JP6743986B2 - スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ - Google Patents
スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6743986B2 JP6743986B2 JP2019564711A JP2019564711A JP6743986B2 JP 6743986 B2 JP6743986 B2 JP 6743986B2 JP 2019564711 A JP2019564711 A JP 2019564711A JP 2019564711 A JP2019564711 A JP 2019564711A JP 6743986 B2 JP6743986 B2 JP 6743986B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orbit torque
- metal layer
- spin
- layer
- spin orbit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 145
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 title claims description 113
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims description 36
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 229
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 229
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 168
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 30
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910004166 TaN Inorganic materials 0.000 claims description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 379
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 8
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 5
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 229910001291 heusler alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005347 FeSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017028 MnSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019041 PtMn Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005642 SnTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/098—Magnetoresistive devices comprising tunnel junctions, e.g. tunnel magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/18—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using Hall-effect devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/105—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including field-effect components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/82—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of the magnetic field applied to the device
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N52/00—Hall-effect devices
- H10N52/80—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1673—Reading or sensing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
Description
すなわち本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
(スピン軌道トルク型磁化回転素子)
図1は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁化回転素子10の断面模式図であり、図2は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁化回転素子10の平面模式図である。スピン軌道トルク型磁化回転素子10は、第1強磁性層1とスピン軌道トルク配線2と第1非磁性金属層3と第2非磁性金属層4とを備える。図2は、z方向からの平面図であり、各層の+z側の面を示す。
以下、スピン軌道トルク配線2が延在する第1方向をx方向、第1強磁性層1の積層方向(第2方向)をz方向、x方向及びz方向のいずれにも直交する方向をy方向と規定して説明する。
スピン軌道トルク配線2は、x方向に延在する。スピン軌道トルク配線2は、第1面2Aと第2面2Bとを有する。第1面2Aは、第1強磁性層1の第3面1Aに面する。ここで「面する」とは、互いに向き合う関係を言い、2つの層が接触していても、間に他の層を有してもよい。図1におけるスピン軌道トルク配線2は、第1強磁性層1のz方向の一面に直接接続されている。スピン軌道トルク配線2は、第1強磁性層1に直接接続されていてもよいし、他の層を介し接続されていてもよい。
第1強磁性層1は、スピン軌道トルク配線2と交差する第2方向(z方向)に積層されている。第1強磁性層1は、第3面1Aと第4面1Bとを有する。第3面1Aは、スピン軌道トルク配線2の第1面2Aと面する。第4面1Bは、第1強磁性層1において第3面1Aと反対側の面である。第1強磁性層1はその磁化の向きが変化することで機能する。第1強磁性層1は、xy面内に磁化容易方向を有する面内磁化膜でも、z方向に磁化容易軸を有する垂直磁化膜でもよい。
また第1強磁性層1が面内磁化膜の場合は、例えば、Co−Ho合金(CoHo2)、Sm−Fe合金(SmFe12)等を用いることが好ましい。
第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4は、z方向からの平面視で第1強磁性層1を挟む位置に位置する。第1非磁性金属層3と第2非磁性金属層4との間に電位差を与えることで、スピン軌道トルク配線2内に電流Iが流れる。第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4は、スピン軌道トルク配線2に電流Iを流すための電極として機能する。第1非磁性金属層3は、例えば、外部の電源と電気的に接続される。第2非磁性金属層4は、例えば、外部の基準電位と電気的に接続される。電流Iは、外部の電源と基準電位との電位差に基づいて流れる。第1非磁性金属層3は、例えば、スピン軌道トルク配線2に電流Iを印加した際に、電流Iの流れ方向の上流側(基準電位と反対側)となる位置にある。第2非磁性金属層4は、例えば、スピン軌道トルク配線2に電流Iを印加した際に、電流Iの流れ方向の下流側(基準電位側)となる位置にある。例えば、第2非磁性金属層4をグラウンドに接続すると、グラウンドが基準電位となる。
第1強磁性層1の重心Gは、x方向において、第1非磁性金属層3と第2非磁性金属層4との間の中心である基準点Sより第1非磁性金属層3又は第2非磁性金属層4のいずれかに近い位置に位置する。基準点Sは、第1非磁性金属層3の重心と第2非磁性金属層4の重心とを結ぶ線分の中心である。第1強磁性層1、第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4が、z方向からの平面視で、x方向に線対称又は点対称な形状の場合、中心位置と重心位置は一致する場合が多い。そのため、第1強磁性層1、第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4のそれぞれのx方向の中心位置を、第1強磁性層1、第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4のそれぞれのx方向の重心位置とみなせる。すなわち、第1強磁性層1の中心は、x方向において、第1非磁性金属層3と第2非磁性金属層4との間の中心である基準点Sより第1非磁性金属層3又は第2非磁性金属層4のいずれかに近い位置に位置すると言い換えられる。
(スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子)
