JP6501102B2 - Glass plate holding jig - Google Patents

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Description

本発明は、例えばガラス板の洗浄工程を行なう場合等においてガラス板を収容するためのガラス板収容治具に関するものである。   The present invention relates to a glass plate storage jig for storing a glass plate, for example, when performing a cleaning process of the glass plate.

周知のように、近年では、電子機器等の発達に伴って、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ(サーフェイスエミッションディスプレイを含む)およびエレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等の多種に亘るガラス製品が使用されている。そして、様々な種類のガラス板において、薄板化が進められているが、このような状況が進むにつれて、ガラス板は、その薄さから可撓性を有するようになる。   As well known, recently, with the development of electronic devices etc., substrates of flat panel displays (FPDs) and sensors such as liquid crystal displays, plasma displays, field emission displays (including surface emission displays) and electroluminescent displays, Alternatively, a wide variety of glass products such as covers for semiconductor packages such as solid-state imaging devices and laser diodes, and substrates for thin film compound solar cells are used. And although thinning is advanced in various kinds of glass plates, as such a situation progresses, a glass plate comes to have flexibility from its thinness.

一方、ガラス板に限らず、板状体については、例えば、洗浄、乾燥等の処理時や、運搬時には、作業効率を向上させるため、複数の板状体をまとめて収容する治具が使用される。このような収容治具は、通常、複数のガラス板を縦姿勢で相互間に隙間が形成されるように厚さ方向に配列した状態で収容し、複数のガラス板をそれぞれ両側方から支持する側方支持溝と、複数のガラス板をそれぞれ下方から支持する下方支持溝とを備える(例えば、特許文献1)。   On the other hand, not only for glass plates, but also for plate-like bodies, for example, jigs that collectively accommodate a plurality of plate-like bodies are used in order to improve the working efficiency at the time of processing such as washing and drying or at the time of transportation. Ru. In such a housing jig, usually, a plurality of glass plates are housed in a longitudinal orientation and arranged in the thickness direction so as to form a gap therebetween, and the plurality of glass plates are respectively supported from both sides A lateral support groove and a lower support groove for supporting a plurality of glass plates from below are provided (for example, Patent Document 1).

実開平4−48540号公報Japanese Utility Model Application Publication No. 4-48540

しかしながら、上述した薄板化されたガラス板のように可撓性を有する板状体は、このような治具に収容された状態で、処理中や運搬中に、可撓性に起因して平坦な形状を維持することが困難となる。そのため、隣り合うガラス板が相互に接触し、これに起因してガラス板に傷が付いたり、破損したりする等の問題を招来していた。   However, a flexible plate-like body such as the above-described laminated glass plate is flat due to its flexibility during processing and transportation while being accommodated in such a jig. It is difficult to maintain a good shape. As a result, adjacent glass plates come into contact with each other, causing problems such as scratching or breakage of the glass plates.

このような観点から、本発明の第1の課題は、ガラス板収容治具に収容された複数のガラス板の相互間における接触を抑制することである。   From such a point of view, a first object of the present invention is to suppress contact between a plurality of glass plates accommodated in a glass plate accommodation jig.

また、ガラス板のような板状体は、上述のような治具に収容された状態で、洗浄後に洗浄槽から引き上げた時に、治具との接触部位の周辺に洗浄液(例えば水等)が残留し、これに起因して、十分に乾燥できなくなる場合があった。   In addition, when the plate-like body such as a glass plate is housed in the jig as described above, when it is pulled up from the washing tank after washing, the washing liquid (for example, water etc.) is around the contact portion with the jig. It may remain, and due to this, it may not be possible to dry sufficiently.

このような観点から、本発明の第2の課題は、ガラス板収容治具に収容されたガラス板に対する洗浄後の乾燥を容易にすることである。   From such a point of view, a second object of the present invention is to facilitate drying after cleaning the glass plate accommodated in the glass plate accommodation jig.

前記第1の課題を解決するために創案された本発明のガラス板収容治具は、複数のガラス板を縦姿勢で相互間に隙間が形成されるように厚さ方向に配列した状態で収容し、複数の前記ガラス板をそれぞれ両側方から支持する側方支持溝が形成された側方支持部と、複数の前記ガラス板をそれぞれ下方から支持する下方支持溝が形成された下方支持部とを備えたガラス板収容治具において、複数の前記ガラス板の相互間の隙間に前記ガラス板の主面に沿って配置された可撓性条体を有することを特徴とする。ここで、可撓性条体という文言には、糸、紐、帯、針金等の他に、プラスチック棒、ピアノ線やストロー等が含まれる(以下、同様)。   The glass plate accommodation jig of the present invention, which was invented to solve the first problem, accommodates a plurality of glass plates arranged in the thickness direction so as to form a gap therebetween in the vertical posture. A lateral support formed with a lateral support groove for supporting the plurality of glass plates from both sides, and a lower support having a lower support groove formed to support the plurality of glass plates from below. And a flexible strip disposed along the main surface of the glass plate in a gap between the plurality of glass plates. Here, the term "flexible strip" includes, in addition to threads, cords, bands, wires, etc., plastic rods, piano wires, straws, etc. (the same applies hereinafter).

このような構成によれば、当該治具に収容された複数のガラス板の処理や運搬中に、ガラス板が可撓性に起因して平坦な形状を維持できなくなっても、ガラス板の相互間の隙間に配置された可撓性条体によって、ガラス板の不当な変形が抑制される。これにより、当該治具に収容された複数のガラス板が相互に接触する事態を阻止して、ガラス板に接触傷が付く等の不具合が回避される。また、条体が可撓性なので、ガラス板が変形しても、条体はガラス板の変形に追随して、変形可能であるため、ガラス板と条体との接触に起因してガラス板が損傷する可能性が低減する。なお、可撓性条体の硬度は、ガラス板の硬度よりも低いことが好ましい。   According to such a configuration, even if the glass plate can not maintain a flat shape due to the flexibility during processing and transportation of the plurality of glass plates housed in the jig, the glass plates By means of the flexible strips arranged in the gaps between them, the unfair deformation of the glass sheet is suppressed. Thereby, the situation where a plurality of glass plates stored in the jig concerned mutually contact is prevented, and problems, such as contact damage being attached to a glass plate, are avoided. Further, since the strip is flexible, the strip can deform following the deformation of the glass plate even if the glass plate is deformed, so that the glass plate is caused by the contact between the glass plate and the strip. Is less likely to be damaged. The hardness of the flexible strip is preferably lower than the hardness of the glass plate.

