JP6504561B2 - Digital temperature voltage compensated oscillator - Google Patents

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Description

本発明は、ディジタル化した温度情報、電源電圧情報に基づいて温度変化、電源電圧変化による発振周波数の変動を補償するディジタル温度電圧補償型発振器に関する。   The present invention relates to a digital temperature-voltage compensated oscillator that compensates for fluctuations in oscillation frequency due to temperature changes and power supply voltage changes based on digitized temperature information and power supply voltage information.

従来から、各種の温度補償発振器が知られているが、ディジタル温度補償発振器としては、温度による発振周波数の変化が大きい温度センサを用い、温度センサによって検知された外部の温度変化情報をディジタル制御回路によってディジタルコード化するとともに、この温度ディジタルコードを基にディジタル温度補償回路によって生成されたディジタル温度補償コードをＤ／Ａ変換器によってアナログ信号に変換して温度補償電圧（周波数制御電圧）を生成し、この温度補償電圧を周波数制御端子に入力して電圧制御型発振器の発振周波数を制御するようにした構成が知られている（特許文献１）。   Conventionally, various temperature-compensated oscillators are known, but as the digital temperature-compensated oscillator, a temperature sensor having a large change in oscillation frequency due to temperature is used, and a digital control circuit is used to control external temperature change information detected by the temperature sensor. The digital temperature compensation code generated by the digital temperature compensation circuit based on the temperature digital code is converted into an analog signal by the D / A converter to generate a temperature compensation voltage (frequency control voltage). There is known a configuration in which this temperature compensation voltage is input to a frequency control terminal to control the oscillation frequency of a voltage control type oscillator (Patent Document 1).

また、温度による発振周波数の変化が大きい温度センサとして、リングオシレータを用いることも知られている。例えば、温度変化によってその内部電流量を変化させ、第１及び第２バイアス信号を発生する第１バイアス部と、温度変化に関係なくその内部電流が一定であり、第３及び第４バイアス信号を発生する第２バイアス部と、第１及び第２バイアス信号に応答して第１クロック信号を発生する第１リングオシレータと、第３及び第４バイアス信号に応答して第２クロック信号を発生する第２リングオシレータと、第１クロック信号の一つのパルスをラッチしてワンショットパルスを発生するワンショットパルス発生部と、ワンショットパルス幅を第２クロック信号のパルスとしてカウントして温度コードを発生するカウンタと、を備える温度センサである（特許文献２）。   It is also known to use a ring oscillator as a temperature sensor in which the change in oscillation frequency with temperature is large. For example, the first bias unit generates the first and second bias signals by changing the amount of internal current due to temperature change, and the internal current is constant regardless of the temperature change, and the third and fourth bias signals Generating a second clock signal in response to the generated second bias unit, the first ring oscillator generating the first clock signal in response to the first and second bias signals, and the third and fourth bias signals A second ring oscillator, a one-shot pulse generation unit that generates a one-shot pulse by latching one pulse of the first clock signal, and generates a temperature code by counting the one-shot pulse width as a pulse of the second clock signal And a counter for detecting the temperature (Patent Document 2).

特開昭６４−７３８２３号公報JP-A 64-73823 特開２００７−１８７６５９号公報JP, 2007-187659, A

これらの従来の温度センサは、温度変化にのみ着目しており、電源電圧の変化には何ら考慮していない。しかしながら、従来の温度センサは、電源電圧が変動すると、電流源も変動するため、その出力周波数が電圧依存性を有するものであり、電源電圧が変動した場合には正確な温度を検出できないものである。また、電圧制御型発振器も電源電圧に対し周波数が変動する。このため、電圧制御型発振器で生成する発振周波数の環境温度及び電源電圧に対する変化を補償するための高精度な温度補償データを得ることができず、前記電圧制御型発振器で生成する発振周波数を安定して維持できないという問題がある。   These conventional temperature sensors focus only on temperature changes and do not take into account any change in power supply voltage. However, in the conventional temperature sensor, when the power supply voltage fluctuates, the current source also fluctuates, so the output frequency has voltage dependency, and an accurate temperature can not be detected when the power supply voltage fluctuates. is there. Further, the frequency of the voltage controlled oscillator also fluctuates with respect to the power supply voltage. For this reason, it is not possible to obtain highly accurate temperature compensation data for compensating the change of the oscillation frequency to the environmental temperature and the power supply voltage generated by the voltage controlled oscillator, and the oscillation frequency generated by the voltage controlled oscillator is stabilized. And can not be maintained.

ところで、温度センサにリングオシレータを使用する場合には、ディジタル温度補償発振器を使用する環境温度の変化にともなう当該発振器を設けたＩＣ内部の温度変化により、リングオシレータの発振周波数が大きく変化することを利用して、発振周波数からＩＣ内部温度（以下単に「内部温度」という。）を求めることができると考えられる。例えば、リングオシレータの発振周波数を所定時間カウントして、ディジタル温度データを取得し、このデータからディジタル温度補償データを作成し、Ｄ／Ａ変換器でアナログ信号に変換したうえ電圧制御型発振器へ入力する構成が考えられるが、この場合にもリングオシレータの電源電圧変動による周波数依存が大きく、精度の高い温度計測は困難である。   By the way, when a ring oscillator is used for the temperature sensor, the oscillation frequency of the ring oscillator is largely changed by the temperature change inside the IC provided with the oscillator accompanied by the change of the environmental temperature using the digital temperature compensated oscillator. It is considered that the IC internal temperature (hereinafter simply referred to as "internal temperature") can be determined from the oscillation frequency by utilizing it. For example, the oscillation frequency of the ring oscillator is counted for a predetermined time, digital temperature data is acquired, digital temperature compensation data is created from this data, converted to an analog signal by a D / A converter, and input to a voltage controlled oscillator. In this case, too, the frequency dependency due to the power supply voltage fluctuation of the ring oscillator is large, and accurate temperature measurement is difficult.

ここで、温度特性及び電源電圧特性が異なる２つのリングオシレータを用意し、発振周波数について内部温度及び電源電圧を用いた２元連立方程式を立て、これを解くことで内部温度と電源電圧を求めれば、電源電圧の変動にも対応した低ノイズで、高分解能な温度補償が可能となる。しかしながら、前記２元連立方程式を立てるには、内部温度、電源電圧の真値を把握する必要があり、真値を測定する原器が必要となるが、この原器をＩＣ内部に持つことは困難である一方、原器を外部に持った場合には、ＩＣ内部と、これと環境が異なる外部の原器との相関を、要求される精度内で得ることは極めて困難であるという問題がある。   Here, two ring oscillators having different temperature characteristics and power supply voltage characteristics are prepared, a binary simultaneous equation using internal temperature and power supply voltage is established for oscillation frequency, and the internal temperature and power supply voltage can be obtained by solving this. It is possible to achieve high resolution temperature compensation with low noise that can cope with fluctuations in power supply voltage. However, in order to set up the above binary simultaneous equations, it is necessary to grasp the true value of the internal temperature and the power supply voltage, and an instrument for measuring the true value is required. While it is difficult, it is extremely difficult to obtain, within the required accuracy, the correlation between the inside of the IC and the external standard whose environment differs from that of the external standard. is there.

また、内部温度、電源電圧の真値を把握した場合でも、電圧制御型発振器の周波数制御電圧が変化すると、電圧制御型発振器の発振周波数の温度特性や電源電圧特性は変化するものである。したがって、周波数制御電圧の変化に伴う発振周波数の温度特性や電源電圧特性の変化を把握しなければ、高精度な周波数補償を行うことができないという問題もある。   Further, even when the internal temperature and the true value of the power supply voltage are grasped, if the frequency control voltage of the voltage controlled oscillator changes, the temperature characteristic and the power supply voltage characteristic of the oscillation frequency of the voltage controlled oscillator change. Therefore, there is also a problem that high-precision frequency compensation can not be performed unless the temperature characteristic of the oscillation frequency and the change of the power supply voltage characteristic accompanying the change of the frequency control voltage are understood.

本発明は以上のような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、温度変化のみならず、電源電圧の変化も検出する一対の温度電圧センサ、例えば２つのリングオシレータを用いて、これらリングオシレータの発振周波数に対する電圧制御型発振回路の発振周波数を把握することで、内部温度と電源電圧を求めることなく、電圧制御型発振回路の発振周波数を安定化（補償）するとともに、電圧制御型発振回路の周波数制御電圧の変化に伴う発振周波数の温度特性や電源電圧特性の変化を把握することにより、周波数制御電圧の変化にも対応した正確な温度情報に基づいた温度電圧補償ディジタルデータを生成し、電圧制御型発振回路の発振周波数の高精度な安定化（補償）が可能なディジタル温度電圧補償型発振器を提供するところにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to use a pair of temperature voltage sensors, for example, two ring oscillators, which detect not only temperature change but also change in power supply voltage. By grasping the oscillation frequency of the voltage control oscillation circuit with respect to the oscillation frequency of the oscillator, the oscillation frequency of the voltage control oscillation circuit is stabilized (compensated) without obtaining the internal temperature and the power supply voltage, and By grasping the temperature characteristic of the oscillation frequency and the change of the power supply voltage characteristic accompanying the change of the frequency control voltage of the circuit, temperature voltage compensation digital data based on the accurate temperature information corresponding to the change of the frequency control voltage is generated To provide a digital temperature voltage compensated oscillator capable of highly accurate stabilization (compensation) of the oscillation frequency of the voltage controlled oscillator.

前記目的を達成するために本発明の請求項１に係るディジタル温度電圧補償型発振器は、環境温度及び電源電圧の変化によって周波数が変化する第１の発振周波数fxを生成するとともに周波数制御電圧Vcによって前記発振周波数fxの制御が可能な電圧制御型発振器１と、前記環境温度の変化に対して前記電圧制御型発振器１の第１の発振周波数fxよりも変化率が大きい第２の発振周波数f1を生成する温度電圧センサ２ａと、前記電源電圧の変化に対して前記電圧制御型発振器１の第１の発振周波数fxよりも変化率が大きい第３の発振周波数f2を生成する温度電圧センサ２ｂからなる、互いの温度特性及び電源電圧特性が異なる前記環境温度の変化及び電源電圧の変化を検出する一対の温度電圧センサ２ａ，２ｂと、この一対の温度電圧センサ２ａ，２ｂの第２及び第３の発振周波数f1，f2を所定時間カウントして第２及び第３の発振周波数f1，f2に基づく周波数カウントデータF1，F2を生成する周波数カウントデータ生成部３と、前記電圧制御型発振器１で生成する第１の発振周波数fxの環境温度及び電源電圧の変化に対する補償をするための温度電圧補償ディジタルデータFXCを、前記各周波数カウントデータF1，F2、前記温度電圧補償ディジタルデータFXC、記第１の発振周波数fxの関係から導いた多項式近似式で生成する温度電圧補償回路４と、前記温度電圧補償ディジタルデータFXCをアナログ電圧で表される前記周波数制御電圧Vcに変換して前記電圧制御型発振器１に出力するＤ／Ａ変換器７とを有し、前記多項式近似式は、あらかじめ前記環境温度及び電源電圧を変化させつつ、前記温度電圧補償ディジタルデータFXCを外部からの入力で変えることにより生成することを特徴としたものである。 Digital Temperature Voltage compensated oscillator according to claim 1 of the present invention to achieve the above object, a first oscillation frequency fx in together when generating the frequency control voltage that changes the frequency by a change in environmental temperature and supply voltage The voltage controlled oscillator 1 capable of controlling the oscillation frequency fx by Vc, and a second oscillation frequency whose change rate is larger than the first oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 with respect to the change of the environmental temperature A temperature voltage sensor 2a that generates f1 and a temperature voltage sensor 2b that generates a third oscillation frequency f2 whose change rate is larger than the first oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 with respect to the change of the power supply voltage A pair of temperature voltage sensors 2a and 2b for detecting changes in the ambient temperature and the power supply voltage which are different in temperature characteristics and power supply voltage characteristics from each other, and the pair of temperature voltage sensors 2a A frequency count data generation unit 3 for generating frequency count data F1 and F2 based on the second and third oscillation frequencies f1 and f2 by counting the second and third oscillation frequencies f1 and f2 of 2b for a predetermined time; Temperature / voltage compensated digital data FXC for compensating for changes in environmental temperature and power supply voltage of the first oscillation frequency fx generated by the voltage controlled oscillator 1, said frequency count data F1, F2, said temperature / voltage compensated digital data FXC, the temperature voltage compensation circuit 4 for generating a polynomial approximate expression derived from the relationship of the serial first oscillation frequency fx, the temperature voltage compensation digital data FXC in distichum wave number control voltage Vc before represented by analog voltage conversion and a D / a converter 7 to be output to the voltage controlled oscillator 1, before Kio Polynomial approximate expression, while changing the advance the environmental temperature and supply voltage, the temperature It is obtained by the features that you generated by varying the pressure compensating digital data FXC with input from the outside.

ここで、図６に基づいて、本発明における温度電圧補償ディジタルデータFXCによる温度電圧補償の原理について説明する。電圧制御型発振器１の第１の発振周波数fxは、環境温度と電源電圧によって変化する。一方、一対の温度電圧センサ２ａ，２ｂの第２及び第３の発振周波数f1，f2は、前記第１の発振周波数fxと同様に、環境温度変化と電源電圧変化により周波数変動を生じる。そして、前記発振周波数f1，f2が使用領域において極を持たなければ、前記発振周波数f1，f2から環境温度及び電源電圧は一義的に定まる。
すなわち、環境温度をＴ、電源電圧をＶとし、温度電圧センサ２ａ，２ｂの発振周波数f1，f2に基づく周波数カウントデータであるディジタルデータをF1，F2とすると、F1，F2はＴ，Ｖの関数であるから次のように表される。
F1＝g1（Ｔ，Ｖ） （１）
F2＝g2（Ｔ，Ｖ） （２）
また、電圧制御型発振回路１の発振周波数fxもＴ，Ｖの関数であるから次のように表される。
fx＝gx（Ｔ，Ｖ） （３）
ここで、一対の温度電圧センサ２ａ，２ｂの出力から上記（１），（２）式の連立方程式を解くと、ＴとＶが求められる。
Ｔ＝h1（F1，F2） （４）
Ｖ＝h2（F1，F2） （５）
よって、（３）式は次のように表される。
fx＝gx（Ｔ，Ｖ）
＝gx（h1（F1，F2），h2（F1，F2））
＝f (F1，F2)
したがって、fxはF1，F2の関数として表すことができる。
このように、環境温度及び電源電圧で表される前記発振周波数fxを、前記発振周波数f1,f2を変数として表すことができるので、前記発振周波数fxの補償量である温度電圧補償ディジタルデータFXCも発振周波数f1,f2で表すことができる。そして、この補償量を発振周波数fxから差し引けば、環境温度と電源電圧に対して一定の周波数を得ることができる。なお、カウントデータ生成部３におけるカウント時間をｔとすると、F1＝f1×ｔ、F2＝f2×ｔである（図３参照）。 Here, the principle of temperature voltage compensation by the temperature voltage compensated digital data FXC in the present invention will be described based on FIG. The first oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 changes with the environmental temperature and the power supply voltage. On the other hand, the second and third oscillation frequencies f1 and f2 of the pair of temperature voltage sensors 2a and 2b cause frequency fluctuations due to environmental temperature changes and power supply voltage changes, as in the first oscillation frequency fx. If the oscillation frequencies f1 and f2 do not have a pole in the use region, the environmental temperature and the power supply voltage are uniquely determined from the oscillation frequencies f1 and f2.
That is, assuming that the environmental temperature is T, the power supply voltage is V, and digital data which is frequency count data based on the oscillation frequencies f1 and f2 of the temperature voltage sensors 2a and 2b is F1 and F2, F1 and F2 are functions of T and V Therefore, it is expressed as follows.
F1 = g1 (T, V) (1)
F2 = g2 (T, V) (2)
Further, since the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillation circuit 1 is also a function of T and V, it is expressed as follows.
fx = gx (T, V) (3)
Here, T and V can be obtained by solving the simultaneous equations (1) and (2) from the outputs of the pair of temperature voltage sensors 2a and 2b.
T = h1 (F1, F2) (4)
V = h2 (F1, F2) (5)
Therefore, equation (3) is expressed as follows.
fx = gx (T, V)
= Gx (h1 (F1, F2), h2 (F1, F2))
= F (F1, F2)
Therefore, fx can be expressed as a function of F1 and F2.
Thus, since the oscillation frequency fx represented by the environmental temperature and the power supply voltage can be represented with the oscillation frequencies f1 and f2 as variables, the temperature voltage compensation digital data FXC, which is a compensation amount of the oscillation frequency fx, is also The oscillation frequencies can be represented by f1 and f2. Then, by subtracting this compensation amount from the oscillation frequency fx, it is possible to obtain a constant frequency with respect to the environmental temperature and the power supply voltage. Assuming that the count time in the count data generation unit 3 is t, F1 = f1 × t and F2 = f2 × t (see FIG. 3).

ところが、図７に示すように、電圧制御型発振器１に入力する周波数制御電圧Vcが変化すると、前記電圧制御型発振器１の発振周波数fxの温度特性や電源電圧特性が変化してしまうため、図６に示す発振周波数fxの曲面形状が変化し、前記発振周波数fxに対する温度電圧補償が困難になる。前記周波数制御電圧Vcの変化に対応した前記発振周波数fxの補償量を求めるには、上述した温度電圧補償に加えて、前記周波数制御電圧Vcも加味した温度電圧補償を行うことが必要である。このため、本発明では、周波数制御電圧Vcの変化も考慮して温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めるものである。 However, as shown in FIG. 7, when the to enter the voltage-controlled oscillator 1 frequency control voltage V c changes, temperature characteristics and power supply voltage characteristics of the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 is changed Therefore, the curved surface shape of the oscillation frequency fx shown in FIG. 6 changes, and temperature voltage compensation with respect to the oscillation frequency fx becomes difficult. In order to obtain the compensation amount of the oscillation frequency fx corresponding to the change of the frequency control voltage Vc, it is necessary to perform the temperature voltage compensation in consideration of the frequency control voltage Vc in addition to the temperature voltage compensation described above. Therefore, in the present invention, the temperature voltage compensation digital data FXC is obtained in consideration of the change of the frequency control voltage Vc.

そして、温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めるための多項式近似式の演算に必要な係数は、次のようにして求める。すなわち、ディジタル温度電圧補償型発振器を恒温槽内に配置して、環境温度を変化させつつ、電源電圧を変化させながら、温度電圧補償ディジタルデータFXCを変えた時の、この温度電圧補償ディジタルデータFXCと、周波数カウントデータF1，F2と、発振周波数fxの関係を示すデータを採取し、このデータを基に最小二乗法を用いて発振周波数fxが所望の周波数となるような係数を求めるものである。 Then, the coefficients necessary for the operation of the polynomial approximation for obtaining the temperature voltage compensation digital data FXC are obtained as follows. That is, when the temperature-voltage-compensated digital data FXC is changed while the power-supply voltage is changed while the digital temperature-voltage-compensated oscillator is disposed in a thermostatic chamber to change the environmental temperature, the temperature-voltage compensated digital data FXC , Frequency count data F1 and F2, and data indicating the relationship between the oscillation frequency fx is obtained, and a coefficient that makes the oscillation frequency fx a desired frequency is obtained using the least squares method based on this data. Ru.

このように、本発明の請求項１に係るディジタル温度電圧補償型発振器は、第１の発振周波数fx及び一定の周波数を得るために前記fxから差し引くための温度電圧補償ディジタルデータFXCと第２及び第３の発振周波数f1，f2との関係に着目し、さらに周波数制御電圧Vcの変化も考慮して、環境温度と電源電圧の値を求めることなく、各発振周波数f1，f2を所定時間カウント（所定時間でのf1，f2のサイクル数をカウント）してなる各周波数カウントデータF1，F2と、温度電圧補償ディジタルデータFXCと発振周波数fxの関係を用いて温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めることを特徴とする。したがって、環境温度と電源電圧とを求めないので、真値を把握する必要がなくなり、精度向上に繋がるという利点がある。また、環境温度と電源電圧を求める演算回路が不要になるという付随的な利点もある。 Thus, the digital temperature-voltage compensated oscillator according to claim 1 of the present invention comprises the temperature-voltage-compensated digital data FXC and the second and third temperature-compensated digital data for subtraction from the first oscillation frequency fx and fx to obtain a constant frequency. Focusing on the relationship between the third oscillation frequency f1 and f2, and taking into consideration the change of the frequency control voltage Vc, count each oscillation frequency f1 and f2 for a predetermined time without obtaining the values of the environmental temperature and the power supply voltage The temperature voltage compensation digital data FXC is determined using the respective frequency count data F1 and F2 obtained by counting the number of cycles of f1 and f2 in a predetermined time, the relationship between the temperature voltage compensation digital data FXC and the oscillation frequency fx. It features. Therefore, since the environmental temperature and the power supply voltage are not obtained, there is an advantage that it is not necessary to grasp the true value, leading to an improvement in accuracy. In addition, there is an additional advantage that an arithmetic circuit for obtaining the environmental temperature and the power supply voltage is not required.

また、前記目的を達成するために本発明の請求項２に係るディジタル温度電圧補償型発振器は、前記請求項１発明の構成において、前記一対の温度電圧センサは温度依存性が高い第１のリングオシレータ２ａと電源電圧依存性が高い第２のリングオシレータ２ｂからなる一方、前記温度電圧補償回路４は温度電圧補償演算回路４１を備え、前記周波数カウントデータ生成部３は、各別のカウンタ３２ａ，３２ｂによって前記電圧制御型発振器１から供給される基準クロック信号fgで設定されるカウント時間ｔで前記各リングオシレータ２ａ，２ｂの発振周波数f1，f2をカウントして、前記各発振周波数f1，f2にそれぞれ対応する各周波数カウントデータF1，F2を生成し、前記温度電圧補償演算回路４１は、あらかじめメモリ４２に格納された各周波数カウントデータF1，F2と第１の発振周波数fxに係る多項式近似式の各係数を呼び出して、温度電圧補償ディジタルデータFXCを演算するものである。   Further, to achieve the above object, according to a second aspect of the present invention, there is provided a digital temperature and voltage compensated oscillator according to the first aspect of the first aspect, wherein the pair of temperature and voltage sensors have high temperature dependency. The temperature voltage compensation circuit 4 includes a temperature voltage compensation operation circuit 41, and the frequency count data generation unit 3 includes counters 32a, 32b, and 32c, and the second ring oscillator 2b having high power supply voltage dependency. The oscillation frequencies f1 and f2 of the ring oscillators 2a and 2b are counted at a count time t set by the reference clock signal fg supplied from the voltage control type oscillator 1 by 32b, and the oscillation frequencies f1 and f2 are set. The temperature voltage compensation calculation circuit 41 generates the frequency count data F1 and F2 respectively corresponding to each circumference previously stored in the memory 42. Call the respective coefficients of the polynomial approximate expression to the number count data F1, F2 according to the first oscillation frequency fx, is intended for calculating the temperature voltage compensation digital data FXC.

さらに、前記目的を達成するために本発明の請求項３に係るディジタル温度電圧補償型発振器は、前記請求項２発明の構成において、前記温度電圧補償回路４は、前記温度電圧補償演算回路４１に加えて残差データ補間回路４３を備え、この残差データ補間回路４３は、多項式近似後の残差を補償するための残差補正データ（多項式近似で表現できない高次成分のことで個体差を意味する）に対して、ディジタル温度電圧補償型発振器の環境温度範囲内及び電源電圧変化範囲内の離散する環境温度及び電源電圧で頂点データなどの変化点を抽出し、この抽出した残差補正データを前記残差データ補間回路４３のメモリ４４にあらかじめ格納しておき、この格納している残差補正データに基づいて、曲面補間法または平面補間法によって前記周波数カウントデータF1，F2における残差補正データFiを求め、その結果を前記温度電圧補償ディジタルデータFXCに加算して、残差補正した温度電圧補償ディジタルデータVcd1とするものである。   Furthermore, in order to achieve the above object, according to the third aspect of the present invention, in the configuration of the second aspect of the present invention, the temperature voltage compensation circuit 4 includes the temperature voltage compensation operation circuit 41. In addition, a residual data interpolation circuit 43 is provided, and the residual data interpolation circuit 43 is used for residual correction data (high order components which can not be expressed by polynomial approximation) for compensating residuals after polynomial approximation. Meaning that the change point such as vertex data is extracted with the discrete environmental temperature and power supply voltage within the environmental temperature range of the digital temperature voltage compensated oscillator and within the power supply voltage change range, and the extracted residual correction data Is stored in advance in the memory 44 of the residual data interpolation circuit 43, and based on the stored residual correction data, the circumference is calculated by the curved surface interpolation method or the plane interpolation method. Calculated residual correction data Fi in the number count data F1, F2, and adds the result to the temperature voltage compensation digital data FXC, in which a temperature voltage compensation digital data Vcd1 that residual correction.

図８は上述した温度電圧補償の手順と、電圧制御型発振器１の発振周波数fxの周波数偏差の関係を示すものである。図８（ａ）は前記電圧制御型発振器１の周波数温度電源電圧特性の一例を示すもので、図８（ｂ）に示す第１段階の温度電圧補償である多項式近似式で求めた温度電圧補償ディジタルデータFXCで補償した（多項式フィッテイング）後には、図８（ｃ）に示す周波数偏差となる。図８（ｄ）は前記温度電圧補償ディジタルデータFXCと多項式近似後の残差を補償するための残差補正データFiを示すもので、この残差補正データFiを用いて第２段階の温度電圧補償である前記温度電圧補償ディジタルデータFXCの残差補正を行った後には、図８（ｅ）に示す周波数偏差となる。なお、図８（ｃ）及び（ｅ）は、環境温度２５℃、電源電圧３．３Ｖ時の周波数で正規化したものである。   FIG. 8 shows the relationship between the procedure of the temperature voltage compensation described above and the frequency deviation of the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1. FIG. 8 (a) shows an example of the frequency temperature power supply voltage characteristic of the voltage control type oscillator 1; temperature voltage compensation determined by a polynomial approximation which is temperature voltage compensation of the first step shown in FIG. 8 (b) After compensation with the digital data FXC (polynomial fitting), the frequency deviation shown in FIG. 8C is obtained. FIG. 8 (d) shows the temperature voltage compensation digital data FXC and residual correction data Fi for compensating the residual after polynomial approximation, and using this residual correction data Fi, the temperature voltage of the second stage is obtained. After residual correction of the temperature-voltage-compensated digital data FXC which is compensation, the frequency deviation shown in FIG. 8 (e) is obtained. 8C and 8E are normalized with the frequency at an environmental temperature of 25 ° C. and a power supply voltage of 3.3V.

本発明の請求項１に係るディジタル温度電圧補償型発振器によれば、温度測定に加えて、逐次変動する電源電圧も測定する、温度特性及び電圧特性の異なる一対の温度電圧センサを備えるので、温度変動のみならず電源電圧変動にも対応するとともに、電圧制御型発振器の周波数制御電圧の変化にも対応した温度電圧補償ディジタルデータを得ることができ、極めて安定した発振周波数を維持することができるという効果を奏する。   According to the digital temperature-voltage compensated oscillator according to claim 1 of the present invention, since the temperature voltage sensor is provided with a pair of temperature voltage sensors having different temperature characteristics and voltage characteristics, which measures not only the temperature measurement but also the power supply voltage that changes successively. It is possible to obtain not only the fluctuation but also the power supply voltage fluctuation and temperature voltage compensation digital data corresponding to the change of the frequency control voltage of the voltage control type oscillator, so that the extremely stable oscillation frequency can be maintained. Play an effect.

