JP6525791B2 - Sample holder and sample processing apparatus provided with the same - Google Patents

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Description

本発明は、半導体集積回路の製造工程または液晶表示装置の製造工程等において用いられる、半導体ウエハ等の各試料を保持する際に用いられる試料保持具およびこれを備えた試料処理装置に関するものである。   The present invention relates to a sample holder used to hold each sample such as a semiconductor wafer used in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit or a manufacturing process of a liquid crystal display device, and a sample processing apparatus provided with the same. .

試料保持具として、例えば、特許文献１に記載の試料保持具が知られている。特許文献１に記載の試料保持具は、上面に試料保持面を有するセラミック体と、セラミック体の下面に接合された筒状の金属部材とを備えている。試料保持具は貫通孔を有する筐体に取り付けられることによって試料処理装置として用いられる。具体的には、セラミック体および金属部材が貫通孔を塞ぐように取り付けられて用いられる。試料処理装置は、筐体の内部を真空にして用いられる。   As a sample holder, the sample holder of patent document 1 is known, for example. The sample holder described in Patent Document 1 includes a ceramic body having a sample holding surface on the upper surface, and a cylindrical metal member joined to the lower surface of the ceramic body. The sample holder is used as a sample processing device by being attached to a housing having a through hole. Specifically, a ceramic body and a metal member are attached and used so as to close the through hole. The sample processing apparatus is used with the inside of the case evacuated.

特開２０００−２１９５７８号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-219578

近年、セラミック体の薄型化が求められている。しかしながら、特許文献１に記載された試料保持具においてセラミック体を薄くしてしまうと、試料保持具を使用する際にセラミック体に変形が生じてしまうおそれがあった。具体的には、試料処理装置の内部を真空にしたときには、セラミック体の上面は真空環境下におかれるとともに、セラミック体の下面のうち金属部材に囲まれた領域は大気環境下におかれることになる。そのため、セラミック体の上面側と下面側との間に生じる圧力差によって、セラミック体のうち金属部材に囲まれた領域が上方向へ押されることによって、セラミック体に変形が生じてしまうおそれがあった。その結果、試料保持面に配置された試料が試料保持面から剥がれてしまうおそれがあった。   In recent years, thinning of the ceramic body has been required. However, if the ceramic body is thinned in the sample holder described in Patent Document 1, there is a possibility that the ceramic body may be deformed when using the sample holder. Specifically, when the inside of the sample processing apparatus is evacuated, the upper surface of the ceramic body is placed in a vacuum environment, and the area of the lower surface of the ceramic body surrounded by the metal member is placed in the atmospheric environment. become. Therefore, the pressure difference generated between the upper surface side and the lower surface side of the ceramic body may cause the ceramic body to be deformed by pressing the region of the ceramic body surrounded by the metal member upward. The As a result, there is a possibility that the sample disposed on the sample holding surface may be peeled off from the sample holding surface.

