JP6665923B2 - 有機ｅｌディスプレイパネルの製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット装置による有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法に関するもので、複数のインクジェットヘッドのノズルから塗布される体積調整方法に関する。

近年、インクジェット技術を用いて電子デバイスを製造する方法が注目を集めている。

インクジェット技術による製造は、蒸着技術などに比べ設備構成がシンプルで安価な製造が可能である。また、インクジェット技術は直接パターニング技術であるため蒸着技術におけるマスクが不要で大型化が可能である。例えば、表示電子デバイスにおいては大画面への市場要求が高まり、インクジェット塗布による電子デバイス製造技術への期待は高まっている。

以下、インクジェット技術によるパターニング方法について図５を用いて説明する。

図５は、インクジェット装置の平面図である。インクジェットヘッド２０と基板１０がある。インクジェットヘッド２０のノズル２１から、有機機能材料を含むインクの液滴を、基板１０上のバンク１１で囲まれた発色領域１２に塗布して、有機機能層を形成する方法がある（例えば、特許文献１参照）。インクジェットヘッド２０は、基板１０上を矢印の方向へ相対移動しながら、インクを発色領域１２へ塗布する。

有機機能材料を含むインクは、ディスプレイ基板に配置された発色領域１２に塗布される。
ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に並んだ領域を意味する。すなわちディスプレイ基板では、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が特定の方向に沿って互いに平行に配置されている。

ディスプレイ基板に、有機機能層を、インクジェット装置で形成しようとする場合には、以下のプロセスとなる。

（１）インクジェット装置のインクジェットヘッド２０を、基板１０上のバンク１１で規定された発色領域１２の長軸に対して図中の上部（または下部）に配置する。この時、好ましくは、発色領域１２の長軸と、ノズル２１の配列方向とが垂直になるように配置する。

（２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させる。

（３）発色領域１２に、ノズル２１から液滴を塗布して、有機機能層を形成する。

このようにインクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させる方法を、以下「縦塗り」という。

しかし、上述したように、インクジェットヘッド２０が有するノズル２１から塗布される液滴の大きさには、ノズル２１ごとにばらつきがあることから、基板１０を縦塗りした場合、発色領域１２間で塗布されるインクの量にばらつきが生じる。

特にばらつく場合を図６の平面図で説明する。図６は、図５に相当する図である。インクジェットヘッド２０がインクを塗布しないノズル２１ａを有する場合、発色領域１２ａに塗布されるインクの量は、発色領域１２ｂに塗布されるインクの量よりも少なくなる。この発色領域１２ａ、１２ｂ間におけるインクの量のばらつきは、発色領域１２ａ、１２ｂ間における有機機能層の膜厚のばらつきにつながる。さらに、発色領域１２ａ、１２ｂ間における有機機能層の膜厚のばらつきは、発色領域１２ａ、１２ｂ間における輝度のムラにつながり、有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、いわゆる「スジムラ」の原因となる。

「スジムラ」の問題を解決させるための方法として、図７に記載された方法がある。図７は、図４、５に相当する平面図である。図７のインクジェットヘッド２０には、塗布しないノズル２１ａと、より多くのインクを塗布するノズル２１ｂとがある。

塗布のプロセスは以下である。

（１）複数のノズル２１を有するインクジェットヘッド２０を、基板１０の発色領域の長軸に対する側部に配置する。

（２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して垂直に相対移動させる。

（３）発色領域１２に、ノズル２１から有機機能材料の液滴を塗布して、有機機能層を形成する。

このようにインクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して垂直に相対移動させる方法を、以下「横塗り」という。横塗りでは、発色領域１２には、図６の縦塗りの場合より、より多くのノズル２１から塗布されたインクが塗布される。

このように横塗り方式で塗布することにより、１つのセル（発色領域１２）内により多くのノズル２１で液滴を塗布することが可能となる。より多くのノズル２１で液滴を塗布することにより、セル内の液滴の体積変動ばらつきが緩和される。