本発明の請求項２に係るディジタル温度電圧補償型発振器によれば、前記請求項１発明の奏する効果に加え、一対の温度電圧センサとしてリングオシレータを用いることによって、高感度に温度依存及び電圧依存をキャンセルするシステムを提供することが可能となり、より高精度の温度電圧補償ディジタルデータを得ることができるという効果を奏する。   According to the digital temperature-voltage compensated oscillator according to claim 2 of the present invention, in addition to the effects exhibited by the invention according to claim 1, temperature dependency and voltage dependency with high sensitivity by using a ring oscillator as a pair of temperature voltage sensors. It is possible to provide a system that cancels out, and it is possible to obtain more accurate temperature voltage compensated digital data.

本発明の請求項３に係るディジタル温度電圧補償型発振器によれば、前記請求項２発明の奏する効果に加えて、残差補正データ、すなわち個体差を考慮することによって、極めて高精度の温度電圧補償ディジタルデータを得ることができるという効果を奏する。   According to the digital temperature-voltage compensated oscillator according to claim 3 of the present invention, it is possible to obtain a temperature voltage with extremely high accuracy by considering residual correction data, that is, individual differences, in addition to the effects exerted by the invention according to claim 2 The effect is obtained that it is possible to obtain compensated digital data.

本発明に係るディジタル温度電圧補償型発振器の一実施形態の全体構成を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an entire configuration of an embodiment of a digital temperature-voltage compensated oscillator according to the present invention. 同じく一対のリングオシレータの回路図。The circuit diagram of a pair of ring oscillators similarly. 同じく一対のリングオシレータの出力と基準クロック信号の関係を示す波形図。FIG. 7 is a waveform chart showing the relationship between the outputs of a pair of ring oscillators and a reference clock signal in the same manner. 同じく抽出した残差補正データを示す説明図。Explanatory drawing which shows the residual difference correction data extracted similarly. 同じくドロネー三角形を用いた平面補間の説明図。Explanatory drawing of plane interpolation which similarly used Delaunay triangle. 本発明の温度電圧補償の原理を示す説明図。Explanatory drawing which shows the principle of the temperature voltage compensation of this invention. 同じく発振周波数制御電圧の変化も考慮した温度電圧補償の原理を示す説明図。Explanatory drawing which similarly shows the principle of the temperature voltage compensation which also considered the change of oscillation frequency control voltage. 同じく温度電圧補償による周波数偏差の状態を示す説明図。Explanatory drawing which similarly shows the state of the frequency deviation by temperature voltage compensation.

まず、添付図面の図１に基づいて、本発明に係るディジタル温度電圧補償型発振器の全体構成を説明する。ディジタル温度電圧補償型発振器は、電圧制御型発振器１と、一対の温度電圧センサたるリングオシレータ２ａ，２ｂと、周波数カウントデータ生成部３と、温度電圧補償回路４と、ΔΣモジュレータ５と受動型４段ＬＰＦ６からなるＤ／Ａ変換器７を備えている。また、回路外部から必要に応じて、アナログ信号である外部制御電圧EVCが入力端子１０６からＡ／Ｄ変換器１０２に供給されるよう構成されている。このディジタル温度電圧補償型発振器は、電圧制御型発振器１の後述する外付けの水晶振動子１１を除いて、半導体ＩＣに内蔵され、内部電源電圧VAは外部電源を安定化させる安定化電源１００から供給される。したがって、前記各リングオシレータ２ａ，２ｂが検出するのは環境温度の変化にともない変化する前記半導体ＩＣの内部温度であり、検出する電源電圧は前記内部電源電圧VAである。   First, the overall configuration of a digital temperature-voltage compensated oscillator according to the present invention will be described based on FIG. 1 of the accompanying drawings. The digital temperature-voltage compensated oscillator includes a voltage-controlled oscillator 1, a pair of temperature voltage sensors, ring oscillators 2a and 2b, a frequency count data generation unit 3, a temperature-voltage compensation circuit 4, a ΔΣ modulator 5, and a passive 4 A D / A converter 7 comprising a stage LPF 6 is provided. Also, an external control voltage EVC, which is an analog signal, is supplied from the input terminal 106 to the A / D converter 102 from the outside of the circuit as necessary. This digital temperature-voltage compensated oscillator is built in a semiconductor IC except for an external crystal oscillator 11 to be described later of the voltage control type oscillator 1, and the internal power supply voltage VA is from the stabilized power supply 100 for stabilizing the external power supply. Supplied. Therefore, what each ring oscillator 2a, 2b detects is the internal temperature of the semiconductor IC that changes as the environmental temperature changes, and the power supply voltage to be detected is the internal power supply voltage VA.

また、外部制御電圧EVCが供給されると、Ａ／Ｄ変換器１０２でディジタル信号Vcd2に変換されて加算器１０４に入力され、温度電圧補償回路４から出力された温度電圧補償ディジタルデータVcd1と加算されて、前記加算器１０４からディジタル信号Vcdが出力される。このディジタル信号Vcdは後述するように、最終的な温度電圧補償ディジタルデータであり、外部制御電圧EVCが供給されない場合は、前記温度電圧補償ディジタルデータVcd1と同一である。最終的な温度電圧補償ディジタルデータVcdはＤ／Ａ変換器７に入力し、アナログ信号に変換されて周波数制御電圧Vcとなり、電圧制御型発振器１の発振周波数fxを制御するものである。   Also, when the external control voltage EVC is supplied, the A / D converter 102 converts it into a digital signal Vcd2 and inputs it to the adder 104 and adds it to the temperature voltage compensation digital data Vcd1 output from the temperature voltage compensation circuit 4 Then, the adder 104 outputs a digital signal Vcd. As described later, this digital signal Vcd is the final temperature voltage compensation digital data, and when the external control voltage EVC is not supplied, it is the same as the temperature voltage compensation digital data Vcd1. The final temperature voltage compensation digital data Vcd is input to the D / A converter 7 and converted into an analog signal to be the frequency control voltage Vc, and the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 is controlled.

電圧制御型発振器１の電圧制御型発振回路１２は公知の構成で、外付けの水晶振動子１１を有している。この電圧制御型発振器１は、内部温度及び内部電源電圧VAの変化に対して周波数が変化する第１の発振周波数fxを生成するとともに、受動型４段ＬＰＦ６から出力される周波数制御電圧Vcによって前記第１の発振周波数fxの制御が可能な発振信号を生成するものである。この生成された前記第１の発振周波数fxを有する発振信号は、バッファ８に出力されて、分周回路９を経て制御回路３１に基準クロック信号fg（図３参照）として入力する一方、前記バッファ８からバッファ１０を介して外部に出力される。   The voltage-controlled oscillator circuit 12 of the voltage-controlled oscillator 1 has a known configuration and has an external crystal oscillator 11. The voltage-controlled oscillator 1 generates a first oscillation frequency fx whose frequency changes with changes in the internal temperature and the internal power supply voltage VA, and the frequency control voltage Vc output from the passive four-stage LPF 6 An oscillation signal capable of controlling the first oscillation frequency fx is generated. The generated oscillation signal having the first oscillation frequency fx is output to the buffer 8 and is input to the control circuit 31 as the reference clock signal fg (see FIG. 3) through the divider circuit 9, while the buffer 8 are output to the outside through the buffer 10.

第１及び第２のリングオシレータ２ａ，２ｂは、インバータを奇数個リング状に接続してなるもので、高感度で互いの発振周波数の温度特性及び電圧特性が異なる。図２（ａ）に示すように、第１のリングオシレータ２ａは、電流源を介して内部電源電圧VAに接続されて電流駆動するもので、内部温度依存性が高いものであり、図２（ｂ）に示すように、第２のリングオシレータ２ｂは、内部電源電圧VAに接続されて電圧駆動するもので、内部電源電圧依存性が高いものである。そして、リングオシレータ２ａは、内部温度の変化に対して前記電圧制御型発振器１で生成された第１の発振周波数fxよりも変化率が大きい、第２の発振周波数f1を生成し、リングオシレータ２ｂは、内部電源電圧VAの変化に対して前記電圧制御型発振器１で生成された第１の発振周波数fxよりも変化率が大きい、第３の発振周波数f2を生成するものである。この生成された前記第２及び第３の発振周波数f1，f2を有する発振信号は、周波数カウントデータ生成部３に出力される。   The first and second ring oscillators 2a and 2b are formed by connecting an odd number of inverters in a ring shape, and have high sensitivity and different temperature characteristics and voltage characteristics of each other's oscillation frequency. As shown in FIG. 2 (a), the first ring oscillator 2a is connected to the internal power supply voltage VA via a current source to drive a current, and has a high internal temperature dependency. As shown in b), the second ring oscillator 2b is connected to the internal power supply voltage VA for voltage driving, and is highly dependent on the internal power supply voltage. Then, the ring oscillator 2a generates a second oscillation frequency f1 having a larger change rate than the first oscillation frequency fx generated by the voltage control oscillator 1 with respect to the change of the internal temperature, and the ring oscillator 2b Is to generate a third oscillation frequency f2 whose change rate is larger than the first oscillation frequency fx generated by the voltage control type oscillator 1 with respect to the change of the internal power supply voltage VA. The generated oscillation signals having the second and third oscillation frequencies f1 and f2 are output to the frequency count data generation unit 3.

周波数カウントデータ生成部３は、制御回路３１と、この制御回路３１の制御信号で動作制御される第１及び第２のカウンタ３２ａ，３２ｂとからなる。前記第１のカウンタ３２ａは第１のリングオシレータ２ａで生成された第２の発振周波数f1をカウントし、前記第２のカウンタ３２ｂは第２のリングオシレータ２ｂで生成された第３の発振周波数f2をカウントする。図３に示すように、これらカウントするためのカウント時間ｔは制御回路３１に入力する電圧制御型発振器１の発振周波数fxを分周した基準クロック信号fgで設定される各カウンタ３２ａ，３２ｂのゲート時間であり、各発振周波数f1，f2のカウントは立ち上がりエッジで行う。前記制御回路３１は、各発振周波数f1，f2をカウントしてなるデータに基づいて、各リングオシレータ２ａ，２ｂが検出した内部温度及び内部電源電圧VAに対応した周波数カウントデータF1，F2を生成するもので、F1＝f1×ｔ、F2＝f2×ｔである。そして、この周波数カウントデータF1、F2は、前記制御回路３１から温度電圧補償回路４に出力される。   The frequency count data generation unit 3 includes a control circuit 31 and first and second counters 32a and 32b whose operation is controlled by a control signal of the control circuit 31. The first counter 32a counts the second oscillation frequency f1 generated by the first ring oscillator 2a, and the second counter 32b generates the third oscillation frequency f2 generated by the second ring oscillator 2b. Count. As shown in FIG. 3, the counting time t for these counting is determined by the reference clock signal fg obtained by dividing the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 input to the control circuit 31. It is time, and counting of each oscillation frequency f1 and f2 is performed at the rising edge. The control circuit 31 generates frequency count data F1 and F2 corresponding to the internal temperature detected by each of the ring oscillators 2a and 2b and the internal power supply voltage VA based on data obtained by counting the oscillation frequencies f1 and f2. It is F1 = f1xt and F2 = f2xt. The frequency count data F 1 and F 2 are output from the control circuit 31 to the temperature voltage compensation circuit 4.

温度電圧補償回路４は、温度電圧補償演算回路４１と残差データ補間回路４３と各メモリ４２、４４とからなり、電圧制御型発振器１で生成する第１の発振周波数fxの内部温度、内部電源電圧VA及び周波数制御電圧Vcに応じた変化を補償するための温度電圧補償ディジタルデータVcd1を生成するものである。この温度電圧補償ディジタルデータVcd1は、内部電源電圧VA及び周波数制御電圧Vcの各変化分も含んだ温度ドリフトによる前記電圧制御型発振器１の発振周波数fxの変化をキャンセルするための補正分であるディジタルデータである。そして、温度電圧補償回路４は、温度電圧補償演算回路４１において多項式近似式で求めた補正データである温度電圧補償ディジタルデータFXC（以下「第１次温度電圧補償ディジタルデータFXC」という。）に、この第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCと本来補償すべき補正データとの残差分である、残差データ補間回路４３で求めた残差補正データFiを加算器４５で加えて、温度電圧補償ディジタルデータVcd1を生成する。   The temperature voltage compensation circuit 4 includes a temperature voltage compensation operation circuit 41, a residual data interpolation circuit 43, and memories 42 and 44, and the internal temperature of the first oscillation frequency fx generated by the voltage controlled oscillator 1 and the internal power supply It generates temperature voltage compensated digital data Vcd1 for compensating changes in accordance with the voltage VA and the frequency control voltage Vc. The temperature voltage compensation digital data Vcd1 is a correction for canceling a change in the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 due to a temperature drift including each change in the internal power supply voltage VA and the frequency control voltage Vc. It is data. The temperature voltage compensation circuit 4 converts the temperature voltage compensation digital data FXC (hereinafter referred to as “first temperature voltage compensation digital data FXC”), which is correction data obtained by the polynomial approximation formula in the temperature voltage compensation operation circuit 41. A residual voltage compensation digital data obtained by the residual data interpolation circuit 43, which is a residual component between the first temperature voltage compensation digital data FXC and the correction data to be originally compensated, is added by the adder 45 to obtain a temperature voltage compensation digital Generate data Vcd1.

上述した残差補正データFiは、残差の頂点データなどの変化点を抽出した残差補正データと、これら抽出した残差補正データだけでは特定できないため曲面補間または平面補間によって求める残差補正データとがある。そして、メモリ４２にはあらかじめ、第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めるための多項式近似式の演算に必要な係数が格納される一方、メモリ４４にはあらかじめ、抽出した残差補正データと、曲面補間または平面補間に必要な残差補正データが格納されている。   The residual correction data Fi described above includes residual correction data from which change points such as vertex data of residuals are extracted, and residual correction data to be obtained by curved surface interpolation or planar interpolation because it can not be identified only with these extracted residual correction data There is. Then, the memory 42 stores in advance the coefficients necessary for the calculation of the polynomial approximation formula for obtaining the first temperature voltage compensated digital data FXC, while the memory 44 stores the residual correction data extracted in advance, Residual correction data required for curved surface interpolation or planar interpolation is stored.

