JP6443018B2 - Wet processing equipment - Google Patents

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Description

本発明は、ロールに巻かれたフィルムや金属箔などのウェブ状の処理対象物を、ウェット処理するためのロールトゥロール方式のウェット処理装置に関する。   The present invention relates to a roll-to-roll wet processing apparatus for wet processing a web-like processing object such as a film or metal foil wound around a roll.

フィルムや金属箔などのウェブの処理装置において、その処理装置の内部のパスが長くなると、ウェブに駆動力を伝える駆動ロールから離れるにつれてウェブのテンションが低下することで、ウェブとロール間の摩擦が低下し、滑りが生じるため、ウェブの蛇行や弛みなどの搬送不良が発生する。   In a web processing apparatus such as a film or a metal foil, when the path inside the processing apparatus becomes long, the tension of the web decreases as it moves away from the driving roll that transmits the driving force to the web. Lowering and slipping cause poor conveyance such as web meandering or slack.

ウェブの蛇行や弛みを防止する方法としては、駆動ロールから離れたフリーロールに駆動力を与えることで回避する技術が開示されている。   As a method of preventing the meandering and slack of the web, a technique for avoiding it by applying a driving force to a free roll separated from the driving roll is disclosed.

例えば、特許文献1には、電磁クラッチを用いてフリーロールに駆動力を与えるウェブの搬送方法および装置が開示されている。しかしながら、電磁クラッチに電力を供給し制御することから、電磁クラッチなどを防水且つ耐薬品性の仕様にする必要があり、装置費用が増加する問題があった。   For example, Patent Document 1 discloses a web conveying method and apparatus that applies a driving force to a free roll using an electromagnetic clutch. However, since electric power is supplied to and controlled by the electromagnetic clutch, it is necessary to make the electromagnetic clutch or the like waterproof and chemical resistant, which increases the cost of the apparatus.

特許第2767932号公報Japanese Patent No. 2767932

上記の問題点に鑑み、本発明は、機構が単純で防水仕様などの特別な対策が不要なウェブのテンション制御機構を備えたウェット処理装置を提供することを課題とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a wet processing apparatus including a web tension control mechanism that has a simple mechanism and does not require special measures such as waterproof specifications.

上記の課題を解決する手段として、請求項1に記載の発明は、ロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、少なくともウェット処理部と、モーターと、前記モーターに連結したドライブシャフトと、複数の駆動ロールと、駆動ロールを受ける軸受けとを有し、前記複数の駆動ロールが前記ドライブシャフトに設けた複数の摩擦クラッチの各々と連接されて駆動するウェット処理装置において、前記駆動ロールのトルクと回転数を調整する摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフトの外側にコイルバネを同心円状に装着し、前記シャフトに装着した押板を前記コイルバネをシャフトの軸方向に沿って位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することを特徴とするウェット処理装置である。 As means for solving the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is a roll-to-roll wet processing apparatus , comprising at least a wet processing unit, a motor, a drive shaft connected to the motor, and a plurality of drive processing units. In a wet processing apparatus having a drive roll and a bearing for receiving the drive roll, wherein the plurality of drive rolls are connected to and driven by each of a plurality of friction clutches provided on the drive shaft, torque and rotation of the drive roll The means for pressing the friction plate for adjusting the number is formed by concentrically mounting a coil spring on the outer side of the cylindrical shaft, and by changing the position of the pressing plate mounted on the shaft along the axial direction of the shaft. a wet processing apparatus characterized that you adjust the force applied to the friction plates.

また、請求項に記載の発明は、前記駆動ロールのトルクと回転数を調整するため、前記摩擦板押圧する手段が、円筒状のシャフト1の外側にコイルバネ(k1)を同心円状に装着し、シャフト1の内側にシャフト2を備え、シャフト1とシャフト2の間に同心円状に装着したコイルバネ(k2)を配置した二重のコイルバネにおいて、それぞれ独立にシャフト1および2の軸方向に沿って、各々のコイルバネに備えられた押板1と押板2の位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することであることを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置である。 The invention according to claim 2, for adjusting the rotational speed and torque of the drive roll, means for pressing the friction Kosuita is concentric coil spring (k1) to the outside of the cylindrical sheet Yafuto 1 attached to, shea Yafuto comprises a sheet Yafuto 2 inside the 1, shea Yafuto 1 and the double coil spring arranged coil spring (k2) mounted concentrically between the sheet Yafuto 2, shea independently Yafuto 1 and along the second axial, claims, characterized in that the Rukoto changing the position of the push plate 1 and the push plate 2 provided to each of the coil spring, it is to adjust the force applied to the friction plates The wet processing apparatus according to 1.

