JP6648194B2 - 注入時に液滴を予備帯電する微小流体装置及びその操作方法 - Google Patents
注入時に液滴を予備帯電する微小流体装置及びその操作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6648194B2 JP6648194B2 JP2018105504A JP2018105504A JP6648194B2 JP 6648194 B2 JP6648194 B2 JP 6648194B2 JP 2018105504 A JP2018105504 A JP 2018105504A JP 2018105504 A JP2018105504 A JP 2018105504A JP 6648194 B2 JP6648194 B2 JP 6648194B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electrode
- gap
- conduit
- injection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims description 132
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 148
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 136
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 36
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 30
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 19
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 44
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 38
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 30
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 16
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 8
- 239000003978 infusion fluid Substances 0.000 description 8
- 238000001802 infusion Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502769—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements
- B01L3/502784—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements specially adapted for droplet or plug flow, e.g. digital microfluidics
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
- G09G3/348—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on the deformation of a fluid drop, e.g. electrowetting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/02—Burettes; Pipettes
- B01L3/0241—Drop counters; Drop formers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/50273—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502769—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements
- B01L3/502784—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements specially adapted for droplet or plug flow, e.g. digital microfluidics
- B01L3/502792—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements specially adapted for droplet or plug flow, e.g. digital microfluidics for moving individual droplets on a plate, e.g. by locally altering surface tension
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/02—Adapting objects or devices to another
- B01L2200/026—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
- B01L2200/027—Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0642—Filling fluids into wells by specific techniques
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0673—Handling of plugs of fluid surrounded by immiscible fluid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
- B01L2300/0819—Microarrays; Biochips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0887—Laminated structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/089—Virtual walls for guiding liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/16—Surface properties and coatings