本発明の一態様の試料保持具は、上側主面と下側主面とを有し前記上側主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の前記下側主面に接合された鍔部および該鍔部から下方に向かう筒部を有する金属部材と、前記筒部を囲むように前記鍔部に設けられ
た第１セラミックリングと、前記セラミック体の前記下側主面のうち前記筒部よりも内側に設けられた第２セラミックリングとを備え、前記第２セラミックリングの熱膨張率が前記セラミック体の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする。
また、本発明の他の一態様の試料保持具は、上側主面と下側主面とを有し前記上側主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の前記下側主面に接合された鍔部および該鍔部から下方に向かう筒部を有する金属部材と、前記筒部を囲むように前記鍔部に設けられた第１セラミックリングと、前記セラミック体の前記下側主面のうち前記筒部よりも内側に設けられた第２セラミックリングとを備え、前記下側主面に垂直な方向で断面視したときに、前記第１セラミックリングが前記第２セラミックリングよりも幅広であることを特徴とする。 The sample holder according to one aspect of the present invention has a ceramic body having an upper major surface and a lower major surface and a sample holding surface on the upper major surface, and is joined to the lower major surface of the ceramic body A metal member having a collar portion and a cylindrical portion directed downward from the collar portion, a first ceramic ring provided on the collar portion so as to surround the cylindrical portion, and the lower main surface of the lower main surface of the ceramic body And a second ceramic ring provided inside the cylindrical portion , wherein the coefficient of thermal expansion of the second ceramic ring is smaller than the coefficient of thermal expansion of the ceramic body .
A sample holder according to another aspect of the present invention has a ceramic body having an upper major surface and a lower major surface and a sample holding surface on the upper major surface, and the lower major surface of the ceramic body. A metal member having a flange portion joined to the upper surface and a cylindrical portion directed downward from the ridge portion, a first ceramic ring provided on the ridge portion to surround the cylindrical portion, and the lower main surface of the ceramic body And a second ceramic ring provided on the inner side of the cylindrical portion in the surface, and when viewed in cross section in a direction perpendicular to the lower main surface, the first ceramic ring is larger than the second ceramic ring It is characterized by being wide.

本発明の一態様の試料保持具によれば、第２セラミックリングが設けられていることによって、セラミック体の変形を低減することができる。その結果、試料保持面に配置された試料が試料保持面から剥がれてしまうおそれを低減できる。   According to the sample holder of one aspect of the present invention, the deformation of the ceramic body can be reduced by providing the second ceramic ring. As a result, the risk of the sample disposed on the sample holding surface being peeled off from the sample holding surface can be reduced.

本発明の一実施形態の試料保持具およびこれを用いた試料処理装置の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a sample holder and a sample processing apparatus using the sample holder according to an embodiment of the present invention. 図１に示す試料保持具の拡大図である。It is an enlarged view of the sample holder shown in FIG.

本発明の一実施形態の試料保持具１０およびこれを備えた試料処理装置１００について詳細に説明する。   A sample holder 10 according to an embodiment of the present invention and a sample processing apparatus 100 including the same will be described in detail.

図１に示すように、試料処理装置１００は、筐体２０と筐体２０の内部に設けられた試料保持具１０とを備えている。試料処理装置１００は、例えば、半導体製造装置として用いられる。この場合には、筐体２０はいわゆるチャンバーとして用いられ、試料保持具１０には、例えば、シリコンウエハ等の試料が保持される。   As shown in FIG. 1, the sample processing apparatus 100 includes a housing 20 and a sample holder 10 provided inside the housing 20. The sample processing apparatus 100 is used, for example, as a semiconductor manufacturing apparatus. In this case, the housing 20 is used as a so-called chamber, and the sample holder 10 holds a sample such as a silicon wafer, for example.

筐体２０は、下側に開口する貫通孔３０を有しており、この貫通孔３０を塞ぐように試料保持具１０が取り付けられている。具体的には、試料保持具１０のうち金属部材２が筐体２０の貫通孔３０を囲んでいるとともに、金属部材２とセラミック体１とによって貫通孔３０を塞いでいる。金属部材２は、筐体２０に接合されるとともに、セラミック体１の試料保持面１１が露出する筐体２０内の空間４０を筐体２０およびセラミック体１と共に封止している。   The housing 20 has a through hole 30 that opens downward, and the sample holder 10 is attached to close the through hole 30. Specifically, the metal member 2 of the sample holder 10 surrounds the through hole 30 of the housing 20, and the through hole 30 is closed by the metal member 2 and the ceramic body 1. The metal member 2 is joined to the housing 20 and seals the space 40 in the housing 20 where the sample holding surface 11 of the ceramic body 1 is exposed together with the housing 20 and the ceramic body 1.

