JP6689387B2 - エアフローメータ - Google Patents

Description

本発明は、ハウジングを備えたエアフローメータであって、ハウジングが、空気案内路を有し、空気案内路内に空気質量センサエレメントが配置されている、エアフローメータに関する。

このようなエアフローメータは、たとえば自動車において、内燃機関により吸入された空気質量を検出するために使用される。吸入された空気質量に関する、可能な限り信頼性の良い情報に基づいて、内燃機関の電子制御装置によって燃焼を最適化することができ、この場合、正確に空気質量に合わせて調整された燃料量がそれぞれの燃焼室に供給されるようになっている。結果として、これによって、エネルギ利用の改善とともに、有害物質排出量の低減が達成される。

独国特許出願公開第４４０７２０９号明細書に基づき、空気質量を測定するために吸気通路内に差し込まれるエアフローメータが公知であり、この場合、全流量のうち規定された流量がエアフローメータを通流する。そのために、このエアフローメータが、プラグイン通路式エアフローメータとして構成されている。このエアフローメータは、測定通路内に配置されたセンサエレメントと、このセンサエレメントの測定値を評価しかつ／または検出するための、ハウジング内に配置された電子装置と、センサエレメントを挟んで反対側に位置する流出通路とを含む。省スペース型の配置を得るために、上で挙げた通路もしくは空気案内路はＵ字形、Ｓ字形またはＣ字形に形成され、これにより全体としてコンパクトな、プラグインエレメントとして構成された装置が形成される。

国際公開第０３／０８９８８４号に記載の思想により構成された、ホットフィルム式流速計として構成されているエアフローメータが、原理的には有利であることが判っている。

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）として構成されているセンサエレメントを主体として動作する最近のエアフローメータの開発においては、センサエレメントにより提供される測定結果が、空気案内路内におけるセンサエレメントの極めて正確な位置決めに著しく依存することが判明した。

したがって、本発明の課題は、センサエレメントを有する従来のエアフローメータを改良して、空気質量センサエレメントが、簡単かつ廉価に空気案内路内に高度に正確に位置決めされるようなエアフローメータを提供することである。

この課題は、独立形式の請求項に記載の諸特徴によって解決される。有利な実施形態は従属形式の請求項の対象である。

本発明によれば、エアフローメータのハウジングに位置決めエレメントが形成されており、この位置決めエレメントが、センサエレメント支持体に形成されている位置決めエレメント収容部内に係合しており、これによって空気質量センサエレメントが、空気案内路内に精密に位置決めされる。本発明の代替的な別の構成では、センサエレメント支持体に位置決めエレメントが形成されており、この位置決めエレメントが、エアフローメータのハウジングに形成されている位置決めエレメント収容部内に係合しており、これによって空気質量センサエレメントが、空気案内路内に精密に位置決めされる。本発明における諸特徴により、エアフローメータの空気案内路内における空気質量センサエレメントの高度に正確な位置決めが保証される。

特に、本発明の根底を成す思想は、位置決めエレメント／位置決めエレメント収容部を、センサエレメント支持体に設け、このセンサエレメント支持体を回路支持体に取り付けることである。この場合、センサエレメント支持体の製作公差は、回路支持体の製作公差よりも小さいので、回路支持体を介してではなく、センサエレメント支持体を介して、空気案内路内における空気質量センサエレメントの正確な位置決めが行われる。したがって、空気案内路内におけるセンサエレメントの位置決めは、より小さな製作公差を有する方の構成部材、すなわちセンサエレメント支持体で行われ、これにより、センサエレメント支持体の位置決め精度が改善され、ひいては空気案内路内におけるセンサエレメントの位置決め精度も、改善することができる。

一実施形態では、位置決めエレメントが、ハウジングと一体に形成されている。これにより、ハウジングの製造時に、位置決めエレメントを、たとえばピンとして、極めて簡単に一緒に射出成形することができる。

代替的な別の実施形態では、位置決めエレメントが、センサエレメント支持体と一体に形成されている。センサエレメント支持体の製造時に、同じくピン形の突出部を、位置決めエレメントとして形成することができる。

本発明の改良形態では、位置決めエレメント収容部が、センサエレメント支持体に設けられた孔として形成されている。代替的な別の形態では、位置決めエレメント収容部が、ハウジングに設けられた孔として形成されている。これらの孔は極めて正確に配置可能であるとともに、簡単に製作可能である。

