JP6740353B2 - 磁気浮上システム、磁気浮上システム用のキャリア、及び、磁気浮上システムを動作させる方法 - Google Patents

Description

［０００１］本開示の実施形態は、キャリアを非接触で保持し、位置付け、かつ／又は搬送するよう構成された、磁気浮上システムに関する。更なる実施形態は、磁気浮上システム用のキャリア、並びに、磁気浮上システムを動作させる方法に関する。より具体的には、真空システムを通してキャリアを非接触搬送するよう構成されている磁気浮上システムについて説明しており、キャリアは、特に実質的に垂直な向きで、基板などの物体を運びうる。

［０００２］磁気浮上システムは、例えば準常圧のもとで、基部構造体に対してキャリアを非接触搬送するために利用されうる。キャリアによって運ばれる基板などの物体は、真空システム内の第１位置（すなわちローディング位置）から真空システム内の第２位置（例えば堆積位置）へと、搬送されうる。磁気浮上システムにより、非接触の、したがって摩擦のないキャリア搬送が可能になり、かつ、真空処理システム内での小粒子の発生が低減しうる。

［０００３］磁気浮上システムは、典型的には、磁力を介して、所定の距離を保って、基部構造体のところでキャリアを保持するよう構成された、一又は複数の能動的に制御される磁気軸受を含む。キャリアがキャリアの固有振動数のうちの１つで振動する場合、キャリア位置の能動制御には問題が起こりうる。詳細には、特定の条件のもとでは、磁気浮上システムの能動磁気軸受による能動制御がキャリアの固有振動を増幅させることがあり、このことが、キャリアの共振励起をもたらしうる。

［０００４］キャリア振動を低減するためには、能動磁気軸受の複雑な制御アルゴリズムが使用されうる。しかし、磁気浮上システムのキャリアの揺動を低減又は回避することは困難でありうる。なぜなら特に、キャリアの揺動挙動はキャリア及びキャリアによって運ばれる物体のサイズ、形状、及び材料に依存しうるからである。キャリアの揺動は、キャリアの搬送安定性及び位置付け精度に悪影響を与えうる。

［０００５］したがって、磁気浮上システムのキャリアの搬送及び位置付けの精度を向上させれば、それは有益であろう。更に、磁気浮上システムの基部構造体のところで精密かつ正確に搬送され、保持されるよう適合した、磁気浮上システム用のキャリアを提供すれば、それも有益であろう。

［０００６］上記を踏まえて、磁気浮上システム、磁気浮上システム用のキャリア、及び、磁気浮上システムを動作させる方法と、提供される。

［０００７］本開示の一態様により、磁気浮上システムが提供される。この磁気浮上システムは、基部構造体と、基部構造体に対して移動可能なキャリアと、基部構造体のところでキャリアを非接触保持するよう構成された、少なくとも１つの能動磁気軸受とを含み、キャリアは、基部構造体と相互作用するよう構成された第１キャリア部、及び、物体を運ぶよう構成された第２キャリア部を含み、第１キャリア部と第２キャリア部とは、可撓接続部を介して互いに接続される。

［０００８］本開示の更なる態様により、磁気浮上システム用のキャリアが提供される。このキャリアは、キャリアを非接触で保持し、位置付け、かつ／又は搬送するよう構成されている磁気浮上システムの基部構造体と相互作用するよう構成された、第１キャリア部、及び、物体を運ぶよう構成された第２キャリア部を含み、第１キャリア部と第２キャリア部とは、可撓性接続部を介して互いに接続される。

［０００９］本開示の更なる態様により、真空システムが提供される。この真空システムは、真空チャンバと、真空チャンバ内に配置された堆積源と、本書に記載の実施形態のいずれかによる、磁気浮上システムとを含む。磁気浮上システムはキャリアを非接触搬送するよう構成され、キャリアは、真空チャンバの堆積エリア内へと、コーティングされるべき物体を運ぶ。

［００１０］本開示の更なる態様により、磁気浮上システムを動作させる方法が提供される。この方法は、可撓接続部を介して互いに接続された第１キャリア部と第２キャリア部とを含む、キャリアを提供することと、第２キャリア部に、運ばれるべき物体を配置することと、少なくとも１つの能動磁気軸受を用いて、基部構造体のところでキャリアを非接触保持することとを含み、第１キャリア部は基部構造体と磁気的に相互作用する。

［００１１］本開示の更なる態様、利点、及び特徴が、本明細書及び添付図面から明らかになる。

［００１２］本開示の上述の特徴を詳しく理解しうるように、上記で簡潔に要約した本開示のより詳細な説明が、実施形態を参照することによって得られる。添付図面は、本開示の実施形態に関するものであり、それらについて以下で説明する。図面には典型的な実施形態が示されており、その詳細については以下で説明する。

［００１３］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムの概略断面図である。 ［００１４］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムの概略断面図である。 ［００１５］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムの概略断面図である。 ［００１６］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムの概略断面図である。 ［００１７］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム用のキャリアの概略正面図である。 ［００１８］図５Ａのキャリアの上部の概略斜視図である。 ［００１９］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム用のキャリアの上部の概略断面図である。 ［００２０］本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムを動作させる方法を示すフロー図である。

［００２１］様々な実施形態をこれより詳しく参照し、それらの一又は複数の例を図に示す。各例は、説明として提示されており、限定を意味するものではない。例えば、一実施形態の一部として図示又は説明されている特徴は、他の任意の実施形態に使用されるか、又は他の任意の実施形態と併せて使用されて、また更なる実施形態を生み出すことが可能である。本開示はかかる改変例及び変形例を含むことが、意図されている。

［００２２］図面についての以下の説明においては、同じ参照番号が同じ又は類似の構成要素を表す。概括的に、個々の実施形態に関して相違点のみを説明する。別段の指定がない限り、一実施形態における一部分又は一態様の説明は、別の実施形態における、対応する部分又は態様にも同様に当てはまる。

［００２３］図１は、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム１００の概略断面図である。磁気浮上システム１００は、基部構造体１１０と、基部構造体１１０のところで非接触保持され、かつ基部構造体１１０に対して移動可能な、キャリア１２０とを含む。基部構造体１１０は、一又は複数の静止型の軌道又はレールを含んでよく、この軌道又はレールには、磁気浮上システムの能動的に制御される磁気ユニットが設けられうる。

