JP6740262B2 - Vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump.

従来、ベーンポンプ等の真空ポンプとしては、モータ等の駆動機に取り付けられるケーシング(ボディ)と、このケーシングのシリンダ室内に駆動機により回転する回転体とを備える真空ポンプが知られている(例えば、特許文献1参照)。この種の真空ポンプは、駆動機により回転する回転体をシリンダ室内で駆動することによって、真空ポンプに接続された装置内にある空気を排出して、その装置内を減圧する。 Conventionally, as a vacuum pump such as a vane pump, there is known a vacuum pump including a casing (body) attached to a driving machine such as a motor and a rotating body that is rotated by the driving machine in a cylinder chamber of the casing (for example, See Patent Document 1). In this type of vacuum pump, a rotating body that is rotated by a driving machine is driven in a cylinder chamber to discharge air in the device connected to the vacuum pump and reduce the pressure in the device.

特許文献1に記載の真空ポンプの回転体には、円柱状のロータと、ロータに形成されたガイド溝から出没自在に設けられる複数の板状のベーンとが備えられている。ベーンは、シリンダ室を区画して、ロータの回転に伴って発生する遠心力によりガイド溝から突出してシリンダ室の内周面に当接しながらロータともに回転する。 The rotating body of the vacuum pump described in Patent Document 1 is provided with a cylindrical rotor and a plurality of plate-shaped vanes provided so as to be retractable from guide grooves formed in the rotor. The vane divides the cylinder chamber and projects from the guide groove by the centrifugal force generated as the rotor rotates, and rotates with the rotor while contacting the inner peripheral surface of the cylinder chamber.

特開2012−167590号公報JP2012-167590A

上記のような真空ポンプにおいては、ロータの軸方向の端面はカーボンプレート等の摺動プレートと接触している。このため、摺動プレートがロータとの摺動によって摩耗することは避けられないが、摺動プレートの摩耗を抑制することが求められている。 In the above vacuum pump, the axial end surface of the rotor is in contact with a sliding plate such as a carbon plate. Therefore, it is unavoidable that the sliding plate is worn by sliding with the rotor, but it is required to suppress the wear of the sliding plate.

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、摺動プレートの摩耗を抑制することのできる真空ポンプを提供することにある。 The present invention has been made in view of these circumstances, and an object thereof is to provide a vacuum pump capable of suppressing wear of a sliding plate.

上記課題を解決する真空ポンプは、モータの駆動力を伝達する出力軸と、前記出力軸が貫通し、前記出力軸によって回転される回転体と、前記回転体を収容する円筒状のシリンダと、前記シリンダの一方の開口部を閉じるとともに、前記出力軸が貫通し、前記回転体の軸方向の一方の端面と接触する第1摺動プレートと、前記シリンダの他方の開口部を閉じるとともに、前記回転体の軸方向の他方の端面と接触する第2摺動プレートと、前記出力軸と前記回転体との間に設けられ、前記回転体を前記第1摺動プレート側へ付勢する付勢部材と、を備える。 A vacuum pump that solves the above problems, an output shaft that transmits a driving force of a motor, the output shaft penetrates, a rotating body that is rotated by the output shaft, and a cylindrical cylinder that houses the rotating body, While closing one opening of the cylinder, the output shaft penetrates, and a first sliding plate that comes into contact with one axial end surface of the rotating body, and the other opening of the cylinder is closed, and A second sliding plate that comes into contact with the other axial end surface of the rotating body, and a biasing member that is provided between the output shaft and the rotating body and that biases the rotating body toward the first sliding plate side. And a member.

回転体が出力軸によって回転されることでシリンダ内の圧力が低下するが、第1摺動プレート側は出力軸が貫通しているため、回転体の第1摺動プレート側の圧力が第2摺動プレート側の圧力よりも高くなり、回転体が第2摺動プレート側へ引き付けられることを発明者らは発見した。そこで、上記構成によれば、付勢部材が回転体を第1摺動プレート側へ付勢することで、回転体の第2摺動プレート側への移動を抑制することができ、摺動プレートの摩耗を抑制することができる。 The pressure in the cylinder decreases as the rotating body is rotated by the output shaft, but the pressure on the first sliding plate side of the rotating body becomes the second pressure because the output shaft penetrates the first sliding plate side. The inventors have found that the pressure becomes higher than the pressure on the sliding plate side and the rotating body is attracted to the second sliding plate side. Therefore, according to the above configuration, by the biasing member biasing the rotating body toward the first sliding plate side, the movement of the rotating body toward the second sliding plate side can be suppressed, and the sliding plate Wear can be suppressed.