図２に示すように、試料保持具１０は、上側主面に試料保持面１１を有したセラミック体１と、セラミック体１の下側主面に設けられた金属部材２と、金属部材２に取り付けられた第１セラミックリング３と、セラミック体１の下側主面のうち金属部材２の内側に設けられた第２セラミックリング４とを備えている。   As shown in FIG. 2, the sample holder 10 includes a ceramic body 1 having a sample holding surface 11 on the upper main surface, a metal member 2 provided on the lower main surface of the ceramic body 1, and the metal member 2. A first ceramic ring 3 attached and a second ceramic ring 4 provided on the inner side of the metal member 2 on the lower main surface of the ceramic body 1 are provided.

セラミック体１は、試料を保持するための部材である。セラミック体１は、例えば、円板状の部材である。セラミック体１は上側主面に試料保持面１１を有する。   The ceramic body 1 is a member for holding a sample. The ceramic body 1 is, for example, a disk-shaped member. The ceramic body 1 has a sample holding surface 11 on the upper main surface.

セラミック体１は、例えば、窒化アルミニウム等のセラミック材料から成る。セラミック体１は、例えば、複数のグリーンシートを積層して、これを窒素雰囲気中で焼成することによって得ることができる。必要に応じて、セラミック体１の内部に、静電吸着用電極が設けられていてもよい。また、セラミック体１の内部に発熱抵抗体が設けられていてもよい。このような構成にするためには、上述した焼成前の複数のグリーンシートのうち所望のグリーンシートにスクリーン印刷法等を用いて、焼成後に静電吸着用電極または発熱抵抗体と成るパターンを予め印刷しておけばよい。セラミック体１の寸法は、例えば、上側主面の直径を３０〜５００ｍｍ程度に、厚みを５〜２５ｍｍ程度に設定できる。   The ceramic body 1 is made of, for example, a ceramic material such as aluminum nitride. The ceramic body 1 can be obtained, for example, by laminating a plurality of green sheets and firing it in a nitrogen atmosphere. If necessary, an electrostatic adsorption electrode may be provided inside the ceramic body 1. In addition, a heating resistor may be provided inside the ceramic body 1. In order to achieve such a configuration, a desired green sheet of the plurality of green sheets before firing is screen printing or the like, and a pattern serving as an electrostatic adsorption electrode or a heating resistor after firing is previously formed. You may print it. The dimensions of the ceramic body 1 can set, for example, the diameter of the upper main surface to about 30 to 500 mm and the thickness to about 5 to 25 mm.

金属部材２は、セラミック体１を保持するための部材である。図２に示すように、金属部材２は、セラミック体１の下側主面に設けられた鍔部２１および鍔部２１からセラミック体１から離れるように伸びる筒部２２を有する。鍔部２１はセラミック体１の下側主面に接合されている。鍔部２１および筒部２２は一体的に形成することができる。鍔部２１および筒部２２は、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ等の耐熱性および生産性に優れた金属材料から成る。   The metal member 2 is a member for holding the ceramic body 1. As shown in FIG. 2, the metal member 2 has a flange portion 21 provided on the lower main surface of the ceramic body 1 and a cylindrical portion 22 extending away from the ceramic body 1 from the flange portion 21. The flange portion 21 is joined to the lower main surface of the ceramic body 1. The collar portion 21 and the cylindrical portion 22 can be integrally formed. The flange portion 21 and the cylindrical portion 22 are made of, for example, a metal material such as Fe-Ni-Co which is excellent in heat resistance and productivity.

金属部材２において、鍔部２１は、セラミック体１の下側主面に接合される部位である。鍔部２１は、環状の部位であって、セラミック体１の下側主面に接合されている。より詳しくは、鍔部２１は円環状の部位である。鍔部２１の寸法は、例えば、内径を２０〜４５０ｍｍ程度に、円環の幅を２〜２０ｍｍ程度に設定できる。鍔部２１と筒部２２の厚みは、例えば、０．２〜２ｍｍに設定できる。なお、鍔部２１の内径は、セラミック体１の下側主面に配置される各種の端子（図示せず）の配置および試料処理装置１００の内部にガスを導入するためにセラミック体１に設けられるガス供給孔（図示せず）等の配置等を踏まえて設定される。また、鍔部２１の円環の幅は、セラミック体１と金属部材２との接合強度を十分に確保できるように設定される。   In the metal member 2, the flange portion 21 is a portion to be joined to the lower main surface of the ceramic body 1. The flange portion 21 is an annular portion and is joined to the lower main surface of the ceramic body 1. More specifically, the hook 21 is an annular portion. The dimensions of the flange portion 21 can be set, for example, to an inner diameter of about 20 to 450 mm and a width of an annular ring of about 2 to 20 mm. The thickness of the collar portion 21 and the cylindrical portion 22 can be set to, for example, 0.2 to 2 mm. The inner diameter of the flange portion 21 is provided in the ceramic body 1 in order to introduce gas into the arrangement of various terminals (not shown) arranged on the lower main surface of the ceramic body 1 and the inside of the sample processing apparatus 100. It is set based on the arrangement of the gas supply holes (not shown) and the like. Further, the width of the annular ring of the collar portion 21 is set such that the bonding strength between the ceramic body 1 and the metal member 2 can be sufficiently secured.

鍔部２１とセラミック体１とはろう材によって接合されている。ろう材としては、例え
ば、銀ろう、または、銀銅ろうを用いることができる。鍔部２１とセラミック体１との接合をより良好に行なうために、セラミック体１の下側主面にはメタライズ層（図示せず）が設けられている。メタライズ層は、鍔部２１の形状に対応して設けられている。具体的には、円環状の鍔部２１に対応するように、メタライズ層も円環状である。メタライズ層としては、例えば、Ａｇ−Ｃｕ−Ｔｉ系具金等を用いることができる。 The flange portion 21 and the ceramic body 1 are joined by a brazing material. As the brazing material, for example, silver braze or silver copper braze can be used. A metallized layer (not shown) is provided on the lower main surface of the ceramic body 1 in order to better join the flange portion 21 and the ceramic body 1. The metallized layer is provided corresponding to the shape of the ridge portion 21. Specifically, the metallized layer is also annular so as to correspond to the annular ridge 21. For example, an Ag-Cu-Ti-based alloy can be used as the metallized layer.

第１セラミックリング３は、鍔部２１を固定するための部材である。第１セラミックリング３は、セラミック体１の下側主面に接合された鍔部２１の下面にろう材によって接合されている。第１セラミックリング３は筒部２２を囲むように設けられている。第１セラミックリング３は、鍔部２１の全周に沿った円環状の部材である。より具体的には、第１セラミックリング３は、例えば、平面視したときの形状が円環状であって、断面視したときの形状が長方形である。第１セラミックリング３とセラミック体１とによって鍔部２１を挟むことによって、より強固に鍔部２１を固定することができる。この第１セラミックリング３は、セラミック体１と同じセラミック材料から成ることが好ましい。これにより、第１セラミックリング３とセラミック体１との熱膨張率とを近づけることができるので、両者に挟まれた鍔部２１について、ヒートサイクル下における変形を抑制することができる。ろう材によって第１セラミックリング３と鍔部２１との接合を良好に行なうために、第１セラミックリング３の上面には、セラミック体１の下側主面にメタライズ層を設ける場合と同様にメタライズ層が設けられていることが好ましい。   The first ceramic ring 3 is a member for fixing the collar 21. The first ceramic ring 3 is joined to the lower surface of the ceramic body 1 by a brazing material on the lower surface of the flange portion 21. The first ceramic ring 3 is provided so as to surround the cylindrical portion 22. The first ceramic ring 3 is an annular member along the entire circumference of the collar portion 21. More specifically, the first ceramic ring 3 has, for example, an annular shape when viewed in plan and a rectangular shape when viewed in cross section. By sandwiching the collar portion 21 between the first ceramic ring 3 and the ceramic body 1, the collar portion 21 can be fixed more firmly. The first ceramic ring 3 is preferably made of the same ceramic material as the ceramic body 1. Thereby, the thermal expansion coefficients of the first ceramic ring 3 and the ceramic body 1 can be made close to each other, so that deformation of the flange portion 21 sandwiched therebetween can be suppressed under heat cycles. In order to well join the first ceramic ring 3 and the flange portion 21 by the brazing material, the upper surface of the first ceramic ring 3 is metallized as in the case of providing the metallized layer on the lower main surface of the ceramic body 1 Preferably a layer is provided.