［００２４］図１に示す実施形態では、基部構造体１１０は、キャリア１２０の上方に配置されている上部レールを含み、キャリア１２０はこの上部レールの下方に保持されている。代替的又は追加的には、基部構造体１１０は、キャリアの下方に配置された底部レールを含んでよく、キャリアが底部レールの上方に保持される。代替的又は追加的には、基部構造体１１０は、キャリア１２０の一方の側部又は対向する２つの側部に配置された、少なくとも１つの側部レールを含みうる。

［００２５］磁気浮上システム１００は、基部構造体１１０のところでキャリア１２０を非接触保持するよう構成された、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２を含む。複数の能動磁気軸受が設けられうる。少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、キャリアが基部構造体から所定の距離を保って非接触保持されるように、基部構造体１１０とキャリア１２０との間に作用する、磁力を発生させるよう構成されうる。一部の実施形態では、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、第１方向において上部レールとキャリアとの間の距離が実質的に一定に維持されうるように、（典型的には、実質的に垂直な方向である）第１方向Ｖに作用する、磁力を発生させるよう構成される。

［００２６］一部の実施形態では、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、基部構造体１１０に（特に基部構造体１１０の上部レールに）配置されている、アクチュエータ１１３を含む。アクチュエータ１１３は、電磁石などの制御可能な磁石を含みうる。アクチュエータ１１３は、基部構造体１１０とキャリア１２０との間に所定の距離を維持するよう、能動的に制御可能でありうる。対応磁気部品１１８が、キャリア１２０に（特にキャリアのヘッド部に）配置されうる。キャリアの対応磁気部品１１８は、基部構造体のアクチュエータ１１３と磁気的に相互作用しうる。

［００２７］例えば、アクチュエータ１１３に印加される電流などの出力パラメータは、キャリアと基部構造体との間の距離といった入力パラメータに応じて制御されうる。詳細には、基部構造体１１０の上部レールとキャリア１２０との間の距離は距離センサによって測定されてよく、アクチュエータ１１３の磁界強度が、測定された距離に応じて設定されうる。詳細には、磁界強度は、距離が所定の閾値を上回る場合には増大し、距離がこの閾値を下回る場合には低減しうる。アクチュエータ１１３は、閉ループ制御又はフィードバック制御で制御されうる。

［００２８］キャリア１２０のサイズ、形状、及び材料に応じて、いわゆる「固有モード（ｅｉｇｅｎｍｏｄｅ）」、すなわちキャリアの固有振動が、能動磁気軸受によるキャリア位置の安定的かつ強固な制御を阻害しうる。キャリアの固有振動数（ｅｉｇｅｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）での励振振幅は、そもそも非常に小さいものであるが、キャリアの大きな共振振動をもたらしうる。振動は、固有振動数の振動数範囲に応じて、能動磁気軸受によって更に増幅されうる。能動磁気軸受の複雑な制御アルゴリズム、及び／又は特定形状のキャリアが、磁気浮上中のキャリアの固有振動を減少させるために利用されうる。

［００２９］ただし、上記の測定は、キャリアの正確な非接触位置付け及び安定的な搬送を可能にするのに十分ではない、又は適さないことがある。本書に記載の実施形態は、磁気浮上システムのキャリアの搬送安定性及び位置付け精度を向上させることを意図するものである。

［００３０］本書に記載の実施形態により、キャリア１２０は、可撓接続部１２５を介して互いに機械的に接続されている、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを含む。ゆえに、好適な可撓性、弾性、復原力、質量、材料特性、及び更なる特性を伴う可撓接続部を使用することによって、キャリアの揺動特性が適宜改変されうる。

［００３１］第１キャリア部１２１は、基部構造体１１０と磁気的に相互作用するよう構成されうる。例えば、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２が、第１キャリア部１２１と基部構造体１１０との間に作用しうる。詳細には、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２のアクチュエータ１１３と磁気的に相互作用する対応磁気部品１１８が、第１キャリア部１２１に設けられうる。代替的又は追加的には、磁気浮上システムの能動磁気ユニットは、第１キャリア部に組み込まれうる。

［００３２］第２キャリア部１２２は、物体１０を運ぶよう構成される。詳細には、第２キャリア部１２２は、キャリアによって運ばれるべき物体１０を保持する、保持部分１１を含みうる。第２キャリア部１２２は、保持部分１１に物体１０を保持するよう構成された、装着デバイスを更に含みうる。

［００３３］詳細には、第１キャリア部１２１は、磁気浮上システムの磁気構成要素（例えば、能動的及び／又は受動的な磁気ユニットの部品）を含んでよく、第２キャリア部１２２は、物体１０を保持するためのホルダとして構成されうる。例えば、第２キャリア部１２２は、コーティングされるべき基板を保持するための保持面を有する、プレート構成要素を含みうる。したがって、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを設けることにより、基部構造体と相互作用する構成要素と、キャリアに物体を保持するための構成要素とが、機能的及び空間的に、互いから隔てられうる。

［００３４］第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、可撓接続部１２５によって互いに接続される。可撓接続部１２５により、キャリア１２０の揺動挙動が改変され、かつ、キャリアの固有振動に関して制振効果がもたらされる。第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、可撓接続部１２５を介して、互いに対して揺動しうる。第２キャリア部１２２は、可撓接続部１２５を介して、第１キャリア部１２１に対して動きうるので、共振振動数におけるキャリアの振動ピークは減衰される。

［００３５］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５は可撓性材料（特に弾性材料１２６）を含む。弾性材料の弾性は、制振されるべきキャリアの固有振動数及び固有モードに応じて選択されうる。

［００３６］一部の実行形態では、弾性材料１２６は、ゴム、ビトン、及び／又は、別の弾性密封材料を含む。一部の実施形態では、弾性材料１２６は絶縁体材料である。ビトンを含む弾性材料１２６が、真空応用に特に適している。前記材料は、弾性であり、優れた制振特性をもたらす。したがって、キャリアの振動が効果的に制振されうる。

［００３７］図１の実施形態では、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とが、第１方向Ｖにおいて、互いに対して移動又は揺動しうるように、弾性材料１２６が第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に配置されている。この実施形態では、弾性材料１２６は、部分的又は全体的に、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間の間隙を埋めうる。第１方向Ｖは、少なくとも１つの能動磁気軸受１２２がキャリア１２０と基部構造体１１０との間の距離を制御する方向と、一致しうる。詳細には、第１方向Ｖは実質的に垂直な方向でありうる。

