JP6469030B2 - Carbon heater component connected ultra high temperature furnace - Google Patents

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Description

本発明は、熱処理に使われる高温炉に関し、より詳しくは複数のカーボンヒーター構成体を接続してカーボンヒーターを構成して成るカーボンヒーター構成体接続型超高温炉に関する。   The present invention relates to a high temperature furnace used for heat treatment, and more particularly to a carbon heater structure-connected ultra-high temperature furnace formed by connecting a plurality of carbon heater structures to form a carbon heater.

従来よりカーボンを円筒形状に形成して抵抗発熱体として用いたタンマン式加熱炉が提案されている(例えば特許文献1)
このタンマン式加熱炉は、加熱手段が比較的シンプルであるため工業用素材の熱処理炉として広く使用されている。
このタンマン式加熱炉を使用して加熱する場合は、カーボンで円筒形状に形成された抵抗発熱体に電気を流し、発生したジュール熱で前記抵抗発熱体の内部に収容された被加熱処理物を加熱、焼成している。
Conventionally, a Tamman type heating furnace in which carbon is formed in a cylindrical shape and used as a resistance heating element has been proposed (for example, Patent Document 1).
This Tamman type heating furnace is widely used as a heat treatment furnace for industrial materials because of its relatively simple heating means.
When heating using this Tamman type heating furnace, electricity is passed through a resistance heating element formed of carbon in a cylindrical shape, and the object to be heated contained in the resistance heating element is generated by Joule heat generated. Heating and baking.

特許第3287029号公報Japanese Patent No. 3287029

しかし、カーボン粉末は、固形化し難い材料であるためカーボンで長い円筒形状の抵抗発熱体を製造し難い。
このため、従来のタンマン式加熱炉では長いヒートゾーンを確保し難く被加熱処理物を連続して加熱、焼成することができないので、大量に効率よく非加熱処理物を加熱、焼成することができないという不具合がある。
本発明の目的は、カーボンで形成された抵抗発熱体を長く形成することができることにより被加熱処理物を連続して大量に効率よく加熱、焼成することができる連続式超高温炉を提供することである。
However, since carbon powder is a material that is difficult to solidify, it is difficult to produce a long cylindrical resistance heating element with carbon.
For this reason, it is difficult to secure a long heat zone in the conventional Tamman-type heating furnace, and it is not possible to continuously heat and bake the object to be heated, so it is not possible to efficiently heat and bake the non-heat-treated object in large quantities. There is a problem that.
An object of the present invention is to provide a continuous ultra-high temperature furnace capable of continuously heating and firing a heat-treated object in a large amount by being able to form a resistance heating element made of carbon for a long time. It is.

本発明は、上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創作されたものであり、請求項1の発明は、チャンバーと、このチャンバーの内部に配設されると共に複数の円筒状のカーボンヒーター構成体を接続して形成された円筒状カーボンヒーターと、前記カーボンヒーター構成体を接続する接続リングと、を備えると共に前記接続リングを前記チャンバーに固定されたヒーターサポート体で支持したことを特徴としている。
請求項2の発明は、前記カーボンヒーター構成体の端部外周面に第1ネジを形成し、前記接続リングの内周面に第2ネジを形成したことを特徴としている。
請求項3の発明は、前記円筒状カーボンヒーターの内周面にカーボンレールを配設したことを特徴としている。
The present invention has been created in view of the above circumstances and has been created for the purpose of solving these problems. The invention of claim 1 includes a chamber and a plurality of cylinders disposed inside the chamber. A cylindrical carbon heater formed by connecting a carbon heater structure, and a connection ring connecting the carbon heater structure, and the connection ring supported by a heater support body fixed to the chamber It is characterized by that.
The invention of claim 2 is characterized in that a first screw is formed on the outer peripheral surface of the end of the carbon heater structure, and a second screw is formed on the inner peripheral surface of the connection ring .
The invention of claim 3 is characterized in that a carbon rail is disposed on the inner peripheral surface of the cylindrical carbon heater .

