JP6656481B2 - Plasma processing apparatus and method - Google Patents
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Description
本発明は、プラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to a plasma processing apparatus.
2つの電極の間に高周波を印加することによってプラズマを発生し該プラズマによって基板を処理するプラズマ処理装置がある。このようなプラズマ処理装置は、2つの電極の面積比および/またはバイアスによってスパッタリング装置として動作したり、エッチング装置として動作したりしうる。スパッタリング装置として構成されたプラズマ処理装置は、ターゲットを保持する第1電極と、基板を保持する第2電極とを有し、第1電極と第2電極との間に高周波が印加され、第1電極と第2電極との間(ターゲットと基板との間)にプラズマが生成される。プラズマの生成によってターゲットの表面にセルフバイアス電圧が発生し、これによってターゲットにイオンが衝突し、ターゲットからそれを構成する材料の粒子が放出される。 There is a plasma processing apparatus that generates plasma by applying a high frequency between two electrodes and processes a substrate with the plasma. Such a plasma processing apparatus can operate as a sputtering apparatus or operate as an etching apparatus depending on the area ratio and / or bias of two electrodes. A plasma processing apparatus configured as a sputtering apparatus has a first electrode that holds a target and a second electrode that holds a substrate, and a high frequency is applied between the first electrode and the second electrode. Plasma is generated between the electrode and the second electrode (between the target and the substrate). The generation of the plasma generates a self-bias voltage on the surface of the target, which causes ions to bombard the target and emit particles of the constituent material from the target.
特許文献1には、接地されたチャンバと、インピーダンス整合回路網を介してRF発生源に接続されたターゲット電極と、基板電極同調回路を介して接地された基板保持電極とを有するスパッタリング装置が記載されている。
特許文献1に記載されたようなスパッタリング装置では、基板保持電極の他、チャンバがアノードとして機能しうる。セルフバイアス電圧は、カソードとして機能しうる部分の状態およびアノードとして機能しうる部分の状態に依存しうる。よって、基板保持電極の他にチャンバもアノードとして機能する場合、セルバイアス電圧は、チャンバのうちアノードとして機能する部分の状態にも依存して変化しうる。セルフバイアス電圧の変化は、プラズマ電位の変化をもたらし、プラズマ電位の変化は、形成される膜の特性に影響を与えうる。
In the sputtering apparatus described in
スパッタリング装置によって基板に膜を形成すると、チャンバの内面にも膜が形成されうる。これによってチャンバのうちアノードとして機能しうる部分の状態が変化しうる。そのため、スパッタリング装置を継続して使用すると、チャンバの内面に形成される膜によってセルフバイアス電圧が変化し、プラズマ電位も変化しうる。よって、従来は、スパッタリング装置を長期にわたって使用した場合において、基板の上に形成される膜の特性を一定に維持することが難しかった。 When a film is formed on a substrate by a sputtering apparatus, a film may be formed on the inner surface of the chamber. This can change the state of a portion of the chamber that can function as an anode. Therefore, if the sputtering apparatus is continuously used, the self-bias voltage changes depending on the film formed on the inner surface of the chamber, and the plasma potential may change. Therefore, conventionally, when a sputtering apparatus has been used for a long period of time, it has been difficult to keep the characteristics of a film formed on a substrate constant.
同様に、エッチング装置が長期にわたって使用された場合においても、チャンバの内面に形成される膜によってセルフバイアス電圧が変化し、これによってプラズマ電位も変化しうるので、基板のエッチング特性を一定に維持することが難しかった。 Similarly, even when the etching apparatus is used for a long period of time, the film formed on the inner surface of the chamber changes the self-bias voltage, which may change the plasma potential, so that the etching characteristics of the substrate are kept constant. It was difficult.
本発明は、上記の課題認識に基づいてなされたものであり、長期間の使用においてプラズマ電位を安定させるために有利な技術を提供する
本発明の第1の側面は、プラズマ処理装置に係り、前記プラズマ処理装置は、第1不平衡端子、第2不平衡端子、第1平衡端子および第2平衡端子を有するバランと、接地された真空容器と、前記第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、前記第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、前記第1電極に印加される第1電圧と前記第2電極に印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスと、前記第1不平衡端子と前記第2不平衡端子との間に供給される高周波を発生する高周波電源と、を備え、前記高周波電源は、前記高周波の周波数を変更可能であり、前記周波数の変更によって前記関係が調整される。
本発明の第2の側面は、プラズマ処理方法に係り、前記プラズマ処理方法は、第1不平衡端子、第2不平衡端子、第1平衡端子および第2平衡端子を有するバランと、接地された真空容器と、前記第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、前記第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、前記第1電極に印加される第1電圧と前記第2電極に印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスと、前記第1不平衡端子と前記第2不平衡端子との間に供給される高周波を発生する高周波電源と、を備えるプラズマ処理装置において基板を処理するプラズマ処理方法であって、前記関係が調整されるように前記高周波電源が発生する周波数を調整する工程と、前記工程の後に、前記基板を処理する工程とを含む。The present invention has been made based on the recognition of the above problems, and provides an advantageous technique for stabilizing a plasma potential in long-term use. A first aspect of the present invention relates to a plasma processing apparatus, The plasma processing apparatus is electrically connected to a balun having a first unbalanced terminal, a second unbalanced terminal, a first balanced terminal and a second balanced terminal, a grounded vacuum vessel, and the first balanced terminal. A first electrode, a second electrode electrically connected to the second balanced terminal, and a relationship between a first voltage applied to the first electrode and a second voltage applied to the second electrode. A high-frequency power supply that generates a high frequency supplied between the first unbalanced terminal and the second unbalanced terminal, the high-frequency power supply being capable of changing the frequency of the high-frequency power And the change of the frequency Thus, the relationship is adjusted.
A second aspect of the present invention relates to a plasma processing method, wherein the plasma processing method is configured such that a balun having a first unbalanced terminal, a second unbalanced terminal, a first balanced terminal, and a second balanced terminal is grounded. A vacuum vessel, a first electrode electrically connected to the first balanced terminal, a second electrode electrically connected to the second balanced terminal, and a first voltage applied to the first electrode. An adjusting reactance that affects a relationship with a second voltage applied to the second electrode, a high-frequency power supply that generates a high frequency supplied between the first unbalanced terminal and the second unbalanced terminal, A plasma processing method for processing a substrate in a plasma processing apparatus comprising: a step of adjusting a frequency generated by the high-frequency power supply so that the relationship is adjusted; and, after the step, a step of processing the substrate. including.
以下、添付図面を参照しながら本発明をその例示的な実施形態を通して説明する。 Hereinafter, the present invention will be described through exemplary embodiments with reference to the accompanying drawings.