［００３８］詳細には、一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第１方向Ｖに弾性変形可能であり、この第１方向は、実質的に、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２が基部構造体１１０とキャリア１２０との間の距離を制御する方向と一致する。ゆえに、キャリアの振動（少なくとも１つの能動磁気軸受１２２もこれに倣いうる）が、特に効果的な様態で、可撓接続部１２５を介して制振される。

［００３９］一部の実行形態では、第１キャリア部１２１及び第２キャリア部１２２は、主に金属構成要素であってよく、弾性材料１２６は非金属材料（特にアイソレータ材料）でありうる。したがって、弾性材料を介して第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを接続することにより、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、熱的及び／又は電気的に互いから分離されうる。

［００４０］可撓接続部１２５は、第２キャリア部１２２から第１キャリア部１２１を熱的及び／又は電気的に分離しうる。詳細には、可撓接続部は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に、電気的分離部及び／又は熱バリアを形成しうる。したがって、第１キャリア部１２１に組み込まれた構成要素から第２キャリア部１２２によって保持された物体１０に向かう熱伝達が、低減しうるか又は回避されうる。更に、第２キャリア部１２２から第１キャリア部１２１に向かう熱伝達も、低減しうるか又は回避されうる。したがって、第１キャリア部１２１に組み込まれうる繊細な電子部品及び／又は永久磁石が、例えば物体１０へのコーティング材の堆積中に発生しうる熱から保護されうる。

［００４１］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、第１キャリア部１２１は、キャリア１２０が基部構造体１１０のところで非接触保持されている時に、部分的又は全体的に、第２キャリア部１２２の上方に配置される、キャリアヘッドである。詳細には、第１キャリア部１２１は基部構造体の上部レールの下方に非接触保持されてよく、第２キャリア部１２２は、第１キャリア部１２１の下方に配置され、かつ、可撓接続部１２５によって第１キャリア部１２１に機械的に接続されうる。

［００４２］キャリア１２０は実質的に垂直な方向に延在してよく、第１キャリア部１２１は、第２キャリア部１２２の上方に配置される。第２キャリア部１２２は、物体１０（例えば基板やマスク）を実質的に垂直な向きで保持するための、実質的に垂直に配向された保持部分１１を含みうる。

［００４３］図１に概略的に示しているように、キャリア１２０は、実質的に垂直な向きで第２キャリア部１２２の保持部分１１に基板を保持するよう構成された、基板キャリアでありうる。あるいは、キャリア１２０は、異なる物体（例えばマスクやシールド）を運ぶよう構成されうる。

［００４４］本書における「基板キャリア（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｃａｒｒｉｅｒ）」は、真空チャンバ内の基板搬送経路に沿って基板を運ぶよう構成された、キャリアに関する。基板キャリアは、基板上にコーティング材を堆積している間、基板を支持しうる。一部の実施形態では、基板は、例えば搬送中及び／又は堆積中に、非水平の向きで（特に実質的に垂直な向きで）基板キャリアに保持されうる。

［００４５］基板は、真空チャンバを通る搬送中、真空チャンバ内での（例えばマスクに対する）基板の位置付け中、及び／又は、基板上へのコーティング材の堆積中に、第２キャリア部の保持面に保持されうる。詳細には、基板は、装着デバイス（例えば、静電チャックや磁気チャックを含む）によって、第２キャリア部に保持されうる。

［００４６］本書における「マスクキャリア（ｍａｓｋ ｃａｒｒｉｅｒ）」は、真空チャンバ内の基板搬送経路に沿ってマスクを搬送するためにマスクを運ぶよう構成された、キャリアに関する。マスクキャリアは、搬送中、基板に対する位置合わせ中、及び／又は、基板への堆積中に、マスクを保有しうる。一部の実施形態では、マスクは、搬送中及び／又は堆積中に、非水平の向きで（特に実質的に垂直な向きで）マスクキャリアに保持されうる。マスクは、装着デバイス（例えば、クランプ、静電チャック、又は磁気チャックなどの機械的マウント）によって、マスクキャリアの第２キャリア部に保持されうる。キャリアに接続されうるか、又はキャリアに組み込まれうる他の種類の装着デバイスも、使用されうる。

［００４７］マスクキャリアの第２部分は、開口を有するプレート体を含んでよく、マスクは、マスクが開口を覆うように開口の周縁エッジに保持されうる。したがって、コーティング材は、マスクを通って基板に向かうように導かれうる。マスクは、エッジ除外マスク又はシャドウマスクでありうる。エッジ除外マスクは、基板のコーティング中に材料が基板の一又は複数のエッジ領域に堆積しないように、かかる一又は複数のエッジ領域をマスキングするよう構成されている、マスクである。シャドウマスクは、基板に堆積されるべき複数のフィーチャをマスキングするよう構成されたマスクである。例えば、シャドウマスクは、複数の小開口（例えば小開口のグリッド）を含みうる。

［００４８］本書における「実質的に垂直な向き（ｅｓｓｅｎｔｉａｌｌｙ ｖｅｒｔｉｃａｌ ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）」は、重力ベクトルと第２キャリア部の保持面との間の角度が２０°以下、詳細には１０°以下、より詳細には５°以下である、第２キャリア部１２２の向きであると、理解されうる。したがって、基板又は別の物体は、実質的に垂直な向きで保持面に保持されうる。

［００４９］第１方向Ｖは必ずしも、実質的に垂直な方向であるわけではないことに、留意されたい。例えば、一部の実施形態では、第１方向は、非垂直方向（例えば実質的に水平な方向）でありうる。詳細には、基部構造体は、キャリアが実質的に水平な向きにある状態で、キャリアを保持し、位置付け、かつ／又は搬送するよう、構成されうる。第２キャリア部は、物体が実質的に水平な向きで第２キャリア部に保持されうるように、実質的に水平な保持面を含みうる。キャリアが基部構造体のところで実質的に水平な向きで保持されている場合、可撓接続部は水平方向に弾性変形可能であってよく、少なくとも１つの能動磁気軸受は、前記水平方向における基部構造体とキャリアとの間の距離を制御しうる。

［００５０］図２は、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム２００の概略断面図である。磁気浮上システム２００は、図１に示す磁気浮上システム１００の特徴を含むことがあるため、上記の説明を参照することが可能であり、かかる説明をここでは繰り返さない。

［００５１］磁気浮上システム２００は、上部レールの下方にキャリア１２０を非接触保持するよう構成された静止型の上部レールを含む、基部構造体１１０を含む。制御可能なアクチュエータ１１３有する少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、キャリア１２０と基部構造体１１０との間に誘引磁力をもたらす。

