JP6733910B2 - グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 - Google Patents
グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6733910B2 JP6733910B2 JP2017103007A JP2017103007A JP6733910B2 JP 6733910 B2 JP6733910 B2 JP 6733910B2 JP 2017103007 A JP2017103007 A JP 2017103007A JP 2017103007 A JP2017103007 A JP 2017103007A JP 6733910 B2 JP6733910 B2 JP 6733910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphene
- area
- graphene film
- film
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
以上のようにグラフェンはその作製法によらず、デバイス応用において基板への転写というプロセスが必要となっている。
例えば、マイクロメートルスケールの局所領域では、100%に近い被覆率を達成することが可能と考えられる。しかし、合成されたグラフェン膜自体に欠陥がある場合がある。また一方で、プロセスにおいてグラフェン膜がダメージを受ける場合や、剥離する場合もある。
これらの理由から、ミリメートルスケールを超えるサイズのデバイスにおける実際の被覆率は100%に達しない場合がほとんどである。被覆率が100%に達しない場合には、被覆率を100%と仮定して電子及びホールの高い移動度を見積もることとなるため、誤差が生じるおそれがある。
グラフェンの被覆面積を測定する方法としては、たとえば顕微ラマンイメージングを用いる方法がある(非特許文献5)。ラマンスペクトル法は、グラフェン膜の構造を精密に分析することが可能である。しかし、1回の測定で分析できる面積はレーザースポット径(約1μm)程度であり、測定には1分程度を要する。このため、たとえば10μm四方程度の面積を、レーザースポットを走査してイメージを取得し、グラフェンの被覆面積を求めるためには、1時間〜数時間程度も要する。
[1]絶縁体基板上に基準グラフェン膜が被覆された試験片を、前記基準グラフェン膜の面積を異ならせて複数用意する工程と、複数の前記試験片のそれぞれについて、空洞共振器摂動法により、入射するマイクロ波の周波数と、前記マイクロ波の反射波の反射強度又は透過波の透過強度との対応関係である共振曲線を求め、前記共振曲線のピーク値である共振周波数f0と、前記共振曲線の半値幅Δfとから、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、前記Q値の逆数と前記基準グラフェン膜の面積との対応関係を求める工程と、絶縁体基板上にグラフェン膜が形成された測定対象物について、空洞共振器摂動法により前記共振曲線を求め、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、前記対応関係に基づいて、前記測定対象物が備える前記グラフェン膜の面積を求める工程と、を有するグラフェンの面積測定方法。
[3]前記基準グラフェン膜が、2層以上に積層された多層グラフェンであり、前記測定対象物のグラフェン膜が、2層以上の積層された多層グラフェンである[1]に記載のグラフェンの面積測定方法。
[4]絶縁体基板上にグラフェンを配置し、グラフェン膜を製造する工程と、前記グラフェン膜の面積を、[1]〜[3]のいずれか1つに記載のグラフェンの面積測定方法により測定する工程と、を有するデバイスの製造方法。
本発明は、絶縁体基板上に基準グラフェン膜が被覆された試験片を、前記基準グラフェン膜の面積を異ならせて複数用意する工程と、複数の前記試験片のそれぞれについて、空洞共振器摂動法により、入射するマイクロ波の周波数と、前記マイクロ波の反射波の反射強度又は透過波の透過強度との対応関係である共振曲線を求め、前記共振曲線のピーク値である共振周波数f0と、前記共振曲線の半値幅Δfとから、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、前記Q値の逆数と前記基準グラフェン膜の面積との対応関係を求める工程と、絶縁体基板上にグラフェン膜が形成された測定対象物について、空洞共振器摂動法により前記共振曲線を求め、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、前記対応関係に基づいて、前記測定対象物が備える前記グラフェン膜の面積を求める工程と、を有するグラフェンの面積測定方法である。
本発明の一実施形態によれば、ミリメートルスケールのデバイスを被覆しているグラフェンの被覆面積を定量的に測定することができる。
本実施形態においては、まず、絶縁体基板上に基準グラフェン膜が被覆された試験片を、前記基準グラフェン膜の面積を異ならせて複数用意する。以下、本工程を「試験片準備工程」と記載する場合がある。試験片は下記の方法により製造できる。
本実施形態に用いる試験片は、絶縁体基板上に基準グラフェン膜が被覆されている。以下、試験片準備工程(「試験片の製造方法」と記載する場合がある)について説明する。
本実施形態に用いる試験片10Aは、基板14の表面の一部にグラフェン11a及びポリマー薄膜21aがこの順で積層された構造を有する。
基板14としては、上述の絶縁体材料を2種以上組み合わせた材料を用いてもよく、これらの材料を重ねあわせた多層を使用してもよい。本実施形態においては、高分子材料としてアモルファスフッ素樹脂(サイトップ、旭硝子社製)、ポリ塩化ビニリデンフィルム(PVDCフィルム、サラン樹脂、旭化成製)などが挙げられる。
試験片の製造方法は、グラフェン担持膜を製造する工程(図1(a)〜(e))と、基板上にグラフェン担持膜を積層する工程(図1(f)〜(g))とを有することが好ましい。
{工程(a)}
本工程は、化学気相成長法(CVD法)により銅箔12上にグラフェン層11及び13を製造する工程である(図1に示す(a))。本工程においては、銅箔12の上面及び下面の両方にグラフェン層を積層してよい。本工程において、銅箔12に変えて、ニッケル箔、コバルト箔、ルテニウム箔を用いてもよい。本工程により、グラフェン層13、銅箔12、グラフェン層11がこの順で積層された積層体10を得る。
本工程は、前記工程(a)で得られた積層体10の、グラフェン層11の表面にスピンコートによりポリマー薄膜21を形成し、グラフェン膜の担持膜を作製する工程である(図1に示す(b))。ポリマー薄膜21は、ポリメチルメタクリレート(PMMA)が好ましい。本工程により、グラフェン層13、銅箔12、グラフェン層11、ポリマー薄膜21がこの順で積層された積層体20を得る。
本工程は、積層体20のポリマー薄膜21の上に、グラフェンを被覆する形状およびサイズにくり抜いた枠状の熱収縮テープ31を貼付して固定する工程である。図1(c)に示す熱収縮テープ31は、符号31bに示す部分がくり抜かれた、符号31aに示す枠状の熱収縮テープである。符号31bに示す部分の形状又は大きさを調整することにより、試験片のグラフェン膜の被覆面積を調整できる。
前記工程(c)の後、熱収縮テープ31を積層した面とは反対側の面に成長したグラフェン層13を、酸素プラズマエッチング等により除去することが好ましい。本工程により、銅箔12、グラフェン層11、ポリマー薄膜21、熱収縮テープ31がこの順で積層された積層体40を得る。
本工程は、前記工程(d)の後、銅箔12を酸(例えばFeCl3を0.05g/mL濃度で溶かした溶液)でエッチングし、その後洗浄のため水中に浸漬する工程である。ポリマー薄膜21と熱収縮テープ31にグラフェン層11が担持したグラフェン担持膜50を水上に浮遊させた形態で作製する工程である。
{工程(f)}
本工程は、上記で得られたグラフェン担持膜50を、基板14の上に積層する工程である。本工程においては、基板14の表面の所定の箇所に、基板14とグラフェン層11とが接するようにグラフェン担持膜50をすくい取り、乾燥させて固定することが好ましい。また、ポリマー薄膜21と熱収縮テープ31に担持したグラフェンを水中から取り出して乾燥させ、この乾燥させた担持膜を基板14の表面の所定の箇所に設置後、少量の水をグラフェンと基板14の表面に加えて密着させた後再度乾燥させて固定してもよい。
本工程は、グラフェン担持膜50を乗せた基板をホットプレートで約100℃程度に加熱し、枠状の熱収縮テープを除去する工程である。これにより、熱収縮テープのくり抜き部分の形状のグラフェン11a及びポリマー薄膜21aがこの順で積層された試験片10Aが得られる。
また、測定対象物が2層以上に積層された多層グラフェン膜である場合には、多層の基準グラフェン膜が被覆された試験片を使用して対応関係を求めて検量線を作成することが好ましい。この時、測定対象物のグラフェン層の積層数と、試験片に積層されたグラフェン層の積層数とは同一であることが好ましい。つまり一例を挙げると、測定対象物のグラフェン層が2層である場合には、試験片のグラフェン層も2層とすることが好ましい。
本実施形態においては、前記工程(c)〜工程(g)を繰り返すことにより基板上に多層グラフェンを積層することができる。また、あらかじめ多層グラフェンを合成しておき、これを転写することにより基板上に多層グラフェンを搭載してもよい。
用意する試験片の個数は特に限定されないが、一例を挙げると5枚〜6枚の試験片を用意すればよい。
前記「試験片準備工程」の後、準備した複数の試験片のそれぞれについて、空洞共振器摂動法により、入射するマイクロ波の周波数と、マイクロ波の反射波の反射強度又は透過波の透過強度との対応関係である共振曲線を求める。そして、得られた共振曲線のピーク値である共振周波数f0と、共振曲線の半値幅Δfとから、式(1)に従ってQ値を求める。以下、本工程を「Q値算出工程」と記載する場合がある。
本発明のグラフェンの面積測定方法に用いる検出装置の一例を示す模式図を図2に示す。
図2に示す検出装置20は、マイクロ波源1と、マイクロ波パワーセンサ5と、マイクロ波空洞共振器6とを備えている。本実施形態において、マイクロ波空洞共振器6はグラフェンを有する1cm〜10cm程度の試験片S又は測定対象物Sを設置可能な設置部7を有する。
上述の試験片又は測定対象物のマイクロ波の反射波の反射強度を測定する場合は、図2に示す設置部7に置き、マイクロ波を入射してその反射スペクトルを計測する。
試験片S又は測定対象物Sを含む共振器から反射した反射波は、サーキュレーター4を介してマイクロ波パワーセンサ5に入射する。
マイクロ波源1において周波数を制御することにより、共振曲線を得ることができる。
つまり、一度に測定可能な測定対象物のグラフェンの被覆面積は、ミリメートル四方以上〜1メートル四方程度まで測定可能であり、従来の顕微ラマンイメージングや原子間力顕微鏡法の測定面積の限界を大きく超えることができる。
さらに測定対象物Sの配置は共振器内に置くだけと簡便であるため、30秒程度で測定対象物の交換が可能である。顕微ラマンイメージングや原子間力顕微鏡法では、レーザーの焦点合わせやプローブ位置の調整など、サンプル交換に伴うオペレーションは1分間〜数分間程度を要する。よって本発明により、単位時間に測定できる測定対象物の個数を大幅に増加することができる。
前記「Q値算出工程」の後、前記Q値の逆数と前記基準グラフェン膜の面積との対応関係を求める。以下、本工程を「Q値の逆数算出工程」と記載する場合がある。
本工程においては、Q値の逆数を試験片の被覆面積Aに対してプロットする。これにより得られるグラフの一例を図3(c)に示す。図3(c)に示すグラフにおいて、横軸は被覆面積A(略記して「A」と記載、単位はmm2)であり、縦軸はQ値の逆数(単位なし)である。
試験片の被覆面積AはQ値の逆数と下記式(2)の関係が成り立ち、式(2)に対応する比例関係が得られる。このため、本実施形態においては、図3(c)に示すグラフを、Q値の逆数からグラフェン膜の面積を求める検量線として用いることができる。
本工程は、絶縁体基板上にグラフェン膜が形成された測定対象物について、空洞共振器摂動法により共振曲線を求め、上記式(1)に従ってQ値を求める工程である。以下、本工程を「対象物測定工程」と記載する。「測定対象物」とは、グラフェンの被覆面積が未知の被測定物を意味する。
本工程におけるQ値の測定方法は、前記「Q値算出工程」と同様である。
上記「対象物測定工程」により算出した測定対象物のQ値と前述の工程により得られた検量線を基に、測定対象物のグラフェンの被覆面積を定量的に算出することができる。
本発明のデバイスの製造方法は、絶縁体基板上にグラフェンを配置し、グラフェン膜を製造する工程と、前記グラフェン膜の面積を、前記本発明のグラフェンの面積測定方法により測定する工程と、を有する。
本発明のデバイスの製造方法において、絶縁体基板上にグラフェンを配置する工程は特に限定されず、一例を挙げると、前記本発明のグラフェンの面積測定方法において説明した、グラフェン担持膜を製造する工程と、基板上にグラフェン担持膜を積層する工程と、により絶縁体基板上にグラフェンを配置すればよい。
グラフェンの被覆面積が既知の6種の試験片を用意した。本実施例において、試験片1〜6は図1に示す方法で作製した。
・試験片1
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が1.3mm2である試験片。
・試験片2
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が3.3mm2である試験片。
・試験片3
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が8.2mm2である試験片。
・試験片4
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が8.6mm2である試験片。
・試験片5
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が10mm2である試験片。
・試験片6
石英基板の表面の一部にグラフェンが積層され、グラフェンの被覆面積が11mm2である試験片。
Q値の逆数を被覆面積Aに対してプロットした結果を図3(c)に示す。図3(c)に示すとおり、前記(2)式に対応する比例関係が得られた。
Claims (4)
- 絶縁体基板上に基準グラフェン膜が被覆された試験片を、前記基準グラフェン膜の面積を異ならせて複数用意する工程と、
複数の前記試験片のそれぞれについて、空洞共振器摂動法により、入射するマイクロ波の周波数と、前記マイクロ波の反射波の反射強度又は透過波の透過強度との対応関係である共振曲線を求め、前記共振曲線のピーク値である共振周波数f0と、前記共振曲線の半値幅Δfとから、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、
前記Q値の逆数と前記基準グラフェン膜の面積との対応関係を求める工程と、
絶縁体基板上にグラフェン膜が形成された測定対象物について、空洞共振器摂動法により前記共振曲線を求め、下記式(1)に従ってQ値を求める工程と、
前記対応関係に基づいて、前記測定対象物が備える前記グラフェン膜の面積を求める工程と、を有するグラフェンの面積測定方法。
- 前記基準グラフェン膜が単層であり、
前記測定対象物のグラフェン膜が単層である請求項1に記載のグラフェンの面積測定方法。 - 前記基準グラフェン膜が、2層以上に積層された多層グラフェンであり、
前記測定対象物のグラフェン膜が、2層以上の積層された多層グラフェンである請求項1に記載のグラフェンの面積測定方法。 - 絶縁体基板上にグラフェンを配置し、グラフェン膜を製造する工程と、
前記グラフェン膜の面積を、請求項1〜3のいずれか1項に記載のグラフェンの面積測定方法により測定する工程と、を有するデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017103007A JP6733910B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017103007A JP6733910B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018197721A JP2018197721A (ja) | 2018-12-13 |
JP6733910B2 true JP6733910B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=64663629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017103007A Active JP6733910B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6733910B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102238149B1 (ko) * | 2020-06-03 | 2021-04-08 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 그래핀의 합성 품질을 검사하는 방법 및 시스템 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8040132B2 (en) * | 2006-09-29 | 2011-10-18 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Method for identifying a sample in a container, e.g. when conducting a traveler survey in the check-in area, by determining the resonance frequency and the quality of a dielectric resonator to which the container is arranged |
US7898265B2 (en) * | 2007-12-04 | 2011-03-01 | The Boeing Company | Microwave paint thickness sensor |
EP2234930A2 (en) * | 2008-01-07 | 2010-10-06 | Wisys Technology Foundation, Inc. | Method and apparatus for identifying and characterizing material solvents and composite matrices and methods of using same |
JP4183744B1 (ja) * | 2008-06-09 | 2008-11-19 | オーム電機株式会社 | 分注装置および分注方法 |
WO2013022104A1 (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-14 | 王子製紙株式会社 | シート状基材の塗工層の水分量及び/又は塗工量の測定装置 |
JP6030504B2 (ja) * | 2013-05-30 | 2016-11-24 | 日本電信電話株式会社 | リング共振器型センサ |
JP6362174B2 (ja) * | 2015-08-24 | 2018-07-25 | 日本電信電話株式会社 | 酸化グラフェン還元体導電性の評価方法 |
JP6624515B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-12-25 | 日本電信電話株式会社 | 揮発性有機化合物の検出方法及び検出装置 |
-
2017
- 2017-05-24 JP JP2017103007A patent/JP6733910B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018197721A (ja) | 2018-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zeng et al. | Thermally conductive reduced graphene oxide thin films for extreme temperature sensors | |
Evans et al. | Thermally conductive ultra-low-k dielectric layers based on two-dimensional covalent organic frameworks | |
Srivastava et al. | MoS2 for Ultrafast All‐Optical Switching and Modulation of THz Fano Metaphotonic Devices | |
