JP6672625B2 - Line system - Google Patents

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Description

本発明は複数の装置と上位制御装置で構成されるラインシステムに関し、特にその電源管理に特徴を有するラインシステムに関するものである。   The present invention relates to a line system including a plurality of devices and a higher-level control device, and more particularly to a line system having a feature in power supply management.

従来機器の製造等においては、複数の装置を直列に配置して製造ラインを構成し、１つの装置で加工した製品を次の装置に順次搬送することによって複雑な加工を行うシステムが用いられている。特許文献１には複数の基板処理装置が通信ラインを介してホストコンピュータに接続された基板処理システムが示されている。   In the production of conventional equipment, a system is used in which a plurality of devices are arranged in series to form a manufacturing line, and a product processed by one device is sequentially transported to the next device to perform complicated processing. I have. Patent Literature 1 discloses a substrate processing system in which a plurality of substrate processing apparatuses are connected to a host computer via a communication line.

又特許文献２には複数台の電源盤から成り、各電源盤を同時に起動させる電源盤起動回路において、各起動スイッチの投入情報に基づいて論理処理し、論理回路の制御によって電源盤の出力を制御する制御回路が提案されている。   Patent Document 2 discloses a power board starting circuit that includes a plurality of power boards and simultaneously starts each power board, performs logical processing based on information on the activation of each start switch, and controls the output of the power board by controlling the logic circuit. A control circuit for controlling has been proposed.

特許第４９５１５１６号公報Japanese Patent No. 4951516 実用新案登録第２５０３２９９号公報Utility Model Registration No. 2503299

しかるに従来の複数の装置がライン状に接続されて構成されるシステム（以下、ラインシステムという）においては、各装置は夫々電源スイッチを有しており、ラインシステム全体を動作させるためにはラインシステムを構成する各装置の夫々の電源スイッチをオン状態とする必要があった。   However, in a conventional system in which a plurality of devices are connected in a line (hereinafter, referred to as a line system), each device has a power switch, and a line system is required to operate the entire line system. It is necessary to turn on the respective power switches of the respective devices constituting the device.

このため複数の装置でラインシステムを構成する場合には、電源スイッチや電源管理コントローラが装置の数だけ用いられているため、ほとんどが重複するものとなり、システム全体の構造が複雑になるという問題点があった。   Therefore, when a line system is configured with a plurality of devices, power switches and power management controllers are used as many as the number of devices, so that most of the devices are duplicated and the structure of the entire system becomes complicated. was there.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、複数台の装置から成るラインシステムについて、システム全体の電源を制御することができるラインシステムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a line system that can control a power supply of the entire system with respect to a line system including a plurality of devices. I do.

この課題を解決するために、本発明のラインシステムは、複数の装置と、全体の電源を開閉する電源スイッチと、前記電源スイッチに接続され、前記各装置の電源を制御する電源管理コントローラと、を具備するラインシステムであって、前記各装置は、内部機器の電源を制御する電源管理部と、前記電源管理部から供給される電源によって動作する制御回路部と、夫々各装置に設けられドアの開放時にオフとなるドアスイッチと、前記ラインシステムの少なくとも１つの装置に設けられた非常停止スイッチと、を有し、前記電源管理コントローラは、前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチに接続されており、前記電源スイッチの投入によって前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチの出力に応じて前記各装置の電源管理部を介して電源を制御するものである。 In order to solve this problem, a line system of the present invention includes a plurality of devices, a power switch that opens and closes the entire power supply, a power management controller that is connected to the power switch and controls a power supply of each device, A line system comprising: a power management unit configured to control power of an internal device; a control circuit unit operated by power supplied from the power management unit; and a door provided in each device. a door switch which is turned off upon opening of anda emergency stop switch provided on at least one device of said line system, before SL power management controller, the door switch and an emergency stop switch of each device Connected, and the power management of each device according to the output of the door switch and the emergency stop switch of each device by turning on the power switch. And controls the power supply through the.

ここで前記各装置は夫々非常停止スイッチを有し、夫々の非常停止スイッチは直列接続されたものとしてもよい。   Here, each of the devices has an emergency stop switch, and each of the emergency stop switches may be connected in series.

ここで前記ドアスイッチは、いずれかの装置のドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するものとしてもよい。 Here, when the door switch of any device is turned off, the door switch may shut off the power supply of only that device .