上記真空ポンプについて、前記出力軸に設けられ、前記回転体との軸方向の相対移動を許容する接続部材を備え、前記付勢部材は、前記接続部材と前記回転体との間に取り付けられることが好ましい。 The vacuum pump includes a connecting member that is provided on the output shaft and allows relative movement in the axial direction with the rotating body, and the urging member is attached between the connecting member and the rotating body. Is preferred.

上記構成によれば、出力軸に設けられる接続部材に付勢部材を取り付けることで、付勢部材を出力軸に直接取り付けるよりも付勢部材の取り付けが容易である。
上記真空ポンプについて、前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が短くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ押すことが好ましい。
According to the above configuration, by attaching the biasing member to the connecting member provided on the output shaft, it is easier to attach the biasing member than directly attaching the biasing member to the output shaft.
In the vacuum pump, when the rotating body rotates, the biasing member moves the rotating body to the first sliding plate side by shortening an axial distance between the output shaft and the rotating body. Pushing is preferred.

上記構成によれば、出力軸と回転体との間に例えば圧縮ばね等の付勢部材が設けられ、出力軸と回転体との軸方向の距離が短くなることにより回転体を第1摺動プレート側へ押す付勢力が発生する。 According to the above configuration, a biasing member such as a compression spring is provided between the output shaft and the rotary body, and the axial distance between the output shaft and the rotary body is shortened, whereby the rotary body is slid on the first slide. A biasing force that pushes to the plate side is generated.

上記真空ポンプについて、前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が長くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ引くことが好ましい。 In the vacuum pump, the urging member causes the rotating body to move toward the first sliding plate side due to a longer axial distance between the output shaft and the rotating body when the rotating body rotates. It is preferable to draw.

上記構成によれば、出力軸と回転体との間に例えば引張ばね等の付勢部材が設けられ、出力軸と回転体との軸方向の距離が長くなることにより回転体を第1摺動プレート側へ引く付勢力が発生する。 According to the above configuration, a biasing member such as a tension spring is provided between the output shaft and the rotating body, and the axial distance between the output shaft and the rotating body becomes longer, so that the rotating body first slides. A biasing force that pulls toward the plate is generated.

上記真空ポンプについて、前記シリンダが収容され、前記出力軸が貫通する底部を有する円筒状のボディと、前記ボディの開口部を閉じる蓋と、前記第1摺動プレートと前記ボディの前記底部との間に設けられる第1ばねと、前記第2摺動プレートと前記蓋との間に設けられる第2ばねと、を備えることが好ましい。 Regarding the vacuum pump, a cylinder-shaped body that houses the cylinder and has a bottom through which the output shaft penetrates, a lid that closes an opening of the body, the first sliding plate, and the bottom of the body It is preferable to provide a first spring provided between them and a second spring provided between the second sliding plate and the lid.

上記構成によれば、第1摺動プレートの移動を第1ばねによって吸収することができるとともに、第2摺動プレートの移動を第2ばねによって吸収することができる。このため、回転体との摺動による摺動プレートの摩耗を抑制することができる。 According to the above configuration, the movement of the first sliding plate can be absorbed by the first spring, and the movement of the second sliding plate can be absorbed by the second spring. Therefore, it is possible to suppress wear of the sliding plate due to sliding with the rotating body.

本発明によれば、摺動プレートの摩耗を抑制することができる。 According to the present invention, wear of the sliding plate can be suppressed.

真空ポンプの第1の実施形態の内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the internal structure of 1st Embodiment of a vacuum pump. 同実施形態の真空ポンプの動作を示す断面図。Sectional drawing which shows operation|movement of the vacuum pump of the same embodiment. 真空ポンプの第2の実施形態の内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the internal structure of 2nd Embodiment of a vacuum pump. 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the internal structure of the modification of a vacuum pump. 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the internal structure of the modification of a vacuum pump. 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the internal structure of the modification of a vacuum pump.

(第1の実施形態)
以下、図1及び図2を参照して、真空ポンプの第1の実施形態について説明する。
図1に示されるように、真空ポンプ1は、図示しないモータと、モータの駆動力を伝達する出力軸10が挿通されるボディ20と、ボディ20に組み付けられる蓋25とを備える。真空ポンプ1は、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気と油とを接触させないドライポンプである。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the vacuum pump will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
As shown in FIG. 1, the vacuum pump 1 includes a motor (not shown), a body 20 into which the output shaft 10 for transmitting the driving force of the motor is inserted, and a lid 25 assembled to the body 20. The vacuum pump 1 is a dry pump that does not contact the oil taken in with the air taken in by using no lubricating oil in the pump chamber.