Borin Barin et al. | Surface-synthesized graphene nanoribbons for room temperature switching devices: substrate transfer and ex situ characterization | |
Mak et al. | Measurement of the thermal conductance of the graphene/SiO2 interface | |
Sun et al. | Direct growth of high-quality graphene on high-κ dielectric SrTiO3 substrates | |
Kaur et al. | Enhanced thermal transport at covalently functionalized carbon nanotube array interfaces | |
Liang et al. | Terahertz characterization of single-walled carbon nanotube and graphene on-substrate thin films | |
Bissett et al. | Effect of domain boundaries on the Raman spectra of mechanically strained graphene | |
Al Taleb et al. | Helium diffraction and acoustic phonons of graphene grown on copper foil | |
Peng et al. | Multifunctional macroassembled graphene nanofilms with high crystallinity | |
Zheng et al. | Thermal conductivity of graphite thin films grown by low temperature chemical vapor deposition on Ni (111) | |
Fortin-Deschênes et al. | Dynamics and mechanisms of exfoliated black phosphorus sublimation | |
Pitchappa et al. | Frequency‐agile temporal terahertz metamaterials | |
Xu et al. | Fast batch production of high‐quality graphene films in a sealed thermal molecular movement system | |
Simionescu et al. | Thin films of nanocrystalline graphene/graphite: An overview of synthesis and applications | |
CN107869978B (zh) | 一种电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法 | |
JP6733910B2 (ja) | グラフェンの面積測定方法及びデバイスの製造方法 | |
Rouhi et al. | Broadband conductivity of graphene from DC to THz | |
Hu et al. | Large‐Scale Suspended Graphene Used as a Transparent Substrate for Infrared Spectroscopy | |
Leng et al. | Intrinsic effect of interfacial coupling on the high-frequency intralayer modes in twisted multilayer MoTe 2 | |
Feng et al. | Giant Tunability of Charge Transport in 2D Inorganic Molecular Crystals by Pressure Engineering | |
Sharma et al. | Structural and electronic transport properties of fluorographene directly grown on silicates for possible biosensor applications | |
WO2013003083A1 (en) | Method of growing graphene nanocrystalline layers | |
Mak et al. | Thermal conductance at the graphene-SiO2 interface measured by optical pump-probe spectroscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20170526 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6733910 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |