JP6603203B2 - Method and system for measuring position of object in machine tool - Google Patents

Method and system for measuring position of object in machine tool Download PDF

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Description

本発明は、工作機械の機内において工具や工作物等の対象物の位置を計測するための位置計測方法及び位置計測システムに関する。   The present invention relates to a position measurement method and a position measurement system for measuring the position of an object such as a tool or a workpiece in a machine tool.

テーブルに取り付けた工作物を、主軸に装着して回転する工具により加工を行う工作機械において、高精度な加工を行うために、工具の長さや工作物の位置を自動的に計測して補正する方法が用いられている。
工具長さの自動計測方法として、例えば、図2に示すようなレーザセンサ10や図3に示すようなタッチセンサ20が用いられる。
まず、レーザセンサ10は、発光部11と、受光部12と、発光部11と受光部12とを支持するベース部13とから成り、レーザ光14を発光部11より出力し、受光部12にて受光する。レーザ光14が物体によって遮られ受光率が一定以下になった場合に信号を発する。ここでは主軸2に工具9を装着して工具9を所定の速度で回転させながら、Z軸により工具9をレーザ光14に接近させ、工具9がレーザ光14を遮断するとベース部13から信号を発信する。その信号を検知した工作機械の制御装置は、信号を受けた時点もしくは遅れを考慮した時点でのZ軸の位置を記憶する。各工具の長さ基準となる基準工具に対しても同様に行い、工具9でのZ軸位置と基準工具でのZ軸位置との差を工具9の長さとする。
次に、タッチセンサ20は、接触を検知すると信号を発する装置であり、主軸2に工具9を装着し、Z軸により工具9をタッチセンサ20に接近させ、工具9が接触した際に信号を発信する。その信号を検知した制御装置は、信号を受けた時点もしくは遅れを考慮した時点でのZ軸の位置を記憶する。各工具の長さ基準となる基準工具に対しても同様に行い、工具9でのZ軸位置と基準工具でのZ軸位置との差を工具9の長さとする。
In a machine tool that processes a workpiece mounted on a table with a rotating tool mounted on the spindle, the tool length and workpiece position are automatically measured and corrected for high-precision machining. The method is used.
As an automatic measuring method of the tool length, for example, a laser sensor 10 as shown in FIG. 2 or a touch sensor 20 as shown in FIG. 3 is used.
First, the laser sensor 10 includes a light emitting unit 11, a light receiving unit 12, and a base unit 13 that supports the light emitting unit 11 and the light receiving unit 12. The laser sensor 14 outputs laser light 14 from the light emitting unit 11, and Receive light. A signal is emitted when the laser beam 14 is blocked by an object and the light receiving rate is below a certain level. Here, the tool 9 is mounted on the main shaft 2 and the tool 9 is rotated at a predetermined speed, while the tool 9 is brought close to the laser beam 14 by the Z axis. send. The machine tool control device that has detected the signal stores the position of the Z-axis at the time of receiving the signal or taking into account the delay. The same is performed for the reference tool that is the reference for the length of each tool, and the difference between the Z-axis position of the tool 9 and the Z-axis position of the reference tool is set as the length of the tool 9.
Next, the touch sensor 20 is a device that emits a signal when contact is detected. The tool 9 is attached to the spindle 2, the tool 9 is moved closer to the touch sensor 20 by the Z axis, and a signal is output when the tool 9 comes into contact. send. The control device that has detected the signal stores the position of the Z-axis at the time of receiving the signal or considering the delay. The same is performed for the reference tool that is the reference for the length of each tool, and the difference between the Z-axis position of the tool 9 and the Z-axis position of the reference tool is set as the length of the tool 9.

一方、工作物の位置の自動計測方法として、例えば、図4に示すようなタッチプローブ30が用いられる。このタッチプローブ30は、接触子が物体に接触すると信号を出力する装置であり、主軸2にタッチプローブ30を装着し、Z軸によりテーブル3上の工作物31に接近させ、タッチプローブ30が工作物31に接触した際に信号を出力する。その信号を検知した制御装置は、信号を受けた時点もしくは遅れを考慮した時点でのZ軸の位置を取得する。
また、基準工具に対するタッチプローブ30の長さを予め計測し、タッチプローブ30の長方向の補正値として補正して計測することで、工作物31の位置(この場合は高さ)を求めることができる。但し、タッチプローブ30は対象物に接触してトリガー信号を出力するまでにある一定の長さ変化が生じるため、タッチプローブ30が接触してトリガー信号を出力する際の実際の長さが必要となる。
しかし、レーザセンサ10では、タッチプローブ30が接触しないため、タッチプローブ30の接触時の長さを計測することができない。
一方、タッチセンサ20では、タッチセンサ20とタッチプローブ30のそれぞれの動作抵抗が異なることから、両者が同時にトリガー信号を出力できず、タッチプローブ30の接触時長さを計測することができない。
On the other hand, for example, a touch probe 30 as shown in FIG. 4 is used as an automatic measurement method of the position of the workpiece. The touch probe 30 is a device that outputs a signal when the contactor comes into contact with an object. The touch probe 30 is attached to the spindle 2 and is moved closer to the workpiece 31 on the table 3 by the Z axis. A signal is output when the object 31 is touched. The control device that has detected the signal acquires the position of the Z axis at the time of receiving the signal or taking into account the delay.
Further, the position of the workpiece 31 (in this case, the height) can be obtained by measuring the length of the touch probe 30 with respect to the reference tool in advance and correcting the measurement as a correction value in the longitudinal direction of the touch probe 30. it can. However, since the touch probe 30 changes in a certain length until it comes into contact with the object and outputs the trigger signal, the touch probe 30 needs to have an actual length when the touch probe 30 comes into contact and outputs the trigger signal. Become.
However, since the touch probe 30 is not in contact with the laser sensor 10, the length when the touch probe 30 is in contact cannot be measured.
On the other hand, in the touch sensor 20, since the operation resistances of the touch sensor 20 and the touch probe 30 are different from each other, both cannot output a trigger signal at the same time, and the touch-contact length of the touch probe 30 cannot be measured.

そこで、タッチプローブの接触時長さの測定方法として、基準工具を用いた方法(以下「方法1」という。)が知られている。この方法1では、主軸に基準工具を装着し、テーブル上面などの基準面に対して、ブロックゲージを介して、基準工具が接触するようにZ軸を手動操作しながら、ブロックゲージを手で動かした際の抵抗から、ブロックゲージと基準工具との隙間がほぼ0になる位置を見つけ、その位置を記録する。次に、タッチプローブにて基準面を計測する、すなわち、タッチプローブが接触した際のZ軸位置を取得する。タッチプローブで取得したZ軸位置から、記録した基準工具でのZ軸位置とブロックゲージの厚みとを引いた値がタッチプローブの接触時の長さとなる。
また、特許文献1には、CCDカメラを用いたタッチプローブの接触時長さの測定方法が記載されている。ここではまず押さえ台の上面にタッチプローブを接触させて信号を出力する際の主軸の位置を取得し、接触時のタッチプローブ先端をCCDカメラで撮影することで先端位置を計測する。次に、押さえ台を取り除いてタッチプローブが接触していない時の長さに戻してCCDカメラで先端位置を計測する。両先端位置の差から接触時の縮み量を算出する。基準工具についてもCCDカメラでその先端位置を計測し、その時の主軸の位置も取得する。得られた接触時縮み量、接触時のタッチプローブ先端位置、タッチプローブ接触時の主軸位置、基準工具の先端位置、基準工具での主軸位置の関係から、タッチプローブの接触時の長さを求める。
一方、特許文献2には、レーザセンサと基準ブロックを用いた工作物位置の補正方法について記載されている。ここではまずレーザセンサ近傍に基準ブロックを用意し、レーザ光の位置と基準ブロックの上面の位置(高さ)を一致させておく。また、レーザセンサにて基準工具装着時の位置を記憶しておく。次に、基準ブロックに対してタッチプローブを接触させて位置を記憶し、工作物に対してもタッチプローブを接触させて位置を記憶し、両位置の差と基準工具の位置から、基準工具に対する工作物位置を計測して補正する。この方法では、タッチプローブの接触時長さを求めずに工作物位置計測を行うようにしている。
Therefore, a method using a reference tool (hereinafter referred to as “method 1”) is known as a method for measuring the contact probe length. In Method 1, a reference tool is mounted on the spindle, and the block gauge is moved manually while manually operating the Z axis so that the reference tool contacts the reference surface such as the table top surface via the block gauge. The position where the clearance between the block gauge and the reference tool is almost zero is found from the resistance at the time, and the position is recorded. Next, the reference plane is measured with the touch probe, that is, the Z-axis position when the touch probe comes into contact is acquired. A value obtained by subtracting the recorded Z-axis position of the reference tool and the thickness of the block gauge from the Z-axis position acquired by the touch probe is the length when the touch probe is contacted.
Patent Document 1 describes a method for measuring a contact probe length using a CCD camera. Here, first, the position of the spindle when the touch probe is brought into contact with the upper surface of the press stand to output a signal is acquired, and the tip position is measured by photographing the tip of the touch probe at the time of contact with a CCD camera. Next, the press stand is removed, and the length is returned to the length when the touch probe is not in contact, and the tip position is measured with the CCD camera. The amount of shrinkage at the time of contact is calculated from the difference between the two tip positions. The tip position of the reference tool is also measured with a CCD camera, and the position of the spindle at that time is also acquired. The contact probe contact length is obtained from the relationship between the contact shrinkage, the touch probe tip position at the time of contact, the spindle position at the time of touch probe contact, the tip position of the reference tool, and the spindle position at the reference tool. .
On the other hand, Patent Document 2 describes a method for correcting a workpiece position using a laser sensor and a reference block. First, a reference block is prepared in the vicinity of the laser sensor, and the position of the laser beam and the position (height) of the upper surface of the reference block are matched. Further, the position at the time of mounting the reference tool is stored by the laser sensor. Next, the touch probe is brought into contact with the reference block and the position is memorized. The touch probe is also brought into contact with the work piece and the position is memorized. From the difference between both positions and the position of the reference tool, Measure and correct the workpiece position. In this method, the workpiece position is measured without obtaining the contact probe contact length.

