JP6514615B2 - Method of manufacturing connection structure - Google Patents
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Description
本発明は、はんだ粒子を含む導電ペーストを用いる接続構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a connection structure using a conductive paste containing solder particles.
異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。上記異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。 Anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive paste and anisotropic conductive film are widely known. In the anisotropic conductive material, conductive particles are dispersed in a binder resin.
上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用されている。 The anisotropic conductive material is, for example, a connection between a flexible printed substrate and a glass substrate (FOG (Film on Glass)) and a connection between a semiconductor chip and a flexible printed substrate (COF (COF) to obtain various connection structures. It is used for chip on film), connection between semiconductor chip and glass substrate (COG (chip on glass)), connection between flexible printed circuit board and glass epoxy substrate (FOB (film on board)), and the like.
上記異方性導電材料により、例えば、フレキシブルプリント基板の電極とガラスエポキシ基板の電極とを電気的に接続する際には、ガラスエポキシ基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、フレキシブルプリント基板を積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して、接続構造体を得る。 For example, when electrically connecting an electrode of a flexible printed board and an electrode of a glass epoxy board with the above-mentioned anisotropic conductive material, an anisotropic conductive material containing conductive particles is arranged on the glass epoxy board Do. Next, the flexible printed circuit is laminated, and heated and pressurized. Thus, the anisotropic conductive material is cured to electrically connect the electrodes via the conductive particles to obtain a connection structure.
上記異方性導電材料の一例として、下記の特許文献1には、熱硬化性樹脂を含む樹脂層と、はんだ粉と、硬化剤とを含み、上記はんだ粉と上記硬化剤とが上記樹脂層中に存在する接着テープが開示されている。この接着テープは、フィルム状であり、ペースト状ではない。
As an example of the anisotropic conductive material,
また、特許文献1では、上記接着テープを用いた接着方法が開示されている。具体的には、第一基板、接着テープ、第二基板、接着テープ、及び第三基板を下からこの順に積層して、積層体を得る。このとき、第一基板の表面に設けられた第一電極と、第二基板の表面に設けられた第二電極とを対向させる。また、第二基板の表面に設けられた第二電極と第三基板の表面に設けられた第三電極とを対向させる。そして、積層体を所定の温度で加熱して接着する。これにより、接続構造体を得る。
Further,
特許文献1に記載の接着テープは、フィルム状であり、ペースト状ではない。このため、はんだ粉を電極(ライン)上に効率的に配置することは困難である。例えば、特許文献1に記載の接着テープでは、はんだ粉の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)にも配置されやすい。電極が形成されていない領域に配置されたはんだ粉は、電極間の導通に寄与しない。
The adhesive tape described in
また、はんだ粉を含む異方性導電ペーストであっても、はんだ粉が電極(ライン)上に効率的に配置されないことがある。 Moreover, even if it is an anisotropic conductive paste containing solder powder, solder powder may not be efficiently arrange | positioned on an electrode (line).
また更に、従来、はんだ粉を含む異方性導電ペーストを用いる場合に、従来の電極が設けられた部材を用いると、接続されてはならない横方向に隣接する電極間がはんだにより電気的に接続されやすいという課題があることが本発明者らにより発見された。 Furthermore, conventionally, in the case of using an anisotropic conductive paste containing solder powder, if a member provided with a conventional electrode is used, the laterally adjacent electrodes which should not be connected are electrically connected by solder It was discovered by the present inventors that there is a problem of being easy to do.
本発明の目的は、はんだ粒子を電極間に効率的に配置することができ、電極間の導通信頼性を高めることができ、接続されてはならない電極間の絶縁信頼性を高めることができる接続構造体の製造方法を提供することである。 The object of the present invention is that the solder particles can be efficiently arranged between the electrodes, the conduction reliability between the electrodes can be enhanced, and the insulation reliability between the electrodes which should not be connected can be enhanced. A method of manufacturing a structure is provided.
本発明の広い局面によれば、熱硬化性成分と複数のはんだ粒子とを含む導電ペーストと、長さ方向及び幅方向を有する複数の第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、長さ方向及び幅方向を有する複数の第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材とを用いて、前記第1の接続対象部材の表面上に、前記導電ペーストを配置する工程と、前記導電ペーストの前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、前記第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、前記はんだ粒子の融点以上かつ前記熱硬化性成分の硬化温度以上に前記導電ペーストを加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電ペーストにより形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備え、前記第1の接続対象部材として、前記第1の電極の長さ方向の端部が、前記第2の接続対象部材と対向される部分の前記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いるか、又は、前記第2の接続対象部材として、前記第2の電極の長さ方向の端部が、前記第1の接続対象部材と対向される部分の前記第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いる、接続構造体の製造方法が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a conductive paste containing a thermosetting component and a plurality of solder particles, and a first connection target member having a plurality of first electrodes having a length direction and a width direction on the surface And disposing the conductive paste on the surface of the first connection target member using a second connection target member having on the surface a plurality of second electrodes having a length direction and a width direction. And disposing the second connection target member such that the first electrode and the second electrode face each other on the surface of the conductive paste opposite to the first connection target member. And the connection connecting the first connection target member and the second connection target member by heating the conductive paste to a temperature higher than the melting point of the solder particles and higher than a curing temperature of the thermosetting component. Part is formed of the conductive paste, and Electrically connecting the first electrode and the second electrode by the solder portion in the connection portion, wherein a length direction of the first electrode as the first connection target member Use a first connection target member whose end does not reach the end of the first connection target member in a portion facing the second connection target member, or the second connection target member As the second end of the second electrode in the longitudinal direction, the second connection target member in which the end portion of the second connection target member does not reach the end portion of the portion facing the first connection target member , A method of manufacturing a connection structure is provided.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極の長さ方向の端部と第1の接続対象部材の端部との距離が、前記第1の電極の電極幅よりも大きいか、又は、前記第2の電極の長さ方向の端部と第2の接続対象部材の端部との距離が、前記第2の電極の電極幅よりも大きい。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the distance between the end in the longitudinal direction of the first electrode and the end of the first connection target member is equal to that of the first electrode. The distance between the end in the longitudinal direction of the second electrode and the end of the second connection target member is larger than the electrode width of the second electrode.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極の長さ方向の端部と第1の接続対象部材の端部との距離が、50μm以上、1000μm以下であるか、又は、前記第2の電極の長さ方向の端部と第2の接続対象部材の端部との距離が、50μm以上、1000μm以下である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the distance between the end in the longitudinal direction of the first electrode and the end of the first connection target member is 50 μm to 1000 μm. Or the distance between the end in the longitudinal direction of the second electrode and the end of the second connection target member is not less than 50 μm and not more than 1000 μm.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極の長さ方向の端部と第1の接続対象部材の端部との距離が、前記はんだ粒子の平均粒子径の5倍以上、100倍以下であるか、又は、前記第2の電極の長さ方向の端部と第2の接続対象部材の端部との距離が、前記はんだ粒子の平均粒子径の5倍以上、100倍以下である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the distance between the end in the lengthwise direction of the first electrode and the end of the first connection target member is the average particle size of the solder particles. The distance between the end of the second electrode in the lengthwise direction and the end of the second connection target member is the average particle diameter of the solder particles 5 times or more and 100 times or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極の長さ方向の端部と前記第1の接続対象部材の端部との距離の、前記第1の電極の電極幅に対する比が、0.1以上、10以下であるか、又は、前記第2の電極の長さ方向の端部と前記第2の接続対象部材の端部との距離の、前記第2の電極の電極幅に対する比が、0.1以上、10以下である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the first electrode has a distance between an end in a longitudinal direction of the first electrode and an end of the first connection target member. Of the distance between the end of the second electrode in the longitudinal direction and the end of the second connection target member, The ratio of 2 to the electrode width is 0.1 or more and 10 or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の接続対象部材として、前記第1の電極の長さ方向の端部が、前記第2の接続対象部材と対向される部分の前記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用い、かつ、前記第2の接続対象部材として、前記第2の電極の長さ方向の端部が、前記第1の接続対象部材
と対向される部分の前記第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いる。
In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, an end in a longitudinal direction of the first electrode is opposed to the second connection target member as the first connection target member. The first connection target member which does not reach the end of the first connection target member of the portion where the end of the second electrode in the lengthwise direction is used as the second connection target member, A second connection target member that does not reach the end of the second connection target member in a portion facing the first connection target member is used.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、前記導電ペーストには、前記第2の接続対象部材の重量が加わるか、又は、前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程の内の少なくとも一方において、加圧を行い、かつ、前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程の双方において、加圧の圧力が1MPa未満である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, no pressure is applied, and the conductive paste is Pressurization is performed in at least one of the step of adding the weight of the second connection target member or the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and The pressure of pressurization is less than 1 MPa in both the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、前記導電ペーストには、前記第2の接続対象部材の重量が加わる。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, no pressure is applied, and the conductive paste is The weight of the second connection target member is added.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記はんだ粒子の平均粒子径が0.5μm以上、100μm以下である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the average particle diameter of the solder particles is 0.5 μm or more and 100 μm or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記導電ペースト中の前記はんだ粒子の含有量が10重量%以上、80重量%以下である。 In a specific aspect of the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, the content of the solder particles in the conductive paste is 10% by weight or more and 80% by weight or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第2の接続対象部材が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、リジッドフレキシブル基板又はフレキシブルフラットケーブルである。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the second connection target member is a resin film, a flexible printed circuit, a rigid flexible substrate or a flexible flat cable.
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極の電極幅が、50μm以上、1000μm以下であり、前記第2の電極の電極幅が、50μm以上、1000μm以下であり、前記第1の電極の電極間幅が、50μm以上、1000μm以下であり、前記第2の電極の電極間幅が、50μm以上、1000μm以下である。 In a specific aspect of the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, the electrode width of the first electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less, and the electrode width of the second electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less The inter-electrode width of the first electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less, and the inter-electrode width of the second electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法は、熱硬化性成分と複数のはんだ粒子とを含む導電ペーストと、長さ方向及び幅方向を有する複数の第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、長さ方向及び幅方向を有する複数の第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材とを用いて、上記第1の接続対象部材の表面上に、上記導電ペーストを配置する工程と、上記導電ペーストの上記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、上記第2の接続対象部材を、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように配置する工程と、上記はんだ粒子の融点以上かつ上記熱硬化性成分の硬化温度以上に上記導電ペーストを加熱することで、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、上記導電ペーストにより形成し、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とを、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備えており、更に上記第1の接続対象部材として、上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いるか、又は、上記第2の接続対象部材として、上記第2の電極の長さ方向の端部が、上記第1の接続対象部材と対向される部分の第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いるので、はんだ粒子を電極間に効率的に配置することができ、電極間の導通信頼性を高めることができ、接続されてはならない電極間の絶縁信頼性を高めることができる。 A method of manufacturing a connection structure according to the present invention is a first connection having a conductive paste containing a thermosetting component and a plurality of solder particles, and a plurality of first electrodes having a length direction and a width direction on the surface. The conductive paste is disposed on the surface of the first connection target member using the target member and the second connection target member having the plurality of second electrodes having the length direction and the width direction on the surface. And the second connection target member such that the first electrode and the second electrode face each other on the surface opposite to the first connection target member side of the conductive paste. The first connection object member and the second connection object member are connected by heating the conductive paste at a temperature higher than the melting point of the solder particles and higher than the curing temperature of the thermosetting component. Connection part formed by the above conductive paste And the step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by the solder portion in the connection portion, and the first connection target member further includes: Use the first connection target member in which the end in the longitudinal direction of the electrode does not reach the end of the first connection target member in a portion facing the second connection target member, or As a second connection target member, a second end of the second electrode in the lengthwise direction does not reach an end of the second connection target member in a portion opposed to the first connection target member. Since the connection target member is used, the solder particles can be efficiently arranged between the electrodes, the conduction reliability between the electrodes can be enhanced, and the insulation reliability between the electrodes which should not be connected can be enhanced. .
以下、本発明の詳細を説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、熱硬化性成分と複数のはんだ粒子とを含む導電ペーストと、長さ方向及び幅方向を有する複数の第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、長さ方向及び幅方向を有する複数の第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材とを用いる。 In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, a first connection having on the surface a conductive paste containing a thermosetting component and a plurality of solder particles, and a plurality of first electrodes having a length direction and a width direction. A target member and a second connection target member having a plurality of second electrodes having a length direction and a width direction on the surface are used.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第1の接続対象部材の表面上に、上記導電ペーストを配置する工程と、上記導電ペーストの上記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、上記第2の接続対象部材を、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように配置する工程と、上記はんだ粒子の融点以上かつ上記熱硬化性成分の硬化温度以上に上記導電ペーストを加熱することで、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、上記導電ペーストにより形成し、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とを、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える。 In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, the step of disposing the conductive paste on the surface of the first connection target member and the surface opposite to the first connection target member side of the conductive paste. Arranging the second connection target member such that the first electrode and the second electrode face each other, a melting point of the solder particles or more and a curing temperature of the thermosetting component or more Forming the connection portion connecting the first connection target member and the second connection target member with the conductive paste by heating the conductive paste; and Electrically connecting the second electrode with the solder portion in the connection portion.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第1の接続対象部材として、上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いるか、又は、上記第2の接続対象部材として、上記第2の電極の長さ方向の端部が、上記第1の接続対象部材と対向される部分の第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いる。 In the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, as the first connection target member, the end portion of the first electrode in the length direction is a portion of the portion facing the second connection target member. Either the first connection target member not reaching the end of the first connection target member is used, or, as the second connection target member, the end of the second electrode in the longitudinal direction is the first connection target member. The second connection target member that does not reach the end of the second connection target member in the portion facing the connection target member is used.
上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない場合には、第1の電極が設けられていない領域が、第1の電極の長さ方向の端部よりも側方に存在する。上記第2の接続対象部材として、上記第2の電極の長さ方向の端部が、上記第1の接続対象部材と対向される部分の第2の接続対象部材の端部に至っていない場合には、第2の電極が設けられていない領域が、第2の電極の長さ方向の端部よりも側方に存在する。 If the end in the longitudinal direction of the first electrode does not reach the end of the first connection target member in a portion facing the second connection target member, the first electrode is provided. An unoccupied area is present laterally to the longitudinal end of the first electrode. When the end in the lengthwise direction of the second electrode does not reach the end of the second connection target member in a portion opposed to the first connection target member as the second connection target member That is, the area where the second electrode is not provided is present more laterally than the longitudinal end of the second electrode.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記の構成が採用されているので、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の絶縁信頼性を高めることができる。これは、電極が接続対象部材の端部に至っている場合に、加熱によりはんだ粒子を移動させる際に、接続対象部材の端部付近ではんだ粒子がまわり込んで、電極の端部付近にはんだ粒子が多く配置され、横方向に隣接する電極間がはんだにより電気的に接続されやすいのに対し、電極が接続対象部材の端部に至っていない場合に、加熱によりはんだ粒子を移動させる際に、接続対象部材の端部付近ではんだ粒子がまわり込み難く、電極の端部付近ではんだ粒子が電極の端部よりも側方に適度に流れる結果、横方向に隣接する電極間がはんだにより電気的に接続されにくいためである。 In the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, since the above configuration is adopted, the insulation reliability between laterally adjacent electrodes which should not be connected can be enhanced. This is because, when the electrode reaches the end of the connection target member, when the solder particles are moved by heating, the solder particle wraps around the end of the connection target member, and the solder particle is near the end of the electrode In the case where the solder particles are moved by heating when the electrodes are arranged so that the electrodes adjacent in the lateral direction are easily electrically connected by the solder while the electrodes do not reach the end of the connection target member, It is difficult for the solder particles to wrap around near the end of the target member, and the solder particles will flow more laterally than the end of the electrode near the end of the electrode. It is because it is hard to be connected.