ボディ20は、アルミニウム等の金属から形成された部品であり、モータの出力軸10側に設けられる。即ち、ボディ20は、モータのケースを閉じる蓋としても機能する。ボディ20には、円柱状の空間20Aが形成されている。ボディ20には、ボディ20内に空気を取り込むボディ入口23と、ボディ20から空気を排出するボディ出口24とが設けられている。蓋25は、図示しないボルトによってボディ20に固定される。 The body 20 is a component made of metal such as aluminum and is provided on the output shaft 10 side of the motor. That is, the body 20 also functions as a lid that closes the case of the motor. A cylindrical space 20A is formed in the body 20. The body 20 is provided with a body inlet 23 that takes in air into the body 20, and a body outlet 24 that discharges air from the body 20. The lid 25 is fixed to the body 20 with a bolt (not shown).

ボディ20の底部21の中央には、モータの出力軸10が貫通する貫通孔21Aが形成されている。底部21の貫通孔21Aは、ボディ20の底部21における中心からずれた位置に形成されている。底部21の貫通孔21Aの周囲には、円環状の軸受部22が形成されている。軸受部22は、モータの出力軸10を支持する。 A through hole 21A through which the output shaft 10 of the motor penetrates is formed in the center of the bottom portion 21 of the body 20. The through hole 21A of the bottom portion 21 is formed at a position deviated from the center of the bottom portion 21 of the body 20. An annular bearing portion 22 is formed around the through hole 21A of the bottom portion 21. The bearing portion 22 supports the output shaft 10 of the motor.

ボディ20の空間20Aには、円筒状のシリンダ30が収容されている。シリンダ30の内側は、ポンプ室に相当する。シリンダ30は、鉄等の金属製であり、円筒状に形成されている。シリンダ30は、ボディ20に圧入されることでボディ20に取り付けられる。シリンダ30には、ポンプ室に空気を取り込むためのポンプ室入口31と、ポンプ室から空気を排出するためのポンプ室出口32とが貫通形成されている。ポンプ室入口31は、ボディ入口23に連通されている。ポンプ室出口32は、ボディ出口24に連通されている。 A cylindrical cylinder 30 is housed in the space 20A of the body 20. The inside of the cylinder 30 corresponds to the pump chamber. The cylinder 30 is made of metal such as iron and has a cylindrical shape. The cylinder 30 is attached to the body 20 by being press-fitted into the body 20. A pump chamber inlet 31 for taking air into the pump chamber and a pump chamber outlet 32 for discharging air from the pump chamber are formed through the cylinder 30. The pump chamber inlet 31 communicates with the body inlet 23. The pump chamber outlet 32 communicates with the body outlet 24.

シリンダ30には、回転体であるロータ40が収容されている。ロータ40には、カーボン製の板状のベーン43が出没可能に複数収容されている。ロータ40は、鉄等の金属製である。ロータ40には、ベーン43を収容する図示しないベーン収容溝が複数形成されている。ロータ40には、出力軸10が貫通する貫通孔41が設けられている。出力軸10とロータ40とは、ロータ40に形成される係合溝42に出力軸10が係合することで一体に回転する。また、出力軸10とロータ40とは、係合溝42によって軸方向に相対移動可能である。 A rotor 40, which is a rotating body, is housed in the cylinder 30. A plurality of carbon plate-shaped vanes 43 are housed in the rotor 40 so as to be retractable. The rotor 40 is made of metal such as iron. The rotor 40 has a plurality of vane housing grooves (not shown) for housing the vanes 43. The rotor 40 is provided with a through hole 41 through which the output shaft 10 penetrates. The output shaft 10 and the rotor 40 rotate integrally as the output shaft 10 engages with the engagement groove 42 formed in the rotor 40. Further, the output shaft 10 and the rotor 40 can be relatively moved in the axial direction by the engagement groove 42.

ロータ40のモータ側と反対側の中央には、凹部44が形成されている。凹部44は、貫通孔41と同軸である。凹部44の内径は、貫通孔41の内径よりも長い。出力軸10の先端部11には、接続部材としての円板12が貫挿され、Cリング13によって円板12が抜け止めされている。よって、円板12は、Cリング13よりも出力軸10の先端側へは移動することができないようになっている。円板12の外径は、凹部44の内径と同一である。 A recess 44 is formed in the center of the rotor 40 opposite to the motor side. The recess 44 is coaxial with the through hole 41. The inner diameter of the recess 44 is longer than the inner diameter of the through hole 41. A disk 12 as a connecting member is inserted through the tip portion 11 of the output shaft 10, and the disk 12 is prevented from coming off by a C ring 13. Therefore, the disc 12 cannot move to the tip side of the output shaft 10 with respect to the C ring 13. The outer diameter of the disc 12 is the same as the inner diameter of the recess 44.