このような特徴を有する本発明によれば、ラインシステム全体を１つの電源スイッチで電源投入状態とすることができる。又電源スイッチと電源管理コントローラとはラインシステム全体で１つであり、重複した構成が削除できるため、システム全体の構造を簡略化できるという効果が得られる。   According to the present invention having such features, the entire line system can be turned on by one power switch. Also, the power switch and the power management controller are one in the entire line system, and the redundant configuration can be eliminated, so that the effect of simplifying the structure of the entire system can be obtained.

図１は本発明の第１の実施の形態によるラインシステムの構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the line system according to the first embodiment of the present invention. 図２は本実施の形態によるラインシステムの電源管理コントローラと１つの装置の詳細な構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a detailed configuration of the power management controller and one device of the line system according to the present embodiment.

図１は本発明の実施の形態によるラインシステムの構成を示すブロック図である。本実施の形態のラインシステム１は図示のように複数の装置１０，２０，３０，４０から構成されている。ここでローダ（ＬＤ）装置１０は基板をこの製造システムに搬入するローダ装置であり、スクライブ装置２０は基板をスクライブするスクライブ装置、ブレイク装置３０はスクライブした基板をブレイクするブレイク装置、アンローダ装置４０はブレイクされた基板をアンロードするアンローダ装置とする。これらの装置１０，２０，３０，４０について各装置に固有の構成は省略しており、本実施の形態に関連のある電源部分のみを示している。   FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a line system according to an embodiment of the present invention. The line system 1 of the present embodiment includes a plurality of devices 10, 20, 30, and 40 as shown in the figure. Here, the loader (LD) device 10 is a loader device for carrying the substrate into the manufacturing system, the scribing device 20 is a scribing device for scribing the substrate, the breaking device 30 is a breaking device for breaking the scribed substrate, and the unloading device 40 is An unloader device that unloads the broken substrate. For these devices 10, 20, 30, and 40, configurations unique to each device are omitted, and only a power supply portion relevant to the present embodiment is shown.

さて図１に示すようにローダ装置１０は電源管理部１１と制御回路部１２を有している。電源管理部１１は後述する電源コントローラからの信号によって電源を供給するものであり、制御回路部１２はローダ装置１０の各部の制御回路を示している。又ローダ装置１０には、ローダ装置１０を非常停止させるための非常停止スイッチ（非常ＳＷ）１３と、ドアスイッチ（ドアＳＷ）１４が設けられる。非常停止スイッチ１３はユーザが機器に異常があることを感じたときに投入するスイッチである。又ドアスイッチ１４はローダ装置１０のドアに設けられ、ドアの開閉を検出するスイッチである。ドアスイッチ１４は通常はオン状態にあり、点検等のために装置のドアを開放すると自動的にオフとなる。   As shown in FIG. 1, the loader device 10 has a power management unit 11 and a control circuit unit 12. The power management unit 11 supplies power according to a signal from a power controller described later, and the control circuit unit 12 indicates a control circuit of each unit of the loader device 10. The loader device 10 is provided with an emergency stop switch (emergency switch) 13 for emergency stop of the loader device 10 and a door switch (door SW) 14. The emergency stop switch 13 is a switch that is turned on when the user feels that there is an abnormality in the device. The door switch 14 is provided on the door of the loader device 10 and detects opening and closing of the door. The door switch 14 is normally turned on, and automatically turned off when the door of the apparatus is opened for inspection or the like.

他の装置２０，３０，４０についてもローダ装置１０と同様に、夫々電源管理部２１，３１，４１、制御回路部２２，３２，４２を有しており、非常停止スイッチ２３，３３，４３とドアスイッチ２４，３４，４４を有している。これらの非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３は直列に接続されており、電源管理コントローラに出力される。又同様にしてドアスイッチ１４，２４，３４，４４についても直列接続されており、その信号が電源管理コントローラに接続されている。   Like the loader device 10, the other devices 20, 30, and 40 have power management units 21, 31, 41, and control circuit units 22, 32, and 42, respectively. It has door switches 24, 34, 44. These emergency stop switches 13, 23, 33, 43 are connected in series and output to the power management controller. Similarly, the door switches 14, 24, 34, and 44 are also connected in series, and their signals are connected to the power management controller.

次にこれらの装置１０、２０，３０，４０で構成されるラインシステムには、全体の電源を制御するキースイッチ（キーＳＷ）５１，電源管理コントローラ５２及びシステムコントローラ５３が設けられる。キースイッチ５１はこのラインシステム全体の電源を投入するための電源スイッチである。又電源管理コントローラ５２はキースイッチ５１が投入されたときに、各装置の非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３やドアスイッチ１４，２４，３４，４４がオン状態であれば各装置１０，２０，３０，４０に電源を供給するように制御信号を出力するものである。このとき各装置の非常スイッチ１３，２３，３３，４３、ドアスイッチ１４，２４，３４，４４がオフとなれば電源を停止する。システムコントローラ５３はこのラインシステム１の上位制御装置であり、通信回線を介して各装置１０，２０，３０，４０の各制御回路部１２，２２，３２，４２に接続され、夫々の装置のセンサから信号を受信すると共に、必要なタイミング信号等を出力するものである。   Next, a line system including these devices 10, 20, 30, and 40 is provided with a key switch (key SW) 51 for controlling the entire power supply, a power management controller 52, and a system controller 53. The key switch 51 is a power switch for turning on the power of the entire line system. Further, when the key switch 51 is turned on and the emergency stop switches 13, 23, 33, 43 and the door switches 14, 24, 34, 44 of the respective devices are turned on when the key switch 51 is turned on, the power management controller 52 checks the respective devices 10, 20. , 30, and 40 to output a control signal to supply power. At this time, if the emergency switches 13, 23, 33, 43 and the door switches 14, 24, 34, 44 of each device are turned off, the power supply is stopped. The system controller 53 is a higher-level control device of the line system 1 and is connected to each control circuit section 12, 22, 32, 42 of each device 10, 20, 30, 40 via a communication line, and a sensor of each device. And outputs necessary timing signals and the like.

次に各装置のこの発明に関連する部分について説明する。図２はキースイッチ５１と電源管理コントローラ５２、及びローダ装置１０の詳細を示すブロック図である。電源管理コントローラ５２は非常停止ユニット５２ａとドアインターロックユニット５２ｂを有している。非常停止ユニット５２ａは各装置の非常停止ボタン１３，２３・・・に接続されており、これらのスイッチのうち１つのスイッチでもユーザによって非常時に投入された場合に、各装置の電源管理コントローラへの電源供給を遮断するものである。又ドアインターロックユニット５２ｂは各装置のドアスイッチ１４，２４・・・に接続されている。ドアインターロックユニット５２ｂはいずれかの装置のドアが開放されたときに異常状態として各装置での電源供給を停止するものである。   Next, portions of each device related to the present invention will be described. FIG. 2 is a block diagram showing details of the key switch 51, the power management controller 52, and the loader device 10. The power management controller 52 has an emergency stop unit 52a and a door interlock unit 52b. The emergency stop unit 52a is connected to the emergency stop buttons 13, 23... Of each device, and when one of these switches is turned on by the user in an emergency, the emergency stop unit 52a is connected to the power management controller of each device. This shuts off the power supply. The door interlock unit 52b is connected to the door switches 14, 24,... Of each device. The door interlock unit 52b stops power supply to each device as an abnormal state when a door of any device is opened.

さて図２に示すようにローダ装置１０の電源管理部１１は非常停止ユニット５２ａによって駆動されるリレーＸ１，Ｘ２及びドアインターロックユニット５２ｂによって駆動されるリレーＸ３と、各リレーのリレー接点回路から構成されている。リレーＸ１，Ｘ２の接点は入力となる商用交流であるＡＣ２００Ｖの３相のラインに接続されており、リレー接点を介して制御回路部１２の回路１２ａに接続される。又リレーＸ３も同様にしてリレーＸ２の出力側接点から分岐してリレーＸ３の接点を介して回路１２ｂに接続される。回路１２ａはこのローダ装置１０の各部の安全を保持するセンサ等の回路部である。又回路１２ｂはシステムコントローラ５３からの信号に基づいてローダ装置１０の各部を制御するモータ等に接続されたプログラマブルコントローラの回路部であり、動作に必要なモータやアクチュエータ，モニタ等は省略している。   As shown in FIG. 2, the power management unit 11 of the loader device 10 includes relays X1 and X2 driven by the emergency stop unit 52a, a relay X3 driven by the door interlock unit 52b, and a relay contact circuit of each relay. Have been. The contacts of the relays X1 and X2 are connected to a three-phase line of AC 200 V, which is a commercial alternating current to be input, and are connected to the circuit 12a of the control circuit unit 12 via the relay contacts. Similarly, the relay X3 branches from the output contact of the relay X2 and is connected to the circuit 12b via the contact of the relay X3. The circuit 12a is a circuit section such as a sensor for maintaining the safety of each section of the loader device 10. The circuit 12b is a circuit section of a programmable controller connected to a motor or the like that controls each section of the loader device 10 based on a signal from the system controller 53, and omits a motor, an actuator, a monitor, and the like necessary for operation. .

