JP6565218B2 - 光デバイス - Google Patents

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Description

本発明は、光デバイスに関する。
従来、太陽光発電に用いられる光デバイスの材料としてはシリコンが用いられているが、シリコンは間接遷移型の半導体であるため、大面積化は容易であるものの、効率という観点からはすでに限界が見えつつある。
また、有機太陽電池の開発も進められているが、例えば数%程度の効率しか得られておらず、寿命も短い。
一方、高い効率が得られるものとして、化合物半導体を用いた多接合型太陽電池がある。
特表2013−542589号公報 特開2012−166145号公報
しかしながら、多接合型太陽電池では、バンドギャップの異なる化合物半導体層を整合性良く成長させるのは難しい。
そこで、容易に作製でき、高い効率が得られる光デバイスを実現したい。
本光デバイスは、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用2次元材料層と、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用2次元材料層と、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用2次元材料層とを備え、紫外領域用2次元材料層、可視光領域用2次元材料層及び赤外領域用2次元材料層が積層されており、紫外領域用2次元材料層として、紫外領域用p型2次元材料層と、紫外領域用n型2次元材料層とを含み、可視光領域用2次元材料層として、可視光領域用p型2次元材料層と、可視光領域用n型2次元材料層とを含み、赤外領域用2次元材料層として、赤外領域用p型2次元材料層と、赤外領域用n型2次元材料層とを含み、さらに、紫外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた紫外領域用p側電極及び紫外領域用n側電極と、可視光領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた可視光領域用p側電極及び可視光領域用n側電極と、赤外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた赤外領域用p側電極及び赤外領域用n側電極とを備え、紫外領域用p側電極は、紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層と、p型グラフェン層の紫外領域用p型2次元材料層の側に積層され、紫外領域用p型2次元材料層のバンドギャップとp型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされた、異なるバンドギャップを有する複数のp型2次元材料層とを含み、紫外領域用n側電極は、紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層と、n型グラフェン層の紫外領域用n型2次元材料層の側に積層され、紫外領域用n型2次元材料層のバンドギャップとn型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされた、異なるバンドギャップを有する複数のn型2次元材料層とを含む。
したがって、本光デバイスによれば、容易に作製でき、高い効率が得られるという利点がある。
本実施形態にかかる光デバイスの概略構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる光デバイスに備えられる紫外領域用発電素子の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる光デバイスに備えられる可視光領域用発電素子の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる光デバイスに備えられる赤外領域用発電素子の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる光デバイスの構成を示す模式図である。 本実施形態にかかる光デバイスに備えられる電極の構成例を示す模式図である。
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる光デバイスについて、図1〜図6を参照しながら説明する。
本実施形態の光デバイスは、太陽光発電に用いられる光デバイスであり、例えば受光デバイスや発光デバイスなどの発電デバイスである。なお、発電デバイスを太陽光発電デバイス又は機能性デバイスともいう。
本実施形態の光デバイスは、図1に示すように、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用2次元材料層1と、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用2次元材料層2と、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用2次元材料層3とを備える。そして、これらの紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2及び赤外領域用2次元材料層3が積層されている。
なお、紫外領域用2次元材料層1は、光デバイス6が受光デバイスの場合には紫外領域用吸収層(受光層)として機能し、光デバイス6が発光デバイスの場合には紫外領域用発光層として機能する。同様に、可視光領域用2次元材料層2は、光デバイス6が受光デバイスの場合には可視光領域用吸収層(受光層)として機能し、光デバイス6が発光デバイスの場合には可視光領域用発光層として機能する。また、赤外領域用2次元材料層3は、光デバイス6が受光デバイスの場合には赤外領域用吸収層(受光層)として機能し、光デバイス6が発光デバイスの場合には赤外領域用発光層として機能する。また、図1中、符号4Aは上部電極を示しており、符号5Cは下部電極を示している。また、図1では、最も上側の上部電極4Aと最も下側の下部電極5Cのみを示しているが、実際には、紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2、赤外領域用2次元材料層3のそれぞれを挟んで上下両側に上部電極及び下部電極が設けられているが、ここでは、図示を省略している。
本実施形態では、紫外領域用2次元材料層1は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN;h−BN)層である。また、可視光領域用2次元材料層2は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層である。また、赤外領域用2次元材料層3は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層である。
