JP6460501B2 - 電子ビーム装置 - Google Patents
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Description
実施の形態1にかかる電子ビーム装置について説明する。ここでは、電子ビーム装置の一例である電子ビーム溶接装置100について説明する。電子ビーム溶接装置100は、所定の位置で真空ポンプによる排気を行うことで、フィラメントの寿命を延伸させることができる電子ビーム装置として構成される。図1は、実施の形態1にかかる電子ビーム溶接装置100の構成を模式的に示す断面図である。図1では、紙面水平方向をX方向、紙面鉛直方向をZ方向としている。
実施の形態2にかかる電子ビーム装置のフィラメント200について説明する。フィラメント200は、実施の形態にかかるフィラメント111の具体例である。図5は、実施の形態2にかかる電子ビーム装置のフィラメント200を斜め上方より俯瞰した斜視図である。図6は、実施の形態2にかかる電子ビーム装置のフィラメント200を斜め下方より見上げた斜視図である。フィラメント200は、リボン状の金属部材1を折り曲げて形成されている。フィラメント200は、Y軸に沿った方向(Y方向)から見た場合、Z軸を中心として線対称の構成を有する。なお、以下では、Z軸に沿った方向(Z方向)を第1の方向とも称し、X軸に沿った方向(X方向)を第2の方向とも称する。
mm以上0.5mm以下とする必要がある。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、 上述では、金属部材1の材質として、タングステン、レニウム−タングステン合金、カリウム添加タングステンのいずれかを用いることができるものとして説明した。しかし、上述のように、金属部材1の曲げ加工を行うことを考慮すると、カリウム添加タングステンは、金属部材1の脆性を軽減し、曲げ加工によるクラックの発生を抑制することができる。よって、曲げ加工に対する親和性の観点からは、金属部材1にカリウム添加タングステンを用いることが有利である。また、カリウム添加タングステンは、純タングステンやレニウム−タングステン合金に比べた安価であり、コスト面からも有利である。
2 平坦部
2A 平坦面
4、6 治具
5、7 ポンチ
10、20 折り曲げ部
11、21 アーム部
12、22 端部
13、23 角部
30 電子ビーム
31 真空チャンバ
32 電源
33 グリッド
34 アノード
35 アライメントコイル
36 レンズコイル
37 偏向コイル
38 真空ポンプ
39 溶融金属部
40 開口
41 底部
42、45 凹部
42A、45A 曲面
43、46 支持部
43A、46A 曲面
44、47 側面部
44A、47A 側面
51 軸部
52 錐形部
53 底面
54、55 曲面
56、57 張り出し部
100 電子ビーム溶接装置
110 電子銃部
111 フィラメント
112 グリッド
113 アノード
114 アライメントコイル
115 レンズコイル
116 偏向コイル
117 オリフィス
118 真空バルブ
120 試料室
130 DC電源
140 電子ビーム
141 溶融金属部
151、152、153 開口部
161、163 開口
162、164 ターボ分子ポンプ(TMP)
165 メカニカルブースターポンプ(MP)
166 ロータリーポンプ(RP)
170〜172 陽イオン
200、300 フィラメント
210 電子ビーム溶接装置
250 フィラメント製造装置
VC1〜VC3 真空チャンバ
W1、W2 部材
Claims (5)
- 電子ビームを生成する電子銃部と、
前記電子ビームが照射される対象物が配置される試料室と、
電子銃部を排気する第1の真空ポンプ及び第2の真空ポンプと、を備え、
前記電子銃部は、
前記第1の真空ポンプによって排気される第1の真空チャンバと、
前記第1の真空チャンバと第1の開口を介して連結され、かつ、前記試料室と連結され、前記第2の真空ポンプによって排気される第2の真空チャンバと、
前記第1の真空チャンバ内に配置され、熱電子を放出するカソードと、
前記第2の真空チャンバ内に配置され、前記第1の開口を介して熱電子を導いて電子ビームを生成するアノードと、を備える、
電子ビーム装置。 - 前記第2の真空チャンバは、少なくとも前記電子ビームが前記対象物に照射されているときに、前記第2の真空ポンプにより排気される、
請求項1に記載の電子ビーム装置。 - 前記アノードの前記対象物側に、前記電子ビームが通過可能に配置されたオリフィスを更に備える、
請求項1又は2に記載の電子ビーム装置。 - 前記対象物は、前記電子ビームが照射されることで、前記対象物を構成する原子に由来する陽イオンを放出する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子ビーム装置。 - 前記対象物は複数の部材からなり、前記電子ビームが照射されることで前記複数の部材が溶接される、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
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JP2018020633A JP6460501B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 電子ビーム装置 |
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JP2018020633A JP6460501B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 電子ビーム装置 |
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JP2014105781A Division JP6296545B2 (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 電子ビーム装置、電子ビーム用フィラメントの製造装置及び製造方法 |
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JP2018085351A JP2018085351A (ja) | 2018-05-31 |
JP6460501B2 true JP6460501B2 (ja) | 2019-01-30 |
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JP2018020633A Active JP6460501B2 (ja) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | 電子ビーム装置 |
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JP3827359B2 (ja) * | 1996-03-19 | 2006-09-27 | 富士通株式会社 | 荷電粒子ビーム露光方法及びその装置 |
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2018
- 2018-02-08 JP JP2018020633A patent/JP6460501B2/ja active Active
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