JP6560055B2 - Air turbine drive spindle - Google Patents
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Description
本発明は、エアタービン駆動スピンドルに関し、特に回転軸の回転数を検出する被回転検出部を備えるエアタービン駆動スピンドルに関する。 The present invention relates to an air turbine drive spindle, and more particularly to an air turbine drive spindle including a rotation detection unit that detects the number of rotations of a rotating shaft.
従来、精密加工機や静電塗装装置に用いられるエアタービン駆動スピンドルが知られている。多くのエアタービン駆動スピンドルは、回転軸の回転数を光学的に検出するための被回転検出部(回転センサ)を備えている。このようなエアタービン駆動スピンドルは、高速回転に耐え得る機械的強度を確保する観点から、回転軸と被回転検出部とが一体として設けられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an air turbine drive spindle used for precision processing machines and electrostatic coating apparatuses is known. Many air turbine drive spindles include a rotation detection unit (rotation sensor) for optically detecting the number of rotations of the rotation shaft. In such an air turbine drive spindle, from the viewpoint of ensuring mechanical strength that can withstand high-speed rotation, a rotation shaft and a rotation detection unit are integrally provided.
たとえば、特開2000−121653号公報には、主軸(回転軸)のスラスト板の外周に回転検出体が一体的に形成された回転センサ付きスピンドルが開示されている。反射型光学式回転センサの検出光が反射する高反射部と、透過する透過部とから成っている。透過部は高反射部以外の同一円周部が機械加工によって除去されることにより形成されている。つまり、回転検出体は、機械加工のみで形成されている。このため、上記回転センサ付きスピンドルによれば、従来の金属エッチング、或いは黒色塗料塗装、メッキ等の機械加工以外の工程が不要であるため、製作工程を削減できるとともに、有害物質の排出も回避できることが開示されている。 For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-121653 discloses a spindle with a rotation sensor in which a rotation detecting body is integrally formed on the outer periphery of a thrust plate of a main shaft (rotating shaft). It consists of a highly reflective part that reflects the detection light of the reflective optical rotation sensor and a transmissive part that transmits it. The transmission part is formed by removing the same circumferential part other than the high reflection part by machining. That is, the rotation detector is formed only by machining. For this reason, according to the spindle with a rotation sensor, processes other than mechanical processing such as conventional metal etching, black paint coating, plating, etc. are unnecessary, so that the manufacturing process can be reduced and the discharge of harmful substances can be avoided. Is disclosed.
しかしながら、上記回転センサ付きスピンドルでは、主軸(回転軸)と回転検出体とが一体として設けられているため、回転検出体を形成するための表面処理は、回転軸を構成する材料に適したものに制限されている。たとえば、一般的に回転軸を構成する材料はステンレスまたは鉄系材料であるため、この場合アルマイト処理のようなアルミニウム(Al)に対してのみ実施可能な表面処理を施すことができなかった。本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、設計自由度が高いエアタービン駆動スピンドルを提供することにある。 However, in the above spindle with a rotation sensor, the main shaft (rotation shaft) and the rotation detection body are provided integrally, so that the surface treatment for forming the rotation detection body is suitable for the material constituting the rotation shaft. Is limited to. For example, since the material constituting the rotating shaft is generally stainless steel or iron-based material, in this case, surface treatment that can be performed only on aluminum (Al) such as alumite treatment cannot be performed. The present invention has been made to solve the above-described problems. A main object of the present invention is to provide an air turbine drive spindle having a high degree of design freedom.
本発明に係るエアタービン駆動スピンドルは、回転軸と、回転軸と固定され、回転軸の回転数を測定するための被回転検出部とを備える。回転軸と被回転検出部とは、別体として構成されている。 An air turbine drive spindle according to the present invention includes a rotation shaft, and a rotation detection unit that is fixed to the rotation shaft and measures the number of rotations of the rotation shaft. The rotating shaft and the rotation detection unit are configured separately.
本発明によれば、設計自由度が高いエアタービン駆動スピンドルを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, an air turbine drive spindle with a high design freedom can be provided.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.