ここで、紫外領域は、例えば波長約1nm〜約400nmの領域であり、これに対応するバンドギャップは約3.1eV〜約1240eVである。なお、紫外光の短波長側はX線領域と重なっており、長波長側は可視光領域と重なっている。また、可視光領域は、例えば波長約380nm〜約750nmの領域であり、これに対応するバンドギャップは約1.65eV〜約3.26eVである。なお、可視光の短波長側は紫外領域と重なっており、長波長側は赤外領域と重なっている。また、赤外領域は、例えば波長約0.7μm〜約1000μmの領域であり、これに対応するバンドギャップは約80meV〜約1.7eVである。なお、赤外光の短波長側は可視光領域と重なっている。
例えば、紫外領域用BN層1、即ち、紫外領域用2次元材料として用いられるBN(h−BN)は、バンドギャップが約4.70eVである。また、例えば、可視光領域用BCN層2、即ち、可視光領域用2次元材料として用いられるBCNは、バンドギャップ約1.59eVのBCN、バンドギャップ約2.36eVのBCNとすれば良い。また、例えば、赤外領域用BCN層3、即ち、赤外領域用2次元材料として用いられるBCNは、バンドギャップ約0.98eVのBCNとすれば良い。
ここで、BCN(B−C−N)は、二次元材料であるh−BN(六方晶窒化ホウ素)に一定の割合でC(カーボン)が混じった構造を有し、組成や各元素の配置の違いによってバンドギャップが変化する。そして、BN、BCNは、2次元材料であり、直接遷移型の半導体としての性質を有し、C(カーボン)の割合や各元素の配置が異なると、異なるバンドギャップを有するものとなる。
そこで、本実施形態では、異なるバンドギャップを有するBN、BCNを、それぞれ、紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2、赤外領域用2次元材料層3に用い、これらを積層することで、紫外領域から赤外領域までの広い波長領域の光を利用することで効率が高められた光デバイス(多接合型太陽電池)6を実現している。このため、例えば日の当たりにくい建物の影、室内などでも利用可能である。これに対し、可視光領域に対応する光デバイス6では、屋根や開けた場所以外での利用は難しく、例えば日の当たりにくい建物の影、室内などでは利用することが難しい。
また、2次元材料は整合性良く成長させることができるため、例えば化合物半導体を用いた多接合型太陽電池のようにバッファ層等を設ける必要がなく、容易に作製することができる。特に、BNとBCNは、格子定数が同じであり、格子の整合性が良いため、容易に積層することが可能である。また、大面積化や低コスト化を図ることも可能である。これに対し、化合物半導体を用いた多接合型太陽電池では、整合性良く成長させるのが難しく、大面積化や低コスト化を図るのが難しい。このため、例えば宇宙衛星などの特殊な用途での利用が進んでいるに過ぎない。
また、BN、BCNのような2次元材料は、薄膜であれば、フレキシブルかつ透明な材料である。このため、このような特徴を利用して、例えば、多様な建物の内部や外壁、車のボンネットなどの乗り物の曲面上、窓ガラス等への適用も可能であり、設置場所などを選ばなくなるため、適用できる範囲が広がる。これにより、例えばセンサーセットワーク等へのエネルギー供給源としての利用範囲が広がる。また、BN、BCNのような2次元材料やドーパント材料などは、化学的に安定な材料であるため、有機系材料と比べると、寿命の長い光デバイス(太陽電池)6を実現することが可能となる。これに対し、バルク材料を用いた光デバイスでは、適用できる範囲が狭く、例えば車のボンネットなどの曲面上、窓ガラス等への適用は難しい。また、フレキシブルかつ透明な材料という観点では、有機太陽電池の開発が進められているが、例えば数%程度の効率しか得られておらず、寿命も短い。
また、本実施形態では、図2に示すように、紫外領域用2次元材料層1として、紫外領域用p型2次元材料層1pと、紫外領域用n型2次元材料層1nとを含む。また、図3に示すように、可視光領域用2次元材料層2として、可視光領域用p型2次元材料層2pと、可視光領域用n型2次元材料層2nとを含む。また、図4に示すように、赤外領域用2次元材料層3として、赤外領域用p型2次元材料層3pと、赤外領域用n型2次元材料層3nとを含む。
なお、図2では、紫外領域用p型2次元材料層1pをP領域1pとして示しており、紫外領域用n型2次元材料層1nをN領域1nとして示している。また、図3では、可視光領域用p型2次元材料層2pをP領域2pとして示しており、可視光領域用n型2次元材料層2nをN領域2nとして示している。また、図4では、赤外領域用p型2次元材料層3pをP領域3pとして示しており、赤外領域用n型2次元材料層3nをN領域3nとして示している。
ここでは、図2に示すように、複数の紫外領域用2次元材料層1を積層し、その上側領域の紫外領域用2次元材料層1にp型ドーパントをドーピングして、紫外領域用p型2次元材料層1pとし、その下側領域の紫外領域用2次元材料層1にn型ドーパントをドーピングして、紫外領域用n型2次元材料層1nとしている。これにより、積層された複数の紫外領域用2次元材料層1の上側領域がp型領域1pとなり、下側領域がn型領域1nとなり、これらが積層された構造となり、pn接合が形成されることになる。例えば、複数の紫外領域用BN層1を積層し、その上側領域の紫外領域用BN層1に、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)をドーピングして、紫外領域用p型BN層1pとし、その下側領域の紫外領域用BN層1に、n型ドーパントとしてPTSAをドーピングして、紫外領域用n型BN層1nとすれば良い。
同様に、図3に示すように、複数の可視光領域用2次元材料層2を積層し、その上側領域の可視光領域用2次元材料層2にp型ドーパントをドーピングして、可視光領域用p型2次元材料層2pとし、その下側領域の可視光領域用2次元材料層2にn型ドーパントをドーピングして、可視光領域用n型2次元材料層2nとしている。これにより、積層された複数の可視光領域用2次元材料層2の上側領域がp型領域2pとなり、下側領域がn型領域2nとなり、これらが積層された構造となり、pn接合が形成されることになる。例えば、複数の可視光領域用BCN層(BCN層)2を積層し、その上側領域の可視光領域用BCN層(BCN層)2に、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)をドーピングして、可視光領域用p型BCN層(BCN層)2pとし、その下側領域の可視光領域用BCN層(BCN層)2に、n型ドーパントとしてPTSAをドーピングして、可視光領域用n型BCN層(BCN層)2nとすれば良い。