上記の構成において、前記可撓性条体が、隣り合う前記ガラス板の対向する主面における中央領域の相互間の隙間を通るように配置されていることが好ましい。   In the above-mentioned configuration, it is preferable that the flexible strips are disposed so as to pass through a gap between central regions of opposing main surfaces of adjacent glass plates.

ガラス板の主面の中央領域は、支持されている周縁の部位から最も離れた領域であるため、大きな撓みが生じて隣り合うガラス板同士が接触しやすい。従って、この中央領域に対応する相互間の隙間を可撓性条体が通ると、ガラス板同士の接触を効率良く抑制することができる。   Since the central region of the main surface of the glass sheet is the area farthest from the portion of the supported peripheral edge, a large deflection occurs and the adjacent glass sheets are likely to be in contact with each other. Therefore, when the flexible strip passes through the gap between the two corresponding to the central region, the contact between the glass plates can be efficiently suppressed.

上記の構成において、一対の前記可撓性条体が、前記中央領域の相互間の隙間で交差してなることが好ましい。   In the above configuration, it is preferable that a pair of the flexible strips intersect at a gap between the central regions.

この可撓性条体の配設の仕方であれば、可撓性条体によってガラス板の主面の中央領域同士の接触をより確実に且つ効率良く抑制することができる。   With this method of arranging the flexible strip, contact between central regions of the main surfaces of the glass plate can be more reliably and efficiently suppressed by the flexible strip.

上記の構成において、前記ガラス板の板厚が、200μm未満であることが好ましい。   In the above configuration, the thickness of the glass plate is preferably less than 200 μm.

ガラス板の板厚が200μm未満であれば、ガラス板の可撓性が顕著になり、ガラス板同士が接触する可能性が高くなるので、上述した構成がより有効となる。   If the thickness of the glass plate is less than 200 μm, the flexibility of the glass plate becomes remarkable, and the possibility of contact between the glass plates increases, so the above-described configuration becomes more effective.

上記の構成において、前記側方支持溝の断面形状がV字形状であると共に、前記下方支持溝の断面形状がU字形状であることが好ましい。   In the above configuration, it is preferable that the cross-sectional shape of the side support groove is V-shaped, and the cross-sectional shape of the lower support groove is U-shaped.

側方支持溝の断面形状がV字形状であれば、ガタツキを生じること無く、より確実にガラス板を両側方から支持できると共に、当該治具を洗浄槽から引き上げた時に、ガラス板と側方支持溝の間の洗浄液は、自重により落下して残留し難くなる。また、下方支持溝の断面形状がU字形状であれば、洗浄槽から引き上げた時に、ガラス板と下方支持溝の間に洗浄液が残留することを抑制できる。以上の結果、ガラス板の安定した支持を確保した上で、ガラス板に対する洗浄後の乾燥が容易となる。   If the cross-sectional shape of the side support groove is V-shaped, the glass plate can be supported more reliably from both sides without rattling, and when the jig is pulled up from the cleaning tank, the glass plate and the side The cleaning liquid between the support grooves is unlikely to drop and remain due to its own weight. Moreover, if the cross-sectional shape of the lower support groove is a U-shape, it can suppress that a washing | cleaning liquid remains between a glass plate and a lower support groove, when pulling up from a washing tank. As a result of the above, after securing stable support of the glass plate, drying of the glass plate after cleaning becomes easy.

前記第2の課題を解決するために創案された本発明のガラス板収容治具は、複数のガラス板を縦姿勢で相互間に隙間が形成されるように厚さ方向に配列した状態で収容し、複数の前記ガラス板をそれぞれ両側方から支持する側方支持溝が形成された側方支持部と、複数の前記ガラス板をそれぞれ下方から支持する下方支持溝が形成された下方支持部とを備えたガラス板収容治具において、前記側方支持溝の断面形状がV字形状であると共に、前記下方支持溝の断面形状がU字形状であることを特徴とする。   The glass plate accommodation jig of the present invention, which was invented to solve the second problem, accommodates a plurality of glass plates arranged in the thickness direction such that a gap is formed between them in the vertical posture. A lateral support formed with a lateral support groove for supporting the plurality of glass plates from both sides, and a lower support having a lower support groove formed to support the plurality of glass plates from below. The cross section of the side support groove is V-shaped, and the cross-sectional shape of the lower support groove is U-shaped.

このような構成によれば、下方支持溝の断面形状がU字形状なので、洗浄槽から引き上げた時に、ガラス板と下方支持溝の間に洗浄液が残留することを抑制できる。また、側方支持溝の断面形状がV字形状であるため、ガタツキを生じること無く、より確実にガラス板を両側方から支持できると共に、当該治具を洗浄槽から引き上げた時に、ガラス板と側方支持溝の間の洗浄液は、自重により落下して残留し難くなる。以上の結果、ガラス板の安定した支持を確保した上で、ガラス板に対する洗浄後の乾燥が容易となる。   According to such a configuration, since the cross-sectional shape of the lower support groove is U-shaped, it is possible to suppress that the cleaning liquid remains between the glass plate and the lower support groove when pulled up from the cleaning tank. In addition, since the cross-sectional shape of the side support groove is V-shaped, the glass plate can be supported more reliably from both sides without rattling, and when the jig is pulled up from the cleaning tank, the glass plate The cleaning liquid between the side support grooves falls by its own weight and hardly remains. As a result of the above, after securing stable support of the glass plate, drying of the glass plate after cleaning becomes easy.