円板12と凹部44の底部44Aとの間には、付勢部材としての圧縮ばね45が設けられている。圧縮ばね45は、円板12に取り付けられるとともに、凹部44の底部44Aに取り付けられている。圧縮ばね45は、出力軸10とロータ40と軸方向の距離が短くなることにより圧縮されてロータ40をモータ側へ押す付勢力が発生する(図2参照)。 A compression spring 45 as a biasing member is provided between the disc 12 and the bottom portion 44A of the recess 44. The compression spring 45 is attached to the disc 12 and the bottom portion 44A of the recess 44. The compression spring 45 is compressed when the distance between the output shaft 10 and the rotor 40 in the axial direction is shortened, and an urging force that pushes the rotor 40 toward the motor is generated (see FIG. 2 ).

シリンダ30のモータ側の開口部を第1開口部33とし、シリンダ30のモータ側と反対側の開口部を第2開口部34とする。シリンダ30の第1開口部33は、第1摺動プレート35によって閉じられている。第1摺動プレート35は、ボディ20の底部21とロータ40との間に設置され、ロータ40が摺動可能である。第1摺動プレート35には、モータの出力軸10が貫通する貫通孔35Aが形成されている。シリンダ30の第2開口部34は、第2摺動プレート36によって閉じられている。第2摺動プレート36は、蓋25とロータ40との間に設置され、ロータ40が摺動可能である。第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36は、ベーン43に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。 The opening of the cylinder 30 on the motor side is referred to as a first opening 33, and the opening of the cylinder 30 opposite to the motor is referred to as a second opening 34. The first opening 33 of the cylinder 30 is closed by the first sliding plate 35. The first sliding plate 35 is installed between the bottom portion 21 of the body 20 and the rotor 40, and the rotor 40 can slide. The first sliding plate 35 is formed with a through hole 35A through which the output shaft 10 of the motor penetrates. The second opening 34 of the cylinder 30 is closed by the second sliding plate 36. The second sliding plate 36 is installed between the lid 25 and the rotor 40, and the rotor 40 can slide. The first sliding plate 35 and the second sliding plate 36 are made of a material such as carbon having a small friction coefficient with respect to the vanes 43, and are formed in a disc shape.

第1摺動プレート35とボディ20の底部21との間には、第1皿ばね26が設けられている。第1皿ばね26は、第1摺動プレート35がボディ20の底部21側移動しようとしたときに圧縮されて第1摺動プレート35を押す付勢力を発生させる。第2摺動プレート36と蓋25との間には、第2皿ばね27が設けられている。第2皿ばね27は、第2摺動プレート36が蓋25側移動しようとしたときに圧縮されて第2摺動プレート36を押す付勢力を発生させる。 A first disc spring 26 is provided between the first sliding plate 35 and the bottom portion 21 of the body 20. The first disc spring 26 is compressed when the first sliding plate 35 tries to move toward the bottom portion 21 of the body 20, and generates a biasing force that pushes the first sliding plate 35. A second disc spring 27 is provided between the second sliding plate 36 and the lid 25. The second disc spring 27 is compressed when the second sliding plate 36 tries to move to the lid 25 side, and generates an urging force that pushes the second sliding plate 36.

ここで、真空ポンプ1の組み立てについて説明する。
まず、モータの出力軸10を、ボディ20の底部21からボディ20内に挿入する。出力軸10は、貫通孔21Aを貫通する。
Here, the assembly of the vacuum pump 1 will be described.
First, the output shaft 10 of the motor is inserted into the body 20 from the bottom portion 21 of the body 20. The output shaft 10 penetrates the through hole 21A.

続いて、第1皿ばね26を、出力軸10に挿通させつつ、ボディ20の空間20Aの底部21に設置する。続いて、第1摺動プレート35を、出力軸10に挿通させつつ、ボディ20の空間20Aの第1皿ばね26の上に設置する。 Subsequently, the first disc spring 26 is installed on the bottom portion 21 of the space 20A of the body 20 while being inserted into the output shaft 10. Subsequently, the first sliding plate 35 is placed on the first disc spring 26 in the space 20A of the body 20 while being inserted into the output shaft 10.

次に、シリンダ30をボディ20の空間20Aに圧入する。そして、ボディ入口23とポンプ室入口31とをまとめて切削加工で形成する。また、ボディ出口24とポンプ室出口32とをまとめて切削加工で形成する。 Next, the cylinder 30 is press-fitted into the space 20A of the body 20. Then, the body inlet 23 and the pump chamber inlet 31 are collectively formed by cutting. Further, the body outlet 24 and the pump chamber outlet 32 are collectively formed by cutting.

続いて、ロータ40を、出力軸10の係合溝42に係合させつつ、出力軸10に挿通させてシリンダ30の内側且つ第1摺動プレート35の上に設置する。そして、圧縮ばね45を、出力軸10に挿通させつつ、ロータ40の凹部44の底部44Aに設置する。そして、円板12を、出力軸10に挿通させつつ、ロータ40の凹部44内且つ圧縮ばね45の上に設置する。そして、Cリング13を、出力軸10の先端部11に取り付け、円板12を抜け止めする。 Subsequently, the rotor 40 is inserted into the output shaft 10 while being engaged with the engagement groove 42 of the output shaft 10, and is installed inside the cylinder 30 and on the first sliding plate 35. Then, the compression spring 45 is installed in the bottom portion 44A of the recess 44 of the rotor 40 while being inserted into the output shaft 10. Then, the disk 12 is installed in the recess 44 of the rotor 40 and on the compression spring 45 while being inserted into the output shaft 10. Then, the C ring 13 is attached to the tip portion 11 of the output shaft 10 to prevent the disc 12 from coming off.

続いて、第2摺動プレート36を、シリンダ30の第2開口部34を閉じつつ、ロータ40の上に設置する。続いて、第2皿ばね27を、第2摺動プレート36の上に設置する。そして、ボディ20の空間20Aの開口部を蓋25によって閉じて、図示しないボルトで蓋25をボディ20に固定する。 Subsequently, the second sliding plate 36 is installed on the rotor 40 while closing the second opening 34 of the cylinder 30. Then, the second disc spring 27 is installed on the second sliding plate 36. Then, the opening of the space 20A of the body 20 is closed by the lid 25, and the lid 25 is fixed to the body 20 with a bolt (not shown).

次に、上記のように構成された真空ポンプ1の動作について説明する。
シリンダ30には、シリンダ30内に偏心させて取り付けられたロータ40によって略三日月状の空間が形成される。モータの駆動によりロータ40が回転すると、ベーン43が遠心力によりベーン収容溝に沿ってロータ40の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ30の内周面に当接させる。これにより、シリンダ30内の略三日月状の空間が複数のベーン43と、ロータ40の外周面と、シリンダ30の内周面とによって囲まれる複数の圧縮室に区画される。
Next, the operation of the vacuum pump 1 configured as described above will be described.
A substantially crescent-shaped space is formed in the cylinder 30 by a rotor 40 that is eccentrically mounted inside the cylinder 30. When the rotor 40 is rotated by driving the motor, the vanes 43 are projected to the outside in the radial direction of the rotor 40 by the centrifugal force along the vane housing groove, and the tips thereof are brought into contact with the inner peripheral surface of the cylinder 30. As a result, the substantially crescent-shaped space in the cylinder 30 is divided into a plurality of compression chambers surrounded by the plurality of vanes 43, the outer peripheral surface of the rotor 40, and the inner peripheral surface of the cylinder 30.

これらの圧縮室は、ロータ40の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口31近傍で大きくなり、ポンプ室出口32で小さくなる。つまり、ポンプ室入口31から圧縮室に吸入された空気は、ロータ40の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口32から吐出される。シリンダ30では、ロータ40及びベーン43がシリンダ30内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口32から圧縮空気が間欠的に吐出される。 These compression chambers move in the same direction as the rotor 40 rotates. When the compression chamber moves, the volume of the compression chamber increases near the pump chamber inlet 31 and decreases at the pump chamber outlet 32. That is, the air sucked into the compression chamber from the pump chamber inlet 31 is compressed as the rotor 40 rotates, and is discharged from the pump chamber outlet 32. In the cylinder 30, since the rotor 40 and the vanes 43 rotate in the cylinder 30 to compress the air, the compressed air is intermittently discharged from the pump chamber outlet 32.

図2に示すように、真空ポンプ1の稼動時には、モータの駆動によりロータ40が回転すると、シリンダ30内の圧力が低下する。しかしながら、ロータ40の第1摺動プレート35側は出力軸10が貫通しているため、ロータ40の第1摺動プレート35側の圧力が第2摺動プレート36側の圧力よりも高くなり、ロータ40が第2摺動プレート36側へ引き付けられる。このとき、ロータ40が第2摺動プレート36側へ移動しようとすると、圧縮ばね45がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制する。なお、モータの出力軸10が第2摺動プレート36側へ移動しようとしたとしても、圧縮ばね45によって移動を吸収することができる。また、第1摺動プレート35の若干の移動は第1皿ばね26により吸収され、第2摺動プレート36の若干の移動は第2皿ばね27により吸収されるので、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。 As shown in FIG. 2, when the vacuum pump 1 is operating, when the rotor 40 is rotated by driving the motor, the pressure in the cylinder 30 is reduced. However, since the output shaft 10 penetrates the first sliding plate 35 side of the rotor 40, the pressure of the first sliding plate 35 side of the rotor 40 becomes higher than the pressure of the second sliding plate 36 side, The rotor 40 is attracted to the second sliding plate 36 side. At this time, when the rotor 40 tries to move to the second sliding plate 36 side, the compression spring 45 biases the rotor 40 to the first sliding plate 35 side, so that the second sliding plate 36 side of the rotor 40. To move to. Even if the output shaft 10 of the motor tries to move to the second sliding plate 36 side, the movement can be absorbed by the compression spring 45. Further, since a slight movement of the first sliding plate 35 is absorbed by the first disc spring 26 and a slight movement of the second sliding plate 36 is absorbed by the second disc spring 27, the first sliding plate 35 Also, the wear of the second sliding plate 36 can be suppressed.

以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)圧縮ばね45がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制することができ、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。
As described above, according to this embodiment, the following effects can be achieved.
(1) Since the compression spring 45 biases the rotor 40 toward the first sliding plate 35 side, the movement of the rotor 40 toward the second sliding plate 36 side can be suppressed, and the first sliding plate 35 Also, the wear of the second sliding plate 36 can be suppressed.

(2)出力軸10に固定される接続部材に圧縮ばね45を取り付けることで、圧縮ばね45を出力軸10に直接取り付けるよりも圧縮ばね45の取り付けが容易である。
(3)出力軸10とロータ40との間に圧縮ばね45が設けられ、出力軸10とロータ40との軸方向の距離が短くなることによりロータ40を第1摺動プレート35側へ押す付勢力が発生する。
(2) By attaching the compression spring 45 to the connecting member fixed to the output shaft 10, the compression spring 45 can be attached more easily than directly attaching the compression spring 45 to the output shaft 10.
(3) Since the compression spring 45 is provided between the output shaft 10 and the rotor 40, and the axial distance between the output shaft 10 and the rotor 40 is shortened, the rotor 40 is pushed toward the first sliding plate 35 side. Power is generated.

(4)第1摺動プレート35の移動を第1皿ばね26によって吸収することができるとともに、第2摺動プレート36の移動を第2皿ばね27によって吸収することができる。このため、ロータ40との摺動による第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。 (4) The movement of the first sliding plate 35 can be absorbed by the first disc spring 26, and the movement of the second sliding plate 36 can be absorbed by the second disc spring 27. Therefore, it is possible to suppress wear of the first sliding plate 35 and the second sliding plate 36 due to sliding with the rotor 40.

(第2の実施形態)
以下、図3を参照して、真空ポンプの第2の実施形態について説明する。この実施形態の真空ポンプは、2個の付勢部材が設置されている点が上記第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
(Second embodiment)
Hereinafter, the second embodiment of the vacuum pump will be described with reference to FIG. The vacuum pump of this embodiment is different from that of the first embodiment in that two urging members are installed. Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

図3に示すように、真空ポンプ1のロータ40のモータ側の中央には、第2凹部47が形成されている。第2凹部47は、貫通孔41と同軸である。凹部47の内径は、貫通孔41の内径よりも長い。出力軸10の第1摺動プレート35近傍には、接続部材としての第2円板14が貫挿されている。第2円板14の外径は、第2凹部47の内径と同一である。 As shown in FIG. 3, a second recess 47 is formed in the center of the rotor 40 of the vacuum pump 1 on the motor side. The second recess 47 is coaxial with the through hole 41. The inner diameter of the recess 47 is longer than the inner diameter of the through hole 41. A second disc 14 as a connecting member is inserted near the first sliding plate 35 of the output shaft 10. The outer diameter of the second disc 14 is the same as the inner diameter of the second recess 47.

第2円板14と第2凹部47の底部47Aとの間には、付勢部材としての引張ばね48が設けられている。引張ばね48は、第2円板14に取り付けられるとともに、第2凹部47の底部47Aに取り付けられている。引張ばね48は、出力軸10とロータ40と軸方向の距離が長くなることにより伸長されてロータ40をモータ側へ引く付勢力が発生する。 A tension spring 48 as a biasing member is provided between the second disc 14 and the bottom portion 47A of the second recess 47. The tension spring 48 is attached to the second disc 14 and the bottom portion 47A of the second recess 47. The tension spring 48 is extended by increasing the axial distance between the output shaft 10 and the rotor 40, and an urging force that pulls the rotor 40 toward the motor is generated.

真空ポンプ1は、圧縮ばね45と引張ばね48とによって、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動が抑制されるため、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。 In the vacuum pump 1, the compression spring 45 and the tension spring 48 suppress the movement of the rotor 40 toward the second sliding plate 36, so that the first sliding plate 35 and the second sliding plate 36 are not worn. Can be suppressed.