また、図4に示すように、複数の赤外領域用2次元材料層3を積層し、その上側領域の赤外領域用2次元材料層3にp型ドーパントをドーピングして、赤外領域用p型2次元材料層3pとし、その下側領域の赤外領域用2次元材料層3にn型ドーパントをドーピングして、赤外領域用n型2次元材料層3nとしている。これにより、積層された複数の赤外領域用2次元材料層3の上側領域がp型領域3pとなり、下側領域がn型領域3nとなり、これらが積層された構造となり、pn接合が形成されることになる。例えば、複数の赤外領域用BCN層(BCN層)3を積層し、その上側領域の赤外領域用BCN層(BCN層)3に、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)をドーピングして、赤外領域用p型BCN層(BCN層)3pとし、その下側領域の赤外領域用BCN層(BCN層)3に、n型ドーパントとしてPTSAをドーピングして、赤外領域用n型BCN層(BCN層)3nとすれば良い。
ここで、p型ドーパントやn型ドーパントのドーピングは、例えばインターカレーションによって行なえば良い。なお、p型ドーパントをp型のインターカレーション材料ともいう。また、n型ドーパントをn型のインターカレーション材料ともいう。
なお、ここでは、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)をドーピングしてp型2次元材料層1p〜3pとし、n型ドーパントとしてPTSAをドーピングしてn型2次元材料層1n〜3nとしているが、これに限られるものではなく、例えば、Bを増やすことでp型2次元材料層1p〜3pとしても良いし、酸素を入れることでn型2次元材料層1n〜3nとしても良い。また、ここでは、p型領域1p〜3pとn型領域1n〜3nとが上下に分離された構造になっているが、これに限られるものではなく、例えば、p型領域とn型領域とが混ざり合っているような構造になっていても良い。
そして、本実施形態では、図2に示すように、紫外領域用2次元材料層1を挟んで上下両側に紫外領域用p側電極4A及び紫外領域用n側電極5Aが設けられている。また、図3に示すように、可視光領域用2次元材料層2を挟んで上下両側に可視光領域用p側電極4B及び可視光領域用n側電極5Bが設けられている。また、図4に示すように、赤外領域用2次元材料層3を挟んで上下両側に赤外領域用p側電極4C及び赤外領域用n側電極5Cが設けられている。
ここでは、上述のように、積層された複数の紫外領域用2次元材料層1の上側領域がp型領域1pとなり、下側領域がn型領域1nとなっているため、図2に示すように、上側に紫外領域用p側電極(上部電極)4Aが設けられており、下側に紫外領域用n側電極(下部電極)5Aが設けられている。同様に、積層された複数の可視光領域用2次元材料層2の上側領域がp型領域2pとなり、下側領域がn型領域2nとなっているため、図3に示すように、上側に可視光領域用p側電極(上部電極)4Bが設けられており、下側に可視光領域用n側電極(下部電極)5Bが設けられている。また、積層された複数の赤外領域用2次元材料層3の上側領域がp型領域3pとなり、下側領域がn型領域3nとなっているため、図4に示すように、上側に赤外領域用p側電極(上部電極)4Cが設けられており、下側に赤外領域用n側電極(下部電極)5Cが設けられている。
特に、本実施形態では、紫外領域用p側電極4Aは、紫外領域用p型2次元材料層1よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層からなるグラフェン電極である。また、紫外領域用n側電極5Aは、紫外領域用n型2次元材料層1よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層からなるグラフェン電極である。また、可視光領域用p側電極4Bは、可視光領域用p型2次元材料層2よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層からなるグラフェン電極である。また、可視光領域用n側電極5Bは、可視光領域用n型2次元材料層2よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層からなるグラフェン電極である。また、赤外領域用p側電極4Cは、赤外領域用p型2次元材料層3よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層からなるグラフェン電極である。また、赤外領域用n側電極5Cは、赤外領域用n型2次元材料層3よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層からなるグラフェン電極である。
ここでは、p型グラフェン層及びn型グラフェン層として、複数のグラフェン層が積層されたもの、即ち、多層グラフェン(グラフェン連続膜)を備える。また、p型グラフェン層となる多層グラフェンには、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)を高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。また、n型グラフェン層となる多層グラフェンには、n型ドーパントとしてPTSAを高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
このようにして、図2に示すように、紫外領域用p型2次元材料層1p及び紫外領域用n型2次元材料層1nを挟んで上下両側に紫外領域用p側電極4A及び紫外領域用n側電極5Aを設けることで、紫外領域用発電モジュール(紫外領域用発電素子;紫外領域用光デバイス)7となる。同様に、図3に示すように、可視光領域用p型2次元材料層2p及び可視光領域用n型2次元材料層2nを挟んで上下両側に可視光領域用p側電極4B及び可視光領域用n側電極5Bを設けることで、可視光領域用発電モジュール(可視光領域用発電素子;可視光領域用光デバイス)8となる。また、図4に示すように、赤外領域用p型2次元材料層3p及び赤外領域用n型2次元材料層3nを挟んで上下両側に赤外領域用p側電極4C及び赤外領域用n側電極5Cを設けることで、赤外領域用発電モジュール(赤外領域用発電素子;赤外領域用光デバイス)9となる。そして、図5に示すように、これらを積層することで、紫外領域、可視光領域及び赤外領域に対応した縦型(タンデム型)太陽光発電モジュール(太陽光発電素子)6とすることができる。なお、これらを積層した構造とする場合、各モジュール7〜9を互いに接合しても良いし、各モジュール7〜9を構成する各層を連続的に合成しても良い。なお、図5では、紫外領域用発電モジュール7を2つ積層しているが、1つであっても良い。つまり、紫外領域用発電モジュール7、可視光領域用発電モジュール8、赤外領域用発電モジュール9は1つだけ積層しても良いし、複数積層しても良い。
なお、ここでは、各電極4A〜4C、5A〜5Cを、グラフェン層からなるグラフェン電極としているが、これに限られるものではなく、グラフェン層を含むものとすれば良い。