以上のように、本発明によれば、ガラス板収容治具に収容された複数のガラス板の相互間における接触を抑制することができる。   As mentioned above, according to the present invention, contact between a plurality of glass plates accommodated in a glass plate accommodation jig can be controlled.

また、本発明によれば、ガラス板収容治具に収容されたガラス板に対する洗浄後の乾燥を容易にすることができる。   Further, according to the present invention, it is possible to facilitate drying after cleaning the glass plate housed in the glass plate housing jig.

本発明の実施形態に係るガラス板収容治具の一部破断正面図である。It is a partially broken front view of a glass plate accommodation jig concerning an embodiment of the present invention. 図1のX−X線矢視断面図である。It is XX arrow sectional drawing of FIG. 図2のZ−Z線矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line ZZ in FIG. 図1のY−Y線矢視断面図である。It is the YY arrow directional cross-sectional view of FIG. 側方支持棒の部分平面図である。It is a partial top view of a side support stick. 図5の部分Aの拡大図である。It is an enlarged view of the part A of FIG. 下方支持棒の部分側面図である。It is a partial side view of a lower support rod. 図7の部分Bの拡大図である。It is an enlarged view of the part B of FIG.

以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。   Hereinafter, an embodiment for carrying out the present invention will be described based on the drawings.

図1は、本発明の実施形態に係るガラス板収容治具の一部破断正面図である。図2は、図1のX−X線矢視断面図である。これら各図に示すように、ガラス板収容治具1は、複数のガラス板2を縦姿勢で相互間に隙間が形成されるように厚さ方向に配列した状態で収容する。本実施形態では、ガラス板収容治具1は、ガラス板2を洗浄槽内の洗浄液に浸漬して洗浄し、その後、洗浄液から引き上げて乾燥させるために使用されるものであって、ガラス板2を正面視で左右2列に配列して収容するものである。   FIG. 1 is a partially cutaway front view of a glass sheet storage jig according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line X-X in FIG. As shown to these figures, the glass plate accommodation jig | tool 1 accommodates the several glass plate 2 in the state arrange | positioned in the thickness direction so that a clearance gap may be formed in a vertical posture. In the present embodiment, the glass plate housing jig 1 is used for immersing and cleaning the glass plate 2 in the cleaning liquid in the cleaning tank, and thereafter pulling up and drying the cleaning liquid from the cleaning liquid. Are arranged and accommodated in two left and right rows in front view.

ガラス板2は、可撓性を有し、本実施形態では、いわゆるガラスフィルムと呼ばれるものであり、その厚さは、例えば、300μm以下、200μm以下、100μm以下、50μm以下とすることができる。この場合、ガラス板2は、長方形状又は正方形状をなす平板状体である。ガラス板2の横の寸法は、例えば、100mm〜700mm、200mm〜600mm、300mm〜500mmとすることができる。ガラス板2の縦の寸法は、例えば、200mm〜800mm、300mm〜700mm、400mm〜600mmとすることができる。   The glass plate 2 has flexibility, and is called a so-called glass film in the present embodiment, and the thickness thereof can be, for example, 300 μm or less, 200 μm or less, 100 μm or less, 50 μm or less. In this case, the glass plate 2 is a flat plate having a rectangular shape or a square shape. The horizontal dimension of the glass plate 2 can be, for example, 100 mm to 700 mm, 200 mm to 600 mm, and 300 mm to 500 mm. The vertical dimension of the glass plate 2 can be, for example, 200 mm to 800 mm, 300 mm to 700 mm, and 400 mm to 600 mm.

ガラス板収容治具1は、枠体3と、枠体3に固定された一対の板材4を備える。詳述すれば、枠体3は、上下方向に延びる柱部3aと、ガラス板2の主面に沿う横方向に延びて柱部3aを連結する複数の桁部3bと、ガラス板2の厚さ方向に延びて柱部3aを連結する複数の梁部3cとで構成される。一対の板材4は、柱部3aと桁部3bで囲まれた領域に配設されている。板材4には、側方支持棒5、下方支持棒6を取り付けるための切欠きを有する細長状の貫通孔4aが複数設けられている。また、洗浄液が流通しやすいように、板材4には矩形状の貫通孔4bが複数設けられている。   The glass plate accommodation jig 1 includes a frame 3 and a pair of plate members 4 fixed to the frame 3. More specifically, the frame 3 includes a column 3a extending in the vertical direction, a plurality of girders 3b extending in the lateral direction along the main surface of the glass plate 2 and connecting the columns 3a, and a thickness of the glass plate 2 And a plurality of beam portions 3c extending in the longitudinal direction and connecting the column portions 3a. The pair of plate members 4 is disposed in an area surrounded by the column portion 3a and the girder portion 3b. The plate member 4 is provided with a plurality of elongated through holes 4 a having notches for attaching the side support rods 5 and the lower support rods 6. Further, a plurality of rectangular through holes 4 b are provided in the plate 4 so that the cleaning liquid can easily flow.

図3に示すように、ガラス板収容治具1は、複数のガラス板2を、側方から支持する側方支持部としての丸棒形状の側方支持棒5と、下方から支持する下方支持部としての丸棒形状の下方支持棒6と、上方から支持する上方支持部としての角棒形状の上方支持棒7を備える。詳述すれば、図4に示すように、複数のガラス板2のそれぞれは、側方支持棒5に形成された環状の側方支持溝5aにより両側方から支持される。また、図2に示すように、複数のガラス板2のそれぞれは、下方支持棒6に形成された環状の下方支持溝6aに下方から支持される。さらに、複数のガラス板2のそれぞれは、上方支持棒7に形成された直線状の上方支持溝7aにより上方から支持される。   As shown in FIG. 3, the glass plate housing jig 1 includes a plurality of glass plates 2, and a lower support for supporting the glass plates 2 from the lower side and a side support bar 5 having a round bar shape as a side support. A lower support rod 6 in the form of a round bar as a part and an upper support rod 7 in the form of a square rod as an upper support supported from above are provided. More specifically, as shown in FIG. 4, each of the plurality of glass plates 2 is supported from both sides by an annular side support groove 5 a formed in the side support bar 5. Further, as shown in FIG. 2, each of the plurality of glass plates 2 is supported from below by an annular lower support groove 6 a formed in the lower support rod 6. Furthermore, each of the plurality of glass plates 2 is supported from above by a linear upper support groove 7 a formed in the upper support rod 7.

