JP6461546B2 - Electron emission device - Google Patents

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Description

本発明は、電圧を印加することによって電極表面から電子を放出する電子放出装置に関する。   The present invention relates to an electron emission device that emits electrons from an electrode surface by applying a voltage.

従来、電子写真方式の画像形成装置は、被帯電体である感光体の表面を帯電させる帯電装置を備えている。帯電装置としてコロナ帯電器が周知であるが、放電を伴う構成を備えるためオゾン及び種々の酸化物を生成して、感光体及びその周囲の樹脂構造物等を劣化させる虞があった。一方、近年、MIM(Metal-Insulator-Metal)型、MIS(Metal-Insulator-Semiconductor)型、あるいはBSD(Ballistic electron Surface-emitting Device)型のようなオゾン等の酸化物を生成しない電子放出素子が知られている。この種の電子放出素子は、素子内部の量子サイズ効果および強電界を利用して電子を加速し、平面状の素子表面(表面電極)から電子を放出させる。これらの電子放出素子は、素子内部の電子加速層で加速した電子を放出するため、素子外部に強電界を必要としない。   2. Description of the Related Art Conventionally, an electrophotographic image forming apparatus includes a charging device that charges the surface of a photosensitive member that is a charged body. Although a corona charger is well known as a charging device, there is a possibility that ozone and various oxides may be generated to deteriorate the photosensitive member and the surrounding resin structure, etc. because it has a structure with discharge. On the other hand, in recent years, electron-emitting devices that do not generate oxides such as ozone, such as MIM (Metal-Insulator-Metal) type, MIS (Metal-Insulator-Semiconductor) type, or BSD (Ballistic electron Surface-emitting Device) type. Are known. This type of electron-emitting device accelerates electrons by utilizing the quantum size effect inside the device and a strong electric field, and emits electrons from the planar device surface (surface electrode). Since these electron-emitting devices emit electrons accelerated by an electron acceleration layer inside the device, a strong electric field is not required outside the device.

特許文献1,2には、互いに対向して配置された下部電極と上部の表面電極と、その間に介設された電子加速層とを備え、下部電極と表面電極との間に駆動電圧を印加する電子放出素子が記載されている。電子加速層は、絶縁体物質と導電微粒子とが集合した層であり、半導電性を有する。この半導電性の電子加速層に駆動電圧が印加されると、電子加速層内に電流が流れ、その一部が印加電圧の形成する強電界により弾道電子となって放出される。   Patent Documents 1 and 2 include a lower electrode and an upper surface electrode arranged opposite to each other, and an electron acceleration layer interposed therebetween, and a drive voltage is applied between the lower electrode and the surface electrode. An electron-emitting device is described. The electron acceleration layer is a layer in which an insulator material and conductive fine particles are aggregated, and has semiconductivity. When a driving voltage is applied to the semiconductive electron acceleration layer, a current flows in the electron acceleration layer, and a part thereof is emitted as ballistic electrons by a strong electric field formed by the applied voltage.

特開2009−146891号公報JP 2009-146891 A 特許第5238795号公報Japanese Patent No. 5238795

今回、発明者は、特許文献1,2に記載された種類の電子放出素子の研究開発において、駆動開始直後のある期間中に、過渡的に大きな突入電流を流し、電子放出量を増大させるという特有の現象を示すことを発見するに至った。その理由は、多分に、駆動開始直後ではジュール熱による上昇温度が低く、電気抵抗が小さいため、また絶縁体から成る電子加速層内に電子が捕獲(電子トラップ)され、絶縁体がチャージアップするまでに時間を要するためではないかと考えられる。電子放出量の総量は、素子の寿命と関連していることも実験的に確認できていることから、駆動開始直後の過渡的な電子放出量の増大は、素子寿命を急速に消耗させることとなる。このため、素子の長寿命化を実現するには、その過渡的な電子放出量の増大を抑制しなければならない。   This time, the inventor said that in the research and development of the types of electron-emitting devices described in Patent Documents 1 and 2, a large inrush current is caused to flow transiently during a certain period immediately after the start of driving, thereby increasing the amount of electron emission. It came to discover that it shows a peculiar phenomenon. The reason is that, immediately after the start of driving, the temperature rise due to Joule heat is low and the electrical resistance is low. Also, electrons are trapped (electron trap) in the electron acceleration layer made of an insulator, and the insulator is charged up. This may be due to the time required. Since it has also been experimentally confirmed that the total amount of electron emission is related to the lifetime of the device, a transient increase in the amount of electron emission immediately after the start of driving rapidly consumes the device lifetime. Become. For this reason, in order to realize a long lifetime of the device, it is necessary to suppress the transient increase in the amount of electron emission.

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、駆動開始時における突入電流を抑制して長寿命化を可能にする電子放出装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an electron emission device capable of suppressing the inrush current at the start of driving and extending the life.