第１セラミックリング３の寸法は、例えば、平面視したときの内径を２２〜４６０ｍｍ程度に円環の幅を２〜８ｍｍ程度に、断面視したときの厚みを２〜８ｍｍに設定できる。   The dimensions of the first ceramic ring 3 can be set, for example, to have an inner diameter of about 22 to 46 mm in plan view, a width of an annular ring of about 2 to 8 mm, and a thickness of 2 to 8 mm in cross section.

本実施形態の試料保持具１０は、セラミック体１の下側主面のうち筒部２２よりも内側に設けられた第２セラミックリング４を備えている。これにより、セラミック体１の上側と下側との間に圧力差が生じたとしても、セラミック体１に生じる変形を低減することができる。その結果、試料保持面１１に配置された試料が試料保持面１１から剥がれてしまうおそれを低減できる。   The sample holder 10 of the present embodiment includes a second ceramic ring 4 provided on the lower main surface of the ceramic body 1 inside the cylindrical portion 22. Thereby, even if a pressure difference arises between the upper side and the lower side of ceramic body 1, the deformation which arises in ceramic body 1 can be reduced. As a result, the risk of the sample disposed on the sample holding surface 11 being peeled off from the sample holding surface 11 can be reduced.

また、第２セラミックリング４の形状がリング状であることにより、セラミック体１の変形を面内でより均一に低減することができる。そのため、セラミック体１に局所的な変形が生じることを低減できる。より具体的には、第２セラミックリング４は、例えば、平面視したときの形状が円環状であって、断面視したときの形状が長方形状である。第２セラミックリング４の寸法は、例えば、平面視したときの内径を８〜２２０ｍｍ程度に円環の幅を２〜４ｍｍ程度に、断面視したときの厚みを２〜４ｍｍに設定できる。   In addition, since the shape of the second ceramic ring 4 is ring-shaped, the deformation of the ceramic body 1 can be reduced more uniformly in the plane. Therefore, local deformation of the ceramic body 1 can be reduced. More specifically, the second ceramic ring 4 has, for example, an annular shape when viewed in plan and a rectangular shape when viewed in cross section. The dimensions of the second ceramic ring 4 can be set, for example, to have an inner diameter of about 8 to 220 mm in plan view, a width of an annular ring of about 2 to 4 mm, and a thickness of 2 to 4 mm in cross section.

また、第１セラミックリング３と第２セラミックリング４とが同心円状であってもよい。セラミック体１に生じようとする変形は、２つが同心円状にあることによって、第１セラミックリング３と第２セラミックリング４とに熱膨張または熱収縮が生じたときにセラミック体１のうち特定の部位に熱応力が集中することを低減できる。   The first ceramic ring 3 and the second ceramic ring 4 may be concentric. The deformation to be caused in the ceramic body 1 is a specific one of the ceramic bodies 1 when thermal expansion or thermal contraction occurs in the first ceramic ring 3 and the second ceramic ring 4 due to the two being concentric. Concentration of thermal stress on the site can be reduced.

また、第２セラミックリング４と金属部材２の筒部２２とが同心円状にあってもよい。試料処理装置１００を使用する際にセラミック体１に生じる変形は、金属部材２の筒部２２の中心において最も大きくなる。そこで、第２セラミックリング４を金属部材２の筒部２２と同心円状になるように配置することによって、セラミック体１に生じる変形を効果的に低減できる。   Also, the second ceramic ring 4 and the cylindrical portion 22 of the metal member 2 may be concentric. The deformation that occurs in the ceramic body 1 when using the sample processing apparatus 100 is greatest at the center of the cylindrical portion 22 of the metal member 2. Therefore, by arranging the second ceramic ring 4 so as to be concentric with the cylindrical portion 22 of the metal member 2, the deformation generated in the ceramic body 1 can be effectively reduced.

また、第２セラミックリング４の熱膨張率が、セラミック体１の熱膨張率よりも小さくてもよい。これにより、ヒートサイクル下におけるセラミック体１の変形を低減することができる。具体的には、セラミック体１として窒化アルミニウムを用いることによってセ
ラミック体１の熱膨張率を４．６×１０−６／Ｋに、第２セラミックリング４として炭化珪素を用いることによって第２セラミックリング４の熱膨張率を３．７×１０−６／Ｋに設定できる。 Further, the coefficient of thermal expansion of the second ceramic ring 4 may be smaller than the coefficient of thermal expansion of the ceramic body 1. Thereby, the deformation of the ceramic body 1 under the heat cycle can be reduced. Specifically, by using aluminum nitride as the ceramic body 1, the thermal expansion coefficient of the ceramic body 1 is set to 4.6 × 10 −6 / K, and by using silicon carbide as the second ceramic ring 4, the second ceramic ring The thermal expansion coefficient of 4 can be set to 3.7 × 10 −6 / K.

また、セラミック体１および第２セラミックリング４を主成分が同じセラミックスから形成するとともに、副成分として添加する物質の種類または量を変えることによって、熱膨張率を調整してもよい。具体的には、セラミック体１および第２セラミックリング４の主成分として窒化アルミニウムを用いるとともに副成分としてアルミナを用いる場合であれば、窒化アルミニウム単体よりも熱膨張率を大きくすることができる。具体的には、セラミック体１の材料として、アルミナを１〜５質量パーセント添加した窒化アルミニウムを用いることによって、セラミック体１の熱膨張率を４．８×１０−６／Ｋに設定することができる。また、第２セラミックリング４の材料として、アルミナを添加していない窒化アルミニウム単体を用いることによって、第２セラミックリング４の熱膨張率を４．６×１０−６／Ｋに設定できる。このように、セラミック体１と第２セラミックリング４の主成分を同じにすることによって、セラミック体１と第２セラミックリング４の熱伝導率を同程度にすることができるので、試料保持面１１の均熱性を高めることができる。 Further, the coefficient of thermal expansion may be adjusted by forming the ceramic body 1 and the second ceramic ring 4 from the same ceramic as the main component and changing the type or amount of the substance to be added as a subcomponent. Specifically, if aluminum nitride is used as the main component of the ceramic body 1 and the second ceramic ring 4 and alumina is used as the subcomponent, the coefficient of thermal expansion can be larger than that of aluminum nitride alone. Specifically, the coefficient of thermal expansion of the ceramic body 1 may be set to 4.8 × 10 −6 / K by using aluminum nitride to which 1 to 5 mass percent of alumina is added as the material of the ceramic body 1. it can. Moreover, the thermal expansion coefficient of the 2nd ceramic ring 4 can be set to 4.6 * 10 < -6 > / K by using the aluminum nitride single-piece | unit which is not adding the alumina as a material of the 2nd ceramic ring 4. FIG. Thus, the thermal conductivity of the ceramic body 1 and that of the second ceramic ring 4 can be made approximately the same by making the main components of the ceramic body 1 and the second ceramic ring 4 the same. Temperature uniformity can be improved.

また、下側主面に垂直な方向で断面視したときに、第１セラミックリング３が第２セラミックリング４よりも幅広であってもよい。セラミック体１が熱膨張または熱収縮するときには、セラミック体１の外側に向かうにつれて、その変形量が大きくなる。そのため、第２セラミックリング４よりも外側に位置する第１セラミックリング３には、第２セラミックリング４よりも大きな熱応力が加わることになる。このような第１セラミックリング３を第２セラミックリング４よりも幅広にしておくことで、セラミック体１の変形をより効果的に低減できる。   Further, the first ceramic ring 3 may be wider than the second ceramic ring 4 when viewed in cross section in a direction perpendicular to the lower main surface. When the ceramic body 1 is thermally expanded or thermally shrunk, the amount of deformation increases as it goes to the outside of the ceramic body 1. Therefore, a larger thermal stress is applied to the first ceramic ring 3 located outside the second ceramic ring 4 than the second ceramic ring 4. By making such a first ceramic ring 3 wider than the second ceramic ring 4, deformation of the ceramic body 1 can be reduced more effectively.