本発明によるエアフローメータの代替的なさらに別の実施形態では、位置決めエレメントが、錐形に形成されていて、方形の横断面を有している。したがって、位置決めエレメントは、四角錐の形状に形成されている。このような形態では、位置決めエレメント収容部が、方形の横断面を有する開口を有していると有利である。センサエレメント支持体が位置決めされている状態では、位置決めエレメントと位置決めエレメント収容部との間に、少なくとも部分的に締まり嵌めが生じると好適である。これによって、センサエレメント支持体は、すべての並進運動方向において位置決めされていることになる。

本発明のさらに別の特徴および有利な構成については、以下において、本発明の実施形態を図面に基づき詳しく説明する。以下では、同一の構成要素については、種々異なる図面にわたり同一の用語および同一の符号を使用する。

エアフローメータを示す断面図である。 プラグイン式フィンガとして吸気管に組み込まれているエアフローメータ内の、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）として構成されているセンサエレメントを示す断面図である。 本発明によるエアフローメータを示す斜視図である。 図３により既知のエアフローメータを別の角度から見た斜視図である。 本発明によるエアフローメータをそのハウジングとともに示す斜視図である。 同じく、本発明によるエアフローメータをそのハウジングとともに、別の角度から見た斜視図である。 本発明によるエアフローメータの別の実施形態を示す斜視図である。 図７により既知のエアフローメータを別の角度から見た斜視図である。 本発明によるエアフローメータの別の実施形態をそのハウジングとともに示す斜視図である。 同じく、本発明によるエアフローメータの別の実施形態をそのハウジングとともに、別の角度から見た斜視図である。

図１はエアフローメータ２を示す。エアフローメータ２はプラグイン式フィンガとして構成されており、このプラグイン式フィンガは、吸気管１に差し込まれて、吸気管に堅固に接続される。吸気管１は、空気質量流１０を、内燃機関（図示せず）のシリンダに向かって案内する。内燃機関のシリンダ内で燃料を効率良く燃焼させるためには、燃焼のために提供されている空気質量に関する正確な情報を得ることが必要である。提供されている空気質量に基づいて、シリンダ内に噴射された燃料を燃焼させるために必要となる、使用可能な酸素を推量することができる。さらに、図１のエアフローメータ２は、第１の温度センサエレメント７および第２の温度センサエレメント８を有する。第１の温度センサエレメント７と第２の温度センサエレメント８とは、空気案内路２０内の互いに異なる箇所に配置されている。両温度センサエレメント７，８は通常、抵抗またはサーモパイルから形成され、これらの抵抗またはサーモパイルは、温度センサエレメントに形成される温度に相応して種々異なる抵抗値をとる。第１の温度センサエレメント７と第２の温度センサエレメント８との間には、加熱エレメント１２が形成されている。流入開口４を通ってエアフローメータ２のハウジング３内に流入する空気質量流１０は、空気案内路２０内でまず第１の温度センサエレメント７を流過し、次いで加熱エレメント１２を流過する。その後、空気質量流１０は第２の温度センサエレメント８に到達して、補助管５に沿ってエアフローメータ２の流出開口６へと導かれる。空気質量流１０は、ある特定の温度を持って第１の温度センサエレメント７に到達する。この温度は、第１の温度センサエレメント７によって検出される。その後、空気質量流１０は加熱エレメント１２を擦過し、このとき、空気質量流１０は、加熱エレメント１２の傍らを流れる質量に応じて、多かれ少なかれ加熱される。加熱された空気質量流１０が、第２の温度センサエレメント８に到達すると、空気質量流１０の目下の温度が、第２の温度センサエレメント８によって測定される。第１の温度センサエレメント７によって測定された温度と第２の温度センサエレメント８によって測定された温度との差から、傍らを流れた空気質量を決定することができる。このために、エアフローメータ２自体が、回路支持体１３を含んでいてよい。この回路支持体１３は電子構成部品を備えており、これらの電子構成部品は、第１の温度センサエレメント７の測定信号と第２の温度センサエレメント８の測定信号とを評価し、かつ、望まれる場合には、これらの測定信号を後処理することもできる。このようにして取得された、空気質量流１０に関する情報は、ここに図示されていないエンジン制御装置に伝送され、このエンジン制御装置は、内燃機関のシリンダ内における最適な燃料・空気混合物を生じさせることができる。