［００５２］キャリア１２０は、磁気浮上システムの磁気構成要素を保有しうる第１キャリア部１２１と、物体１０を運ぶための保持デバイスとして構成されうる第２キャリア部１２２とを含む。第１キャリア部１２１は、第２キャリア部１２２の上方に配置されたキャリアヘッドとして構成されうる。第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、可撓接続部を介して接続される。

［００５３］第２キャリア部１２２は、保持部分１１と、保持部分１１に物体１０を保持するよう構成された装着デバイス１５とを含みうる。装着デバイス１５は、機械的マウント（例えば、クランプ、及び／又は、静電チャック若しくは磁気チャック）を含みうる。例えば、静電チャックが、第２キャリア部１２２の本体に組み込まれうる。静電チャックは、物体の表面及び／又は保持部分１１の表面に誘起されうる静電力によって、保持部分１１に物体１０を保持しうる。静電チャックに電力供給するための電圧源（バッテリなど）が、第２キャリア部１２２に配置されうる。例えば、電圧源は、第２キャリア部１２２に、又は第２キャリア部１２２内に設けられた常雰囲気筐体の中に収納されうる。

［００５４］一部の実行形態では、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２の対応磁気部品１１８が、第１キャリア部１２１に固定されうる。対応磁気部品１１８は、キャリア１２０の上方の基部構造体１１０に配置されているアクチュエータ１１３と磁気的に相互作用しうる。

［００５５］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、第１方向Ｖを横切る（特に第１方向Ｖに垂直な）第２方向Ｓにおけるキャリアの側方安定化を提供するために、少なくとも１つの更なる磁気デバイス２２０が設けられうる。第２方向Ｓは、実質的に水平な方向（特にキャリア１２０の厚さ方向）と一致しうる。少なくとも１つの更なる磁気デバイス２２０は、第１キャリア部１２１に固定された、少なくとも１つの磁気構成要素を含みうる。

［００５６］少なくとも１つの更なる磁気デバイス２２０は、受動的磁気安定化デバイスでありうる。詳細には、少なくとも１つの更なる磁気デバイス２２０は、キャリアに固定された第１の複数の永久磁石２１８と、基部構造体に固定された第２の複数の永久磁石２１９とを含みうる。第１の複数の永久磁石２１８と第２の複数の永久磁石２１９との間の磁力により、第２方向Ｓにおける所定の位置へと（例えば、側部ガイドレールから所定の距離を保った位置、又は、２つの側部ガイドレールの間の中心位置へと）、キャリアが付勢されうる。

［００５７］図２に示す実施形態では、更なる磁気デバイス２２０が、第１キャリア部１２１の両側の２つの側部ガイドレールと第１キャリア部１２１に固定された永久磁石との間に反発磁力をもたらす。したがって、第１キャリア部１２１は、側部ガイドレール間の中心位置において、非接触保持されうる。あるいは、図３に概略的に示しているように、キャリアの一方の側に、下部側方安定化デバイス及び／又は上部側方安定化デバイスが設けられうる。

［００５８］第２キャリア部１２２は、可撓接続部１２５を介して、第１キャリア部１２１の下方に保持されうる。詳細には、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に間隙１２４が設けられてよく、可撓接続部は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部との間の間隙１２４をブリッジすることによって、これらのキャリア部を機械的に接続しうる。間隙１２４は、第１方向Ｖに（すなわち、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２の制御方向に）延在しうる。第１キャリア部と第２キャリア部とが互いに対して弾性的に移動可能になるので、キャリアの振動ピークが減衰されうる。

［００５９］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間の間隙１２４をブリッジする、ブリッジ構成要素１３０を含む。ブリッジ構成要素１３０は、剛性材料（特に金属などの非弾性材料）を含みうる。詳細には、ブリッジ構成要素１３０は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２の両方に接続されたプレート構成要素（アダプタプレートなど）として、構成されうる。

［００６０］第１弾性構成要素１３１はブリッジ構成要素１３０と第１キャリア部１２１との間で作用してよく、かつ／又は、第２弾性構成要素１３２はブリッジ構成要素１３０と第２キャリア部１２２との間で作用しうる。第１弾性構成要素１３１及び第２弾性構成要素１３２は、弾性変形可能な材料（ビトンなど）で作られうる。

［００６１］可撓接続部１２５により、第１方向Ｖにおけるキャリア１２０の弾性変形が可能になりうる。詳細には、第１方向Ｖにおけるキャリア１２０の振動が、第１弾性構成要素１３１及び／又は第２弾性構成要素１３２に作用するせん断力をもたらしうる。弾性構成要素の弾性により、第１キャリア部１２１及び第２キャリア部１２２に対してブリッジ構成要素１３０が若干動くことが可能になりうる。振動ピークは、特に効果的な様態で減衰されうる。

［００６２］図３は、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム３００の概略断面図である。磁気浮上システム３００は、図１に示す磁気浮上システム１００、及び／又は図２に示す磁気浮上システム２００の特徴を含むことがあるため、上記の説明を参照することが可能であり、かかる説明をここでは繰り返さない。

［００６３］磁気浮上システム３００は、上部レールの下方にキャリア１２０を非接触保持するよう構成された上部レールを含む、基部構造体１１０を含む。少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、キャリア１２０と基部構造体１１０との間に誘引磁力をもたらし、この誘引磁力は、第１方向Ｖに（特に実質的に垂直な方向に）作用しうる。

［００６４］キャリア１２０は、磁気浮上システムの磁気構成要素を保有しうる第１キャリア部１２１と、物体１０を運ぶための保持デバイスとして構成される第２キャリア部１２２とを含む。第１キャリア部１２１は、第２キャリア部１２２の上方に配置されたキャリアヘッドとして構成されうる。第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、可撓接続部を介して接続される。

［００６５］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、更なる可撓接続部１２８を介して第２キャリア部に接続されうる、第３キャリア部１２３が設けられうる。一部の実行形態では、第３キャリア部１２３は第２キャリア部１２２の下方に配置される。更なる可撓接続部１２８は、本書に記載の可撓接続部のいずれかと同様の又は全く同じ様態で、構成されうる。他の実施形態では、対応する可撓接続部を介して第２キャリア部に接続された、また更なるキャリア部も設けられうる。

［００６６］第３キャリア部１２３は、磁気浮上システムの磁気構成要素を保有しうる。例えば、側方安定化デバイス３２０の、少なくとも１つの能動的又は受動的な磁気構成要素が、第３キャリア部１２３に固定されうる。

