JP6720103B2 - High frequency power supply device, particle beam therapy device and vacuum tube life prediction method - Google Patents
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Description
本発明は真空管を用いた高周波電源装置および粒子線治療装置ならびに真空管寿命予測方法に関する。 The present invention relates to a high-frequency power supply device using a vacuum tube, a particle beam therapy apparatus, and a vacuum tube life prediction method.
真空管を用いた高周波溶接機における真空管の劣化を検出する劣化検出方法が特許文献1に記載されている。この特許文献1には、「真空管のプレート交流電流の通流開始時又は通流終了時のグリッド交流電圧egoと、プレート交流電圧epoとを計測して真空管の増幅率μをμ=epo/egoから算出し、この増幅率μと予め設定した劣化判定基準値μsとを比較することにより、真空管の劣化を判定する」ことが記載されている。
高周波電源装置に用いられる真空管では、経年変化により真空管のフィラメントの消耗および管内の汚れによる意図しない放電や、真空管内部の真空の低下等の理由により、プレート電流が減少することが知られている。これらの現象によって出力電力が所定のレベルに低下してしまうと、必要とする電力が得られなくなる、との問題が発生する。こうなると、例えば粒子線治療装置であれば、加速器の加速効率が低下し、ビーム電流が減少する、との問題が生じることになる。 In a vacuum tube used for a high frequency power supply device, it is known that the plate current is reduced due to aged deterioration of the vacuum tube due to aging, unintentional discharge due to dirt in the tube, a decrease in vacuum inside the vacuum tube, and the like. If the output power drops to a predetermined level due to these phenomena, there arises a problem that required power cannot be obtained. In this case, for example, in the case of a particle beam therapy system, there is a problem that the acceleration efficiency of the accelerator is reduced and the beam current is reduced.
ここで、真空管を並列接続した回路を用いることにより、高い増幅率が得られるとともに、一部の真空管が寿命となっても他の真空管で出力を担保できるといったメリットもあることから、高周波電源装置では並列接続回路が用いられている。 Here, by using a circuit in which the vacuum tubes are connected in parallel, a high amplification factor can be obtained, and even if some of the vacuum tubes have reached the end of their life, the output can be guaranteed by the other vacuum tubes. In, parallel connection circuit is used.
前述の特許文献1には、真空管のグリッド交流電圧とプレート交流電圧とを計測し、真空管の増幅率μを予め算出した劣化判定基準値μsと比較することにより真空管の劣化を判定する判定方法が記載されている。
In
しかし、特許文献1に記載された真空管の劣化を判定する方法は1個の真空管の劣化について検出する方法であり、並列接続時のアンバランスによる個々の増幅率の変化には対応できず、各々の真空管の劣化を判定することは困難であるといった問題があった。
However, the method of determining the deterioration of the vacuum tube described in
本発明の目的は、高周波電源に用いられる並列接続された真空管の寿命を予測することができ、従来に比べて真空管の劣化による装置の計画外停止を未然に抑制し、装置の稼働率を向上させることと、真空管を限界まで有効に使用することが可能な高周波電源装置および粒子線治療装置ならびに真空管寿命予測方法を提供することにある。 An object of the present invention is to predict the service life of vacuum tubes connected in parallel used for a high frequency power supply, to prevent unplanned stoppage of the apparatus due to deterioration of the vacuum tubes, and to improve the operating rate of the apparatus, as compared with the prior art. And to provide a high-frequency power supply device, a particle beam therapy device, and a vacuum tube life prediction method capable of effectively using the vacuum tube to the limit.
上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。
本発明は、上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、高周波電源装置であって、並列に複数個接続された真空管と、前記並列接続された全真空管のカソード電圧の平均値、および各真空管のカソード電圧の前記平均値に対する電圧変化率を各真空管毎に演算する電圧演算部と、前記並列接続された全真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値、および各真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値に対する電流変化率を各真空管毎に演算する電流演算部と、前記電圧演算部で演算された前記電圧変化率を予め設定された電圧寿命設定値と比較するとともに、前記電流演算部で演算された前記電流変化率を予め設定された電流寿命設定値と比較し、前記電圧変化率が前記電圧寿命設定値以下、且つ前記電流変化率が前記電流寿命設定値以下と判定されたときは該当する前記真空管が寿命を迎えたと判定する比較部と、を備えたことを特徴とする。
In order to solve the above problems, for example, the configurations described in the claims are adopted.
The present invention includes a plurality of means for solving the above problems, and one example thereof is a high-frequency power supply device, which is a high-frequency power supply device, in which a plurality of vacuum tubes are connected in parallel and the cathodes of all the vacuum tubes connected in parallel. At least one of the average value of the voltage and the voltage calculation unit for calculating the voltage change rate of the cathode voltage of each vacuum tube with respect to the average value for each vacuum tube, and the cathode current, grid current or plate current of all the vacuum tubes connected in parallel. Any one or more average value, and a current calculation unit for calculating, for each vacuum tube, a current change rate with respect to an average value of at least one or more of cathode current, grid current or plate current of each vacuum tube, and the voltage. The voltage change rate calculated by the calculation section is compared with a preset voltage life set value, and the current change rate calculated by the current calculation section is compared with a preset current life set value. A comparison unit that determines that the vacuum tube has reached the end of its life when the rate of change in voltage is less than or equal to the voltage life setting value and the rate of change in current is less than or equal to the current life setting value. And
また、他の一例をあげるならば、高周波電源装置に複数個並列に接続されて設けられた真空管の各々の寿命を予測する方法であって、前記並列接続された全真空管のカソード電圧の平均値、および各真空管のカソード電圧の前記平均値に対する電圧変化率を各真空管毎に演算する電圧演算工程と、前記並列接続された全真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値、および各真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値に対する電流変化率を各真空管毎に演算する電流演算工程と、前記電圧演算工程で演算された前記電圧変化率を予め設定された電圧寿命設定値と比較するとともに、前記電流演算工程で演算された前記電流変化率を予め設定された電流寿命設定値と比較し、前記電圧変化率が前記電圧寿命設定値以下、且つ前記電流変化率が前記電流寿命設定値以下と判定されたときに該当する前記真空管が寿命を迎えたと判定する比較工程と、を有することを特徴とする。 In addition, as another example, a method of predicting the life of each of the vacuum tubes connected in parallel to the high-frequency power supply device, wherein the average value of the cathode voltages of all the vacuum tubes connected in parallel is , And a voltage calculation step of calculating a voltage change rate for each vacuum tube with respect to the average value of the cathode voltage of each vacuum tube, and at least one of cathode current, grid current or plate current of all the vacuum tubes connected in parallel. The above average value and the current calculation step for calculating the current change rate for each vacuum tube with respect to the average value of at least one of the cathode current, the grid current or the plate current of each vacuum tube, and the voltage calculation step The voltage change rate is compared with a preset voltage life set value, and the current change rate calculated in the current calculation step is compared with a preset current life set value, and the voltage change rate is A comparison step of determining that the corresponding vacuum tube has reached the end of its life when it is determined that the voltage life setting value is less than or equal to and the current change rate is less than or equal to the current life setting value.
本発明によれば、高周波電源に用いられる並列接続された真空管の寿命を予測することができ、従来に比べて真空管の劣化による装置の計画外停止を未然に抑制し、装置の稼働率を向上させることと、真空管を限界まで有効に使用することができる。 According to the present invention, it is possible to predict the life of vacuum tubes connected in parallel used for a high-frequency power source, prevent unplanned shutdown of the apparatus due to deterioration of the vacuum tubes, and improve the operating rate of the apparatus, as compared with the related art. In addition, the vacuum tube can be effectively used to the limit.
本発明の高周波電源装置および粒子線治療装置ならびに真空管寿命予測方法の実施例を、図1乃至図4を用いて説明する。最初に、高周波電源装置を備え、真空管寿命予測方法を実施する一例である粒子線治療装置について図1を用いて説明する。 Embodiments of a high frequency power supply device, a particle beam therapy device, and a vacuum tube life prediction method of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. First, a particle beam therapy system, which is an example of a vacuum tube life prediction method including a high frequency power supply device, will be described with reference to FIG.
図1は高周波電源装置を有する粒子線治療装置を示す図である。 FIG. 1 is a diagram showing a particle beam therapy system having a high frequency power supply device.
図1において、粒子線治療装置100は、シンクロトロン型加速器50、ライナック58、イオン源59、ビーム輸送系52、照射装置54、治療台40、制御装置56、および高周波電源装置57A,57Bを備える。
In FIG. 1, a particle
イオン源59は、治療に用いられるイオンを発生させる機器である。ライナック58は、イオン源59で発生させたイオンをシンクロトロン型加速器50に入射するのに適した速度まで加速する機器である。
The
シンクロトロン型加速器50は、ライナック58で所定の速度まで加速されたイオンをさらに加速し、イオンビームとする加速器である。シンクロトロン型加速器50は、偏向電磁石や、高周波加速空胴、出射装置50aなどから構成される。なお、シンクロトロン型加速器50を用いる場合について説明したが、加速器は高周波電源装置を備えていればよく、例えばサイクロトロン型加速器等とすることができる。
The
ビーム輸送系52はシンクロトロン型加速器50に接続されており、シンクロトロン型加速器50から出射されたイオンビームを照射装置54に導く。
The
照射装置54は治療室に設けられており、イオンビームを照射するための機器であり、ビームの軌道に対して垂直な平面内の直交する二方向(以下、まとめて横方向と定義する)に独立にビームが走査させる二台の走査電磁石、ビームモニタ等を備えている。 The irradiation device 54 is a device for irradiating the ion beam, which is provided in the treatment room, and is arranged in two directions orthogonal to each other in a plane perpendicular to the trajectory of the beam (hereinafter collectively referred to as lateral direction). It is equipped with two scanning electromagnets that can be independently scanned by a beam and a beam monitor.
治療第40は、患者45をのせるベッドである。
The 40th treatment is a bed on which a
制御装置56は、これらシンクロトロン型加速器50をはじめとした粒子線治療装置100内の各装置,機器の動作、警報を制御する。
The
高周波電源装置57Aは、ライナック58に供給する高周波を生成する装置であり、高周波増幅回路1Aおよび比較演算器2Aを有している。高周波電源装置57Bは、シンクロトロン型加速器50中の出射装置50aに供給する高周波を生成する装置であり、高周波増幅回路1Bおよび比較演算器2Bを有している。これら高周波電源装置57A,57Bの詳細な構成については後述する。
The high frequency
粒子線治療装置100では、イオン源59で発生させたイオンをライナック58、およびシンクロトロン型加速器50で加速してイオンビームとする。加速されたイオンビームはシンクロトロン型加速器50から出射され、ビーム輸送系52により照射装置54まで輸送される。輸送されたイオンビームは照射装置54で患部形状に合致するように整形され、治療台40に横になった患者45の標的に対して所定量照射される。
In the particle
ライナック58への高周波は、高周波増幅回路1Aを含む高周波電源装置57Aから供給され、比較演算器2Aで真空管3(図2参照)の寿命を算出して警報を制御装置56へ送る。シンクロトロン型加速器50の出射装置50aへの高周波は、高周波増幅回路1Bを含む高周波電源装置57Bから供給され、比較演算器2Bで真空管3の寿命を算出して警報を制御装置56へ送る。なお、寿命を算出して警報を出力する部分は高周波電源装置57A,57Bとは別に設けてもかまわない。
The high frequency power to the
次に、高周波電源装置57A,57Bの詳細について図2乃至図4を用いて説明する。なお以下ではライナック58に供給する高周波を生成する高周波電源装置57Aについて説明するが、高周波電源装置57Bの構成も同じである。図2は、三極管の真空管を複数使用し、並列接続した場合の高周波増幅回路の概略図であり、図3は寿命予測方法を示すフローチャートで、図4は実際に計測した真空管のカソード電圧とグリッド電流の平均値からの変化率を示した図である。
Next, details of the high frequency
図2において、高周波電源装置57Aは、高周波増幅回路1Aと比較演算器2Aとで構成される。
In FIG. 2, the high frequency
高周波増幅回路1Aは、真空管3のグリッド21を接地したグリッド接地方式の増幅回路の概略を示すもので、真空管3、カソード用加熱電源4、カソード電源9、プレート電源8、高周波フィルタ15、結合コンデンサー6,7、グリッド電流検出器10、カソード電圧検出器11で構成される。
The high
真空管3は高周波増幅に用いられるもので、並列に複数個接続されている。真空管3は、カソード20とグリッド21、プレート22を有する三極管であるが、例えば四極や五極等の構成の真空管であっても構わない。図2では三極管の例を示す。
The
また、図2では真空管3を3個並列接続した形態を示したが、必要とする出力電力に応じて真空管3は複数個接続することができ、並列接続であれば個数を制限するものではない。また、図2はグリッド接地であるが、カソード接地その他の回路方式であっても、並列に接続されていれば同様に本発明の真空管3の寿命予測方法は実施可能である。
Further, although FIG. 2 shows a configuration in which three
カソード用加熱電源4は交流を用いており、その場合は高周波フィルタ15を併用する。なお、直流電源でもかまわない。
The heating power source 4 for the cathode uses alternating current, and in that case, the
カソード電源9は直流電源で、正極接地でカソード20とグリッド21間に接続され、この値を変えることでプレート電流Ipを調整する。
The cathode power supply 9 is a DC power supply, is connected between the
プレート電源8は直流電源で、負極接地で高周波フィルタ15を通してプレート22に接続する。本実施例のプレート電源8は、その内部で各々の真空管3のプレート22に流れるプレート電流Ip(Ipn)を検出することができるものとする。なお、プレート電流Ipはプレート電源8で計測する形態に限られず、電流計を各々のプレート22とプレート電源8との間に配置して、その電流計で計測してもよい。
The
カソード電源9、プレート電源8とも、値は使用する真空管に依存する。図2において、プレート電源8は1台で共用しているが、別々の電源を用いてもかまわない。
The values of both the cathode power supply 9 and the
グリッド電流検出器10は例えばシャント抵抗や電流変換器(CT)などがあり、各々の真空管3のグリッド電流Igを検出する。
The grid
カソード電圧検出器11はカソード電源9のモニター出力を検出することでカソード電圧Vkを検出する。なお、直接カソード電圧Vkを計測してもかまわない。
The
カソード電源9に流れるカソード電流Ikは、カソード電源9の電流から計算で求める。なお、図2からもわかるように、カソード電流Ikはグリッド電流Igとプレート電流Ipの和であることから、プレート電源8によって計測されるプレート電流Ipとグリッド電流検出器10によって計測されるグリッド電流Igとから計算して求めることができる。
The cathode current Ik flowing through the cathode power source 9 is calculated from the current of the cathode power source 9. As can be seen from FIG. 2, since the cathode current Ik is the sum of the grid current Ig and the plate current Ip, the plate current Ip measured by the
比較演算器2Aは、演算部12、比較部13、警報信号出力部(警報部)14で構成される。
The
演算部12は、電圧演算部12aおよび電流演算部12bで構成される。
The calculation unit 12 includes a voltage calculation unit 12a and a
電圧演算部12aは、カソード電圧検出器11で検出された並列に接続されたそれぞれの真空管3のカソード電圧Vkの平均値Vkaveを演算する。また、演算した平均値Vkaveに対する電圧変化率Vk’を各真空管3毎に演算する(電圧演算工程)。
The voltage calculator 12a calculates an average value Vk ave of the cathode voltages Vk of the
電流演算部12bは、グリッド電流検出器10で検出された並列に接続されたそれぞれの真空管3のグリッド電流Igの平均値Igaveを演算する。また、各真空管3のグリッド電流Igの平均値Igaveに対する電流変化率Ig’を各真空管3毎に演算する(電流演算工程)。
The
比較部13は、電圧演算部12aで演算されたそれぞれの真空管3の電圧変化率Vk’を寿命設定値Vksとそれぞれ比較するとともに、電流演算部12bで演算されたそれぞれの真空管3の電流変化率Ig’を寿命設定値Igsとそれぞれ比較するものである。また、比較部13は、電圧変化率Vk’が電圧寿命設定値Vks以下であり、且つ電流変化率Ig’が電流寿命設定値Igs以下と判定されたときは該当する真空管3が寿命を迎えたと判定し、警報信号出力部14に対して警報出力要求信号を出力する(比較工程)。カソード電圧Vk、グリッド電流Igの寿命設定値Vks,Igsは真空管3の仕様にもよるが、例えばともに−0.2〜−0.6の範囲である。
Comparing unit 13, each of the tube 3 a voltage change rate Vk 'with compare respectively life setting value Vk s calculated by the voltage calculating portion 12a, each of the current change in the
演算部12の電圧演算部12aおよび電流演算部12b、比較部13の処理の詳細は図3を用いて後述する。
Details of the processes of the voltage calculation unit 12a, the
警報信号出力部14は比較部13で寿命設定値以下と判定されて警報出力要求信号が入力された場合に、どの真空管3が寿命を迎えたと判定されたかを外部に警報として知らせるもので、制御画面などへ表示するよう動作する。
The alarm signal output unit 14 notifies the outside of which
次いで、検出した各真空管3のカソード電圧Vkとグリッド電流Igを用いて各真空管3の寿命を予測する方法について図3を用いて以下説明する。
Next, a method for predicting the life of each
はじめに、比較演算器2A,2Bは、初期値として寿命と判定するカソード電圧Vkの寿命設定値Vks、およびグリッド電流の寿命設定値Igsを設定する(ステップS201)。
First,
その後、比較演算器2A,2Bの電圧演算部12aは、カソード電圧Vkの平均値Vkave、を求める(ステップS202)。また、比較演算器2A,2Bの電流演算部12bは、グリッド電流Igの平均値Igaveを求める(ステップS203)。
Thereafter, the voltage calculator 12a of the
次いで、比較演算器2A,2Bの電圧演算部12aは、各真空管3のカソード電圧Vknに対するカソード電圧Vkの平均値Vkaveからの変化率Vkn’を、次式Vkn’=(Vkn−Vkave)/Vkaveに基づいて各真空管3毎に計算する(ステップS204)。ここで、Vknはある真空管3のカソード電圧を示す。
Then, the
次いで、比較演算器2A,2Bの電流演算部12bは、各真空管3のグリッド電流Ignに対するグリッド電流Igの平均値Igaveからの変化率Ign’を、次式Ign’=(Ign−Igave)/Igaveに基づいて各真空管3毎に計算する(ステップS205)。ここで、Ignはある真空管3のグリッド電流を示す。
Then, the
なお、ステップS204における電圧変化率Vk’やステップS205における電流変化率Ig’のうち、分子となる(Vkn−Vkave)および(Ign−Igave)は、得られるVkn’およびIgn’の符号が反転するのみである。このため、分子を(Vkave−Vkn)および(Igave−Ign)、すなわち、Vk’=(Vkave−Vk)/Vkave、Ig’=(Igave−Ig)/Igaveによって求めることができる。 Of the 'current rate of change Ig in and step S205' voltage change rate Vk in step S204, the molecule (Vk n -Vk ave) and (Ig n -Ig ave) is obtained Vk n 'and Ig n Only the sign of'is reversed. Therefore, the molecules (Vk ave -Vk n) and (Ig ave -Ig n), i.e., Vk '= (Vk ave -Vk ) / Vk ave, Ig' = determined by (Ig ave -Ig) / Ig ave be able to.
次いで、比較演算器2A,2Bの比較部13は、計算された電圧変化率Vkn’と寿命設定値Vksとを比較して、Vkn’≦Vksであるか否かを判定する(ステップS206)。電圧変化率Vkn’が寿命設定値Vks以下であると判定されたときは処理をステップS208に進める。これに対し、電圧変化率Vkn’が寿命設定値Vksより大きいと判定されたときは処理をステップS207に進める。
Then, the
ステップS206において電圧変化率Vkn’が寿命設定値Vksより大きいと判定されたときは、データを保存(ステップS207)した後、処理をステップS202に戻して、真空管3の使用を継続する。
When the voltage variation rate Vk n 'is determined to be greater than the life setting value Vk s in step S206, after storing the data (step S207), the process returns to step S202, and continues to use the
これに対し、ステップS206において電圧変化率Vkn’が寿命設定値Vks以下であると判定されたときは、比較演算器2A,2Bの比較部13は、計算された電流変化率Ign’と寿命設定値Igsとを比較して、Ign’≦Igsであるか否かを判定する(ステップS208)。電流変化率Ign’が寿命設定値Igs以下であると判定されたときは処理をステップS209に進める。これに対し、電流変化率Ign’が寿命設定値Igsより大きいと判定されたときは処理をステップS207に進める。
In contrast, Vk n voltage change rate in step S206 'when it is determined to be equal to or less than the life setting value Vk s, the
ステップS208において電流変化率Ign’が寿命設定値Igsより大きいと判定されたカソード電圧の低下だけ生じているときは、データを保存(ステップS207)した後、処理をステップS202に戻して、真空管3の使用を継続する。
When the current change rate Ig n ′ is determined to be larger than the life setting value Ig s in step S208 only when the cathode voltage is decreased, the data is saved (step S207), and the process is returned to step S202. Continue to use the
これに対し、ステップS208において電流変化率Ign’が寿命設定値Igs以下であると判定されたときは、データを保存(ステップS209)した後に処理をステップS210に進め、比較演算器2A,2Bの警報信号出力部14は警報を出力するよう処理を行う(ステップS210)。
On the other hand, when it is determined in step S208 that the current change rate Ig n ′ is less than or equal to the life setting value Ig s , the data is saved (step S209) and then the process proceeds to step S210, where the
上記のような処理を行う高周波電源装置57A,57Bは以下のように動作する。
The high frequency
高周波電源装置57A,57Bに入力された高周波は、各真空管3のカソード20とグリッド21との間の電圧を変調し、その結果グリッド21とプレート22との間の電圧も変調されて、プレート出力が得られる。複数の真空管3から出力された高周波出力をあわせて一つの出力とする。
The high frequency input to the high frequency
さらに加速器では安定した加速を行うために一定した出力が必要であり、そのためにはそれぞれのカソード電圧Vkを調整して出力の調整を行う。カソード電圧Vkを大きくすることでプレート電流Ipは減少し、逆にカソード電圧Vkを小さくすることでプレート電流Ipは増大する。 Further, the accelerator requires a constant output in order to perform stable acceleration, and for that purpose, the cathode voltage Vk is adjusted to adjust the output. The plate current Ip decreases as the cathode voltage Vk increases, and conversely the plate current Ip increases as the cathode voltage Vk decreases.
本実施例の高周波電源装置57A,57Bでは、計測したカソード電圧Vkとグリッド電流Igからそれぞれ平均値Vkave,Igaveを計算し、さらにそれぞれの真空管3についてのカソード電圧Vkおよびグリッド電流Igの平均値Vkave,Igaveからの電圧変化率Vkn’,電流変化率Ign’を計算して、寿命設定値Vks,Igsと比較する。その後、計算した電圧変化率Vkn’,電流変化率Ign’が寿命設定値Vks,Igsより低下した場合は警報を出力し、真空管3の交換を促す。
In the high-frequency
次いで、ある真空管3のカソード電圧Vkの平均値Vkaveからの変化率Vk’とグリッド電流Igの平均値Igaveからの変化率Ig’について図4に示す実測値を用いて説明する。
Next, the rate of change Vk′ of the cathode voltage Vk of the
図4において、A部ではカソード電圧Vkの変化率Vk’が約−0.4、すなわち平均値Vkaveよりも低い値となり、プレート電流Ipを増加させようとしている状態である。本結果では、変化率Vk’は−0.4で一定となっていることからこの値が閾値となる寿命設定値Vksとなる。 In FIG. 4, the change rate Vk′ of the cathode voltage Vk in the portion A is about −0.4, that is, a value lower than the average value Vk ave , and the plate current Ip is being increased. In this result, the rate of change Vk 'is this value as the life setting value Vk s as a threshold because it is constant at -0.4.
その後、図4に示すように、カソード電圧Vkではプレート電流Ipが調整できなくなったために、グリッド電流Igの変化率Ig’も低下し始め、最終的にはカソード電圧Vkの変化率Vk’と同じ−0.4になったところで出力が不安定になり、実際に真空管3の交換を実施した。
After that, as shown in FIG. 4, since the plate current Ip cannot be adjusted with the cathode voltage Vk, the rate of change Ig′ of the grid current Ig also begins to decrease, and finally the same as the rate of change Vk′ of the cathode voltage Vk. At -0.4, the output became unstable, and the
交換後は、図4中のB部に示すように、両者の値とも正常である0付近に戻っている。 After the replacement, as shown in part B in FIG. 4, both values have returned to around 0 which is normal.
なお、このようにカソード電圧Vkの変化率Vk’やグリッド電圧Igの変化率Ig’が低下した場合、比較演算器2A,2Bの比較部13において、各真空管3のカソード電圧Vkの電圧変化率Vkn’同士や、グリッド電流Igの電流変化率Ign’同士の比較を行い、変化率が負の値をとっているか否かを判定することができる。なお、低下した場合から比較を始める必要はなく、常に比較を行ってもよい。
When the rate of change Vk′ of the cathode voltage Vk and the rate of change Ig′ of the grid voltage Ig decrease in this way, the rate of change of the cathode voltage Vk of each
そのほかの真空管3がカソード電圧Vkおよびグリッド電流Igの平均値Vkave,Igaveからの変化率Vk’,Ig’が正の値を示している場合は、その真空管3での出力が全体に比べ小さいことを示し、全体の出力としても余裕があると判定でき、まだ使用が可能である。しかし、そのほかの真空管も0あるいは負の値をとった場合は、劣化が進んでおり真空管3の寿命が早くなると判定できることから、増幅率だけで判定する場合に比べてより詳細な寿命予測が可能となる。
When the
以上、電流演算部12bが、グリッド電流Igの平均値Igaveおよび電流変化率Ig’を各真空管3毎に演算する場合について説明した。グリッド電流Igは、プレート22に流れる電流の一部がグリッド21に流入することで得られる電流であるから、グリッド電流Igの増減がプレート電流Ipの増減に対応する。また、グリッド電流Igは、プレート電流Ipやカソード電流Ikに比べて変化が大きく現れるため、グリッド電流Igが最も好適である。
The case where the
また、本発明の高周波電源装置57A,57Bや真空管3の寿命予測方法では、グリッド電流Igの代わりに、プレート電流Ipの平均値Ipaveや電流変化率Ip’、またはプレート電流Ipとグリッド電流Igの和となるカソード電流Ikの平均値Ikaveや電流変化率Ik’を各真空管3毎に演算する形態とすることができる。この場合、並列に接続された全真空管3のカソード電流Ikまたはプレート電流Ipの平均値Ikave,Ipaveおよび電流変化率Ik’,Ip’を演算して寿命設定値Iks,Ipsと比較する。
Further, in the high-frequency
プレート電流Ipを用いる場合は、プレート電流Ipの電流変化率Ip’は、Ip’=(Ip−Ipave)/Ipave、もしくはIp’=(Ipave−Ip)/Ipaveから求めることができる。Ipnは対象とする真空管3のプレート電流である。
When the plate current Ip is used, the current change rate Ip′ of the plate current Ip can be obtained from Ip′=(Ip−Ip ave )/Ip ave or Ip′=(Ip ave −Ip)/Ip ave. .. Ip n is the plate current of the
カソード電流Ikを用いる場合は、カソード電流Ikの電流変化率Ik’はIk’=(Ik−Ikave)/Ikave、もしくはIk’=(Ikave−Ik)/Ikaveから求めることができる。Iknは対象とする真空管3のカソード電流である。
When using the cathode current Ik, the current change rate of the cathode current Ik Ik 'is Ik' can be obtained from = (Ik-Ik ave) / Ik ave or Ik '= (Ik ave -Ik) , / Ik ave. Ik n is the cathode current of the
比較部13は、電流変化率Ik’,Ip’が電流寿命設定値Iks,Ips以下と判定されたときは該当する真空管3が寿命を迎えたと判定する。 Comparing unit 13 determines that the current rate of change Ik ', Ip' current life setting value Ik s, tube 3 applicable when it is determined that the following Ip s has reached the life.
また、カソード電流Ik,グリッド電流Igまたはプレート電流Ipのうち一つを用いる場合について説明したが、それら3つのうち、2つを用いて比較を行ってもよいし、3つ全てを用いて比較を行ってもよい。 Also, the case where one of the cathode current Ik, the grid current Ig, and the plate current Ip is used has been described, but two of these three may be used for comparison, or all three may be used for comparison. You may go.
例えば、電流演算部12bでは、並列接続された全真空管3のグリッド電流Igの平均値Igaveおよびプレート電流Ipの平均値Ipaveと、各真空管3のグリッド電流Igの平均値Igaveに対する電流変化率Ig’およびプレート電流Ipの平均値Ipaveに対する電流変化率Ip’とを各真空管3毎に演算することができる。
For example, the
この場合は、比較部13は、電流演算部12bで演算されたグリッド電流Igの電流変化率Ig’およびプレート電流Ipの電流変化率Ip’を予め設定された電流寿命設定値Igs,Ipsと比較し、グリッド電流Igの電流変化率Ig’とプレート電流Ipの電流変化率Ip’のうちいずれか一方が電流寿命設定値Igs,Ips以下と判定されたときに該当する真空管3が寿命を迎えたと判定することができるし、グリッド電流Igの電流変化率Ig’とプレート電流Ipの電流変化率Ip’のうちいずれもが電流寿命設定値Igs,Ips以下と判定されたときに該当する真空管3が寿命を迎えたと判定することができる。
In this case, the comparing unit 13, a
3つを用いる場合も、いずれか一つの電流変化率Ik’,Ig’,Ip’が電流寿命設定値Iks,Igs,Ips以下と判定されたときに該当する真空管3が寿命を迎えたと判定してもよいし、3つのうち2つが電流寿命設定値Iks,Igs,Ips以下と判定されたときに該当する真空管3が寿命を迎えたと判定してもよい。更には、いずれもが電流寿命設定値Iks,Igs,Ips以下と判定されたときに該当する真空管3が寿命を迎えたと判定してもよい。 Even when using the three, one of the current change rate Ik ', Ig', pick Ip 'current life setting value Ik s, Ig s, tube 3 corresponding to when it is determined following the Ip s is the life it may be determined that, two of the three are current life setting value Ik s, Ig s, tube 3 corresponding to when it is determined following the Ip s it may be determined that greeted life. Furthermore, both the current life setting value Ik s, Ig s, tube 3 corresponding to when it is determined following the Ip s may be determined that greeted life.
次に、本実施例の効果について説明する。 Next, the effect of this embodiment will be described.
上述した本実施例の粒子線治療装置100の高周波電源装置57A,57Bは、並列に複数個接続された真空管3と、並列接続された全真空管3のカソード電圧Vkの平均値Vkave、および各真空管3のカソード電圧Vkの平均値Vkaveに対する電圧変化率Vk’を各真空管3毎に演算する(電圧演算工程)電圧演算部12aと、並列接続された全真空管3のカソード電流Ik,グリッド電流Igまたはプレート電流Ipのうち少なくともいずれか一つ以上の平均値Ikave,Igave,Ipave、および各真空管3のカソード電流Ik,グリッド電流Igまたはプレート電流Ipのうち少なくともいずれか一つ以上の平均値Ikave,Igave,Ipaveに対する電流変化率Ik’,Ig’,Ip’を各真空管3毎に演算する(電流演算工程)電流演算部12bと、電圧演算部12aで演算された電圧変化率Vk’を予め設定された電圧寿命設定値Vksと比較するとともに、電流演算部12bで演算された電流変化率Ik’,Ig’,Ip’を予め設定された電流寿命設定値Iks,Igs,Ipsと比較し、電圧変化率Vk’が電圧寿命設定値Vks以下、且つ電流変化率Ik’,Ig’,Ip’が電流寿命設定値Iks,Igs,Ips以下と判定されたときは該当する真空管3が寿命を迎えたと判定する(比較工程)比較部13と、を備えたものである。
The high-frequency
本発明によれば、並列に接続された複数の真空管3のカソード電圧Vkやグリッド電流Ig、プレート電流Ipあるいはカソード電流Ikの平均値Vkave,Igave,Ipave,Ikaveからの変化率Vk’,Ig’,Ip’ ,Ik’により、アンバランスを考慮した真空管3の寿命を予測することができるため、真空管3の劣化による粒子線治療装置100等の計画外停止を従来に比べて高確率で抑制することができ、装置の安定動作と稼働率向上が可能である。また、各々の真空管3の寿命限界まで使用することが可能となるため、高い経済性が得られるという効果がある。
According to the present invention, the cathode voltage Vk, the grid current Ig, the plate current Ip or the average value Vk ave , Ig ave , Ip ave , Ik ave of the cathode current Ik of the plurality of
また、比較部13で真空管3が寿命を迎えたと判定されたときに、寿命を迎えたことを通知する警報信号出力部14を更に備えたため、寿命を迎えた真空管3を速やかに交換することができ、装置の稼働率の更なる向上を図ることができる。
Further, when the comparison unit 13 determines that the
更に、比較部13は、電圧演算部12aで演算された各真空管3の電圧変化率Vk’の時間経過を追い、各真空管3の電圧変化率Vk’同士を比較して変化率が負の値をとっているか否かを判定するとともに、電流演算部12bで演算された各真空管3の電流変化率Ik’,Ig’,Ip’の時間経過を追い、各真空管3の電流変化率Ik’,Ig’,Ip’同士を比較して変化率が負の値をとっているか否かを判定することで、真空管3の劣化が進んでおり、寿命が近いか否かをより正確に判定することができ、より正確な真空管3の寿命予測が可能となる。
Further, the comparison unit 13 tracks the voltage change rate Vk′ of each
また、カソード電圧Vkの平均値をVkave、カソード電流Ikの平均値をIkave、グリッド電流Igの平均値をIgave、プレート電流Ipの平均値をIpaveとし、寿命予測対象の真空管3のカソード電圧の計測値をVk、カソード電流Ikの計測値をIk、グリッド電流の計測値をIg、プレート電流の計測値をIpとしたときに、電圧変化率Vk’をVk’=(Vk−Vkave)/VkaveまたはVk’=(Vkave−Vk)/Vkave、カソード電流Ikの電流変化率Ik’をIk’=(Ik−Ikave)/IkaveまたはIk’=(Ikave−Ik)/Ikave、グリッド電流Igの電流変化率Ig’をIg’=(Ig−Igave)/IgaveまたはIg’=(Igave−Ig)/Igave、プレート電流Ipの電流変化率Ip’をIp’=(Ip−Ipave)/IpaveまたはIp’=(Ipave−Ip)/Ipaveとすることにより、簡易かつ速やかに電圧変化率Vk’や電流変化率Ik’,Ig’,Ip’を演算することができる。 Further, the average value of the cathode voltage Vk is Vk ave , the average value of the cathode current Ik is Ik ave , the average value of the grid current Ig is Ig ave , and the average value of the plate current Ip is Ip ave . When the measured value of the cathode voltage is Vk, the measured value of the cathode current Ik is Ik, the measured value of the grid current is Ig, and the measured value of the plate current is Ip, the voltage change rate Vk′ is Vk′=(Vk−Vk ave )/Vk ave or Vk′=(Vk ave −Vk)/Vk ave , and the current change rate Ik′ of the cathode current Ik is Ik′=(Ik−Ik ave )/Ik ave or Ik′=(Ik ave −Ik). )/Ik ave , the current change rate Ig′ of the grid current Ig is Ig′=(Ig−Ig ave )/Ig ave or Ig′=(Ig ave −Ig)/Ig ave , the current change rate Ip′ of the plate current Ip. By Ip′=(Ip−Ip ave )/Ip ave or Ip′=(Ip ave −Ip)/Ip ave , the voltage change rate Vk′ and the current change rates Ik′, Ig′, Ip' can be calculated.
<その他>
なお、本発明は上記の実施例に限られず、種々の変形、応用が可能なものである。上述した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。
<Other>
The present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications and applications are possible. The above-described embodiments have been described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and are not necessarily limited to those having all the configurations described.
1A,1B…高周波増幅回路
2A,2B…比較演算器
3…真空管
4…カソード用加熱電源
6,7…結合コンデンサー
8…プレート電源
9…カソード電源
10…グリッド電流検出器
11…カソード電圧検出器
12…演算部
12a…電圧演算部
12b…電流演算部
13…比較部
14…警報信号出力部(警報部)
15…高周波フィルタ
20…カソード
21…グリッド
22…プレート
40…治療台
45…患者
50…シンクロトロン型加速器
50a…出射装置
52…ビーム輸送系
54…照射装置
56…制御装置
57A,57B…高周波電源装置
58…ライナック
59…イオン源
100…粒子線治療装置
1A, 1B... High-
15... High-
Claims (7)
並列に複数個接続された真空管と、
前記並列接続された全真空管のカソード電圧の平均値、および各真空管のカソード電圧の前記平均値に対する電圧変化率を各真空管毎に演算する電圧演算部と、
前記並列接続された全真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値、および各真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値に対する電流変化率を各真空管毎に演算する電流演算部と、
前記電圧演算部で演算された前記電圧変化率を予め設定された電圧寿命設定値と比較するとともに、前記電流演算部で演算された前記電流変化率を予め設定された電流寿命設定値と比較し、前記電圧変化率が前記電圧寿命設定値以下、且つ前記電流変化率が前記電流寿命設定値以下と判定されたときは該当する前記真空管が寿命を迎えたと判定する比較部と、を備えた
ことを特徴とする高周波電源装置。 A high frequency power supply,
Vacuum tubes connected in parallel,
An average value of the cathode voltages of all the vacuum tubes connected in parallel, and a voltage calculation unit that calculates a voltage change rate for each vacuum tube with respect to the average value of the cathode voltage of each vacuum tube,
An average value of at least one or more of cathode current, grid current or plate current of all vacuum tubes connected in parallel, and an average of at least one or more of cathode current, grid current or plate current of each vacuum tube A current calculation unit that calculates the current change rate for each vacuum tube,
The voltage change rate calculated by the voltage calculator is compared with a preset voltage life set value, and the current change rate calculated by the current calculator is compared with a preset current life set value. A comparison unit that determines that the corresponding vacuum tube has reached the end of its life when the voltage change rate is equal to or less than the voltage life set value and the current change rate is less than or equal to the current life set value. High-frequency power supply characterized by.
前記比較部で前記真空管が寿命を迎えたと判定されたときに、寿命を迎えたことを通知する警報部を更に備えた
ことを特徴とする高周波電源装置。 The high frequency power supply device according to claim 1,
The high frequency power supply device further comprising an alarm unit that notifies the end of the life when the comparison unit determines that the vacuum tube has reached the end of life.
前記比較部は、
前記電圧演算部で演算された各真空管の前記電圧変化率の時間経過を追い、各真空管の前記電圧変化率同士を比較して変化率が負の値をとっているか否かを判定するとともに、
前記電流演算部で演算された各真空管の前記電流変化率の時間経過を追い、各真空管の前記電流変化率同士を比較して変化率が負の値をとっているか否かを判定する
ことを特徴とする高周波電源装置。 The high frequency power supply device according to claim 1,
The comparison unit is
With the passage of time of the voltage change rate of each vacuum tube calculated by the voltage calculation unit, it is determined whether or not the change rate has a negative value by comparing the voltage change rates of the respective vacuum tubes.
Following the passage of time of the current change rate of each vacuum tube calculated by the current calculation unit, the current change rates of the respective vacuum tubes are compared with each other to determine whether or not the change rate has a negative value. High-frequency power supply featuring.
前記カソード電圧の平均値をVkave、前記カソード電流の平均値をIkave、前記グリッド電流の平均値をIgave、前記プレート電流の平均値をIpaveとし、
寿命予測対象の前記真空管のカソード電圧の計測値をVk、カソード電流の計測値をIk、グリッド電流の計測値をIg、プレート電流の計測値をIpとしたときに、
前記電圧変化率Vk’をVk’=(Vk−Vkave)/Vkave、前記カソード電流の電流変化率Ik’をIk’=(Ik−Ikave)/Ikave、前記グリッド電流の電流変化率Ig’をIg’=(Ig−Igave)/Igave、前記プレート電流の電流変化率Ip’をIp’=(Ip−Ipave)/Ipaveとする
ことを特徴とする高周波電源装置。 The high frequency power supply device according to claim 1,
The average value of the cathode voltage is Vk ave , the average value of the cathode current is Ik ave , the average value of the grid current is Ig ave , the average value of the plate current is Ip ave ,
When the measured value of the cathode voltage of the vacuum tube whose life is to be predicted is Vk, the measured value of the cathode current is Ik, the measured value of the grid current is Ig, and the measured value of the plate current is Ip,
The voltage change rate Vk′ is Vk′=(Vk−Vk ave )/Vk ave , the current change rate Ik′ of the cathode current is Ik′=(Ik−Ik ave )/Ik ave , and the current change rate of the grid current is A high frequency power supply device characterized in that Ig' is Ig'=(Ig-Ig ave )/Ig ave and a current change rate Ip' of the plate current is Ip'=(Ip-Ip ave )/Ip ave .
前記カソード電圧の平均値をVkave、前記カソード電流の平均値をIkave、前記グリッド電流の平均値をIgave、前記プレート電流の平均値をIpaveとし、
寿命予測対象の前記真空管のカソード電圧の計測値をVk、カソード電流の計測値をIk、グリッド電流の計測値をIg、プレート電流の計測値をIpとしたときに、
前記電圧変化率Vk’をVk’=(Vkave−Vk)/Vkave、前記カソード電流の電流変化率Ik’をIk’=(Ikave−Ik)/Ikave、前記グリッド電流の電流変化率Ig’をIg’=(Igave−Ig)/Igave、前記プレート電流の電流変化率Ip’をIp’=(Ipave−Ip)/Ipaveとする
ことを特徴とする高周波電源装置。 The high frequency power supply device according to claim 1,
The average value of the cathode voltage is Vk ave , the average value of the cathode current is Ik ave , the average value of the grid current is Ig ave , the average value of the plate current is Ip ave ,
When the measured value of the cathode voltage of the vacuum tube whose life is to be predicted is Vk, the measured value of the cathode current is Ik, the measured value of the grid current is Ig, and the measured value of the plate current is Ip,
The voltage change rate Vk′ is Vk′=(Vk ave −Vk)/Vk ave , the current change rate Ik′ of the cathode current is Ik′=(Ik ave −Ik)/Ik ave , and the current change rate of the grid current is ig 'to Ig' = (Ig ave -Ig) / Ig ave, current change rate Ip of the plate current 'to Ip' = (Ip ave -Ip) / Ip ave a high-frequency power supply device which is characterized in that.
前記並列接続された全真空管のカソード電圧の平均値、および各真空管のカソード電圧の前記平均値に対する電圧変化率を各真空管毎に演算する電圧演算工程と、
前記並列接続された全真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値、および各真空管のカソード電流,グリッド電流またはプレート電流のうち少なくともいずれか一つ以上の平均値に対する電流変化率を各真空管毎に演算する電流演算工程と、
前記電圧演算工程で演算された前記電圧変化率を予め設定された電圧寿命設定値と比較するとともに、前記電流演算工程で演算された前記電流変化率を予め設定された電流寿命設定値と比較し、前記電圧変化率が前記電圧寿命設定値以下、且つ前記電流変化率が前記電流寿命設定値以下と判定されたときに該当する前記真空管が寿命を迎えたと判定する比較工程と、を有する
ことを特徴とする真空管の寿命予測方法。 A method of predicting the life of each of the vacuum tubes connected in parallel to the high-frequency power supply device,
An average value of the cathode voltages of all the vacuum tubes connected in parallel, and a voltage calculation step of calculating a voltage change rate for each vacuum tube with respect to the average value of the cathode voltage of each vacuum tube,
An average value of at least one or more of cathode current, grid current or plate current of all vacuum tubes connected in parallel, and an average of at least one or more of cathode current, grid current or plate current of each vacuum tube A current calculation step for calculating the current change rate for each value for each vacuum tube,
The voltage change rate calculated in the voltage calculation step is compared with a preset voltage life set value, and the current change rate calculated in the current calculation step is compared with a preset current life set value. A comparison step of determining that the corresponding vacuum tube has reached the end of life when it is determined that the voltage change rate is equal to or lower than the voltage life set value and the current change rate is equal to or lower than the current life set value. Characteristic vacuum tube life prediction method.
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