JP6679064B2 - 真空紫外線センサ - Google Patents
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Description
(1)光電子倍増管やシリコンフォトダイオードなどの既存の受光素子と、検出すべき紫外線を透過すると共にそれ以外の光を遮断するバンドパスフィルタなどの光学素子とを備えてなるもの。
(2)紫外域から可視光域の光を検出する受光素子と、真空紫外線を紫外域または可視光域の光に変換する蛍光体とを有し、蛍光体からの蛍光の強度を真空紫外線の強度として計測するもの。
(3)バンドギャップが比較的大きいダイヤモンド半導体からなる受光素子を有し、真空紫外線の照射により伝導帯に遷移した電子による電流と光強度との相関から真空紫外線の強度を計測するもの。
上記(1)の真空紫外線センサにおいては、バンドパスフィルタなどの光学素子が必要である。そのため、真空紫外線センサを構成する部品の数が増加することにより、真空紫外線センサの小型化、薄型化を図ることが困難である。また、光学素子の特性バラつきや、受光による光学素子の劣化などによって、真空紫外線センサの出力値が変動しやすく、そのため、校正頻度や、光学素子の交換頻度が高くなる、という問題がある。
上記(2)の真空紫外線センサにおいては、レーザーやエキシマランプに代表される、単一波長とみなせる光源からの光の計測には適する。然るに、アーク放電型ランプや白熱電球に代表される真空紫外域から〜赤外域の広波長域にわたって発光する光源を用いる場合には、蛍光体からの蛍光と光源から発せられた光とを区別することができない。従って、バンドパスフィルタなどの光学素子を用いることが必要となる。
上記(3)の真空紫外線センサにおいては、ダイヤモンド半導体からなる受光素子は、波長が200nmより長い紫外線に対しても感度を有する。そのため、真空紫外線を選択的に検出するためには、バンドパスフィルタなどの光学素子を用いることが必要となる。また、強度が高い真空紫外線を照射すると、受光素子を構成するダイヤモンドの炭素結合が切断されるため、早期に受光素子の性能が低下する、という問題がある。また、受光素子が、真空紫外線の照射によって生ずるオゾンや酸素ラジカルに曝されると、受光素子が早期に酸化して劣化する、という問題がある。
この真空紫外線センサにおいては、紫外線検出層に、当該紫外線検出層を構成する金属フッ化物のバンドギャップ以上の光子エネルギーを有する光が入射されると、金属フッ化物中の電子が価電子帯から伝導帯に遷移する。これにより、電気的に中性であった部分に電子・正孔キャリアが発生し、このキャリアが一対の電極に印加された電圧による電気伝導に寄与する結果、紫外線検出層の電気抵抗が低下する。その後、伝導帯にある電子と、価電子帯にある正孔が再結合することにより、電気伝導への寄与が終了する。このような作用を利用して、電気抵抗率の変化量が電気的信号として検出される。従って、紫外線検出層を構成する金属フッ化物を選択することにより、真空紫外線を選択的に検出することが可能となる。
上記の真空紫外線センサは、一対の電極が露出した状態で形成されているため、真空紫外線の照射によって生じたオゾンや酸素ラジカルが電極に接触すると、電極を構成する金属が酸化する。特に、最近においては、強度の高い真空紫外線を放射する光源が開発されており、このような光源からの真空紫外線を検出する場合には、発生するオゾンや酸素ラジカルの量が多いため、電極が早期に酸化劣化する結果、長期間にわたって真空紫外線を安定して検出することが困難である。また、紫外線検出層を構成する金属フッ化物の種類によっては、波長が200nmを超える光を吸収するため、紫外線検出層の温度が上昇する結果、いわゆる温度ドリフトが生じる、という問題がある。
前記金属電極および前記感光層の各々の表面全面を覆うよう形成された被覆層を有し、 前記感光層は、真空紫外線の光子エネルギーに相当するバンドギャップを有するフッ化物(A)よりなり、
前記被覆層は、前記フッ化物(A)よりも大きいバンドギャップを有するフッ化物(B)よりなり、
前記感光層は、前記一対の金属電極が形成された面が受光面とされることを特徴とする。
前記フッ化物(B)は、フッ化マグネシウムであることが好ましい。
図1は、本発明の真空紫外線センサの一例における構成を示す説明用断面図である。この真空紫外線センサ10は、基板11と、この基板11の表面上に設けられた感光層12と、この感光層12の表面上に形成された一対の金属電極13,14と、これらの一対の金属電極13,14の各々の表面を覆うよう形成された被覆層15とにより構成されている。また、この例の真空紫外線センサ10の感光層12は、一対の金属電極13,14が形成された面(図1において上面)が受光面12aとされている。
基板11の厚みは、特に限定されないが、0.3〜30mmが好適である。
バンドギャップの測定方法や算出方法は特に限定されないが、例えば物質を透過する光の透過率から計算可能であることが知られており、2つの物質のバンドギャップを比較する上ではこの方法で十分である。フッ化物は、間接遷移の半導体として取り扱われることが知られており、当業者にとって実施可能である。
例えば、光化学的測定手法であるTaucプロット法を利用する。光吸収係数αと光エネルギーhν(hはプランク定数、νは振動数)と、バンドギャップエネルギーEgとの間には下記式1の関係が成り立つと考えられる。
式1 αhν=B(hν−Eg )n
ここで、フッ化物は間接遷移型なので、n=2である。上記のようにフッ化物試料の透過スペクトルを測定し、当該測定結果から横軸の波長をエネルギーhν(eV)、縦軸の透過率を(αhν)1/2 に変換したものをグラフ上にプロットして曲線を描く。この吸収スペクトル曲線の立ち上がり直線となる部分に、フィッティング直線を引き、当該フィッティング直線と横軸(すなわちα=0のベースライン)が交わる点のエネルギー(eV)をバンドギャップエネルギーEgとする。
以下に文献値が無いフッ化物のバンドギャップについてTaucプロット法による測定値の一例を示すが、これらの値は薄膜の状態で測定したものであり、あくまで参考値である。
フッ化ネオジム(NdF3 ):,Eg=7.1eV(参考値)
フッ化イッテルビウム(YbF3 ):Eg=6.0eV(参考値)
フッ化イットリウム(YF3 ):Eg=8.2eV(参考値)
2種以上の金属によるフッ化物の具体例としては、フッ化ランタンとフッ化セリウムの混晶などが挙げられる。
感光層12は、単一の層によって形成されていても、互いに異なるフッ化物による多重層によって形成されていてもよい。
また、基板11を構成する材料と感光層12を構成するフッ化物との格子不整合を解消するために、基板11と感光層12との間に緩衝層が形成されていてもよい。
これらの中では、パルスレーザー堆積法が好適である。パルスレーザー堆積法は、レーザーパルスを原料(ターゲット)に照射することによって、原料に大きなエネルギーを与えて昇華させ、基板11上に堆積させる物理的気相成長法である。この方法は、形成される薄膜の光学的性質が不均一になりやすい化学的気相成長法に比較して、光学的性質が均一な薄膜が容易に形成することができるため、受光感度が均一な感光層12が得られる点で優れている。
パルスレーザー堆積法によって感光層12を形成する場合において、ターゲットとしては、フッ化物の単結晶体、多結晶体、ペレットなどを用いることができる。また、レーザー光としては、Nd:YAGレーザーの第三高調波などが用いられる。
金属電極13,14の厚みは、特に限定されないが、金属電極13,14の耐久性の観点から1nm以上であることが好ましく、真空紫外線センサ10の小型軽量化の観点から1000μm以下であることが好ましい。
また、一対の金属電極13,14における電極間距離は、例えば0.2〜0.4mmである。
被覆層15を構成するフッ化物(B)としては、感光層12を構成するフッ化物(A)よりも大きいバンドギャップを有するものであれば、特に限定されないが、フッ化マグネシウムを用いることが好ましい。
被覆層15を構成するフッ化物(B)は、単結晶、多結晶およびアモルファスのいずれであってもよいが、単結晶が好ましい。
図示の例では、被覆層15は、一対の金属電極13,14および感光層12の各々の表面全面を覆うよう形成されているが、被覆層15によって、一対の金属電極13,14の表面全面が覆われていればよく、感光層12の表面全面が覆われていなくてもよい。
この例における感光層12および金属電極13,14の各々における具体的な構成は、図1に示す真空紫外線センサと同様である。
基板11を構成するフッ化物(B)としては、感光層12を構成するフッ化物(A)よりも大きいバンドギャップを有するものであれば、特に限定されないが、フッ化マグネシウムを用いることが好ましい。
基板11を構成するフッ化物(B)は、単結晶、多結晶およびアモルファスのいずれであってもよいが、単結晶が好ましい。
厚みが1mmのフッ化マグネシウムよりなる基板を用意し、以下のようにして、図1に示す構成の真空紫外線センサを作製した。
基板の一面に、パルスレーザー堆積法によって、縦横の寸法が8mm×10mmで、厚みが20μmのフッ化イットリウムの単結晶よりなる感光層を形成した。パルスレーザー堆積法における具体的な条件は以下の通りである。
ターゲット:フッ化イットリウム焼結体
基板の温度:400℃
レーザー:Ti:サファイアレーザー
レーザーパルスの周波数:1kHz
単位面積あたりのレーザーの照射エネルギー量:54.8J/cm2
処理時間:60分間
蒸着チャンバー内圧力:2×10-4Pa
ターゲット−基板間距離:5cm