特開2012−61570号公報JP 2012-61570 A 特開2001−105279号公報JP 2001-105279 A

まず、上記方法1では、手作業が必要であり、タッチプローブの接触時長さを自動計測することができない。このため、熱変位等によりタッチプローブの長さが変わり、タッチプローブの接触時長さを計測する場合、加工を中断して手作業を行う必要が出てくるという課題がある。
次に、特許文献1の技術では、高価なCCDカメラによる計測装置が必要となるという課題がある。また、押さえ台を自動で除去するためには、押さえ台を駆動する機構やアクチュエータが必要になり、コストが高くなるという課題もある。
また、特許文献2の技術は、タッチプローブの接触時の長さを測定せずに工作物の位置計測を行えるとしているが、レーザセンサのレーザ光位置と基準ブロック位置を一致させる、もしくは両位置関係を既知にする必要がある。これは、レーザセンサで計測される基準工具の長さと、基準ブロックを接触させる際のタッチプローブの長さとの関係、すなわちタッチプローブの接触時長さを既知にする必要があることと同義である。しかし、その方法については記載がない。
First, in the above method 1, manual work is required, and the touch-contact length of the touch probe cannot be automatically measured. For this reason, the length of the touch probe changes due to thermal displacement or the like, and when measuring the length of the touch probe in contact, there is a problem that it is necessary to interrupt the processing and perform manual work.
Next, the technique of Patent Document 1 has a problem that an expensive measuring device using a CCD camera is required. In addition, in order to automatically remove the presser base, a mechanism and an actuator for driving the presser base are required, and there is a problem that the cost increases.
Moreover, although the technique of patent document 2 can measure the position of a workpiece without measuring the length at the time of contact of a touch probe, the laser beam position of a laser sensor and a reference block position are made to coincide, or both positions The relationship needs to be known. This is synonymous with the fact that the relationship between the length of the reference tool measured by the laser sensor and the length of the touch probe when contacting the reference block, that is, the length when the touch probe contacts, must be known. . However, there is no description about the method.

そこで、本発明は、比較的安価な構成でタッチプローブ等の位置計測センサの長方向補正値を取得でき、位置計測センサによる対象物の計測を高精度に行うことができる工作機械における対象物の位置計測方法及びシステムを提供することを目的としたものである。   Therefore, the present invention can acquire a long-direction correction value of a position measurement sensor such as a touch probe with a relatively inexpensive configuration, and can measure an object in a machine tool capable of measuring an object with the position measurement sensor with high accuracy. The object is to provide a position measurement method and system.

上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、を有する工作機械を用いて、前記主軸に装着可能な位置計測センサにより、前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測する方法であって、
前記工具の長さ基準となる基準工具を前記主軸に装着し、工具センサを用いて前記基準工具の先端の検知位置を取得する工具センサ位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記基準工具を、前記工具センサ側に設けられた基準ブロックに対して直接又は間接的に接触させた際の前記並進軸の位置を取得する基準ブロック位置取得段階と、
前記工具センサ位置取得段階で取得した前記検知位置と、前記基準ブロック位置取得段階で取得した前記並進軸の位置とから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出する相対位置算出段階と、
前記基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得する基準工具位置取得段階と、
前記主軸に前記位置計測センサを装着して、前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する位置計測センサ計測段階と、
前記基準工具位置取得段階で取得した前記基準工具位置と、前記位置計測センサ計測段階で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出段階で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出する長補正値算出段階と、
前記長補正値算出段階で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正する位置計測段階と、を実行することを特徴とする。
ここで「工具センサ側」とは、工具センサに基準ブロックを直接設けた場合は勿論、工具センサの近傍に別体の基準ブロックを設けた場合も含む。以下の発明も同様である。
請求項2に記載の発明は、請求項1の構成において、前記工具センサ位置取得段階から前記相対位置算出段階までを一回実行し、前記基準工具位置取得段階から前記位置計測段階までを複数回実行することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2の構成において、前記位置計測センサ計測段階及び前記位置計測段階において前記位置計測センサで計測される位置は、前記位置計測センサが対象物に接触したことを検知した際の前記並進軸の位置であることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3の何れかの構成において、前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測段階の実行前に、前記位置計測センサの径方向補正値を取得する径補正値取得段階をさらに実行し、前記位置計測段階では、前記径補正値取得段階で取得した前記径補正値も用いて前記対象物の計測位置を補正することを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項5に記載の発明は、3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、前記主軸に装着可能である位置計測センサと、前記並進軸と前記主軸とを制御する制御装置と、を有する工作機械において、前記位置計測センサにより前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測するシステムであって、
前記工具の長さ基準となる基準工具と、
前記主軸に装着した前記基準工具の先端位置を検出する工具センサと、
前記工具センサ側に設置された基準ブロックと、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させ、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端の検知位置を取得して記憶する工具センサ位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させて前記基準ブロックに対して直接又は間接的に接触させ、その接触の際の前記並進軸の位置を取得して記憶する基準ブロック位置取得手段と、
前記工具センサ位置取得手段で取得された前記検知位置と前記基準ブロック位置取得手段で取得された前記並進軸の位置とから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出して記憶する相対位置算出手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させ、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得して記憶する基準工具位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサで前記基準ブロックの位置を計測して記憶する計測位置取得手段と、
前記基準工具位置取得手段で取得された前記基準工具位置と、前記計測位置取得手段で取得された前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出手段で取得された前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出して記憶する長補正値算出手段と、
前記長補正値算出手段に記憶された前記長補正値を用いて前記位置計測センサによる計測位置を補正し、前記対象物の位置を算出する位置算出手段と、を有することを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5の構成において、前記位置計測センサは、前記位置計測センサが前記対象物を検知した際の前記並進軸の位置もしくは信号遅れを考慮した位置を計測することを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項5又は6の構成において、前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測センサの径方向補正値を取得して記憶する径補正値取得手段をさらに有し、
前記位置算出手段では、前記長補正値算出手段で取得された前記長補正値と、前記径補正値取得手段で取得された前記径補正値とを用いて前記位置計測センサの計測位置を補正して、前記対象物の位置を算出することを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項8に記載の発明は、3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、を有する工作機械を用いて、前記主軸に装着可能な位置計測センサにより、前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測する方法であって、
工具センサと、前記工具センサ側に設けられた基準ブロックとを用い、
前記工具の長さ基準となる基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて、前記基準工具の先端の検知位置を取得する工具センサ位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記基準工具を用いて任意の工具計測位置を取得する基準工具計測位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて任意のセンサ計測位置を取得する位置計測センサ計測位置取得段階と、
前記工具計測位置と前記センサ計測位置との差を求め、当該差と前記基準工具の長さとに基づいて前記位置計測センサの長さを求める位置計測センサ長さ算出段階と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する第1の基準ブロック位置取得段階と、
前記工具センサ位置取得段階で取得した前記検知位置と、前記第1の基準ブロック位置取得段階で取得した前記基準ブロックの位置と、前記位置計測センサ長さ算出段階で算出した前記位置計測センサの長さと、前記基準工具の長さとから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出する相対位置算出段階と、
前記基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得する基準工具位置取得段階と、
前記位置計測センサを前記主軸に装着し、前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する第2の基準ブロック位置取得段階と、
前記基準工具位置取得段階で取得した前記基準工具位置と、前記第2の基準ブロック位置取得段階で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出段階で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出する長補正値算出段階と、
前記長補正値算出段階で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正する位置計測段階と、を実行することを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、請求項8の構成において、前記工具センサ位置取得段階から前記相対位置算出段階までを1回実行し、前記基準工具位置取得段階から前記位置計測段階までを複数回実行することを特徴とする。
請求項10に記載の発明は、請求項8又は9の構成において、前記第1の基準ブロック位置取得段階と、前記第2の基準ブロック位置取得段階と、前記位置計測段階とにおいて、前記位置計測センサで計測される位置は、前記位置計測センサが対象物に接触したことを検知した際の前記並進軸の位置であることを特徴とする。
請求項11に記載の発明は、請求項8乃至10の何れかの構成において、前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測段階の実行前に、前記位置計測センサの径方向補正値を取得する径補正値取得段階をさらに実行し、前記位置計測段階では、前記径補正値取得段階で取得した前記径補正値も用いて前記対象物の計測位置を補正することを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項12に記載の発明は、3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、前記主軸に装着可能である位置計測センサと、前記並進軸と前記主軸とを制御する制御装置と、を有する工作機械において、前記位置計測センサにより前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測するシステムであって、
前記工具の長さ基準となる基準工具と、
前記主軸に装着した前記基準工具の先端位置を検出する工具センサと、
前記工具センサ側に設置された基準ブロックと、
前記主軸に装着した前記基準工具と、前記工具センサとを用いて、前記基準工具の先端の検知位置を取得して記憶する工具センサ位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を用いて任意の工具計測位置を取得して記憶する基準工具計測位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて任意のセンサ計測位置を取得して記憶する位置計測センサ計測位置取得手段と、
前記工具計測位置と前記センサ計測位置との差を求め、当該差と前記基準工具の長さとに基づいて前記位置計測センサの長さを算出して記憶する位置計測センサ長さ算出手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測して記憶する第1の基準ブロック位置取得手段と、
前記工具センサ位置取得手段で取得した前記検知位置と、前記第1の基準ブロック位置取得手段で取得した前記基準ブロックの位置と、前記位置計測センサ長さ算出手段で算出した前記位置計測センサの長さと、前記基準工具の長さとから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出して記憶する相対位置算出手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具と、前記工具センサとを用いて、前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得して記憶する基準工具位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測して記憶する第2の基準ブロック位置取得手段と、
前記基準工具位置取得手段で取得した前記基準工具位置と、前記第2の基準ブロック位置取得手段で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出手段で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出して記憶する長補正値算出手段と、
前記長補正値算出手段で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正し、前記対象物の位置を算出する位置算出手段と、を有することを特徴とする。
請求項13に記載の発明は、請求項12の構成において、前記位置計測センサは、前記位置計測センサが前記対象物を検知した際の前記並進軸の位置もしくは信号遅れを考慮した位置を計測することを特徴とする。
請求項14に記載の発明は、請求項12又は13の構成において、前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測センサの径方向補正値を取得して記憶する径補正値取得手段をさらに有し、前記位置算出手段では、前記長補正値算出手段で取得された前記長補正値と、前記径補正値取得手段で取得された前記径補正値とを用いて前記位置計測センサの計測位置を補正して、前記対象物の位置を算出することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 uses a machine tool having three or more translational axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, and a table, and uses the machine tool as the spindle. A method of measuring the position of an object fixed on the table by a position measurement sensor that can be mounted,
A tool sensor position acquisition step of mounting a reference tool serving as a reference for the length of the tool on the spindle and acquiring a detection position of the tip of the reference tool using a tool sensor;
A reference block position obtaining step for obtaining the position of the translation shaft when the reference tool mounted on the spindle is brought into direct or indirect contact with a reference block provided on the tool sensor side;
A relative position calculation step of calculating a relative position of the reference block with respect to the detection position from the detection position acquired in the tool sensor position acquisition step and the position of the translation axis acquired in the reference block position acquisition step;
A reference tool position acquisition step of mounting the reference tool on the spindle and acquiring a reference tool position that is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
A position measurement sensor measurement step of mounting the position measurement sensor on the spindle and measuring the position of the reference block using the position measurement sensor;
The reference tool position acquired in the reference tool position acquisition step, the position of the reference block measured in the position measurement sensor measurement step, the relative position calculated in the relative position calculation step, and the length of the reference tool From the long correction value calculation step of calculating the long direction correction value of the position measurement sensor,
A position measurement step of correcting the measurement position of the object measured by the position measurement sensor mounted on the spindle using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated in the length correction value calculation step; It is characterized by performing.
Here, the “tool sensor side” includes not only a case where a reference block is directly provided on the tool sensor but also a case where a separate reference block is provided in the vicinity of the tool sensor. The following invention is also the same.
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the tool sensor position acquisition stage to the relative position calculation stage are executed once, and the reference tool position acquisition stage to the position measurement stage are performed a plurality of times. It is characterized by performing.
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first or second aspect, the position measurement sensor is in contact with an object in the position measurement sensor measurement stage and the position measured by the position measurement sensor in the position measurement stage. It is the position of the translation axis when it is detected.
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to third aspects, the position measurement sensor may be a contact-type sensor for the object, and the position measurement sensor may be A diameter correction value acquisition step of acquiring a radial direction correction value is further executed, and in the position measurement step, the measurement position of the object is corrected using the diameter correction value acquired in the diameter correction value acquisition step. Features.
In order to achieve the above object, the invention described in claim 5 includes three or more translation axes, a spindle that can be rotated by attaching a tool, a table, and a position measurement sensor that can be attached to the spindle. A system for measuring a position of an object fixed on the table by the position measurement sensor in a machine tool having a control device for controlling the translation shaft and the main shaft,
A reference tool serving as a reference for the length of the tool;
A tool sensor for detecting a tip position of the reference tool mounted on the spindle;
A reference block installed on the tool sensor side;
Tool sensor position acquisition means for moving the reference tool mounted on the spindle by the translation shaft and acquiring and storing the detection position of the tip of the reference tool using the tool sensor;
Reference block position acquisition for acquiring and storing the position of the translation axis at the time of contact with the reference block by moving the reference tool mounted on the spindle by the translation axis to directly or indirectly contact the reference block Means,
A relative position for calculating and storing a relative position of the reference block with respect to the detection position from the detection position acquired by the tool sensor position acquisition means and the position of the translation axis acquired by the reference block position acquisition means. A calculation means;
A reference tool position acquisition means for moving the reference tool mounted on the spindle by the translation shaft and acquiring and storing a reference tool position which is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
Measurement position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block with the position measurement sensor mounted on the spindle;
The reference tool position acquired by the reference tool position acquisition means, the position of the reference block acquired by the measurement position acquisition means, the relative position acquired by the relative position calculation means, and the reference tool A length correction value calculating means for calculating and storing a length direction correction value of the position measurement sensor from the length;
Position correction means for correcting the measurement position by the position measurement sensor using the length correction value stored in the length correction value calculation means and calculating the position of the object.
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fifth aspect, the position measurement sensor measures a position in consideration of a position of the translation shaft or a signal delay when the position measurement sensor detects the object. It is characterized by that.
The invention according to claim 7 is the diameter correction for acquiring and storing the radial direction correction value of the position measurement sensor in the configuration of claim 5 or 6 as the contact sensor for the object. It further has a value acquisition means,
The position calculating unit corrects the measurement position of the position measuring sensor using the length correction value acquired by the length correction value calculating unit and the diameter correction value acquired by the diameter correction value acquiring unit. Then, the position of the object is calculated.
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 8 uses a machine tool having three or more translation shafts, a spindle that can be rotated by mounting a tool, and a table, to the spindle. A method of measuring the position of an object fixed on the table by a position measurement sensor that can be mounted,
Using a tool sensor and a reference block provided on the tool sensor side,
A tool sensor position acquisition step of mounting a reference tool serving as a reference for the length of the tool on the spindle, and acquiring a detection position of a tip of the reference tool using the tool sensor;
A reference tool measurement position acquisition step of acquiring an arbitrary tool measurement position using the reference tool mounted on the spindle;
A position measurement sensor measurement position acquisition stage for acquiring an arbitrary sensor measurement position using the position measurement sensor mounted on the spindle;
A position measurement sensor length calculation step for obtaining a difference between the tool measurement position and the sensor measurement position and obtaining a length of the position measurement sensor based on the difference and the length of the reference tool;
A first reference block position acquisition step of measuring the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The detection position acquired in the tool sensor position acquisition stage, the position of the reference block acquired in the first reference block position acquisition stage, and the length of the position measurement sensor calculated in the position measurement sensor length calculation stage And a relative position calculating step for calculating a relative position of the reference block with respect to the detected position from the length of the reference tool;
A reference tool position acquisition step of mounting the reference tool on the spindle and acquiring a reference tool position that is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
A second reference block position acquisition step of mounting the position measurement sensor on the spindle and measuring the position of the reference block using the position measurement sensor;
The reference tool position acquired in the reference tool position acquisition step, the position of the reference block measured in the second reference block position acquisition step, the relative position calculated in the relative position calculation step, and the reference tool A length correction value calculating step of calculating a length direction correction value of the position measurement sensor from the length of
A position measurement step of correcting the measurement position of the object measured by the position measurement sensor mounted on the spindle using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated in the length correction value calculation step; It is characterized by performing.
According to a ninth aspect of the present invention, in the configuration of the eighth aspect, the tool sensor position acquisition stage to the relative position calculation stage are executed once, and the reference tool position acquisition stage to the position measurement stage are performed a plurality of times. It is characterized by performing.
According to a tenth aspect of the present invention, in the configuration of the eighth or ninth aspect, the position measurement is performed in the first reference block position acquisition stage, the second reference block position acquisition stage, and the position measurement stage. The position measured by the sensor is the position of the translational axis when the position measurement sensor detects that the object has been contacted.
According to an eleventh aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the eighth to tenth aspects, the position measurement sensor is a contact-type sensor for the object, and the position measurement sensor is A diameter correction value acquisition step of acquiring a radial direction correction value is further executed, and in the position measurement step, the measurement position of the object is corrected using the diameter correction value acquired in the diameter correction value acquisition step. Features.
To achieve the above object, the invention described in claim 12 includes three or more translation axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, a table, and a position measurement sensor that can be mounted on the spindle. A system for measuring a position of an object fixed on the table by the position measurement sensor in a machine tool having a control device for controlling the translation shaft and the main shaft,
A reference tool serving as a reference for the length of the tool;
A tool sensor for detecting a tip position of the reference tool mounted on the spindle;
A reference block installed on the tool sensor side;
Tool sensor position acquisition means for acquiring and storing the detection position of the tip of the reference tool using the reference tool mounted on the spindle and the tool sensor;
Reference tool measurement position acquisition means for acquiring and storing an arbitrary tool measurement position using the reference tool mounted on the spindle;
Position measurement sensor measurement position acquisition means for acquiring and storing an arbitrary sensor measurement position using the position measurement sensor mounted on the spindle;
A position measurement sensor length calculation means for obtaining a difference between the tool measurement position and the sensor measurement position, calculating and storing the length of the position measurement sensor based on the difference and the length of the reference tool;
First reference block position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The detection position acquired by the tool sensor position acquisition means, the position of the reference block acquired by the first reference block position acquisition means, and the length of the position measurement sensor calculated by the position measurement sensor length calculation means And relative position calculation means for calculating and storing the relative position of the reference block with respect to the detection position from the length of the reference tool,
Reference tool position acquisition means for acquiring and storing a reference tool position, which is a tip position of the reference tool, using the reference tool mounted on the spindle and the tool sensor;
Second reference block position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The reference tool position acquired by the reference tool position acquisition means, the position of the reference block measured by the second reference block position acquisition means, the relative position calculated by the relative position calculation means, and the reference tool A length correction value calculating means for calculating and storing a length direction correction value of the position measurement sensor from the length of
Using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated by the length correction value calculation means, the measurement position of the object measured by the position measurement sensor attached to the spindle is corrected, and the position of the object And a position calculating means for calculating.
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the configuration of the twelfth aspect, the position measurement sensor measures a position in consideration of a position of the translation axis or a signal delay when the position measurement sensor detects the object. It is characterized by that.
The invention according to claim 14 is the diameter correction for acquiring and storing the radial direction correction value of the position measurement sensor in the configuration of claim 12 or 13 as the contact sensor for the object. Further comprising a value acquisition means, wherein the position calculation means uses the length correction value acquired by the length correction value calculation means and the diameter correction value acquired by the diameter correction value acquisition means. The position of the object is calculated by correcting the measurement position of the measurement sensor.