図1には、本発明の第1実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第1実施形態のプラズマ処理装置は、スパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。プラズマ処理装置1は、バラン(平衡不平衡変換回路)103と、真空容器110と、第1電極106と、第2電極111とを備えている。あるいは、プラズマ処理装置1は、バラン103と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1電極106と、第2電極111とを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251および第2端子252を有する。第1電極106は、真空容器110と協働して真空空間と外部空間とを分離するように(即ち、真空隔壁の一部を構成するように)配置されてもよいし、真空容器110の中に配置されてもよい。第2電極111は、真空容器110と協働して真空空間と外部空間とを分離するように(即ち、真空隔壁の一部を構成するように)配置されてもよいし、真空容器110の中に配置されてもよい。
FIG. 1 schematically shows a configuration of a
バラン103は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子211および第2平衡端子212を有する。バラン103の第1不平衡端子201および第2不平衡端子202の側には、不平衡回路が接続され、バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側には、平衡回路が接続される。真空容器110は、導体で構成され、接地されている。
The
第1実施形態では、第1電極106は、カソードであり、ターゲット109を保持する。ターゲット109は、例えば、絶縁体材料または導電体材料でありうる。また、第1実施形態では、第2電極111は、アノードであり、基板112を保持する。第1実施形態のプラズマ処理装置1は、ターゲット109のスパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。第1電極106は、第1平衡端子211に電気的に接続され、第2電極111は、第2平衡端子212に電気的に接続されている。第1電極106と第1平衡端子211とが電気的に接続されていることは、第1電極106と第1平衡端子211との間で電流が流れるように第1電極106と第1平衡端子211との間に電流経路が構成されていることを意味する。同様に、この明細書において、aとbとが電気的に接続されているとは、aとbとの間で電流が流れるようにaとbとの間に電流経路が構成されることを意味する。
In the first embodiment, the
上記の構成は、第1電極106が第1端子251に電気的に接続され、第2電極111が第2端子252に電気的に接続され、第1端子251が第1平衡端子211に電気的に接続され、第2端子252が第2平衡端子212に電気的に接続された構成としても理解されうる。
In the above configuration, the
第1実施形態では、第1電極106と第1平衡端子211(第1端子251)とがブロッキングキャパシタ104を介して電気的に接続されている。ブロッキングキャパシタ104は、第1平衡端子211と第1電極106との間(あるいは、第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ104を設ける代わりに、後述のインピーダンス整合回路102が、第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。第1電極106は、絶縁体107を介して真空容器110によって支持されうる。第2電極111は、絶縁体108を介して真空容器110によって支持されうる。あるいは、第2電極111と真空容器110との間に絶縁体108が配置されうる。
In the first embodiment, the
プラズマ処理装置1は、高周波電源101と、高周波電源101とバラン103との間に配置されたインピーダンス整合回路102とを更に備えうる。高周波電源101は、インピーダンス整合回路102を介してバラン103の第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間に高周波(高周波電流、高周波電圧、高周波電力)を供給する。換言すると、高周波電源101は、インピーダンス整合回路102、バラン103およびブロッキングキャパシタ104を介して、第1電極106と第2電極111との間に高周波(高周波電流、高周波電圧、高周波電力)を供給する。あるいは、高周波電源101は、インピーダンス整合回路102およびバラン103を介して、本体10の第1端子251と第2端子252との間に高周波を供給するものとしても理解されうる。
The
真空容器110の内部空間には、真空容器110に設けられた不図示のガス供給部を通してガス(例えば、Ar、KrまたはXeガス)が供給される。また、第1電極106と第2電極111との間には、インピーダンス整合回路102、バラン103およびブロッキングキャパシタ104を介して高周波電源101によって高周波が供給される。これにより、第1電極106と第2電極111との間にプラズマが生成され、ターゲット109の表面にセルフバイアス電圧が発生し、プラズマ中のイオンがターゲット109の表面に衝突し、ターゲット109からそれを構成する材料の粒子が放出される。そして、この粒子によって基板112の上に膜が形成される。
Gas (for example, Ar, Kr or Xe gas) is supplied to the internal space of the
図2Aには、バラン103の一構成例が示されている。図2Aに示されたバラン103は、第1不平衡端子201と第1平衡端子211とを接続する第1コイル221と、第2不平衡端子202と第2平衡端子212とを接続する第2コイル222とを有する。第1コイル221および第2コイル222は、同一巻き数のコイルであり、鉄心を共有する。
FIG. 2A shows one configuration example of the
図2Bには、バラン103の他の構成例が示されている。図2Bに示されたバラン103は、第1不平衡端子201と第1平衡端子211とを接続する第1コイル221と、第2不平衡端子202と第2平衡端子212とを接続する第2コイル222とを有する。第1コイル221および第2コイル222は、同一巻き数のコイルであり、鉄心を共有する。また、図2Bに示されたバラン103は、第1平衡端子211と第2平衡端子212との間に接続された第3コイル223および第4コイル224を更に有し、第3コイル223および第4コイル224は、第3コイル223と第4コイル224との接続ノード213の電圧を第1平衡端子211の電圧と第2平衡端子212の電圧との中点とするように構成されている。第3コイル223および第4コイル224は、同一巻き数のコイルであり、鉄心を共有する。接続ノード213は、接地されてもよいし、真空容器110に接続されてもよいし、フローティングにされてもよい。
FIG. 2B shows another configuration example of the
図3を参照しながらバラン103の機能を説明する。第1不平衡端子201を流れる電流をI1、第1平衡端子211を流れる電流をI2、第2不平衡端子202を流れる電流をI2’、電流I2のうち接地に流れる電流をI3とする。I3=0、即ち、平衡回路の側で接地に電流が流れない場合、接地に対する平衡回路のアイソレーション性能が最も良い。I3=I2、即ち、第1平衡端子211を流れる電流I2の全てが接地に対して流れる場合、接地に対する平衡回路のアイソレーション性能が最も悪い。このようなアイソレーション性能の程度を示す指標ISOは、以下の式で与えられうる。この定義の下では、ISOの値の絶対値が大きい方が、アイソレーション性能が良い。
The function of the
ISO[dB]=20log(I3/I2’)
図3において、Rp−jXpは、真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第1平衡端子211および第2平衡端子212の側から第1電極106および第2電極111の側(本体10の側)を見たときのインピーダンス(ブロッキングキャパシタ104のリアクタンスを含む)を示している。Rpは抵抗成分、−Xpはリアクタンス成分を示している。また、図3において、Xは、バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)を示している。ISOは、X/Rpに対して相関を有する。ISO [dB] = 20 log (I3 / I2 ′)
In FIG. 3, Rp-jXp is from the side of the first
図4には、電流I1(=I2)、I2’、I3、ISO、α(=X/Rp)の関係が例示されている。本発明者は、バラン103を介して高周波電源101から第1電極106と第2電極111との間に高周波を供給する構成、特に、該構成において1.5≦X/Rp≦5000を満たすことが、真空容器110の内部空間(第1電極106と第2電極111との間の空間)に形成されるプラズマの電位(プラズマ電位)を真空容器110の内面の状態に対して鈍感にするために有利であることを見出した。ここで、プラズマ電位が真空容器110の内面の状態に対して鈍感になることは、プラズマ処理装置1を長期間にわたって使用した場合においてもプラズマ電位を安定させることができることを意味する。1.5≦X/Rp≦5000は、−10.0dB≧ISO≧−80dBに相当する。
FIG. 4 illustrates the relationship among the currents I1 (= I2), I2 ', I3, ISO, and α (= X / Rp). The present inventor has a configuration in which high frequency is supplied between the
図5A〜5Dには、1.5≦X/Rp≦5000を満たす場合におけるプラズマ電位および第1電極106の電位(カソード電位)をシミュレーションした結果が示されている。図5Aは、真空容器110の内面に膜が形成されていない状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図5Bは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1000Ω)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図5Cは、真空容器110の内面に誘導性の膜(0.6μH)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図5Dは、真空容器110の内面に容量性の膜(0.1nF)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図5A〜5Dより、1.5≦X/Rp≦5000を満たすことが、真空容器110の内面が種々の状態においてプラズマ電位を安定させるために有利であることが理解される。
5A to 5D show simulation results of the plasma potential and the potential (cathode potential) of the
図6A〜6Dには、1.5≦X/Rp≦5000を満たさない場合におけるプラズマ電位および第1電極106の電位(カソード電位)をシミュレーションした結果が示されている。図6Aは、真空容器110の内面に膜が形成されていない状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図6Bは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1000Ω)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図6Cは、真空容器110の内面に誘導性の膜(0.6μH)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図6Dは、真空容器110の内面に容量性の膜(0.1nF)が形成された状態でのプラズマ電位およびカソード電位を示している。図6A〜6Dより、1.5≦X/Rp≦5000を満たさない場合は、真空容器110の内面の状態に依存してプラズマ電位が変化しうることが理解される。
6A to 6D show the results of simulating the plasma potential and the potential (cathode potential) of the
ここで、X/Rp>5000(例えば、X/Rp=∞)である場合とX/Rp<1.5である場合(例えば、X/Rp=1.0、X/Rp=0.5)との双方において、真空容器110の内面の状態に依存してプラズマ電位が変化しやすい。X/Rp>5000である場合は、真空容器110の内面に膜が形成されていない状態では、第1電極106と第2電極111との間でのみ放電が起こる。しかし、X/Rp>5000である場合、真空容器110の内面に膜が形成され始めると、それに対してプラズマ電位が敏感に反応し、図6A〜6Dに例示されるような結果となる。一方、X/Rp<1.5である場合は、真空容器110を介して接地に流れ込む電流が大きいので、真空容器110の内面の状態(内面に形成される膜の電気的な特性)による影響が顕著となり、膜の形成に依存してプラズマ電位が変化する。したがって、前述のように、1.5≦X/Rp≦5000を満たすようにプラズマ処理装置1を構成することが有利である。
Here, X / Rp> 5000 (for example, X / Rp = ∞) and X / Rp <1.5 (for example, X / Rp = 1.0, X / Rp = 0.5) In both cases, the plasma potential is likely to change depending on the state of the inner surface of the
図7を参照しながらRp−jXp(実際に知りたいものはRpのみ)の決定方法を例示する。まず、プラズマ処理装置1からバラン103を取り外し、インピーダンス整合回路102の出力端子230を本体10の第1端子251(ブロッキングキャパシタ104)に接続する。また、本体10の第2端子252(第2電極111)を接地する。この状態で高周波電源101からインピーダンス整合回路102を通して本体10の第1端子251に高周波を供給する。図7に示された例では、インピーダンス整合回路102は、等価的に、コイルL1、L2および可変キャパシタVC1、VC2で構成される。可変キャパシタVC1、VC2の容量値を調整することによってプラズマを発生させることができる。プラズマが安定した状態において、インピーダンス整合回路102のインピーダンスは、プラズマが発生しているときの本体10の側(第1電極106および第2電極111の側)のインピーダンスRp−jXpに整合している。このときのインピーダンス整合回路102のインピーダンスは、Rp+jXpである。
An example of a method of determining Rp-jXp (only Rp that one actually wants to know) will be described with reference to FIG. First, the
よって、インピーダンスが整合したときのインピーダンス整合回路102のインピーダンスRp+jXpに基づいて、Rp−jXp(実際に知りたいものはRpのみ)を得ることができる。Rp−jXpは、その他、例えば、設計データに基づいてシミュレーションによって求めることができる。
Therefore, based on the impedance Rp + jXp of the
このようにして得られたRpに基づいて、X/Rpを特定することができる。例えば、1.5≦X/Rp≦5000を満たすように、Rpに基づいて、バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)Xを決定することができる。
X / Rp can be specified based on Rp thus obtained. For example, the reactance component (inductance component) X of the impedance of the
図8には、本発明の第2実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第2実施形態のプラズマ処理装置1は、基板112をエッチングするエッチング装置として動作しうる。第2実施形態では、第1電極106は、カソードであり、基板112を保持する。また、第2実施形態では、第2電極111は、アノードである。第2実施形態のプラズマ処理装置1では、第1電極106と第1平衡端子211とがブロッキングキャパシタ104を介して電気的に接続されている。換言すると、第2実施形態のプラズマ処理装置1では、ブロッキングキャパシタ104が第1電極106と第1平衡端子211との電気的な接続経路に配置されている。
FIG. 8 schematically shows a configuration of a
図9には、本発明の第3実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第3実施形態のプラズマ処理装置1は、第1実施形態のプラズマ処理装置1の変形例であり、第2電極111を昇降させる機構および第2電極111を回転させる機構の少なくとも一方を更に備える。図9に示された例では、プラズマ処理装置1は、第2電極111を昇降させる機構および第2電極111を回転させる機構の双方を含む駆動機構114を備える。真空容器110と駆動機構114との間には、真空隔壁を構成するベローズ113が設けられうる。
FIG. 9 schematically shows a configuration of a
同様に、第2実施形態のプラズマ処理装置1も、第1電極106を昇降させる機構および第2電極106を回転させる機構の少なくとも一方を更に備えうる。
Similarly, the
図10には、本発明の第4実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第4実施形態のプラズマ処理装置は、スパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。第4実施形態のプラズマ処理装置1として言及しない事項は、第1乃至第3実施形態に従いうる。プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、真空容器110と、第1組を構成する第1電極106および第2電極135と、第2組を構成する第1電極141および第2電極145とを備えている。あるいは、プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1組を構成する第1電極106および第2電極135と、第2組を構成する第1電極141および第2電極145とを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251、第2端子252、第3端子451、第4端子452を有する。
FIG. 10 schematically shows a configuration of a
第1バラン103は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子211および第2平衡端子212を有する。第1バラン103の第1不平衡端子201および第2不平衡端子202の側には、不平衡回路が接続され、第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側には、平衡回路が接続される。第2バラン303は、第1バラン103と同様の構成を有しうる。第2バラン303は、第1不平衡端子401、第2不平衡端子402、第1平衡端子411および第2平衡端子412を有する。第2バラン303の第1不平衡端子401および第2不平衡端子402の側には、不平衡回路が接続され、第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側には、平衡回路が接続される。真空容器110は、接地されている。
The
第1組の第1電極106は、ターゲット109を保持する。ターゲット109は、例えば、絶縁体材料または導電体材料でありうる。第1組の第2電極135は、第1電極106の周囲に配置される。第1組の第1電極106は、第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第1組の第2電極135は、第1バラン103の第2平衡端子212に電気的に接続されている。第2組の第1電極141は、基板112を保持する。第2組の第2電極145は、第1電極141の周囲に配置される。第2組の第1電極141は、第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第2組の第2電極145は、第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されている。
The first set of
上記の構成は、第1組の第1電極106が第1端子251に電気的に接続され、第1組の第2電極135が第2端子252に電気的に接続され、第1端子251が第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第2端子252が第1バラン103の第2平衡端子212に電気的に接続された構成として理解されうる。また、上記の構成は、第2組の第1電極141が第3端子451に電気的に接続され、第2組の第2電極145が第4端子452に電気的に接続され、第3端子451が第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第4端子452が第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されているものとして理解されうる。
In the above configuration, the first set of
第1組の第1電極106と第1バラン103の第1平衡端子211(第1端子251)とは、ブロッキングキャパシタ104を介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ104は、第1バラン103の第1平衡端子211と第1組の第1電極106との間(あるいは、第1バラン103の第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ104を設ける代わりに、第1インピーダンス整合回路102が、第1バラン103の第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。第1組の第1電極106および第2電極135は、絶縁体132を介して真空容器110によって支持されうる。
The first pair of
第2組の第1電極141と第2バラン303の第1平衡端子411(第3端子451)とは、ブロッキングキャパシタ304を介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ304は、第2バラン303の第1平衡端子411と第2組の第1電極141との間(あるいは、第2バラン303の第1平衡端子411と第2平衡端子412との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ304を設ける代わりに、第2インピーダンス整合回路302が、第2バラン303の第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。第2組の第1電極141および第2電極145は、絶縁体142を介して真空容器110によって支持されうる。
The
プラズマ処理装置1は、第1高周波電源101と、第1高周波電源101と第1バラン103との間に配置された第1インピーダンス整合回路102とを備えうる。第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102を介して第1バラン103の第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間に高周波を供給する。換言すると、第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103およびブロッキングキャパシタ104を介して、第1電極106と第2電極135との間に高周波を供給する。あるいは、第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103を介して、本体10の第1端子251と第2端子252との間に高周波を供給する。第1バラン103並びに第1組の第1電極106および第2電極135は、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第1高周波供給部を構成する。
The
プラズマ処理装置1は、第2高周波電源301と、第2高周波電源301と第2バラン303との間に配置された第2インピーダンス整合回路302とを備えうる。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302を介して第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間に高周波を供給する。換言すると、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303およびブロッキングキャパシタ304を介して、第2組の第1電極141と第2電極145との間に高周波を供給する。あるいは、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303を介して、本体10の第3端子451と第4端子452との間に高周波を供給する。第2バラン303並びに第2組の第1電極141および第2電極145は、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第2高周波供給部を構成する。
The
第1高周波電源101からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側から第1組の第1電極106および第2電極135の側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp1−jXp1とする。また、第1バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX1とする。この定義において、1.5≦X1/Rp1≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために有利である。
In a state where plasma is generated in the internal space of the
また、第2高周波電源301からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側から第2組の第1電極141および第2電極145の側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp2−jXp2とする。また、第2バラン303の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX2とする。この定義において、1.5≦X2/Rp2≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために有利である。
Further, in a state where plasma is generated in the internal space of the
図11には、本発明の第5実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第5実施形態の装置1は、第4実施形態のプラズマ処理装置1に対して駆動機構114、314を追加した構成を有する。駆動機構114は、第1電極141を昇降させる機構および第1電極141を回転させる機構の少なくとも一方を備えうる。駆動機構314は、第2電極145を昇降させる機構を備えうる。
FIG. 11 schematically shows a configuration of a
図12には、本発明の第6実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第6実施形態のプラズマ処理装置は、スパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。第6実施形態として言及しない事項は、第1乃至第5実施形態に従いうる。第6実施形態のプラズマ処理装置1は、複数の第1高周波供給部と、少なくとも1つの第2高周波供給部とを備えている。複数の第1高周波供給部のうちの1つは、第1電極106aと、第2電極135aと、第1バラン103aとを含みうる。複数の第1高周波供給部のうちの他の1つは、第1電極106bと、第2電極135bと、第1バラン103bとを含みうる。ここでは、複数の第1高周波供給部が2つの高周波供給部で構成される例を説明する。また、2つの高周波供給部およびそれに関連する構成要素を添え字a、bで相互に区別する。同様に、2つのターゲットについても、添え字a、bで相互に区別する。
FIG. 12 schematically shows a configuration of a
他の観点において、プラズマ処理装置1は、複数の第1バラン103a、103bと、第2バラン303と、真空容器110と、第1電極106aおよび第2電極135aと、第1電極106bおよび第2電極135bと、第1電極141および第2電極145とを備えている。あるいは、プラズマ処理装置1は、複数の第1バラン103a、103bと、第2バラン303と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1電極106aおよび第2電極135aと、第1電極106bおよび第2電極135bと、第1電極141および第2電極145とを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251a、251b、第2端子252a、252b、第3端子451、第4端子452を有する。
In another aspect, the
第1バラン103aは、第1不平衡端子201a、第2不平衡端子202a、第1平衡端子211aおよび第2平衡端子212aを有する。第1バラン103aの第1不平衡端子201aおよび第2不平衡端子202aの側には、不平衡回路が接続され、第1バラン103aの第1平衡端子211aおよび第2平衡端子212aの側には、平衡回路が接続される。第1バラン103bは、第1不平衡端子201b、第2不平衡端子202b、第1平衡端子211bおよび第2平衡端子212bを有する。第1バラン103bの第1不平衡端子201bおよび第2不平衡端子202bの側には、不平衡回路が接続され、第1バラン103bの第1平衡端子211bおよび第2平衡端子212bの側には、平衡回路が接続される。
The
第2バラン303は、第1バラン103a、103bと同様の構成を有しうる。第2バラン303は、第1不平衡端子401、第2不平衡端子402、第1平衡端子411および第2平衡端子412を有する。第2バラン303の第1不平衡端子401および第2不平衡端子402の側には、不平衡回路が接続され、第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側には、平衡回路が接続される。真空容器110は、接地されている。
The
第1電極106a、106bは、それぞれターゲット109a、109bを保持する。ターゲット109a、109bは、例えば、絶縁体材料または導電体材料でありうる。第2電極135a、135bは、それぞれ第1電極106a、106bの周囲に配置される。第1電極106a、106bは、それぞれ第1バラン103a、103bの第1平衡端子211a、211bに電気的に接続され、第2電極135a、135bは、それぞれ第1バラン103a、103bの第2平衡端子212a、212bに電気的に接続されている。
The
第1電極141は、基板112を保持する。第2電極145は、第1電極141の周囲に配置される。第1電極141は、第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第2電極145は、第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されている。
The
上記の構成は、第1電極106a、106bがそれぞれ第1端子251a、251bに電気的に接続され、第2電極135a、135bがそれぞれ第2端子252a、252bに電気的に接続され、第1端子251a、251bがそれぞれ第1バラン103a、103bの第1平衡端子211a、111bに電気的に接続され、第2端子252a、252bがそれぞれ第1バラン103a、103bの第2平衡端子212a、212bに電気的に接続された構成として理解されうる。また、上記の構成は、第1電極141が第3端子451に電気的に接続され、第2電極145が第4端子452に電気的に接続され、第3端子451が第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第4端子452が第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されているものとして理解されうる。
In the above configuration, the
第1電極106a、106bと第1バラン103a、103bの第1平衡端子211a、211b(第1端子251a、251b)とは、それぞれブロッキングキャパシタ104a、104bを介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ104a、104bは、第1バラン103a、103bの第1平衡端子211a、211bと第1電極106a、106bとの間(あるいは、第1バラン103a、103bの第1平衡端子211a、211bと第2平衡端子212a、212bとの間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ104a、104bを設ける代わりに、第1インピーダンス整合回路102a、102bが、第1バラン103a、103bの第1不平衡端子201a、201bと第2不平衡端子202a、202bとの間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。あるいは、ブロッキングキャパシタ104a、104bは、第2電極135a、135bと第1バラン103a、103bの第2平衡端子212a、212b(第2端子252a、252b)との間に配置されてもよい。第1電極106a、106bおよび第2電極135a、135bは、それぞれ絶縁体132a、132bを介して真空容器110によって支持されうる。
The
第1電極141と第2バラン303の第1平衡端子411(第3端子451)とは、ブロッキングキャパシタ304を介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ304は、第2バラン303の第1平衡端子411と第1電極141との間(あるいは、第2バラン303の第1平衡端子411と第2平衡端子412との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ304を設ける代わりに、第2インピーダンス整合回路302が、第2バラン303の第1不平衡端子201と第2不平衡端子202との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。あるいは、ブロッキングキャパシタ304は、第2電極145と第2バラン303の第2平衡端子412(第4端子452)との間に配置されてもよい。第1電極141および第2電極145は、絶縁体142を介して真空容器110によって支持されうる。
The
プラズマ処理装置1は、複数の第1高周波電源101a、101bと、複数の第1高周波電源101a、101bと複数の第1バラン103a、103bとの間にそれぞれ配置された第1インピーダンス整合回路102a、102bとを備えうる。第1高周波電源101a、101bは、それぞれ第1インピーダンス整合回路102a、102bを介して第1バラン103a、103bの第1不平衡端子201a、201bと第2不平衡端子202a、202bとの間に高周波を供給する。換言すると、第1高周波電源101a、101bは、それぞれ第1インピーダンス整合回路102a、102b、第1バラン103a、103bおよびブロッキングキャパシタ104a、104bを介して、第1電極106a、106bと第2電極135a、135bとの間に高周波を供給する。あるいは、第1高周波電源101a、101bは、第1インピーダンス整合回路102a、102b、第1バラン103a、103bを介して、本体10の第1端子251a、251bと第2端子252a、252bとの間に高周波を供給する。
The
プラズマ処理装置1は、第2高周波電源301と、第2高周波電源301と第2バラン303との間に配置された第2インピーダンス整合回路302とを備えうる。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302を介して第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間に高周波を供給する。換言すると、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303およびブロッキングキャパシタ304を介して、第1電極141と第2電極145との間に高周波を供給する。あるいは、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303を介して、本体10の第3端子451と第4端子452との間に高周波を供給する。
The
図13には、本発明の第7実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第7実施形態のプラズマ処理装置は、スパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。第7実施形態のプラズマ処理装置1として言及しない事項は、第1乃至第6実施形態に従いうる。プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、真空容器110と、第1組を構成する第1電極105aおよび第2電極105bと、第2組を構成する第1電極141および第2電極145とを備えている。あるいは、プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1組を構成する第1電極105aおよび第2電極105bと、第2組を構成する第1電極141および第2電極145とを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251、第2端子252、第3端子451、第4端子452を有する。
FIG. 13 schematically shows a configuration of a
第1バラン103は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子211および第2平衡端子212を有する。第1バラン103の第1不平衡端子201および第2不平衡端子202の側には、不平衡回路が接続され、第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側には、平衡回路が接続される。第2バラン303は、第1バラン103と同様の構成を有しうる。第2バラン303は、第1不平衡端子401、第2不平衡端子402、第1平衡端子411および第2平衡端子412を有する。第2バラン303の第1不平衡端子401および第2不平衡端子402の側には、不平衡回路が接続され、第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側には、平衡回路が接続される。真空容器110は、接地されている。
The
第1組の第1電極105aは、第1ターゲット109aを保持し、第1ターゲット109aを介して基板112の側の空間と対向する。第1組の第2電極105bは、第1電極105aの隣に配置され、第2ターゲット109bを保持し、第2ターゲット109bを介して基板112の側の空間と対向する。ターゲット109aおよび109bは、例えば、絶縁体材料または導電体材料でありうる。第1組の第1電極105aは、第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第1組の第2電極105bは、第1バラン103の第2平衡端子212に電気的に接続されている。
The first set of
第2組の第1電極141は、基板112を保持する。第2組の第2電極145は、第1電極141の周囲に配置される。第2組の第1電極141は、第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第2組の第2電極145は、第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されている。
The second set of
上記の構成は、第1組の第1電極105aが第1端子251に電気的に接続され、第1組の第2電極105bが第2端子252に電気的に接続され、第1端子251が第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第2端子252が第1バラン103の第2平衡端子212に接続された構成として理解されうる。また、上記の構成は、第2組の第1電極141が第3端子451に電気的に接続され、第2組の第2電極145が第4端子452に電気的に接続され、第3端子451が第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第4端子452が第2バラン303の第2平衡端子412に接続されているものとして理解されうる。
In the above configuration, the first set of
第1組の第1電極105aと第1バラン103の第1平衡端子211(第1端子251)とは、ブロッキングキャパシタ104aを介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ104aは、第1バラン103の第1平衡端子211と第1組の第1電極105aとの間(あるいは、第1バラン103の第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断する。第1組の第2電極105bと第1バラン103の第2平衡端子212(第2端子252)とは、ブロッキングキャパシタ104bを介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ104bは、第1バラン103の第2平衡端子212と第1組の第2電極105bとの間(あるいは、第1バラン103の第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断する。第1組の第1電極105a、第2電極105bは、それぞれ絶縁体132a、132bを介して真空容器110によって支持されうる。
The first set of
第2組の第1電極141と第2バラン303の第1平衡端子411(第3端子451)とは、ブロッキングキャパシタ304を介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ304は、第2バラン303の第1平衡端子411と第2組の第1電極141との間(あるいは、第2バラン303の第1平衡端子411と第2平衡端子412との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ304を設ける代わりに、第2インピーダンス整合回路302が、第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。第2組の第1電極141、第2電極145は、それぞれ絶縁体142、146を介して真空容器110によって支持されうる。
The
プラズマ処理装置1は、第1高周波電源101と、第1高周波電源101と第1バラン103との間に配置された第1インピーダンス整合回路102とを備えうる。第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103、およびブロッキングキャパシタ104a、104bを介して、第1電極105aと第2電極105bとの間に高周波を供給する。あるいは、第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103を介して、本体10の第1端子251と第2端子252との間に高周波を供給する。第1バラン103並びに第1組の第1電極105aおよび第2電極105bは、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第1高周波供給部を構成する。
The
プラズマ処理装置1は、第2高周波電源301と、第2高周波電源301と第2バラン303との間に配置された第2インピーダンス整合回路302とを備えうる。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302を介して第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間に高周波を供給する。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303およびブロッキングキャパシタ304を介して、第2組の第1電極141と第2電極145との間に高周波を供給する。あるいは、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303を介して、本体10の第3端子451と第4端子452との間に高周波を供給する。第2バラン303並びに第2組の第1電極141および第2電極145は、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第2高周波供給部を構成する。
The
第1高周波電源101からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側から第1組の第1電極105aおよび第2電極105bの側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp1−jXp1とする。また、第1バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX1とする。この定義において、1.5≦X1/Rp1≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために有利である。
In a state where plasma is generated in the internal space of the
また、第2高周波電源301からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側から第2組の第1電極127および第2電極130の側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp2−jXp2とする。また、第2バラン303の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX2とする。この定義において、1.5≦X2/Rp2≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために有利である。
Further, in a state where plasma is generated in the internal space of the
第7実施形態のプラズマ処理装置1は、第2組を構成する第1電極141を昇降させる機構および第2組を構成する第1電極141を回転させる機構の少なくとも一方を更に備えうる。図13に示された例では、プラズマ処理装置1は、第1電極141を昇降させる機構および第1電極141を回転させる機構の双方を含む駆動機構114を備える。また、図13に示された例では、プラズマ処理装置1は、第2組を構成する第2電極145を昇降させる機構314を備える。真空容器110と駆動機構114、314との間には、真空隔壁を構成するベローズが設けられうる。
The
図14を参照しながら、図13に示された第7実施形態のプラズマ処理装置1における第1バラン103の機能を説明する。第1不平衡端子201を流れる電流をI1、第1平衡端子211を流れる電流をI2、第2不平衡端子202を流れる電流をI2’、電流I2のうち接地に流れる電流をI3とする。I3=0、即ち、平衡回路の側で接地に電流が流れない場合、接地に対する平衡回路のアイソレーション性能が最も良い。I3=I2、即ち、第1平衡端子211を流れる電流I2の全てが接地に対して流れる場合、接地に対する平衡回路のアイソレーション性能が最も悪い。このようなアイソレーション性能の程度を示す指標ISOは、第1乃至第5実施形態と同様に、以下の式で与えられうる。この定義の下では、ISOの値の絶対値が大きい方が、アイソレーション性能が良い。
The function of the
ISO[dB]=20log(I3/I2’)
図14において、Rp−jXp(=Rp/2−jXp/2+Rp/2−jXp/2)は、真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第1平衡端子211および第2平衡端子212の側から第1電極105aおよび第2電極105bの側(本体10の側)を見たときのインピーダンス(ブロッキングキャパシタ104a及び104bのリアクタンスを含む)を示している。Rpは抵抗成分、−Xpはリアクタンス成分を示している。また、図14において、Xは、第1バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)を示している。ISOは、X/Rpに対して相関を有する。ISO [dB] = 20 log (I3 / I2 ′)
In FIG. 14, Rp−jXp (= Rp / 2−jXp / 2 + Rp / 2−jXp / 2) denotes a first
第1実施形態の説明において参照した図4には、電流I1(=I2)、I2’、I3、ISO、α(=X/Rp)の関係が例示されている。図4の関係は、第7実施形態においても成り立つ。本発明者は、第7実施形態においても、1.5≦X/Rp≦5000を満たすことが、真空容器110の内部空間(第1電極105aと第2電極105bとの間の空間)に形成されるプラズマの電位(プラズマ電位)を真空容器110の内面の状態に対して鈍感にするために有利であることを見出した。ここで、プラズマ電位が真空容器110の内面の状態に対して鈍感になることは、プラズマ処理装置1を長期間にわたって使用した場合においてもプラズマ電位を安定させることができることを意味する。1.5≦X/Rp≦5000は、−10.0dB≧ISO≧−80dBに相当する。
FIG. 4 referred to in the description of the first embodiment illustrates the relationship among the currents I1 (= I2), I2 ', I3, ISO, and α (= X / Rp). The relationship shown in FIG. 4 holds in the seventh embodiment. The inventor of the present invention also satisfies 1.5 ≦ X / Rp ≦ 5000 in the internal space of the vacuum chamber 110 (the space between the
図15A〜15Dには、1.5≦X/Rp≦5000を満たす場合におけるプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)をシミュレーションした結果が示されている。図15Aは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1mΩ)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図15Bは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1000Ω)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図15Cは、真空容器110の内面に誘導性の膜(0.6μH)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図15Dは、真空容器110の内面に容量性の膜(0.1nF)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図15A〜図15Dより、1.5≦X/Rp≦5000を満たすことが、真空容器110の内面が種々の状態においてプラズマ電位を安定させるために有利であることが理解される。
FIGS. 15A to 15D show simulation results of the plasma potential, the potential of the
図16A〜16Dには、1.5≦X/Rp≦5000を満たさない場合におけるプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)をシミュレーションした結果が示されている。図16Aは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1mΩ)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図16Bは、真空容器110の内面に抵抗性の膜(1000Ω)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図16Cは、真空容器110の内面に誘導性の膜(0.6μH)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図16Dは、真空容器110の内面に容量性の膜(0.1nF)が形成された状態でのプラズマ電位、第1電極105aの電位(カソード1電位)および第2電極105bの電位(カソード2電位)を示している。図16A〜16Dより、1.5≦X/Rp≦5000を満たさない場合は、真空容器110の内面の状態に依存してプラズマ電位が変化することが理解される。
16A to 16D simulate the plasma potential, the potential of the
ここで、X/Rp>5000(例えば、X/Rp=∞)である場合とX/Rp<1.5である場合(例えば、X/Rp=1.16、X/Rp=0.87)との双方において、真空容器110の内面の状態に依存してプラズマ電位が変化しやすい。X/Rp>5000である場合は、真空容器110の内面に膜が形成されていない状態では、第1電極105aと第2電極105bの間でのみ放電が起こる。しかし、X/Rp>5000である場合、真空容器110の内面に膜が形成され始めると、それに対してプラズマ電位が敏感に反応し、図16A〜16Dに例示されるような結果となる。一方、X/Rp<1.5である場合は、真空容器110を介して接地に流れ込む電流が大きいので、真空容器110の内面の状態(内面に形成される膜の電気的な特性)による影響が顕著となり、膜の形成に依存してプラズマ電位が変化する。したがって、前述のように、1.5≦X/Rp≦5000を満たすようにプラズマ処理装置1を構成することが有利である。
Here, X / Rp> 5000 (for example, X / Rp = ∞) and X / Rp <1.5 (for example, X / Rp = 1.16, X / Rp = 0.87) In both cases, the plasma potential is likely to change depending on the state of the inner surface of the
図17には、本発明の第8実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第8実施形態のプラズマ処理装置は、スパッタリングによって基板112に膜を形成するスパッタリング装置として動作しうる。第8実施形態のプラズマ処理装置1として言及しない事項は、第1乃至第7実施形態に従いうる。第8実施形態のプラズマ処理装置1は、バラン(第1バラン)103と、真空容器110と、第1電極105aと、第2電極105bとを備えている。あるいは、プラズマ処理装置1は、バラン103と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1電極105aと、第2電極105bとを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251および第2端子252を有する。
FIG. 17 schematically shows a configuration of a
第1電極105aは、第1部材としての第1ターゲット109aを保持する第1保持面HS1を有し、第2電極105bは、第2部材としての第2ターゲット109bを保持する第2保持面HS2を有しうる。第1保持面HS1および第2保持面HS2は、1つの平面PLに属しうる。
The
第8実施形態のプラズマ処理装置1は、更に、第2バラン303と、第3電極141と、第4電極145とを備えてもよい。換言すると、プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、真空容器110と、第1電極105aと、第2電極105bと、第3電極141と、第4電極145とを備えうる。あるいは、プラズマ処理装置1は、第1バラン103と、第2バラン303と、本体10とを備え、本体10が、真空容器110と、第1電極105aと、第2電極105bと、第3電極141と、第4電極145とを備えているものとして理解されてもよい。本体10は、第1端子251、第2端子252、第3端子451、第4端子452を有する。
The
第1バラン103は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子211および第2平衡端子212を有する。第1バラン103の第1不平衡端子201および第2不平衡端子202の側には、不平衡回路が接続され、第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側には、平衡回路が接続される。第2バラン303は、第1バラン103と同様の構成を有しうる。第2バラン303は、第3不平衡端子401、第4不平衡端子402、第3平衡端子411および第4平衡端子412を有する。第2バラン303の第3不平衡端子401および第4不平衡端子402の側には、不平衡回路が接続され、第2バラン303の第3平衡端子411および第4平衡端子412の側には、平衡回路が接続される。真空容器110は、接地されている。バラン103、303は、例えば、図2A、2B(図14)に記載された構成を有しうる。
The
第1電極105aは、第1ターゲット109aを保持し、第1ターゲット109aを介して処理対象の基板112の側の空間と対向する。第2電極105bは、第1電極105aの隣に配置され、第2ターゲット109bを保持し、第2ターゲット109bを介して処理対象の基板112の側の空間と対向する。ターゲット109aおよび109bは、例えば、絶縁体材料または導電体材料でありうる。第1電極105aは、第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第2電極105bは、第1バラン103の第2平衡端子212に電気的に接続されている。
The
第3電極141は、基板112を保持する。第4電極145は、第3電極141の周囲に配置されうる。第3電極141は、第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第4電極145は、第2バラン303の第2平衡端子412に電気的に接続されている。
The
上記の構成は、第1電極105aが第1端子251に電気的に接続され、第2電極105bが第2端子252に電気的に接続され、第1端子251が第1バラン103の第1平衡端子211に電気的に接続され、第2端子252が第1バラン103の第2平衡端子212に接続された構成として理解されうる。また、上記の構成は、第3電極141が第3端子451に電気的に接続され、第4電極145が第4端子452に電気的に接続され、第3端子451が第2バラン303の第1平衡端子411に電気的に接続され、第4端子452が第2バラン303の第2平衡端子412に接続されているものとして理解されうる。
In the above configuration, the
第1電極105aと第1バラン103の第1平衡端子211(第1端子251)とは、第1経路PTH1によって電気的に接続されうる。第1経路PTH1には、リアクタンス511aが配置されうる。換言すると、第1電極105aと第1バラン103の第1平衡端子211(第1端子251)とは、リアクタンス511aを介して電気的に接続されうる。リアクタンス511aは、キャパシタを含むことができ、該キャパシタは、第1バラン103の第1平衡端子211と第1電極105aとの間(あるいは、第1バラン103の第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断するブロッキングキャパシタとして機能しうる。第2電極105bと第1バラン103の第2平衡端子212(第2端子252)とは、第2経路PTH2によって電気的に接続されうる。第2経路PTH2には、リアクタンス511bが配置されうる。換言すると、第2電極105bと第1バラン103の第2平衡端子212(第3端子252)とは、リアクタンス511bを介して電気的に接続されうる。リアクタンス511bは、キャパシタを含むことができ、該キャパシタは、第1バラン103の第2平衡端子212と第2電極105bとの間(あるいは、第1バラン103の第1平衡端子211と第2平衡端子212との間)で直流電流を遮断するブロッキングキャパシタとして機能しうる。第1電極105a、第2電極105bは、それぞれ絶縁体132a、132bを介して真空容器110によって支持されうる。
The
プラズマ処理装置1は、第1電極105aと接地との間に配置されたリアクタンス521aを備えうる。プラズマ処理装置1は、第2電極105bと接地との間に配置されたリアクタンス521bを備えうる。プラズマ処理装置1は、第1経路PTH1と第2経路PTH2とを接続するリアクタンス530を備えうる。
The
1つの構成例において、プラズマ処理装置1は、第1電極105aに印加される第1電圧と第2電極105bに印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスとして、(a)第1平衡端子211と第1電極105aとを接続する第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a、(b)第1電極105aと接地との間に配置されたリアクタンス521a、(c)第2平衡端子212と第2電極105bとを接続する第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b、(d)第2電極105bと接地との間に配置されたリアクタンス521b、および、(e)第1経路PTH1と第2経路PTH2とを接続するリアクタンス530、の少なくとも1つを含む。 第3電極141と第2バラン303の第1平衡端子411(第3端子451)とは、ブロッキングキャパシタ304を介して電気的に接続されうる。ブロッキングキャパシタ304は、第2バラン303の第1平衡端子411と第3電極141との間(あるいは、第2バラン303の第1平衡端子411と第2平衡端子412との間)で直流電流を遮断する。ブロッキングキャパシタ304を設ける代わりに、第2インピーダンス整合回路302が、第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間を流れる直流電流を遮断するように構成されてもよい。第3電極141、第4電極145は、それぞれ絶縁体142、146を介して真空容器110によって支持されうる。
In one configuration example, the
プラズマ処理装置1は、第1不平衡端子と201と第2不平衡端子202との間に供給される高周波を発生する第1高周波電源101を備えうる。高周波電源101は、第1不平衡端子と201と第2不平衡端子202との間に供給される高周波の周波数を変更可能である。該周波数を変更することによって、第1電極105aに印加される第1電圧および第2電極105bに印加される第2電圧を調整することができる。あるいは、該周波数を変更することによって、第1電極105aに印加される第1電圧と第2電極105bに印加される第2電圧との関係を調整することができる。
The
したがって、該周波数を調整することによって、第1ターゲット109aがスパッタリングされる量と第2ターゲット109bがスパッタリングされる量との関係を調整することができる。あるいは、該周波数を調整することによって、第1ターゲット109aがスパッタリングされる量と第2ターゲット109bがスパッタリングされる量とのバランスを調整することができる。これにより、第1ターゲット109aの消費量と第2ターゲット109bの消費量との関係を調整することができる。あるいは、第1ターゲット109aの消費量と第2ターゲット109bの消費量とのバランスを調整することができる。このような構成は、例えば、第1ターゲット109aの交換タイミングと第2ターゲット109bの交換タイミングとを同じタイミングにし、プラズマ処理装置1のダウンタイムを低減するために有利である。また、該周波数を調整することによって、基板112に形成される膜の厚さ分布を調整することもできる。
Therefore, by adjusting the frequency, the relationship between the amount of the
プラズマ処理装置1は、第1高周波電源101と第1バラン103との間に配置された第1インピーダンス整合回路102を更に備えうる。第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103および第1経路PTH1を介して、第1電極105aと第2電極105bとの間に高周波を供給する。あるいは、第1高周波電源101は、第1インピーダンス整合回路102、第1バラン103を介して、本体10の第1端子251と第2端子252との間に高周波を供給する。第1バラン103並びに第1電極105aおよび第2電極105bは、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第1高周波供給部を構成する。
The
プラズマ処理装置1は、第2高周波電源301と、第2高周波電源301と第2バラン303との間に配置された第2インピーダンス整合回路302とを備えうる。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302を介して第2バラン303の第1不平衡端子401と第2不平衡端子402との間に高周波を供給する。第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303およびブロッキングキャパシタ304を介して、第3電極141と第4電極145との間に高周波を供給する。あるいは、第2高周波電源301は、第2インピーダンス整合回路302、第2バラン303を介して、本体10の第3端子451と第4端子452との間に高周波を供給する。第2バラン303並びに第3電極141および第4電極145は、真空容器110の内部空間に高周波を供給する第2高周波供給部を構成する。
The
第1高周波電源101からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第1バラン103の第1平衡端子211および第2平衡端子212の側から第1電極105aおよび第2電極105bの側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp1−jXp1とする。また、第1バラン103の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX1とする。この定義において、1.5≦X1/Rp1≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために特に有利である。ただし、1.5≦X/Rp1≦5000という条件を満たすことは、第8実施形態において必須ではなく、有利な条件であることに留意されたい。第8実施形態では、バラン103を設けることによって、バラン103を設けない場合よりも、プラズマの電位を安定させることができる。また、発生する高周波の周波数を変更可能な高周波電源101を設けることによって、第1ターゲット109aがスパッタリングされる量と第2ターゲット109bがスパッタリングされる量との関係を調整することができる。
In a state where plasma is generated in the internal space of the
また、第2高周波電源301からの高周波の供給によって真空容器110の内部空間にプラズマが発生している状態で第2バラン303の第1平衡端子411および第2平衡端子412の側から第3電極141および第4電極145の側(本体10の側)を見たときのインピーダンスをRp2−jXp2とする。また、第2バラン303の第1コイル221のインピーダンスのリアクタンス成分(インダクタンス成分)をX2とする。この定義において、1.5≦X2/Rp2≦5000を満たすことは、真空容器110の内部空間に形成されるプラズマの電位を安定させるために特に有利である。ただし、1.5≦X/Rp2≦5000という条件を満たすことは、第8実施形態において必須ではなく、有利な条件であることに留意されたい。
In a state where plasma is generated in the internal space of the
以下、図18〜図23を参照しながら、第8実施形態のプラズマ処理装置1を具体化した第9乃至第12実施形態を説明する。図18には、本発明の第9実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第9実施形態として言及しない事項は、第8実施形態に従いうる。第9実施形態のプラズマ処理装置1は、第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a、および、第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b、の少なくとも1つを含む。ここで、プラズマ処理装置1は、第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a、および、第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511bの双方を含むことが好ましい。
Hereinafter, ninth to twelfth embodiments that embody the
第1リアクタンス511aは、インダクタ601aおよびキャパシタ602aを含みうる。インダクタ601aは、第1平衡端子211(第1端子251)とキャパシタ602aとの間に配置されてもよいし、キャパシタ602aと第1電極105aとの間に配置されてもよい。第2リアクタンス511bは、インダクタ601bおよびキャパシタ602bを含みうる。インダクタ601bは、第2平衡端子212(第2端子252)とキャパシタ602bとの間に配置されてもよいし、キャパシタ602bと第2電極105bとの間に配置されてもよい。
The
図22には、第9実施形態のプラズマ処理装置1において、高周波電源101が発生する高周波の周波数を12.56MHzに設定した場合に基板112に形成された膜の正規化された厚さ分布が示されている。また、図22には、第9実施形態のプラズマ処理装置1において、高周波電源101が発生する高周波の周波数を13.56MHzに設定した場合に基板112に形成された膜の正規化された厚さ分布が示されている。横軸は、図18における横方向(基板112の表面に平行な方向)の位置であり、基板112の中心からの距離を示している。高周波電源101が発生する高周波の周波数が12.56MHzであるときは、基板112の中心の左側と右側とで膜の厚さ分布が大きく異なっている。一方、高周波電源101が発生する高周波の周波数が13.56MHzであるときは、基板112の中心の左側と右側とで膜の厚さ分布の対称性が高い。高周波電源101が発生する高周波の周波数が13.56MHzである場合の方が、高周波電源101が発生する高周波の周波数が12.56MHzである場合よりも、第1電極105aに与えられる第1電圧と第2電極105bに与えられる第2電圧とのバランスが良い。
FIG. 22 shows the normalized thickness distribution of the film formed on the
図23には、第9実施形態のプラズマ処理装置1において、高周波電源101が発生する高周波の周波数を変化させた場合における第1電極105aの電圧(第1電圧)および第2電極105bの電圧(第2電圧)が例示されている。高周波電源101が発生する高周波の周波数を変化させることによって第1電極105aの電圧(第1電圧)および第2電極105bの電圧(第2電圧)を調整することができる。あるいは、高周波電源101が発生する高周波の周波数を変化させることによって第1電極105aの電圧(第1電圧)と第2電極105bの電圧(第2電圧)との関係を調整することができる。例えば、高周波電源101が発生する高周波の周波数は、第1電極105aの電圧(第1電圧)と第2電極105bの電圧(第2電圧)とが等しくなるように調整されうる。これにより、第1ターゲット109aがスパッタリングされる量と第2ターゲット109bがスパッタリングされる量とを同じにすることができる。これは、例えば、第1ターゲット109aの交換タイミングと第2ターゲット109bの交換タイミングとを同じタイミングにし、プラズマ処理装置1のダウンタイムを低減するために有利である。
FIG. 23 shows the voltage (first voltage) of the
図19には、本発明の第10実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第10実施形態として言及しない事項は、第8実施形態に従いうる。第10実施形態のプラズマ処理装置1は、第1電極105aと接地との間に配置されたリアクタンス521a、および、第2電極105bと接地との間に配置されたリアクタンス521bの少なくとも1つを備えている。リアクタンス521aは、例えば、インダクタ607aおよびキャパシタ606aを含みうる。リアクタンス521bは、例えば、インダクタ607bおよびキャパシタ606bを含みうる。
FIG. 19 schematically shows a configuration of a
プラズマ処理装置1は、更に、第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a(この例では、インダクタ603a、キャパシタ602a)と、第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b(この例では、インダクタ603b、キャパシタ602b)とを備えうる。
The
図20には、本発明の第11実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第11実施形態として言及しない事項は、第8実施形態に従いうる。第13実施形態のプラズマ処理装置1は、第1経路PTH1と第2経路PTH2とを接続するリアクタンス530としてのインダクタ608を備えている。プラズマ処理装置1は、更に、第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a(この例では、インダクタ603a、キャパシタ602a)と、第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b(この例では、インダクタ603b、キャパシタ602b)とを備えうる。
FIG. 20 schematically shows a configuration of a
図21には、本発明の第12実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第12実施形態として言及しない事項は、第8実施形態に従いうる。第12実施形態のプラズマ処理装置1は、第1経路PTH1と第2経路PTH2とを接続する可変リアクタンス530としてのキャパシタ609を備えている。プラズマ処理装置1は、更に、第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a(この例では、インダクタ603a、キャパシタ602a)と、第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b(この例では、インダクタ603b、キャパシタ602b)とを備えうる。
FIG. 21 schematically shows a configuration of a
なお、図18〜図23を参照して説明した第9乃至第12実施形態では、ターゲット109a、109bの対向面に電極が配置されているが、電極に限定されず、所謂カルーセル型と呼ばれるタイプのプラズマ装置における円筒形の基板回転ホルダー(例えば、特開2003−1555526、特開昭62−133065)や、所謂インライン型と呼ばれるタイプのプラズマ装置における矩形形状等の基板トレイ(例えば、特許5824072、特開2011−144450)が配置されるよう構成されてもよい。
In the ninth to twelfth embodiments described with reference to FIGS. 18 to 23, the electrodes are arranged on the opposing surfaces of the
以下、図24〜図27を参照しながら、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、高周波電源101が発生する高周波の周波数調整する動作を説明する。図24には、本発明の第13実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第13実施形態のプラズマ処理装置1は、図18に示された第9実施形態のプラズマ処理装置1に対して制御部700を追加した構成を有する。制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、例えば、第1電圧V1と第2電圧V2とが等しくなるように、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する。例えば、制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する指令値CNTを発生する。
Hereinafter, the operation of adjusting the frequency of the high frequency generated by the high
図25には、本発明の第14実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第14実施形態のプラズマ処理装置1は、図19に示された第10実施形態のプラズマ処理装置1に対して制御部700を追加した構成を有する。制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、例えば、第1電圧V1と第2電圧V2とが等しくなるように、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する。例えば、制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する指令値CNTを発生する。
FIG. 25 schematically shows a configuration of a
図26には、本発明の第15実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第15実施形態のプラズマ処理装置1は、図20に示された第11実施形態のプラズマ処理装置1に対して制御部700を追加した構成を有する。制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、例えば、第1電圧V1と第2電圧V2とが等しくなるように、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する。例えば、制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する指令値CNTを発生する。
FIG. 26 schematically shows a configuration of a
図27には、本発明の第16実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第16実施形態のプラズマ処理装置1は、図21に示された第12実施形態のプラズマ処理装置1に対して制御部700を追加した構成を有する。制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、例えば、第1電圧V1と第2電圧V2とが等しくなるように、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する。例えば、制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する指令値CNTを発生する。
FIG. 27 schematically shows a configuration of a
図28には、本発明の第17実施形態のプラズマ処理装置1の構成が模式的に示されている。第17実施形態のプラズマ処理装置1は、基板112a、112bをエッチングするエッチング装置として動作しうる。第17実施形態のプラズマ処理装置1は、第1電極105a、第2電極105bがエッチング対象の第1基板112a、第2基板112bをそれぞれ保持し、第3電極141が基板を保持しない点で、第8実施形態のプラズマ処理装置1と異なり、他の点では第8実施形態のプラズマ処理装置1と同様の構成を有しうる。
FIG. 28 schematically shows a configuration of a
1つの構成例において、プラズマ処理装置1は、第1電極105aに印加される第1電圧と第2電極105bに印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスとして、(a)第1平衡端子211と第1電極105aとを接続する第1経路PTH1に配置されたリアクタンス511a、(b)第1電極105aと接地との間に配置されたリアクタンス521a、(c)第2平衡端子212と第2電極105bとを接続する第2経路PTH2に配置されたリアクタンス511b、(d)第2電極105bと接地との間に配置されたリアクタンス521b、および、(e)第1経路PTH1と第2経路PTH2とを接続するリアクタンス530、の少なくとも1つを含む。
In one configuration example, the
高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整することによって、第1基板112aのエッチング量分布と第2基板112bのエッチング量分布とを調整することができる。あるいは、高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整することによって、第1基板112aのエッチング量分布と第2基板112bのエッチング量分布とを同じにすることができる。
By adjusting the frequency of the high frequency generated by the high-
なお、図24〜図27を参照して説明した第13乃至第16実施形態では、ターゲット109a、109bの対向面に電極が配置されているが、電極に限定されず、所謂カルーセル型と呼ばれるタイプのプラズマ装置における円筒形の基板回転ホルダー(例えば、特開2003−1555526、特開昭62−133065)や、所謂インライン型と呼ばれるタイプのプラズマ装置における矩形形状等の基板トレイ(例えば、特許5824072、特開2011−144450)が配置されるよう構成されてもよい。
In the thirteenth to sixteenth embodiments described with reference to FIGS. 24 to 27, the electrodes are arranged on the opposing surfaces of the
図24〜図27を参照して説明した第13乃至第16実施形態では、制御部700は、第1電極105aの第1電圧V1および第2電極105bの第2電圧V2に基づいて高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する。このような構成に代えて、制御部700は、第1電極105aの近傍におけるプラズマ強度と第2電極105bの近傍におけるプラズマ強度とに基づいて高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整するように構成されてもよい。第1電極105aの近傍におけるプラズマ強度は、例えば、光電変換装置によって検出されうる。同様に、第2電極105bの近傍におけるプラズマ強度は、例えば、光電変換装置によって検出されうる。制御部700は、第1電極105aの近傍におけるプラズマ強度と第2電極105bの近傍におけるプラズマ強度とに基づいて、例えば、第1電極105aの近傍におけるプラズマ強度と第2電極105bの近傍におけるプラズマ強度とが等しくなるように、高周波電源101が発生する高周波の周波数するように構成されうる。
In the thirteenth to sixteenth embodiments described with reference to FIGS. 24 to 27, the
次に、本発明の第17実施形態としてのプラズマ処理方法を説明する。第17実施形態としてのプラズマ処理方法は、第8乃至第16実施形態のいずれかのプラズマ処理装置1において基板112を処理する。該プラズマ処理方法は、第1電極105aに印加される第1電圧と第2電極105bに印加される第2電圧との関係が調整されるように高周波電源101が発生する高周波の周波数を調整する工程と、該工程の後に、基板112を処理する工程と、を含みうる。該処理は、基板112にスパッタリングによって膜を形成する工程、または、基板112をエッチングする工程を含みうる。
Next, a plasma processing method according to a seventeenth embodiment of the present invention will be described. The plasma processing method according to the seventeenth embodiment processes the
本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, to make the scope of the present invention public, the following claims are appended.
1:プラズマ処理装置、10:本体、101:高周波電源、102:インピーダンス整合回路、103:バラン、104:ブロッキングキャパシタ、106:第1電極、107、108:絶縁体、109:ターゲット、110:真空容器、111:第2電極、112:基板、201:第1不平衡端子、202:第2不平衡端子、211:第1平衡端子、212:第2平衡端子、251:第1端子、252:第2端子、221:第1コイル、222:第2コイル、223:第3コイル、224:第4コイル、511a、511b、521a、521b、530:リアクタンス、700:制御部 1: plasma processing apparatus, 10: main body, 101: high frequency power supply, 102: impedance matching circuit, 103: balun, 104: blocking capacitor, 106: first electrode, 107, 108: insulator, 109: target, 110: vacuum Vessel, 111: second electrode, 112: substrate, 201: first unbalanced terminal, 202: second unbalanced terminal, 211: first balanced terminal, 212: second balanced terminal, 251: first terminal, 252: Second terminal, 221: first coil, 222: second coil, 223: third coil, 224: fourth coil, 511a, 511b, 521a, 521b, 530: reactance, 700: control unit
Claims (16)
前記インピーダンス整合回路に接続された第1不平衡端子、接地された第2不平衡端子、第1平衡端子および第2平衡端子を有するバランと、
接地された真空容器と、
前記第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、
前記第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、
前記第1電極に印加される第1電圧と前記第2電極に印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスと、
前記インピーダンス整合回路を介して前記第1不平衡端子と前記第2不平衡端子との間に供給される高周波を発生する高周波電源と、を備え、
前記高周波電源は、前記高周波の周波数を変更可能であり、前記周波数の変更によって前記関係が調整され、
前記第1電極は、第1ターゲットを保持し、前記第2電極は、第2ターゲットを保持し、前記第1電極は前記第1ターゲットを介して基板の側の空間と対向し、前記第2電極は前記第2ターゲットを介して前記空間と対向し、
前記調整リアクタンスは、前記第1電極と接地とを接続する経路に配置されたキャパシタと、前記第2電極と接地とを接続する経路に配置されたキャパシタと、を含む、
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 An impedance matching circuit;
A balun having a first unbalanced terminal connected to the impedance matching circuit, a second unbalanced terminal grounded, a first balanced terminal, and a second balanced terminal;
A grounded vacuum vessel,
A first electrode electrically connected to the first balanced terminal;
A second electrode electrically connected to the second balanced terminal;
An adjusting reactance that affects a relationship between a first voltage applied to the first electrode and a second voltage applied to the second electrode;
A high-frequency power supply that generates a high frequency supplied between the first unbalanced terminal and the second unbalanced terminal via the impedance matching circuit;
The high-frequency power supply is capable of changing the frequency of the high-frequency, the relationship is adjusted by changing the frequency,
The first electrode holds a first target, the second electrode holds a second target, the first electrode faces a space on a substrate side via the first target, and the second electrode holds a second target. The electrode faces the space via the second target,
The adjustment reactance includes a capacitor disposed on a path connecting the first electrode and ground, and a capacitor disposed on a path connecting the second electrode and ground.
A plasma processing apparatus, comprising:
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 The first electrode has a first holding surface for holding a first member, the second electrode has a second holding surface for holding a second member, and the first holding surface and the second holding surface. Faces belong to one plane,
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein:
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 The adjusting reactance is a reactance arranged on a first path connecting the first balanced terminal and the first electrode, and a reactance arranged on a second path connecting the second balanced terminal and the second electrode. And at least one of a reactance connecting the first path and the second path.
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein:
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 The adjustment reactance includes a first reactance disposed on a first path connecting the first balanced terminal and the first electrode, and a second path connecting the second balanced terminal and the second electrode. Further comprising at least one of a second reactance disposed.
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein:
前記第2リアクタンスは、インダクタを含む、
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 The first reactance includes an inductor,
The second reactance includes an inductor,
The plasma processing apparatus according to claim 4, wherein:
前記第2リアクタンスは、キャパシタを含む、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載のプラズマ処理装置。 The first reactance includes a capacitor,
The second reactance includes a capacitor;
The plasma processing apparatus according to claim 4, wherein:
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 The adjustment reactance further includes an inductor disposed in series on the path connecting the first electrode and ground, and an inductor disposed in series on the path connecting the second electrode and ground.
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein:
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 The adjustment reactance includes a reactance connecting a first path connecting the first balanced terminal and the first electrode and a second path connecting the second balanced terminal and the second electrode.
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein:
ことを特徴とする請求項8に記載のプラズマ処理装置。 The reactance includes an inductor,
The plasma processing apparatus according to claim 8, wherein:
ことを特徴とする請求項8又は9に記載のプラズマ処理装置。 The reactance includes a capacitor;
The plasma processing apparatus according to claim 8, wherein:
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 A control unit that controls a frequency of the high frequency generated by the high frequency power supply based on the voltage of the first electrode and the voltage of the second electrode,
The plasma processing apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein:
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 A resistance component between the first balanced terminal and the second balanced terminal when the first electrode and the second electrode are viewed from the first balanced terminal and the second balanced terminal is represented by Rp. , Satisfying 1.5 ≦ X / Rp ≦ 5000, where X is an inductance between the first unbalanced terminal and the first balanced terminal.
The plasma processing apparatus according to any one of claims 1 to 11 , wherein:
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 The balun includes a first coil that connects the first unbalanced terminal and the first balanced terminal, and a second coil that connects the second unbalanced terminal and the second balanced terminal.
The plasma processing apparatus according to any one of claims 1 to 12, wherein the.
ことを特徴とする請求項13に記載のプラズマ処理装置。 The balun further includes a third coil and a fourth coil connected between the first balanced terminal and the second balanced terminal, wherein the third coil and the fourth coil are connected to the third coil. The voltage of the connection node with the fourth coil is configured to be the midpoint between the voltage of the first balanced terminal and the voltage of the second balanced terminal.
The plasma processing apparatus according to claim 13 , wherein:
前記第1電極は、第1ターゲットを保持し、前記第2電極は、第2ターゲットを保持し、前記第1電極は前記第1ターゲットを介して前記基板の側の空間と対向し、前記第2電極は前記第2ターゲットを介して前記空間と対向し、
前記調整リアクタンスは、前記第1電極と接地とを接続する経路に配置されたキャパシタと、前記第2電極と接地とを接続する経路に配置されたキャパシタと、を含み、
前記プラズマ処理方法は、
前記関係が調整されるように前記高周波電源が発生する前記高周波の周波数を調整する工程と、
前記工程の後に、前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とするプラズマ処理方法。 An impedance matching circuit, a first unbalanced terminal connected to the impedance matching circuit, a grounded second unbalanced terminal, a balun having a first balanced terminal and a second balanced terminal, a grounded vacuum vessel, A first electrode electrically connected to a first balanced terminal, a second electrode electrically connected to the second balanced terminal, a first voltage applied to the first electrode, and a second electrode connected to the second electrode. A high-frequency power supply that generates a high-frequency power supplied between the first unbalanced terminal and the second unbalanced terminal via the impedance matching circuit, and an adjusted reactance that affects the relationship with the applied second voltage; A plasma processing method for processing a substrate in a plasma processing apparatus comprising:
The first electrode holds a first target, the second electrode holds a second target, the first electrode faces a space on the side of the substrate via the first target, and The two electrodes face the space via the second target,
The adjustment reactance includes a capacitor disposed on a path connecting the first electrode and ground, and a capacitor disposed on a path connecting the second electrode and ground,
The plasma processing method,
Adjusting the frequency of the high frequency generated by the high frequency power supply so that the relationship is adjusted,
Processing the substrate after the step;
A plasma processing method comprising:
ことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 A resistance component between the first balanced terminal and the second balanced terminal when the first electrode and the second electrode are viewed from the first balanced terminal and the second balanced terminal is represented by Rp. , Satisfying 1.5 ≦ X / Rp ≦ 5000, where X is an inductance between the first unbalanced terminal and the first balanced terminal.
The plasma processing apparatus according to any one of claims 1 to 14 , wherein:
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