- B01L2300/161—Control and use of surface tension forces, e.g. hydrophobic, hydrophilic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
- B01L2400/0421—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic electrophoretic flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
- B01L2400/0427—Electrowetting
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Hematology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Description
本願発明は、DCオフセット電圧V0の望まぬ値を回避するEWOD装置、特にAM−EWOD装置のための、改善された構成に関する。上述のとおり、本願発明のEWOD装置では、DCオフセット電圧V0の望まぬ値を回避するように、構成及び操作される。
第2共通参照電極280の抵抗に相当する抵抗RE2405;
第2疎水性コーティング層226(又は後方に存在する場合、追加の絶縁体999と直列の第2疎水性層226)のキャパシタンスに相当するキャパシタCHC2410;
第1疎水性コーティング層216のキャパシタンスに相当するキャパシタCHC1425;
絶縁体層220のキャパシタンスに相当するキャパシタCINS430;及び、
素子電極239の抵抗に相当する抵抗RE1435。
4A 液体リザーバ
4B 液滴
6 接触角Θ
10 EWOD装置
13 例示的なEWOD装置
16 下部疎水性コーティング
20 絶縁体層
26 上部疎水性コーティング
28 参照電極
30 下部基板
32 スペーサ
34 非極性のフィラー流体
35 流体ギャップ
36 上部基板
38 下部電極
38A 第1下部電極
38B 第2下部電極
40 流体注入構造
42 注入管路
44 開口部
46 電極の一部
50 第2表面
52 オフセット設定構造
54 流体注入構造
56 電極の一部
58 単一の露出表面
62 側面開口した注入管路
63 側面支持部
63B 導電性の側面支持構造
64 流体注入構造
66 電極の一部
68 第1表面
70 第2表面
72 注入管路
74 流体注入構造
76/76A/76B 電極の一部
80 注入構造
82 注入管路
84 拡張部
86 予備帯電素子
200 例示的なEWOD装置
204 液滴
216 第1疎水性コーティング層
220 絶縁体層
226 第2疎水性コーティング層
228 第2共通参照電極
230 第1基板
232 スペーサ
234 フィラー流体
236 第2基板
238 一式の素子電極
239 素子電極
290 素子アレイ
292A 素子
292B 素子
292C 素子
999 絶縁体層
Claims (19)
- 誘電体上エレクトロウェッティング(EWOD)装置の操作方法であって、
第1基板及びこれに対向する第2基板であって、当該第1基板と当該第2基板との間にギャップが定義され、これらの基板はそれぞれ、当該ギャップに面する絶縁体の表面を含む、第1基板及び第2基板と、
上記ギャップ内で液滴の操作を駆動する複数の独立した素子を含む素子アレイであって、それぞれの独立した上記素子は、駆動電圧を掛けるための複数の電極素子を含む、素子アレイと、
上記ギャップと流体連絡する管路を含み、液滴を生成するための流体リザーバを受け付けるように構成された予備帯電構造であって、上記管路に電気的に露出した電気素子を含む予備帯電構造と、を含むEWOD装置を用いて、上記電気素子により上記管路内で上記流体リザーバを予備帯電する予備帯電工程を包含し、
上記予備帯電工程において、上記管路から離れた位置において上記液滴を含む上記ギャップの部分は、上記電気素子から電気的に隔離されており、上記液滴は、上記ギャップの上記部分に位置する場合に浮遊電位であり、
上記予備帯電工程において、上記第1基板の上記絶縁体の表面を跨ぐ平均電圧を最小化するように選択されたDC電位(V 0 )を上記流体リザーバが有するように、上記管路内で上記流体リザーバを予備帯電する、EWOD装置の操作方法。 - 上記予備帯電構造は、上記ギャップに流体連絡する注入管路を定義する注入構造を含み、上記注入管路は、上記流体リザーバの注入を受け付けるように構成された管路であり、上記電気素子は、上記注入管路に露出した複数の電極素子の電極部分を含む、請求項1に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記複数の電極素子は、上記第2基板上の駆動電極と上記第1基板上の参照電極とを含み、上記電気素子は、上記注入管路に露出した上記参照電極の一部である、請求項2に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記電極部分及び上記第1基板の上記絶縁体の層は、上記注入管路において直線状の構造を有することにより、上記電極部分の単一の表面が上記注入管路に露出している、請求項3に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記複数の電極素子は、上記第2基板上において共面構造で配置された複数の電極素子を含み、
上記第2基板上の上記絶縁体の層から、上記電極素子の少なくとも1つの少なくとも一部まで貫くように、上記注入管路が上記ギャップから切り取られていることによって、上記電極素子のその部分が上記注入管路に露出しており、かつ
上記電気素子は、上記注入管路に露出している上記電極素子の一部である、請求項2に記載のEWOD装置の操作方法。 - 上記電気素子は、複数の電極素子に跨る、請求項5に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記管路は、上記第1基板から上記ギャップまで貫くように切り取られた開口部を含む、請求項1から6のいずれか1項に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記管路は、上記ギャップと流体連絡する側面開口部を上記第1基板と上記第2基板との間に含む、請求項1から6のいずれか1項に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記予備帯電構造は、上記ギャップに流体連絡する注入管路を定義する注入構造を含み、
上記側面開口部につながる上記注入管路の一部を定義する側面支持部をさらに含む、請求項8に記載のEWOD装置の操作方法。 - 電気素子が上記ギャップに電気的に接続された複数のオフセット設定構造を含み、当該オフセット設定構造の少なくとも1つは、上記流体リザーバを注入するために注入構造から離間している、請求項1から9のいずれか1項に記載のEWOD装置の操作方法。
- 上記EWOD装置は、それぞれ駆動電極及び参照電極を含む複数の素子アレイを含み、