さらに、本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記の構成が採用されているので、複数のはんだ粒子が各電極間に多く集まり、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上に効率的に配置することができる。また、複数のはんだ粒子の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子
の量をかなり少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性を高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続を防ぐことができ、絶縁信頼性を高めることができる。
Furthermore, in the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, since the above configuration is adopted, a large number of solder particles gather between each electrode, and the plurality of solder particles are efficiently placed on the electrodes (lines). It can be arranged. Further, some of the plurality of solder particles are difficult to be disposed in the region (space) in which the electrode is not formed, and the amount of solder particles disposed in the region in which the electrode is not formed can be considerably reduced. Therefore, the conduction reliability between the electrodes can be enhanced. Moreover, electrical connection between laterally adjacent electrodes, which should not be connected, can be prevented, and insulation reliability can be enhanced.
なお、本発明では、複数のはんだ粒子を電極間に効率的に集める他の方法を更に採用してもよい。複数のはんだ粒子を電極間に効率的に集める方法としては、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材との間の導電ペーストに、熱を付与した際、熱により導電ペーストの粘度が低下することで、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材との間の導電ペーストの対流を発生させる方法等が挙げられる。この方法において、接続対象部材の表面の電極とそれ以外の表面部材との熱容量の差異により対流を発生させる方法、接続対象部材の水分を、熱により水蒸気として対流を発生させる方法、並びに第1の接続対象部材と第2の接続対象部材との温度差により対流を発生させる方法等が挙げられる。これにより、導電ペースト中のはんだ粒子を、電極の表面に効率的に移動させることができる。 In the present invention, other methods of efficiently collecting a plurality of solder particles between the electrodes may be further adopted. As a method of efficiently collecting a plurality of solder particles between electrodes, when heat is applied to the conductive paste between the first connection target member and the second connection target member, the viscosity of the conductive paste is generated by the heat The method of making the convection of the electrically conductive paste between a 1st connection object member and a 2nd connection object member generate | occur | produce, etc. are mentioned. In this method, a method of generating convection by the difference in heat capacity between an electrode on the surface of the connection target member and the other surface members, a method of generating the convection by using water vapor of the water of the connection target member as heat, and the first The method etc. which generate | occur | produce a convection with the temperature difference of a connection object member and a 2nd connection object member are mentioned. Thereby, the solder particles in the conductive paste can be efficiently moved to the surface of the electrode.
なお、本発明では、電極の表面に選択的にはんだ粒子を凝集させる方法を更に採用してもよい。電極の表面に選択的にはんだ粒子を凝集させる方法としては、溶融したはんだ粒子の濡れ性がよい電極材質と、溶融したはんだ粒子の濡れ性の悪いその他の表面材質とにより形成された接続対象部材を選択し、電極の表面に到達した溶融したはんだ粒子を選択的に電極に付着させ、その溶融したはんだ粒子に対し、別のはんだ粒子を溶融させて付着させる方法、熱伝導性がよい電極材質と、熱伝導性が悪いその他の表面材質とにより形成された接続対象部材を選択し、熱を付与した際に、電極の温度を他の表面部材に対し高くすることで、選択的に電極上ではんだを溶融させる方法、金属により形成された電極上に存在するマイナスの電荷に対して、プラスの電荷を持つように処理されたはんだ粒子を用いて、電極に選択的にはんだ粒子を凝集させる方法、並びに、親水性の金属表面を有する電極に対して、導電ペースト中のはんだ粒子以外の樹脂を疎水性とすることで、電極に選択的にはんだ粒子を凝集させる方法等が挙げられる。 In the present invention, a method of selectively agglomerating solder particles on the surface of the electrode may be further employed. As a method of selectively aggregating solder particles on the surface of an electrode, a connection target member formed of an electrode material having good wettability of melted solder particles and another surface material having poor wettability of melted solder particles Selected, the melted solder particles that have reached the surface of the electrode are selectively attached to the electrode, and another solder particle is melted and attached to the melted solder particles, an electrode material with good thermal conductivity By selecting the connection target member formed of the other surface materials with poor thermal conductivity and applying heat, the temperature of the electrode is made higher than that of the other surface member, thereby selectively on the electrode. Method of melting the solder by the method, solder particles selectively condensed on the electrode using the solder particles treated to have a positive charge with respect to the negative charge present on the electrode formed of metal Method of, and, the electrode having a hydrophilic metal surface, the resin other than the solder particles in the conductive paste by a hydrophobic, a method to aggregate selectively solder particles on the electrode, and the like.
電極間でのはんだ部の厚みは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下である。電極の表面上のはんだ濡れ面積(電極の露出した面積100%中のはんだが接している面積)は、好ましくは50%以上、より好ましくは60%以上、更に好ましくは70%以上、好ましくは100%以下である。 The thickness of the solder portion between the electrodes is preferably 10 μm or more, more preferably 20 μm or more, preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less. The solder wet area on the surface of the electrode (area in contact with the solder in 100% of the exposed area of the electrode) is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 70% or more, preferably 100 % Or less.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電ペーストには、上記第2の接続対象部材の重量が加わるか、又は、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程の内の少なくとも一方において、加圧を行い、かつ、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程の双方において、加圧の圧力が1MPa未満であることが好ましい。1MPa以上の加圧の圧力を加えないことで、はんだ粒子の凝集がかなり促進される。接続対象部材の反りを抑える観点からは、本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程の内の少なくとも一方において、加圧を行い、かつ、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程の双方において、加圧の圧力が1MPa未満であってもよい。加圧を行う場合に、上記第2の接続対象部材を配置する工程のみにおいて、加圧を行ってもよく、上記接続部を形成する工程のみにおいて、加圧を行ってもよく、上記第2の接続対象部材を配置する工程と上記接続部を形成する工程との双方において、加圧を行ってもよい。加圧の圧力が1MPa未満には、加圧していない場合が含まれる。加圧を行う場合に、加圧の圧力は、好ましくは0.9MPa以下、より好ましくは0.8MPa以下である。加圧の圧力が0.8MPa以下である場合に、加圧の圧力が0.8MPaを超える場合と比べて、はんだ粒子の凝集がより一層顕著に促進される。 In the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, no pressure is applied in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and the second connection is performed on the conductive paste. Pressing is performed in at least one of the step of adding the weight of the target member or the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and the second connection target member It is preferable that the pressure of pressurization is less than 1 MPa in both the step of arranging and the step of forming the connection portion. By not applying a pressure of 1 MPa or more, aggregation of the solder particles is considerably promoted. From the viewpoint of suppressing the warping of the connection target member, in the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, at least one of the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion The pressure of pressurization may be less than 1 MPa in both the step of applying pressure and the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion. When pressing is performed, pressing may be performed only in the step of arranging the second connection target member, or may be performed only in the step of forming the connection portion. In both the step of arranging the connection target member and the step of forming the connection portion, pressurization may be performed. The pressure of less than 1 MPa includes the case where the pressure is not applied. When pressurization is performed, the pressure of pressurization is preferably 0.9 MPa or less, more preferably 0.8 MPa or less. When the pressure of pressure is 0.8 MPa or less, the aggregation of the solder particles is more significantly promoted as compared to the case where the pressure of pressure exceeds 0.8 MPa.
本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電ペーストには、上記第2の接続対象部材の重量が加わることが好ましく、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、上記導電ペーストには、上記第2の接続対象部材の重量の力を超える加圧圧力は加わらないことが好ましい。これらの場合には、複数のはんだ部において、はんだ量の均一性をより一層高めることができる。さらに、はんだ部の厚みをより一層効果的に厚くすることができ、複数のはんだ粒子が電極間に多く集まりやすくなり、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上により一層効率的に配置することができる。また、複数のはんだ粒子の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子の量をより一層少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性をより一層高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続をより一層防ぐことができ、絶縁信頼性をより一層高めることができる。 In the method of manufacturing a connection structure according to the present invention, no pressure is applied in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and the second connection is performed on the conductive paste. It is preferable that the weight of the target member be added, and in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, the conductive paste exceeds the force of the weight of the second connection target member It is preferable not to apply an applied pressure. In these cases, the uniformity of the amount of solder can be further improved in the plurality of solder portions. Furthermore, the thickness of the solder portion can be further effectively increased, a plurality of solder particles are easily collected between the electrodes, and the plurality of solder particles can be arranged more efficiently on the electrodes (lines). it can. In addition, some of the plurality of solder particles are difficult to be disposed in the region (space) in which the electrode is not formed, and the amount of solder particles disposed in the region in which the electrode is not formed can be further reduced. Therefore, the conduction reliability between the electrodes can be further enhanced. In addition, the electrical connection between the laterally adjacent electrodes which should not be connected can be further prevented, and the insulation reliability can be further enhanced.
このように、複数のはんだ粒子を電極上に効率的に配置し、かつ電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子の量をかなり少なくするためには、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いる必要があることを、本発明者は見出した。 Thus, in order to efficiently dispose the plurality of solder particles on the electrode and considerably reduce the amount of solder particles disposed in the region where the electrode is not formed, the conductive paste is used instead of the conductive film. The inventor has found that it is necessary to use.
さらに、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電ペーストに、上記第2の接続対象部材の重量が加われば、接続部が形成される前に電極が形成されていない領域(スペース)に配置されていたはんだ粒子が第1の電極と第2の電極との間により一層集まりやすくなり、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上により一層効率的に配置することができることも、本発明者は見出した。本発明では、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いるという構成と、加圧を行わず、上記導電ペーストには、上記第2の接続対象部材の重量が加わるようにするという構成とを組み合わせて採用することには、本発明の効果をより一層高いレベルで得るために大きな意味がある。 Furthermore, in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, the connection portion is not pressurized when the weight of the second connection target member is added to the conductive paste. The solder particles arranged in the region (space) in which the electrode is not formed before being formed are more likely to be collected between the first electrode and the second electrode, and the plurality of solder particles are arranged in the electrode (line) The inventors have also found that the above can be arranged more efficiently. In the present invention, a combination of a configuration using a conductive paste, not a conductive film, and a configuration without applying pressure and adding the weight of the second connection target member to the conductive paste is adopted. There is great significance in order to obtain the effects of the present invention at a higher level.
なお、WO2008/023452A1では、はんだ粉を電極表面に押し流して効率よく移動させる観点からは、接着時に所定の圧力で加圧するとよいことが記載されており、加圧圧力は、はんだ領域をさらに確実に形成する観点では、例えば、0MPa以上、好ましくは1MPa以上とすることが記載されており、更に、接着テープに意図的に加える圧力が0MPaであっても、接着テープ上に配置された部材の自重により、接着テープに所定の圧力が加わってもよいことが記載されている。WO2008/023452A1では、接着テープに意図的に加える圧力が0MPaであってもよいことは記載されているが、0MPaを超える圧力を付与した場合と0MPaとした場合との効果の差異については、何ら記載されていない。また、WO2008/023452A1では、フィルム状ではなく、ペースト状の導電ペーストを用いることの重要性についても何ら認識されていない。 WO 2008/023452 A1 describes that it is preferable to press with a predetermined pressure at the time of bonding from the viewpoint of pushing solder powder to the electrode surface and moving it efficiently, and the pressing pressure further secures the solder area. In the viewpoint of forming it, for example, 0 MPa or more, preferably 1 MPa or more is described, and further, even if the pressure intentionally applied to the adhesive tape is 0 MPa, It is described that the adhesive tape may be subjected to a predetermined pressure by its own weight. Although it is described in WO 2008/023452 A1 that the pressure intentionally applied to the adhesive tape may be 0 MPa, any difference in the effect between the case where the pressure exceeds 0 MPa and the case where the pressure is made 0 MPa is considered Not listed. Moreover, WO2008 / 023452A1 does not recognize at all the importance of using a non-film-like, paste-like conductive paste.
また、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いれば、導電ペーストの塗布量によって、接続部及びはんだ部の厚みを調整することが容易になる。一方で、導電フィルムでは、接続部の厚みを変更したり、調整したりするためには、異なる厚みの導電フィルムを用意したり、所定の厚みの導電フィルムを用意したりしなければならないという問題がある。また、導電フィルムでは、はんだの溶融温度で、導電フィルムの溶融粘度を十分に下げることができず、はんだ粒子の凝集が阻害されるという問題がある。 In addition, if the conductive paste is used instead of the conductive film, the thickness of the connection portion and the solder portion can be easily adjusted by the application amount of the conductive paste. On the other hand, in the case of the conductive film, in order to change or adjust the thickness of the connection portion, it is necessary to prepare conductive films having different thicknesses or to prepare conductive films having a predetermined thickness. There is. Moreover, in the case of the conductive film, the melt viscosity of the conductive film can not be sufficiently lowered at the melting temperature of the solder, and there is a problem that the aggregation of the solder particles is inhibited.
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。 Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments and examples of the present invention with reference to the drawings.
先ず、図1(a)及び(b)に、本発明の一実施形態に係る接続構造体の製造方法により得られる接続構造体を模式的に正面断面図及び部分切欠平面図で示す。図1(a)は、図1(b)におけるI−I線に沿う正面断面図である。 First, FIGS. 1A and 1B schematically show a connection structure obtained by the method of manufacturing a connection structure according to an embodiment of the present invention in a front cross-sectional view and a partially cutaway plan view. Fig.1 (a) is front sectional drawing in alignment with the II line in FIG.1 (b).
