JP6714340B2 - Band-shaped workpiece passing mechanism and exposure apparatus including the same - Google Patents

Band-shaped workpiece passing mechanism and exposure apparatus including the same Download PDF

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

本発明は、紙、樹脂フィルム、無垢の金属箔、金属箔の表面に感光材が成膜されたフレキシブルプリント回路基板の母材などの柔軟性のある薄い帯状ワークを搬送する装置ならびに、長尺フィルムの表裏面に感光材層が形成されたフレキシブルプリント回路基板の母材(帯状ワークの一類型)に回路パターンを照射する露光装置に関する。 The present invention relates to a device for conveying a flexible thin strip-shaped work such as a paper, a resin film, a solid metal foil, a base material of a flexible printed circuit board having a photosensitive material formed on the surface of the metal foil, and a long-length device. The present invention relates to an exposure apparatus that irradiates a circuit pattern on a base material (a type of strip-shaped work) of a flexible printed circuit board having photosensitive material layers formed on the front and back surfaces of a film.

柔軟性のある薄い帯状ワークをロール・トゥ・ロール方式で搬送し、露光や成膜など所定の処理を行う装置では、帯状ワークを搬送する経路の途中に折返しローラやテンションローラなどが所定の間隔を隔てて何カ所かに備えられており、帯状ワークが上下左右に方向を変えながら掛け渡されている(例えば、特許文献1〜3)。 In a device that conveys thin flexible work in a roll-to-roll system and performs predetermined processing such as exposure and film formation, folding rollers and tension rollers are provided at predetermined intervals in the course of the conveyance of the work. It is provided at several places separated by, and a strip-shaped work is laid over while changing the direction vertically and horizontally (for example, Patent Documents 1 to 3).

この様な搬送方式の装置の中でも、大型の成膜装置や縦型露光機など、パスラインが人の背丈以上に高い所を通るものは、踏み台や脚立などに上って、複数の作業者により通材作業を行うこととなる。 Among such transport type devices, those that pass through a place where the pass line is higher than the height of a person, such as a large-scale film forming device or a vertical exposure device, can be used by multiple workers by climbing a step or stepladder. Therefore, the threading work will be performed.

特開平10−171125号公報JP, 10-171125, A 特開2012−149284号公報JP2012-149284A 特開2015−34846号公報JP, 2015-34846, A

踏み台や脚立などに上って床面から高い位置で行う作業は、いわゆる高所作業と呼ばれ、危険を伴う不安全な作業となり易い。また、帯状ワークを通材する場所によっては、作業者が不安定な姿勢をとりながら作業することもあり、複数名による作業が求められる。 Work performed at a high position above the floor surface by climbing up on a step ladder or stepladder is called so-called work at a high place and is apt to be dangerous and unsafe work. In addition, depending on the place through which the strip-shaped work is passed, the worker may work in an unstable posture, and thus work by multiple people is required.

また、装置を小型化するための作業スペースが十分に確保されず、帯状ワークを通材するためのクリアランスが狭い場合もあり、通材に要する時間がかかっていた。 In addition, the work space for downsizing the device is not sufficiently secured, and the clearance for passing the strip-shaped work may be small in some cases, which requires a long time for the passage.

一方、上記問題を解消するために、リーダテープを装置内に残しておき、通材作業の度に使う手法も考えられる。しかし、この様な手法ではリーダテープ表面にパーティクルが付着・堆積してしまい、それらが搬送経路内で剥がれ落ちて再付着するという別の問題を招くおそれもある。そのため、この様な手法は採用しづらい。 On the other hand, in order to solve the above problem, a method of leaving the leader tape in the apparatus and using it every time the threading work is conceivable. However, such a technique may cause another problem that particles are attached and accumulated on the surface of the leader tape, and they are peeled off and reattached in the transport path. Therefore, it is difficult to adopt such a method.

そこで本発明は、帯状ワークを搬送経路内に通材させる際に、リーダテープの使用を必要とせず、高所作業や複数の作業者による作業を必要としない通材機構を提供することを目的とする。 Therefore, it is an object of the present invention to provide a threading mechanism that does not require the use of a leader tape when threading a strip-shaped work into a transportation path and does not require work at a high place or work by a plurality of workers. And

上記課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
帯状ワークを搬送するワーク搬送装置と、
帯状ワークを搬送経路に通材させる帯状ワーク通材機構を備えた露光装置であって、
帯状ワークが、金属箔の表面に感光材が成膜されたフレキシブルプリント回路基板の母材であって、
帯状ワークの搬送経路中には、帯状ワークを上方から下方へ又は下方から上方へ縦方向に搬送する縦搬送区間を有し、
縦搬送区間には、当該帯状ワークの表面に所定の回路パターンを照射する露光部を備え、
帯状ワーク通材機構は、
搬送経路の幅方向外側に、搬送経路に沿って配置されたタイミングプーリーとタイミングベルトを有する搬送ベルト部と、
搬送ベルト部に取り付け可能であって、帯状ワークの先端に取り付けられて当該帯状ワークを搬送経路に導く先導ユニットとを備え、
先導ユニットは、帯状ワークを保持するワーク保持部と、搬送ベルト部に係合するベルト係合部とを備え、
搬送ベルト部を駆動させるとベルト係合部がベルトに沿って移動することによりワーク保持部に取り付けられた帯状ワークが搬送経路に沿って通材される
ことを特徴とする、露光装置である。
In order to solve the above problems, one aspect of the present invention is
A work transfer device for transferring a band-shaped work,
An exposure apparatus comprising a belt-shaped workpiece passing mechanism for passing a belt-shaped workpiece through a transport path,
The strip-shaped work is a base material of a flexible printed circuit board in which a photosensitive material is formed on the surface of a metal foil,
In the transfer path of the strip-shaped work, there is a vertical transfer section for vertically transferring the strip-shaped work from the upper side to the lower side or from the lower side to the upper side,
The vertical transport section is provided with an exposure unit that irradiates a surface of the strip-shaped work with a predetermined circuit pattern,
The band-shaped work threading mechanism is
A conveyance belt unit having a timing pulley and a timing belt arranged along the conveyance path on the outer side in the width direction of the conveyance path,
A leading unit that can be attached to the conveyor belt and is attached to the tip of the belt-like work to guide the belt-like work to the conveyance path;
The leading unit includes a work holding portion that holds a strip-shaped work, and a belt engaging portion that engages with the conveyor belt portion,
The exposure apparatus is characterized in that, when the conveyor belt portion is driven, the belt engaging portion moves along the belt so that the strip-shaped workpiece attached to the workpiece holder is passed along the conveyor path.

この態様によれば、帯状ワークの搬送経路に並設されている搬送ベルト部を駆動して先導ユニットを搬送することにより、先導ユニットに保持された帯状ワークが搬送経路内に通材される。 According to this aspect, the belt-shaped work held by the leading unit is passed through the conveyance path by driving the conveyor belt portions arranged in parallel in the conveyance path of the belt-shaped work to convey the leading unit.

リーダテープの使用を必要とせず、高所作業や複数の作業者による作業を必要とせずに、帯状ワークを搬送経路内に通材させることができる。
The belt-shaped work can be passed through the conveyance path without using a leader tape and without requiring work at a high place or work by a plurality of workers.

本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。It is a schematic diagram showing the whole example composition of the form which embodies the present invention. 本発明を具現化する形態の一例の一部を拡大して示した部分拡大図である。It is the elements on larger scale which expanded and showed a part of example of the form which embodies the present invention. 本発明を具現化する形態の一例の要部を拡大して示した部分拡大図である。It is the elements on larger scale which expanded and showed the important section of an example of the form which embodies the present invention. 本発明を具現化する形態の別の一例の要部を拡大して示した部分拡大図である。It is the elements on larger scale which expanded and showed the principal part of another example of the form which embodies the present invention.

以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。なお各図では、水平方向をx方向、y方向と表現し、xy平面に垂直な方向(つまり、重力方向)をz方向と表現する。また、帯状ワークWの搬送経路Lにおける搬送方向(x方向ないしz方向)と直交する方向(つまり、y方向)を幅方向、重力に逆らう方向を上、重力がはたらく方向を下と表現する。
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the horizontal direction is expressed as the x direction and the y direction, and the direction perpendicular to the xy plane (that is, the gravity direction) is expressed as the z direction. In addition, the direction (that is, the y direction) orthogonal to the conveyance direction (x direction or z direction) of the conveyance path L of the strip-shaped workpiece W is expressed as the width direction, the direction against gravity is expressed as up, and the direction in which gravity acts is expressed as down.

図1は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図1には、本発明に係る帯状ワーク通材機構1を備えた露光装置Eの側面図が示されている。 FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of an example of a mode embodying the present invention. FIG. 1 shows a side view of an exposure apparatus E provided with a strip-shaped workpiece passing mechanism 1 according to the present invention.

露光装置Eは、ワーク搬送装置C、露光部P、帯状ワーク通材機構1を備えている。
帯状ワークWの搬送経路Lが2点鎖点で示されている。
The exposure apparatus E includes a work transfer device C, an exposure section P, and a strip-shaped work threading mechanism 1.
The transport path L of the strip-shaped work W is indicated by a chain double-dashed line.

ワーク搬送装置Cは、帯状ワークWを搬送するものである。具体的には、ワーク搬送装置Cは、巻出ロールD1、巻取ロールD2、複数の搬送ローラR1〜R11を備えている。帯状ワークWは、予め巻出ロールD1に巻き付けられており、ここから供給される。そして、帯状ワークWは、複数の搬送ローラR1〜R11で方向を変えながら搬送され、巻取ロールD2に巻き取られる。 The work transfer device C transfers the strip-shaped work W. Specifically, the work transfer device C includes an unwinding roll D1, a winding roll D2, and a plurality of transfer rollers R1 to R11. The strip-shaped work W is wound around the unwinding roll D1 in advance and is supplied from here. Then, the strip-shaped work W is transported while being changed in direction by the plurality of transport rollers R1 to R11, and is wound around the winding roll D2.

なお、搬送ローラR3〜R9は、それぞれ同時に、同じ周速で回転または回転停止するものであり、回転モータ(図示せず)と接続されている。また、搬送ローラR2,R10は、ダンサーロールとも呼ばれ、上下方向に位置調節が行われる。ダンサーロールは、帯状ワークWの搬送経路の長さを調整するためのものであり、巻き出しロールD1,巻取ロールD2の回転速度と帯状ワークWの搬送速度ずれを調節したり、帯状ワークWに付与される張力を調節したり、帯状ワークWを一定速度で巻出/巻取しつつ間欠送りさせたりする役割がある。また、ワーク搬送装置Cは、帯状ワークWの搬送経路中において、帯状ワークWを下方から上方へ縦方向に搬送する縦搬送区間(搬送ローラR4〜R5の間)と、帯状ワークWを上方から下方へ縦方向に搬送する縦搬送区間(搬送ローラR6〜R7の間)とを有している。 The transport rollers R3 to R9 simultaneously rotate or stop rotating at the same peripheral speed, and are connected to a rotary motor (not shown). The transport rollers R2 and R10 are also called dancer rolls, and their positions are adjusted in the vertical direction. The dancer roll is for adjusting the length of the transport path of the strip-shaped work W, and adjusts the rotational speeds of the unwinding roll D1 and the winding roll D2 and the transport speed of the strip-shaped work W, and the strip-shaped work W. Has the role of adjusting the tension applied to the belt, and the role of intermittently feeding the strip-shaped workpiece W while unwinding/winding it at a constant speed. Further, the work transfer device C includes a vertical transfer section (between the transfer rollers R4 to R5) for vertically transferring the band-shaped work W in the transfer path of the band-shaped work W and a band-shaped work W from the upper side. It has a vertical conveyance section (between the conveyance rollers R6 to R7) which conveys downward in the vertical direction.

露光部Pは、帯状ワークWの表面および裏面に成膜された感光材層に向けて、所定パターンの紫外線を照射するものである。具体的には、露光部Pは、表面側露光ユニットP1と、裏面側露光ユニットP2とを備えている。表面側露光ユニットP1と裏面側露光ユニットP2は、帯状ワークWを上方から下方へ縦方向に搬送する縦搬送区間(搬送ローラR6〜R7の間)において、帯状ワークWと所定の間隔を保ちつつ帯状ワークWを挟む位置に、互いが向き合って配置(つまり、対向配置)されている。 The exposure part P irradiates the photosensitive material layer formed on the front surface and the back surface of the strip-shaped work W with ultraviolet rays of a predetermined pattern. Specifically, the exposure unit P includes a front surface side exposure unit P1 and a rear surface side exposure unit P2. The front-side exposure unit P1 and the back-side exposure unit P2 maintain a predetermined distance from the strip-shaped work W in a vertical transport section (between the transport rollers R6 to R7) for vertically transporting the strip-shaped work W from above. The strip-shaped workpieces W are arranged so as to face each other (that is, to be opposed to each other) at positions sandwiching the strip-shaped workpiece W.

図2は、本発明を具現化する形態の一例の一部を拡大して示した部分拡大図である。 FIG. 2 is a partially enlarged view showing an enlarged part of an example of a mode embodying the present invention.

本発明に係る帯状ワーク通材機構1は、帯状ワークWをワーク搬送装置Cに通材させるものである。具体的には、帯状ワーク通材機構1は、搬送ベルト部2、先導ユニット3を備えている。 The strip-shaped workpiece passing mechanism 1 according to the present invention allows the workpiece transfer device C to pass the strip-shaped workpiece W. Specifically, the strip-shaped workpiece threading mechanism 1 includes a conveyor belt portion 2 and a leading unit 3.

搬送ベルト部2は、帯状ワークWの搬送経路Lの幅方向外側に、搬送経路Lに沿って配置されている。さらに搬送ベルト部2は、搬送経路Lの幅方向の両外側に一対で備えられている。具体的には、搬送ベルト部2は、2組のタイミングベルト20L,20R、タイミングプーリー21L〜26L,21R〜26R、平プーリー27L〜29L,27R〜29Rを備えている。 The conveyor belt unit 2 is arranged along the conveyor path L on the outer side in the width direction of the conveyor path L for the strip-shaped workpiece W. Further, the pair of transport belt portions 2 is provided on both outer sides of the transport path L in the width direction. Specifically, the conveyor belt unit 2 includes two sets of timing belts 20L and 20R, timing pulleys 21L to 26L and 21R to 26R, and flat pulleys 27L to 29L and 27R to 29R.

タイミングベルト20Lは、タイミングプーリー21L〜26Lの回転と同調して閉ループ軌道で回転駆動するものである。タイミングベルト20Rは、タイミングプーリー21R〜26Rの回転と同調して閉ループ軌道で回転駆動するものである。タイミングベルト20L,20Rは、所定の幅と所定の長さを有するループ状の歯付平ベルトであり、片面には凹凸(歯)が形成されている。 The timing belt 20L is rotationally driven in a closed loop orbit in synchronization with the rotation of the timing pulleys 21L to 26L. The timing belt 20R is rotationally driven in a closed loop orbit in synchronization with the rotation of the timing pulleys 21R to 26R. The timing belts 20L and 20R are loop-shaped toothed flat belts having a predetermined width and a predetermined length, and unevenness (teeth) are formed on one surface thereof.

タイミングプーリー21L〜26Lは、タイミングベルト20Lの歯と噛み合いながら回転する円板状の部材であり、外周部に凹凸の溝(歯)が形成された平歯車で構成されている。平プーリー27L〜29Lは、タイミングベルト20Lに一定の張力がはたらくようにするものであり、回転する円形の部材で構成されている。平プーリー27L〜29Lは、タイミングベルト20Lの歯の無い側(いわゆる、背面側)と当接するため、外周部に凹凸(歯)を備えていない。 The timing pulleys 21L to 26L are disk-shaped members that rotate while meshing with the teeth of the timing belt 20L, and are composed of spur gears having irregular grooves (teeth) formed on the outer peripheral portion thereof. The flat pulleys 27L to 29L are for causing a constant tension to act on the timing belt 20L, and are composed of rotating circular members. Since the flat pulleys 27L to 29L come into contact with the toothless side of the timing belt 20L (the so-called back side), the flat pulleys 27L to 29L are not provided with irregularities (teeth) on their outer peripheral portions.

タイミングプーリー21R〜26Rは、タイミングベルト20Rの歯と噛み合いながら回転する円板状の部材であり、外周部に凹凸の溝(歯)が形成された平歯車で構成されている。。平プーリー27R〜29Rは、タイミングベルト20Rに一定の張力がはたらくようにするものであり、回転する円形の部材で構成されている。平プーリー27R〜29Rは、タイミングベルト20Rの歯の無い側(いわゆる、背面側)と当接するため、外周部に凹凸(歯)を備えていない。 The timing pulleys 21R to 26R are disk-shaped members that rotate while meshing with the teeth of the timing belt 20R, and are composed of spur gears having irregular grooves (teeth) formed on the outer peripheral portion. .. The flat pulleys 27R to 29R are for causing a constant tension to act on the timing belt 20R, and are composed of rotating circular members. Since the flat pulleys 27R to 29R come into contact with the toothless side of the timing belt 20R (so-called back side), the flat pulleys 27R to 29R are not provided with irregularities (teeth) on their outer peripheral portions.

なお、搬送ローラR3の両端にはタイミングプーリー21L,21Rが取り付けられている。同様に、搬送ローラR4の両端には平プーリー27L,27Rが、搬送ローラR5の両端にはタイミングプーリー22L,22Rが、搬送ローラR6の両端にはタイミングプーリー23L,23Rが、搬送ローラR7の両端には平プーリー28L,28Rが、搬送ローラR8の両端には平プーリー29L,29Rが、搬送ローラR9の両端にはタイミングプーリー24L,24Rが、それぞれ取り付けられている。 Timing pulleys 21L and 21R are attached to both ends of the transport roller R3. Similarly, flat pulleys 27L and 27R are provided at both ends of the carrying roller R4, timing pulleys 22L and 22R are provided at both ends of the carrying roller R5, timing pulleys 23L and 23R are provided at both ends of the carrying roller R6, and both ends of the carrying roller R7. Flat pulleys 28L and 28R are attached to the rollers, flat pulleys 29L and 29R are attached to both ends of the conveying roller R8, and timing pulleys 24L and 24R are attached to both ends of the conveying roller R9.

つまり、搬送ロールR3〜R9の区間において、帯状ワークWの搬送経路Lの幅方向の両外側にそれぞれ配置されたタイミングベルト20L,20Rが、帯状ワークWの搬送経路Lに沿って一筆書きのように掛け渡されている。そのため、搬送ローラR3,R5,R6,R9の回転と同期して、タイミングプーリー21L〜24L,21R〜24Rが同時に回転し、タイミングベルト20L,20Rが同時に駆動される。 That is, in the section of the transport rolls R3 to R9, the timing belts 20L and 20R respectively arranged on both outer sides in the width direction of the transport path L for the strip-shaped work W are drawn along the transport path L for the strip-shaped work W in a single stroke. Have been hung over. Therefore, the timing pulleys 21L to 24L and 21R to 24R simultaneously rotate in synchronization with the rotation of the transport rollers R3, R5, R6, and R9, and the timing belts 20L and 20R are simultaneously driven.

そのため、タイミングプーリー21L,21Rが回転すると、この回転角度・回転数に応じて、タイミングベルト20L,20Rが同時に駆動され、所定寸法移動する構成をしている。 Therefore, when the timing pulleys 21L and 21R rotate, the timing belts 20L and 20R are simultaneously driven according to the rotation angle and the number of rotations to move by a predetermined dimension.

先導ユニット3は、帯状ワークWの先端に取り付けられて帯状ワークWを搬送経路Lに導くものであり、搬送ベルト部2に取り付け可能な構成をしている。さらに、先導ユニット3は、リード棒30と、ワーク保持部4、ベルト係合部5を備えている。 The leading unit 3 is attached to the tip of the strip-shaped work W to guide the strip-shaped work W to the transport path L, and is configured to be mounted on the transport belt unit 2. Further, the leading unit 3 includes a lead rod 30, a work holding portion 4, and a belt engaging portion 5.

図3は、本発明を具現化する形態の一例の要部を拡大して示した部分拡大図である。 FIG. 3 is a partially enlarged view showing an enlarged main part of an example of a form embodying the present invention.

ワーク保持部4は、帯状ワークWを保持するものである。具体的には、ワーク保持部4は、帯状ワークWの先端を狭持するクリップ41L,41Rを備え、クリップ41L,41Rは、リード棒30に取り付けられている。 The work holding section 4 holds the strip-shaped work W. Specifically, the work holding unit 4 includes clips 41L and 41R that hold the tip of the strip-shaped work W, and the clips 41L and 41R are attached to the lead rod 30.

ベルト係合部5は、搬送ベルト部2に先導ユニット3を係合するものである。具体的には、ベルト係合部5は、押さえプレート50L,50Rを備えている。押さえプレート50L,50Rは、リード棒30をタイミングベルト20L,20Rに押し付けつつ挟み込んで固定するものである。具体的には、押さえプレート50L,50Rは、柔軟性のあるΩ字状の部材で構成されており、リード棒保持部と台座部とを有している。 The belt engagement portion 5 engages the leading unit 3 with the conveyor belt portion 2. Specifically, the belt engaging portion 5 includes pressing plates 50L and 50R. The pressing plates 50L and 50R are for fixing the lead rod 30 while pressing it against the timing belts 20L and 20R. Specifically, the pressing plates 50L and 50R are made of a flexible Ω-shaped member and have a lead rod holding portion and a pedestal portion.

リード棒保持部は、帯状ワークWの通材中に搬送経路Lからリード棒30が逸脱しないように保持するものである。具体的には、リード棒保持部は、押さえプレート50L,50Rの円弧状の部位で構成されている。台座部は、押さえプレート50L,50Rをタイミングベルト20L,20Rに固定するためのものである。具体的には、台座部は、押さえプレート50L,50Rの両端の平坦な部位で構成されている。さらに、台座部には係合固定用の穴が設けられている。一方、タイミングベルト20L,20Rには、係合固定用の段付穴(いわゆる、ざぐり穴)が設けられている。そして、押さえプレート50Lとタイミングベルト20L、押さえプレート50Rとタイミングベルト20Rは、それぞれ離間しないようにネジやリベットなどにより係合されている。 The lead rod holding portion holds the lead rod 30 so that the lead rod 30 does not deviate from the transport path L during the passage of the strip-shaped work W. Specifically, the lead rod holding portion is formed by arcuate portions of the pressing plates 50L and 50R. The pedestal portion is for fixing the pressing plates 50L and 50R to the timing belts 20L and 20R. Specifically, the pedestal portion is formed of flat portions at both ends of the pressing plates 50L and 50R. Further, the pedestal portion is provided with holes for engaging and fixing. On the other hand, the timing belts 20L and 20R are provided with stepped holes (so-called counterbores) for engaging and fixing. The pressing plate 50L and the timing belt 20L, and the pressing plate 50R and the timing belt 20R are engaged with each other by screws or rivets so as not to separate from each other.

ベルト係合部5がこの様な構成をしているため、搬送ベルト部2を駆動させると、ベルト係合部5がベルトに沿って移動することにより、ワーク保持部4に取り付けられた帯状ワークWが、先導ユニット3に先導されながらワーク搬送経路Lに沿って通材される。 Since the belt engaging portion 5 has such a configuration, when the conveyor belt portion 2 is driven, the belt engaging portion 5 moves along the belt, so that the belt-shaped work attached to the work holding portion 4 is moved. W is led along the work transfer path L while being led by the leading unit 3.

[ワーク保持部について]
なお上述では、ワーク保持部4が、帯状ワークWの先端を狭持するクリップ41L,41Rを備えた構成を示した。この様な構成であれば、作業が容易となるだけでなく、通材作業中に帯状ワークWが脱落してしまうことを防止できる。さらに、通材作業後に帯状ワークWをリード棒30から素早く外すことができ、巻取ロールD2への付け替え作業を迅速に行うことができるため、好ましい。
[Work holding part]
In the above description, the work holding unit 4 has the configuration including the clips 41L and 41R that hold the tip of the strip-shaped work W. With such a configuration, not only the work is facilitated, but also the strip-shaped work W can be prevented from falling off during the material passing work. Furthermore, the strip-shaped work W can be quickly removed from the lead rod 30 after the threading work, and the work of replacing the work W with the take-up roll D2 can be performed quickly, which is preferable.

しかし、ワーク保持部は、この様な構成に限定されず、異なる構成であっても良い。 However, the work holding unit is not limited to such a configuration and may have a different configuration.

図4は、本発明を具現化する形態の別の一例の要部を拡大して示した部分拡大図である。図4には、上述の帯状ワーク通材機構1とは異なる構成の、帯状ワーク通材機構1Bの要部が示されている。帯状ワーク通材機構1Bは、上述と同様の搬送ベルト部2を備え、
上述の先導ユニット3とは異なる構成の先導ユニット3Bを備えている。
FIG. 4 is a partially enlarged view showing an enlarged main part of another example of a mode embodying the present invention. FIG. 4 shows a main part of a strip-shaped workpiece threading mechanism 1B having a configuration different from that of the strip-shaped workpiece threading mechanism 1 described above. The strip-shaped workpiece threading mechanism 1B includes the same conveyor belt section 2 as described above,
A leading unit 3B having a configuration different from that of the leading unit 3 described above is provided.

先導ユニット3Bは、上述のワーク保持部4とは異なる構成のワーク保持部4Bと、上述と同様のリード棒30及びベルト係合部5を備えている。ワーク保持部4Bは、帯状ワークWの先端に設けられた孔部Hに引っ掛けるフック43L,43Rを備えている。 The leading unit 3B includes a work holding portion 4B having a configuration different from that of the work holding portion 4 described above, and a lead rod 30 and a belt engaging portion 5 similar to those described above. The work holding unit 4B includes hooks 43L and 43R that are hooked on holes H provided at the tip of the band-shaped work W.

帯状ワーク通材機構1Bは、この様な構成をしているため、搬送ベルト部2が駆動されることで、先導ユニット3Bにて先導しながら帯状ワークWを搬送経路Lに通材させることができる。また、帯状ワークWを巻き出しながら搬送する際に、フック43L,43Rと孔部H付近には適度な張力が付与されるため、通材作業中に帯状ワークWが脱落する可能性は低く、通材作業も容易となる。さらに、通材作業後に帯状ワークWをリード棒30から素早く外すことができ、巻取ロールD2への付け替え作業を迅速に行うことができるため、好ましい。 Since the belt-shaped workpiece passing mechanism 1B has such a configuration, the belt-shaped workpiece W can be passed through the transfer path L while being guided by the leading unit 3B by driving the conveyor belt unit 2. it can. Further, when the strip-shaped workpiece W is unrolled and conveyed, since appropriate tension is applied to the hooks 43L and 43R and the vicinity of the hole H, the strip-shaped workpiece W is less likely to fall off during the threading work, Passing work becomes easy. Furthermore, the strip-shaped work W can be quickly removed from the lead rod 30 after the threading work, and the work of replacing the work W with the take-up roll D2 can be performed quickly, which is preferable.

また、ワーク保持部は、上述の構成のほか、帯状ワークWをリード棒30に粘着テープで固定したり、連結金具を用いてネジなどにより固定したりする構成であっても良い。
In addition to the above-described configuration, the work holding portion may have a configuration in which the strip-shaped work W is fixed to the lead rod 30 with an adhesive tape, or with a screw or the like using a connecting fitting.

[搬送ベルト部]
また上述では、搬送ローラR3,R5,R6,R9の回転と同期して、タイミングプーリー21L〜24L,21R〜24Rが同時に回転し、タイミングベルト20L,20Rが同時に駆動される構成を示した。
[Conveyor belt part]
In the above description, the timing pulleys 21L to 24L and 21R to 24R are simultaneously rotated in synchronization with the rotation of the transport rollers R3, R5, R6 and R9, and the timing belts 20L and 20R are simultaneously driven.

この様な構成であれば、搬送経路L内の上流側から下流側に亘って、各タイミングプーリー21L〜24L,21R〜24Rを回転させる駆動力を伝達することができるため、タイミングベルト20L,20Rの駆動が容易となるので、好ましい。 With such a configuration, the driving force for rotating each of the timing pulleys 21L to 24L and 21R to 24R can be transmitted from the upstream side to the downstream side in the transport path L, and thus the timing belts 20L and 20R. This is preferable because it can be easily driven.

しかし、タイミングベルト20L,20Rに対する駆動力が少なくて済むのであれば、搬送ローラR3,R5,R6,R9と、タイミングプーリー21L〜24L,21R〜24Rの一部が独立して回転する構成(つまり、一部が連結されていない構成)であっても良い。この場合、一部のタイミングプーリーが、搬送ローラと同時に回転する構成としておく。例えば、タイミングプーリー21L,21Rが、搬送ローラR3と同時に回転する構成である。 However, if the driving force for the timing belts 20L and 20R is small, the transport rollers R3, R5, R6 and R9 and the timing pulleys 21L to 24L and 21R to 24R rotate independently (that is, , Some of which are not connected). In this case, some timing pulleys are configured to rotate at the same time as the transport rollers. For example, the timing pulleys 21L and 21R are configured to rotate simultaneously with the transport roller R3.

そうすることで、搬送ローラR3の回転と同時にタイミングプーリー21L,21Rが回転しするため、タイミングベルト20L,20Rが同時に駆動され、リード棒30を介して通材が可能となる。この時、タイミングベルト20L,20Rの駆動に追従して、他のタイミングプーリー22L〜24L,22R〜24Rが回転することとなる。 By doing so, the timing pulleys 21L and 21R rotate at the same time as the rotation of the transport roller R3, so that the timing belts 20L and 20R are driven at the same time, and it becomes possible to pass through the lead rod 30. At this time, the other timing pulleys 22L to 24L and 22R to 24R rotate following the driving of the timing belts 20L and 20R.

或いは、搬送ローラR3,R5,R6,R9に対して、全てのタイミングプーリー21L〜24L,21R〜24Rが独立して回転する構成(つまり、いずれもが連結されていない構成)であっても良い。この場合、左右のタイミングプーリー(例えば、タイミングプーリー21L,21R)同士は、共通のシャフトなどに連結しておき、手回しハンドルで手動回転させたり、回転モータにより回転させる構成としておく。或いは、左右のタイミングプーリー(例えば、タイミングプーリー21L,21R)を各々回転モータに取り付けておき、これら回転モータを同時に回転させる構成としておく。 Alternatively, the configuration may be such that all the timing pulleys 21L to 24L and 21R to 24R rotate independently of the transport rollers R3, R5, R6, and R9 (that is, none of them is coupled). .. In this case, the left and right timing pulleys (for example, the timing pulleys 21L and 21R) are connected to a common shaft or the like and manually rotated by a handwheel or rotated by a rotary motor. Alternatively, the left and right timing pulleys (for example, the timing pulleys 21L and 21R) are attached to the rotary motors respectively, and the rotary motors are simultaneously rotated.

そうすることで、タイミングプーリー21L,21Rが同時に回転するため、タイミングベルト20L,20Rが同時に駆動され、リード棒30を介して通材が可能となる。この時、タイミングベルト20L,20Rの駆動に追従して、他のタイミングプーリー22L〜24L,22R〜24Rが回転することとなる。
By doing so, the timing pulleys 21L and 21R rotate at the same time, so that the timing belts 20L and 20R are simultaneously driven, and it becomes possible to pass through the lead rod 30. At this time, the other timing pulleys 22L to 24L and 22R to 24R rotate following the driving of the timing belts 20L and 20R.

[両持ち構造/片持ち構造]
また上述では、搬送経路Lの両外側に配置されたタイミングベルト20L,20Rが同時に駆動されることで、リード棒30を介して通材を行う構成(いわゆる、両持ち構造)を示した。この様な構成であれば、搬送経路Lの両外側に配置されたタイミングベルト20L,20Rが同時に駆動されるため、ベルト係合部5の押さえプレート50L,50Rを、それぞれ同時にバランス良く駆動/静止させることができる。
[Double-sided structure/Cantilever structure]
In the above description, the timing belts 20L and 20R arranged on both outer sides of the transport path L are driven at the same time, so that the material is passed through the lead rod 30 (so-called double-supported structure). With such a configuration, since the timing belts 20L and 20R arranged on both outer sides of the transport path L are simultaneously driven, the pressing plates 50L and 50R of the belt engaging portion 5 are simultaneously driven/rested in good balance. Can be made.

そのため、帯状ワークWを搬送経路Lに通材させる際に、リード棒30の両端部を同時に駆動させて左右の傾きを無くすことができるため、通材させる帯状ワークWに片寄りが生じないので、好ましい。また、通材させる帯状ワークWが薄い場合や破れやすい材料の場合、通材中の片寄りや左右のアンバランスにより、しわのや破れが発生することがあるが、上述の様な構成(つまり、両持ち構造)であれば、しわのや破れの発生を防ぐことができるので、好ましい。 Therefore, when the strip-shaped workpiece W is passed through the transport path L, both ends of the lead rod 30 can be simultaneously driven to eliminate the left-right inclination, and therefore the strip-shaped workpiece W to be passed through does not deviate. ,preferable. Further, in the case where the band-shaped work W to be passed is thin or is a material that is easily torn, wrinkles and tears may occur due to deviation in the passing and imbalance between the left and right sides. , A double-supported structure) is preferable because wrinkles and tears can be prevented from occurring.

しかし、通材させる帯状ワークWの片寄り、しわや破れなどの心配が無い場合や、ベルト係合部5が先導ユニット3と、タイミングベルト20L(または、20R)とを、一定の角度を保った状態で固定できれば、タイミングベルト20L(または、20R)が片側に配置された構成(つまり、片持ち構造)であっても良く、本発明を具現化することができる。 However, when there is no concern about deviation, wrinkles or tears of the band-shaped work W to be passed, the belt engaging portion 5 keeps the leading unit 3 and the timing belt 20L (or 20R) at a constant angle. If the timing belt 20L (or 20R) is arranged on one side as long as it can be fixed in this state (that is, a cantilever structure), the present invention can be embodied.

また上述では、タイミングベルト20L,20Rの具体例として、ループ状の歯付平ベルトであり、片面には凹凸(歯)が形成されている構成を例示し、タイミングプーリー21L〜26L,21R〜26Rの具体例として、外周部に凹凸の溝(歯)が形成された平歯車の構成を例示した。しかし、タイミングベルト20L,20Rと、タイミングプーリー21L〜26L,21R〜26Rは、この様な構成に限定されず、タイミングチェーンと、スプロケットにより構成しても良い。
Further, in the above description, as a specific example of the timing belts 20L and 20R, a looped toothed flat belt, and a configuration in which unevenness (tooth) is formed on one surface is illustrated. As a specific example of the above, a configuration of a spur gear in which concave and convex grooves (teeth) are formed on the outer peripheral portion is illustrated. However, the timing belts 20L and 20R and the timing pulleys 21L to 26L and 21R to 26R are not limited to such a configuration, and may be configured by a timing chain and a sprocket.

[別の形態]
なお上述では、本発明に係る帯状ワーク通材機構1の一形態として、露光装置Eのワーク搬送装置Cに並設された構成を例示した。例示した露光装置Eは、帯状ワークWの搬送経路において、帯状ワークWを下方から上方へ縦方向に搬送する縦搬送区間と、上方から下方へ縦方向に搬送する縦搬送区間の双方を有している。
[Another form]
In the above description, as an example of the strip-shaped workpiece threading mechanism 1 according to the present invention, a configuration in which the workpiece transport device C of the exposure apparatus E is provided in parallel has been illustrated. The illustrated exposure apparatus E has, in the transport path for the strip-shaped workpiece W, both a vertical transport section that vertically transports the strip-shaped work W from the lower side and a vertical transport section that vertically transports the strip-shaped work W from the upper side. ing.

そのため、搬送ローラR5,R6が人の背丈以上の高さにある場合や、作業スペースが十分に確保されていない場合であっても、本発明に係る帯状ワーク通材機構1を用いることで、リーダテープの使用を必要とせず、高所作業や複数の作業者による作業を必要とせずにい通材作業を行うことができ、好ましい。 Therefore, even when the transport rollers R5 and R6 are at a height equal to or higher than the height of a person or when the working space is not sufficiently secured, by using the strip-shaped workpiece threading mechanism 1 according to the present invention, This is preferable because it does not require the use of a leader tape and does not require work at a high place or work by a plurality of workers, and the threading work can be performed.

なお、本発明に係る帯状ワーク通材機構1は、縦搬送区間を有する露光装置に限らず、搬送経路が高所にある成膜装置や、作業スペースが十分に確保されていない成膜装置など、他の装置にも適用することができる。




The strip-shaped workpiece threading mechanism 1 according to the present invention is not limited to an exposure apparatus having a vertical transport section, but a film deposition apparatus having a high transport path, a film deposition apparatus having insufficient working space, and the like. It can also be applied to other devices.




1 帯状ワーク通材機構
1B 帯状ワーク通材機構
2 搬送ベルト部
3 先導ユニット
3B 先導ユニット
4 ワーク保持部
4B ワーク保持部
5 ベルト係合部
20L,20R タイミングベルト
21L,21R タイミングプーリー
22L,22R タイミングプーリー
23L,23R タイミングプーリー
24L,24R タイミングプーリー
25L,25R タイミングプーリー
26L,26R タイミングプーリー
27L,27R 平プーリー
28L,28R 平プーリー
29L,29R 平プーリー
30 リード棒
41L,41R クリップ
43L,43R フック
50L,50R 押さえプレート
L 搬送経路
W 帯状ワーク
H 孔部
C ワーク搬送装置
D1 巻出ロール
D2 巻取ロール
R1〜R11 搬送ローラ
E 露光装置
P 露光部
P1 表面側露光ユニット
P2 裏面側露光ユニット
1 Belt-shaped Work Material Passing Mechanism 1B Belt-shaped Work Material Passing Mechanism 2 Conveyor Belt Section 3 Leading Unit 3B Leading Unit 4 Work Holding Section 4B Work Holding Section 5 Belt Engaging Section 20L, 20R Timing Belt 21L, 21R Timing Pulley 22L, 22R Timing Pulley 23L, 23R Timing pulley 24L, 24R Timing pulley 25L, 25R Timing pulley 26L, 26R Timing pulley 27L, 27R Flat pulley 28L, 28R Flat pulley 29L, 29R Flat pulley 30 Lead rod 41L, 41R Clip 43L, 43R Hook 50L, 50R Presser Plate L Transport path W Strip work H Hole C Work transport device D1 Unwind roll D2 Take-up roll R1 to R11 Transport roller E Exposure device P Exposure unit P1 Front exposure unit P2 Back exposure unit

Claims (4)

帯状ワークを搬送するワーク搬送装置と、
前記帯状ワークを搬送経路に通材させる帯状ワーク通材機構を備えた露光装置であって、
前記帯状ワークが、金属箔の表面に感光材が成膜されたフレキシブルプリント回路基板の母材であって、
前記帯状ワークの搬送経路中には、前記帯状ワークを上方から下方へ又は下方から上方へ縦方向に搬送する縦搬送区間を有し、
前記縦搬送区間には、当該帯状ワークの表面に所定の回路パターンを照射する露光部を備え、
前記帯状ワーク通材機構は、
前記搬送経路の幅方向外側に、前記搬送経路に沿って配置されたタイミングプーリーとタイミングベルトを有する搬送ベルト部と、
前記搬送ベルト部に取り付け可能であって、前記帯状ワークの先端に取り付けられて当該帯状ワークを前記搬送経路に導く先導ユニットとを備え、
前記先導ユニットは、前記帯状ワークを保持するワーク保持部と、前記搬送ベルト部に係合するベルト係合部とを備え、
前記搬送ベルト部を駆動させると前記ベルト係合部がベルトに沿って移動することにより前記ワーク保持部に取り付けられた前記帯状ワークが前記搬送経路に沿って通材される
ことを特徴とする、露光装置。
A work transfer device for transferring a band-shaped work,
An exposure apparatus comprising a strip-shaped workpiece passing mechanism for passing the strip-shaped workpiece through a transport path,
The strip-shaped work is a base material of a flexible printed circuit board in which a photosensitive material is formed on the surface of a metal foil,
In the transport path of the strip-shaped work, there is a vertical transport section that transports the strip-shaped work vertically from above or from below,
The vertical transport section includes an exposure unit that irradiates a surface of the strip-shaped work with a predetermined circuit pattern,
The strip-shaped workpiece passing mechanism,
On a widthwise outer side of the transport path, a transport belt portion having a timing pulley and a timing belt arranged along the transport path,
A leading unit that is attachable to the conveyor belt portion, is attached to the tip of the belt-shaped workpiece, and guides the belt-shaped workpiece to the transportation path;
The leading unit includes a work holding portion that holds the strip-shaped work, and a belt engaging portion that engages with the conveyor belt portion,
When the conveyor belt unit is driven, the belt engaging unit moves along the belt so that the strip-shaped workpiece attached to the workpiece holder is passed along the conveyor path. Exposure equipment.
前記搬送ベルト部は、前記搬送経路の幅方向の両外側に一対で備えた
ことを特徴とする、請求項1に記載の露光装置。
The exposure apparatus according to claim 1, wherein a pair of the transport belt portions is provided on both outer sides in the width direction of the transport path.
前記ワーク保持部は、前記帯状ワークの先端を狭持するクリップを備えた
ことを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the work holding unit includes a clip that holds the tip of the band-shaped work.
前記ワーク保持部は、前記帯状ワークの先端に設けられた孔部に引っ掛けるフックを備えたことを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の露光装置。 The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the work holding unit includes a hook that hooks into a hole provided at the tip of the band-shaped work.
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