本発明のウェット処理装置によれば、ウェット処理部においてもウェブのテンションの低下が起こらず、ウェブの蛇行や弛みといった搬送不良が発生しなくなる。 According to the wet processing apparatus of the present invention, the web tension does not decrease even in the wet processing section, and the conveyance failure such as the meandering and slacking of the web does not occur.

本発明のウェット処理装置の構成の一例を示す概略説明図。Schematic explanatory drawing which shows an example of a structure of the wet processing apparatus of this invention. 本発明のウェット処理装置で使用するウェブのテンション制御機構の構成の一例を示す概略説明図。Schematic diagram illustrating an example of the configuration of the tension control Organization of the web to be used in the wet treatment apparatus of the present invention. 本発明のウェット処理装置で使用する軸受の構成の一例を示す概略説明図。Schematic explanatory drawing which shows an example of a structure of the bearing used with the wet processing apparatus of this invention. 本発明のウェット処理装置で使用する軸受の構成の別の一例を示す概略説明図 Schematic explanatory drawing which shows another example of a structure of the bearing used with the wet processing apparatus of this invention .

本発明のウェット処理装置を、図1〜を用いて説明する。
本発明はロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、ロールに巻かれた長尺状の被処理物であるウェブを巻き出しロールから巻き出すための巻き出し部と、巻き出されたウェブを洗浄、現像、エッチング、レジスト剥離、水きり、その他のウェット処理するためのウェット処理部と、処理されたウェブを巻き取りロールに巻き取るための巻取り部を備えている。
The wet treatment apparatus of the present invention will be described with reference to FIG 1-4.
The present invention is a roll-to-roll wet processing apparatus, and includes an unwinding unit for unwinding a web, which is a long object to be processed wound on a roll, from an unwinding roll, and an unwound web A wet processing section for cleaning, developing, etching, resist stripping, draining, and other wet processing, and a winding section for winding the processed web on a winding roll are provided.

ウェット処理部には、複数の駆動ロールが備えられており、各々の駆動ロールには、それぞれ駆動ロールのトルクおよび回転数を調整して、ウェブのテンションを制御するための摩擦クラッチが連接されており、動力源であるモータからの動力を駆動ロールに伝えている。   The wet processing unit is provided with a plurality of drive rolls, and each drive roll is connected with a friction clutch for controlling the tension of the drive roll and controlling the tension of the web. The power from the motor as a power source is transmitted to the drive roll.

<ウェット処理装置の構成とその処理内容について>
図1は、本発明のウェット処理装置の全体構成の一例を説明するための概略説明図であり、巻き出し部とウェット処理部と巻き取り部から構成された最も基本的な構成を示したものである。
<Configuration of wet processing equipment and details of its processing>
FIG. 1 is a schematic explanatory diagram for explaining an example of the overall configuration of the wet processing apparatus according to the present invention, and shows the most basic configuration including an unwinding unit, a wet processing unit, and a winding unit. It is.

それぞれの構成要素には、巻き出しロール、駆動ロール、ダンサーロール、フリーロール、巻き取りロール、などの各種のロールが備えられている。巻き出しロール、フリーロ
ールは、駆動力を持たないロールであり、その他のロールは制御された駆動力が伝達される駆動ロールである。
Each component is provided with various rolls such as an unwinding roll, a driving roll, a dancer roll, a free roll, and a winding roll. The unwinding roll and the free roll are rolls having no driving force, and the other rolls are driving rolls to which a controlled driving force is transmitted.

まず、巻き出しロールから巻き出されたウェブは、最初のフリーロールを経て、次のフリーロールに至る。このフリーロールには駆動ロールがウェブを挟む形で接しており、巻き出しロールからウェブを巻き出す力をウェブに与えている。図1では、このロールを駆動ロールとして示している。この巻き出し用の駆動ロールの駆動系は、ウェット処理部の駆動ロールを駆動する駆動系とは別の駆動系になっている。   First, the web unwound from the unwinding roll passes through the first free roll and reaches the next free roll. The drive roll is in contact with the free roll in a form that sandwiches the web, and gives the web a force to unwind the web from the unwind roll. In FIG. 1, this roll is shown as a drive roll. The drive system for the unwinding drive roll is a drive system different from the drive system for driving the drive roll of the wet processing unit.