ここで、第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCの生成について説明する。第１及び第２のリングオシレータ２ａ，２ｂの出力は、それぞれカウンタ３２ａ、３２ｂに入力して、図３に示すように、電圧制御型発振器１の発振周波数fxを分周した基準クロック信号fgに基づいて制御回路３１で設定されたカウント時間ｔでそれぞれの発振周波数f1、f2がカウントされ、制御回路３１で周波数カウントデータF1，F2が生成される。前記カウント時間ｔは、基準クロック信号fgに基づいて設定されるため、内部温度及び内部電源電圧VAに対して数十ppm程度しか変動しないのに対して、前記発振周波数f1，f2は各リングオシレータ２ａ，２ｂが高感度なため、数パーセントと桁違いに大きく変動する。したがって、前記カウント時間ｔの変動はほぼないものとして扱うことができる。ここで、F1＝f1×ｔ、F2＝f2×ｔである。   Here, generation of the first temperature voltage compensated digital data FXC will be described. The outputs of the first and second ring oscillators 2a and 2b are respectively input to the counters 32a and 32b, and as shown in FIG. 3, the reference clock signal fg obtained by dividing the oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 Based on the count time t set by the control circuit 31, the oscillation frequencies f1 and f2 are counted, and the control circuit 31 generates frequency count data F1 and F2. Since the count time t is set based on the reference clock signal fg, the oscillation frequencies f1 and f2 are different for each ring oscillator, while only about several tens of ppm fluctuates with respect to the internal temperature and the internal power supply voltage VA. Because 2a and 2b have high sensitivity, they fluctuate significantly by several percents. Therefore, the fluctuation of the count time t can be treated as almost non-existent. Here, F1 = f1 × t and F2 = f2 × t.

第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCは、電圧制御型発振器１の使用環境温度範囲が−４０〜１０５℃の範囲において、誤差の目標値が±２００ppbであれば、周波数カウントデータF1,F2、電圧制御型発振器１の発振周波数fxの次の多項式で近似することができる。
FXC＝A000＋B100・F1＋B200・F1２＋B300・F1３＋B400・F1４＋B500・F1５＋B600・F1６＋B700・F1７＋B800・F1８＋B010・F2＋B110・F1・F2＋B210・F1２・F2＋B310・F1３・F2＋B410・F1４・F2＋B510・F1５・F2＋B610・F1６・F2＋B710・F1７・F2＋B020・F2２＋B120・F1・F2２＋B220・F1２・F2２＋B320・F1３・F2２＋B420・F1４・F2２＋B520・F1５・F2２＋B620・F1６・F2２＋B030・F2３＋B130・F1・F2３＋B230・F1２・F2３＋B330・F1３・F2３＋B430・F1４・F2３＋B530・F1５・F2３＋B040・F2４＋B140・F1・F2４＋B240・F1２・F2４＋B340・F1３・F2４＋B440・F1４・F2４＋B050・F2５＋B150・F1・F2５＋B250・F1２・F2５＋B350・F1３・F2５＋B060・F2６＋B160・F1・F2６＋B260・F1２・F2６＋B070・F2７＋B170・F1・F2７＋B080・F2８＋B101・F1・fx＋B201・F1２・fx＋B301・F1３・fx＋B401・F1４・fx＋B501・F1５・fx＋B601・F1６・fx＋B701・F1７・fx＋B801・F1８・fx＋B011・F2・fx＋B111・F1・F2・fx＋B211・F1２・F2・fx＋B311・F1３・F2・fx＋B411・F1４・F2・fx＋B511・F1５・F2・fx＋B611・F1６・F2・fx＋B711・F1７・F2・fx＋B021・F2２・fx＋B121・F1・F2２・fx＋B221・F1２・F2２・fx＋B321・F1３・F2２・fx＋B421・F1４・F2２・fx＋B521・F1５・F2２・fx＋B621・F1６・F2２・fx＋B031・F2３・fx＋B131・F1・F2３・fx＋B231・F1２・F2３・fx＋B331・F1３・F2３・fx＋B431・F1４・F2３・fx＋B531・F1５・F2３・fx＋B041・F2４・fx＋B141・F1・F2４・fx＋B241・F1２・F2４・fx＋B341・F1３・F2４・fx＋B441・F1４・F2４・fx＋B051・F2５・fx＋B151・F1・F2５・fx＋B251・F1２・F2５・fx＋B351・F1３・F2５・fx＋B061・F2６・fx＋B161・F1・F2６・fx＋B261・F1２・F2６・fx＋B071・F2７・fx＋B171・F1・F2７・fx＋B081・F2８・fx＋B102・F1・fx２＋B202・F1２・fx２＋B302・F1３・fx２＋B402・F1４・fx２＋B502・F1５・fx２＋B602・F1６・fx２＋B702・F1７・fx２＋B802・F1８・fx２＋B012・F2・fx２＋B112・F1・F2・fx２＋B212・F1２・F2・fx２＋B312・F1３・F2・fx２＋B412・F1４・F2・fx２＋B512・F1５・F2・fx２＋B612・F1６・F2・fx２＋B712・F1７・F2・fx２＋B022・F2２・fx２＋B122・F1・F2２・fx２＋B222・F1２・F2２・fx２＋B322・F1３・F2２・fx２＋B422・F1４・F2２・fx２＋B522・F1５・F2２・fx２＋B622・F1６・F2２・fx２＋B032・F2３・fx２＋B132・F1・F2３・fx２＋B232・F1２・F2３・fx２＋B332・F1３・F2３・fx２＋B432・F1４・F2３・fx２＋B532・F1５・F2３・fx２＋B042・F2４・fx２＋B142・F1・F2４・fx２＋B242・F1２・F2４・fx２＋B342・F1３・F2４・fx２＋B442・F1４・F2４・fx２＋B052・F2５・fx２＋B152・F1・F2５・fx２＋B252・F1２・F2５・fx２＋B352・F1３・F2５・fx２＋B062・F2６・fx２＋B162・F1・F2６・fx２＋B262・F1２・F2６・fx２＋B072・F2７・fx２＋B172・F1・F2７・fx２＋B082・F2８・fx２＋B103・F1・fx３＋B203・F1２・fx３＋B303・F1３・fx３＋B403・F1４・fx３＋B503・F1５・fx３＋B603・F1６・fx３＋B703・F1７・fx３＋B803・F1８・fx３＋B013・F2・fx３＋B113・F1・F2・fx３＋B213・F1２・F2・fx３＋B313・F1３・F2・fx３＋B413・F1４・F2・fx３＋B513・F1５・F2・fx３＋B613・F1６・F2・fx３＋B713・F1７・F2・fx３＋B023・F2２・fx３＋B123・F1・F2２・fx３＋B223・F1２・F2２・fx３＋B323・F1３・F2２・fx３＋B423・F1４・F2２・fx３＋B523・F1５・F2２・fx３＋B623・F1６・F2２・fx３＋B033・F2３・fx３＋B133・F1・F2３・fx３＋B233・F1２・F2３・fx３＋B333・F1３・F2３・fx３＋B433・F1４・F2３・fx３＋B533・F1５・F2３・fx３＋B043・F2４・fx３＋B143・F1・F2４・fx３＋B243・F1２・F2４・fx３＋B343・F1３・F2４・fx３＋B443・F1４・F2４・fx３＋B053・F2５・fx３＋B153・F1・F2５・fx３＋B253・F1２・F2５・fx３＋B353・F1３・F2５・fx３＋B063・F2６・fx３＋B163・F1・F2６・fx３＋B263・F1２・F2６・fx３＋B073・F2７・fx３＋B173・F1・F2７・fx３＋B083・F2８・fx３ If the target value of the error is ± 200 ppb in the range of the use environment temperature range of the voltage control type oscillator 1 in the range of −40 to 105 ° C., the first temperature and voltage compensated digital data FXC is the frequency count data F1 and F2 and the voltage It can be approximated by the next polynomial of the oscillation frequency fx of the controlled oscillator 1.
FXC = A 000 + B 100 · F 1 + B 200 · F 1 2 + B 300 · F 1 3 + B 400 · F 1 4 + B 500 · F 1 5 + B 600 · F 16 6 + B 700 · F 1 7 + B 800 · F 1 8 + B 0 10 · F 2 + B 110 · F 1 · · · F2 + B 210 · F1 2 · F2 + B 310 · F1 3 · F2 + B 410 · F1 4 · F2 + B 510 · F1 5 · F2 + B 610 · F1 6 · F2 + B 710 · F1 7 · F2 + B 020 · F2 2 + B 120 · F1 · F2 2 + B 220 · F1 2 · F 2 2 + B 320 · F 1 3 · F 2 2 + B 420 · F 1 4 · F 2 2 + B 520 · F 1 5 · F 2 2 + B 620 · F 1 6 · F 2 2 + B 030 · F 2 3 + B 130 · F 1 · F 2 3 + B 230 · F 1 2 · F 2 3 + B 330 · F 1 3 · F 2 3 + B 430 · F 1 4 · F 2 3 + B 530 · F 1 5 · F 2 3 + B 040 · F 2 4 + B 140 · F 1 · F 2 4 + B 240 · F 1 2 · · · F2 4 + B 340 · F 1 3 · F 2 4 + B 440 · F 1 4 · F 2 4 + B 050 · F 2 5 + B 150 · F 1 · F 2 5 + B 250 · F 1 2 · F 2 5 + B 350 · F 1 3 · F 2 5 + B 060 · F 2 6 + B 160 · F 1 · F 2 6 + B 260 · F 1 2 · F 2 6 + B 070 · F 2 7 + B 170 · F 1 · F 2 7 + B 080 · F 2 8 + B 101 · F 1 · f x + B 201 · F 1 2 · fx + B 301 · F 1 3 · fx + B 401 · F 1 4 · fx + B 501 · F 1 5 · fx + B 601 · F 1 6 · fx + B 701 · F 1 7 · fx + B 801 · F 1 8 · fx + B 011 · F 2 · fx + B 111 · F1 · F2 · fx + B 211 · F1 2 · F2 · fx + B 311 · F1 3 · F2 · fx + B 411 · F1 4 · F2 · fx + B 511 · F1 5 · F2 · fx + B 611 · F1 6 · F2 · fx + B 711 · F1 7 · F2 · fx + B 021 · F 2 2 · fx + B 121 · F 1 · F 2 2 · fx + B 221 · F 1 2 · F 2 2 · fx + B 321 · F 1 3 · F 2 2 · fx + B 421 · F 1 4 · F 2 2 · fx + B 521 · F 1 5 · F 2 2 fx + B 621 · F 1 6 · F 2 2 · fx + B 031 · F 2 3 · fx + B 131 · F 1 · F 2 3 · fx + B 231 · F 1 2 · F 2 3 · fx + B 331 · F 1 3 · F 2 3 · fx + B 43 1 · F 1 4 · F 2 3 fx + B 531 · F 1 5 · F 2 3 · fx + B 041 · F 2 4 · fx + B 141 · F 1 · F 2 4 · fx + B 241 · F 1 2 · F 2 4 · fx + B 341 · F 1 3 · F 2 4 · fx + B 441 · F 1 4 · F 2 4 · fx + B 051 · F 2 5 · fx + B 151 · F 1 · F 2 5 · fx + B 251 · F 1 2 · F 2 5 · fx + B 351 · F 1 3 · F 2 5 · fx + B 061 · F 2 6 · fx + B 161 · F 1 · F 2 6 · fx + B 261 · F 1 2 · F 2 6 · fx + B 071 · F 2 7 · fx + B 171 · F 1 · F 2 7 · fx + B 081 · F 2 8 · fx + B 102 · F 1 · fx 2 + B 202 · · · F1 2 fx 2 + B 302 · F 1 3 fx 2 + B 402 · F 1 4 fx 2 + B 502 · F 1 5 fx 2 + B 602 · F 1 6 fx 2 + B 702 · F 1 7 fx 2 + B 802 · F 1 8 · fx 2 + B 012 · F2 · fx 2 + B 112 · F1 · F2 · fx 2 + B 212 · F1 2 · F2 · fx 2 + B 312 · F1 3 · F2 · fx 2 + B 412 · F1 4 · F2 · fx 2 + B 512 · F 1 5 · F 2 · fx 2 + B 612 · F 16 6 · F 2 · fx 2 + B 712 · F 1 7 · F 2 · fx 2 + B 022 · F 2 2 · fx 2 + B 122 · F 1 · F 2 2 · fx 2 + B 222 · F1 2 · F2 2 · fx 2 + B 322 · F1 3 · F2 2 · fx 2 + B 422 · F1 4 · F2 2 · fx 2 + B 522 · F1 5 · F2 2 · fx 2 + B 622 · F1 6 · F2 2 · fx 2 + B 032 · F 2 3 · fx 2 + B 132 · F 1 · F 2 3 · fx 2 + B 232 · F 1 2 · F 2 3 · fx 2 + B 332 · F 1 3 · F 2 3 · fx 2 + B 432 · F 1 4 · F 2 3・ Fx 2 + B 532 · F 1 5 · F 2 3 · fx 2 + B 042 · F 2 4 · fx 2 + B 142 · F 1 · F 2 4 · fx 2 + B 242 · F 1 2 · F 2 4 · fx 2 + B 342 · F 1 3 · F 2 4 · fx 2 + B 442 · F 1 4 · F 2 4 · fx 2 + B 052 · F 2 5 · fx 2 + B 152 · F 1 · F 2 5 · fx 2 + B 252 · F 1 2 · F 2 5 · fx 2 + B 352 · F 1 3 · F 2 5 · · fx 2 + B 062 · F 2 6 · fx 2 + B 162 · F 1 · F 2 6 · fx 2 + B 262 · F 1 2 · F 2 6 · fx 2 + B 072 · F 2 7 · fx 2 + B 172 · F 1 · F 2 7 · fx 2 + B 082 · F 2 8 · fx 2 + B 103 · F 1 · fx 3 + B 203 · F 1 2 · fx 3 + B 303 · F 1 3 · fx 3 + B 403 · F 1 4 · fx 3 + B 503 · F 1 5 · fx 3 + B 603 · F1 6 · fx 3 + B 703 · F 1 7 · fx 3 + B 803 · F 1 8 · fx 3 + B 013 · F 2 · fx 3 + B 113 · F 1 · F 2 · fx 3 + B 213 · F 1 2 · F 2 · fx 3 + B 313 · F 1 3 · F 2 · fx 3 + B 413 · F 1 4 · F 2 · fx 3 + B 513 · F 1 5 · F 2 · fx 3 + B 613 · F 16 6 · F 2 · fx 3 + B 713 · F 1 7 · F 2 · fx 3 + B 023 · F 2 2 fx 3 + B 123 · F 1 · F 2 2 · fx 3 + B 223 · F 1 2 · F 2 2 · fx 3 + B 323 · F 1 3 · F 2 2 · fx 3 + B 423 · F 1 4 · F 2 2 · fx 3 + B 523 · F 1 5 · F 2 2 fx 3 + B 623 F 1 6 F 2 2 fx 3 + B 033 F 2 3 fx 3 + B 133 F 1 F 2 3 fx 3 + B 233 F 1 2 F 2 3 fx 3 + B 333 F 1 3 F2 3 · fx 3 + B 433 · F1 4 · F2 3 · fx 3 + B 533 · F1 5 · F2 3 · fx 3 + B 043 · F2 4 · fx 3 + B 143 · F1 · F2 4 · fx 3 + B 243 · F1 2 · F2 4 · fx 3 + B 343 · F 1 3 · F 2 4 · fx 3 + B 443 · F 1 4 · F 2 4 · fx 3 + B 053 · F 2 5 · fx 3 + B 153 · F 1 · F 2 5 · fx 3 + B 253 · F 1 2 · F 2 5 · fx 3 + B 35 3 · F 1 3 · F 2 5 · fx 3 + B 063 · F 2 6 · fx 3 + B 163 · F 1 · F 2 6 · fx 3 + B 263 · F 1 2 · F 2 6 · fx 3 + B 073 · F2 7 · fx 3 + B 173 · F 1 · F 2 7 · fx 3 + B 083 · F 2 8 · fx 3

ここで、上記式における係数の求め方について説明する。まず、恒温槽内に図１に示すディジタル温度電圧補償型発振器を配置し、温度を変化させつつ、内部電源電圧VAを変えながら、発振周波数fxによらない任意の第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを生成して変えた時の、第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCと、各周波数カウントデータF1,F2と、発振周波数fxの関係を示すデータを採取する。測定ポイント数は、最小二乗法によって、未知数である係数を計算できる最小数以上のポイント数を設定する。第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを変化させるには、メモリ４２のデータを外部通信を用いて任意に書き換えればよい。そして、これらデータから最小二乗法を用いて係数を求めるものである。なお、この最小二乗法による計算は、ディジタル温度電圧補償型発振器が形成された半導体ＩＣの出荷テスト時やユーザによる製品組み込み時に行うものであり、半導体ＩＣからデータを採取し、外部のパソコンなどの演算装置で計算することができる。   Here, how to obtain the coefficient in the above equation will be described. First, the digital temperature-voltage compensated oscillator shown in FIG. 1 is disposed in a thermostatic chamber, and while changing the temperature, while changing the internal power supply voltage VA, arbitrary first-order temperature voltage compensated digital data regardless of the oscillation frequency fx First, the temperature-compensated digital data FXC, the frequency count data F1 and F2, and the data indicating the relationship between the oscillation frequency fx are collected when the FXC is generated and changed. As the number of measurement points, the least squares method is used to set the number of points equal to or more than the minimum number at which unknown coefficients can be calculated. In order to change the primary temperature voltage compensated digital data FXC, the data in the memory 42 may be arbitrarily rewritten using external communication. Then, coefficients are determined from these data using the least squares method. The calculation by the least squares method is performed at the time of shipping test of the semiconductor IC in which the digital temperature-voltage compensated oscillator is formed or at the time of product incorporation by the user, and data is collected from the semiconductor IC It can be calculated by an arithmetic unit.

次いで、発振周波数fxが所望の発振周波数foになるような係数を、上記第１の式においてfx＝foとおいた次の第２の式から求める。
FXC＝A000＋B100・F1＋B200・F1２＋B300・F1３＋B400・F1４＋B500・F1５＋B600・F1６＋B700・F1７＋B800・F1８＋B010・F2＋B110・F1・F2＋B210・F1２・F2＋B310・F1３・F2＋B410・F1４・F2＋B510・F1５・F2＋B610・F1６・F2＋B710・F1７・F2＋B020・F2２＋B120・F1・F2２＋B220・F1２・F2２＋B320・F1３・F2２＋B420・F1４・F2２＋B520・F1５・F2２＋B620・F1６・F2２＋B030・F2３＋B130・F1・F2３＋B230・F1２・F2３＋B330・F1３・F2３＋B430・F1４・F2３＋B530・F1５・F2３＋B040・F2４＋B140・F1・F2４＋B240・F1２・F2４＋B340・F1３・F2４＋B440・F1４・F2４＋B050・F2５＋B150・F1・F2５＋B250・F1２・F2５＋B350・F1３・F2５＋B060・F2６＋B160・F1・F2６＋B260・F1２・F2６＋B070・F2７＋B170・F1・F2７＋B080・F2８＋B101・F1・fo＋B201・F1２・fo＋B301・F1３・fo＋B401・F1４・fo＋B501・F1５・fo＋B601・F1６・fo＋B701・F1７・fo＋B801・F1８・fo＋B011・F2・fo＋B111・F1・F2・fo＋B211・F1２・F2・fo＋B311・F1３・F2・fo＋B411・F1４・F2・fo＋B511・F1５・F2・fo＋B611・F1６・F2・fo＋B711・F1７・F2・fo＋B021・F2２・fo ＋B121・F1・F2２・fo＋B221・F1２・F2２・fo＋B321・F1３・F2２・fo＋B421・F1４・F2２・fo＋B521・F1５・F2２・fo＋B621・F1６・F2２・fo＋B031・F2３・fo＋B131・F1・F2３・fo＋B231・F1２・F2３・fo＋B331・F1３・F2３・fo＋B431・F1４・F2３・fo＋B531・F1５・F2３・fo＋B041・F2４・fo＋B141・F1・F2４・fo＋B241・F1２・F2４・fo＋B341・F1３・F2４・fo＋B441・F1４・F2４・fo＋B051・F2５・fo＋B151・F1・F2５・fo＋B251・F1２・F2５・fo＋B351・F1３・F2５・fo＋B061・F2６・fo＋B161・F1・F2６・fo＋B261・F1２・F2６・fo＋B071・F2７・fo＋B171・F1・F2７・fo＋B081・F2８・fo＋B102・F1・fo２＋B202・F1２・fo２＋B302・F1３・fo２＋B402・F1４・fo２＋B502・F1５・fo２＋B602・F1６・fo２＋B702・F1７・fo２＋B802・F1８・fo２＋B012・F2・fo２＋B112・F1・F2・fo２＋B212・F1２・F2・fo２＋B312・F1３・F2・fo２＋B412・F1４・F2・fo２＋B512・F1５・F2・fo２＋B612・F1６・F2・fo２＋B712・F1７・F2・fo２＋B022・F2２・fo２＋B122・F1・F2２・fo２＋B222・F1２・F2２・fo２＋B322・F1３・F2２・fo２＋B422・F1４・F2２・fo２＋B522・F1５・F2２・fo２＋B622・F1６・F2２・fo２＋B032・F2３・fo２＋B132・F1・F2３・fo２＋B232・F1２・F2３・fo２＋B332・F1３・F2３・fo２＋B432・F1４・F2３・fo２＋B532・F1５・F2３・fo２＋B042・F2４・fo２＋B142・F1・F2４・fo２＋B242・F1２・F2４・fo２＋B342・F1３・F2４・fo２＋B442・F1４・F2４・fo２＋B052・F2５・fo２＋B152・F1・F2５・fo２＋B252・F1２・F2５・fo２＋B352・F1３・F2５・fo２＋B062・F2６・fo２＋B162・F1・F2６・fo２＋B262・F1２・F2６・fo２＋B072・F2７・fo２＋B172・F1・F2７・fo２＋B082・F2８・fo２＋B103・F1・fo３＋B203・F1２・fo３＋B303・F1３・fo３＋B403・F1４・fo３＋B503・F1５・fo３＋B603・F1６・fo３＋B703・F1７・fo３＋B803・F1８・fo３＋B013・F2・fo３＋B113・F1・F2・fo３＋B213・F1２・F2・fo３＋B313・F1３・F2・fo３＋B413・F1４・F2・fo３＋B513・F1５・F2・fo３＋B613・F1６・F2・fo３＋B713・F1７・F2・fo３＋B023・F2２・fo３＋B123・F1・F2２・fo３＋B223・F1２・F2２・fo３＋B323・F1３・F2２・fo３＋B423・F1４・F2２・fo３＋B523・F1５・F2２・fo３＋B623・F1６・F2２・fo３＋B033・F2３・fo３＋B133・F1・F2３・fo３＋B233・F1２・F2３・fo３＋B333・F1３・F2３・fo３＋B433・F1４・F2３・fo３＋B533・F1５・F2３・fo３＋B043・F2４・fo３＋B143・F1・F2４・fo３＋B243・F1２・F2４・fo３＋B343・F1３・F2４・fo３＋B443・F1４・F2４・fo３＋B053・F2５・fo３＋B153・F1・F2５・fo３＋B253・F1２・F2５・fo３＋B353・F1３・F2５・fo３＋B063・F2６・fo３＋B163・F1・F2６・fo３＋B263・F1２・F2６・fo３＋B073・F2７・fo３＋B173・F1・F2７・fo３＋B083・F2８・fo３
そして、この第２の式において求めた係数（ A000 ，B100・・・ ）とfoをメモリ４２に書き込み、温度電圧補償演算回路４１で第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めることによって、所望の温度電圧補償の動作が得られるものである。 Next, a coefficient such that the oscillation frequency fx becomes the desired oscillation frequency fo is obtained from the following second equation in which fx = fo in the first equation.
FXC = A 000 + B 100 · F 1 + B 200 · F 1 2 + B 300 · F 1 3 + B 400 · F 1 4 + B 500 · F 1 5 + B 600 · F 16 6 + B 700 · F 1 7 + B 800 · F 1 8 + B 0 10 · F 2 + B 110 · F 1 · · · F2 + B 210 · F1 2 · F2 + B 310 · F1 3 · F2 + B 410 · F1 4 · F2 + B 510 · F1 5 · F2 + B 610 · F1 6 · F2 + B 710 · F1 7 · F2 + B 020 · F2 2 + B 120 · F1 · F2 2 + B 220 · F1 2 · F 2 2 + B 320 · F 1 3 · F 2 2 + B 420 · F 1 4 · F 2 2 + B 520 · F 1 5 · F 2 2 + B 620 · F 1 6 · F 2 2 + B 030 · F 2 3 + B 130 · F 1 · F 2 3 + B 230 · F 1 2 · F 2 3 + B 330 · F 1 3 · F 2 3 + B 430 · F 1 4 · F 2 3 + B 530 · F 1 5 · F 2 3 + B 040 · F 2 4 + B 140 · F 1 · F 2 4 + B 240 · F 1 2 · · · F2 4 + B 340 · F 1 3 · F 2 4 + B 440 · F 1 4 · F 2 4 + B 050 · F 2 5 + B 150 · F 1 · F 2 5 + B 250 · F 1 2 · F 2 5 + B 350 · F 1 3 · F 2 5 + B 060 · F 2 6 + B 160 · F 1 · F 2 6 + B 260 · F 1 2 · F 2 6 + B 070 · F 2 7 + B 170 · F 1 · F 2 7 + B 080 · F 2 8 + B 101 · F 1 · f o + B 201 · F 1 2 · fo + B 301 · F 1 3 · fo + B 401 · F 1 4 · fo + B 501 · F 1 5 · fo + B 601 · F 16 6 · fo + B 701 · F 1 7 · fo + B 801 · F 1 8 · fo + B 011 · F 2 · fo + B 111 · F1 · F2 · fo + B 211 · F1 2 · F2 · fo + B 311 · F1 3 · F2 · fo + B 411 · F 1 4 · F 2 · fo + B 511 · F 1 5 · F 2 · fo + B 611 · F 1 6 · F 2 · fo + B 711 · F 1 7 · · · F2 · fo + B 021 · F2 2 · fo + B 121 · F 1 · F 2 2 · fo + B 221 · F 1 2 · F 2 2 · fo + B 321 · F 1 3 · F 2 2 · fo + B 421 · F 1 4 · F 2 2 · fo + B 521 · F 1 5 · · F2 2 · fo + B 621 · F 1 6 · F 2 2 · fo + B 031 · F 2 3 · fo + B 131 · F 1 · F 2 3 · fo + B 231 · F 1 2 · F 2 3 · fo + B 331 · F 1 3 · F 2 3 · fo + B 43 1 · F 1 4 · · · F2 3 · fo + B 531 · F 1 5 · F 2 3 · fo + B 041 · F 2 4 · fo + B 141 · F 1 · F 2 4 · fo + B 241 · F 1 2 · F 2 4 · fo + B 341 · F 1 3 · F 2 4 · fo + B 441 · F 1 4 · · · F2 4 · fo + B 051 · F 2 5 · fo + B 151 · F 1 · F 2 5 · fo + B 251 · F 1 2 · F 2 5 · fo + B 351 · F 1 3 · F 2 5 · fo + B 061 · F2 6 · fo + B 161 · F 1 · F 2 6 · fo + B 261 · F 1 2 · F 2 6 · fo + B 071 · F 2 7 · fo + B 171 · F 1 · F 2 7 · fo + B 081 · F 2 8 · fo + B 102 · F 1 · fo 2 + B 202 · · · F1 2 · fo 2 + B 302 · F 1 3 · fo 2 + B 402 · F 1 4 · fo 2 + B 502 · F 1 5 · fo 2 + B 602 · F 1 6 · fo 2 + B 702 · F 1 7 · fo 2 + B 802 · F 1 8 · fo 2 + B 012 · F2 · fo 2 + B 112 · F1 · F2 · fo 2 + B 212 · F1 2 · F2 · fo 2 + B 312 · F1 3 · F2 · fo 2 + B 412 · F1 4 · F2 · fo 2 + B 512 · F 1 5 · F 2 · fo 2 + B 612 · F 16 6 · F 2 · fo 2 + B 712 · F 1 7 · F 2 · fo 2 + B 022 · F 2 2 · fo 2 + B 122 · F 1 · F 2 2 · fo 2 + B 222 · F1 2 · F 2 2 · fo 2 + B 322 · F 1 3 · F 2 2 · fo 2 + B 422 · F 1 4 · F 2 2 · fo 2 + B 522 · F 1 5 · F 2 2 · fo 2 + B 622 · F 1 6 · F 2 2 · · fo 2 + B 032 · F 2 3 · fo 2 + B 132 · F 1 · F 2 3 · fo 2 + B 232 · F 1 2 · F 2 3 · fo 2 + B 332 · F 1 3 · F 2 3 · fo 2 + B 432 · F 1 4 · F 2 3・ Fo 2 + B 532 · F 1 5 · F 2 3 · fo 2 + B 042 · F 2 4 · fo 2 + B 142 · F 1 · F 2 4 · fo 2 + B 242 · F 1 2 · F 2 4 · fo 2 + B 342 · F 1 3 · F 2 4 · fo 2 + B 442 · F 1 4 · F 2 4 · fo 2 + B 052 · F 2 5 · fo 2 + B 152 · F 1 · F 2 5 · fo 2 + B 252 · F 1 2 · F 2 5 · fo 2 + B 352 · F 1 3 · F 2 5 · · fo 2 + B 062 · F 2 6 · fo 2 + B 162 · F 1 · F 2 6 · fo 2 + B 262 · F 1 2 · F 2 6 · fo 2 + B 072 · F 2 7 · fo 2 + B 172 · F 1 · F 2 7 · fo 2 + B 082 · F2 8 · fo 2 + B 103 · F1 · fo 3 + B 203 · F1 2 · fo 3 + B 303 · F1 3 · fo 3 + B 403 · F1 4 · fo 3 + B 503 · F1 5 · fo 3 + B 603 · F1 6 · fo 3 + B 703 · F 1 7 · fo 3 + B 803 · F 1 8 · fo 3 + B 013 · F 2 · fo 3 + B 113 · F 1 · F 2 · fo 3 + B 213 · F 1 2 · F 2 · fo 3 + B 313 · F 1 3 · F 2 · fo 3 + B 413 · F 1 4 · F 2 · fo 3 + B 513 · F 1 5 · F 2 · fo 3 + B 613 · F 16 6 · F 2 · fo 3 + B 713 · F 1 7 · F 2 · fo 3 + B 023 · F 2 2 · fo 3 B 123 · F1 · F2 2 · fo 3 + B 223 · F1 2 · F2 2 · fo 3 + B 323 · F1 3 · F2 2 · fo 3 + B 423 · F1 4 · F2 2 · fo 3 + B 523 · F1 5 · F2 2 · fo 3 + B 623 · F 16 6 · F 2 2 · fo 3 + B 033 · F 2 3 · fo 3 + B 133 · F 1 · F 2 3 · fo 3 + B 233 · F 1 2 · F 2 3 · fo 3 + B 333 · F 1 3 ··· F2 3 · fo 3 + B 433 · F1 4 · F2 3 · fo 3 + B 533 · F1 5 · F2 3 · fo 3 + B 043 · F2 4 · fo 3 + B 143 · F1 · F2 4 · fo 3 + B 243 · F1 2 · F2 4 · fo 3 + B 343 · F 1 3 · F 2 4 · fo 3 + B 443 · F 1 4 · F 2 4 · fo 3 + B 0 53 · F 2 5 · fo 3 + B 153 · F 1 · F 2 5 · fo 3 + B 253 · F 1 2 · F 2 5 · fo 3 + B 35 3 · F 1 3 · F 2 5 · fo 3 + B 0 63 · F 2 6 · fo 3 + B 163 · F 1 · F 2 6 · fo 3 + B 263 · F 1 2 · F 2 6 · fo 3 + B 073 · F2 7 · fo 3 + B 173 · F 1 · F 2 7 · fo 3 + B 083 · F 2 8 · fo 3
Then, the coefficients (A 000 , B 100 ... Determined in this second equation) And fo are stored in the memory 42 and the first temperature voltage compensation digital data FXC is obtained by the temperature voltage compensation operation circuit 41, whereby a desired temperature voltage compensation operation can be obtained.

なお、発振周波数foは、ユーザが設定する既知の固定値であるため、係数に含めることができるので、第２の式を次のように表すことも可能である。
FXC＝A000＋A10・F1＋A20・F1２＋A30・F1３＋A40・F1４＋A50・F1５＋A60・F1６＋A70・F1７＋A80・F1８＋A01・F2＋A11・F1・F2＋A21・F1２・F2＋A31・F1３・F2＋A41・F1４・F2＋A51・F1５・F2＋A61・F1６・F2＋A71・F1７・F2＋A02・F2２＋A12・F1・F2２＋A22・F1２・F2２＋A32・F1３・F2２＋A42・F1４・F2２＋A52・F1５・F2２＋A62・F1６・F2２＋A03・F2３＋A13・F1・F2３＋A23・F1２・F2３＋A33・F1３・F2３＋A43・F1４・F2３＋A53・F1５・F2３＋A04・F2４＋A14・F1・F2４＋A24・F1２・F2４＋A34・F1３・F2４＋A44・F1４・F2４＋A05・F2５＋A15・F1・F2５＋A25・F1２・F2５＋A35・F1３・F2５＋A06・F2６＋A16・F1・F2６＋A26・F1２・F2６＋A07・F2７＋A17・F1・F2７＋A08・F2８
この第３の式の場合は、求めた係数（ A000 ，A10・・・）をメモリ４２に書き込み、温度電圧補償演算回路４１で第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを求めることによって、所望の温度電圧補償の動作が得られるものである。 In addition, since the oscillation frequency fo is a known fixed value set by the user, it can be included in the coefficient, so the second equation can also be expressed as follows.
FXC = A 000 + A 10 · F 1 + A 20 · F 1 2 + A 30 · F 1 3 + A 40 · F 1 4 + A 50 · F 1 5 + A 60 · F 1 6 + A 70 · F 1 7 + A 80 · F 1 8 + A 01 · F 2 + A 11 · F 1 · F 1 · F 1 F2 + A 21 · F1 2 · F2 + A 31 · F1 3 · F2 + A 41 · F1 4 · F2 + A 51 · F1 5 · F2 + A 61 · F1 6 · F2 + A 71 · F1 7 · F2 + A 02 · F2 2 + A 12 · F1 · F2 2 + A 22 · F1 2 · F 2 2 + A 32 · F 1 3 · F 2 2 + A 42 · F 1 4 · F 2 2 + A 52 · F 1 5 · F 2 2 + A 62 · F 1 6 · F 2 2 + A 03 · F 2 3 + A 13 · F 1 · F 2 3 + A 23 · F 1 2 · F 2 3 + A 33 · F 1 3 · F 2 3 + A 43 · F 1 4 · F 2 3 + A 53 · F 1 5 · F 2 3 + A 04 · F 2 4 + A 14 · F 1 · F 2 4 + A 24 · F 1 2 · · F2 4 + A 34 · F 1 3 · F 2 4 + A 44 · F 1 4 · F 2 4 + A 05 · F 2 5 + A 15 · F 1 · F 2 5 + A 25 · F 1 2 · F 2 5 + A 35 · F 1 3 · F 2 5 + A 06 · F 2 6 + A 16 · F 1 · F 2 6 + A 26 · F 1 2 · F 2 6 + A 07 · F 2 7 + A 17 · F 1 · F 2 7 + A 08 · F 2 8
In the case of the third equation, the desired coefficients (A 000 , A 10 ...) Are written in the memory 42, and the temperature voltage compensation operation circuit 41 obtains the first temperature voltage compensation digital data FXC. Operation of temperature voltage compensation is obtained.

次に、残差補正データについて説明する。図４は、F1，F2に係る上記第２または第３の式から求めた第１次温度電圧補償ディジタルデータFXC と多項式近似後の残差を補償するための残差補正データ（個体差）に対し、頂点データなどの変化点を抽出したものの一例を示すもので、この抽出した残差補正データを、あらかじめメモリ４４に格納している。前記抽出は、残差情報から頂点データなどをピックアップして行う。制御回路３１から出力される周波数カウントデータF1，F2が、前記メモリ４４に格納されている残差補正データに対応する場合は、当該残差補正データを前記メモリ４４から呼び出せばよいが、前記メモリ４４に格納されている残差補正データに対応しない場合は、曲面補間又は平面補間により残差補正データを求める必要がある。曲面補間による場合は、例えば、ＦＩＲ補間を２次元に展開して求めることができる。また、平面補間による場合は、例えば、ドロネー三角形を用いて求めることができる。   Next, residual correction data will be described. FIG. 4 shows first temperature-voltage-compensated digital data FXC obtained from the second or third equation relating to F1 and F2 and residual correction data (individual differences) for compensating the residual after polynomial approximation. On the other hand, it shows an example of what extracted change points such as vertex data, and the extracted residual correction data is stored in the memory 44 in advance. The extraction is performed by picking up vertex data and the like from residual information. When the frequency count data F1 and F2 output from the control circuit 31 correspond to the residual correction data stored in the memory 44, the residual correction data may be called from the memory 44. If it does not correspond to the residual correction data stored in 44, it is necessary to obtain residual correction data by curved surface interpolation or planar interpolation. In the case of curved surface interpolation, for example, FIR interpolation can be obtained by expanding in two dimensions. Also, in the case of planar interpolation, for example, it can be determined using the Delaunay triangle.

ここで、ドロネー三角形を用いた平面補間により残差補正データｚi を求める場合について、図５に基づき説明する。図５に示すように、F1の値がｘi、F2の値がｙiである残差補正データｚiが、残差補正データの抽出点であるＡ，Ｂ，Ｃを頂点とする三角形で分割された平面（以下この平面を「ドロネー三角形」という。）に含まれたＭに位置し、前記Ａ，Ｂ，Ｃは、F1の値がそれぞれｘ1 ,ｘ2, ｘ3、F2の値がそれぞれｙ1 ,ｙ2,ｙ3、残差補正量の値がそれぞれｚ1 ,ｚ2, ｚ3とする。 Here, the case where residual correction data z i is obtained by planar interpolation using the Delaunay triangle will be described based on FIG. As shown in FIG. 5, residual correction data z i whose value of F 1 is x i and value of F 2 is y i is a triangle whose apex is A, B, C as extraction points of residual correction data. The A, B, and C are located at M included in a divided plane (hereinafter, this plane is referred to as "Delaunay triangle"), and the values of F1, A, B, and C, are x 1 , x 2, x 3 , and F 2 respectively. Are y 1 , y 2, y 3 respectively, and the residual correction amount values are z 1 , z 2, z 3 respectively.

ドロネー三角形の法線ベクトルを、ｎ(→)＝(ｐ，ｑ，ｒ)とすると、
ドロネー三角形の方程式は点Ａを起点として、次のように表すことができる。
ｐ(ｘ−ｘ1)+ｑ(ｙ−ｙ1)＋ｒ(ｚ−ｚ1)＝０
また、各ベクトルは次のように表すことができる。
ＡＢ(→)＝(ｘ2−ｘ1，ｙ2−ｙ1，ｚ2−ｚ1)
ＡＣ(→)＝(ｘ3−ｘ1，ｙ3−ｙ1，ｚ3−ｚ1)
ｎ(→)＝ＡＢ(→)×ＡＣ(→)＝(ｐ，ｑ，ｒ)
ただし、前記式中の×は外積を示す。
これより、
ｐ＝(ｙ2−ｙ1)(ｚ3−ｚ1)−(ｚ2−ｚ1)(ｙ3−ｙ1)
ｑ＝(ｚ2−ｚ1)(ｘ3−ｘ1)−(ｘ2−ｘ1)(ｚ3−ｚ1)
ｒ＝(ｘ2−ｘ1)(ｙ3−ｙ1)−(ｙ2−ｙ1)(ｘ3−ｘ1)
以上により、残差補正データｚiは、次式から求められる。
ｚi＝ｚ1−{ｐ(ｘi−ｘ1)＋ｑ(ｙi−ｙ1)}／ｒ
そして、補間された残差補正データFiは図８（ｄ)に示すものとなる。 Assuming that the normal vector of the Delaunay triangle is n (→) = (p, q, r),
Starting from point A, the Delaunay triangle equation can be expressed as:
p (x-x 1 ) + q (y-y 1 ) + r (z-z 1 ) = 0
Also, each vector can be expressed as follows.
AB (→) = (x 2- x 1 , y 2- y 1 , z 2- z 1 )
AC (→) = (x 3- x 1 , y 3- y 1 , z 3- z 1 )
n (→) = AB (→) × AC (→) = (p, q, r)
However, x in the above formula indicates an outer product.
Than this,
p = (y 2 -y 1) (z 3 -z 1) - (z 2 -z 1) (y 3 -y 1)
q = (z 2 -z 1) (x 3 -x 1) - (x 2 -x 1) (z 3 -z 1)
r = (x 2- x 1 ) (y 3- y 1 )-(y 2- y 1 ) (x 3- x 1 )
From the above, residual correction data z i can be obtained from the following equation.
z i = z 1 − {p (x i −x 1 ) + q (y i −y 1 )} / r
Then, the residual correction data Fi interpolated is as shown in FIG.

上述のようにして温度電圧補償回路４で生成された温度電圧補償ディジタルデータVcd1と、外部制御電圧EVCが供給された場合にはこの外部制御電圧EVCがＡ／Ｄ変換器１０２で変換されたディジタル信号Vcd2が、加算器１０４で加算されて最終温度電圧補償ディジタルデータVcdとなる。そして、この最終温度電圧補償ディジタルデータVcdは、Ｄ／Ａ変換器７のΔΣモジュレータ５に入力する。   The digital data Vcd1 generated by the temperature voltage compensation circuit 4 as described above and the digital data obtained by converting the external control voltage EVC by the A / D converter 102 when the external control voltage EVC is supplied The signal Vcd2 is added by the adder 104 to become the final temperature voltage compensated digital data Vcd. Then, the final temperature voltage compensation digital data Vcd is input to the ΔΣ modulator 5 of the D / A converter 7.

ΔΣモジュレータ５は、図１に示すように、乗算器５１と、加算器５２ａ，５２ｂ，５２ｃと、遅延回路５３ａ，５３ｂ，５３ｃと、乗算器５４ａ，５４ｂと、量子化器５５と、ＰＷＭ変調器５６と、ＰＷＭ出力回路５７とからなる。前記加算器５２ｂにはディザ信号が入力されるもので、このディザ信号は、リングオシレータ２ａの出力を受けたカウンタ３２ａの出力の下位ビットのデータからなるものである。例えば、前記リングオシレータ２ａの出力を受けたカウンタ３２ａの出力が１８ビットのデータとすると、下位の４ビット程度のデータをディザ信号とすることで、Ｓ／Ｎ比を大きくでき、スプリアスの発生を防ぐことができる。   As shown in FIG. 1, the ΔΣ modulator 5 includes a multiplier 51, adders 52a, 52b and 52c, delay circuits 53a, 53b and 53c, multipliers 54a and 54b, a quantizer 55, and PWM modulation. And a PWM output circuit 57. A dither signal is input to the adder 52b, and the dither signal is composed of data of lower bits of the output of the counter 32a which has received the output of the ring oscillator 2a. For example, assuming that the output of the counter 32a that receives the output of the ring oscillator 2a is 18 bits of data, the S / N ratio can be increased by using the lower 4 bits of data as a dither signal, and generation of spurious It can prevent.

また、量子化器５５は３値以上の多値量子化器であり、例えば、「００」、「０１」、「１０」、「１１」の４つのレベルで量子化した４値のＰＤＭ信号を、ＰＷＭ変調器５６に出力するとともに、加算器５２ｃに出力する。前記ＰＷＭ変調器５６は、３レベル以上の多レベルのパルス幅で２値のＰＷＭ信号を出力するもので、例えば、前記量子化器５５が４値（４レベル）であれば、同様に「０」、「１」、「２」、「３」の４つのレベルのパルス幅のうち、入力したＰＤＭ信号のレベルに対応するレベルのパルス幅を有する２値のＰＷＭ信号に変換して、ＰＷＭ出力回路５７から受動型４段ＬＰＦ６に出力する。一方、加算器５２ｃには、量子化器５５の出力とともに、加算器５２ｂに入力する信号も入力し、前記加算器５２ｃからは量子化器５５による量子化誤差が出力される。   Further, the quantizer 55 is a multi-value quantizer of three or more values, and for example, a four-value PDM signal quantized at four levels of “00”, “01”, “10”, and “11” , And to the adder 52c. The PWM modulator 56 outputs a binary PWM signal with a multi-level pulse width of three or more levels. For example, if the quantizer 55 has four values (four levels), “0 Among the four pulse widths of “1”, “2” and “3”, the PWM output is converted to a binary PWM signal having a pulse width of a level corresponding to the level of the input PDM signal. The circuit 57 outputs the signal to the passive 4-stage LPF 6. On the other hand, together with the output of the quantizer 55, a signal to be input to the adder 52b is also input to the adder 52c, and a quantization error by the quantizer 55 is output from the adder 52c.

遅延回路５３ａ，５３ｂ，５３ｃは、量子化誤差を１サイクル、２サイクル、３サイクル遅延させる。前記遅延回路５３ａの出力は、乗算器５４ａによって所定の係数が乗じられたうえ、加算器５２ａに入力される。前記遅延回路５３ｂの出力は、乗算器５４ｂによって所定の係数が乗じられて前記加算器５２ａに入力される。一方、前記遅延回路５３ｃの出力は、直接前記加算器５２ａに入力される。そして、前記加算器５２ａには、これらの各入力に加えて、乗算器５１の出力が入力され、前記各入力が加算されて各加算器５２ｂ，５２ｃに出力されるのである。   The delay circuits 53a, 53b, and 53c delay the quantization error by one cycle, two cycles, and three cycles. The output of the delay circuit 53a is input to the adder 52a after being multiplied by a predetermined coefficient by the multiplier 54a. The output of the delay circuit 53b is multiplied by a predetermined coefficient by a multiplier 54b and input to the adder 52a. On the other hand, the output of the delay circuit 53c is directly input to the adder 52a. The output of the multiplier 51 is input to the adder 52a in addition to each of these inputs, and the inputs are added and output to the adders 52b and 52c.

受動型４段ＬＰＦ６は、抵抗素子と容量素子からなるＬＰＦを４段で構成したものである。各抵抗素子の抵抗値は、例えば、抵抗値の総和が１ＧΩであり、１段目の抵抗素子が７００ＭΩで、他の３個の抵抗素子はそれぞれ１００ＭΩに設定している。また、各容量素子の容量値は、例えば、容量値の総和が１００ｐＦであり、最終段目である４段目の容量素子が７０ｐＦで、他の３個の容量素子はそれぞれ１０ｐＦに設定している。このように、１段目の抵抗値と、最終段目の容量値を他の抵抗値あるいは容量値よりも大きく設定すると、低周波域での減衰量を大きく取れる。ＰＷＭ信号はこの受動型４段ＬＰＦ６を通ることでアナログ信号に変換され、このアナログ信号は、周波数制御電圧Vcとして電圧制御型発振器１の電圧制御型発振回路１２に入力される。   The passive four-stage LPF 6 includes four stages of LPFs each including a resistive element and a capacitive element. The total resistance value of each resistance element is, for example, 1 GΩ, the resistance of the first stage is 700 MΩ, and the other three resistance elements are set to 100 MΩ. For each capacitance element, for example, the sum of capacitance values is 100 pF, the fourth-stage capacitance element at the final stage is 70 pF, and the other three capacitance elements are each set to 10 pF. There is. As described above, when the resistance value of the first stage and the capacitance value of the final stage are set larger than the other resistance values or capacitance values, the attenuation amount in the low frequency range can be increased. The PWM signal is converted to an analog signal by passing through the passive four-stage LPF 6, and this analog signal is input to the voltage controlled oscillator circuit 12 of the voltage controlled oscillator 1 as the frequency controlled voltage Vc.

続いて、上述したディジタル温度電圧補償型発振器の動作について説明する。
電圧制御型発振器１が周波数制御電圧Vcに基づき内部温度及び内部電源電圧VAに応じた第１の発振周波数fxの発振信号を生成して出力すると、この発振信号は、バッファ８からバッファ１０を介して外部機器に出力される一方、前記バッファ８から分周回路９に入力される。前記分周回路９は、入力した第１の発振周波数fxを分周して、制御回路３１に出力する。一方、リングオシレータ２ａは、内部温度に対して前記第１の発振周波数fxよりも変化率の大きい第２の発振周波数f1の発振信号を生成して、カウンタ３２ａに出力し、リングオシレータ２ｂは、内部電源電圧VAに対して前記第１の発振周波数fxよりも変化率の大きい第３の発振周波数f2の発振信号を生成して、カウンタ３２ｂに出力する。 Subsequently, the operation of the above-described digital temperature-voltage compensated oscillator will be described.
When voltage control type oscillator 1 generates and outputs an oscillation signal of first oscillation frequency fx according to internal temperature and internal power supply voltage VA based on frequency control voltage Vc, this oscillation signal is transmitted from buffer 8 through buffer 10 While being output to an external device, the buffer 8 is input to the divider circuit 9. The divider circuit 9 divides the input first oscillation frequency fx and outputs it to the control circuit 31. On the other hand, the ring oscillator 2a generates an oscillation signal of the second oscillation frequency f1 having a larger change rate than the first oscillation frequency fx with respect to the internal temperature, and outputs the oscillation signal to the counter 32a. An oscillation signal of a third oscillation frequency f2 whose change rate is larger than the first oscillation frequency fx with respect to the internal power supply voltage VA is generated and output to the counter 32b.

これら各カウンタ３２ａ，３２ｂでｔ時間カウントされた各発振周波数f1,f2は、制御回路３１でこのカウントされたときの内部温度及び内部電源電圧VAに対応する周波数カウントデータF1,F2として生成され、前記制御回路３１はこの周波数カウントデータF1,F2を温度電圧補償演算回路４１に出力する。   The oscillation frequencies f1 and f2 counted for t time by the counters 32a and 32b are generated as frequency count data F1 and F2 corresponding to the internal temperature and the internal power supply voltage VA when counted by the control circuit 31. The control circuit 31 outputs the frequency count data F1 and F2 to the temperature voltage compensation operation circuit 41.

温度電圧補償演算回路４１は、入力された周波数カウントデータF1,F2から、上述したように、あらかじめメモリ４２に格納されている多項式近似式の各係数値に基づいて演算し、電圧制御型発振回路１２の発振周波数の内部電源電圧VAの変化、内部温度の変化及び周波数制御電圧Vcの変化に対する補償をするための第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを生成し、加算器４５に出力する。一方、残差データ補間回路４３は、同じく入力された周波数カウントデータF1,F2から、上述したように、あらかじめメモリ４４に格納されている各係数値及び各種データに基づいて残差補正データFiを演算し、前記加算器４５に出力する。そして、前記加算器４５は、第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCと残差補正データFiを加算して、温度電圧補償ディジタルデータVcd1とし、加算器１０４に出力する。   As described above, the temperature-voltage compensation calculation circuit 41 calculates the voltage control type oscillation circuit from the input frequency count data F1, F2 based on the respective coefficient values of the polynomial approximation stored in advance in the memory 42 as described above. The first temperature voltage compensation digital data FXC for compensating for changes in the internal power supply voltage VA at the oscillation frequency of 12 and changes in the internal temperature and the frequency control voltage Vc are generated and output to the adder 45. On the other hand, residual data interpolation circuit 43 generates residual correction data Fi based on each coefficient value and various data stored in advance in memory 44 as described above from frequency count data F1 and F2 which are also input. The operation is performed and output to the adder 45. Then, the adder 45 adds the first-order temperature voltage compensation digital data FXC and the residual correction data Fi to obtain temperature voltage compensation digital data Vcd 1, which is output to the adder 104.

加算器１０４は、温度電圧補償ディジタルデータVcd1と、アナログ信号である外部制御電圧EVCがＡ／Ｄ変換器１０２で変換されたディジタル信号Vcd2を加算して、最終温度電圧補償ディジタルデータVcdを出力する。そして、この最終温度電圧補償ディジタルデータVcdは、Ｄ／Ａ変換器７のΔΣモジュレータ５に入力する。なお、前記外部制御電圧EVCが供給されていない場合には、前記温度電圧補償ディジタルデータVcd1が最終温度電圧補償ディジタルデータVcdとして、前記ΔΣモジュレータ５に入力する。   The adder 104 adds the temperature voltage compensation digital data Vcd1 and the digital signal Vcd2 obtained by converting the external control voltage EVC which is an analog signal by the A / D converter 102, and outputs the final temperature voltage compensation digital data Vcd. . Then, the final temperature voltage compensation digital data Vcd is input to the ΔΣ modulator 5 of the D / A converter 7. When the external control voltage EVC is not supplied, the temperature voltage compensation digital data Vcd1 is input to the ΔΣ modulator 5 as the final temperature voltage compensation digital data Vcd.

ΔΣモジュレータ５に入力された最終温度電圧補償ディジタルデータVcdは、量子化器５５で４値（４レベル）のＰＤＭ信号に変換され、さらにＰＷＭ変調器５６で４レベルのパルス幅で２値のＰＷＭ信号に変換される。そして、このＰＷＭ信号は、ＰＷＭ出力回路５７を経由し、受動型４段ＬＰＦ６によってアナログ化されることで、前記最終温度補償ディジタルデータVcdがアナログ電圧で表される周波数制御電圧Vcに変換されて電圧制御型発振回路１２に入力し、電圧制御型発振器１の発振周波数fxを制御するものである。   The final temperature-voltage-compensated digital data Vcd input to the Δ 変 換 modulator 5 is converted into a four-value (four-level) PDM signal by the quantizer 55, and further, the PWM modulator 56 converts the four-level pulse width into two-value PWM. It is converted to a signal. The PWM signal is converted into an analog signal by the passive four-stage LPF 6 via the PWM output circuit 57, whereby the final temperature compensation digital data Vcd is converted into a frequency control voltage Vc represented by an analog voltage. The oscillation frequency fx of the voltage controlled oscillator 1 is controlled by inputting to the voltage controlled oscillator circuit 12.

なお、上述の周波数制御電圧Vcを生成する最終温度補償ディジタルデータVcdは、外部制御電圧EVCが供給された場合は、外部制御電圧EVCに基づくディジタル信号Vcd2と回路内部で生成された温度電圧補償ディジタルデータVcd1とが加算されたものであるが、前記温度電圧補償ディジタルデータVcd1の影響を抑制して前記外部制御電圧EVCによる周波数制御を優先的に行うには、分周回路９の分周数を大きくして、基準クロック信号fg（回路内部で生成する温度電圧補償信号の周期の逆数）を低くしたり、あるいは、カウンタ３２ａ，３２ｂの積分回数を増やせばよいものである。   When the external control voltage EVC is supplied, the final temperature compensation digital data Vcd for generating the frequency control voltage Vc described above is a digital signal Vcd2 based on the external control voltage EVC and a temperature voltage compensation digital generated inside the circuit. Although the data Vcd1 is added, the frequency division number of the frequency dividing circuit 9 is set to preferentially perform the frequency control by the external control voltage EVC while suppressing the influence of the temperature voltage compensation digital data Vcd1. The reference clock signal fg (reciprocal of the period of the temperature voltage compensation signal generated inside the circuit) may be increased or the number of integrations of the counters 32a and 32b may be increased.

一般に、外部制御電圧EVCを用いた周波数制御は、外部システム側でＰＬＬ（Phase Locked Loop）を構成し、ＧＰＳ（Global Positioning System）やＮＴＰ（Network Time Protocol）サーバ等の基準信号にロックさせて発振周波数fxを安定化するのに使用される。ここで、前記基準信号が何らかの理由で遮断されると、遮断する直前の外部制御電圧EVCが入力され続けるが、この時は回路内部で生成された温度電圧補償ディジタルデータVcd1が有効に作用し、発振周波数fxは安定状態を維持できる。   Generally, in frequency control using an external control voltage EVC, a PLL (Phase Locked Loop) is configured on the external system side, and oscillation is performed by locking to a reference signal such as a GPS (Global Positioning System) or NTP (Network Time Protocol) server. Used to stabilize the frequency fx. Here, when the reference signal is interrupted for some reason, the external control voltage EVC just before interruption continues to be input, but at this time, the temperature voltage compensation digital data Vcd1 generated inside the circuit works effectively, The oscillation frequency fx can maintain a stable state.

また、上述の実施形態では、温度電圧補償演算回路４１から出力された第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCと、残差データ補間回路４３から出力された残差補正データFiを加算器４５で加算して、温度電圧補償ディジタルデータVcd1を生成しているが、前記第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCは内部電源電圧VAの変化、内部温度の変化、及び周波数制御電圧Vcの変化に対応し、十分に精度が高い補償が可能なディジタルデータであり、残差補正データFiを加算しなくても実用上は問題ないものである。したがって、本発明において、残差データ補間回路４３，メモリ４４及び加算器４５は、必ずしも常に備える必要のない構成要素である。   Further, in the above-described embodiment, the adder 45 adds the first temperature-voltage compensated digital data FXC output from the temperature-voltage compensation arithmetic circuit 41 and the residual correction data Fi output from the residual data interpolation circuit 43. The temperature voltage compensated digital data Vcd1 is generated, but the first temperature voltage compensated digital data FXC corresponds to the change of the internal power supply voltage VA, the change of the internal temperature, and the change of the frequency control voltage Vc, It is digital data that can be compensated with sufficiently high accuracy, and there is no problem in practice even if the residual correction data Fi is not added. Therefore, in the present invention, the residual data interpolation circuit 43, the memory 44 and the adder 45 are components which are not always required to be always provided.

また、上述の実施形態では、内部電源電圧VAは、各リングオシレータ２ａ，２ｂ、電圧制御型発振回路１２、ΔΣモジュレータ５のアナログ部であるＰＷＭ出力回路５７に供給されているので、電源電圧変動に起因する周波数変動の補償に寄与するものとなり、より高精度な補償を行うことができる。   Further, in the above embodiment, since the internal power supply voltage VA is supplied to the ring oscillators 2a and 2b, the voltage control type oscillation circuit 12, and the PWM output circuit 57 which is an analog unit of the Δ モ ジ ュ レ ー タ modulator 5, the power supply voltage fluctuates. It contributes to the compensation of the frequency fluctuation caused by the above, and can perform the compensation with higher accuracy.

さらに、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、周波数カウントデータF1,F2から第１次温度電圧補償ディジタルデータFXCを求める演算式は、上述の多項式近似式に限らない。また、残差補正データを求める平面補間はドロネー三角形を利用したものに限らないし、平面補間に代えて曲面補間を用いてもよいものである。またさらに、Ｄ／Ａ変換器７としては、ΔΣモジュレータ５と受動型４段ＬＰＦ６とからなるものに限らない。   Furthermore, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, an arithmetic expression for obtaining the first temperature-compensated digital data FXC from the frequency count data F1 and F2 is not limited to the above-described polynomial approximation. Further, planar interpolation for obtaining residual correction data is not limited to one using Delaunay triangle, and curved surface interpolation may be used instead of planar interpolation. Furthermore, the D / A converter 7 is not limited to one including the ΔΣ modulator 5 and the passive four-stage LPF 6.

さらにまた、本発明は水晶振動子１１を用いた電圧制御型発振器１に限定されるものではなく、例えば、インダクタとコンデンサで構成されるＬＣ発振回路を用いることで、振動子を外部接続することなく、全てシリコン上で形成可能なディジタル温度電圧補償シリコン発振器にも適用可能である。また、外部制御電圧EVCは必ずしも供給する必要がないものであり、これを供給しない場合には、入力端子１０６、Ａ／Ｄ変換器１０２、加算器１０４は設ける必要がない。そして、リングオシレータの構成は図２に限定されるものではない。例えば、特性の異なる２つの電圧源で駆動しても良い。また、リングオシレータの代わりに、容量と抵抗で構成されるＣＲ発振器を用いても良い。   Furthermore, the present invention is not limited to the voltage control type oscillator 1 using the crystal oscillator 11. For example, the oscillator is externally connected by using an LC oscillation circuit including an inductor and a capacitor. It is also applicable to digital temperature voltage compensated silicon oscillators that can be formed entirely on silicon. Further, the external control voltage EVC need not necessarily be supplied, and when the external control voltage EVC is not supplied, the input terminal 106, the A / D converter 102, and the adder 104 need not be provided. The configuration of the ring oscillator is not limited to that shown in FIG. For example, it may be driven by two voltage sources having different characteristics. Also, instead of the ring oscillator, a CR oscillator composed of a capacitor and a resistor may be used.

１ 電圧制御型発振器
２ａ，２ｂ リングオシレータ
３ 周波数カウントデータ生成部
４ 温度電圧補償回路
５ ΔΣモジュレータ
６ 受動型４段ＬＰＦ
７ Ｄ／Ａ変換器
８，１０ バッファ
９ 分周回路
１１ 水晶振動子
１２ 電圧制御型発振回路
３１ 制御回路
３２ａ，３２ｂ カウンタ
４１ 温度電圧補償演算回路
４２ メモリ
４３ 残差データ補間回路
４４ メモリ
４５ 加算器
５１，５４ａ，５４ｂ 乗算器
５２ａ，５２ｂ，５２ｃ 加算器
５５ 量子化器
５６ ＰＷＭ変調器
５７ ＰＷＭ出力回路
１００ 安定化電源
１０２ Ａ／Ｄ変換器
１０４ 加算器
１０６ 入力端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Voltage control type oscillator 2a, 2b Ring oscillator 3 Frequency count data generation part 4 Temperature voltage compensation circuit 5 delta-sigma modulator 6 Passive type 4 steps LPF
DESCRIPTION OF SYMBOLS 7 D / A converter 8 and 10 Buffer 9 dividing circuit 11 Crystal oscillator 12 Voltage control type oscillation circuit 31 Control circuit 32a, 32b Counter 41 Temperature voltage compensation arithmetic circuit 42 Memory 43 Residual data interpolation circuit 44 Memory 45 Adder 51, 54a, 54b Multipliers 52a, 52b, 52c Adder 55 Quantizer 56 PWM modulator 57 PWM output circuit 100 Stabilized power supply 102 A / D converter 104 Adder 106 Input terminal

Claims (3)

環境温度及び電源電圧の変化によって周波数が変化する第１の発振周波数を生成するとともに周波数制御電圧によって前記発振周波数の制御が可能な電圧制御型発振器と、
前記環境温度の変化に対して前記電圧制御型発振器の第１の発振周波数よりも変化率が大きい第２の発振周波数を生成する温度電圧センサと、前記電源電圧の変化に対して前記電圧制御型発振器の第１の発振周波数よりも変化率が大きい第３の発振周波数を生成する温度電圧センサからなる、互いの温度特性及び電源電圧特性が異なる前記環境温度の変化及び電源電圧の変化を検出する一対の温度電圧センサと、
これら一対の温度電圧センサの第２及び第３の発振周波数を所定時間カウントして第２及び第３の発振周波数に基づく周波数カウントデータを生成する周波数カウントデータ生成部と、
前記電圧制御型発振器で生成する第１の発振周波数の環境温度及び電源電圧の変化に対する補償をするための温度電圧補償ディジタルデータを、前記各周波数カウントデータ、前記温度電圧補償ディジタルデータ、前記第１の発振周波数の関係から導いた多項式近似式で生成する温度電圧補償回路と、
前記温度電圧補償ディジタルデータをアナログ電圧で表される前記周波数制御電圧に変換して前記電圧制御型発振器に出力するＤ／Ａ変換器とを有し、
前記多項式近似式は、あらかじめ前記環境温度及び電源電圧を変化させつつ、前記温度電圧補償ディジタルデータを外部からの入力で変えることにより生成することを特徴とするディジタル温度電圧補償型発振器。 A first voltage controlled oscillator capable of controlling the oscillation frequency by the frequency control voltage together when generating an oscillating frequency that varies the frequency by a change in environmental temperature and supply voltage,
A temperature voltage sensor generating a second oscillation frequency having a change rate larger than a first oscillation frequency of the voltage control oscillator with respect to a change of the environmental temperature; and the voltage control type with respect to a change of the power supply voltage A change of the environmental temperature and a change of the power supply voltage which are different from each other in the temperature characteristic and the power supply voltage characteristic comprising a temperature voltage sensor generating a third oscillation frequency having a change rate larger than the first oscillation frequency of the oscillator A pair of temperature and voltage sensors,
A frequency count data generation unit that counts second and third oscillation frequencies of the pair of temperature voltage sensors for a predetermined time to generate frequency count data based on the second and third oscillation frequencies;
Temperature voltage compensation digital data for compensating for changes in environmental temperature and power supply voltage of the first oscillation frequency generated by the voltage controlled oscillator, each frequency count data, the temperature voltage compensation digital data , the first A temperature voltage compensation circuit that generates a polynomial approximation derived from the relationship of the oscillation frequency of
And a D / A converter which outputs the temperature voltage compensation digital data to said voltage controlled oscillator to convert before distichum wave number control voltage represented by an analog voltage,
The polynomial approximate expression, while changing the advance the environmental temperature and supply voltage, the digital temperature voltage compensated oscillator characterized that you generated by varying the temperature voltage compensation digital data input from the outside. 前記一対の温度電圧センサは温度依存性が高い第１のリングオシレータと電源電圧依存性が高い第２のリングオシレータからなる一方、前記温度電圧補償回路は温度電圧補償演算回路を備え、
前記周波数カウントデータ生成部は、前記各リングオシレータ毎に設けたカウンタによって前記電圧制御型発振器から供給される基準クロック信号で設定されるカウント時間で前記各リングオシレータの第２及び第３の発振周波数を各別にカウントして、前記各発振周波数にそれぞれ対応する各周波数カウントデータを生成し、
前記温度電圧補償演算回路は、あらかじめメモリに格納された前記各周波数カウントデータ及び前記第１の発振周波数に係る多項式近似式の各係数を呼び出して、温度電圧補償ディジタルデータを演算することを特徴とする請求項１記載のディジタル温度電圧補償型発振器。 The pair of temperature voltage sensors comprises a first ring oscillator with high temperature dependency and a second ring oscillator with high power supply voltage dependency, while the temperature voltage compensation circuit includes a temperature voltage compensation operation circuit.
The frequency count data generation unit generates second and third oscillation frequencies of the ring oscillators in a count time set by a reference clock signal supplied from the voltage controlled oscillator by a counter provided for each of the ring oscillators. Are counted separately to generate frequency count data corresponding to each of the oscillation frequencies,
The temperature voltage compensation calculation circuit calculates temperature voltage compensation digital data by calling up each of the frequency count data stored in the memory and each coefficient of the polynomial approximation formula related to the first oscillation frequency. The digital temperature and voltage compensated oscillator according to claim 1. 前記温度電圧補償回路は、前記温度電圧補償演算回路に加えて残差データ補間回路を備え、この残差データ補間回路は、多項式近似後の残差を補償するための残差補正データに対して、ディジタル温度電圧補償型発振器の環境温度範囲内及び電源電圧変化範囲内の離散する環境温度及び電源電圧で頂点データなどの変化点を抽出し、この抽出した残差補正データを前記残差データ補間回路のメモリにあらかじめ格納しておき、この格納している残差補正データに基づいて、曲面補間法または平面補間法によって前記周波数カウントデータにおける残差補正データを求め、その結果を前記温度電圧補償ディジタルデータに加算して、最終的な温度電圧補償ディジタルデータとすることを特徴とする請求項２記載のディジタル温度電圧補償型発振器。   The temperature voltage compensation circuit includes a residual data interpolation circuit in addition to the temperature voltage compensation operation circuit, and the residual data interpolation circuit is for residual correction data for compensating the residual after polynomial approximation. Extracting change points such as vertex data with the environmental temperature and power supply voltage discrete within the environmental temperature range of the digital temperature-voltage compensated oscillator and within the power supply voltage change range, and extracting the extracted residual correction data into the residual data interpolation Based on the stored residual correction data, residual correction data in the frequency count data is determined by curved surface interpolation or planar interpolation based on the stored residual correction data, and the result is used for the temperature voltage compensation. The digital temperature-voltage compensated oscillation according to claim 2, characterized in that it is added to digital data to make a final temperature-voltage compensated digital data. .
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