本発明によれば、事前に、工具センサによる検知位置と、基準工具又は位置計測センサを基準ブロックに接触させた基準工具位置との関係から、工具センサの検知位置と基準ブロックとの相対位置を既知にしておくことで、その後は、工具センサで基準工具位置を計測し、位置計測センサで基準ブロックの位置を計測することで、位置計測センサの長方向の補正値を取得可能となる。これにより、熱変位等で位置計測センサの長さが変化しても、長方向補正値を用いて補正することで、位置計測センサによる対象物の計測を高精度に行うことができる。また、この方法は、CCDカメラによる測定システム等が不要であり、比較的安価に実現できる。
特に、請求項8乃至14に記載の発明では、工具センサ側に設けた基準ブロック位置は、位置計測センサで計測しているので、基準ブロックの面積は位置計測センサの先端プローブが接触できる分だけあればよい。よって、基準ブロックを小さくすることができ、より小型な位置計測システムが実現可能となる。
また、位置計測センサが接触式センサである場合、その径方向の補正値も併せて取得すれば、より高精度に対象物の計測が可能となる。
According to the present invention, the relative position between the detection position of the tool sensor and the reference block is determined in advance from the relationship between the detection position by the tool sensor and the reference tool position where the reference tool or the position measurement sensor is in contact with the reference block. By making it known, after that, the reference tool position is measured by the tool sensor, and the position of the reference block is measured by the position measurement sensor, whereby the correction value in the long direction of the position measurement sensor can be acquired. Thereby, even if the length of the position measurement sensor changes due to thermal displacement or the like, the object measurement by the position measurement sensor can be performed with high accuracy by correcting using the long direction correction value. This method does not require a measurement system using a CCD camera, and can be realized at a relatively low cost.
Particularly, in the inventions according to claims 8 to 14, since the reference block position provided on the tool sensor side is measured by the position measurement sensor, the area of the reference block is as much as the tip probe of the position measurement sensor can contact. I just need it. Therefore, the reference block can be made small, and a more compact position measurement system can be realized.
In addition, when the position measurement sensor is a contact sensor, the object can be measured with higher accuracy if the radial correction value is also acquired.

