JP6644221B2

JP6644221B2 - 回転機器用モニタリング装置及び該装置を用いたプラントメンテナンス法

Info

Publication number: JP6644221B2
Application number: JP2017189685A
Authority: JP
Inventors: 達広佐野
Original assignee: FREE SHINE
Current assignee: FREE SHINE
Priority date: 2017-09-29
Filing date: 2017-09-29
Publication date: 2020-02-12
Anticipated expiration: 2037-09-29
Also published as: JP2019066230A

Description

本発明は例えば大規模工場やプラント等に多数設置されているモータや歯車等の回転機器の故障前の不具合状態を検証することを可能とした回転機器用モニタリング装置及びプラントメンテナンス法に関するものである。

自動車部品製造ライン、下水処理場のポンプ、その他多くの産業機器プラント等では、モーターや減速機等の回転機器が多数使われている。多くのプラント等では、そういったモーターや減速機等の回転機器(動力伝達装置)は、設備やライン等を構成する数多くの構成部品の一部として使用され、コストダウンを余儀なくされている。また、それらの回転機器が一つ以上不具合を発生して機能停止した場合には、設備やラインそのものが停止し、プラントの規模によっては多大な損失が発生することもある。

更に、回転機器に代替え品の用意がない場合には、メーカーに発注して取り寄せとなるが、古い機械であると構成部品に欠品が生じ、納期が半年以上掛かることもあり、構成部品の一部といえども、常に負荷の掛かっている「回転機器」は常日頃のメンテナンスを必須とし、異常状態やその兆候を発見することが重要となっている。また、コストダウンを余儀なくされた減速機やモーターに対して、高額なモニタリング装置を付加することができない状況も充分に考えられる。

しかし、昨今、機器を検査する熟練技術者が不足してきており、このような設備停止による損失が全国的に散見されるようになった。そこで、変速型回転機械設備に発生する異常部位の判定及び異常程度の判定を、振動を利用して精度良く診断する方法および装置を提供することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。更に、分析対象となる音響・振動データが暗騒音や外乱に埋もれた場合であっても、正確に対象設備の診断を行うことのできる方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開平１０−２６５８０号公報特開２００４−２０１９３号公報

しかしながら、該当する回転機器設備のモニタリング装置は、多数存在するのであれば、全ての回転機器に設置せざるを得ず、当然のことながら、複数個のモニタリング装置を必要とする。加えて、個々のモニタリング装置に対して、配線工事を伴うこととなる。更に、個々のモニタリング装置からのデータを経時的にしかも長期に亘って比較検討する必要がある。

従って、複数個のモニタリング装置の設置自体が高価なものとなっていることがネックとなり、一部の大手企業を除いて導入が進んでいないのが現状である。また、現代の日本は故障と正常のデータを収集し、ビックデータ化するという道に進むべきであり、今の各企業の現状は機器解析の黎明期のようである。

本発明は、設置が容易で取付の自由度が上がり、どのような箇所でも個々の装置への配線工事を必要とせず、結果的に安価に設置可能な回転機器用モニタリング装置を得ることを目的とする。また、本発明は、回転機器用モニタリング装置を用いてプラントをメンテナンスすることにより、故障前の不具合状態を検証することを可能とするプラントメンテナンス法を得ることを別の目的とする。

請求項１に記載された発明に係る回転機器用モニタリング装置は、１つ以上の回転機器の各々の近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置であって、
前記子機が、
設置箇所近傍の回転機器からの振動又は音を計測する振動センサと、
前記回転機器の近傍温度を計測する温度センサと、
計測されたデータを前記親機に無線回線経由で配信するデータ配信手段とを備え、
前記親機が、
前記子機からの配信データを受信するデータ受信手段と、
受信された前記子機からの配信データを記録・蓄積する記録手段と、
受信された前記子機からの配信データと前記記録手段に記録・蓄積された過去のデータとを比較し、異常の有無を検出する監視手段とを備え、
前記子機が、
駆動源としての電池と、
タイマー手段と、
前記タイマー手段によって前記子機の駆動を間欠的に行わせる駆動制御手段と
を更に備え、
前記駆動制御手段が、
前記振動センサ、前記温度センサ、及び前記電池のデータを収集するシステムの給電を前記タイマー手段によって数分から数時間毎にカットして駆動を停止させるスリープ状態と、
前記親機からの指令にのみ対応するシステムのみ給電された状態で、前記タイマー手段によって数時間毎の間欠的な駆動のみを行わせるディープスリープ状態とを切り換えることを特徴とするものである。

請求項２に記載された発明に係る回転機器用モニタリング装置は、請求項１に記載の子機の電池として、電池ユニットを備え、
前記電池ユニットが、電池と、予備電池と、切換回路とで構成させており、
前記切換回路が、電池の電圧が閾値を下回った際に予備電池に切り換えると共に、切り換えた際にアラート指令を前記配信データ内に付加させることを特徴とするものである。

請求項３に記載された発明に係るモニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法は、請求項１又は２に記載のモニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法であって、
プラント内の１つ以上の回転機器近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法において、
前記子機の前記振動センサと前記温度センサとにより設置箇所近傍の回転機器の振動データ又は音データと温度データとを計測して、前記データ配信手段で計測されたデータを前記親機に配信し、
前記親機の前記記録手段で前記子機からの配信データを記録・蓄積すると共に、前記子機からの配信データと前記記録手段で記録・蓄積された過去のデータと比較し、前記監視手段で予め定められた振動数のデータが予め定められた閾値を超えた子機を検査するべきとの要検査信号を発信することを特徴とするものである。

本発明は、子機により、多数の回転機器設備に対しても設置が容易で取付の自由度が上がり、どのような箇所でも個々の装置への配線工事を必要とせず、結果的に安価に設置可能な回転機器用モニタリング装置を得ることができるという効果がある。また、これらのモニタリング装置を用いて、プラント内の回転機器をメンテナンスすることにより、故障前の不具合状態を検証することを可能とする。

本発明の一実施例の回転機器用モニタリング装置の子機の構成を示す説明図である。図１の回転機機用モニタリング装置の親機の構成を示す説明図である。本発明の別の実施例の回転機機用モニタリング装置の子機及び親機の簡略的なシステムの構成を示すシステム構成図である。

本発明においては、１つ以上の回転機器の各々の近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置であって、子機が、設置箇所近傍の回転機器からの振動又は音を計測する振動センサと、回転機器の近傍温度を計測する温度センサと、計測されたデータを親機に無線回線経由で配信するデータ配信手段とを備え、親機が、子機からの配信データを受信するデータ受信手段と、受信された子機からの配信データを記録・蓄積する記録手段と、受信された子機からの配信データと記録手段に記録・蓄積された過去のデータとを比較し、異常の有無を検出する監視手段とを備える。これにより、子機の設置が容易で取付の自由度が上がり、どのような箇所でも個々の装置への配線工事を必要とせず、結果的に安価に設置可能な回転機器用モニタリング装置を得ることができる。即ち、子機からのデータを有線ではなく無線回線で送付するため、現在稼働中のプラントに配置することが可能となる。

本発明の子機としては、設置箇所近傍の回転機器からの振動又は音を計測する振動センサと、回転機器の近傍温度を計測する温度センサと、計測されたデータを親機に配信するデータ配信手段とを備えるものであればよい。尚、子機の機能を向上させたり、設置箇所近傍の監視対象である回転機器に応じた他のセンサを装備してもよい。

本発明の振動センサとしては、振動又は音を計測するものであればよく、３軸振動計、圧電式又はサーボ式の加速度計を使用することもできるが、更に、単純に人の耳に音として感じる振動数領域（20〜2万Hzの範囲）の可聴音及びそれ以下の低周波振動及びそれ以上の高周波振動を電気信号に変換してデータ化可能なマイクロフォンも振動センサとして使用することができる。

本発明の温度センサとしては、子機が設置された回転機器の近傍温度を計測するものであればよく、設置箇所の温度を計測するものであればよい。また、設置場所の外気温を同時に計測するものがより好ましく、外気温と設置箇所との温度差が判れば回転機器が発する熱量が類推されるため、より好ましい。