次に、ウェブはダンサーロール1を経て、巻き出し部の中のウェット処理部に最も近い部位に備えられた駆動ロールに至る。ダンサーロール1は、ダンサーロール1制御装置によって制御され、その位置を移動することによってウェブのテンションを調整する。前記の駆動ロールは、ウェット処理部の内部にある駆動ロールと同じ駆動系に属し、そのトルクと回転数が制御されている。   Next, the web passes through the dancer roll 1 and reaches a drive roll provided at a position closest to the wet processing section in the unwinding section. The dancer roll 1 is controlled by the dancer roll 1 control device and adjusts the web tension by moving its position. The drive roll belongs to the same drive system as the drive roll inside the wet processing unit, and its torque and rotation speed are controlled.

次に、ウェブはウェット処理部に入り、ウェット処理部の中で、前段の巻き出し部に最も近い一番目の駆動ロールに至る。この段階では、ウェブはウェット処理部に貯留されている液体には浸からない位置にある。   Next, the web enters the wet processing section and reaches the first driving roll closest to the unwinding section in the previous stage in the wet processing section. At this stage, the web is in a position where it is not immersed in the liquid stored in the wet processing section.

次に、ウェブはウェット処理部の二番目の駆動ロールに至る。この二番目の駆動ロールは、液体に浸かる位置に備えられている。   Next, the web reaches the second drive roll of the wet processing section. The second drive roll is provided at a position to be immersed in the liquid.

次に、ウェブは第三の駆動ロールに至る。この駆動ロールは、第一の駆動ロールと同様に液体に浸からない位置に備えられている。このようにして、ウェブはウェット処理部に貯留されている液体に浸ることにより、処理され、巻き取り部に向かう。   The web then reaches the third drive roll. This drive roll is provided at a position where it is not immersed in the liquid, like the first drive roll. In this way, the web is processed by dipping in the liquid stored in the wet processing section and heads for the winding section.

巻き取り部に入ったウェブは、まず最初に、図示していない駆動ロールに至る。この駆動ロールはウェット処理部の駆動ロールと同じ駆動系によって制御され、そのトルクと回転数が制御されている。   The web that has entered the winding unit first reaches a driving roll (not shown). This drive roll is controlled by the same drive system as the drive roll of the wet processing unit, and its torque and rotational speed are controlled.

次に、ダンサーロールを経て、その次のフリーロールを経て、更にその次のフリーロールを経て、巻き取りロールに巻き取られる。巻き取りロールは、ウェブが巻き取られて行くに連れて、その巻き取り位置の半径が増えて行っても、送られてくるウェブの速度と同じ巻き取り速度になるように、その回転数が制御される。   Next, it passes through a dancer roll, passes through the next free roll, passes through the next free roll, and then is wound on a take-up roll. As the web is wound up, the winding roll has its rotational speed so that the winding speed becomes the same as the speed of the fed web even if the radius of the winding position increases. Be controlled.

巻き取り部にあるダンサーロール2は、ダンサーロール2制御装置によって制御され、その位置を移動することによってウェブのテンションを調整する。   The dancer roll 2 in the winding part is controlled by the dancer roll 2 control device, and adjusts the tension of the web by moving its position.

以上に説明したように、本発明のウェット処理装置においては、ウェット処理部の駆動ロールのトルクと回転数を、ウェブのテンションが低下しないように制御することにより、ウェブとロール間の摩擦が小さくなり過ぎることにより発生するウェブの蛇行や弛みなどの搬送不良が発生することを防止することが可能である。   As described above, in the wet processing apparatus of the present invention, the friction between the web and the roll is reduced by controlling the torque and the rotational speed of the driving roll of the wet processing unit so that the tension of the web does not decrease. It is possible to prevent the occurrence of conveyance failure such as meandering or slacking of the web that occurs due to becoming too much.

<駆動ロールの制御について>
図2に示す様に、本発明のウェット処理装置の駆動ロールのトルクと回転数の制御について説明する。本発明のウェット処理装置では、ウェット処理部などの駆動ロールのトルクと回転数の制御には、動力源であるモータからの動力を伝えるドライブシャフトを摩擦クラッチに接続する事によって、モータから伝達されるトルクや回転数を制御可能にしている。
<Control of drive roll>
As shown in FIG. 2, the control of the torque and the rotational speed of the drive roll of the wet processing apparatus of the present invention will be described. In the wet processing apparatus of the present invention, the torque and rotational speed of the drive roll such as the wet processing unit are transmitted from the motor by connecting a drive shaft that transmits power from the motor that is a power source to the friction clutch. Torque and rotation speed can be controlled.

具体的には、駆動ロールを駆動するためのモータからの動力を伝達するドライブシャフトを摩擦クラッチに接続し、モータからの動力を駆動ロールにチェーンなどを介して伝達するためのスプロケット側に動力を伝達する。その際に、軸受の内部における2枚の摩擦板間の押圧力を加減することにより、駆動ロールの回転トルクおよび回転数を制御することを可能としている。2枚の摩擦板とは、モータに連接したドライブシャフトのモータ側に設けられた摩擦板とモータからの動力を駆動ロールに伝達するためのスプロケット側に設けられた摩擦板であり、それらの摩擦板のいずれか一方をもう一方の摩擦板に押圧することにより、駆動ロールのトルクと回転数を制御することを可能としている。 Specifically, a drive shaft that transmits power from the motor for driving the drive roll is connected to a friction clutch, and power is transmitted to the sprocket for transmitting power from the motor to the drive roll via a chain or the like. introduce. At that time, by adjusting the pressing force between the two friction plates inside the bearing , it is possible to control the rotational torque and the rotational speed of the drive roll. The two friction plates are a friction plate provided on the motor side of the drive shaft connected to the motor and a friction plate provided on the sprocket side for transmitting the power from the motor to the drive roll. By pressing one of the plates against the other friction plate, it is possible to control the torque and the rotational speed of the drive roll.

軸受について>
本発明のウェット処理装置における駆動ロールのトルクおよび回転数を制御するために使用する軸受について説明する。
図3は、本発明のウェット処理装置で使用する軸受の一例を示す概略説明図である。
<About bearings >
A bearing used for controlling the torque and rotation speed of the drive roll in the wet processing apparatus of the present invention will be described.
FIG. 3 is a schematic explanatory view showing an example of a bearing used in the wet processing apparatus of the present invention.

この軸受は、ドライブシャフト1のモータ側にドライブシャフトの同心円状に装着して備えられたコイルバネがあり、動力源であるモータからの駆動力は、ドライブシャフト1の軸方向に沿って移動可能な支持板である押板1の位置を変えることによって、前記コイルバネによりドライブシャフト1のモータ側の摩擦板にかかる力を調整し、モータからスプロケット側の摩擦板に伝達されるトルクと回転数を制御することを可能としたものである。押板1をドライブシャフト1に沿ってスプロケット側に近づけると、コイルバネによって、モータ側の摩擦板をスプロケット側の摩擦板に押し付ける力が増加し、摩擦板間の滑りが小さくなるため、モータからスプロケットに伝達するトルクと回転数は大きくなる。その逆に押板1をスプロケットから遠ざけるとトルクは小さくなる。 This bearing has a coil spring mounted on the motor side of the drive shaft 1 concentrically with the drive shaft, and the driving force from the motor as a power source can move along the axial direction of the drive shaft 1. By changing the position of the push plate 1 as a support plate, the force applied to the friction plate on the motor side of the drive shaft 1 is adjusted by the coil spring, and the torque and the number of rotations transmitted from the motor to the friction plate on the sprocket side are controlled. It is possible to do. When close to the sprocket side along the push plate 1 to the drive shaft 1, thus the Koiruba Ne, since the motor-side friction plates increased force pressing the friction plate of the sprocket side, sliding friction plates is reduced, the motor The torque and the number of rotations transmitted from to the sprocket are increased. Conversely, when the push plate 1 is moved away from the sprocket, the torque is reduced.

図4は、別の軸受の例を示した概略説明図である。
これは、円筒状のドライブシャフト1の外側には、コイルバネ(k1)を同心円状に装着し、内側側には、ドライブシャフト2に同心円状に装着したコイルバネ(k2)を配置した二重のコイルバネであって、各々のコイルバネに備えられた押板1と押板2を、それぞれ独立にドライブシャフト1、2の軸方向に沿って移動し固定可能とした摩擦クラッチである。ただし、k1とk2は、それぞれのコイルバネのバネ定数である。
FIG. 4 is a schematic explanatory view showing an example of another bearing .
This is a double coil spring in which a coil spring (k1) is concentrically mounted on the outer side of the cylindrical drive shaft 1 and a coil spring (k2) concentrically mounted on the drive shaft 2 is disposed on the inner side. In this friction clutch, the pressing plate 1 and the pressing plate 2 provided in each coil spring can be moved and fixed independently along the axial directions of the drive shafts 1 and 2, respectively. However, k1 and k2 are spring constants of the respective coil springs.

このような軸受によれば、例えば、k2をk1の1/10とすれば、k1のバネ定数を持つコイルバネによって摩擦板に加える力を設定し、更にk2のバネ定数を持つコイルバネによって更に加える力を重畳できるが、その力を設定できる分解能が1/10にできるため、より細かい駆動ロールのトルクと回転数を設定できるメリットがある。 According to such a bearing , for example, if k2 is 1/10 of k1, the force applied to the friction plate by the coil spring having the spring constant of k1 is set, and further the force applied by the coil spring having the spring constant of k2 However, since the resolution at which the force can be set can be reduced to 1/10, there is an advantage that a finer torque and rotation speed of the driving roll can be set.

以上に説明したように、本発明のウェット処理装置は、従来、フリーロールであったウェット処理部のロールを駆動ロールに変え、更に軸受にて、個々のロールのトルクと回転数を、ウェブのテンションが低下し過ぎない様に調整することによって、ウェブの蛇行や弛みといった搬送不良を発生させないことを可能にした。 As described above, the wet treatment apparatus of the present invention, conventionally, changing the role of the wet treatment unit was free roll drive roll, further second bearing, the rotational speed and torque of each roll, the web By adjusting so that the tension does not decrease too much, it is possible to prevent the occurrence of poor conveyance such as meandering or slacking of the web.

Claims (2)

ロールトゥロール方式のウェット処理装置であって、
少なくとも
ウェット処理部と、
モーターと、
前記モーターに連結したドライブシャフトと、
複数の駆動ロールと、
駆動ロールを受ける軸受けと
を有し、
前記複数の駆動ロールが前記ドライブシャフトに設けた複数の摩擦クラッチの各々と連接されて駆動するウェット処理装置において、
前記駆動ロールのトルクと回転数を調整する摩擦板を押圧する手段が、円筒状のシャフトの外側にコイルバネを同心円状に装着し、前記シャフトに装着した押板を前記コイルバネをシャフトの軸方向に沿って位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することを特徴とするウェット処理装置。
A roll-to-roll wet processing apparatus,
at least
A wet treatment section;
A motor,
A drive shaft coupled to the motor;
A plurality of drive rolls;
With a bearing to receive the drive roll
Have
In the wet processing apparatus in which the plurality of driving rolls are connected to and driven by each of the plurality of friction clutches provided on the drive shaft,
The means for pressing the friction plate for adjusting the torque and the rotational speed of the drive roll has a coil spring concentrically mounted on the outside of the cylindrical shaft, and the press plate mounted on the shaft is connected to the coil spring in the axial direction of the shaft. by changing the position along wet processing apparatus characterized that you adjust the force applied to the friction plates.
前記駆動ロールのトルクと回転数を調整するため、前記摩擦板押圧する手段が、円筒状のシャフト1の外側にコイルバネ(k1)を同心円状に装着し、シャフト1の内側にシャフト2を備え、シャフト1とシャフト2の間に同心円状に装着したコイルバネ(k2)を配置した二重のコイルバネにおいて、それぞれ独立にシャフト1および2の軸方向に沿って、各々のコイルバネに備えられた押板1と押板2の位置を変えることによって、前記摩擦板にかかる力を調整することであることを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置。 To adjust the speed and torque of the drive roll, means for pressing the friction Kosuita is a coil spring (k1) is mounted concentrically on the outside of the cylindrical sheet Yafuto 1, sheet inside the sheet Yafuto 1 comprising a Yafuto 2, in the double coil spring arranged the coil spring (k2) mounted concentrically between the sheet Yafuto 1 and shea Yafuto 2, each independently along the axial direction of the sheet Yafuto 1 and 2, each of the wet processing apparatus according to claim 1, characterized in that the Rukoto changing the position of the push plate 1 and the push plate 2 provided on the coil spring, it is to adjust the force applied to the friction plates.
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