マシニングセンタの模式図である。It is a schematic diagram of a machining center. レーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of a laser sensor. タッチセンサの模式図である。It is a schematic diagram of a touch sensor. タッチプローブの模式図である。It is a schematic diagram of a touch probe. 本発明の工具センサの一例であるレーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the laser sensor which is an example of the tool sensor of this invention. マシニングセンタに取り付けられた本発明のレーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the laser sensor of this invention attached to the machining center. 本発明の工具センサの一例であるレーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the laser sensor which is an example of the tool sensor of this invention. 本発明の工具センサの一例であるタッチセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the touch sensor which is an example of the tool sensor of this invention. 本発明の工具センサの一例であるタッチセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the touch sensor which is an example of the tool sensor of this invention. 本発明の計測準備作業のフローチャートである。It is a flowchart of the measurement preparation work of this invention. 本発明のタッチプローブによる位置計測方法のフローチャートである。It is a flowchart of the position measuring method by the touch probe of this invention. 本発明の計測準備作業のステップSR1の説明図である。It is explanatory drawing of step SR1 of the measurement preparation work of this invention. 本発明の計測準備作業のステップSR2の説明図である。It is explanatory drawing of step SR2 of the measurement preparation work of this invention. 本発明の位置計測方法のステップS2の説明図である。It is explanatory drawing of step S2 of the position measuring method of this invention. 本発明の計測準備作業の変更例のフローチャートである。It is a flowchart of the example of a change of the measurement preparation work of this invention. 本発明の計測準備作業の変更例のステップSR1の説明図である。It is explanatory drawing of step SR1 of the example of a change of the measurement preparation work of this invention. 本発明の計測準備作業の変更例のステップSR2の説明図である。It is explanatory drawing of step SR2 of the example of a change of the measurement preparation work of this invention. 本発明の計測準備作業の変更例のステップSR3の説明図である。It is explanatory drawing of step SR3 of the example of a change of the measurement preparation work of this invention. 本発明の計測準備作業の変更例のステップSR5の説明図である。It is explanatory drawing of step SR5 of the example of a change of the measurement preparation work of this invention. 本発明の工具センサの変更例であるレーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the laser sensor which is the example of a change of the tool sensor of this invention. 本発明の工具センサの変更例であるレーザセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the laser sensor which is the example of a change of the tool sensor of this invention. 本発明の工具センサの変更例であるタッチセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the touch sensor which is the example of a change of the tool sensor of this invention. 本発明の工具センサの変更例であるタッチセンサの模式図である。It is a schematic diagram of the touch sensor which is the example of a change of the tool sensor of this invention. 本発明のタッチプローブによる位置計測方法のフローチャートである。It is a flowchart of the position measuring method by the touch probe of this invention.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、工作機械の一形態であり、3つの互いに直交する並進軸と2つの互いに直交する回転軸を有するマシニングセンタの模式図である。
主軸2は、並進軸であり互いに直交するX軸、Z軸によってベッド1に対して並進2自由度の運動が可能である。テーブル3は、回転軸であるC軸によってクレードル4に対して回転1自由度の運動が可能である。クレードル4は、回転軸でありC軸に対して直交するA軸によってトラニオン5に対して回転1自由度の運動が可能である。トラニオン5は、並進軸でありX軸およびZ軸に直交するY軸によりベッド1に対して並進1自由度の運動が可能である。したがって、主軸2は、テーブル3に対して並進3自由度および回転2自由度の運動が可能である。各送り軸は図に示していない数値制御装置により制御されるサーボモータにより駆動され、工作物をテーブル3に固定し、主軸2に工具を装着して回転させ、工作物と工具の相対位置および相対姿勢を制御することで、工作物の加工を行うことができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic view of a machining center which is an embodiment of a machine tool and has three mutually orthogonal translation axes and two mutually orthogonal rotation axes.
The main shaft 2 is a translational axis and can move with two degrees of freedom of translation relative to the bed 1 by the X axis and the Z axis orthogonal to each other. The table 3 can move with one degree of freedom of rotation with respect to the cradle 4 by a C-axis which is a rotation axis. The cradle 4 is a rotation axis and can move with one degree of freedom of rotation with respect to the trunnion 5 by an A axis orthogonal to the C axis. The trunnion 5 is a translational axis and can move with one degree of freedom of translation relative to the bed 1 by a Y-axis orthogonal to the X-axis and the Z-axis. Therefore, the main shaft 2 can move with respect to the table 3 with three translational degrees of freedom and two degrees of freedom of rotation. Each feed shaft is driven by a servo motor controlled by a numerical control device (not shown), and a workpiece is fixed to the table 3, a tool is mounted on the spindle 2 and rotated, and a relative position between the workpiece and the tool is determined. The workpiece can be processed by controlling the relative posture.

なお、本発明に関わる機械としては、マシニングセンタに限らず、旋盤や複合加工機、研削盤などの工作機械でもよい。また、軸数は5軸に限らず、並進軸のみ3軸、4軸、6軸でもよい。さらにまた、回転軸によりテーブル3が回転2自由度以上を持つ機構に限らず、主軸2が回転2自由度以上を持つ機構や、主軸2とテーブル3がそれぞれ回転1自由度以上を持つ機構でもよい。   The machine according to the present invention is not limited to a machining center, and may be a machine tool such as a lathe, a multi-task machine, or a grinding machine. Further, the number of axes is not limited to five, and only the translational axes may be three, four, or six axes. Furthermore, the mechanism is not limited to a mechanism in which the table 3 has two or more degrees of freedom of rotation by the rotating shaft, but a mechanism in which the main shaft 2 has two or more degrees of freedom of rotation, or a mechanism in which the main shaft 2 and the table 3 each have one or more degrees of freedom of rotation. Good.

図5は、本発明の工具センサの一例であるレーザセンサ40の模式図である。レーザセンサ40は、図2と同様に、発光部11、受光部12、ベース部13を備えるが、ここでは発光部11と受光部12との間に基準ブロック42が設けられる。発光部11、受光部12、基準ブロック42はそれぞれベース部13に固定されている。
このレーザセンサ40は、図6に示すように、センサ取り付け台41を介して図1のマシニングセンタのトラニオン5に取り付けられる。但し、図7に示すように、基準ブロック42をレーザセンサ40の近傍に別置した構成でもよい。
FIG. 5 is a schematic diagram of a laser sensor 40 which is an example of the tool sensor of the present invention. As in FIG. 2, the laser sensor 40 includes a light emitting unit 11, a light receiving unit 12, and a base unit 13. Here, a reference block 42 is provided between the light emitting unit 11 and the light receiving unit 12. The light emitting unit 11, the light receiving unit 12, and the reference block 42 are each fixed to the base unit 13.
As shown in FIG. 6, the laser sensor 40 is attached to the trunnion 5 of the machining center shown in FIG. However, as shown in FIG. 7, the reference block 42 may be separately provided in the vicinity of the laser sensor 40.

図8は、本発明の工具センサの一例であるタッチセンサ50の模式図である。タッチセンサ50は、ベース部51、タッチセンサ部52、基準ブロック53から構成され、タッチセンサ部52、基準ブロック53はベース部51上に固定されている。また、タッチセンサ50は、レーザセンサ40と同様に図1のマシニングセンタのトラニオン5に取り付けられる。なお、図9に示すように、基準ブロック53をタッチセンサ50の近傍に別置した構成でもよい。   FIG. 8 is a schematic diagram of a touch sensor 50 which is an example of the tool sensor of the present invention. The touch sensor 50 includes a base part 51, a touch sensor part 52, and a reference block 53, and the touch sensor part 52 and the reference block 53 are fixed on the base part 51. The touch sensor 50 is attached to the trunnion 5 of the machining center in FIG. As shown in FIG. 9, the reference block 53 may be separately provided in the vicinity of the touch sensor 50.

以後、工具センサとして、レーザセンサ40を用いた場合の位置計測方法及び位置計測システムについて説明する(請求項1及び5に対応)。但し、タッチセンサ50を用いた場合も検知方法が異なるだけで本質的には同じである。
まず、計測準備作業の手順について、図10のフローチャートにもとづいて説明する。計測準備作業は、後述の位置計測センサとしてのタッチプローブによる計測を行う前に事前に行っておく作業であり、基準工具やレーザセンサの劣化や交換などの場合に行えばよい。
ステップSR1において、図12に示すように、主軸2に基準工具8を装着し、レーザセンサ40にて計測を行う。ここでは基準工具8がレーザ光14に接近するようZ軸を移動させ、基準工具8の先端がレーザ光14を遮断して受光率が閾値以下になった時点もしくは信号遅れを考慮した時点でのZ軸位置を取得する。取得したZ軸位置Zlは図示しない制御装置内の記憶部に記憶される(工具センサ位置取得段階及び工具センサ位置取得手段、ここでは制御装置が本発明の各段階を実行する各手段として機能する)。また、基準工具8の長さTdも記憶部にあらかじめ記憶させておく。ここで、ZlとTdとから、基準工具先端位置Zl’(=Zl−Td)を算出して記憶させてもよい。
Hereinafter, a position measurement method and a position measurement system when the laser sensor 40 is used as a tool sensor will be described (corresponding to claims 1 and 5). However, the touch sensor 50 is essentially the same except for the detection method.
First, the procedure of the measurement preparation work will be described based on the flowchart of FIG. The measurement preparation work is work performed in advance before measurement by a touch probe as a position measurement sensor described later, and may be performed in the case of deterioration or replacement of a reference tool or a laser sensor.
In step SR1, as shown in FIG. 12, the reference tool 8 is mounted on the spindle 2, and measurement is performed by the laser sensor 40. Here, the Z-axis is moved so that the reference tool 8 approaches the laser beam 14, and the point when the tip of the reference tool 8 blocks the laser beam 14 and the light receiving rate falls below the threshold or when the signal delay is taken into consideration. Get the Z-axis position. The acquired Z-axis position Zl is stored in a storage unit in a control device (not shown) (tool sensor position acquisition stage and tool sensor position acquisition means, where the control apparatus functions as each means for executing each stage of the present invention. ). The length Td of the reference tool 8 is also stored in advance in the storage unit. Here, the reference tool tip position Zl ′ (= Zl−Td) may be calculated from Zl and Td and stored.

次に、ステップSR2において、基準工具8で基準ブロック42の位置の取得を行う。ここでは図13に示すように、主軸2に基準工具8を装着した状態で、ブロックゲージ43を介して基準ブロック42に接触させ、その時のZ軸位置Zbを取得し、ブロックゲージ43の厚みHbを差し引いた値Zb’(=Zb−Hb)を、図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(基準ブロック位置取得段階及び基準ブロック位置取得手段)。ここで、Tdも用いて基準ブロック上面位置Zb”(=Zb−Hb−Td)を算出して記憶させてもよい。なお、ブロックゲージ43としては、厚み寸法が既知のブロックなどでもよい。
次に、ステップSR3において、ステップSR1で記憶したZ軸位置ZlとステップSR2で記憶したZ軸位置Zb’から、レーザセンサ40の検知位置に対する基準ブロック42の相対位置dZb(=Zl−Zb’)を算出し、制御装置内の記憶部に記憶する(相対位置算出段階及び相対位置算出手段)。ここで、ブロックゲージ厚みHbも記憶部に記憶させておき、dZbを、ZlとZbとHbから算出しても良い(dZb=Zl−Zb−Hb)。但し、上記Zl’とZb”とを記憶させた場合には、dZb=Zl’−Zb”で計算できる。
Next, in step SR2, the position of the reference block 42 is acquired with the reference tool 8. Here, as shown in FIG. 13, in a state where the reference tool 8 is mounted on the spindle 2, the reference block 42 is contacted via the block gauge 43, the Z-axis position Zb at that time is obtained, and the thickness Hb of the block gauge 43 is obtained. The value Zb ′ (= Zb−Hb) obtained by subtracting is stored in a storage unit (not shown) in the control device (reference block position acquisition step and reference block position acquisition means). Here, the reference block upper surface position Zb ″ (= Zb−Hb−Td) may be calculated and stored using Td. The block gauge 43 may be a block having a known thickness dimension.
Next, in step SR3, the relative position dZb (= Zl−Zb ′) of the reference block 42 with respect to the detection position of the laser sensor 40 from the Z-axis position Zl stored in step SR1 and the Z-axis position Zb ′ stored in step SR2. And is stored in a storage unit in the control device (relative position calculation step and relative position calculation means). Here, the block gauge thickness Hb may also be stored in the storage unit, and dZb may be calculated from Zl, Zb, and Hb (dZb = Zl−Zb−Hb). However, when Zl ′ and Zb ″ are stored, it can be calculated by dZb = Zl′−Zb ″.

