JP6645694B2 - Driving device, image blur correction device, lens barrel, and imaging device - Google Patents

Driving device, image blur correction device, lens barrel, and imaging device Download PDF

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Description

本発明は、駆動対象物を駆動する駆動装置、駆動装置を備える像ぶれ補正装置、レンズ鏡筒及び撮像装置に関する。 The present invention, drive kinematic device you drive moving the driven object, image blur correction apparatus comprising a drive moving device, a lens barrel and an image pickup device.

デジタルカメラ等の撮像装置による撮像時の手ぶれ等に起因する画像ぶれを補正する像ぶれ補正機構として、レンズ又は撮像素子を保持する保持部材を撮像光軸と直交する面内の任意の方向に駆動するものが知られている。また、このような像ぶれ補正機構として、保持部材の回転を防止するガイド機構と、不使用時に保持部材の移動を規制する保持機構とを備えるものが知られている(特許文献1参照)。特許文献1では、レンズを保持する保持部材の回転を規制するガイド機構が、駆動ユニットとレンズ部との間にレンズ部を半周程度囲むように配置されている。   Driving a holding member holding a lens or an image sensor in an arbitrary direction in a plane orthogonal to an imaging optical axis as an image blur correction mechanism for correcting image blur caused by hand shake or the like at the time of imaging by an imaging device such as a digital camera. What is known is. Further, as such an image blur correction mechanism, a mechanism including a guide mechanism for preventing rotation of the holding member and a holding mechanism for restricting movement of the holding member when not in use is known (see Patent Document 1). In Patent Literature 1, a guide mechanism that regulates rotation of a holding member that holds a lens is disposed between the drive unit and the lens unit so as to surround the lens unit by about a half circumference.

特開2013−47787号公報JP 2013-47787 A

しかしながら、上記特許文献1に記載されている技術では、ガイド機構を配置するためのスペースを駆動ユニットを配置するスペースとは別に用意する必要があるため、像ぶれ補正装置全体が大型化してしまうという問題がある。   However, according to the technology described in Patent Document 1, it is necessary to provide a space for disposing the guide mechanism separately from a space for disposing the drive unit, so that the entire image blur correction device becomes large. There's a problem.

本発明は、小型化と薄型化が可能な駆動装置を提供することを目的とする。 The present invention aims to smaller and thinner to provide a drive kinematic device possible.

本発明に係る駆動装置は、それぞれが、振動型アクチュエータと、推力を出力する出力部と、を有する複数の駆動ユニットと、前記複数の駆動ユニットを保持る保持部と、前記出力部と摺動自在に係合して前記出力部の推力を受ける推力受け部を有し、前記複数の駆動ユニットにより駆動される移動体と、前記移動体を平面内の任意の方向に並進及び回転可能に支持する環状の固定部と、前記平面内での前記移動体の回転を規制する回転規制手段と、を備え、前記固定部は、周方向を長手方向とした複数の長孔を有し、前記移動体は、前記移動体の外周からラジアル方向に突出し、前記複数の長孔のそれぞれに挿通される複数の支持部材を有し、前記複数の支持部材は、前記移動体のラジアル方向において前記移動体の中心について対称となる位置に設けられ、前記推力受け部は、前記複数の支持部材を結ぶ直線上に設けられ、前記回転規制手段は、前記移動体のスラスト方向から見たときに、前記固定部の中心軸を中心として前記複数の駆動ユニットを包含しない最大径の第1の円の外側に配置されていることを特徴とする。 Engaging Ru drive kinematic device of the present invention, each, a vibration type actuator, and an output unit for outputting thrust, and a plurality of drive units having a holding portion that holds a plurality of drive units, the output unit A moving body driven by the plurality of drive units, and the moving body is translated and rotated in an arbitrary direction in a plane. An annular fixing portion that supports the movable member, and a rotation restricting unit that restricts rotation of the moving body in the plane , wherein the fixing portion has a plurality of long holes whose circumferential direction is a longitudinal direction. The moving body has a plurality of support members that protrude in a radial direction from an outer periphery of the moving body and are inserted into each of the plurality of long holes, and the plurality of support members are in a radial direction of the moving body. Symmetric about the center of the moving body Provided that the position, the thrust receiving portion is provided on a straight line connecting the plurality of supporting members, said rotation restricting means, when viewed from the thrust direction of the moving body, the center axis of the fixed part It is characterized in that it is arranged outside the first circle having the largest diameter that does not include the plurality of drive units as a center.

本発明によれば、駆動装置の小型化と薄型化が可能になる。 According to the present invention enables the miniaturization and thinning of the drive braking system.

本発明の第1実施形態に係る並進駆動装置の概略構成を示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of a translation drive device according to a first embodiment of the present invention. 図1に示す並進駆動装置の上面図である。It is a top view of the translation drive shown in FIG. 図1に示す並進駆動装置が備える駆動ユニットを構成する振動体の概略構成を示す斜視図と、振動体に励起される第1及び第2の振動モードを説明する模式図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a vibrating body constituting a drive unit included in the translation driving device illustrated in FIG. 1, and a schematic diagram illustrating first and second vibration modes excited by the vibrating body. 図1に示す並進駆動装置が備える回転規制部の概略構成を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of a rotation restricting unit provided in the translation driving device illustrated in FIG. 1. 図1に示す並進駆動装置が備える駆動ユニットの出力部が移動体を並進させる推力の大きさ及び方向と移動体の駆動方向との関係を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a relationship between a magnitude and a direction of a thrust by which an output unit of a driving unit included in the translation driving device illustrated in FIG. 1 translates a moving body and a driving direction of the moving body. 図1に示す並進駆動装置において移動体の並進が規制された状態を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a state in which translation of a moving body is restricted in the translation driving device shown in FIG. 1. 図1に示す並進駆動装置における駆動ユニット、回転規制部及び支持コロの位置関係を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a positional relationship among a drive unit, a rotation restricting unit, and a support roller in the translation drive device shown in FIG. 1. 本発明の第2実施形態に係る並進駆動装置の概略構成を示す上面図である。It is a top view showing the schematic structure of the translation drive concerning a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第3実施形態に係る並進駆動装置の概略構成を示す上面図であるIt is a top view showing the schematic structure of the translation drive concerning a 3rd embodiment of the present invention. 図9に示す並進駆動装置を構成する駆動ユニットの概略構成を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a driving unit included in the translation driving device illustrated in FIG. 9. 図9に示す並進駆動装置において固定部と保持部の位置関係とボールプランジャの動作とを説明する模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between a fixed unit and a holding unit and an operation of a ball plunger in the translation driving device illustrated in FIG. 9. 図1に示す並進駆動装置を備える撮像装置の概略構成を示す上面図である。FIG. 2 is a top view illustrating a schematic configuration of an imaging device including the translation driving device illustrated in FIG. 1.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る並進駆動装置100の概略構成を示す分解斜視図である。図2は、並進駆動装置100の上面図である。なお、説明の便宜上、図1及び図2に示す三次元の直交座標系(X軸,Y軸,Z軸)を定めることとする。ここで、並進駆動装置100のスラスト方向(厚さ方向)をZ方向とし、Z方向と直交する平面を互いに直交するX方向とY方向によって規定する。
<First embodiment>
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a translation driving device 100 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a top view of the translation drive device 100. For convenience of explanation, a three-dimensional orthogonal coordinate system (X axis, Y axis, Z axis) shown in FIGS. 1 and 2 is defined. Here, the thrust direction (thickness direction) of the translation driving device 100 is defined as a Z direction, and a plane orthogonal to the Z direction is defined by an X direction and a Y direction orthogonal to each other.

並進駆動装置100は、固定部1、保持部2、移動体3、駆動ユニット4A,4B及び回転規制部20を有する。   The translation driving device 100 includes a fixed unit 1, a holding unit 2, a moving body 3, driving units 4A and 4B, and a rotation restricting unit 20.

平板状で略円環状の移動体3の外周部には、ラジアル方向(径方向)に突出する円柱状の支持部材である4つの支持コロ5が、周方向に等間隔で設けられている。また、円環状の固定部1には、周方向を長手方向とした長孔部であるコロ受け部8が、4つの支持コロ5のそれぞれと係合するように、周方向に等間隔で4カ所に形成されている。移動体3は、それぞれの支持コロ5がそれぞれのコロ受け部8に挿通されることにより、固定部1に対して可動な状態で固定部1に支持される。   On the outer peripheral portion of the flat and substantially annular moving body 3, four supporting rollers 5 which are cylindrical supporting members protruding in the radial direction (radial direction) are provided at equal intervals in the circumferential direction. A roller receiving portion 8, which is a long hole having a circumferential direction as a longitudinal direction, is provided on the annular fixing portion 1 at equal intervals in the circumferential direction so as to engage with each of the four support rollers 5. It is formed in several places. The moving body 3 is supported by the fixed unit 1 while being movable with respect to the fixed unit 1 by inserting the respective supporting rollers 5 into the respective roller receiving units 8.