上記予備帯電工程において、上記流体リザーバの電位を上記参照電極の電位に初期化し、上記駆動電圧のAC信号遷移における上記液滴と参照電極との間の電位差は、AC信号遷移の第1相中はゼロであり、AC信号遷移の第2相中は負にオフセットされている、請求項1に記載のEWOD装置の操作方法。 - 上記EWOD装置は、それぞれ駆動電極及び参照電極を含む複数の素子アレイを含み、
上記予備帯電工程において、上記流体リザーバの電位を上記参照電極の電位に対してオフセットした電位に初期化し、上記駆動電圧のAC信号遷移における上記液滴と参照電極との間の電位差は、AC信号遷移の第1相中は正のオフセット値を有し、AC信号遷移の第2相中は負のオフセット値を有する、請求項1に記載のEWOD装置の操作方法。 - 上記参照電極と上記液滴との間の平均DC電位差は、AC信号遷移の複数のサイクルに亘っておおよそゼロである、請求項12のEWOD装置の操作方法。
- 誘電体上エレクトロウェッティング(EWOD)装置であって、
第1基板及びこれに対向する第2基板であって、当該第1基板と当該第2基板との間にギャップが定義され、これらの基板はそれぞれ、当該ギャップに面する絶縁体の表面を含む、第1基板及び第2基板と、
上記ギャップ内で液滴の操作を駆動する複数の独立した素子を含む素子アレイであって、それぞれの独立した上記素子は、駆動電圧を掛けるための複数の電極素子を含む、素子アレイと、
上記ギャップと流体連絡する管路を含み、液滴を生成するための流体リザーバを受け付けるように構成された予備帯電構造であって、上記管路に電気的に露出した電気素子を含む予備帯電構造と、
を含み、
上記電気素子は、上記管路内で上記流体リザーバを予備帯電し、かつ、上記管路から離れた位置において上記液滴を含む上記ギャップの部分は、上記電気素子から電気的に隔離されており、上記液滴は、上記ギャップの上記部分に位置する場合に浮遊電位であり、
上記予備帯電構造は、上記ギャップに流体連絡する注入管路を定義する注入構造を含み、上記注入管路は、上記流体リザーバの注入を受け付けるように構成された管路であり、上記電気素子は、上記注入管路に露出した複数の電極素子の電極部分を含み、
上記複数の電極素子は、上記第2基板上の駆動電極と上記第1基板上の参照電極とを含み、上記電気素子は、上記注入管路に露出した上記参照電極の一部であり、
上記電極部分及び上記第1基板の上記絶縁体の層は、上記注入管路において階段状の構造を有することにより、上記電極部分の複数の表面が上記注入管路に露出している、EWOD装置。 - 誘電体上エレクトロウェッティング(EWOD)装置であって、
第1基板及びこれに対向する第2基板であって、当該第1基板と当該第2基板との間にギャップが定義され、これらの基板はそれぞれ、当該ギャップに面する絶縁体の表面を含む、第1基板及び第2基板と、
上記ギャップ内で液滴の操作を駆動する複数の独立した素子を含む素子アレイであって、それぞれの独立した上記素子は、駆動電圧を掛けるための複数の電極素子を含む、素子アレイと、
上記ギャップと流体連絡する管路を含み、液滴を生成するための流体リザーバを受け付けるように構成された予備帯電構造であって、上記管路に電気的に露出した電気素子を含む予備帯電構造と、
を含み、
上記電気素子は、上記管路内で上記流体リザーバを予備帯電し、かつ、上記管路から離れた位置において上記液滴を含む上記ギャップの部分は、上記電気素子から電気的に隔離されており、上記液滴は、上記ギャップの上記部分に位置する場合に浮遊電位であり、
上記電気素子は、上記管路内に挿入された外部接続された予備帯電素子を含む、EWOD装置。 - 上記予備帯電素子は、接地した導電体を含む、請求項15に記載のEWOD装置。
- 上記複数の電極素子は、第1基板上の参照電極を含み、上記予備帯電素子は、上記参照電極が接続されたのと同じ給電部に接続された導電体を含む、請求項15に記載のEWOD装置。
- 上記管路は、上記第1基板上の上記絶縁体の層の拡張部により定義された注入管路を含み、上記電極素子の一部は上記注入管路に露出していない、請求項15から17のいずれか1項に記載のEWOD装置。
- 誘電体上エレクトロウェッティング(EWOD)装置であって、
第1基板及びこれに対向する第2基板であって、当該第1基板と当該第2基板との間にギャップが定義され、これらの基板はそれぞれ、当該ギャップに面する絶縁体の表面を含む、第1基板及び第2基板と、
上記ギャップ内で液滴の操作を駆動する複数の独立した素子を含む素子アレイであって、それぞれの独立した上記素子は、駆動電圧を掛けるための複数の電極素子を含む、素子アレイと、
上記ギャップと流体連絡する管路を含み、液滴を生成するための流体リザーバを受け付けるように構成された予備帯電構造であって、上記管路に電気的に露出した電気素子を含む予備帯電構造と、
を含み、
上記電気素子は、上記管路内で上記流体リザーバを予備帯電し、かつ、上記管路から離れた位置において上記液滴を含む上記ギャップの部分は、上記電気素子から電気的に隔離されており、上記液滴は、上記ギャップの上記部分に位置する場合に浮遊電位であり、
上記管路は、上記ギャップと流体連絡する側面開口部を上記第1基板と上記第2基板との間に含み、
上記予備帯電構造は、上記ギャップに流体連絡する注入管路を定義する注入構造を含み、
上記側面開口部につながる上記注入管路の一部を定義する側面支持部をさらに含み、
上記側面支持部は導電体である、EWOD装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/661,609 US10369570B2 (en) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | Microfluidic device with droplet pre-charge on input |
US15/661,609 | 2017-07-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019025476A JP2019025476A (ja) | 2019-02-21 |
JP6648194B2 true JP6648194B2 (ja) | 2020-02-14 |
Family
ID=63047254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018105504A Active JP6648194B2 (ja) | 2017-07-27 | 2018-05-31 | 注入時に液滴を予備帯電する微小流体装置及びその操作方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10369570B2 (ja) |
EP (1) | EP3434371A1 (ja) |
JP (1) | JP6648194B2 (ja) |
CN (1) | CN109308880B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2533952A (en) * | 2015-01-08 | 2016-07-13 | Sharp Kk | Active matrix device and method of driving |
US10866404B2 (en) | 2016-03-24 | 2020-12-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrowetting device and method of manufacturing electrowetting device |
JP2019061037A (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | シャープ株式会社 | エレクトロウェッティング装置及びエレクトロウェッティング装置の製造方法 |
GB2596753B (en) * | 2019-04-24 | 2022-11-02 | Hitachi High Tech Corp | Biopolymer analysis device, biopolymer analysis equipment, and biopolymer analysis method |
CN114025879A (zh) * | 2019-06-03 | 2022-02-08 | 雅培制药有限公司 | 用于流体致动的装置和方法 |
CN110193386B (zh) * | 2019-06-04 | 2021-07-20 | 香港理工大学深圳研究院 | 一种基于介电电泳/电浸润效应的微流芯片 |
CN110665554B (zh) * | 2019-09-30 | 2023-02-10 | 浙江大学 | 基于聚合物复合薄膜快速制备双层dmf芯片及制备方法 |
EP4065886A4 (en) * | 2019-11-26 | 2023-03-29 | Regents of the University of Minnesota | LOW VOLTAGE MICROFLUIDIC DEVICES |
JP2023504518A (ja) * | 2019-12-04 | 2023-02-03 | ヌークレラ ヌクリークス, リミテッド | 微細な液滴操作のための薄膜トランジスタベースのデジタルマイクロ流体デバイス上の可変電極サイズエリアアレイ |
JP7458872B2 (ja) | 2020-04-13 | 2024-04-01 | 株式会社日立ハイテク | 液滴搬送デバイス、分析システム及び分析方法 |
CN112718028B (zh) * | 2020-12-24 | 2022-11-01 | 深圳先进技术研究院 | 一种光操控液滴运动材料及其制备方法和应用 |
CN113522381B (zh) * | 2021-05-26 | 2022-11-15 | 西北工业大学太仓长三角研究院 | 基于感应电荷电渗的不同浓度液滴产生芯片 |
WO2023107663A1 (en) * | 2021-12-09 | 2023-06-15 | Forward Biotech, Inc. | Liquid evaluation device |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US923822A (en) | 1908-03-09 | 1909-06-08 | Duff Remedy Company | Atomizer. |
FI980874A (fi) | 1998-04-20 | 1999-10-21 | Wallac Oy | Menetelmä ja laite pienten nestemäärien kemiallisen analyysin suorittamiseksi |
US6565727B1 (en) | 1999-01-25 | 2003-05-20 | Nanolytics, Inc. | Actuators for microfluidics without moving parts |
WO2003045556A2 (en) | 2001-11-26 | 2003-06-05 | Keck Graduate Institute | Method, apparatus and article for microfluidic control via electrowetting, for chemical, biochemical and biological assays and the like |
US6911132B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-06-28 | Duke University | Apparatus for manipulating droplets by electrowetting-based techniques |
FR2866493B1 (fr) * | 2004-02-16 | 2010-08-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de controle du deplacement d'une goutte entre deux ou plusieurs substrats solides |
FR2872809B1 (fr) * | 2004-07-09 | 2006-09-15 | Commissariat Energie Atomique | Methode d'adressage d'electrodes |
JP4713306B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2011-06-29 | 株式会社日立製作所 | 液体搬送装置 |
WO2009032863A2 (en) | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Droplet actuator with improved top substrate |
EP2232535A4 (en) * | 2007-12-10 | 2016-04-13 | Advanced Liquid Logic Inc | DROPLET ACTUATOR CONFIGURATIONS AND METHODS |
US9496125B2 (en) * | 2008-03-04 | 2016-11-15 | Waters Technologies Corporation | Interfacing with a digital microfluidic device |
US9091649B2 (en) | 2009-11-06 | 2015-07-28 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Integrated droplet actuator for gel; electrophoresis and molecular analysis |
US8834695B2 (en) | 2010-03-09 | 2014-09-16 | Sparkle Power Inc. | Droplet manipulations on EWOD microelectrode array architecture |
WO2012012090A2 (en) | 2010-06-30 | 2012-01-26 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Droplet actuator assemblies and methods of making same |
US8653832B2 (en) | 2010-07-06 | 2014-02-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Array element circuit and active matrix device |
US20130217113A1 (en) | 2010-07-15 | 2013-08-22 | Advanced Liquid Logic Inc. | System for and methods of promoting cell lysis in droplet actuators |
US20130168250A1 (en) | 2010-09-16 | 2013-07-04 | Advanced Liquid Logic Inc | Droplet Actuator Systems, Devices and Methods |
US8173000B1 (en) | 2011-01-18 | 2012-05-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix device and method of driving the same |
US20130161193A1 (en) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Microfluidic system with metered fluid loading system for microfluidic device |
IN2015DN00359A (ja) | 2012-06-27 | 2015-06-12 | Advanced Liquid Logic Inc | |
US10486156B2 (en) | 2014-05-09 | 2019-11-26 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Fluid transfer from digital microfluidic device |
WO2017078059A1 (ja) | 2015-11-06 | 2017-05-11 | シャープ マイクロフルイディック ソリューションズ リミテッド | エレクトロウェッティング装置およびその製造方法並びに液滴注入方法 |
US20170136452A1 (en) | 2015-11-13 | 2017-05-18 | SoluDot LLC | Method for high throughput dispensing of biological samples |
-
2017
- 2017-07-27 US US15/661,609 patent/US10369570B2/en active Active
-
2018
- 2018-05-31 JP JP2018105504A patent/JP6648194B2/ja active Active
- 2018-06-25 CN CN201810667262.1A patent/CN109308880B/zh active Active
- 2018-07-25 EP EP18185572.7A patent/EP3434371A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109308880A (zh) | 2019-02-05 |
JP2019025476A (ja) | 2019-02-21 |
US10369570B2 (en) | 2019-08-06 |
CN109308880B (zh) | 2022-10-04 |
EP3434371A1 (en) | 2019-01-30 |
US20190030537A1 (en) | 2019-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6648194B2 (ja) | 注入時に液滴を予備帯電する微小流体装置及びその操作方法 | |
JP6532562B2 (ja) | マイクロ流体装置のための液滴駆動方法 | |
CN108291884B (zh) | 有源矩阵设备和驱动方法 | |
US10564117B2 (en) | Active matrix device and method of driving | |
US10576470B2 (en) | Active matrix EWOD device and method of driving thereof | |
US10661245B2 (en) | Method of driving an element of an active matrix EWOD device, a circuit, and an active matrix EWOD device | |
US8851103B2 (en) | Microfluidic valve systems and methods | |
KR20060014403A (ko) | 디스플레이 디바이스 | |
JP4713306B2 (ja) | 液体搬送装置 | |
US11442264B2 (en) | Electrowetting device | |
US9206794B2 (en) | Microfluidic pump with metal electrode having variable oxidation state | |
US10969377B2 (en) | Biopolymer analysis device and biopolymer analysis method | |
CN114471755B (zh) | 微流控芯片及其制作方法 | |
JP2006088130A (ja) | 静電吸引型流体吐出方法及び静電吸引型流体吐出装置 | |
KR20240010197A (ko) | 전도성 폴리머를 이용한 진단 장치 및 그것의 제조 방법 | |
KR20240010196A (ko) | 전도성 폴리머를 이용한 진단 장치 및 그것의 제조 방법 | |
KR20240010195A (ko) | 전도성 폴리머를 이용한 진단 장치 및 그것의 제조 방법 | |
KR20240010194A (ko) | 전도성 폴리머를 이용한 진단 장치 및 그것의 전극 구조 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6648194 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |