JP6624871B2

JP6624871B2 - Method for manufacturing glass conduit and glass substrate

Info

Publication number: JP6624871B2
Application number: JP2015192808A
Authority: JP
Inventors: 諒鈴木
Original assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Current assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Priority date: 2015-09-30
Filing date: 2015-09-30
Publication date: 2019-12-25
Anticipated expiration: 2035-09-30
Also published as: JP2017065961A

Description

本発明は、溶融ガラスを加熱しながら搬送するガラス導管、及びこのガラス導管を用いて、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いるガラス基板を作製するガラス基板の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a glass conduit for conveying a molten glass while heating the glass, and a method for manufacturing a glass substrate for producing a glass substrate used for a flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display using the glass conduit.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」と呼ぶ。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。このＦＰＤ用ガラス基板は、例えば第１世代では３００×４００ｍｍのサイズであるが、第１０世代では２８５０×３０５０ｍｍのサイズになっている。 As a glass substrate used for a flat panel display (hereinafter, referred to as "FPD") such as a liquid crystal display or a plasma display, a thin glass plate having a thickness of, for example, 0.5 to 0.7 mm is used. The FPD glass substrate has a size of 300 × 400 mm in the first generation, for example, but has a size of 2850 × 3050 mm in the tenth generation.

このような薄板で大きなサイズのＦＰＤ用ガラス基板は、ガラス原料を溶解した溶融ガラスを成形炉に搬送して、例えばオーバーフローダウンドロー法により製造されている。オーバーフローダウンドロー法を用いるガラス基板の製造方法は例えば特許文献１に開示されている。 Such a thin and large-sized FPD glass substrate is manufactured by, for example, an overflow down draw method in which a molten glass in which a glass material is melted is transported to a forming furnace. A method for manufacturing a glass substrate using the overflow down draw method is disclosed in, for example, Patent Document 1.

また、上記の溶融ガラスを搬送する配管は、管内の溶融ガラスを所定の温度に加熱する必要があり、この加熱を効率良く行うために、配管にはこれを加熱する加熱装置を設けている。従来から、溶融ガラスを加熱しながら搬送するガラス導管が知られている（例えば特許文献２等）。 Further, the pipe for transporting the molten glass needs to heat the molten glass in the pipe to a predetermined temperature. In order to efficiently perform the heating, the pipe is provided with a heating device for heating the pipe. 2. Description of the Related Art Conventionally, a glass conduit that conveys molten glass while heating it has been known (for example, Patent Document 2).

図８は、従来のガラス導管の構成を示す図であるが、このガラス導管では、金属製の管本体１の周上を取り囲むようにフランジ２が設けられ、このフランジ２から電極３が引き出されている。このガラス導管では、電極３に電圧が印加され、フランジ２を介して管本体１の通電加熱が行われることにより、管本体１内を流れる溶融ガラスが加熱される。なお、ＦＰＤ用ガラス基板を製造するには、溶融ガラスを例えば千数百度程度まで昇温する必要があるが、管本体１内の溶融ガラスを千数百度程度まで昇温した場合、通電用の電極３及びフランジ２も昇温し、破損する虞があるため、上記フランジ２及び電極３の外周に沿って当該フランジ２及び電極３を冷却する冷却管４が設けられている。 FIG. 8 is a view showing a configuration of a conventional glass conduit. In this glass conduit, a flange 2 is provided so as to surround the periphery of a metal tube main body 1, and an electrode 3 is drawn out from the flange 2. ing. In this glass conduit, a voltage is applied to the electrode 3, and the tube body 1 is energized and heated via the flange 2, so that the molten glass flowing in the tube body 1 is heated. In order to manufacture the glass substrate for FPD, it is necessary to raise the temperature of the molten glass to, for example, about several hundreds of degrees. Since the temperature of the electrode 3 and the flange 2 is also likely to be increased and damaged, a cooling pipe 4 for cooling the flange 2 and the electrode 3 is provided along the outer periphery of the flange 2 and the electrode 3.

国際公開第２０１２／１３２４２５号International Publication No. 2012/132425 特開平１１−３４９３３４号公報JP-A-11-349334 特開２００９−２９８６７１号公報JP 2009-298671 A

ところが、電極３は一方向から管本体１と接続されるため、電極３から管本体１に向かって流れる電流は、それらを結ぶ最短ルートを集中的に通るので、管本体１を流れる電流は、電極３に近い側の管の周上の一部に局在化し易くなる。このため、管本体１の通電加熱も局在化し、ガラス導管の周上の温度分布が生じ、管内を流れる溶融ガラスの加熱にも影響を及ぼしてしまう。すなわち、溶融ガラスに温度差が生じ、成形工程でシートガラスを成形したとき、シートガラスの厚さの変動や、部分的な失透が発生するという重大な問題を引き起こす。 However, since the electrode 3 is connected to the tube body 1 from one direction, the current flowing from the electrode 3 toward the tube body 1 intensively passes through the shortest route connecting them, so the current flowing through the tube body 1 is: It is easy to be localized on a part of the circumference of the tube closer to the electrode 3. For this reason, the electric heating of the tube main body 1 is also localized, and a temperature distribution on the periphery of the glass conduit is generated, which also affects the heating of the molten glass flowing in the tube. That is, a temperature difference occurs in the molten glass, and when the sheet glass is formed in the forming step, a serious problem occurs in that the thickness of the sheet glass fluctuates and partial devitrification occurs.

以上のことから、管本体に向かって流れる電流を分散させて電力集中を緩和することが望まれる。例えば特許文献３には、上記フランジを、管本体と接続された内環部と、該内環部を取り囲み、電極と接続された外環部とで構成し、内環部を外環部よりも電気抵抗の高い材料で構成するとともに、内環部の中心は、管本体の中心から電極側に寄せられている構成としたガラス導管が開示されている。これによって、電極からの電流が外環部に沿って電極と反対側に回り込むようになるので、電力集中を緩和できるとしている。 From the above, it is desired to reduce the power concentration by dispersing the current flowing toward the tube main body. For example, in Patent Literature 3, the flange is configured by an inner ring portion connected to the tube main body, and an outer ring portion surrounding the inner ring portion and connected to the electrode. Also disclosed is a glass conduit made of a material having a high electric resistance and having a structure in which the center of the inner ring portion is shifted from the center of the tube main body to the electrode side. As a result, the current from the electrode flows around to the opposite side of the electrode along the outer ring, so that power concentration can be reduced.

しかしながら、この特許文献３に開示されている構成では、上記フランジを材料の異なる内環部と外環部の２つの部材が必要となり、しかも内環部の中心が管本体の中心から離間する位置の調整が難しく、そのため高コストであるという問題がある。 However, in the configuration disclosed in Patent Document 3, the flange requires two members of an inner ring portion and an outer ring portion which are made of different materials, and furthermore, a position where the center of the inner ring portion is separated from the center of the tube main body. There is a problem that it is difficult to adjust the temperature and the cost is high.

近年、ＦＰＤの分野では、高精細化の進展に伴って、ＦＰＤ用ガラス基板に対する品質要求は益々厳しくなってきており、上記ガラス導管を通電加熱する際の電流分布の改善は重要な課題である。 In recent years, in the field of FPDs, quality requirements for glass substrates for FPDs have become more and more strict with the progress of high definition, and improvement of current distribution when the above-mentioned glass conduit is electrically heated is an important issue. .

そこで、本発明の目的は、第１に、低コストで電流分布を改善することができ、通電加熱を効率よく行うことができるガラス導管を提供することであり、第２に、このガラス導管を用いて、高品質のガラス基板を製造することが可能なガラス基板の製造方法を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is, firstly, to provide a glass conduit capable of improving current distribution at low cost and efficiently performing energization heating, and secondly, providing this glass conduit. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a glass substrate which can be used to manufacture a high quality glass substrate.

本発明者は、従来の課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成の発明を完成するに至ったものである。 As a result of intensive studies to solve the conventional problems, the present inventors have completed the invention having the following configuration.

すなわち、本発明は、溶融ガラスを加熱しながら搬送するガラス導管であって、白金又は白金合金からなる管本体と、前記管本体の長手方向の異なる位置に設けられた一対のフランジと、前記フランジからそれぞれ引き出された電極と、前記フランジ及び前記電極のそれぞれの外周に沿って設けられ、前記フランジ及び前記電極を冷却する冷却管と、を備え、前記電極から前記冷却管を経由して前記管本体に流れる電流が、前記管本体の中心より下方から前記管本体に向かって流れるように、前記管本体の中心より下方における前記冷却管から前記管本体までの距離を、前記管本体の中心より上方における前記冷却管から前記管本体までの距離よりも短くしたことを特徴とするガラス導管である。 That is, the present invention relates to a glass conduit for conveying molten glass while heating the same, wherein a tube main body made of platinum or a platinum alloy, a pair of flanges provided at different positions in a longitudinal direction of the tube main body, and the flange And a cooling pipe that is provided along the outer circumference of each of the flange and the electrode and cools the flange and the electrode. The pipe is provided from the electrode via the cooling pipe. The distance from the cooling pipe to the pipe main body below the center of the pipe main body is set to be smaller than the center of the pipe main body so that the current flowing through the main body flows toward the pipe main body from below the center of the pipe main body. A glass conduit characterized by being shorter than a distance from the cooling pipe to the pipe main body at an upper part.

本発明の好ましい態様では、前記管本体の中心より上方における前記フランジの外周は、円形状の一部を成している部分を有し、前記管本体の中心より下方における前記フランジの外周は、楕円形状の一部を成している。 In a preferred aspect of the present invention, the outer periphery of the flange above the center of the pipe main body has a portion forming a part of a circular shape, and the outer periphery of the flange below the center of the pipe main body is It forms part of an oval shape.

また、本発明では、前記冷却管は、前記フランジよりも導電性の高い材料から構成されていることが好ましい。 Further, in the present invention, it is preferable that the cooling pipe is made of a material having higher conductivity than the flange.

また、本発明は、ガラス基板の製造方法についても提供する。
すなわち、本発明は、ガラス原料を溶解した溶融ガラスを成形炉に搬送してガラス基板を製造するガラス基板の製造方法であって、ガラス原料を溶解することで溶融ガラスを得る溶解工程と、前記溶融ガラスを昇温することにより、前記溶融ガラス中に含まれるガス成分の泡を脱泡する清澄工程と、前記清澄工程で脱泡された前記溶融ガラスを撹拌することにより、ガラス成分を均質化する撹拌工程と、均質化された前記溶融ガラスをシート状ガラスに成形する成形工程と、を含み、前記溶解工程、前記清澄工程、前記撹拌工程、及び前記成形工程の少なくともいずれかの間の前記溶融ガラスの搬送のために、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のガラス導管を用いることを特徴とするガラス基板の製造方法である。 The present invention also provides a method for manufacturing a glass substrate.
That is, the present invention is a method of manufacturing a glass substrate for manufacturing a glass substrate by transferring a molten glass in which a glass raw material is melted to a forming furnace, wherein a melting step of obtaining a molten glass by melting the glass raw material, By raising the temperature of the molten glass, a fining step of defoaming bubbles of gas components contained in the molten glass, and stirring the molten glass defoamed in the fining step to homogenize the glass components And a shaping step of shaping the homogenized molten glass into a sheet glass, wherein the melting step, the fining step, the stirring step, and at least one of the shaping step A method for manufacturing a glass substrate, comprising using the glass conduit according to any one of claims 1 to 3 for conveying molten glass.

本発明によれば、上記構成により、低コストで電流分布を改善することができ、その結果、通電加熱を効率よく行うことができるガラス導管を提供することができる。
また、このガラス導管を用いることで、高品質のガラス基板を製造することが可能である。 According to the present invention, with the above configuration, it is possible to improve the current distribution at low cost, and as a result, it is possible to provide a glass conduit capable of efficiently performing energization heating.
Further, by using this glass conduit, it is possible to manufacture a high-quality glass substrate.

本発明に係わるガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。It is a figure showing an example of the flow of the manufacturing method of the glass substrate concerning the present invention. 本発明に係わるガラス基板の製造方法における溶解工程乃至切断工程を行う装置の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically an example of the apparatus which performs the melting process or the cutting process in the manufacturing method of the glass substrate concerning this invention. 成形装置の概略の側面図である。It is a schematic side view of a molding device. 本発明のガラス導管の一実施の形態を説明するためのガラス導管近傍の構成を示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration near a glass conduit for describing an embodiment of a glass conduit of the present invention. 上記ガラス導管の軸方向から見た図である。It is the figure seen from the axial direction of the above-mentioned glass conduit. 本発明における電極から管本体への電流の流れを説明するための図である。It is a figure for explaining the flow of the electric current from the electrode to the tube main part in the present invention. 本発明のガラス導管の他の実施の形態を説明するためのガラス導管の軸方向から見た図である。It is the figure seen from the axial direction of the glass conduit for explaining another embodiment of the glass conduit of the present invention. 従来のガラス導管の構成を説明するための図である。It is a figure for explaining the composition of the conventional glass conduit.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（ガラス基板の製造方法の全体概要）
まず、本発明に係わるガラス基板の製造方法の全体概要について説明する。オーバーフローダウンドロー法が採用されるガラス基板の製造工程の概要の一例は、例えば図１に示すことができる。
図１は、本発明に係わるガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
(Overall outline of glass substrate manufacturing method)
First, an overall outline of a method for manufacturing a glass substrate according to the present invention will be described. An example of the outline of the manufacturing process of a glass substrate adopting the overflow down draw method can be shown in FIG. 1, for example.
FIG. 1 is a diagram showing an example of a flow of a method for manufacturing a glass substrate according to the present invention.

このガラス基板の製造工程では、溶融工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、撹拌（均質化）工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、冷却（徐冷）工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を包含し、その成形工程（ＳＴ５）および冷却（徐冷）工程（ＳＴ６）においてダウンドロー法が採用され、その成形工程では、たとえば、図３に示すように、楔形の成形体２１０を含む装置により成形される。 In the glass substrate manufacturing process, a melting process (ST1), a refining process (ST2), a stirring (homogenizing) process (ST3), a supplying process (ST4), a forming process (ST5), and a cooling process (ST5). The method includes a (cooling) step (ST6) and a cutting step (ST7), and a down-draw method is employed in the forming step (ST5) and the cooling (gradual cooling) step (ST6). As shown in FIG. 3, it is molded by an apparatus including a wedge-shaped molded body 210.