ここで、支持コロ5は、コロ受け部8の長辺側の内周面に対して滑らかに摺動可能であり、よって、移動体3は、Z方向での位置が固定部1によって規制されると共に、XY平面内の一定範囲内で並進可能となっている。   Here, the support roller 5 can smoothly slide with respect to the inner peripheral surface on the long side of the roller receiving portion 8. Therefore, the position of the moving body 3 in the Z direction is regulated by the fixed portion 1. In addition, translation is possible within a certain range in the XY plane.

回転規制部20は、固定部1に固定されており、移動体3の回転を規制する。回転規制部20の構成と機能の詳細については後述する。また、固定部1には、2つの第1の変位センサ6a,6bがそれぞれ、測長方向が90度(π/2ラジアン)異なるように配置されている。また、保持部2には第2の変位センサ7が配置(固定)されている。第1の変位センサ6a,6b及び第2の変位センサ7の機能等については後述する。   The rotation restricting section 20 is fixed to the fixing section 1 and restricts rotation of the moving body 3. Details of the configuration and function of the rotation restricting unit 20 will be described later. In the fixed part 1, two first displacement sensors 6a and 6b are arranged so that the length measurement directions are different by 90 degrees (π / 2 radians). Further, a second displacement sensor 7 is arranged (fixed) on the holding unit 2. The functions and the like of the first displacement sensors 6a and 6b and the second displacement sensor 7 will be described later.

平板状で円環状の保持部2は、固定部1の一方の開口(XY面)を閉塞するように、保持部2の中心を通ってZ方向に平行な軸を回転軸として、固定部1に対して回転可能に配置されている。よって、保持部2と移動体3とは平行に配置される。なお、本実施形態では、中心部に孔部が設けられている保持部2を取り上げているが、並進駆動装置100の用途によっては、孔部を有さない円板状の支持部を用いることができる。   The plate-shaped and annular holding portion 2 uses the axis parallel to the Z direction through the center of the holding portion 2 as a rotation axis so as to close one opening (XY plane) of the fixing portion 1. It is arranged so as to be rotatable with respect to. Therefore, the holding unit 2 and the moving body 3 are arranged in parallel. In the present embodiment, the holding portion 2 having a hole at the center is taken up. However, depending on the use of the translation driving device 100, a disk-shaped support having no hole may be used. Can be.

保持部2には、2つの駆動ユニット4Aと2つの駆動ユニット4Bが保持(固定)されている。駆動ユニット4Aと駆動ユニット4Bは、振動型アクチュエータを構成する各種の要素部品が組み立てられてユニット化されたものであり、同じ構造を有する。   The holding unit 2 holds (fixes) two drive units 4A and two drive units 4B. The drive unit 4A and the drive unit 4B are unitized by assembling various element parts constituting the vibration type actuator, and have the same structure.

具体的には、駆動ユニット4Aは、主要な構成要素として、振動体110(図3参照)と、振動体110により摩擦駆動される被駆動体10Aとを有する。また、駆動ユニット4Aは、振動体110を保持する枠部材と、被駆動体10Aを振動体110に対して加圧接触させる加圧部材とを有する。なお、振動体110及び被駆動体10Aは、振動型アクチュエータを構成するための最小限の要素である。駆動ユニット4Bもまた、主要な構成要素として、振動体110と、振動体110を保持する枠部材と、振動体110により摩擦駆動される被駆動体10Bと、被駆動体10Bを振動体110に対して加圧接触させる加圧部材とを有する。   Specifically, the drive unit 4A includes, as main components, a vibrating body 110 (see FIG. 3) and a driven body 10A that is frictionally driven by the vibrating body 110. The drive unit 4A includes a frame member that holds the vibrating body 110 and a pressing member that presses the driven body 10A against the vibrating body 110. Note that the vibrating body 110 and the driven body 10A are minimum elements for constituting a vibration type actuator. The driving unit 4B also includes, as main components, a vibrating body 110, a frame member that holds the vibrating body 110, a driven body 10B that is frictionally driven by the vibrating body 110, and a driven body 10B that is driven by the vibrating body 110. And a pressure member to be brought into pressure contact with the pressure member.

図3(a)は、駆動ユニット4A,4Bを構成する振動体110の概略構成を示す斜視図である。図3(b)は、振動体110に励起される第1の振動モードを説明する模式図であり、図3(c)は、振動体110に励起される第2の振動モードを説明する模式図である。   FIG. 3A is a perspective view illustrating a schematic configuration of the vibrating body 110 configuring the drive units 4A and 4B. FIG. 3B is a schematic diagram illustrating a first vibration mode excited by the vibrating body 110, and FIG. 3C is a schematic diagram illustrating a second vibration mode excited by the vibrating body 110. FIG.

振動体110は、板状の弾性体111と、弾性体111の一方の面に設けられた2つの突起部112と、弾性体111において突起部112が設けられている面の反対側の面に接合された電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子113とを有する。なお、図3(a)に示すように、2つの突起部112を結ぶ方向をα方向、突起部112の突出方向をγ方向、α方向及びγ方向と直交する方向をβ方向と定義する。   The vibrating body 110 includes a plate-shaped elastic body 111, two protrusions 112 provided on one surface of the elastic body 111, and a surface opposite to the surface of the elastic body 111 on which the protrusion 112 is provided. And a piezoelectric element 113 which is an electro-mechanical energy conversion element bonded thereto. As shown in FIG. 3A, a direction connecting the two protrusions 112 is defined as an α direction, a protrusion direction of the protrusions 112 is defined as a γ direction, and a direction orthogonal to the α direction and the γ direction is defined as a β direction.

不図示であるが、圧電素子113の一方の面には、α方向に2つの独立電極が設けられており、他方の面には全面に共通電極が設けられている。2つの独立電極に所定の交流の駆動電圧を印加することによって、振動体110に第1の振動モードの振動と第2の振動モードの振動を所定の位相差で励起することができる。   Although not shown, one surface of the piezoelectric element 113 is provided with two independent electrodes in the α direction, and the other surface is provided with a common electrode over the entire surface. By applying a predetermined AC drive voltage to the two independent electrodes, the vibration in the first vibration mode and the vibration in the second vibration mode can be excited in the vibrating body 110 with a predetermined phase difference.

図3(b)に示す第1の振動モードは、β方向における一次の屈曲振動であり、α方向と平行な2本の節を有する。なお、本実施形態の説明において、「平行な」とは、実質的に平行であるとみなせることをいい、厳密に平行であることを必要とするものではなく、同様の定義で以下の説明にも用いる。   The first vibration mode shown in FIG. 3B is a primary bending vibration in the β direction, and has two nodes parallel to the α direction. In the description of the present embodiment, “parallel” means that it can be regarded as substantially parallel, does not require strict parallelism, and has the same definition in the following description. Is also used.

突起部112は、第1の振動モードの振動において腹となる位置の近傍に配置されており、第1の振動モードの振動によってγ方向で往復運動を行う。一方、図3(b)に示す第2の振動モードは、α方向における二次屈曲振動であり、β方向と平行な3本の節を有する。突起部112は、第2の振動モードの振動において節となる位置の近傍に配置されており、第2の振動モードの振動によってα方向で往復運動を行う。   The protrusion 112 is arranged near a position that becomes an antinode in the vibration of the first vibration mode, and reciprocates in the γ direction by the vibration of the first vibration mode. On the other hand, the second vibration mode shown in FIG. 3B is secondary bending vibration in the α direction, and has three nodes parallel to the β direction. The protrusion 112 is arranged near a position serving as a node in the vibration in the second vibration mode, and reciprocates in the α direction by the vibration in the second vibration mode.

第1の振動モードにおける節と第2の振動モードにおける節とは、αβ面内において直交する。振動体110にAモードとBモードの各振動を所定の位相差で発生させることにより、突起部112の先端に楕円運動又は円運動(以下「楕円運動等」という)を発生させることができる。なお、本実施形態の説明において、「直交する」とは、実質的に直交しているとみなせることをいい、厳密に直交していることを必要とするものではなく、同様の定義で以下の説明にも用いる。   The nodes in the first vibration mode and the nodes in the second vibration mode are orthogonal to each other in the αβ plane. By causing the vibrating body 110 to generate each of the A-mode and B-mode vibrations with a predetermined phase difference, an elliptical motion or a circular motion (hereinafter referred to as “elliptical motion or the like”) can be generated at the tip of the protrusion 112. In the description of the present embodiment, "orthogonal" means that it can be regarded as substantially orthogonal, and does not require that they are strictly orthogonal. Also used for explanation.

被駆動体10A,10B(図3に不図示)はそれぞれ、γ方向を加圧方向として、突起部112と加圧接触している。駆動ユニット4A,4Bでは、振動体110は固定されている。そのため、突起部112に楕円運動等が励起されることにより、被駆動体10A,10Bは、突起部112により摩擦駆動されてα方向に直線的に駆動される。このように、駆動ユニット4A,4Bはそれぞれ、被駆動体10A,10Bをα方向に直線的に駆動する駆動力を発生させるリニア駆動型の振動型アクチュエータとして構成されている。   Each of the driven members 10A and 10B (not shown in FIG. 3) is in pressure contact with the protrusion 112 with the γ direction as a pressure direction. In the drive units 4A and 4B, the vibrating body 110 is fixed. Therefore, when the projections 112 are excited by elliptical motion or the like, the driven bodies 10A and 10B are driven by the projections 112 to be driven linearly in the α direction. As described above, the drive units 4A and 4B are each configured as a linear drive type vibration type actuator that generates a drive force for linearly driving the driven bodies 10A and 10B in the α direction.