つまり、紫外領域用p側電極4Aは、紫外領域用p型2次元材料層1pよりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含むものとすれば良い。また、紫外領域用n側電極5Aは、紫外領域用n型2次元材料層1nよりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含むものとすれば良い。また、可視光領域用p側電極4Bは、可視光領域用p型2次元材料層2pよりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含むものとすれば良い。また、可視光領域用n側電極5Bは、可視光領域用n型2次元材料層2nよりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含むものとすれば良い。また、赤外領域用p側電極4Cは、赤外領域用p型2次元材料層3pよりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含むものとすれば良い。また、赤外領域用n側電極5Cは、赤外領域用n型2次元材料層3nよりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含むものとすれば良い。
この場合、図6に示すように、紫外領域用p側電極4Aは、p型グラフェン層10の紫外領域用p型2次元材料層1(1p)の側に積層され、紫外領域用p型2次元材料層1(1p)のバンドギャップとp型グラフェン層10のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、紫外領域用p型2次元材料層1(1p)よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型2次元材料層11、12を含むものとするのが好ましい。また、紫外領域用n側電極5Aは、n型グラフェン層の紫外領域用n型2次元材料層1(1n)の側に積層され、紫外領域用n型2次元材料層1(1n)のバンドギャップとn型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、紫外領域用n型2次元材料層1(1n)よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型2次元材料層を含むものとするのが好ましい。なお、図6では、最も上側の上部電極4Aと最も下側の下部電極5Cのみを示しているが、実際には、紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2、赤外領域用2次元材料層3のそれぞれを挟んで上下両側に上部電極及び下部電極が設けられているが、ここでは、図示を省略している。
また、図6に示すように、紫外領域用p側電極4Aは、異なるバンドギャップを有する複数のp型2次元材料層11、12を含むものとするのが好ましい。また、紫外領域用n側電極5Aは、異なるバンドギャップを有する複数のn型2次元材料層を含むものとするのが好ましい。
例えば、図6に示すように、紫外領域用p型2次元材料層1(1p)を紫外領域用p型BN層とする場合、紫外領域用p側電極4Aは、紫外領域用p型BN層1(1p)の側から順に、p型BN層13、p型BCN層12、p型BCN層11、p型グラフェン層10が積層されたものとし、これらのp型BN層13、p型BCN層12、p型BCN層11、p型グラフェン層10を、紫外領域用p型BN層1(1p)よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)を高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
また、例えば、紫外領域用n型2次元材料層1(1n)を紫外領域用n型BN層とする場合、紫外領域用n側電極5Aは、紫外領域用n型BN層1(1n)の側から順に、n型BN層、n型BCN層、n型BCN層、n型グラフェン層が積層されたものとし、これらのn型BN層、n型BCN層、n型BCN層、n型グラフェン層を、紫外領域用n型BN層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、n型ドーパントとしてPTSAを高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
このように構成するのは、次の理由による。
つまり、紫外領域用p型2次元材料層1(1p)及び紫外領域用n型2次元材料層1(1n)は、非常に大きなバンドギャップを有し、紫外領域用p側電極4Aに含まれるp型グラフェン層10及び紫外領域用n型電極5Aに含まれるn型グラフェン層とのバンドギャップ差が大きい。このため、p型グラフェン層及びn型グラフェン層との界面抵抗が大きくなり、発電素子としての動作を阻害するおそれがある。このため、シームレスな界面電子状態を作製するために、紫外領域用p側電極4A及び紫外領域用n側電極5Aを、上述のように、連続的にバンドギャップが変化する連続膜構造としている。
また、可視光領域用p側電極4Bは、p型グラフェン層の可視光領域用p型2次元材料層2(2p)の側に積層され、可視光領域用p型2次元材料層2(2p)のバンドギャップとp型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、可視光領域用p型2次元材料層2(2p)よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型2次元材料層を含むものとするのが好ましい。また、可視光領域用n側電極5Bは、n型グラフェン層の可視光領域用n型2次元材料層2(2n)の側に積層され、可視光領域用n型2次元材料層2(2n)のバンドギャップとn型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、可視光領域用n型2次元材料層2(2n)よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型2次元材料層を含むものとするのが好ましい。
例えば、可視光領域用p型2次元材料層2(2p)を可視光領域用p型BCN層とする場合、可視光領域用p側電極4Bは、可視光領域用p型BCN層2(2p)の側から順に、p型BCN層、p型BCN層、p型グラフェン層が積層されたものとし、これらのp型BCN層、p型BCN層、p型グラフェン層を、可視光領域用p型BCN層2(2p)よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)を高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
また、例えば、可視光領域用n型2次元材料層2(2n)を可視光領域用n型BCN層とする場合、可視光領域用n側電極5Bは、可視光領域用n型BCN層2(2n)の側から順に、n型BCN層、n型BCN層、n型グラフェン層が積層されたものとし、これらのn型BCN層、n型BCN層、n型グラフェン層を、可視光領域用n型BCN層2(2n)よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、n型ドーパントとしてPTSAを高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