［００６７］代替的又は追加的には、キャリア搬送経路に沿ってキャリアを非接触搬送するよう構成された駆動ユニット３３０の少なくとも１つの磁気構成要素が、第３キャリア部１２３に固定されうる。駆動ユニット３３０は線形モータを含みうる。

［００６８］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５は第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４とを含む。第１ブリッジ構成要素１３３は、第１キャリア部と第２キャリア部とを、これらのキャリア部の第１の側で接続してよく、第２ブリッジ構成要素１３４は、第１キャリア部と第２キャリア部とを、第１の側の反対側の、これらのキャリア部の第２の側で接続しうる。詳細には、第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４とは、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に設けられている間隙１２４の両側に配置されうる。

［００６９］第１弾性構成要素１３１は、第１キャリア部１２１と第１ブリッジ構成要素との間、及び／又は、第１キャリア部１２１と第２ブリッジ構成要素との間で、作用しうる。第２弾性構成要素は、第２キャリア部１２２と第１ブリッジ構成要素との間、及び／又は、第２キャリア部１２２と第２ブリッジ構成要素との間で、作用しうる。第１弾性構成要素１３１及び第２弾性構成要素１３２は、弾性変形可能な材料（ビトンなど）で作られうる。

［００７０］第１と第２の弾性構成要素は、第１と第２のキャリア部に取り付けられた、弾性材料のストリップとして構成されうる。

［００７１］第１と第２のブリッジ構成要素は、剛性材料（特に金属などの非弾性材料）を含みうる。詳細には、第１と第２のブリッジ構成要素は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２の両方にそれぞれ接続された、非弾性のアダプタプレートとして構成されうる。第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４がそれぞれ、キャリアの両側に配置され、かつ、第１方向Ｖにおいて第１キャリア部と第２キャリア部の両方と重複する場合、水平曲がり軸の周囲でのキャリア１２０の曲がりは阻害されるか、又は防止されうる。ゆえに、曲げに対して抵抗力を有するが、それと同時に、第１方向Ｖにおいて可撓性である、安定的なキャリアが提供されうる。

［００７２］第１方向Ｖにおけるキャリア１２０の振動は、第１弾性構成要素１３１及び／又は第２弾性構成要素１３２にせん断ひずみをもたらしうる。弾性構成要素の弾性偏向による、第１キャリア部と第２キャリア部との相対運動は、キャリアの振動ピークを減衰させることが可能であり、曲げに対して抵抗力を有する安定的なキャリアが提供されうる。

［００７３］図４は、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム４００の概略断面図である。磁気浮上システム４００は、前述の磁気浮上システムのいずれかの特徴を含むことがあるため、上記の説明を参照することが可能であり、かかる説明をここでは繰り返さない。

［００７４］磁気浮上システム４００は、可撓接続部１２５を介して互いに接続された第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを有する、キャリア１２０を含み、この可撓接続部１２５は、図３に示す磁気浮上システム３００の可撓接続部に類似している。

［００７５］詳細には、間隙１２４が、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に、第１方向Ｖに設けられる。第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを互いに接続するブリッジ構成要素が、間隙１２４の対向する２つの側部に設けられる。ブリッジ構成要素はそれぞれ、剛性材料で作られたアダプタプレートでありうる。弾性構成要素が、第１方向Ｖにおける接続部の可撓性を提供するために、ブリッジ構成要素とキャリア部との間に設けられうる。

［００７６］図４に概略的に示しているように、第１ブリッジ構成要素１３３はキャリア部の第１の側に設けられてよく、第２ブリッジ構成要素１３４は、第１の側の反対側の、キャリア部の第２の側に設けられうる。第１弾性構成要素１３１は、第１キャリア部１２１と第１ブリッジ構成要素１３３との間、及び／又は、第１キャリア部１２１と第２ブリッジ構成要素１３４との間に、配置されうる。第２弾性構成要素１３２は、第２キャリア部１２２と第１ブリッジ構成要素１３３との間、及び／又は、第２キャリア部１２２と第２ブリッジ構成要素１３４との間に、配置されうる。したがって、ブリッジ構成要素は、弾性構成要素がせん断力によって弾性変形すると、第１方向Ｖにおいて、第１キャリア部１２１及び／又は第２キャリア部１２２に対して若干動きうる。

［００７７］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５はクランプ接続でありうる。詳細には、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、第１と第２のキャリア部の両側に配置されている第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４との間に、クランプされうる。第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４とを、両側から第１と第２のキャリア部に向けて押圧することによって、第２キャリア部１２２は、第１と第２のブリッジ構成要素によってもたらされるクランプ力によって、第１キャリア部１２１の下方に保持されうる。

［００７８］一部の実行形態では、第１ブリッジ構成要素１３３と第２ブリッジ構成要素１３４とを両側から第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２に向けて押圧するために、接続要素が設けられうる。例えば、接続要素は、ねじ、ボルト、ピン、ロッド、又は類似の要素のうちの、少なくとも１つを含みうる。

［００７９］図４に示す例示的な実施形態では、接続要素は、第１キャリア部１２１及び第２キャリア部１２２に設けられている開口を通って、第１ブリッジ構成要素１３３から第２ブリッジ構成要素１３４まで延在している。代替的又は追加的には、図４に点線で示しているように、少なくとも１つの接続要素が、第１キャリア部と第２キャリア部との間の間隙１２４を通って延在しうる。

［００８０］第１弾性構成要素１３１及び／又は第２弾性構成要素１３２は、接続要素が貫通する弾性リングとして構成されうる。第１弾性構成要素１３１は、第１キャリア部に設けられている開口と位置が合うように、第１キャリア部１２１の両側の表面上に載置されうる。第２弾性構成要素１３２は、第２キャリア部に設けられている開口と位置が合うように、第２キャリア部１２２の両側の表面上に載置されうる。あるいは、第１弾性構成要素１３１及び第２弾性構成要素１３２は、第１と第２のキャリア部の側面に設けられる、弾性材料のストリップとして構成されうる。

［００８１］第１と第２のブリッジ構成要素がそれぞれ、キャリア部の両方の側に配置され、かつ、第１方向Ｖにおいて第１キャリア部と第２キャリア部の両方と重複する場合、水平曲がり軸の周囲でのキャリア１２０の曲がりは防止されうる。ゆえに、曲げに対して抵抗力を有するが、それと同時に、第１方向Ｖにおいて可撓性である、安定的なキャリアが提供されうる。