2つの駆動ユニット4Aは、被駆動体10Aの駆動方向が平行となるように配置されており、2つの駆動ユニット4Bは、被駆動体10Bの駆動方向が平行となるように配置されている。そして、駆動ユニット4Aと駆動ユニット4Bは、被駆動体10Aの駆動方向と被駆動体10Bの駆動方向とがXY平面内で互いに直交するように保持部2に配置されている。   The two driving units 4A are arranged so that the driving directions of the driven body 10A are parallel, and the two driving units 4B are arranged such that the driving directions of the driven body 10B are parallel. The driving unit 4A and the driving unit 4B are arranged on the holding unit 2 so that the driving direction of the driven body 10A and the driving direction of the driven body 10B are orthogonal to each other in the XY plane.

図2に示すように、駆動ユニット4Aの被駆動体10Aの上面には出力部10A1が設けられており、駆動ユニット4Bの被駆動体10Bの上面には出力部10B1が設けられている。駆動ユニット4Aの出力部10A1は、長手方向がラジアル方向となるように移動体3に設けられた長孔状の推力受け部11Aと摺動自在に係合している。出力部10A1は、被駆動体10Aの駆動方向(推力受け部11Aの短手方向)では推力受け部11Aに対して実質的にがたつきがなく、且つ、推力受け部11A内を推力受け部11Aの長手方向に移動可能な寸法精度で、推力受け部11Aと係合している。同様に、駆動ユニット4Bの出力部10B1は、長手方向がラジアル方向となるように移動体3に設けられた長孔状の推力受け部11Bと摺動自在に係合している。出力部10B1は、被駆動体10Bの駆動方向(推力受け部11Bの短手方向)では推力受け部11Bに対して実質的にがたつきがなく、且つ、推力受け部11B内を推力受け部11Bの長手方向に移動可能な寸法精度で、推力受け部11Bと係合している。   As shown in FIG. 2, the output unit 10A1 is provided on the upper surface of the driven body 10A of the drive unit 4A, and the output unit 10B1 is provided on the upper surface of the driven body 10B of the drive unit 4B. The output portion 10A1 of the drive unit 4A is slidably engaged with a long-hole-shaped thrust receiving portion 11A provided on the moving body 3 such that the longitudinal direction is the radial direction. The output portion 10A1 has substantially no play with respect to the thrust receiving portion 11A in the driving direction of the driven body 10A (the short direction of the thrust receiving portion 11A), and the thrust receiving portion moves inside the thrust receiving portion 11A. It is engaged with the thrust receiving portion 11A with dimensional accuracy that allows it to move in the longitudinal direction of 11A. Similarly, the output portion 10B1 of the drive unit 4B is slidably engaged with a long-hole-shaped thrust receiving portion 11B provided on the moving body 3 such that the longitudinal direction is the radial direction. The output portion 10B1 has substantially no play in the driving direction of the driven body 10B (the short direction of the thrust receiving portion 11B) and the thrust receiving portion 11B in the thrust receiving portion 11B. It is engaged with the thrust receiving portion 11B with dimensional accuracy that allows it to move in the longitudinal direction of 11B.

よって、駆動ユニット4Aを駆動すると、出力部10A1が移動体3へ推力を加えることにより、移動体3を被駆動体10Aの駆動方向へ直線的に並進させることができ、このとき、出力部10B1は推力受け部11B内をその長手方向に滑らかに移動する。同様に、駆動ユニット4Bを駆動すると、出力部10B1が移動体3へ推力を加えることにより、移動体3を被駆動体10Bの駆動方向へ直線的に並進させることができ、このとき、出力部10A1は推力受け部11A内をその長手方向に滑らかに移動する。   Therefore, when the driving unit 4A is driven, the output unit 10A1 applies a thrust to the moving body 3 so that the moving body 3 can be linearly translated in the driving direction of the driven body 10A. Moves smoothly in the longitudinal direction in the thrust receiving portion 11B. Similarly, when the driving unit 4B is driven, the output unit 10B1 applies a thrust to the moving body 3 so that the moving body 3 can be linearly translated in the driving direction of the driven body 10B. 10A1 smoothly moves in the thrust receiving portion 11A in the longitudinal direction.

第1の変位センサ6aは、移動体3のY方向への移動量を検出し、第1の変位センサ6bは、移動体3のX方向への移動量を検出し、第2の変位センサ7は、移動体3と保持部2との相対的なY方向での移動量を検出する。並進駆動装置100を駆動する不図示の制御装置(駆動回路)は、第1の変位センサ6a,6b及び第2の変位センサ7からの情報(出力)と、駆動ユニット4A,4Bの駆動力ベクトルを合成した移動量との偏差に基づいて、移動体3の並進と回転を制御する。   The first displacement sensor 6a detects the amount of movement of the moving body 3 in the Y direction, the first displacement sensor 6b detects the amount of movement of the moving body 3 in the X direction, and the second displacement sensor 7 Detects the relative movement amount of the moving body 3 and the holding unit 2 in the Y direction. A control device (drive circuit) (not shown) that drives the translation drive device 100 includes information (output) from the first displacement sensors 6a and 6b and the second displacement sensor 7 and driving force vectors of the drive units 4A and 4B. The translation and the rotation of the moving body 3 are controlled based on the deviation from the moving amount obtained by combining the above.

第1の変位センサ6aの測長方向と第2の変位センサ7の測長方向は一致していることが望ましく、本実施形態では、同じY方向(+Y方向、−Y方向)としている。並進駆動装置100では、固定部1に対して保持部2を回転させるように駆動ユニット4A,4Bを駆動した場合に、第1の変位センサ6aと第2の変位センサ7がそれぞれ検出したY方向の移動量に差が生じる。よって、この差を三角関数等を用いて演算することにより、保持部2の回転角度を算出することができる。   It is desirable that the length measuring direction of the first displacement sensor 6a and the length measuring direction of the second displacement sensor 7 coincide, and in the present embodiment, they are the same Y direction (+ Y direction, -Y direction). In the translation drive device 100, when the drive units 4A and 4B are driven to rotate the holding unit 2 with respect to the fixed unit 1, the Y direction detected by the first displacement sensor 6a and the second displacement sensor 7 respectively. There is a difference in the amount of movement. Therefore, by calculating the difference using a trigonometric function or the like, the rotation angle of the holding unit 2 can be calculated.

なお、回転規制部20に僅かながたつきがある場合には、保持部2を回転させるように駆動ユニット4A,4Bを駆動していないにもかかわらず、第1の変位センサ6aと第2の変位センサ7がそれぞれ検出したY方向の移動量に差が生じることがある。この場合でも、移動体3の回転を補正する制御を行うことによって、移動体3を所望する方向へ並進させることができる。   If there is slight backlash in the rotation restricting section 20, the first displacement sensor 6a and the second displacement sensor 6a are not driven even though the drive units 4A and 4B are not driven to rotate the holding section 2. There may be a difference in the amount of movement in the Y direction detected by each of the displacement sensors 7. Even in this case, by performing control to correct the rotation of the moving body 3, the moving body 3 can be translated in a desired direction.

図4は、回転規制部20の概略構成を示す分解斜視図である。回転規制部20は、基台26(第1の部材)と、スライド部材25(第2の部材)とを有する。基台26は固定部1に固定される。基台26には、固定部1に固定された状態で、駆動ユニット4Bの被駆動体10Bの駆動方向と平行な方向(第1の方向)に延在する長孔状の摺動溝部21bが設けられている。また、基台26のスライド部材25側の面には、3カ所にボール受け部27Aが設けられており、3カ所のボール受け部27Aのそれぞれに不図示のボールが配置される。   FIG. 4 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of the rotation restricting unit 20. The rotation restricting section 20 has a base 26 (first member) and a slide member 25 (second member). The base 26 is fixed to the fixing unit 1. The base 26 has a slot-shaped sliding groove 21b extending in a direction (first direction) parallel to the driving direction of the driven body 10B of the driving unit 4B while being fixed to the fixing unit 1. Is provided. Further, ball receiving portions 27A are provided at three locations on the surface of the base 26 on the side of the slide member 25, and balls (not shown) are arranged in each of the three ball receiving portions 27A.

スライド部材25の上面(基台26側の面の反対側の面)には、基台26が固定部1に固定された状態で、駆動ユニット4Aの被駆動体10Aの移動方向と平行な方向に並べて配置された2つの球軸受け22が設けられている。また、スライド部材25の上面には、1カ所にボール受け部27Bが設けられており、ボール受け部27Bには不図示のボールが配置される。スライド部材25の下面(基台26側の面)には、2つの球軸受け22と同等の構造を有し、移動体3に設けられた長孔状の摺動溝部21aと摺動自在に係合する不図示の2つの球軸受けが設けられている。摺動溝部21aは、その長さ方向が駆動ユニット4Aの被駆動体10Aの駆動方向(第2の方向)と平行となるように移動体3に形成されている。   On the upper surface of the slide member 25 (surface opposite to the surface on the base 26 side), a direction parallel to the moving direction of the driven body 10A of the drive unit 4A in a state where the base 26 is fixed to the fixing portion 1. Are provided with two ball bearings 22 arranged side by side. A ball receiving portion 27B is provided at one position on the upper surface of the slide member 25, and a ball (not shown) is arranged in the ball receiving portion 27B. The lower surface (the surface on the base 26 side) of the slide member 25 has the same structure as the two ball bearings 22 and is slidably engaged with the elongated slide groove 21 a provided in the moving body 3. Two unillustrated ball bearings are provided. The sliding groove 21a is formed on the moving body 3 so that its length direction is parallel to the driving direction (second direction) of the driven body 10A of the driving unit 4A.

回転規制部20が固定部1に取り付けられた状態で、スライド部材25の上面に設けられた2つの球軸受け22は、移動体3に設けられた長孔状の摺動溝部21aと摺動自在に係合する。よって、移動体3はスライド部材25に対して移動可能である。また、スライド部材25の下面に設けられた不図示の2つの球軸受けが基台26に設けられた摺動溝部21bに係合しており、摺動溝部21bの形状によって、被駆動体10Aの駆動方向へのスライド部材25の移動は規制されている。よって、駆動ユニット4Aを駆動すると、2つの球軸受け22が摺動溝部21a内で転動し、移動体3は、被駆動体10Aの駆動方向と平行な方向へ並進する。   With the rotation restricting portion 20 attached to the fixed portion 1, the two ball bearings 22 provided on the upper surface of the slide member 25 are slidable with the elongated sliding groove portion 21 a provided on the moving body 3. Engages. Therefore, the moving body 3 is movable with respect to the slide member 25. Further, two ball bearings (not shown) provided on the lower surface of the slide member 25 are engaged with the slide grooves 21b provided on the base 26, and the shape of the slide grooves 21b allows the driven body 10A to be driven. The movement of the slide member 25 in the driving direction is restricted. Therefore, when the driving unit 4A is driven, the two ball bearings 22 roll in the sliding groove 21a, and the moving body 3 translates in a direction parallel to the driving direction of the driven body 10A.

摺動溝部21aの形状によって、移動体3のスライド部材25に対する被駆動体10Bの駆動方向への移動は規制されている。一方、駆動ユニット4Bを駆動すると、スライド部材25の下面に設けられた不図示の2つの球軸受けが基台26に設けられた摺動溝部21b内を転動し、スライド部材25が基台26に対して移動する。よって、移動体3は、スライド部材25と一体となって被駆動体10Bの駆動方向へ並進する。   Movement of the driven body 10B in the driving direction with respect to the slide member 25 of the moving body 3 is restricted by the shape of the sliding groove portion 21a. On the other hand, when the drive unit 4B is driven, two ball bearings (not shown) provided on the lower surface of the slide member 25 roll in the slide grooves 21b provided on the base 26, and the slide member 25 To move against. Therefore, the moving body 3 translates in the driving direction of the driven body 10B integrally with the slide member 25.

移動体3を並進させる際には、移動体3とスライド部材25の間に1つのボールが配置され、スライド部材25と基台26との間に3つのボールが配置されているため、移動体3、スライド部材25、基台26の位置関係が適切に保たれる。これにより、2つの球軸受け22と摺動溝部21aとのクリアランスと、不図示の2つの球軸受けと摺動溝部21bとのクリアランスのそれぞれを小さくして、がたつきの発生を抑制すると共に、摺動負荷を低減させることができる。なお、本実施形態では、球軸受け22とボールを用いているが、これに代えて、PTFE等の摩擦係数の小さい材料からなる棒材や摺動ベアリングを用いた構成としてもよい。   When the moving body 3 is translated, one ball is arranged between the moving body 3 and the slide member 25, and three balls are arranged between the slide member 25 and the base 26. 3. The positional relationship between the slide member 25 and the base 26 is appropriately maintained. Thereby, the clearance between the two ball bearings 22 and the sliding groove 21a and the clearance between the two ball bearings (not shown) and the sliding groove 21b are reduced, thereby suppressing the occurrence of rattling and sliding. Dynamic load can be reduced. In the present embodiment, the ball bearing 22 and the ball are used. Alternatively, a configuration using a bar or a sliding bearing made of a material having a small friction coefficient such as PTFE may be used.

回転規制部20は、移動体3のXY面内での回転を規制することができればよいため、必ずしも、スライド部材25の移動方向を被駆動体10Bの駆動方向と平行とし、基台26の移動方向を被駆動体10Aの駆動方向と略平行にする必要はない。しかし、移動体3の駆動方向によって、駆動ユニット4A,4Bに生じさせる必要のある駆動力の大きさ、つまり、出力部10A1,10B1が移動体3を並進させる推力の大きさが異なる場合がある。その場合には、回転規制部20は、大きな駆動を必要とする駆動方向で回転規制部20の摺動負荷が小さくなるように、設置されていることが望ましい。   Since the rotation restricting section 20 only needs to be able to restrict the rotation of the moving body 3 in the XY plane, the moving direction of the slide member 25 is necessarily parallel to the driving direction of the driven body 10B, and the movement of the base 26 is not limited. The direction does not need to be substantially parallel to the driving direction of the driven body 10A. However, the magnitude of the driving force required to be generated in the driving units 4A and 4B, that is, the magnitude of the thrust by which the output units 10A1 and 10B1 translate the moving body 3 may vary depending on the driving direction of the moving body 3. . In this case, it is desirable that the rotation restricting section 20 be installed so that the sliding load of the rotation restricting section 20 is reduced in a driving direction requiring a large drive.

一例として、移動体3の並進面が重力方向と平行になるように並進駆動装置100が設置された場合を取り上げ、駆動ユニット4A,4Bの出力部10A1,10B1が移動体3を並進させる推力の大きさと移動体3の駆動方向との関係について説明する。例えば、移動体3の中心に形成されている孔部にレンズ又は撮像素子を取り付けて像ぶれ補正装置を構成し、この像ぶれ補正装置撮像装置に適用した場合に、一般的な撮像姿勢で、移動体3の並進面は重力方向と平行になる。   As an example, a case where the translation driving device 100 is installed so that the translation surface of the moving body 3 is parallel to the direction of gravity is taken up. The relationship between the size and the driving direction of the moving body 3 will be described. For example, a lens or an image sensor is attached to a hole formed at the center of the moving body 3 to form an image blur correction device, and when the image blur correction device is applied to the image capture device, a general image capturing posture is obtained. The translation surface of the moving body 3 is parallel to the direction of gravity.

図5は、駆動ユニット4A,4Bの出力部10A1,10B1が移動体3を並進させる推力の大きさ及び方向と移動体3の駆動方向との関係を示す図である。2つの出力部10A1が移動体3を並進させる推力をそれぞれF,Fとし、2つの出力部10B1が移動体3を並進させる推力をそれぞれF,Fとし、反時計回りを正の向きとする。また、推力F,F,F,FのX方向に対する傾きをそれぞれθ,θ,θ,θとし、移動体3の重量をMとする。なお、出力部10A1,10B1が移動体3を並進させる推力の大きさは、駆動ユニット4A,4Bが発生する駆動力の大きさと同等とみなすことができる。 FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the magnitude and direction of the thrust for the output units 10A1 and 10B1 of the drive units 4A and 4B to translate the moving body 3 and the driving direction of the moving body 3. The thrusts for the two output units 10A1 to translate the moving body 3 are F 1 and F 3 , respectively, and the thrusts for the two output units 10B1 to translate the moving body 3 are F 2 and F 4 , respectively. Orientation. The inclinations of the thrusts F 1 , F 2 , F 3 , and F 4 in the X direction are θ 1 , θ 2 , θ 3 , and θ 4 , respectively, and the weight of the moving body 3 is M. It should be noted that the magnitude of the thrust by which the output units 10A1 and 10B1 translate the moving body 3 can be considered to be equivalent to the magnitude of the driving force generated by the driving units 4A and 4B.

このとき、移動体3を+Y方向に駆動するためには、下記式1の関係を満たす推力Fが必要となる。なお、下記式1の“g”は重力加速度である。 At this time, in order to drive the movable body 3 + Y direction, it is necessary to thrust F Y satisfy the relation of the following formula 1. Note that “g” in Equation 1 below is the gravitational acceleration.

一方、推力Fは、推力F〜Fを用いて、下記式2で表される。実質的に推力F〜Fは等しいとみなすことができるため、−F=F=F=−F=Fである。並進駆動装置100では、θ=θ=θ=θ=45°であるため、下記式2は、下記式3に書き換えられる。こうして、下記式1と下記式3から、下記式4の関係が導かれる。 On the other hand, the thrust F Y, using the thrust F 1 to F 4, represented by the following formula 2. Since it can be regarded as substantially thrust F 1 to F 4 equal, a -F 1 = F 2 = F 3 = -F 4 = F a. In the translation driving device 100, since θ 1 = θ 2 = θ 3 = θ 4 = 45 °, the following Expression 2 is rewritten into the following Expression 3. Thus, the following equation 4 is derived from the following equations 1 and 3.

次に、推力Fの発生方向と一致する方向に移動体3を駆動するときの推力Fを求める。この場合、X方向に負荷は掛からないため、推力Fは移動体3をY方向に移動させるための力として作用する。よって、下記式5の関係が成立する。また、駆動ユニット4Aを駆動する必要はないため、下記式6が成り立ち、F=−F=Fとすると、下記式7が得られる。したがって、下記式5と下記式7とから、下記式8の関係が得られる。 Next, determine the thrust F S when driving the movable body 3 in a direction that coincides with the generating direction of the thrust force F 2. In this case, since the load in the X direction not applied, the thrust F S acts as a force for moving the movable body 3 in the Y direction. Therefore, the relationship of the following Expression 5 is established. Moreover, it is not necessary to drive the driving unit 4A, it holds the following formula 6, when F 2 = -F 4 = F b , the following equation 7 is obtained. Therefore, the following Expression 8 is obtained from Expression 5 and Expression 7 below.

上記式3,4,7,8より、推力Fと推力Fとが等しい場合、F/F=21/2の関係が得られる。このことは、推力Fの方向と移動体3の駆動方向とが略一致する場合に、より大きな推力が必要となることを示している。このことは、推力Fの方向と移動体3の駆動方向との関係についても同様である。 From the above expressions 3, 4, 7, and 8, when the thrusts F Y and F S are equal, the relationship of F b / F a = 2 1/2 is obtained. This means that when the driving direction of thrust F 2 direction as the moving body 3 substantially coincides, shows that greater thrust is required. This also applies to the relationship between the driving direction of the direction of the movable body 3 of the thrust F 3.

そこで、本実施形態では、駆動ユニット4Bに大きな駆動力を発生させることが必要となるときに回転規制部20の摺動負荷が小さくなるように、スライド部材25の移動方向が出力部10B1の移動方向と平行となるように回転規制部20を設置している。同様に、駆動ユニット4Aに大きな駆動力を発生させることが必要となるときに回転規制部20の摺動負荷が小さくなるように、基台26の移動方向が出力部10A1の移動方向と平行となるように回転規制部20を設置している。このように、スライド部材25と基台26の少なくとも一方又は両方が、被駆動体10A及び/又は被駆動体10Bの駆動方向と平行な方向に移動可能な構成とすることにより、対応する駆動ユニットに発生させる駆動力を最小限に抑えることができる。   Therefore, in the present embodiment, the moving direction of the slide member 25 is set so that the sliding load of the rotation restricting section 20 is reduced when it is necessary to generate a large driving force in the driving unit 4B. The rotation restricting portion 20 is provided so as to be parallel to the direction. Similarly, when the driving unit 4A needs to generate a large driving force, the moving direction of the base 26 is parallel to the moving direction of the output unit 10A1 so that the sliding load of the rotation restricting unit 20 is reduced. The rotation restricting part 20 is installed so as to be as follows. As described above, by configuring at least one or both of the slide member 25 and the base 26 to be movable in a direction parallel to the driving direction of the driven body 10A and / or the driven body 10B, a corresponding driving unit is provided. The driving force to be generated can be minimized.

次に、移動体3を所定位置に保持する機構について説明する。並進駆動装置100は、移動体3を所定位置に保持して、移動体3の並進を規制することが可能な構造を有する。図6は、並進駆動装置100において移動体3の並進が規制された状態を示す平面図である。保持部2には3カ所に係合ピン18が設けられており、移動体3には3カ所に係合部19が設けられている。なお、3カ所の係合ピン18と3カ所に係合部19とが係合しておらず、移動体3がXY面内で並進可能な状態は、図2に示されている。   Next, a mechanism for holding the moving body 3 at a predetermined position will be described. The translation driving device 100 has a structure capable of holding the moving body 3 at a predetermined position and regulating the translation of the moving body 3. FIG. 6 is a plan view showing a state where the translation of the moving body 3 is restricted in the translation driving device 100. The holding portion 2 is provided with engagement pins 18 at three locations, and the moving body 3 is provided with engagement portions 19 at three locations. FIG. 2 shows a state in which the three engaging pins 18 are not engaged with the engaging portions 19 at the three positions, and the moving body 3 can translate in the XY plane.

移動体3は回転規制部20によって回転することができないため、図2の状態で駆動ユニット4A,4Bに、移動体3を反時計回りに駆動させる駆動力を発生させると、その反力で駆動ユニット4A,4Bが移動体3に対して時計回りに動こうとする。これに伴い、駆動ユニット4A,4Bを保持する保持部2が時計回りに回転し、保持部2が図6に示す位置まで回転したところで、係合ピン18と係合部19とが係合し、保持部2の回転は停止する。こうして係合ピン18と係合部19とが係合することで、移動体3の並進が規制される。このとき、第1の変位センサ6aと第2の変位センサ7がそれぞれ検出した変位に基づき、保持部2の回転角度を測定し、測定された回転角度を制御パラメータとして並進駆動装置100の制御装置に記憶しておく。   Since the moving body 3 cannot be rotated by the rotation restricting section 20, when a driving force for driving the moving body 3 in the counterclockwise direction is generated in the drive units 4A and 4B in the state of FIG. The units 4A and 4B try to move clockwise with respect to the moving body 3. Along with this, the holding portion 2 holding the drive units 4A and 4B rotates clockwise, and when the holding portion 2 rotates to the position shown in FIG. 6, the engaging pin 18 and the engaging portion 19 are engaged. Then, the rotation of the holding unit 2 stops. The engagement of the engagement pin 18 with the engagement portion 19 restricts the translation of the moving body 3. At this time, based on the displacements detected by the first displacement sensor 6a and the second displacement sensor 7, respectively, the rotation angle of the holding unit 2 is measured, and the measured rotation angle is used as a control parameter to control the translation drive device 100. To memorize it.

移動体3の並進規制を解除する場合には、制御パラメータとして記憶しておいた保持部2の回転角度と同じ回転角度だけ保持部2を反時計回りに回転させるように、駆動ユニット4A,4Bを駆動すればよい。並進駆動装置100の非使用時等に移動体3の並進を規制した状態とすることで、例えば、移動体3に外力が作用した場合の損傷等を抑制することができる。なお、本実施形態では、移動体3の並進を規制する手段として、係合ピン18と係合部19との組み合せを用いたが、係合手段は、これに限定されず、他の係合手段を用いてもよい。   To release the translation restriction of the moving body 3, the driving units 4A and 4B rotate the holding unit 2 counterclockwise by the same rotation angle as the rotation angle of the holding unit 2 stored as a control parameter. Should be driven. By setting the translation of the moving body 3 in a state where the translation of the moving body 3 is not performed when the translation driving device 100 is not used, for example, it is possible to suppress damage or the like when an external force acts on the moving body 3. In the present embodiment, a combination of the engaging pin 18 and the engaging portion 19 is used as a means for restricting the translation of the moving body 3. However, the engaging means is not limited to this. Means may be used.

並進駆動装置100における駆動ユニット4A,4B、回転規制部20及び支持コロ5の位置関係について、図7を参照して説明する。図7は、並進駆動装置100における駆動ユニット4A,4B、回転規制部20及び支持コロ5の位置関係を示す平面図である。   The positional relationship between the drive units 4A and 4B, the rotation restricting unit 20, and the support rollers 5 in the translation drive device 100 will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a plan view showing the positional relationship among the drive units 4A and 4B, the rotation restricting unit 20, and the support rollers 5 in the translation drive device 100.

図7中の第1の円12は、保持部2(固定部1)の中心から駆動ユニット4A,4Bまでの最短距離を半径とする円であり、駆動ユニット4A,4Bを包含しない最大径の円である。また、図7中の第2の円13は、保持部2(固定部1)の中心から駆動ユニット4A,4Bの最も離れている点(部位)までの距離を半径とする円であり、駆動ユニット4A,4Bを包含する最小径の円である。第1の円12と第2の円13は、中心が共通する同心円である。   The first circle 12 in FIG. 7 is a circle whose radius is the shortest distance from the center of the holding section 2 (fixed section 1) to the drive units 4A and 4B, and has a maximum diameter not including the drive units 4A and 4B. It is a circle. The second circle 13 in FIG. 7 is a circle whose radius is the distance from the center of the holding section 2 (fixing section 1) to the farthest point (part) of the drive units 4A and 4B. This is a circle having the minimum diameter including the units 4A and 4B. The first circle 12 and the second circle 13 are concentric circles having a common center.

駆動ユニット4A,4Bは、回転軸の軸方向であるZ方向から見たときに、第1の円12の外側で、且つ、第2の円13の内側の円環状の領域14内に配置されている。第1の変位センサ6a,6bと第2の変位センサ7は、Z方向から見て、第1の円12の外側で、駆動ユニット4A,4Bと重ならない位置に配置されており、支持コロ5は、第2の円13の外側の領域に配置されている。回転規制部20の一部は、第1の円12の外側、且つ、第2の円13の内側に配置されている。このような構成により、保持部2における第1の円12の内側を空間(中心孔)とすることができる。   The drive units 4A and 4B are arranged outside the first circle 12 and inside the annular area 14 inside the second circle 13 when viewed from the Z direction which is the axial direction of the rotation axis. ing. The first displacement sensors 6a and 6b and the second displacement sensor 7 are disposed outside the first circle 12 at a position that does not overlap with the drive units 4A and 4B when viewed from the Z direction. Are arranged in a region outside the second circle 13. A part of the rotation restricting portion 20 is arranged outside the first circle 12 and inside the second circle 13. With such a configuration, the inside of the first circle 12 in the holding unit 2 can be a space (center hole).

保持部2に中心孔が形成されていることにより、並進駆動装置100は、移動体3の中心孔に像ぶれ補正用レンズを配置した像ぶれ補正装置として用いて、レンズ鏡筒内に配置することができる。また、並進駆動装置100は、移動体3の中心孔に撮像素子を配置し、保持部2の中心孔に撮像素子の配線を通した像ぶれ補正装置として用いることもできる。更に、並進駆動装置100をXYテーブルに適用した場合に、駆動ユニット4A,4Bを駆動するための信号線等を保持部2の中心孔を通して配線することができる。   Since the center hole is formed in the holding unit 2, the translation driving device 100 is used as an image blur correction device in which an image blur correction lens is disposed in the center hole of the moving body 3 and is disposed in the lens barrel. be able to. Further, the translation driving device 100 can also be used as an image blur correction device in which an image sensor is arranged in the center hole of the moving body 3 and the wiring of the image sensor is passed through the center hole of the holding unit 2. Further, when the translation driving device 100 is applied to an XY table, signal lines and the like for driving the driving units 4A and 4B can be wired through the center hole of the holding unit 2.

以上の説明の通り、並進駆動装置100は、駆動ユニット4A,4Bが配置されている領域に第1の変位センサ6a,6b、第2の変位センサ7及び回転規制部20を配置することができるため、小型化が容易となる。また、並進駆動装置100は、保持部2と移動体3との間隔が、回転規制部20を配置することによって広がることはないため、Z方向での薄型化が可能となる。   As described above, in the translation driving device 100, the first displacement sensors 6a and 6b, the second displacement sensor 7, and the rotation restricting unit 20 can be arranged in the area where the drive units 4A and 4B are arranged. Therefore, miniaturization becomes easy. Further, in the translation driving device 100, since the distance between the holding unit 2 and the moving body 3 does not increase due to the arrangement of the rotation restricting unit 20, the thickness can be reduced in the Z direction.

<第2実施形態>
図8は、本発明の第2実施形態に係る並進駆動装置100Aの概略構成を示す上面図である。並進駆動装置100Aは、第1実施形態に係る並進駆動装置100が2つずつ備える駆動ユニット4A,4Bを、1つずつ備える構成としたものであり、その他の構成に変わりはない。よって、並進駆動装置100Aは、並進駆動装置100Aが奏する効果と同じ効果を奏し、また、駆動ユニット4A,4Bが削減されることによりコストダウンを図ることができる。
<Second embodiment>
FIG. 8 is a top view showing a schematic configuration of a translation driving device 100A according to the second embodiment of the present invention. The translation drive device 100A has a configuration in which the translation drive device 100 according to the first embodiment is provided with two drive units 4A and 4B each of which is provided two by two, and there is no change in other configurations. Therefore, the translation driving device 100A has the same effect as the translation driving device 100A, and the cost can be reduced by reducing the number of the driving units 4A and 4B.

<第3実施形態>
図9は、本発明の第3実施形態に係る並進駆動装置100Bの概略構成を示す上面図である。第1実施形態に係る並進駆動装置100では、振動型アクチュエータを有する駆動ユニット4A,4Bを用いて、移動体3の並進駆動を実現した。これに対して、並進駆動装置100Bは、振動型アクチュエータを有する駆動ユニット4A,4Bに代えて、駆動コイルと永久磁石によって構成されたモータを有する駆動ユニット34A,34Bを用いて、移動体33を並進駆動する。
<Third embodiment>
FIG. 9 is a top view illustrating a schematic configuration of a translation driving device 100B according to a third embodiment of the present invention. In the translation drive device 100 according to the first embodiment, the translation drive of the moving body 3 is realized using the drive units 4A and 4B having the vibration type actuator. On the other hand, the translation drive device 100B uses the drive units 34A and 34B having motors constituted by drive coils and permanent magnets instead of the drive units 4A and 4B having vibration type actuators, and Drive translation.

並進駆動装置100Bは、固定部31、保持部32、移動体33、駆動ユニット34A,34B,第1の変位センサ6a,6b、第2の変位センサ7及び回転規制部20を備える。第1の変位センサ6a,6b、第2の変位センサ7及び回転規制部20は、並進駆動装置100を構成するものと同じであるため、ここでの説明を省略する。   The translation drive device 100B includes a fixed portion 31, a holding portion 32, a moving body 33, drive units 34A and 34B, first displacement sensors 6a and 6b, a second displacement sensor 7, and a rotation restricting portion 20. The first displacement sensors 6a and 6b, the second displacement sensor 7, and the rotation restricting unit 20 are the same as those constituting the translation driving device 100, and thus the description thereof will be omitted.

固定部31は、ボールプランジャ40が所定位置に固定されている点で、第1実施形態に係る並進駆動装置100を構成する固定部1と異なるが、その他の構成は固定部1と同じである。また、保持部32は、ボールプランジャ40と係合する凹部41a,41bを備える点で、第1実施形態に係る並進駆動装置100を構成する保持部2と異なるが、その他の構成は保持部2と同じである。駆動ユニット34A,34Bを用いることで、移動体33は、推力受け部11A,11Bを必要としない。したがって、移動体33は、推力受け部11A,11Bを有さない点で第1実施形態に係る並進駆動装置100を構成する移動体3と異なるが、それ以外の構成は移動体3と同じである。   The fixed part 31 is different from the fixed part 1 that constitutes the translation driving device 100 according to the first embodiment in that the ball plunger 40 is fixed at a predetermined position, but other configurations are the same as the fixed part 1. . The holding unit 32 is different from the holding unit 2 of the translation driving device 100 according to the first embodiment in that the holding unit 32 includes concave portions 41 a and 41 b that engage with the ball plunger 40, but other configurations are the same. Is the same as By using the drive units 34A and 34B, the moving body 33 does not need the thrust receiving units 11A and 11B. Therefore, the moving body 33 is different from the moving body 3 constituting the translation driving device 100 according to the first embodiment in that the moving body 33 does not have the thrust receiving portions 11A and 11B, but other configurations are the same as the moving body 3. is there.

図10は、駆動ユニット34A,34Bの概略構成を示す断面図である。駆動ユニット34A,34Bは、それぞれが同じ構造を有しており、バックヨーク35、永久磁石36、駆動コイル37及びヨーク38を有する。駆動コイル37はヨーク38を介して移動体33に取り付けられており、永久磁石36はバックヨーク35を介して保持部32に取り付けられている。   FIG. 10 is a sectional view showing a schematic configuration of the drive units 34A and 34B. Each of the drive units 34A and 34B has the same structure, and includes a back yoke 35, a permanent magnet 36, a drive coil 37, and a yoke 38. The drive coil 37 is attached to the moving body 33 via a yoke 38, and the permanent magnet 36 is attached to the holder 32 via a back yoke 35.

駆動ユニット34A,34Bは、永久磁石36で発生する磁束を利用して電気エネルギを機械エネルギに変換する、所謂、ボイスコイルモータである。駆動コイル37には、図10が描画されている紙面奥行き方向に電流が流れるようになっており、電流が流れたときに駆動コイル37には紙面左右方向に移動する力が発生し、この力によって移動体33を移動させる。なお、移動体33に、直接、駆動コイル37を取り付けて駆動することも可能である。   The drive units 34A and 34B are so-called voice coil motors that convert electric energy into mechanical energy using magnetic flux generated by the permanent magnet 36. An electric current flows through the drive coil 37 in the depth direction of the drawing on which FIG. 10 is drawn. When the electric current flows, the driving coil 37 generates a force that moves in the left and right direction of the drawing. The moving body 33 is moved by. In addition, it is also possible to directly drive the movable body 33 by attaching the drive coil 37 thereto.

並進駆動装置100Bでは、係合ピン18と係合部19とが係合していても、駆動コイル37に電流を流していないときには駆動コイル37に力が掛からないため、保持部32と移動体33を一定位置に保持することができない。そこで、並進駆動装置100Bでは、ボールプランジャ40を用いて、保持部32の固定部31に対する位置を、移動体33の並進が可能な位置と移動体33の並進が規制される位置との間で切り替える。   In the translation drive device 100B, even when the engagement pin 18 and the engagement portion 19 are engaged, when no current is applied to the drive coil 37, no force is applied to the drive coil 37. 33 cannot be held in a fixed position. Therefore, in the translation driving device 100B, using the ball plunger 40, the position of the holding portion 32 with respect to the fixed portion 31 is changed between a position where the translation of the moving body 33 is possible and a position where the translation of the moving body 33 is restricted. Switch.

図11は、固定部31と保持部32の位置関係とボールプランジャ40の動作とを説明する模式図である。ボールプランジャ40は、内蔵された内部バネによって長手方向の外側へ付勢されたボール42を先端に有しており、内部バネを圧縮させる外力がボール42に作用すると、ボール42は内部に押し込まれ、この外力が除去されると先端に露出する構造となっている。   FIG. 11 is a schematic diagram illustrating the positional relationship between the fixing unit 31 and the holding unit 32 and the operation of the ball plunger 40. The ball plunger 40 has at its tip a ball 42 urged outward in the longitudinal direction by a built-in internal spring. When an external force compressing the internal spring acts on the ball 42, the ball 42 is pushed into the inside. When the external force is removed, the end is exposed.

保持部32の外周面には、ボール42の係合用の凹部41a,41bが形成されている。図11(a)は、移動体33の並進が規制されていない状態(係合ピン18と係合部19とが係合していない状態)を示しており、この状態では、ボール42は凹部41aと係合している。図11(b)に示すように、時計回りに保持部32を回転させるように駆動ユニット34A,34Bを駆動すると、ボール42は凹部41a,41b間の外周面に乗り上げると共にボールプランジャ40の内部に押し込められて、保持部32の外周面を摺動する。   Recesses 41 a and 41 b for engaging the ball 42 are formed on the outer peripheral surface of the holding portion 32. FIG. 11A shows a state in which the translation of the moving body 33 is not restricted (a state in which the engaging pin 18 and the engaging portion 19 are not engaged). In this state, the ball 42 41a. As shown in FIG. 11B, when the drive units 34A and 34B are driven so as to rotate the holding portion 32 clockwise, the ball 42 rides on the outer peripheral surface between the concave portions 41a and 41b, and the ball 42 It is pushed in and slides on the outer peripheral surface of the holding portion 32.

保持部32が更に回転して、係合ピン18が係合部19に係合すると共に、図11(c)に示すように凹部41bにボール42が係合することで、保持部32の回転は止まり、移動体33の並進が規制された状態となる。なお、移動体33の並進が規制された状態から並進が可能な状態へ戻す際には、所定角度、保持部32を反時計回りに回転させればよい。このように、並進駆動装置100Bでは、ボールプランジャ40によって、駆動ユニット34A,34Bが駆動されていない状態でも、保持部32を所定位置に保持することができる。   When the holding portion 32 is further rotated, the engagement pin 18 is engaged with the engagement portion 19, and the ball 42 is engaged with the concave portion 41b as shown in FIG. Stops, and the translation of the moving body 33 is restricted. When returning from the state where the translation of the moving body 33 is restricted to the state where translation is possible, the holding unit 32 may be rotated counterclockwise by a predetermined angle. Thus, in the translation driving device 100B, the holding portion 32 can be held at the predetermined position by the ball plunger 40 even when the driving units 34A and 34B are not driven.

並進駆動装置100Bでも、図9から明らかなように、駆動ユニット34A,34Bが配置されている領域に第1の変位センサ6a,6b、第2の変位センサ7及び回転規制部20を配置することができるため、小型化が可能になる。また、並進駆動装置100Bでも、保持部32と移動体33との間隔が回転規制部20を配置することによって広がることはなく、これにより薄型化が可能となる。即ち、並進駆動装置100Bもまた、第1実施形態に係る並進駆動装置100と同等の効果を奏する。   Also in the translation driving device 100B, as is clear from FIG. 9, the first displacement sensors 6a and 6b, the second displacement sensor 7, and the rotation restricting unit 20 are arranged in the area where the driving units 34A and 34B are arranged. Therefore, miniaturization becomes possible. Also, in the translation driving device 100B, the distance between the holding portion 32 and the moving body 33 is not widened by arranging the rotation restricting portion 20, so that the thickness can be reduced. That is, the translation drive device 100B also has the same effect as the translation drive device 100 according to the first embodiment.

<第4実施形態>
図12は、並進駆動装置100を備える撮像装置200の概略構成を示す上面図である。撮像装置200は、大略的に、撮像素子を有する撮像装置本体51と、撮像装置本体51に対して着脱自在なレンズ鏡筒52から構成されている。レンズ鏡筒52は、複数のレンズ群53を有すると共に、被写体の像ぶれを補正する像ぶれ補正装置としての並進駆動装置100を有する。
<Fourth embodiment>
FIG. 12 is a top view illustrating a schematic configuration of an imaging device 200 including the translation driving device 100. The imaging device 200 generally includes an imaging device main body 51 having an imaging element, and a lens barrel 52 that is detachable from the imaging device main body 51. The lens barrel 52 has a plurality of lens groups 53 and a translation driving device 100 as an image blur correction device that corrects image blur of a subject.

レンズ鏡筒52を通過した光束は、撮像素子に結像する。撮像素子は、結像した光学像を光電変換により電気信号に変換し、撮像装置200が備える画像処理回路へ出力する。画像処理回路は、受信した電気信号から画像データを生成する。   The light beam that has passed through the lens barrel 52 forms an image on the image sensor. The imaging device converts the formed optical image into an electric signal by photoelectric conversion and outputs the electric signal to an image processing circuit included in the imaging device 200. The image processing circuit generates image data from the received electric signal.

並進駆動装置100は、移動体3の中心孔に固定された像ぶれ補正レンズ54を有し、図1に示すZ方向がレンズ鏡筒52の光軸方向と一致するように、レンズ鏡筒52に配置される。よって、像ぶれ補正レンズ54を光軸と直交する面内で移動させることによって、手ぶれ等に起因する像ぶれを補正して、明瞭な画像を撮像することができる。   The translation driving device 100 has an image blur correction lens 54 fixed to the center hole of the moving body 3, and moves the lens barrel 52 so that the Z direction shown in FIG. 1 matches the optical axis direction of the lens barrel 52. Placed in Therefore, by moving the image blur correction lens 54 in a plane orthogonal to the optical axis, it is possible to correct image blur caused by camera shake or the like and to capture a clear image.

撮像装置200の非使用時には、移動体3を並進が規制された状態(図6)とすることが望ましい。これにより、撮像装置200の運搬時等に外力が並進駆動装置100に作用しても、並進駆動装置100の損傷等を防止することができる。更に、第2実施形態に係る並進駆動装置100Aを撮像装置200に適用した場合には、並進駆動装置100Aの駆動による、撮像装置200の駆動源であるバッテリの消耗を抑制することができる。   When the imaging device 200 is not used, it is desirable that the moving body 3 be in a state where translation is restricted (FIG. 6). Thereby, even if an external force acts on the translation drive device 100 when the imaging device 200 is carried or the like, it is possible to prevent the translation drive device 100 from being damaged. Furthermore, when the translation driving device 100A according to the second embodiment is applied to the imaging device 200, the consumption of the battery that is the driving source of the imaging device 200 due to the driving of the translation driving device 100A can be suppressed.

<その他の実施形態>
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。例えば、本発明に係る並進駆動装置を構成する駆動ユニットの数は、2つ又は4つに限定されるものではなく、3つ又は5つ以上であってもよい。また、例えば、駆動ユニット4Aでは、被駆動体10Aが振動体110に対して相対的に直線駆動される構成とした。これに限らず、被駆動体10Aが固定され、振動体110が被駆動体10Aに対して相対的に直線駆動される構成としてもよく、その場合には、出力部10A1は振動体110に設ければよい。
<Other embodiments>
As described above, the present invention has been described in detail based on the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to these specific embodiments, and various forms that do not depart from the gist of the present invention are also included in the present invention. included. Furthermore, each of the embodiments described above is merely an embodiment of the present invention, and the embodiments can be appropriately combined. For example, the number of drive units constituting the translation drive device according to the present invention is not limited to two or four, but may be three or five or more. Further, for example, in the driving unit 4A, the driven body 10A is linearly driven relative to the vibrating body 110. The invention is not limited thereto, and the driven body 10A may be fixed and the vibrating body 110 may be linearly driven relative to the driven body 10A. In this case, the output unit 10A1 is provided on the vibrating body 110. Just do it.

1,31 固定部
2,32 保持部
3,33 移動体
4A,4B,34A,34B 駆動ユニット
5 支持コロ
6a,6b 第1の変位センサ
7 第2の変位センサ
10A,10B 被駆動体
10A1,10B1 出力部
18 係合ピン
19 係合部
20 回転規制部
25 スライド部材
26 基台
52 レンズ鏡筒
100,100A,100B 並進駆動装置
200 撮像装置
1, 31 Fixed part 2, 32 Holding part 3, 33 Moving body 4A, 4B, 34A, 34B Driving unit 5 Support rollers 6a, 6b First displacement sensor 7 Second displacement sensor 10A, 10B Driven body 10A1, 10B1 Output unit 18 Engagement pin 19 Engagement unit 20 Rotation regulation unit 25 Slide member 26 Base 52 Lens barrel 100, 100A, 100B Translation drive device 200 Imaging device

Claims (18)

それぞれが、振動型アクチュエータと、推力を出力する出力部と、を有する複数の駆動ユニットと、
前記複数の駆動ユニットを保持る保持部と、
前記出力部と摺動自在に係合して前記出力部の推力を受ける推力受け部を有し、前記複数の駆動ユニットにより駆動される移動体と、
前記移動体を平面内の任意の方向に並進及び回転可能に支持する環状の固定部と、
前記平面内での前記移動体の回転を規制する回転規制手段と、を備え、
前記固定部は、周方向を長手方向とした複数の長孔を有し、
前記移動体は、前記移動体の外周から突出し、前記複数の長孔のそれぞれに挿通される複数の支持部材を有し、
前記複数の支持部材は、前記移動体のラジアル方向において前記移動体の中心について対称となる位置に設けられ、
前記推力受け部は、前記複数の支持部材を結ぶ直線上に設けられ、
前記回転規制手段は、前記移動体のスラスト方向から見たときに、前記固定部の中心軸を中心として前記複数の駆動ユニットを包含しない最大径の第1の円の外側に配置されていることを特徴とする駆動装置。
A plurality of drive units each having a vibration-type actuator and an output unit that outputs thrust ,
A holding unit that holds a plurality of drive units,
A moving body that is slidably engaged with the output section and receives a thrust of the output section, and is driven by the plurality of drive units;
An annular fixing portion that supports the moving body so as to translate and rotate in any direction in a plane,
Rotation control means for restricting the rotation of the moving body in the plane ,
The fixing portion has a plurality of long holes whose circumferential direction is a longitudinal direction,
The moving body has a plurality of support members protruding from an outer periphery of the moving body and inserted into each of the plurality of long holes,
The plurality of support members are provided at positions that are symmetric about a center of the moving body in a radial direction of the moving body,
The thrust receiving portion is provided on a straight line connecting the plurality of support members,
The rotation restricting means, when viewed from the thrust direction of the moving body, is disposed outside a first circle having a maximum diameter that does not include the plurality of drive units around a center axis of the fixed portion . drive braking system you characterized.
前記回転規制手段の一部は、前記移動体のスラスト方向から見たときに、前記第1の円の外側、且つ、前記中心軸を中心として前記2つ以上の駆動ユニットを包含する最小径の第2の円の内側の領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 A part of the rotation restricting unit has a minimum diameter outside the first circle and including the two or more drive units around the center axis when viewed from the thrust direction of the moving body . drive braking system according to claim 1, characterized in that arranged inside the region of the second circle. 前記回転規制手段の一部は、前記移動体のスラスト方向から見たときに、前記第1の円の外側、且つ、前記第2の円の内側の領域において、前記2つ以上の駆動ユニットと重ならない位置に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。 When viewed from the thrust direction of the moving body , a part of the rotation restricting means is provided with the two or more drive units in a region outside the first circle and inside the second circle. It is disposed in a position that does not overlap drive braking system according to claim 2, wherein. 前記回転規制手段は、前記固定部に固定される第1の部材と、前記第1の部材に対して第1の方向に移動可能な第2の部材とを有し、
前記移動体は、前記第2の部材に対して前記第1の方向と異なる第2の方向に移動可能であり、前記第2の部材と一体となって前記第1の方向に移動可能であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の駆動装置。
The rotation restricting means includes a first member fixed to the fixing portion, and a second member movable in a first direction with respect to the first member,
The moving body is movable in a second direction different from the first direction with respect to the second member, and is movable in the first direction integrally with the second member. drive braking system according to any one of claims 1 to 3, characterized in that.
前記第1の方向と前記第2の方向の少なくとも一方は、前記2つ以上の駆動ユニットのうちの1つが前記移動体を駆動する駆動方向と平行であることを特徴とする請求項4に記載の駆動装置。 The device according to claim 4, wherein at least one of the first direction and the second direction is parallel to a driving direction in which one of the two or more driving units drives the moving body. drive motion device. 前記第2の方向は、前記第1の方向と前記平面内において直交する方向であり、
前記2つ以上の駆動ユニットのうち、少なくとも1つは前記第1の方向と平行な方向へ前記移動体を駆動し、少なくとも別の1つは前記第2の方向と平行な方向へ前記移動体を駆動することを特徴とする請求項4又は5に記載の駆動装置。
The second direction is a direction orthogonal to the first direction in the plane,
At least one of the two or more drive units drives the moving body in a direction parallel to the first direction, and at least another drives the moving body in a direction parallel to the second direction. drive braking system according to claim 4 or 5, characterized in that to drive the.
前記駆動ユニットは、
発生させた駆動力を出力する出力部と、
電気−機械エネルギ変換素子と弾性体とが接合されてなる振動体と、
前記振動体と加圧接触する被駆動体と、を有し、
前記移動体は、前記出力部と摺動自在に係合し、前記出力部の推力を受ける推力受け部を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動電圧を印加することにより前記振動体に励起された振動によって前記振動体と前記被駆動体との間に生じさせた相対的かつ直線的な移動が前記出力部の推力として出力されることにより前記移動体が並進駆動されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の駆動装置。
The drive unit includes:
An output unit for outputting the generated driving force,
A vibrating body in which the electro-mechanical energy conversion element and the elastic body are joined;
A driven body that comes into pressure contact with the vibrating body,
The moving body has a thrust receiving portion that slidably engages with the output portion and receives a thrust of the output portion,
A relative and linear movement caused between the vibrating body and the driven body by vibration excited by the vibrating body by applying a driving voltage to the electro-mechanical energy conversion element is the output unit. drive braking system according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the moving body is translated driven by being output as thrust.
前記駆動ユニットは、駆動コイルと永久磁石とを有し、前記永久磁石で発生する磁束を利用して電気エネルギを機械エネルギに変換するモータであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の駆動装置。 7. The motor according to claim 1, wherein the drive unit has a drive coil and a permanent magnet, and is a motor that converts electric energy into mechanical energy by using a magnetic flux generated by the permanent magnet. drive braking system according to item 1. 前記保持部と前記移動体は、前記保持部を回転させたときに互いに係合して前記保持部の回転を一定の角度に規制する係合手段を有することを特徴とする請求項7又は8に記載の駆動装置。 The said holding part and the said moving body have engagement means which mutually engages when rotating the said holding part, and regulates rotation of the said holding part to a fixed angle, The Claim 7 or 8 characterized by the above-mentioned. drive motion device according to. 前記固定部と前記保持部は、前記保持部の前記固定部に対する位置を、前記移動体の並進が可能な位置と前記移動体の並進が規制される位置との間で切り替える切り換え手段を有することを特徴とする請求項9に記載の駆動装置。 The fixing unit and the holding unit may include switching means for switching a position of the holding unit with respect to the fixing unit between a position where the translation of the moving body is possible and a position where the translation of the moving body is restricted. drive braking system according to claim 9, characterized in. 前記移動体の移動量を測定する2つ以上のセンサを備え、
前記2つ以上のセンサのうち、1つのセンサと別の1つのセンサとでは、前記移動体の移動量を測定する方向が異なることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の並進駆動装置。
Comprising two or more sensors for measuring the amount of movement of the moving body,
11. The sensor according to claim 1, wherein one of the two or more sensors has a different direction in which the moving amount of the moving body is measured from another sensor. 12. Translation drive.
前記2つ以上のセンサは、前記第1の円の外側に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の駆動装置。 The two or more sensors, driving a kinematic device according to claim 11, characterized in that it is disposed outside the first circle. 前記2つ以上のセンサは、前記移動体のスラスト方向から見たときに、前記2つ以上の駆動ユニットと重ならない位置に配置されていることを特徴とする請求項12に記載の駆動装置。 The two or more sensors, when viewed from the thrust direction of the movable body, driving movement device according to claim 12, characterized in that it is arranged at a position that does not overlap with the two or more drive units . 前記2つ以上のセンサのうち、少なくとも1つは前記固定部に配置され、少なくとも別の1つは前記保持部に配置されていることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の駆動装置。 14. The device according to claim 11, wherein at least one of the two or more sensors is arranged on the fixed part, and at least another one is arranged on the holding part. drive motion device as claimed. 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の駆動装置と、
記駆動装置の前記移動体に設けられた像ぶれ補正用のレンズと、を備えることを特徴とする像ぶれ補正装置。
And drive kinematic device according to any one of claims 1 to 14,
Previous image stabilizer to said lens for a mobile image provided blur correction hear operated device, comprising: a.
請求項1乃至14のいずれか1項に記載の駆動装置と、
記駆動装置の前記移動体に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする像ぶれ補正装置。
And drive kinematic device according to any one of claims 1 to 14,
Wherein an imaging element arranged on the movable body, the image blur correction device, comprising a pre-listen braking system.
請求項15に記載の像ぶれ補正装置を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。   A lens barrel comprising the image blur correction device according to claim 15. 請求項15又は16に記載の像ぶれ補正装置を備えることを特徴とする撮像装置。   An imaging apparatus comprising the image blur correction device according to claim 15.
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