図２は、上記溶融工程（ＳＴ１）乃至切断工程（ＳＴ７）を行う装置の一例を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、溶解装置１００と、成形装置２００と、切断装置３００とを主に有する。溶解装置１００は、溶解槽１０１と、清澄槽１０２と、撹拌槽１０３と、第１配管１０４と、第２配管１０５と、第３配管１０６とを有する。 FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an example of an apparatus that performs the above-described melting step (ST1) to cutting step (ST7). The apparatus mainly includes a melting device 100, a forming device 200, and a cutting device 300, as shown in FIG. The dissolving apparatus 100 has a dissolving tank 101, a fining tank 102, a stirring tank 103, a first pipe 104, a second pipe 105, and a third pipe 106.

上記溶融工程（ＳＴ１）では、溶解槽１０１内に供給されたガラス原料を火焔および／又は電極を用いた通電加熱により溶解することで溶融ガラスＭＧを得る。溶融ガラスＭＧは、溶解槽１０１から第１配管１０４を通って清澄槽１０２に供給される。 In the melting step (ST1), the glass material supplied into the melting tank 101 is melted by a flame and / or an electric heating using electrodes to obtain a molten glass MG. The molten glass MG is supplied from the melting tank 101 to the fining tank 102 through the first pipe 104.

上記清澄工程（ＳＴ２）では、清澄槽１０２に供給された溶融ガラスＭＧが昇温されることにより、溶融ガラスＭＧ中に含まれるＯ₂、ＣＯ₂あるいはＳＯ₂等のガス成分を含んだ泡が、ＳｎＯ₂などの清澄剤の還元反応により生じたＯ₂を吸収して成長し、溶融ガラスＭＧの液面に浮上して清澄槽１０２上方の空気中、窒素ガス等を含有する雰囲気中に放出されて除去される。次いで、溶融ガラスＭＧの温度の低下による泡中のガス成分の内圧が低下することと、還元された清澄剤（例えばＳｎＯ）が溶融ガラスＭＧの温度の低下によって酸化反応をすることにより、溶融ガラスＭＧに残存する泡中のＯ₂等のガス成分を再吸収して、泡を消滅させる。
上記清澄工程で脱泡された溶融ガラスＭＧは、清澄槽１０２から第２配管１０５を通って撹拌槽１０３に供給される。 In the fining step (ST2), the molten glass MG supplied to the fining tank 102 is heated to generate bubbles containing gas components such as O ₂ , CO _2, or SO ₂ contained in the molten glass MG. , Grows by absorbing O ₂ generated by a reduction reaction of a fining agent such as SnO ₂ , floats on the liquid surface of the molten glass MG, and is released into the air above the fining tank 102 and into the atmosphere containing nitrogen gas and the like. Is removed. Next, the internal pressure of the gas component in the bubbles is reduced due to the decrease in the temperature of the molten glass MG, and the reduced fining agent (for example, SnO) undergoes an oxidation reaction due to the decrease in the temperature of the molten glass MG, whereby the molten glass is reduced. The gas components such as O ₂ remaining in the bubbles remaining in the MG are reabsorbed to eliminate the bubbles.
The molten glass MG defoamed in the fining step is supplied from the fining tank 102 to the stirring tank 103 through the second pipe 105.

上記撹拌（均質化）工程（ＳＴ３）では、上記清澄工程で脱泡された溶融ガラスＭＧが供給されて、撹拌槽１０３内の溶融ガラスＭＧを、撹拌手段（例えば図示するスターラ１０３ａ）を用いて撹拌することにより、ガラス成分の均質化が行われる。 In the stirring (homogenization) step (ST3), the molten glass MG defoamed in the fining step is supplied, and the molten glass MG in the stirring tank 103 is stirred using a stirring unit (for example, a stirrer 103a illustrated). By stirring, the glass components are homogenized.

上記供給工程（ＳＴ４）では、均質化された溶融ガラスＭＧが、撹拌槽１０３から第３配管１０６を通って成形装置２００に供給される。その成形装置２００の一例は、図３に示されている。図３は成形装置の概略の側面図である。 In the supply step (ST4), the homogenized molten glass MG is supplied from the stirring tank 103 to the forming apparatus 200 through the third pipe 106. An example of the molding device 200 is shown in FIG. FIG. 3 is a schematic side view of the molding apparatus.

その図３において、成形装置２００は、成形炉２４０と徐冷炉２５０を含む。その成形装置２００では、上記成形工程（ＳＴ５）及び冷却（徐冷）工程（ＳＴ６）が順次行われる。 3, the molding apparatus 200 includes a molding furnace 240 and an annealing furnace 250. In the molding apparatus 200, the molding step (ST5) and the cooling (slow cooling) step (ST6) are sequentially performed.

上記成形工程（ＳＴ５）では、溶融ガラスＭＧをシートガラスＳＧに成形し、シートガラスＳＧの流れを作る。本実施形態では、成形体２１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いている。この場合、シートガラスＳＧの流れ方向は、鉛直下方となる。 In the forming step (ST5), the molten glass MG is formed into a sheet glass SG, and a flow of the sheet glass SG is created. In the present embodiment, an overflow down draw method using the molded body 210 is used. In this case, the flow direction of the sheet glass SG is vertically downward.

さらに詳しく説明すると、上記成形体２１０は、図２及び図３に示すように、第３配管１０６を通して溶解装置１００から流れてくる溶融ガラスＭＧを、シートガラスＳＧに成形する。これにより、成形装置２００内で、鉛直下方のシートガラスＳＧの流れが作られる。成形体２１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体２１０の上部には、溶融ガラスＭＧを導く流路となる供給溝２１２が設けられている。供給溝２１２は、成形体２１０に設けられた供給口において第３配管１０６と接続され、第３配管１０６を通して流れてくる溶融ガラスＭＧは、供給溝２１２を伝って流れる。供給溝２１２の深さは、溶融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、供給溝２１２から溶融ガラスＭＧが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。 More specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, the molded body 210 forms the molten glass MG flowing from the melting device 100 through the third pipe 106 into the sheet glass SG. Thereby, a flow of the sheet glass SG vertically downward is created in the forming apparatus 200. The molded body 210 is an elongated structure made of a firebrick or the like, and has a wedge-shaped cross section as shown in FIG. A supply groove 212 serving as a flow path for guiding the molten glass MG is provided at an upper portion of the molded body 210. The supply groove 212 is connected to the third pipe 106 at a supply port provided in the molded body 210, and the molten glass MG flowing through the third pipe 106 flows along the supply groove 212. The depth of the supply groove 212 is shallower toward the downstream of the flow of the molten glass MG, and the molten glass MG overflows from the supply groove 212 vertically downward.

供給溝２１２から溢れ出た溶融ガラスＭＧは、成形体２１０の両側の側壁を伝わって流下する。側壁を流れた溶融ガラスＭＧは、成形体２１０の下方端部２１３（図３に示す）で合流し、１つのシートガラスＳＧが成形される。シートガラスＳＧは、図３に示すシートガラスＳＧの流下方向である鉛直下方に流れる。なお、成形体２１０の下方端部２１３の直下におけるシートガラスＳＧの温度は、例えば１０^4.3〜１０⁶ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度（例えば１０００〜１２５０℃）である。また、１１５０℃〜１２５０℃であってもよい。 The molten glass MG overflowing from the supply groove 212 flows down along the side walls on both sides of the molded body 210. The molten glass MG flowing on the side wall joins at the lower end 213 (shown in FIG. 3) of the molded body 210 to form one sheet glass SG. The sheet glass SG flows vertically downward, which is the flow direction of the sheet glass SG shown in FIG. The temperature of the sheet glass SG immediately below the lower end 213 of the molded body 210 is, for example, a temperature (for example, 1000 to 1250 ° C.) corresponding to a viscosity of 10 ^4.3 to 10 ⁶ poise. Further, the temperature may be 1150 ° C to 1250 ° C.

成形体２１０の下方端部２１３の下方近傍には、雰囲気仕切り部材２２０が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、シートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように設けられた一対の板状の断熱部材である。この断熱部材からなる雰囲気仕切り部材２２０は、成形体２１０が収容された上部空間である成形炉２４０と、下方空間とを仕切るために設けられる。 An atmosphere partition member 220 is provided near the lower end 213 of the molded body 210. The atmosphere partition member 220 is a pair of plate-shaped heat insulating members provided so as to sandwich the sheet glass SG from both sides in the thickness direction. The atmosphere partition member 220 made of a heat insulating member is provided to partition a lower space from a forming furnace 240 which is an upper space in which the formed body 210 is accommodated.

雰囲気仕切り部材２２０の下方には冷却ローラ（冷却ローラとしての機能を備える搬送ローラ）２３０が設けられている。冷却ローラ２３０は、図３に示すように、シートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。 A cooling roller (a transport roller having a function as a cooling roller) 230 is provided below the atmosphere partition member 220. As shown in FIG. 3, the cooling rollers 230 are provided on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG so as to sandwich the sheet glass SG from both sides in the thickness direction.

また、上記冷却ローラ２３０の下方の領域には、シートガラスＳＧの流れ方向に沿って、さらに別の搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｄを含む複数の搬送ローラと、図示しない温度調整装置が設けられている。個々の搬送ローラはシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられており、シートガラスＳＧの両端を対となって夫々挟持している。つまり、ローラ搬送手段対を構成している。 Further, in a region below the cooling roller 230, a plurality of transport rollers including further transport rollers 250a to 250d and a temperature adjusting device (not shown) are provided along the flow direction of the sheet glass SG. Each transport roller is provided on each of both sides in the thickness direction of the sheet glass SG, and sandwiches both ends of the sheet glass SG in pairs. That is, a roller conveying means pair is configured.

以上説明した上記冷却（徐冷）工程（ＳＴ６）では、上記冷却ローラ２３０及び搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｄによって挟持搬送される過程において、成形されて流れるシートガラスＳＧが所望の厚さになり、冷却に起因する反り、内部歪が生じないように冷却（徐冷）される。 In the cooling (gradual cooling) step (ST6) described above, the sheet glass SG formed and flows to a desired thickness in the process of being nipped and conveyed by the cooling roller 230 and the conveying rollers 250a to 250d, and is cooled. Cooling (gradual cooling) is performed so that warpage and internal distortion do not occur.

上記切断工程（ＳＴ７）では、切断装置３００において、成形装置２００から供給されたシートガラスＳＧが所定の長さに切断されることで、板状のガラス板を得る。
板状に切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス基板が作製される。この後、ガラス基板の端面の研削、研磨、およびガラス基板の洗浄が行われ、さらに、泡や脈理等の欠点の有無が検査された後、検査合格品のガラス基板が最終製品として梱包される。 In the cutting step (ST7), the sheet glass SG supplied from the forming apparatus 200 is cut into a predetermined length by the cutting apparatus 300, thereby obtaining a plate-like glass sheet.
The glass plate cut into a plate shape is further cut into a predetermined size to produce a glass substrate having a target size. After this, the end face of the glass substrate is ground, polished, and the glass substrate is cleaned.Furthermore, after inspection for defects such as bubbles and striae, the glass substrate that has passed the inspection is packed as a final product. You.

（ガラス導管）
次に、本発明に係るガラス導管の構成上の特徴について説明する。
本発明に係るガラス導管は、上記構成の発明にあるとおり、溶融ガラスを加熱しながら搬送するガラス導管であって、白金又は白金合金からなる管本体と、前記管本体の長手方向の異なる位置に設けられた一対のフランジと、前記フランジからそれぞれ引き出された電極と、前記フランジ及び前記電極のそれぞれの外周に沿って設けられ、前記フランジ及び前記電極を冷却する冷却管と、を備え、前記電極から前記冷却管を経由して前記管本体に流れる電流が、前記管本体の中心より下方（前記電極とは反対側）から前記管本体に向かって流れるように、前記管本体の中心より下方（前記電極とは反対側）における前記冷却管から前記管本体までの距離を、前記管本体の中心より上方（前記電極側）における前記冷却管から前記管本体までの距離よりも短くしたことを特徴とするものである。
以下、このような構成上の特徴を有する本発明に係るガラス導管の一実施の形態について説明する。 (Glass conduit)
Next, the structural features of the glass conduit according to the present invention will be described.
The glass conduit according to the present invention is, as in the invention having the above configuration, a glass conduit that conveys molten glass while heating the same, and a pipe main body made of platinum or a platinum alloy, and a pipe main body at a different position in the longitudinal direction of the tube main body. A pair of provided flanges, electrodes respectively drawn out of the flanges, and cooling pipes provided along outer circumferences of the flanges and the electrodes to cool the flanges and the electrodes, respectively, From the center of the tube body so that the current flowing from the tube body to the tube body via the cooling tube flows from below the center of the tube body (the side opposite to the electrode) toward the tube body. The distance from the cooling pipe to the pipe main body on the side opposite to the electrode) is set above the center of the pipe main body (on the electrode side) from the cooling pipe to the pipe main body. It is characterized in that it has less than away.
Hereinafter, an embodiment of the glass conduit according to the present invention having such a structural feature will be described.

図４は、本発明のガラス導管の一実施の形態を説明するためのガラス導管近傍の構成を示す斜視図である。図５は、上記ガラス導管の軸方向から見た図である。また、図６は、本発明における電極から管本体への電流の流れを説明するための図である。 FIG. 4 is a perspective view showing a configuration near the glass conduit for describing one embodiment of the glass conduit of the present invention. FIG. 5 is a view of the glass conduit viewed from the axial direction. FIG. 6 is a diagram for explaining the flow of current from the electrode to the tube body in the present invention.

図４に示すように、本実施形態のガラス導管においては、上記溶融ガラスＭＧを上流側から下流側へと流しながら搬送するための、白金又は白金合金からなる管本体１０と、当該管本体１０に電流を流して通電加熱するため、当該管本体１０の長手方向の異なる位置に設けられた一対のフランジ２０ａ，２０ｂと、当該一対のフランジ２０ａ，２０ｂからそれぞれ引き出された電極２１ａ，２１ｂと、上記フランジ２０ａ，２０ｂ及び上記電極２１ａ，２１ｂのそれぞれの外周に沿って設けられ、これらフランジ２０ａ，２０ｂ及び電極２１ａ，２１ｂを冷却するための冷却管３０ａ，３０ｂと、を備えている。 As shown in FIG. 4, in the glass conduit of the present embodiment, a tube body 10 made of platinum or a platinum alloy for carrying the molten glass MG while flowing it from the upstream side to the downstream side, and the tube body 10. And a pair of flanges 20a and 20b provided at different positions in the longitudinal direction of the tube body 10 and electrodes 21a and 21b respectively drawn from the pair of flanges 20a and 20b. Cooling pipes 30a, 30b are provided along the outer peripheries of the flanges 20a, 20b and the electrodes 21a, 21b to cool the flanges 20a, 20b and the electrodes 21a, 21b.

ここで、上記ガラス導管は、例えば前述の図２に示されるような、各工程（処理槽）間を連結し、上記溶融ガラスＭＧを上流側から下流側へと流しながら搬送するための第１配管１０４、第２配管１０５、第３配管１０６として使用されるものである。したがって、本実施形態の構成は、これらの第１配管１０４、第２配管１０５、第３配管１０６の少なくとも１つに適用される。 Here, the glass conduit connects the respective steps (processing tanks) as shown in, for example, FIG. 2 described above, and is used to transport the molten glass MG while flowing it from the upstream side to the downstream side. It is used as the pipe 104, the second pipe 105, and the third pipe 106. Therefore, the configuration of the present embodiment is applied to at least one of the first pipe 104, the second pipe 105, and the third pipe 106.

上記管本体１０は、管内を非常に高温の溶融ガラスＭＧが流れるため、例えば白金族金属で構成された円筒形状の部材である。白金族金属は、単一の白金族元素（白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）、ルテニウム（Ｒｕ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ））からなる金属や、白金族元素からなる金属の合金などである。これら白金族金属は、高価であるが、融点が高く、溶融ガラスＭＧに対する耐食性に優れている。本実施形態では、上記管本体１０は、例えば白金（Ｐｔ）または白金合金で成形され、例えば０．５ｍｍ〜１．５ｍｍ程度の厚みを有している。また、上記管本体１０の内径は、例えば１００ｍｍ〜５００ｍｍ程度である。 The pipe main body 10 is a cylindrical member made of, for example, a platinum group metal because a very high temperature molten glass MG flows in the pipe. The platinum group metal is a single platinum group element (platinum (Pt), palladium (Pd), rhodium (Rh), ruthenium (Ru), osmium (Os), iridium (Ir)), or a platinum group element. And metal alloys. These platinum group metals are expensive, but have a high melting point and excellent corrosion resistance to molten glass MG. In the present embodiment, the tube body 10 is formed of, for example, platinum (Pt) or a platinum alloy, and has a thickness of, for example, about 0.5 mm to 1.5 mm. The inner diameter of the tube main body 10 is, for example, about 100 mm to 500 mm.

また、上記一対のフランジ２０ａ，２０ｂは、導電性を有する金属材料で構成され、上記管本体１０に電流を流して通電加熱するために用いられる。そして、上記管本体１０が加熱されることにより、その内部を流れる溶融ガラスＭＧの温度が調整される。上記一対のフランジ２０ａ，２０ｂはそれぞれ上記管本体１０の外周面長手方向の異なる位置に取り付けられており、各フランジ２０ａ，２０ｂは、環状の導電体からなる図示のようなフランジ形状に形成されている。 The pair of flanges 20a and 20b are made of a conductive metal material, and are used for supplying an electric current to the tube body 10 to heat the tube body. Then, by heating the tube body 10, the temperature of the molten glass MG flowing inside the tube body 10 is adjusted. The pair of flanges 20a, 20b are respectively attached to different positions in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the pipe main body 10, and each flange 20a, 20b is formed in a flange shape as shown in the figure made of an annular conductor. I have.

また、各フランジ２０ａ，２０ｂは、各々から引き出された電極２１ａ，２１ｂを有しており、当該電極２１ａ，２１ｂは図示していない電源に接続されている。かかる構成により、電極２１ａ，２１ｂを介して電源から電力が供給され、各フランジ２０ａ，２０ｂにそれぞれ電流が流れ、上記管本体１０は通電加熱される。したがって、上記一対のフランジ２０ａ，２０ｂを流れる電流を制御することで、管本体１０の内部を流れる溶融ガラスＭＧの温度を調整することができる。 Each of the flanges 20a and 20b has electrodes 21a and 21b extracted therefrom, and the electrodes 21a and 21b are connected to a power source (not shown). With this configuration, electric power is supplied from a power supply via the electrodes 21a and 21b, current flows through each of the flanges 20a and 20b, and the tube body 10 is electrically heated. Therefore, by controlling the current flowing through the pair of flanges 20a and 20b, the temperature of the molten glass MG flowing inside the pipe main body 10 can be adjusted.

なお、管本体１０に取り付けられる上記フランジ２０ａ（２０ｂ）の数や位置は、管本体１０の材質、内径、長さや、設置位置等に応じて適宜決定されればよいので、図４の実施形態に限定される必要はない。また、上記管本体１０は、通常、水平方向、もしくは若干傾斜を持たせた略水平方向に設置されるため、本実施形態のように、上記一対のフランジ２０ａ，２０ｂから引き出される各電極２１ａ，２１ｂは上記管本体１０の上側に配置されることが好適である。但し、本発明はこれに限定されるものではない。 The number and position of the flanges 20a (20b) attached to the pipe main body 10 may be appropriately determined according to the material, the inner diameter, the length, the installation position, and the like of the pipe main body 10, and therefore, the embodiment of FIG. It need not be limited to. In addition, since the tube main body 10 is usually installed in a horizontal direction or a substantially horizontal direction with a slight inclination, as in the present embodiment, each of the electrodes 21a, 20a drawn from the pair of flanges 20a, 20b is used. 21b is preferably arranged above the tube main body 10. However, the present invention is not limited to this.

また、上記冷却管３０ａ，３０ｂは、上記フランジ２０ａ，２０ｂ及び上記電極２１ａ，２１ｂのそれぞれの外周に沿って設けられ、これらフランジ２０ａ，２０ｂ及び電極２１ａ，２１ｂを冷却するために用いられる。各冷却管３０ａ，３０ｂには図示していない冷媒供給装置から冷媒（例えば、水、空気、油など）が供給されており、冷媒が各冷却管３０ａ，３０ｂ内を流れることにより、上記フランジ２０ａ，２０ｂ及び電極２１ａ，２１ｂを冷却し、これらの部材の高温劣化を抑制する。 The cooling pipes 30a and 30b are provided along the outer circumferences of the flanges 20a and 20b and the electrodes 21a and 21b, respectively, and are used for cooling the flanges 20a and 20b and the electrodes 21a and 21b. A coolant (for example, water, air, oil, or the like) is supplied to each of the cooling pipes 30a and 30b from a coolant supply device (not shown), and the coolant flows through each of the cooling pipes 30a and 30b, thereby causing the flange 20a to flow. , 20b and the electrodes 21a, 21b are cooled to suppress high-temperature deterioration of these members.

また、本実施形態のガラス導管における特徴的な構成は、図５および図６に示されるように、上記管本体１０の中心Ｏより下方（つまり、中心Ｏを通る水平の破線Ｌより矢印Ｄ方向で、上記電極２１ａとは反対側である）における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離を、上記管本体１０の中心Ｏより上方（つまり、中心Ｏを通る水平の破線Ｌより矢印Ｕ方向で、上記電極２１ａ側である）における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離よりも短くなるようにしたことである。 The characteristic configuration of the glass conduit of the present embodiment is, as shown in FIGS. 5 and 6, below the center O of the tube main body 10 (that is, from the horizontal broken line L passing through the center O in the direction of arrow D). The distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 at the opposite side from the electrode 21a) is higher than the center O of the pipe main body 10 (that is, the direction of the arrow U from the horizontal broken line L passing through the center O). Therefore, the distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 on the electrode 21a side) is made shorter.

本実施形態の好ましい態様では、上記管本体１０の中心Ｏより上方（つまり上記電極２１ａ側）における上記フランジ２０ａの外周２０ａＵは、円形状の一部を成している部分を有し、上記管本体１０の中心Ｏより下方（つまり上記電極２１ａとは反対側）における上記フランジ２０ａの外周２０ａＤは、楕円形状の一部を成している。これによって、上記管本体１０の中心Ｏより下方における上記冷却管３０ａから管本体１０の周面までの距離（例えば図示のＲ３）は、上記管本体１０の中心Ｏより上方における上記冷却管３０ａから管本体１０の周面までの距離（例えば図示のＲ１，Ｒ２）よりも短くなる。要するに、上記のとおり、上記管本体１０の中心Ｏより下方における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離は、上記管本体１０の中心Ｏより上方における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離よりも短くなる。 In a preferred aspect of the present embodiment, the outer periphery 20aU of the flange 20a above the center O of the tube main body 10 (that is, on the electrode 21a side) has a portion that forms a part of a circular shape. The outer periphery 20aD of the flange 20a below the center O of the main body 10 (that is, the side opposite to the electrode 21a) forms a part of an elliptical shape. Thereby, the distance (for example, R3 shown) from the cooling pipe 30a below the center O of the pipe main body 10 to the peripheral surface of the pipe main body 10 is greater than the distance from the cooling pipe 30a above the center O of the pipe main body 10. It is shorter than the distance to the peripheral surface of the tube main body 10 (for example, R1 and R2 in the drawing). In short, as described above, the distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 below the center O of the pipe main body 10 is the distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 above the center O of the pipe main body 10. Shorter than

なお、上記管本体１０の中心Ｏより下方における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離を、上記管本体１０の中心Ｏより上方における上記冷却管３０ａから管本体１０までの距離よりも、どの程度短くなるようにするのかは、上記冷却管３０ａおよび上記フランジ２０ａの材質、大きさ、電流密度の大きさなどに応じて決定することができる。冷却管３０ａを管本体１０に近づけ過ぎると、フランジ２０ａの伝導伝熱による管本体１０の温度低下が大きくなり、温度分布はかえって不均一になることがある。そのため、電流の偏り改善とフランジ２０ａの伝導伝熱量が適切なバランスとなり、ガラス温度の不均一が最小になるように冷却管３０ａと管本体１０との距離を決定するのが好ましい。また、伝熱と電流密度を同時に考慮して設計するのは容易ではなく、シミュレーションを用いるのが好ましい。シミュレーションにおいては、熱流体解析のソフトウェアを用いて、サブルーチンとして電気伝導の解析を組み込むことにより、ガラス流れ、伝熱、電気伝導の３つを連成して解析するのが好ましい。 The distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 below the center O of the pipe main body 10 is larger than the distance from the cooling pipe 30a to the pipe main body 10 above the center O of the pipe main body 10. Whether the length is to be shortened can be determined according to the material and size of the cooling pipe 30a and the flange 20a, the magnitude of the current density, and the like. If the cooling pipe 30a is too close to the pipe main body 10, the temperature of the pipe main body 10 is greatly reduced due to the conduction heat transfer of the flange 20a, and the temperature distribution may be rather uneven. Therefore, it is preferable to determine the distance between the cooling pipe 30a and the pipe main body 10 so that the imbalance of the current and the amount of heat transfer through the flange 20a are properly balanced and the nonuniformity of the glass temperature is minimized. Further, it is not easy to design in consideration of heat transfer and current density at the same time, and it is preferable to use simulation. In the simulation, it is preferable to incorporate the analysis of electric conduction as a subroutine by using software for thermo-fluid analysis, and to analyze the glass flow, heat transfer, and electric conduction in a coupled manner.

本実施形態のガラス導管においては、上記構成によって、上記電極２１ａから上記冷却管３０ａや上記フランジ２０ａを介して上記管本体１０の中心Ｏより上方から管本体１０に向かって流れる電流（例えば図６に図示のｅ₄，ｅ₅などの流れ）だけではなく、上記電極２１ａから上記冷却管３０ａ及び上記フランジ２０ａを介して上記管本体１０の中心Ｏより下方から（言い換えれば、上記電極２１ａとは反対側にも回り込むように）管本体１０に向かって流れる電流（例えば図６に図示のｅ₁→ｅ₂→ｅ₃の流れ）が流れるようになる。 In the glass conduit of the present embodiment, due to the above configuration, a current flowing from above the electrode 21a toward the tube main body 10 from above the center O of the tube main body 10 through the cooling pipe 30a and the flange 20a (for example, FIG. Not only the flow of e ₄ , e _{5 and the} like shown in the drawing), but also from below the center O of the tube body 10 from the electrode 21 a via the cooling pipe 30 a and the flange 20 a (in other words, the electrode 21 a A current (for example, a flow of e ₁ → e ₂ → e ₃ shown in FIG. 6) flowing toward the tube body 10 flows so as to wrap around the opposite side.

この結果、上記電極２１ａから上記フランジ２０ａを介して上記管本体１０に流れる電流分布を好ましく改善することができ、管本体１０の通電加熱を効率よく行うことができる。また、本実施形態では、上記フランジ２０ａの主に形状の改善によって上述の電流分布を改善することができるので、低コスト（安価な構成）で本発明の効果を得ることが可能である。 As a result, the distribution of current flowing from the electrode 21a to the tube body 10 via the flange 20a can be preferably improved, and the tube body 10 can be efficiently heated by conduction. Further, in the present embodiment, the above-described current distribution can be improved mainly by improving the shape of the flange 20a, so that the effects of the present invention can be obtained at low cost (inexpensive configuration).

また、本実施形態では、上述の効果をよりいっそう発揮させる観点から、上記電極２１ａから上記冷却管３０ａを介して上記管本体１０の中心Ｏより下方から管本体１０に向かう電流が積極的に流れるようにするため、上記冷却管３０ａは、上記フランジ２０ａよりも耐熱温度が低く、導電性の高い材料から構成されていることが好ましい。 Further, in the present embodiment, from the viewpoint of further exerting the above-described effects, a current flowing from the electrode 21a toward the tube body 10 from below the center O of the tube body 10 via the cooling pipe 30a positively flows. For this purpose, the cooling pipe 30a is preferably made of a material having a lower heat-resistant temperature and a higher conductivity than the flange 20a.

なお、上述の図５および図６は、図４に示す上記ガラス導管の軸方向から見た図であるため、図５および図６には、フランジ２０ｂ、電極２１ｂ、冷却管３０ｂは現れていない。上記実施形態では、主に、一方のフランジ２０ａ、電極２１ａ、冷却管３０ａの構成および作用効果について説明したが、他方のフランジ２０ｂ、電極２１ｂ、冷却管３０ｂの構成および作用効果についても同様である。 In addition, since FIG. 5 and FIG. 6 described above are views viewed from the axial direction of the glass conduit shown in FIG. 4, the flange 20b, the electrode 21b, and the cooling pipe 30b do not appear in FIG. 5 and FIG. . In the above embodiment, the configuration and the operation and effect of the one flange 20a, the electrode 21a, and the cooling pipe 30a have been mainly described, but the same applies to the configuration and the operation and effect of the other flange 20b, the electrode 21b, and the cooling pipe 30b. .

図７は、本発明のガラス導管の他の実施の形態を説明するためのガラス導管の軸方向から見た図である。
図７に示すように、本実施形態のガラス導管においては、管本体１０と、当該管本体１０に電流を流して通電加熱するためのフランジ４０ａと、当該フランジ４０ａから引き出された電極（図示していない）と、これらフランジ４０ａ及び電極を冷却するための冷却管５０ａとを備えている。なお、図７には現れていないが、上記フランジ４０ａ等と対のフランジ等が管本体１０の長手方向の異なる位置に設けられている。 FIG. 7 is a view seen from the axial direction of the glass conduit for explaining another embodiment of the glass conduit of the present invention.
As shown in FIG. 7, in the glass conduit of the present embodiment, a tube main body 10, a flange 40 a for supplying an electric current to the tube main body 10 to heat the tube main body 10, and an electrode drawn out of the flange 40 a (shown in the drawing) And a cooling pipe 50a for cooling the flange 40a and the electrode. Although not shown in FIG. 7, the flange 40 a and the like and a pair of flanges and the like are provided at different positions in the longitudinal direction of the pipe main body 10.

そして、本実施形態のガラス導管では、上記管本体１０の中心Ｏを通る水平の破線Ｌより下方におけるフランジ４０ａの外周４０ａＤは、楕円形状の一部を成している。これによって、上記管本体１０の中心Ｏより下方における冷却管５０ａから管本体１０までの距離は、上記管本体１０の中心Ｏより上方における上記冷却管５０ａから管本体１０までの距離よりも短くなる。 In the glass conduit of the present embodiment, the outer periphery 40aD of the flange 40a below the horizontal broken line L passing through the center O of the tube main body 10 forms a part of an elliptical shape. Thereby, the distance from the cooling pipe 50a to the pipe main body 10 below the center O of the pipe main body 10 is shorter than the distance from the cooling pipe 50a to the pipe main body 10 above the center O of the pipe main body 10. .

本実施形態のガラス導管においては、上記構成によって、上記電極から上記冷却管５０ａを介して上記管本体１０の中心Ｏより下方から（要するに、上記電極が接続されている側とは反対側にも回り込むように）管本体１０に向かって流れる電流（例えば図７に図示のｅ₁→ｅ₂→ｅ₃の流れ）が流れるようになる。 In the glass conduit of the present embodiment, due to the above configuration, from the electrode, from below the center O of the tube main body 10 via the cooling pipe 50a (in short, also on the side opposite to the side to which the electrode is connected). An electric current (for example, a flow of e ₁ → e ₂ → e ₃ shown in FIG. 7) flowing toward the tube main body 10 flows (to wrap around).

この結果、電極から上記フランジ５０ａを介して上記管本体１０に流れる電流分布を好ましく改善することができ、管本体１０の通電加熱を効率よく行うことができる。また、本実施形態についても、上記フランジ４０ａの主に形状の改善によって上述の電流分布を改善することができるので、低コスト（安価な構成）で本発明の効果を得ることが可能である。 As a result, the distribution of current flowing from the electrode to the tube body 10 via the flange 50a can be preferably improved, and the tube body 10 can be efficiently heated by conduction. Also in the present embodiment, the above-described current distribution can be improved mainly by improving the shape of the flange 40a, so that the effects of the present invention can be obtained at low cost (inexpensive configuration).

また、本実施形態においても、上述の効果をよりいっそう発揮させる観点から、電極から上記冷却管５０ａを介して上記管本体１０の中心Ｏより下方から管本体１０に向かう電流が積極的に流れるようにするため、上記冷却管５０ａは、上記フランジ４０ａよりも導電性の高い材料から構成されていることが好ましい。 Also in the present embodiment, from the viewpoint of further exerting the above-described effects, a current flowing from the electrode toward the pipe main body 10 from below the center O of the pipe main body 10 through the cooling pipe 50a flows. Therefore, the cooling pipe 50a is preferably made of a material having higher conductivity than the flange 40a.

また、本実施形態では、図７に示すように、上記管本体１０の下端は、上記フランジ４０ａが設けられた位置において上記冷却管５０ａに当接しているが、本発明の効果を損なわない限りにおいて、管本体１０と冷却管５０ａとの間をフランジによって離間させるようにしてもよい。管本体１０と冷却管５０ａとが接していると冷却管５０ａにより管本体１０が冷却されすぎるおそれがある。管本体１０の一部、より具体的には清澄槽の電極近傍の位置において、局所的に温度が低下する。管本体１０は、白金または白金合金（白金族金属）から構成されているため、気相空間（酸素を含む雰囲気）に接する部分が揮発する。揮発した白金または白金合金は、清澄槽の電極近傍の局所的に温度が低下した位置で凝固し、付着する。凝固した揮発物は脱泡工程中の熔融ガラス中に落下して混入する、このため、管本体１０と冷却管５０ａとの間をフランジによって離間させることで、管本体１０の一部が局所的に冷却されるのを抑制することにより、凝固した揮発物が熔融ガラス中に落下して混入するのを防ぎ、ガラス基板に白金異物として混入することを防ぐことができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the lower end of the pipe main body 10 is in contact with the cooling pipe 50a at the position where the flange 40a is provided, but as long as the effects of the present invention are not impaired. In the above, the pipe body 10 and the cooling pipe 50a may be separated by a flange. If the pipe body 10 and the cooling pipe 50a are in contact with each other, the cooling pipe 50a may cause the pipe body 10 to be cooled too much. The temperature locally drops at a part of the tube body 10, more specifically, at a position near the electrode in the fining tank. Since the tube main body 10 is made of platinum or a platinum alloy (platinum group metal), a portion in contact with a gas phase space (an atmosphere containing oxygen) volatilizes. The volatilized platinum or platinum alloy solidifies and adheres at a location where the temperature is locally reduced near the electrode in the refining tank. The solidified volatiles fall into the molten glass during the defoaming step and are mixed. For this reason, by separating the pipe body 10 and the cooling pipe 50a by a flange, a part of the pipe body 10 is locally By suppressing the cooling, the solidified volatile matter can be prevented from falling into the molten glass and being mixed therein, and can be prevented from being mixed as platinum foreign matter into the glass substrate.

また、本発明は、ガラス基板の製造方法についても提供する。
すなわち、本発明は、ガラス原料を溶解した溶融ガラスを成形炉に搬送してガラス基板を製造するガラス基板の製造方法であって、ガラス原料を溶解することで溶融ガラスを得る溶解工程と、前記溶融ガラスを昇温することにより、前記溶融ガラス中に含まれるガス成分の泡を脱泡する清澄工程と、前記清澄工程で脱泡された前記溶融ガラスを撹拌することにより、ガラス成分を均質化する撹拌工程と、均質化された前記溶融ガラスをシート状ガラスに成形する成形工程と、を含み、前記溶解工程、前記清澄工程、前記撹拌工程、及び前記成形工程の少なくともいずれかの間の前記溶融ガラスの搬送のために、上述のガラス導管を用いることを特徴とするガラス基板の製造方法である。 The present invention also provides a method for manufacturing a glass substrate.
That is, the present invention is a method of manufacturing a glass substrate for manufacturing a glass substrate by transferring a molten glass in which a glass raw material is melted to a forming furnace, wherein a melting step of obtaining a molten glass by melting the glass raw material, By raising the temperature of the molten glass, a fining step of defoaming bubbles of gas components contained in the molten glass, and stirring the molten glass defoamed in the fining step to homogenize the glass components And a shaping step of shaping the homogenized molten glass into a sheet glass, wherein the melting step, the fining step, the stirring step, and at least one of the shaping step A method for manufacturing a glass substrate, comprising using the above-mentioned glass conduit for conveying molten glass.

上記の各実施形態により説明したように、低コストで電流分布を改善することができ、その結果、通電加熱を効率よく行うことができるガラス導管を用いることで、品質の安定した高品質のガラス基板を製造することが可能である。 As described in each of the above embodiments, the current distribution can be improved at low cost, and as a result, by using a glass conduit capable of efficiently performing energization heating, high-quality glass with stable quality can be obtained. It is possible to manufacture a substrate.

上述の本発明の実施形態において製造されるガラス基板は、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板等に好適に用いられる。また、このガラス基板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。その中でも特に熱収縮率の小さいことが要求される、ＬＴＰＳ（低温ポリシリコン）・ＴＦＴや、酸化物半導体・ＴＦＴなど、パネル製造工程において高温処理を必要とする製品に好適に用いることができる。 The glass substrate manufactured in the above embodiment of the present invention is suitably used, for example, for a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for an organic EL display, and the like. In addition, this glass substrate can also be used as a cover glass for a display or a housing of a mobile terminal device, a touch panel, a glass substrate or a cover glass of a solar cell. In particular, it is suitable for a glass substrate for a liquid crystal display. Among them, it can be suitably used for products requiring high-temperature processing in a panel manufacturing process, such as LTPS (low-temperature polysilicon) TFT and oxide semiconductor TFT, which require a particularly low heat shrinkage.

また、本発明において製造されるガラス基板の幅方向及び縦方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。
また、本発明において製造されるガラス基板の厚さは、例えば０．０１ｍｍ〜１．０ｍｍである。好ましくは、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍである。 Further, the length in the width direction and the vertical direction of the glass substrate manufactured in the present invention is, for example, 500 mm to 3500 mm, preferably 1000 mm to 3500 mm, and more preferably 2000 mm to 3500 mm.
The thickness of the glass substrate manufactured in the present invention is, for example, 0.01 mm to 1.0 mm. Preferably, it is 0.1 mm to 0.7 mm.

（ガラス基板の組成）
上述の用途のガラス基板のガラス組成としては、アルミノシリケートガラス、ボロアルミノシリケートガラスであり、さらに無アルカリガラス、微アルカリガラスであり、例えば以下のものを好ましく挙げることができる。なお、以下に示す組成の含有率表示は、モル％である。
ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ ５〜２０％、Ｂ₂Ｏ₃ ０〜１５％、ＲＯ５〜２０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうち、ガラス基板に含まれる全元素)、Ｒ'₂Ｏ０〜０．４％ (ただし、Ｒ'はＬｉ、Ｎａ及びＫのうち、ガラス基板に含まれる全元素)。
本発明で用いる溶融ガラスの歪点は、６５０℃以上であってもよく、６８０℃以上であることがより好ましい。
また、例えば、ガラス基板の液相粘度は、１０^4.3ｐｏｉｓｅ〜１０^6.7ｐｏｉｓｅである。
もちろん、本発明においては、ガラス基板のガラス組成を限定するものではない。 (Glass substrate composition)
Examples of the glass composition of the glass substrate for the above-mentioned applications include aluminosilicate glass and boroaluminosilicate glass, and further, non-alkali glass and slightly alkaline glass. For example, the following can be preferably mentioned. In addition, the content ratio indication of the composition shown below is mol%.
_{_{SiO 2 55~75%, Al 2 O}} 3 5~20%, B 2 O 3 0~15%, RO 5~20% ( wherein, R is Mg, Ca, among Sr and Ba, contained in the glass substrate all _{elements), R '2 O 0~0.4%} ( provided that, R' is Li, among the Na and K, all the elements contained in the glass substrate).
The strain point of the molten glass used in the present invention may be 650 ° C. or higher, more preferably 680 ° C. or higher.
Further, for example, the liquidus viscosity of the glass substrate is 10 ^4.3 poise~10 ^6.7 poise.
Of course, in the present invention, the glass composition of the glass substrate is not limited.

以上詳細に説明したとおり、本発明によれば、低コストで電流分布を改善することができ、そのため通電加熱を効率よく行うことができるガラス導管を提供することができる。また、このガラス導管を用いることで、品質の安定した高品質のガラス基板を製造することが可能である。 As described above in detail, according to the present invention, it is possible to improve the current distribution at a low cost, and therefore, it is possible to provide a glass conduit capable of efficiently performing energization heating. Further, by using this glass conduit, it is possible to manufacture a high-quality glass substrate with stable quality.

以上、本発明を実施の形態により説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As described above, the present invention has been described with the embodiment. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and changes may be made without departing from the gist of the present invention. .

１管本体
２フランジ
３電極
４冷却管
１０管本体
２０ａ，２０ｂフランジ
２１ａ，２１ｂ電極
３０ａ，３０ｂ冷却管
４０ａフランジ
５０ａ冷却管
１００溶解装置
１０１溶解槽
１０２清澄槽
１０３撹拌槽
１０４第１配管
１０５第２配管
１０６第３配管
２００成形装置
２１０成形体
２１２供給溝
２１３下方端部
２２０雰囲気仕切り部材
２３０冷却ローラ
２４０成形炉
２５０徐冷炉
２５０ａ〜２５０ｄ搬送ローラ
３００切断装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pipe main body 2 Flange 3 Electrode 4 Cooling pipe 10 Tube main body 20a, 20b Flange 21a, 21b Electrode 30a, 30b Cooling pipe 40a Flange 50a Cooling pipe 100 Melting device 101 Melting tank 102 Refining tank 103 Stirring tank 104 First pipe 105 Second Pipe 106 Third pipe 200 Molding device 210 Molded body 212 Supply groove 213 Lower end 220 Atmosphere partition member 230 Cooling roller 240 Molding furnace 250 Annealing furnace 250a to 250d Transport roller 300 Cutting device

Claims

A glass conduit for conveying the molten glass while heating it,
A tube main body made of platinum or a platinum alloy, a pair of flanges provided at different positions in the longitudinal direction of the tube main body, electrodes respectively drawn out from the flanges, and along the outer circumference of each of the flange and the electrode. A cooling pipe provided for cooling the flange and the electrode,
The outer periphery of the flange above the center of the pipe main body has a part forming a circular shape, and the outer periphery of the flange below the center of the pipe main body forms a part of an elliptical shape. And
From the cooling pipe below the center of the pipe body, the pipe flows from below the center of the pipe body so that a current flowing from the electrode to the pipe body via the cooling pipe flows from below the center of the pipe body toward the pipe body. A glass conduit, wherein a distance to the main body is shorter than a distance from the cooling pipe to the pipe main body above a center of the pipe main body.

The glass pipe according to claim 1, wherein the cooling pipe is made of a material having higher conductivity than the flange.

A glass substrate manufacturing method for manufacturing a glass substrate by transferring a molten glass obtained by melting a glass raw material to a molding furnace,
A melting step of obtaining a molten glass by melting glass raw materials, a fining step of defoaming bubbles of gas components contained in the molten glass by raising the temperature of the molten glass, and a defoaming step in the fining step By stirring the melted glass, a stirring step of homogenizing the glass component,
Forming the homogenized molten glass into a sheet-like glass,
Glass using the glass conduit according to claim 1 or 2 for conveying the molten glass during at least one of the melting step, the fining step, the stirring step, and the forming step. Substrate manufacturing method.