図10は、第2実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20の断面模式図である。図10に示すスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20は、第1強磁性層1と、スピン軌道トルク配線2と、第1非磁性金属層3と、第2非磁性金属層4と、非磁性層5と、第2強磁性層6とを備える。第1強磁性層1、スピン軌道トルク配線2、第1非磁性金属層3及び第2非磁性金属層4は、図1に示す第1実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁化回転素子10に対応する。第1実施形態のスピン軌道トルク型磁化回転素子10と同等の構成については、説明を省く。
第2強磁性層6の第1強磁性層1に対する保磁力をより大きくするために、第2強磁性層6と接する材料としてIrMn,PtMnなどの反強磁性材料を用いてもよい。さらに、第2強磁性層6の漏れ磁場を第1強磁性層1に影響させないようにするため、シンセティック強磁性結合の構造としてもよい。
例えば、非磁性層5が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及び、MgAl2O4等を用いることができる。また、これらの他にも、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も非磁性層5として用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料である。非磁性層5が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。さらに、非磁性層5が半導体からなる場合、その材料としては、Si、Ge、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)Se2等を用いることができる。
例えば、銀、銅、マグネシウム、及び、アルミニウム等は、スピン拡散長が100nm以上と長く、スピンが散逸しにくいことが知られている。この層の厚みは、層を構成する物質のスピン拡散長以下であることが好ましい。層の厚みがスピン拡散長以下であれば、スピン軌道トルク配線2から伝播するスピンを第1強磁性層1に十分伝えることができる。
(磁気メモリ)
図11は、複数のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20(図10参照)を備える磁気メモリ100の模式図である。図10は、図11におけるA−A面に沿ってスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20を切断した断面図に対応する。図11に示す磁気メモリ100は、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20が3×3のマトリックス配置をしている。図11は、磁気メモリの一例であり、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子20の数及び配置は任意である。
1a 端部
1A、2A、3A、4A、1A’、2A’、3A’、4A’ 第3面
1B、2B、1B’、2B’ 第4面
2 スピン軌道トルク配線
3 第1非磁性金属層
3a 第1端部
4 第2非磁性金属層
5 非磁性層
6 第2強磁性層
8 機能部
10 スピン軌道トルク型磁化回転素子
20 スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子
100 磁気メモリ
G 重心
S 基準点
Claims (14)
- 第1方向に延在するスピン軌道トルク配線と、
前記スピン軌道トルク配線と交差する第2方向に積層された第1強磁性層と、
前記第2方向からの平面視で、前記第1方向に前記第1強磁性層を挟む位置で前記スピン軌道トルク配線に接続された第1非磁性金属層及び第2非磁性金属層と、を備え、
前記第1強磁性層の重心は、前記第1方向において、前記第1非磁性金属層と前記第2非磁性金属層との間の中心である基準点より前記第1非磁性金属層又は前記第2非磁性金属層のいずれか側に位置する、スピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記重心は、前記基準点より前記第2非磁性金属層の側に位置し、
前記第2非磁性金属層は、前記スピン軌道トルク配線に電流を印加した際の下流側に位置する、請求項1に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1強磁性層の一部は、前記第2方向からの平面視で、前記基準点と重畳している、請求項1又は2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1非磁性金属層は、前記スピン軌道トルク配線に電流を印加した際に上流側に位置し、かつ、前記第1強磁性層側に第1端部を有し、
前記第1端部と前記重心との前記第1方向の距離Dと、前記スピン軌道トルク配線の厚みT2とが、6≦D/T2≦56の関係を満たす、請求項1〜3のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層の幅は、前記第1強磁性層の幅より広い、請求項1〜4のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層の厚みは、前記スピン軌道トルク配線の厚みより厚く、
前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層の幅は、前記スピン軌道トルク配線の幅より広い、請求項1〜5のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層が、Ag、Au、Cu、Al、W、Co、Ni、Zn、Ta、TiN及びTaNからなる群のいずれかを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層が、酸化物を介さずに前記スピン軌道トルク配線と接続されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層は、前記スピン軌道トルク配線の前記第1強磁性層に面する第1面と反対側の第2面に接続されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1非磁性金属層及び前記第2非磁性金属層は、前記スピン軌道トルク配線の前記第1強磁性層に面する第1面に接続されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第1強磁性層の一部は、前記第2方向からの平面視で、前記第1非磁性金属層又は前記第2非磁性金属層と重畳している、請求項1〜9のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記第2方向からの平面視で前記第1強磁性層の一部と重畳する前記第1非磁性金属層又は前記第2非磁性金属層と、前記第1強磁性層と、の間に、読み出し電流を流す制御部をさらに有する、請求項11に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子と、
前記第1強磁性層において前記スピン軌道トルク配線と面する第3面と反対側の第4面に面する非磁性層と、
前記第1強磁性層と前記非磁性層を挟む第2強磁性層と、を備える、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 請求項13に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子を複数備えた、磁気メモリ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018002187 | 2018-01-10 | ||
JP2018002187 | 2018-01-10 | ||
PCT/JP2019/000312 WO2019139025A1 (ja) | 2018-01-10 | 2019-01-09 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019139025A1 JPWO2019139025A1 (ja) | 2020-06-11 |
JP6743986B2 true JP6743986B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=67218643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019564711A Active JP6743986B2 (ja) | 2018-01-10 | 2019-01-09 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11195992B2 (ja) |
JP (1) | JP6743986B2 (ja) |
CN (1) | CN110914974B (ja) |
WO (1) | WO2019139025A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11925123B2 (en) * | 2018-01-10 | 2024-03-05 | Tdk Corporation | Spin-orbit torque type magnetization rotational element, spin-orbit torque type magnetoresistance effect element, and magnetic memory |
JP6610839B1 (ja) * | 2019-01-31 | 2019-11-27 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びリザボア素子 |