本発明は、カーボンヒーター構成体を複数接続することにより円筒状カーボンヒーターを長くして長いヒートゾーンを形成したので、被加熱処理物を連続して大量に加熱、焼成処理することができるという優れた効果を有する。
本発明は、カーボンヒーター構成体を複数接続して円筒状カーボンヒーターを形成するので、円筒状カーボンヒーターを構成するカーボンヒーター構成体の長さ寸法や肉厚寸法を変えることにより炉内の温度勾配や温度環境を変えることができるという優れた効果を有する。
本発明は、上記優れた効果の他に円筒状カーボンヒーターを確実に支持することができるという優れた効果を有する。
本発明は、上記優れた効果の他に円筒状カーボンヒーターの摩耗を防止して耐久性を向上させると共に炉内温度を2,800℃位の高温にまで高めることができるという優れた効果を有する。
In the present invention, the cylindrical carbon heater is lengthened by connecting a plurality of carbon heater constituents to form a long heat zone, so that an object to be heated can be continuously heated and fired in large quantities. It has the effect.
Since the present invention forms a cylindrical carbon heater by connecting a plurality of carbon heater components, the temperature gradient in the furnace can be changed by changing the length and thickness of the carbon heater components constituting the cylindrical carbon heater. And has an excellent effect of being able to change the temperature environment.
The present invention has an excellent effect that a cylindrical carbon heater can be reliably supported in addition to the above-described excellent effect.
In addition to the above-mentioned excellent effects, the present invention has the excellent effect that the wear of the cylindrical carbon heater is prevented and the durability is improved and the furnace temperature can be increased to a high temperature of about 2,800 ° C. .

実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace of an Example. 実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の概略平面図である。It is a schematic plan view of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace of an Example. 実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の一部拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace of an Example. 実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の円筒状カーボンヒーターの一部側面図である。It is a partial side view of the cylindrical carbon heater of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace of an Example. 実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の円筒状カーボンヒーターの一部概略拡大断面図である。It is a partial schematic expanded sectional view of the cylindrical carbon heater of the carbon heater structural body connection type ultra high temperature furnace of an Example. 実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の一部拡大概略断面図である。It is a partially expanded schematic sectional drawing of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace of an Example.

図1〜図6には本発明に係るカーボンヒーター構成体接続型超高温炉の一実施例が示されている。   1 to 6 show an embodiment of an ultrahigh temperature furnace connected to a carbon heater structure according to the present invention.

図1及び図2に示されるように、カーボンヒーター構成体接続型超高温炉10のチャンバー12はスチールで横長の円筒状に形成されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the chamber 12 of the carbon heater structure-connected ultra-high temperature furnace 10 is made of steel and is formed in a horizontally long cylindrical shape.

図3に示されるように、前記チャンバー12の内部にはチャンバー12と同心状に断熱材収容円筒ケース14が配設されている。この断熱材収容円筒ケース14の外周部14Aと内周部14Bとの間には公知の断熱材16が収容されている。 As shown in FIG. 3, a heat insulating material containing cylindrical case 14 is disposed inside the chamber 12 concentrically with the chamber 12. A known heat insulating material 16 is accommodated between the outer peripheral portion 14 </ b> A and the inner peripheral portion 14 </ b> B of the heat insulating material accommodating cylindrical case 14.

また、前記チャンバー12の内周部12A下部と断熱材収容円筒ケース14の外周部14A下部の間には位置決具18が設けられている。これにより、チャンバー12と断熱材収容円筒ケース14を同心状に位置決めすると共にチャンバー12と断熱材収容円筒ケース14との間に空隙を設けるように位置決めしている。 A positioning tool 18 is provided between the lower portion of the inner peripheral portion 12 </ b> A of the chamber 12 and the lower portion of the outer peripheral portion 14 </ b> A of the heat insulating material containing cylindrical case 14. Thereby, the chamber 12 and the heat insulating material accommodation cylindrical case 14 are positioned concentrically, and at the same time, a gap is provided between the chamber 12 and the heat insulating material accommodation cylindrical case 14.

前記断熱材収容円筒ケース14の内部には断熱材収容円筒ケース14と同心状に抵抗発熱体としての円筒状カーボンヒーター20が配設されている。 A cylindrical carbon heater 20 as a resistance heating element is disposed concentrically with the heat insulating material accommodation cylindrical case 14 inside the heat insulation material accommodation cylindrical case 14.