また、例えば、赤外領域用p型2次元材料層3(3p)を赤外領域用p型BCN層とする場合、赤外領域用p側電極4Cは、赤外領域用p型BCN層3(3p)の側から順に、p型BCN層、p型グラフェン層が積層されたものとし、これらのp型BCN層、p型グラフェン層を、赤外領域用p型BCN層3(3p)よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、p型ドーパントとして塩化鉄(FeCl)を高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
また、例えば、赤外領域用n型2次元材料層3(3n)を赤外領域用n型BCN層とする場合、図6に示すように、赤外領域用n側電極5Cは、赤外領域用n型BCN層3(3n)の側から順に、n型BCN層14、n型グラフェン層15が積層されたものとし、これらのn型BCN層14、n型グラフェン層15を、赤外領域用n型BCN層3(3n)よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたものとすれば良い。例えば、n型ドーパントとしてPTSAを高濃度に(例えば1020−1023/cm程度)ドーピングすれば良い。
なお、各電極4A〜4C、5A〜5Cは、グラフェン層を含むものに限られるものではなく、例えばITOなどの透明材料を用いた電極(透明電極)としても良い。
ところで、上述の実施形態において紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2、赤外領域用2次元材料層3、及び、電極4A〜4C、5A〜5Cに用いられるh−BNやBCNは、以下のようにして合成することができる。
まず、サファイア(c面)基板上に、h−BN及びBCNの触媒となる金属(例えばコバルト;膜厚約200nm)を、例えばスパッタ法や電子ビーム蒸着法によって堆積する。
続いて、例えば熱CVD法によって、約1000℃にてh−BN及びBCNを合成する。
ここで、原料としてはメタンガス、アンモニア、ジボランを用い、希釈ガスとしては水素及びアルゴンを用いる。また、アルゴンガスと水素の流量は、それぞれ、約4000sccm、約500sccmであり、総圧は約500mbarである。また、h−BNを合成する場合は、アンモニアとジボランを、それぞれ、約10sccmを用いる。また、BCNを合成する場合は、前記の条件に約1〜約50sccmの異なる流量のメタンを導入することで、所望のBCNの作製を行なう。
なお、h−BN及びBCNを合成するCVD法は熱CVD法に限らず、リモートプラズマCVD法、プラズマCVD法でも可能であり、原料ガスはエチレンガス、メタンガスなどの炭化水素ガス、エタノールなどのアルコール、ベンゼン、アモルファスカーボンなどの固体ソースなどを用いても良い。触媒についても、コバルトに限らず、鉄、ニッケル、銅、白金、金などの金属、それらを少なくとも一種含む合金、炭化物、酸化物、窒化物を用いることも可能である。触媒の堆積方法としては、スパッタ法以外に電子ビーム蒸着、分子線エピタキシー(MBE)なども用いても良く、特に制限はない。また、薄膜触媒ではなく、銅フォイルなどの金属基板上に単層グラフェンを合成後に、塩化鉄によってドライプロセスを実行する際に絶縁膜上に基板を設置して転写を実施することも可能である。
例えば、合成方法について他の一例を示すと、熱酸化膜付きシリコン基板上にスパッタ法で銅を堆積し、厚さ約1000nmの銅薄膜を形成し、熱CVD法で、BNを合成することができる。その時の合成温度は約1000℃、原料はアンモニアボランを用いると良い。また、原料の分圧としては、大気圧下にて希釈用アルゴンガス約1000sccmに対して炉の内部の石英トレイに約5グラム程度のアンモニアボランを準備して、合成するBCNに応じてメタンを約1から約1000sccm程度変化させることでBNないしはBCNの合成を実施すれば良い。
次に、電極4A〜4C、5A〜5Cに用いられる多層グラフェンは、以下のようにして合成することができる。
まず、サファイア(c面)基板上に、グラフェンの触媒となる金属(例えばコバルト;膜厚約200nm)を、例えばスパッタ法や電子ビーム蒸着法によって堆積する。
続いて、例えば熱CVD法によって、約1000℃にて多層グラフェンを合成する。
ここで、原料としてはメタンガス、水素及びアルゴンを希釈ガスとして用いる。また、アルゴンガスと水素の流量は、それぞれ、約4000sccm、約500sccmであり、総圧は約500mbarである。また、メタンの流量は約50sccmとすれば良い。
なお、多層グラフェンを合成するCVD法は熱CVD法に限らず、リモートプラズマCVD法、プラズマCVD法でも可能であり、原料ガスはエチレンガス、メタンガスなどの炭化水素ガス、エタノールなどのアルコール、ベンゼン、アモルファスカーボンなどの固体ソースなどを用いても良い。触媒についても、コバルトに限らず、鉄、ニッケル、銅、白金、金などの金属、それらを少なくとも一種含む合金、炭化物、酸化物、窒化物を用いることも可能である。触媒の堆積方法としては、スパッタ法以外に電子ビーム蒸着、分子線エピタキシー(MBE)なども用いても良く、特に制限はない。また、薄膜触媒ではなく、銅フォイルなどの金属基板上に単層グラフェンを合成後に、塩化鉄によりドライプロセスを実行する際に絶縁膜上に基板を設置して転写を実施することも可能である。
例えば、合成方法について他の一例を示すと、熱酸化膜付きシリコン基板上にスパッタ法でニッケルを堆積し、厚さ約1000nmのニッケル薄膜を形成し、熱CVD法で、グラフェンを合成することができる。その時の合成温度は約1000℃、原料ガスはメタンを用いると良い。また、原料の分圧としては、希釈用アルゴンガス約4000sccmに対して、水素約500sccm、メタン約10sccmを用いれば良い。
次に、インターカレーションする材料とその温度条件について説明する。
塩化物のインターカレーション材料としては、塩化鉄(FeCl)、塩化ニオブ、塩化銅、塩化イッテルビウム、塩化コバルトなどが挙げられる。いずれも約10−2Torr以下の真空中で約350℃、約250℃、約1000℃、約700℃、約1000℃が沸点であるため、その温度ないしはその温度よりも10%程度下げた温度で保持すれば良い。なお、インターカレーション材料は塩化物に限られるものではなく、以下に示すような多様な材料をインターカレーションすることができる。また、以下の材料に限定されるわけでなく、昇華性のある他の塩化物、酸化物、硫化物、窒化物でも同様の効果を得ることが可能である。
例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類、ハロゲンなどをインターカレーション材料に用いることができる。