(実施の形態1)
図1〜図3を参照して、実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100について説明する。図1は、エアタービン駆動スピンドル100を示す断面模式図である。図2は、エアタービン駆動スピンドル100の被回転検出部25を説明するための断面模式図である。図3は、図1および図2に示す回転軸1と被回転検出部25とを説明するための分解斜視図であり、エアタービン駆動スピンドル100における他の構成部材を図示していない。
(Embodiment 1)
With reference to FIGS. 1-3, the air
エアタービン駆動スピンドル100は、回転軸1と、回転軸1に固定され、回転軸1の回転数を光学的に測定するための被回転検出部25とを備える。
The air
<回転軸1の構成>
図1〜図3に示されるように、回転軸1は、円筒形状を有する軸部1Aと、当該軸部1Aに対しラジアル方向に延びるように形成されているスラスト板部1Bとを含む。スラスト板部1Bは、軸部1Aのアキシャル方向における一方の端部に接続されている。以下、アキシャル方向においてスラスト板部1Bが設けられている軸部1Aの上記一方の端部側を後側、軸部1Aのアキシャル方向においてスラスト板部1Bと反対側に位置する軸部1Aの他方の端部側を前側という。回転軸1のスラスト板部1Bは、ラジアル方向において外周側に位置する領域が回転中心軸側(中央側)に位置する領域(厚肉部1C)よりもスラスト方向における厚みが薄い薄肉部1Dを有している。
<Configuration of
As shown in FIGS. 1 to 3, the rotating
回転軸1のスラスト板部1Bは、薄肉部1Dの後側に位置する面からスラスト方向に延びるように形成されている回転翼15を含む。回転軸1は、回転翼15が駆動用給気ノズル14から噴出された気体を受けることにより回転可能に設けられている。複数の回転翼15は、回転軸1の回転方向に互いに間隔を隔てて設けられている。好ましくは、複数の回転翼15において隣り合う回転翼15は等間隔に設けられている。複数の回転翼15のうちの一部は、エアタービン駆動スピンドル100の筐体(ノズル板6)に設けられている回転検出部挿入孔18(詳細は後述する)とスラスト方向において重なる位置に設けられている。複数の回転翼15のうちの上記一部と回転方向に間隔を隔てて設けられている複数の回転翼15のうちの他の一部は、回転軸1が回転方向に回転されたときに、回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置に配置される。
The
複数の回転翼15は、たとえばスラスト板部1Bの外周に沿って配置されている。複数の回転翼15は、スラスト板部1Bと接続されているスラスト方向における一端と、スラスト方向において当該一端の反対側(後側)に位置する他端15Eとを有する。複数の回転翼15の他端15Eは、被回転検出部25と接続されている。
The plurality of
回転翼15と被回転検出部25との接続部は、たとえば焼き嵌め部、圧入部、カシメ部、接着部、溶接部、ろう接部、溶着部、ねじ固定部、および嵌め込み部からなる群から選択される少なくとも1つである。言い換えると、回転翼15と被回転検出部25とは、たとえば焼き嵌め、圧入、カシメ、接着、溶接、ろう接、溶着、ねじ固定、および嵌め込みからなる群から選択される少なくとも1つの方法により固定されている。
The connecting portion between the
図3に示されるように、被回転検出部25は、スラスト方向から見たときに円環形状を有しており、上記回転方向に沿って延びるように形成されている。第1部分26と第2部分27とは上記回転方向に連なるように設けられている。第1部分26と第2部分27とは、それぞれ半円環形状を有している。
As shown in FIG. 3, the
図2に示されるように、被回転検出部25は、スラスト方向において、前側に位置する前方端面25Aと、後側に位置する後方端面25Bとを含む。被回転検出部25の後方端面25Bは、回転軸1の表面と異なる表面処理が施されている。図3に示されるように、被回転検出部25は、後方端面25Bにおいて第1の表面処理層(図示しない)を有する第1部分26と、後方端面25Bにおいて第1の表面処理層とは異なる第2の表面処理層(図示しない)を有する第2部分27とを含む。第1部分26および第2部分27は、被回転検出部25において回転検出センサによる測定対象となる部分である。後方端面25Bは、第1部分26の後側に位置し第1の表面処理層が表出している面と、第2部分27の後側に位置し第2の表面処理層が表出している面とを有している。第1の表面処理層および第2の表面処理層は、少なくとも光が照射されたときの反射光量に差が生じ、明暗のコントラストが生じるように設けられている。第1部分26は、第2部分27よりも反射光量が少なくなるように設けられている。
As shown in FIG. 2, the
被回転検出部25を構成する材料は、回転軸1を構成する材料(たとえばステンレスまたはその他の鉄系材料)と異なっていてもよく、たとえばアルミニウム、銅合金、および樹脂からなる群から選択される少なくとも1つである。また、被回転検出部25を構成する材料は、回転軸1を構成する材料(たとえばステンレス(SUS)またはその他の鉄系材料)と同一であってもよい。被回転検出部25を構成する材料は、第1の表面処理層および第2の表面処理層を形成するための表面処理方法、加工性、質量、強度、およびコストなどを考慮して適宜選択され得る。
The material constituting the
第1の表面処理層および第2の表面処理層は、アルマイト層、ニッケルめっき層、クロムメッキ層、レイデント処理(登録商標)により形成されたレイデント皮膜(当該処理相当品含む)、焼き付け塗装により形成された塗装皮膜、タフラム(登録商標)処理により形成されたタフラム皮膜、カシマコート(登録商標)処理により形成されたカシマコート皮膜、および被回転検出部25がエッチング処理されて表出したエッチング表面を含む表面層からなる群から選択される少なくとも1つであればよい。言い換えると、被回転検出部25は、回転軸1に対しては施すことが困難または不可能な表面処理により形成された表面処理層を含んでいてもよい。被回転検出部25を構成する材料がアルミニウムである場合には、被回転検出部25の第1部分26は第1の表面処理層としてたとえばアルマイト層または黒色の塗装皮膜を有しており、第2部分27は第2の表面処理層としてたとえばニッケルめっき層を有している。あるいは、第1部分26および第2部分27は、第1の表面処理層および第2の表面処理層として、互いに異なる色に着色されているアルマイト層を有していてもよい。また、被回転検出部25を構成する材料がステンレスである場合には、第1部分26は第1の表面処理層としてたとえばレイデント皮膜または黒色の塗装皮膜を有しており、第2部分27は第2の表面処理層としてたとえばクロムめっき層を有していてもよい。
