JP6534570B2 - 反応装置 - Google Patents
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 138
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 118
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 59
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 48
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 28
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 13
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004811 liquid chromatography Methods 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
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Claims (6)
- 複数の流体を反応触媒を充填したカラムの入口側端部から導入して反応させ、前記カラムの出口側端部から生成物を回収する反応装置において、前記複数の流体は反応ガスと原料液であり、前記反応ガスを供給するガス供給源と、前記原料液を貯留した原料リザーバと、前記ガス供給源から前記カラムに前記反応ガスを供給する第1反応ガス供給径路と、前記ガス供給源から前記原料リザーバに前記反応ガスの一部を供給する第2反応ガス供給径路と、前記原料リザーバに導入された反応ガスの圧力によって原料リザーバから送出される前記原料液を、前記カラムに導入する原料液供給径路とを備えていることを特徴とする反応装置。
- 前記原料液供給径路を複数の径路に分岐するとともに、前記カラムの入口側端部の中央部に前記第1反応ガス供給径路を接続し、前記カラムの入口側端部の前記第1反応ガス供給径路の周囲に、分岐した複数の前記原料液供給径路をそれぞれ接続したことを特徴とする請求項1記載の反応装置。
- 前記第1反応ガス供給径路にガス用マスフローコントローラを配置したことを特徴とする請求項1又は2記載の反応装置。
- 複数の流体を反応触媒を充填したカラムの入口側端部から導入して反応させ、前記カラムの出口側端部から生成物を回収する反応装置において、前記複数の流体は複数の原料液であり、複数の前記原料液をそれぞれ貯留した複数の原料リザーバと、ガス供給源から前記各原料リザーバに原料液送出用のガスをそれぞれ供給するガス供給径路と、前記各原料リザーバに導入されたガスの圧力によって前記原料リザーバから送出される各原料液を、前記カラムにそれぞれ導入する原料液供給径路とを備えていることを特徴とする反応装置。
- 前記原料リザーバ及び前記原料液供給径路を加温する加温手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の反応装置。
- 前記原料液供給径路に液用マスフローコントローラを配置したことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の反応装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015137552A JP6534570B2 (ja) | 2015-07-09 | 2015-07-09 | 反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015137552A JP6534570B2 (ja) | 2015-07-09 | 2015-07-09 | 反応装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017018875A JP2017018875A (ja) | 2017-01-26 |
JP6534570B2 true JP6534570B2 (ja) | 2019-06-26 |
Family
ID=57888939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015137552A Active JP6534570B2 (ja) | 2015-07-09 | 2015-07-09 | 反応装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6534570B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7442349B2 (ja) | 2020-03-09 | 2024-03-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送システムおよびロードロックモジュール |
-
2015
- 2015-07-09 JP JP2015137552A patent/JP6534570B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017018875A (ja) | 2017-01-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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