JP6711192B2 - Laminated electronic components - Google Patents

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Description

本発明は、積層電子部品に関する。 The present invention relates to a laminated electronic component.

近年、携帯電話などのデジタル電子機器に使用される電子回路の高密度化に伴う電子部品の小型化に対する要求は高く、当該回路を構成する積層電子部品の小型化、大容量化が急速に進んでいる。 In recent years, there has been a great demand for miniaturization of electronic parts accompanying the increase in density of electronic circuits used in digital electronic devices such as mobile phones, and miniaturization and large-capacity increase of laminated electronic parts constituting the circuits are rapidly progressing. I'm out.

積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品においては、素子本体内に複数の内部電極が配置されており、特許文献1では、矩形のセラミックグリーンシートの全幅に至るように導電ペーストを印刷し、該導電ペーストが印刷された複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、切断することで、導体層の両側端縁が露出している積層体を得ている。 In a multilayer electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, a plurality of internal electrodes are arranged in an element body. In Patent Document 1, a conductive paste is printed so as to reach the entire width of a rectangular ceramic green sheet, and the conductive paste is used. By laminating a plurality of ceramic green sheets on which is printed and cutting, a laminated body in which both side edges of the conductor layer are exposed is obtained.

そして、特許文献1では、この積層体を焼成することにより、導体層端縁が、外部電極との接続が予定されている端面だけでなく、一対の側面にも露出しているセラミック焼結体を得る。次に、セラミック焼結体の側面にセラミックを塗布、形成する。 Then, in Patent Document 1, a ceramic sintered body in which the conductor layer end edges are exposed not only on the end surface where the connection with the external electrode is planned but also on the pair of side surfaces by firing this laminated body To get Next, ceramic is applied and formed on the side surface of the ceramic sintered body.

しかしながら、積層セラミック電子部品は側面にセラミックを焼き付けると、側面と側面に塗布・形成したセラミック(サイドギャップ)の接着性が悪いために、電歪によって、コンデンサの構造欠陥が起き易く、また、外部応力を緩和することが困難であり、固着強度に問題があった。 However, when a ceramic is baked on the side surface of a monolithic ceramic electronic component, the adhesiveness between the side surface and the ceramic (side gap) applied/formed on the side surface is poor, so that a structural defect of the capacitor easily occurs due to electrostriction. It was difficult to relieve the stress, and there was a problem with the bond strength.

特開2012−191159号公報JP 2012-191159 A

本発明は、上記の実状に鑑みてなされたものであり、固着強度が良好な積層電子部品を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a laminated electronic component having good adhesion strength.

上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る積層電子部品は、以下の通りである。 To achieve the above object, the laminated electronic component according to the first aspect of the present invention is as follows.

[1]第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の端面(側面)にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記素子本体の前記第1軸方向の端面の周縁に形成された山状部と、前記素子本体の前記第1軸方向の端面の中央部分の平面部とを有し、
前記絶縁層の前記平面部の表面に沿う表面仮想線と、前記山状部の第1内側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ1とし、
前記絶縁層の前記平面部の表面に沿う表面仮想線と、前記山状部の第1外側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ2とした場合、
θ1が5°〜25°であり、
θ2が5°〜25°であることを特徴とする積層電子部品。
[1] A laminated electronic component including an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including the first axis and the second axis are alternately laminated along a direction of the third axis. hand,
An insulating layer is provided on each of a pair of end surfaces (side surfaces) of the element body that face each other in the direction of the first axis.
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on a peripheral edge of the end surface of the element body in the first axial direction, and a flat portion of a central portion of the end surface of the element body in the first axial direction,
An angle formed by an imaginary line of the surface along the surface of the flat portion of the insulating layer and a tangent to the curved surface at the first inner predetermined position of the mountain portion is θ1,
When the angle formed by the imaginary line of the surface along the surface of the flat portion of the insulating layer and the tangent of the curved surface at the first outer predetermined position of the mountain portion is θ2,
θ1 is 5° to 25°,
θ2 is 5° to 25°, a laminated electronic component.

本発明によれば、絶縁層の平面部の表面に沿う表面仮想線と山状部の第1内側所定位置曲面の接線がなす角の角度および表面仮想線と第1外側所定位置での曲面の接線がなす角の角度が所定の範囲内であることにより、耐熱衝撃性および固着強度が良好な積層電子部品を提供できる。 According to the present invention, the angle of the angle formed by the imaginary line of the surface along the surface of the flat portion of the insulating layer and the tangent of the curved surface of the first inner predetermined position of the mountain portion, and the virtual line of the surface and the curved surface at the first outer predetermined position. When the angle formed by the tangents is within the predetermined range, it is possible to provide a laminated electronic component having excellent thermal shock resistance and fixing strength.

また、上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る積層電子部品は、以下の通りである。 Further, in order to achieve the above object, the laminated electronic component according to the second aspect of the present invention is as follows.

[2]第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の端面(側面)にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記素子本体の前記第1軸方向の端面の周縁に形成された山状部と、前記素子本体の前記第1軸方向の端面の中央部分の平面部とを有し、
前記絶縁層の前記第2軸方向の端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅の部分を前記外部電極が覆っていることを特徴とする積層電子部品。
[2] A laminated electronic component including an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including the first axis and the second axis are alternately laminated along the direction of the third axis. hand,
An insulating layer is provided on each of a pair of end surfaces (side surfaces) of the element body that face each other in the direction of the first axis.
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on a peripheral edge of the end surface of the element body in the first axial direction, and a flat portion of a central portion of the end surface of the element body in the first axial direction,
A laminated electronic component, wherein the external electrode covers a portion of the mountain-shaped portion of the end portion of the insulating layer in the second axial direction having the maximum width in the first axial direction.

本発明によれば、絶縁層の第2軸方向の端部の山状部における第1軸方向の最大幅の部分を外部電極が覆っていることにより、固着強度が良好な積層電子部品を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, since the external electrode has covered the part of the maximum width in the 1st axial direction in the mountain-shaped part of the edge part of the 2nd axial direction of an insulating layer, the laminated electronic component with favorable adhesive strength is provided. it can.

上記[2]の具体的態様として、下記の態様が例示される。 The following modes are illustrated as specific modes of the above [2].

[3]前記素子本体の前記第2軸方向の端部から、前記絶縁層の前記第2軸方向の端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅までの前記第2軸方向に沿う長さをαとして、
前記素子本体の前記第2軸方向の端部からの前記絶縁層を覆う前記外部電極の前記第2軸方向に沿う被覆長さをβとした場合、
α/βは、1/30≦α/β<1である前記[2]に記載の積層電子部品。
[3] The second axial direction from the end of the element body in the second axial direction to the maximum width in the first axial direction of the mountain portion of the end of the insulating layer in the second axial direction. Let α be the length along
When the coating length of the external electrode covering the insulating layer from the end portion of the element body in the second axial direction along the second axial direction is β,
α/β is the laminated electronic component according to the above [2], wherein 1/30≦α/β<1.

また、上記目的を達成するための積層電子部品の製造方法としては、特に限定されないが、以下の製造方法が挙げられる。 In addition, the method for manufacturing the laminated electronic component for achieving the above object is not particularly limited, and the following manufacturing method may be mentioned.

[4]第1軸の方向に連続し、第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極パターン層が形成されたグリーンシートを第3軸の方向に積層してグリーン積層体を得る工程と、
前記グリーン積層体を前記第2軸および前記第3軸を含む平面に平行な切断面が得られるように切断してグリーンチップを得る工程と、
前記グリーンチップを焼成して、内部電極層と誘電体層とが交互に積層した素子本体を得る工程と、
前記素子本体の前記第1軸方向の端面に絶縁層用ペーストを塗布して、焼き付けることにより、絶縁層が形成されたセラミック焼結体を得る工程と、
前記セラミック焼結体の前記第2軸方向の端面に外部電極用ペーストを焼き付けることにより、外部電極が形成された積層電子部品を得る工程と、を有し、
前記絶縁層は前記素子本体の前記第1軸方向の端面の周縁に形成された山状部と、前記素子本体の前記第1軸方向の端面の中央部分の平面部とを有し、
前記絶縁層の前記平面部の表面に沿う仮想線と、前記山状部の内側の曲面の接線がなす角の角度をθ1とし、
前記絶縁層の前記平面部の表面に沿う仮想線と、前記山状部の外側の曲面の接線がなす角の角度をθ2とした場合、
θ1が5°〜25°であり、
θ2が5°〜25°であることを特徴とする積層電子部品の製造方法。
[4] Green sheets that are continuous in the direction of the first axis and have internal electrode pattern layers that are substantially parallel to the plane including the first axis and the second axis are laminated in the direction of the third axis. The process of getting a body,
Cutting the green laminated body so as to obtain a cutting plane parallel to a plane including the second axis and the third axis to obtain a green chip;
Firing the green chip to obtain an element body in which internal electrode layers and dielectric layers are alternately laminated,
A step of applying an insulating layer paste to the end face of the element body in the first axial direction and baking the paste to obtain a ceramic sintered body having an insulating layer formed thereon;
A step of baking an external electrode paste on the end surface of the ceramic sintered body in the second axis direction to obtain a laminated electronic component having external electrodes formed thereon,
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on a peripheral edge of the end surface of the element body in the first axial direction, and a flat portion of a central portion of the end surface of the element body in the first axial direction,
The angle formed by the imaginary line along the surface of the flat portion of the insulating layer and the tangent to the curved surface inside the mountain portion is θ1,
When the angle formed by the imaginary line along the surface of the flat portion of the insulating layer and the tangent to the curved surface outside the mountain portion is θ2,
θ1 is 5° to 25°,
θ2 is 5° to 25°, a method for manufacturing a laminated electronic component.

また、上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係る積層電子部品は、以下の通りである。 Further, in order to achieve the above object, the laminated electronic component according to the third aspect of the present invention is as follows.

[5]第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の側面にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記側面の周縁に形成された山状部と前記側面の中央部分の谷状部とを有し、
前記絶縁層の前記第1軸の方向に垂直な垂直仮想線と、前記山状部の第2内側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ1´とし、
前記絶縁層の前記第1軸の方向に垂直な垂直仮想線と、前記山状部の第2外側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ2´とした場合、
θ1´が5°〜25°であり、
θ2´が5°〜25°であるであることを特徴とする積層電子部品。
[5] A laminated electronic component including an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including the first axis and the second axis are alternately laminated along the direction of the third axis. hand,
An insulating layer is provided on each of a pair of side surfaces of the element body that face each other in the direction of the first axis,
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on the peripheral edge of the side surface and a valley-shaped portion in the central portion of the side surface,
An angle formed by a vertical imaginary line perpendicular to the direction of the first axis of the insulating layer and a tangent to the curved surface at a second inner predetermined position of the mountain portion is θ1′,
When an angle formed by a vertical imaginary line perpendicular to the direction of the first axis of the insulating layer and a tangent to the curved surface at the second outer predetermined position of the mountain portion is θ2′,
θ1′ is 5° to 25°,
θ2′ is 5° to 25°, a laminated electronic component.

図1は、本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2Aは、図1に示すIIA‐IIA線に沿う断面図である。2A is a sectional view taken along line IIA-IIA shown in FIG. 図2Bは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2B is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図2Cは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2C is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図2Dは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2D is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図2Eは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2E is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図2Fは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2F is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図2Gは、図1に示すIIB‐IIB線に沿う断面図である。FIG. 2G is a sectional view taken along line IIB-IIB shown in FIG. 1. 図3Aは、図2Bの要部断面図である。FIG. 3A is a cross-sectional view of the main parts of FIG. 2B. 図3Bは、図2Aの要部断面図である。3B is a cross-sectional view of the main parts of FIG. 2A. 図3Cは、図2Dの要部断面図である。FIG. 3C is a cross-sectional view of the main parts of FIG. 2D. 図4は、図1に示す積層セラミックコンデンサの製造過程におけるグリーンシートの積層工程を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a step of laminating green sheets in the manufacturing process of the monolithic ceramic capacitor shown in FIG. 図5A(a)は、図4に示すV‐V線に沿うn層目の内部電極パターン層の一部を示す平面図であり、図5A(b)は、n+1層目の内部電極パターン層の一部を示す平面図である。5A(a) is a plan view showing a part of the n-th internal electrode pattern layer taken along line VV shown in FIG. 4, and FIG. 5A(b) is an (n+1)-th internal electrode pattern layer. It is a top view showing a part of. 図5Bは、図4に示すV‐V線に沿う内部電極パターン層の一部を示す平面図である。FIG. 5B is a plan view showing a part of the internal electrode pattern layer along the line VV shown in FIG. 4. 図6Aは図4に示すグリーンシートを積層後の積層体のX‐Z軸平面に平行な概略断面図である。FIG. 6A is a schematic sectional view parallel to the XZ plane of the laminated body after laminating the green sheets shown in FIG. 図6Bは図4に示すグリーンシートを積層後の積層体のY‐Z軸平面に平行な概略断面図である。FIG. 6B is a schematic sectional view parallel to the YZ axis plane of the laminated body after laminating the green sheets shown in FIG. 図7は本実施例の固着強度の測定方法を説明する模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the method for measuring the adhesion strength of this example.

本実施形態に基づき、図面を参照しつつ詳細に説明するが、本発明は以下に説明する実施形態のみに限定されない。 Based on the present embodiment, a detailed description will be given with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the embodiments described below.

また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。 Further, the constituent elements described below include those that can be easily conceived by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the components described below can be combined as appropriate.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on the embodiments shown in the drawings.

(第1実施形態)
積層セラミックコンデンサの全体構成
本実施形態に係る積層電子部品の一実施形態として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。
(First embodiment)
Overall Configuration of Multilayer Ceramic Capacitor An overall configuration of a multilayer ceramic capacitor will be described as an embodiment of a multilayer electronic component according to the present embodiment.

図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、セラミック焼結体4と、第1外部電極6と、第2外部電極8とを有する。また、セラミック焼結体4は、素子本体3と絶縁層16とを有する。 As shown in FIG. 1, the monolithic ceramic capacitor 2 according to the present embodiment includes a ceramic sintered body 4, a first external electrode 6, and a second external electrode 8. Further, the ceramic sintered body 4 has an element body 3 and an insulating layer 16.

素子本体3は、X軸およびY軸を含む平面に実質的に平行な内側誘電体層10と内部電極層12とを有し、内側誘電体層10の間に内部電極層12がZ軸の方向に沿って交互に積層してある。ここで、「実質的に平行」とは、ほとんどの部分が平行であるが、多少平行でない部分を有していてもよいことを意味し、内部電極層12と内側誘電体層10は、多少、凹凸があったり、傾いていたりしてもよいという趣旨である。 The element body 3 has an inner dielectric layer 10 and an internal electrode layer 12 that are substantially parallel to a plane including the X axis and the Y axis, and the internal electrode layer 12 has the Z axis between the inner dielectric layer 10. The layers are alternately stacked along the direction. Here, “substantially parallel” means that most of the parts are parallel, but there may be some parts that are not parallel, and the internal electrode layer 12 and the inner dielectric layer 10 may be slightly parallel. It means that it may be uneven or inclined.

図2Aに示すように、内側誘電体層10と、内部電極層12とが交互に積層される部分が内装領域13である。 As shown in FIG. 2A, the interior region 13 is a portion where the inner dielectric layers 10 and the internal electrode layers 12 are alternately laminated.

また、素子本体3は、その積層方向Z(Z軸)の両端面に、外装領域11を有する。外装領域11は、内装領域13を構成する内側誘電体層10よりも厚い外側誘電体層を複数積層して形成してある。 The element body 3 has exterior regions 11 on both end faces in the stacking direction Z (Z axis). The exterior region 11 is formed by laminating a plurality of outer dielectric layers that are thicker than the inner dielectric layer 10 that forms the interior region 13.

なお、以下では、「内側誘電体層10」および「外側誘電体層」をまとめて、「誘電体層」と記載する場合がある。 In the following, the "inner dielectric layer 10" and the "outer dielectric layer" may be collectively referred to as "dielectric layer".

内側誘電体層10および外装領域11を構成する誘電体層の材質は、同じでも異なっていても良く、特に限定されず、たとえば、ABOなどのペロブスカイト構造の誘電体材料やニオブ酸アルカリ系セラミックを主成分として構成される。 The materials of the dielectric layers forming the inner dielectric layer 10 and the exterior region 11 may be the same or different, and are not particularly limited. For example, a dielectric material having a perovskite structure such as ABO 3 or an alkali niobate ceramic. It is composed mainly of.

ABOにおいて、Aは、たとえばCa、Ba、Srなどの少なくとも一種、Bは、Ti、Zrなどの少なくとも一種である。A/Bのモル比は、特に限定されず、0.980〜1.020である。 In ABO 3 , A is at least one of Ca, Ba, Sr and the like, and B is at least one of Ti, Zr and the like. The molar ratio of A/B is not particularly limited and is 0.980 to 1.020.

このほか、副成分として、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、酸化マンガン、希土類元素酸化物、酸化バナジウム等が挙げられるがこれらに限定されない。その含有量も組成等に応じて適宜決定すればよい。 Other than these, silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, an alkali metal compound, an alkaline earth metal compound, manganese oxide, a rare earth element oxide, vanadium oxide, and the like can be cited as subcomponents, but not limited to these. The content thereof may be appropriately determined depending on the composition and the like.

なお、副成分として、二酸化珪素、酸化アルミニウムを用いることで、焼成温度を低下させることができる。また、副成分として、酸化マグネシウム、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、酸化マンガン、希土類元素酸化物、酸化バナジウムを用いることで、寿命を改善させることができる。 The firing temperature can be lowered by using silicon dioxide or aluminum oxide as an accessory component. Further, the life can be improved by using magnesium oxide, an alkali metal compound, an alkaline earth metal compound, manganese oxide, a rare earth element oxide, or vanadium oxide as an accessory component.

内側誘電体層10および外側誘電体層の積層数は、用途等に応じて適宜決定すれば良い。 The number of layers of the inner dielectric layer 10 and the outer dielectric layer may be appropriately determined according to the application and the like.

交互に積層される一方の内部電極層12は、セラミック焼結体4のY軸方向第1端部の外側に形成してある第1外部電極6の内側に対して電気的に接続してある引出部12Aを有する。また、交互に積層される他方の内部電極層12は、セラミック焼結体4のY軸方向第2端部の外側に形成してある第2外部電極8の内側に対して電気的に接続してある引出部12Bを有する。 The one inner electrode layer 12 that is alternately laminated is electrically connected to the inner side of the first outer electrode 6 that is formed outside the first end of the ceramic sintered body 4 in the Y-axis direction. It has a drawer 12A. The other inner electrode layers 12 that are alternately laminated are electrically connected to the inner side of the second outer electrode 8 formed outside the second end of the ceramic sintered body 4 in the Y-axis direction. It has a drawn-out portion 12B.

内装領域13は、容量領域14と引出領域15A,15Bとを有する。容量領域14は、積層方向に沿って内部電極層12が内側誘電体層10を挟んで積層する領域である。引出領域15Aは、外部電極6に接続する内部電極層12の引出部12Aの間に位置する領域である。引出領域15Bは、外部電極8に接続する内部電極層12の引出部12Bの間に位置する領域である。 The interior area 13 has a capacity area 14 and lead-out areas 15A and 15B. The capacitance region 14 is a region in which the internal electrode layers 12 are stacked along the stacking direction with the inner dielectric layer 10 sandwiched therebetween. The lead-out region 15A is a region located between the lead-out portions 12A of the internal electrode layer 12 connected to the external electrode 6. The lead-out region 15B is a region located between the lead-out portions 12B of the internal electrode layer 12 connected to the external electrode 8.

内部電極層12に含有される導電材は特に限定されず、Ni、Cu、Ag、Pd、Al、Ptなどの金属、またはそれらの合金を用いることができる。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。 The conductive material contained in the internal electrode layer 12 is not particularly limited, and metals such as Ni, Cu, Ag, Pd, Al and Pt, or alloys thereof can be used. As the Ni alloy, an alloy of Ni and one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al is preferable, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more. The Ni or Ni alloy may contain various trace components such as P in an amount of about 0.1% by weight or less.

内部電極層12は、市販の電極用ペーストを使用して形成してもよく、内部電極層12の厚みは用途等に応じて適宜決定すればよい。 The internal electrode layer 12 may be formed by using a commercially available electrode paste, and the thickness of the internal electrode layer 12 may be appropriately determined according to the application and the like.

図2A〜図2Cに示すように、素子本体3のX軸方向の両端面(両側面)には、絶縁層16が形成されている。絶縁層16は、X軸方向の端面(側面)の周縁に形成された山状部16bと、中央部の平面部16cとを有する。 As shown in FIGS. 2A to 2C, insulating layers 16 are formed on both end surfaces (both side surfaces) of the element body 3 in the X-axis direction. The insulating layer 16 has a mountain-shaped portion 16b formed on the peripheral edge of the end surface (side surface) in the X-axis direction and a flat portion 16c at the central portion.

なお、図2B、図2Cおよび図3Aは、セラミック焼結体4のZ軸方向の中央部において、X軸およびY軸を含む平面に平行な断面であり、山状部16bは、平面部16cのY軸方向の両側に形成される。また、図2Aおよび図3Bにも示すように、セラミック焼結体4のY軸方向の中央部において、X軸およびZ軸を含む平面に平行な断面では、絶縁層16の山状部16bは、平面部16cのZ軸方向の両側に形成される。すなわち、絶縁層16の平面部16cからX軸方向に突出する山状部16bは、平面部16cの周縁部に連続して形成してある。 2B, 2C, and 3A are cross sections parallel to a plane including the X axis and the Y axis in the central portion of the ceramic sintered body 4 in the Z axis direction, and the mountain-shaped portion 16b is the flat portion 16c. Are formed on both sides in the Y-axis direction. In addition, as shown in FIGS. 2A and 3B, in the central portion of the ceramic sintered body 4 in the Y-axis direction, in the cross section parallel to the plane including the X-axis and the Z-axis, the mountain-shaped portion 16b of the insulating layer 16 is Are formed on both sides of the plane portion 16c in the Z-axis direction. That is, the mountain-shaped portion 16b protruding from the flat surface portion 16c of the insulating layer 16 in the X-axis direction is formed continuously with the peripheral edge portion of the flat surface portion 16c.

本実施形態の絶縁層16における、山状部16bと平面部16cを有する構成は、焼き付け後に絶縁層16となる絶縁層用ペーストの粘度を調整したり、後述する絶縁層用ペースト塗布工程の手法や条件を適切に選択することにより形成することができる。 The configuration of the insulating layer 16 of the present embodiment having the ridges 16b and the flat surface portion 16c adjusts the viscosity of the insulating layer paste that becomes the insulating layer 16 after baking, and a method of an insulating layer paste applying step described later. It can be formed by selecting appropriate conditions.

本実施形態では、図2B、図2Cまたは図3Aに示すように、外部電極6,8のX軸方向の両端部は、絶縁層16のY軸方向の両端部の山状部におけるX軸方向の最大幅(Mt)の部分(頂点16b2)を覆っていても良い。これにより、本実施形態の積層セラミックコンデンサは、固着強度が良好となる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2B, FIG. 2C, or FIG. 3A, both ends of the external electrodes 6 and 8 in the X-axis direction are in the X-axis direction in the mountain-shaped portions of both ends of the insulating layer 16 in the Y-axis direction. Of the maximum width (Mt) (vertex 16b2) may be covered. As a result, the monolithic ceramic capacitor of the present embodiment has good adhesion strength.

本実施形態の絶縁層16は、図2Bに示すように、素子本体3のY軸方向の端面のX軸方向の両端部を覆っていなくても良いし、図2Cに示すように、素子本体3のY軸方向の端面のX軸方向の両端部を覆う絶縁層延長部16aを一体的に有していても良い。 As shown in FIG. 2B, the insulating layer 16 of the present embodiment does not have to cover both end portions in the X-axis direction of the end surface in the Y-axis direction of the element body 3, or as shown in FIG. The insulating layer extension 16a may be integrally provided to cover both end portions of the end surface of the No. 3 in the Y axis direction in the X axis direction.

なお、絶縁層延長部16aは、図1、図2Bまたは図2Cに示す素子本体3のY軸方向の両端面を広く覆っていないことが好ましい。素子本体3のY軸方向の両端面には、外部電極6,8が形成されて内部電極12と接続される必要があるからである。 It is preferable that the insulating layer extension 16a does not widely cover both end faces in the Y-axis direction of the element body 3 shown in FIG. 1, FIG. 2B or FIG. 2C. This is because the external electrodes 6 and 8 need to be formed on both end surfaces of the element body 3 in the Y-axis direction and connected to the internal electrodes 12.

本実施形態の絶縁層16は、図2Aに示すように、素子本体3のZ軸方向の端面(主面)のX軸方向の両端部を覆う絶縁層延長部16aを一体的に有していても良い。また、図示していないが、絶縁層延長部16aは素子本体3のZ軸方向の端面の全面を覆っていても良い。 As shown in FIG. 2A, the insulating layer 16 of the present embodiment integrally has an insulating layer extension 16a that covers both ends in the X-axis direction of the end surface (main surface) in the Z-axis direction of the element body 3. May be. Although not shown, the insulating layer extension 16a may cover the entire end surface of the element body 3 in the Z-axis direction.

本実施形態の外部電極6,8は、Z軸方向の端面に形成された絶縁層延長部16aを覆う構成としても良い。 The external electrodes 6 and 8 of this embodiment may be configured to cover the insulating layer extension 16a formed on the end face in the Z-axis direction.

絶縁層16の軟化点は500℃〜1000℃であることが好ましい。これにより、前後の工程で発生しうる構造欠陥の影響を減らすことができる。 The softening point of the insulating layer 16 is preferably 500°C to 1000°C. As a result, it is possible to reduce the influence of structural defects that may occur in the preceding and following steps.

本実施形態の絶縁層16を構成する成分は、特に限定されず、例えば、セラミック、アルミニウム、ガラス、チタン、樹脂などが挙げられるが、ガラス成分で構成されていることが好ましい。絶縁層16をガラス成分で構成することにより、固着強度が良好になる。これは、ガラスと素子本体3との界面に反応相が形成されるため、ガラスと素子本体3の密着性が他の絶縁性物質に比べて優れているためであると考えられる。 The component forming the insulating layer 16 of the present embodiment is not particularly limited, and examples thereof include ceramics, aluminum, glass, titanium, resins, and the like, but the glass component is preferable. By forming the insulating layer 16 with a glass component, the fixing strength is improved. It is considered that this is because the reaction phase is formed at the interface between the glass and the element body 3, and thus the adhesion between the glass and the element body 3 is superior to other insulating substances.

また、ガラスは、セラミックに比べて絶縁性が高い。このため、絶縁層16がセラミックで構成されている場合に比べて、絶縁層16がガラス成分で構成されている場合は、向かい合う外部電極6,8の距離を短くしてもショート発生率を低くできる。したがって、絶縁層16がセラミックで構成されている場合に比べて、絶縁層16がガラス成分で構成されている場合は、外部電極6,8がセラミック焼結体4のX軸方向端面のY軸方向端部およびZ軸方向端面のY軸方向端部を広く覆う構成にしても、ショート発生率を低くできる。この効果は、絶縁層延長部16aが素子本体3のZ軸方向端面の全面を覆っている場合に、より顕著である。 Further, glass has a higher insulating property than ceramics. Therefore, compared with the case where the insulating layer 16 is made of ceramic, when the insulating layer 16 is made of a glass component, the short-circuit occurrence rate is low even if the distance between the external electrodes 6 and 8 facing each other is shortened. it can. Therefore, as compared with the case where the insulating layer 16 is made of ceramic, when the insulating layer 16 is made of a glass component, the external electrodes 6 and 8 have the Y-axis of the end surface in the X-axis direction of the ceramic sintered body 4. Even if the Y-axis direction end portions of the Z-axis direction end surface and the Z-direction end surface are widely covered, the short-circuit occurrence rate can be reduced. This effect is more remarkable when the insulating layer extension portion 16a covers the entire end surface of the element body 3 in the Z-axis direction.

素子本体3のX軸方向の端面を絶縁層16で被覆することにより、絶縁性が高められるだけでなく、外部からの環境負荷に対して、耐久性、耐湿性が増す。また、焼成後の素子本体3のX軸方向の端面を絶縁層16が被覆するため、サイドギャップの幅が小さく、かつ、均一な絶縁層16を形成することができる。 By covering the end surface of the element body 3 in the X-axis direction with the insulating layer 16, not only the insulating property is enhanced, but also the durability and the moisture resistance against the environmental load from the outside are increased. Further, since the insulating layer 16 covers the end surface of the element body 3 after firing in the X-axis direction, it is possible to form a uniform insulating layer 16 having a small side gap width.

外部電極6,8の材質も特に限定されないが、Cu、Ag、Pd、Pt、Auあるいはこれらの合金、導電性樹脂など公知の導電材を用いることができる。外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい。 The material of the external electrodes 6 and 8 is also not particularly limited, but known conductive materials such as Cu, Ag, Pd, Pt, Au, alloys thereof, and conductive resins can be used. The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the application or the like.

なお、図1において、X軸、Y軸およびZ軸は、相互に垂直であり、Z軸が、内側誘電体層10および内部電極層12の積層方向に一致し、Y軸が、引出領域15A,15B(引出部12A,12B)が形成される方向に一致する。 In FIG. 1, the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis are mutually perpendicular, the Z-axis coincides with the stacking direction of the inner dielectric layer 10 and the internal electrode layer 12, and the Y-axis shows the extraction region 15A. , 15B (drawing portions 12A, 12B) are formed in the same direction.

本実施形態では、図2Aに示すように、絶縁層16のうち、セラミック焼結体4の幅方向(X軸方向)に沿って、素子本体3のX軸方向の端面から絶縁層16の外面までの区間をギャップ部としている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2A, in the insulating layer 16, along the width direction (X-axis direction) of the ceramic sintered body 4, from the end surface of the element body 3 in the X-axis direction to the outer surface of the insulating layer 16. The section up to is the gap.

本実施形態では、ギャップ部のX軸方向の幅Wgapは、セラミック焼結体4の幅方向(X軸方向)に沿って、素子本体3のX軸方向の端面から絶縁層16のX軸方向の端面までの寸法に一致する。幅Wgapの平均は、好ましくは、0.1μm〜40μmであり、素子本体3の幅W0に比較すれば、きわめて小さい。 In the present embodiment, the width Wgap of the gap portion in the X-axis direction is determined from the end surface of the element body 3 in the X-axis direction along the X-axis direction of the insulating layer 16 along the width direction of the ceramic sintered body 4 (X-axis direction). Match the dimension up to the end face of. The average width Wgap is preferably 0.1 μm to 40 μm, which is extremely smaller than the width W0 of the element body 3.

Wgapを上記の範囲内とすることで、クラックが発生しにくくなると共に、セラミック焼結体4がより小型化されても、静電容量の低下が少ない。 By setting Wgap within the above range, cracks are less likely to occur, and even if the ceramic sintered body 4 is further downsized, the decrease in capacitance is small.

なお、素子本体3の幅W0は、内側誘電体層10のX軸方向に沿う幅に一致する。 The width W0 of the element body 3 matches the width of the inner dielectric layer 10 along the X-axis direction.

図2Aに示すように、素子本体3のZ軸方向の端面において、素子本体3のX軸方向の両端面からの絶縁層延長部16aのX軸方向のぞれぞれの幅をW1とする。この場合、W1とW0の比は、好ましくは1/30≦W1/W0である。 As shown in FIG. 2A, at the end surface of the element body 3 in the Z-axis direction, the width of each of the insulating layer extension portions 16a in the X-axis direction from both end surfaces of the element body 3 in the X-axis direction is W1. .. In this case, the ratio of W1 and W0 is preferably 1/30≦W1/W0.

W1/W0が1/30以上であることで、電歪による構造欠陥や音鳴きをより減らすことができる。 By setting W1/W0 to 1/30 or more, it is possible to further reduce structural defects and squealing due to electrostriction.

また、W1/W0が1/2であってもよいが、その場合には、一方の絶縁層延長部16aと他方の絶縁層延長部16aがつながっている構成となる。すなわち、絶縁層16が素子本体3の主面と側面との4面で覆う構成となる。このような場合には、絶縁層16の塗布方法などによっては、素子本体3におけるX軸方向の端面を被覆する絶縁層が薄くなる可能性があり、電歪の緩和の効果が下がる傾向にある。一方、上記の通り、W1/W0が1/2の場合は、絶縁層をガラス成分で構成した場合に、外部電極6,8がセラミック焼結体4のX軸方向端面のY軸方向端部およびZ軸方向端面のY軸方向端部を広く覆う構成にしても、ショート発生率を低くできる効果が顕著となる。 Also, W1/W0 may be 1/2, but in that case, one insulating layer extension 16a and the other insulating layer extension 16a are connected. That is, the insulating layer 16 is configured to be covered by the four surfaces of the element body 3 including the main surface and the side surfaces. In such a case, depending on the method of applying the insulating layer 16 or the like, the insulating layer that covers the end surface of the element body 3 in the X-axis direction may become thin, and the effect of alleviating electrostriction tends to decrease. .. On the other hand, as described above, when W1/W0 is 1/2, the external electrodes 6 and 8 are the end portions in the Y-axis direction of the end faces in the X-axis direction of the ceramic sintered body 4 when the insulating layer is made of a glass component. Even if the Y-axis direction end of the Z-axis direction end face is widely covered, the effect of reducing the short-circuit occurrence rate becomes remarkable.

本実施形態では、積層方向(Z軸方向)に隣接する誘電体層10で挟まれる内部電極層12のX軸方向端部は、素子本体3のX軸方向端面、すなわち、誘電体層10のX軸方向端部から内側に所定の引込み距離で凹んでいても良い。本実施形態では、従来に比較して、幅Wgapをきわめて小さくすることが可能になり、しかも、内部電極層12の引き込み距離が十分に小さい。そのため、本実施形態では、小型でありながら、大きな容量の積層コンデンサを得ることができる。 In the present embodiment, the X-axis direction end of the internal electrode layer 12 sandwiched between the dielectric layers 10 adjacent in the stacking direction (Z-axis direction) is the X-axis direction end face of the element body 3, that is, the dielectric layer 10. It may be recessed inward from the X-axis direction end portion by a predetermined drawing distance. In the present embodiment, the width Wgap can be made extremely small as compared with the conventional one, and the pull-in distance of the internal electrode layer 12 is sufficiently small. Therefore, in the present embodiment, it is possible to obtain a multilayer capacitor having a large capacity while being small in size.

なお、絶縁層16を形成する前の素子本体3のX軸方向端面を、バレル研磨などで研磨することで、内部電極層12のX軸方向端部の引き込みを無くすことも可能である。内部電極層12のX軸方向端部の引き込みは、たとえば内部電極層12を形成する材料と誘電体層を形成する材料との焼結収縮率の違いにより形成される。 Note that the X-axis direction end surface of the element body 3 before forming the insulating layer 16 can be polished by barrel polishing or the like to eliminate the pull-in of the X-axis direction end portion of the internal electrode layer 12. The pulling in of the end portion in the X-axis direction of the internal electrode layer 12 is formed, for example, by the difference in the sintering shrinkage rate between the material forming the internal electrode layer 12 and the material forming the dielectric layer.

本実施形態では、図3Aまたは図3Bに示すように、絶縁層16の平面部16cの表面に沿う表面仮想線と、山状部16bの第1内側所定位置16b1での曲面の接線がなす角の角度をθ1とした場合、θ1は5°〜25°であることが好ましい。これにより、固着強度を良好にすることができる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 3A or FIG. 3B, the angle formed by the imaginary line of the surface along the surface of the flat portion 16c of the insulating layer 16 and the tangent of the curved surface at the first inner predetermined position 16b1 of the mountain portion 16b. If the angle is θ1, θ1 is preferably 5° to 25°. Thereby, the fixing strength can be improved.

また、本実施形態では、図3Aまたは図3Bに示すように、絶縁層16の平面部16cの表面に沿う表面仮想線と、山状部16bの第1外側所定位置16b3での曲面の接線がなす角の角度をθ2とした場合、θ2は5°〜25°であることが好ましい。これにより、耐熱衝撃性を良好にすることができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3A or FIG. 3B, the surface imaginary line along the surface of the flat surface portion 16c of the insulating layer 16 and the tangent line of the curved surface at the first outer predetermined position 16b3 of the mountain-shaped portion 16b are: When the angle formed is θ2, θ2 is preferably 5° to 25°. Thereby, the thermal shock resistance can be improved.

第1内側所定位置16b1は以下に示す方法により決定する。まず、平面部16cのうち最も外側の点である平面端部16c1および山状部16bのうち山状部16bの頂点16b2を決定する。なお、頂点16b2は絶縁層16のY軸方向の両端部の山状部16bにおけるX軸方向の最大幅(Mt)の部分である。そして、Y軸方向座標またはZ軸方向座標が平面端部16c1および頂点16b2の中間であり、山状部16bの表面上にある点を第1内側所定位置16b1とする。 The first inner predetermined position 16b1 is determined by the method described below. First, the outermost point of the plane portion 16c, which is the outermost point, and the vertex 16b2 of the mountain portion 16b of the mountain portion 16b are determined. The apex 16b2 is the maximum width (Mt) in the X-axis direction in the mountain-shaped portions 16b at both ends in the Y-axis direction of the insulating layer 16. Then, a point on the surface of the mountain-like portion 16b, where the Y-axis direction coordinate or the Z-axis direction coordinate is intermediate between the plane end portion 16c1 and the apex 16b2, is defined as the first inner predetermined position 16b1.

第1外側所定位置16b3は表面仮想線と山状部16bの外側の曲面との交点である。 The first outer predetermined position 16b3 is the intersection of the virtual surface and the outer curved surface of the mountain portion 16b.

第1内側所定位置16b1および第1外側所定位置16b3の決定方法には特に限定はない。例えばデジタルマイクロスコープを用いて目視にて決定することができる。なお、デジタルマイクロスコープを用いて目視にて決定する場合には、第1内側所定位置16b1および第1外側所定位置16b3の位置に多少の誤差が生じる場合があるが、それによるθ1およびθ2の大きさに及ぼす影響は通常は無視できるほど小さい。 The method for determining the first inner predetermined position 16b1 and the first outer predetermined position 16b3 is not particularly limited. For example, it can be visually determined using a digital microscope. In the case of visual determination using a digital microscope, there may be some error in the positions of the first inner predetermined position 16b1 and the first outer predetermined position 16b3. The impact on size is usually negligible.

従来は、素子本体から露出している内部電極層にセラミックを焼き付けていたが、この場合、セラミックと素子本体の側面との接着性が悪く、電歪によって構造欠陥が発生し易く、また、外部応力を緩和することが困難であり、固着強度に問題があった。 In the past, ceramic was baked onto the internal electrode layer exposed from the element body, but in this case, the adhesion between the ceramic and the side surface of the element body is poor, and structural defects are likely to occur due to electrostriction. It was difficult to relieve the stress, and there was a problem with the bond strength.

本実施形態の積層電子部品は、絶縁層16の平面部16cの表面に沿う表面仮想線と山状部16bの第1内側所定位置16b1での曲面の接線がなす角の角度θ1および表面仮想線と山状部16bの第1外側所定位置16b3での曲面の接線がなす角の角度θ2に特徴がある。この絶縁層16の山状部16bの角度θ1,θ2を所定の範囲内とすることによって、セラミック焼結体4と外部電極6,8の接着性を強固にし、電歪による素子本体3の変形を緩和するとともに、外部応力を緩和することができ、実装性を向上させることができる。 In the laminated electronic component of the present embodiment, the angle θ1 of the angle formed by the imaginary surface of the surface along the surface of the flat portion 16c of the insulating layer 16 and the tangent of the curved surface at the first inner predetermined position 16b1 of the mountain portion 16b and the imaginary surface of the surface. And the angle θ2 of the angle formed by the tangents of the curved surface at the first outer predetermined position 16b3 of the mountain portion 16b. By setting the angles θ1 and θ2 of the ridges 16b of the insulating layer 16 within a predetermined range, the ceramic sintered body 4 and the external electrodes 6 and 8 are strongly adhered, and the element body 3 is deformed by electrostriction. And the external stress can be relaxed, and the mountability can be improved.

セラミック焼結体4のX軸方向の両側の幅Wgapは相互に同じでも異なっていてもよい。また、セラミック焼結体4のX軸方向の両側の幅W1も相互に同じでも異なっていてもよい。 The widths Wgap on both sides of the ceramic sintered body 4 in the X-axis direction may be the same or different from each other. The widths W1 on both sides of the ceramic sintered body 4 in the X-axis direction may be the same or different from each other.

内側誘電体層10の厚みtdは特に限定されないが、好ましくは0.1μm〜5.0μmである。 The thickness td of the inner dielectric layer 10 is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm to 5.0 μm.

内部電極層12の厚みteは特に限定されないが、好ましくは0.1μm〜5.0μmである。 The thickness te of the internal electrode layer 12 is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm to 5.0 μm.

外装領域11の厚みtoは特に限定されないが、好ましくは0.1μm〜5.0μmである。 The thickness to of the exterior region 11 is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm to 5.0 μm.

積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、本発明の一実施形態としての積層セラミックコンデンサ2の製造方法について具体的に説明する。本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、絶縁層用ペーストを塗布・焼き付けし、絶縁層16を形成して、外部電極6,8を印刷または転写して焼き付けることにより製造される。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor Next, a manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 2 as one embodiment of the present invention will be specifically described. In the multilayer ceramic capacitor 2 according to the present embodiment, a green chip is manufactured by a normal printing method or a sheet method using a paste, and after firing the green chip, an insulating layer paste is applied and baked to form an insulating layer 16. Then, the external electrodes 6 and 8 are printed or transferred and baked to be manufactured.

まず、焼成後に図1に示す内側誘電体層10を構成することになる内側グリーンシート10aおよび外側誘電体層を構成することになる外側グリーンシート11aを製造するために、内側グリーンシート用ペーストおよび外側グリーンシート用ペーストを準備する。 First, in order to manufacture the inner green sheet 10a which will form the inner dielectric layer 10 shown in FIG. 1 and the outer green sheet 11a which will form the outer dielectric layer after firing, an inner green sheet paste and Prepare the outer green sheet paste.

内側グリーンシート用ペーストおよび外側グリーンシート用ペーストは、通常、セラミック粉末と有機ビヒクルとを混練して得られた有機溶剤系ペースト、または水系ペーストで構成される。 The inner green sheet paste and the outer green sheet paste are usually composed of an organic solvent-based paste obtained by kneading ceramic powder and an organic vehicle, or an aqueous paste.

セラミック粉末の原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、混合して用いることができる。セラミック粉末の原料は、本実施形態では、平均粒子径が0.45μm以下、好ましくは0.1〜0.3μm程度の粉体として用いられる。なお、内側グリーンシートをきわめて薄いものとするためには、グリーンシート厚みよりも細かい粉体を使用することが望ましい。 As the raw material of the ceramic powder, it is possible to appropriately select various compounds such as complex oxides or oxides, for example, carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, etc., and mix them. In this embodiment, the raw material of the ceramic powder is used as a powder having an average particle diameter of 0.45 μm or less, preferably about 0.1 to 0.3 μm. In order to make the inner green sheet extremely thin, it is desirable to use powder finer than the thickness of the green sheet.

有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。用いる有機溶剤も特に限定されず、アルコール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。 The organic vehicle is a binder dissolved in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. The organic solvent used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as alcohol, acetone and toluene.

また、グリーンシート用ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。 Further, the green sheet paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, subcomponent compounds, glass frits, insulators, etc., if necessary.

可塑剤としては、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチルやフタル酸ベンジルブチルなどのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。 Examples of the plasticizer include phthalic acid esters such as dibutyl phthalate, dioctyl phthalate and benzylbutyl phthalate, adipic acid, phosphoric acid esters and glycols.

次に、焼成後に図1に示す内部電極層12A,12Bを構成することになる内部電極パターン層12aを製造するために、内部電極層用ペーストを準備する。内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。 Next, in order to manufacture the internal electrode pattern layer 12a that will form the internal electrode layers 12A and 12B shown in FIG. 1 after firing, an internal electrode layer paste is prepared. The internal electrode layer paste is prepared by kneading the above-mentioned conductive material made of various conductive metals or alloys and the above-mentioned organic vehicle.

導電材としてNiを用いる場合は、例えば、市販のCVD法、湿式化学還元法等を用いて作製したNiの粉体を用いてもよい。 When Ni is used as the conductive material, for example, a commercially available CVD method, a Ni chemical powder produced by a wet chemical reduction method, or the like may be used.

焼成後に図1に示す外部電極6,8を構成することになる外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。 The external electrode paste that will form the external electrodes 6 and 8 shown in FIG. 1 after firing may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

上記にて調製した内側グリーンシート用ペーストおよび内部電極層用ペーストを使用して、図4に示すように、内側グリーンシート10aと、内部電極パターン層12aと、を交互に積層し、内部積層体13aを製造する。そして、内部積層体13aを製造した後に、外側グリーンシート用ペーストを使用して、外側グリーンシート11aを形成し、積層方向に加圧してグリーン積層体を得る。 Using the inner green sheet paste and the internal electrode layer paste prepared above, the inner green sheets 10a and the internal electrode pattern layers 12a are alternately laminated as shown in FIG. 13a is manufactured. Then, after manufacturing the inner laminated body 13a, the outer green sheet 11a is formed by using the outer green sheet paste, and pressure is applied in the laminating direction to obtain the green laminated body.

なお、グリーン積層体の製造方法は、特に限定されず、例えば、シート法または印刷法で製造できる。また、上記の他、外側グリーンシート11aに直接内側グリーンシート10aと内部電極パターン層12aとを交互に所定数積層して、積層方向に加圧してグリーン積層体を得てもよい。 The method for producing the green laminate is not particularly limited, and the green laminate can be produced by, for example, a sheet method or a printing method. In addition to the above, a predetermined number of the inner green sheets 10a and the internal electrode pattern layers 12a may be alternately laminated directly on the outer green sheet 11a, and pressure may be applied in the laminating direction to obtain a green laminate.

具体的には、まず、ドクターブレード法などにより、支持体としてのキャリアシート(たとえばPETフィルム)上に、内側グリーンシート10aを形成する。内側グリーンシート10aは、キャリアシート上に形成された後に乾燥される。 Specifically, first, the inner green sheet 10a is formed on a carrier sheet (for example, PET film) as a support by a doctor blade method or the like. The inner green sheet 10a is dried after being formed on the carrier sheet.

次に、図4に示すように、内側グリーンシート10aの表面に、内部電極層用ペーストを用いて、内部電極パターン層12aを形成し、内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを得る。 Next, as shown in FIG. 4, the internal electrode pattern layer 12a is formed on the surface of the internal green sheet 10a by using the internal electrode layer paste to obtain the internal green sheet 10a having the internal electrode pattern layer 12a.

この際、図5A(a)に示すように、n層目において、Y軸方向に内部電極パターン層12aの隙間32を形成し、X軸方向には連続する平坦な内部電極パターン層12aを形成する。 At this time, as shown in FIG. 5A (a), in the nth layer, a gap 32 of the internal electrode pattern layer 12a is formed in the Y-axis direction, and a continuous flat internal electrode pattern layer 12a is formed in the X-axis direction. To do.

次に、図5A(b)に示すように、n+1層目においてもY軸方向に内部電極パターン層12aの隙間32を形成し、X軸方向には連続する平坦な内部電極パターン層12aを形成する。この際、n層目とn+1層目の内部電極パターン層の隙間32は積層方向であるZ軸方向において、重ならないように形成される。 Next, as shown in FIG. 5A(b), a gap 32 between the internal electrode pattern layers 12a is formed in the Y-axis direction even in the (n+1)th layer, and a continuous flat internal electrode pattern layer 12a is formed in the X-axis direction. To do. At this time, the gap 32 between the internal electrode pattern layers of the nth layer and the (n+1)th layer is formed so as not to overlap in the Z-axis direction which is the stacking direction.

このようにして、内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを複数積層して、内部積層体13aを製造した後に、内部積層体13aの上下に外側グリーンシート用ペーストを使用して、適宜の枚数の外側グリーンシート11aを形成し、積層方向に加圧してグリーン積層体を得る。 In this way, a plurality of inner green sheets 10a having the inner electrode pattern layers 12a are laminated to manufacture the inner laminated body 13a, and then the outer green sheet paste is used above and below the inner laminated body 13a to appropriately form A number of outer green sheets 11a are formed and pressed in the stacking direction to obtain a green stack.

次に、図5A(a)、図5A(b)、図6A、図6BのC1切断面およびC2切断面に沿って、グリーン積層体を切断してグリーンチップを得る。C1は、Y‐Z軸平面に平行な切断面であり、C2は、Z‐X軸平面に平行な切断面である。 Next, the green laminated body is cut along the C1 cut surface and the C2 cut surface of FIGS. 5A(a), 5A(b), 6A, and 6B to obtain a green chip. C1 is a cutting plane parallel to the YZ axis plane, and C2 is a cutting plane parallel to the ZX axis plane.

図5A(a)に示すように、n層目において内部電極パターン層12aを切断するC2切断面の両隣のC2切断面は、内部電極パターン層12aの隙間32を切断する。また、n層目において内部電極パターン層12aを切断したC2切断面は、n+1層目においては内部電極パターン層12aの隙間32を切断する。 As shown in FIG. 5A(a), the C2 cut surfaces on both sides of the C2 cut surface for cutting the internal electrode pattern layer 12a in the nth layer cut the gap 32 of the internal electrode pattern layer 12a. The C2 cut surface obtained by cutting the internal electrode pattern layer 12a in the nth layer cuts the gap 32 of the internal electrode pattern layer 12a in the n+1th layer.

このような切断方法によりグリーンチップを得ることで、グリーンチップのn層目の内部電極パターン層12aは、グリーンチップのC2切断面において、一の切断面では露出し、他の切断面では露出しない構成となる。また、グリーンチップのn+1層目の内部電極パターン層12aは、グリーンチップのC2切断面において、n層目で内部電極パターン層12aが露出した方の切断面では、内部電極パターン層12aは露出せず、n層目で内部電極パターン層12aが露出していない方の切断面では、内部電極パターン層12aが露出する構成となる。 By obtaining the green chip by such a cutting method, the internal electrode pattern layer 12a of the nth layer of the green chip is exposed at one cutting surface and not exposed at the other cutting surface in the C2 cutting surface of the green chip. It will be composed. In addition, the internal electrode pattern layer 12a of the (n+1)th layer of the green chip has a structure in which the internal electrode pattern layer 12a is exposed on the C2 cut surface of the green chip, which is the nth layer where the internal electrode pattern layer 12a is exposed. First, the internal electrode pattern layer 12a is exposed on the cut surface of the nth layer where the internal electrode pattern layer 12a is not exposed.

さらに、グリーンチップのC1切断面においては、全ての層で内部電極パターン層12aが露出する構成となる。 Further, in the C1 cut surface of the green chip, the internal electrode pattern layer 12a is exposed in all layers.

また、内部電極パターン層12aの形成方法としては、特に限定されず、印刷法、転写法の他、蒸着、スパッタリングなどの薄膜形成方法により形成されていてもよい。 Further, the method of forming the internal electrode pattern layer 12a is not particularly limited, and may be formed by a thin film forming method such as vapor deposition and sputtering in addition to the printing method and the transfer method.

また、内部電極パターン層12aの隙間32に段差吸収層20を形成してもよい。段差吸収層20を形成することで、グリーンシート10aの表面で内部電極パターン層12aによる段差がなくなり、最終的に得られるセラミック焼結体4の変形防止に寄与する。 Further, the step absorption layer 20 may be formed in the gap 32 of the internal electrode pattern layer 12a. By forming the step absorption layer 20, there is no step due to the internal electrode pattern layer 12a on the surface of the green sheet 10a, which contributes to preventing deformation of the finally obtained ceramic sintered body 4.

段差吸収層20は、たとえば内部電極パターン層12aと同様にして、印刷法などで形成される。段差吸収層20は、グリーンシート10aと同様なセラミック粉末と有機ビヒクルを含むが、グリーンシート10aと異なり、印刷により形成されるために、印刷しやすいように調整してある。印刷法としては、スクリーン印刷、グラビア印刷などが例示される。 The step absorption layer 20 is formed by a printing method or the like, for example, similarly to the internal electrode pattern layer 12a. The step absorption layer 20 contains the same ceramic powder and organic vehicle as the green sheet 10a, but unlike the green sheet 10a, since it is formed by printing, it is adjusted for easy printing. Examples of the printing method include screen printing and gravure printing.

グリーンチップは、固化乾燥により可塑剤が除去され固化される。固化乾燥後のグリーンチップは、メディアおよび研磨液とともに、バレル容器内に投入され、水平遠心バレル機などにより、バレル研磨される。バレル研磨後のグリーンチップは、水で洗浄され、乾燥される。乾燥後のグリーンチップに対して、脱バインダ工程、焼成工程、必要に応じて行われるアニール工程を行うことにより、素子本体3が得られる。 The green chip is solidified by removing the plasticizer by solidifying and drying. The solidified and dried green chips are put into a barrel container together with a medium and a polishing liquid and barrel-polished by a horizontal centrifugal barrel machine or the like. The green chip after barrel polishing is washed with water and dried. The element main body 3 is obtained by performing a binder removal step, a firing step, and an annealing step that is performed as necessary on the dried green chip.

脱バインダ工程は、公知の条件とすればよく、たとえば、保持温度を200℃〜400℃とすればよい。 The binder removal step may be performed under known conditions, for example, the holding temperature may be 200°C to 400°C.

本実施形態において、焼成工程およびアニール工程は、還元雰囲気で行う。その他の焼成条件またはアニール条件は、公知の条件とすればよく、たとえば、焼成の保持温度は1000℃〜1300℃であり、アニールの保持温度は500℃〜1000℃である。 In the present embodiment, the firing process and the annealing process are performed in a reducing atmosphere. Other firing conditions or annealing conditions may be known conditions, for example, the firing holding temperature is 1000°C to 1300°C, and the annealing holding temperature is 500°C to 1000°C.

脱バインダ工程、焼成工程およびアニール工程は、連続して行なっても、独立して行なってもよい。 The binder removal step, firing step, and annealing step may be performed continuously or independently.

次に、上記素子本体3のX軸方向の両端面に、絶縁層用ペーストをスクリーン印刷で塗布し、焼き付けることにより、絶縁層16を形成し、図1および図2に示すセラミック焼結体4を得る。この絶縁層16により、絶縁性が高められるだけでなく、耐湿性も良好とされる。絶縁層用ペーストを塗布する場合には、ペーストが、素子本体3のX軸方向の両端面のみではなく、素子本体3のZ軸方向の両端面のX軸方向の両端部および/またはY軸方向の両端面のX軸方向の両端部にも塗布されるようにしてもよい。 Next, the insulating layer paste is applied by screen printing to both end surfaces of the element body 3 in the X-axis direction and baked to form the insulating layer 16, and the ceramic sintered body 4 shown in FIGS. 1 and 2 is formed. To get The insulating layer 16 not only enhances the insulating property but also makes the moisture resistance favorable. When the insulating layer paste is applied, the paste is applied not only to both end surfaces of the element body 3 in the X-axis direction but also to both end portions in the X-axis direction and/or the Y-axis of both end surfaces of the element body 3 in the Z-axis direction. It may also be applied to both ends in the X-axis direction of both end faces in the direction.

絶縁層16をガラスで構成する場合には、この絶縁層用ペーストは、例えば上記したガラス原料と、エチルセルロースを主成分とするバインダと分散媒であるテルピネオール等とをミキサーで混練して得る。 When the insulating layer 16 is made of glass, the insulating layer paste is obtained, for example, by kneading the above-mentioned glass raw material, a binder containing ethyl cellulose as a main component, and a dispersion medium such as terpineol with a mixer.

本実施形態の絶縁層用ペーストの粘度は、30Pa・s〜120Pa・sであることが好ましい。これにより、θ1およびθ2を好ましい範囲にすることができ、耐熱衝撃性および固着強度が良好な積層セラミックコンデンサを得ることができる。 The viscosity of the insulating layer paste of the present embodiment is preferably 30 Pa·s to 120 Pa·s. Thus, it is possible to preferably ranges θ1 and .theta.2, Ru can be thermal shock resistance and bonding strength to obtain a satisfactory multilayer ceramic capacitor.

絶縁層用ペーストの粘度は、分散媒であるテルピネオール等の量を変化させることで調整できる。 The viscosity of the insulating layer paste can be adjusted by changing the amount of the dispersion medium such as terpineol.

素子本体3への絶縁層16の形成方法は特に限定されないが、例えば、下記の方法が挙げられる。 The method of forming the insulating layer 16 on the element body 3 is not particularly limited, but the following method may be mentioned, for example.

まず、素子本体3のX軸方向の端面に、絶縁層用ペーストをスクリーン印刷で塗布し、乾燥させる。これが、第1絶縁層用ペースト塗布工程である。その後、素子本体3のX軸方向の中央部を樹脂などでマスキングする。 First, the insulating layer paste is applied to the end surface of the element body 3 in the X-axis direction by screen printing and dried. This is the first insulating layer paste applying step. After that, the central portion of the element body 3 in the X-axis direction is masked with resin or the like.

次に第2絶縁層用ペースト塗布工程として、X軸方向の中央部がマスキングされた素子本体3のX軸方向の端部をディップまたはスクリーン印刷により、再度塗布し、乾燥および脱バインダ処理を経て、焼き付けることにより、絶縁層16を形成して、セラミック焼結体4を得る。 Next, in the second insulating layer paste applying step, the end portion in the X-axis direction of the element body 3 in which the central portion in the X-axis direction is masked is re-applied by dipping or screen printing, followed by drying and binder removal processing. Then, the insulating layer 16 is formed by baking, and the ceramic sintered body 4 is obtained.

焼き付け時に液状化した絶縁層用ペーストのガラス成分は、内側誘電体層10の端部から内部電極層12の端部までの空隙に毛細管現象により容易に入り込む。従って、絶縁層16により、上記空隙が確実に満たされ、絶縁性が高められるだけでなく、耐湿性も良好とされる。 The glass component of the insulating layer paste that is liquefied during baking easily enters into the void from the end of the inner dielectric layer 10 to the end of the internal electrode layer 12 by a capillary phenomenon. Therefore, the insulating layer 16 surely fills the above-mentioned voids and enhances the insulating property, and also provides good moisture resistance.

上記のようにして得られたセラミック焼結体4のY軸方向の両端面および/またはZ軸方向の両端面に、必要に応じて、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施す。 The Y-axis direction end faces and/or the Z-axis direction end faces of the ceramic sintered body 4 obtained as described above are, if necessary, end face-polished by, for example, barrel polishing or sandblasting.

次に、絶縁層16が焼き付けられたセラミック焼結体4のY軸方向の両端面に、外部電極用ペーストを塗布して焼き付けし、外部電極6,8を形成する。外部電極6,8の形成については、絶縁層16の形成後に行っても良く、絶縁層16の形成と同時に行ってもよいが、好ましくは、絶縁層16を形成した後が良い。 Next, the external electrode paste is applied and baked on both end faces in the Y-axis direction of the ceramic sintered body 4 on which the insulating layer 16 has been baked to form the external electrodes 6 and 8. The external electrodes 6 and 8 may be formed after forming the insulating layer 16 or at the same time as forming the insulating layer 16, but preferably after forming the insulating layer 16.

また、外部電極6,8の形成方法についても特に限定されず、外部電極用ペーストの塗布・焼き付け、ディップ・焼き付け、メッキ、蒸着、スパッタリングなどの適宜の方法を用いることができる。 The method for forming the external electrodes 6 and 8 is not particularly limited, and an appropriate method such as coating/baking of external electrode paste, dipping/baking, plating, vapor deposition, or sputtering can be used.

そして、必要に応じ、外部電極6,8表面に、めっき等により被覆層を形成する。 Then, if necessary, a coating layer is formed on the surfaces of the external electrodes 6 and 8 by plating or the like.

このようにして製造された本実施形態の積層セラミックコンデンサ2は、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。 The monolithic ceramic capacitor 2 of the present embodiment manufactured in this manner is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like and used in various electronic devices or the like.

従来は、誘電体層の一部をギャップ部としていたため、グリーンシートの表面のうち、焼成後にギャップ部となる部分には、X軸方向に沿って所定間隔で内部電極パターン層を形成しない余白パターンを形成していた。 In the past, since a part of the dielectric layer was used as the gap part, a blank space where the internal electrode pattern layer was not formed at a predetermined interval along the X-axis direction on the part of the surface of the green sheet that became the gap part after firing. Formed a pattern.

これに対して、本実施形態では、内部電極パターン層はX軸方向に沿って連続して形成され、ギャップ部は、素子本体に絶縁層を形成することにより得られる。このため、ギャップ部を形成するための余白パターンを形成しない。したがって、従来の方法とは異なり、グリーンシートに平坦な内部電極パターン層の膜が形成される。このため、グリーンシートの面積当りのグリーンチップの取得個数が従来に比べて増加できる。 On the other hand, in the present embodiment, the internal electrode pattern layer is continuously formed along the X-axis direction, and the gap portion is obtained by forming an insulating layer on the element body. Therefore, a blank pattern for forming the gap portion is not formed. Therefore, unlike the conventional method, a flat internal electrode pattern layer film is formed on the green sheet. Therefore, the number of green chips to be acquired per area of the green sheet can be increased as compared with the conventional case.

また、本実施形態では、従来と異なり、グリーン積層体の切断時に余白パターンを気にせずに済むため、従来に比べて、切断歩留まりが改善されている。 Further, in the present embodiment, unlike the conventional case, it is not necessary to care about the blank pattern when cutting the green laminated body, so that the cutting yield is improved as compared with the conventional case.

さらに、従来は、グリーンシートを積層すると、余白パターン部分は、内部電極パターン層が形成されている部分に比べて厚みが薄く、切断する際に、グリーンチップの切断面付近が湾曲してしまう問題があった。また、従来は内部電極パターン層の余白パターン部分近くに、盛り上がりが形成されるため、内部電極層に凹凸が生じ、これらを積層することで、内部電極またはグリーンシートが変形するおそれがあった。これに対して、本実施形態では、余白パターンを形成せず、内部電極パターン層の盛り上がりも形成されない。 Further, conventionally, when the green sheets are laminated, the blank pattern portion has a smaller thickness than the portion where the internal electrode pattern layer is formed, and when cutting, the vicinity of the cut surface of the green chip is curved. was there. Further, conventionally, since a bulge is formed near the blank pattern portion of the internal electrode pattern layer, unevenness is generated in the internal electrode layer, and by stacking these, the internal electrode or the green sheet may be deformed. On the other hand, in this embodiment, the blank pattern is not formed and the swelling of the internal electrode pattern layer is not formed.

さらに、本実施形態は、内部電極パターン層が平坦な膜であり、内部電極パターン層の盛り上がりが形成されず、また、ギャップ部付近において、内部電極パターン層の滲みやカスレが生じないため、取得容量を向上できる。この効果は、素子本体が小さければ小さいほど顕著である。 Further, in the present embodiment, since the internal electrode pattern layer is a flat film, swelling of the internal electrode pattern layer is not formed, and bleeding or scraping of the internal electrode pattern layer does not occur near the gap portion. The capacity can be improved. This effect is more remarkable as the element body is smaller.

(第2実施形態)
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサは、絶縁層16のY軸方向の端部の山状部16bにおけるX軸方向の最大幅の部分を外部電極6,8が覆っていること必須としていること以外は、第1実施形態と同様であり、重複する説明は省略する。
(Second embodiment)
In the monolithic ceramic capacitor according to the present embodiment, except that it is essential that the external electrodes 6 and 8 cover the maximum width portion in the X-axis direction in the mountain portion 16b at the end portion in the Y-axis direction of the insulating layer 16. Are the same as those in the first embodiment, and redundant description will be omitted.

本実施形態では、図2B、図2Cまたは図3Aに示すように、外部電極6,8のX軸方向の両端部は、絶縁層16のY軸方向の両端部の山状部におけるX軸方向の最大幅(Mt)の部分(頂点16b2)を覆っている。これにより、本実施形態の積層セラミックコンデンサは、固着強度が良好となる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2B, FIG. 2C, or FIG. 3A, both ends of the external electrodes 6 and 8 in the X-axis direction are in the X-axis direction in the mountain-shaped portions of both ends of the insulating layer 16 in the Y-axis direction. Of the maximum width (Mt) (vertex 16b2). As a result, the monolithic ceramic capacitor of the present embodiment has good adhesion strength.

また、図3Aに示すように、素子本体3のY軸方向の端部から、絶縁層16のY軸方向の端部の山状部におけるX軸方向の最大幅(Mt)までのY軸方向に沿う長さをαとして、素子本体3のY軸方向の端部からの絶縁層16を覆う外部電極6,8のY軸方向に沿う被覆長さをβとする。 In addition, as shown in FIG. 3A, the Y-axis direction from the end of the element body 3 in the Y-axis direction to the maximum width (Mt) in the X-axis direction of the mountain portion of the end of the insulating layer 16 in the Y-axis direction. Is defined as α, and the coating length along the Y-axis direction of the external electrodes 6, 8 covering the insulating layer 16 from the end of the element body 3 in the Y-axis direction is defined as β.

本実施形態では、α/βは、1/30≦α/β<1であることが好ましい。 In this embodiment, α/β is preferably 1/30≦α/β<1.

1/30≦α/β<1の場合は、α/βが1/30より小さい場合に比べて、外部電極6,8の被覆長さが短く、外部電極6,8を覆うめっきの伸びによるショートの発生率を低くすることができる。 In the case of 1/30≦α/β<1, the coating length of the external electrodes 6 and 8 is shorter than that in the case where α/β is smaller than 1/30. The occurrence rate of short circuits can be reduced.

一方、1/30≦α/β<1の場合は、α/βが1以上の場合に比べて、外部電極6,8の被覆長さが長く、固着強度を良好にすることができる。 On the other hand, in the case of 1/30≦α/β<1, the coating length of the external electrodes 6 and 8 is longer than in the case where α/β is 1 or more, and the fixing strength can be improved.

また、素子本体3のX軸方向端部から絶縁層16のX軸方向端部までの最大幅をMtとした場合、Mt/βは、1/30〜1/10であることが好ましい。これにより、耐熱衝撃性および固着強度を良好にすることができる。 When Mt is the maximum width from the X-axis direction end of the element body 3 to the X-axis direction end of the insulating layer 16, Mt/β is preferably 1/30 to 1/10. Thereby, the thermal shock resistance and the fixing strength can be improved.

(第3実施形態)
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサは、図2D,図2Eおよび図3Cに示すように、絶縁層16´は、X軸方向の端面(側面)の周縁に形成された山状部16b´および谷状部16c´からなり、平面部16cが観察されないこと以外は第1実施形態と同様であり、重複する説明は省略する。
(Third Embodiment)
In the multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment, as shown in FIGS. 2D, 2E, and 3C, the insulating layer 16′ has a mountain-shaped portion 16b′ and a valley formed on the peripheral edge of the end face (side face) in the X-axis direction. The second embodiment is the same as the first embodiment except that the flat portion 16c is not observed and the flat portion 16c' is formed.

本実施形態では、図3Cに示すように、絶縁層16´の谷状部16c´のうち、谷状部最小点16c1´を通り、X軸方向に対して垂直な方向に引かれる仮想線と、山状部16b´の第2内側所定位置16b1´での曲面の接線がなす角の角度をθ1´とした場合、θ1´は5°〜25°であることが好ましい。これにより、固着強度を良好にすることができる。なお、谷状部最小点16c1´は谷状部16c´のうち、絶縁層16のY軸方向の中央部分におけるX軸方向の最小幅の部分である。 In the present embodiment, as shown in FIG. 3C, an imaginary line drawn in a direction perpendicular to the X-axis direction through a valley-shaped portion minimum point 16c1′ in the valley-shaped portion 16c′ of the insulating layer 16′. When the angle formed by the tangents to the curved surface at the second inner predetermined position 16b1′ of the mountain portion 16b′ is θ1′, θ1′ is preferably 5° to 25°. Thereby, the fixing strength can be improved. The valley-shaped minimum point 16c1′ is a portion of the valley-shaped portion 16c′ having the minimum width in the X-axis direction in the central portion of the insulating layer 16 in the Y-axis direction.

また、本実施形態では、図3Cに示すように、谷状部最小点16c1´を通りX軸方向に対して垂直な方向に引かれる垂直仮想線と、山状部16b´の第2外側所定位置16b3´での曲面の接線がなす角の角度をθ2´とした場合、θ2´は5°〜25°であることが好ましい。これにより、耐熱衝撃性を良好にすることができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3C, a vertical imaginary line drawn in the direction perpendicular to the X-axis direction through the valley-shaped minimum point 16c1′ and the second outside predetermined value of the mountain-shaped portion 16b′. When the angle formed by the tangents to the curved surface at the position 16b3′ is θ2′, θ2′ is preferably 5° to 25°. Thereby, the thermal shock resistance can be improved.

図3Cに示す場合における第2内側所定位置16b1´は以下に示す方法により決定する。まず、谷状部最小点16c1´および山状部16b´のうち山状部16b´の頂点16b2´を決定する。そして、Y軸方向座標が谷状部最小点16c1´および頂点16b2´の中間であり、山状部16b´または谷状部16c´の表面上にある点を第2内側所定位置16b1´とする。なお、本実施形態では、山状部16b´と谷状部16c´との境界は必ずしも明確ではない。 The second inner predetermined position 16b1′ in the case shown in FIG. 3C is determined by the method described below. First, the apex 16b2' of the peak 16b' of the valley-shaped minimum point 16c1' and the peak 16b' is determined. A point on the surface of the peak portion 16b' or the valley portion 16c' that is in the middle of the valley-shaped portion minimum point 16c1' and the vertex 16b2' is defined as the second inner predetermined position 16b1'. .. In the present embodiment, the boundary between the mountain-shaped portion 16b' and the valley-shaped portion 16c' is not always clear.

第2外側所定位置16b3´は垂直仮想線と山状部16b´の外側の曲面との交点である。 The second outer predetermined position 16b3' is the intersection of the vertical imaginary line and the curved surface on the outer side of the mountain portion 16b'.

本実施形態の積層電子部品は、垂直仮想線と第内側所定位置16b1´での曲面の接線がなす角の角度θ1´および垂直仮想線と山状部16b´の第外側所定位置16b3´での曲面の接線がなす角の角度θ2´に特徴がある。この絶縁層16´の山状部16b´または谷状部16c´の角度θ1´,θ2´を所定の範囲内とすることによって、セラミック焼結体4と外部電極6,8の接着性を強固にし、電歪による素子本体3の変形を緩和するとともに、外部応力を緩和することができ、実装性を向上させることができる。 In the laminated electronic component of the present embodiment, the angle θ1′ of the angle formed by the vertical imaginary line and the tangent to the curved surface at the second inner predetermined position 16b1′ and the second outer predetermined position 16b3′ of the vertical imaginary line and the mountain portion 16b′. The characteristic is the angle θ2′ of the angle formed by the tangents to the curved surface. By setting the angles θ1′ and θ2′ of the ridges 16b′ or the valleys 16c′ of the insulating layer 16′ within a predetermined range, the adhesiveness between the ceramic sintered body 4 and the external electrodes 6 and 8 is strengthened. In addition, the deformation of the element body 3 due to electrostriction can be mitigated, and the external stress can be mitigated, so that the mountability can be improved.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。たとえば、第1実施形態から第3実施形態のうち、複数の実施形態の特長を同時に備えていてもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and can be variously modified without departing from the scope of the present invention. For example, the features of a plurality of embodiments among the first to third embodiments may be provided at the same time.

また、絶縁層は側面の周縁に形成された山状部を有することが全ての実施形態で共通しているが、山状部は側面の全周に形成されている必要はない。例えば図2F,図2Gに示すように側面の一部のみに山状部が形成されていてもよい。 Further, it is common in all the embodiments that the insulating layer has a mountain-shaped portion formed on the peripheral edge of the side surface, but the mountain-shaped portion need not be formed on the entire circumference of the side surface. For example, as shown in FIGS. 2F and 2G, a mountain-shaped portion may be formed only on a part of the side surface.

また、第1実施形態および第2実施形態では、平面部16cは必ずしもX軸方向に垂直でなくてもよく、傾いていてもよい。平面部16cが傾いている場合には、表面仮想線も傾くことになる。 In addition, in the first and second embodiments, the flat surface portion 16c does not necessarily have to be perpendicular to the X-axis direction, and may be inclined. When the plane portion 16c is inclined, the imaginary surface line is also inclined.

さらに、第1実施形態および第2実施形態では、全ての切断面でθ1およびθ2が所定の範囲内となる必要はなく、第3実施形態では、全ての切断面でθ1´およびθ2´が所定の範囲内となる必要はない。例えば、第3実施形態では、図1のZ軸方向の中央部で切断して図2Dおよび図3Cを得ているが、Z軸方向のその他の箇所で切断する場合には、θ1´とθ2´とのいずれか一つ以上が特定の範囲外となる場合や、2つの山状部ができていない形状である場合などがある。 Further, in the first embodiment and the second embodiment, it is not necessary that θ1 and θ2 be within a predetermined range in all the cut surfaces, and in the third embodiment, θ1′ and θ2′ are predetermined in all the cut surfaces. It does not need to be within the range. For example, in the third embodiment, FIG. 2D and FIG. 3C are obtained by cutting at the central portion in the Z-axis direction of FIG. 1, but in the case of cutting at other points in the Z-axis direction, θ1′ and θ2. There is a case where any one or more of ‘′′ is out of a specific range, and a case where two mountain-shaped portions are not formed.

また、たとえば、内部電極パターン層12aは、図5A(a)、図5A(b)に示したパターンの他、図5Bに示すように、格子状の内部電極パターン層12aの隙間32を有するパターンであってもよい。 Further, for example, the internal electrode pattern layer 12a has a pattern having the gaps 32 of the grid-shaped internal electrode pattern layer 12a as shown in FIG. 5B, in addition to the patterns shown in FIGS. 5A(a) and 5A(b). May be

なお、第2実施形態のようにα/βを所定範囲内に制御する方法には特に制限はないが、例えばペーストのディップおよび印刷の厚みを変化させることで制御できる。第3実施形態のように平面部が存在しない態様は第2絶縁層ペーストのディップ及び印刷厚みを薄く変化させることにより得られる場合がある。また、図2F,図2Gに示すように一方にのみ山状部が存在する態様は断面の切り口を変化させることや、チップを傾けることや、第2絶縁層ペーストのディップ及び印刷を傾けることにより得られる場合がある。また、平面部が傾いている態様は、断面の切り口を変化させることや、チップを傾けることや、第2絶縁層ペーストのディップ及び印刷を傾けることにより得られる場合がある。 The method of controlling α/β within a predetermined range as in the second embodiment is not particularly limited, but can be controlled by changing the dip of paste and the thickness of printing. The mode in which the flat portion does not exist as in the third embodiment may be obtained by changing the dip and the printing thickness of the second insulating layer paste to be thin. In addition, as shown in FIGS. 2F and 2G, the mode in which the mountain-shaped portion exists only on one side can be changed by changing the cut end of the cross section, tilting the chip, or dipping and printing the second insulating layer paste. May be obtained. In addition, the aspect in which the plane portion is inclined may be obtained by changing the cut end of the cross section, inclining the chip, or inclining the dipping and printing of the second insulating layer paste.

また、本発明の積層電子部品は、積層セラミックコンデンサに限らず、その他の積層電子部品に適用することが可能である。その他の積層電子部品としては、誘電体層が内部電極を介して積層される全ての電子部品であり、たとえばバンドパスフィルタ、チップインダクタ、積層三端子フィルタ、圧電素子、チップサーミスタ、チップバリスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品などが例示される。 Further, the laminated electronic component of the present invention is not limited to the laminated ceramic capacitor and can be applied to other laminated electronic components. Other laminated electronic components are all electronic components in which dielectric layers are laminated via internal electrodes, such as bandpass filters, chip inductors, laminated three-terminal filters, piezoelectric elements, chip thermistors, chip varistors, chips. Examples include resistors and other surface mount (SMD) chip type electronic components.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described based on more detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
下記の通り、試料番号1〜試料番号7のコンデンサ試料を作製して、θ1およびθ2の測定ならびに耐熱衝撃性および固着強度の評価を行った。
Example 1
As described below, capacitor samples No. 1 to No. 7 were prepared, and θ1 and θ2 were measured, and thermal shock resistance and adhesive strength were evaluated.

まず、BaTiO系セラミック粉末:100重量部と、ポリビニルブチラール樹脂:10重量部と、可塑剤としてのジオクチルフタレート(DOP):5重量部と、溶媒としてのアルコール:100重量部とをボールミルで混合してペースト化し、内側グリーンシート用ペーストを得た。 First, 100 parts by weight of BaTiO 3 -based ceramic powder, 10 parts by weight of polyvinyl butyral resin, 5 parts by weight of dioctyl phthalate (DOP) as a plasticizer, and 100 parts by weight of alcohol as a solvent were mixed in a ball mill. To obtain a paste for the inner green sheet.

また、上記とは別に、Ni粒子44.6重量部と、テルピネオール:52重量部と、エチルセルロース:3重量部と、ベンゾトリアゾール:0.4重量部とを、3本ロールにより混練し、スラリー化して内部電極層用ペーストを作製した。 Separately from the above, 44.6 parts by weight of Ni particles, terpineol: 52 parts by weight, ethyl cellulose: 3 parts by weight, and benzotriazole: 0.4 parts by weight are kneaded with a three-roll to form a slurry. To prepare the internal electrode layer paste.

上記にて作製した内側グリーンシート用ペーストを用いて、PETフィルム上に、乾燥後の厚みが7μmとなるように内側グリーンシート10aを形成した。次いで、この上に内部電極層用ペーストを用いて、内部電極パターン層12aを所定パターンで印刷した後、PETフィルムからシートを剥離し、内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを得た。 The inner green sheet 10a was formed on the PET film using the above-prepared inner green sheet paste so that the thickness after drying was 7 μm. Then, an internal electrode pattern layer 12a was printed thereon with a predetermined pattern using an internal electrode layer paste, and the sheet was peeled from the PET film to obtain an inner green sheet 10a having the internal electrode pattern layer 12a.

図4に示すように、内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを積層して、内部積層体13aを製造した後に、内部積層体13aの上下に外側グリーンシート用ペーストを使用して、適宜の枚数の外側グリーンシート11aを形成し、積層方向に加圧接着してグリーン積層体を得た。外側グリーンシート用ペーストは、内側グリーンシート用ペーストと同様の方法により得た。 As shown in FIG. 4, after the inner green sheets 10a having the inner electrode pattern layers 12a are laminated to manufacture the inner laminated body 13a, an outer green sheet paste is used above and below the inner laminated body 13a as appropriate. The outer green sheets 11a were formed in the same number and were pressure-bonded in the stacking direction to obtain a green stack. The outer green sheet paste was obtained by the same method as the inner green sheet paste.

次に、図5A(a)、図5A(b)、図6A、図6Bに示すように、グリーン積層体をC1切断面およびC2切断面に沿って切断してグリーンチップを得た。 Next, as shown in FIGS. 5A(a), 5A(b), 6A, and 6B, the green laminated body was cut along the C1 cut surface and the C2 cut surface to obtain a green chip.

次に、得られたグリーンチップについて、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行って、素子本体3を得た。 Next, the obtained green chip was subjected to binder removal processing, firing and annealing under the following conditions to obtain the element body 3.

脱バインダ処理条件は、昇温速度:60℃/時間、保持温度:260℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。 The binder removal treatment conditions were a temperature rising rate: 60° C./hour, a holding temperature: 260° C., a temperature holding time: 8 hours, and an atmosphere: in the air.

焼成条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1000℃〜1200℃とし、温度保持時間を2時間とした。冷却速度は200℃/時間とした。なお、雰囲気ガスは、加湿したN+H混合ガスとした。 The firing conditions were a temperature rising rate of 200° C./hour, a holding temperature of 1000° C. to 1200° C., and a temperature holding time of 2 hours. The cooling rate was 200° C./hour. The atmosphere gas was a humidified N 2 +H 2 mixed gas.

アニール条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:500℃〜1000℃、温度保持時間:2時間、冷却速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したNガスとした。 The annealing conditions were as follows: temperature rising rate: 200° C./hour, holding temperature: 500° C. to 1000° C., temperature holding time: 2 hours, cooling rate: 200° C./hour, atmosphere gas: humidified N 2 gas.

なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを使用した。 A wetter was used to wet the atmosphere gas during firing and annealing.

次に、BaO:14.4重量部、ZnO:12.0重量部、B:11.6重量部、CaO:3.6重量部、SiO:3.0重量部と、テルピネオール:5.0〜60.0重量部と、エチルセルロース:3重量部と、ベンゾトリアゾール:0.4重量部とを、3本ロールにより混練し、スラリー化して表1に示す粘度の絶縁層用ペーストを調製した。本実施例の絶縁層用ペーストにより得られる絶縁層の軟化点は655℃であった。 Next, BaO: 14.4 parts by weight, ZnO: 12.0 parts by weight, B 2 O 3 : 11.6 parts by weight, CaO: 3.6 parts by weight, SiO 2 : 3.0 parts by weight, and terpineol: 5.0 to 60.0 parts by weight, ethyl cellulose: 3 parts by weight, and benzotriazole: 0.4 parts by weight were kneaded by a three-roll mill to form a slurry and an insulating layer paste having a viscosity shown in Table 1. Prepared. The softening point of the insulating layer obtained by the insulating layer paste of this example was 655°C.

また、試料番号1〜試料番号7の各試料毎に、テルピネオールの量を変化させることにより、絶縁層用ペーストの粘度を変化させた。 Further, the viscosity of the insulating layer paste was changed by changing the amount of terpineol for each of Sample Nos. 1 to 7.

絶縁層用ペーストの粘度はレオメーター(BROOKFIELD社製、RVDV−II+P CP)を用いて測定した。なお、25℃条件下でせん断速度10sec−1における粘度を測定した。 The viscosity of the insulating layer paste was measured by using a rheometer (RVDV-II+PCP manufactured by Brookfield Co., Ltd.). The viscosity at a shear rate of 10 sec -1 was measured at 25°C.

素子本体3のX軸方向の端面に、絶縁層用ペーストを膜厚が20μmになるようにスクリーン印刷で塗布した(第1絶縁層用ペースト塗布工程)。 An insulating layer paste was applied to the end surface of the element body 3 in the X-axis direction by screen printing so that the film thickness was 20 μm (first insulating layer paste applying step).

次に、180℃で乾燥して、アクリル樹脂を絶縁層表面に印刷し、マスキングを行った後、第1絶縁層用ペースト塗布工程で用いた絶縁層用ペーストと同じ絶縁層用ペーストにて、表1に示す膜厚でスクリーン印刷を行った(第2絶縁層用ペースト塗布工程)。得られたチップについて、180℃で乾燥して、ベルトコンベア炉を用いて、脱バインダ処理、焼き付けを行い、素子本体3に絶縁層16を形成してセラミック焼結体4を得た。絶縁層用ペーストの脱バインダ処理、焼き付け条件は以下の通りとした。
脱バインダ処理
昇温速度:1000℃/時間
保持温度:500℃
温度保持時間:0.25時間
雰囲気:空気中
焼き付け
昇温速度:700℃/時間
保持温度:700℃〜1000℃
温度保持時間:0.5時間
雰囲気:加湿したNガス
Next, it is dried at 180° C., an acrylic resin is printed on the surface of the insulating layer, masking is performed, and then the same insulating layer paste as the insulating layer paste used in the first insulating layer paste applying step is used. Screen printing was performed with the film thickness shown in Table 1 (second insulating layer paste applying step). The obtained chips were dried at 180° C., and subjected to binder removal processing and baking using a belt conveyor furnace to form an insulating layer 16 on the element body 3 to obtain a ceramic sintered body 4. The binder removal treatment and baking conditions for the insulating layer paste were as follows.
Binder removal treatment Temperature rising rate: 1000°C/hour Holding temperature: 500°C
Temperature holding time: 0.25 hours Atmosphere: baking in air Temperature rising rate: 700°C/hour Holding temperature: 700°C to 1000°C
Temperature holding time: 0.5 hours Atmosphere: Humidified N 2 gas

得られたセラミック焼結体4のY軸方向の端面をバレル処理により研磨した。 The end surface in the Y-axis direction of the obtained ceramic sintered body 4 was polished by barrel processing.

次に、平均粒径0.4μmの球状のCu粒子とフレーク状のCu粉の混合物100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂5重量部をブチルカルビトール95重量部に溶解したもの)30重量部、およびブチルカルビトール6重量部とを混練し、ペースト化した外部電極用ペーストを得た。 Next, 100 parts by weight of a mixture of spherical Cu particles having an average particle diameter of 0.4 μm and flaky Cu powder, and 30 parts by weight of an organic vehicle (5 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 95 parts by weight of butyl carbitol). And 6 parts by weight of butyl carbitol were kneaded to obtain a paste for external electrodes.

得られた外部電極用ペーストをセラミック焼結体4のY軸方向の端面にディップにより10〜15μmの膜厚で転写し、N雰囲気で850℃にて10分間焼成して外部電極6,8を形成し、外部電極6,8にめっきにより被覆層を形成して、積層セラミックコンデンサ2を得た。 The obtained external electrode paste was transferred to the end surface of the ceramic sintered body 4 in the Y-axis direction with a film thickness of 10 to 15 μm by dipping, and baked at 850° C. for 10 minutes in an N 2 atmosphere to external electrodes 6, 8 Then, a coating layer was formed on the external electrodes 6 and 8 by plating to obtain a multilayer ceramic capacitor 2.

上記のようにして製造したコンデンサ試料(積層セラミックコンデンサ2)のサイズは、3.2×2.5×1.5mmであり、内側誘電体層10は10層であった。なお、内側誘電体層10の厚みは5.0μmであり、内部電極層12の厚みは約1.2μmであった。 The size of the capacitor sample (multilayer ceramic capacitor 2) manufactured as described above was 3.2×2.5×1.5 mm, and the inner dielectric layer 10 was 10 layers. The inner dielectric layer 10 had a thickness of 5.0 μm, and the internal electrode layer 12 had a thickness of about 1.2 μm.

得られたコンデンサ試料を下記の方法で測定または評価した。 The obtained capacitor sample was measured or evaluated by the following method.

<θ1、θ2>
コンデンサ試料がZ軸方向の端面を下にして立つように樹脂埋めを行い、他方の端面を積層セラミックコンデンサ2のZ軸方向に沿って研磨し、素子本体3のZ軸方向の高さが、1/2H0となる研磨断面を得た。次に、この研磨断面に対しイオンミリングを行い、研磨によるダレを除去した。このようにして、観察用の断面を得た。
<θ1, θ2>
The capacitor sample is filled with resin so that the end face in the Z-axis direction stands downward, and the other end face is polished along the Z-axis direction of the laminated ceramic capacitor 2 so that the height of the element body 3 in the Z-axis direction is A polished cross section of 1/2 H0 was obtained. Next, this polished cross section was subjected to ion milling to remove the sag due to polishing. In this way, a cross section for observation was obtained.

次に、観察用の断面において、図3Aに示すθ1およびθ2を測定した。具体的には、三角比から角度を算出した。1つの試料について絶縁層16の隅の4箇所でθ1およびθ2を測定した。この作業をコンデンサ試料30個に対して行い、合計120箇所のθ1とθ2のそれぞれの平均を求めた。結果を表2に示す。ただし、絶縁層が欠損している箇所についてはカウントしなかった。 Next, in the cross section for observation, θ1 and θ2 shown in FIG. 3A were measured. Specifically, the angle was calculated from the triangle ratio. For one sample, θ1 and θ2 were measured at four places in the corner of the insulating layer 16. This operation was performed on 30 capacitor samples, and the average of each of θ1 and θ2 at 120 locations was obtained. The results are shown in Table 2. However, the place where the insulating layer was missing was not counted.

なお、幅の測定には、デジタルマイクロスコープ(キーエンス社製VHXマイクロスコープ)を使用し、5000倍レンズで観察および測定を行った。また、第1内側所定位置および第1外側所定位置については目視にて特定した。 A digital microscope (VHX microscope manufactured by Keyence Corporation) was used for measuring the width, and observation and measurement were performed with a 5000× lens. Further, the first inner predetermined position and the first outer predetermined position were visually identified.

<耐熱衝撃性>
コンデンサ試料100個について、250℃の溶融はんだに10cm/secの速度で浸漬し、10秒後、10cm/secにて引き上げ、これを10回繰り返した後、絶縁抵抗を測定して、ショート不良率を調べた。結果を表2に示す。250℃でのショート不良率が0%である場合を良好であると判断した。
<Heat resistance>
100 capacitor samples were immersed in molten solder at 250° C. at a speed of 10 cm/sec, 10 seconds later, pulled up at 10 cm/sec, this was repeated 10 times, and the insulation resistance was measured to determine the short-circuit defect rate. I checked. The results are shown in Table 2. The case where the short circuit defect rate at 250° C. was 0% was judged to be good.

<固着強度>
図7に示すように、コンデンサ試料102を回路基板104に実装した状態で、超硬の加圧治具106をコンデンサ試料102のX軸方向の端面に向けて30mm/minの速度で移動させて、加圧治具106により、矢印P1方向からコンデンサ試料102を加圧した。このとき、10Nの荷重でコンデンサ試料102が破壊するか否かによって固着強度を評価した。コンデンサ試料100個について試験を行い、コンデンサ不良率を求めた。結果を表2に示す。評価基準としては、5%未満をより良好、5%以上15%以下を良好とした。なお、本実施例に係るコンデンサ試料102の内部構造は、図1および図2に示す積層セラミックコンデンサ2と同様である。
<Fixing strength>
As shown in FIG. 7, while the capacitor sample 102 is mounted on the circuit board 104, the super-hard pressure jig 106 is moved toward the end surface of the capacitor sample 102 in the X-axis direction at a speed of 30 mm/min. Then, the pressing jig 106 pressed the capacitor sample 102 from the direction of arrow P1. At this time, the adhesion strength was evaluated by whether or not the capacitor sample 102 was broken under the load of 10N. A test was conducted on 100 capacitor samples to determine the capacitor defect rate. The results are shown in Table 2. As an evaluation criterion, less than 5% was better, and 5% or more and 15% or less was good. The internal structure of the capacitor sample 102 according to this example is the same as that of the monolithic ceramic capacitor 2 shown in FIGS. 1 and 2.

Figure 0006711192
Figure 0006711192

Figure 0006711192
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θ1が2.0°よりも大きく、30.0°よりも小さく、θ2が4.0°よりも大きく、32.0°よりも小さい場合(試料番号2〜試料番号5)は、θ1が2.0°の場合(試料番号1)に比べて、固着強度が良好であることが確認できた。 When θ1 is larger than 2.0° and smaller than 30.0°, θ2 is larger than 4.0° and smaller than 32.0° (sample number 2 to sample number 5), θ1 is 2 It was confirmed that the fixing strength was better than that in the case of 0.0° (Sample No. 1).

試料番号1は絶縁層の山状部が薄い形状となってしまうために、その部分が外部応力に対して耐えられず、固着強度不良が出たと考えられる。 It is considered that in sample No. 1, the mountain portion of the insulating layer had a thin shape, so that the portion could not withstand the external stress, and poor adhesion strength occurred.

また、θ1が2.0°よりも大きく、30.0°よりも小さく、θ2が4.0°よりも大きく、32.0°よりも小さい場合(試料番号2〜試料番号5)は、θ2が32.0°よりも大きい場合(試料番号6、試料番号7)に比べて、耐熱衝撃性が良好であることが確認できた。 If θ1 is larger than 2.0° and smaller than 30.0° and θ2 is larger than 4.0° and smaller than 32.0° (sample number 2 to sample number 5), θ2 It was confirmed that the thermal shock resistance was better than that in the case of larger than 32.0° (Sample No. 6 and Sample No. 7).

試料番号6および試料番号7は、絶縁層の山状部が大きく出ている形状であり、外部電極が絶縁層のギャップ部を抑え込みにくい。そのために、熱衝撃に耐えることができず、クラックが発生したと考えられる。 Sample No. 6 and Sample No. 7 have a shape in which the mountain portion of the insulating layer is largely projected, and it is difficult for the external electrode to suppress the gap portion of the insulating layer. Therefore, it is considered that cracks occurred due to failure to withstand thermal shock.

実施例2
第2絶縁層用ペースト塗布工程の印刷膜厚を10μmとして、外部電極用ペーストをセラミック焼結体4のY軸方向の端面にディップにより転写した際のディップ膜厚を表3に記載のものに変えた以外は実施例1の試料番号4と同様にして試料番号8〜試料番号17のコンデンサ試料を作製して、α/βの測定ならびに耐熱衝撃性、固着強度およびショート不良率の評価を行った。結果を表3に示す。
Example 2
The printed film thickness in the second insulating layer paste applying step is set to 10 μm, and the dip film thickness when the external electrode paste is transferred to the end surface of the ceramic sintered body 4 in the Y-axis direction by dipping is shown in Table 3. Capacitor samples of Sample Nos. 8 to 17 were prepared in the same manner as Sample No. 4 of Example 1 except that they were changed, and α/β was measured and thermal shock resistance, adhesion strength, and short-circuit defect rate were evaluated. It was The results are shown in Table 3.

なお、試料番号8〜試料番号17で用いた絶縁層用ペーストの組成は、BaO:14.4重量部、ZnO:12.0重量部、B:11.6重量部、CaO:3.6重量部、SiO:3.0重量部と、テルピネオール:52重量部、エチルセルロース:3重量部、ベンゾトリアゾール:0.4重量部であった。 The composition of the insulating layer paste used in the sample No. 8 to Sample No. 17, BaO: 14.4 parts by weight, ZnO: 12.0 parts by weight, B 2 O 3: 11.6 parts by weight, CaO: 3 0.6 parts by weight, SiO 2 : 3.0 parts by weight, terpineol: 52 parts by weight, ethyl cellulose: 3 parts by weight, and benzotriazole: 0.4 parts by weight.

また、試料番号8〜試料番号17の耐熱衝撃性および固着強度の評価は実施例1と同様に行った。α/βの測定方法とショート不良率の評価方法は後述の通りである。なお、試料番号8〜試料番号17のθ1は24.5°であり、θ2は23.5°であった。 The thermal shock resistance and the adhesion strength of Sample Nos. 8 to 17 were evaluated in the same manner as in Example 1. The method for measuring α/β and the method for evaluating the short-circuit defect rate are as described below. In addition, in sample numbers 8 to 17, θ1 was 24.5° and θ2 was 23.5°.

<α/β>
コンデンサ試料を用意し、θ1、θ2の測定の場合と同様にして、観察用の断面を得た。
<α/β>
A capacitor sample was prepared, and a cross section for observation was obtained in the same manner as in the measurement of θ1 and θ2.

次に、観察用の断面において、図3Aに示すαおよびβを測定した。1つの試料について絶縁層16の隅の4箇所でαとβを測定し、この作業をコンデンサ試料30個に対して行い、αとβでそれぞれ合計120箇所の測定を行い、平均のαおよびβを求めて、α/βを算出した。結果を表3に示す。ただし、絶縁層が欠損している箇所についてはカウントしなかった。また、試料番号8〜試料番号17のいずれの試料も平均のαは6μmであった。 Next, α and β shown in FIG. 3A were measured on the cross section for observation. For one sample, α and β were measured at four corners of the insulating layer 16, and this work was performed on 30 capacitor samples. A total of 120 points were measured for α and β, and the average α and β were measured. Was calculated and α/β was calculated. The results are shown in Table 3. However, the place where the insulating layer was missing was not counted. The average α of all the samples of sample number 8 to sample number 17 was 6 μm.

なお、αおよびβの測定には、デジタルマイクロスコープ(キーエンス社製VHXマイクロスコープ)を使用し、5000倍レンズで観察および測定を行った。 For the measurement of α and β, a digital microscope (VHX microscope manufactured by Keyence Corporation) was used, and observation and measurement were performed with a 5000× lens.

<ショート不良率>
コンデンサ試料の抵抗値を絶縁抵抗計(HEWLETT PACKARD社製E2377A)により測定し、抵抗値が100kΩ以下になったサンプルを、ショート不良と判定した。100個のコンデンサ試料に対して上記の測定を行い、ショート不良を起こしたコンデンサ試料の比率を、ショート不良率とした。ショート不良率は、好ましくは15%以下とした。
<Short defect rate>
The resistance value of the capacitor sample was measured by an insulation resistance meter (E2377A manufactured by HEWLETT PACKARD), and a sample having a resistance value of 100 kΩ or less was determined to be a short circuit defect. The above measurement was performed on 100 capacitor samples, and the ratio of the capacitor samples that caused the short circuit defect was defined as the short circuit defect rate. The short-circuit defect rate is preferably 15% or less.

Figure 0006711192
Figure 0006711192

α/βが1/40より大きく、1より小さい場合(試料番号10〜試料番号14)は、α/βが1/40以下の場合(試料番号8、試料番号9)に比べて、ショート不良率が良好であることが確認できた。 When α/β is larger than 1/40 and smaller than 1 (Sample No. 10 to Sample No. 14), short circuit failure is more than when α/β is 1/40 or less (Sample No. 8 and Sample No. 9). It was confirmed that the rate was good.

試料番号8および試料番号9は、外部電極を被覆し過ぎたことにより、外部電極を覆うめっきの伸びにより、一方の外部電極と他方の外部電極の間で導通が発生し易くなり、ショート不良率が増大したと考えられる。 In sample No. 8 and sample No. 9, since the external electrodes were over-coated, the extension of the plating covering the external electrodes tended to cause conduction between one external electrode and the other external electrode, resulting in a short circuit failure rate. Is believed to have increased.

また、α/βが1/40より大きく、1より小さい場合(試料番号10〜試料番号14)は、α/βが1以上の場合(試料番号15〜試料番号17)に比べて、固着強度が良好であった。 Further, when α/β is larger than 1/40 and smaller than 1 (Sample No. 10 to Sample No. 14), as compared with the case where α/β is 1 or more (Sample No. 15 to Sample No. 17), the bonding strength is Was good.

以上のように、本発明に係る積層電子部品は、小型高容量で使用されることが多いノートパソコンやスマートフォンに用いる電子部品として有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the laminated electronic component according to the present invention is useful as an electronic component used in a laptop computer or a smartphone, which is often used in a small size and a high capacity.

2,102… 積層セラミックコンデンサ
3… 素子本体
4… セラミック焼結体
6… 第1外部電極
8… 第2外部電極
10… 内側誘電体層
10a… 内側グリーンシート
11… 外装領域
11a… 外側グリーンシート
12… 内部電極層
12A,12B… 引出部
12a… 内部電極パターン層
13… 内装領域
13a… 内部積層体
14… 容量領域
15A,15B…引出領域
16… 絶縁層
16a… 絶縁層延長部
16b… 山状部
16b1… 第1所定位置
16b2… 頂点
16b3… 第2所定位置
16c… 平面部
16c1… 平面端部
20… 段差吸収層
32… 内部電極パターン層の隙間
104… 基板
106… 加圧治具
2, 102... Multilayer ceramic capacitor 3... Element body 4... Ceramic sintered body 6... First outer electrode 8... Second outer electrode 10... Inner dielectric layer 10a... Inner green sheet 11... Exterior area 11a... Outer green sheet 12 ... Internal electrode layers 12A, 12B... Lead-out portion 12a... Internal electrode pattern layer 13... Interior region 13a... Inner laminate 14... Capacitance region 15A, 15B... Lead-out region 16... Insulating layer 16a... Insulating layer extension 16b... Mountain-like portion 16b1... 1st predetermined position 16b2... Vertex 16b3... 2nd predetermined position 16c... Plane part 16c1... Plane end part 20... Step absorption layer 32... Internal electrode pattern layer gap 104... Substrate 106... Pressurizing jig

Claims (4)

第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の側面にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記側面の周縁に形成された山状部と、前記側面の中央部分の平面部とを有し、
前記平面部のうち最も外側の点である平面端部および前記絶縁層の前記第2軸方向の両端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅の部分である頂点の前記第2軸方向座標または前記第3軸方向座標における中間であり、前記山状部の表面上にある点を第1内側所定位置とし、
前記絶縁層の前記平面部の表面に沿う表面仮想線と前記山状部の外側の曲面との交点を第1外側所定位置とし、
前記表面仮想線と、前記山状部の前記第1内側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ1とし、
前記表面仮想線と、前記山状部の前記第1外側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ2とした場合、
θ1が5°〜25°であり、
θ2が5°〜25°であるであることを特徴とする積層電子部品。
A laminated electronic component comprising an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including a first axis and a second axis are alternately laminated along a direction of a third axis,
An insulating layer is provided on each of a pair of side surfaces of the element body that face each other in the direction of the first axis,
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on the peripheral edge of the side surface, and a flat portion in the central portion of the side surface,
The outermost point of the plane portion, which is the outermost point, and the second vertex, which is the maximum width portion in the first axial direction, of the mountain portion at both ends in the second axial direction of the insulating layer. A point on the surface of the mountain portion that is intermediate in the axial coordinate or the third axial coordinate is the first inner predetermined position,
A first outer predetermined position is an intersection of a virtual surface line along the surface of the flat portion of the insulating layer and an outer curved surface of the mountain portion,
Wherein a surface imaginary line, the angle of the tangent angle of the curved surface at said first inner position of the mountain-shaped portion and .theta.1,
The surface and the imaginary line, when the tangent of the curved surface in the first outer position of the mountain-shaped portion has an angle θ2 of the angle,
θ1 is 5° to 25°,
θ2 is 5° to 25°, a laminated electronic component.
第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の側面にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記側面の周縁に形成された山状部と、前記側面の中央部分の平面部とを有し、
前記絶縁層の前記第2軸方向の端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅の部分を前記外部電極が覆っており、
前記素子本体の前記第2軸方向の中央部において、前記第1軸および前記第3軸を含む平面に平行な断面では、前記絶縁層の前記山状部は、前記平面部の前記第3軸方向の両側に形成されていることを特徴とする積層電子部品。
A laminated electronic component comprising an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including a first axis and a second axis are alternately laminated along a direction of a third axis,
An insulating layer is provided on each of a pair of side surfaces of the element body that face each other in the direction of the first axis,
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on the peripheral edge of the side surface, and a flat portion in the central portion of the side surface,
The external electrode covers a maximum width portion in the first axial direction in the mountain portion at the end portion in the second axial direction of the insulating layer ,
In the central portion of the element body in the second axis direction, in a cross section parallel to a plane including the first axis and the third axis, the mountain-shaped portion of the insulating layer is the third axis of the plane portion. A laminated electronic component, which is formed on both sides in the direction .
前記素子本体の前記第2軸方向の端部から、前記絶縁層の前記第2軸方向の端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅までの前記第2軸方向に沿う長さをαとして、
前記素子本体の前記第2軸方向の端部からの前記絶縁層を覆う前記外部電極の前記第2軸方向に沿う被覆長さをβとした場合、
α/βは、1/30≦α/β<1である請求項2に記載の積層電子部品。
A length along the second axial direction from the end of the element body in the second axial direction to the maximum width in the first axial direction of the mountain portion of the end of the insulating layer in the second axial direction. Is α,
When the coating length of the external electrode covering the insulating layer from the end portion of the element body in the second axial direction along the second axial direction is β,
The laminated electronic component according to claim 2, wherein α/β is 1/30≦α/β<1.
第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行な内部電極層と誘電体層とが第3軸の方向に沿って交互に積層された素子本体を備える積層電子部品であって、
前記素子本体の前記第1軸の方向に相互に向き合う一対の側面にそれぞれ絶縁層が備えられており、
前記素子本体の前記第2軸の方向に相互に向き合う一対の端面に、前記内部電極層と電気的に接続される外部電極がそれぞれ備えられており、
前記絶縁層は前記側面の周縁に形成された山状部と前記側面の中央部分の谷状部とを有し、
前記谷状部のうち、前記絶縁層の前記第2軸方向の中央部分における前記第1軸方向の最小幅の部分である谷状部最小点および前記絶縁層の前記第2軸方向の両端部の前記山状部における前記第1軸方向の最大幅の部分である頂点の前記第2軸方向座標における中間であり、前記山状部または前記谷状部の表面上にある点を第2内側所定位置とし、
前記谷状部最小点を通り前記絶縁層の前記第1軸に垂直な垂直仮想線と前記山状部の外側の曲面との交点を第2外側所定位置とし、
前記垂直仮想線と、前記山状部の前記第2内側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ1´とし、
前記垂直仮想線と、前記山状部の前記第2外側所定位置での曲面の接線がなす角の角度をθ2´とした場合、
θ1´が5°〜25°であり、
θ2´が5°〜25°であることを特徴とする積層電子部品。
A laminated electronic component comprising an element body in which internal electrode layers and dielectric layers substantially parallel to a plane including a first axis and a second axis are alternately laminated along a direction of a third axis,
An insulating layer is provided on each of a pair of side surfaces of the element body that face each other in the direction of the first axis,
External electrodes electrically connected to the internal electrode layers are provided on a pair of end surfaces of the element body that face each other in the direction of the second axis.
The insulating layer has a mountain-shaped portion formed on the peripheral edge of the side surface and a valley-shaped portion in the central portion of the side surface,
Among the valley-shaped portions, a valley-shaped portion minimum point that is a minimum width portion in the first axial direction in a central portion of the insulating layer in the second axial direction and both end portions of the insulating layer in the second axial direction. Is a middle point in the coordinates of the second axial direction of the apex that is the maximum width portion in the first axial direction in the mountain portion, and the point on the surface of the mountain portion or the valley portion is the second inner side. In place,
An intersection of a vertical imaginary line passing through the valley-shaped portion minimum point and perpendicular to the first axis of the insulating layer and a curved surface on the outer side of the mountain-shaped portion is defined as a second outer predetermined position,
And the vertical imaginary line, the angle of the tangent angle of the curved surface in the second inner position of the mountain-shaped portion and Shita1',
If the the vertical imaginary line, the angle of the tangent angle of the curved surface at said second outer predetermined position of the mountain-shaped portion and Shita2',
θ1′ is 5° to 25°,
multilayer electronic component θ2' is characterized by 5 ° to 25 ° der Rukoto.
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