図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材3と、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4とを備える。接続部4は、熱硬化性成分と、複数のはんだ粒子とを含む導電ペーストにより形成されている。接続部4は、導電ペーストの硬化物である。
The
接続部4は、複数のはんだ粒子が集まり互いに接合したはんだ部4Aと、熱硬化性成分が熱硬化された硬化物部4Bとを有する。
The
第1の接続対象部材2は表面(上面)に、複数の第1の電極2aを有する。第1の電極2aは、長さ方向及び幅方向を有する。第1の接続対象部材2では、第1の電極2aの長さ方向の端部が、第2の接続対象部材3と対向される部分の第1の接続対象部材2の端部に至っていない。
The first
第2の接続対象部材3は表面(下面)に、複数の第2の電極3aを有する。第2の電極3aは、長さ方向及び幅方向を有する。第2の電極3aの長さ方向の端部が、第1の接続対象部材2と対向される部分の第2の接続対象部材3の端部に至っていない。第1の電極2aの長さ方向は、第2の電極3aの長さ方向に対応する。第1の電極2aの幅方向は、第2の電極3aの幅方向に対応する。
The second
なお、図1(a)及び(b)では、図示の便宜上、第1,第2の電極2a,3aは4本形成されているが、一般的には、電極数は4本よりも多い。
In FIGS. 1A and 1B, although four first and
本発明では、上記第1の接続対象部材として、上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いるか、又は、上記第2の接続対象部材として、上記第2の電極の長さ方向の端部が、上記第1の接続対象部材と対向される部分の第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いる。絶縁信頼性をより一層高める観点からは、導電ペーストが塗布される上記第1の接続対象部材として、上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いることが好ましい。絶縁信頼性を更に一層高める観点からは、上記第1の接続対象部材として、上記第1の電極の長さ方向の端部が、上記第2の接続対象部材と対向される部分の上記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用い、かつ、上記第2の接続対象部材として、上記第2の電極の長さ方向の端部が、上記第1の接続対象部材と対向される部分の第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いることが好ましい。 In the present invention, as the first connection target member, the end portion of the first connection target member in a portion where the end in the lengthwise direction of the first electrode is opposed to the second connection target member The first connection target member which has not been reached, or the second connection target member, a portion in which the end in the lengthwise direction of the second electrode is opposed to the first connection target member The second connection target member not reaching the end of the second connection target member is used. From the viewpoint of further enhancing the insulation reliability, the end in the longitudinal direction of the first electrode is opposed to the second connection target member as the first connection target member to which the conductive paste is applied. It is preferable to use a first connection target member which does not reach the end of the first connection target member of the portion. From the viewpoint of further enhancing the insulation reliability, as the first connection target member, the first end of the first electrode in the lengthwise direction is the first portion of the portion opposed to the second connection target member. The first connection target member which does not reach the end of the connection target member, and the second connection target member, the end in the lengthwise direction of the second electrode is the first connection target It is preferable to use a second connection target member which does not reach the end of the second connection target member in a portion facing the member.
第1の電極2aと第2の電極3aとが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。従って、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。なお、接続部4において、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだは存在しない。はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ部4Aと離れたはんだは存在しない。なお、少量であれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)に、はんだが存在していてもよい。
The
図1(a)に示すように、接続構造体1では、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に、複数のはんだ粒子が集まり、複数のはんだ粒子が溶融した後、はんだ粒子の溶融物が
電極の表面を濡れ拡がった後に固化して、はんだ部4Aが形成されている。本実施形態では、接続構造体1において第1の電極2aと第2の電極3aとの間に位置しているはんだ部4Aの厚みは、上記導電ペーストに含まれる複数の上記はんだ粒子の平均粒子径よりも大きい。上記導電ペーストに含まれる複数の上記はんだ粒子の平均粒子径よりも大きいことで、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接続面積が大きくなる。はんだ粒子を用いることにより、導電性の外表面がニッケル、金又は銅等の金属である導電性粒子を用いた場合と比較して、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接触面積が大きくなる。このことによっても、接続構造体1における導通信頼性及び接続信頼性が高くなる。なお、導電ペーストにフラックスが含まれる場合に、フラックスは、一般に、加熱により次第に失活する。
As shown in FIG. 1A, in the
第1の電極の長さ方向の端部が第1の接続対象部材の端部に至っていない場合に、第1の電極の長さ方向の端部と第1の接続対象部材の端部との距離D1は好ましくは0μmを超え、より好ましくは50μm以上、更に好ましくは100μm以上、特に好ましくは200μm以上、好ましくは1000μm以下、より好ましくは750μm以下、更に好ましくは500μm以下である。第2の電極の長さ方向の端部が第2の接続対象部材の端部に至っていない場合に、第2の電極の長さ方向の端部と第2の接続対象部材の端部との距離D2は好ましくは0μmを超え、より好ましくは50μm以上、更に好ましくは100μm以上、特に好ましくは200μm以上、好ましくは1000μm以下、より好ましくは750μm以下、更に好ましくは500μm以下である。上記距離D1及び上記距離D2が上記下限を満足すると、絶縁信頼性がより一層高くなる。上記距離D1及び上記距離D2が上記上限以上であると、接続構造体を小さくすることができる。 When the end in the longitudinal direction of the first electrode does not reach the end of the first connection target member, the end of the first electrode in the longitudinal direction and the end of the first connection target member The distance D1 is preferably more than 0 μm, more preferably 50 μm or more, still more preferably 100 μm or more, particularly preferably 200 μm or more, preferably 1000 μm or less, more preferably 750 μm or less, still more preferably 500 μm or less. When the end in the longitudinal direction of the second electrode does not reach the end of the second connection target member, the end of the second electrode in the longitudinal direction and the end of the second connection target member The distance D2 is preferably more than 0 μm, more preferably 50 μm or more, still more preferably 100 μm or more, particularly preferably 200 μm or more, preferably 1000 μm or less, more preferably 750 μm or less, still more preferably 500 μm or less. When the distance D1 and the distance D2 satisfy the above lower limits, insulation reliability is further enhanced. A connection structure can be made small as the said distance D1 and the said distance D2 are more than the said upper limit.
第1の電極の長さ方向の端部が第1の接続対象部材の端部に至っていない場合に、第1の電極の長さ方向の端部と第1の接続対象部材の端部との距離D1は、はんだ粒子の平均粒子径の好ましくは5倍以上、より好ましくは10倍以上、更に好ましくは15倍以上、好ましくは100倍以下、より好ましくは75倍以下、更に好ましくは50倍以下である。第2の電極の長さ方向の端部が第2の接続対象部材の端部に至っていない場合に、第2の電極の長さ方向の端部と第2の接続対象部材の端部との距離D2は、はんだ粒子の平均粒子径の好ましくは5倍以上、より好ましくは10倍以上、更に好ましくは15倍以上、好ましくは100倍以下、より好ましくは75倍以下、更に好ましくは50倍以下である。上記距離D1及び上記距離D2とはんだ粒子の平均粒子径とが関係が上記の関係を満足すると、絶縁信頼性がより一層高くなる。 When the end in the longitudinal direction of the first electrode does not reach the end of the first connection target member, the end of the first electrode in the longitudinal direction and the end of the first connection target member The distance D1 is preferably 5 times or more, more preferably 10 times or more, still more preferably 15 times or more, preferably 100 times or less, more preferably 75 times or less, more preferably 50 times or less of the average particle size of the solder particles It is. When the end in the longitudinal direction of the second electrode does not reach the end of the second connection target member, the end of the second electrode in the longitudinal direction and the end of the second connection target member The distance D2 is preferably 5 times or more, more preferably 10 times or more, still more preferably 15 times or more, preferably 100 times or less, more preferably 75 times or less, more preferably 50 times or less of the average particle size of the solder particles It is. When the relationship between the distance D1 and the distance D2 and the average particle diameter of the solder particles satisfies the above relationship, the insulation reliability is further enhanced.
第1の電極の長さ方向の端部が第1の接続対象部材の端部に至っていない場合に、上記第1の電極の長さ方向の端部と上記第1の接続対象部材の端部との距離の、上記第1の電極の電極幅に対する比は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.5以上、好ましくは10以下、より好ましくは7.5以下である。第2の電極の長さ方向の端部が第2の接続対象部材の端部に至っていない場合に、上記第2の電極の長さ方向の端部と上記第2の接続対象部材の端部との距離の、上記第2の電極の電極幅に対する比は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.5以上、好ましくは10以下、より好ましくは7.5以下である。上記比が上記の関係を満足すると、絶縁信頼性がより一層高くなる。 When the longitudinal end of the first electrode does not reach the end of the first connection target member, the longitudinal end of the first electrode and the end of the first connection target member The ratio of the distance between and to the electrode width of the first electrode is preferably 0.1 or more, more preferably 0.5 or more, preferably 10 or less, more preferably 7.5 or less. When the longitudinal end of the second electrode does not reach the end of the second connection target member, the longitudinal end of the second electrode and the end of the second connection target member The ratio of the distance between them to the electrode width of the second electrode is preferably 0.1 or more, more preferably 0.5 or more, preferably 10 or less, more preferably 7.5 or less. When the above ratio satisfies the above relationship, the insulation reliability is further enhanced.
なお、図1に示す接続構造体1では、はんだ部4Aの全てが、第1,第2の電極2a,3a間の対向している領域に位置している。図3に示す変形例の接続構造体1Xは、接続部4Xのみが、図1に示す接続構造体1と異なる。接続部4Xは、はんだ部4XAと硬化物部4XBとを有する。接続構造体1Xのように、はんだ部4XAの多くが、第1,第2の電極2a,3aの対向している領域に位置しており、はんだ部4XAの一部が第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出していてもよい。第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出しているはんだ部4XAは、はんだ
部4XAの一部であり、はんだ部4XAから離れたはんだではない。なお、本実施形態では、はんだ部から離れたはんだの量を少なくすることができるが、はんだ部から離れたはんだが硬化物部中に存在していてもよい。
In the
はんだ粒子の使用量を少なくすれば、接続構造体1を得ることが容易になる。はんだ粒子の使用量を多くすれば、接続構造体1Xを得ることが容易になる。はんだ粒子の使用量が多いと、接続構造体において第1の電極と第2の電極との間に位置しているはんだ部の厚みを、上記導電ペーストに含まれる複数の上記はんだ粒子の平均粒子径よりも大きくすることが容易である。
The
次に、本発明の一実施形態に係る導電ペーストを用いて、接続構造体1を製造する方法の一例を説明する。
Next, an example of a method of manufacturing the
先ず、長さ方向及び幅方向を有する複数の第1の電極2aを表面(上面)に有する第1の接続対象部材2を用意する。次に、図2(a)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上に、熱硬化性成分11Bと、複数のはんだ粒子11Aとを含む導電ペースト11を配置する(第1の工程)。第1の接続対象部材2の第1の電極2aが設けられた表面上に、導電ペースト11を配置する。導電ペースト11の配置の後に、はんだ粒子11Aは、第1の電極2a(ライン)上と、第1の電極2aが形成されていない領域(スペース)上との双方に配置されている。
First, a first
導電ペースト11の配置方法としては、特に限定されないが、ディスペンサーによる塗布、スクリーン印刷、及びインクジェット装置による吐出等が挙げられる。
The method for arranging the
また、長さ方向及び幅方向を有する複数の第2の電極3aを表面(下面)に有する第2の接続対象部材3を用意する。次に、図2(b)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上の導電ペースト11において、導電ペースト11の第1の接続対象部材2側とは反対側の表面上に、第2の接続対象部材3を配置する(第2の工程)。導電ペースト11の表面上に、第2の電極3a側から、第2の接続対象部材3を配置する。このとき、第1の電極2aと第2の電極3aとを対向させる。
Further, a second
次に、はんだ粒子11Aの融点以上及び熱硬化性成分11Bの硬化温度以上に導電ペースト11を加熱する(第3の工程)。すなわち、はんだ粒子11Aの融点及び熱硬化性成分11Bの硬化温度の内のより低い温度以上に、導電ペースト11を加熱する。この加熱時には、電極が形成されていない領域に存在していたはんだ粒子11Aは、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まる(自己凝集効果)。本実施形態では、第1,第2の電極2a,3aの端部が第1,第2の接続対象部材2,3の端部に至っていないため、端部付近でのはんだ粒子11Aがまわり込み難く、電極の端部付近ではんだ粒子が電極の端部よりも側方に適度に流れる結果、横方向に隣接する電極間をはんだが電気的に接続されにくい。また、本実施形態では、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いているために、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に効果的に集まる。また、はんだ粒子11Aは溶融し、互いに接合する。また、熱硬化性成分11Bは熱硬化する。この結果、図2(c)に示すように、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4を、導電ペースト11により形成する。導電ペースト11により接続部4が形成され、複数のはんだ粒子11Aが接合することによってはんだ部4Aが形成され、熱硬化性成分11Bが熱硬化することによって硬化物部4Bが形成される。はんだ粒子11Aが十分に移動すれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に位置していないはんだ粒子11Aの移動が開始してから、第1の電極2aと第2の電極3aとの間にはんだ粒子11Aの移動が完了するまでに、温度を一定に保持しなくてもよい。
Next, the
仮に、第1,第2の接続対象部材102,103の双方で、第1,第2の電極102a,103aが第1,第2の接続対象部材102,103の端部に至っている場合には、図4(a)及び(b)に示すような接続構造体101が得られやすい。接続構造体101は、第1の接続対象部材102と、第2の接続対象部材103と、接続部104とを備える。第1の接続対象部材102は表面に、複数の第1の電極102aを有する。第2の接続対象部材103は表面に、複数の第2の電極103aを有する。接続部104は、はんだ部104Aと、硬化物部104Bとを有する。図4(a)及び(b)に示す接続構造体101では、はんだ部104Aが、接続されてはならない横方向に隣接する第1の電極102a間及び第2の電極103a間を電気的に接続し、リークが生じている。
In the case where the first and
本実施形態では、上記第2の工程及び上記第3の工程において、加圧を行っていない。本実施形態では、導電ペースト11には、第2の接続対象部材3の重量が加わる。また、本実施形態では、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いている。このため、接続部4の形成時に、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に効果的に集まる。結果として、第1の電極2aと第2の電極3aとの間のはんだ部4Aの厚みが厚くなりやすい。なお、上記第2の工程及び上記第3の工程の内の少なくとも一方において、加圧を行えば、はんだ粒子が第1の電極と第2の電極との間に集まろうとする作用が阻害される傾向が高くなる。このことは、本発明者によって見出された。
In the present embodiment, no pressurization is performed in the second step and the third step. In the present embodiment, the weight of the second
また、本実施形態では、加圧を行っていないため、導電ペーストを塗布した第1の接続対象部材に、第2の接続対象部材を重ね合わせた際に、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極とのアライメントがずれた状態で、第1の接続対象部材と第2の接続対象部材とが重ね合わされた場合でも、そのずれを補正して、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材との電極を接続させることができる(セルフアライメント効果)。これは、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極間に自己凝集した溶融したはんだが、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極との間のはんだと導電ペーストのその他の成分とが接する面積が最小となる方がエネルギー的に安定になるため、その最小の面積となる接続構造であるアライメントのあった接続構造にする力が働くためである。この際、導電ペーストが硬化していないこと、及び、その温度、時間にて、導電ペーストのはんだ粒子以外の成分の粘度が十分低いことが望ましい。 Further, in the present embodiment, since the pressurization is not performed, when the second connection target member is superimposed on the first connection target member coated with the conductive paste, the electrode of the first connection target member Even when the first connection target member and the second connection target member are overlapped in a state where the alignment of the second connection target member with the electrode is shifted, the shift is corrected and the first connection target The electrode of the member and the electrode of the second connection target member can be connected (self alignment effect). This is because the molten solder self-aggregated between the electrode of the first connection target member and the electrode of the second connection target member is between the electrode of the first connection target member and the electrode of the second connection target member. In the case where the area in which the solder and other components of the conductive paste are in contact is the smallest, energy stability is achieved, and the force of the connection structure with alignment, which is the connection structure with the smallest area, works. is there. At this time, it is desirable that the conductive paste is not cured, and that the viscosity of the components other than the solder particles of the conductive paste be sufficiently low at the temperature and time.
はんだの融点温度での導電ペーストの粘度は、好ましくは50Pa・s以下、より好ましくは10Pa・s以下、更に好ましくは1Pa・s以下、好ましくは0.1Pa・s以上、より好ましくは0.2Pa・s以上である。所定の粘度以下であれば、はんだ粒子を効率的に凝集させることができ、所定の粘度以上であれば、接続部でのボイドを抑制し、接続部以外への導電ペーストのはみだしを抑制することができる。 The viscosity of the conductive paste at the melting point temperature of the solder is preferably 50 Pa · s or less, more preferably 10 Pa · s or less, still more preferably 1 Pa · s or less, preferably 0.1 Pa · s or more, more preferably 0.2 Pa · S or more. If it is less than a predetermined viscosity, solder particles can be efficiently aggregated, and if it is more than a predetermined viscosity, it is possible to suppress voids in the connection portion and suppress the spreading of the conductive paste to other than the connection portion. Can.
このようにして、図1に示す接続構造体1が得られる。なお、上記第2の工程と上記第3の工程とは連続して行われてもよい。また、上記第2の工程を行った後に、得られる第1の接続対象部材2と導電ペースト11と第2の接続対象部材3との積層体を、加熱部に移動させて、上記第3の工程を行ってもよい。上記加熱を行うために、加熱部材上に上記積層体を配置してもよく、加熱された空間内に上記積層体を配置してもよい。
Thus, the
上記第3の工程における加熱温度は、はんだ粒子の融点以上及び熱硬化性成分の硬化温度以上であれば特に限定されない。上記加熱温度は、好ましくは140℃以上、より好ましくは160℃以上、好ましくは450℃以下、より好ましくは250℃以下、更に好ましくは200℃以下である。 The heating temperature in the third step is not particularly limited as long as it is equal to or higher than the melting point of the solder particles and equal to or higher than the curing temperature of the thermosetting component. The heating temperature is preferably 140 ° C. or more, more preferably 160 ° C. or more, preferably 450 ° C. or less, more preferably 250 ° C. or less, still more preferably 200 ° C. or less.
なお、上記第3の工程の後に、位置の修正や製造のやり直しを目的として、第1の接続対象部材又は第2の接続対象部材を、接続部から剥離することができる。この剥離を行う
ための加熱温度は、好ましくははんだ粒子の融点以上、より好ましくははんだ粒子の融点(℃)+10℃以上である。この剥離を行うための加熱温度は、はんだ粒子の融点(℃)+100℃以下であってもよい。
In addition, after the said 3rd process, a 1st connection object member or a 2nd connection object member can be peeled from a connection part for the purpose of correction of a position or rework of manufacture. The heating temperature for performing this peeling is preferably not less than the melting point of the solder particles, and more preferably not less than the melting point (° C.) of the solder particles + 10 ° C. The heating temperature for performing this peeling may be the melting point (° C.) of the solder particles plus 100 ° C. or less.
上記第3の工程における加熱方法としては、はんだ粒子の融点以上及び熱硬化性成分の硬化温度以上に、接続構造体全体を、リフロー炉を用いて又はオーブンを用いて加熱する方法や、接続構造体の接続部のみを局所的に加熱する方法が挙げられる。 As a heating method in the third step, a method of heating the entire connection structure by using a reflow furnace or using an oven at a temperature higher than the melting point of the solder particles and higher than the curing temperature of the thermosetting component There is a method of locally heating only the body connection.
局所的に加熱する方法に用いる器具としては、ホットプレート、熱風を付与するヒートガン、はんだゴテ、及び赤外線ヒーター等が挙げられる。 As a tool used for the method of heating locally, a hot plate, a heat gun for applying hot air, a soldering iron, an infrared heater and the like can be mentioned.
また、ホットプレートにて局所的に加熱する際、接続部直下は、熱伝導性の高い金属にて、その他の加熱することが好ましくない箇所は、フッ素樹脂等の熱伝導性の低い材質にて、ホットプレート上面を形成することが好ましい。 Also, when heating locally with a hot plate, the metal directly below the connection should be a metal with high thermal conductivity, and the other places where heating is not desirable should be a material with low thermal conductivity such as fluorocarbon resin. Preferably, the upper surface of the hot plate is formed.
上記第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、半導体パッケージ、LEDチップ、LEDパッケージ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びに樹脂フィルム、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル、リジッドフレキシブル基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板などの電子部品等が挙げられる。上記第1,第2の接続対象部材は、電子部品であることが好ましい。 The first and second connection target members are not particularly limited. Specifically, the first and second connection target members include semiconductor chips, semiconductor packages, LED chips, LED packages, electronic components such as capacitors and diodes, resin films, printed boards, flexible printed boards, flexible Examples include electronic components such as flat cables, rigid flexible substrates, glass epoxy substrates, and circuit substrates such as glass substrates. The first and second connection target members are preferably electronic components.
上記第1の接続対象部材及び上記第2の接続対象部材の内の少なくとも一方が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。上記第2の接続対象部材が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板は、柔軟性が高く、比較的軽量であるという性質を有する。このような接続対象部材の接続に導電フィルムを用いた場合には、はんだ粒子が電極上に集まりにくい傾向がある。これに対して、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いたとしても、はんだ粒子を電極上に効率的に集めることで、電極間の導通信頼性を充分に高めることができる。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いる場合に、半導体チップなどの他の接続対象部材を用いた場合と比べて、加圧を行わないことによる電極間の導通信頼性の向上効果がより一層効果的に得られる。 It is preferable that at least one of the first connection target member and the second connection target member is a resin film, a flexible printed board, a flexible flat cable, or a rigid flexible board. It is preferable that the said 2nd connection object member is a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate. The resin film, the flexible printed circuit, the flexible flat cable and the rigid flexible substrate have properties of high flexibility and relatively light weight. When a conductive film is used to connect such a connection target member, the solder particles tend to be difficult to collect on the electrode. On the other hand, even if a resin film, a flexible printed circuit, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate is used, the conduction reliability between the electrodes can be sufficiently improved by efficiently collecting the solder particles on the electrodes. it can. When using a resin film, a flexible printed board, a flexible flat cable, or a rigid flexible board, compared with the case where other connection target members such as a semiconductor chip are used, reliability of conduction between electrodes by not applying pressure The improvement effect can be obtained more effectively.
上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極、SUS電極及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極、銀電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。 As an electrode provided in the said connection object member, metal electrodes, such as a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, a silver electrode, a SUS electrode, a tungsten electrode, etc. are mentioned. When the connection target member is a flexible printed circuit, the electrode is preferably a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, a silver electrode or a copper electrode. When the connection target member is a glass substrate, the electrode is preferably an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, a silver electrode or a tungsten electrode. In addition, when the said electrode is an aluminum electrode, the electrode formed only with aluminum may be sufficient, and the electrode by which the aluminum layer was laminated | stacked on the surface of a metal oxide layer may be sufficient. As a material of the said metal oxide layer, the indium oxide in which the trivalent metal element was doped, the zinc oxide in which the trivalent metal element was doped, etc. are mentioned. Sn, Al, Ga, etc. are mentioned as said trivalent metal element.
はんだ粒子を電極上により一層効率的に配置するために、上記導電ペーストの25℃で
の粘度ηは好ましくは10Pa・s以上、より好ましくは50Pa・s以上、更に好ましくは100Pa・s以上、好ましくは800Pa・s以下、より好ましくは600Pa・s以下、更に好ましくは500Pa・s以下である。
The viscosity 配置 at 25 ° C. of the conductive paste is preferably 10 Pa · s or more, more preferably 50 Pa · s or more, still more preferably 100 Pa · s or more, in order to arrange the solder particles more efficiently on the electrode. Is 800 Pa · s or less, more preferably 600 Pa · s or less, still more preferably 500 Pa · s or less.
上記粘度は、配合成分の種類及び配合量に適宜調整可能である。また、フィラーの使用により、粘度を比較的高くすることができる。 The viscosity can be appropriately adjusted to the type and the amount of the blended components. Also, the use of a filler can make the viscosity relatively high.
上記粘度は、例えば、E型粘度計(東機産業社製)等を用いて、25℃及び5rpmの条件で測定可能である。 The viscosity can be measured under conditions of 25 ° C. and 5 rpm using, for example, an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) or the like.
複数のはんだ部において、はんだ量の均一性を高める観点からは、上記第1の電極の電極幅及び上記第2の電極の電極幅は、好ましくは50μm以上、より好ましくは75μm以上、好ましくは1000μm以下、より好ましくは500μm以下、更に好ましくは250μm以下である。上記電極幅は、L/Sにおけるライン(L)の幅である。導通信頼性及び絶縁信頼性をより一層高める観点からは、上記第1の電極の電極間幅及び上記第2の電極の電極間幅は、好ましくは50μm以上、より好ましくは75μm以上、好ましくは1000μm以下、より好ましくは500μm以下、更に好ましくは250μm以下である。上記電極間幅は、L/Sにおけるスペース(S)の幅である。電極幅及び電極間幅が100μm以下、85μm以下、70μm以下の順で小さくなるほど、本発明の効果がより一層効果的に発揮される。 In the plurality of solder portions, the electrode width of the first electrode and the electrode width of the second electrode are preferably 50 μm or more, more preferably 75 μm or more, preferably 1000 μm from the viewpoint of enhancing the uniformity of the amount of solder. Or less, more preferably 500 μm or less, still more preferably 250 μm or less. The electrode width is the width of the line (L) in L / S. The inter-electrode width of the first electrode and the inter-electrode width of the second electrode are preferably 50 μm or more, more preferably 75 μm or more, and preferably 1000 μm from the viewpoint of further enhancing conduction reliability and insulation reliability. Or less, more preferably 500 μm or less, still more preferably 250 μm or less. The inter-electrode width is the width of the space (S) in L / S. The effect of the present invention is more effectively exhibited as the electrode width and the inter-electrode width decrease in the order of 100 μm or less, 85 μm or less, and 70 μm or less.
上記導電ペーストは、熱硬化性成分と複数のはんだ粒子とを含む。上記熱硬化性成分は、加熱により硬化可能な硬化性化合物(熱硬化性化合物)と、熱硬化剤とを含むことが好ましい。はんだ粒子の表面及び電極の表面の酸化膜を効果的に除去し、接続抵抗をより一層低くする観点からは、上記導電ペーストはフラックスを含むことが好ましい。 The conductive paste contains a thermosetting component and a plurality of solder particles. It is preferable that the said thermosetting component contains the curable compound (thermosetting compound) which can be hardened | cured by heating, and a thermosetting agent. From the viewpoint of effectively removing the oxide film on the surface of the solder particle and the surface of the electrode and further reducing the connection resistance, the conductive paste preferably contains a flux.
以下、本発明の他の詳細を説明する。 Hereinafter, other details of the present invention will be described.
(はんだ粒子)
上記はんだ粒子は、はんだを導電性の外表面に有する。上記はんだ粒子では、中心部分及び導電性の外表面とのいずれもがはんだにより形成されている。上記はんだ粒子は、中心部分及び導電性の外表面とのいずれもがはんだである粒子である。
(Solder particles)
The solder particles have solder on the conductive outer surface. In the solder particles, both the central portion and the conductive outer surface are formed by solder. The solder particles are particles in which both the central portion and the conductive outer surface are solder.
電極上にはんだ粒子を効率的に集める観点からは、上記はんだ粒子の表面のゼータ電位がプラスであることが好ましい。但し、本発明では、上記はんだ粒子の表面のゼータ電位がプラスでなくてもよい。 From the viewpoint of efficiently collecting the solder particles on the electrode, the zeta potential of the surface of the solder particles is preferably positive. However, in the present invention, the zeta potential of the surface of the solder particle may not be positive.
ゼータ電位は以下のようにして測定される。 The zeta potential is measured as follows.
ゼータ電位の測定方法:
はんだ粒子0.05gを、メタノール10gに入れ、超音波処理等をすることで、均一に分散させて、分散液を得る。この分散液を用いて、かつBeckman Coulter社製「Delsamax PRO」を用いて、電気泳動測定法にて、ゼータ電位を測定することができる。
How to measure zeta potential:
0.05 g of solder particles are placed in 10 g of methanol and subjected to ultrasonication or the like to be dispersed uniformly to obtain a dispersion. The zeta potential can be measured by an electrophoresis measurement method using this dispersion and using "Delsamax PRO" manufactured by Beckman Coulter.
はんだ粒子のゼータ電位は好ましくは0mV以上、より好ましくは0mVを超え、好ましくは10mV以下、より好ましくは5mV以下、より一層好ましくは1mV以下、更に好ましくは0.7mV以下、特に好ましくは0.5mV以下である。ゼータ電位が上記上限以下であると、使用前の導電ペースト中にて、はんだ粒子が凝集しにくくなる。ゼータ電位が0mV以上であると、実装時に電極上にはんだ粒子が効率的に凝集する。 The zeta potential of the solder particles is preferably 0 mV or more, more preferably more than 0 mV, preferably 10 mV or less, more preferably 5 mV or less, still more preferably 1 mV or less, still more preferably 0.7 mV or less, particularly preferably 0.5 mV It is below. When the zeta potential is less than or equal to the above upper limit, the solder particles are less likely to aggregate in the conductive paste before use. When the zeta potential is 0 mV or more, solder particles are efficiently aggregated on the electrode at the time of mounting.
表面のゼータ電位をプラスにすることが容易であることから、上記はんだ粒子は、はんだ粒子本体と、上記はんだ粒子本体の表面上に配置されたアニオンポリマーとを有することが好ましい。上記はんだ粒子は、はんだ粒子本体をアニオンポリマー又はアニオンポリマーとなる化合物で表面処理することにより得られることが好ましい。上記はんだ粒子は、アニオンポリマー又はアニオンポリマーとなる化合物による表面処理物であることが好ましい。上記アニオンポリマー及び上記アニオンポリマーとなる化合物はそれぞれ、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The solder particles preferably have a solder particle body and an anionic polymer disposed on the surface of the solder particle body, because it is easy to make the zeta potential of the surface positive. It is preferable that the said solder particle is obtained by surface-treating a solder particle main body with the compound used as anionic polymer or an anionic polymer. It is preferable that the said solder particle is a surface treatment by the compound used as an anion polymer or an anion polymer. The anionic polymer and the compound to be the anionic polymer may be used alone or in combination of two or more.