次に本実施の形態の動作について説明する。まず各装置の非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３は投入されておらず、ドアが閉じられている状態にあるものとすると、非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３及びドアスイッチ１４，２４，３４，４４はオン状態となっている。さて動作を開始する場合に、使用者はキースイッチ５１を投入し、電源管理コントローラ５２に電源の供給を指示する。このときには電源管理コントローラ５２の非常停止ユニット５２ａ，ドアインターロックユニット５２ｂは各部に電源を供給するように指令する。即ちこの場合にはリレーＸ１〜Ｘ３が通電され、リレーＸ１〜Ｘ３の接点を介して制御回路部１２の２つの回路１２ａ，１２ｂに電源が供給されることとなる。   Next, the operation of the present embodiment will be described. First, assuming that the emergency stop switches 13, 23, 33, 43 of each device are not turned on and the doors are closed, the emergency stop switches 13, 23, 33, 43 and the door switches 14, 24 are assumed. , 34 and 44 are on. To start the operation, the user turns on the key switch 51 and instructs the power management controller 52 to supply power. At this time, the emergency stop unit 52a and the door interlock unit 52b of the power management controller 52 instruct to supply power to each unit. That is, in this case, the relays X1 to X3 are energized, and power is supplied to the two circuits 12a and 12b of the control circuit unit 12 via the contacts of the relays X1 to X3.

そしてシステムコントローラ５３と各装置１０，２０，３０，４０の制御回路部１２，２２，３２，４２との相互の通信によりラインシステムが順次必要な動作を行い、ラインシステムが稼働する。   Then, the line system sequentially performs necessary operations by mutual communication between the system controller 53 and the control circuit units 12, 22, 32, 42 of the devices 10, 20, 30, 40, and the line system operates.

さていずれか１つの装置、例えばスクライブ装置２０のドアが開放されると、ドアスイッチ２４がオフとなる。これによって電源管理コントローラ５２のドアインターロックユニット５２ｂに信号が伝えられ、ドアインターロックユニット５２ｂからの各装置の電源管理部１１，２１，３１，４１のリレーＸ３への通電が停止され、接点が開放する。従って各装置１０，２０，３０，４０では回路１２ｂへの電源供給が停止されることとなる。この場合には回路１２ａにはそのまま電源が供給されているため、各装置のセンサ等はそのまま動作状態となっている。   When the door of any one of the devices, for example, the scribe device 20 is opened, the door switch 24 is turned off. As a result, a signal is transmitted to the door interlock unit 52b of the power management controller 52, the power supply to the relay X3 of the power management units 11, 21, 31, and 41 of each device from the door interlock unit 52b is stopped, and the contacts are closed. Open. Therefore, in each of the devices 10, 20, 30, and 40, the power supply to the circuit 12b is stopped. In this case, since the power is supplied to the circuit 12a as it is, the sensors and the like of each device are in the operating state.

又ラインシステム１が稼働状態でいずれか１つの非常停止スイッチ、例えばローダ装置１０の非常停止スイッチ１３が何らかの異常を発見したユーザにより投入されると、非常停止スイッチ１３はオフとなる。このため電源管理コントローラ５２は各装置１０，２０，３０，４０の電源管理部１１，２１，３１，４１のリレーＸ１，Ｘ２の動作を停止する。従って電源ＡＣ２００Ｖから各装置の回路１２ａ，１２ｂのいずれにも電源が供給されなくなり、動作を停止する。このような動作停止は全ての装置１０，２０，３０，４０の全てで同時に起こることとなる。   Further, when any one of the emergency stop switches, for example, the emergency stop switch 13 of the loader device 10 is turned on by the user who discovers some abnormality while the line system 1 is operating, the emergency stop switch 13 is turned off. Therefore, the power management controller 52 stops the operation of the relays X1 and X2 of the power management units 11, 21, 31, and 41 of the devices 10, 20, 30, and 40. Therefore, power is not supplied from the power supply 200V to any of the circuits 12a and 12b of each device, and the operation stops. Such an operation stop occurs simultaneously in all the devices 10, 20, 30, and 40.