The first surface treatment layer and the second surface treatment layer are formed by an alumite layer, a nickel plating layer, a chrome plating layer, a radiant film (including the equivalent of the treatment) formed by radiant treatment (registered trademark), and baking coating. Coating film formed, Tafram film formed by Tafram (registered trademark) process, Kashima Coat film formed by Kashima coat (registered trademark) process, and etched surface exposed by
図1および図2に示されるように、被回転検出部25の前方端面25Aは、駆動用給気ノズル14の後側に位置する面とラジアル方向において連なるようにもうけられているか、または駆動用給気ノズル14の後側に位置する面よりも後側に位置するように設けられている。被回転検出部25の後方端面25Bは、たとえば回転軸1(軸部1Aおよびスラスト板部1B)のスラスト方向における後側に位置する端面1Eとラジアル方向に延びる同一面上に形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図1に示されるように、被回転検出部25の一部分は、回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置に設けられている。上記一部分と回転方向に間隔を隔てて設けられている被回転検出部25の他の一部分は、回転軸1が回転方向に回転されたときに、回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置に配置される。
As shown in FIG. 1, a part of the
<筐体の構成>
エアタービン駆動スピンドル100において、回転軸1は筐体に回転可能に収容されている。筐体は、図1に示されるように、回転軸1のスラスト板部1Bに対して前側に位置する部分と後側に位置する部分とを含んでいる。筐体は、当該前側に位置する部分において、ハウジングアッシ2とカバー5とを含んでいる。筐体は、当該後側に位置する部分において、ノズル板6を含んでいる。
<Case configuration>
In the air
図1に示されるように、ノズル板6には、回転検出部挿入孔18が形成されている。回転検出部挿入孔18は、ノズル板6において、たとえば排気空間20よりもラジアル方向における外周側に形成されている。回転検出部挿入孔18は、被回転検出部25に対してレーザ光などの光を照射し、反射光を得る回転検出センサ(図示しない)を挿入し、信号線を配線するために設けられている。回転検出部挿入孔18は、たとえば、ノズル板6において被回転検出部25とスラスト方向に対向する面から当該面よりも後側に位置する面まで延びるように形成された貫通孔である。回転検出センサは、エアタービン駆動スピンドル100の外部から回転検出部挿入孔18内に挿入され、固定されている。回転検出部挿入孔18は、少なくとも一部が被回転検出部25とスラスト方向において重なる位置に形成されている限りにおいて、回転方向の任意の位置に設けられていればよい。
As shown in FIG. 1, the
図1および図2に示されるように、ノズル板6の内部には、駆動用気体を回転翼15に給気する給気部および駆動用気体を回転翼15から排気する排気部が形成されている。具体的には、ノズル板6には、給気部として、駆動用気体給気口12、駆動用給気路13、および駆動用給気ノズル14が形成されている。給気部はスラスト板部1Bよりもラジアル方向の外周側に位置するノズル板6の領域上に設けられている。一方、ノズル板6には、排気部として、回転軸1よりも後側に位置する排気空間20、および排気孔11が形成されている。図1および図2に示されるように、排気部はスラスト方向においてスラスト板部1Bと重なるとともに、スラスト板部1Bよりも後端側に位置するノズル板6の領域上に設けられている。駆動用気体は、給気部により回転翼15に対しラジアル方向の外周側から供給され、排気部により回転翼15に対しスラスト方向の後端側へ排気される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図1に示されるように、ハウジングアッシ2は、回転軸1の軸部1Aの一部を収容しており、ハウジング3および軸受スリーブ4からなる。カバー5は、ハウジングアッシ2を収容しており、Oリングなどを介してハウジング3と接続されている。ハウジングアッシ2、およびカバー5は、回転軸1の軸部1Aと軸受スリーブ4との間およびスラスト板部1Bと軸受スリーブ4との間にそれぞれ軸受隙間を形成可能に設けられている。また、ハウジングアッシ2およびカバー5は、当該軸受隙間に気体を供給可能に設けられている。具体的には、ハウジングアッシ2およびカバー5は、それぞれ軸受気体供給路10を有しており、それぞれの軸受気体供給路10は互いに接続されている。軸受気体供給路10は、その一方端がカバー5の外周面上の軸受気体供給口9と接続されており、他方端が回転軸1の軸部1Aと軸受スリーブ4との軸受隙間、および回転軸1のスラスト板部1Bと軸受スリーブ4との軸受隙間に接続されている。軸受気体供給路10において軸受隙間と接続されている部分の孔径は軸受気体供給口9の孔径よりも小さく、軸受気体供給路10において軸受隙間と接続されている部分にはいわゆる絞りが形成されている。ジャーナル軸受7は、軸受気体供給口9から軸受気体供給路10に供給された気体が回転軸1の軸部1Aと軸受スリーブ4との軸受隙間に供給されることにより構成される。スラスト軸受8は、軸受気体供給口9から軸受気体供給路10に供給された気体が回転軸1のスラスト板部1Bと軸受スリーブ4との軸受隙間に供給されることにより押圧力と後述する磁石16の吸引力により構成される。