以上説明したように、本実施形態によれば、第1の実施形態の(1)〜(4)の効果に加え、以下の効果を奏することができる。
(5)出力軸10とロータ40との間に引張ばね48が設けられ、出力軸10とロータ40との軸方向の距離が長くなることによりロータ40を第1摺動プレート35側へ引く付勢力が発生する。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (4) of the first embodiment.
(5) A tension spring 48 is provided between the output shaft 10 and the rotor 40, and the axial distance between the output shaft 10 and the rotor 40 is increased to pull the rotor 40 toward the first sliding plate 35 side. Power is generated.

なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもできる。
・上記第2の実施形態の圧縮ばね45を省略して、引張ばね48のみによってロータ40を付勢してもよい。例えば、図4に示すように、第2の実施形態の円板12と圧縮ばね45とを省略して、Cリング13を出力軸10の先端部11に取り付けて、Cリング13によって出力軸10に対してロータ40を抜け止めする。ロータ40が第2摺動プレート36側へ移動しようとすると、引張ばね48がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制する。
In addition, the above-described embodiment can be implemented in the following forms in which this is appropriately modified.
The compression spring 45 of the second embodiment may be omitted and the rotor 40 may be biased only by the tension spring 48. For example, as shown in FIG. 4, the disk 12 and the compression spring 45 of the second embodiment are omitted, the C ring 13 is attached to the tip portion 11 of the output shaft 10, and the output shaft 10 is connected by the C ring 13. The rotor 40 is prevented from coming off. When the rotor 40 tries to move to the second sliding plate 36 side, the tension spring 48 urges the rotor 40 to the first sliding plate 35 side, so that the rotor 40 moves to the second sliding plate 36 side. Suppress.

・上記各実施形態において、圧縮ばね45を他の付勢部材を採用してもよい。例えば、図5に示すように、圧縮ばね45に代えてウェーブワッシャー55を採用してもよい。ウェーブワッシャー55は、円板12とロータ40の凹部44の底部44Aとの間に設置される。ウェーブワッシャーは圧縮ばねよりも取り付けが容易である。また、図6に示すように、圧縮ばね45に代えて皿ばね65を採用してもよい。皿ばね65は、円板12とロータ40の凹部44の底部44Aとの間に設置される。皿ばねは圧縮ばねよりも取り付けが容易である。 -In each above-mentioned embodiment, you may employ|adopt the compression spring 45 as another biasing member. For example, as shown in FIG. 5, a wave washer 55 may be adopted instead of the compression spring 45. The wave washer 55 is installed between the disc 12 and the bottom portion 44A of the recess 44 of the rotor 40. Wave washers are easier to install than compression springs. Further, as shown in FIG. 6, a disc spring 65 may be adopted instead of the compression spring 45. The disc spring 65 is installed between the disk 12 and the bottom portion 44A of the recess 44 of the rotor 40. Belleville springs are easier to install than compression springs.

・上記各実施形態では、Cリング13を出力軸10の先端部11に取り付けて抜け止めとしたが、出力軸10からの抜け止めが可能であれば、Cリングに限らず他の固定部材を採用してもよい。 In each of the above-described embodiments, the C ring 13 is attached to the tip portion 11 of the output shaft 10 to prevent it from coming off. However, if the C ring 13 can be prevented from coming off from the output shaft 10, another fixing member is not limited to the C ring. May be adopted.

・上記各実施形態では、第1皿ばね26と第2皿ばね27とを設けたが、皿ばねに限らず、ウェーブワッシャー等の他のばねを設けてもよい。
・上記各実施形態において、第1皿ばね26と第2皿ばね27との構成を省略してもよい。この場合、第1摺動プレート35はボディ20の底部21に直接接触した状態で設置し、第2摺動プレート36は蓋25に直接接触した状態で設置する。
-In each above-mentioned embodiment, although the 1st disc spring 26 and the 2nd disc spring 27 were provided, not only a disc spring but other springs, such as a wave washer, may be provided.
-In each said embodiment, the structure of the 1st disc spring 26 and the 2nd disc spring 27 may be abbreviate|omitted. In this case, the first sliding plate 35 is installed in direct contact with the bottom portion 21 of the body 20, and the second sliding plate 36 is installed in direct contact with the lid 25.

・上記各実施形態では、出力軸10に接続部材としての円板12,14を取り付けたが、接続部材を省略して、出力軸10に付勢部材を直接取り付けてもよい。 In each of the above embodiments, the disks 12 and 14 as the connecting members are attached to the output shaft 10, but the connecting member may be omitted and the biasing member may be attached directly to the output shaft 10.