はんだ粒子本体をアニオンポリマーで表面処理する方法としては、アニオンポリマーとして、例えば(メタ)アクリル酸を共重合した(メタ)アクリルポリマー、ジカルボン酸とジオールとから合成されかつ両末端にカルボキシル基を有するポリエステルポリマー、ジカルボン酸の分子間脱水縮合反応により得られかつ両末端にカルボキシル基を有するポリマー、ジカルボン酸とジアミンから合成されかつ両末端にカルボキシル基を有するポリエステルポリマー、並びにカルボキシル基を有する変性ポバール(日本合成化学社製「ゴーセネックスT」)等を用いて、アニオンポリマーのカルボキシル基と、はんだ粒子本体の表面の水酸基とを反応させる方法が挙げられる。 As a method of surface-treating the solder particle body with an anionic polymer, for example, a (meth) acrylic polymer copolymerized with (meth) acrylic acid, a dicarboxylic acid and a diol as an anionic polymer, and having carboxyl groups at both ends Polyester polymer, polymer obtained by intermolecular dehydration condensation reaction of dicarboxylic acid and having carboxyl group at both ends, polyester polymer synthesized from dicarboxylic acid and diamine and having carboxyl group at both ends, and modified POVAL (having carboxyl group) The method of making the carboxyl group of an anion polymer and the hydroxyl group of the surface of a solder particle main body react using Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd. "Gosenex T") etc. is mentioned.
上記アニオンポリマーのアニオン部分としては、上記カルボキシル基が挙げられ、それ以外には、トシル基(p−H3CC6H4S(=O)2−)、スルホン酸イオン基(−SO3 −)、及びリン酸イオン基(−PO4 −)等が挙げられる。 Examples of the anionic portion of the anionic polymer, the carboxyl group and the like, in otherwise, tosyl group (p-H 3 CC 6 H 4 S (= O) 2 -), sulfonate ion group (-SO 3 - And phosphate ion groups (—PO 4 − ) and the like.
また、他の方法としては、はんだ粒子本体の表面の水酸基と反応する官能基を有し、さらに、付加、縮合反応により重合可能な官能基を有する化合物を用いて、この化合物をはんだ粒子本体の表面上にてポリマー化する方法が挙げられる。はんだ粒子本体の表面の水酸基と反応する官能基としては、カルボキシル基、及びイソシアネート基等が挙げられ、付加、縮合反応により重合する官能基としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、及び(メタ)アクリロイル基が挙げられる。 Another method is to use a compound having a functional group that reacts with a hydroxyl group on the surface of the solder particle body, and further having a functional group that can be polymerized by addition or condensation reaction. Methods of polymerizing on the surface can be mentioned. As a functional group which reacts with a hydroxyl group on the surface of the solder particle main body, a carboxyl group, an isocyanate group, etc. are mentioned, As a functional group polymerized by addition and condensation reaction, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, and An acryloyl group is mentioned.
上記アニオンポリマーの重量平均分子量は好ましくは2000以上、より好ましくは3000以上、好ましくは10000以下、より好ましくは8000以下である。 The weight average molecular weight of the anionic polymer is preferably 2000 or more, more preferably 3000 or more, preferably 10000 or less, more preferably 8000 or less.
上記重量平均分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ粒子本体の表面上にアニオンポリマーを配置することが容易であり、はんだ粒子の表面のゼータ電位をプラスにすることが容易であり、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができる。 It is easy to arrange an anionic polymer on the surface of the solder particle body as the above-mentioned weight average molecular weight is more than the above-mentioned lower limit and below the above-mentioned upper limit, and it is easy to make zeta potential of the surface of solder particle positive. The solder particles can be arranged more efficiently on the electrode.
上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The said weight average molecular weight shows the weight average molecular weight in polystyrene conversion measured by gel permeation chromatography (GPC).
はんだ粒子本体をアニオンポリマーとなる化合物で表面処理することにより得られたポリマーの重量平均分子量は、はんだ粒子中のはんだを溶解し、ポリマーの分解を起こさない希塩酸等により、はんだ粒子を除去した後、残存しているポリマーの重量平均分子量を測定することで求めることができる。 The weight average molecular weight of the polymer obtained by surface treatment of the solder particle main body with a compound to be an anionic polymer dissolves the solder in the solder particles and removes the solder particles by dilute hydrochloric acid or the like which does not cause decomposition of the polymer. And the weight average molecular weight of the remaining polymer can be determined.
上記はんだは、融点が450℃以下である金属(低融点金属)であることが好ましい。上記はんだ粒子は、融点が450℃以下である金属粒子(低融点金属粒子)であることが好ましい。上記低融点金属粒子は、低融点金属を含む粒子である。該低融点金属とは、融点が450℃以下の金属を示す。低融点金属の融点は好ましくは300℃以下、より好ましくは160℃以下である。また、上記はんだ粒子は錫を含む。上記はんだ粒子に含まれ
る金属100重量%中、錫の含有量は好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記はんだ粒子における錫の含有量が上記下限以上であると、はんだ部と電極との接続信頼性がより一層高くなる。
It is preferable that the said solder is a metal (low melting metal) whose melting | fusing point is 450 degrees C or less. It is preferable that the said solder particle is a metal particle (low melting-point metal particle) whose melting | fusing point is 450 degrees C or less. The low melting point metal particles are particles containing a low melting point metal. The low melting point metal means a metal having a melting point of 450 ° C. or less. The melting point of the low melting point metal is preferably 300 ° C. or less, more preferably 160 ° C. or less. Also, the solder particles contain tin. The content of tin is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, particularly preferably 90% by weight or more, in 100% by weight of the metal contained in the solder particles. The connection reliability of a solder part and an electrode becomes it still higher that content of the tin in the said solder particle | grain is more than the said minimum.
なお、上記錫の含有量は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置(堀場製作所社製「ICP−AES」)、又は蛍光X線分析装置(島津製作所社製「EDX−800HS」)等を用いて測定可能である。 The content of tin is determined using a high-frequency inductively coupled plasma emission spectrometer ("ICP-AES" manufactured by Horiba, Ltd.) or a fluorescent X-ray analyzer ("EDX-800HS" manufactured by Shimadzu Corporation). It can be measured.
上記はんだ粒子を用いることで、はんだが溶融して電極に接合し、はんだ部が電極間を導通させる。例えば、はんだ部と電極とが点接触ではなく面接触しやすいため、接続抵抗が低くなる。また、はんだ粒子の使用により、はんだ部と電極との接合強度が高くなる結果、はんだ部と電極との剥離がより一層生じ難くなり、導通信頼性及び接続信頼性が効果的に高くなる。 By using the above-described solder particles, the solder melts and joins to the electrodes, and the solder portions conduct between the electrodes. For example, since the solder portion and the electrode are likely to be in surface contact rather than point contact, connection resistance is reduced. Moreover, as a result of the use of solder particles, the bonding strength between the solder portion and the electrode is increased, so that peeling between the solder portion and the electrode is more difficult to occur, and conduction reliability and connection reliability are effectively enhanced.
上記はんだ粒子を構成する低融点金属は特に限定されない。該低融点金属は、錫、又は錫を含む合金であることが好ましい。該合金は、錫−銀合金、錫−銅合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−亜鉛合金、錫−インジウム合金等が挙げられる。なかでも、電極に対する濡れ性に優れることから、上記低融点金属は、錫、錫−銀合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることが好ましい。錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることがより好ましい。 The low melting point metal which comprises the said solder particle is not specifically limited. The low melting point metal is preferably tin or an alloy containing tin. Examples of the alloy include tin-silver alloy, tin-copper alloy, tin-silver-copper alloy, tin-bismuth alloy, tin-zinc alloy, tin-indium alloy and the like. Among them, it is preferable that the low melting point metal is tin, a tin-silver alloy, a tin-silver-copper alloy, a tin-bismuth alloy, or a tin-indium alloy because the wettability to the electrode is excellent. More preferably, tin-bismuth alloy or tin-indium alloy is used.
上記はんだ粒子は、JIS Z3001:溶接用語に基づき、液相線が450℃以下である溶加材であることが好ましい。上記はんだ粒子の組成としては、例えば亜鉛、金、銀、鉛、銅、錫、ビスマス、インジウムなどを含む金属組成が挙げられる。なかでも低融点で鉛フリーである錫−インジウム系(117℃共晶)、又は錫−ビスマス系(139℃共晶)が好ましい。すなわち、上記はんだ粒子は、鉛を含まないことが好ましく、錫とインジウムとを含むか、又は錫とビスマスとを含むことが好ましい。 It is preferable that the said solder particle is a filler material whose liquidus line is 450 degrees C or less based on JISZ3001: welding term. Examples of the composition of the solder particles include metal compositions containing zinc, gold, silver, lead, copper, tin, bismuth, indium and the like. Among these, a tin-indium-based (117 ° C. eutectic) which is a low melting point and lead-free, or a tin-bismuth (139 ° C. eutectic) is preferable. That is, the solder particles preferably do not contain lead, and preferably contain tin and indium, or contain tin and bismuth.
上記はんだ部と電極との接合強度をより一層高めるために、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム、亜鉛、鉄、金、チタン、リン、ゲルマニウム、テルル、コバルト、ビスマス、マンガン、クロム、モリブデン、パラジウム等の金属を含んでいてもよい。また、はんだ部と電極との接合強度をさらに一層高める観点からは、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム又は亜鉛を含むことが好ましい。はんだ部と電極との接合強度をより一層高める観点からは、接合強度を高めるためのこれらの金属の含有量は、はんだ粒子100重量%中、好ましくは0.0001重量%以上、好ましくは1重量%以下である。 In order to further increase the bonding strength between the solder portion and the electrode, the solder particles are nickel, copper, antimony, aluminum, zinc, iron, gold, titanium, phosphorus, germanium, tellurium, cobalt, bismuth, manganese, chromium And metals such as molybdenum and palladium may be contained. Further, from the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the solder particles preferably contain nickel, copper, antimony, aluminum or zinc. From the viewpoint of further enhancing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the content of these metals for enhancing the bonding strength is preferably 0.0001% by weight or more, preferably 1% by weight in 100% by weight of the solder particles. % Or less.
上記はんだ粒子の平均粒子径は、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上、更に好ましくは3μm以上、特に好ましくは5μm以上、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm未満、より一層好ましくは75μm以下、より一層好ましくは60μm以下、より一層好ましくは40μm以下、より一層好ましくは30μm以下、更に好ましくは20μm以下、特に好ましくは15μm以下、最も好ましくは10μm以下である。上記はんだ粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ粒子を電極上により一層効率的に配置することができる。上記はんだ粒子の平均粒子径は、3μm以上、30μm以下であることが特に好ましい。 The average particle size of the solder particles is preferably 0.5 μm or more, more preferably 1 μm or more, still more preferably 3 μm or more, particularly preferably 5 μm or more, preferably 100 μm or less, more preferably less than 80 μm, still more preferably 75 μm The following is more preferably 60 μm or less, still more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, still more preferably 20 μm or less, particularly preferably 15 μm or less, most preferably 10 μm or less. Solder particles can be arranged more efficiently on the electrode as the average particle diameter of the solder particles is not less than the lower limit and not more than the upper limit. The average particle diameter of the solder particles is particularly preferably 3 μm or more and 30 μm or less.
上記はんだ粒子の「平均粒子径」は、数平均粒子径を示す。はんだ粒子の平均粒子径は、例えば、任意のはんだ粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。 The “average particle size” of the solder particles indicates a number average particle size. The average particle size of the solder particles can be determined, for example, by observing 50 arbitrary solder particles with an electron microscope or an optical microscope and calculating an average value.
上記はんだ粒子の粒子径の変動係数は、好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上、好ましくは40%以下、より好ましくは30%以下である。上記粒子径の変動係数が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができる。但し、上記はんだ粒子の粒子径の変動係数は、5%未満であってもよい。 The coefficient of variation of the particle diameter of the solder particles is preferably 5% or more, more preferably 10% or more, preferably 40% or less, more preferably 30% or less. When the variation coefficient of the particle diameter is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, solder particles can be arranged more efficiently on the electrode. However, the coefficient of variation of the particle diameter of the solder particles may be less than 5%.
上記変動係数(CV値)は下記式で表される。 The coefficient of variation (CV value) is expressed by the following equation.
CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:はんだ粒子の粒子径の標準偏差
Dn:はんだ粒子の粒子径の平均値
CV value (%) = (ρ / Dn) × 100
ρ: Standard deviation of particle diameter of solder particle Dn: Average value of particle diameter of solder particle
上記はんだ粒子の形状は特に限定されない。上記はんだ粒子の形状は、球状であってもよく、扁平状などの球形状以外の形状であってもよい。 The shape of the solder particles is not particularly limited. The shape of the solder particles may be spherical or may be a shape other than a spherical shape such as a flat shape.
上記導電ペースト100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、特に好ましくは20重量%以上、最も好ましくは30重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは60重量%以下、更に好ましくは50重量%以下である。上記はんだ粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、電極間にはんだ粒子を多く配置することが容易であり、導通信頼性がより一層高くなる。導通信頼性をより一層高める観点からは、上記はんだ粒子の含有量は多い方が好ましい。 The content of the solder particles is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, still more preferably 10% by weight or more, particularly preferably 20% by weight or more, and most preferably 30% by weight in 100% by weight of the conductive paste. The content is preferably at least 80% by weight, more preferably at most 60% by weight, still more preferably at most 50% by weight. When the content of the solder particles is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the solder particles can be arranged more efficiently on the electrode, and it is easy to arrange many solder particles between the electrodes, The conduction reliability is further enhanced. From the viewpoint of further enhancing the conduction reliability, it is preferable that the content of the solder particles is large.
特に、上記導電ペースト100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は好ましくは1重量%以上、好ましくは80重量%以下である。この場合には、電極上にはんだ粒子が効率的に集まり、導通信頼性がより一層高くなる。 In particular, the content of the solder particles is preferably 1% by weight or more and preferably 80% by weight or less in 100% by weight of the conductive paste. In this case, the solder particles are efficiently collected on the electrode, and the conduction reliability is further enhanced.
(加熱により硬化可能な化合物:熱硬化性成分)
上記熱硬化性化合物としては、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。なかでも、導電ペーストの硬化性及び粘度をより一層良好にし、接続信頼性をより一層高める観点から、エポキシ化合物が好ましい。
(Compounds curable by heating: thermosetting component)
Examples of the thermosetting compound include oxetane compounds, epoxy compounds, episulfide compounds, (meth) acrylic compounds, phenol compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, silicone compounds and polyimide compounds. Among them, epoxy compounds are preferable from the viewpoint of further improving the curability and viscosity of the conductive paste and further enhancing the connection reliability.
上記エポキシ化合物としては、芳香族エポキシ化合物が挙げられる。中でも、レゾルシノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ベンゾフェノン型エポキシ化合物等の結晶性エポキシ化合物が好ましい。常温(23℃)で固体であり、かつ溶融温度がはんだの融点以下であるエポキシ化合物が好ましい。溶融温度は好ましくは100℃以下、より好ましくは80℃以下、好ましくは40℃以上である。上記の好ましいエポキシ化合物を用いることで、接続対象部材を貼り合わせた段階では、粘度が高く、搬送等の衝撃が、加速度が付与された際に、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材との位置ずれを抑制することができ、なおかつ、硬化時の熱により、導電ペーストの粘度を大きく低下させることができ、はんだ粒子の凝集を効率よく進行させることができる。 As said epoxy compound, an aromatic epoxy compound is mentioned. Among them, crystalline epoxy compounds such as resorcinol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds and benzophenone type epoxy compounds are preferable. The epoxy compound which is solid at normal temperature (23 ° C.) and whose melting temperature is equal to or lower than the melting point of the solder is preferable. The melting temperature is preferably 100 ° C. or less, more preferably 80 ° C. or less, preferably 40 ° C. or more. By using the above-described preferable epoxy compound, when the connection target member is bonded, the viscosity is high, and when an impact such as transport is given an acceleration, the second connection is made with the first connection target member. Positional displacement with the target member can be suppressed, and the viscosity of the conductive paste can be greatly reduced by heat at the time of curing, and aggregation of the solder particles can be efficiently advanced.