図4に示されるように、この円筒状カーボンヒーター20はカーボン(炭素)で円筒形状に形成されたカーボンヒーター構成体22を複数個接続することにより形成されている。これらカーボンヒーター構成体22はカーボン製の接続リング24によって接続されている。
なお、前記円筒状カーボンヒーター20はカーボンヒーター構成体22を複数接続して形成するため長くできるが、通常、長さ寸法は6m〜10mで、直径寸法は20cm〜30cmである。
As shown in FIG. 4, the cylindrical carbon heater 20 is formed by connecting a plurality of carbon heater constituent bodies 22 formed of carbon (carbon) into a cylindrical shape. These carbon heater components 22 are connected by a carbon connection ring 24.
The cylindrical carbon heater 20 can be made long because it is formed by connecting a plurality of carbon heater structural bodies 22, but the length dimension is usually 6 m to 10 m and the diameter dimension is 20 cm to 30 cm.

図5に示されるように、前記カーボンヒーター構成体22の両端部の外周面には第1ネジとしての雄ネジ26が形成されている。
前記接続リング24の内周面には第2ネジとしての雌ネジ28が形成され、前記カーボンヒーター構成体22の雄ネジ26を螺入できるようになっている。
As shown in FIG. 5, male screws 26 as first screws are formed on the outer peripheral surfaces of both ends of the carbon heater structure 22.
A female screw 28 as a second screw is formed on the inner peripheral surface of the connection ring 24 so that the male screw 26 of the carbon heater structure 22 can be screwed therein.

従って、図4に示されるように前記接続リング24を介して複数のカーボンヒーター構成体22を接続することにより円筒状カーボンヒーター20を形成している。 Therefore, as shown in FIG. 4, a cylindrical carbon heater 20 is formed by connecting a plurality of carbon heater structural bodies 22 via the connection ring 24.

また、円筒状カーボンヒーター20はカーボンヒーター構成体22を複数接続して構成されているので、長さ寸法L(図4参照)と肉厚寸法T(図5参照)の異なるカーボンヒーター構成体22を取り付けることができる。電気抵抗はカーボンヒーター構成体22の長さ寸法と反比例し、カーボンヒーター構成体22の断面積と比例するので、長さ寸法Lや肉厚寸法Tの異なるカーボンヒーター構成体22を接続することにより円筒状カーボンヒーター20の温度勾配を容易に作ることができる。   Further, since the cylindrical carbon heater 20 is configured by connecting a plurality of carbon heater structural bodies 22, the carbon heater structural body 22 having a different length dimension L (see FIG. 4) and a thickness dimension T (see FIG. 5). Can be attached. Since the electrical resistance is inversely proportional to the length of the carbon heater structure 22 and proportional to the cross-sectional area of the carbon heater structure 22, by connecting the carbon heater structures 22 having different length dimensions L and wall thickness dimensions T, The temperature gradient of the cylindrical carbon heater 20 can be easily created.

図3に示されるように、円筒状カーボンヒーター20の底面には縦断面円弧状のカーボンレール30が配設されている。このカーボンレール30はカーボンで形成され、カーボンレール30には被加熱処理物(図示せず)を収容したカーボンで茶筒状に形成されたカーボンコンテナ32が載置されるようになっている。 As shown in FIG. 3, a carbon rail 30 having a circular arc cross section is disposed on the bottom surface of the cylindrical carbon heater 20. The carbon rail 30 is made of carbon, and a carbon container 32 made of carbon containing a heat-treated object (not shown) and having a tea cylinder shape is placed on the carbon rail 30.

前記円筒状カーボンヒーター20の内周面にカーボンレール30を載置することにより前記カーボンコンテナ32をスライドさせてもスライドするカーボンコンテナ32と円筒状カーボンヒーター20は当接しないので、カーボンコンテナ32のスライドにより円筒状カーボンヒーター20が摩耗することを防止できる。 Even if the carbon container 32 is slid by placing the carbon rail 30 on the inner peripheral surface of the cylindrical carbon heater 20, the sliding carbon container 32 and the cylindrical carbon heater 20 do not come into contact with each other. It is possible to prevent the cylindrical carbon heater 20 from being worn by the slide.

なお、作図上図3においてはカーボンレール30の底面と円筒状のカーボンヒーター構成体22の内周面は面接触しているように見えるが、カーボンレール30とカーボンヒーター構成体22は共に多少の歪みがあるのでカーボンレール30の底面と円筒状のカーボンヒーター構成体22の内周面は点接触状態になっている。
このため、カーボンレール30とカーボンヒーター構成体22の接触面積は小さくなっている。
In FIG. 3, the bottom surface of the carbon rail 30 and the inner peripheral surface of the cylindrical carbon heater structure 22 appear to be in surface contact with each other. However, both the carbon rail 30 and the carbon heater structure 22 are somewhat in contact with each other. Since there is distortion, the bottom surface of the carbon rail 30 and the inner peripheral surface of the cylindrical carbon heater structure 22 are in a point contact state.
For this reason, the contact area of the carbon rail 30 and the carbon heater structure 22 is small.

図4及び図5に示されるように、前記接続リング24の下部には丸棒状のカーボンで形成されたヒーターサポート体34が配設されている。このヒーターサポート体34の上面は前記接続リング24と当接して接続リング24を支持している。 As shown in FIGS. 4 and 5, a heater support body 34 made of round bar-like carbon is disposed below the connection ring 24. The upper surface of the heater support body 34 abuts on the connection ring 24 to support the connection ring 24.

図3に示されるように、前記ヒーターサポート体34は前記チャンバー12に適宜部材で固定されたアルミナ製のヒーターサポート体保持具36に支持固定されている。
従って、複数のカーボンヒーター構成体22を複数接続して円筒状カーボンヒーター20の長さ寸法が長くなると共に円筒状カーボンヒーター20の重量が増加しても円筒状カーボンヒーター20が中折れしたり落下したりしないようになっている。
As shown in FIG. 3, the heater support body 34 is supported and fixed to an alumina heater support body holder 36 fixed to the chamber 12 with appropriate members.
Therefore, even if a plurality of carbon heater structural bodies 22 are connected to increase the length of the cylindrical carbon heater 20 and the weight of the cylindrical carbon heater 20 increases, the cylindrical carbon heater 20 may be broken or dropped. It is not to do.

なお、ヒーターサポート体34をアルミナ製のヒーターサポート体保持具36で支持することにより電気的に絶縁している。 The heater support body 34 is electrically insulated by being supported by a heater support body holder 36 made of alumina.

図6に示されるように、円筒状カーボンヒーター20の一端部である入口部と他端部である出口部にはそれぞれガスカーテン40が設けられている(なお、図6には出口側のガスカーテン40のみを示す)。これにより、円筒状カーボンヒーター20、カーボンレール30等を酸化させる原因となる空気が内部に入るのを阻止できる構造になっている。 As shown in FIG. 6, gas curtains 40 are respectively provided at the inlet portion which is one end portion and the outlet portion which is the other end portion of the cylindrical carbon heater 20 (in FIG. 6, the gas on the outlet side is provided). Only the curtain 40 is shown). Thereby, it has the structure which can prevent that the air which causes the cylindrical carbon heater 20, the carbon rail 30, etc. to oxidize enter an inside.

図1及び図2に示されるように、前記チャンバー12の一端側には円筒状の入口側円筒体42が接続され、他端側には円筒状の出口側円筒体44が接続されている。
前記入口側円筒体42の入口部と前記円筒状の出口側円筒体44の出口部にはそれぞれ開閉式ドア46が設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a cylindrical inlet side cylindrical body 42 is connected to one end side of the chamber 12, and a cylindrical outlet side cylindrical body 44 is connected to the other end side.
Opening / closing doors 46 are respectively provided at the inlet portion of the inlet side cylindrical body 42 and the outlet portion of the cylindrical outlet side cylindrical body 44.

なお、前記チャンバー12は、基台50に保持されている。 The chamber 12 is held on a base 50.

前記チャンバー12の近くには電源コントロールボックス56とヒータートランス58が設置されている。 A power supply control box 56 and a heater transformer 58 are installed near the chamber 12.

図2に示されるように、前記電源コントロールボックス56には第1リード線60の一端部と第2リード線62の一端部が接続されている。前記第1リード線60の他端部は前記円筒状カーボンヒーター20の一端部と接続され、前記第2リード線62の他端部は前記円筒状カーボンヒーター20の他端部と接続されている。 As shown in FIG. 2, one end of the first lead wire 60 and one end of the second lead wire 62 are connected to the power control box 56. The other end portion of the first lead wire 60 is connected to one end portion of the cylindrical carbon heater 20, and the other end portion of the second lead wire 62 is connected to the other end portion of the cylindrical carbon heater 20. .

図1に示されるように、前記カーボンヒーター構成体接続型超高温炉10の入口側近傍にはプッシャー型挿入装置70が設置されている。このプッシャー型挿入装置70にはプッシャー72がスライド可能に設けられている。このプッシャー72は被熱処理物が収容された前記カーボンコンテナ32を連続して入口側円筒体46から円筒状カーボンヒーター20に挿入できるようになっている。 As shown in FIG. 1, a pusher type insertion device 70 is installed in the vicinity of the inlet side of the carbon heater structural body connected ultra high temperature furnace 10. The pusher type insertion device 70 is provided with a pusher 72 so as to be slidable. The pusher 72 can insert the carbon container 32 in which the object to be heat-treated is continuously inserted into the cylindrical carbon heater 20 from the inlet side cylindrical body 46.

また、前記カーボンヒーター構成体接続型超高温炉10の出口側近傍には取出装置74が設置されている。この取出装置74は円筒状カーボンヒーター20で熱処理された被熱処理物が収容されたカーボンコンテナ32を取り出すことができるようになっている。 Further, a take-out device 74 is installed in the vicinity of the outlet side of the carbon heater structure-connected ultrahigh temperature furnace 10. The take-out device 74 can take out the carbon container 32 in which the object to be heat-treated by the cylindrical carbon heater 20 is accommodated.

図2に示されるように、前記チャンバー12の近くには真空ロータリーポンプ76が設置されている。この真空ロータリーポンプ76は前記円筒状カーボンヒーター20内を真空状態にするための装置である。 As shown in FIG. 2, a vacuum rotary pump 76 is installed near the chamber 12. This vacuum rotary pump 76 is a device for making the inside of the cylindrical carbon heater 20 into a vacuum state.

以下に実施例のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉10の作用について説明する。   The operation of the carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace 10 of the embodiment will be described below.

最初にカーボンヒーター構成体接続型超高温炉10の始動前準備として真空ロータリーポンプ76を使用して円筒状カーボンヒーター20の内部を真空状態にする。 First, the vacuum rotary pump 76 is used to prepare the inside of the cylindrical carbon heater 20 in a vacuum state as a pre-startup preparation of the carbon heater structural body connected ultra high temperature furnace 10.

次に、カーボンヒーター構成体接続型超高温炉10の開閉式ドア46,46を閉じてカーボンヒーター構成体接続型超高温炉10を始動させ、円筒状カーボンヒーター20内の温度を上昇させる。 Next, the openable doors 46 and 46 of the carbon heater structure-connected ultra-high temperature furnace 10 are closed, the carbon heater structure-connected ultra-high temperature furnace 10 is started, and the temperature in the cylindrical carbon heater 20 is raised.

円筒状カーボンヒーター20内の昇温作業が終わったら適宜のガス流量を調節して開閉式ドア46を開けてプッシャー型挿入装置70のプッシャー72で被加熱処理物が収容されたカーボンコンテナ32を連続して入口側円筒体46から円筒状カーボンヒーター20に挿入する。 When the temperature raising operation in the cylindrical carbon heater 20 is finished, an appropriate gas flow rate is adjusted, the openable door 46 is opened, and the carbon container 32 in which the object to be heated is stored is continuously provided by the pusher 72 of the pusher type insertion device 70. Then, it is inserted into the cylindrical carbon heater 20 from the inlet side cylindrical body 46.

円筒状カーボンヒーター20に挿入された被加熱処理物を収容したカーボンコンテナ32はカーボンレース30上をスライドして前記チャンバー12の出口側にスライドし前記取出装置74によって取り出される。 The carbon container 32 containing the object to be heated inserted into the cylindrical carbon heater 20 slides on the carbon race 30 and slides toward the outlet side of the chamber 12 and is taken out by the take-out device 74.

従って、カーボンコンテナ32に収容された被熱処理物は長いヒートゾーンで加熱、焼成処理されると共に大量に加熱、焼成処理されるので、加熱、焼成処理の作業効率を一段と向上させることができる。   Accordingly, the heat-treated material accommodated in the carbon container 32 is heated and baked in a long heat zone and heated and baked in large quantities, so that the work efficiency of the heating and baking can be further improved.

また、前記円筒状カーボンヒーター20は前記ヒーターサポート体34に確実に支持されているので円筒状カーボンヒーター20の長さ寸法が長くなると共に重量が増加しても円筒状カーボンヒーター20が中折れしたり落下したりすることを防止できる。 Further, since the cylindrical carbon heater 20 is securely supported by the heater support body 34, the cylindrical carbon heater 20 is broken even if the length of the cylindrical carbon heater 20 is increased and the weight is increased. Can be prevented from falling or falling.

なお、円筒状カーボンヒーター20のカーボンヒーター構成体22は交換可能であるため長さ寸法Lや肉厚寸法Tの異なるカーボンヒーター構成体22に交換することにより炉内の温度環境を作業者の意図する温度環境に変えることができ、被加熱処理物の性質や使用用途に対応した加熱、焼成処理を行うことができる。   Since the carbon heater structure 22 of the cylindrical carbon heater 20 is replaceable, the temperature environment in the furnace is changed by the operator's intention by replacing the carbon heater structure 22 with a different length dimension L or wall thickness dimension T. It can be changed to the temperature environment to be heated, and the heating and baking treatment corresponding to the property of the object to be heated and the intended use can be performed.

さらに、円筒状カーボンヒーター20の内部にはカーボンレール30が配設されているのでスライドする前記カーボンコンテナ32は直接カーボンヒーター20に当接しないので円筒状カーボンヒーター20が摩耗するのを防止できると共にこれにより円筒状カーボンヒーター20の耐久性を向上させることができる。   Furthermore, since the carbon rail 30 is disposed inside the cylindrical carbon heater 20, the sliding carbon container 32 does not directly contact the carbon heater 20, so that the cylindrical carbon heater 20 can be prevented from being worn. Thereby, durability of the cylindrical carbon heater 20 can be improved.

また、円筒状カーボンヒーター20とカーボンレール30は直接接触するため円筒状カーボンヒーター20に流れる電流とカーボンレール30及びカーボンコンテナ32に流れる電流に分割されるが、円筒状カーボンヒーター20とカーボンレール30は点接触であるので接触面積が小さく、また、円筒状カーボンヒーター20の抵抗値とカーボンレール30の抵抗値の比を大きくとる(円筒状カーボンヒーター20の抵抗値を小さくする)ことにより大きな影響が無いようにしている。これにより、高温での連続加熱、焼成処理が可能になる。 In addition, since the cylindrical carbon heater 20 and the carbon rail 30 are in direct contact with each other, it is divided into a current flowing through the cylindrical carbon heater 20 and a current flowing through the carbon rail 30 and the carbon container 32. Is a point contact, the contact area is small, and a large effect is obtained by increasing the ratio of the resistance value of the cylindrical carbon heater 20 and the resistance value of the carbon rail 30 (reducing the resistance value of the cylindrical carbon heater 20). There is no such thing. Thereby, the continuous heating and baking process at high temperature are attained.

なお、実施例では前記カーボンヒーター構成体22の端部の外周面には第1ネジとしての雄ネジ26が形成し、前記接続リング24の内周面に第2ネジとしての雌ネジ28が形成したが、前記カーボンヒーター構成体22の端部の内周面に雌ネジ28を形成し、前記接続リング24の外周面に雄ネジ26を形成して接続リング24を介して複数のカーボンヒーター構成体22を接続するようにしてもよい。 In the embodiment, a male screw 26 as a first screw is formed on the outer peripheral surface of the end portion of the carbon heater structure 22, and a female screw 28 as a second screw is formed on the inner peripheral surface of the connection ring 24. However, a female screw 28 is formed on the inner peripheral surface of the end of the carbon heater structure 22, and a male screw 26 is formed on the outer peripheral surface of the connection ring 24, so that a plurality of carbon heater structures are formed via the connection ring 24. The body 22 may be connected.