ここで、アルカリ金属としては、リチウム、カリウム、ポタシウム、ルビジウム、セシウムがあり、これらを、約10−6Torr以下超高真空下において、サイズゲッター等の蒸着方法を用いて試料上に蒸着し、約200℃から約500℃程度の加熱によってインターカレーションを実施すれば良い。
アルカリ土類金属としては、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムがあり、これらを、約1Pa以下の真空で、約700℃、約860℃、約800℃、約900℃程度の温度で保持し、試料にインターカレーションを実施すれば良い。
希土類としては、サマリウム、ユーロピウム、ツリウム、イッテルビウムがあり、これらを、約10−4Torr以下の真空で、これらの沸点である、約850℃、約740℃、約950℃、約630℃の温度よりも約10%程度下げた温度でインターカレーションを実施すれば良い。
ハロゲンとしては、ヨウ素、臭素があり、これらは常温でも気化するため、密閉した容器に液体状のヨウ素や臭素を封入し、同じ容器内にグラフェン基板を保持すれば良い。気化したハロゲンガス分子が数日の期間を経てインターカレーションされることになる。より早いインターカレーションを行なう場合には、約100℃程度に保持することによって加速することができる。
なお、ハロゲン以外は触媒の除去をすることができないため、アルカリ金属などによってインターカレーションを実施した場合はその後に塩化鉄雰囲気などによって触媒除去を行なうことになる。
このほか、有機分子をインターカレーション材料に用いることもできる。例えば、F4−TCNQは大変優れたp−typeのド―パントであり、インターカレーション材料として用いることもが可能である。真空中において約300℃程度で抵抗加熱ないしは電子ビーム蒸着でグラフェン上に蒸着してインターカレーションを行なえば良い。
また、その他、インターカレーション材料として用いられる材料は、PTSAや2酸化窒素が挙げられる。有機分子はないが、チタンやポタシウムはn−typeのド―パントとして用いることが可能であり、蒸着法を用いてグラフェンにインターカレーションすることができる。また、気体分子であるが、アンモニアもしばしば用いられるド―パントであり、こちらはアンモニア雰囲気下に試料を設置することでインターカレーションすることができる。
したがって、本実施形態にかかる光デバイスによれば、容易に作製でき、高い効率が得られるという利点がある。
特に、本実施形態では、異なるバンドギャップを有するBN、BCNを、それぞれ、紫外領域用2次元材料層1、可視光領域用2次元材料層2、赤外領域用2次元材料層3に用い、これらを積層することで、紫外領域から赤外領域までの広い波長領域の光を利用して、効率が高められた光デバイス6を実現している。なお、太陽光全体を見ると、紫外領域と赤外領域は可視光領域と同程度であるため、これらの領域を利用することで、目標効率35%を達成することが可能である。
また、2次元材料は整合性良く成長させることができるため、例えば化合物半導体を用いた多接合型太陽電池のようにバッファ層等を設ける必要がなく、容易に作製することができる。特に、BNとBCNは、格子定数が同じであり、格子の整合性が良いため、容易に積層することが可能である。また、大面積化や低コスト化を図ることも可能である。
また、BN、BCNのような2次元材料は、薄膜であれば、フレキシブルかつ透明な材料である。このため、一般的な太陽電池では設置できなかった潜在的なスペース、例えば建屋の多くの面積を占める窓部分にも設置することが可能であり、設置スペースを大幅に増加することが可能である。これに対し、一般的な太陽電池は、不透明であるため、デッドスペースにしか設置することができず、建屋の多くの面積を占める窓部分に設置することはできない。例えば50階建のビルを想定した場合、面積では60倍のメリットがあり、太陽光発電効率としては一般的な可視光タイプの太陽電池を凌駕する。
また、紫外領域のうち特に200nm前後の波長は、生体に有害であり、近年、オゾンホールの増大によって健康への影響が懸念される。この点、本実施形態の光デバイス6では、紫外領域も利用し、紫外線が吸収されるため、紫外線除去という大きなメリットもある。
また、可視光や赤外光と比べ、紫外光は波長が短いため、散乱されやすい。つまり、紫外光は散乱光の成分が多い。例えば、地表では、散乱光の成分が半分程度となり、建物の影などの遮蔽物の影響を受けにくく、設置場所がビルの壁面や影に隠れていても大きな影響を受けにくい。このため、設置場所の自由度が向上する。
なお、上述の実施形態では、紫外領域用2次元材料層1を、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層とし、可視光領域用2次元材料層2を、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層とし、赤外領域用2次元材料層3を、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層としているが、これに限られるものではない。
例えば、紫外領域用2次元材料層1を、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層としても良い。また、可視光領域用2次元材料層2を、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層としても良い。また、赤外領域用2次元材料層3を、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層としても良い。
ここで、遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層は、遷移金属ダイカルコゲナイド系材料、即ち、Mo、Wといった遷移金属とO、S、Se、Teといったカルコゲン原子の化合物からなる層である。この遷移金属ダイカルコゲナイド系材料は、BN、BCN、グラフェンなどと同じく2次元材料であり、例えば、MoO、MoS、WS、WSe、WTe、MoTe、MoSeなどがある。
例えば、紫外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層は、MoO層(バンドギャップ約3.1eV)とすれば良い。また、可視光領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層は、MoS層(単層;バンドギャップ約1.80eV)、WS層(単層;バンドギャップ約2.05eV)とすれば良い。また、赤外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層は、WTe層(単層;バンドギャップ約1.18eV)、MoTe層(単層;バンドギャップ約1.23eV)、MoSe層(単層;バンドギャップ約1.58eV)とすれば良い。