上記導電ペースト100重量%中、上記熱硬化性化合物の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは40重量%以上、更に好ましくは50重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは98重量%以下、更に好ましくは90重量%以下、特に
好ましくは80重量%以下である。耐衝撃性をより一層高める観点からは、上記熱硬化性成分の含有量は多い方が好ましい。
The content of the thermosetting compound is preferably 20% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 50% by weight or more, preferably 99% by weight or less, based on 100% by weight of the conductive paste. Is preferably at most 98 wt%, more preferably at most 90 wt%, particularly preferably at most 80 wt%. From the viewpoint of further improving the impact resistance, it is preferable that the content of the thermosetting component is large.
(熱硬化剤:熱硬化性成分)
上記熱硬化剤は、上記熱硬化性化合物を熱硬化させる。上記熱硬化剤としては、イミダゾール硬化剤、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、ポリチオール硬化剤などのチオール硬化剤、酸無水物、熱カチオン開始剤(熱カチオン硬化剤)及び熱ラジカル発生剤等が挙げられる。上記熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting agent: thermosetting component)
The thermosetting agent thermally cures the thermosetting compound. Examples of the thermosetting agent include imidazole curing agents, amine curing agents, phenol curing agents, thiol curing agents such as polythiol curing agents, acid anhydrides, thermal cation initiators (thermal cationic curing agents), thermal radical generating agents, etc. Be Only one type of the thermosetting agent may be used, or two or more types may be used in combination.
なかでも、導電ペーストを低温でより一層速やかに硬化可能であるので、イミダゾール硬化剤、チオール硬化剤又はアミン硬化剤が好ましい。また、加熱により硬化可能な硬化性化合物と上記熱硬化剤とを混合したときに保存安定性が高くなるので、潜在性の硬化剤が好ましい。潜在性の硬化剤は、潜在性イミダゾール硬化剤、潜在性チオール硬化剤又は潜在性アミン硬化剤であることが好ましい。なお、上記熱硬化剤は、ポリウレタン樹脂又はポリエステル樹脂等の高分子物質で被覆されていてもよい。 Among these, an imidazole curing agent, a thiol curing agent or an amine curing agent is preferable because the conductive paste can be cured more rapidly at a low temperature. Moreover, since a storage stability becomes high when the curable compound which can be hardened | cured by heating and the said thermosetting agent are mixed, a latent hardening agent is preferable. The latent curing agent is preferably a latent imidazole curing agent, a latent thiol curing agent or a latent amine curing agent. The thermosetting agent may be coated with a polymeric substance such as a polyurethane resin or a polyester resin.
上記イミダゾール硬化剤としては、特に限定されず、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン及び2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物等が挙げられる。 The imidazole curing agent is not particularly limited, and 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2, 4-Diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine and 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s- The triazine isocyanuric acid adduct etc. are mentioned.
上記チオール硬化剤としては、特に限定されず、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサ−3−メルカプトプロピオネート等が挙げられる。 The above-mentioned thiol curing agent is not particularly limited, and examples thereof include trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate and dipentaerythritol hexa-3-mercaptopropionate. .
上記アミン硬化剤としては、特に限定されず、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラスピロ[5.5]ウンデカン、ビス(4−アミノシクロヘキシル)メタン、メタフェニレンジアミン及びジアミノジフェニルスルホン等が挙げられる。 The amine curing agent is not particularly limited, and hexamethylenediamine, octamethylenediamine, decamethylenediamine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraspiro [5.5] Undecane, bis (4-aminocyclohexyl) methane, metaphenylene diamine, diaminodiphenyl sulfone and the like can be mentioned.
上記熱カチオン開始剤としては、ヨードニウム系カチオン硬化剤、オキソニウム系カチオン硬化剤及びスルホニウム系カチオン硬化剤等が挙げられる。上記ヨードニウム系カチオン硬化剤としては、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。上記オキソニウム系カチオン硬化剤としては、トリメチルオキソニウムテトラフルオロボラート等が挙げられる。上記スルホニウム系カチオン硬化剤としては、トリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。 Examples of the thermal cation initiator include iodonium-based cation curing agents, oxonium-based cation curing agents, and sulfonium-based cation curing agents. Examples of the iodonium-based cationic curing agent include bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate and the like. Examples of the oxonium-based cationic curing agent include trimethyloxonium tetrafluoroborate and the like. Examples of the sulfonium-based cationic curing agent include tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate and the like.
上記熱ラジカル発生剤としては、特に限定されず、アゾ化合物及び有機過酸化物等が挙げられる。上記アゾ化合物としては、アゾビスイゾブチロニトリル(AIBN)等が挙げられる。上記有機過酸化物としては、ジ−tert−ブチルペルオキシド及びメチルエチルケトンペルオキシド等が挙げられる。 It does not specifically limit as said thermal radical generating agent, An azo compound, an organic peroxide, etc. are mentioned. Examples of the azo compound include azobisisobutyronitrile (AIBN) and the like. Examples of the organic peroxide include di-tert-butyl peroxide and methyl ethyl ketone peroxide.
上記熱硬化剤の反応開始温度は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、更に好ましくは80℃以上、好ましくは250℃以下、より好ましくは200℃以下、更に好ましくは150℃以下、特に好ましくは140℃以下である。上記熱硬化剤の反応開始温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ粒子が電極上により一層効率的
に配置される。上記熱硬化剤の反応開始温度は80℃以上、かつ140℃以下であることが特に好ましい。
The reaction initiation temperature of the heat curing agent is preferably 50 ° C. or more, more preferably 70 ° C. or more, still more preferably 80 ° C. or more, preferably 250 ° C. or less, more preferably 200 ° C. or less, still more preferably 150 ° C. or less Particularly preferably, it is 140 ° C. or less. When the reaction initiation temperature of the thermosetting agent is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the solder particles are more efficiently disposed on the electrode. The reaction initiation temperature of the thermosetting agent is particularly preferably 80 ° C. or more and 140 ° C. or less.
はんだを電極上により一層効率的に配置する観点からは、上記熱硬化剤の反応開始温度は、上記はんだ粒子におけるはんだの融点よりも、高いことが好ましく、5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことが更に好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder more efficiently on the electrode, the reaction initiation temperature of the thermosetting agent is preferably higher than the melting point of the solder in the solder particles, more preferably 5 ° C. or more, and 10 It is more preferable that the temperature be as high as ° C or more.
上記熱硬化剤の反応開始温度は、DSCでの発熱ピークの立ち上がり開始の温度を意味する。 The reaction initiation temperature of the thermosetting agent means the temperature at which the onset of the onset of the exothermic peak in DSC.
上記熱硬化剤の含有量は特に限定されない。上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記熱硬化剤の含有量は、好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは1重量部以上、好ましくは200重量部以下、より好ましくは100重量部以下、更に好ましくは75重量部以下である。熱硬化剤の含有量が上記下限以上であると、導電ペーストを充分に硬化させることが容易である。熱硬化剤の含有量が上記上限以下であると、硬化後に硬化に関与しなかった余剰の熱硬化剤が残存し難くなり、かつ硬化物の耐熱性がより一層高くなる。 The content of the thermosetting agent is not particularly limited. The content of the thermosetting agent is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 1 part by weight or more, preferably 200 parts by weight or less, and more preferably 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound. Or less, more preferably 75 parts by weight or less. It is easy to fully harden a conductive paste as content of a thermosetting agent is more than the above-mentioned minimum. When the content of the thermosetting agent is less than or equal to the above upper limit, it is difficult for the surplus thermosetting agent that did not participate in curing to remain after curing, and the heat resistance of the cured product is further enhanced.
(フラックス)
上記導電ペーストは、フラックスを含むことが好ましい。フラックスの使用により、はんだを電極上により一層効果的に配置することができる。該フラックスは特に限定されない。フラックスとして、はんだ接合等に一般的に用いられているフラックスを使用できる。上記フラックスとしては、例えば、塩化亜鉛、塩化亜鉛と無機ハロゲン化物との混合物、塩化亜鉛と無機酸との混合物、溶融塩、リン酸、リン酸の誘導体、有機ハロゲン化物、ヒドラジン、有機酸及び松脂等が挙げられる。上記フラックスは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(flux)
The conductive paste preferably contains a flux. The use of flux allows the solder to be placed more effectively on the electrodes. The flux is not particularly limited. As the flux, a flux generally used for solder bonding can be used. Examples of the flux include zinc chloride, a mixture of zinc chloride and an inorganic halide, a mixture of zinc chloride and an inorganic acid, a molten salt, phosphoric acid, a derivative of phosphoric acid, an organic halide, hydrazine, an organic acid and rosin. Etc. Only one type of flux may be used, or two or more types may be used in combination.
上記溶融塩としては、塩化アンモニウム等が挙げられる。上記有機酸としては、乳酸、クエン酸、ステアリン酸、グルタミン酸及びグルタル酸等が挙げられる。上記松脂としては、活性化松脂及び非活性化松脂等が挙げられる。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸、松脂であることが好ましい。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸であってもよく、松脂であってもよい。カルボキシル基を2個以上有する有機酸、松脂の使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 Ammonium chloride etc. are mentioned as said molten salt. Examples of the organic acids include lactic acid, citric acid, stearic acid, glutamic acid and glutaric acid. Examples of the rosin include activated rosin and non-activated rosin. The flux is preferably an organic acid having two or more carboxyl groups, or rosin. The flux may be an organic acid having two or more carboxyl groups, or may be rosin. The use of an organic acid having two or more carboxyl groups, or rosin, further enhances the conduction reliability between the electrodes.
上記松脂はアビエチン酸を主成分とするロジン類である。フラックスは、ロジン類であることが好ましく、アビエチン酸であることがより好ましい。この好ましいフラックスの使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 The above-mentioned rosins are rosins mainly composed of abietic acid. The flux is preferably rosins, more preferably abietic acid. The use of this preferred flux further enhances the conduction reliability between the electrodes.
上記フラックスの活性温度(融点)は、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、更に好ましくは80℃以上、好ましくは200℃以下、より好ましくは190℃以下、より一層好ましくは160℃以下、更に好ましくは150℃以下、更に一層好ましくは140℃以下である。上記フラックスの活性温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、フラックス効果がより一層効果的に発揮され、はんだ粒子が電極上により一層効率的に配置される。上記フラックスの活性温度は80℃以上、190℃以下であることが好ましい。上記フラックスの活性温度は80℃以上、140℃以下であることが特に好ましい。 The activation temperature (melting point) of the flux is preferably 50 ° C. or more, more preferably 70 ° C. or more, still more preferably 80 ° C. or more, preferably 200 ° C. or less, more preferably 190 ° C. or less, still more preferably 160 ° C. or less More preferably, it is 150 ° C. or less, still more preferably 140 ° C. or less. The flux effect is exhibited more effectively as the activation temperature of the above-mentioned flux is more than the above-mentioned lower limit and below the above-mentioned upper limit, and solder particles are arranged more efficiently on an electrode. The activation temperature of the flux is preferably 80 ° C. or more and 190 ° C. or less. The activation temperature of the flux is particularly preferably 80 ° C. or more and 140 ° C. or less.
融点が80℃以上、190℃以下である上記フラックスとしては、コハク酸(融点186℃)、グルタル酸(融点96℃)、アジピン酸(融点152℃)、ピメリン酸(融点104℃)、スベリン酸(融点142℃)等のジカルボン酸、安息香酸(融点122℃)、
リンゴ酸(融点130℃)等が挙げられる。
As the flux having a melting point of 80 ° C. to 190 ° C., succinic acid (melting point 186 ° C.), glutaric acid (melting point 96 ° C.), adipic acid (melting point 152 ° C.), pimelic acid (
Malic acid (melting point 130 ° C.) and the like can be mentioned.
また、上記フラックスの沸点は200℃以下であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the boiling point of the said flux is 200 degrees C or less.
はんだを電極上により一層効率的に配置する観点からは、上記フラックスの融点は、上記はんだ粒子におけるはんだの融点よりも、高いことが好ましく、5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことが更に好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder more efficiently on the electrodes, the melting point of the flux is preferably higher than the melting point of the solder in the solder particles, more preferably 5 ° C. or more, and preferably 10 ° C. or more. Is more preferred.
はんだを電極上により一層効率的に配置する観点からは、上記フラックスの融点は、上記熱硬化剤の反応開始温度よりも、高いことが好ましく、5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことが更に好ましい。 From the viewpoint of arranging the solder more efficiently on the electrode, the melting point of the flux is preferably higher than the reaction initiation temperature of the thermosetting agent, more preferably 5 ° C. or more, and more preferably 10 ° C. or more Is more preferred.
上記フラックスは、導電ペースト中に分散されていてもよく、はんだ粒子の表面上に付着していてもよい。 The flux may be dispersed in the conductive paste or may be deposited on the surface of the solder particles.
フラックスの融点が、はんだの融点より高いことにより、電極部分にはんだ粒子を効率的に凝集させることができる。これは、接合時に熱を付与した場合、接続対象部材上に形成された電極と、電極周辺の接続対象部材の部分とを比較すると、電極部分の熱伝導率が電極周辺の接続対象部材部分の熱伝導率よりも高いことにより、電極部分の昇温が速いことに起因する。はんだ粒子の融点を超えた段階では、はんだ粒子の内部は溶解するが、表面に形成された酸化被膜は、フラックスの融点(活性温度)に達していないので、除去されない。この状態で、電極部分の温度が先に、フラックスの融点(活性温度)に達するため、優先的に電極上に来たはんだ粒子の表面の酸化被膜が除去され、はんだ粒子が電極の表面上に濡れ拡がることができる。これにより、電極上に効率的にはんだ粒子を凝集させることができる。 When the melting point of the flux is higher than the melting point of the solder, the solder particles can be efficiently aggregated in the electrode portion. This is because, when heat is applied at the time of bonding, the thermal conductivity of the electrode portion is equal to that of the connection target member portion when comparing the electrode formed on the connection target member and the connection target member portion around the electrode. The higher temperature than the thermal conductivity is attributed to the rapid temperature rise of the electrode portion. When the temperature exceeds the melting point of the solder particle, the inside of the solder particle dissolves, but the oxide film formed on the surface is not removed because it does not reach the melting point (activation temperature) of the flux. In this state, since the temperature of the electrode portion first reaches the melting point (activation temperature) of the flux, the oxide film on the surface of the solder particles that has come to the top of the electrode is preferentially removed, and the solder particles are on the surface of the electrode It can spread wet. Thereby, solder particles can be efficiently aggregated on the electrode.
上記フラックスは、加熱によりカチオンを放出するフラックスであることが好ましい。加熱によりカチオンを放出するフラックスの使用により、はんだ粒子を電極上により一層効率的に配置することができる。 It is preferable that the said flux is a flux which discharge | releases a cation by heating. The use of a flux that releases cations upon heating allows the solder particles to be placed more efficiently on the electrode.
上記加熱によりカチオンを放出するフラックスとしては、上記熱カチオン開始剤が挙げられる。 Examples of the flux which releases a cation by the heating include the above-mentioned thermal cation initiator.
上記導電ペースト100重量%中、上記フラックスの含有量は好ましくは0.5重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは25重量%以下である。上記導電ペーストは、フラックスを含んでいなくてもよい。フラックスの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ及び電極の表面に酸化被膜がより一層形成され難くなり、さらに、はんだ及び電極の表面に形成された酸化被膜をより一層効果的に除去できる。 The content of the flux is preferably 0.5% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 25% by weight or less, based on 100% by weight of the conductive paste. The conductive paste may not contain flux. When the content of the flux is at least the above lower limit and the above upper limit, it is more difficult to form an oxide film on the surface of the solder and the electrode, and furthermore, the oxide film formed on the surface of the solder and the electrode is more effective Can be removed.
(他の成分)
上記導電ペーストは、必要に応じて、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
(Other ingredients)
The conductive paste may optionally contain, for example, a filler, an extender, a softener, a plasticizer, a polymerization catalyst, a curing catalyst, a colorant, an antioxidant, a heat stabilizer, a light stabilizer, a UV absorber, and a lubricant. And various additives such as an antistatic agent and a flame retardant may be included.
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples and comparative examples. The invention is not limited to the following examples.
ポリマーA:
ビスフェノールFと1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、及びビスフェノールF型エポキシ樹脂との反応物(ポリマーA)の合成:
ビスフェノールF(4,4’−メチレンビスフェノールと2,4’−メチレンビスフェノールと2,2’−メチレンビスフェノールとを重量比で2:3:1で含む)100重量部、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル130重量部、及びビスフェノールF型エポキシ樹脂(DIC社製「EPICLON EXA−830CRP」)5重量部、レゾルシノール型エポキシ化合物(ナガセケムテックス社製「EX−201」)10重量部を、3つ口フラスコに入れ、窒素フロー下にて、100℃で溶解させた。その後、水酸基とエポキシ基の付加反応触媒であるトリフェニルブチルホスホニウムブロミド0.15重量部を添加し、窒素フロー下にて、140℃で4時間、付加重合反応させることにより、反応物(ポリマーA)を得た。
Polymer A:
Synthesis of Reactant (Polymer A) of Bisphenol F with 1,6-Hexanediol Diglycidyl Ether, and Bisphenol F Type Epoxy Resin:
100 parts by weight of bisphenol F (containing 2,4: 1 by weight ratio of 4,4'-methylene bisphenol, 2,4'-methylene bisphenol and 2,2'-methylene bisphenol), 1,6-hexanediol di 130 parts by weight of glycidyl ether, 5 parts by weight of bisphenol F type epoxy resin (“EPICLON EXA-830 CRP” manufactured by DIC), and 10 parts by weight of resorcinol type epoxy compound (“EX-201” manufactured by Nagase ChemteX Corporation) It was placed in a mouth flask and dissolved at 100 ° C. under nitrogen flow. Thereafter, 0.15 parts by weight of triphenylbutylphosphonium bromide, which is a catalyst for addition reaction of hydroxyl group and epoxy group, is added, and the reaction product (polymer A) is caused to undergo addition polymerization reaction at 140 ° C. for 4 hours under nitrogen flow. Got).
NMRにより、付加重合反応が進行したことを確認して、反応物(ポリマーA)が、ビスフェノールF型エポキシ樹脂に由来する水酸基と1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、及びビスフェノールF型エポキシ樹脂のエポキシ基とが結合した構造単位を主鎖に有し、かつエポキシ基を両末端に有することを確認した。 It is confirmed by NMR that the addition polymerization reaction has progressed, and the reaction product (polymer A) is a hydroxyl group derived from a bisphenol F-type epoxy resin, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, and a bisphenol F-type epoxy resin It was confirmed that the resin had a structural unit to which an epoxy group was bonded in its main chain and that it had an epoxy group at both ends.
GPCにより得られた反応物(ポリマーA)の重量平均分子量は28000、数平均分子量は8000であった。 The weight average molecular weight of the reaction product (polymer A) obtained by GPC was 28,000, and the number average molecular weight was 8,000.
ポリマーB:両末端エポキシ基剛直骨格フェノキシ樹脂、三菱化学社製「YX6900BH45」、重量平均分子量16000 Polymer B: Both-end epoxy group rigid-skeleton phenoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation "YX6900BH45", weight average molecular weight 16000
熱硬化性化合物1:レゾルシノール型エポキシ化合物、ナガセケムテックス社製「EX−201」 Thermosetting compound 1: resorcinol type epoxy compound, manufactured by Nagase ChemteX "EX-201"
熱硬化性化合物2:エポキシ化合物、DIC社製「EXA−4850−150」、分子量900、エポキシ当量450g/eq Thermosetting compound 2: Epoxy compound, "EXA-4850-150" manufactured by DIC, molecular weight 900, epoxy equivalent 450 g / eq
熱硬化剤1:トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピネート)、SC有機化学社製「TMMP」 Thermosetting agent 1: trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), "TMMP" manufactured by SC Organic Chemical Company
潜在性エポキシ熱硬化剤1:T&K TOKA社製「フジキュア7000」 Latent epoxy thermosetting agent 1: "Fuji Cure 7000" manufactured by T & K TOKA
フラックス1:アジピン酸、和光純薬工業社製、融点(活性温度)152℃ Flux 1: Adipic acid, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., melting point (activation temperature) 152 ° C.
はんだ粒子1〜3の作製方法:
アニオンポリマー1を有するはんだ粒子:はんだ粒子本体200gと、アジピン酸40gと、アセトン70gとを3つ口フラスコに秤量し、次にはんだ粒子本体の表面の水酸基とアジピン酸のカルボキシル基との脱水縮合触媒であるジブチル錫オキサイド0.3gを添加し、60℃で4時間反応させた。その後、はんだ粒子をろ過することで回収した。
Method of producing
Solder particles having anion polymer 1: 200 g of solder particle body, 40 g of adipic acid and 70 g of acetone are weighed in a three-necked flask, and then dehydration condensation of hydroxyl group on the surface of the solder particle body and carboxyl group of adipic acid 0.3 g of dibutyltin oxide as a catalyst was added and reacted at 60 ° C. for 4 hours. Thereafter, the solder particles were collected by filtration.
回収したはんだ粒子と、アジピン酸50gと、トルエン200gと、パラトルエンスルホン酸0.3gとを3つ口フラスコに秤量し、真空引き、及び還流を行いながら、120℃で、3時間反応させた。この際、ディーンスターク抽出装置を用いて、脱水縮合により生成した水を除去しながら反応させた。 The collected solder particles, 50 g of adipic acid, 200 g of toluene, and 0.3 g of p-toluenesulfonic acid were weighed in a three-necked flask, and reacted at 120 ° C. for 3 hours while performing vacuum suction and reflux. . Under the present circumstances, it was made to react, removing the water produced | generated by dehydration condensation using a Dean-Stark extraction apparatus.
その後、ろ過によりはんだ粒子を回収し、ヘキサンにて洗浄し、乾燥した。その後、得られたはんだ粒子をボールミルで解砕した後、所定のCV値となるように篩を選択した。 Thereafter, the solder particles were recovered by filtration, washed with hexane and dried. Thereafter, the obtained solder particles are crushed by a ball mill, and a sieve is selected so as to obtain a predetermined CV value.
(ゼータ電位測定)
また、得られたはんだ粒子を、アニオンポリマー1を有するはんだ粒子0.05gを、
メタノール10gに入れ、超音波処理をすることで、均一に分散させて、分散液を得た。この分散液を用いて、かつBeckman Coulter社製「Delsamax PRO」を用いて、電気泳動測定法にて、ゼータ電位を測定した。
(Zeta potential measurement)
In addition, 0.05 g of solder particles having the
It was put into 10 g of methanol, and was uniformly dispersed by ultrasonication to obtain a dispersion. The zeta potential was measured by an electrophoresis measurement method using this dispersion and using "Delsamax PRO" manufactured by Beckman Coulter.
(アニオンポリマーの重量平均分子量)
はんだ粒子の表面のアニオンポリマー1の重量平均分子量は、0.1Nの塩酸を用い、はんだを溶解した後、ポリマーを濾過により回収し、GPCにより求めた。
(Weight-average molecular weight of anionic polymer)
The weight average molecular weight of the
(はんだ粒子のCV値)
CV値を、レーザー回折式粒度分布測定装置(堀場製作所社製「LA−920」)にて、測定した。
(CV value of solder particle)
The CV value was measured with a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus ("LA-920" manufactured by Horiba, Ltd.).
はんだ粒子1(SnBiはんだ粒子、融点139℃、三井金属社製「ST−3」を選別したはんだ粒子本体を用い、表面処理を行ったアニオンポリマー1を有するはんだ粒子、平均粒子径4μm、CV値7%、表面のゼータ電位:+0.65mV、ポリマー分子量Mw=6500)
Solder particles 1 (SnBi solder particles, melting point 139 ° C., solder particle main body selected from Mitsui Metals Corporation “ST-3”, solder particles having
はんだ粒子2(SnBiはんだ粒子、融点139℃、三井金属社製「DS10」を選別したはんだ粒子本体を用い、表面処理を行ったアニオンポリマー1を有するはんだ粒子、平均粒子径13μm、CV値20%、表面のゼータ電位:+0.48mV、ポリマー分子量Mw=7000)
Solder particles 2 (SnBi solder particles, melting point 139 ° C., “DS10” manufactured by Mitsui Metals, Inc., using solder particle main body, solder particles having
はんだ粒子3(SnBiはんだ粒子、融点139℃、三井金属社製「10−25」を選別したはんだ粒子本体を用い、表面処理を行ったアニオンポリマー1を有するはんだ粒子、平均粒子径25μm、CV値15%、表面のゼータ電位:+0.4mV、ポリマー分子量Mw=8000)
Solder particles 3 (SnBi solder particles, melting point 139 ° C., “10-25” manufactured by Mitsui Metals, Inc., using solder particle main body, solder particles having
導電性粒子1:樹脂粒子の表面上に厚み1μmの銅層が形成されており、該銅層の表面に厚み3μmのはんだ層(錫:ビスマス=43重量%:57重量%)が形成されている導電性粒子 Conductive particle 1: A copper layer having a thickness of 1 μm is formed on the surface of a resin particle, and a solder layer having a thickness of 3 μm (tin: bismuth = 43% by weight: 57% by weight) is formed on the surface of the copper layer Conductive particles
導電性粒子1の作製方法:
平均粒子径10μmのジビニルベンゼン樹脂粒子(積水化学工業社製「ミクロパールSP−210」)を無電解ニッケルめっきし、樹脂粒子の表面上に厚さ0.1μmの下地ニッケルめっき層を形成した。次いで、下地ニッケルめっき層が形成された樹脂粒子を電解銅めっきし、厚さ1μmの銅層を形成した。更に、錫及びビスマスを含有する電解めっき液を用いて、電解めっきし、厚さ3μmのはんだ層を形成した。このようにして、樹脂粒子の表面上に厚み1μmの銅層が形成されており、該銅層の表面に厚み3μmのはんだ層(錫:ビスマス=43重量%:57重量%)が形成されている導電性粒子1を作製した。
Method of producing conductive particle 1:
Electroless nickel plating was performed on divinyl benzene resin particles ("Micropearl SP-210" manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) having an average particle diameter of 10 μm to form a base nickel plating layer with a thickness of 0.1 μm on the surface of the resin particles. Subsequently, the resin particle in which the base nickel plating layer was formed was electrolytically copper-plated, and the 1-micrometer-thick copper layer was formed. Furthermore, it electroplated using the electroplating solution containing tin and bismuth, and formed the 3 micrometers-thick solder layer. Thus, a 1 μm thick copper layer is formed on the surface of the resin particle, and a 3 μm thick solder layer (tin: bismuth = 43% by weight: 57% by weight) is formed on the surface of the copper
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「YP−50S」) Phenoxy resin ("NY-50S" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
(実施例1〜5,11及び比較例3)
(1)異方性導電ペーストの作製
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量で配合して、異方性導電ペーストを得た。
(Examples 1 to 5 and 11 and Comparative Example 3)
(1) Preparation of anisotropic conductive paste The components shown in Table 1 below were blended in the amounts shown in Table 1 below to obtain an anisotropic conductive paste.
(2)第1の接続構造体(L/S=50μm/50μm)の作製
L/Sが50μm/50μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を上面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がガラスエポキシ基板の端部から200
μm離れているガラスエポキシ基板(FR−4基板)(第1の接続対象部材)を用意した。
(2) Preparation of first connection structure (L / S = 50 μm / 50 μm) It has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) of 50 μm / 50 μm and
A glass epoxy substrate (FR-4 substrate) (first connection target member) separated by 1 μm was prepared.
また、L/Sが50μm/50μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を下面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がフレキシブルプリント基板の端部から200μm離れているフレキシブルプリント基板(第2の接続対象部材)を用意した。 Also, it has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) with L / S of 50 μm / 50 μm and electrode length of 3 mm on the lower surface, and the end of copper electrode in the lengthwise direction is 200 μm from the end of flexible printed circuit board A flexible printed circuit board (second connection target member) separated was prepared.
ガラスエポキシ基板とフレキシブルプリント基板との重ね合わせ面積は、1.5cm×3mmとし、接続した電極数は75対とした。 The overlapping area of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate was 1.5 cm × 3 mm, and the number of connected electrodes was 75 pairs.
上記ガラスエポキシ基板の上面に、作製直後の異方性導電ペーストを、ガラスエポキシ基板の電極上で厚さ150μm、幅0.8mmとなるように、エアディスペンサーにて、電極長さ方向の中央部に塗工し、異方性導電ペースト層を形成した。次に、異方性導電ペースト層の上面に上記フレキシブルプリント基板を、電極同士が対向するように積層した。このとき、加圧を行わなかった。異方性導電ペースト層には、上記フレキシブルプリント基板の重量は加わる。その後、異方性導電ペースト層の温度が190℃となるようにホットプレート上でガラスエポキシ基板側から加熱しながら、はんだを溶融させ、かつ異方性導電ペースト層を190℃及び10秒で硬化させ、第1の接続構造体を得た。 At the top of the glass epoxy substrate, with an air dispenser, the central portion in the electrode length direction so that the thickness of the anisotropic conductive paste immediately after preparation is 150 μm and the width is 0.8 mm on the electrode of the glass epoxy substrate. To form an anisotropic conductive paste layer. Next, the said flexible printed circuit board was laminated | stacked so that electrodes might oppose on the upper surface of an anisotropic conductive paste layer. At this time, no pressure was applied. The weight of the flexible printed board is added to the anisotropic conductive paste layer. Thereafter, the solder is melted while heating from the glass epoxy substrate side on the hot plate so that the temperature of the anisotropic conductive paste layer becomes 190 ° C., and the anisotropic conductive paste layer is cured at 190 ° C. and 10 seconds To obtain a first connection structure.
(3)第2の接続構造体(L/S=75μm/75μm)の作製
L/Sが75μm/75μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を上面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がガラスエポキシ基板の端部から200μm離れているガラスエポキシ基板(FR−4基板)(第1の接続対象部材)を用意した。
(3) Preparation of second connection structure (L / S = 75 μm / 75 μm) L / S has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) of 75 μm / 75 μm,
また、L/Sが75μm/75μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を下面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がガラスエポキシ基板の端部から200μm離れているフレキシブルプリント基板(第2の接続対象部材)を用意した。 In addition, L / S has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) of 75 μm / 75 μm and electrode length of 3 mm on the lower surface, and the end in the length direction of copper electrode is 200 μm from the end of glass epoxy A flexible printed circuit board (second connection target member) separated was prepared.
L/Sが異なる上記ガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板を用いたこと以外は第1の接続構造体の作製と同様にして、第2の接続構造体を得た。 A second connection structure was obtained in the same manner as the preparation of the first connection structure except that the above-described glass epoxy substrate and flexible printed substrate different in L / S were used.
(4)第3の接続構造体(L/S=100μm/100μm)の作製
L/Sが100μm/100μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を上面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がガラスエポキシ基板の端部から200μm離れているガラスエポキシ基板(FR−4基板)(第1の接続対象部材)を用意した。このガラスエポキシ基板では、ソルダーレジスト膜は全体としてパターン状であり、電極とソルダーレジスト膜とは連なっている。
(4) Preparation of third connection structure (L / S = 100 μm / 100 μm) It has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) with L / S 100 μm / 100 μm,
また、L/Sが100μm/100μm、電極長さ3mmの銅電極パターン(銅電極の厚み12μm)を下面に有し、かつ銅電極の長さ方向の端部がガラスエポキシ基板の端部から200μm離れているフレキシブルプリント基板(第2の接続対象部材)を用意した。 In addition, L / S has a copper electrode pattern (copper electrode thickness 12 μm) of 100 μm / 100 μm and electrode length of 3 mm on the lower surface, and the end in the lengthwise direction of the copper electrode is 200 μm from the end of the glass epoxy substrate A flexible printed circuit board (second connection target member) separated was prepared.
L/Sが異なる上記ガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板を用いたこと以外は第1の接続構造体の作製と同様にして、第3の接続構造体を得た。 A third connection structure was obtained in the same manner as the preparation of the first connection structure except that the above-described glass epoxy substrate and flexible printed substrate different in L / S were used.
(実施例6)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の
長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから100μm離したこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 6)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, an end portion in the lengthwise direction of the copper electrode is separated by 100 μm from each of the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
(実施例7)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから300μm離したこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 7)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, the end portions in the lengthwise direction of the copper electrode are separated by 300 μm from the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed circuit board, respectively. First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
(実施例8)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから500μm離したこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 8)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, an end portion in the lengthwise direction of the copper electrode is separated by 500 μm from each of the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
(実施例9)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板の端部と揃えたこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。実施例9では、第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部はフレキシブルプリント基板の端部に揃えていない。
(Example 9)
The second connection target member used for the first, second, and third connection structures is the same as Example 1 except that the end in the lengthwise direction of the copper electrode is aligned with the end of the glass epoxy substrate. The first, second and third connection structures were obtained. In Example 9, in the first connection target member used for the first, second, and third connection structures, the end in the lengthwise direction of the copper electrode is not aligned with the end of the flexible printed circuit.
(実施例10)
第1の導電ペースト層の加熱時に1MPaの圧力を加えたこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 10)
First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except that a pressure of 1 MPa was applied during heating of the first conductive paste layer.
(実施例12)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから10μm離したこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 12)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, an end portion in the lengthwise direction of the copper electrode is separated by 10 μm from each of the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
(実施例13)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから50μm離したこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 13)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, an end portion in the lengthwise direction of the copper electrode is separated by 50 μm from each of the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
(実施例14)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれから100μm離したこと以外は実施例3と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Example 14)
In the first, second, and third connection target members used for the first, second, and third connection structures, an end portion in the lengthwise direction of the copper electrode is separated by 100 μm from each of the end portions of the glass epoxy substrate and the flexible printed substrate First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 3 except for the above.
(比較例1)
第1,第2,第3の接続構造体に用いる第1,第2の接続対象部材において、銅電極の長さ方向の端部をガラスエポキシ基板及びフレキシブルプリント基板の端部のそれぞれに揃えたこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。
(Comparative example 1)
In the first, second, and third connection target members used in the first, second, and third connection structures, the longitudinal ends of the copper electrode are aligned with the ends of the glass epoxy substrate and the flexible printed board, respectively. First, second and third connection structures were obtained in the same manner as Example 1 except for the above.
(比較例2)
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「YP−50S」)12重量部をメチルエチルケトン(MEK)に固形分が50重量%となるように溶解させて、溶解液を得た。下記の表1に示すフェノキシ樹脂を除く成分を下記の表1に示す配合量と、上記溶解液の全量とを配合して、遊星式攪拌機を用いて2000rpmで5分間攪拌した後、バーコーターを用いて乾燥後の厚みが30μmになるよう離型PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム上に塗工した。室温で真空乾燥することで、MEKを除去することにより、異方性導電フィルムを得た。
(Comparative example 2)
A solution was obtained by dissolving 12 parts by weight of a phenoxy resin ("YP-50S" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) in methyl ethyl ketone (MEK) such that the solid content was 50% by weight. The components except for the phenoxy resin shown in Table 1 below are blended with the compounding amounts shown in Table 1 below and the total amount of the above-mentioned solution, and stirred for 5 minutes at 2000 rpm using a planetary stirrer, and then the bar coater It coated on release PET (polyethylene terephthalate) film so that the thickness after drying using it might be 30 micrometers. The anisotropic conductive film was obtained by removing MEK by vacuum-drying at room temperature.
異方性導電フィルムを用いたこと以外は実施例1と同様にして、第1,第2,第3の接続構造体を得た。 First, second and third connection structures were obtained in the same manner as in Example 1 except that the anisotropic conductive film was used.
(評価)
(1)粘度
異方性導電ペーストの25℃での粘度ηを、E型粘度計(東機産業社製)を用いて、25℃及び5rpmの条件で測定した。
(Evaluation)
(1) Viscosity The viscosity η at 25 ° C. of the anisotropic conductive paste was measured using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) under the conditions of 25 ° C. and 5 rpm.
(2)はんだ部の厚み
得られた接続構造体を断面観察することにより、上下の電極の間に位置しているはんだ部の厚みを評価した。
(2) Thickness of Solder Portion The thickness of the solder portion located between the upper and lower electrodes was evaluated by observing the cross section of the obtained connection structure.
(3)電極上のはんだの配置精度
得られた第1,第2,第3の接続構造体の断面(図1(a)に示す方向の断面)において、はんだの全面積100%中、電極間に配置されたはんだ部から離れて硬化物中に残存しているはんだの面積(%)を評価した。なお、5つの断面における面積の平均を算出した。電極上のはんだの配置精度を下記の基準で判定した。
(3) Placement accuracy of the solder on the electrode In the cross section of the obtained first, second and third connection structures (cross section in the direction shown in FIG. 1A), the electrode in 100% of the total area of the solder The area (%) of the solder remaining in the cured product apart from the solder portion disposed between was evaluated. In addition, the average of the area in five cross sections was calculated. The placement accuracy of the solder on the electrode was determined according to the following criteria.
[電極上の導電性粒子の配置精度の判定基準]
○○:断面に現われているはんだの全面積100%中、電極間に配置されたはんだ部から離れて硬化物中に残存しているはんだ(はんだ粒子)の面積が0%以上、1%以下
○:断面に現われているはんだの全面積100%中、電極間に配置されたはんだ部から離れて硬化物中に残存しているはんだ(はんだ粒子)の面積が1%を超え、10%以下
△:断面に現われているはんだの全面積100%中、電極間に配置されたはんだ部から離れて硬化物中に残存しているはんだ(はんだ粒子)の面積が10%を超え、30%以下
×:断面に現われているはんだの全面積100%中、電極間に配置されたはんだ部から離れて硬化物中に残存しているはんだ(はんだ粒子)の面積が30%を超える
[Criteria for determining placement accuracy of conductive particles on electrodes]
○: The area of the solder (solder particles) remaining in the cured product apart from the solder portion disposed between the electrodes is 0% or more and 1% or less of the total area 100% of the solder appearing in the cross section :: The area of the solder (solder particles) remaining in the hardened material apart from the solder portion disposed between the electrodes is 100% or less and 10% or less of the total area 100% of the solder appearing in the cross section :: The area of the solder (solder particles) remaining in the cured product apart from the solder portion disposed between the electrodes is 10% or more and 30% or less of the total area of 100% of the solder appearing in the cross section X: The area of the solder (solder particles) remaining in the cured product apart from the solder part disposed between the electrodes is over 30% in 100% of the total area of the solder appearing in the cross section
(4)上下の電極間の導通信頼性
得られた第1,第2,第3の接続構造体(n=15個)において、上下の電極間の1接続箇所当たりの接続抵抗をそれぞれ、4端子法により、測定した。接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。導通信頼性を下記の基準で判定した。
(4) Conduction reliability between upper and lower electrodes In the obtained first, second and third connection structures (n = 15), the connection resistance per one connection point between the upper and lower electrodes is 4 It measured by the terminal method. The average value of connection resistance was calculated. The connection resistance can be determined from the relationship of voltage = current × resistance by measuring the voltage when a constant current flows. The conduction reliability was determined based on the following criteria.
[導通信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が50mΩ以下
○:接続抵抗の平均値が50mΩを超え、70mΩ以下
△:接続抵抗の平均値が70mΩを超え、100mΩ以下
×:接続抵抗の平均値が100mΩを超える
[Criteria for continuity reliability]
○: Average value of connection resistance is 50 mΩ or less ○: Average value of connection resistance exceeds 50 mΩ and 70 mΩ or less Δ: Average value of connection resistance exceeds 70 mΩ and 100 mΩ or less ×: Average value of connection resistance exceeds 100 mΩ
(5)隣接する電極間の絶縁信頼性
得られた第1,第2,第3の接続構造体(n=15個)において、85℃、湿度85%の雰囲気中に100時間放置後、隣接する電極間に、5Vを印加し、抵抗値を25箇所で測定した。絶縁信頼性を下記の基準で判定した。
(5) Insulating reliability between adjacent electrodes In the obtained first, second and third connection structures (n = 15), after being left in an atmosphere of 85 ° C. and humidity 85% for 100 hours, they are adjacent 5 V was applied between the electrodes to be measured, and the resistance value was measured at 25 points. The insulation reliability was judged according to the following criteria.
[絶縁信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が107Ω以上
○:接続抵抗の平均値が106Ω以上、107Ω未満
△:接続抵抗の平均値が105Ω以上、106Ω未満
×:接続抵抗の平均値が105Ω未満
[Criteria for insulation reliability]
○○: average value of connection resistance is 10 7 Ω or more ○: average value of connection resistance is 10 6 Ω or more and less than 10 7 Ω Δ: average value of connection resistance is 10 5 Ω or more and less than 10 6 Ω ×: connection Average value of resistance is less than 10 5 Ω
結果を下記の表1に示す。 The results are shown in Table 1 below.
フレキシブルプリント基板にかえて、樹脂フィルム、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板を用いた場合でも、同様の傾向が見られた。 The same tendency was observed when using a resin film, a flexible flat cable and a rigid flexible substrate instead of the flexible printed substrate.
1,1X…接続構造体
2…第1の接続対象部材
2a…第1の電極
3…第2の接続対象部材
3a…第2の電極
4,4X…接続部
4A,4XA…はんだ部
4B,4XB…硬化物部
11…導電ペースト
11A…はんだ粒子
11B…熱硬化性成分
Claims (12)
前記第1の接続対象部材の表面上に、前記導電ペーストを配置する工程と、
前記導電ペーストの前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、前記第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、
前記はんだ粒子の融点以上かつ前記熱硬化性成分の硬化温度以上に前記導電ペーストを加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電ペーストにより形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備え、
前記第1の接続対象部材として、前記第1の電極の長さ方向の端部が、前記第2の接続対象部材と対向される部分の前記第1の接続対象部材の端部に至っていない第1の接続対象部材を用いるか、又は、前記第2の接続対象部材として、前記第2の電極の長さ方向の端部が、前記第1の接続対象部材と対向される部分の前記第2の接続対象部材の端部に至っていない第2の接続対象部材を用いる、接続構造体の製造方法。 A conductive paste containing a thermosetting component and a plurality of solder particles, a first connection target member having a plurality of first electrodes having a length direction and a width direction on the surface, and a length direction and a width direction Using a second connection target member having a plurality of second electrodes on the surface,
Placing the conductive paste on the surface of the first connection target member;
And disposing the second connection target member such that the first electrode and the second electrode face each other on the surface of the conductive paste opposite to the first connection target member. ,
A connection portion connecting the first connection target member and the second connection target member by heating the conductive paste to a temperature equal to or higher than the melting point of the solder particles and equal to or higher than a curing temperature of the thermosetting component. And a step of forming the conductive paste and electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connection portion.
As the first connection target member, the end in the lengthwise direction of the first electrode does not reach the end of the first connection target member in a portion opposed to the second connection target member The first connection target member is used, or, as the second connection target member, the second end of the second electrode in the length direction is the second portion of the portion facing the first connection target member The manufacturing method of a connection structure using the 2nd connection object member which has not reached the end part of a connection object member.
前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程の内の少なくとも一方において、加圧を行い、かつ、前記第2の接続対象部材を配置する工程及び前記接続部を形成する工程の双方において、加圧の圧力が1MPa未満である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の接続構造体の製造方法。 In the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, no pressure is applied, and the weight of the second connection target member is added to the conductive paste, or
In at least one of the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, pressing is performed, and the step of arranging the second connection target member and the connection portion is formed. The manufacturing method of the connection structure of any one of Claims 1-6 whose pressure of pressurization is less than 1 MPa in both of the process.
前記第2の電極の電極幅が、50μm以上、1000μm以下であり、
前記第1の電極の電極間幅が、50μm以上、1000μm以下であり、
前記第2の電極の電極間幅が、50μm以上、1000μm以下である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の接続構造体の製造方法。 The electrode width of the first electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less,
The electrode width of the second electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less,
The inter-electrode width of the first electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less,
The manufacturing method of the connection structure according to any one of claims 1 to 11, wherein an inter-electrode width of the second electrode is 50 μm or more and 1000 μm or less.
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