なお、従来においてはヒーターとコンテナが直接接触しないように高温用絶縁材料としてボロンナイトライド(BN)等が使用されていたため窒素ガス雰囲気にて最高2,200℃位であったがカーボンレール30を使用することにより2,800℃位の超高温においても使用することができる。 Conventionally, boron nitride (BN) or the like has been used as a high-temperature insulating material so that the heater and the container do not come into direct contact with each other. By using it, it can be used even at an ultra-high temperature of about 2,800 ° C.

また、本発明のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉10は上述した構成であるので、前記円筒状カーボンヒーター20の内部温度は不活性ガスであるアルゴンガスでは2,900℃位まで使用可能である。 In addition, since the carbon heater structure-connected ultra-high temperature furnace 10 of the present invention has the above-described configuration, the internal temperature of the cylindrical carbon heater 20 can be used up to about 2,900 ° C. with argon gas which is an inert gas. is there.

10 カーボンヒーター構成体接続型超高温炉
12 チャンバー
14 断熱材収容円筒ケース
16 断熱材
18 位置決具
20 円筒状カーボンヒーター
22 カーボンヒーター構成体
24 接続リング
26 雄ネジ
28 雌ネジ
30 カーボンレール
32 カーボンコンテナ
34 ヒーターサポート体
36 ヒーターサポート体保持具
40 ガスカーテン
42 入口側円筒体
44 出口側円筒体
46 開閉式ドア
50 基台
56 電源コントロールボックス
58 ヒータートランス
60 第1リード線
62 第2リード線
70 プッシャー型挿入装置
72 プッシャー
74 取出装置
76 真空ロータリーポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Carbon heater structure connection type ultra high temperature furnace 12 Chamber 14 Heat insulation material accommodation cylindrical case 16 Heat insulation material 18 Positioning tool 20 Cylindrical carbon heater 22 Carbon heater structure 24 Connection ring 26 Male screw 28 Female screw 30 Carbon rail 32 Carbon container 34 Heater Support Body 36 Heater Support Body Holder 40 Gas Curtain 42 Entrance Side Cylindrical Body 44 Exit Side Cylindrical Body 46 Openable Door 50 Base 56 Power Control Box 58 Heater Transformer 60 First Lead Wire 62 Second Lead Wire 70 Pusher Type Insertion device 72 Pusher 74 Extraction device 76 Vacuum rotary pump

Claims (3)

チャンバーと、このチャンバーの内部に配設されると共に複数の円筒状のカーボンヒーター構成体を接続して形成された円筒状カーボンヒーターと、前記カーボンヒーター構成体を接続する接続リングと、を備えると共に前記接続リングを前記チャンバーに固定されたヒーターサポート体で支持したことを特徴とするカーボンヒーター構成体接続型超高温炉。 A chamber, a cylindrical carbon heater disposed inside the chamber and connected to a plurality of cylindrical carbon heater components, and a connection ring for connecting the carbon heater components; An ultra-high temperature furnace connected to a carbon heater structure, wherein the connection ring is supported by a heater support body fixed to the chamber . 前記カーボンヒーター構成体の端部外周面に第1ネジを形成し、前記接続リングの内周面に第2ネジを形成したことを特徴とする請求項1記載のカーボンヒーター構成体接続型超高温炉。 2. The carbon heater structure-connected ultra-high temperature according to claim 1, wherein a first screw is formed on an outer peripheral surface of the end portion of the carbon heater structure, and a second screw is formed on an inner peripheral surface of the connection ring. Furnace. 前記円筒状カーボンヒーターの内周面にカーボンレールを配設したことを特徴とする請求項1、請求項2のいずれか1項に記載したカーボンヒーター構成体接続型超高温炉。 The carbon heater structure-connected super-high temperature furnace according to any one of claims 1 and 2, wherein a carbon rail is disposed on an inner peripheral surface of the cylindrical carbon heater .
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