次に、本発明における、タッチプローブによる位置計測方法について、図11のフローチャートに基づいて説明する。
まず、ステップS1において、ステップSR1と同様に、主軸2に基準工具8を装着してレーザセンサ40にて計測を行い、Z軸位置Zdを図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(基準工具位置取得段階及び基準工具位置取得手段)。なお、Tdを用いて、Zd’=Zd−Tdを記憶させてもよい。
次に、ステップS2において、図14に示すように主軸2にタッチプローブ30を装着し、基準ブロック42をタッチプローブ30にて計測する。ここではタッチプローブ30が基準ブロック42に接近するようZ軸を移動させ、タッチプローブ30の先端のスタイラスが接触してトリガー信号を発信した時点もしくは信号遅れを考慮した時点でのZ軸位置Zpを取得する。取得したZ軸位置Zpを図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(位置計測センサ計測段階及び計測位置取得手段)。
Next, a position measuring method using a touch probe in the present invention will be described based on the flowchart of FIG.
First, in step S1, as in step SR1, the reference tool 8 is mounted on the spindle 2 and measured by the laser sensor 40, and the Z-axis position Zd is stored in a storage unit (not shown) in the control device (reference tool). Position acquisition stage and reference tool position acquisition means). Note that Td may be used to store Zd ′ = Zd−Td.
Next, in step S <b> 2, the touch probe 30 is attached to the main shaft 2 as shown in FIG. 14, and the reference block 42 is measured by the touch probe 30. Here, the Z axis is moved so that the touch probe 30 approaches the reference block 42, and the Z axis position Zp at the time when the stylus at the tip of the touch probe 30 comes into contact and the trigger signal is transmitted or when the signal delay is taken into consideration. get. The acquired Z-axis position Zp is stored in a storage unit (not shown) in the control device (position measurement sensor measurement stage and measurement position acquisition means).

次に、ステップS3において、タッチプローブ30の長方向補正値である接触時のタッチプローブ30の長さを算出する。すなわち、ステップS1にて記憶させたZdと、ステップS2にて記憶させたZpと、制御装置内の記憶部に記憶されている基準ブロック42の相対位置dZbと、基準工具長Tdとから、長方向補正値(接触時長さ)Tp(=Zp−Zd+dZb+Td)を求めて、記憶部に記憶させる(長補正値算出段階及び長補正値算出手段)。ここで、Zd’,Zp,dZbからTp(=Zp−Zd’−dZb)を求めてもよい。
次に、ステップS4において、タッチプローブ30を用いて対象物(ここではテーブル3上の工作物)の計測を行う。この際に、ステップS3にて算出したタッチプローブ30の長方向補正値Tpを用いて計測位置の補正を行う(位置計測段階及び位置算出手段)。
Next, in step S <b> 3, the length of the touch probe 30 at the time of contact, which is a correction value in the longitudinal direction of the touch probe 30, is calculated. That is, from the Zd stored in step S1, the Zp stored in step S2, the relative position dZb of the reference block 42 stored in the storage unit in the control device, and the reference tool length Td, the length A direction correction value (contact length) Tp (= Zp−Zd + dZb + Td) is obtained and stored in the storage unit (length correction value calculation step and length correction value calculation means). Here, Tp (= Zp−Zd′−dZb) may be obtained from Zd ′, Zp, and dZb.
Next, in step S <b> 4, an object (here, a workpiece on the table 3) is measured using the touch probe 30. At this time, the measurement position is corrected using the long direction correction value Tp of the touch probe 30 calculated in step S3 (position measurement stage and position calculation means).

このように、上記形態の位置計測方法及び位置計測システムによれば、事前に、工具センサ(レーザセンサ40又はタッチセンサ50)による検知位置と基準ブロック42に接触させた基準工具位置との関係から、工具センサの検知位置と基準ブロック42との相対位置を既知にしておくことで、その後は、工具センサで基準工具8の位置を計測し、位置計測センサ(タッチプローブ30)で基準ブロック42の位置を計測することで、タッチプローブ30の長方向補正値(接触時長さ)を取得可能となる。これにより、熱変位等でタッチプローブ30の長さが変化しても、長方向補正値を用いて補正することで、タッチプローブ30による工作物計測を高精度に行うことができる。また、この方法は、CCDカメラによる測定システム等が不要であり、比較的安価に実現できる。   Thus, according to the position measurement method and position measurement system of the above embodiment, from the relationship between the detection position by the tool sensor (laser sensor 40 or touch sensor 50) and the reference tool position brought into contact with the reference block 42 in advance. By making the relative position between the detection position of the tool sensor and the reference block 42 known, thereafter, the position of the reference tool 8 is measured by the tool sensor, and the position of the reference block 42 is measured by the position measurement sensor (touch probe 30). By measuring the position, it is possible to acquire the length direction correction value (contact length) of the touch probe 30. Thereby, even if the length of the touch probe 30 changes due to thermal displacement or the like, the workpiece measurement by the touch probe 30 can be performed with high accuracy by correcting using the long direction correction value. This method does not require a measurement system using a CCD camera, and can be realized at a relatively low cost.

次に、図8に示すタッチセンサ50を用いた場合の位置計測方法及び位置計測システムについて説明する(請求項8及び12に対応)。
まず、計測準備作業の手順を、図15のフローチャートにもとづいて説明する。
ステップSR1において、主軸2に基準工具8を装着し、タッチセンサ50にて計測を行う。すなわち、図16に示すように、基準工具8がタッチセンサ部52に接触するようZ軸を移動させ、基準工具8の先端がタッチセンサ部52を押した時点もしくは信号遅れを考慮した時点でのZ軸位置を取得する。取得したZ軸位置Zlを図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(工具センサ位置取得段階及び工具センサ位置取得手段)。また、基準工具8の長さTdも記憶部にあらかじめ記憶させておく。
Next, a position measurement method and a position measurement system when the touch sensor 50 shown in FIG. 8 is used will be described (corresponding to claims 8 and 12).
First, the procedure of the measurement preparation work will be described based on the flowchart of FIG.
In step SR1, the reference tool 8 is mounted on the spindle 2 and measurement is performed by the touch sensor 50. That is, as shown in FIG. 16, the Z-axis is moved so that the reference tool 8 contacts the touch sensor unit 52, and the point when the tip of the reference tool 8 presses the touch sensor unit 52 or the signal delay is taken into consideration. Get the Z-axis position. The acquired Z-axis position Zl is stored in a storage unit (not shown) in the control device (tool sensor position acquisition step and tool sensor position acquisition means). The length Td of the reference tool 8 is also stored in advance in the storage unit.

次に、ステップSR2において、タッチプローブの長さを計測する前準備として、基準工具8でのテーブル3上面などの任意の計測位置の取得を行う。すなわち、図17に示すように、主軸2に基準工具8を装着した状態で、ブロックゲージ43を介して、テーブル3上面などの任意の位置に接触させ、その時のZ軸位置Zcを取得し、ブロックゲージ43の厚みHbを差し引いた値Zc’(=Zc−Hb)を、図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(基準工具計測位置取得段階及び基準工具計測位置取得手段)。なお、ブロックゲージ43としては、厚み寸法が既知のブロックなどでもよい。
次に、ステップSR3において、主軸2にタッチプローブ30を装着し、ステップSR2と同様にテーブル3上面などの任意の計測位置を計測する。すなわち、図18に示すように、タッチプローブ30がテーブル3上面などの任意の計測位置に接近するようZ軸を移動させ、タッチプローブ30のスタイラスが接触してトリガー信号を発信した時点もしくは信号遅れを考慮した時点でのZ軸位置Zpを取得する。取得したZ軸位置Zpを図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(位置計測センサ計測位置取得段階及び位置計測センサ計測位置取得手段)。
Next, in step SR2, as a preparation for measuring the length of the touch probe, an arbitrary measurement position such as the upper surface of the table 3 with the reference tool 8 is acquired. That is, as shown in FIG. 17, with the reference tool 8 mounted on the spindle 2, it is brought into contact with an arbitrary position such as the upper surface of the table 3 via the block gauge 43, and the Z-axis position Zc at that time is obtained. A value Zc ′ (= Zc−Hb) obtained by subtracting the thickness Hb of the block gauge 43 is stored in a storage unit (not shown) in the control device (reference tool measurement position acquisition step and reference tool measurement position acquisition means). The block gauge 43 may be a block having a known thickness dimension.
Next, in step SR3, the touch probe 30 is mounted on the spindle 2, and an arbitrary measurement position such as the upper surface of the table 3 is measured as in step SR2. That is, as shown in FIG. 18, when the Z-axis is moved so that the touch probe 30 approaches an arbitrary measurement position such as the upper surface of the table 3, and the trigger signal is generated when the stylus of the touch probe 30 comes into contact or a signal delay The Z-axis position Zp at the time when the above is considered is acquired. The acquired Z-axis position Zp is stored in a storage unit (not shown) in the control device (position measurement sensor measurement position acquisition stage and position measurement sensor measurement position acquisition means).