As shown in FIG. 1, the
図1に示されるように、ハウジング3には、スラスト板部1Bとスラスト方向において対向する領域に磁石16が配置されている。磁石16はスラスト板部1Bに対して磁気力を印加可能に設けられている。磁石16は、たとえば永久磁石である。これにより磁石16はスラスト板部1Bを磁気力により吸引する。磁石16は、たとえば回転翼15が形成されているスラスト板部1Bの薄肉部1Dとスラスト方向において対向するように設けられている。磁石16は、スラスト方向から見たときの平面形状がたとえば円環形状である。
As shown in FIG. 1, a
図1に示されるように、カバー5は、スラスト方向においてノズル板6と固定されている。ノズル板6は、上述した構成を備えており、回転軸1においてハウジングアッシ2およびカバー5に収容されていない部分(スラスト板部のラジアル方向における外周端面およびスラスト板部の後側に位置する面)を囲むように形成されている。
As shown in FIG. 1, the
<エアタービン駆動スピンドルの動作>
次に、図2および図5を参照して、本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルの動作について説明する。図示しないエアコンプレッサなどの駆動用気体供給源から供給された駆動用気体は、駆動用気体給気口12から駆動用給気路13を通じて駆動用給気ノズル14に供給される。駆動用給気ノズル14に供給された駆動用気体は、回転軸1のスラスト板部の回転翼15に向けて、スラスト板部1Bの接線方向(回転方向R)とほぼ平行な方向に沿って噴出される。回転翼15が噴出された駆動用気体を受けることにより、回転翼15には駆動用気体に与えた力の反力が作用し、回転軸1のスラスト板部は回転トルクを与えられる。これにより、回転軸1は回転方向Rに沿って回転する。回転翼15に噴出された駆動用気体は、スラスト板部1Bの薄肉部1Dとノズル板6とに挟まれており、かつ隣り合う回転翼15に挟まれている空間21から排気空間20に達して排気孔11から外部に排気される。回転軸1の回転数は、たとえば数万rpm以上とすることができる。つまり、上述したエアタービン駆動スピンドル100は、たとえば静電塗装機用スピンドルに好適である。
<Operation of air turbine drive spindle>
Next, the operation of the air turbine drive spindle according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. A driving gas supplied from a driving gas supply source such as an air compressor (not shown) is supplied from the driving
回転軸1の回転数は、ノズル板6の回転検出部挿入孔18に挿入された回転検出センサ、および回転検出センサに接続された換算器によって測定される。具体的には、回転検出センサは、被回転検出部25に光を照射し、得られた反射光の光量差(明暗)を検出する。回転軸1が一回転するときに、第1部分26と第2部分27との2つの境界部が回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置を通過するため、回転検出センサは第1部分26からの反射光と第2部分27からの反射光との光量差を2度検出する。換算器は、回転検出センサが検出した上記光量差(明暗)に基づいて、1分間当たりの回転数に換算する。このようにして、エアタービン駆動スピンドルの回転軸1の回転数が測定される。
The rotation speed of the
<作用効果>
図1〜図3に示されるように、エアタービン駆動スピンドル100は、回転軸1と、回転軸1と固定され、回転軸1の回転数を測定するための被回転検出部25とを備える。回転軸1と被回転検出部25とは、別体として構成されている。
<Effect>
As shown in FIGS. 1 to 3, the air
このようにすれば、回転軸と被回転検出部とが一体として構成されている従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、回転軸1および被回転検出部25の設計自由度を高めることができる。
In this way, the degree of freedom in designing the
具体的には、被回転検出部25を構成する材料は回転軸1を構成する材料と異なる材料とすることができ、被回転検出部25の構成材料の選択の自由度を高めることができる。そのため、被回転検出部25を構成する材料に、回転軸1を構成する材料に対して実施することが不可能な表面処理を実施可能な材料を採用することができる。これにより、被回転検出部25に形成される回転検出に必要なパターン(明暗のコントラストを構成するための第1の表面処理層および第2の表面処理層)の選択肢を広げることができる。また、被回転検出部25を構成する材料は、回転軸1を構成する材料よりも比重の低い材料とすることができる。この場合、回転軸1と被回転検出部25とが同一の材料で構成されている場合と比べて、回転軸1および被回転検出部25の総質量を軽くすることができる。
Specifically, the material constituting the
また、従来のエアタービン駆動スピンドルでは、被回転検出部の後方端面に明暗のコントラストを連続して形成する必要があるため、被回転検出部は表面に凹凸が形成されている領域(複数の回転翼が互いに間隔を隔てて形成されている領域)を避けて形成されており、回転翼は回転検出部挿入孔とスラスト方向において重なる位置に形成されていなかった。つまり、従来のエアタービン駆動スピンドルでは、回転軸と被回転検出部の相対的な位置関係は制限されていた。 In addition, in the conventional air turbine drive spindle, since it is necessary to continuously form a contrast of light and dark on the rear end face of the rotation detection unit, the rotation detection unit has a surface with unevenness (a plurality of rotations). The blade is formed so as to avoid the region where the blades are spaced apart from each other), and the rotor blade is not formed at a position overlapping the rotation detection portion insertion hole in the thrust direction. That is, in the conventional air turbine drive spindle, the relative positional relationship between the rotation shaft and the rotation detection unit is limited.
これに対し、エアタービン駆動スピンドル100によれば、被回転検出部25と回転軸1とが別体として構成されているため、回転軸1と被回転検出部25との相対的な位置関係の制限を緩和することができる。たとえば後方端面25Bに明暗のコントラストが連続して形成された被回転検出部25の少なくとも一部と複数の回転翼15とをスラスト方向において重ねることができる。言い換えると、回転翼15は、ノズル板6に形成された回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置に形成され得る。つまり、たとえばエアタービン駆動スピンドル100が適用される静電塗装装置などの仕様によりノズル板6の仕様(回転検出部挿入孔18の位置など)が決定されている場合にも、回転検出部挿入孔18とスラスト方向において重なる位置に被回転検出部25が設けられている限りにおいて、回転軸1の仕様(回転翼15の位置など)を変更することができる。このように、エアタービン駆動スピンドル100によれば、従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、筐体(ノズル板6)に対する回転軸1の設計自由度を高めることができる。
On the other hand, according to the air
上記エアタービン駆動スピンドル100において、回転軸1は、軸部1Aと、軸部1Aに対しラジアル方向に延びるように形成されているスラスト板部1Bとを含む。被回転検出部25は、スラスト板部1Bに固定されている。
In the air
このようにすれば、回転軸1のスラスト板部1B上の任意の位置に被回転検出部25を固定することができるため、上述のように回転軸1および被回転検出部25の設計自由度を高めることができる。
In this way, the
図1〜図3に示されるように、上記エアタービン駆動スピンドル100において、回転軸1のスラスト板部1Bは、スラスト板部1B上にスラスト方向に延びるように形成されている複数の回転翼15を含む。複数の回転翼15は、スラスト板部1Bと接続されているスラスト方向における一端と、スラスト方向において一端の反対側(後側)に位置する他端15Eとを有する。被回転検出部25は、複数の回転翼15の他端15Eに固定されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, in the air
このようにすれば、後方端面25Bに明暗のコントラストが連続して形成された被回転検出部25が複数の回転翼15とスラスト方向において重なるように設けることができる。そのため、回転軸と被回転検出部とが一体として設けられ、かつ被回転検出部のラジアル方向の外周側に回転翼が形成されていた従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、ノズル板6に対する被回転検出部25の相対的な位置関係を変更することなく、回転翼15をラジアル方向の内周側に設けることができる。その結果、エアタービン駆動スピンドル100によれば、従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、回転軸1を小型化することができる。
In this way, the
上記エアタービン駆動スピンドル100において、被回転検出部25は、回転軸1の回転数を光学的に測定するためのものであり、被回転検出部25において測定対象となる部分は、回転軸1の表面とは異なる表面処理が施されていてもよい。
In the air
このようにすれば、回転軸と被回転検出部とが一体として構成されていた従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、被回転検出部25において測定対象となる部分に施される表面処理の選択肢を広げることができる。たとえば、被回転検出部25の第1部分26および第2部分27のうちの少なくとも一方には、回転軸1の表面とは異なる表面処理であって、製造コストまたは生産効率などの観点から好適な表面処理が施されている。
In this way, as compared with the conventional air turbine drive spindle in which the rotation shaft and the rotation detection unit are configured integrally, a surface treatment option applied to the portion to be measured in the
上記被回転検出部25において測定対象となる部分は、第1の表面処理層を有する第1部分26と、第1の表面処理層と異なる第2の表面処理層を有する第2部分27とを含んでいてもよい。言い換えると、被回転検出部25において第1部分26に形成された第1の表面処理層および第2部分27に形成された第2の表面処理層は、互いに異なる表面処理方法により形成されていてもよい。
The part to be measured in the
また、上記被回転検出部25において測定対象となる部分は、第1の表面処理層を有する第1部分26および第2部分27とを含んでいてもよい。このとき、第1部分26および第2部分27は、可視光が照射されたときの反射光量が互いに異なる部分、または可視光が照射されたときの反射光のスペクトルにおいてピーク波長が互いに異なる部分である。言い換えると、被回転検出部25において第1部分26に形成された第1の表面処理層および第2部分27に形成された第2の表面処理層は、同種類の表面処理により形成されており、かつ異なる色に着色されていてもよい。