［００８２］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、キャリア搬送経路に沿ってキャリア１２０を非接触移動させるよう構成された駆動ユニット３３０が設けられうる。駆動ユニット３３０は、例えば、図４の紙面の平面に対して垂直な第３方向に、キャリアを非接触搬送するよう構成されうる。駆動ユニット３３０は、キャリアに作用する磁力によってキャリアを搬送しうる。例えば、駆動ユニット３３０は線形モータを含みうる。駆動ユニット３３０は、キャリアに設けられた対応磁気部品と磁気的に相互作用しうる。対応磁気部品は、永久磁石の一又は複数のアレイを含みうる。

［００８３］一部の実施形態では、駆動ユニット３３０は、キャリアの下方に配置される基部構造体１１０の底部レールに設けられうる。図４の実施形態では、基部構造体１１０の上部レールは、基部構造体１１０のところでキャリアを非接触保持するための保持力の少なくとも一部を提供する、能動磁気軸受を含み、基部構造体１１０の底部レールは、キャリアを搬送するよう構成された駆動ユニット３３０を含む。他の実施形態では、駆動ユニット３３０の位置及び／又は能動磁気軸受の位置は、交換されうるか、又は別様に変更されうる。

［００８４］図５Ａは、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システム用のキャリア５２０の概略正面図である。図５Ｂは、図５Ａのキャリア５２０の上部の概略斜視図であり、キャリア５２０の部分的な断面も示している。キャリア５２０は、前述の実施形態の特徴を含んでよく、かかる特徴について、ここでは繰り返さない。

［００８５］キャリア５２０は、本書に記載の実施形態のいずれかの基部構造体のところで、非接触保持されうる。例えば、キャリア５２０は、キャリア５２０が基部構造体から所定の距離を保って保持され、搬送されうるように、能動磁気軸受の制御可能なアクチュエータと磁気的に相互作用するよう構成された、対応磁気部品１１８を含む。

［００８６］キャリア５２０は、可撓接続部１２５を介して互いに接続されている、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを含む。可撓接続部１２５は、弾性材料１２６（ビトンなど）で作られた弾性構成要素を含みうる。第２キャリア部１２２は、基板などの物体を運ぶよう構成された、保持部分１１を含む。

［００８７］図５Ａ及び図５Ｂに概略的に示しているように、第１方向Ｖに延在する間隙１２４が、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に設けられうる。可撓接続部１２５は、第１方向Ｖにおいて、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に可撓性を提供する。

［００８８］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、第２キャリア部は、１ｍ²以上、詳細には５ｍ²以上、より詳細には１０ｍ²以上のサイズを有する物体を運ぶよう、構成されうる。例えば、第２キャリア部１２２は、ディスプレイ製造のための大面積基板を運ぶよう構成されうる。したがって、第２キャリア部は、１ｍ²以上、詳細には５ｍ²以上、より詳細には１０ｍ²以上の面積を有する保持面を提供しうる。大型のキャリアは、多数の臨界固有モードを有することが多い。可撓接続部を介して互いに接続されている２つ以上の部分にキャリアを分離することで、キャリアの固有振動数におけるキャリアの揺動が著しく制振されうる。

［００８９］可撓接続部１２５は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とにそれぞれ接続された複数のブリッジ構成要素１３０を含んでよく、弾性材料１２６が、ブリッジ構成要素１３０と第１及び第２のキャリア部との間に設けられる。ブリッジ構成要素１３０は、第１及び第２のキャリア部の両側に、第１及び第２のキャリア部に実質的に平行に延在する、プレートとして構成されうる。各プレートは、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２の両方と重複しうる。したがって、可撓接続部１２５の周囲でのキャリアの曲がりが防止されうる一方で、第１方向Ｖにおける第１キャリア部と第２キャリア部との相対運動は可能でありうる。一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第１及び第２のキャリア部の両側に配置された、３つ、５つ、又はそれ以上の数のブリッジ構成要素を含む。例えば、可撓接続部は、キャリアの幅方向に互いに隣り合って設けられた、３つ以上のブリッジ構成要素を含みうる。

［００９０］ブリッジ構成要素１３０と第１及び第２のキャリアとの間にそれぞれ、弾性材料が設けられる。例えば、複数の弾性リング又は他の弾性構成要素が、各ブリッジ構成要素１３０と第１キャリア部１２１との間に設けられてよく、複数の弾性リング又は他の弾性構成要素が、各ブリッジ構成要素と第２キャリア部１２２との間に設けられうる。図５Ａでは、ブリッジ構成要素と第１及び第２のキャリア部との間で作用しうる複数の弾性構成要素を示すために、ブリッジ構成要素のうちの１つは省略されている。弾性リングとして構成された弾性構成要素が、図５Ｂの断面図に示されている。

［００９１］図６は、本書に記載の実施形態による、キャリア６２０の上部の概略断面図である。キャリア６２０は、前述の実施形態の特徴を含んでよく、かかる特徴について、ここでは繰り返さない。

［００９２］キャリア６２０は、可撓接続部１２５を介して互いに接続されている、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを含む。間隙１２４が、第１方向Ｖにおける第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との間に設けられうる。

［００９３］可撓接続部１２５はブリッジ構成要素１３０を含んでよく、ブリッジ構成要素１３０は、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを接続するとともに、第１方向Ｖにおける第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２との相対運動を可能にする。詳細には、第１弾性構成要素１３１は、第１キャリア部１２１とブリッジ構成要素１３０との間で作用してよく、第２弾性構成要素１３２は、第２キャリア部１２２とブリッジ構成要素１３０との間で作用しうる。第１弾性構成要素１３１及び／又は第２弾性構成要素１３２は、（例えば、ビトンなどの弾性材料を含む）弾性リング６２２として構成されうる。

［００９４］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５はポジティブフィット接続でありうる。詳細には、ブリッジ構成要素１３０は、第１キャリア部１２１の第１開口、及び第２キャリア部１２２の第２開口と係合しうる。一部の実行形態では、ブリッジ構成要素は、水平方向に横並びに、かつ／又は垂直方向に縦並びに配置されうる、第１キャリア部１２１の複数の開口と係合しうる。更に、ブリッジ構成要素１３０は、水平方向に横並びに、かつ／又は垂直方向に縦並びに配置されうる、第２キャリア部１２２の複数の開口と係合しうる。

［００９５］詳細には、ブリッジ構成要素１３０は、実質的に垂直に延在するプレート部分と、このプレート部分から第１及び第２の開口を通って延在する複数の係合ピンとを含みうる。ブリッジ構成要素の係合ピンが、第１キャリア部の第１開口及び第２キャリア部の第２開口と確実に係合するので、第２キャリア部１２２が第１キャリア部１２１から落下することはない。

［００９６］一部の実行形態では、第１弾性構成要素１３１（特に弾性リング）は第１開口に配置され、かつ、第２弾性構成要素１３２は第２開口に配置される。ブリッジ構成要素１３０の係合ピンは、第１開口内の第１弾性構成要素１３１を貫通してよく、ブリッジ構成要素１３０の更なる係合ピンが、第２開口内の第２弾性構成要素１３２を貫通しうる。第１キャリア部１２１に対して第２キャリア部１２２が揺動すると、弾性リング６２２は垂直方向に作用する圧縮力及び張力を受ける。そのため、結果として生じる弾性リングの復原力によって、垂直方向におけるキャリアの大きな揺動振幅が制振される。

［００９７］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第２キャリア部と第１キャリア部とが第１方向Ｖに互いに対して動くとせん断力を受ける、弾性構成要素を含む（例えば、図２、図３、図４、図５Ａ、図５Ｂに示すキャリアを参照のこと）。かかるキャリアは、曲げに対して強い抵抗力を有しうる。一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第２キャリア部と第１キャリア部とが第１方向Ｖに互いに対して動くと圧縮力及び張力を受ける、弾性構成要素を含む（例えば、図１及び図６に示すキャリアを参照のこと）。かかるキャリアは特に高い耐久性を有しうる。一部の実施形態では、可撓接続部は、第１キャリア部と第２キャリア部との相対運動時にせん断力を受ける弾性要素と、圧縮力及び張力を受ける弾性要素との、組み合わせを含みうる。

［００９８］本書に記載の実施形態によるキャリアは、キャリア１２０を非接触で保持し、位置付け、かつ／又は搬送するよう構成されている磁気浮上システムの静止型の基部構造体と磁気的に相互作用するよう構成された、第１キャリア部１２１と、物体１０を運ぶよう構成された第２キャリア部１２２とを含む。第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とは、可撓接続部１２５を介して互いに接続される。

［００９９］本書に記載の実施形態のいずれによる磁気浮上システムも、真空システムにおいて使用されうる。真空システムは、真空チャンバと、真空チャンバ内に配置された堆積源と、磁気浮上システムとを含む。磁気浮上システムは、真空チャンバの堆積エリア内へと物体を運ぶキャリアを、非接触搬送するよう構成されうる。堆積エリア内の堆積源によって、コーティング材が物体に堆積されうる。

［００１００］図７は、本書に記載の実施形態による、磁気浮上システムを動作させる方法を概略的に示すフロー図である。

［００１０１］ボックス７１０において、本書に記載の実施形態のいずれかによるキャリアが提供される。キャリアは、可撓接続部を介して互いに接続されている、第１キャリア部１２１と第２キャリア部１２２とを含む。

［００１０２］ボックス７２０において、キャリアによって運ばれるべき物体１０が、第２キャリア部１２２に配置される。

［００１０３］キャリアが非垂直の向きに（例えば実質的に水平な向きに）配置されている間に、物体１０が第２キャリア部１２２にローディングされうる。キャリアは次いで、第２の向きへと（例えば実質的に垂直な向きへと）動かされうる。キャリアは、磁気浮上システムの基部構造体１１０に沿って、実質的に垂直な向きで保持され、搬送されうる。例えば、キャリアは、実質的に水平なローディング位置から搬送時の実質的に垂直な向きへと、真空スイングモジュールによって回転させられうる。

［００１０４］あるいは、キャリアが非水平の向きに（例えば実質的に垂直な向きに）ある間に、物体１０が第２キャリア部１２２にローディングされうる。例えば、第２キャリア部への物体のローディング中に、キャリアは、基部構造体１１０のところで保持されうる。

［００１０５］一部の実施形態では、物体はコーティングされるべき基板（特に、ディスプレイ製造のための大面積基板）でありうる。他の物体（例えばマスクやシールド）もキャリアによって運ばれうる。

［００１０６］ボックス７３０において、キャリアは、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２を用いて磁気浮上システムの基部構造体１１０のところで非接触保持され、第１キャリア部１２１が、基部構造体と磁気的に相互作用する。例えば、少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、基部構造体の上部レールと第１キャリア部１２１との間に誘引力をもたらしうる。

［００１０７］本書に記載の他の実施形態と組み合わされうる一部の実施形態では、可撓接続部１２５は、第１方向Ｖに（特に実質的に垂直な方向に）可撓性である。詳細には、第２キャリア部１２２は、可撓接続部を介して（例えば、可撓接続部の弾性構成要素の弾性変形によって）第１方向Ｖに、第１キャリア部１２１に対して移動可能でありうる。したがって、キャリアの揺動挙動は、可撓接続部によって改変されることが可能であり、例えば共振振動数におけるキャリアの振動ピークが減衰されうる。

［００１０８］少なくとも１つの能動磁気軸受１１２は、第１方向Ｖにおいて基部構造体とキャリアとの間の距離を制御しうる。したがって、第１方向Ｖに作用する能動磁気軸受によって、キャリアの固有振動の増幅が低減されうるか、又は回避されうる。

［００１０９］オプションのボックス７４０において、キャリアは、基部構造体のところで非接触保持されつつ、真空チャンバを通って搬送されうる。

［００１１０］オプションのボックス７５０において、キャリアは、堆積エリア内に（例えば、堆積源の正面に）位置付けられうる。キャリアによって運ばれる物体１０に、コーティング材が堆積されうる。堆積中、キャリアは、基部構造体のところで非接触保持されうる。あるいは、キャリアは堆積中にマウントに装着されてよく、その際キャリアは、マウントに機械的に接触していることがある。

［００１１１］物体は、基板（特に、０．５ｍ²以上、より詳細には１ｍ²以上のサイズを有するか、又は、５ｍ²又は１０ｍ²以上のサイズを有することもある、大面積基板）でありうる。例えば、基板はディスプレイ製造のための大面積基板でありうる。

［００１１２］有機材料が基板に堆積されることがある。例えば、基板に有機材料を堆積させることによって、ＯＬＥＤデバイスが製造されうる。

［００１１３］第１キャリア部は、必ずしも、物体を運ぶよう構成される第２キャリア部の上方に配置されるわけではないことに、留意されたい。例えば、一部の実行形態では、第１キャリア部は、第２キャリア部の下方に、又は第２キャリア部の側部に配置されうる。詳細には、第１キャリア部は、基部構造体の底部レールと磁気的に相互作用することがあり、複数の能動磁気軸受のアクチュエータが底部レールに配置されうる。後者の場合、能動磁気軸受は、キャリアを底部レールの上方に非接触保持するための磁気浮力を発生させうる。また更なる実施形態では、第２キャリア部は、水平方向において第１キャリア部の隣りに配置されうる。振動の振幅（水平方向に作用する側方安定化デバイスもこれに倣う）が低減され、かつ、固有振動の増幅は回避されうる。

