JP6538600B2 - Solution film forming apparatus and method - Google Patents

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Description

本発明は、溶液製膜装置及び方法に関するものである。   The present invention relates to a solution casting apparatus and method.

スマートフォンやタブレット端末などに搭載される中小型ディスプレイの市場においては、さらなる高精細化が求められている。そのため、それらディスプレイに用いられるフイルムに対しては、フイルム面における平滑度を従来よりもさらに高くすることが要請されている。また、それらディスプレイに用いるフイルムに対しては、厚みをより薄くすること、具体的には40μm以下にすることも併せて求められている。   In the market of small-to-medium-sized displays mounted in smartphones and tablet terminals, further high definition is required. Therefore, for the films used for these displays, it is required that the smoothness on the film surface be further enhanced than before. In addition, for films used for these displays, it is also required to make the thickness thinner, specifically 40 μm or less.

通常、フイルムは、長尺に製造され、目的とする大きさにカットされて使用に供される。長尺のフイルムの製造方法としては、大きく分類して、溶液製膜方法と溶融製膜方法とがある。このうち、溶液製膜方法は、フイルム面がより平滑なフイルムを製造することができる点で、溶融製膜方法より優位とされてきた。溶液製膜方法は、ポリマーが溶媒に溶解したドープを、流延ダイから走行する支持体上に流出して流延膜を形成し、この流延膜を流延支持体から剥がしてフイルムを製造する方法である。支持体上に流延された流延膜は、支持体から剥ぎ取られる剥ぎ取り位置へ向けて移送される間に乾燥風が送風されるなどにより溶媒が揮発され、剥ぎ取り後に搬送可能な程度まで乾燥される。   Usually, the film is manufactured in a long size, cut into a desired size and used. The production method of the long film is roughly classified into a solution film forming method and a melt film forming method. Among them, the solution film forming method has been superior to the melt film forming method in that a film having a smoother film surface can be produced. In the solution film forming method, a dope in which a polymer is dissolved in a solvent flows out from a casting die onto a running support to form a cast film, and the cast film is peeled off from the cast support to produce a film. How to The cast film cast on the support is such that the solvent is volatilized by the blowing of the drying air while being transferred to the peeling position where the solvent is peeled off from the support, and the solvent can be transported after peeling. Until dried.

一方、流延膜、特に流延直後の流延膜は、表面が不安定なため、急激に溶媒を揮発させてしまうと、厚みむらが発生してしまうといった問題がある。このため、下記特許文献1では、流延膜に対して溶媒を含む溶媒ガスを吹き付けることにより厚みむらを防止している。また、下記特許文献2では、溶媒ガスの吸引と溶媒ガスの供給とを同時に行い、溶媒の急激な揮発を抑制することにより厚みむらを防止している。   On the other hand, the casting film, in particular, the casting film immediately after casting, has an unstable surface, and if the solvent is volatilized rapidly, there is a problem that unevenness in thickness occurs. For this reason, in the following patent document 1, thickness unevenness is prevented by spraying the solvent gas containing a solvent with respect to a casting membrane. Further, in Patent Document 2 below, suction of the solvent gas and supply of the solvent gas are simultaneously performed to suppress abrupt evaporation of the solvent, thereby preventing thickness unevenness.

特開2013−156488号公報JP, 2013-156488, A 特開2005−096182号公報JP, 2005-096182, A

しかし、上記特許文献1のように流延膜に溶媒ガスを吹き付けるだけでは、流延膜の乾燥が進まず、剥ぎ取りまでの時間が長くなってしまい、生産効率が悪いといった問題があった。これに対して、上記特許文献2では、所定のエリア内において溶媒ガスの供給だけでなく吸引も行うため、このエリア内の溶媒の濃度を流延膜の乾燥が適度に進む程度に制御することによって、生産効率の低下を抑えることも可能である。   However, if the solvent gas is sprayed to the casting membrane as in Patent Document 1 described above, the drying of the casting membrane does not proceed, and the time until peeling is long, and there is a problem that the production efficiency is poor. On the other hand, in Patent Document 2 described above, since not only the supply of the solvent gas but also the suction is performed in a predetermined area, the concentration of the solvent in this area is controlled to an extent that the drying of the casting film proceeds appropriately. It is also possible to suppress the decrease in production efficiency.

しかしながら、上記特許文献2では、溶媒ガスの吸引位置と供給位置とについては配慮されていないため、エリア内の各位置における溶媒ガスの濃度が異なり、これに起因して流延膜の各位置における乾燥の度合いが異なってしまい、厚みむらが生じてしまうといった問題があった。   However, in Patent Document 2 described above, since the suction position and the supply position of the solvent gas are not taken into consideration, the concentration of the solvent gas at each position in the area is different, which causes the cast film to have each position. There is a problem that the degree of drying differs and thickness unevenness occurs.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、生産効率の低下を抑えながら、厚みむらも防止できる溶液製膜装置及び方法を提供することを目的としている。   This invention is made in view of the said subject, and it aims at providing the solution film-forming apparatus and method which can also prevent thickness nonuniformity, suppressing the fall of production efficiency.

上記課題を解決するために、本発明の溶液製膜装置は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する溶液製膜装置において、流延膜の側縁に沿って設けられ、支持体の上方の空間を、流延膜の流延される内側領域と流延膜の外側の外側領域とに仕切る一対の遮風板と、内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引する溶媒ガス吸引機構と、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、支持体と遮風版との間の隙間に供給する溶媒ガス供給機構と、を備えている。   In order to solve the above problems, a solution casting apparatus according to the present invention is a solution casting apparatus in which a polymer solution in which a polymer is dissolved in a solvent is cast on a running support to form a cast film. A pair of wind shields provided along the side edges of the spread film and dividing the space above the support into an inner area where the cast film is cast and an outer area outside the cast film, and an inner area A solvent gas suction mechanism for suctioning a solvent gas containing a solvent volatilized from a casting film by suction from a suction port disposed inside, a solvent gas containing a solvent for dissolving a polymer, a support and a windproof plate And a solvent gas supply mechanism for supplying a gap between the two.

流延膜中の溶媒の質量をMS、流延膜の質量をMFとしたときに、{MS/(MF−MS)}×100で示される溶媒含有率が、200%以上のエリアにおいて、溶媒ガス吸引機構による吸引と、溶媒ガス供給機構による供給とを行うことが好ましい。   When the mass of the solvent in the casting membrane is MS and the mass of the casting membrane is MF, the solvent content in the area represented by {MS / (MF-MS)} × 100 is 200% or more It is preferable to perform suction by the gas suction mechanism and supply by the solvent gas supply mechanism.

一方の遮風版の上端部と、他方の遮風版の上端部とを接続する蓋部材を設け、蓋部材により内側領域を上方から覆うことが好ましい。   It is preferable to provide a lid member connecting the upper end portion of one of the wind shield plates and the upper end portion of the other wind shield plate, and to cover the inner region from above with the lid member.

内側領域には、流延膜に対して赤外線を照射して流延膜に含まれる溶媒の揮発を促す赤外線照射機が設けられていてもよい。   The inner region may be provided with an infrared irradiator for irradiating the cast film with infrared light to promote volatilization of the solvent contained in the cast film.

溶媒ガス供給機構は、遮風版の下端部の側方に設けられた供給口から、供給を行うものでもよい。   The solvent gas supply mechanism may supply from a supply port provided on the side of the lower end of the windproof plate.

溶媒ガス供給機構は、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、供給口から下方の支持体ヘ向けて垂直に供給するものでもよい。   The solvent gas supply mechanism may vertically supply a solvent gas containing a solvent for dissolving the polymer from the supply port toward the lower support.

溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をA、溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をB、としたときに、A/5≦Bを満たすことが好ましい。   A / 5 ≦ B when the concentration of the suction gas as the solvent gas suctioned by the solvent gas suction mechanism is A, and the concentration of the supply gas as the solvent gas supplied by the solvent gas supply mechanism is B. preferable.

溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をA、溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をB、としたときに、B≦Aを満たすことが好ましい。   It is preferable to satisfy B ≦ A, where A is a concentration of suction gas which is a solvent gas to be sucked by the solvent gas suction mechanism, and B is a concentration of a supply gas which is a solvent gas supplied by the solvent gas supply mechanism.

溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスの濃度を測定するセンサと、センサの測定結果に基づいて、溶媒ガス供給機構から供給する溶媒ガスの濃度を制御する供給ガス濃度制御機構と、を備えることが好ましい。   A sensor for measuring the concentration of the solvent gas sucked by the solvent gas suction mechanism, and a supply gas concentration control mechanism for controlling the concentration of the solvent gas supplied from the solvent gas supply mechanism based on the measurement result of the sensor preferable.

溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスを含む溶媒ガスを、溶媒ガス供給機構から供給してもよい。   The solvent gas containing the solvent gas sucked by the solvent gas suction mechanism may be supplied from the solvent gas supply mechanism.

支持体から流延膜を剥ぎ取ることによって製造されるフイルムの厚さが40μm以下であってもよい。   The thickness of the film produced by peeling the cast film from the support may be 40 μm or less.

また、上記目的を達成するために本発明の溶液製膜方法は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する流延膜形成ステップと、流延膜を支持体から剥ぎ取る剥ぎ取り位置まで移送する移送ステップと、剥ぎ取り位置において流延膜を支持体から剥ぎ取る剥ぎ取りステップと、を備えたて溶液製膜方法であり、移送ステップにおいて、流延膜の側縁に沿って設けられた一対の遮風板により、支持体の上方の空間を、流延膜の流延される内側領域と流延膜の外側の外側領域とに仕切り、内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引し、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、支持体と遮風版との間の隙間から供給する。   Further, in order to achieve the above object, according to the solution casting method of the present invention, there is provided a casting film forming step of casting a polymer solution in which a polymer is dissolved in a solvent onto a running support to form a casting film. A transfer step of transferring the cast film to the peeling position to peel away from the support, and a peeling step of peeling the cast film from the support at the peeling position; In the step, a space above the support is formed by a pair of wind shields provided along the side edge of the casting membrane, an inner area where the casting membrane is cast and an outer area outside the casting membrane. The support gas and the air shield plate are provided with a solvent gas containing a solvent that dissolves the polymer, suctions a solvent gas containing the solvent volatilized from the cast film, and sucks in the solvent gas containing the solvent volatilized from the cast film. Supply through the gap between

本発明によれば、流延膜の上方の領域(内側領域)から溶媒ガスを吸引して流延膜の乾燥を進めることで生産効率の低下を抑えることができる。また、本発明によれば、溶媒ガスの吸引に伴って新たな空気が流入する部位、すなわち、遮風版と支持体との隙間から溶媒ガスを供給することで流延膜の表面近傍の各位置における溶媒濃度を均斉化でき(流延膜の側縁部近傍の溶媒濃度が流延膜の中央部近傍の溶媒濃度に対して低下してしまうことを防止でき)、厚みむらも防止できる。   According to the present invention, it is possible to suppress a decrease in production efficiency by drawing solvent gas from the region above the cast film (inner region) to advance the drying of the cast film. Further, according to the present invention, each portion in the vicinity of the surface of the casting film is supplied with the solvent gas from the site where new air flows in with the suction of the solvent gas, that is, the gap between the windproof plate and the support. The solvent concentration at the position can be made uniform (the solvent concentration near the side edge of the cast film can be prevented from decreasing relative to the solvent concentration near the center of the cast film), and thickness unevenness can also be prevented.

溶液製膜装置の概略図である。It is the schematic of a solution film-forming apparatus. 溶媒ガス吸引機構の構成を示す説明図である。It is an explanatory view showing the composition of a solvent gas suction mechanism. 溶媒ガス供給機構の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of a solvent gas supply mechanism.

図1に示すように、本発明の溶液製膜装置10は、ドープ12を支持体上に流延して流延膜14を形成し、流延膜14を乾燥させた後に支持体から剥ぎ取ることによってフイルム16を製造するためのものであり、上流側から順に、流延装置20、テンタ22、ローラ乾燥装置24、スリッタ26、巻取装置28が設けられている。なお、本実施形態では、溶液製膜装置10により、厚みが10μm以上40μm以下のフイルム16を製造している。   As shown in FIG. 1, the solution film forming apparatus 10 of the present invention casts the dope 12 on a support to form a cast film 14, and after the cast film 14 is dried, it is peeled off from the support Thus, the film 16 is manufactured, and a casting device 20, a tenter 22, a roller drying device 24, a slitter 26, and a winding device 28 are provided in this order from the upstream side. In the present embodiment, the film 16 having a thickness of 10 μm to 40 μm is manufactured by the solution film forming apparatus 10.

ドープ12は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液であり、本実施形態では、ポリマーとしてセルローストリアセテート(TAC,triacetylcellulose)を用いている。ポリマー溶液には、フイルム16になる固形分としてポリマー以外のものが含まれていてもよい。ポリマー以外の固形分としては、例えば、可塑剤、紫外線吸収剤、レタデーション制御剤、微粒子等があり、本実施形態では可塑剤を含ませている。微粒子は、フイルム16に滑り性や耐傷性を付与したり、フイルム16を重ねた際の貼り付きなどを抑制するなどの目的で使用されるいわゆるマット剤である。ドープ12における固形分は、固形分の質量をMPとし、溶媒の質量をMSとするときに、MP/(MP+MS)×100で示される百分率で、10%以上23%以下の範囲内とされ、本実施形態では19%としている。   The dope 12 is a polymer solution in which a polymer is dissolved in a solvent, and in this embodiment, cellulose triacetate (TAC) is used as the polymer. The polymer solution may contain other than the polymer as a solid content to be the film 16. As solid content other than a polymer, there exist a plasticizer, a ultraviolet absorber, the retardation control agent, microparticles | fine-particles etc., for example, and the plasticizer is included in this embodiment. The fine particles are so-called matting agents used for the purpose of imparting slipperiness and scratch resistance to the film 16 and suppressing sticking when the film 16 is stacked. The solid content in the dope 12 is in the range of 10% or more and 23% or less in percentage indicated by MP / (MP + MS) × 100, where MP is mass of solid content and MS is mass of solvent. In this embodiment, it is 19%.

溶媒としては、本実施形態においては、ジクロロメタンとメタノールとの混合物を用いている。溶液製膜において用いられる溶媒は、気体状態において気体より重いものが用いられるのが通常であり、本実施形態の溶媒も気体状態において気体より重い。溶媒は本実施形態の例に限られず、例えば、ブタノール、エタノール、プロパノール等が用いられ、これらは混合物として2種以上を併用してもよい。   In the present embodiment, a mixture of dichloromethane and methanol is used as the solvent. The solvent used in the solution film formation is usually heavier than the gas in the gas state, and the solvent of the present embodiment is also heavier than the gas in the gas state. The solvent is not limited to the example of the present embodiment, and butanol, ethanol, propanol and the like may be used, for example, and two or more of them may be used in combination as a mixture.

なお、本明細書においては、フイルム16(または流延膜14)の溶媒含有率(単位;%)は乾量基準の値である。具体的には、任意のエリアAにおけるフイルム16(または流延膜14)の溶媒含有率(単位;%)は、エリアAにおける溶媒の質量をMS、エリアAにおけるフイルム16(または流延膜14)の質量をMFとするときに、{MS/(MF−MS)}×100で示される百分率である。   In the present specification, the solvent content (unit;%) of the film 16 (or the casting film 14) is a value on a dry basis. Specifically, the solvent content (unit;%) of the film 16 (or the cast film 14) in an arbitrary area A corresponds to the mass of the solvent in the area A as MS, and the film 16 (or the cast film 14) in the area A It is a percentage shown by {MS / (MF-MS)} × 100, where MF is the mass of

流延装置20は、環状に形成された無端の流延支持体であるベルト30と、周方向に回転する第1ローラ32及び第2ローラ34とを備える。ベルト30は、第1ローラ32と第2ローラ34との周面に巻き掛けられる。第1、第2ローラ32、34の少なくとも一方は、駆動手段から駆動力の供給を受けて回転する駆動ローラであり、本実施形態では、第1ローラ32と第2ローラ34との両方が駆動ローラとされている。この駆動ローラが周方向に回転することにより、周面に接するベルト30が長手方向に走行して循環する。   The casting apparatus 20 includes a belt 30 which is an endless casting support formed in an annular shape, and a first roller 32 and a second roller 34 which rotate in the circumferential direction. The belt 30 is wound around the circumferential surfaces of the first roller 32 and the second roller 34. At least one of the first and second rollers 32 and 34 is a drive roller which receives supply of drive force from the drive means and rotates. In the present embodiment, both the first roller 32 and the second roller 34 are driven. It is considered to be a roller. When the drive roller rotates in the circumferential direction, the belt 30 in contact with the circumferential surface travels and circulates in the longitudinal direction.

ベルト30の上方には、ドープ12を流出する流延ダイ36が設けられている。流延ダイ36から走行しているベルト30にドープ12が連続的に流出されることにより、ドープ12がベルト30上で流延されて流延膜14が形成される。なお、ドープ12がベルト30に接触を開始する位置を、以下、流延位置PCと称する。   Above the belt 30, a casting die 36 for discharging the dope 12 is provided. The dope 12 is continuously flowed out of the casting die 36 onto the belt 30 running, whereby the dope 12 is cast on the belt 30 to form the casting film 14. The position where the dope 12 starts contact with the belt 30 is hereinafter referred to as a casting position PC.

本実施形態においては、流延ダイ36を第1ローラ32上のベルト30の上方に設けており、流延位置PCは第1ローラ32上となっている。しかし、流延ダイ36の位置はこれに限定されない。例えば、第1ローラ32と第2ローラ34との間のベルト30の上方に流延ダイ36を設けてもよい。この場合には、第1ローラ32と第2ローラ34との間のベルト30の下方に配置されたローラ38により支持されているベルト30の上方に流延ダイ36を配することが好ましい。   In the present embodiment, the casting die 36 is provided above the belt 30 on the first roller 32, and the casting position PC is on the first roller 32. However, the position of the casting die 36 is not limited to this. For example, the casting die 36 may be provided above the belt 30 between the first roller 32 and the second roller 34. In this case, it is preferable to dispose the casting die 36 above the belt 30 supported by the roller 38 disposed below the belt 30 between the first roller 32 and the second roller 34.

第1ローラ32と第2ローラ34とは、それぞれ周面温度を制御する温度コントローラ(図示せず)を備える。例えば、第1ローラ32は、温度コントローラにより周面温度が所定の範囲となるように冷却される。第1ローラ32を冷却することにより、ベルト30は1周する毎に冷却される。これにより、連続走行して後述の吸気乾燥ユニット40と送風乾燥ユニット42とにより加熱され続けても、ベルト30、特に両側部の温度上昇が抑えられる。また、第2ローラ34は、温度コントローラにより周面温度が所定の範囲となるように加熱される。第2ローラ34を加熱することにより、流延膜14はより効果的に乾燥する。   Each of the first roller 32 and the second roller 34 includes a temperature controller (not shown) that controls the peripheral surface temperature. For example, the first roller 32 is cooled by the temperature controller so that the circumferential surface temperature falls within a predetermined range. By cooling the first roller 32, the belt 30 is cooled each time it makes one revolution. As a result, even if the belt 30 travels continuously and continues to be heated by the intake air drying unit 40 and the air blowing and drying unit 42 described later, the temperature rise of the belt 30, particularly, both side portions is suppressed. Further, the second roller 34 is heated by the temperature controller so that the circumferential surface temperature falls within a predetermined range. By heating the second roller 34, the casting film 14 is more effectively dried.

なお、第1ローラ32の周面温度は、3℃以上30℃以下の範囲にすることが好ましく、5℃以上25℃以下の範囲にすることがより好ましく、8℃以上20℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。また、第2ローラ34の周面温度は、20℃以上50℃以下の範囲にすることが好ましく、25℃以上45℃以下の範囲にすることがより好ましく、30℃以上40℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。   The circumferential surface temperature of the first roller 32 is preferably in the range of 3 ° C. to 30 ° C., more preferably in the range of 5 ° C. to 25 ° C., and in the range of 8 ° C. to 20 ° C. It is further preferable to do. The circumferential surface temperature of the second roller 34 is preferably in the range of 20 ° C. to 50 ° C., more preferably in the range of 25 ° C. to 45 ° C., and in the range of 30 ° C. to 40 ° C. It is further preferable to do.

流延ダイ36からベルト30に至るドープ12、いわゆるビードに関して、ベルト30の走行方向における上流側には、減圧チャンバが設けられている(図示せず)。減圧チャンバは、ビードの上流側エリア(図1においてビードの右側のエリア)の雰囲気を吸引してこのエリアを減圧する。これにより、ビードが上流側に牽引されて、流延膜14が下流側に移動しても流延位置PCが変化せずに一定となる(流延位置PCが安定する)。   With respect to the dope 12 from the casting die 36 to the belt 30, so-called beads, a pressure reducing chamber is provided on the upstream side in the traveling direction of the belt 30 (not shown). The decompression chamber sucks the atmosphere in the area upstream of the bead (the area to the right of the bead in FIG. 1) to decompress this area. As a result, the bead is pulled to the upstream side, and even if the casting film 14 moves to the downstream side, the casting position PC does not change and becomes constant (the casting position PC becomes stable).

ベルト30上の流延膜14は、後述の吸気乾燥ユニット40と送風乾燥ユニット42とを経て、テンタ22への搬送が可能な程度にまで固く(ゲル化)された後、溶媒を含む状態でベルト30から剥ぎ取られてフイルム16となる。剥ぎ取りは、溶媒含有率が70%以下になってから行うことが好ましく、より好ましくは10%以上70%以下の範囲内、さらに好ましくは20%以上50%以下の範囲内で行うことがより好ましい。   The casting film 14 on the belt 30 passes through an air intake drying unit 40 and an air blowing drying unit 42 described later, and is hardened (gelled) to a degree that enables transport to the tenter 22, and then contains a solvent. The film is peeled off from the belt 30. Peeling is preferably performed after the solvent content rate reaches 70% or less, more preferably in the range of 10% to 70%, and still more preferably in the range of 20% to 50%. preferable.

剥ぎ取りの際には、剥取ローラ44でフイルム16を支持し、流延膜14がベルト30から剥がれる剥取位置PPを一定に保持する。剥取ローラ44は、駆動手段を備えて周方向に回転する駆動ローラであってもよい。なお、剥ぎ取りは、第1ローラ32上のベルト30で行っている。ベルト30は循環して剥取位置PPから流延位置PCに戻ると流延位置PCにおいて再び新たなドープ12が流延される。   At the time of peeling, the film 16 is supported by the peeling roller 44, and the peeling position PP where the casting film 14 is peeled from the belt 30 is held constant. The stripping roller 44 may be a driving roller that is provided with driving means and rotates in the circumferential direction. The peeling is performed by the belt 30 on the first roller 32. When the belt 30 circulates and returns from the peeling position PP to the casting position PC, the new dope 12 is cast again at the casting position PC.

流延位置PCと剥取位置PPとの間には、吸気乾燥ユニット40と送風乾燥ユニット42とが設けられている。吸気乾燥ユニット40は、流延位置PCから第2ローラ34ヘ向かうベルト30の上方に配置され、流延膜14から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引することによって流延膜14の乾燥をすすめる。吸気乾燥ユニット40は、流延膜14の溶媒含有率が200%以上となるエリアの上方に設けることが好ましく、本実施形態では、吸気乾燥ユニット40により、溶媒含有率が300%となるまで流延膜14を乾燥させている。すなわち、本実施形態では、溶媒含有率が300%以上となるエリアの上方に吸気乾燥ユニット40を配置している。なお、吸気乾燥ユニット40の詳細は、別の図面を用いて後述する。   Between the casting position PC and the peeling position PP, a suction drying unit 40 and a blowing drying unit 42 are provided. The suction drying unit 40 is disposed above the belt 30 from the casting position PC toward the second roller 34, and promotes the drying of the casting film 14 by sucking the solvent gas containing the solvent volatilized from the casting film 14 . The intake drying unit 40 is preferably provided above the area where the solvent content of the casting film 14 is 200% or more, and in the present embodiment, the intake drying unit 40 flows until the solvent content reaches 300%. The film 14 is dried. That is, in the present embodiment, the intake drying unit 40 is disposed above the area where the solvent content rate is 300% or more. The details of the intake air drying unit 40 will be described later using another drawing.

送風乾燥ユニット42は、吸気乾燥ユニット40の下流側に設けられ、上流側から第1送風部46、排気部48、第2送風部50の順に、ベルト30の走行方向に沿って並べて配されている。第1送風部46は、第1ローラ32から第2ローラ34へ向かうベルト30の走行路近傍に配され、排気部48と第2送風部50とは、第2ローラ34から第1ローラ32へ向かうベルト30の走行路近傍に配されている。   The blower drying unit 42 is provided on the downstream side of the intake drying unit 40, and is arranged along the traveling direction of the belt 30 in the order of the first blower 46, the exhaust unit 48, and the second blower 50 from the upstream side There is. The first blower 46 is disposed near the traveling path of the belt 30 from the first roller 32 to the second roller 34, and the exhaust 48 and the second blower 50 move from the second roller 34 to the first roller 32. It is disposed in the vicinity of the traveling path of the traveling belt 30.

第1送風部46と第2送風部50とは乾燥した気体を流出し、排気部48は気体を吸引して排気する。送風乾燥ユニット42は、コントローラ52を備え、コントローラ52は、第1送風部46と第2送風部50とに乾燥した気体(以下、乾燥気体と称する)、例えば空気を送り、その気体の温度、湿度、第1送風部46と第2送風部50とからの流量、排気部48での気体の吸引力を独立して調節する。本実施形態においては、第1送風部46と第2送風部50とからの乾燥気体は、コントローラ52により概ね100℃に加熱されている。このように加熱された気体を温風として流延膜14上に流すことにより、流延膜14を加熱し、乾燥をすすめる。乾燥気体の温度は、50℃以上140℃以下の範囲内であることが好ましい。   The first blowing unit 46 and the second blowing unit 50 flow out the dried gas, and the exhaust unit 48 sucks and discharges the gas. The blower drying unit 42 includes a controller 52. The controller 52 sends a dried gas (hereinafter, referred to as a dry gas), for example, air, to the first blower 46 and the second blower 50, and the temperature of the gas, The humidity, the flow rate from the first air blower 46 and the second air blower 50, and the suction power of the gas at the exhaust air 48 are adjusted independently. In the present embodiment, the dry gas from the first air blower 46 and the second air blower 50 is heated to approximately 100 ° C. by the controller 52. The cast film 14 is heated by heating the cast gas as warm air on the cast film 14 to promote drying. The temperature of the drying gas is preferably in the range of 50 ° C. or more and 140 ° C. or less.

第1送風部46は、乾燥気体を流出する流出口46aがベルト30の走行方向に向くように配されており、これにより、搬送されている流延膜14に対し乾燥気体を追い風で供給する。この乾燥気体は流延膜14の膜面に対して並行な流れとなる。第2送風部50は、乾燥気体を流出する流出口50aがベルト30の走行方向とは反対側に向くように配されており、これにより、搬送されている流延膜14に対し乾燥気体を向かい風で供給する。この乾燥気体も流延膜14の膜面に対して並行な流れとなる。排気部48は、気体を吸引する吸気口48aが通過する流延膜14に向くように配されており、第1送風部46と第2送風部50との間で気体を吸引する。流出口46a、流出口50a、吸気口48aは、ベルト30の幅方向(図1の紙面奥行き方向)に延びたスリット状の開口である。   The first air blowing unit 46 is disposed such that the outlet 46 a for discharging the dry gas is directed in the traveling direction of the belt 30, thereby supplying the dry gas to the cast film 14 being conveyed by using a back wind. . The dry gas flows parallel to the surface of the casting film 14. The second air blowing unit 50 is disposed such that the outlet 50 a for discharging the dry gas is directed to the side opposite to the traveling direction of the belt 30, whereby the dry gas is delivered to the cast film 14 being conveyed. Supply by headwind. The dry gas also flows parallel to the film surface of the casting film 14. The exhaust unit 48 is disposed to face the casting membrane 14 through which the suction port 48 a for sucking the gas passes, and sucks the gas between the first blowing unit 46 and the second blowing unit 50. The outlet 46a, the outlet 50a, and the inlet 48a are slit-like openings extending in the width direction of the belt 30 (in the depth direction in FIG. 1).