図２には、プラグイン式フィンガとして吸気管１に組み込まれているエアフローメータ２内の、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）として構成されている空気質量センサエレメント１５が示されている。空気質量流１０は、この場合にも、流入開口４に到達し、まず空気案内路２０内に流入し、次いで補助管５内に流入する。ダイヤフラム１７の表面１６には、空気案内路２０内の第１の温度センサエレメント７と第２の温度センサエレメント８とが見て取れる。第１の温度センサエレメント７と第２の温度センサエレメント８との間には、加熱エレメント１２が配置されている。空気質量流１０は、まず第１の温度センサエレメント７に到達し、次いで加熱エレメント１２を流過し、その後、第２の温度センサエレメント８に到達する。空気質量センサエレメント１５は、空気案内路２０内に高度に正確に配置されていなければならない。なぜならば、所定の位置からの僅かなずれであっても、測定結果を著しく誤らせてしまうからである。

図２からさらに判るように、空気質量流１０は、汚染物９を含有している場合もある。空気質量流１０によって、たとえば水滴２６、油滴１１および／またはダスト粒子１４が、エアフローメータ２に向かって運ばれる。これらの汚染物９は、エアフローメータ２の流入開口４を通って、空気案内路２０内の空気質量センサエレメント１５まで到達する。汚染物９が、第１の温度センサエレメント７および第２の温度センサエレメント８の領域に堆積すると、時間とともに、空気質量流１０についての測定値が著しく誤られるおそれがある。測定値のこのような誤変動は、空気質量センサエレメント１５における汚染物の蓄積によって、長い時間にわたって徐々に増大していくので、これに関連して、エアフローメータ２の「信号ドリフト」とも呼ばれる。この信号ドリフトは、空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の正確な位置決めによって、少なくとも最小限に抑えることができる。

図３は、本発明によるエアフローメータ２を示す。このエアフローメータ２はハウジングを有し、このハウジングは、たとえばプラスチックから射出成形法で製造されていてよい。ハウジングは流入開口４を有し、この流入開口４内には空気流１０が流入することができる。この場合、流入した空気流の一部は、Ω字形に形成されたバイパスを経由して流れて、空気案内路２０に沿って空気質量センサエレメント１５を流過する。空気質量センサエレメント１５の傍らを通って流れた空気流は、補助管５を介して、流出開口６に到達する。エアフローメータ２のハウジング３内には、回路支持体１３が配置されている。回路支持体１３は、たとえばプリント配線板またはリードフレームとして形成されていてよい。回路支持体１３には、電子構成部品２４が配置されており、これらの電子構成部品２４は、空気質量センサエレメント１５によって形成された信号を、たとえば増幅し、かつ／または処理する。このために、空気質量センサエレメント１５がたとえば流し込み封止によってセンサエレメント支持体２１に取り付けられていて、このセンサエレメント支持体２１が、接続ワイヤ１８および接続パット１９を用いて、回路支持体１３に電気的に接続されている。センサエレメント支持体２１には、空気質量センサエレメント１５が載置されているか、または内蔵されている。この空気質量センサエレメント１５は、エアフローメータ２の空気案内路２０内に極めて精密に配置されていなければならない。空気質量センサエレメント１５を高度に精密に配置するために、エアフローメータ２のハウジング３が、位置決めエレメント２２を有している。この位置決めエレメント２２は、エアフローメータ２のハウジング３と一体に形成されていてよい。位置決めエレメント２２は、位置決めエレメント収容部２３内に係合する。位置決めエレメント収容部２３は、図３には、センサエレメント支持体に設けられた孔として形成されている。この位置決めエレメント２２および位置決めエレメント収容部２３は、空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の高度に正確な位置決めを保証する。さらに図３では、センサエレメント支持体載置部２５が設けられていることが判る。このセンサエレメント支持体載置部２５は、同じく空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の位置決めに用いられる。これら３つのエレメント、すなわち位置決めエレメント２２と、位置決めエレメント収容部２３と、センサエレメント支持体載置部２５とを用いて、空気案内路２０内の３つのすべての空間的次元において、空気質量センサエレメント１５の極めて精密な位置決めを行うことができる。空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５のこのような高度に正確な位置決めは、エアフローメータ２による空気質量流の、誤差のない正確な検出を保証する。

図４には、図３により既知のエアフローメータ２を別の角度から見た斜視図が示されている。図４にも、エアフローメータのハウジング３が図示されており、このハウジング３内には、回路支持体１３と、空気質量センサエレメント１５を備えたセンサエレメント支持体２１とが配置されている。図４には、図３により既知の諸特徴に加えて、さらに回路支持体位置決めエレメント２７が図示されている。この回路支持体位置決めエレメント２７は、センサエレメント支持体２１を位置決めするための位置決めエレメント２２とは別個に、エアフローメータ２のハウジング３内における回路支持体１３の確実な位置決めを保証する。特に、回路支持体位置決めエレメント２７によって、回路支持体１３の回転運動をロックするための位置固定（回転防止部）を実現することができ、ひいてはセンサエレメント支持体２１の回転運動をロックするための位置固定（回転防止部）をも実現することができる。回路支持体１３とセンサエレメント支持体２１とは、接続ワイヤ１８および接続パット１９を用いて電気的に接続されている。回路支持体１３とセンサエレメント支持体２１との、直接的な機械的接続は行われない。代替的な別の構成では、センサエレメント支持体２１が、回路支持体１３において、回路支持体１３に設けられた取付け領域２９（図４参照）に、たとえば接着によって取り付けられていることも考えられる。位置決めエレメント２２が、位置決めエレメント収容部２３と係合することができるようにするために、回路支持体１３は切欠き３０を有している。この切欠き３０内には、センサエレメント支持体２１が回路支持体１３に組み付けられた状態で、位置決めエレメント２２が配置されている。

回路支持体１３もセンサエレメント支持体２１も、エアフローメータ２のハウジング３に直接接続されている。センサエレメント支持体２１は機械的には回路支持体１３から独立しているので、これにより、空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の高い位置決め精度を可能にすることができる。このことの原因は特に、回路支持体１３が一般に、プリント回路板またはリードフレームとして形成されていて、この場合、回路支持体１３のこの２つの構成は、数１００μｍの範囲にある大きな機械的公差を有することにある。これに対して、センサエレメント支持体２１は、高度に精密な構成部品として形成されており、したがって相応に高価である。センサエレメント支持体２１は、回路支持体に比べてはるかに小さな機械的公差を有しており、その公差は１０μｍの範囲にある。空気質量センサエレメント１５の位置決めのためには、センサエレメント支持体２１しか重要でないので、回路支持体１３については、比較的廉価な部材を用いて作業することができる。このことは、エアフローメータ２の廉価な構成をもたらし、エアフローメータ２の極めて高い測定精度は維持される。

図５にも、本発明によるエアフローメータ２が、ハウジング３および回路支持体１３とともに示されている。回路支持体１３には、電子構成部品２４が配置されており、これらの電子構成部品２４は、空気質量センサエレメント１５の信号を処理するために用いられる。回路支持体１３は、接続パット１９および接続ワイヤ１８を用いて、センサエレメント支持体２１に配置された空気質量センサエレメント１５に電気的に接続されている。空気質量センサエレメント１５と回路支持体１３との間の直接的な機械的接続は存在しない。空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の位置決めは、やはり位置決めエレメント収容部２３内に係合する位置決めエレメント２２を用いて行われる。位置決めエレメント２２は、この実施例においては、エアフローメータ２のハウジング３に設けられたピンとして形成されている。位置決めエレメント収容部２３は、この実施例においては、センサエレメント支持体２１に設けられた孔として形成されている。しかし、位置決めエレメント２２を、たとえばセンサエレメント支持体２１にピンとして形成し、このピンを、エアフローメータ２のハウジング３に孔として形成されている位置決めエレメント収容部２３内に係合させる構成も考えられる。位置決めエレメント収容部２３は、極めて高い精度で、孔として形成することができる。このような孔は、簡単かつ廉価に作孔することができる。位置決めエレメント２２は、エアフローメータ２のハウジング３と一体に形成されているか、またはセンサエレメント支持体２１と一体に形成されていてよい。

図６は、エアフローメータ２を、ハウジング内３に、回路支持体１３も、空気質量センサエレメント１５を備えたセンサエレメント支持体２１も、組み込まれている状態で示している。図面から良く判るように、位置決めエレメント２２は、センサエレメント支持体２１に設けられた位置決めエレメント収容部２３内に係合している。これにより、空気質量センサエレメント１５は、２つの空間的次元において高度に正確に空気案内路２０内に位置決めされている。空気案内路２０内での第３の空間的次元における空気質量センサエレメント１５の位置決めは、センサエレメント支持体載置部２５へのセンサエレメント支持体２１の載置、ならびに位置決めエレメント２２と位置決めエレメント収容部２３との間に形成された締まり嵌めによって行われる。センサエレメント支持体載置部２５は、図５では良く見えているが、図６ではセンサエレメント支持体２１によって覆われているので見えていない。高度に精密に製作されたセンサエレメント支持体２１と、位置決めエレメント２２と、位置決めエレメント収容部２３と、センサエレメント支持体載置部２５とを用いて、空気質量センサエレメント１５を、３つのすべての空間的次元において、空気案内路２０内に高度に精密に位置決めすることが可能になる。空気質量センサエレメント１５のこのような高度に精密な位置決めは、エアフローメータ２の高度に正確な測定結果をもたらす。回路支持体１３も、エアフローメータ２のハウジング３に形成されている回路支持体位置決めエレメント２７を用いて位置決めされている。そのためには、回路支持体位置決めエレメント２７が、回路支持体位置決めエレメント２７用の収容部２８内に係合する。回路支持体位置決めエレメント２７用の収容部２８は、孔として形成されているか、または、図６に示すように、回路支持体１３に設けられた長穴として形成されていてよい。

図６から判るように、センサエレメント支持体２１は、接続ワイヤ１８および接続パット１９を用いて、回路支持体１３に電気的に接続されている。これにより、空気質量センサエレメント１５によって形成された信号は、電気的に、回路支持体１３と、回路支持体１３に配置された電子構成部品２４とに伝送されることができる。しかし、回路支持体１３とセンサエレメント支持体２１との間の直接的な機械的接続は存在せず、このことが、空気案内路２０内における空気質量センサエレメント１５の高度に正確な位置決めのために寄与している。代替的な別の構成では、回路支持体１３とセンサエレメント支持体２１との間に機械的接続が存在していてよい。

図７〜図１０は、本発明によるエアフローメータの別の実施形態を示す。図７〜図１０に図示した実施形態は、第１には位置決めエレメント２２が、実質的に方形の横断面を有する錐形のピンとして形成されており、第２には回路支持体１３とセンサエレメント支持体２１との間に、接着の形の機械的接続が存在する点で、図３〜図６に図示した実施形態とは異なる。

図７〜図１０に示した実施形態では、センサエレメント支持体２１が、回路支持体１３において、回路支持体１３に設けられた取付け領域２９（図４参照）に、たとえば接着によって、取り付けられている。位置決めエレメント２２が、位置決めエレメント収容部２３と係合することができるようにするために、回路支持体１３は切欠き３０を有する。センサエレメント支持体２１が回路支持体１３に組み付けられた状態において、位置決めエレメント２２は、位置決めエレメント収容部２３と係合するために、この切欠き３０を貫通して延びている。

既に説明したように、位置決めエレメント２２は、好適には、位置決めエレメント２２が位置決めエレメント収容部２３と係合状態にあるときに、回路支持体１３に対して相対的なセンサエレメント支持体２１の回転防止部を提供するために形成されている横断面を有する。この係合時には、位置決めエレメント２２と位置決めエレメント収容部２３との間に、少なくとも部分的に締まり嵌めが形成されていると好適である。したがって、位置決めエレメント２２と位置決めエレメント収容部２３とのこのような係合によって、回路支持体１３に対して相対的なセンサエレメント支持体２１の並進運動におけるすべての自由度も、回路支持体１３に対して相対的なセンサエレメント支持体２１の回転運動における少なくとも１つの自由度も、すなわち、位置決めエレメント２２の延在軸線に対して実質的に平行に延びる軸線を中心とした、回路支持体１３に対して相対的なセンサエレメント支持体２１の回転も、ロックすることができる。特に、位置決めエレメント２２と位置決めエレメント収容部２３との間の締まり嵌めによって、センサエレメント支持体２１が、位置決めエレメント２２の延在軸線に沿った並進運動方向に移動することを防止することができる。

残りの２つの自由度について回路支持体１３に対して相対的にセンサエレメント支持体２１をロックするためには、既に図３〜図６につき説明した回路支持体位置決めエレメント２７を設けることができる。

図７〜図１０の実施形態では、位置決めエレメント２２が錐形の形状を有し、実質的に方形の横断面を有する。本発明の別の実施形態では、位置決めエレメント２２が、楕円形、三角形または多角形の横断面を有していてよい。位置決めエレメント収容部２３は、位置決めエレメント２２の横断面形状に実質的に相当する横断面形状を有しており、この場合、位置決めエレメント２２を位置決めエレメント収容部２３と係合させた後には、両者の間に締まり嵌めが形成されるようになっている。さらに、この組み付けられた状態においては、センサエレメント支持体２１がセンサエレメント支持体載置部２５に接触しており、これにより、センサエレメント支持体２１は、より詳しく言えば、空気質量センサエレメント１５は、空気案内路２０に対して相対的に位置決めされている。

Claims (8)

1. ハウジング（３）を備えたエアフローメータ（２）であって、前記ハウジング（３）が、空気案内路（２０）を有し、該空気案内路（２０）内に空気質量センサエレメント（１５）が配置されており、該空気質量センサエレメント（１５）が、センサエレメント支持体（２１）に配置されており、該センサエレメント支持体（２１）が、前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング（３）内に配置されていて、かつ接続ワイヤを用いて回路支持体（１３）に電気的に接続されており、該回路支持体（１３）が、同じく前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング内に配置されている、エアフローメータ（２）において、
   前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング（３）に錐形に形成された位置決めエレメント（２２）が形成されており、該位置決めエレメント（２２）が、前記センサエレメント支持体（２１）に形成されている位置決めエレメント収容部（２３）内に係合しており、これによって前記空気質量センサエレメント（１５）が、前記空気案内路（２０）内に精密に位置決めされていることを特徴とする、エアフローメータ（２）。
2. ハウジング（３）を備えたエアフローメータ（２）であって、前記ハウジング（３）が、空気案内路（２０）を有し、該空気案内路（２０）内に空気質量センサエレメント（１５）が配置されており、該空気質量センサエレメント（１５）が、センサエレメント支持体（２１）に配置されており、該センサエレメント支持体（２１）が、前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング（３）内に配置されていて、かつ接続ワイヤを用いて回路支持体（１３）に電気的に接続されており、該回路支持体（１３）が、同じく前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング内に配置されている、エアフローメータ（２）において、
   前記センサエレメント支持体（２１）に錐形に形成された位置決めエレメント（２２）が形成されており、該位置決めエレメント（２２）が、前記エアフローメータ（２）の前記ハウジング（３）に形成されている位置決めエレメント収容部（２３）内に係合しており、これによって前記空気質量センサエレメント（１５）が、前記空気案内路（２０）内に精密に位置決めされていることを特徴とする、エアフローメータ（２）。
3. 前記位置決めエレメント（２２）が、前記ハウジング（３）と一体に形成されていることを特徴とする、請求項１記載のエアフローメータ（２）。
4. 前記位置決めエレメント（２２）が、前記センサエレメント支持体（２１）と一体に形成されていることを特徴とする、請求項２記載のエアフローメータ（２）。
5. 前記位置決めエレメント収容部（２３）が、前記センサエレメント支持体（２１）に孔として形成されていることを特徴とする、請求項１または３記載のエアフローメータ（２）。
6. 前記位置決めエレメント収容部（２３）が、前記ハウジング（３）に孔として形成されていることを特徴とする、請求項２または４記載のエアフローメータ（２）。
7. 前記位置決めエレメント（２２）が、三角形、楕円形、方形または多角形である横断面を有する、請求項１から６までのいずれか１項記載のエアフローメータ（２）。
8. 前記位置決めエレメント（２２）と前記位置決めエレメント収容部（２３）とが係合状態にあるときに、前記位置決めエレメント（２２）と前記位置決めエレメント収容部（２３）との間に、少なくとも部分的に、締まり嵌めが形成されている、請求項１から７までのいずれか１項記載のエアフローメータ（２）。

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