WO2020161814A1 (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-13 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
CN112397638B (zh) * | 2019-08-13 | 2023-04-07 | 中电海康集团有限公司 | 存储单元及其制备方法、存储器 |
JP6777271B1 (ja) * | 2019-12-23 | 2020-10-28 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子及び磁気記録アレイ |
US11545618B2 (en) * | 2020-01-24 | 2023-01-03 | Tdk Corporation | Spin element and reservoir element including high resistance layer |
JP7384068B2 (ja) | 2020-02-20 | 2023-11-21 | Tdk株式会社 | 磁化回転素子、磁気抵抗効果素子および磁気メモリ |
CN113793896A (zh) * | 2020-05-26 | 2021-12-14 | Tdk株式会社 | 磁畴壁移动元件及磁存储阵列 |
US11823723B2 (en) | 2021-11-22 | 2023-11-21 | International Business Machines Corporation | Memory device with spin-harvesting structure |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8686520B2 (en) * | 2009-05-29 | 2014-04-01 | International Business Machines Corporation | Spin-torque magnetoresistive structures |
FR2963153B1 (fr) | 2010-07-26 | 2013-04-26 | Centre Nat Rech Scient | Element magnetique inscriptible |
CN103890855B (zh) | 2011-08-18 | 2016-09-21 | 康奈尔大学 | 自旋霍尔效应磁性设备、方法及应用 |
US9391262B1 (en) | 2013-12-23 | 2016-07-12 | Intel Corporation | Nanomagnetic devices switched with a spin hall effect |
JP6168578B2 (ja) | 2014-08-08 | 2017-07-26 | 国立大学法人東北大学 | 磁気抵抗効果素子、及び磁気メモリ装置 |
JP6778866B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2020-11-04 | 国立大学法人東北大学 | 磁気抵抗効果素子、磁気メモリ装置、製造方法、動作方法、及び集積回路 |
US9830966B2 (en) * | 2015-10-29 | 2017-11-28 | Western Digital Technologies, Inc. | Three terminal SOT memory cell with anomalous Hall effect |
US10510948B2 (en) * | 2015-11-27 | 2019-12-17 | Tdk Corporation | Magnetoresistive effect element, magnetic memory, magnetization rotation method, and spin current magnetization rotational element |
WO2017212895A1 (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 国立大学法人東北大学 | 磁気トンネル接合素子および磁気メモリ |
JP6926666B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2021-08-25 | Tdk株式会社 | スピン流磁化反転素子 |
US10229723B1 (en) * | 2017-09-12 | 2019-03-12 | Sandisk Technologies Llc | Spin orbit torque magnetoresistive random access memory containing composite spin hall effect layer including beta phase tungsten |
-
2019
- 2019-01-09 WO PCT/JP2019/000312 patent/WO2019139025A1/ja active Application Filing
- 2019-01-09 JP JP2019564711A patent/JP6743986B2/ja active Active
- 2019-01-09 CN CN201980003599.5A patent/CN110914974B/zh active Active
- 2019-01-09 US US16/625,449 patent/US11195992B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110914974B (zh) | 2023-07-18 |
US20210151665A1 (en) | 2021-05-20 |
JPWO2019139025A1 (ja) | 2020-06-11 |
WO2019139025A1 (ja) | 2019-07-18 |
US11195992B2 (en) | 2021-12-07 |
CN110914974A (zh) | 2020-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6743986B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
US10762941B2 (en) | Spin-orbit torque magnetization rotating element, spin-orbit torque magnetoresistance effect element, and magnetic memory | |
US11624790B2 (en) | Spin element and magnetic memory | |
JP6642773B2 (ja) | スピン流磁化反転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、及びスピン流磁化反転素子の製造方法 | |
US11391794B2 (en) | Spin-orbit-torque magnetization rotational element, spin-orbit-torque type magnetoresistance effect element, and magnetic memory | |
JP7211252B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP6686990B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁化反転素子及び磁気メモリ | |
JP6555404B1 (ja) | 磁壁移動型磁気記録素子及び磁気記録アレイ | |
JP6462960B1 (ja) | データの書き込み方法及び磁気メモリ | |
JP2019149403A (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 | |
JP2019161176A (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及び発振器 | |
JP6690805B1 (ja) | スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP6696635B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP7095490B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
WO2020230877A1 (ja) | 磁壁移動素子、磁気記録アレイ及び半導体装置 | |
JP6485588B1 (ja) | データの書き込み方法 | |
US11925123B2 (en) | Spin-orbit torque type magnetization rotational element, spin-orbit torque type magnetoresistance effect element, and magnetic memory | |
JP2020053509A (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP7346967B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200228 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200228 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6743986 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |