JP6730350B2 - 制御装置 - Google Patents

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Description

本発明は、制御装置に関し、特にモータの速度フィードバック又は位置フィードバックの値を元にモータの異常を検知する制御装置に関する。
工作機械やロボット等、産業機械の故障検知や故障予知を行う場合、故障状態に応じて反応が変化するセンサを対象部位の近傍に設置し、そのセンサの検出値を用いて異常検知を行うことが一般的であるが、一方で、コストやメンテナンスの面からセンサ数は出来る限り少ないことが望ましい。その為、追加のセンサ等を設置することなく産業機械の異常検知を可能とすることが望まれている。
例えば、産業機械に使われているモータに着目すると、モータの制御においてはモータの速度乃至位置を検出することは必須であるため、モータには標準的に速度センサ乃至位置センサが取り付けられ、これらのセンサからのフィードバックを用いた制御を行っている。その為、これらのセンサの値を用いて異常検知ができるようになるとメリットが大きい。なお、本明細書において異常検知とは、対象に対して問題となる異常が発生したことを検知するだけでなく、将来的に異常が発生する兆候を検知することを含む。
この様な、速度センサや位置センサを用いて産業機械の異常を検知する従来技術として、例えば特許文献1には、ロボットの先端位置が目標位置に到達するまでに掛かるサイクルタイムの誤差に基づいてロボットの異常検知を行う技術が開示されている。特許文献1に記載された技術では、ロボットの異常を検知し易くするために、異常の発生を検知し易い動作(動作の評価パラメータである「要求精度」が高い動作)を診断動作として選択するようにしている。
特開2017−200710号公報
一般に、適切に制御されたモータでは、モータを構成する部品や又はモータの動作に関る産業機械の構成部品に多少の異常が生じたとしても、その異常によって生じる速度や位置の差異が表出しないように制御される。その為、特許文献1に記載された技術を用いたとしても、正常な状態に対する異常が起きている乃至起きかけている場合のサイクルタイムの誤差は、モータの制御が適切に行われている限り大きな値となりにくく、多くの場合異常の検知ができないという課題がある。
そこで本発明の目的は、適切に制御されたモータの異常を検知し易くすることを可能とした制御装置を提供することである。
本発明では、モータを制御する制御装置において、モータの異常検知を行うための診断動作時に、外乱によるモータの動作の変化が大きくなるようにモータの制御パラメータを変更することで、モータからの速度フィードバック乃至位置フィードバックによる異常検知の感度を向上させることにより、上記課題を解決する。
そして、本発明の一態様は、速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知に係る構成を備えた制御装置であって、前記モータを制御するモータ制御部と、前記モータの動作モードを切換える動作モード切換え部と、前記モータの動作モード毎に、前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系を変更するモータ制御系変更部と、を備え、前記動作モードには、通常の動作モードである通常動作モードと、前記モータの異常を検知する診断動作モードとを少なくとも含み、前記モータ制御系変更部は、前記診断動作モードにおける前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系の少なくとも1つのゲインを通常動作モード時と異なる値にすることで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるモータ制御系へと変更する、制御装置である。
本発明の他の態様は、速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知に係る構成を備えた制御装置であって、前記モータを制御するモータ制御部と、前記モータの動作モードを切換える動作モード切換え部と、前記モータの動作モード毎に、前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系を変更するモータ制御系変更部と、を備え、前記動作モードには、通常の動作モードである通常動作モードと、前記モータの異常を検知する診断動作モードとを少なくとも含み、前記モータ制御系変更部は、前記診断動作モードにおける前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系に特定周波数帯域のみ増幅するフィルタを挿入することで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるモータ制御系へと変更する、制御装置である。
本発明の他の態様は、速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知する異常検知方法であって、前記モータの異常を検出する際に、前記モータを制御するモータ制御系の少なくとも1つのゲインを通常動作モード時と異なる値にすることで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるように変更するステップと、前記モータに診断動作をさせるステップと、前記診断動作の最中に取得されたフィードバック値に基づいて前記モータの異常を検知するステップと、を実行する異常検知方法である。
本発明の他の態様は、速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知する異常検知方法であって、前記モータの異常を検出する際に、前記モータを制御するモータ制御系に特定周波数帯域のみ増幅するフィルタを挿入することで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるように変更するステップと、前記モータに診断動作をさせるステップと、前記診断動作の最中に取得されたフィードバック値に基づいて前記モータの異常を検知するステップと、を実行する異常検知方法である。
本発明により、モータに標準で取付けられているセンサにより精度良くモータに発生した異常を検知できるようになるため、余計なセンサを追加することなく産業機械の異常を検知できるようになり、導入コストやメンテナンスコストを低減させることができる。
第1の実施形態による制御装置の概略的なハードウェア構成図である。 第1の実施形態による制御装置の概略的な機能ブロック図である。 モータ制御系の例を示す図である。 動作モードとモータ制御系の関連付けの例を示す図である。 動作モードとモータ制御系の関連付けの他の例を示す図である。
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
図1は本発明の一実施形態による制御装置の要部を示す概略的なハードウェア構成図である。制御装置1は、ロボット、工作機械等の産業機械を制御する制御装置として実装することができる。また、制御装置1は、モータの制御に特化したモータ制御装置やサーボアンプ等の上に実装することもできる。更に、制御装置1は、産業機械を制御する制御装置やモータを制御するモータ制御装置に直接的乃至間接的に有線/無線のネットワークを介して接続されたセルコンピュータ、ホストコンピュータ等のコンピュータ上に実装することができる。本実施形態の制御装置1は、工作機械を制御する制御装置として実装した例を示している。
本実施形態による制御装置1が備えるCPU11は、制御装置1を全体的に制御するプロセッサである。CPU11は、ROM12に格納されたシステム・プログラムをバス20を介して読み出し、該システム・プログラムに従って制御装置1全体を制御する。RAM13には一時的な計算データや表示データ、図示しない入力部を介してオペレータが入力した各種データ等が一時的に格納される。
不揮発性メモリ14は、例えば図示しないバッテリでバックアップされるなどして、制御装置1の電源がオフされても記憶状態が保持されるメモリとして構成される。不揮発性メモリ14には、インタフェース15を介して外部機器72から読み込まれた加工プログラムや表示器/MDIユニット70を介して入力された加工プログラム、制御装置1の各部や工作機械、センサ等から取得された各種データ(例えば、加工プログラムによる指令の実行状態、工作機械の動作状態を示す各種信号、サーボモータ50やスピンドルモータ62の制御パラメータ,位置,速度,電流・電圧値等)が記憶される。不揮発性メモリ14に記憶された加工プログラムや各種データは、実行時/利用時にはRAM13に展開されても良い。また、ROM12には、公知の解析プログラムなどの各種のシステム・プログラムがあらかじめ書き込まれている。
インタフェース15は、制御装置1とアダプタ等の外部機器72と接続するためのインタフェースである。外部機器72側からはプログラムや各種パラメータ等が読み込まれる。また、制御装置1内で編集したプログラムや各種パラメータ等は、外部機器72を介して外部記憶手段に記憶させることができる。PMC(プログラマブル・マシン・コントローラ)16は、制御装置1に内蔵されたシーケンス・プログラムで工作機械及び該工作機械の周辺装置(例えば、工具交換用のロボットハンドといったアクチュエータ、工作機械に設置されたセンサ等)にI/Oユニット17を介して信号を出力し制御する。また、工作機械の本体に配備された操作盤の各種スイッチや周辺装置等の信号を受け、必要な信号処理をした後、CPU11に渡す。
表示器/MDIユニット70はディスプレイやキーボード等を備えた手動データ入力装置であり、インタフェース18は表示器/MDIユニット70のキーボードからの指令,データを受けてCPU11に渡す。インタフェース19は各軸を手動で駆動させる際に用いる手動パルス発生器等を備えた操作盤71に接続されている。
工作機械が備える軸を制御するための軸制御回路30はCPU11からの軸の移動指令を受けて、軸の指令をサーボアンプ40に出力する。サーボアンプ40はこの指令を受けて、工作機械が備える軸を移動させるサーボモータ50を駆動する。軸のサーボモータ50は位置・速度検出器を内蔵し、この位置・速度検出器からの位置・速度フィードバック信号を軸制御回路30にフィードバックし、位置・速度のフィードバック制御を行う。なお、図1のハードウェア構成図では軸制御回路30、サーボアンプ40、サーボモータ50は1つずつしか示されていないが、実際には制御対象となる工作機械に備えられた軸の数だけ用意される。
スピンドル制御回路60は、主軸回転指令を受け、スピンドルアンプ61にスピンドル速度信号を出力する。スピンドルアンプ61はこのスピンドル速度信号を受けて、工作機械のスピンドルモータ62を指令された回転速度で回転させ、工具を駆動する。スピンドルモータ62にはポジションコーダ63が結合され、ポジションコーダ63が主軸の回転に同期してフィードバックパルスを出力し、そのフィードバックパルスはCPU11によって読み取られる。フィードバックは、主軸の回転速度や位置を特定するために用いられる。
図2は、一実施形態による制御装置1の概略的な機能ブロック図である。図2に示した各機能ブロックは、図1に示した制御装置1が備えるCPU11が、それぞれのシステム・プログラムを実行し、制御装置1の各部の動作を制御することにより実現される。
本実施形態の制御装置1は、加工動作指令200乃至診断動作指令210に基づいてサーボモータ50を制御するモータ制御部100、通常の加工用の制御と診断用の制御とを切り換える動作モード切換え部110、モータ制御系の制御パラメータ等を変更するモータ制御系変更部120、モータ制御部100にフィードバックされてきた速度乃至位置フィードバック値に基づいてモータの異常を検知する異常検知部130、を備える。
モータ制御部100は、不揮発性メモリ14に記憶されている加工プログラム(又は、RAM13に展開されている加工プログラム、表示器/MDIユニット70から入力されたMDIプログラム等)からの加工動作指令200に基づいてサーボモータ50やスピンドルモータ62を制御する。また、モータ制御部100は、動作モード切換え部110からの指令に基づいてモータの制御に掛かる動作を通常動作モードから診断動作モードへと切り換え、不揮発性メモリ14に記憶されている加工プログラム(又は、RAM13に展開されている診断プログラム、表示器/MDIユニット70から入力されたMDIプログラム等)からの診断動作指令210に基づいてサーボモータ50やスピンドルモータ62を制御する。
動作モード切換え部110は、予め定められた所定の契機にモータ制御部100に対して通常動作モードと診断動作モードを切り換えるように指令する。また、動作モード切換え部110は、モータ制御部100に対して動作モードを切り換えるように指令する際に、又はモータ制御部100が診断動作モードに切り換わった後の所定のタイミングで、モータ制御部100がサーボモータ50乃至スピンドルモータ62を制御する際に用いるモータ制御系の設定をそれぞれ変更するようにモータ制御系変更部120に対して指令する。動作モード切換え部110がモータ制御部100の動作モードを切り換えるように指令する契機としては、例えば、作業者による表示器/MDIユニット70や操作盤71の操作による指令がされた時、予め制御装置1に設定された時刻が来た時、制御装置1の立ち上げ時、加工プログラム乃至診断プログラムの実行が終了した時、加工プログラム乃至診断プログラムにより動作モードの切り換えが指令された時、等が挙げられる。動作モード切換え部110は、診断の対象となるモータのモータ制御系のみを変更するようにしても良いし、制御装置1で管理される他のモータの制御系も合わせて変更するようにしても良い。
モータ制御系変更部120は、モータ制御部100がモータを制御する制御系の制御パラメータ等を変更する機能手段であり、モータ制御部100が通常動作モードに切り換わる際には通常のモータの制御系(作業者が本来加工用に設定しているモータの制御系)に変更し、又、診断動作モードに切り換わる際には診断用の制御系へと変更する。モータ制御系変更部120は、モータの制御系を変更する際に、例えば、モータ制御系の制御パラメータの変更、モータ制御系に対してフィルタの追加/削除、モータ制御系の接続の変更、等を行う。
図3に、モータ制御部100によるサーボモータ50のモータ制御系の一例を示す。図3に例示されるモータ制御系では、通常の通常動作モードでは、モータの動作が安定するように、即ち、外乱が発生してサーボモータ50の速度に変化が生じようとしたとしても、サーボモータ50の速度がその外乱に追従して目標速度となるように設定された制御パラメータKp,Ki,Kd,Cに基づいてモータ制御系でサーボモータ50の速度制御が行われる。その為、例えばサーボモータ50のベアリングに摩耗等による異常が発生した場合であっても、モータ制御系の働きにより目標速度が維持される。そこで、モータ制御部100が診断動作モードへと切り換わった際に、モータ制御系変更部120が、動作モード切換え部110からの指令に基づいて制御パラメータKp,Ki,Kdを変更し、モータの外乱に対する追従性が悪くなるようにモータ制御系による制御を変更する(具体的には、各ゲインKp,Ki,Kdを下げる)ことで、診断動作モードでは、例えばサーボモータ50のベアリングに摩耗等による異常が発生した場合に目標速度から逸脱する度合いが大きくなり、異常の度合いが速度フィードバックに顕著に表れることとなる。
モータ制御系変更部120によるモータ制御系の変更の他の例として、例えばモータ制御系変更部120は、モータ制御部100が診断動作モードへと切り換わった際に、モータ制御系に対して特定周波数を増幅するフィルタを追加(又は特定周波数を減衰するフィルタを取り除く、通過させるフィルタに取り替える等)ことにより、特定周波数の振動を増幅させるようにしても良い。この様な変更により、サーボモータ50に発生した特定周波数の振動が速度フィードバックに顕著に表れることとなり、特定周波数に依存する異常を検知し易くすることができる。
また、モータ制御系変更部120によるモータ制御系の変更の他の例として、例えばモータ制御系変更部120は、モータ制御部100が診断動作モード中の所定のタイミングで、モータ制御系の各ゲインを0に設定する(サーボモータ50に対する制御出力を停止する)ことにより、サーボモータ50を惰性運転させるようにしても良い。サーボモータ50のモータ速度を所定の速度とした後に、上記した変更をモータ制御系に行うことで、サーボモータ50を惰性運転させて自然減速時に速度フィードバックに表れやすい異常を検知し易くすることができる。
モータ制御系変更部120によるモータ制御系の変更は、速度乃至位置フィードバックに表れるサーボモータ50の異常の兆候を検知し易くするのであれば、どのようなものであっても良く、例えばモータ制御系の制御ループ内の要素に対して行われても良いし、制御ループ外の要素に対して行われても良い。モータ制御系は図3に例示したもの以外にも、モータの使用目的や設置する産業機械によって様々なものがあるが、何れに対してもモータ制御系変更部120によるモータ制御系の変更は適用できる。例えば、図3に例示したモータ制御系は速度制御ループによるものであるが、位置制御ループ、電流制御ループ、これらの複合したモータ制御系に対しても同様に適用することが可能である。外乱に対する反応はそれぞれのモータ制御系により異なるが、予め実験等を行うことで、どのようにモータ制御系を変更すれば診断動作モードにおいて適切な外乱に対する追従度合いとなるかを確認しておき、その結果に基づいて診断動作モードにけるモータ制御系の変更を決定しておけば良い。
モータ制御系変更部120による各動作モードに対するモータ制御系の変更は、予め不揮発性メモリ14上に設定しておくようにしても良い。この場合、図4に例示するように、各動作モードに対応付けてモータ制御系を設定しておき、動作モードの切り換え時に不揮発性メモリ14を参照して対応するモータ制御系へと変更するようにしても良い。
異常検知部130は、モータ制御部100から異常の検知対象となるモータ(サーボモータ50乃至スピンドルモータ62)の速度乃至位置フィードバック値を取得し、取得した速度乃至位置フィードバック値に基づいた異常検知を行う。異常検知部130は、従来からある一般的な異常検知の方法によりモータの異常を検知する。最もシンプルに異常を検知する場合には、異常検知部130は、例えば予め取得している正常動作時のモータのフィードバック値に対して、診断動作モード時に取得されたフィードバック値に予め定められた所定の閾値以上のばらつきが有る場合に、該モータの異常が検知されたと判定するようにして良い。
より高度にモータの異常を検知したい場合には、異常検知部130として教師なし学習器を導入し、予め診断動作モードで正常時のモータのフィードバック値の推移を学習してクラスタを作成しておき、モータの正常/異常を検知する際には、診断動作モード時のモータのフィードバック値を教師なし学習器に入力して、正常時のモータのフィードバック値のクラスタから外れた場合に、該モータの異常が検知されたと判定するようにして良い。また、診断動作モードにおいて、モータが正常に動作している場合のクラスタ、それぞれの故障モード(ベアリングの故障、巻線の故障、軸線のゆがみ、等)毎のクラスタを作成しておき、モータの正常/異常を検知する際には、診断動作モード時のモータのフィードバック値を教師なし学習器に入力して、何れのクラスタに属するかによって、該モータが正常であるのか、又は何れの故障モードの異常が生じているのかを検知するようにして良い。
更に、異常検知部130として教師あり学習器を導入し、診断動作モードにおいて検出されたフィードバック値に基づいてモータが正常に動作している場合の教師データと、モータに異常がある場合の教師データを作成して、これらの教師データに基づく機械学習を行い、モータの正常/異常を検知する際には、診断動作モード時のモータのフィードバック値を教師なし学習器に入力して、正常乃至異常の判定が出力されるようにしても良い。なお、教師あり学習器を用いる場合にも、それぞれの故障モード(ベアリングの故障、巻線の故障、軸線のゆがみ、等)毎の教師データを作成することで、故障モードの判定をすることも可能である。
以上の構成により、本実施形態の制御装置1では、診断動作モードにおいてモータの動作に外乱の影響が出易いようにモータ制御系を変更することで、異常検知部130によりモータの異常を検知し易くすることができる。本実施形態の制御装置1では、診断モードにおいて、モータが正常である時に検出されるフィードバック値と、モータが異常である時に検出されるフィードバック値との間に明確な差が出易くなるため、異常検知部130としてシンプルな構成を採用しても敏感にモータの異常を検出することができるようになる。また、異常検知部130として機械学習器を導入した場合に、正常時と異常時の違いが明確なことから、少ない学習データで機械学習を終了させることができ、学習コストの低下が期待できる。
本実施形態の制御装置1の一変形例として、動作モード切換え部110により切り換えるモータ制御部100の診断動作モードとして、複数の診断動作モードを用意するようにしても良い。モータに生じる異常は、その異常原因や故障異常部位によって異なり、それぞれの異常原因・異常部位毎に、それぞれの異常をフィードバック値に表出させやすいモータ制御系の設定が異なる場合もある。その様な場合に、検知したい異常原因・異常部位毎に診断動作モードを設け、該診断動作モード毎に診断動作指令210を用意した上で、図5に例示するように、診断動作モード毎のモータ制御系を設定しておく。そして、動作モード切換え部110は、予め定められた所定の契機にモータ制御部100に対して通常動作モードと診断動作モード1,2,3…を切り換えるように指令する。それぞれの診断動作モードにおいて、モータ制御系変更部120は、モータ制御部100のモータ制御系を該診断動作モードに対応するモータ制御系へと変更し、モータ制御部100は、該診断動作モードにおいて実行するべき診断動作指令210を実行する。この様にすることで、モータに生じた異常をより精度高く検知することが可能となり、また、モータの異常原因・異常部位の判定もし易くなる。
本実施形態の制御装置1の他の変形例として、動作モード切換え部110により切り換えるモータ制御部100の診断動作モードとして、段階的に適用可能な複数の診断動作モードを用意するようにしても良い。これは、上記変形例を導入する際に、診断動作モードにより広い異常を検知し易い診断動作モードと、より特定の異常を検知し易い診断動作モードを設けておき、より広い異常を検地し易い診断動作モードから順に切り換えながら、それぞれの診断動作モードにおける診断動作を行わせることで、モータの異常原因・異常部位を段階的に絞り込むために用いることができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述した実施の形態の例のみに限定されることなく、適宜の変更を加えることにより様々な態様で実施することができる。
例えば、上記した実施形態では制御装置1として、工作機械を制御する制御装置を実装した例を示したが、制御装置1は、上記したようにモータ制御装置として実装しても良いし、ホストコンピュータ等のコンピュータ上に実装しても良い。また、これらの各装置に対して機能手段を割り振った実装とすることも可能である。例えば、上記で説明したモータ制御部100、動作モード切換え部110、モータ制御系変更部120をモータ制御装置上に実装した上で、バス、ネットワークを介して接続されるホストコンピュータ上に異常検知部130をそれぞれ実装するなど、実装先の装置と各機能手段の特性に合わせて適宜配置することができる。本願発明では、動作モード切換え部110、モータ制御系変更部120は、専ら異常検知を効率的に行うための支援的な役割を果たしているため、何れの装置上に設置しても大きな問題とはならない。また、異常検知部130として機械学習器を導入する場合には、異常検知部130をホストコンピュータ上に配置して、複数の産業機械で共有するようにすると、システム全体としてのコストを減らすことが可能となる。
1 制御装置
11 CPU
12 ROM
13 RAM
14 不揮発性メモリ
15 ,18,19 インタフェース
17 I/Oユニット
20 バス
30 軸制御回路
34 制御部
40 サーボアンプ
50 サーボモータ
60 スピンドル制御回路
61 スピンドルアンプ
62 スピンドルモータ
63 ポジションコーダ
70 表示器/MDIユニット
71 操作盤
72 外部機器
100 モータ制御部
110 動作モード切換え部
120 モータ制御系変更部
130 異常検知部
200 加工動作指令
210 診断動作指令

Claims (5)

  1. 速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知に係る構成を備えた制御装置であって、
    前記モータを制御するモータ制御部と、
    前記モータの動作モードを切換える動作モード切換え部と、
    前記モータの動作モード毎に、前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系を変更するモータ制御系変更部と、
    を備え、
    前記動作モードには、通常の動作モードである通常動作モードと、前記モータの異常を検知する診断動作モードとを少なくとも含み、
    前記モータ制御系変更部は、前記診断動作モードにおける前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系の少なくとも1つのゲインを通常動作モード時と異なる値にすることで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるモータ制御系へと変更する、
    制御装置。
  2. 速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知に係る構成を備えた制御装置であって、
    前記モータを制御するモータ制御部と、
    前記モータの動作モードを切換える動作モード切換え部と、
    前記モータの動作モード毎に、前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系を変更するモータ制御系変更部と、
    を備え、
    前記動作モードには、通常の動作モードである通常動作モードと、前記モータの異常を検知する診断動作モードとを少なくとも含み、
    前記モータ制御系変更部は、前記診断動作モードにおける前記モータ制御部が前記モータを制御する際に用いるモータ制御系に特定周波数帯域のみ増幅するフィルタを挿入することで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるモータ制御系へと変更する、
    制御装置。
  3. 前期診断動作モードにおいて、前記検出器により検出されたフィードバック値に基づいて前記モータの異常を検知する異常検知部を更に備える、
    請求項1または2に記載の制御装置。
  4. 速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知する異常検知方法であって、
    前記モータの異常を検出する際に、前記モータを制御するモータ制御系の少なくとも1つのゲインを通常動作モード時と異なる値にすることで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるように変更するステップと、
    前記モータに診断動作をさせるステップと、
    前記診断動作の最中に取得されたフィードバック値に基づいて前記モータの異常を検知するステップと、
    を実行する異常検知方法。
  5. 速度乃至位置のフィードバック値を検出する検出器を備えたモータの異常を検知する異常検知方法であって、
    前記モータの異常を検出する際に、前記モータを制御するモータ制御系に特定周波数帯域のみ増幅するフィルタを挿入することで、前記モータの動作が外乱の影響を受け易くなるように変更するステップと、
    前記モータに診断動作をさせるステップと、
    前記診断動作の最中に取得されたフィードバック値に基づいて前記モータの異常を検知するステップと、
    を実行する異常検知方法。
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