In addition, the portion to be measured in the
上述のように、エアタービン駆動スピンドル100は、従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、被回転検出部25に施すことができる表面処理の選択肢が広いため、第1の表面処理層および第2の表面処理層の組み合わせパターン数が多い。その結果、被回転検出部25の第1の表面処理層および第2の表面処理層の組み合わせは、回転検出センサの仕様、製造コスト、生産効率などの観点から、適宜選択され得る。つまり、上記構成を備えるエアタービン駆動スピンドル100によれば、高い回転検出精度を実現しながらも、製造コストの低減または生産効率の向上を実現し得る。
As described above, the air
上記エアタービン駆動スピンドル100において、回転軸1と被回転検出部25との接続部は、焼き嵌め部、圧入部、カシメ部、接着部、溶接部、ろう接部、溶着部、ねじ固定部、および嵌め込み部からなる群から選択される少なくとも1つである。
In the air
このようにすれば、別体として構成されている回転軸1と被回転検出部25とを高速回転に耐え得る十分な強度で固定することができる。
If it does in this way, the
<変形例>
図4および図5は、エアタービン駆動スピンドル100の変形例を示す断面図である。図4および図5に示されるように、回転翼15と被回転検出部25との接続部は、嵌め合い部を含んでいてもよい。具体的には、回転翼15は、ラジアル方向の内周側に位置する一部分が外周側に位置する他の部分と比べて後側に突出している凸部150を有していてもよい。一方、被回転検出部25は、ラジアル方向の内周側に位置する一部分が外周側に位置する他の部分と比べて後側に凹んでいる凹部250を有していてもよい。このようにすれば、回転翼15の凸部150と被回転検出部25の凹部250とが嵌め合されることにより、被回転検出部25のラジアル方向の中心が回転軸1の回転中心O(図1参照)と重なるように、回転翼15(回転軸1)と被回転検出部25とを容易に位置決めすることができる。
<Modification>
4 and 5 are cross-sectional views showing modifications of the air
(実施の形態2)
次に、図6および図7を参照して、実施の形態2に係るエアタービン駆動スピンドル110について説明する。図6は、実施の形態2に係るエアタービン駆動スピンドル110を説明するための部分断面図である。図7は、図6に示す回転軸1および被回転検出部25とを説明するための分解斜視図であり、エアタービン駆動スピンドル110における他の構成部材を図示していない。実施の形態2に係るエアタービン駆動スピンドル110は、基本的には実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と同様の構成を備えるが、被回転検出部25が回転翼15ではなくスラスト板部1Bの厚肉部1Cに固定されている点で異なる。
(Embodiment 2)
Next, an air
図6および図7に示されるように、厚肉部1Cには、回転軸1の後側に位置する端面1Eに対して前側に凹んでいる凹部19が形成されている。凹部19は、ノズル板6に形成されている回転検出部挿入孔18(図1参照)とスラスト方向において重なる位置に形成されている。凹部19は、厚肉部1Cにおいて任意の場所に形成されていればよいが、たとえば端面1E上に開口しているとともに、厚肉部1Cと薄肉部1Dとの境界領域に面している厚肉部1Cの外周端面上に開口していてもよい。言い換えると、厚肉部1Cは、ラジアル方向の内周側に位置する部分が外周側に位置する部分よりも凸状に設けられており、凹部19が厚肉部1Cの段差部として構成されていてもよい。被回転検出部25の前方端面25Aは、厚肉部1Cの凹部19において前側に位置する面と接続され、被回転検出部25のラジアル方向の内周側に位置する面は、凹部19において内周側に位置する面と接続されている。被回転検出部25の後方端面25Bは、たとえば回転軸1の後側に位置する端面1Eとラジアル方向に延びる同一面上に形成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the
回転検出部挿入孔18(図1参照)は、エアタービン駆動スピンドル100と同様に、ノズル板6において被回転検出部25とスラスト方向において重なる位置に形成されている。
The rotation detection unit insertion hole 18 (see FIG. 1) is formed at a position overlapping the
このようにしても、エアタービン駆動スピンドル110は、回転軸1と被回転検出部25とが別体として構成されているため、実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と同様に、被回転検出部25の設計自由度を高めることができる。さらに、回転軸1のスラスト板部1Bの厚肉部1Cに形成されている凹部19と、被回転検出部25とが嵌め合されることにより、被回転検出部25のラジアル方向の中心が回転軸1の回転中心O(図1参照)と重なるように、厚肉部1C(回転軸1)と被回転検出部25とを容易に位置決めすることができる。
Even in this case, in the air
(実施の形態3)
次に、図8および図9を参照して、実施の形態3に係るエアタービン駆動スピンドル120について説明する。図8は、実施の形態3に係るエアタービン駆動スピンドル120を説明するための部分断面図である。図9は、図8に示す回転軸1および被回転検出部25とを説明するための分解斜視図であり、エアタービン駆動スピンドル120における他の構成部材を図示していない。実施の形態3に係るエアタービン駆動スピンドル120は、基本的には実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と同様の構成を備えるが、被回転検出部25がスラスト方向に延びるように形成されている複数の回転翼15を含む点で異なる。
(Embodiment 3)
Next, an air