塗布しないノズル２１ａと、より多くのインクを塗布するノズル２１ｂがあっても、９つのノズルに対して１つ分のばらつきがでるのみである。なお、ノズルは、初期に塗布量が調整させており、近傍のノズルで、詰まる、多く塗布することは、皆無である。

図６の「縦塗り」、図７の「横塗り」のいずれの場合でも、セル内に打たれた液滴量を均一化するためにインクジェットヘッド２０のノズル２１から塗布される液滴量を、事前に調整する方法がとられてきている。例えば、特許文献２では、描画のために駆動する選択したノズル群と駆動しない非選択ノズル群とに切り替えノズル郡のノズル２１の塗布量のばらつきをノズル群の各々のノズル２１の塗布量データに基づきノズル毎に塗布量の調整を行うことにより、カラーフィルターを形成していた。

一方、有機ＥＬパネルにおいて、塗布する基板サイズは、年々大きくなっていき、ガラスサイズは以下のようになっている。Ｇ１ガラス基板（４００ｍｍ×３００ｍｍ）、Ｇ２ガラス基板（４７０ｍｍ×３７０ｍｍ）、Ｇ３ガラス基板（６５０ｍｍ×５５０ｍｍ）、Ｇ４ガラス基板（８８０ｍｍ×６８０ｍｍ）、Ｇ５ガラス基板（１３００ｍｍ×１１００ｍｍ）、Ｇ６ガラス基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）、Ｇ７．５ガラス基板（２２５０ｍｍ×１９５０ｍｍ）、Ｇ８ガラス基板（２５００ｍｍ×２２００ｍｍ）、Ｇ１０ガラス基板（２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍ）である。

有機ＥＬパネルは、大きな１つのガラス基板に複数のＥＬパネルを形成し、その後、有機ＥＬ素子を各々分離して形成する。

例えば、図８に示した平面配置をする。基板３２上に、６５インチパネル３３が３枚、５５インチパネル３４が２枚、配置した構成となる。このように配置することにより、基板３２上に無駄なく、パネルを配置することができる。インクジェットヘッド３６により、方向３５の方向に相対移動させ、インクを６５インチパネル３３が３枚、５５インチパネル３４が２枚に同時に塗布する。

ここで、インクジェットヘッド３６で塗布を行う場合、方向３５で塗布するということは、縦塗りと横塗りを混在して塗布しなければならないということになる。
横塗りに関しては、図７で示したように、インクジェットヘッド２０のノズル２１から出てきた液滴体積がばらついても、セル内に落とすことができるノズル２１の数が多いため、平均化効果により、膜厚が均一になる。

しかし、図６に示したように、縦塗りに関しては、ノズル２１の数が少ないために、液滴を塗布してから乾燥後に膜厚が均一になりにくい。

特開２００４−３６２８１８号公報 特許第２９６７０５２号公報

上記のように、パネルサイズが大きくなり、ガラス基板上に縦塗りパネルと横塗りパネルが存在する場合に、各ノズルから塗布される体積を同じように調整しても、縦塗りパネルのセルと横塗りパネルのセルにおいて体積の調整精度が異なるという課題を有している。

本発明の目的は、横塗りよりも、ばらつきやすい縦塗り時でも、一様な有機機能層を有する有機ＥＬパネル及びその製造方法を提供することである。

上記課題を解決するため、インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ、上記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドを用いて、上記第１パネルにインクを塗布する方法であって、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定工程と、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、上記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算工程と、上記第１セルへ塗布する複数の上記第１ノズルのうち、１つの上記第１ノズルにおいて、上記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整工程と、を含み、上記第１計算工程の前に、上記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法を用いる。

また、インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ保持する保持部と、上記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定部と、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、上記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、上記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整し、その後、上記第１セルへ塗布する複数の上記第１ノズルのうち、１つの上記第１ノズルにおいて、上記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造装置を用いる。