本発明は、第1電極、第2電極及び前記第1電極と前記第2電極との間に積層された中間層を有する電子放出素子に対し、前記第1電極と前記第2電極との間に駆動電圧信号を印加することにより、前記第2電極から電子を放出させる電子放出装置において、前記電子放出素子の駆動開始時に、前記駆動電圧信号を漸次上昇させる駆動手段を備え、前記駆動電圧信号は、パルス列信号であり、前記駆動手段は、前記駆動開始時に前記パルス列信号の波高値を段階的に上昇させるものであることを特徴とするものである。 The present invention relates to an electron-emitting device having a first electrode, a second electrode, and an intermediate layer laminated between the first electrode and the second electrode, and between the first electrode and the second electrode. In the electron emission device that emits electrons from the second electrode by applying a drive voltage signal to the first electrode, the electron emission device further comprises drive means for gradually increasing the drive voltage signal at the start of driving of the electron-emitting device. Is a pulse train signal, and the drive means increases the peak value of the pulse train signal stepwise at the start of the drive.

この発明によれば、駆動開始時、すなわち初期期間に駆動電圧信号であるパルス列信号の波高値を段階的に上昇させることで、駆動開始時に中間層を流れる電流(素子内電流)の立ち上がりが抑制されて突入電流の発生が防がれる。これによって、駆動開始時から中間層を流れる素子内電流が低レベルに安定維持されると共に、無用な電子放出量が抑えられる。   According to the present invention, the rise of the current (in-element current) flowing through the intermediate layer at the start of driving is suppressed by increasing the peak value of the pulse train signal, which is the driving voltage signal, in a stepwise manner at the start of driving, that is, in the initial period. This prevents the inrush current from occurring. As a result, the current in the element flowing through the intermediate layer from the start of driving is stably maintained at a low level, and unnecessary electron emission is suppressed.

また、前記パルス列信号は、所定のデューティ比を有することを特徴とする。この構成によれば、所定のデューティ比を有するパルス列信号を駆動電圧信号として用いることで、電子放出が安定して行われる。   The pulse train signal has a predetermined duty ratio. According to this configuration, electron emission is stably performed by using a pulse train signal having a predetermined duty ratio as a drive voltage signal.

また、電源停止期間を計時する計時手段と、前記駆動電圧信号の上昇特性が前記電源停止期間の長さに対応して複数種類記憶された記憶手段と、前記計時手段の計時結果に対応した上昇特性を有する駆動電圧信号を選出する選出手段とを備えたものである。この構成によれば、中間層にトラップされた電子の抜ける量が、電源停止期間の長短に左右されて、次の駆動開始時での突入電流特性に変化が見られることから、電源停止期間長に対応する駆動電圧信号を複数設定し、適用することで、中間層を流れる素子内電流が低レベルに安定維持される。   In addition, a timing unit that counts the power supply stop period, a storage unit that stores a plurality of types of rising characteristics of the drive voltage signal corresponding to the length of the power supply stop period, and a rise corresponding to the timing result of the timing unit Selecting means for selecting a drive voltage signal having characteristics. According to this configuration, since the amount of electrons trapped in the intermediate layer is affected by the length of the power stop period, a change is seen in the inrush current characteristic at the start of the next drive. By setting and applying a plurality of drive voltage signals corresponding to the above, the element current flowing through the intermediate layer is stably maintained at a low level.

また、前記電子放出素子が、被帯電体である感光体に対向配置されたことを特徴とする。この構成によれば、電子放出装置を画像形成装置の帯電装置に適用することが可能となる。   In addition, the electron-emitting device is disposed so as to face a photoconductor as a member to be charged. According to this configuration, the electron emission device can be applied to the charging device of the image forming apparatus.

本発明によれば、駆動開始時における突入電流を抑制できる。 According to the present invention, inrush current at the start of driving can be suppressed.

第1の実施形態に係る電子放出装置と感光体との関係を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the relationship between the electron emission apparatus which concerns on 1st Embodiment, and a photoreceptor. 図1の電子放出装置の電源部の一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the power supply part of the electron emission apparatus of FIG. 図1の電子放出装置の制御部の一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the control part of the electron emission apparatus of FIG. (a)は駆動電圧信号Veの特性、その出力期間と休止期間との関係を示すタイムチャート、(b)は微粒子層を流れる素子内電流Idを示すタイムチャートである。(A) is a time chart showing the characteristics of the drive voltage signal Ve and the relationship between the output period and the rest period, and (b) is a time chart showing the in-element current Id flowing through the fine particle layer. (a)は駆動電圧信号であるパルス列信号の波高値の状況を示すタイムチャート、(b)はプリントタイミングを説明するタイムチャート、(c)は各パルスのデューティ比を説明する図である。(A) is a time chart which shows the state of the peak value of the pulse train signal which is a drive voltage signal, (b) is a time chart explaining print timing, (c) is a figure explaining the duty ratio of each pulse.

(第1実施形態)
図1に示す電子放出装置1は、電子を放出する電子放出素子10及び駆動部20を備えている。駆動部20は、電子放出素子10を駆動させるための制御を行う制御部30、制御部30からの制御信号等によって動作される電源部40を備えている。電源部40は、後述の駆動電圧信号を生成する駆動信号回路部41と、後述のバイアス電圧をPWM(Pulse Width Modulation)方式で生成するバイアス回路部42とを備えている。
(First embodiment)
An electron-emitting device 1 shown in FIG. 1 includes an electron-emitting device 10 that emits electrons and a drive unit 20. The drive unit 20 includes a control unit 30 that performs control for driving the electron-emitting device 10, and a power supply unit 40 that is operated by a control signal from the control unit 30. The power supply unit 40 includes a drive signal circuit unit 41 that generates a drive voltage signal described later, and a bias circuit unit 42 that generates a bias voltage described later by a PWM (Pulse Width Modulation) method.

電子放出素子10は、本実施形態では、電子写真プロセスの画像形成装置の一部を構成する、被帯電体である感光体100の表面に対向して配置される帯電装置として用いられる。電子放出素子10は、後述するように電子を放出することによって生じた負極性の酸素イオンを感光体100の表面に供給する。電子放出素子10は、感光体100の表面を均一帯電させるためのイオンを供給するイオン供給源として機能する。   In the present embodiment, the electron-emitting device 10 is used as a charging device that is disposed to face the surface of the photosensitive member 100 that is a member to be charged, which constitutes a part of an image forming apparatus for an electrophotographic process. The electron-emitting device 10 supplies negative surface oxygen ions generated by emitting electrons to the surface of the photoreceptor 100 as described later. The electron-emitting device 10 functions as an ion supply source that supplies ions for uniformly charging the surface of the photoreceptor 100.

駆動信号回路部41は、電子放出素子10を駆動させる駆動電圧信号を出力し、一方、バイアス回路部42は、駆動信号回路部41を介して、電子放出素子10全体を負極性の直流バイアス電圧でフロートする。すなわち、駆動電圧信号は負極性の直流バイアス電圧に重畳される。なお、駆動信号回路部41及びバイアス回路部42の詳細については後述する。   The drive signal circuit unit 41 outputs a drive voltage signal for driving the electron-emitting device 10, while the bias circuit unit 42 applies a negative DC bias voltage to the entire electron-emitting device 10 via the drive signal circuit unit 41. Float with. That is, the drive voltage signal is superimposed on the negative DC bias voltage. Details of the drive signal circuit unit 41 and the bias circuit unit 42 will be described later.

感光体100は、電子写真プロセスにおける像担持体として機能する。感光体100は、図面奥行き方向に軸を有する円筒形状を有し、軸周りに回転する。なお、電子写真プロセスの図示は省略するが、公知のように、感光体100の回転方向上流側には、図示しないクリーニング装置、除電装置が配設され、その下流側に電子放出素子10が配設される。さらに、電子放出素子10の下流側には、画像信号によって光変調されたレーザ光を照射して画像の静電潜像を形成するレーザ走査ユニット、さらにトナーを付着させて静電潜像を顕在化する現像部を備えている。顕在化されたトナー像は搬送部から搬送される記録紙上に転写され、定着部で定着されることでプリント処理が施される。また、画像形成装置のその他の構成も公知であるので、説明は省略する。   The photoreceptor 100 functions as an image carrier in an electrophotographic process. The photoreceptor 100 has a cylindrical shape having an axis in the depth direction of the drawing, and rotates around the axis. Although illustration of the electrophotographic process is omitted, as is well known, a cleaning device and a static eliminator (not shown) are disposed on the upstream side in the rotation direction of the photoreceptor 100, and the electron-emitting device 10 is disposed on the downstream side. Established. Further, on the downstream side of the electron-emitting device 10, a laser scanning unit that irradiates a laser beam light-modulated with an image signal to form an electrostatic latent image of the image, and further, an electrostatic latent image is made visible by attaching toner. A developing section is provided. The exposed toner image is transferred onto a recording sheet conveyed from the conveying unit, and is fixed by the fixing unit to be printed. Further, since other configurations of the image forming apparatus are also known, description thereof will be omitted.

制御部30は、好ましくはCPU(Central Processing Unit)を有するマイクロコンピュータで構成されている。制御部30は、D/Aポート(D/Aコンバータの出力端)を介して駆動信号回路部41に制御信号を出力する。また、制御部30は、バイアス回路部42にバイアス生成用の信号を出力する。   The control unit 30 is preferably composed of a microcomputer having a CPU (Central Processing Unit). The control unit 30 outputs a control signal to the drive signal circuit unit 41 via the D / A port (output terminal of the D / A converter). Further, the control unit 30 outputs a bias generation signal to the bias circuit unit 42.

電子放出素子10は、基板を兼ねる下部電極11と、導電体薄膜からなる上部電極12と、その間に電子加速層として機能する微粒子層13とを備えている。電子放出素子10は、帯電装置として機能するべく感光体100の軸長に相当する長さ寸法、及び感光体100の周方向に所定の幅寸法を有する。なお、下部電極11の下層には樹脂等の絶縁材からなる基板部材を、電子写真プロセス側との取付用として別途敷設する態様が好ましい。   The electron-emitting device 10 includes a lower electrode 11 that also serves as a substrate, an upper electrode 12 made of a conductive thin film, and a fine particle layer 13 that functions as an electron acceleration layer therebetween. The electron-emitting device 10 has a length corresponding to the axial length of the photoreceptor 100 and a predetermined width in the circumferential direction of the photoreceptor 100 so as to function as a charging device. In addition, it is preferable that a substrate member made of an insulating material such as a resin is separately laid on the lower layer of the lower electrode 11 for attachment to the electrophotographic process side.

微粒子層13は、導電体からなる抗酸化作用が強いナノサイズの導電性微粒子と、この導電性微粒子よりも大きいナノサイズの絶縁体物質(絶縁性微粒子)と、それらを固着する結着樹脂とを含む。絶縁性微粒子として、例えば二酸化ケイ素から形成されるシリカ微粒子を使用する場合、電子トラップ用として機能させることが可能となる。また、微粒子層13の構成はシロキサンから成るシリコーン樹脂と前述のナノサイズの導電性微粒子から成る構成でも、同様の機能を得ることができる。   The fine particle layer 13 is composed of a conductive nano-sized conductive fine particle having a strong antioxidant effect, a nano-sized insulating substance (insulating fine particle) larger than the conductive fine particle, and a binder resin for fixing them. including. For example, when silica fine particles formed of silicon dioxide are used as the insulating fine particles, it can function as an electron trap. The same function can be obtained even when the fine particle layer 13 is constituted by a silicone resin made of siloxane and the above-described nano-sized conductive fine particles.

上部電極12は、電子放射面となる。上部電極12は、電極としての機能と大気中での坑酸化機能とを有する材料であればよく、例えば金又はパラジウム等からなる金属膜が好ましい。なお、下部電極11の適所及び上部電極12の端部には電源部40からの出力信号線と接続する接点が形成されている。   The upper electrode 12 becomes an electron emission surface. The upper electrode 12 only needs to be a material having a function as an electrode and a function of oxidizing in the atmosphere. For example, a metal film made of gold or palladium is preferable. A contact point connected to the output signal line from the power supply unit 40 is formed at an appropriate position of the lower electrode 11 and an end portion of the upper electrode 12.

図2を用いて、電源部40の構成を説明する。駆動信号回路部41は、D/Aポート(図1参照)から出力された所定のデューティ比を有するパルス状の制御信号が入力される入力回路411と、絶縁回路412と、電子放出素子10を駆動する駆動電圧信号を出力する出力部としてのバッファ回路413及び反転増幅回路414とを備えている。入力回路411は、保護回路として機能するもので、入力される信号に対する電圧制限と電流制限用として機能する回路で構成されている。   The configuration of the power supply unit 40 will be described with reference to FIG. The drive signal circuit unit 41 includes an input circuit 411 to which a pulsed control signal having a predetermined duty ratio output from the D / A port (see FIG. 1) is input, an insulating circuit 412, and the electron-emitting device 10. A buffer circuit 413 and an inverting amplifier circuit 414 are provided as output units that output drive voltage signals to be driven. The input circuit 411 functions as a protection circuit, and includes a circuit that functions as a voltage limit and a current limit for an input signal.

絶縁回路412は、入力回路411とバッファ回路413側の回路とを電気的に絶縁すると共に、入力回路411に入力された制御信号をバッファ回路413に伝達する。絶縁回路412は、公知のようにトランス結合あるいは光学的な結合手段(フォトインターラプタ等)を介して1次側と2次側とを絶縁したものである。絶縁回路412は、1次側と2次側との絶縁及び十分な信号周波数帯域の特性を有するように設計されており、増幅機能は特に要しない。絶縁耐圧は、バイアス回路42側からの負極性のバイアス電圧(例えば、−600V)に耐える電圧(例えば、800V程度)であり、また、周波数帯域は、例えば5kHzのパルス列に対してデューティ制御を行なう場合では、50kHz程度あれば十分である。   The insulating circuit 412 electrically insulates the input circuit 411 and the circuit on the buffer circuit 413 side, and transmits a control signal input to the input circuit 411 to the buffer circuit 413. As is well known, the insulating circuit 412 insulates the primary side and the secondary side through transformer coupling or optical coupling means (photo interrupter or the like). The insulation circuit 412 is designed to have insulation between the primary side and the secondary side and sufficient signal frequency band characteristics, and does not require an amplification function. The withstand voltage is a voltage (for example, about 800V) that can withstand a negative bias voltage (for example, −600V) from the bias circuit 42 side, and the frequency band performs duty control for a pulse train of 5 kHz, for example. In some cases, about 50 kHz is sufficient.

バッファ回路413はオペアンプを備えた公知の等倍のアンプであり、絶縁回路412の出力信号をパルス列波形に成形する。反転増幅回路414は、オペアンプと、少なくとも反転入力端子に接続される入力抵抗と帰還抵抗とを備えた公知の反転増幅器である。反転増幅回路414のオペアンプは、例えば−24Vと+5Vの電源に接続され、さらに非反転入力端子に入力される±5Vの間のオフセット電圧を調整する構成を備えることで、0〜−20Vの波高レベルの駆動電圧信号(パルス列信号)を出力する。   The buffer circuit 413 is a known equal-magnification amplifier provided with an operational amplifier, and shapes the output signal of the insulating circuit 412 into a pulse train waveform. The inverting amplifier circuit 414 is a known inverting amplifier including an operational amplifier, an input resistor connected to at least an inverting input terminal, and a feedback resistor. The operational amplifier of the inverting amplifier circuit 414 is connected to, for example, a power supply of −24V and + 5V, and further has a configuration for adjusting an offset voltage between ± 5V input to the non-inverting input terminal, so that the wave height of 0 to −20V can be obtained. A level driving voltage signal (pulse train signal) is output.

バイアス回路部42は、PWM回路、及びトランス結合等の絶縁回路を含んだ直流高圧発生回路を含む。より具体的には、バイアス回路部42は、制御部30からの0,1信号から、例えば20kHzかつ対応するデューティのパルス信号(PWM信号)を生成するPWM回路と、PWM回路からの入力段にトランジスタ等のスイッチング素子を備えると共に、その出力が昇圧トランスの1次側に接続されて2次側に誘起された電圧を整流平滑する公知の整流平滑回路とを含む。PWM信号の周波数は例えば20kHzであり、デューティ比を調整することで、例えば−500V〜−800Vの範囲で直流のバイアス電圧を出力する。バイアス回路部42から出力されるバイアス電圧を駆動信号回路部41に印加することにより、電子放出素子10がバイアス電圧でフロートされる。負極性のバイアス電圧で電子放出素子10をフロートすることで、無限遠に対して電子放出素子10を負電位とした電界を生成し、上部電極12面に飛び出した放出電子を外方へ飛翔可能としている。   The bias circuit unit 42 includes a DC high-voltage generation circuit including a PWM circuit and an insulation circuit such as a transformer coupling. More specifically, the bias circuit unit 42 generates, for example, a 20 kHz and corresponding duty pulse signal (PWM signal) from the 0 and 1 signals from the control unit 30, and an input stage from the PWM circuit. A switching element such as a transistor is provided, and a known rectifying / smoothing circuit that rectifies and smoothes the voltage induced on the secondary side by connecting the output to the primary side of the step-up transformer. The frequency of the PWM signal is, for example, 20 kHz, and a DC bias voltage is output in the range of, for example, −500 V to −800 V by adjusting the duty ratio. By applying the bias voltage output from the bias circuit unit 42 to the drive signal circuit unit 41, the electron-emitting device 10 is floated with the bias voltage. By floating the electron-emitting device 10 with a negative bias voltage, an electric field with the electron-emitting device 10 having a negative potential with respect to infinity can be generated, and the emitted electrons that have jumped to the surface of the upper electrode 12 can fly outward. It is said.

電子放出素子10の下部電極11と上部電極12との間に、上部電極12が正極電位となるように駆動電圧信号が印加されると、下部電極11から供給される電子が微粒子層13を通過して上部電極12へ移動する際に、当該電子に何らかのエネルギーが与えられて電子が上部電極12から外方空間へ放出される。電子の放出によって負極性の酸素イオンが生じ、このイオンが感光体100に供給される。   When a drive voltage signal is applied between the lower electrode 11 and the upper electrode 12 of the electron emitter 10 so that the upper electrode 12 has a positive potential, electrons supplied from the lower electrode 11 pass through the fine particle layer 13. Then, when moving to the upper electrode 12, some energy is given to the electrons, and the electrons are emitted from the upper electrode 12 to the outer space. Electron emission generates negative oxygen ions, which are supplied to the photoreceptor 100.

電子放出に至る物理現象については、現時点で不明な点が多く推測の域を出ないが、微粒子層13を流れる電流によるジュール熱と、微粒子層13内に形成される局所的な強電界領域とが関わっていると予想される。一般的に、電子が固体内部から外部へ放出される物理機構として、熱電子放出、光電子放出、電界電子放出、及び二次電子放出等が知られている。熱電子放出は、フェルミ準位(ゼロKで電子が充たされている準位)と真空準位とのエネルギー障壁に相当するエネルギー(仕事関数)を熱により与えることで電子を真空中へ放出させる現象である。電界電子放出(冷電界電子放出)は、金属表面と真空との間に形成される電界強度を1×109V/m程度とし、エネルギー障壁を非常に薄くすることで、室温程度でもトンネル効果により電子を真空中へ放出させる現象である。この熱電子放出と電界電子放出とが混交した現象は熱電界放出と呼ばれ、電子放出素子の電子放出機構として最も妥当な機構と考えられる。すなわち、ジュール熱による見かけの仕事関数の低下と、強電界によるエネルギー障壁の低下及びトンネル現象とが合わさって、電子放出に至ると考えられる。   As for the physical phenomenon leading to electron emission, there are many unclear points at the present time, and there is no estimation, but the Joule heat caused by the current flowing through the fine particle layer 13 and the local strong electric field region formed in the fine particle layer 13 Is expected to be involved. Generally, thermionic emission, photoelectron emission, field electron emission, secondary electron emission, and the like are known as physical mechanisms by which electrons are emitted from the inside of the solid to the outside. Thermal electron emission emits electrons into the vacuum by applying energy (work function) corresponding to the energy barrier between the Fermi level (level filled with electrons at zero K) and the vacuum level by heat. It is a phenomenon to make. In the field electron emission (cold field electron emission), the electric field strength formed between the metal surface and the vacuum is set to about 1 × 10 9 V / m, and the energy barrier is made very thin. Is a phenomenon in which is released into a vacuum. This phenomenon in which thermionic emission and field electron emission are mixed is called thermal field emission, and is considered to be the most appropriate mechanism as the electron emission mechanism of the electron-emitting device. That is, it is thought that electron emission is caused by a combination of a decrease in the apparent work function due to Joule heat, a decrease in the energy barrier due to a strong electric field, and a tunnel phenomenon.

図3において、制御部30は、外部より操作可能な操作部31と、記憶部32とを備える。操作部31は、マウス、キーボード、又はタッチパネルから構成され、外部より入力操作、例えば電源のオンオフやプリント指示等を行うものである。記憶部32は、制御プログラムや必要なデータ類を格納するROM部及び処理途中のデータを一時的に格納するRAM部を備えている。制御信号記憶部321は、D/Aポートから出力される制御信号であるパルス列信号の波高値データを電子放出装置1の起動時時点から所定時間分、順番に記憶したテーブルである。   In FIG. 3, the control unit 30 includes an operation unit 31 that can be operated from the outside, and a storage unit 32. The operation unit 31 includes a mouse, a keyboard, or a touch panel, and performs an input operation from the outside, for example, power on / off, a print instruction, and the like. The storage unit 32 includes a ROM unit that stores a control program and necessary data, and a RAM unit that temporarily stores data being processed. The control signal storage unit 321 is a table that sequentially stores peak value data of a pulse train signal, which is a control signal output from the D / A port, for a predetermined time from the time when the electron emission device 1 is activated.

制御部30は、制御プログラムが起動することによって、制御信号出力処理部301及びバイアス電圧出力処理部302として機能する。制御信号出力処理部301は、プリント動作が指示されて電子放出装置1が駆動を開始すると、すなわち1枚目からのプリント動作が開始されるとき、制御信号記憶部321から波高値データを所定の時間幅(周期)で順番に読み出す処理を行う。バイアス電圧出力処理部302は、プリント動作期間、バイアス電圧を生成する信号を出力する処理を行う。   The control unit 30 functions as a control signal output processing unit 301 and a bias voltage output processing unit 302 when the control program is activated. When the printing operation is instructed and the electron emission device 1 starts driving, that is, when the printing operation from the first sheet is started, the control signal output processing unit 301 receives the peak value data from the control signal storage unit 321 in a predetermined manner. The process of reading in order by time width (cycle) is performed. The bias voltage output processing unit 302 performs a process of outputting a signal for generating a bias voltage during the printing operation period.

制御信号記憶部321からの波高値データの読み出しは、例えば5KHzに対応する周期で、かつ所定のデューティ比(例えば50%)となる時間幅で順番に読み出すことで行われて、D/Aポートからパルス列信号として出力される。各パルスのオン時間の制御は、5KHzよりも高周波の基準クロックをデューティ比に対応した値だけカウントすることで行うことができる。   Reading of the peak value data from the control signal storage unit 321 is performed by sequentially reading with a time width corresponding to a predetermined duty ratio (for example, 50%) at a period corresponding to, for example, 5 KHz, and the D / A port Is output as a pulse train signal. The ON time of each pulse can be controlled by counting a reference clock having a frequency higher than 5 KHz by a value corresponding to the duty ratio.

図4は、駆動電圧信号Veの特性、その出力期間と休止期間との関係、及び微粒子層13を流れる素子内電流Idとの関係を示し、図5は、駆動電圧信号であるパルス列信号の波高値の調整とプリントタイミングとの関係を示すタイムチャートである。   FIG. 4 shows the characteristics of the drive voltage signal Ve, the relationship between the output period and the rest period, and the relation between the element current Id flowing through the fine particle layer 13, and FIG. 5 shows the wave of the pulse train signal that is the drive voltage signal. 6 is a time chart showing the relationship between high value adjustment and print timing.

まず、図4に示すように、駆動電圧信号Veは、駆動開始時点t11から上昇され、所定の出力時間だけ経過した時点t12で休止期間T1に入り、期間T1経過すると(時点t21)、引き続いて出力される。以降、出力期間と休止期間とが繰り替えされる。このように、出力期間と休止期間T1とを設けることで、電子放出効率が安定する。これは、電子加速層として機能する微粒子層13に電子を加速させる電界が印加されない時間(休止期間T1)を設けることで、電子加速層に捕獲された電子が除去、すなわち消失させることができると考えられることによる。   First, as shown in FIG. 4, the drive voltage signal Ve rises from the drive start time t11, enters the pause period T1 at a time t12 when a predetermined output time elapses, and then continues when the period T1 elapses (time t21). Is output. Thereafter, the output period and the pause period are repeated. Thus, the electron emission efficiency is stabilized by providing the output period and the pause period T1. This is because, by providing the fine particle layer 13 functioning as an electron acceleration layer with a time during which the electric field for accelerating electrons is not applied (resting period T1), the electrons trapped in the electron acceleration layer can be removed, that is, lost. It depends on what is considered.