以上において、単位面積あたりのレーザーの照射エネルギー量は、レーザー照射後のターゲットにおけるレーザー照射痕の幅Dと、実験時のパルスエネルギーEから、式:E/πD2/4により算出した。また、パルスエネルギーは、実験時の平均レーザーパワーPから、式:E(J)=P(W)/1(kHz)により算出した。
真空蒸着法により、感光層の表面に、図2に示す形状のアルミニウムよりなる一対の金属電極を形成した。得られた一対の金属電極の各々は、厚みが10μm,歯部の数が6本、歯部の長さが9.8mm、歯部の幅が0.3mm、隣接する歯部の離間距離が0.2mm、電極間距離(一方の金属電極の歯部と他方の金属電極の歯部との離間距離)が0.2mmである。
一対の金属電極および感光層の表面全面に、フッ化マグネシウムよりなる被覆層を形成した。パルスレーザー堆積法における具体的な条件は以下の通りである。
ターゲット:フッ化マグネシウム焼結体
基板の温度:400℃
レーザー:Ti:サファイアレーザー
レーザーパルスの周波数:1kHz
単位面積あたりのレーザーの照射エネルギー量:54.8J/cm2
処理時間:60分間
蒸着チャンバー内圧力:2×10-4Pa
ターゲット−基板間距離:5cm
得られた被覆層を構成するフッ化マグネシウム(Eg=10.8eV)は、感光層を構成するフッ化イットリウム(Eg=8.2eV(参考値))よりも大きいバンドギャップを有するものである。
フッ化マグネシウムよりなる基板の代わりに石英ガラスよりなる基板を用いたこと以外は、実施例1と同様にして真空紫外線センサを作製した。
厚みが1mmのフッ化マグネシウムの単結晶よりなる基板を用意し、以下のようにして、図3に示す構成の真空紫外線センサを作製した。
真空蒸着法により、基板の表面に、図2に示す形状のアルミニウムよりなる一対の金属電極を形成した。得られた一対の金属電極の各々は、厚みが10μm,歯部の数が6本、歯部の長さが9.8mm、歯部の幅が0.3mm、隣接する歯部の離間距離が0.2mm、電極間距離(一方の金属電極の歯部と他方の金属電極の歯部との離間距離)が0.2mmである。
一対の金属電極の各々を含む基板の表面に、基板の一面に、パルスレーザー堆積法によって、縦横の寸法が8mm×10mmで、厚みが20μmのフッ化イットリウムの単結晶よりなる感光層を形成した。パルスレーザー堆積法における具体的な条件は以下の通りである。
ターゲット:フッ化イットリウム焼結体
基板の温度:400℃
レーザー:Ti:サファイアレーザー
レーザーパルスの周波数:1kHz
単位面積あたりのレーザーの照射エネルギー量:54.8J/cm2
処理時間:60分間
蒸着チャンバー内圧力:2×10-4Pa
ターゲット−基板間距離:5cm
得られた感光層を構成するフッ化イットリウム(Eg=8.2eV(参考値))は、基板を構成するフッ化マグネシウム(Eg=10.8eV)よりも小さいバンドギャップを有するものである。
被覆層を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様にして真空紫外線センサを作製した。
実施例1〜3および比較例1に係る真空紫外線センサを、酸素濃度が約5%の雰囲気下に配置すると共に、この真空紫外線センサから50cm離間した位置に、波長172nm付近にピークを有する真空紫外線を放射するエキシマランプを、真空紫外線センサにおける感光層の受光面に対向するよう配置した。そして、真空紫外線センサに対して、エシキマランプからの真空紫外線を20時間連続して照射した。
上記の試験の前後において、真空紫外線センサの各々に対して、一対の金属電極に100Vの電圧を印加した状態で、重水素ランプによって真空紫外線を10秒間照射し、一対の金属電極間に流れる電流を、アンプにより増幅して電圧値として測定した。それぞれの平均値および試験前後における変化率を表1に示す。
11 基板
12 感光層
12a 受光面
13,14 金属電極
13a,14a 胴部
13b,14b 歯部
15 被覆層
Claims (2)
- 基板と、当該基板上に設けられた感光層と、当該感光層上に形成された一対の金属電極とを備えてなる真空紫外線センサであって、
前記金属電極および前記感光層の各々の表面全面を覆うよう形成された被覆層を有し、 前記感光層は、真空紫外線の光子エネルギーに相当するバンドギャップを有するフッ化物(A)よりなり、
前記被覆層は、前記フッ化物(A)よりも大きいバンドギャップを有するフッ化物(B)よりなり、
前記感光層は、前記一対の金属電極が形成された面が受光面とされることを特徴とする真空紫外線センサ。 - 前記フッ化物(A)は、イッテルビウム、イットリウム、ネオジム、セリウム、カルシウム、カドミウム、ストロンチウム、ランタンおよびバリウムからなる群より選ばれた少なくとも1種の金属のフッ化物であり、
前記フッ化物(B)は、フッ化マグネシウムであることを特徴とする請求項1に記載の真空紫外線センサ。
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