本発明は、縦塗り時でも均一に塗布ができるような液滴の体積調整方法である。つまり、初めにノズルからの液滴塗布量をある一定の範囲で調整を行う。次にセル内のセル内のあるノズルでセル全体の体積をある一定量に調整することにより、縦塗り時でもセル内の体積量を一定にすることが可能となる。このように、縦塗り時を塗布するノズル数が少なくなっても体積を一定に調整することが可能となる。

実施の形態のインクジェット装置における複数種類のパネルを示す平面図 インクジェットの縦塗り法と横塗り法でのセル内の液滴を示す平面図 実施の形態の縦塗り時の体積調整フローを示す図 実施の形態の縦塗り時に不塗布が発生したときの平面図 従来のインクジェット装置の平面図 従来のインクジェット装置による縦塗りを示す平面図 従来のインクジェット装置による横塗りを示す平面図 従来のインクジェット装置にける複数種類のパネルを示す平面図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、インクジェットヘッド３６で塗布を行う場合の平面配置図である。１つのインクジェットヘッド３６に、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗り部を塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とが別々に存在させる。このようにすることで、別々に各ノズル群からの体積を別々に調整することができるためである。

＜「縦塗り」と「横塗り」との問題点＞
以下、「縦塗り」と「横塗り」方式で同じようにインクジェットヘッドから塗布された液滴の体積を同じように調整した場合に、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきが異なる理由について詳細に説明する。

図２は、インクジェットヘッド３６とセル４３、セル４４との関係を示す平面図である。図１における６５インチパネル３３のセル、１つと、５５インチパネル３４のセル、１つとを、拡大したものである。６５インチパネル３３のセル４３に、ある一定間隔のノズルピッチを持つインクジェットヘッド３６で塗布する場合、ノズル５５、５６、５７，５８により、それぞれ、液滴４５、液滴４６、液滴４７、液滴４８が塗布される。

それぞれのセル内の体積ばらつきを計算する。

（１）セル４３の場合
セル４３で異なるノズル４個で塗布する場合、全体の塗布ばらつきの標準偏差をσ_ｍｅａｎ、異なるノズル４個の塗布ばらつきの標準偏差をσ_１、σ_２、σ_３、σ_４とする。
σ_１ ^２＋σ_２ ^２＋σ_３ ^２＋σ_４ ^２＝σ_ｍｅａｎ ^２・・・（数１）
（数１）において、各ノズルの塗布ばらつきが等しいと仮定すると、
σ_１＝σ_２＝σ_３＝σ_４・・・（数２）
となり、
４σ_１ ^２＝σ_ｍｅａｎ ^２・・・（数３）
ここで、標準偏差の平均値のばらつきをｎ％（ただし、ｎは１０以下）とおくと、各ノズル部でのばらつきは
σ_１ ^２＝σ_ｍｅａｎ ^２／４・・・（数４）
σ_１＝σ_ｍｅａｎ／２・・・（数５）
となり、σ_１＝ｎ／２となり、例えばｎ＝３％とすると、σ_１＝１．５％となる。

（２）セル４４の場合
同様にして、セル４４の場合、異なる７個のノズルで塗布すると、
σ_１ ^２＋σ_２ ^２＋σ_３ ^２＋σ_４ ^２＋σ_５ ^２＋σ_６ ^２＋σ_７ ^２＝σ_ｍｅａｎ ^２・・・（数６）
となり、σ_１＝ｎ／√７となり、例えばｎ＝３％とすると、σ_１＝１．１％となる。つまり、ノズルの体積を同程度に調整しても、ノズル数が多い方法で塗布する方がばらつきを抑制することが可能となる。

このため、ノズルからのインク塗布量が変化した場合、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきのレベルが異なる。ノズル数が少ない、セル４３の場合、ばらつきが大きくなってしまい。輝度ムラとなる可能性がある。
＜実施例＞
そこで、実施の形態では、「縦塗り」と「横塗り」とを同時にする場合でも、ばらつきを抑える方法を以下に示す。ここで、インクジェットヘッド３６は、図１に示すような構成にする。つまり、インクジェットヘッド３６は、パネルの長手方向から、縦塗り塗布する縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、パネルの短手方向から、横塗り塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とが異なっている構成とする。

このようにインクジェットヘッド３６を、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗りインクジェットヘッドノズル群３８と、に分けることにより、それぞれのノズルの体積を別々の方法で調整することが可能となる。

インクジェットヘッド３６のノズルからの体積を調整する場合、塗布に関わる部分の電圧を変化させることにより、インクジェットヘッド３６の各ノズルから塗布される体積を調整することが可能である。

インクジェットヘッド３６での体積ばらつきの再現性は、ある値以下になる。ここで、横塗りのｎ個ノズルにより横塗りすることを考える。つまり、目標とするｋ番目のノズルから塗布される液滴の体積（塗布再現性の体積）をＶ_ｋ、塗布再現性により変化する体積量ΔＶ_ｋとすると、調整後の液滴の測定された体積Ｖ（ｋ）は、Ｖ_ｋとΔＶ_ｋの和で表すことができる。ここで、ΔＶ_ｋ＜Ｖ_ｋであるとする。
Ｖ（ｋ）＝ΔＶ_ｋ＋Ｖ_ｋ・・・（数７）
ｎ個のノズルで塗布した液滴の体積Ｖ_{ｔｏｔａｌ}は、
Ｖ_{ｔｏｔａｌ}＝Ｖ（１）＋Ｖ（２）＋・＋Ｖ（ｋ）＋・＋Ｖ（ｎ）
＝（ΔＶ_０＋ΔＶ_１＋・＋ΔＶ_ｋ＋・＋ΔＶ_ｍ）＋（Ｖ_１＋Ｖ_２＋Ｖ_３＋・＋Ｖ_ｋ＋・・＋Ｖ_ｎ）・・・（数８）
となる。セル内の体積を考えた場合、多くのノズルで体積を調整することにより、セル全体のばらつきは低減できる。

ところが、セル内に入る全体の体積を考えた場合、各ノズルの再現性による誤差（ΔＶ_０＋ΔＶ_１＋・＋ΔＶ_ｋ＋・＋ΔＶ_ｋ）が発生し、（Ｖ_１＋Ｖ_２＋Ｖ_３＋・＋Ｖ_ｋ＋・・＋Ｖ_ｎ）の総和分セル内の体積が変化してしまう。

そこで、縦塗り方式では、横塗りのｎ個より少ないノズルの数がｍ個で塗布することになる。ｍ個のノズルで塗布した場合の体積は、
Ｖ_{ｔｏｔａｌ}＝Ｖ（１）＋Ｖ（２）＋・＋Ｖ（ｋ）＋・＋Ｖ（ｍ）
＝（ΔＶ_０＋ΔＶ_１＋・＋ΔＶ_ｋ＋・＋ΔＶ_ｍ）＋（Ｖ_１＋Ｖ_２＋Ｖ_３＋・＋Ｖ_ｋ＋・・＋Ｖ_ｍ）・・・（数９）
と書き表すことができる。ｍ個がｎ個より少ないため、１つのばらつきが全体に及ぼす影響は横塗りより大きい。

そこで、一旦、各ノズルからの塗布体積を調整した後、各セル内において、セル内へ塗布するある１つのノズルにて、更に体積を調整する。

ところが、決められたセルの目標体積を一定としたときに任意のある１つのノズルでその体積量を調整することは、そのあるノズルにより、体積調整量を大きく変化させることができることになり、体積変化量を大きく変化することは容易である。

そこで、目標体積に対して、同じセル内へ塗布するある１つのノズルでのみで体積調整する。目標のセル体積をＶ_{ｔａｒｇｅｔ}、セル内に入る体積をＶ_{ｔｏｔａｌ}、その差をΔＶ_ｃｅｌｌとすると、
ΔＶ_ｃｅｌｌ＝Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}―Ｖ_{ｔｏｔａｌ} （数１０）
となる。このΔＶ_ｃｅｌｌを調整するために、ある１つのノズルであるｋ番目のノズル体積Ｖ（ｋ）は、ｋ番目ノズルの再現性をΔＶ_ｋ、調整した体積Ｖｋとする、実際のノズル体積Ｖ（ｋ）’にΔＶ_ｃｅｌｌを加えた値で全体のセル内の体積をある目標値に近づける制御を行う。

つまり、ｋ番目ノズルに調整分のインク量がでるようにする。
Ｖ（ｋ）’＝（ΔＶ_ｋ＋Ｖ_ｋ）＋ΔＶ_ｃｅｌｌ・・・（数１１）
このように制御することにより、
Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}≒Ｖ_{ｔｏｔａｌ}・・・（数１２）
となり、縦塗りであってもセル全体の体積を調整することにより、体積調整精度を向上することが可能となる。

＜全体プロセス＞
以下に全体のプロセスを説明する。縦塗りのノズルで以下調整をする。体積調整のステップを図３に示す。

（１）まず、セルへ塗布すべき塗布条件を決める（条件設定工程）。

（２）次に、セルへの目的の塗布量とそのセルへの実際の塗布量との差を計算する（計算工程）。

（３）そのセルへ塗布するノズルのうち１つのノズルで、上記差がなくなるように塗布量を増減させる（調整工程）。
（１）では、１つのセルにどのノズルで塗布するが決定する。
（２）では、そのセルに必要な塗布量と、（１）で決定したノズルによって塗布した場合の塗布量との差を求める。
（３）では、その差が無くなるように、１つのノズルの塗布量を決定する。

つまり、セル内においてそのセルへ塗布するある１つノズルで体積が一定になるように体積調整を行う。

ここでは、体積調整は、ある１つのノズルで体積調整を行うとしたが、体積を増やす場合は、中央付近のノズルで制御を行い。体積を減らす場合には、端部付近のノズルで行うことが好ましい。これは、中央付近に大液滴を塗布した方がセル内で同一液滴形状になり易く、乾燥むらを抑制することができるためである。

ここで中央付近のノズルとは、そのセルへ塗布するノズルの内、セル中央位置から、セルの端までの半分のところの領域までを、塗布するノズルである。セルの中央に位置し、セルの半分の領域を塗布ノズルである。

一方、端部のノズルとは、上記中央付近以外に位置し、セルの端部を塗布するノズルである。

また、（２）の前に、各ノズルの塗布量が均質となるように調整してもよい。または、調整せず、以前の各ノズルの塗布量を用いて計算してもよい。または、塗布を実施して、各ノズルからの塗布量を求めて、その値を用いてもよい。

図２のセル４３では、縦塗りインクジェットヘッドでは、セル４３に対して、４ノズルでセルを塗布しており、液滴４５、液滴４６、液滴４７、液滴４８で塗布されている。一方、横塗りの場合も同様に横塗りインクジェットヘッド群により、セル４４に複数の液滴で塗布されている。セル４３で縦塗りすることを考えると、数１３となる。
Ｖ_{ｔｏｔａｌ}＝（ΔＶ_１＋ΔＶ_２＋ΔＶ_３＋ΔＶ_４）＋（Ｖ_１＋Ｖ_２＋Ｖ_３＋Ｖ_４）・・・（数１３）
従って、セル内の目標体積と実際の体積差は、数１４となる。
ΔＶ_ｃｅｌｌ＝Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}―Ｖ_{ｔｏｔａｌ}・・・（数１４）
このΔＶ_ｃｅｌｌの値が負の値の場合は、Ｖｔｏｔａｌの値を増やす必要があり、液滴量を増やす場合には中央付近のノズルで体積を増加させる。つまり、液滴４６または液滴４７を増やす。

また、ΔＶ_ｃｅｌｌが正の値の場合には、両端付近のノズルで体積を減らす。つまり、液滴４５、または、液滴４８を減らす。

このようにする理由は、セル中央に塗布されるインクはセル全体へ広がりやすいので、多くしてもよい。セル端部へ塗布される液滴は、セル全体へ広がりにくいので、少なめにするためである。

この例は代表１ノズルで体積の調整を行ったが、複数のセル内のあるノズルで体積調整を行ってもよい。つまり、中央液滴の増加、両端の液滴の減少の両者を組み合わせてもよい。

結果、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とを含むインクジェットヘッドにて、同時に複数の種類のパネルに塗布できる。

特に、複数種類のセルが同じ基板３２上にあり、同時に塗布する時には、上記のように、ある１つノズルで調整するのが、有効である。なぜなら、塗布条件が大きく異なるものがあるため、全体として、塗布量を合わせるには困難である。

また、この調整方法を、横塗りに対しても同様に実施してもよい。しかし、簡素化するため、横塗りに対しては、この調整をしないのが好ましい。この場合、横塗りでは、上記（１）のセルへ塗布すべき塗布条件を決定するのみで、他の上記（２）、（３）は実施しない。

横塗りに対して、この調整を実施しない場合、調整の基準が１つのインクジェットヘッド内で変わることとなり複雑となる。しかし、調整の簡素化ができる。
（実施の形態２）
実施の形態２は、実施の形態１に対して、ノズルの調整のやり方が異なる。この実施の形態では、ノズルの塗布量を変えるのでなく、塗布回数を複数回行う。その他、説明しない事項は、実施の形態１と同じである。

実施の形態２の方法を説明する。図４は、図１の６５インチパネル３３の１つのセルを拡大したセル５０と、インクジェットヘッド３６との平面配置図である。

セル５０内に、ノズル５５，５６，５７，５８から塗布された、それぞれの液滴５１，５５２，５３，５４を示めしている。しかし、液滴５３は塗布されていないことを表し、液滴５３を塗布するためのノズル５７が不塗布になった場合である。

ノズルが不塗布になっていない場合のセル５０内の体積は、上記の数８のようになる。ここで、今３番目のノズル５７が不塗布になっているときは、中央付近にあるセル内のあるノズルで体積調整を行うことが望ましい。このときセル内の体積Ｖ_{ｔｏｔａｌ}’は下記のように表すことができる。
Ｖ_{ｔｏｔａｌ}’＝（ΔＶ_１＋ΔＶ_２＋ΔＶ_３＋ΔＶ_４）＋（Ｖ_１＋Ｖ_２＋Ｖ_３＋Ｖ_４）・・・（数１５）
Ｖ_{ｔｏｔａｌ}’＝Ｖ_{ｔｏｔａｌ}−ΔＶ_３−Ｖ_３・・・（数１６）
と表すことができる。一方、セルの体積の目標値Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}と実際のセルの体積Ｖ_{ｔｏｔａｌ}’の差ΔＶ_ｃｅｌｌ’は、以下となる。
ΔＶ_ｃｅｌｌ’＝Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}−Ｖ_{ｔｏｔａｌ}’・・・（数１７）
数式１７に、数式１６を代入する。
ΔＶ_ｃｅｌｌ’＝Ｖ_{ｔａｒｇｅｔ}−（Ｖ_{ｔｏｔａｌ}−ΔＶ_３−Ｖ_３）＝ΔＶ_ｃｅｌｌ＋ΔＶ_４＋Ｖ_４・・・（数１８）
ここで、ΔＶ_３は再現性の誤差である。３番目のノズル５７が不塗布になった場合は、
２番目のノズルを２回打ち、２回打ちしたノズルで体積調整Ｖ_２’を行うことにより、セル内の体積を目標体積に近づけることが可能となる。この実施の形態では、塗布量を調整せず、回数で塗布量を調整する。結果、数式１８より、以下となる。
Ｖ_２’＝Ｖ（２）＋（ΔＶ_ｃｅｌｌ＋Ｖ_３）／２・・・（数１９）
図４に示したように、セル５０に、液滴５１、液滴５２、液滴５４が塗布されており、液滴５３のノズル５７が不塗布となった場合、ノズル５６で２回打ちを行う。

また、液滴５２のノズル５６は２回打ちを行うため、目標体積については（Ｖ_２＋ΔＶ／２）として調整を行う。ここでは、ΔＶ＞０と想定した。

１回の塗布量を増やすより、塗布回数を増やした方が、精度よく量が調整できる。印加電圧と塗布量との比例関係がばらつくためである。

＜なお書き＞
実施の形態では、図１に示したように、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、
横塗りインクジェットヘッドノズル群３８と、により、それぞれ別の種類のパネルへインクを塗布する。しかし、上記と同様の方法で、同じ種類のパネルへ塗布してもよい。

実施の形態１，２は、組み合わせができる。

また、上記方法を以下のインク塗布装置に用いることができる。一方向に沿う第１パネルと、第１パネルと異なり、他方向に沿う第２パネルとを有する１枚のガラス基板を保持する保持部と、第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルと、第２パネルの１つの第２セルへ塗布する複数の第２ノズルと、を含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、第１セルへの前記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定部と、第１セルへの複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、１セルへ塗布する複数の第１ノズルのうち、１つの第１ノズルにおいて、差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含むインク塗布装置である。

上記実施の形態は、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法、製造装置を前提に記載した。しかし、他のデバイスでも同様に使用される。

有機ＥＬディスプレイ以外に、ディスプレイ一般に使用できる。さらに、ディスプレイに限らず、インクジェットを用いて、セルへインクを塗布するものに使用できる。

１０ 基板
１１ バンク
１２ 発色領域
１２ａ 発色領域
１２ｂ 発色領域
２０ インクジェットヘッド
２１ ノズル
２１ａ、２１ｂ ノズル
３２ 基板
３３ ６５インチパネル
３４ ５５インチパネル
３５ 方向
３６ インクジェットヘッド
３７ 縦塗りインクジェットヘッドノズル群
３８ 横塗りインクジェットヘッドノズル群
４３ セル
４４ セル
４５ 液滴
４６ 液滴
４７ 液滴
４８ 液滴
５０ セル
５１，５２，５３，５４ 液滴
５５、５６、５７、５８ ノズル

Claims (5)

1. インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ、前記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドを用いて、前記第１パネルにインクを塗布する方法であって、
   前記複数の第１ノズルのうち、前記第１セルへ塗布するための複数の前記第１ノズルを決める第１条件設定工程と、
   前記第１セルへ塗布するための前記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、前記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算工程と、
   前記第１セルへ塗布する複数の前記第１ノズルのうち、１つの前記第１ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整工程と、
   を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であり、
   前記第１計算工程の前に、前記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
2. 塗布量を増減させる前記第１調整工程では、
   １つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルの内、前記第１セルの端部部分へインクを塗布する前記第１ノズルのインク塗布量を減らす、または、
   １つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルの内、前記第１セルの中央部分へインクを塗布する前記第１ノズルの前記インク塗布量を増やす、
   請求項１記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
3. 前記第１セルの中央部分とは、前記第１セルの中央位置から、前記第１セルの端までの半分の領域であり、
   前記第１セルの端部部分とは、前記第１セルのうち、前記第１セルの中央部分以外である請求項２記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
4. 塗布量を調整する前記第１調整工程では、
   １つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルのインク塗布回数を増やす請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
5. インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ保持する保持部と、
   前記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、
   前記複数の第１ノズルのうち、前記第１セルへ塗布するための複数の前記第１ノズルを決定する第１条件設定部と、
   前記第１セルへ塗布するための前記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、前記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、
   前記第１セルへ塗布するための複数の前記第１ノズルのうち、１つの前記第１ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造装置であり、
   前記第１条件設定部は、前記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整し、その後、前記複数の第１ノズルのうち、前記第１セルへ塗布するための前記第１ノズルを決定する有機ＥＬディスプレイパネルの製造装置。

Images