被回転検出部25は、回転検出センサによる測定対象となる部分(第1部分26および第2部分27)と、当該測定対象とならない部分(第3部分28)とを含む。第1部分26および第2部分27は、実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と基本的に同様の構成を備えている。第3部分28は、第1部分26および第2部分27を囲むように設けられている。言い換えると、第3部分28は、第1部分26および第2部分27よりもラジアル方向の外周側に設けられている。
The
被回転検出部25は、第3部分28において複数の回転翼15を含んでいる。つまり、複数の回転翼15は、回転軸1とは別体として構成されている。被回転検出部25は、第1部分26および第2部分27において複数の回転翼15を含んでいない。複数の回転翼15は、実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と基本的に同様の構成を備えている。第3部分28は、互いに間隔を隔てて設けられている複数の回転翼15によって、その後側に位置する面が凹凸を有している。被回転検出部25の前側に位置する端面は、たとえば第1部分26、第2部分27、および第3部分28において同一平面を成すように設けられている。
The
被回転検出部25は、第1部分26および第2部分27のラジアル方向の内周側に位置する端面が厚肉部1Cの外周側に位置する端面と接触するとともに、第1部分26、第2部分27、および第3部分28の前側に位置する端面が薄肉部1Dの後側に位置する端面と接触した状態で、回転軸1と固定されている。複数の回転翼15の後側に位置する他端15Eと、回転軸1の後側に位置する端面1Eとは、たとえばラジアル方向に延びる同一面上に形成されている。
The
このようにしても、エアタービン駆動スピンドル120は、回転軸1と被回転検出部25とが別体として構成されているため、実施の形態1に係るエアタービン駆動スピンドル100と同様に、被回転検出部25の設計自由度を高めることができる。また、被回転検出部25は、回転検出センサによる測定対象となる第1部分26および第2部分27において複数の回転翼15を含んでいないため、エアタービン駆動スピンドル120によれば高い回転検出精度を実現することができる。
Even in this case, in the air
被回転検出部25(第1部分26、第2部分27、第3部分28、および複数の回転翼15)を構成する材料は、回転軸1を構成する材料と異なっていてもよい。被回転検出部25を構成する材料は、回転軸1を構成する材料よりも比重が低い材料であってもよい。このようにすれば、エアタービン駆動スピンドル100と比べて回転翼15の軽量化を実現できる。つまり、エアタービン駆動スピンドル120によれば、回転軸と被回転検出部とが一体として構成されていた従来のエアタービン駆動スピンドルと比べて、被回転検出部25および回転翼15を同時に軽量化することができ、回転軸1および被回転検出部25の総質量をさらに軽くすることができる。
The material constituting the rotation detection unit 25 (the
なお、エアタービン駆動スピンドル100,110,120において、被回転検出部25は、それぞれ半円環状に設けられている第1部分26および第2部分27を1つずつ含んでいるが、これに限られるものでは無い。被回転検出部25は、第1部分26および第2部分27が回転方向において交互に連なるように設けられている限りにおいて、それぞれ複数含んでいてもよい。
In the air
たとえば、被回転検出部25は、それぞれ扇型形状に設けられている第1部分26および第2部分27を2つずつ含み、第1部分26と第2部分27とが交互に連なるように設けられていてもよい。このようにすれば、回転軸1が一回転するときに、第1部分26と第2部分27との4つの境界部が回転検出部挿入孔18(図1参照)とスラスト方向において重なる位置を通過するため、回転検出センサは第1部分26からの反射光と第2部分27からの反射光との光量差を4度検出する。このようにしても、換算器が回転検出センサによって検出された上記光量差(明暗)に基づいて1分間当たりの回転数に換算することにより、エアタービン駆動スピンドルの回転軸1の回転数を測定することができる。
For example, the
以上のように本発明の実施の形態について説明を行ったが、上述の実施の形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the above-described embodiment can be variously modified. The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
1 回転軸、1A 軸部、1B スラスト板部、1C 厚肉部、1D 薄肉部、1E 端面、2 ハウジングアッシ、3 ハウジング、4 軸受スリーブ、5 カバー、6 ノズル板、7 ジャーナル軸受、8 スラスト軸受、9 軸受気体供給口、10 軸受気体供給路、11 排気孔、12 駆動用気体給気口、13 駆動用給気路、14 駆動用給気ノズル、15 回転翼、16 磁石、18 回転検出部挿入孔、19,250 凹部、20 排気空間、25 被回転検出部、25A 前方端面、25B 後方端面、26 第1部分、27 第2部分、28 第3部分、100,110,120 エアタービン駆動スピンドル。 1 Rotating shaft, 1A shaft portion, 1B thrust plate portion, 1C thick portion, 1D thin portion, 1E end surface, 2 housing assembly, 3 housing, 4 bearing sleeve, 5 cover, 6 nozzle plate, 7 journal bearing, 8 thrust bearing , 9 Bearing gas supply port, 10 Bearing gas supply path, 11 Exhaust hole, 12 Driving gas supply port, 13 Driving air supply path, 14 Driving air supply nozzle, 15 Rotor blade, 16 Magnet, 18 Rotation detector Insertion hole, 19, 250 recess, 20 exhaust space, 25 rotation detection part, 25A front end face, 25B rear end face, 26 first part, 27 second part, 28 third part, 100, 110, 120 Air turbine drive spindle .