次に、ステップSR4において、タッチプローブの長方向補正値である接触時のタッチプローブの長さを算出する。すなわち、ステップSR2にて記憶させたZc’と、ステップSR3にて記憶させたZpと、基準工具長Tdとから、長方向補正値Tp(=Zp−Zc’+Td)を求めて、記憶部に記憶させる(位置計測センサ長さ算出段階及び位置計測センサ長さ算出手段)。
次に、ステップSR5において、主軸2にタッチプローブ30を装着し、基準ブロック53の位置Z2を計測する。すなわち、図19に示すように、タッチプローブ30が基準ブロック53に接近するようZ軸を移動させ、タッチプローブ30のスタイラスが接触してトリガー信号を発信した時点もしくは信号遅れを考慮した時点でのZ軸位置Z2を取得する(第1の基準ブロック位置取得段階及び第1の基準ブロック位置取得手段)。
次に、ステップSR6において、タッチセンサ50の接触位置と基準ブロック53との間の距離dZbを算出する。ここではステップSR1で求めた基準工具8とタッチセンサ50との接触位置Zlと、ステップSR5で求めたタッチプローブ30と基準ブロック53との接触位置Z2と、タッチプローブ30の長方向補正値Tpと、基準工具長Tdとから、タッチセンサ50の接触位置と基準ブロック53との間の距離dZb(=Z2+Tp−(Zl+Td))を求めて、記憶部に記憶させる(相対位置算出段階及び相対位置算出手段)。
Next, in step SR4, the length of the touch probe at the time of contact, which is the correction value in the longitudinal direction of the touch probe, is calculated. That is, a long direction correction value Tp (= Zp−Zc ′ + Td) is obtained from Zc ′ stored in step SR2, Zp stored in step SR3, and reference tool length Td, and stored in the storage unit. Store (position measurement sensor length calculation step and position measurement sensor length calculation means).
Next, in step SR5, the touch probe 30 is attached to the spindle 2, and the position Z2 of the reference block 53 is measured. That is, as shown in FIG. 19, the Z axis is moved so that the touch probe 30 approaches the reference block 53, and the trigger signal is transmitted when the stylus of the touch probe 30 comes into contact or when the signal delay is taken into consideration. The Z-axis position Z2 is acquired (first reference block position acquisition step and first reference block position acquisition means).
Next, in step SR6, a distance dZb between the contact position of the touch sensor 50 and the reference block 53 is calculated. Here, the contact position Zl between the reference tool 8 and the touch sensor 50 obtained at step SR1, the contact position Z2 between the touch probe 30 and the reference block 53 obtained at step SR5, and the longitudinal correction value Tp of the touch probe 30 The distance dZb (= Z2 + Tp− (Zl + Td)) between the contact position of the touch sensor 50 and the reference block 53 is obtained from the reference tool length Td and stored in the storage unit (relative position calculation stage and relative position calculation). means).

この場合のタッチプローブによる計測の流れは、図11のフローチャートと同じである。
まず、ステップS1において、ステップSR1と同様に、主軸2に基準工具8を装着し、タッチセンサ50にて計測を行い、Z軸位置Zl’を図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(基準工具位置取得段階及び基準工具位置取得手段)。
次に、ステップS2において、ステップSR5と同様に、主軸2にタッチプローブ30を装着し、基準ブロック53をタッチプローブ30にて計測を行い、Z軸位置Z2’を図示しない制御装置内の記憶部に記憶させる(第2の基準ブロック位置取得段階及び第2の基準ブロック位置取得手段)。
次に、ステップS3において、タッチプローブ30の長方向補正値である接触時のタッチプローブ30の長さを算出する。すなわち、ステップS1にて記憶させたZl’と、ステップS2にて記憶させたZ2’と、制御装置内の記憶部に記憶されているタッチセンサ50の接触位置と基準ブロック53との間の距離dZbと、基準工具長Tdとから長方向補正値Tp’(=Zl’−Z2’+dZb+Td)を求めて、記憶部に記憶させる(長補正値算出段階及び長補正値算出手段)。
次に、ステップS4において、タッチプローブ30を用いて対象物の計測を行う。この際に、ステップS3にて算出したタッチプローブ30の長方向補正値Tp’を用いて取得位置の補正を行う(位置計測段階及び位置計測手段)。
The flow of measurement by the touch probe in this case is the same as the flowchart of FIG.
First, in step S1, as in step SR1, the reference tool 8 is mounted on the spindle 2, measurement is performed by the touch sensor 50, and the Z-axis position Zl ′ is stored in a storage unit (not shown) in the control device (reference). Tool position acquisition stage and reference tool position acquisition means).
Next, in step S2, as in step SR5, the touch probe 30 is mounted on the spindle 2, the reference block 53 is measured by the touch probe 30, and the Z-axis position Z2 ′ is not shown in the storage unit in the control device. (Second reference block position acquisition step and second reference block position acquisition means).
Next, in step S <b> 3, the length of the touch probe 30 at the time of contact, which is a correction value in the longitudinal direction of the touch probe 30, is calculated. That is, the distance between Zl ′ stored in step S1, Z2 ′ stored in step S2, and the contact position of the touch sensor 50 stored in the storage unit in the control device and the reference block 53. A long-direction correction value Tp ′ (= Zl′−Z2 ′ + dZb + Td) is obtained from dZb and the reference tool length Td and stored in the storage unit (length correction value calculation step and length correction value calculation means).
Next, in step S <b> 4, the object is measured using the touch probe 30. At this time, the acquisition position is corrected using the long direction correction value Tp ′ of the touch probe 30 calculated in step S3 (position measurement stage and position measurement means).

このように、上記形態の位置計測方法及び位置計測システムにおいても、事前に、タッチセンサ50による検知位置と、タッチプローブ30を基準ブロック53に接触させた基準工具位置と、タッチプローブ30の長さと、基準工具8との関係から、工具センサの検知位置と基準ブロック53との相対位置を既知にしておくことで、その後は、工具センサで基準工具8の位置を計測し、タッチプローブ30で基準ブロック53の位置を計測することで、タッチプローブ30の長方向補正値(接触時長さ)を取得可能となる。これにより、熱変位等でタッチプローブ30の長さが変化しても、長方向補正値を用いて補正することで、タッチプローブ30による工作物計測を高精度に行うことができる。
特に、タッチセンサ50に設けた基準ブロック位置は、タッチプローブ30で計測しているので、基準ブロック53の面積はタッチプローブ30のスタイラスが接触できる分だけあればよい。よって、基準ブロック53を小さくすることができ、より小型な位置計測システムが実現可能となる。なお、この形態の方法及びシステムは図9のタッチセンサ50でも同様に行える。
As described above, also in the position measurement method and the position measurement system of the above embodiment, the detection position by the touch sensor 50, the reference tool position where the touch probe 30 is brought into contact with the reference block 53, and the length of the touch probe 30 in advance. By making the relative position between the detection position of the tool sensor and the reference block 53 known from the relationship with the reference tool 8, the position of the reference tool 8 is measured with the tool sensor and the reference with the touch probe 30. By measuring the position of the block 53, the length direction correction value (contact length) of the touch probe 30 can be acquired. Thereby, even if the length of the touch probe 30 changes due to thermal displacement or the like, the workpiece measurement by the touch probe 30 can be performed with high accuracy by correcting using the long direction correction value.
In particular, since the reference block position provided in the touch sensor 50 is measured by the touch probe 30, the area of the reference block 53 may be as much as the stylus of the touch probe 30 can touch. Therefore, the reference block 53 can be made small, and a more compact position measurement system can be realized. It should be noted that the method and system of this embodiment can be similarly performed with the touch sensor 50 of FIG.

本発明の別の実施形態を、図を用いて説明する。
図20は、本発明のレーザセンサ40の別の形態の模式図である。このレーザセンサ40は、図5と同様に発光部11、受光部12、ベース部13、基準ブロック42をそれぞれ備えるのに加えて、基準球44を備えている。基準ブロック42及び基準球44はベース部13に固定されている。なお、図21に示すように、基準ブロック42及び/もしくは基準球44をベース部13の近傍に別置した構成でもよい。
また、図22は、本発明の工具センサの一例であるタッチセンサ50の別形態の模式図である。このタッチセンサ50は、図8と同様にベース部51、タッチセンサ部52、基準ブロック53をそれぞれ備えるのに加えて、基準球54を備えている。タッチセンサ部52、基準ブロック53、基準球54はベース部51に固定されている。なお、図23に示すように、基準ブロック53および/もしくは基準球54をベース部51の近傍に別置した構成でもよい。
Another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 20 is a schematic view of another embodiment of the laser sensor 40 of the present invention. The laser sensor 40 includes a reference sphere 44 in addition to the light emitting unit 11, the light receiving unit 12, the base unit 13, and the reference block 42, as in FIG. 5. The reference block 42 and the reference sphere 44 are fixed to the base portion 13. As shown in FIG. 21, the reference block 42 and / or the reference sphere 44 may be separately provided in the vicinity of the base portion 13.
FIG. 22 is a schematic view of another form of the touch sensor 50 which is an example of the tool sensor of the present invention. The touch sensor 50 includes a reference sphere 54 in addition to the base 51, the touch sensor 52, and the reference block 53, as in FIG. The touch sensor unit 52, the reference block 53, and the reference sphere 54 are fixed to the base unit 51. 23, the reference block 53 and / or the reference sphere 54 may be separately provided in the vicinity of the base portion 51.

以後、工具センサとして、レーザセンサ40を用いた場合の位置計測方法について説明する。但し、タッチセンサ50を用いた場合も検知方法が異なるだけで本質的には同じである。
本発明における、タッチプローブによる計測の流れについて、図24のフローチャートに基づいて説明する。なお、計測準備作業については図10のフローチャートと同じ作業を行って相対位置dZbを取得しておく。
ステップS1からS3については図11と同じであるため説明を省略する。
ステップS5において、タッチプローブ30の径補正値を取得する。具体的にはまず、基準球44の水平方向(タッチプローブ30の径方向)の同一平面において、X軸プラス・マイナス方向、Y軸プラス・マイナス方向の計4頂点をタッチプローブ30にて計測する。この際、タッチプローブ30の接触点が同一になるように主軸2を割り出す。得られたX軸位置の平均値とY軸位置の平均値がそれぞれ球中心のX、Y座標値となる。この中心位置X、Yに対して、再度4頂点の計測を行う。得られた4つの位置と中心位置の差からタッチプローブのX軸プラス方向補正値Rxp、X軸マイナス方向補正値Rxm、Y軸プラス方向補正値Ryp、Y軸マイナス方向補正値Rymを算出する(径補正値取得段階及び径補正値取得手段)。
Hereinafter, a position measuring method when the laser sensor 40 is used as a tool sensor will be described. However, the touch sensor 50 is essentially the same except for the detection method.
The flow of measurement by the touch probe in the present invention will be described based on the flowchart of FIG. The measurement preparation work is the same as that shown in the flowchart of FIG. 10 to obtain the relative position dZb.
Steps S1 to S3 are the same as those in FIG.
In step S5, the diameter correction value of the touch probe 30 is acquired. Specifically, first, the touch probe 30 measures a total of four vertices of the X axis plus / minus direction and the Y axis plus / minus direction on the same plane in the horizontal direction of the reference sphere 44 (the radial direction of the touch probe 30). . At this time, the spindle 2 is determined so that the contact points of the touch probe 30 are the same. The obtained average value of the X-axis position and the average value of the Y-axis position are the X and Y coordinate values of the sphere center, respectively. The four vertices are measured again for the center positions X and Y. The X-axis plus direction correction value Rxp, X-axis minus direction correction value Rxm, Y-axis plus direction correction value Ryp, and Y-axis minus direction correction value Rym of the touch probe are calculated from the difference between the obtained four positions and the center position ( Diameter correction value acquisition stage and diameter correction value acquisition means).

次に、ステップS6において、タッチプローブ30を用いて対象物の計測を行う。この際に、ステップS3にて算出したタッチプローブ30の長方向補正値Tp、ステップS5で算出したタッチプローブ30の径方向補正値Rxp、Rxm、Ryp、Rymを用いて取得位置の補正を行う。
このように、ここではタッチプローブ30の径方向の補正値も併せて取得しているので、より高精度に工作物の位置計測が可能となる。
Next, in step S <b> 6, the object is measured using the touch probe 30. At this time, the acquisition position is corrected using the long direction correction value Tp of the touch probe 30 calculated in step S3 and the radial direction correction values Rxp, Rxm, Ryp, Rym of the touch probe 30 calculated in step S5.
Thus, since the correction value in the radial direction of the touch probe 30 is also acquired here, the position of the workpiece can be measured with higher accuracy.

なお、上記形態では位置計測センサにタッチプローブを用いているが、位置計測センサとしてレーザ変位センサなどの非接触式センサを採用して工作物等の位置を計測する場合にも本発明は適用できる。この場合、長補正値は接触時の長さではなく、計測時の対象物と非接触式センサとの見かけ上の距離となる。
また、上記形態では基準ブロック位置を取得する際にブロックゲージを用いて基準工具を間接的に基準ブロックに接触させているが、ブロックゲージをなくして基準工具を直接基準ブロックに接触させてもよい。
さらに、上記形態では工具センサ位置取得段階から位置計測段階までを一回実行しているが、工具センサ位置取得段階から相対位置算出段階までを一回実行し、基準工具位置取得段階から位置計測段階までを複数回実行してもよい。
In the above embodiment, the touch probe is used as the position measurement sensor. However, the present invention can also be applied to the case where the position measurement sensor employs a non-contact sensor such as a laser displacement sensor to measure the position of a workpiece or the like. . In this case, the length correction value is not the length at the time of contact, but the apparent distance between the object at the time of measurement and the non-contact sensor.
In the above embodiment, when the reference block position is acquired, the reference tool is indirectly brought into contact with the reference block using a block gauge. However, the reference tool may be directly brought into contact with the reference block without the block gauge. .
Furthermore, in the above embodiment, the process from the tool sensor position acquisition stage to the position measurement stage is executed once, but the process from the tool sensor position acquisition stage to the relative position calculation stage is executed once, from the reference tool position acquisition stage to the position measurement stage. Up to a plurality of times may be executed.

1・・ベッド、2・・主軸、3・・テーブル、4・・クレードル、5・・トラニオン、8・・基準工具、9・・工具、11・・発光部、12・・受光部、13・・ベース部、14・・レーザ光、30・・タッチプローブ、31・・工作物、40・・レーザセンサ、41・・センサ取り付け台、42・・基準ブロック、43・・ブロックゲージ、44・・基準球、50・・タッチセンサ、51・・ベース部、52・・タッチセンサ部、53・・基準ブロック、54・・基準球。   1 .... bed, 2 .... main shaft, 3 .... table, 4 .... cradle, 5 .... trunnion, 8 .... reference tool, 9 .... tool, 11 .... light emitting part, 12 .... light receiving part, 13 ....・ Base part, 14 ・ ・ Laser beam, 30 ・ ・ Touch probe, 31 ・ ・ Workpiece, 40 ・ ・ Laser sensor, 41 ・ ・ Sensor mount, 42 ・ ・ Reference block, 43 ・ ・ Block gauge, 44 ・ ・Reference sphere, 50 ·· Touch sensor, 51 ·· Base portion, 52 ·· Touch sensor portion, 53 ·· Reference block, 54 ·· Reference sphere.

Claims (14)

