JP6586705B2 - 超音波振動子および超音波診断装置 - Google Patents
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Description
複数の積層体は所定数毎に分けられて複数の振動素子を構成し、
前記複数の振動素子のうち少なくとも一つの振動素子それぞれにおいて、いずれかの積層体は、他のいずれかの積層体の下部電極とは異なる材料もしくは材料組成比の下部電極を有する。
Cf=εoεγL2/d (1)
1 超音波診断装置本体
2 超音波プローブ
10 超音波振動子
20A 振動子配列
20 振動素子
30 積層体
30A 積層体
30B 積層体
31 基板
32 振動板
33 下部電極
34 圧電体膜
35 上部電極
130 検出系
300 積層体群
Claims (13)
- 振動板、下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順で積層された複数の積層体を有する超音波振動子であって、
前記複数の積層体は所定数毎に分けられて複数の振動素子を構成し、
前記複数の振動素子のうち少なくとも一つの振動素子それぞれにおいて、いずれかの積層体は、他のいずれかの積層体の下部電極とは異なる材料もしくは材料組成比の下部電極を有する、超音波振動子。 - 前記複数の積層体の間で、前記圧電体膜は、同一の材料からなり、かつ、同一の厚みを有する、請求項1に記載の超音波振動子。
- 前記複数の積層体は、同一の構造を有する、請求項1または2に記載の超音波振動子。
- 同一の積層体に含まれる前記下部電極と前記上部電極とが、異なる面積を有する、請求項1から3のいずれか一つに記載の超音波振動子。
- 前記少なくとも一つの振動素子それぞれを構成する前記所定数の積層体は、一つずつ、あるいは2個以上の積層体を組み合わせた積層体群毎に、一つの検出素子に電気的に接続し、積層体一つずつの静電容量あるいは積層体群毎の静電容量は、電気的に接続された前記一つの検出素子の静電容量と整合する、請求項1から4のいずれか一つに記載の超音波振動子。
- 積層体一つずつの静電容量あるいは積層体群毎の静電容量は、電気的に接続された前記一つの検出素子の静電容量と一致する、請求項5に記載の超音波振動子。
- 前記積層体は第1の積層体と、前記第1の積層体の下部電極とは材料もしくは材料組成比の異なる下部電極を有する第2の積層体を含み、
前記複数の振動素子は、複数チャンネルのアレイを構成し、
一つのチャンネルにおいて前記第1の積層体同士が隣り合わないように配置される請求項1〜6のいずれか一つに記載の超音波振動子。 - 前記少なくとも一つの振動素子それぞれにおいて、同じ材料もしくは材料組成比の前記下部電極を有する二つ以上の積層体が隣接配置されている積層体集合部が分散して配置されており、
個々の積層体集合部の寸法は、受信対象の超音波の半波長以下である、請求項1から7のいずれか一つに記載の超音波振動子。 - 前記下部電極の材料に、格子定数3.9〜4.1[Å]を有する材料が用いられる、請求項1から5のいずれか一つに記載の超音波振動子。
- 前記下部電極の材料として、AgにPdが含有された銀合金が用いられる、請求項9に記載の超音波振動子。
- 前記複数の振動素子は、複数チャンネルのアレイを構成する、請求項1から10のいずれか一つに記載の超音波振動子。
- 前記複数の振動素子のうち同一チャンネルの振動素子を構成する前記所定数の積層体は、複数のサブチャンネルに分割され、
前記複数のサブチャンネルのうち同一サブチャンネルに含まれる前記下部電極は、互いに電気的に接続されている、請求項11に記載の超音波振動子。 - 請求項1から12のいずれか一つに記載の超音波振動子を有する超音波診断装置。
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