Claims (7)
前記筐体の内部に回転可能に保持されている回転軸と、
前記回転軸と固定され、前記回転軸の回転数を測定するための被回転検出部とを備え、
前記回転軸は、軸部と、前記軸部に対しラジアル方向に延びるように形成されているスラスト板部とを含み、
前記回転軸の前記スラスト板部は、前記スラスト板部上にスラスト方向に延びるように形成されている複数の回転翼を含み、
前記筐体には、前記回転翼に気体を供給するための流通路が形成されており、
前記回転翼に前記流通路から気体が供給されることにより前記回転軸が回転駆動されるエアタービン駆動スピンドルにおいて、
前記回転軸と前記被回転検出部とは、別体として構成されており、
前記回転軸と前記被回転検出部との接続部は、接着部、溶接部、ろう接部、および溶着部からなる群から選択される少なくとも1つである、エアタービン駆動スピンドル。 A housing,
A rotating shaft rotatably held inside the housing;
A rotation detection unit that is fixed to the rotation shaft and measures the number of rotations of the rotation shaft;
The rotating shaft includes a shaft portion and a thrust plate portion formed to extend in a radial direction with respect to the shaft portion,
The thrust plate portion of the rotating shaft includes a plurality of rotating blades formed on the thrust plate portion so as to extend in a thrust direction,
The casing is formed with a flow path for supplying gas to the rotor blades,
In the air turbine drive spindle in which the rotary shaft is driven to rotate by supplying gas from the flow passage to the rotary blade,
The rotation shaft and the rotation detection unit are configured as separate bodies ,
The connection part of the said rotating shaft and the said to-be-rotated detection part is an air turbine drive spindle which is at least 1 selected from the group which consists of an adhesion part, a welding part, a brazing part, and a welding part .
前記被回転検出部は、複数の前記回転翼の前記他端に固定されている、請求項2に記載のエアタービン駆動スピンドル。 The plurality of rotor blades have one end in the thrust direction connected to the thrust plate portion, and the other end located on the opposite side of the one end in the thrust direction,
The air turbine drive spindle according to claim 2, wherein the rotation detection unit is fixed to the other end of the plurality of rotary blades.
前記被回転検出部において測定対象となる部分は、前記回転軸の表面とは異なる表面処理が施されている、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のエアタービン駆動スピンドル。 The rotation detection unit is for optically measuring the rotation speed of the rotation shaft,
The air turbine drive spindle according to any one of claims 1 to 4, wherein a portion to be measured in the rotation detection unit is subjected to a surface treatment different from the surface of the rotation shaft.
前記第1部分および前記第2部分は、可視光が照射されたときの反射光量が互いに異なる部分、または可視光が照射されたときの反射光のスペクトルにおいてピーク波長が互いに異なる部分である、請求項5に記載のエアタービン駆動スピンドル。 The part to be measured in the rotation detection unit includes a first part and a second part having a first surface treatment layer,
The first portion and the second portion are portions having different amounts of reflected light when irradiated with visible light, or portions having different peak wavelengths in a spectrum of reflected light when irradiated with visible light. Item 6. The air turbine drive spindle according to Item 5.
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