3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、を有する工作機械を用いて、前記主軸に装着可能な位置計測センサにより、前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測する方法であって、
前記工具の長さ基準となる基準工具を前記主軸に装着し、工具センサを用いて前記基準工具の先端の検知位置を取得する工具センサ位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記基準工具を、前記工具センサ側に設けられた基準ブロックに対して直接又は間接的に接触させた際の前記並進軸の位置を取得する基準ブロック位置取得段階と、
前記工具センサ位置取得段階で取得した前記検知位置と、前記基準ブロック位置取得段階で取得した前記並進軸の位置とから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出する相対位置算出段階と、
前記基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得する基準工具位置取得段階と、
前記主軸に前記位置計測センサを装着して、前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する位置計測センサ計測段階と、
前記基準工具位置取得段階で取得した前記基準工具位置と、前記位置計測センサ計測段階で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出段階で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出する長補正値算出段階と、
前記長補正値算出段階で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正する位置計測段階と、
を実行することを特徴とする工作機械における対象物の位置計測方法。
An object fixed on the table by a position measuring sensor that can be mounted on the spindle using a machine tool having three or more translation axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, and a table. A method for measuring the position of
A tool sensor position acquisition step of mounting a reference tool serving as a reference for the length of the tool on the spindle and acquiring a detection position of the tip of the reference tool using a tool sensor;
A reference block position obtaining step for obtaining the position of the translation shaft when the reference tool mounted on the spindle is brought into direct or indirect contact with a reference block provided on the tool sensor side;
A relative position calculation step of calculating a relative position of the reference block with respect to the detection position from the detection position acquired in the tool sensor position acquisition step and the position of the translation axis acquired in the reference block position acquisition step;
A reference tool position acquisition step of mounting the reference tool on the spindle and acquiring a reference tool position that is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
A position measurement sensor measurement step of mounting the position measurement sensor on the spindle and measuring the position of the reference block using the position measurement sensor;
The reference tool position acquired in the reference tool position acquisition step, the position of the reference block measured in the position measurement sensor measurement step, the relative position calculated in the relative position calculation step, and the length of the reference tool From the long correction value calculation step of calculating the long direction correction value of the position measurement sensor,
A position measurement step for correcting the measurement position of the object measured by the position measurement sensor mounted on the spindle, using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated in the length correction value calculation step;
A method for measuring the position of an object in a machine tool, characterized in that
前記工具センサ位置取得段階から前記相対位置算出段階までを一回実行し、
前記基準工具位置取得段階から前記位置計測段階までを複数回実行することを特徴とする請求項1に記載の工作機械における対象物の位置計測方法。
From the tool sensor position acquisition stage to the relative position calculation stage is executed once,
The method for measuring a position of an object in a machine tool according to claim 1, wherein the process from the reference tool position acquisition stage to the position measurement stage is executed a plurality of times.
前記位置計測センサ計測段階及び前記位置計測段階において前記位置計測センサで計測される位置は、前記位置計測センサが対象物に接触したことを検知した際の前記並進軸の位置であることを特徴とする請求項1又は2に記載の工作機械における対象物の位置計測方法。   The position measured by the position measurement sensor in the position measurement sensor measurement stage and the position measurement stage is a position of the translation axis when it is detected that the position measurement sensor is in contact with an object. The position measuring method of the target object in the machine tool according to claim 1 or 2. 前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測段階の実行前に、前記位置計測センサの径方向補正値を取得する径補正値取得段階をさらに実行し、前記位置計測段階では、前記径補正値取得段階で取得した前記径補正値も用いて前記対象物の計測位置を補正することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の工作機械における対象物の位置計測方法。   Using the position measurement sensor as a contact sensor for the object, further executing a diameter correction value acquisition step of acquiring a radial direction correction value of the position measurement sensor before execution of the position measurement step; The position of the object in the machine tool according to claim 1, wherein the measurement position of the object is corrected using the diameter correction value acquired in the diameter correction value acquisition step. Measurement method. 3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、前記主軸に装着可能である位置計測センサと、前記並進軸と前記主軸とを制御する制御装置と、を有する工作機械において、前記位置計測センサにより前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測するシステムであって、
前記工具の長さ基準となる基準工具と、
前記主軸に装着した前記基準工具の先端位置を検出する工具センサと、
前記工具センサ側に設置された基準ブロックと、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させ、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端の検知位置を取得して記憶する工具センサ位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させて前記基準ブロックに対して直接又は間接的に接触させ、その接触の際の前記並進軸の位置を取得して記憶する基準ブロック位置取得手段と、
前記工具センサ位置取得手段で取得された前記検知位置と前記基準ブロック位置取得手段で取得された前記並進軸の位置とから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出して記憶する相対位置算出手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を前記並進軸により移動させ、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得して記憶する基準工具位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサで前記基準ブロックの位置を計測して記憶する計測位置取得手段と、
前記基準工具位置取得手段で取得された前記基準工具位置と、前記計測位置取得手段で取得された前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出手段で取得された前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出して記憶する長補正値算出手段と、
前記長補正値算出手段に記憶された前記長補正値を用いて前記位置計測センサによる計測位置を補正し、前記対象物の位置を算出する位置算出手段と、
を有することを特徴とする工作機械における対象物の位置計測システム。
3 or more translation axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, a table, a position measurement sensor that can be mounted on the spindle, and a controller that controls the translation axis and the spindle. In a machine tool, a system for measuring the position of an object fixed on the table by the position measurement sensor,
A reference tool serving as a reference for the length of the tool;
A tool sensor for detecting a tip position of the reference tool mounted on the spindle;
A reference block installed on the tool sensor side;
Tool sensor position acquisition means for moving the reference tool mounted on the spindle by the translation shaft and acquiring and storing the detection position of the tip of the reference tool using the tool sensor;
Reference block position acquisition for acquiring and storing the position of the translation axis at the time of contact with the reference block by moving the reference tool mounted on the spindle by the translation axis to directly or indirectly contact the reference block Means,
A relative position for calculating and storing a relative position of the reference block with respect to the detection position from the detection position acquired by the tool sensor position acquisition means and the position of the translation axis acquired by the reference block position acquisition means. A calculation means;
A reference tool position acquisition means for moving the reference tool mounted on the spindle by the translation shaft and acquiring and storing a reference tool position which is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
Measurement position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block with the position measurement sensor mounted on the spindle;
The reference tool position acquired by the reference tool position acquisition means, the position of the reference block acquired by the measurement position acquisition means, the relative position acquired by the relative position calculation means, and the reference tool A length correction value calculating means for calculating and storing a length direction correction value of the position measurement sensor from the length;
Position calculation means for correcting the measurement position by the position measurement sensor using the length correction value stored in the length correction value calculation means, and calculating the position of the object;
A system for measuring a position of an object in a machine tool.
前記位置計測センサは、前記位置計測センサが前記対象物を検知した際の前記並進軸の位置もしくは信号遅れを考慮した位置を計測することを特徴とする請求項5に記載の工作機械における対象物の位置計測システム。   6. The object in a machine tool according to claim 5, wherein the position measurement sensor measures a position in consideration of a position of the translation axis or a signal delay when the position measurement sensor detects the object. Position measurement system. 前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測センサの径方向補正値を取得して記憶する径補正値取得手段をさらに有し、
前記位置算出手段では、前記長補正値算出手段で取得された前記長補正値と、前記径補正値取得手段で取得された前記径補正値とを用いて前記位置計測センサの計測位置を補正して、前記対象物の位置を算出することを特徴とする請求項5又は6に記載の工作機械における対象物の位置計測システム。
The position measurement sensor as a contact sensor to the object further includes a diameter correction value acquisition means for acquiring and storing a radial direction correction value of the position measurement sensor,
The position calculating unit corrects the measurement position of the position measuring sensor using the length correction value acquired by the length correction value calculating unit and the diameter correction value acquired by the diameter correction value acquiring unit. The position measurement system for the object in the machine tool according to claim 5, wherein the position of the object is calculated.
3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、を有する工作機械を用いて、前記主軸に装着可能な位置計測センサにより、前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測する方法であって、
工具センサと、前記工具センサ側に設けられた基準ブロックとを用い、
前記工具の長さ基準となる基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて、前記基準工具の先端の検知位置を取得する工具センサ位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記基準工具を用いて任意の工具計測位置を取得する基準工具計測位置取得段階と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて任意のセンサ計測位置を取得する位置計測センサ計測位置取得段階と、
前記工具計測位置と前記センサ計測位置との差を求め、当該差と前記基準工具の長さとに基づいて前記位置計測センサの長さを求める位置計測センサ長さ算出段階と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する第1の基準ブロック位置取得段階と、
前記工具センサ位置取得段階で取得した前記検知位置と、前記第1の基準ブロック位置取得段階で取得した前記基準ブロックの位置と、前記位置計測センサ長さ算出段階で算出した前記位置計測センサの長さと、前記基準工具の長さとから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出する相対位置算出段階と、
前記基準工具を前記主軸に装着し、前記工具センサを用いて前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得する基準工具位置取得段階と、
前記位置計測センサを前記主軸に装着し、前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測する第2の基準ブロック位置取得段階と、
前記基準工具位置取得段階で取得した前記基準工具位置と、前記第2の基準ブロック位置取得段階で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出段階で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出する長補正値算出段階と、
前記長補正値算出段階で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正する位置計測段階と、
を実行することを特徴とする工作機械における対象物の位置計測方法。
An object fixed on the table by a position measuring sensor that can be mounted on the spindle using a machine tool having three or more translation axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, and a table. A method for measuring the position of
Using a tool sensor and a reference block provided on the tool sensor side,
A tool sensor position acquisition step of mounting a reference tool serving as a reference for the length of the tool on the spindle, and acquiring a detection position of a tip of the reference tool using the tool sensor;
A reference tool measurement position acquisition step of acquiring an arbitrary tool measurement position using the reference tool mounted on the spindle;
A position measurement sensor measurement position acquisition stage for acquiring an arbitrary sensor measurement position using the position measurement sensor mounted on the spindle;
A position measurement sensor length calculation step for obtaining a difference between the tool measurement position and the sensor measurement position and obtaining a length of the position measurement sensor based on the difference and the length of the reference tool;
A first reference block position acquisition step of measuring the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The detection position acquired in the tool sensor position acquisition stage, the position of the reference block acquired in the first reference block position acquisition stage, and the length of the position measurement sensor calculated in the position measurement sensor length calculation stage And a relative position calculating step for calculating a relative position of the reference block with respect to the detected position from the length of the reference tool;
A reference tool position acquisition step of mounting the reference tool on the spindle and acquiring a reference tool position that is a tip position of the reference tool using the tool sensor;
A second reference block position acquisition step of mounting the position measurement sensor on the spindle and measuring the position of the reference block using the position measurement sensor;
The reference tool position acquired in the reference tool position acquisition step, the position of the reference block measured in the second reference block position acquisition step, the relative position calculated in the relative position calculation step, and the reference tool A length correction value calculating step of calculating a length direction correction value of the position measurement sensor from the length of
A position measurement step for correcting the measurement position of the object measured by the position measurement sensor mounted on the spindle, using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated in the length correction value calculation step;
A method for measuring the position of an object in a machine tool, characterized in that
前記工具センサ位置取得段階から前記相対位置算出段階までを1回実行し、
前記基準工具位置取得段階から前記位置計測段階までを複数回実行することを特徴とする請求項8に記載の工作機械における対象物の位置計測方法。
The tool sensor position acquisition stage to the relative position calculation stage are executed once,
The method of measuring a position of an object in a machine tool according to claim 8, wherein the steps from the reference tool position acquisition step to the position measurement step are executed a plurality of times.
前記第1の基準ブロック位置取得段階と、前記第2の基準ブロック位置取得段階と、前記位置計測段階とにおいて、前記位置計測センサで計測される位置は、前記位置計測センサが対象物に接触したことを検知した際の前記並進軸の位置であることを特徴とする請求項8又は9に記載の工作機械における対象物の位置計測方法。   In the first reference block position acquisition stage, the second reference block position acquisition stage, and the position measurement stage, the position measured by the position measurement sensor is in contact with the object. The position measuring method of an object in a machine tool according to claim 8 or 9, wherein the position of the translational axis is detected. 前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測段階の実行前に、前記位置計測センサの径方向補正値を取得する径補正値取得段階をさらに実行し、前記位置計測段階では、前記径補正値取得段階で取得した前記径補正値も用いて前記対象物の計測位置を補正することを特徴とする請求項8乃至10の何れかに記載の工作機械における対象物の位置計測方法。   Using the position measurement sensor as a contact sensor for the object, further executing a diameter correction value acquisition step of acquiring a radial direction correction value of the position measurement sensor before execution of the position measurement step; The position of the object in the machine tool according to claim 8, wherein the measurement position of the object is corrected using the diameter correction value acquired in the diameter correction value acquisition step. Measurement method. 3軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸と、テーブルと、前記主軸に装着可能である位置計測センサと、前記並進軸と前記主軸とを制御する制御装置と、を有する工作機械において、前記位置計測センサにより前記テーブル上に固定された対象物の位置を計測するシステムであって、
前記工具の長さ基準となる基準工具と、
前記主軸に装着した前記基準工具の先端位置を検出する工具センサと、
前記工具センサ側に設置された基準ブロックと、
前記主軸に装着した前記基準工具と、前記工具センサとを用いて、前記基準工具の先端の検知位置を取得して記憶する工具センサ位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具を用いて任意の工具計測位置を取得して記憶する基準工具計測位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて任意のセンサ計測位置を取得して記憶する位置計測センサ計測位置取得手段と、
前記工具計測位置と前記センサ計測位置との差を求め、当該差と前記基準工具の長さとに基づいて前記位置計測センサの長さを算出して記憶する位置計測センサ長さ算出手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測して記憶する第1の基準ブロック位置取得手段と、
前記工具センサ位置取得手段で取得した前記検知位置と、前記第1の基準ブロック位置取得手段で取得した前記基準ブロックの位置と、前記位置計測センサ長さ算出手段で算出した前記位置計測センサの長さと、前記基準工具の長さとから、前記検知位置に対する前記基準ブロックの相対位置を算出して記憶する相対位置算出手段と、
前記主軸に装着した前記基準工具と、前記工具センサとを用いて、前記基準工具の先端位置である基準工具位置を取得して記憶する基準工具位置取得手段と、
前記主軸に装着した前記位置計測センサを用いて前記基準ブロックの位置を計測して記憶する第2の基準ブロック位置取得手段と、
前記基準工具位置取得手段で取得した前記基準工具位置と、前記第2の基準ブロック位置取得手段で計測した前記基準ブロックの位置と、前記相対位置算出手段で算出した前記相対位置と、前記基準工具の長さとから、前記位置計測センサの長方向補正値を算出して記憶する長補正値算出手段と、
前記長補正値算出手段で算出した前記位置計測センサの前記長方向補正値を用いて、前記主軸に装着した前記位置計測センサにより計測した前記対象物の計測位置を補正し、前記対象物の位置を算出する位置算出手段と、
を有することを特徴とする工作機械における対象物の位置計測システム。
3 or more translation axes, a spindle that can be rotated by mounting a tool, a table, a position measurement sensor that can be mounted on the spindle, and a controller that controls the translation axis and the spindle. In a machine tool, a system for measuring the position of an object fixed on the table by the position measurement sensor,
A reference tool serving as a reference for the length of the tool;
A tool sensor for detecting a tip position of the reference tool mounted on the spindle;
A reference block installed on the tool sensor side;
Tool sensor position acquisition means for acquiring and storing the detection position of the tip of the reference tool using the reference tool mounted on the spindle and the tool sensor;
Reference tool measurement position acquisition means for acquiring and storing an arbitrary tool measurement position using the reference tool mounted on the spindle;
Position measurement sensor measurement position acquisition means for acquiring and storing an arbitrary sensor measurement position using the position measurement sensor mounted on the spindle;
A position measurement sensor length calculation means for obtaining a difference between the tool measurement position and the sensor measurement position, calculating and storing the length of the position measurement sensor based on the difference and the length of the reference tool;
First reference block position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The detection position acquired by the tool sensor position acquisition means, the position of the reference block acquired by the first reference block position acquisition means, and the length of the position measurement sensor calculated by the position measurement sensor length calculation means And relative position calculation means for calculating and storing the relative position of the reference block with respect to the detection position from the length of the reference tool,
Reference tool position acquisition means for acquiring and storing a reference tool position, which is a tip position of the reference tool, using the reference tool mounted on the spindle and the tool sensor;
Second reference block position acquisition means for measuring and storing the position of the reference block using the position measurement sensor mounted on the spindle;
The reference tool position acquired by the reference tool position acquisition means, the position of the reference block measured by the second reference block position acquisition means, the relative position calculated by the relative position calculation means, and the reference tool A length correction value calculating means for calculating and storing a length direction correction value of the position measurement sensor from the length of
Using the long direction correction value of the position measurement sensor calculated by the length correction value calculation means, the measurement position of the object measured by the position measurement sensor attached to the spindle is corrected, and the position of the object Position calculating means for calculating
A system for measuring a position of an object in a machine tool.
前記位置計測センサは、前記位置計測センサが前記対象物を検知した際の前記並進軸の位置もしくは信号遅れを考慮した位置を計測することを特徴とする請求項12に記載の工作機械における対象物の位置計測システム。   The object in a machine tool according to claim 12, wherein the position measurement sensor measures a position in consideration of a position of the translation axis or a signal delay when the position measurement sensor detects the object. Position measurement system. 前記位置計測センサを前記対象物への接触式センサとして、前記位置計測センサの径方向補正値を取得して記憶する径補正値取得手段をさらに有し、
前記位置算出手段では、前記長補正値算出手段で取得された前記長補正値と、前記径補正値取得手段で取得された前記径補正値とを用いて前記位置計測センサの計測位置を補正して、前記対象物の位置を算出することを特徴とする請求項12又は13に記載の工作機械における対象物の位置計測システム。
The position measurement sensor as a contact sensor to the object further includes a diameter correction value acquisition means for acquiring and storing a radial direction correction value of the position measurement sensor,
The position calculating unit corrects the measurement position of the position measuring sensor using the length correction value acquired by the length correction value calculating unit and the diameter correction value acquired by the diameter correction value acquiring unit. The position measurement system for an object in a machine tool according to claim 12 or 13, wherein the position of the object is calculated.
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