JP6732224B2 - アクチュエータ、それを用いた移動体、搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体圧を利用したアクチュエータおよび移動体に関する。

近年、能動カテーテルや能動内視鏡の開発が進められている。たとえば特許文献１〜３には、空気圧を用いた管内自走装置、内視鏡推進装置、管内挿入装置が開示されている。これらは、基本的に管内を推進することを目的としたものである。

特開２００９−２４０７１３号公報 特開２０１２−８１１３０号公報 特開平５−２９３０７７号公報

本発明は係る状況においてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、進行波を生成可能なアクチュエータ、および／または平面上を推進可能な移動体の提供にある。

本発明のある態様は、アクチュエータに関する。アクチュエータは、高さ方向に積層されたＮ層（Ｎは３以上の整数）の扁平空間を含む柔軟部材に、隣接する層の境界において、長さ方向の伸延を妨げる拘束を加えた拘束付き柔軟部材と、Ｎ層の扁平空間内に周期的に挿入されたＮ本のチューブと、を備える。
この態様によると、各チューブの加圧状態に応じて、アクチュエータを正弦波状に湾曲させることができる。そして複数のチューブを順に繰り返し加圧すれば、進行波（後退波）を発生させることができる。

ある態様のアクチュエータにおいて、柔軟部材はＮ＝３の扁平空間を含んでもよい。柔軟部材には、第１層と第２層の境界、第２層と第３層の境界において長さ方向の伸延を妨げる拘束が加えられてもよい。Ｎ本のチューブは、３層の扁平空間内に、第１層、第２層、第３層、第２層の順で周期的に挿入された第１チューブと、３層の扁平空間内に、第２層、第３層、第２層、第１層の順で周期的に挿入された第２チューブと、３層の扁平空間内に、第３層、第２層、第１層、第２層の順で周期的に挿入された第３チューブと、を含んでもよい。
この態様によると、各チューブの加圧状態に応じて、アクチュエータを正弦波状に湾曲させることができる。そして第１チューブから第３チューブを順に繰り返し加圧すれば、進行波（後退波）を発生させることができる。

アクチュエータは、幅方向に偶数個、連結されてもよい。偶数個のアクチュエータそれぞれの内部におけるチューブの配置は、幅方向に対称であってもよい。これによりアクチュエータのねじれを抑制できる。

柔軟部材は、長さ方向に延びやすく、幅方向に延びにくいことが望ましい。これにより圧力を、低損失でアクチュエータの変形に変換できる。

本発明の別の態様もまた、アクチュエータである。このアクチュエータは、扁平形状を有する中空柔軟部材と、中空柔軟部材の上面および下面を内部から押圧して変形させる加圧部材と、を備える。加圧部材は、中空柔軟部材の上面に沿って長さ方向に所定の間隔で配置された複数の上側バルーンと、中空柔軟部材の下面に沿って長さ方向に所定の間隔で配置された複数の下側バルーンと、複数の上側バルーンおよび複数の下側バルーンの間に設けられ、長さ方向の伸延を制限する拘束部材と、を含む。複数の上側バルーンおよび複数の下側バルーンは、Ｋ個（Ｋ≧３）の制御単位に分類され、各制御単位の圧力を独立に制御可能である。ｉ番目（１≦ｉ≦Ｋ）の制御単位は、ｉ＋Ｋ×ｊ番目（ｊ＝−１，０，１，２，…）の上側バルーンおよび下側バルーンを含み、同じ制御単位に含まれる上側バルーンと下側バルーンは、互いに長さ方向に１／２周期ずれて配置される。１周期はＫ個のバルーンの長さに相当する。

この態様によると、第１〜第３制御単位の加圧、減圧状態を制御することで、アクチュエータに進行波（後退波）を発生させることができる。

本発明のさらに別の態様は、移動体である。この移動体は、上述のいずれかのアクチュエータを備える。

ある態様において、アクチュエータは幅方向に２個連結されてもよい。これにより、２個のアクチュエータの進行速度の差に応じて旋回させたり、あるいは２個のアクチュエータを逆方向に進行させることで回転することが可能となる。

本発明のさらに別の態様は、搬送装置である。この搬送装置は、上述のいずれかのアクチュエータを備える。

なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明のある態様によれば、進行波を生成可能なアクチュエータが提供される。

第１の実施の形態に係るアクチュエータの外観図である。 図１のアクチュエータのＡ−Ａ’線断面図である。 図３（ａ）、（ｂ）は、図１のアクチュエータの局所的な動作を模式的に説明する図である。 図４（ａ）〜（ｃ）は、アクチュエータが進行波を生成する様子を説明する図である。 アクチュエータの構成例を示す断面図である。 図６（ａ）〜（ｃ）は、アクチュエータの製造方法を示す図である。 図７（ａ）は、図５における３本のチューブの交差を示す平面図であり、図７（ｂ）、（ｃ）は、第１、第２変形例に係るアクチュエータを示す図である。 図８（ａ）〜（ｃ）は、複数のアクチュエータを備える移動体の斜視図である。 図９（ａ）は、アクチュエータを備える搬送装置を示す図であり、図９（ｂ）は、変形例に係る搬送装置を示す図である。

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

（第１の実施の形態）
はじめに、実施の形態に係るアクチュエータの基本構成を説明する。
図１は、第１の実施の形態に係るアクチュエータの外観図である。なおいくつかの図面に示される各部材の寸法は、理解の容易化、説明の簡潔化のため適宜拡大縮小されている。図１に示すように、アクチュエータ１００は板形状を有している。この薄型のアクチュエータ１００は、図示しない制御部と接続され、制御部からの圧力制御に応じて、矢状面（ＸＺ平面）内で変形（湾曲）し、その変形を長さ方向（図中、Ｘ方向あるいはその逆）に伝搬させる。つまりアクチュエータ１００は進行波を生成する。

図２は、図１のアクチュエータ１００のＡ−Ａ’線断面図である。アクチュエータ１００は、中空柔軟部材１０２および加圧部材１０４を備える。中空柔軟部材１０２は、扁平形状を有し、内部からの加圧によって変形可能である。好ましくは中空柔軟部材１０２は、加圧に応じて長さ方向に延びやすく、幅方向（Ｙ方向）には延びにくいことが望ましい。

加圧部材１０４は、中空柔軟部材１０２の内部に設けられ、中空柔軟部材１０２を内部から押圧して変形させる。加圧部材１０４は、複数の上側バルーン１０６と、複数の下側バルーン１０８と、拘束部材１１０と、を備える。複数の上側バルーン１０６は、中空柔軟部材１０２の上面Ｓ１に沿って長さ方向に所定の間隔で配置される。複数の下側バルーン１０８は、中空柔軟部材の下面Ｓ２に沿って長さ方向に所定の間隔で配置される。複数の上側バルーン１０６と複数の下側バルーン１０８とは、互いに半周期ずれて配置される。拘束部材１１０は、複数の上側バルーン１０６および複数の下側バルーン１０８の間に設けられ、長さ方向の伸延を制限する。なお図２において拘束部材１１０はその機能を模式的に示したものであって、その形状や本数は限定されない。たとえば拘束部材１１０は、後述の制御単位ごとに設けられてもよい。

複数の上側バルーン１０６および複数の下側バルーン１０８は、Ｋ個（Ｋ≧３）の制御単位に分類され、各制御単位の圧力が独立に制御可能となっている。図２では、Ｋ＝３の場合が示される。第１〜第３の制御単位それぞれに、Ａ〜Ｃを付している。

ｉ番目（１≦ｉ≦Ｋ）の制御単位は、ｉ＋Ｋ×ｊ番目（ｊ＝−１，０，１，２，…）の上側バルーン１０６および下側バルーン１０８を含む。そして同じ制御単位に含まれる上側バルーン１０６と下側バルーン１０８は、互いに長さ方向に１／２周期ずれて配置される。１周期は、Ｋ個のバルーンの長さＬに相当する。

図２では具体的に、第１制御単位Ａは、上側バルーン１０６＿１，１０６＿４，１０６＿７，…、および下側バルーン１０８＿１，１０８＿４，１０８＿７，…、を含む。第２制御単位Ｂは、上側バルーン１０６＿２，１０６＿５，１０６＿８，…、および下側バルーン１０８＿２，１０８＿５，１０８＿８，…を含む。第３制御単位Ｃは、上側バルーン１０６＿３，１０６＿６，１０６＿９，…、および下側バルーン１０８＿０，１０８＿３，１０８＿６，…を含む。なお、バルーンに付した添え字（＿Ｘ）は、理解の容易化と説明の簡易化のために付したものに過ぎず、相対的な位置を示すに過ぎない。

また上側バルーン１０６および下側バルーン１０８の個数は特に限定されず、必要な中空柔軟部材１０２の長さに応じて定めればよい。また各バルーンの長さ（周期）も特に限定されず、アクチュエータ１００に要求される変形量にもとづいて定めればよい。

アクチュエータ１００は、外部の制御部２００と接続される。制御部２００は、制御単位Ａ〜Ｃの圧力を制御し、アクチュエータ１００を駆動する。

以上がアクチュエータ１００の構成である。続いてその動作を説明する。
図３（ａ）、（ｂ）は、図１のアクチュエータ１００の局所的な動作を模式的に説明する図である。図３（ａ）、（ｂ）には、アクチュエータ１００の一部が示され、第１制御単位Ａに属する上側バルーン１０６Ａを加圧した状態が示される。図３（ａ）は加圧部材１０４の断面図である。

ひとつの上側バルーン１０６Ａに着目する。上側バルーン１０６Ａは、加圧すると膨張しようとする。このとき、上側バルーン１０６Ａの下側は、拘束部材１１０によって長さ方向に伸びにくくなるように拘束されている。その結果、上側バルーン１０６Ａは上に凸の形状に湾曲する。

下側バルーン１０８Ａについても同様であり、加圧すると膨張しようとする。このとき、下側バルーン１０８Ａの上側は、拘束部材１１０によって長さ方向に伸びにくくなるように拘束されている。その結果、下側バルーン１０８Ａは、下に凸の形状に湾曲する。なお拘束部材１１０は、長さ方向には伸びないが柔軟であり、したがって実際には拘束部材１１０の形状も、上側バルーン１０６および下側バルーン１０８の変形にともなって変形する。

図３（ｂ）は、図３（ａ）に対応する中空柔軟部材１０２の形状を示す。つまり中空柔軟部材１０２は、上側バルーン１０６Ａおよび下側バルーン１０８Ａの湾曲形状に沿って変形し、その形状は、擬似的な正弦波とみなすことができる。

同様に、第２制御単位Ｂを加圧すると、上側バルーン１０６Ｂが上に凸に、下側バルーン１０８Ｂが下に凸に変形することとなる。第３制御単位Ｃを加圧すると、上側バルーン１０６Ｃが上に凸に、下側バルーン１０８Ｃが下に凸に変形する。その結果、中空柔軟部材１０２の正弦波の山と谷の位置をずらすことができる。

たとえば制御部２００によって、第１制御端子Ａ〜第３制御単位Ｃを順に繰り返し加圧したとする。そうすると、中空柔軟部材１０２によって進行波を発生することができる。図４（ａ）〜（ｃ）は、アクチュエータ１００が進行波を生成する様子を説明する図である。

以上がアクチュエータ１００の動作である。このアクチュエータ１００は、圧力に対する湾曲角、湾曲力が大きいという利点を有する。

本発明は、図１、図２および上述の説明から導かれるさまざまな装置に及ぶものであり、特定の構成に限定されるものではない。以下、本発明の範囲を狭めるためではなく、発明の本質や動作の理解を助け、またそれらを明確化するために、より具体的な構成例を説明する。

（第２の実施の形態）
図５は、アクチュエータ１００ａの構成例を示す断面図である。アクチュエータ１００ａの基本構成および動作原理は図１、図２のそれと同様である。このアクチュエータ１００ａは、第１の実施の形態においてＫ＝３とした場合に対応する。

アクチュエータ１００ａは、拘束付き柔軟部材１２０および第１チューブ１３０、第２チューブ１３２、第３チューブ１３４を備える。拘束付き柔軟部材１２０は、高さ方向に積層された４層１２１，１２３，１２５，１２７で形成され、それらの間に、高さ方向に積層された３層の扁平空間１２２、１２４、１２６を含む。

第１扁平空間１２２と第２扁平空間１２４の境界となる中間層１２３ならびに、第２扁平空間１２４と第３扁平空間１２６の境界となる中間層１２５において、拘束付き柔軟部材１２０には、長さ方向の伸延を妨げる拘束が加えられている。中間層１２３，１２５は、第１の実施の形態における拘束部材１１０に相当する。したがって中間層１２３，１２５は、長さ方向に伸びにくい。

一方、また、最上層１２１および最下層１２７は、図２の中空柔軟部材１０２の上面Ｓ１および下面Ｓ２に対応する。したがって最上層１２１および最下層１２７は、長さ方向に伸びやすくなっている。

第１チューブ１３０は、３層の扁平空間１２２，１２４，１２６内に、第１層１２２、第２層１２４、第３層１２６、第２層１２４…の順で周期的に挿入される。第２チューブ１３２は、３層の扁平空間１２２，１２４，１２６内に、第２層１２４、第３層１２６、第２層１２４、第１層１２２の順で周期的に挿入される。第３チューブ１３４は、３層の扁平空間１２２，１２４，１２６内に、第３層１２６、第２層１２４、第１層１２２、第２層１２４の順で周期的に挿入される。各チューブは、その先端が閉じられており、他端からの加圧によって径方向および長さ方向に風船のように膨張する。

第１チューブ１３０の第１扁平空間１２２に含まれる部分は、上側バルーン１０６Ａに対応し、第１チューブ１３０の第３扁平空間１２６に含まれる部分は、下側バルーン１０８Ａに対応する。

第２チューブ１３２の第１扁平空間１２２に含まれる部分は、上側バルーン１０６Ｃに対応し、第２チューブ１３２の第３扁平空間１２６に含まれる部分は、下側バルーン１０８Ｃに対応する。同様に、第３チューブ１３４の第１扁平空間１２２に含まれる部分は、上側バルーン１０６Ｂに対応し、第３チューブ１３４の第３扁平空間１２６に含まれる部分は、下側バルーン１０８Ｂに対応する。

以上がアクチュエータ１００ａの構成である。アクチュエータ１００ａの動作は図１のそれと同様であり、図３（ａ）、（ｂ）に示した通りである。

このアクチュエータ１００ａは、１本のスリーブ内に収まっているため、非常にコンパクトである。

続いてアクチュエータ１００ａの製造方法の一例を説明する。図６（ａ）〜（ｃ）は、アクチュエータ１００ａの製造方法を示す図である。図６（ａ）には、柔軟部材１２０の構造が示される。柔軟部材１２０は、複数の布で形成される。布は、幅方向に延びにくく、長さ方向に延びやすいことが好ましい。中間層１２３および１２５については、長さ方向の伸延を抑制するために、長さ方向に直線縫い１３８が施される。また中間層１２３には、長さ方向に所定間隔で複数の開口箇所１４０が設けられ、同様に中間層１２５には、長さ方向に所定間隔で複数の開口箇所１４２が設けられる。なお、中間層１２３は、開口箇所１４０で分割された複数の布を含んでもよいし、１枚の布の開口箇所１４０に穴が開けられていてもよい。

図６（ｂ）に示すように、複数の布は重ね合わせられ、その両端で縫い合わされ、柔軟部材１２０が構成される。続いて柔軟部材１２０の扁平空間１２２，１２４，１２６に、第１チューブ１３０〜第３チューブ１３４が挿入され、図６（ｃ）に示すアクチュエータ１００ａが完成する。各チューブは非加圧状態において、第１扁平空間１２２〜第３扁平空間１２６の内部において扁平している。

以上がアクチュエータ１００ａの製造方法であり、縫い合わせの工程と、チューブの挿入の工程のみで容易に作製可能である。

第２の実施の形態におけるチューブの交差について考察する。図７（ａ）は、図５における３本のチューブ１３０，１３２，１３４の交差を示す平面図である。第１チューブ１３０〜第３チューブ１３４は、中間層１２３の開口箇所１４０および中間層１３５の開口箇所１４２において互いに交差することとなる。そして複数の第１チューブ１３０〜第３チューブ１３４の交差のパターンによっては、アクチュエータ１００にねじれを生じさせて好ましくない場合がある。たとえば図５および図７（ａ）に示すように、第１チューブ１３０が常に紙面奥側、第３チューブ１３４が常に紙面手前側となるような交差パターンの場合、アクチュエータ１００ａがねじれてしまう。

図７（ｂ）は、第１変形例に係るアクチュエータ１００ｂを示す図である。この変形例では、複数のアクチュエータ１００ａが、偶数個（ここでは２個）、幅方向に連結されて、ひとつのアクチュエータ１００ｂを形成する。第１のアクチュエータ１００ａ＿１の内部のチューブ１３０〜１３４の交差パターンと、第２のアクチュエータ１００ａ＿２の内部のチューブ１３０〜１３４の交差パターンは、矢状面（ＸＺ面）に対して線対称とされる。この変形例によれば、２個のアクチュエータのねじれの力が相殺しあうため、ねじれを抑制でき、力の損失を低減できる。また後述のようにアクチュエータ１００を移動体や搬送装置に応用する際には、この変形例によって直進性を高めることができる。

図７（ｃ）は、第２変形例に係るアクチュエータ１００ｃを示す図である。このアクチュエータ１００ｃでは、チューブ１３０，１３２，１３４が、ねじれが生じにくい態様にて交差している。なお、交差のパターンは図示のそれには限定されない。

（用途）
続いて、上述したアクチュエータ１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ（１００と総称する）の用途を説明する。

（移動体）
アクチュエータ１００は、移動体に利用することができる。アクチュエータ１００はそれ単体で移動体として用いることができる。すなわちアクチュエータ１００を地面や壁に対して自由に載置し、図４（ａ）〜（ｃ）に示す動作を繰り返すことにより、アクチュエータ１００で構成される移動体は、Ｘ方向に前進する。複数のチューブの加圧の順序を逆にすると、この移動体をＸ負方向に後退させることができる。なお制御部２００は省略されている。

アクチュエータ１００を、複数個連結することで、より多様な移動、運動が可能となる。図８（ａ）〜（ｃ）は、複数のアクチュエータ１００を備える移動体３００の斜視図である。移動体３００は、幅方向に連結された２個のアクチュエータ１００Ｌ，１００Ｒを備える。２個のアクチュエータ１００Ｌ，１００Ｒは、圧力が独立に制御可能となっている。図８（ａ）に示すように２個のアクチュエータ１００Ｌ，１００Ｒを両方とも等速で同じ方向に移動させると、移動体３００は直進する。図８（ｂ）に示すように、アクチュエータ１００Ｌと１００Ｒを逆方向に移動させると、移動体３００をその場で旋回させることができる。図８（ｃ）に示すように、アクチュエータ１００Ｌと１００Ｒを異なる速度で同じ方向に移動させると、移動体３００を湾曲（旋回）させることができる。

（搬送装置）
アクチュエータ１００は、搬送装置に利用することができる。アクチュエータ１００はそれ単体で搬送装置として用いることができる。図９（ａ）は、アクチュエータ１００を備える搬送装置４００を示す図である。アクチュエータ１００は、地面４０２や壁に対して固定され、図示しない制御部２００によって制御される。

図４（ａ）〜（ｃ）に示す動作を繰り返すことにより、アクチュエータ１００の上に載置される対象物４０４を、Ｘ方向（あるいは逆方向）に搬送することができる。

図９（ｂ）は、変形例に係る搬送装置４００ａを示す図である。搬送装置４００ａは、アクチュエータ１００に加えて、変形容易な構造体４０５を備える。変形容易な構造体４０５は、アクチュエータ１００の上面Ｓ１に取り付けられている。たとえば構造体４０５は、長さ方向に並べて取り付けられた複数の板状部材４０６を含んでもよい。アクチュエータ１００を駆動すると、アクチュエータ１００の変位に応じて、複数の板状部材４０６に疎密波が伝搬し、構造体４０５に進行波を発生させることができる。構造体４０５の上に対象物４０４を載置すると、疎密波の伝搬にしたがって、対象物４０４を搬送することができる。

なお、図９（ｂ）の搬送装置４００ａの構造は、移動体３００にも適用可能である。すなわち移動体３００のアクチュエータの下面Ｓ２に、構造体４０５を取り付け、構造体４０５を地面と接触させてもよい。

なおアクチュエータ１００の用途は、移動体３００や搬送装置４００には限定されない。

第２の実施の形態では、Ｎ＝３の場合を説明したが、Ｎ≧４であってもよい。したがっって第１の実施の形態においてＫ≧４であってもよい。この場合、柔軟部材１２０は、高さ方向に積層されたＮ層（Ｎ≧４）の扁平空間を含む。そして柔軟部材１２０は、隣接する層の境界において、長さ方向の伸延を妨げる拘束が加えられる。またアクチュエータ１００は、Ｎ層の扁平空間内に周期的に挿入されたＮ本のチューブを備える。Ｎ本のチューブの挿入形態にはさまざまなバリエーションが存在するが、第１から第Ｎのチューブが、順に第１層の扁平空間に現れるようにし、かつ、第１から第Ｎのチューブが順に第Ｎ層の扁平空間に現れるようにし、第１層と第Ｎ層とで、対応するチューブの出現箇所がずれていればよい。

実施の形態にもとづき、具体的な用語を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

１００…アクチュエータ、１０２…中空柔軟部材、１０４…加圧部材、Ｓ１…上面、Ｓ２…下面、１０６…上側バルーン、１０８…下側バルーン、１１０…拘束部材、１２０…柔軟部材、１２２…第１扁平空間、１２３…中間層、１２４…第２扁平空間、１２５…中間層、１２６…第３扁平空間、１３０…第１チューブ、１３２…第２チューブ、１３４…第３チューブ、２００…制御部、３００…移動体、４００…搬送装置。

Claims (8)

1. 高さ方向に積層されたＮ層（Ｎは３以上の整数）の扁平空間を含む柔軟部材に、隣接する層の境界において、長さ方向の伸延を妨げる拘束を加えた拘束付き柔軟部材と、
   前記Ｎ層の扁平空間内に周期的に挿入されたＮ本のチューブと、
   を備え、
   第１から第Ｎのチューブが、順に第１層の扁平空間に現れるようにし、かつ、第１から第Ｎのチューブが順に第Ｎ層の扁平空間に現れるようにし、前記第１層と前記第Ｎ層とで、対応するチューブの出現箇所がずれていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 高さ方向に積層された３層の扁平空間を含む柔軟部材に、隣接する層の境界において、長さ方向の伸延を妨げる拘束を加えた拘束付き柔軟部材と、
   前記３層の扁平空間内に周期的に挿入された３本のチューブと、
   を備え、
   第１層と第２層の境界、第２層と第３層の境界において長さ方向の伸延を妨げる拘束が加えられており、
   前記３本のチューブは、
   前記３層の扁平空間内に、第１層、第２層、第３層、第２層の順で周期的に挿入された第１チューブと、
   前記３層の扁平空間内に、第２層、第３層、第２層、第１層の順で周期的に挿入された第２チューブと、
   前記３層の扁平空間内に、第３層、第２層、第１層、第２層の順で周期的に挿入された第３チューブと、
   を含むことを特徴とするアクチュエータ。
3. 前記アクチュエータは幅方向に偶数個、連結され、
   前記アクチュエータの内部におけるチューブの配置が、幅方向に対称であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
4. 前記柔軟部材は、長さ方向に延びやすく、幅方向に延びにくいことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のアクチュエータ。
5. 扁平形状を有し、長さ方向に伸延可能である中空柔軟部材と、
   前記中空柔軟部材の内部空間に挿入され、前記中空柔軟部材の上面および下面を内部から押圧して変形させる加圧部材と、
   を備え、
   前記加圧部材は、
   前記中空柔軟部材の前記上面に沿って長さ方向に所定の間隔で配置された複数の上側バルーンと、
   前記中空柔軟部材の前記下面に沿って長さ方向に前記所定の間隔で配置された複数の下側バルーンと、
   前記複数の上側バルーンおよび前記複数の下側バルーンの間に設けられ、前記複数の上側バルーンおよび前記複数の下側バルーンそれぞれの長さ方向の伸延を制限する拘束部材と、
   を含み、
   前記複数の上側バルーンおよび前記複数の下側バルーンは、Ｋ個（Ｋ≧３）の制御単位に分類され、各制御単位の圧力を独立に制御可能であり、
   ｉ番目（１≦ｉ≦Ｋ）の制御単位は、ｉ＋Ｋ×ｊ番目（ｊ＝−１，０，１，２，…）の上側バルーンおよび下側バルーンを含み、
   同じ制御単位に含まれる前記上側バルーンと前記下側バルーンは、互いに長さ方向に１／２周期ずれて配置されることを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータを備えることを特徴とする移動体。
7. 前記アクチュエータは、幅方向に２個、連結されていることを特徴とする請求項６に記載の移動体。
8. 請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータを備えることを特徴とする搬送装置。

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