なお、本実施形態では、第1送風部46と排気部48と第2送風部50とをコントローラ52によりそれぞれ独立して制御しているが、この態様に限られない。例えば、第1送風部46と排気部48と第2送風部50とにそれぞれコントローラ(図示無し)を設け、各コントローラにより第1送風部46と排気部48と第2送風部50とを制御してもよい。   In the present embodiment, the first air blower 46, the exhaust air 48 and the second air blower 50 are independently controlled by the controller 52, but the present invention is not limited to this aspect. For example, a controller (not shown) is provided for each of the first blower 46, the exhaust 48, and the second blower 50, and each controller controls the first blower 46, the exhaust 48, and the second blower 50. May be

このように、吸気乾燥ユニット40と送風乾燥ユニット42とにより乾燥された流延膜14は、剥取ローラ44によりベルト30から剥ぎ取られてフイルム16となりテンタ22に案内される。流延装置20とテンタ22との間の搬送路には、送風装置(図示無し)を配してもよい。この送風装置からの送風により、フイルム16の乾燥がすすめられる。   As described above, the casting film 14 dried by the intake air drying unit 40 and the air blowing drying unit 42 is peeled off from the belt 30 by the peeling roller 44 and is guided to the film 16 as a film 16. A blower (not shown) may be disposed in the conveyance path between the casting apparatus 20 and the tenter 22. Drying of the film 16 is promoted by air blowing from the air blower.

テンタ22は、フイルム16を搬送しながら乾燥をすすめる第1のフイルム乾燥装置である。本実施形態のテンタ22は、フイルム16の各側部を保持部材としてのクリップ22aで保持して長手方向に搬送しながら、幅方向での張力を付与することで、フイルム16を幅方向に延伸する延伸処理も行う。テンタ22には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアが形成されている。なお、緩和エリアは無くてもよい。   The tenter 22 is a first film drying device which advances drying while conveying the film 16. The tenter 22 of the present embodiment stretches the film 16 in the width direction by applying tension in the width direction while holding each side portion of the film 16 with the clip 22a as a holding member and conveying the film in the longitudinal direction. The stretching process is also performed. In the tenter 22, a preheating area, an extension area, and a relaxation area are formed in order from the upstream side. The relief area may not be present.

テンタ22は、1対のレール(図示無し)及びチェーン(図示無し)を備える。レールはフイルム16の搬送路の両側に設置され1対のレールは所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定である。なお、緩和エリアのレール間隔は、下流に向かうに従って次第に狭くなるようにしてもよい。   The tenter 22 comprises a pair of rails (not shown) and a chain (not shown). The rails are disposed on both sides of the transport path of the film 16, and the pair of rails are spaced apart at a predetermined distance. The rail spacing is constant in the preheating area, gradually wides toward the downstream in the extension area, and constant in the relaxation area. In addition, the rail interval of the relaxation area may be gradually narrowed toward the downstream.

チェーンは、原動スプロケット及び従動スプロケット(図示無し)に掛け渡され、レールに沿って移動自在に取り付けられている。複数のクリップ22aは、チェーンに所定の間隔で取り付けられている。原動スプロケットの回転により、クリップ22aはレールに沿って循環移動する。クリップ22aは、テンタ22の入口近傍で、案内されてきたフイルム16の保持を開始し、出口に向かって移動して、出口近傍で保持を解除する。保持を解除したクリップ22aは再び入口近傍に移動して、新たに案内されてきたフイルム16を保持する。   The chain is looped around a driving sprocket and a driven sprocket (not shown), and is mounted movably along the rail. The plurality of clips 22a are attached to the chain at predetermined intervals. The rotation of the driving sprocket causes the clip 22a to circulate along the rail. The clip 22a starts holding the guided film 16 near the inlet of the tenter 22, moves toward the outlet, and releases the holding near the outlet. The clip 22a which has been released from the holding position moves again to the vicinity of the entrance to hold the film 16 which has been newly guided.

また、テンタ22は、送風機22bを備える。送風機22bはフイルム16の搬送路の上方に設けられる。送風機22bは、乾燥気体(例えば乾燥した空気)を送り出すスリットを有し、乾燥気体は送風機(図示無し)から供給される。送風機は、所定の温度や湿度に調整した乾燥風を送風機22bに送る。スリットがフイルム16の搬送路と対向するように送風機22bは配される。各スリットはフイルム16の幅方向に長く伸びた形状であり、搬送方向で互いに所定の間隔をもって形成されている。なお、同様の構造を有する送風機を、フイルム16の搬送路の下方に設けてもよいし、フイルム16の搬送路の上方と下方との両方に設けてもよい。   Moreover, the tenter 22 is provided with the air blower 22b. The blower 22 b is provided above the transport path of the film 16. The blower 22b has a slit for delivering a dry gas (for example, dry air), and the dry gas is supplied from a blower (not shown). The blower sends drying air adjusted to a predetermined temperature and humidity to the blower 22b. The blower 22 b is disposed such that the slit faces the transport path of the film 16. The slits extend in the width direction of the film 16 and are formed at predetermined intervals in the transport direction. A blower having a similar structure may be provided below the transport path of the film 16, or may be provided both above and below the transport path of the film 16.

ローラ乾燥装置24は、フイルム16をさらに乾燥させるための第2の乾燥装置である。ローラ乾燥装置24の内部の雰囲気は、温度や湿度などが空調機(図示無し)により調節されている。ローラ乾燥装置24では、多数のローラ24aにフイルム16が巻き掛けられて搬送される。   The roller drying device 24 is a second drying device for further drying the film 16. Temperature, humidity, etc. are adjusted by an air conditioner (not shown) in the atmosphere inside the roller drying device 24. In the roller drying device 24, the film 16 is wound around and transported by a number of rollers 24a.

スリッタ26は、フイルム16の両側部を切除して目的とする幅にするためのものである。この切除では、クリップ22aよる保持跡を含むようにフイルム16の両側部を切除する。巻取装置28は、フイルム16を巻き芯に巻いてロール状にする。   The slitter 26 is for cutting off both sides of the film 16 to have a target width. In this cutting, both sides of the film 16 are cut so as to include a retention mark by the clip 22a. The winding device 28 winds the film 16 around a winding core to form a roll.

以下、吸気乾燥ユニット40について、図2、図3を参照しながらより詳細に説明する。図2に示すように、吸気乾燥ユニット40は、流延膜14の長手方向(搬送方向)上流側と下流側とに配置された一対のラビリンスシール60、62と、ラビリンスシール60、62の間に挟まれるように配置され、流延膜14を上方から覆う乾燥ケース64とを備え、これらが流延位置PCの下流側に配置されている。   Hereinafter, the intake air drying unit 40 will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3. As shown in FIG. 2, the intake-air drying unit 40 is disposed between the labyrinth seals 60 and 62 and a pair of labyrinth seals 60 and 62 disposed on the upstream side and the downstream side of the casting film 14 in the longitudinal direction (transport direction). And a drying case 64 covering the casting film 14 from above, which are disposed downstream of the casting position PC.

ラビリンスシール60、62は、流延膜14の幅方向に長く、ベルト30に対して垂直な起立姿勢で配置される複数のシール板66を備え、これら複数のシール板66が、流延膜14の長手方向(搬送方向)に沿って並べられたものである。このラビリンスシール60、62により、流延膜14の長手方向(搬送方向)上流側及び下流側から乾燥ケース64内に外気が流入することが防止される。   The labyrinth seals 60 and 62 are provided with a plurality of seal plates 66 which are long in the width direction of the casting film 14 and arranged in a standing posture perpendicular to the belt 30, and the plurality of sealing plates 66 Are arranged along the longitudinal direction (conveyance direction). The labyrinth seals 60 and 62 prevent the outside air from flowing into the drying case 64 from the upstream side and the downstream side in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14.

図3に示すように、乾燥ケース64は、流延膜14の幅方向で向かい合う一対の遮風板68、70と、遮風板68、70の上端部を接続するように設けられた天板(蓋部材)72とから構成される。遮風板68、70は、流延膜14の側縁に沿って流延膜14の長手方向(搬送方向)に長く形成され、ベルト30に対して垂直な起立姿勢で配置されている。この遮風板68、70により、ベルト30の上方の空間が、流延膜14の流延される内側領域74と、流延膜14の外側の外側領域76(図3参照)とに仕切られる。また、天板72によって、内側領域74の上端部は閉端されている。このように、乾燥ケース64によって、流延膜14の上方の空間(内側領域74)が覆われている。   As shown in FIG. 3, the drying case 64 is a top plate provided to connect the pair of wind shielding plates 68 and 70 facing each other in the width direction of the casting film 14 and the upper end portions of the wind shielding plates 68 and 70. (Lid member) 72 is comprised. The wind shields 68 and 70 are formed long along the side edge of the casting film 14 in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14, and are arranged in a standing posture perpendicular to the belt 30. The air shielding plates 68 and 70 divide the space above the belt 30 into an inner region 74 where the casting film 14 is cast and an outer region 76 (see FIG. 3) outside the casting film 14. . Further, the top end of the inner region 74 is closed by the top plate 72. Thus, the space above the casting membrane 14 (inner region 74) is covered by the drying case 64.

また、吸気乾燥ユニット40には、溶媒ガス吸引機構80(図2参照)が設けられている。溶媒ガス吸引機構80は、赤外線ヒータ(赤外線照射機)82と、吸気ダクト84と、吸気ファン86と、吸気コントローラ88と、コンデンサ90とを備えている。赤外線ヒータ82は、例えば、乾燥ケース64の天板72の内側部分にマトリクス状に配置され、流延膜14ヘ向けて赤外線を照射して流延膜14を加熱することにより、流延膜14の乾燥をすすめる。   Further, the intake air drying unit 40 is provided with a solvent gas suction mechanism 80 (see FIG. 2). The solvent gas suction mechanism 80 includes an infrared heater (infrared irradiator) 82, an intake duct 84, an intake fan 86, an intake controller 88, and a condenser 90. The infrared heater 82 is arranged, for example, in a matrix on the inner portion of the top plate 72 of the drying case 64, and is irradiated with infrared rays toward the casting film 14 to heat the casting film 14, thereby the casting film 14 We recommend the drying of

吸気ダクト84は、天板72を貫通するように形成され、一端部に設けられた吸気口84aが内側領域74内に配置され、他端部がコンデンサ90に接続されている。本実施形態では、吸気口84aを流延膜14の幅方向に長いスリット状に形成し、乾燥ケース64の天板72のうち、流延膜14の長手方向(搬送方向)中央部に配置している。なお、吸気口84aの配置位置や形状は自由に設定できるので、例えば、流延膜14の搬送方向に長いスリット状の開口を、天板72のうち、流延膜14の幅方向中央部に設けてもよい。   The air intake duct 84 is formed to penetrate the top plate 72, the air intake port 84 a provided at one end is disposed in the inner region 74, and the other end is connected to the capacitor 90. In the present embodiment, the intake port 84 a is formed in a slit shape long in the width direction of the casting film 14, and is disposed at the central portion of the top plate 72 of the drying case 64 in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14. ing. In addition, since the arrangement position and shape of the air inlet 84a can be freely set, for example, a slit-like opening long in the transport direction of the casting film 14 is provided at the center of the top plate 72 in the width direction of the casting film 14 You may provide.

吸気ファン86は、吸気ダクト84の内部に配置され、吸気コントローラ88の制御の元で回転する。この回転により、内側領域74の雰囲気(すなわち、流延膜14から揮発した溶媒を含む溶媒ガス)が吸気口84aから吸引され、吸気ダクト84を介してコンデンサ90へと送られる。吸気コントローラ88は、吸気ファン86に供給する駆動力(電力など)を制御することにより、溶媒ガスの吸引力(単位時間あたりの吸引量)をコントロールする。コンデンサ90は、例えば、溶媒ガスを冷却することにより、溶媒ガス中の溶媒を液化する。液化された溶媒は、回収されてドープ12として再利用、または、後述する溶媒ガス生成装置102へ送られて溶媒ガスの生成に用いられる。   The intake fan 86 is disposed inside the intake duct 84 and rotates under the control of the intake controller 88. By this rotation, the atmosphere of the inner region 74 (that is, the solvent gas containing the solvent volatilized from the casting film 14) is sucked from the air inlet 84 a and is sent to the condenser 90 through the air intake duct 84. The intake controller 88 controls the suction force (the amount of suction per unit time) of the solvent gas by controlling the driving force (electric power or the like) supplied to the suction fan 86. The condenser 90 liquefies the solvent in the solvent gas, for example, by cooling the solvent gas. The liquefied solvent is recovered and reused as the dope 12, or is sent to a solvent gas generator 102 described later and used for generation of a solvent gas.

このように、内側領域74から溶媒ガスを吸引することによって、流延膜14の乾燥を効率よくすすめることができる。一方、溶媒ガスを吸引するだけでは吸引により減圧された内側領域74に、内部領域74よりも溶媒含有率が低い(例えば、溶媒含有率がほぼ0%)外気(新鮮風)が、外側領域76から流れ込む。本実施形態の場合、溶媒ガスを吸引するだけでは、遮風板68、70とベルト30との間の隙間、すなわち、流延膜14の両側部から新鮮風が内側領域74に流れ込む。   Thus, by sucking the solvent gas from the inner region 74, the drying of the casting film 14 can be promoted efficiently. On the other hand, outside air (fresh air) having a lower solvent content (e.g., approximately 0% solvent content) in the inner region 74 reduced in pressure by suction only by suctioning the solvent gas (e.g., solvent content approximately 0%) Flow from In the case of the present embodiment, fresh air flows into the inner region 74 from the gap between the wind shields 68 and 70 and the belt 30, that is, from both sides of the casting film 14 only by suctioning the solvent gas.

そして、このように内側領域74に流れこんだ新鮮風の影響で、内側領域74内の溶媒ガスの濃度にばらつきが生じ、流延膜14の各位置における乾燥の進行度合いが異なってしまい、流延膜14やフイルム16に厚みむらが発生してしまうといった問題があった。本実施形態の場合、溶媒ガスを吸引するだけでは、新鮮風が流れ込む流延膜14の両側部と、新鮮風の流れ込まない中央部とで溶媒ガスの濃度が異なることに起因して流延膜14(フイルム16)に厚みむらが生じてしまう。   Then, the concentration of solvent gas in the inner region 74 varies due to the influence of the fresh air flowing into the inner region 74 in this manner, and the progress of drying at each position of the casting film 14 becomes different. There is a problem that uneven thickness occurs in the spread film 14 and the film 16. In the case of the present embodiment, only by suctioning the solvent gas, the casting film is different because the concentration of the solvent gas is different between the both sides of the casting film 14 where the fresh air flows in and the central part where the fresh air does not flow. Uneven thickness occurs on the film 14 (film 16).

このような新鮮風の影響による厚みむらを防止するために、吸気乾燥ユニット40には、溶媒ガス供給機構100が設けられている。溶媒ガス供給機構100は、溶媒ガス生成装置102と、溶媒ガス供給ダクト104と、送気ファン106と、供給ガスコントローラ(供給ガス濃度制御機構)108とを備えている。   In order to prevent such uneven thickness due to the influence of fresh air, the intake air drying unit 40 is provided with a solvent gas supply mechanism 100. The solvent gas supply mechanism 100 includes a solvent gas generation device 102, a solvent gas supply duct 104, an air supply fan 106, and a supply gas controller (supply gas concentration control mechanism) 108.

溶媒ガス生成装置102は、例えば、溶媒を噴霧したり加熱して揮発させるなどにより溶媒を含む溶媒ガスを生成する。なお、溶媒ガス生成装置102で用いる溶媒は、ドープ12の溶媒と同一組成のものでもよいし、ドープ12の溶媒とは組成が異なるものでもよい。また、前述したコンデンサ90により回収された溶媒を溶媒ガス生成装置102で用いてもよい。   The solvent gas generator 102 generates a solvent gas containing a solvent, for example, by spraying or heating the solvent for volatilization. The solvent used in the solvent gas generator 102 may have the same composition as the solvent of the dope 12 or may have a composition different from that of the solvent of the dope 12. In addition, the solvent recovered by the condenser 90 described above may be used in the solvent gas generator 102.

溶媒ガス供給ダクト104は、一端が溶媒ガス生成装置102に接続され、他端が一対の供給ボックス110、112に接続されている。供給ボックス110、112は、流延膜14の長手方向(搬送方向)に長く形成され、遮風板68、70の外側に配置されている。供給ボックス110の下面の遮風板68側には、流延膜14の長手方向(搬送方向)に長いスリット状の供給口110aが形成されている。同様に、供給ボックス112の下面の遮風板70側には、流延膜14の長手方向(搬送方向)に長いスリット状の供給口112aが形成されている。溶媒ガス供給ダクト104の内部には、送気ファン106が設けられており、溶媒ガス生成装置102により生成された溶媒ガスは、送気ファン106により供給ボックス110、112に送られ、供給口110a、112aから下方のベルト30ヘ向けて垂直に供給される。   One end of the solvent gas supply duct 104 is connected to the solvent gas generator 102, and the other end is connected to the pair of supply boxes 110 and 112. The supply boxes 110 and 112 are formed long in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14 and disposed outside the wind shields 68 and 70. A slit-shaped supply port 110 a which is long in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14 is formed on the lower surface of the supply box 110 on the side of the wind shield plate 68. Similarly, a slit-like supply port 112 a which is long in the longitudinal direction (conveying direction) of the casting film 14 is formed on the lower surface of the supply box 112 on the side of the wind shield plate 70. An air supply fan 106 is provided inside the solvent gas supply duct 104, and the solvent gas generated by the solvent gas generator 102 is sent to the supply boxes 110 and 112 by the air supply fan 106, and the supply port 110a. , 112a vertically toward the lower belt 30.

なお、供給口110a、112aは、複数の微細な孔の集合からなる多孔質状の開口としてもよい。また、供給口110a、112aから下方へ垂直に溶媒ガスを供給する例で説明をしたが、供給口110a、112aから内側(内側領域74)や外側(外側領域76)へ向けて溶媒ガスを供給する構成としてもよい。   The supply ports 110a and 112a may be porous openings made of a collection of a plurality of fine holes. Although the solvent gas is supplied vertically downward from the supply ports 110a and 112a, the solvent gas is supplied from the supply ports 110a and 112a toward the inner side (inner region 74) and the outer side (outer region 76). It may be configured to

このように溶媒ガスを供給することで、供給された溶媒ガスが遮風板68、70とベルト30との間の隙間を覆うエアカーテンとして機能し、新鮮風が内側領域74へ流入することを防止できる。また、溶媒ガス吸引機構80により内側領域74の溶媒ガスが吸引されて内側領域74が減圧されても、遮風板68、70とベルト30との間の隙間から内側領域74に流入するのが新鮮風ではなく供給口110a、112aから供給された溶媒ガスとなる。これにより、前述した厚みむらを防止できる。   By thus supplying the solvent gas, the supplied solvent gas functions as an air curtain covering the gap between the wind shields 68 and 70 and the belt 30, and fresh air flows into the inner region 74. It can prevent. Also, even if the solvent gas in the inner region 74 is sucked by the solvent gas suction mechanism 80 and the pressure in the inner region 74 is reduced, it flows into the inner region 74 from the gap between the wind shields 68, 70 and the belt 30. The solvent gas supplied from the supply ports 110a and 112a is not fresh air. Thereby, the thickness unevenness mentioned above can be prevented.

供給ガスコントローラ108は、供給口110a、112aから供給する溶媒ガスの量と濃度をコントロールし、より確実に厚みむらを防止するために設けられている。供給ガスコントローラ108には、前述した送気ファン106が接続されており、供給ガスコントローラ108は、送気ファン106に供給する駆動力(電力など)を制御することにより、溶媒ガスの供給量(単位時間あたりの供給量)をコントロールする。なお、溶媒ガスの供給量は、溶媒ガス吸引機構80が吸引する溶媒ガスの吸引量以上であることが好ましい。   The supply gas controller 108 is provided to control the amount and concentration of the solvent gas supplied from the supply ports 110 a and 112 a and to prevent uneven thickness more reliably. The supply gas controller 108 is connected to the air supply fan 106 described above, and the supply gas controller 108 controls the driving power (such as electric power) supplied to the air supply fan 106 to supply the solvent gas supply amount Control the supply amount per unit time). In addition, it is preferable that the supply amount of solvent gas is more than the suction amount of the solvent gas which the solvent gas suction mechanism 80 sucks.

また、供給ガスコントローラ108には、前述した溶媒ガス生成装置102に加え、センサ114が接続されている。センサ114は、内側領域74内に配置され、内側領域74内の溶媒濃度、すなわち、溶媒ガス吸引機構80により吸引される溶媒ガスの濃度を検出する。本実施形態では、乾燥ケース64の上流側端部かつ流延膜14の幅方向中央部に、ベルト30から約2cm離して(ベルト30の約2cm上方に)センサ114を配置している。なお、センサ114の配置位置は、これに限定されず、内側領域74内であれば自由に設定できるが、できるだけ上流側に配置することが好ましい。また、流延膜14の幅方向中央部に配置することが好ましい。   Further, in addition to the solvent gas generator 102 described above, a sensor 114 is connected to the supply gas controller 108. A sensor 114 is disposed in the inner region 74 to detect the concentration of solvent in the inner region 74, ie, the concentration of solvent gas drawn by the solvent gas suction mechanism 80. In the present embodiment, the sensor 114 is disposed about 2 cm away from the belt 30 (about 2 cm above the belt 30) at the upstream end of the drying case 64 and at the center in the width direction of the casting film 14. In addition, although the arrangement position of the sensor 114 is not limited to this, although it can set freely if it is in the inside area | region 74, arrange | positioning as upstream as possible is preferable. In addition, it is preferable to arrange at the center in the width direction of the casting film 14.

供給ガスコントローラ108は、センサ114によって検出された溶媒ガス濃度、並びに、送気ファン106により供給される溶媒ガスの供給量に基づいて、溶媒ガス生成装置102を制御(溶媒の噴霧量や加熱温度(揮発量)などを制御)し、供給口110a、112aから供給する溶媒ガスの濃度をコントロールする。   The supply gas controller 108 controls the solvent gas generator 102 based on the concentration of the solvent gas detected by the sensor 114 and the amount of the solvent gas supplied by the air supply fan 106 (the amount of sprayed solvent and the heating temperature). (The amount of volatilization) is controlled, and the concentration of the solvent gas supplied from the supply ports 110a and 112a is controlled.

なお、供給口110a、112aから供給する溶媒ガスの濃度が薄くなるほど、厚みムラを防止する効果が低下する。このため、溶媒ガス吸引機構80が吸引する溶媒ガス(以下、吸引ガスと称する場合がある)の濃度を「A」、供給口110a、112aから供給する溶媒ガス(以下、供給ガスと称する場合がある)の濃度を「B」、としたときに、「A/5≦B」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Bを、吸引ガスの濃度Aの1/5以上とすることが好ましい。   The thinner the concentration of the solvent gas supplied from the supply ports 110a and 112a, the lower the effect of preventing thickness unevenness. Therefore, the concentration of the solvent gas (hereinafter sometimes referred to as a suction gas) suctioned by the solvent gas suction mechanism 80 is “A”, and the solvent gas supplied from the supply ports 110a and 112a (hereinafter referred to as a supply gas) It is preferable to satisfy “A / 5 ≦ B” when the concentration of “A” is “B”, that is, the concentration B of the supplied gas is 1⁄5 or more of the concentration A of the suction gas.

また、供給口110a、112aから供給する溶媒ガスの濃度が濃くなるほど、流延膜14の乾燥がすすみ難くなる。このため、「B≦A」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Bを、吸引ガスの濃度A以下とすることが好ましい。   In addition, as the concentration of the solvent gas supplied from the supply ports 110a and 112a becomes higher, the drying of the casting film 14 becomes less likely to occur. Therefore, it is preferable to satisfy “B ≦ A”, that is, to set the concentration B of the supplied gas to the concentration A or less of the suction gas.

以上のように、溶液製膜装置10では、流延ダイ36からベルト30上にドープ12を流延して流延膜14を形成するステップ(流延膜形成ステップ)、流延膜14を、吸気乾燥ユニット40、送風乾燥ユニット42経由させて乾燥させながら剥ぎ取り位置PPまで搬送(移送)するステップ(移送ステップ)、剥ぎ取り位置PPにおいて流延膜14をベルト30から剥ぎ取るステップ(剥ぎ取りステップ)を経てフイルム16が製造される。   As described above, in the solution film forming apparatus 10, the step of forming the casting film 14 by casting the dope 12 from the casting die 36 onto the belt 30 (casting film forming step), A step (transfer step) of conveying to the peeling position PP while being dried via the suction drying unit 40, the air flow drying unit 42 (transfer step), a step of peeling the casting film 14 from the belt 30 at the peeling position PP (peeling The film 16 is manufactured through the above steps.

そして、移送ステップでは、乾燥ケース64によって覆われた内側領域74から溶媒ガスを吸引して流延膜14の乾燥をすすめながら、乾燥ケース64(遮風板68、70)とベルト30との隙間に溶媒ガスを供給することによって内側領域74に新鮮風が流入することを阻止して厚みむらの発生が防止される。   Then, in the transfer step, the solvent gas is sucked from the inner region 74 covered by the drying case 64 to dry the casting film 14, and the gap between the drying case 64 (the wind shields 68 and 70) and the belt 30. The supply of the solvent gas prevents fresh air from flowing into the inner region 74, thereby preventing the occurrence of uneven thickness.

なお、上記実施形態では、溶媒ガス吸引機構80と溶媒ガス供給機構100とを独立して設け、溶媒ガスの吸引と供給とを独立して行う構成を例に説明をしたが、溶媒ガス吸引機構80と溶媒ガス供給機構100との少なくとも一部を連結し、溶媒ガスの吸引と供給とを連動して行う構成としてもよい。   In the above embodiment, the solvent gas suction mechanism 80 and the solvent gas supply mechanism 100 are provided independently, and suction and supply of the solvent gas are performed independently. At least a part of the gas 80 and the solvent gas supply mechanism 100 may be connected, and suction and supply of the solvent gas may be performed in conjunction with each other.

具体的には、吸気ダクト84(図2参照)と溶媒ガス供給ダクト104(図3参照)とを接続、また、吸気ダクト84を分岐させて分岐させたダクトの少なくとも1つを溶媒ガス供給ダクト104に接続し、吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスを溶媒ガス供給ダクト104から供給する構成としてもよい。この場合、吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスの濃度を調整する濃度調整手段を設けることが好ましい。濃度調整手段は、溶媒ガスの濃度を薄くする場合、例えば、溶媒ガスを冷却して溶媒の一部を液化、または、吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスよりも溶媒濃度が低い気体(例えば、新鮮風)を、吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスと合流させる。また、濃度調整手段は、溶媒ガスの濃度を濃くする場合、例えば、溶媒を噴霧または加熱することにより吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスよりも高濃度の溶媒ガスを生成し、吸気ダクト84で吸引した溶媒ガスと合流させる。   Specifically, the intake duct 84 (see FIG. 2) and the solvent gas supply duct 104 (see FIG. 3) are connected, and at least one of the branched ducts obtained by branching the intake duct 84 is a solvent gas supply duct Alternatively, the solvent gas drawn by the air intake duct 84 may be supplied from the solvent gas supply duct 104. In this case, it is preferable to provide concentration adjusting means for adjusting the concentration of the solvent gas drawn by the intake duct 84. When the concentration adjusting means reduces the concentration of the solvent gas, for example, the solvent gas is cooled to liquefy a part of the solvent, or a gas having a lower solvent concentration than the solvent gas sucked by the intake duct 84 (for example, fresh Wind) is combined with the solvent gas drawn by the air intake duct 84. Further, when the concentration of the solvent gas is increased, the concentration adjusting means generates solvent gas having a concentration higher than that of the solvent gas sucked by the air intake duct 84 by spraying or heating the solvent, for example. Combine with the solvent gas

このように、溶媒ガス吸引機構80と溶媒ガス供給機構100との少なくとも一部を連結することにより、例えば、吸気ファン86(図2参照)や送気ファン106(図3参照)を一体化(一方を廃止)したり、コンデンサ90や溶媒ガス生成装置102を前述した濃度調整手段として一体化したりできるので、溶液製膜装置の小型化やコストダウンが可能である。   Thus, by connecting at least a part of the solvent gas suction mechanism 80 and the solvent gas supply mechanism 100, for example, the intake fan 86 (see FIG. 2) and the air feed fan 106 (see FIG. 3) are integrated (see FIG. Since one can be eliminated or the capacitor 90 and the solvent gas generator 102 can be integrated as the above-mentioned concentration adjusting means, the solution casting apparatus can be miniaturized and the cost can be reduced.

また、上記実施形態では、ドープ12のポリマーとして、セルローストリアセテート(TAC)を用いたが、TACに代えて他のセルロースアシレートを用いてもよい。セルロースアシレートのアシル基は1種類だけでも良いし、あるいは2種類以上のアシル基を有していても良い。アシル基が2種以上であるときは、その1つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式(I)〜(III)の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式(I)〜(III)において、A及びBは、アシル基の置換度を表わし、Aはアセチル基の置換度、またBは炭素原子数3〜22のアシル基の置換度である。   Moreover, in the said embodiment, although the cellulose triacetate (TAC) was used as a polymer of the dope 12, it may replace with TAC and may use another cellulose acylate. The cellulose acylate may have only one type of acyl group, or may have two or more types of acyl groups. When two or more types of acyl groups are used, one of them is preferably an acetyl group. It is preferable that the proportion of the hydroxyl group of cellulose esterified with a carboxylic acid, that is, the one in which the degree of substitution of the acyl group satisfies all of the following formulas (I) to (III). In the following formulas (I) to (III), A and B represent the degree of substitution of acyl group, A is the degree of substitution of acetyl group, and B is the degree of substitution of acyl group having 3 to 22 carbon atoms It is.

(I) 2.0≦A+B≦3.0
(II) 1.0≦ A ≦3.0
(III) 0 ≦ B ≦2.0
(I) 2.0 ≦ A + B ≦ 3.0
(II) 1.0 ≦ A ≦ 3.0
(III) 0 ≦ B ≦ 2.0

アシル基の全置換度A+Bは、2.20以上2.90以下であることがより好ましく、2.40以上2.88以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数3〜22のアシル基の置換度Bは、0.30以上であることがより好ましく、0.5以上であることが特に好ましい。   The total substitution degree A + B of the acyl group is more preferably 2.20 or more and 2.90 or less, and particularly preferably 2.40 or more and 2.88 or less. The substitution degree B of the acyl group having 3 to 22 carbon atoms is more preferably 0.30 or more, and particularly preferably 0.5 or more.

また、ドープ12のポリマーはセルロースアシレートに限られない。例えば、アクリル樹脂、環状オレフィン樹脂(例えばJSR(株)製のアートン(登録商標))等でもよい。   Also, the polymer of the dope 12 is not limited to cellulose acylate. For example, acrylic resin, cyclic olefin resin (for example, Arton (registered trademark) manufactured by JSR Corporation) may be used.

以下、本発明の実施例、及び、実施例と比較するための比較例について説明を行う。   Hereinafter, examples of the present invention and comparative examples for comparison with the examples will be described.

全ての実施例及び比較例では、フイルム16になる固形分を、溶媒の第1成分としてのジクロロメタン92質量部と溶媒の第2成分としてのメタノール8質量部との混合物に溶解して、固形分が19.0質量%のドープ12をつくった。固形分は、以下のTACと第1可塑剤と第2可塑剤である。第1可塑剤はトリフェニルフォスフェートであり、第2可塑剤はビフェニルジフェニルフォスフェートである。つくったドープ12は、静置脱泡した後に、送液ポンプによってフィルタを通して異物を除去し、異物除去後のドープ12を流延に供した。
TAC 100質量部
第1可塑剤 7質量部
第2可塑剤 5質量部
In all the examples and comparative examples, the solid content to be the film 16 is dissolved in a mixture of 92 parts by mass of dichloromethane as the first component of the solvent and 8 parts by mass of methanol as the second component of the solvent, Made a 19.0 wt% dope 12. The solid content is the following TAC, a first plasticizer and a second plasticizer. The first plasticizer is triphenyl phosphate and the second plasticizer is biphenyl diphenyl phosphate. The formed dope 12 was subjected to stationary degassing, and then the foreign matter was removed through a filter by a liquid feed pump, and the dope 12 after foreign matter removal was subjected to casting.
TAC 100 parts by mass First plasticizer 7 parts by mass Second plasticizer 5 parts by mass

このドープ12を用い、厚みが40μmのフイルム16を製造した。フイルム16の製造には、溶液製膜装置10(図1参照)を用い、ベルト30の走行速度は50m/分とした。   Using this dope 12, a film 16 having a thickness of 40 μm was produced. The film forming apparatus 10 (see FIG. 1) was used to manufacture the film 16, and the traveling speed of the belt 30 was 50 m / min.

そして、実施例では、溶媒ガス供給機構100(図3参照)を作動させてフイルム16を製造した。すなわち、実施例では、溶媒ガス吸引機構80(図2参照)による吸引で乾燥ケース64内が減圧されても、遮風板68、70とベルト30との隙間から乾燥ケース64内に新鮮風が流入しない構成でフイルム16を製造した。   Then, in the example, the film 16 was manufactured by operating the solvent gas supply mechanism 100 (see FIG. 3). That is, in the embodiment, even if the inside of the drying case 64 is depressurized by suction by the solvent gas suction mechanism 80 (see FIG. 2), fresh air flows in the drying case 64 from the gap between the wind shields 68 and 70 and the belt 30. The film 16 was manufactured so as not to flow.

他方、比較例では、溶媒ガス供給機構100を停止させてフイルム16を製造した。すなわち、比較例では、溶媒ガス吸引機構80による吸引で乾燥ケース64内が減圧された場合に、遮風板68、70とベルト30との隙間から乾燥ケース64内に新鮮風が流入する構成でフイルム16を製造した。   On the other hand, in the comparative example, the film 16 was manufactured by stopping the solvent gas supply mechanism 100. That is, in the comparative example, when the inside of the drying case 64 is depressurized by suction by the solvent gas suction mechanism 80, fresh air flows into the drying case 64 from the gap between the wind shields 68 and 70 and the belt 30. The film 16 was manufactured.

各実施例及び各比較例は、吸引ガス濃度A(吸引ガス中の溶媒濃度であり、センサ114で測定された濃度)、供給ガス濃度B(供給ガス中の溶媒濃度)、フイルム上風速(フイルム上の気体の風速であり、吸引ガスの吸引量に基づいて変化する)を変更しながらフイルム16の製造を行ったものである。各実施例及び各比較例それぞれの吸引ガス濃度A、供給ガス濃度B、ガス濃度比(A/B)、フイルム上風速は、表1、表2に示す通りである。   In each example and each comparative example, the suction gas concentration A (the solvent concentration in the suction gas, the concentration measured by the sensor 114), the supply gas concentration B (the solvent concentration in the supply gas), the wind speed on the film (film The film 16 is manufactured while changing the upper air velocity of the upper gas, which changes based on the suction amount of the suction gas. The suction gas concentration A, the supply gas concentration B, the gas concentration ratio (A / B), and the air velocity on the film of each Example and each Comparative Example are as shown in Tables 1 and 2.

Figure 0006538600
Figure 0006538600

Figure 0006538600
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表1、表2に示す各条件で製造された各実施例及び各比較例のフイルム16の厚みむらを評価した。評価結果は、同じく表1、表2に示す。評価は「A」、「B」、「C」の3段階とした。評価Aは最も高い評価であり、評価Cは最も低い評価である。評価は、従来の構成、すなわち、溶媒ガス供給機構100を停止させてフイルム16を製造した比較例1−4を基準として評価Cとし、従来よりも厚みむら改善された場合は評価Bとし、より改善がすすみ、ほぼ厚みむらの無い平滑なフイルム16が得られた場合は評価Aとした。   The uneven thickness of the film 16 of each example and each comparative example manufactured under each condition shown in Table 1 and Table 2 was evaluated. The evaluation results are also shown in Tables 1 and 2. Evaluation was made into three steps of "A", "B", and "C". Evaluation A is the highest evaluation, and evaluation C is the lowest evaluation. The evaluation is based on the conventional constitution, that is, evaluation C based on Comparative Example 1-4 in which the solvent gas supply mechanism 100 is stopped to manufacture the film 16, and evaluation B is obtained when thickness unevenness is improved compared to the conventional one. When the smooth film 16 having almost no thickness unevenness was obtained, the evaluation was A.

具体的には、フイルムの背面側から光を照射して透過光の濃淡差を目視にて観察することにより評価した。なお、濃淡差は、微小なものとして確認(観察)されるものであり、前述のように、比較例1−4で認められた濃淡差を基準として評価Cとした。また、比較例1−4と比較して濃淡差が小さくなっている場合、評価Bとした。さらに、濃淡差が目視で認められなかった場合、厚みむらがないものとして評価Aとした。   Specifically, it was evaluated by irradiating light from the back side of the film and visually observing the difference in density of the transmitted light. In addition, the density difference is confirmed (observed) as a minute thing, and as above-mentioned, it was set as the evaluation C on the basis of the density difference recognized by Comparative Example 1-4. Moreover, it was set as evaluation B, when the light / dark difference is small compared with Comparative Example 1-4. Furthermore, in the case where no difference in density was visually observed, it was evaluated as A without unevenness in thickness.