図3に例示する構成では、各列のガラス板2は、両側方からそれぞれ3対の側方支持棒5で支持され、下方からそれぞれ2本の下方支持棒6で支持されている。なお、図3で横方向中央に配置された側方支持棒5は、2列のガラス板2の間で共用されている。   In the configuration illustrated in FIG. 3, the glass plates 2 in each row are supported by three pairs of side support bars 5 from both sides, and are supported by two lower support bars 6 from below. In addition, the side support rod 5 arrange | positioned by the horizontal direction center in FIG. 3 is shared between the glass plate 2 of 2 rows.

そして、図1〜4に示すように、ガラス板収容治具1は、複数のガラス板2の相互間の隙間にガラス板2の主面に沿って配置された可撓性条体8を有する。本実施形態では、可撓性条体8は、張力を付与された状態である。また、可撓性条体8は、上端及び下端の側方支持棒5の間に配置されている。さらに、図3に示すように、可撓性条体8は、隣り合うガラス板2の対向する主面における中央領域の相互間の隙間を通るように掛け渡されている。また、一対の可撓性条体8が、隣り合うガラス板2の対向する主面における中央領域の相互間の隙間で交差している。また、一対の可撓性条体8が、交差している可撓性条体8の上側と下側に横方向に通されている。なお、可撓性条体8の端部は、例えば、ガラス板収容治具1における特定の箇所に巻き付けた後に結ぶことで固定すればよい。ガラス板収容治具1における特定の箇所としては、例えば、側方支持棒5における後述の側方係止溝5bが挙げられる。   And as shown to FIGS. 1-4, the glass plate accommodation jig 1 has the flexible strip 8 arrange | positioned along the main surface of the glass plate 2 in the clearance gap between several glass plates 2 mutually. . In the present embodiment, the flexible strip 8 is in a tensioned state. In addition, the flexible strip 8 is disposed between the upper and lower side support rods 5. Furthermore, as shown in FIG. 3, the flexible strips 8 are bridged so as to pass through the gaps between the central regions of the opposing main surfaces of the adjacent glass sheets 2. Further, a pair of flexible strips 8 cross each other at a gap between central regions of the opposing main surfaces of the adjacent glass plates 2. Also, a pair of flexible strips 8 are passed laterally above and below the intersecting flexible strips 8. The end of the flexible strip 8 may be fixed by, for example, winding it around a specific place in the glass plate accommodation jig 1 and then tying it. As a specific place in the glass plate accommodation jig 1, for example, a side locking groove 5 b described later in the side support bar 5 may be mentioned.

この場合、可撓性条体8は、例えばモノフィラメントの合成繊維であり、材質としては、ナイロン等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリフッ化ビニリデン、ポリエチレン等が挙げられる。勿論、可撓性条体8は、これに限定されるものでは無く、繊維の形態は、マルチフィラメントやマルチフィラメントの合糸であってもよいし、また、材質も、木綿、絹等の天然の繊維や炭素繊維、ガラス繊維等の無機繊維であってもよいし、細長い等の形状により可撓性を有するならば、金属棒、プラスチック棒、ピアノ線等であってもよい。   In this case, the flexible strip 8 is, for example, a monofilament synthetic fiber, and examples of the material include polyamides such as nylon, polyesters such as polyethylene terephthalate, polyvinylidene fluoride, polyethylene and the like. Of course, the flexible strip 8 is not limited to this, and the form of the fiber may be a multifilament or a multifilament multifilament, and the material is also natural such as cotton, silk, etc. Or inorganic fibers such as glass fibers, or may be metal rods, plastic rods, piano wires, etc. as long as they have flexibility due to their shape such as long and thin.

可撓性条体8の断面外径は、例えば0.5mm〜2.0mmが好ましく、0.8mm〜1.7mmがより好ましく、1.0mm〜1.5mmが最も好ましい。可撓性条体8の外径が0.5mm未満の場合には、隣り合うガラス板2が相互に接触し易くなる。また、強度や耐久性が不足する可能性がある。可撓性条体8の外径が2.0mmを超える場合には、巻き付けたり、結んで固定したりすることが難しくなる可能性がある。   For example, 0.5 mm-2.0 mm are preferable, 0.8 mm-1.7 mm are more preferable, and 1.0 mm-1.5 mm are the most preferable. When the outer diameter of the flexible strip 8 is less than 0.5 mm, the adjacent glass plates 2 easily come in contact with each other. In addition, the strength and durability may be insufficient. If the outer diameter of the flexible strip 8 exceeds 2.0 mm, it may be difficult to wind or tie and fix.

図5に示すように、側方支持棒5には、その長手方向に所定の間隔で環状の側方支持溝5aが複数設けられている。図6に示すように、側方支持棒5には、側方支持溝5aを形成している肉部の外周面に、可撓性条体8が係止可能な環状の側方係止溝5bが形成されている。例えば、可撓性条体8を側方係止溝5bに掛け回したり、巻き付けたりすることによって、可撓性条体8は側方係止溝5bに係止可能である。   As shown in FIG. 5, the side support bar 5 is provided with a plurality of annular side support grooves 5a at predetermined intervals in the longitudinal direction. As shown in FIG. 6, in the side support bar 5, an annular side locking groove in which the flexible strip 8 can be locked on the outer peripheral surface of the meat portion forming the side support groove 5a. 5b is formed. For example, the flexible strip 8 can be locked in the side locking groove 5b by winding or winding the flexible strip 8 in the side locking groove 5b.

図7に示すように、下方支持棒6には、その長手方向に所定の間隔で環状の下方支持溝6aが複数設けられている。また、本実施形態では、下方支持棒6には、可撓性条体8が掛け渡されていないが、可撓性条体8が掛け渡されてもよく、その場合のために、図8に示すように、下方支持棒6には、下方支持溝6aを形成している肉部の外周面に、可撓性条体8を係止可能な環状の下方係止溝6bが形成されている。例えば、可撓性条体8を下方係止溝6bに掛け回したり、巻き付けたりすることによって、可撓性条体8を下方係止溝6bに係止可能である。   As shown in FIG. 7, the lower support rod 6 is provided with a plurality of annular lower support grooves 6a at predetermined intervals in the longitudinal direction. Further, in the present embodiment, the flexible support 8 is not stretched over the lower support rod 6, but the flexible support 8 may be stretched, as shown in FIG. As shown in FIG. 5, in the lower support rod 6, an annular lower locking groove 6b capable of locking the flexible strip 8 is formed on the outer peripheral surface of the meat portion forming the lower support groove 6a. There is. For example, the flexible strip 8 can be locked in the lower locking groove 6b by winding or winding the flexible strip 8 in the lower locking groove 6b.

側方支持棒5、下方支持棒6、上方支持棒7の材質としては、例えば、テフロン(登録商標)、ポリエーテルエチルケトン(PEEK)、ポリイミド樹脂、MCナイロン(登録商標)等の合成樹脂が挙げられる。   Examples of the material of the side support rods 5, the lower support rods 6, and the upper support rods 7 include synthetic resins such as Teflon (registered trademark), polyether ethyl ketone (PEEK), polyimide resin, and MC nylon (registered trademark). It can be mentioned.

また、本実施形態では、図5、7に示すように、側方支持棒5、下方支持棒6の中心部には、金属製のシャフト5c,6cが挿通されて固定されている。このシャフト5c,6cの端部が、板材4の貫通孔4aに挿通されて板材4に対して脱離可能に装着される。従って、ガラス板2の寸法に合わせて、シャフト5c,6cの端部の装着位置を変更することで、側方支持棒5、下方支持棒6の配置を変更することが可能である。更には、側方支持棒5、下方支持棒6の配置を変更することで、ガラス板2の列の数を変更することも可能である。また、上方支持棒7は不図示の金属製の取り付け部材に固定され、この取り付け部材が枠体3に脱離可能に装着されることで、上方支持棒7は枠体3に対して着脱自在となっている。   Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 7, metal shafts 5 c and 6 c are inserted into and fixed to central portions of the side support rods 5 and the lower support rods 6. The end portions of the shafts 5 c and 6 c are inserted into the through holes 4 a of the plate 4 and are detachably attached to the plate 4. Therefore, it is possible to change the arrangement of the side support rods 5 and the lower support rods 6 by changing the mounting positions of the end portions of the shafts 5c, 6c in accordance with the dimensions of the glass plate 2. Furthermore, it is also possible to change the number of rows of the glass sheets 2 by changing the arrangement of the side support rods 5 and the lower support rods 6. Further, the upper support rod 7 is fixed to a metal attachment member (not shown), and the attachment member is detachably attached to the frame 3 so that the upper support rod 7 can be attached to and detached from the frame 3 It has become.

図6に拡大して示すように、側方支持溝5aの断面形状は、V字形状である。側方支持溝5aにおける断面形状のV字の角度αは、例えば6°〜26°が好ましい。V字の角度αが6°未満の場合には、ガラス板2を側方支持溝5aに十分に挿入できなくなると共に、挿入作業が困難になる可能性がある。V字の角度αが26°を超える場合には、ガラス板2を十分に支持できずに、ガラス板2が不当に撓む可能性がある。また、側方支持溝5aの幅が大きくなり、同じ長さの側方支持棒5に形成できる側方支持溝5aが減少し、同じ寸法のガラス板収容治具1に収容可能なガラス板2が減少する。これらの観点から、V字の角度αは、8°〜24°がより好ましく、10°〜22°が最も好ましい。   As shown in an enlarged manner in FIG. 6, the cross-sectional shape of the side support groove 5a is V-shaped. The angle α of the V shape of the cross-sectional shape in the side support groove 5a is preferably 6 ° to 26 °, for example. If the angle α of the V-shape is less than 6 °, the glass plate 2 can not be sufficiently inserted into the side support groove 5a, and the insertion operation may become difficult. If the angle α of the V-shape exceeds 26 °, the glass plate 2 may not be sufficiently supported, and the glass plate 2 may be unduly bent. Moreover, the width of the side support groove 5a becomes large, the side support groove 5a which can be formed in the side support rod 5 of the same length decreases, and the glass plate 2 which can be accommodated in the glass plate accommodation jig 1 of the same dimension. Decreases. From these viewpoints, the V-shaped angle α is more preferably 8 ° to 24 °, and most preferably 10 ° to 22 °.

また、側方支持溝5aの深さd1は、例えば14mm〜26mmが好ましい。深さd1が14mm未満の場合には、ガラス板2を側方支持溝5aに十分に挿入できなくなり、ガラス板2が抜け出る可能性がある。深さd1が26mmを超える場合には、洗浄後の乾燥が不十分になる可能性がある。これらの観点から、側方支持溝5aの深さd1は、16mm〜24mmがより好ましく、18mm〜22mmが最も好ましい。   Moreover, as for the depth d1 of the side support groove 5a, 14 mm-26 mm are preferable, for example. If the depth d1 is less than 14 mm, the glass plate 2 can not be sufficiently inserted into the side support groove 5a, and the glass plate 2 may come off. If the depth d1 exceeds 26 mm, drying after washing may be insufficient. From these viewpoints, the depth d1 of the side support groove 5a is more preferably 16 mm to 24 mm, and most preferably 18 mm to 22 mm.

