JP6515106B2 - 大きなせん断運動を提供する平面圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
− 前記選択された方向に対する前記ファイバの傾斜角が2°より大きく40°より小さく、
− 活性層内の圧電ファイバの間の空間が、絶縁耐力が前記ファイバの絶縁耐力より大きい非圧縮性の弾性材料で埋められ、
− 前記活性層が、非変形可能な要素と称される少なくとも2つの要素を備え、これらの要素が、細長く、前記選択された方向に対して平行であり、引張係数が少なくとも200GPaであり、
− 前記ファイバの各々の両端が、剛性の接着剤を用いて前記非変形可能な要素に接着接合され、
− 前記非変形可能な要素が、剛性の接着剤により、前記電極担持層に接着接合されることを特徴とする。
− 前記活性層を
・ 前記選択された方向に対して傾斜角が2°よりも大きく、40°よりも小さい前記圧電ファイバを位置決めするステップと、
・ 絶縁耐力が前記ファイバの絶縁耐力よりも大きい非圧縮性の弾性材料で圧電ファイバ間の空間を埋めるステップと、
・ 前記選択された方向に対して平行に、前記非変形可能な要素から少なくとも2つの要素を配置するステップであって、これらの要素が、細長く、引張係数が少なくとも200GPaである、配置するステップと、
・ 前記ファイバの各々の両端を前記非変形可能な要素に剛性の接着剤により接着接合するステップとによって製作し、
− 前記非変形可能な要素を前記電極担持層に剛性の接着剤により接着接合する操作を特徴とする。
− 中央の平面XYにおいて、圧電ファイバ2を備える層1と、
− 方向Zのいずれかの側に配置された圧電ファイバ2を作動させる電極5を担持する平面層3及び4と、
− 中央層と電極担持層との間の接続をもたらす接着剤の中間層6及び7とから構成されたサンドイッチ構造を有する。
− 圧電ファイバ2によって占有される空間において、低いせん断弾性係数、典型的には10MPa未満のエラストマー11によって、及び
− 糸状の条材8において、エポキシの種類の剛性接着剤によって、方向Xの平行帯から構成される。
− 圧電ファイバ2の間のエラストマー9のせん断弾性係数が小さく、したがって、糸状の条材8により形成された支持構造体の剛性が低減し、
− ファイバ2を電極担持層3及び4に接続するエラストマー11のせん断弾性係数が小さく、したがって、圧電ファイバの変形に対する電極担持層の剛性の影響が低減するとき、より大きい。
Claims (9)
- 選択された方向に大きなせん断運動を有する圧電アクチュエータであって、相互に平行であって前記方向に対して傾斜された複数の圧電ファイバ(2)を備えた少なくとも1つの活性層(1)を備え、前記活性層が、命令を受けて前記複数の圧電ファイバ(2)の長さを変動させることができるように配設された電極(5)を担持する少なくとも2つの電極担持層(3、4)の間に配置されている、サンドイッチ構造を有する、圧電アクチュエータにおいて、
前記選択された方向に対する前記複数の圧電ファイバの傾斜角が、2°より大きく40°より小さく、
前記活性層内の複数の圧電ファイバの間の空間が、絶縁耐力が前記複数の圧電ファイバの絶縁耐力よりも大きい非圧縮性の弾性材料(10)で埋められ、
前記活性層が、少なくとも2つの変形不可能要素(8)を備え、前記変形不可能要素が、細長く、前記選択された方向に対して平行であり、引張係数が少なくとも200GPaであり、
前記複数の圧電ファイバ(2)の各々の両端が、剛性の接着剤(9)を用いて前記変形不可能要素(8)に接着接合され、
前記変形不可能要素(8)が、剛性の接着剤(12)により電極を担持する前記電極担持層(4)に接着接合されている、
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記選択された方向に対する前記複数の圧電ファイバ(2)の前記傾斜角が、10°未満である、ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記複数の圧電ファイバ(2)が、せん断弾性係数が10MPa未満である弾性材料(11)によって前記電極担持層(4)に接続されている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
- 前記電極担持層(4)が、ポリイミドから製造された非導電材料から生産されている、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記活性層の前記選択された方向に対して平行である2つの縁部が、各々、前記少なくとも2つの変形不可能要素(8)のうちの1つによって形成されている、ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 選択された方向に大きなせん断運動を有する圧電アクチュエータを生産するための方法であって、相互に平行であって前記方向に対して傾斜された複数の圧電ファイバ(2)を備えた少なくとも1つの活性層(1)を備え、前記活性層(1)が、命令を受けて前記複数の圧電ファイバの長さを変動させることができるように配設された電極(5)を担持する少なくとも2つの電極担持層(4)の間に配置されている、サンドイッチ構造を有する圧電アクチュエータ方法を生産する方法において、
1つの前記活性層(1)を
前記選択された方向に対して傾斜角を2°より大きく40°より小さくして前記複数の圧電ファイバ(2)を位置決めするステップと、
複数の圧電ファイバの間の空間を絶縁耐力が前記複数の圧電ファイバの絶縁耐力よりも大きい非圧縮性の弾性材料(10)で埋めるステップと、
少なくとも2つの変形不可能要素(8)を前記選択された方向に対して平行に配置するステップであって、前記変形不可能要素が細長く、引張係数が少なくとも200GPaである、ステップと、
剛性の接着剤(9)により、前記複数の圧電ファイバ(2)の各々の両端を前記変形不可能要素(8)に接着接合するステップと
によって生産する操作と、
剛性の接着剤(12)により、電極(5)を担持する前記電極担持層(4)に前記変形不可能要素(8)を接着接合する操作と
を特徴とする方法。 - 前記複数の圧電ファイバ(2)を位置決めする前記ステップが、実質的に前記活性層(1)の寸法に合わせて製造された前記複数の圧電ファイバを構成する材料のシート(13)を切り取るステップによって実施される、請求項6に記載の方法。
- 前記変形不可能要素(8)が、弾性材料(10)の帯によって分離された前記複数の圧電ファイバ(2)から、シートの全体の範囲にわたって、構成された前記活性層(1)の寸法に実質的に合わせて、シートにおけるせん断方向に形成された溝に配置される、請求項6又は7に記載の方法。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータを備えた少なくとも部分的に変形可能な空気力学的要素。
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