表1、表2に示すように、溶媒ガス供給機構100を作動させた各実施例は、溶媒ガス供給機構100を作動させない比較例と比較して、厚みむらを防止できることが確認できた。また、実施例1a〜1d、2a〜2e、3a〜3e、4a、4bと、これら以外の実施例との比較から、「A/5≦B」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Bを、吸引ガスの濃度Aの1/5以上とすることで、より厚みムラを防止できることが確認できた。   As shown in Tables 1 and 2, it has been confirmed that in each of the examples in which the solvent gas supply mechanism 100 is operated, thickness unevenness can be prevented as compared with the comparative example in which the solvent gas supply mechanism 100 is not operated. In addition, comparison with Examples 1a to 1d, 2a to 2e, 3a to 3e, 4a, 4b and the other embodiments shows that “A / 5 ≦ B” is satisfied, that is, the concentration B of the supplied gas is It was confirmed that the thickness unevenness can be further prevented by setting the density A of the suction gas to 1⁄5 or more.

なお、製造するフイルム16の厚みを前述した40μmから25μmに変更し、同様の検証を行った。この場合も前述した40μmの場合と結果は同様であった(表1、表2参照)。これにより、フイルム16の厚みが25μmの場合であっても本発明が有効であることが確認できた。   In addition, the thickness of the film 16 to manufacture was changed from 40 micrometers to 25 micrometers mentioned above, and the same verification was performed. Also in this case, the results were the same as in the case of 40 μm described above (see Tables 1 and 2). Thus, it was confirmed that the present invention is effective even when the thickness of the film 16 is 25 μm.

10 溶液製膜装置
12 ドープ
14 流延膜
16 フイルム
20 流延装置
30 ベルト(支持体)
36 流延ダイ
40 吸気乾燥ユニット
42 送風乾燥ユニット
60、62 ラビリンスシール
64 乾燥ケース
66 シール板
68、70 遮風板
72 天板(蓋部材)
74 内側領域
76 外側領域
80 溶媒ガス吸引機構
82 赤外線ヒータ(赤外線照射機)
84 吸気ダクト
84a 吸気口
86 吸気ファン
88 吸気コントローラ
90 コンデンサ
100 溶媒ガス供給機構
102 溶媒ガス生成装置
104 溶媒ガス供給ダクト
106 送気ファン
108 供給ガスコントローラ(供給ガス濃度制御機構)
110、112 供給ボックス
110a、112a供給口
114 センサ
Reference Signs List 10 solution film forming apparatus 12 dope 14 casting film 16 film 20 casting apparatus 30 belt (support)
36 casting die 40 intake air drying unit 42 air blowing drying unit 60, 62 labyrinth seal 64 drying case 66 sealing plate 68, 70 air shielding plate 72 top plate (lid member)
74 inner area 76 outer area 80 solvent gas suction mechanism 82 infrared heater (infrared irradiator)
84 intake duct 84a intake 86 intake fan 88 intake controller 90 condenser 100 solvent gas supply mechanism 102 solvent gas generator 104 solvent gas supply duct 106 air supply fan 108 supply gas controller (supply gas concentration control mechanism)
110, 112 supply box 110a, 112a supply port 114 sensor

Claims (12)

ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する溶液製膜装置において、
前記流延膜の側縁に沿って設けられ、前記支持体の上方の空間を、前記流延膜の流延される内側領域と前記流延膜の外側の外側領域とに仕切る一対の遮風板と、
前記内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、前記流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引する溶媒ガス吸引機構と、
前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記支持体と前記遮風版との間の隙間に供給する溶媒ガス供給機構と、
を備えた溶液製膜装置。
In a solution casting apparatus in which a polymer solution in which a polymer is dissolved in a solvent is cast on a running support to form a cast film,
A pair of wind shields provided along the side edges of the cast film and dividing the space above the support into an inner area of the cast film to be cast and an outer area of the cast film outside. Board,
A solvent gas suction mechanism which sucks in a solvent gas including a solvent volatilized from the casting film by suction from a suction port disposed in the inner region;
A solvent gas supply mechanism for supplying a solvent gas containing a solvent for dissolving the polymer into a gap between the support and the windproof plate;
Solution film forming apparatus equipped with
前記流延膜中の溶媒の質量をMS、前記流延膜の質量をMFとしたときに、
{MS/(MF−MS)}×100
で示される溶媒含有率が、200%以上のエリアにおいて、前記溶媒ガス吸引機構による吸引と、前記溶媒ガス供給機構による供給とを行う請求項1記載の溶液製膜装置。
When the mass of the solvent in the casting membrane is MS and the mass of the casting membrane is MF,
{MS / (MF-MS)} x 100
The solution film-forming apparatus of Claim 1 which performs attraction | suction by the said solvent gas suction mechanism, and the supply by the said solvent gas supply mechanism in the area whose solvent content shown by these is 200% or more.
一方の遮風版の上端部と、他方の遮風版の上端部とを接続する蓋部材を設け、
前記蓋部材により前記内側領域を上方から覆う請求項1または2記載の溶液製膜装置。
Providing a lid member for connecting the upper end of one of the wind shield plates to the upper end of the other wind shield plate;
The solution casting apparatus according to claim 1 or 2, wherein the inner region is covered from above by the lid member.
前記内側領域には、前記流延膜に対して赤外線を照射して前記流延膜に含まれる溶媒の揮発を促す赤外線照射機が設けられている請求項1〜3いずれか1項に記載の溶液製膜装置。   The said inner side area | region is provided with the infrared rays irradiation machine which accelerates | stimulates the volatilization of the solvent contained in the said casting film by irradiating an infrared rays with respect to the said casting film, The any one of Claims 1-3. Solution film forming equipment. 前記溶媒ガス供給機構は、前記遮風版の下端部の側方に設けられた供給口から、前記供給を行う請求項1〜4いずれか1項に記載の溶液製膜装置。   The solution forming apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the solvent gas supply mechanism performs the supply from a supply port provided on a side of a lower end portion of the windproof plate. 前記溶媒ガス供給機構は、前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記供給口から下方の前記支持体ヘ向けて垂直に供給する請求項5記載の溶液製膜装置。   The solution film forming apparatus according to claim 5, wherein the solvent gas supply mechanism vertically supplies a solvent gas containing a solvent for dissolving the polymer, from the supply port toward the lower support. 前記溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をA、
前記溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をB、としたときに、
A/5≦B
を満たす請求項1〜6いずれか1項に記載の溶液製膜装置。
The concentration of the suction gas which is the solvent gas suctioned by the solvent gas suction mechanism is A,
When the concentration of the supplied gas which is the solvent gas supplied by the solvent gas supply mechanism is B,
A / 5 ≦ B
The solution film-forming apparatus of any one of Claims 1-6 satisfy | filled.
前記溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をA、
前記溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をB、としたときに、
B≦A
を満たす請求項1〜7いずれか1項に記載の溶液製膜装置。
The concentration of the suction gas which is the solvent gas suctioned by the solvent gas suction mechanism is A,
When the concentration of the supplied gas which is the solvent gas supplied by the solvent gas supply mechanism is B,
B ≦ A
The solution film-forming apparatus of any one of Claims 1-7 which satisfy | fills.
前記溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスの濃度を測定するセンサと、
前記センサの測定結果に基づいて、前記溶媒ガス供給機構から供給する溶媒ガスの濃度を制御する供給ガス濃度制御機構と、
を備えた請求項1〜8いずれか1項に記載の溶液製膜装置。
A sensor for measuring the concentration of the solvent gas sucked by the solvent gas suction mechanism;
A supply gas concentration control mechanism for controlling the concentration of the solvent gas supplied from the solvent gas supply mechanism based on the measurement result of the sensor;
The solution film-forming apparatus of any one of Claims 1-8 provided with these.
前記溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスを含む溶媒ガスを、前記溶媒ガス供給機構から供給する請求項1〜9いずれか1項に記載の溶液製膜装置。   The solution film-forming apparatus of any one of Claims 1-9 which supplies the solvent gas containing the solvent gas which the said solvent gas suction mechanism attracted | sucked from the said solvent gas supply mechanism. 前記支持体から前記流延膜を剥ぎ取ることによって製造されるフイルムの厚さが40μm以下である請求項1〜10いずれか1項に記載の溶液製膜装置。   The solution film-forming apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein the thickness of the film produced by peeling the cast film from the support is 40 μm or less. ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する流延膜形成ステップと、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取る剥ぎ取り位置まで移送する移送ステップと、前記剥ぎ取り位置において前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取る剥ぎ取りステップと、を備えたて溶液製膜方法であり、
前記移送ステップにおいて、
前記流延膜の側縁に沿って設けられた一対の遮風板により、前記支持体の上方の空間を、前記流延膜の流延される内側領域と前記流延膜の外側の外側領域とに仕切り、
前記内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、前記流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引し、
前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記支持体と前記遮風版との間の隙間から供給する溶液製膜方法。
A cast film forming step of casting a polymer solution in which a polymer is dissolved in a solvent onto a traveling support to form a cast film, and transferring the cast film to a peeling position for peeling the cast film from the support A solution casting method comprising a transfer step, and a peeling step of peeling the cast film from the support at the peeling position,
In the transfer step,
A space above the support is defined by a pair of wind shields provided along the side edge of the casting membrane, the inner area of the casting membrane to be cast and the outer area of the casting membrane outside And partitions,
Intake is performed from an air inlet disposed in the inner region, and a solvent gas containing a solvent volatilized from the cast film is sucked.
The solution film forming method which supplies the solvent gas containing the solvent which dissolves the said polymer from the clearance gap between the said support body and the said windproof plate.
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