本発明のデータ配信手段としては、振動センサで計測された回転機器からの振動信号データ又は音信号データと、温度センサで計測された温度データとを合わせた配信データを親機のデータ受信手段に無線回線経由で配信するものであればよい。無線回線としては、波数帯は2.4GHz帯と5GHz帯の周波数帯のＷｉＦｉ回線（無線ＬＡＮ回線）や、Bluetooth（登録商標）等の近距離無線通信等を用いることができる。

本発明の親機としては、子機からの配信データを受信するデータ受信手段と、受信された子機からの配信データを記録・蓄積する記録手段と、受信された子機からの配信データと記録手段に記録・蓄積された過去のデータとを比較し、異常の有無を検出する監視手段とを備えるものであればよい。

好ましいデータ受信手段としては、１つ以上の子機の各々に対して、固有のアドレスを割り振り、個々の子機からの配信データを受信して、個々の子機から受信した配信データを記録手段に渡すものであればよい。

好ましい記録手段としては、個々の子機毎に記録・蓄積する記録領域を作成し、個々の子機から受信した配信データを配信日時と共に個々の記録領域に記録・蓄積するものであればよい。

好ましい監視手段としては、記録手段に記録・蓄積された過去の配信データの波長又は周波数による強度分布を時系列的に比較し、徐々に変化している振動又は音の波長領域又は周波数領域を予め注視しておき、注視しておいた波長又は周波数領域の強度に閾値を予め設定しておき、受信された子機からの配信データがこの閾値を超えた場合に、該当する子機を検査するべきとの要検査信号を発信するものであればよい。この監視手段としては、ＡＩを活用してもよく、更には、既存の判定方法を用いてもよい。例えば、特許文献１及び特許文献２に示した方法等を用いてもよい。

本発明の子機の好ましい態様として、子機が駆動源として電池を更に備えることにより、子機への給電を外部電源からではなく搭載された電池で行い、子機を駆動するため、配電作業も不要となるだけでなく、更に子機の設置が容易で取付の自由度が増し、外部電源に混入される電源ノイズを拾うことなく、搭載している振動センサ、温度センサ及びデータ配信手段に対する電源ノイズの影響を極力少なくすることができる。

また、本発明の子機の更に好ましい態様として、子機が、タイマー手段と前記子機の駆動を間欠的に行わせる駆動制御手段とを更に備える。これにより、子機の駆動を間欠的に行わせることが可能となるため、消費電力を低くすることができる。特に、子機の駆動源として電池を備えた場合には、電池の寿命を大幅に長くすることが可能となり、例えば、３ヶ月に１回内部の電源を交換することも可能とする程度まで電池の寿命を長くすることも可能になる。尚、タイマー手段と駆動制御手段とはこれら手段を一つにした装置（例えば、ディープスリープ回路装置等）を子機に搭載することにより、達成してもよい。

尚、子機の駆動源としての電池としては、搭載している電池の寿命が終了した際に、交換する乾電池でもよいし、搭載している電池の寿命が終了した際に充電可能な充電池でもよい。また、搭載している電池の電力が低減した際に、切り替え可能な回路と予備電池とを搭載してもよい。

本発明では、プラント内の１つ以上の回転機器近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法において、子機の前記振動センサと前記温度センサとにより設置箇所近傍の回転機器の振動データ又は音データと温度データとを計測して、データ配信手段で計測されたデータを親機に配信し、親機の記録手段で子機からの配信データを記録・蓄積すると共に、子機からの配信データと記録手段で記録・蓄積された過去のデータと比較し、監視手段で予め定められた振動数のデータが予め定められた閾値を超えた子機を検査するべきとの要検査信号を発信する。このため、プラント内の回転機器をメンテナンスすることにより、故障前の不具合状態を検証することを可能とすることができる。

図１は本発明の一実施例の回転機器用モニタリング装置の子機の構成を示す説明図である。図２は図１の回転機機用モニタリング装置の親機の構成を示す説明図である。図３は本発明の別の実施例の回転機機用モニタリング装置の子機及び親機の簡略的なシステムの構成を示すシステム構成図である。図に示す通り、本実施例の回転機機用モニタリング装置は、プラント内の１つ以上の回転機器の各々の近傍に設置される１つ以上の図１に示す子機１０と、これら１つ以上の子機１０からのデータが配信される図２に示す親機２０とを備える。

図１に示す通り、子機１０は、接地端子１１ａによって設置箇所近傍の回転機器からの振動又は音を計測する振動センサとしての振動計１１と、接地端子１２ａによって回転機器の近傍温度を計測する温度センサとしての温度計１２と、計測されたデータを親機に無線回線経由で配信するデータ配信手段１３とを備える。この構成により、子機１０の設置が容易で取付の自由度が上がり、どのような箇所でも個々の装置への配線工事を必要とせず、結果的に安価に設置可能な回転機器用モニタリング装置を得ることができる利点を奏する。

また、子機１０には、駆動源となる電池として電池ユニット１４を備える。電池ユニット１４は外部のＤＣ給電手段１４ｄから充電可能なリチウムイオン電池１４ａと予備電池１４ｃとリチウムイオン電池１４ａと予備電池１４ｃとの切換回路１４ｂとを備える。この構成により、子機１０への給電を電池で行い、子機１０を駆動するため、配電作業も不要となるだけでなく、更に子機１０の設置が容易で取付の自由度が増し、外部電源に混入される電源ノイズを拾うことなく、搭載している振動センサ、温度センサ及びデータ配信手段に対する電源ノイズの影響を極力少なくすることができる利点を奏する。

電池ユニット１４の切換回路１４ｂによるリチウムイオン電池１４ａと予備電池１４ｃとの切換は、電池アラート回路１６によって子機１０の駆動中に電源ユニット１４の電圧を測定しつつ、予め設定された残量設定値を下回った場合に、予備電池１４ｃに切り換えると共に、アラートを発するように制御回路１７に指令を送る。

また、子機１０には、駆動制御手段としてのディープスリープ(DEEP SLEEP)回路装置１５を備える。このディープスリープ回路装置１５は、内部のタイマー手段によって、子機の駆動を予め設定された期間のみの間欠的な駆動を行わせるものであり、これにより、子機１０の駆動を間欠的に行わせることが可能となるため、消費電力を著しく低くすることができる。これにより、電池ユニット１４の駆動寿命を大幅に長くすることが可能となり、例えば、３ヶ月に１回内部の電源を交換することも可能とする程度まで電池の寿命を長くすることも可能になる。また、ディープスリープ回路装置ではなく、タイマー手段と駆動制御手段を組み合わせたスリープ手段でも同様に間欠的な駆動を行わせることができる。例えば、１秒の子機の駆動に対して、９秒のスリープのように、一定間隔毎の子機の駆動に対して、駆動簡のスリープ状態を行ってもよい。

更に、本実施例の子機１０には、設定指示データを記録・実行する制御回路１７を備えている。この制御回路１７には、内部のメモリー機能内に、データ取得タイマー設定、データ発信タイマー設定、閾値設定、ディープスリープ設定、電池アラート設定、ID管理設定、専用無線回路変換設定等が記録される。また、本実施例の子機１０には、親機２０から諸設定が配信される設定データを受信する外部入力手段１８をも備えている。即ち、制御回路１７のメモリ機能内に記録されている諸設定を親機２０からの配信によって変更可能となっている。

尚、本実施例の子機１０には、外部の状況に応じてノイズフィルター装置１９を付帯させてノイズの除去を行ってもよい。尚、ノイズの除去に関しては、子機のアースを確実に行ったり、鉛箔で子機自体を包む等の方策を採用したり、静電気の影響を受けないような措置として、静電塗装を施してもよい。

図２に示す通り、親機２０としては、制御装置としてのＰＣ２１に接続された子機１０からの配信データを受信するデータ受信手段としての無線受信器２２と、ＰＣ２１内に配された受信された子機１０からの配信データを記録・蓄積する記録手段２３と、ＰＣ２１内に配された受信された子機１０からの配信データと記録手段２３に記録・蓄積された過去のデータとを比較し、異常の有無を検出する監視手段２４とを備えている。

また、ＰＣ２１は、更に、無線受信器２２及び無線発振器２６等をPC送受信設定に沿って制御し、配信データ及び記録手段２３内の過去の配信データをメモリー機能設定に沿って記録制御し監視手段２４に配信し、無線回線変換設定に沿って１つ以上の子機１０のＩＤを確認する制御手段２５を備えている。尚、無線発振器２６は子機１０の外部入力手段１８へ設定データを配信する。

より具体的には、ＰＣ２１は、制御手段２５において、管理操作として、親機指令入力、子機１０のＩＤ管理操作を行い、監視手段２４において、ＡＩ分析・予測機能として、正常データ蓄積操作、異常データ蓄積操作、正常データ及び異常データの機械学習、故障時期予測、寿命予測、最適不可予測、環境相対的効果推定等を行う。

以上の通り、本実施例の子機１０では、設定指示データを記録・実行する制御回路１７を備えているが、より安価にするためには、この制御回路１７を省略して、親機２０からの無線指令をきっかけにして駆動するようにしてもよく、また、電源ユニットについても、乾電池のみとして、定期的に子機の乾電池を入れ換えたり、電源ユニットを乾電池と予備電池とで構成させておき、乾電池の電圧が閾値を下回った際に予備電池に切り換え、切り換えた際にアラート指令を配信データ内に付加させて乾電池を交換するようにしてもよい。

簡易的な子機の構成の一例としては、タイマー手段と、子機を間欠的に駆動する駆動制御手段と、振動センサと、温度センサと、電池の残量を計測する計測手段と、振動センサと温度センサと電池の残量を計測する計測手段とからのデータを親機へ無線回線経由で配信するデータ配信手段とを備えればよく、より好ましくは、親機からの指令によって駆動を行わせる外部入力手段としての発振回路を備えるものである。

この簡易的な子機では、図３に示す通り、親機のＰＣからの指示により、親機の送受信機から対象ＩＤの子機に指令が発せられる。一つの指令としては、子機の状態を指示する指令であり、例えば、数分から数時間スリープ状態となるスリープ指令であったり、数時間のディープスリープ状態となるディープスリープ指令であったり、データ収集する指令である。例えば、データ収集の指令により、子機の振動計、温度計、及び電池から各々の振動データ、温度データ、電池残量データを読み取り、データを一時保存させる。

尚、具体的な子機の動作の一例としては、１回の計測で温度と振動を１秒〜５秒計測する程度で十分である。また、計測期間は、指令があった場合以外にも、スリープ指令又はディープスリープ指示後に行ってもよい。これらは設置したプラントの稼働時間で設定すればよい。例えば、月曜日〜日曜日にわけ、夜間の稼動の有無でプラントの稼動時間にデータ収集を指示するようにスリープ指令又はディープスリープ指示を行えばよい。本実施例でのスリープ状態では、子機の振動計、温度計、及び電池のデータを収集するシステムの給電をカットしている状態であり、ディープスリープ状態では、親機からの指令にのみ対応するシステムのみ給電されている状態である。このため、ディープスリープ状態はスリープ状態の１／１００以下の消費電力となる可能性もある。尚、計測の後に、即時にデータを配信した上で、再度、スリープ状態とすることで、電池の消耗が抑えられる。

次の指令としては、一時保存されたデータを送信する指令であり、一時保存された振動データ、温度データ、電池残量データを発振回路から親機の送受信機に配信する。尚、発振回路では一時保存された振動データ、温度データ、電池残量データに子機のＩＤ番号を付与した配信データが作成され、送信チェック回路で親機に届いたか否かをチェックし、届いていない場合には再度発信する。また、別の指令としては、前回の配信データにおいて、電池残量データに基づいた残量が、予め設定された閾値を下回った際に、アラート指令を発する指令がある。アラートとしては、子機に搭載されたスピーカーからアラーム音を発したり、ＬＥＤを点滅させるように指令するものである。

また、子機の電池容量は、温度と振動の測定回数と発信回数によって定めればよい。子機上に電池残量測定の回路を設け、電池残量を常に親機に発信するようにしてもよい。親機は子機からの残量報告によってアラームを鳴らせるかを判断し指令を出すようにしてもよい。好ましくは、子機には親機からの指令を読み取れる、メモリー可能なＩＣを搭載してもよい。これにより、即時発信できない場合一時的にデーターをメモリに入れることが可能となる。子機の一時的なメモリーは少なくとも３２ＫＢで対応可能である。

親機については、各々の子機のＩＤが一致しているか照合し、一致するＩＤのみデータを受け取る動作を行えばよい。親機では、予め設定された子機の測定時間と発信時間によって子機からの配信データの順番に受信すればよい。また、親機のＰＣにて、温度、振動測定範囲の判断をし、範囲外の場合、子機にブザーとＬＥＤ点滅指令を出すという指令をＰＣから受取るように構成してもよい。

子機と親機との間の無線有効距離については、理論値は１００ｍだが、使用環境と構造によって変わってくる。親機一つに対して、子機の最大数は、理論値は５００個となる。好ましくは、親機から子機に発信指令を入力する場合には、どのＩＤ番号の子機に指令だしたか把握するように構成する方がよい。データー発信で漏れが発生しても親機がわかるので、受信できなかったＩＤには再度発信指令を発する。以上の通り、本発明の回転機器用モニタリング装置では、コードレスの為、配線工事が不要、導入費用が安価となる利点を奏する。また、子機の駆動源として電池を用いる場合には、配電作業も不要となるだけでなく、更に子機の設置が容易で取付の自由度が増し、外部電源に混入される電源ノイズを拾うことがない。更に、長期間バッテリーを機能維持させるために、間欠的に駆動させる。

１０ …子機、
１１ａ…接地端子、
１１ …振動計（振動センサ）、
１２ａ…接地端子、
１２ …温度計（温度センサ）、
１３ …データ配信手段、
１４ …電池ユニット（電池）、
１４ａ…リチウムイオン電池、
１４ｂ…切換回路、
１４ｃ…予備電池、
１５ …ディープスリープ回路装置（駆動制御手段、タイマー手段）、
１６ …電池アラート回路、
１７ …制御回路、
１８ …外部入力手段、
１９ …ノイズフィルター装置、
２０ …親機、
２１ …ＰＣ、
２２ …無線受信器、
２３ …記録手段、
２４ …監視手段、
２５ …制御回路、
２６ …無線発振器、

Claims

１つ以上の回転機器の各々の近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置であって、
前記子機が、
設置箇所近傍の回転機器からの振動又は音を計測する振動センサと、
前記回転機器の近傍温度を計測する温度センサと、
計測されたデータを前記親機に無線回線経由で配信するデータ配信手段とを備え、
前記親機が、
前記子機からの配信データを受信するデータ受信手段と、
受信された前記子機からの配信データを記録・蓄積する記録手段と、
受信された前記子機からの配信データと前記記録手段に記録・蓄積された過去のデータとを比較し、異常の有無を検出する監視手段とを備え、
前記子機が、
駆動源としての電池と、
タイマー手段と、
前記タイマー手段によって前記子機の駆動を間欠的に行わせる駆動制御手段と
を更に備え、
前記駆動制御手段が、
前記振動センサ、前記温度センサ、及び前記電池のデータを収集するシステムの給電を前記タイマー手段によって数分から数時間毎にカットして駆動を停止させるスリープ状態と、
前記親機からの指令にのみ対応するシステムのみ給電された状態で、前記タイマー手段によって数時間毎の間欠的な駆動のみを行わせるディープスリープ状態とを切り換えることを特徴とする回転機器用モニタリング装置。
前記子機の電池として、電池ユニットを備え、
前記電池ユニットが、電池と、予備電池と、切換回路とで構成させており、
前記切換回路が、電池の電圧が閾値を下回った際に予備電池に切り換えると共に、切り換えた際にアラート指令を前記配信データ内に付加させることを特徴とする請求項１に記載の回転機器用モニタリング装置。
請求項１又は２に記載のモニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法であって、
プラント内の１つ以上の回転機器近傍に設置される１つ以上の子機と、これら１つ以上の子機からのデータが配信される親機とを備えた回転機器用モニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法において、
前記子機の前記振動センサと前記温度センサとにより設置箇所近傍の回転機器の振動データ又は音データと温度データとを計測して、前記データ配信手段で計測されたデータを前記親機に配信し、
前記親機の前記記録手段で前記子機からの配信データを記録・蓄積すると共に、前記子機からの配信データと前記記録手段で記録・蓄積された過去のデータと比較し、前記監視手段で予め定められた振動数のデータが予め定められた閾値を超えた子機を検査するべきとの要検査信号を発信することを特徴とする回転機器用モニタリング装置を用いたプラントメンテナンス法。