JP6438703B2 - 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 - Google Patents
異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 Download PDFInfo
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まず、異物検査装置1の持ち手17を握って持ち上げた筐体10を被検査物Sの上まで運び、被検査物Sの上から筐体10を覆い被せるように載置する。なお、被検査物Sの面積が筐体10の底面開口部10aよりも小さい場合は、図5(a)に示したように、被検査物Sが底面開口部10a内に収まるように筐体10を被検査物Sの上に被せる。
10 筐体
20 撮像部
30 光源部
40 照射方向規制部材
50 暗色敷板
60 異物検査システム
70 異物評価装置
Claims (7)
- 被検査物に付着している異物を検査するための異物検査装置であって、
底面に開口部を有する手で持ち運び可能な筐体と、
該筐体の内側上部に配設された撮像部と、
前記被検査物の表面に光を照射するために前記筐体の側面の内側下部に配設された光源部と、
該光源部からの直接光が前記撮像部で受光されないように前記直接光の照射方向を規制する照射方向規制部材とを備え、
前記光源部が、水平面上に対向して配列された複数の発光素子、又は環状の周上に均等配列された複数の発光素子を含んで構成され、
前記複数の発光素子が、前記筐体の側面最下部の位置近傍に配設され、
前記照射方向規制部材が、前記光源部の上下面を挟む形態で水平方向に延設された一対の暗色板で構成され、
前記一対の暗色板のうち、前記光源部の下面側に配設された暗色板が、前記筐体の側面下端部に取り付けられていることを特徴とする異物検査装置。 - 前記筐体が、光の反射を抑える暗色板で構成されていることを特徴とする請求項1記載の異物検査装置。
- 前記撮像部を水平方向及び/又は垂直方向に移動させるための移動用部材を備え、
前記撮像部及び前記移動用部材の色が、光の反射を抑える暗色であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の異物検査装置。 - 前記筐体に把持部が装備され、
該把持部が、前記筐体の上面外側に取り付けられた持ち手であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかの項に記載の異物検査装置。 - 前記被検査物の下に敷く暗色敷板をさらに備え、
該暗色敷板の上に前記筐体が載置可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかの項に記載の異物検査装置。 - 請求項1〜5のいずれかの項に記載の異物検査装置と、
該異物検査装置から取り込んだ撮像データに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する異物評価手段とを備えていることを特徴とする異物検査システム。 - 請求項1〜5のいずれかの項に記載の異物検査装置を構成する前記筐体を前記被検査物の上に載せる工程と、
前記異物検査装置の前記光源部を発光させて、前記撮像部で前記被検査物の表面を撮像する工程と、
前記撮像部で撮像されたデータに基づいて前記被検査物の表面に付着している異物を検出して評価する工程とを含んでいることを特徴とする異物検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014168547A JP6438703B2 (ja) | 2014-08-21 | 2014-08-21 | 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016045039A JP2016045039A (ja) | 2016-04-04 |
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ID=55635742
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014168547A Active JP6438703B2 (ja) | 2014-08-21 | 2014-08-21 | 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6438703B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101809009B1 (ko) * | 2017-08-02 | 2017-12-15 | 주식회사 제덱스 | 투명 또는 반투명 필름의 표면 이물 검출기 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5531902A (en) * | 1978-08-29 | 1980-03-06 | Shigeru Tsubono | Measuring unit for floor dirt |
JPH0792437B2 (ja) * | 1986-12-05 | 1995-10-09 | 日本電気株式会社 | 表面形状の観察装置 |
JPH0656762U (ja) * | 1993-01-08 | 1994-08-05 | オリンパス光学工業株式会社 | 基板外観検査装置 |
JP2000180371A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Sharp Corp | 異物検査装置および半導体工程装置 |
JPWO2003010525A1 (ja) * | 2001-07-27 | 2004-11-18 | 日本板硝子株式会社 | 対象物表面の汚れ評価方法およびこの方法に使用する撮影ボックス |
JP2007057315A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Pioneer Electronic Corp | 表面検査装置 |
DE102007002106B3 (de) * | 2007-01-09 | 2008-07-03 | Wolfgang Weinhold | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung eines Gegenstandes |
JP2010139488A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 打痕検査装置及び打痕検査方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2016045039A (ja) | 2016-04-04 |
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