このように、紫外領域用2次元材料層1は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層又は紫外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、可視光領域用2次元材料層2は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は可視光領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、赤外領域用2次元材料層3は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は赤外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であれば良い。
なお、本発明は、上述した実施形態及び変形例に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
以下、上述の実施形態及び変形例に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用2次元材料層と、
可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用2次元材料層と、
赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用2次元材料層とを備え、
前記紫外領域用2次元材料層、前記可視光領域用2次元材料層及び前記赤外領域用2次元材料層が積層されていることを特徴とする光デバイス。
(付記2)
前記紫外領域用2次元材料層は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層又は紫外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、
前記可視光領域用2次元材料層は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は可視光領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、
前記赤外領域用2次元材料層は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は赤外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であることを特徴とする、付記1に記載の光デバイス。
(付記3)
前記紫外領域用2次元材料層は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層であり、
前記可視光領域用2次元材料層は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層であり、
前記赤外領域用2次元材料層は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層であることを特徴とする、付記1に記載の光デバイス。
(付記4)
前記紫外領域用2次元材料層として、紫外領域用p型2次元材料層と、紫外領域用n型2次元材料層とを含み、
前記可視光領域用2次元材料層として、可視光領域用p型2次元材料層と、可視光領域用n型2次元材料層とを含み、
前記赤外領域用2次元材料層として、赤外領域用p型2次元材料層と、赤外領域用n型2次元材料層とを含むことを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の光デバイス。
(付記5)
前記紫外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた紫外領域用p側電極及び紫外領域用n側電極と、
前記可視光領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた可視光領域用p側電極及び可視光領域用n側電極と、
前記赤外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた赤外領域用p側電極及び赤外領域用n側電極とを備えることを特徴とする、付記4に記載の光デバイス。
(付記6)
前記紫外領域用p側電極は、前記紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含み、
前記紫外領域用n側電極は、前記紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含み、
前記可視光領域用p側電極は、前記可視光領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含み、
前記可視光領域用n側電極は、前記可視光領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含み、
前記赤外領域用p側電極は、前記赤外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含み、
前記赤外領域用n側電極は、前記赤外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含むことを特徴とする、付記5に記載の光デバイス。
(付記7)
前記紫外領域用p側電極は、前記p型グラフェン層の前記紫外領域用p型2次元材料層の側に積層され、前記紫外領域用p型2次元材料層のバンドギャップと前記p型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型2次元材料層を含み、
前記紫外領域用n側電極は、前記n型グラフェン層の前記紫外領域用n型2次元材料層の側に積層され、前記紫外領域用n型2次元材料層のバンドギャップと前記n型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型2次元材料層を含むことを特徴とする、付記6に記載の光デバイス。
(付記8)
前記紫外領域用p側電極は、異なるバンドギャップを有する複数の前記p型2次元材料層を含み、
前記紫外領域用n側電極は、異なるバンドギャップを有する複数の前記n型2次元材料層を含むことを特徴とする、付記7に記載の光デバイス。
(付記9)
前記可視光領域用p側電極は、前記p型グラフェン層の前記可視光領域用p型2次元材料層の側に積層され、前記可視光領域用p型2次元材料層のバンドギャップと前記p型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記可視光領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型2次元材料層を含み、
前記可視光領域用n側電極は、前記n型グラフェン層の前記可視光領域用n型2次元材料層の側に積層され、前記可視光領域用n型2次元材料層のバンドギャップと前記n型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記可視光領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型2次元材料層を含むことを特徴とする、付記6〜8のいずれか1項に記載の光デバイス。
1 紫外領域用2次元材料層
1p 紫外領域用p型2次元材料層
1n 紫外領域用n型2次元材料層
2 可視光領域用2次元材料層
2p 可視光領域用p型2次元材料層
2n 可視光領域用n型2次元材料層
3 赤外領域用2次元材料層
3p 赤外領域用p型2次元材料層
3n 赤外領域用n型2次元材料層
4A 紫外領域用p側電極
4B 可視光領域用p側電極
4C 赤外領域用p側電極
5A 紫外領域用n側電極
5B 可視光領域用n側電極
5C 赤外領域用n側電極
6 光デバイス
7 紫外領域用発電モジュール(紫外領域用発電素子)
8 可視光領域用発電モジュール(可視光領域用発電素子)
9 赤外領域用発電モジュール(赤外領域用発電素子)
10 p型グラフェン層
11 p型BCN層(p型2次元材料層)
12 p型BCN層(p型2次元材料層)
13 p型BN層
14 n型BCN層
15 n型グラフェン層

Claims (5)

  1. 紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用2次元材料層と、
    可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用2次元材料層と、
    赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用2次元材料層とを備え、
    前記紫外領域用2次元材料層、前記可視光領域用2次元材料層及び前記赤外領域用2次元材料層が積層されており、
    前記紫外領域用2次元材料層として、紫外領域用p型2次元材料層と、紫外領域用n型2次元材料層とを含み、
    前記可視光領域用2次元材料層として、可視光領域用p型2次元材料層と、可視光領域用n型2次元材料層とを含み、
    前記赤外領域用2次元材料層として、赤外領域用p型2次元材料層と、赤外領域用n型2次元材料層とを含み、
    さらに、前記紫外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた紫外領域用p側電極及び紫外領域用n側電極と、
    前記可視光領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた可視光領域用p側電極及び可視光領域用n側電極と、
    前記赤外領域用2次元材料層を挟んで上下両側に設けられた赤外領域用p側電極及び赤外領域用n側電極とを備え、
    前記紫外領域用p側電極は、前記紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層と、前記p型グラフェン層の前記紫外領域用p型2次元材料層の側に積層され、前記紫外領域用p型2次元材料層のバンドギャップとp型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記紫外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされた、異なるバンドギャップを有する複数のp型2次元材料層とを含み、
    前記紫外領域用n側電極は、前記紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層と、前記n型グラフェン層の前記紫外領域用n型2次元材料層の側に積層され、前記紫外領域用n型2次元材料層のバンドギャップとn型グラフェン層のバンドギャップとの間のバンドギャップを有し、前記紫外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされた、異なるバンドギャップを有する複数のn型2次元材料層とを含むことを特徴とする光デバイス。
  2. 前記紫外領域用2次元材料層は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層又は紫外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、
    前記可視光領域用2次元材料層は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は可視光領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であり、
    前記赤外領域用2次元材料層は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層又は赤外領域用遷移金属ダイカルコゲナイド系材料層であることを特徴とする、請求項1に記載の光デバイス。
  3. 前記紫外領域用2次元材料層は、紫外領域に対応するバンドギャップを有する紫外領域用ボロンナイトライド(BN)層であり、
    前記可視光領域用2次元材料層は、可視光領域に対応するバンドギャップを有する可視光領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層であり、
    前記赤外領域用2次元材料層は、赤外領域に対応するバンドギャップを有する赤外領域用ボロンカーボンナイトライド(BCN)層であることを特徴とする、請求項1に記載の光デバイス
  4. 記可視光領域用p側電極は、前記可視光領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含み、
    前記可視光領域用n側電極は、前記可視光領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含み、
    前記赤外領域用p側電極は、前記赤外領域用p型2次元材料層よりも高濃度にp型ドーパントをドープされたp型グラフェン層を含み、
    前記赤外領域用n側電極は、前記赤外領域用n型2次元材料層よりも高濃度にn型ドーパントをドープされたn型グラフェン層を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光デバイス
  5. 前記複数のp型2次元材料層は、前記紫外領域用p型2次元材料層の側から前記p型グラフェン層の側へ向けてバンドギャップが順に変化するように積層されており、
    前記複数のn型2次元材料層は、前記紫外領域用n型2次元材料層の側から前記n型グラフェン層の側へ向けてバンドギャップが順に変化するように積層されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光デバイス。
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