１：セラミック体
１１：試料保持面
２：金属部材
２１：鍔部
２２：筒部
３：第１セラミックリング
４：第２セラミックリング
１０：試料保持具
２０：筐体
３０：貫通孔
４０：空間
１００：試料処理装置 1: ceramic body 11: sample holding surface 2: metal member 21: flange 22: tube portion 3: first ceramic ring 4: second ceramic ring 10: sample holder 20: housing 30: through hole 40: space 100 Sample processing system

Claims (5)

上側主面と下側主面とを有し前記上側主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の前記下側主面に接合された鍔部および該鍔部から下方に向かう筒部を有する金属部材と、前記筒部を囲むように前記鍔部に設けられた第１セラミックリングと、前記セラミック体の前記下側主面のうち前記筒部よりも内側に設けられた第２セラミックリングとを備え、前記第２セラミックリングの熱膨張率が前記セラミック体の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする試料保持具。 A ceramic body having an upper major surface and a lower major surface and a sample holding surface on the upper major surface, a ridge portion joined to the lower major surface of the ceramic body, and a cylinder directed downward from the ridge portion A metal member having a portion, a first ceramic ring provided in the collar portion to surround the cylindrical portion, and a second ceramic ring provided on the inner side of the cylindrical portion on the lower main surface of the ceramic body A sample holder comprising: a ceramic ring; and a coefficient of thermal expansion of the second ceramic ring being smaller than a coefficient of thermal expansion of the ceramic body . 前記下側主面に垂直な方向で断面視したときに、前記第１セラミックリングが前記第２セラミックリングよりも幅広であることを特徴とする請求項１に記載の試料保持具。 When viewed in cross section in a direction perpendicular to said lower major surface, a sample holder according to claim 1, wherein the first ceramic ring is wider than the second ceramic ring. 上側主面と下側主面とを有し前記上側主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の前記下側主面に接合された鍔部および該鍔部から下方に向かう筒部を有する金属部材と、前記筒部を囲むように前記鍔部に設けられた第１セラミックリングと、前記セラミック体の前記下側主面のうち前記筒部よりも内側に設けられた第２セラミックリングとを備え、前記下側主面に垂直な方向で断面視したときに、前記第１セラミックリングが前記第２セラミックリングよりも幅広であることを特徴とする試料保持具。  A ceramic body having an upper major surface and a lower major surface and a sample holding surface on the upper major surface, a ridge portion joined to the lower major surface of the ceramic body, and a cylinder directed downward from the ridge portion A metal member having a portion, a first ceramic ring provided in the collar portion to surround the cylindrical portion, and a second ceramic ring provided on the inner side of the cylindrical portion on the lower main surface of the ceramic body A sample holder comprising: a ceramic ring, wherein the first ceramic ring is wider than the second ceramic ring when viewed in a direction perpendicular to the lower main surface. 前記第１セラミックリングと前記第２セラミックリングとが同心円状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の試料保持具。 The sample holder according to any one of claims 1 to 3, wherein the first ceramic ring and the second ceramic ring are concentric. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の試料保持具と、貫通孔を有する筐体とを備えており、前記セラミック体および前記金属部材が前記貫通孔を塞ぐように前記筐体に取り付けられていることを特徴とする試料処理装置。   A sample holder according to any one of claims 1 to 4 and a case having a through hole, wherein the ceramic body and the metal member are attached to the case so as to close the through hole. The sample processing apparatus characterized by being.
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