また、図4(b)に波線で示すように、微粒子層13を流れる素子内電流Idは、駆動電圧信号のレベルを固定にした場合、駆動開始期間に破線で示すような突入電流id’が流れて、電子放出量を勢い増大させる。そこで、図4(a)に示すように、駆動開始期間に駆動電圧信号のレベルを漸次上昇するように調整することで、微粒子層13を流れる素子内電流Idを安定電流idに制御するようにしている。駆動開始期間から安定電流idの制御を行うことで、無用な電子放出量Ieを抑制でき、また、感光体100上の均一帯電も可能となる。駆動電圧信号のレベルの上昇特性は、経験的乃至は実験から予め設定することが可能である。   Further, as indicated by the wavy line in FIG. 4B, the in-element current Id flowing through the fine particle layer 13 has an inrush current id ′ as indicated by a broken line during the drive start period when the level of the drive voltage signal is fixed. Flow to increase the amount of electron emission. Therefore, as shown in FIG. 4A, the in-element current Id flowing through the fine particle layer 13 is controlled to the stable current id by adjusting the level of the drive voltage signal to gradually increase during the drive start period. ing. By controlling the stable current id from the drive start period, the unnecessary electron emission amount Ie can be suppressed, and uniform charging on the photoconductor 100 is also possible. The rising characteristic of the level of the drive voltage signal can be set in advance from experience or experiment.

図5は、駆動電圧信号をパルス列信号として示した、より具体的なタイムチャートで、パルス列信号P1,P2,P3…は、それらの波高値e1,e2,e3…が漸次上昇する様子を示している。期間T0は、図5(b)に示すように、1枚分のプリント期間を示し、本実施形態では、3枚分のプリント期間(3×T0)、すなわち出力期間を経て、1回の休止期間T1が介在するように周期が設定されている。なお、T0=T1であってもよい。また、図5(c)に示すように、パルス信号Piは、周期τ0で、オン期間τ1が周期τ0の1/2、すなわちデューティ比50%である。   FIG. 5 is a more specific time chart showing the drive voltage signal as a pulse train signal. The pulse train signals P1, P2, P3... Show how their peak values e1, e2, e3. Yes. As shown in FIG. 5B, the period T0 indicates a print period for one sheet. In the present embodiment, one pause is performed after a print period for three sheets (3 × T0), that is, an output period. The period is set so that the period T1 is interposed. Note that T0 = T1 may be satisfied. Further, as shown in FIG. 5C, the pulse signal Pi has a period τ0 and the ON period τ1 is ½ of the period τ0, that is, the duty ratio is 50%.

プリント指示枚数が4枚以上の場合には、図5(a)、(b)に示すようにして、パルス列信号が出力され、一方、プリント指示枚数が例えば1枚の場合には、最初のT0期間のパルス列信号で動作が終了することになる。また、駆動開始後の過渡期間に出力するパルス列信号の個数は膨大となることから、データ量の低減を図るべく数周期分ずつ同一の波高値を適用する態様としてもよい。さらに、駆動開始の過渡期間が経過した後は、定常動作に移行したとして、予め設定された固定のパルス列信号の波高値を用いればよい。   When the number of print instructions is four or more, a pulse train signal is output as shown in FIGS. 5A and 5B. On the other hand, when the number of print instructions is one, for example, the first T0 is output. The operation ends with the pulse train signal of the period. Further, since the number of pulse train signals output in the transition period after the start of driving becomes enormous, the same peak value may be applied for several cycles in order to reduce the amount of data. Furthermore, after the transition period of the drive start has passed, the peak value of a fixed pulse train signal set in advance may be used on the assumption that the operation has shifted to a steady operation.

(第2実施形態)
なお、第1実施形態では、パルスのデューティ比を50%として説明したが、この値は他の値でもよい。また、第2実施形態として、複数種類のデューティ比のパルス列信号を使用してもよい。すなわち、画像形成装置の直前の電源オフから電源オンまでの経過時間を計時する計時部33を設ける。そして、制御信号記憶部321は、直前の電源オフから電源オンまでの時間に対応した複数種類の上昇特性を有するパルス列信号のデータテーブルを選択可能に格納する。複数種類の上昇特性を有するパルス列信号のデータは、各要素、例えば波高値やその変化勾配の異なるものの他、デューティ比の異なるもの(例えば25%、50%、75%など)、また各要素を組み合わせて異なるようにしたものが採用可能である。これは、デューティ比によっても電子放出素子10から得られるイオン供給量が制御できることによる。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the pulse duty ratio has been described as 50%, but this value may be other values. In the second embodiment, pulse train signals having a plurality of types of duty ratios may be used. That is, a timer 33 is provided for measuring the elapsed time from power-off immediately before the image forming apparatus to power-on. The control signal storage unit 321 stores a selectable pulse train signal data table having a plurality of types of rising characteristics corresponding to the time from the previous power-off to the power-on. The data of the pulse train signal having a plurality of types of rising characteristics is not limited to each element, for example, those having different peak values and their changing gradients, those having different duty ratios (for example, 25%, 50%, 75%, etc.) A combination of different combinations can be used. This is because the ion supply amount obtained from the electron emitter 10 can be controlled also by the duty ratio.

(第3実施形態)
また、本実施形態では、波高値が漸次上昇するパルス列信号を用いたが、第3実施形態として、上部電極12の電流を計測し、計測電流値に従って実験から予め得た閾値と大小比較することで、計測電流が閾値に一致するように波高値およびデューティ比の少なくとも一方を調整するようにしてもよい。この場合、予め閾値との差分に対応して実験的に得たパルス列信号のデータを制御信号記憶部321に格納しておくことで対応可能である。
(Third embodiment)
In this embodiment, a pulse train signal whose peak value gradually increases is used. However, as the third embodiment, the current of the upper electrode 12 is measured and compared with a threshold value obtained in advance from an experiment according to the measured current value. Thus, at least one of the peak value and the duty ratio may be adjusted so that the measurement current matches the threshold value. In this case, it is possible to cope with this by storing in advance in the control signal storage unit 321 pulse train signal data experimentally obtained corresponding to the difference from the threshold.

また、前記の実施形態では各パルスの波高値データを駆動信号記憶部321に記憶し、所定周期で、かつデューティ比に対応した所定期間だけ読み出して、D/Aポートからパルス列信号として出力するようにしたが、これに代えて、理論的にはCR時定数回路で構成し、出力波形をパルス成形する回路を設けるようにしてもよい。この場合、各パルスの駆動電圧データは積分時間データとなる。   Further, in the above-described embodiment, the peak value data of each pulse is stored in the drive signal storage unit 321, read out for a predetermined period corresponding to the duty ratio, and output as a pulse train signal from the D / A port. However, instead of this, theoretically, a CR time constant circuit may be used, and a circuit for pulse shaping the output waveform may be provided. In this case, the drive voltage data of each pulse is integration time data.

また、前記の実施形態では、電子放出装置1を電子写真方式の画像形成装置の感光体表面を帯電させる帯電装置に適用するものとして説明したが、その他に、電子線硬化装置、発光体と組み合わせることによる画像表示装置、あるいは放出された電子が発生させるイオン風を利用するイオン風発生装置等に適用することも可能である。   In the above-described embodiment, the electron emission device 1 is described as being applied to a charging device that charges the surface of a photoreceptor of an electrophotographic image forming apparatus. However, the electron emission device 1 is combined with an electron beam curing device and a light emitter. It is also possible to apply to an image display device or an ion wind generator using an ion wind generated by emitted electrons.

また、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   In addition, the description of the above-described embodiment is an example in all respects, and should be considered not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

1 電子放出装置
10 電子放出素子
20 駆動部(駆動手段)
30 制御部(駆動手段の一部)
31 制御信号出力処理部(駆動手段の一部、選出手段)
321 制御信号記憶部(記憶手段)
33 計時部(計時手段)
40 電源回路部(駆動手段の一部)
41 駆動信号回路部(駆動手段の一部)
42 バイアス回路部(駆動手段の一部)
100 感光体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electron emission apparatus 10 Electron emission element 20 Drive part (drive means)
30 Control part (part of driving means)
31 Control signal output processor (part of drive means, selection means)
321 Control signal storage unit (storage means)
33 Timekeeping (Timekeeping means)
40 Power supply circuit (part of drive means)
41 Drive signal circuit section (part of drive means)
42 Bias circuit (part of drive means)
100 photoconductor

Claims (3)

第1電極、第2電極及び前記第1電極と前記第2電極との間に積層された中間層を有する電子放出素子に対し、前記第1電極と前記第2電極との間に駆動電圧信号を印加することにより、前記第2電極から電子を放出させる電子放出装置において、
駆動手段、計時手段、記憶手段、及び選出手段を備え、
前記駆動手段は、前記駆動電圧信号を出力するものであり、
前記駆動電圧信号は、パルス列信号であり、
前記駆動手段は、前記電子放出素子の駆動開始時に前記パルス列信号の波高値を徐々に上昇させるものであって、前記上昇の途中に前記パルス列信号の生成を所定時間中断する休止期間を設け、前記休止期間経過後に引き続いて上昇させるものであり、
前記計時手段は、電源停止期間を計時するものであり、
前記記憶手段は、前記駆動電圧信号の上昇特性が前記電源停止期間の長さに対応して複数種類記憶されたものであり、
前記選出手段は、前記計時手段の計時結果に対応した上昇特性を有する駆動電圧信号を選出するものであることを特徴とする電子放出装置。
A driving voltage signal between the first electrode and the second electrode for an electron-emitting device having a first electrode, a second electrode, and an intermediate layer stacked between the first electrode and the second electrode. In the electron emission device for emitting electrons from the second electrode by applying
A driving means, a timing means, a storage means, and a selection means,
The drive means outputs the drive voltage signal ,
The drive voltage signal is a pulse train signal;
The driving means gradually increases the peak value of the pulse train signal at the start of driving of the electron-emitting device, and provides a pause period during which the generation of the pulse train signal is interrupted for a predetermined time in the middle of the increase, It will continue to rise after the rest period ,
The time measuring means is for measuring a power stop period,
The storage means stores a plurality of types of rising characteristics of the drive voltage signal corresponding to the length of the power supply stop period,
The electron emission apparatus according to claim 1, wherein the selection means selects a drive voltage signal having a rising characteristic corresponding to a time measurement result of the time measurement means .
前記パルス列信号は、所定のデューティ比を有することを特徴とする請求項1に記載の電子放出装置。   2. The electron emission device according to claim 1, wherein the pulse train signal has a predetermined duty ratio. 前記電子放出素子が、被帯電体である感光体に対向配置されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子放出装置。 The electron-emitting device according to claim 1 , wherein the electron-emitting device is disposed to face a photosensitive member that is a charged body .
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