このように本実施の形態ではキースイッチや電源管理コントローラを各装置から切り離し、共通した装置として用いているため、システム全体の回路構成を簡略化することができる。   As described above, in the present embodiment, the key switch and the power management controller are separated from each device and used as a common device, so that the circuit configuration of the entire system can be simplified.

尚この実施の形態では各ドアスイッチや非常停止スイッチを直列的に接続し、いずれかのドアが開放されドアスイッチがオフとなった場合、又はいずれかの非常停止スイッチが投入された場合に電源管理コントローラ５２より電源管理部に信号を供給して電源の供給を停止するようにしているが、これらのスイッチは必ずしも直列的に接続する必要はない。例えばいずれかの装置のドアが開いてドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するようにしてもよい。   In this embodiment, each door switch and emergency stop switch are connected in series, and power is supplied when any door is opened and the door switch is turned off, or when any emergency stop switch is turned on. Although a signal is supplied from the management controller 52 to the power management unit to stop the supply of power, these switches need not necessarily be connected in series. For example, when the door of any device is opened and the door switch is turned off, the power of only that device may be cut off.

又本実施の形態では各装置に夫々非常停止スイッチを設けるようにしているが、装置自体が小型であり、装置間の間隔が小さい場合には、複数の装置に１つの非常停止スイッチを設け、それらの装置のいすれかに異常状態があっても非常停止スイッチを投入するようにしてもよい。   In the present embodiment, each device is provided with an emergency stop switch. However, when the devices themselves are small and the interval between the devices is small, one emergency stop switch is provided for a plurality of devices. An emergency stop switch may be turned on even if any of these devices has an abnormal state.

本発明はシステム全体の表示を行うことができるため、複数の装置が連結して構成されているラインシステムの電源制御に有効に利用することができる。   Since the present invention can display the entire system, it can be effectively used for power supply control of a line system configured by connecting a plurality of devices.

１ ラインシステム
１０，２０，３０，４０ 装置
１１，２１，３１，４１ 電源管理部
１２，２２，３２，４２ 制御回路部
１２ａ，１２ｂ 回路
１３，２３，３３，４３ 非常停止スイッチ
１４，２４，３４，４４ ドアスイッチ
５１ キースイッチ
５２ 電源管理コントローラ
５３ システムコントローラ 1 line system 10, 20, 30, 40 device 11, 21, 31, 41 power management unit 12, 22, 32, 42 control circuit unit 12a, 12b circuit 13, 23, 33, 43 emergency stop switch 14, 24, 34 , 44 Door switch 51 Key switch 52 Power management controller 53 System controller

Claims (1)

複数の装置と、
全体の電源を開閉する電源スイッチと、
前記電源スイッチに接続され、前記各装置の電源を制御する電源管理コントローラと、を具備するラインシステムであって、
前記各装置は、
内部機器の電源を制御する電源管理部と、
前記電源管理部から供給される電源によって動作する制御回路部と、
夫々各装置に設けられドアの開放時にオフとなるドアスイッチと、
前記ラインシステムの少なくとも１つの装置に設けられた非常停止スイッチと、を有し、
前記電源管理コントローラは、前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチに接続されており、前記電源スイッチの投入によって前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチの出力に応じて前記各装置の電源管理部を介して電源を制御するものであり、夫々の非常停止スイッチは直列接続され、いずれかの装置のドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するようにしたラインシステム。 Multiple devices,
A power switch that opens and closes the entire power supply,
A power management controller that is connected to the power switch and controls a power supply of each of the devices; and
Each of the above devices,
A power management unit that controls the power of internal devices;
A control circuit unit that operates with power supplied from the power management unit;
A door switch provided in each device and turned off when the door is opened,
An emergency stop switch provided on at least one device of the line system,
Before SL power management controller, the is connected to a door switch and an emergency stop switch of each device, the power of the respective devices in accordance with the output of the door switch and an emergency stop switch of each device after the input of the power switch all SANYO for controlling the power via the management unit, emergency stop switches each are connected in series, so when the door switch of any device is turned off, you cut off the power supply of the device only line system that was.
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