
上記のポリフェニレンエーテル(3)を30質量部準備し、溶媒としてトルエンを加えて、混合、攪拌して完全に溶解した。このようにして得られたポリフェニレンエーテル溶液に対して、上記のエポキシ化合物(1)を45質量部、及びシアン酸エステル化合物として、2,2−ビス(4−シアナートフェニル)プロパン(三菱ガス化学株式会社製「CA210(商品名)」)を25質量部添加させた後、30分間撹拌して完全に溶解させた。さらに、難燃剤として上記の「SAYTEX8010」を25質量部、及び無機充填材として上記の「SC2050」を24質量部添加して、ボールミルで分散させることにより樹脂ワニスを得た。なお、上記の難燃剤は溶解せず、樹脂ワニス中で1μm以上10μm以下の平均粒子径で分散していた。
[Example 4]
30 parts by mass of the above polyphenylene ether (3) was prepared, toluene was added as a solvent, and the mixture was mixed and stirred to completely dissolve it. With respect to the polyphenylene ether solution thus obtained, 45 parts by mass of the above epoxy compound (1) and 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane (Mitsubishi Gas Chemicals) as a cyanate ester compound. After adding 25 parts by mass of "CA210 (trade name)" manufactured by Co., Ltd., the mixture was completely dissolved by stirring for 30 minutes. Further, 25 parts by mass of the above "SAYTEX8010" as a flame retardant and 24 parts by mass of the above "SC2050" as an inorganic filler were added and dispersed by a ball mill to obtain a resin varnish. The flame retardant was not dissolved and was dispersed in the resin varnish with an average particle size of 1 μm or more and 10 μm or less.

次に、基材としてIPC No.#3313のEガラスクロスを用い、上記のワニスを含浸させた後、温度170℃、5分間の条件で加熱乾燥し、溶媒を除去して樹脂量55%、プリプレグを得た。このようにして得られたプリプレグを8枚重ね、その上下両側に厚さ18μmの銅箔(3EC−III、三井金属鉱業(株)製)を重ねた。温度210℃、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、150分間の成形条件で加熱加圧し、厚さ0.8mmのプリント配線板用の両面銅張積層板を得た。次に、得られた銅張積層板を用いて、熱サイクル試験後のZ軸方向変位量の評価を行った。評価結果を図4に示す。 Next, as a base material, IPC No. After impregnating the above varnish with # 3313 E glass cloth, the mixture was heated and dried at a temperature of 170 ° C. for 5 minutes to remove the solvent to obtain a prepreg having a resin amount of 55%. Eight prepregs thus obtained were stacked, and copper foils (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm were laminated on the upper and lower sides thereof. A double-sided copper-clad laminate for a printed wiring board having a thickness of 0.8 mm was obtained by heating and pressurizing under molding conditions of a temperature of 210 ° C., a pressure of 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), and 150 minutes. Next, using the obtained copper-clad laminate, the amount of displacement in the Z-axis direction after the thermal cycle test was evaluated. The evaluation results are shown in FIG.

また、上記により得られた厚さ0.1mmのプリプレグに35μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を上下に配置し、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度220℃で120分間の積層成型を行い、絶縁層厚さ0.1mmの銅張積層板を得た。基材として、IPC No.#2116のEガラスクロスをワニスに含浸させ、170℃5分加熱して、樹脂量55%、厚さ0.13mmのプリプレグを得た。 Further, a 35 μm-thick electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) was placed vertically on the 0.1 mm-thick prepreg obtained above, and the pressure was 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ) and the temperature was Lamination molding was performed at 220 ° C. for 120 minutes to obtain a copper-clad laminate having an insulating layer thickness of 0.1 mm. As a base material, IPC No. The varnish was impregnated with # 2116 E glass cloth and heated at 170 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin amount of 55% and a thickness of 0.13 mm.

上記により得られた0.1mmの両面銅張積層板を15枚用意した。この両面銅張積層板に回路形成を施し、上記により得られた厚さ0.13mmのプリプレグを各両面銅張積層板の間に1枚ずつ交互に配し、上下の最外層にも上記0.13mmのプリプレグを1枚ずつ積層し、さらに18μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を配置した構成にて(圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度200℃で60分間の)プレス積層成形を実施し、接着硬化させることで32層基板を得た。 Fifteen 0.1 mm double-sided copper-clad laminates obtained as described above were prepared. A circuit is formed on this double-sided copper-clad laminate, and the 0.13 mm thick prepregs obtained above are alternately arranged between the double-sided copper-clad laminates, and the upper and lower outermost layers also have the above 0.13 mm. The prepregs of the above were laminated one by one, and an electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm was further arranged (pressure 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), temperature 200 ° C. 60. A 32-layer substrate was obtained by performing press laminating molding (for minutes) and adhesive curing.

この多層基板の積層方向に、ドリルにより穿孔して穴径0.25mmのスルーホール接続信頼性評価用の貫通穴を設けた。多層基板の各貫通穴の壁間距離は、0.55mmとなるように設け、銅めっきを施して厚み15μmの銅めっき層を形成した。得られた多層基板両面に回路を形成し、熱サイクル試験後のデラミネーション評価を行った。評価結果を図4に示す。 Through holes for evaluating through-hole connection reliability having a hole diameter of 0.25 mm were provided by drilling in the stacking direction of the multilayer substrate. The distance between the walls of the through holes of the multilayer board was set to 0.55 mm, and copper plating was performed to form a copper plating layer having a thickness of 15 μm. Circuits were formed on both sides of the obtained multilayer board, and delamination evaluation was performed after the thermal cycle test. The evaluation results are shown in FIG.

[実施例5]
実施例5では、上記のポリフェニレンエーテル(3)を30質量部準備し、溶媒としてトルエンを加えて、混合、攪拌して完全に溶解した。このようにして得られたポリフェニレンエーテル溶液に対して、上記のエポキシ化合物(2)を45質量部、及びシアン酸エステル化合物として、2,2−ビス(4−シアナートフェニル)プロパン(三菱ガス化学株式会社製「CA210(商品名)」)を25質量部添加させた後、30分間撹拌して完全に溶解させた。さらに、難燃剤として上記の「SAYTEX8010」を25質量部、及び無機充填材として上記の「SC2050」を24質量部添加して、ボールミルで分散させることにより樹脂ワニスを得た。なお、上記の難燃剤は溶解せず、樹脂ワニス中で1μm以上10μm以下の平均粒子径で分散していた。
[Example 5]
In Example 5, 30 parts by mass of the above polyphenylene ether (3) was prepared, toluene was added as a solvent, and the mixture was mixed and stirred to completely dissolve it. With respect to the polyphenylene ether solution thus obtained, 45 parts by mass of the above epoxy compound (2) and 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane (Mitsubishi Gas Chemicals) as a cyanate ester compound. After adding 25 parts by mass of "CA210 (trade name)" manufactured by Co., Ltd., the mixture was completely dissolved by stirring for 30 minutes. Further, 25 parts by mass of the above "SAYTEX8010" as a flame retardant and 24 parts by mass of the above "SC2050" as an inorganic filler were added and dispersed by a ball mill to obtain a resin varnish. The flame retardant was not dissolved and was dispersed in the resin varnish with an average particle size of 1 μm or more and 10 μm or less.

次に、基材としてIPC No.#3313のEガラスクロスを用い、上記のワニスを含浸させた後、温度170℃、5分間の条件で加熱乾燥し、溶媒を除去して樹脂組成物が55体積%のプリプレグを得た。このようにして得られたプリプレグを8枚重ね、その上下両側に厚さ18μmの銅箔(3EC−III、三井金属鉱業(株)製)を重ねた。温度210℃、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、150分間の成形条件で加熱加圧し、厚さ0.8mmの両面銅張積層板を得た。次に、得られた銅張積層板を用いて、熱サイクル試験後のZ方向変位量の評価を行った。評価結果を図4に示す。 Next, as a base material, IPC No. After impregnating the above varnish with the E glass cloth of # 3313, the mixture was heated and dried at a temperature of 170 ° C. for 5 minutes to remove the solvent to obtain a prepreg having a resin composition of 55% by volume. Eight prepregs thus obtained were stacked, and copper foils (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm were laminated on the upper and lower sides thereof. A double-sided copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm was obtained by heating and pressurizing under molding conditions of a temperature of 210 ° C., a pressure of 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), and 150 minutes. Next, using the obtained copper-clad laminate, the amount of displacement in the Z direction after the thermal cycle test was evaluated. The evaluation results are shown in FIG.

また、上記により得られた厚さ0.1mmのプリプレグに35μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を上下に配置し、圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度220℃で120分間の積層成型を行い、絶縁層厚さ0.1mmの銅張積層板を得た。基材として、IPC No.#2116のEガラスクロスをワニスに含浸させ、170℃5分加熱して、樹脂量55%、厚さ0.13mmのプリプレグを得た。 Further, a 35 μm-thick electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) was placed vertically on the 0.1 mm-thick prepreg obtained as described above, and the pressure was 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ) and the temperature. Lamination molding was performed at 220 ° C. for 120 minutes to obtain a copper-clad laminate having an insulating layer thickness of 0.1 mm. As a base material, IPC No. The varnish was impregnated with # 2116 E glass cloth and heated at 170 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg having a resin amount of 55% and a thickness of 0.13 mm.

上記により得られた0.1mmの両面銅張積層板を15枚用意した。この両面銅張積層板に回路形成を施し、上記により得られた厚さ0.13mmのプリプレグを各両面銅張積層板の間に1枚ずつ交互に配し、上下の最外層にも上記0.13mmのプリプレグを1枚ずつ積層し、さらに18μm厚の電解銅箔(3EC−III、三井金属鉱業社製)を配置した構成にて(圧力3.0MPa(30kg/cm2)、温度200℃で60分間の)プレス積層成形を実施し、接着硬化させることで32層基板を得た。 Fifteen 0.1 mm double-sided copper-clad laminates obtained as described above were prepared. A circuit is formed on this double-sided copper-clad laminate, and the 0.13 mm thick prepregs obtained above are alternately arranged between the double-sided copper-clad laminates, and the upper and lower outermost layers also have the above 0.13 mm. The prepregs of the above were laminated one by one, and an electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a thickness of 18 μm was further arranged (pressure 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), temperature 200 ° C. 60. A 32-layer substrate was obtained by performing press laminating molding (for minutes) and adhesive curing.

この多層基板の積層方向に、ドリルにより穿孔して穴径0.25mmのスルーホール接続信頼性評価用の貫通穴を設けた。多層基板の各貫通穴の壁間距離は、0.55mmとなるように設け、銅めっきを施して厚み15μmの銅めっき層を形成した。得られた多層基板両面に回路を形成し、熱サイクル試験後のデラミネーション評価を行った。評価結果を図4に示す。 Through holes for evaluating through-hole connection reliability having a hole diameter of 0.25 mm were provided by drilling in the stacking direction of the multilayer substrate. The distance between the walls of the through holes of the multilayer board was set to 0.55 mm, and copper plating was performed to form a copper plating layer having a thickness of 15 μm. Circuits were formed on both sides of the obtained multilayer board, and delamination evaluation was performed after the thermal cycle test. The evaluation results are shown in FIG.

[実施例6]
実施例6では、ポリフェニレンエーテル(SA90、SABICイノベーションプラスチック社製、数平均分子量1700)20質量部、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(エピクロンHP7200、DIC社製、数平均分子量550)55質量部、2、2−ビス(4−シアネートフェニル)プロパンのプレポリマー(CA210、三菱ガス化学社製)25質量部、難燃剤としてエチレンビス(ペンタブロモフェニル)(SAYTEX8010、アルベマール日本社製)25質量部、溶融シリカ(SC2050、平均粒径0.5μm、アドマテックス社製)24質量部を混合し、トルエンで固形分65%に希釈しワニスを得た。
[Example 6]
In Example 6, 20 parts by mass of polyphenylene ether (SA90, manufactured by SABIC Innovation Plastic Co., Ltd., number average molecular weight 1700), 55 parts by mass of dicyclopentadiene type epoxy resin (Epicron HP7200, manufactured by DIC, number average molecular weight 550), 2, 25 parts by mass of 2-bis (4-cyanatephenyl) propane prepolymer (CA210, manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals), 25 parts by mass of ethylene bis (pentabromophenyl) (SAYTEX8010, manufactured by Albemar Japan) as a flame retardant, molten silica 24 parts by mass (SC2050, average particle size 0.5 μm, manufactured by Admatex Co., Ltd.) was mixed and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish.

得られたワニスを使用した、厚さ0.1mmのプリプレグ、厚さ0.1mmのプリプレグを使用した銅張積層板、厚さ0.13mmのプリプレグおよび厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板の作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.55mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および多層基板の評価結果を図4に示す。 A prepreg having a thickness of 0.1 mm, a copper-clad laminate using a prepreg having a thickness of 0.1 mm, a prepreg having a thickness of 0.13 mm and a copper-clad laminate having a thickness of 0.1 mm using the obtained varnish. A 32-layer substrate using a prepreg having a thickness of 0.13 mm was produced in the same manner as in Example 1 to obtain a copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and a 32-layer substrate having a through-hole wall distance of 0.55 mm. .. FIG. 4 shows the evaluation results of the obtained copper-clad laminate and multilayer substrate having a thickness of 0.8 mm.

[実施例7]
実施例7では、ポリフェニレンエーテル(SA90、SABICイノベーションプラスチック社製、数平均分子量1700)20質量部、ナフタレン骨格変性エポキシ樹脂(HP4032D、DIC社製、数平均分子量280)55質量部、2、2−ビス(4−シアネートフェニル)プロパンのプレポリマー(CA210、三菱ガス化学社製)25質量部、難燃剤として、エチレンビス(ペンタブロモフェニル)(SAYTEX8010、アルベマール日本社製)25質量部、溶融シリカ(SC2050、平均粒径0.5μm、アドマテックス社製)24質量部を混合し、トルエンで固形分65%に希釈しワニスを得た。
[Example 7]
In Example 7, 20 parts by mass of polyphenylene ether (SA90, manufactured by SABIC Innovation Plastics, number average molecular weight 1700), 55 parts by mass of naphthalene skeleton-modified epoxy resin (HP4032D, manufactured by DIC, number average molecular weight 280), 2,2- 25 parts by mass of prepolymer of bis (4-cyanatephenyl) propane (CA210, manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals), 25 parts by mass of ethylene bis (pentabromophenyl) (SAYTEX8010, manufactured by Albemar Japan) as a flame retardant, molten silica ( 24 parts by mass of SC2050, average particle size 0.5 μm, manufactured by Admatex Co., Ltd.) was mixed and diluted with toluene to a solid content of 65% to obtain a varnish.

得られたワニスを使用した、厚さ0.1mmのプリプレグ、厚さ0.1mmのプリプレグを使用した銅張積層板、厚さ0.13mmのプリプレグおよび厚さ0.1mmの銅張積層板と厚さ0.13mmのプリプレグを使用した32層基板の作製は実施例1と同様に行い、厚さ0.8mmの銅張積層板およびスルーホール壁間距離0.55mmの32層基板を得た。得られた厚さ0.8mmの銅張積層板および多層基板の評価結果を図4に示す。 A prepreg having a thickness of 0.1 mm, a copper-clad laminate using a prepreg having a thickness of 0.1 mm, a prepreg having a thickness of 0.13 mm and a copper-clad laminate having a thickness of 0.1 mm using the obtained varnish. A 32-layer substrate using a prepreg having a thickness of 0.13 mm was produced in the same manner as in Example 1 to obtain a copper-clad laminate having a thickness of 0.8 mm and a 32-layer substrate having a through-hole wall distance of 0.55 mm. .. FIG. 4 shows the evaluation results of the obtained copper-clad laminate and multilayer substrate having a thickness of 0.8 mm.

図4に実施例4乃至実施例7の構成及び評価結果を示す。 FIG. 4 shows the configurations and evaluation results of Examples 4 to 7.

図4に示すように、本発明に係るプリプレグを用いた実施形態4乃至実施例7の銅張積層板では、熱サイクル前後のZ軸方向の変位量は3%以下であり、デラミネーションが抑制されることを示唆した。また、実施例4乃至実施例7の多層基板について、デラミネーション評価した結果、デラミネーションは認められなかった。これらの結果より、本発明に係る多層基板においては、熱サイクルを与えてもデラミネーションが発生しないことが明らかとなった。 As shown in FIG. 4, in the copper-clad laminates of the fourth to seventh embodiments using the prepreg according to the present invention, the displacement amount in the Z-axis direction before and after the thermal cycle is 3% or less, and delamination is suppressed. It was suggested that it would be done. Further, as a result of the delamination evaluation of the multilayer boards of Examples 4 to 7, no delamination was observed. From these results, it was clarified that in the multilayer substrate according to the present invention, delamination does not occur even if a thermal cycle is applied.

以上のように、本発明の実施例1乃至実施例7に係る銅張積層板によると、熱サイクル前後のZ軸方向の変位量が3%以下となり、デラミネーションを抑制することができる。また、本発明の実施例1乃至実施例7に係る多層基板によると、熱サイクルを与えてもデラミネーションを抑制することができる。 As described above, according to the copper-clad laminates according to Examples 1 to 7 of the present invention, the amount of displacement in the Z-axis direction before and after the thermal cycle is 3% or less, and delamination can be suppressed. Further, according to the multilayer substrate according to the first to seventh embodiments of the present invention, delamination can be suppressed even if a thermal cycle is applied.

なお、本発明は上記の実施形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment, and can be appropriately modified without departing from the spirit.

10:プリプレグ、20:金属張積層板、30:金属箔、50:スルーホール、100:多層基板 10: prepreg, 20: metal-clad laminate, 30: metal foil, 50: through-hole, 100: multilayer substrate

Claims (3)

繊維基材と樹脂組成物とを含むプリプレグが積層した多層基板であって、
前記プリプレグを硬化して得られる硬化物において、室温から260℃に20℃/minで加熱し、260℃で5分保持した後、260℃から室温へ20℃/minで冷却するサイクルを5回繰り返した熱サイクルでのZ軸方向の膨張と収縮を合わせた総変位量が、加熱サイクル前の前記硬化物の厚さに対して3.5%以下であり、
前記多層基板は複数のスルーホールを備え、前記スルーホールの壁間距離は、0.25mm以上0.55mm以下の間隔で配置され、
前記樹脂組成物は、
ポリフェニレンエーテル及び架橋型硬化剤を含み、前記ポリフェニレンエーテルの数平均分子量が1000〜7000であり、下記式(I)で表される樹脂組成物、又は
一分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するハロゲン原子を含有しない、数平均分子量が1000以下のエポキシ化合物、数平均分子量5000以下のポリフェニレンエーテル、シアネートエステル化合物、前記エポキシ化合物及び前記ポリフェニレンエーテルと硬化剤である前記シアネートエステル化合物との反応を促進させる硬化触媒、及び、ハロゲン系難燃剤を含有する樹脂組成物であることを特徴とする多層基板。
Figure 0006769049

[式中、Xはアリール基を示し、(Y)はポリフェニレンエーテル部分を示し、R〜Rは独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基またはアルキニル基を示し、nは1〜6の整数を示し、qは1〜4の整数を示す。]
A multilayer substrate in which a prepreg containing a fiber base material and a resin composition is laminated.
The cured product obtained by curing the prepreg is heated from room temperature to 260 ° C. at 20 ° C./min, held at 260 ° C. for 5 minutes, and then cooled from 260 ° C. to room temperature at 20 ° C./min five times. The total displacement amount of the expansion and contraction in the Z-axis direction in the repeated heat cycle is 3.5% or less with respect to the thickness of the cured product before the heating cycle.
The multilayer board includes a plurality of through holes, and the distance between the walls of the through holes is arranged at intervals of 0.25 mm or more and 0.55 mm or less.
The resin composition is
It contains a polyphenylene ether and a cross-linked curing agent, the polyphenylene ether has a number average molecular weight of 1000 to 7000, and has a resin composition represented by the following formula (I) or at least two epoxy groups in one molecule. An epoxy compound having a number average molecular weight of 1000 or less, a polyphenylene ether having a number average molecular weight of 5000 or less, a cyanate ester compound, the epoxy compound, and the polyphenylene ether and the cyanate ester compound as a curing agent, which do not contain a halogen atom, are promoted. A multilayer substrate characterized by being a resin composition containing a curing catalyst and a halogen-based flame retardant.
Figure 0006769049

[In the formula, X represents an aryl group, (Y) m represents a polyphenylene ether moiety, R 1 to R 3 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group or an alkynyl group, and n is 1 to 6. Indicates an integer of, and q indicates an integer of 1 to 4. ]
前記スルーホールは、銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を充填して形成されることを特徴とする請求項1に記載の多層基板。 The multilayer substrate according to claim 1, wherein the through holes are formed by filling a metal selected from copper, gold, silver, and an alloy thereof. 積層した前記プリプレグの間に銅、金、銀、及びそれらの合金から選択される金属を含む配線層を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の多層基板。 The multilayer substrate according to claim 1 or 2, wherein a wiring layer containing copper, gold, silver, and a metal selected from an alloy thereof is provided between the laminated prepregs.
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