1…真空ポンプ、10…出力軸、11…先端部、12…接続部材としての円板、13…Cリング、14…接続部材としての第2円板、20…ボディ、20A…空間、21…底部、21A…貫通孔、22…軸受部、23…ボディ入口、24…ボディ出口、25…蓋、26…第1ばねとしての第1皿ばね、27…第2ばねとしての第2皿ばね、30…シリンダ、31…ポンプ室入口、32…ポンプ室出口、33…第1開口部、34…第2開口部、35…第1摺動プレート、35A…貫通孔、36…第2摺動プレート、40…ロータ、41…貫通孔、42…係合溝、43…ベーン、44…凹部、44A…底部、45…付勢部材としての圧縮ばね、47…第2凹部、47A…底部、48…付勢部材としての引張ばね、55…ウェーブワッシャー、65…皿ばね。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Vacuum pump, 10... Output shaft, 11... Tip part, 12... Disc as a connecting member, 13... C ring, 14... Second disc as a connecting member, 20... Body, 20A... Space, 21... Bottom portion, 21A... Through hole, 22... Bearing portion, 23... Body inlet, 24... Body outlet, 25... Lid, 26... First disc spring as first spring, 27... Second disc spring as second spring, 30... Cylinder, 31... Pump chamber inlet, 32... Pump chamber outlet, 33... First opening, 34... Second opening, 35... First sliding plate, 35A... Through hole, 36... Second sliding plate , 40... Rotor, 41... Through hole, 42... Engagement groove, 43... Vane, 44... Recess, 44A... Bottom, 45... Compression spring as biasing member, 47... Second recess, 47A... Bottom, 48... A tension spring as a biasing member, 55... Wave washer, 65... Disc spring.

Claims (7)

モータの駆動力を伝達する出力軸と、
前記出力軸が貫通し、前記出力軸によって回転される回転体と、
前記回転体を収容する円筒状のシリンダと、
前記シリンダの一方の開口部を閉じるとともに、前記出力軸が貫通し、前記回転体の軸方向の一方の端面と接触する第1摺動プレートと、
前記シリンダの他方の開口部を閉じるとともに、前記回転体の軸方向の他方の端面と接触する第2摺動プレートと、
前記出力軸と前記回転体との間に設けられ、前記回転体を前記第1摺動プレート側へ付勢する付勢部材と、を備え
前記付勢部材は、前記回転体が軸方向に移動すると付勢力が発生す
真空ポンプ。
An output shaft that transmits the driving force of the motor,
A rotating body which the output shaft penetrates and which is rotated by the output shaft,
A cylindrical cylinder that houses the rotating body,
A first sliding plate that closes one opening of the cylinder, penetrates the output shaft, and contacts one end face in the axial direction of the rotating body;
A second sliding plate that closes the other opening of the cylinder and is in contact with the other axial end surface of the rotating body;
A biasing member that is provided between the output shaft and the rotating body and that biases the rotating body toward the first sliding plate side ,
It said biasing member is a vacuum pump wherein the rotary body that occur biasing force when moving in the axial direction.
前記出力軸に設けられ、前記回転体との軸方向の相対移動を許容する接続部材を備え、
前記付勢部材は、前記接続部材と前記回転体との間に取り付けられる
請求項1に記載の真空ポンプ。
A connecting member which is provided on the output shaft and allows relative movement in the axial direction with the rotating body;
The vacuum pump according to claim 1, wherein the biasing member is attached between the connecting member and the rotating body.
前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が短くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ押す
請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
The urging member pushes the rotating body toward the first sliding plate by reducing the axial distance between the output shaft and the rotating body when the rotating body rotates. The vacuum pump according to 2.
前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が長くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ引く
請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
The urging member pulls the rotating body toward the first sliding plate by increasing the axial distance between the output shaft and the rotating body when the rotating body rotates. The vacuum pump according to 2.
前記シリンダが収容され、前記出力軸が貫通する底部を有する円筒状のボディと、
前記ボディの開口部を閉じる蓋と、
前記第1摺動プレートと前記ボディの前記底部との間に設けられる第1ばねと、
前記第2摺動プレートと前記蓋との間に設けられる第2ばねと、を備える
請求項1〜4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
A cylindrical body that houses the cylinder and has a bottom through which the output shaft penetrates;
A lid for closing the opening of the body,
A first spring provided between the first sliding plate and the bottom of the body;
The vacuum pump according to claim 1, further comprising a second spring provided between the second sliding plate and the lid.
前記付勢部材は、前記回転体の軸方向の両側にそれぞれ設置されている The biasing members are installed on both sides of the rotating body in the axial direction.
請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 The vacuum pump according to any one of claims 1 to 5.
前記付勢部材は、前記回転体に設けられた凹部に設置されている The biasing member is installed in a recess provided in the rotating body.
請求項1〜6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 The vacuum pump according to any one of claims 1 to 6.
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