図2に示すように、上方支持棒7には、その長手方向に所定の間隔で直線状の上方支持溝7aが下部に複数設けられている。上方支持溝7aの断面形状もV字形状である。上方支持溝7aにおける断面形状のV字の角度や上方支持溝7aの深さは、側方支持溝5aの場合と同様である。   As shown in FIG. 2, in the upper support rod 7, a plurality of linear upper support grooves 7 a are provided at lower portions at predetermined intervals in the longitudinal direction. The sectional shape of the upper support groove 7a is also V-shaped. The angle of the V-shaped cross section of the upper support groove 7a and the depth of the upper support groove 7a are the same as in the case of the side support groove 5a.

図8に拡大して示すように、下方支持溝6aの断面形状は、U字形状である。本実施形態では、下方支持溝6aにおける断面形状のU字の下方の部分(下方支持溝6aの底面の断面形状)は、真円の部分円弧状であるが、これに限定されず、幅方向中心に向かって漸次深さが深くなる滑らかな曲線形状であればよい。下方支持溝6aにおける断面形状のU字の部分円弧状部分の半径は、例えば1.9mm〜3.1mmが好ましい。半径が1.9mm未満の場合には、洗浄後にガラス板2と溝底の間に洗浄液が残留し、乾燥が不十分になる可能性がある。半径が3.1mmを超える場合には、ガラス板2を十分に支持できず、ガラス板2が不当に撓む可能性がある。これらの観点から、下方支持溝6aにおける断面形状のU字の部分円弧状部分の半径は、2.1mm〜2.9mmがより好ましく、2.3mm〜2.7mmが最も好ましい。   As shown enlarged in FIG. 8, the cross-sectional shape of the lower support groove 6 a is a U-shape. In the present embodiment, the lower portion (the cross-sectional shape of the bottom of the lower support groove 6a) of the U shape of the cross-sectional shape of the lower support groove 6a is a partially circular arc of a perfect circle, but is not limited thereto. It may be a smooth curved shape in which the depth gradually becomes deeper toward the center. The radius of the partially arcuate portion of the U-shaped cross section in the lower support groove 6a is preferably, for example, 1.9 mm to 3.1 mm. If the radius is less than 1.9 mm, the cleaning solution may remain between the glass plate 2 and the groove bottom after cleaning, resulting in insufficient drying. If the radius exceeds 3.1 mm, the glass plate 2 can not be sufficiently supported, and the glass plate 2 may be bent unduly. From these viewpoints, the radius of the partial arc-shaped portion of the U-shaped cross section in the lower support groove 6a is more preferably 2.1 mm to 2.9 mm, and most preferably 2.3 mm to 2.7 mm.

また、下方支持溝6aの深さd2は、例えば14mm〜26mmが好ましい。深さd2が14mm未満の場合には、ガラス板2を下方支持溝6aに十分に挿入できなくなり、ガラス板2が脱け出る可能性がある。深さd2が26mmを超える場合には、洗浄後の乾燥が不十分になる可能性がある。これらの観点から、下方支持溝6aの深さd2は、16mm〜24mmがより好ましく、18mm〜22mmが最も好ましい。   The depth d2 of the lower support groove 6a is preferably, for example, 14 mm to 26 mm. If the depth d2 is less than 14 mm, the glass plate 2 can not be sufficiently inserted into the lower support groove 6a, and the glass plate 2 may come out. If the depth d2 exceeds 26 mm, drying after washing may be insufficient. From these viewpoints, the depth d2 of the lower support groove 6a is more preferably 16 mm to 24 mm, and most preferably 18 mm to 22 mm.

下方支持溝6aの幅wは、例えば2mm〜6mmが好ましい。幅wが2mm未満の場合には、洗浄後にガラス板2と下方支持溝6aの側面との間に洗浄液が残留し易くなり、乾燥が不十分になる可能性がある。幅wが6mmを超える場合には、ガラス板2を十分に支持できず、ガラス板2が不当に撓む可能性がある。また、同じ長さの下方支持棒6に形成できる下方支持溝6aが減少し、同じ寸法のガラス板収容治具1に収容可能なガラス板2が減少する。これらの観点から、下方支持溝6aの幅wは、2.5mm〜5mmがより好ましく、3mm〜4mmが最も好ましい。   The width w of the lower support groove 6a is preferably, for example, 2 mm to 6 mm. If the width w is less than 2 mm, the cleaning solution tends to remain between the glass plate 2 and the side surface of the lower support groove 6a after cleaning, which may result in insufficient drying. If the width w exceeds 6 mm, the glass plate 2 can not be sufficiently supported, and the glass plate 2 may be bent unduly. Further, the lower support groove 6a which can be formed in the lower support rod 6 of the same length is reduced, and the glass plate 2 which can be accommodated in the glass plate accommodation jig 1 of the same dimension is reduced. From these viewpoints, the width w of the lower support groove 6a is more preferably 2.5 mm to 5 mm, and most preferably 3 mm to 4 mm.

図6、図8に拡大して示すように、側方係止溝5bと下方係止溝6bは、同形状で同寸法であり、断面形状はV字形状である。側方係止溝5bと下方係止溝6bにおける断面形状のV字の角度βは、例えば24°〜36°が好ましい。V字の角度βが24°未満の場合、可撓性条体8が十分に挿入されないだけでなく、挿入作業が困難になる可能性がある。V字の角度βが36°を超える場合、可撓性条体8が使用中にずれる可能性がある。これらの観点から、V字の角度βは、26°〜34°がより好ましく、28°〜32°が最も好ましい。   As shown in FIGS. 6 and 8 in an enlarged manner, the lateral locking groove 5b and the lower locking groove 6b have the same shape and the same size, and the cross-sectional shape is V-shaped. The angle β of the V shape of the cross-sectional shape of the side locking groove 5b and the lower locking groove 6b is preferably, for example, 24 ° to 36 °. If the angle β of the V is less than 24 °, not only the flexible strip 8 is not sufficiently inserted, but also the insertion operation may be difficult. If the angle β of the V is greater than 36 °, the flexible strip 8 may be displaced during use. The V-shaped angle β is more preferably 26 ° to 34 °, and most preferably 28 ° to 32 ° from these viewpoints.

次に、本実施形態のガラス板収容治具1の使用方法について説明する。   Next, the usage method of the glass plate accommodation jig 1 of this embodiment is demonstrated.

まず、ガラス板収容治具1内にガラス板2を配列する前には、上方支持棒7が固定されている取り付け部材(不図示)は、ガラス板収容治具1の枠体3から取り外されている。次に、ガラス板収容治具1内に、複数のガラス板2を配列する。つまり、ガラス板収容治具1内に、複数のガラス板2を縦姿勢で挿入する。   First, before arranging the glass plates 2 in the glass plate accommodation jig 1, the attachment member (not shown) to which the upper support bar 7 is fixed is removed from the frame 3 of the glass plate accommodation jig 1. ing. Next, the plurality of glass plates 2 are arranged in the glass plate accommodation jig 1. That is, the plurality of glass plates 2 are inserted in the vertical posture into the glass plate accommodation jig 1.

全てのガラス板2をガラス板収容治具1内に配列した後、上方支持棒7が固定された取り付け部材を枠体3に取り付ける。これで、ガラス板収容治具1へのガラス板2の設置は完了する。   After arranging all the glass plates 2 in the glass plate accommodation jig 1, the mounting member to which the upper support bar 7 is fixed is attached to the frame 3. Installation of the glass plate 2 to the glass plate accommodation jig 1 is now completed.

この状態で、ガラス板収容治具1を、洗浄槽内の洗浄液に浸漬し、ガラス板2を洗浄する。その後、ガラス板収容治具1を洗浄槽から引き上げ、乾燥装置によってガラス板収容治具1及びガラス板2に付着した洗浄液を乾燥する。   In this state, the glass plate housing jig 1 is immersed in the cleaning solution in the cleaning tank to clean the glass plate 2. Thereafter, the glass plate accommodation jig 1 is pulled up from the cleaning tank, and the cleaning liquid adhering to the glass plate accommodation jig 1 and the glass plate 2 is dried by the drying device.

その後、上記と逆の手順で、ガラス板2をガラス板収容治具1から取り出す。すなわち、上方支持棒7が固定されている取り付け部材を枠体3から取り外し、ガラス板2をガラス板収容治具1から取り出す。   Then, the glass plate 2 is taken out from the glass plate accommodation jig 1 in the reverse procedure to the above. That is, the attachment member to which the upper support rod 7 is fixed is removed from the frame 3, and the glass plate 2 is taken out from the glass plate accommodation jig 1.

以上のように構成された本実施形態のガラス板収容治具1では、以下の効果を享受できる。   The glass plate accommodation jig 1 of the present embodiment configured as described above can receive the following effects.

ガラス板収容治具1に収容された複数のガラス板2の処理や運搬中に、ガラス板2が可撓性に起因して平坦な形状を維持できなくなっても、ガラス板2の相互間の隙間に配置された可撓性条体8によって、ガラス板2の不当な変形が抑制される。これにより、ガラス板収容治具1に収容された複数のガラス板2が相互に接触する事態を阻止して、ガラス板2に接触傷が付く等の不具合が回避される。また、条体8が可撓性なので、ガラス板2が変形しても、条体8はガラス板2の変形に追随して、変形可能であるため、ガラス板2と条体8との接触に起因してガラス板2が損傷する可能性が低減する。なお、可撓性条体8の硬度は、ガラス板2の硬度よりも低いことが好ましい。   Even if the glass plate 2 can not maintain a flat shape due to the flexibility during processing and transportation of the plurality of glass plates 2 accommodated in the glass plate accommodation jig 1, By means of the flexible strips 8 arranged in the gaps, the unfair deformation of the glass sheet 2 is suppressed. Thereby, the situation where the several glass plate 2 accommodated in the glass plate accommodation jig 1 mutually contacts is prevented, and malfunctions, such as a contact flaw being attached to the glass plate 2, are avoided. Further, since the strip 8 is flexible, even if the glass plate 2 is deformed, the strip 8 can be deformed following the deformation of the glass plate 2 so that the contact between the glass plate 2 and the strip 8 The possibility of the glass plate 2 being damaged due to The hardness of the flexible strip 8 is preferably lower than the hardness of the glass plate 2.

また、可撓性条体8の外径が小さいので、可撓性条体8を巻き付けたり、結んで固定したりすることが可能となっており、ガラス板収容治具1に対する可撓性条体8の着脱が容易である。これにより、ガラス板2の寸法の変更等に伴って可撓性条体8の配設の仕方を変更することが容易である。   In addition, since the outer diameter of the flexible strip 8 is small, the flexible strip 8 can be wound or tied and fixed. Attachment and detachment of the body 8 are easy. Thereby, it is easy to change the method of arrangement of the flexible strip 8 along with the change of the dimension of the glass plate 2 or the like.

また、図8に示すように、ガラス板収容治具1における下方支持溝6aの断面形状がU字形状なので、洗浄槽から引き上げた時に、二点鎖線で示すガラス板2と下方支持溝6aの間に洗浄液が残留することを抑制できる。すなわち、下方支持溝6aが仮に側方支持溝5aと同様にV字形状であると、ガラス板2と下方支持溝6aの間に洗浄液が残留する。しかし、本実施形態では、下方支持溝6aの断面形状がU字形状であるため、このような不具合は生じない。これによって、ガラス板2に対する洗浄後の乾燥が容易となる。   Further, as shown in FIG. 8, since the cross-sectional shape of the lower support groove 6a in the glass plate housing jig 1 is U-shaped, when pulled up from the cleaning tank, the glass plate 2 and the lower support groove 6a shown by a two-dot chain line. It is possible to suppress the remaining of the cleaning liquid in the meantime. That is, if the lower support groove 6a is temporarily V-shaped similarly to the side support groove 5a, the cleaning solution remains between the glass plate 2 and the lower support groove 6a. However, in the present embodiment, since the lower support groove 6a has a U-shaped cross section, such a problem does not occur. This facilitates drying of the glass plate 2 after cleaning.

また、図6に示すように、側方支持溝5aの断面形状がV字形状であるため、ガタツキを生じること無く、より確実に、二点鎖線で示すガラス板2を両側方から支持できる。この場合には、側方支持溝5aの断面形状がV字形状であっても、ガラス板2と側方支持溝5aの間の洗浄液は自重によって落下するため、毛細管現象の影響は受けない。以上の結果、ガラス板2の安定した支持を確保した上で、ガラス板2に対する洗浄後の乾燥が容易となる。   Further, as shown in FIG. 6, since the cross-sectional shape of the side support groove 5a is V-shaped, the glass plate 2 shown by the two-dot chain line can be supported from both sides more reliably without causing rattling. In this case, even if the cross-sectional shape of the side support groove 5a is V-shaped, the cleaning liquid between the glass plate 2 and the side support groove 5a falls by its own weight, and is not affected by the capillary phenomenon. As a result of the above, after securing stable support of the glass plate 2, drying of the glass plate 2 after cleaning becomes easy.

なお、本発明は、以上の説明に限定されることは無く、その技術的思想の範囲内で様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では、可撓性条体は、ガラス板を支持する支持棒に掛け渡されていたが、支持棒以外の枠体やその他の部材に掛け渡されてもよい。   The present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made within the scope of the technical idea thereof. For example, in the said embodiment, although the flexible strip was hung on the support rod which supports a glass plate, you may be hung on frames other than a support rod, or another member.

1 ガラス板収容治具
2 ガラス板
5 側方支持棒
5a 側方支持溝
6 下方支持棒
6a 下方支持溝
8 可撓性条体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass plate accommodation jig 2 Glass plate 5 Side support rod 5a Side support groove 6 Lower support rod 6a Lower support groove 8 Flexible strip

Claims (5)

複数のガラス板を縦姿勢で相互間に隙間が形成されるように厚さ方向に配列した状態で収容し、複数の前記ガラス板をそれぞれ両側方から支持する側方支持溝が形成された側方支持部と、複数の前記ガラス板をそれぞれ下方から支持する下方支持溝が形成された下方支持部とを備えたガラス板収容治具において、
複数の前記ガラス板の相互間の隙間に前記ガラス板の主面に沿って配置された可撓性条体を有し、
前記側方支持部において、前記側方支持溝が形成されている肉部の外周面に、前記可撓性条体を係止可能な環状の側方係止溝が形成されているか、又は、前記下方支持部において、前記下方支持溝が形成されている肉部の外周面に、前記可撓性条体を係止可能な環状の下方係止溝が形成されていることを特徴とするガラス板収容治具。
A side on which a plurality of glass plates are arranged in the thickness direction so as to form a gap therebetween in the vertical orientation, and side support grooves are formed to support the plurality of glass plates from both sides respectively A glass plate accommodating jig comprising a first support portion and a lower support portion in which a lower support groove for supporting the plurality of glass plates from the lower side is formed,
A flexible strip disposed along the major surface of the glass sheet in a gap between the plurality of glass sheets;
In the side support portion, an annular side locking groove capable of locking the flexible strip is formed on the outer peripheral surface of the meat portion in which the side support groove is formed, or In the lower support portion, an annular lower locking groove capable of locking the flexible strip is formed on the outer peripheral surface of the meat portion in which the lower support groove is formed. Board accommodation jig.
前記可撓性条体が、隣り合う前記ガラス板の対向する主面における中央領域の相互間の隙間を通るように配置されたことを特徴とする請求項1に記載のガラス板収容治具。   The glass plate accommodating jig according to claim 1, wherein the flexible strip is disposed so as to pass through a gap between central regions of opposing main surfaces of the adjacent glass plates. 一対の前記可撓性条体が、前記中央領域の相互間の隙間で交差してなることを特徴とする請求項2に記載のガラス板収容治具。   The glass sheet storage jig according to claim 2, wherein a pair of the flexible strips intersect at a gap between the central regions. 前記ガラス板の板厚が、200μm未満であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のガラス板収容治具。   The plate thickness of the said glass plate is less than 200 micrometers, The glass plate accommodation jig | tool in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記側方支持溝の断面形状がV字形状であると共に、前記下方支持溝の断面形状がU字形状であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のガラス板収容治具。   The glass sheet container according to any one of claims 1 to 4, wherein the cross-sectional shape of the side support groove is V-shaped and the cross-sectional shape of the lower support groove is U-shaped. jig.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60124037U (en) * 1984-01-30 1985-08-21 ホ−ヤ株式会社 Nakasa of cleaning jig
JPS60156561U (en) * 1984-03-29 1985-10-18 ホ−ヤ株式会社 Cleaning jig
JPH06258608A (en) * 1993-03-05 1994-09-16 Ulvac Seimaku Kk Glass substrate cleaning and holding device
JPH06286869A (en) * 1993-04-05 1994-10-11 Japan Energy Corp Substrate holder
KR20030048682A (en) * 2001-12-12 2003-06-25 삼성전자주식회사 Wafer guide and wet etching apparatus having it
US20050051083A1 (en) * 2003-09-05 2005-03-10 Carlos Ruiz Apparatus for carrying reticles and method of using the same to process reticles
JP2007326584A (en) * 2006-06-06 2007-12-20 Asahi Glass Co Ltd Packing tool, packing container, packing material, glass substrate packing method, and packing material unpacking method
GB0617345D0 (en) * 2006-09-05 2006-10-11 Pilkington Special Glass Ltd Rack
CN103157640A (en) * 2011-12-09 2013-06-19 龙焱能源科技(杭州)有限公司 Glass washing flower basket
CN103350825B (en) * 2013-07-08 2015-09-30 南昌欧菲光学技术有限公司 Glass stationary rack and glass fixing device
CN103538774A (en) * 2013-10-29 2014-01-29 南昌欧菲光学技术有限公司 Glass positioning rack and glass fixing device applying glass positioning rack

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