［００１１４］以上の記述は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲から逸脱しなければ、本開示の他の実施形態及び更なる実施形態が考案されてよく、本開示の範囲は以下の特許請求の範囲によって決まる。

Claims (14)

1. 真空システムを通してキャリアを搬送するよう構成された、磁気浮上システムであって、
   基部構造体（１１０）と、
   前記基部構造体（１１０）に対して移動可能なキャリア（１２０）と、
   能動的に制御可能であるアクチュエータ（１１３）を備え、前記基部構造体（１１０）のところで前記キャリア（１２０）を非接触保持するよう構成された少なくとも１つの能動磁気軸受（１１２）と、を備え、
   前記キャリア（１２０）が、前記基部構造体（１１０）と相互作用するよう構成された第１キャリア部（１２１）、及び、物体（１０）を運ぶよう構成された第２キャリア部（１２２）を備え、前記第１キャリア部（１２１）と前記第２キャリア部（１２２）とは、可撓接続部（１２５）を介して互いに接続されており、
   前記可撓接続部（１２５）が、ブリッジ構成要素（１３０）、前記ブリッジ構成要素と前記第１キャリア部（１２１）との間で作用する第１弾性構成要素（１３１）、及び、前記ブリッジ構成要素と前記第２キャリア部（１２２）との間で作用する第２弾性構成要素（１３２）を備える、磁気浮上システム。
2. 前記可撓接続部（１２５）が、可撓性材料、特に弾性材料（１２６）を含む、請求項１に記載の磁気浮上システム。
3. 前記第１キャリア部（１２１）が、部分的又は全体的に、前記第２キャリア部（１２２）の上方に配置されているキャリアヘッドである、請求項１又は２に記載の磁気浮上システム。
4. 前記アクチュエータ（１１３）が前記基部構造体（１１０）に配置され、対応磁気部品（１１８）が前記第１キャリア部（１２１）に配置され、前記アクチュエータ（１１３）は、前記基部構造体（１１０）と前記キャリア（１２０）との間に所定の距離を維持するよう制御可能である、請求項１から３のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
5. 前記可撓接続部（１２５）が、前記少なくとも１つの能動磁気軸受（１１２）が前記基部構造体（１１０）と前記キャリア（１２０）との間の距離を制御する方向と一致する第１方向（Ｖ）に、弾性変形可能である、請求項１から４のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
6. 前記可撓接続部（１２５）が、前記第１キャリア部と前記第２キャリア部との間に間隙（１２４）が設けられるように、前記第１キャリア部（１２１）の下方に前記第２キャリア部（１２２）を保持する、請求項１から５のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
7. 前記可撓接続部（１２５）が、第１ブリッジ構成要素（１３３）及び第２ブリッジ構成要素（１３４）を備え、前記第１キャリア部及び前記第２キャリア部が、前記第１ブリッジ構成要素（１３３）と前記第２ブリッジ構成要素（１３４）との間にクランプされる、請求項１から６のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
8. 前記ブリッジ構成要素（１３０）が前記第１キャリア部（１２１）の第１開口、及び、前記第２キャリア部（１２２）の第２開口と係合し、前記第１弾性構成要素（１３１）が前記第１開口に配置され、前記第２弾性構成要素（１３２）が前記第２開口に配置され、特に、前記第１弾性構成要素（１３１）及び前記第２弾性構成要素（１３２）が弾性リングである、請求項１に記載の磁気浮上システム。
9. 前記第２キャリア部（１２２）が、前記第２キャリア部（１２２）の保持部分（１１）に前記物体（１０）を保持するよう構成された装着デバイス（１５）を備え、特に、前記装着デバイス（１５）が静電チャック又は磁気チャックを含む、請求項１から８のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
10. 前記キャリア（１２０）が、実質的に垂直な向きで基板又はマスクを保持するよう構成された、基板キャリア又はマスクキャリアである、請求項１から９のいずれか一項に記載の磁気浮上システム。
11. 請求項１から１０のいずれか一項に記載の前記磁気浮上システム用のキャリア（１２０）であって、
    真空システムを通して前記キャリア（１２０）を搬送するよう構成されている前記磁気浮上システムの基部構造体（１１０）と相互作用するよう構成された、第１キャリア部（１２１）、及び、
    物体（１０）を運ぶよう構成された、第２キャリア部（１２２）を備え、前記第１キャリア部（１２１）と前記第２キャリア部（１２２）とは、可撓接続部（１２５）を介して互いに接続される、キャリア（１２０）。
12. 磁気浮上システムを動作させる方法であって、
    可撓接続部（１２５）を介して互いに接続された第１キャリア部（１２１）と第２キャリア部（１２２）とを備えるキャリアを提供することと、
    前記第２キャリア部（１２２）に物体（１０）を配置することと、
    能動的に制御可能であるアクチュエータ（１１３）を備える少なくとも１つの能動磁気軸受（１１２）を用いて、基部構造体（１１０）のところで前記キャリアを非接触保持することであって、前記第１キャリア部（１２１）が前記基部構造体（１１０）と相互作用する、非接触保持することと、
    前記キャリアを、前記基部構造体のところで保持しつつ、真空チャンバを通して搬送することと、を含み、
    前記可撓接続部（１２５）が、ブリッジ構成要素（１３０）、前記ブリッジ構成要素と前記第１キャリア部（１２１）との間で作用する第１弾性構成要素（１３１）、及び、前記ブリッジ構成要素と前記第２キャリア部（１２２）との間で作用する第２弾性構成要素（１３２）を備える、方法。
13. 前記可撓接続部（１２５）が第１方向（Ｖ）に、特に実質的に垂直な方向に、可撓性であり、前記少なくとも１つの能動磁気軸受（１１２）が、前記第１方向（Ｖ）において前記基部構造体と前記キャリアとの間の距離を制御する、請求項１２に記載の方法。
14. 堆積エリア内に前記キャリアを位置付けることと、
    前記キャリアによって運ばれる前記物体（１０）に、コーティング材を堆積させることと、を更に含む、請求項１２又は１３に記載の方法。
    
    

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