JP6430800B2 - Mechanical encoders and actuators - Google Patents

Mechanical encoders and actuators

Info

Publication number
JP6430800B2
JP6430800B2 JP2014243636A JP2014243636A JP6430800B2 JP 6430800 B2 JP6430800 B2 JP 6430800B2 JP 2014243636 A JP2014243636 A JP 2014243636A JP 2014243636 A JP2014243636 A JP 2014243636A JP 6430800 B2 JP6430800 B2 JP 6430800B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driven gear
gear
main driving
driving gear
case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014243636A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016109431A (en
Inventor
学海 赤川
学海 赤川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IAI Corp
Original Assignee
IAI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IAI Corp filed Critical IAI Corp
Priority to JP2014243636A priority Critical patent/JP6430800B2/en
Publication of JP2016109431A publication Critical patent/JP2016109431A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6430800B2 publication Critical patent/JP6430800B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Description

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられる機械式エンコーダとアクチュエータに係り、特に、主動歯車及び従動歯車をコンパクト化することで、上記主動歯車及び上記従動歯車を回転させるために必要な力を小さくすることができ、且つ、設計の自由度を高めることができるように工夫したものに関する。   The present invention relates to, for example, a mechanical encoder and an actuator used for an industrial robot, and in particular, by reducing the size of the main driving gear and the driven gear, the force required to rotate the main driving gear and the driven gear is provided. The present invention relates to a device that can be reduced in size and designed to increase the degree of freedom in design.

従来の機械式エンコーダの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１がある。この特許文献１に記載された回転角度検出装置には、外周部にギヤを有する主回転体と、外周部にギヤを有すると共に内部に磁石を埋設された第１の検出用回転体と、同じく外周部にギヤを有すると共に内部に磁石を埋設された第２の検出用回転体とがある。上記主回転体のギヤは上記第１の検出用回転体のギヤと噛合されており、上記第１の検出用回転体のギヤは上記第２の検出用回転体のギヤと噛合されている。   For example, Patent Document 1 discloses a configuration of a conventional mechanical encoder. The rotation angle detection device described in Patent Document 1 includes a main rotating body having a gear on the outer peripheral portion, a first detecting rotating body having a gear on the outer peripheral portion and having a magnet embedded therein, There is a second rotating body for detection having a gear on the outer periphery and having a magnet embedded therein. The gear of the main rotating body is engaged with the gear of the first detecting rotating body, and the gear of the first detecting rotating body is engaged with the gear of the second detecting rotating body.

また、上記回転角度検出装置には回路基板が設置されている。この回路基板上には、上記第１の検出用回転体の回転角度を検出する第１のＡＭＲ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｍａｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子と、上記第２の検出用回転体の回転角度を検出する第２のＡＭＲ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｍａｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子や、その他の電子部品が実装されている。   In addition, a circuit board is installed in the rotation angle detection device. On the circuit board, a first AMR (Anisotropy Magnet Resistance) element that detects a rotation angle of the first detection rotating body and a second AMR that detects the rotation angle of the second detection rotating body. An AMR (Anisotropy Magnet Resistance) element and other electronic components are mounted.

上記第１のＡＭＲ素子及び上記第２のＡＭＲ素子は、上記第１の検出用回転体及び上記第２の検出用回転体が回転された際の、上記第１の検出用回転体及び上記第２の検出用回転体内の上記磁石による磁場の変化により、上記第１の検出用回転体及び上記第２の検出用回転体の回転角度を検出するものである。   The first AMR element and the second AMR element include the first detection rotator and the second detection rotator when the first detection rotator and the second detection rotator are rotated. The rotation angle of the first detection rotator and the second detection rotator is detected by a change in the magnetic field by the magnet in the second detection rotator.

そして、上記第１の検出用回転体の回転角度と上記第２の検出用回転体の回転角度から、上記主回転体の多回転角度を求めるようになっている。   Then, the multi-rotation angle of the main rotor is obtained from the rotation angle of the first detection rotor and the rotation angle of the second detection rotor.

また、上記第１の検出用回転体の上記磁石の外周側には、リング状の強磁性体が設置されており、同様に、上記第２の検出用回転体の上記磁石の外周側にも、リング状の強磁性体が設置されている。これらリング状の強磁性体により、上記第１の検出用回転体の上記磁石による磁場と上記第１の検出用回転体の上記磁石による磁場との干渉を防止し、上記第１のＡＭＲ素子による上記第１の検出用回転体の回転角度の検出や上記第２のＡＭＲ素子による上記第２の検出用回転体の回転角度の検出の精度を向上させている。   Further, a ring-shaped ferromagnetic body is provided on the outer peripheral side of the magnet of the first detection rotating body, and similarly, on the outer peripheral side of the magnet of the second detection rotating body. A ring-shaped ferromagnet is installed. These ring-shaped ferromagnets prevent interference between the magnetic field of the first detection rotor and the magnetic field of the first detection rotor and the first AMR element. The accuracy of detection of the rotation angle of the first detection rotor and the detection of the rotation angle of the second detection rotor by the second AMR element is improved.

また、特許文献１には、リング状の強磁性体が回路基板の第１のＡＭＲ素子及び第２のＡＭＲ素子の外周側にそれぞれ固定されているタイプも記載されている。   Patent Document 1 also describes a type in which ring-shaped ferromagnetic materials are fixed to the outer peripheral sides of the first AMR element and the second AMR element of the circuit board, respectively.

特開２００４−２７１４２７号公報JP 2004-271427 A

上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、特許文献１に記載された回転角度検出装置では、リング状の強磁性体が第１の検出用回転体や第２の検出用回転体に設置されているため、上記第１の検出用回転体や第２の検出用回転体に上記リング状の強磁性体を設置するための部位を設けなければならず、その分だけ上記第１の検出用回転体や第２の検出用回転体が大きくなってしまい、上記第１の検出用回転体や上記第２の検出用回転体を回転させるのに必要な力が増大してしまうという問題があった。
また、リング状の強磁性体を回路基板側に設置するものは、上記回路基板上の電子部品のレイアウトが制限され、設計の自由度が低下してしまうという問題があった。 The conventional configuration has the following problems.
First, in the rotation angle detection device described in Patent Document 1, since the ring-shaped ferromagnetic material is installed in the first detection rotation body or the second detection rotation body, the first detection detection body described above. A portion for installing the ring-shaped ferromagnetic material must be provided on the rotating body or the second detecting rotating body, and the first detecting rotating body and the second detecting rotating body are provided accordingly. There is a problem that the force required to rotate the first detection rotator and the second detection rotator increases.
In addition, in the case where a ring-shaped ferromagnetic material is installed on the circuit board side, there is a problem that the layout of electronic components on the circuit board is limited and the degree of design freedom is reduced.

本発明は、このような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、主動歯車及び従動歯車をコンパクト化することで、上記主動歯車及び上記従動歯車を回転させるために必要な力を小さくすることができ、且つ、設計の自由度を高めることができる機械式エンコーダとアクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made on the basis of the above points, and an object thereof is to reduce the size of the main driving gear and the driven gear so that the force necessary for rotating the main driving gear and the driven gear can be obtained. An object of the present invention is to provide a mechanical encoder and an actuator that can be reduced in size and can increase the degree of design freedom.

上記課題を解決するべく本願発明の請求項１による機械式エンコーダは、ケースと、上記ケース内に回転可能に内装された主動歯車と、上記ケース内に回転可能に内装され上記主動歯車に噛合される複数の従動歯車と、上記主動歯車と上記従動歯車のそれぞれの同じ側に固着された永久磁石と、上記永久磁石と対向するように配置され上記ケースに固定された基板と、上記基板上に上記永久磁石と対向するように設けられ上記主動歯車及び上記従動歯車のそれぞれの回転に対応して磁場の変化を検出するセンサと、上記ケースに上記基板と対向するように設置され上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれを遮蔽する磁気干渉防止用磁性体と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項２による機械式エンコーダは、請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁気干渉防止用磁性体は上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれに対応するように設置されたリング状の部材であることを特徴とするものである。
又、請求項３による機械式エンコーダは、請求項１又は請求項２記載の機械式エンコーダにおいて、上記従動歯車の両端が回転可能に支持されることを特徴とするものである。
又、請求項４による機械式エンコーダによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記ケースは２つの部材から構成されることを特徴とするものである。
又、請求項５によるアクチュエータは、請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダが設置されていることを特徴とするものである。 In order to solve the above-mentioned problems, a mechanical encoder according to claim 1 of the present invention includes a case, a main driving gear rotatably mounted in the case, and a rotary gear rotatably mounted in the case and meshed with the main driving gear. A plurality of driven gears, a permanent magnet fixed to the same side of each of the main driving gear and the driven gear, a substrate disposed to face the permanent magnet and fixed to the case, and on the substrate A sensor that is provided to face the permanent magnet and detects a change in the magnetic field corresponding to the rotation of each of the main driving gear and the driven gear, and the main driving gear that is installed in the case so as to face the substrate. And a magnetic body for preventing magnetic interference that shields each of the permanent magnets of the driven gear.
The mechanical encoder according to claim 2 is the mechanical encoder according to claim 1, wherein the magnetic body for preventing magnetic interference is installed so as to correspond to each of the permanent magnets of the main driving gear and the driven gear. It is a ring-shaped member.
A mechanical encoder according to a third aspect is the mechanical encoder according to the first or second aspect, wherein both ends of the driven gear are rotatably supported.
According to a mechanical encoder according to a fourth aspect, in the mechanical encoder according to any one of the first to third aspects, the case is constituted by two members.
An actuator according to claim 5 is characterized in that the mechanical encoder according to any one of claims 1 to 4 is installed.

以上述べたように本願発明の請求項１の機械式エンコーダによると、ケースと、上記ケース内に回転可能に内装された主動歯車と、上記ケース内に回転可能に内装され上記主動歯車に噛合される複数の従動歯車と、上記主動歯車と上記従動歯車のそれぞれに固着された永久磁石と、上記ケースに固定された基板と、上記基板上に設けられ上記主動歯車及び上記従動歯車のそれぞれの回転に対応して磁場の変化を検出するセンサと、上記ケースに設置され上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれを遮蔽する磁気干渉防止用磁性体と、を具備していて、上記主動歯車及び上記従動歯車に上記磁気干渉防止用磁性体を設置していないので上記主動歯車及び上記従動歯車をコンパクト化することができ、これにより、上記主動歯車及び上記従動歯車を回転させるために必要な力を小さくすることができる。
また、上記基板上にも上記磁気干渉防止用磁性体を設置していないので、上記基板上の、例えば、電子部品のレイアウトが制限されることがなく、設計の自由度を高くすることができる。
又、請求項２による機械式エンコーダによると、請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁気干渉防止用磁性体は上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれに対応するように設置されたリング状の部材であるため、個々の上記センサにおける磁気の干渉を効果的に防止できる。
又、請求項３による機械式エンコーダによると、請求項１又は請求項２記載の機械式エンコーダにおいて、上記従動歯車の両端が回転可能に支持されるため、上記従動歯車を安定して回転させることができる。
又、請求項４による機械式エンコーダによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記ケースは２つの部材から構成されるため、組立が容易である。
又、請求項５によるアクチュエータによると、請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダが設置されているため、上記主動歯車及び上記従動歯車のコンパクト化により、上記主動歯車及び上記従動歯車を回転させるために必要な力を小さくすることができる。 As described above, according to the mechanical encoder of claim 1 of the present invention, the case, the main driving gear rotatably mounted in the case, and the main driving gear rotatably mounted in the case are meshed with the main driving gear. A plurality of driven gears, a permanent magnet fixed to each of the main driving gear and the driven gear, a substrate fixed to the case, and rotations of the main driving gear and the driven gear provided on the substrate. And a magnetic body for preventing magnetic interference that is installed in the case and shields each of the permanent magnets of the main driving gear and the driven gear. Since the magnetic interference preventing magnetic body is not installed in the gear and the driven gear, the main driving gear and the driven gear can be made compact. It is possible to reduce the force required to rotate the driven gear.
Further, since the magnetic substance for preventing magnetic interference is not installed on the substrate, the layout of electronic components on the substrate is not limited, and the degree of freedom in design can be increased. .
According to a mechanical encoder according to claim 2, in the mechanical encoder according to claim 1, the magnetic body for preventing magnetic interference is installed so as to correspond to each of the permanent magnets of the main driving gear and the driven gear. Because of the ring-shaped member, magnetic interference in each of the sensors can be effectively prevented.
According to a mechanical encoder according to claim 3, in the mechanical encoder according to claim 1 or 2, since both ends of the driven gear are rotatably supported, the driven gear can be rotated stably. Can do.
According to a mechanical encoder according to a fourth aspect, in the mechanical encoder according to any one of the first to third aspects, since the case is composed of two members, assembly is easy.
According to the actuator according to claim 5, since the mechanical encoder according to any one of claims 1 to 4 is installed, the main driving gear and the driven gear can be reduced by downsizing the main driving gear and the driven gear. The force required to rotate the driven gear can be reduced.

本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータを表側であって後端側から視た斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is the perspective view which looked at the actuator from the front side and the rear end side. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータを裏側であって後端側から視た斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is the perspective view which looked at the actuator from the back side and the back end side. 本発明の一実施の形態を示す図で、モータカバを外した状態でアクチュエータの後端部を後端側から視た分解斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is the disassembled perspective view which looked at the rear-end part of the actuator from the rear-end side in the state which removed the motor cover. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータに用いられる機械式エンコーダを先端側から視た斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is the perspective view which looked at the mechanical encoder used for an actuator from the front end side. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータに用いられる機械式エンコーダを後端側から視た分解斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is the disassembled perspective view which looked at the mechanical encoder used for an actuator from the rear end side. 本発明の一実施の形態を示す図で、図３のＶＩ−ＶＩ断面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is VI-VI sectional drawing of FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、図３のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing of FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、機械式エンコーダの機能ブロック図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a functional block diagram of a mechanical encoder. 本発明の一実施の形態を示す図で、図９（ａ）は機械式エンコーダの主動歯車、第１従動歯車、及び、第２従動歯車の回転角度の組み合わせの最初の部分を示すグラフ、図９（ｂ）は機械式エンコーダの主動歯車、第１従動歯車、及び、第２従動歯車の回転角度の組み合わせの最後の部分を示すグラフである。FIG. 9A is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 9A is a graph showing a first part of a combination of rotation angles of a main driving gear, a first driven gear, and a second driven gear of a mechanical encoder; 9 (b) is a graph showing the last part of the combination of the rotation angles of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear of the mechanical encoder.

以下、図１乃至図９を参照して本発明の一実施の形態を説明する。
この一実施の形態によるアクチュエータ１は、概略、次のような構成になっている。
まず、図１及び図２に示すように、ハウジング３がある。このハウジング３は、底面側（図２中上側）のベース５と、このベース５の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両端に設けられたサイドカバ７、７とから構成されている。また、上記ハウジング３の先端（図１中右上端）は端部カバ９によって閉塞されており、上記ハウジング３の後端（図１中左下端）にはモータベース１１が設置されている。
また、上記サイドカバ７、７の図１中上端は相互に離間されており、それにより開口部１３が形成されている。この開口部は、その長さ方向両端（図１中右上端と左下端）を固定されたステンレスシート１５によって閉塞されている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The actuator 1 according to this embodiment is roughly configured as follows.
First, as shown in FIGS. 1 and 2, there is a housing 3. The housing 3 is composed of a base 5 on the bottom surface side (upper side in FIG. 2) and side covers 7 and 7 provided at both ends in the width direction of the base 5 (direction from upper left to lower right in FIG. 1). Yes. The front end of the housing 3 (upper right end in FIG. 1) is closed by an end cover 9, and a motor base 11 is installed at the rear end of the housing 3 (lower left end in FIG. 1).
Further, the upper ends of the side covers 7 and 7 in FIG. 1 are spaced apart from each other, thereby forming an opening 13. The opening is closed by a stainless steel sheet 15 having both ends in the length direction (upper right end and lower left end in FIG. 1) fixed.

また、上記ハウジング３には、スライダ２１が、長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動可能に設置されている。このスライダ２１は、上記開口部１３を介して上記ハウジング３外部にその一部を突出させた状態で設置されており、この突出された部分に、図示しない対象物が載置・固定される。また、上記ステンレスシート１５は、上記スライダ２１の内部を貫通している。
また、上記スライダ２１の上記ハウジング３内部側には、図示しないボールねじナットが固着されている。この図示しないボールねじナットの内周面側には螺旋溝が形成されていると共に、上記図示しないボールねじナット内には上記螺旋溝の両端を連通させる転動路が設けられている。
また、上記ハウジング３内には、図示しないボールねじ軸が回転可能に設置されている。このボールねじ軸の外周面には図示しない螺旋溝が形成されており、この図示しない螺旋溝と上記図示しないボールねじナットの螺旋溝との間の空間、及び、上記図示しないボールねじナットの転動路には、複数のボールが転動・循環している。 Further, the slider 3 is installed in the housing 3 so as to be movable in the length direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1). The slider 21 is installed in a state in which a part of the slider 21 protrudes outside the housing 3 through the opening 13, and an object (not shown) is placed and fixed on the protruding part. Further, the stainless steel sheet 15 penetrates the inside of the slider 21.
A ball screw nut (not shown) is fixed to the inside of the housing 3 of the slider 21. A spiral groove is formed on the inner peripheral surface side of the ball screw nut (not shown), and a rolling path for communicating both ends of the spiral groove is provided in the ball screw nut (not shown).
A ball screw shaft (not shown) is rotatably installed in the housing 3. A spiral groove (not shown) is formed on the outer peripheral surface of the ball screw shaft. The space between the spiral groove (not shown) and the spiral groove of the ball screw nut (not shown) and the rotation of the ball screw nut (not shown). A plurality of balls roll and circulate in the movement path.

図１に示すように、上記モータベース１１の後端側（図１中左下側）にはモータカバ２５（図１、図２中仮想線で示す。）が設置されている。また、このモータカバ２５の内部には、上記モータベース１１に固定されたモータ２７が設置されている。このモータ２７は、外側のモータケース２９と、このモータケース２９の内側に固着された図示しないステータと、この図示しないステータの内側に回転可能に設置されたロータ（図示せず）と、このロータの中心に固着された出力軸３１（図３に示す）とから構成されている。
上記モータ２７の出力軸３１の先端側（図１中右上端側）は、前記図示しないボールねじ軸と図示しないカップリングによって連結されている。 As shown in FIG. 1, a motor cover 25 (shown in phantom lines in FIGS. 1 and 2) is installed on the rear end side (lower left side in FIG. 1) of the motor base 11. A motor 27 fixed to the motor base 11 is installed inside the motor cover 25. The motor 27 includes an outer motor case 29, a stator (not shown) fixed inside the motor case 29, a rotor (not shown) rotatably installed inside the stator (not shown), and the rotor And an output shaft 31 (shown in FIG. 3) fixed to the center.
The front end side (upper right end side in FIG. 1) of the output shaft 31 of the motor 27 is connected to the ball screw shaft (not shown) by a coupling (not shown).

上記モータ２７によって上記図示しないボールねじ軸を回転・駆動することにより、上記ボールねじナットを介して上記スライダ２１が長さ方向（図１中左下から右上に向かう方向）両側に移動される。   By rotating and driving the ball screw shaft (not shown) by the motor 27, the slider 21 is moved to both sides in the length direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1) via the ball screw nut.

上記モータ２７の後端側には、機械式エンコーダ４１が設置されている。この機械式エンコーダ４１には、まず、ケース４３がある。このケース４３は、図３乃至図５に示すように、先端側ケース４５と後端側ケース４７とから構成されている。   A mechanical encoder 41 is installed on the rear end side of the motor 27. The mechanical encoder 41 has a case 43 first. As shown in FIGS. 3 to 5, the case 43 includes a front end side case 45 and a rear end side case 47.

例えば、図５に示すように、上記先端側ケース４５の中央には、主動歯車収納用貫通孔４９が、ボールねじ軸の軸方向（図５中左下から右上に向かう方向）に沿って延長・形成されている。また、この主動歯車収納用貫通孔４９の両側には、上記後端ケース４７側（図５中左下側）に開口された第１従動歯車支持用凹部５１と第２従動歯車支持用凹部５３が形成されている。
また、上記先端側ケース４５の外周側には、貫通孔５５ａ、５５ｂ、５５ｃ、５５ｄが、ボールねじ軸の軸方向（図５中左下から右上に向かう方向）に沿って延長・形成されている。また、上記主動歯車収納用貫通孔４９の近傍には、位置決め用凹部５７、５７が、ボールねじ軸の軸方向（図５中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。 For example, as shown in FIG. 5, at the center of the distal end side case 45, a through hole 49 for storing the main driving gear extends along the axial direction of the ball screw shaft (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5). Is formed. Further, on both sides of the main gear housing through hole 49, there are a first driven gear support concave portion 51 and a second driven gear support concave portion 53 which are opened on the rear end case 47 side (lower left side in FIG. 5). Is formed.
Further, through holes 55a, 55b, 55c, and 55d are extended and formed along the axial direction of the ball screw shaft (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5) on the outer peripheral side of the distal end side case 45. . Further, positioning recesses 57, 57 are extended and formed in the axial direction of the ball screw shaft (in the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5) in the vicinity of the through hole 49 for storing the main gear.

上記後端側ケース４７には、図６に示すように、歯車収納用凹部６１が形成されている。この歯車収納用凹部６１の後端側（図６中上側）には、主動歯車用貫通孔６３が形成されている。また、上記主動歯車用貫通孔６３の反先端側ケース４５側（図６中上側）は拡径されており、図５に示すように、磁性体取付部６７が形成されている。
また、上記主動歯車用貫通孔６３の図６中右側には、第１従動歯車用貫通孔６９が形成されている。また、上記第１従動歯車用貫通孔６９の反先端側ケース４５側（図６中上側）は拡径されており、図５に示すように、磁性体取付部７３が形成されている。
また、上記主動歯車用貫通孔６３の図６中左側には、第２従動歯車用貫通孔７５が形成されている。また、上記第２従動歯車用貫通孔７５の反先端側ケース４５側（図６中上側）は拡径されており、図５に示すように、磁性体取付部７９が形成されている。 As shown in FIG. 6, the rear end case 47 is formed with a gear receiving recess 61. A main gear through-hole 63 is formed on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the gear housing recess 61. Further, the opposite end side case 45 side (upper side in FIG. 6) of the through hole 63 for the main driving gear is enlarged in diameter, and a magnetic body attaching portion 67 is formed as shown in FIG.
A first driven gear through hole 69 is formed on the right side of the through hole 63 for the main gear in FIG. Further, the diameter of the side opposite to the front end case 45 (upper side in FIG. 6) of the first driven gear through-hole 69 is increased, and a magnetic body attaching portion 73 is formed as shown in FIG.
A second driven gear through-hole 75 is formed on the left side of the main gear through-hole 63 in FIG. In addition, the diameter of the opposite tip side case 45 side (upper side in FIG. 6) of the second driven gear through-hole 75 is increased, and a magnetic body attaching portion 79 is formed as shown in FIG.

また、図５に示すように、上記後端側ケース４７の後端面（図５中左下側の面）には基板支持部８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄが突出・形成されていて、これら基板支持部８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄには、貫通孔８３ａ、８３ｂ、８３ｃ、８３ｄが形成されている。
また、上記後端側ケース４７には、位置決め用貫通孔８５、８５が形成されている。 Further, as shown in FIG. 5, substrate support portions 81a, 81b, 81c, 81d are projected and formed on the rear end surface (the lower left surface in FIG. 5) of the rear end case 47, and these substrate supports are supported. Through holes 83a, 83b, 83c, and 83d are formed in the portions 81a, 81b, 81c, and 81d.
The rear end side case 47 is formed with positioning through holes 85 and 85.

図６に示すように、上記後端側ケース４７内の主動歯車用貫通孔６３、歯車収納用凹部６１、及び、上記先端側ケース４５の主動歯車収納用貫通孔４９内には、主動歯車９１が回転可能に収容・配置されている。
図７に示すように、この主動歯車９１には主動歯車本体９２があり、その外周側には歯車部９３が形成されている。また、図６に示すように、上記主動歯車本体９２には、長さ方向（図６中上下方向）に延長された貫通孔９５が形成されている。この貫通孔９５の先端側（図６中下側）は拡径されており、連結用凹部９７が形成されている。また、上記主動歯車本体９２には、上記連結用凹部９７と直交する方向に延長され、上記連結用凹部９７と上記主動歯車本体９２の外周側に開口された出力軸固定用雌ネジ部９９が形成されている。
前記したモータ２７の出力軸３１は上記連結用凹部９７に挿入されており、上記出力軸３１は、上記出力軸固定用雌ネジ部９９に螺合される固定用ネジ１０１によって上記主動歯車９１に連結・固定される。
また、図６に示すように、上記主動歯車本体９２には、Ｏリング１００が設置されており、上記歯車部９３側（図６中上側）からモータ２７側（図６中下側）への潤滑油の漏れを防止している。 As shown in FIG. 6, there is a main gear 91 in the main gear through hole 63 in the rear end side case 47, the gear storing recess 61, and the main gear receiving hole 49 in the front end side case 45. Is rotatably accommodated and arranged.
As shown in FIG. 7, the main driving gear 91 has a main driving gear main body 92, and a gear portion 93 is formed on the outer peripheral side thereof. As shown in FIG. 6, the main driving gear main body 92 is formed with a through hole 95 extending in the length direction (vertical direction in FIG. 6). The front end side (the lower side in FIG. 6) of the through-hole 95 is enlarged in diameter, and a connecting recess 97 is formed. The main driving gear main body 92 includes an output shaft fixing female screw portion 99 that extends in a direction orthogonal to the connecting concave portion 97 and opens to the outer peripheral side of the connecting concave portion 97 and the main driving gear main body 92. Is formed.
The output shaft 31 of the motor 27 is inserted into the coupling recess 97, and the output shaft 31 is connected to the main driving gear 91 by a fixing screw 101 screwed into the output shaft fixing female screw portion 99. Connected and fixed.
Further, as shown in FIG. 6, an O-ring 100 is installed in the main driving gear main body 92, and from the gear portion 93 side (upper side in FIG. 6) to the motor 27 side (lower side in FIG. 6). Prevents lubricating oil leakage.

また、上記貫通孔９５の後端側（図６中上側）は縮径された支持軸取付部１０２となっており、この支持軸取付部１０２内に主動歯車支持軸１０３が圧入されている。上記後端側ケース４７の主動歯車用貫通孔６３の図６中下端側には軸受１０５が設置されており、この軸受１０５によって上記主動歯車支持軸１０３を介して上記主動歯車９１が回転可能に支持されている。
なお、上記軸受１０５は、上記主動歯車用貫通孔６３内に圧入された外輪１０７と、この外輪１０７の内側に設置され上記主動歯車支持軸１０３が圧入される内輪１０９と、上記外輪１０７と上記内輪１０９との間に転動可能に設置された複数のボール１１１と、これらボール１１１を保持するリテイナ１１３とから構成されている。 The rear end side (upper side in FIG. 6) of the through hole 95 is a support shaft mounting portion 102 with a reduced diameter, and the main gear support shaft 103 is press-fitted into the support shaft mounting portion 102. A bearing 105 is provided on the lower end side in FIG. 6 of the main gear through-hole 63 of the rear end side case 47, and the main gear 91 can be rotated by the bearing 105 via the main gear support shaft 103. It is supported.
The bearing 105 includes an outer ring 107 press-fitted into the main gear through-hole 63, an inner ring 109 which is installed inside the outer ring 107 and into which the main gear support shaft 103 is press-fitted, the outer ring 107 and the outer ring 107. It comprises a plurality of balls 111 that can be rolled between the inner ring 109 and a retainer 113 that holds these balls 111.

また、上記主動歯車支持軸１０３の先端には主動歯車用永久磁石１１５が固着されている。また、既に述べた上記後端側ケース４７の磁性体取付部６７には、リング状の主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７が設置されている。   Further, a main gear permanent magnet 115 is fixed to the tip of the main gear support shaft 103. In addition, a magnetic body 117 for preventing magnetic interference for a ring-shaped main gear is installed in the magnetic body mounting portion 67 of the rear end side case 47 described above.

上記ケース４３内の、歯車収納用凹部６１の図６中右側には、第１従動歯車１２１が回転可能に収容・配置されている。
図７に示すように、この第１従動歯車１２１には第１従動歯車本体１２２があり、その外周側には歯車部１２３が形成されている。この歯車部１２３は上記主動歯車９１の歯車部９３と噛合されている。 A first driven gear 121 is rotatably housed and disposed on the right side of the gear housing recess 61 in FIG.
As shown in FIG. 7, the first driven gear 121 has a first driven gear main body 122, and a gear portion 123 is formed on the outer peripheral side thereof. The gear portion 123 is meshed with the gear portion 93 of the main driving gear 91.

上記第１従動歯車本体１２２には図６中上下方向に延長された支持軸取付用貫通孔１２５が形成されており、この支持軸取付用貫通孔１２５には、第１従動歯車支持軸１２７が圧入されている。
既に述べた先端側ケース４５の第１従動歯車支持用凹部５１には、軸受１２９が設置されており、上記後端側ケース４７の第１従動歯車用貫通孔６９の図６中下端側にも軸受１３１が設置されている。これら軸受１２９、１３１によって、上記第１従動歯車１２１が上記第１従動歯車支持軸１２７を介して回転可能に支持されている。
なお、上記軸受１２９も、既に述べた軸受１０５と同様に上記第１従動歯車支持用凹部５１内に圧入される外輪１３３、上記第１従動歯車１２１の第１従動歯車支持軸１２７が圧入される内輪１３５、複数のボール１３７、リテイナ１３９とから構成されている。また、上記軸受１３１も、同様に上記第１従動歯車用貫通孔６９内に圧入される外輪１４１、上記第１従動歯車１２１の第１従動歯車支持軸１２７が圧入される内輪１４３、複数のボール１４５、リテイナ１４７とから構成されている。 The first driven gear main body 122 is formed with a support shaft mounting through hole 125 extending in the vertical direction in FIG. 6. The first driven gear support shaft 127 is formed in the support shaft mounting through hole 125. It is press-fitted.
A bearing 129 is installed in the first driven gear supporting recess 51 of the front end side case 45 already described, and the first driven gear through hole 69 of the rear end side case 47 is also on the lower end side in FIG. A bearing 131 is installed. The first driven gear 121 is rotatably supported by the bearings 129 and 131 via the first driven gear support shaft 127.
The bearing 129 is also press-fitted with the outer ring 133 press-fitted into the first driven gear support recess 51 and the first driven gear support shaft 127 of the first driven gear 121 as in the bearing 105 described above. The inner ring 135 is composed of a plurality of balls 137 and a retainer 139. Similarly, the bearing 131 also includes an outer ring 141 press-fitted into the first driven gear through-hole 69, an inner ring 143 into which the first driven gear support shaft 127 of the first driven gear 121 is press-fitted, and a plurality of balls. 145 and retainer 147.

また、上記第１従動歯車１２１の第１従動歯車支持部軸１２７の先端には第１従動歯車用永久磁石１４９が固着されている。また、上記後端側ケース４７の磁性体取付部７３には、リング状の第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１が設置されている。   Further, a first driven gear permanent magnet 149 is fixed to the tip of the first driven gear support portion shaft 127 of the first driven gear 121. In addition, a magnetic body 151 for preventing magnetic interference 151 for a ring-shaped first driven gear is installed on the magnetic body mounting portion 73 of the rear end side case 47.

上記ケース４３内の、歯車収納用凹部６１の図６中左側には、第２従動歯車１６１が回転可能に収容・配置されている。
図７に示すように、この第２従動歯車１６１には第２従動歯車本体１６２があり、その外周側には歯車部１６３が形成されている。この歯車部１６３は上記主動歯車９１の歯車部９３と噛合されている。 A second driven gear 161 is rotatably housed and disposed on the left side of the gear housing recess 61 in FIG.
As shown in FIG. 7, the second driven gear 161 has a second driven gear main body 162, and a gear portion 163 is formed on the outer peripheral side thereof. The gear portion 163 is meshed with the gear portion 93 of the main driving gear 91.

上記第２従動歯車本体１６２には図６中上下方向に延長された支持軸取付用貫通孔１６５が形成されており、この支持軸取付用貫通孔１６５には、第２従動歯車支持軸１６７が圧入されている。
既に述べた先端側ケース４５の第２従動歯車支持用凹部５３には、軸受１６９が設置されており、上記後端側ケース４７の第２従動歯車用貫通孔７５の図６中下端側にも軸受１７１が設置されている。これら軸受１６９、１７１によって、上記第２従動歯車１６１が上記第２従動歯車支持軸１６７を介して回転可能に支持されている。
なお、上記軸受１６９も、既に述べた軸受１０５と同様に上記第２従動歯車支持用凹部５３内に圧入される外輪１７３、上記第２従動歯車１６１の第２従動歯車支持軸１６７が圧入される内輪１７５、複数のボール１７７、リテイナ１７９とから構成されている。また、上記軸受１７１も、同様に上記第２従動歯車用貫通孔７５内に圧入される外輪１８１、上記第２従動歯車１６１の第２従動歯車支持軸１６７が圧入される内輪１８３、複数のボール１８５、リテイナ１８７とから構成されている。 The second driven gear main body 162 is formed with a support shaft mounting through-hole 165 extending in the vertical direction in FIG. 6, and the second driven gear support shaft 167 is formed in the support shaft mounting through-hole 165. It is press-fitted.
A bearing 169 is installed in the second driven gear supporting recess 53 of the front end side case 45 already described, and also on the lower end side in FIG. 6 of the second driven gear through hole 75 of the rear end side case 47. A bearing 171 is installed. The second driven gear 161 is rotatably supported by the bearings 169 and 171 via the second driven gear support shaft 167.
The bearing 169 is also press-fitted with the outer ring 173 press-fitted into the second driven gear supporting recess 53 and the second driven gear support shaft 167 of the second driven gear 161 in the same manner as the bearing 105 described above. An inner ring 175, a plurality of balls 177, and a retainer 179 are included. Similarly, the bearing 171 includes an outer ring 181 press-fitted into the second driven gear through-hole 75, an inner ring 183 into which the second driven gear support shaft 167 of the second driven gear 161 is press-fitted, and a plurality of balls. 185 and retainer 187.

また、上記第２従動歯車１６１の第２従動歯車支持軸１６７の先端には第２従動歯車用永久磁石１８９が固着されている。また、上記後端側ケース４７の磁性体取付部７９には、リング状の第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１が設置されている。   A second driven gear permanent magnet 189 is fixed to the tip of the second driven gear support shaft 167 of the second driven gear 161. In addition, a magnetic body 191 for preventing magnetic interference for a ring-shaped second driven gear is installed on the magnetic body mounting portion 79 of the rear end side case 47.

また、上記後端側ケース４７の基板支持部８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄの後端側の面（図６中上側）には基板２０１が設置されている。図６に示すように、上記基板２０１の後端側ケース４７側（図６中下側）の面には、上記主動歯車９１の永久磁石１１５に対応した磁気センサ２０３と、上記第１従動歯車１２１の永久磁石１４９に対応した磁気センサ２０５と、上記第２従動歯車１６１の永久磁石１８９に対応した磁気センサ２０７が実装されている。
そして、上記磁気センサ２０３によって上記主動歯車９１とともに上記永久磁石１１５が回転されることによる磁場の変化から上記主動歯車９１の回転角度を検出する。また、上記磁気センサ２０５によって上記第１従動歯車１２１とともに上記永久磁石１４９が回転されることによる磁場の変化から上記第１従動歯車１２１の回転角度を検出する。また、上記磁気センサ２０７によって上記第２従動歯車１６１とともに上記永久磁石１８９が回転されることによる磁場の変化から上記第２従動歯車１６１の回転角度を検出する。 Further, a substrate 201 is installed on the rear end side surface (upper side in FIG. 6) of the substrate support portions 81a, 81b, 81c, 81d of the rear end side case 47. As shown in FIG. 6, a magnetic sensor 203 corresponding to the permanent magnet 115 of the main driving gear 91 and the first driven gear on the rear end case 47 side (lower side in FIG. 6) of the substrate 201 are provided. A magnetic sensor 205 corresponding to the permanent magnet 149 of 121 and a magnetic sensor 207 corresponding to the permanent magnet 189 of the second driven gear 161 are mounted.
Then, the rotation angle of the main driving gear 91 is detected from the change of the magnetic field caused by the permanent magnet 115 being rotated together with the main driving gear 91 by the magnetic sensor 203. Further, the rotation angle of the first driven gear 121 is detected from the change of the magnetic field caused by the permanent magnet 149 being rotated together with the first driven gear 121 by the magnetic sensor 205. Further, the rotation angle of the second driven gear 161 is detected from the change in the magnetic field caused by the permanent magnet 189 being rotated together with the second driven gear 161 by the magnetic sensor 207.

また、上記基板２０１には、図８に示すように、ＣＰＵ２０４と、通信素子２０６も実装されている。上記ＣＰＵ２０４は、後述するように、上記磁気センサ２０５によって検出された上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記磁気センサ２０７によって検出された上記第２従動歯車１６１の回転角度から、上記主動歯車９１の回転数を求める処理を行う。上記通信素子２０６は、外部に設置されたアクチュエータ１のコントローラ２０８と上記ＣＰＵ２０４との間の通信を行うものである。この通信素子２０６を介して、上記ＣＰＵ２０４から上記コントローラ２０８には、主動歯車９１の回転数を示す信号と、磁気センサ２０３により検出された上記主動歯車９１の回転角度を示す信号が出力される。コントローラ２０８では、入力した信号、すなわち、主動歯車９１の回転数を示す信号と回転角度を示す信号と、図示しないボールねじ軸の螺旋溝のピッチから、上記スライダ２１の絶対位置を算出する。また、上記コントローラ２０８からは、上記主動歯車９１の回転数や回転角度の出力を指示するコマンド信号が出力され、このコマンド信号は上記通信素子２０６を介して上記ＣＰＵ２０４に入力される。   Further, as shown in FIG. 8, a CPU 204 and a communication element 206 are also mounted on the substrate 201. As will be described later, the CPU 204 calculates the main driving gear 91 from the rotation angle of the first driven gear 121 detected by the magnetic sensor 205 and the rotation angle of the second driven gear 161 detected by the magnetic sensor 207. The process which calculates | requires the rotation speed of is performed. The communication element 206 performs communication between the controller 208 of the actuator 1 installed outside and the CPU 204. Via the communication element 206, the CPU 204 outputs a signal indicating the rotation speed of the main driving gear 91 and a signal indicating the rotation angle of the main driving gear 91 detected by the magnetic sensor 203 to the controller 208. The controller 208 calculates the absolute position of the slider 21 from the input signals, that is, the signal indicating the rotation speed and the rotation angle of the main driving gear 91 and the pitch of the spiral groove (not shown) of the ball screw shaft. Further, the controller 208 outputs a command signal instructing output of the rotation speed and rotation angle of the main driving gear 91, and this command signal is input to the CPU 204 via the communication element 206.

また、上記基板２０１には、コネクタ２０９が実装されている。このコネクタ２０９には、図示しないケーブルが接続され、この図示しないケーブルを介して、前記したような上記ＣＰＵ２０４と上記コントローラ２０８との間の信号の入出力が行われる。また、上記基板２０１には、その他にも、図示しない電子部品が実装されている。   A connector 209 is mounted on the substrate 201. A cable (not shown) is connected to the connector 209, and signals are input / output between the CPU 204 and the controller 208 via the cable (not shown). In addition, other electronic components (not shown) are mounted on the substrate 201.

ここで、上記主動歯車９１の回転角度、上記第１従動歯車１２１の回転角度、及び、上記第２従動歯車１６１の回転角度による、スライダ２１の絶対位置の算出について説明する。
上記スライダ２１は、既に述べたように、モータ２７による図示しないボールねじ軸の回転によって移動される。よって、上記主動歯車９１の回転数と回転角度と、上記図示しないボールねじ軸の螺旋溝のピッチから、上記スライダ２１の絶対位置が算出される。 Here, calculation of the absolute position of the slider 21 based on the rotation angle of the main driving gear 91, the rotation angle of the first driven gear 121, and the rotation angle of the second driven gear 161 will be described.
As described above, the slider 21 is moved by the rotation of a ball screw shaft (not shown) by the motor 27. Therefore, the absolute position of the slider 21 is calculated from the rotation speed and rotation angle of the main driving gear 91 and the pitch of the spiral groove of the ball screw shaft (not shown).

まず、上記主動歯車９１の回転数の算出は、上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度を用いて行う。
上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）と上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）と上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）はそれぞれ異なっており、互に素となるように設定されている。すなわち、上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）と上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）と上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）は、上記主動歯車９１の歯車部９３の回転角度に対する上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせの数が最大となり、且つ、アクチュエータ１上におけるスライダ２１の絶対位置を算出するのに必要な歯数となるように設定されている。
ちなみに、この一実施の形態の場合は、上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）は２５、上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）は２４、上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）は２３に設定されている。 First, the rotation speed of the main driven gear 91 is calculated using the rotation angle of the first driven gear 121 and the rotation angle of the second driven gear 161.
The number of teeth of the gear portion 93 of the main driving gear 91 (N 0 ), the number of teeth of the gear portion 123 of the first driven gear 121 (N 1 ), and the number of teeth of the gear portion 163 of the second driven gear 161 (N 2). ) Are different from each other and are set to be prime to each other. That is, the number of teeth (N 0 ) of the gear portion 93 of the main driving gear 91, the number of teeth (N 1 ) of the gear portion 123 of the first driven gear 121, and the number of teeth of the gear portion 163 of the second driven gear 161 ( N 2 ) is the maximum number of combinations of the rotation angle of the first driven gear 121 and the rotation angle of the second driven gear 161 with respect to the rotation angle of the gear portion 93 of the main driving gear 91, and on the actuator 1. The number of teeth required to calculate the absolute position of the slider 21 is set.
Incidentally, in the case of this embodiment, the number of teeth (N 0 ) of the gear portion 93 of the main driving gear 91 is 25, the number of teeth (N 1 ) of the gear portion 123 of the first driven gear 121 is 24, and The number of teeth (N 2 ) of the gear portion 163 of the second driven gear 161 is set to 23.

なお、上記主動歯車９１の歯車部９３の回転角度に対する上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせの数によって算出できるスライダ２１の絶対位置の最大値が決定され、上記組み合わせの数が大きいほど算出できる上記スライダ２１の絶対位置は大きくなる。すなわち、アクチュエータ１の長さ（図１中右上から左下に向かう方向の大きさ）によって算出すべき上記スライダ２１の絶対位置の最大値が決定されるため、上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）と上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）と上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）は上記アクチュエータ１の長さに応じて設定される。 The maximum absolute position of the slider 21 that can be calculated is determined by the number of combinations of the rotation angle of the first driven gear 121 and the rotation angle of the second driven gear 161 with respect to the rotation angle of the gear portion 93 of the main driving gear 91. The absolute position of the slider 21 that can be calculated increases as the number of combinations increases. That is, since the maximum value of the absolute position of the slider 21 to be calculated is determined by the length of the actuator 1 (the size in the direction from the upper right to the lower left in FIG. 1), the teeth of the gear portion 93 of the main gear 91 are determined. The number (N 0 ), the number of teeth of the gear portion 123 of the first driven gear 121 (N 1 ), and the number of teeth of the gear portion 163 of the second driven gear 161 (N 2 ) depend on the length of the actuator 1. Is set.

そして、上記主動歯車９１、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度には次のような関係がある。
前述したように、上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）と上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）と上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）はそれぞれ異なっており、互に素となるように設定されているため、上記主動歯車９１を回転させていくと、第１従動歯車１２１、及び、第２従動歯車１６１の回転角度は、図９のグラフに示すように変化していく。
なお、図９（ａ）、（ｂ）は、横軸に主導歯車９１、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転数をとり、縦軸に主動歯車９１、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度を取り、その変化を示した図である。図９（ａ）は最初の部分を示しており、図９（ｂ）は最後の部分を示している。 The rotational angles of the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161 have the following relationship.
As described above, the number of teeth (N 0 ) of the gear portion 93 of the main driving gear 91, the number of teeth (N 1 ) of the gear portion 123 of the first driven gear 121, and the gear portion 163 of the second driven gear 161. Since the number of teeth (N 2 ) is different and set to be prime to each other, when the main driving gear 91 is rotated, the first driven gear 121 and the second driven gear 161 are rotated. The rotation angle changes as shown in the graph of FIG.
9A and 9B, the horizontal axis represents the rotation speed of the main gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161, and the vertical axis represents the main driving gear 91, the first driven gear 121, It is the figure which took the rotation angle of the 2nd driven gear 161, and showed the change. FIG. 9A shows the first part, and FIG. 9B shows the last part.

図９（ａ）に示すように、初期状態においては、上記主動歯車９１、上記第１従動歯車１２１、及び、上記第２従動歯車１６１の回転角度は一致している。この初期状態とは、スライダ２１が最も後方側（図１中左下側）に移動した状態である。また、上記初期状態の上記スライダ２１の位置を原点、すなわち、上記スライダ２１の絶対位置ひいては上記図示しないボールねじ軸の回転数が「０」である位置とする。
まず、この初期状態から上記主動歯車９１を正転させて上記スライダ２１を前進（図１中右上側）させる場合を想定する。上記主動歯車９１が回転されると上記第１従動歯車１２１及び第２従動歯車１６１も回転されるが、上記主動歯車９１の回転角度に対して、上記第１従動歯車１２１の回転角度がずれる。また、このとき、上記第２従動歯車１６１の回転角度は、上記主動歯車９１の回転角度と上記第１従動歯車１２１の回転角度の両方に対してずれている。 As shown in FIG. 9A, in the initial state, the rotation angles of the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161 are the same. This initial state is a state in which the slider 21 has moved to the rearmost side (lower left side in FIG. 1). Further, the position of the slider 21 in the initial state is set as the origin, that is, a position where the absolute position of the slider 21 and thus the rotational speed of the ball screw shaft (not shown) is “0”.
First, it is assumed that the main drive gear 91 is rotated forward from the initial state to move the slider 21 forward (upper right side in FIG. 1). When the main driving gear 91 is rotated, the first driven gear 121 and the second driven gear 161 are also rotated. However, the rotation angle of the first driven gear 121 is deviated from the rotation angle of the main driving gear 91. At this time, the rotation angle of the second driven gear 161 is deviated from both the rotation angle of the main drive gear 91 and the rotation angle of the first driven gear 121.

そして、上記主動歯車９１を回転させていくと、上記主動歯車９１の回転角度と上記第１従動歯車１２１や上記第２従動歯車１６１の回転角度とのずれは、図９（ａ）に示すように、大きくなっていく。
そして、ある時点で上記主動歯車９１の回転角度と上記第１従動歯車１２１や上記第２従動歯車１６１の回転角度とのずれが最大となり、それ以降は、図９（ｂ）に示すように、上記主動歯車９１の回転角度と上記第１従動歯車１２１や上記第２従動歯車１６１の回転角度とのずれが小さくなっていき、上記主動歯車９１、上記第１従動歯車１２１、及び、上記第２従動歯車１６１の回転角度が再び一致して、初期状態に戻る。 When the main driving gear 91 is rotated, the deviation between the rotation angle of the main driving gear 91 and the rotation angle of the first driven gear 121 or the second driven gear 161 is as shown in FIG. It gets bigger.
Then, at a certain point in time, the deviation between the rotation angle of the main driving gear 91 and the rotation angle of the first driven gear 121 or the second driven gear 161 becomes maximum, and thereafter, as shown in FIG. The deviation between the rotation angle of the main driving gear 91 and the rotation angle of the first driven gear 121 or the second driven gear 161 is reduced, and the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driving gear 91 are reduced. The rotation angle of the driven gear 161 again coincides and returns to the initial state.

また、このように上記主動歯車９１、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度が変化する間においては、上記主動歯車９１、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせが一致することはない。
よって、上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせから、上記主動歯車９１の回転数ひいては図示しないボールねじ軸の回転数を求めることができる。
また、求めることができる上記主動歯車９１の回転数、すなわち、上記主動歯車９１の回転数に対応する第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせの数（ｎ）は、次の式（Ｉ）により算出される。
ｎ＝Ｎ１×Ｎ２＝２４×２３＝５５２ ―――（Ｉ）
但し、
ｎ：主動歯車９１の回転数に対応する第１従動歯車１２１、第２従動歯車１
６１の回転角度の組み合わせの数
Ｎ１：第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数
Ｎ２：第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数 Further, while the rotation angles of the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161 are changed in this way, the rotation angles of the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161 are changed. The combinations of do not match.
Therefore, from the combination of the rotation angle of the first driven gear 121 and the rotation angle of the second driven gear 161, the rotation number of the main driving gear 91 and the rotation number of the ball screw shaft (not shown) can be obtained.
The number of rotations of the main driving gear 91 that can be obtained, that is, the number (n) of combinations of the rotation angles of the first driven gear 121 and the second driven gear 161 corresponding to the rotation number of the main driving gear 91 is It is calculated by the formula (I).
n = N 1 × N 2 = 24 × 23 = 552 ――― (I)
However,
n: the first driven gear 121 and the second driven gear 1 corresponding to the rotation speed of the main driving gear 91
Number of 61 rotation angle combinations N 1 : Number of teeth of gear portion 123 of first driven gear 121 N 2 : Number of teeth of gear portion 163 of second driven gear 161

また、上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせから主動歯車９１の回転数を求め、且つ、既に説明した磁気センサ２０３から得られた上記主動歯車９１の回転角度を求める。それによって、図示しないボールねじ軸の回転数と回転角度を求め、それにボールねじ軸の螺旋溝のピッチを乗算することにより、スライダ２１の絶対位置が算出される。
この一実施の形態の場合は、上記スライダ２１が原点にある状態から、上記図示しないボールねじ軸が５５２回転して上記スライダ２１が前進した位置までの範囲で、上記スライダ２１の絶対位置を求めることが可能である。 Further, the rotation speed of the main driving gear 91 is obtained from the combination of the rotation angle of the first driven gear 121 and the rotation angle of the second driven gear 161, and the main driving gear 91 obtained from the magnetic sensor 203 already described is obtained. Find the rotation angle. Thus, the absolute position of the slider 21 is calculated by obtaining the rotation speed and rotation angle of a ball screw shaft (not shown) and multiplying it by the pitch of the spiral groove of the ball screw shaft.
In the case of this embodiment, the absolute position of the slider 21 is obtained in a range from the state where the slider 21 is at the origin to the position where the ball screw shaft (not shown) rotates 552 and the slider 21 advances. It is possible.

また、既に述べた、主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、及び、第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１は、図６に示すように、上記基板２０１側に突出されている。この主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、及び、第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１が突出される高さは、上記磁気センサ２０３、２０５、２０７に、対応する磁石１１５、１４９、１８９以外からの磁気の干渉がなく、且つ、上記基板２０１上に実装された上記磁気センサ２０３、２０５、２０７、ＣＰＵ２０４、通信素子２０６や図示しない電子部品と上記主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、及び、第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１とが接触しないように設定されている。
また、図３に示すように、上記基板２０１の後端側の面（図３中左下側の面）には、板状のカバ２０２が、例えば、両面テープによって接着されている。 Further, the magnetic interference preventing magnetic body 117 for the main driving gear, the magnetic interference preventing magnetic body 151 for the first driven gear, and the magnetic interference preventing magnetic body 191 for the second driven gear described above are shown in FIG. Thus, it protrudes toward the substrate 201 side. The height at which the magnetic interference preventing magnetic body 117 for the main driving gear, the magnetic interference preventing magnetic body 151 for the first driven gear, and the magnetic interference preventing magnetic body 191 for the second driven gear are projected is determined by the magnetic sensor. 203, 205, and 207 have no magnetic interference from other than the corresponding magnets 115, 149, and 189, and the magnetic sensors 203, 205, and 207, the CPU 204, the communication element 206, and the like mounted on the substrate 201 are illustrated. The magnetic component for preventing magnetic interference 117 for the main driving gear, the magnetic member for preventing magnetic interference 151 for the first driven gear, and the magnetic member 191 for preventing magnetic interference for the second driven gear are set so as not to contact each other. Has been.
Further, as shown in FIG. 3, a plate-like cover 202 is bonded to the rear end surface (the lower left surface in FIG. 3) of the substrate 201 by, for example, a double-sided tape.

また、図５に示すように、上記基板２０１には、取付用貫通孔２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄが形成されている。
上記先端側ケース４５、上記後端側ケース４７、及び、上記基板２０１は、上記先端側ケース４５の貫通孔５５ａ及び上記後端側ケース４７の貫通孔８３ａにボルト２１３ａを貫通させ、このボルト２１３ａを上記取付用貫通孔２１１ａに内装されたナット２１５ａに螺合させるとともに、上記先端側ケース４５の貫通孔５５ｄ及び上記後端側ケース４７の貫通孔８３ｄにボルト２１３ｂを貫通させ、このボルト２１３ｂを上記取付用貫通孔２１１ｄに内装されたナット２１５ｂに螺合させることによって、締結・固定されている。 As shown in FIG. 5, the substrate 201 has mounting through holes 211a, 211b, 211c, and 211d.
The front end side case 45, the rear end side case 47, and the substrate 201 have a bolt 213a penetrated through the through hole 55a of the front end side case 45 and the through hole 83a of the rear end side case 47, and the bolt 213a. Is screwed into a nut 215a housed in the mounting through hole 211a, and a bolt 213b is passed through the through hole 55d of the front end side case 45 and the through hole 83d of the rear end side case 47, and the bolt 213b is It is fastened and fixed by being screwed into a nut 215b housed in the mounting through hole 211d.

また、上記基板２０１には、位置決め用貫通孔２１２、２１２が形成されている。上記先端側ケース４５、上記後端側ケース４７、及び、上記基板２０１は、上記先端側ケース４５の位置決め用凹部５７、５７と、上記後端側ケース４７に形成された位置決め用貫通孔８５、８５、及び、上記基板２０１の位置決め用貫通孔２１２、２１２に挿入される位置決めピン２１８、２１８によって位置決めされている。   The substrate 201 is formed with positioning through holes 212 and 212. The front end side case 45, the rear end side case 47, and the substrate 201 include positioning recesses 57, 57 of the front end side case 45, positioning through holes 85 formed in the rear end side case 47, 85 and positioning pins 218 and 218 inserted into the positioning through holes 212 and 212 of the substrate 201.

また、上記機械式エンコーダ４１は、上記基板２０１の貫通孔２１１ｃ、上記後端側ケース４７の貫通孔８３ｃ、及び、上記先端側ケース４５の貫通孔５５ｃに取付用ボルト２１９ａを貫通させ、既に説明したモータケース２９に形成された雌ネジ部２１７ａに螺合させるとともに、上記基板２０１の貫通孔２１１ｂ、上記後端側ケース４７の貫通孔８３ｂ、及び、上記先端側ケース４５の貫通孔５５ｂに取付用ボルト２１９ｂを貫通させ、上記モータケース２９に形成された雌ネジ部２１７ｂに螺合させることにより、モータ２７に取り付けられる。   The mechanical encoder 41 has a mounting bolt 219a passed through the through hole 211c of the substrate 201, the through hole 83c of the rear end case 47, and the through hole 55c of the front end case 45. And screwed into a female screw portion 217a formed in the motor case 29 and attached to the through hole 211b of the substrate 201, the through hole 83b of the rear end side case 47, and the through hole 55b of the front end side case 45. It is attached to the motor 27 by penetrating the bolt 219b and screwing it into the female screw portion 217b formed in the motor case 29.

次に、この一実施の形態による作用について説明する。
まず、モータ２７の出力軸３１が正転又は逆転されると、図示しないボールねじ軸が正転又は逆転され、上記図示しないボールねじ軸に螺合された図示しないボールねじナットを介してスライダ２１が前進（図１中右上側に移動）又は後退（図１中左下側に移動）される。 Next, the operation according to this embodiment will be described.
First, when the output shaft 31 of the motor 27 is rotated forward or backward, a ball screw shaft (not shown) is rotated forward or backward, and the slider 21 is connected via a ball screw nut (not shown) screwed to the ball screw shaft (not shown). Is moved forward (moved to the upper right side in FIG. 1) or moved backward (moved to the lower left side in FIG. 1).

また、上記モータ２７の出力軸３１により、機械式エンコーダ４１の主動歯車９１が回転される。上記主動歯車９１には第１従動歯車１２１と第２従動歯車１６１が噛合されている。上記主動歯車９１の歯車部９３の歯数（Ｎ０）と上記第１従動歯車１２１の歯車部１２３の歯数（Ｎ１）と上記第２従動歯車１６１の歯車部１６３の歯数（Ｎ２）はそれぞれ異なっており、互に素となるように設定されているため、上記主動歯車９１を回転させていくと、第１従動歯車１２１、第２従動歯車１６１の回転角度は、図９のグラフに示すように変化していく。 The main drive gear 91 of the mechanical encoder 41 is rotated by the output shaft 31 of the motor 27. A first driven gear 121 and a second driven gear 161 are engaged with the main driving gear 91. The number of teeth of the gear portion 93 of the main driving gear 91 (N 0 ), the number of teeth of the gear portion 123 of the first driven gear 121 (N 1 ), and the number of teeth of the gear portion 163 of the second driven gear 161 (N 2). ) Are different from each other and are set to be prime to each other. Therefore, when the main driving gear 91 is rotated, the rotation angles of the first driven gear 121 and the second driven gear 161 are as shown in FIG. It changes as shown in the graph.

上記主動歯車９１の回転角度は磁気センサ２０３によって検出され、上記第１従動歯車１２１の回転角度は磁気センサ２０５によって検出され、上記第２従動歯車１６１の回転角度は磁気センサ２０７によって検出される。図９のグラフに示されるように、上記第１従動歯車１２１の回転角度と上記第２従動歯車１６１の回転角度の組み合わせから上記主動歯車９１の回転数が求められる。
そして、上記主動歯車９１の回転数と上記主動歯車９１の回転角度、及び、図示しないボールねじ軸の螺旋溝のピッチから、上記スライダ２１の絶対位置を求めることができる。 The rotation angle of the main driven gear 91 is detected by the magnetic sensor 203, the rotation angle of the first driven gear 121 is detected by the magnetic sensor 205, and the rotation angle of the second driven gear 161 is detected by the magnetic sensor 207. As shown in the graph of FIG. 9, the rotational speed of the main driven gear 91 is obtained from the combination of the rotational angle of the first driven gear 121 and the rotational angle of the second driven gear 161.
The absolute position of the slider 21 can be obtained from the rotation speed of the main driving gear 91 and the rotation angle of the main driving gear 91 and the pitch of the spiral groove of the ball screw shaft (not shown).

また、上記機械式エンコーダ４１の後端側ケース４７の磁性体取付部６７には、主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７が設置されていて、上記主動歯車９１の永久磁石１１５による、磁気センサ２０５、２０７への磁気干渉を防止し、上記第１従動歯車１２１及び上記第２従動歯車１６１の回転角度の検出精度を高めている。
また、上記後端側ケース４７の磁性体取付部７３には、第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１が設置されていて、上記第１従動歯車１２１の永久磁石１４９による、磁気センサ２０３、２０７への磁気干渉を防止し、上記主動歯車９１及び上記第２従動歯車１６１の回転角度の検出精度を高めている。
また、上記後端側ケース４７の磁性体取付部７９には、第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１が設置されていて、上記第２従動歯車１６１の永久磁石１８９による、磁気センサ２０３、２０５への磁気干渉を防止し、上記主動歯車９１及び上記第１従動歯車１２１の回転角度の検出精度を高めている。 In addition, a magnetic body 117 for preventing magnetic interference for the main driving gear is installed in the magnetic body attaching portion 67 of the rear end side case 47 of the mechanical encoder 41, and a magnetic sensor using the permanent magnet 115 of the main driving gear 91. Magnetic interference to 205 and 207 is prevented, and the detection accuracy of the rotation angle of the first driven gear 121 and the second driven gear 161 is increased.
The magnetic body mounting portion 73 of the rear end side case 47 is provided with a magnetic body 151 for preventing magnetic interference for the first driven gear, and the magnetic sensor 203 by the permanent magnet 149 of the first driven gear 121. , 207 is prevented, and the rotational angle detection accuracy of the main driving gear 91 and the second driven gear 161 is improved.
The magnetic body mounting portion 79 of the rear end side case 47 is provided with a magnetic body 191 for preventing magnetic interference for the second driven gear, and the magnetic sensor 203 by the permanent magnet 189 of the second driven gear 161. , 205 is prevented, and the rotational angle detection accuracy of the main driving gear 91 and the first driven gear 121 is improved.

次に、この一実施の形態による効果について説明する。
まず、主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１は、主動歯車９１、第１従動歯車１２１、及び、第２従動歯車１６１ではなく、後端側ケース４７に設置されているので、上記主動歯車９１、上記第１従動歯車１２１、上記第２従動歯車１６１をコンパクト化することができる。これにより、上記主動歯車９１、上記第１従動歯車１２１、上記第２従動歯車１６１を回転させるために必要な力を小さくすることができ、省電力化を図ることができる。
また、基板２０１上に上記主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、上記第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、上記第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１を設置していないので、上記基板２０１上の、例えば、電子部品のレイアウトが制限されることはなく、設計の自由度を高くすることができる。 Next, the effect of this embodiment will be described.
First, the magnetic body 117 for preventing magnetic interference for the main driving gear, the magnetic body 151 for preventing magnetic interference for the first driven gear, and the magnetic body 191 for preventing magnetic interference for the second driven gear include the main driving gear 91, the first driven gear 121, And since it is installed not in the 2nd driven gear 161 but in the rear end side case 47, the said main driving gear 91, the said 1st driven gear 121, and the said 2nd driven gear 161 can be compactized. Thereby, the force required to rotate the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear 161 can be reduced, and power saving can be achieved.
Further, the magnetic interference preventing magnetic body 117 for the main driving gear, the magnetic interference preventing magnetic body 151 for the first driven gear, and the magnetic interference preventing magnetic body 191 for the second driven gear are not installed on the substrate 201. Therefore, for example, the layout of electronic components on the substrate 201 is not limited, and the degree of design freedom can be increased.

また、上記主動歯車用磁気干渉防止用磁性体１１７、上記第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１５１、上記第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体１９１は、それぞれ、個々の磁石１１５、１４９、１８９に対応したリング状であるため、磁気センサ２０３、磁気センサ２０５、及び、磁気センサ２０７への磁気干渉を効果的に防止できる。   Also, the magnetic interference preventing magnetic body 117 for the main driving gear, the magnetic interference preventing magnetic body 151 for the first driven gear, and the magnetic interference preventing magnetic body 191 for the second driven gear are respectively the individual magnets 115, Since it has a ring shape corresponding to 149 and 189, magnetic interference to the magnetic sensor 203, the magnetic sensor 205, and the magnetic sensor 207 can be effectively prevented.

また、軸受１２９、１３１によって、上記第１従動歯車１２１の両端側が回転可能に支持されており、軸受１６９、１７１によって、上記第２従動歯車１６１の両端側が回転可能に支持されているため、上記第１従動歯車１２１及び上記第２従動歯車１６１を安定して回転させることができる。   Further, both ends of the first driven gear 121 are rotatably supported by the bearings 129 and 131, and both ends of the second driven gear 161 are rotatably supported by the bearings 169 and 171. The first driven gear 121 and the second driven gear 161 can be stably rotated.

また、機械式エンコーダ４１のケース４３は、先端側ケース４５と後端側ケース４７とから構成されているため、上記ケース４３内部に上記主動歯車９１、上記第１従動歯車１２１、上記第２従動歯車１６１、等が内装された上記機械式エンコーダ４１の組み立てを容易なものとすることができる。   Since the case 43 of the mechanical encoder 41 includes a front end side case 45 and a rear end side case 47, the main driving gear 91, the first driven gear 121, and the second driven gear are provided inside the case 43. Assembling of the mechanical encoder 41 in which the gears 161 and the like are incorporated can be facilitated.

なお、本発明は前記一実施の形態に限定されない。
例えば、主動歯車、第１従動歯車、第２従動歯車の歯数は、互いに素となる組み合わせであれば良く、様々な歯数の組み合わせが考えられる。
また、従動歯車を３つ以上設置する場合も考えられる。この場合も、個々の主動歯車、従動歯車の歯数は、互いに素となるように設定される。
なお、前記一実施の形態の場合には、磁気干渉防止用磁性体を主動歯車、各従動歯車毎に独立して設けたが、例えば、主動歯車、各従動歯車毎に個別に遮蔽はするが、磁気干渉防止用磁性体としては一体に設ける構成も考えられる。
その他、図示した構成はあくまで一例でありそれに限定されるものではない。 The present invention is not limited to the one embodiment.
For example, the number of teeth of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear may be any combination that is relatively prime, and combinations of various numbers of teeth are conceivable.
Moreover, the case where three or more driven gears are installed is also considered. Also in this case, the number of teeth of each of the main driving gear and the driven gear is set to be relatively prime.
In the case of the one embodiment, the magnetic body for preventing magnetic interference is provided independently for each of the main driving gear and each driven gear. For example, each main driving gear and each driven gear is individually shielded. Further, a configuration in which the magnetic body for preventing magnetic interference is provided integrally is also conceivable.
In addition, the illustrated configuration is merely an example and is not limited thereto.

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられる機械式エンコーダとアクチュエータに係り、特に、主動歯車及び従動歯車をコンパクト化することで、上記主動歯車及び上記従動歯車を回転させるために必要な力を小さくすることができ、且つ、設計の自由度を高めることができるように工夫したものに関し、例えば、スライダ上に対象物を載置して搬送するアクチュエータに好適である。   The present invention relates to, for example, a mechanical encoder and an actuator used for an industrial robot, and in particular, by reducing the size of the main driving gear and the driven gear, the force required to rotate the main driving gear and the driven gear is provided. For example, it is suitable for an actuator that places an object on a slider and conveys the object, which is devised so that the degree of freedom of design can be increased.

１ アクチュエータ
４１ 機械式エンコーダ
４３ ケース
４５ 先端側ケース（ケースを構成する一方の部材）
４７ 後端側ケース（ケースを構成する他方の部材）
９１ 主動歯車
１１５ 主動歯車用永久磁石
１１７ 主動歯車用磁気干渉防止用磁性体
１２１ 第１従動歯車
１４９ 第１従動歯車用永久磁石
１５１ 第１従動歯車用磁気干渉防止用磁性体
１６１ 第２従動歯車
１８９ 第２従動歯車用永久磁石
１９１ 第２従動歯車用磁気干渉防止用磁性体
２０１ 基板
２０３ 磁気センサ
２０５ 磁気センサ
２０７ 磁気センサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 41 Mechanical encoder 43 Case 45 Tip side case (one member which comprises a case)
47 Rear end side case (the other member constituting the case)
91 Driving Gear 115 Permanent Magnet for Driving Gear 117 Magnetic Magnetic Body for Preventing Magnetic Interference for Driving Gear 121 121 First Driving Gear 149 Permanent Magnet for First Driving Gear 151 Magnetic Magnetic Body for Preventing Magnetic Interference for First Driving Gear 161 Second Driving Gear 189 Permanent magnet for second driven gear 191 Magnetic body for preventing magnetic interference for second driven gear 201 Substrate 203 Magnetic sensor 205 Magnetic sensor 207 Magnetic sensor

Claims (5)

ケースと、
上記ケース内に回転可能に内装された主動歯車と、
上記ケース内に回転可能に内装され上記主動歯車に噛合される複数の従動歯車と、
上記主動歯車と上記従動歯車のそれぞれの同じ側に固着された永久磁石と、
上記永久磁石と対向するように配置され上記ケースに固定された基板と、
上記基板上に上記永久磁石と対向するように設けられ上記主動歯車及び上記従動歯車のそれぞれの回転に対応して磁場の変化を検出するセンサと、
上記ケースに上記基板と対向するように設置され上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれを遮蔽する磁気干渉防止用磁性体と、
を具備したことを特徴とする機械式エンコーダ。 Case and
A main drive gear rotatably mounted in the case;
A plurality of driven gears rotatably incorporated in the case and meshed with the main driving gear;
A permanent magnet fixed to the same side of each of the main driving gear and the driven gear;
A substrate disposed to face the permanent magnet and fixed to the case;
A sensor provided on the substrate so as to face the permanent magnet and detecting a change in the magnetic field corresponding to the rotation of each of the main driving gear and the driven gear;
A magnetic body for preventing magnetic interference installed in the case so as to face the substrate and shielding each of the permanent magnets of the main driving gear and the driven gear;
A mechanical encoder comprising: 請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、
上記磁気干渉防止用磁性体は上記主動歯車及び上記従動歯車の上記永久磁石のそれぞれに対応するように設置されたリング状の部材であることを特徴とする機械式エンコーダ。 The mechanical encoder according to claim 1, wherein
The magnetic encoder for preventing magnetic interference is a ring-shaped member installed so as to correspond to each of the permanent magnets of the main driving gear and the driven gear. 請求項１又は請求項２記載の機械式エンコーダにおいて、
上記従動歯車の両端が回転可能に支持されることを特徴とする機械式エンコーダ。 The mechanical encoder according to claim 1 or 2,
A mechanical encoder characterized in that both ends of the driven gear are rotatably supported. 請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記ケースは２つの部材から構成されることを特徴とする機械式エンコーダ。 The mechanical encoder according to any one of claims 1 to 3,
The mechanical encoder is characterized in that the case is composed of two members. 請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダが設置されていることを特徴とするアクチュエータ。   An actuator comprising the mechanical encoder according to any one of claims 1 to 4.
JP2014243636A 2014-12-02 2014-12-02 Mechanical encoders and actuators Active JP6430800B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014243636A JP6430800B2 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Mechanical encoders and actuators

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014243636A JP6430800B2 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Mechanical encoders and actuators

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016109431A JP2016109431A (en) 2016-06-20
JP6430800B2 true JP6430800B2 (en) 2018-11-28

Family

ID=56123892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014243636A Active JP6430800B2 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Mechanical encoders and actuators

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6430800B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023074097A1 (en) 2021-10-25 2023-05-04 株式会社アイエイアイ Encoder, motor unit, and actuator

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3534121B1 (en) * 2018-03-02 2021-01-27 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Multi-turn rotary encoder
JP7234577B2 (en) 2018-10-31 2023-03-08 セイコーエプソン株式会社 ROBOT SYSTEM, ROBOT CONTROL METHOD, AND ENCODER
JP7234580B2 (en) 2018-10-31 2023-03-08 セイコーエプソン株式会社 ROBOT SYSTEM, ROBOT CONTROL METHOD, AND ENCODER
JP7277190B2 (en) * 2019-03-19 2023-05-18 ミネベアミツミ株式会社 absolute encoder
JP7316075B2 (en) * 2019-03-28 2023-07-27 ミネベアミツミ株式会社 absolute encoder
JPWO2022181700A1 (en) * 2021-02-26 2022-09-01
JP2023042448A (en) * 2021-09-14 2023-03-27 Ckd株式会社 Rotary encoder
JP2023173837A (en) * 2022-05-26 2023-12-07 ミネベアミツミ株式会社 absolute encoder

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009145076A (en) * 2007-12-11 2009-07-02 Hitachi Cable Ltd Rotation angle detector
JP2014066561A (en) * 2012-09-25 2014-04-17 Panasonic Corp Rotation angle/torque detector
JP2014115234A (en) * 2012-12-12 2014-06-26 Iai Corp Mechanical absolute unit, mechanical absolute encoder, and actuator
JP6224349B2 (en) * 2013-05-15 2017-11-01 株式会社アイエイアイ Stepping motor control system and stepping motor control method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023074097A1 (en) 2021-10-25 2023-05-04 株式会社アイエイアイ Encoder, motor unit, and actuator

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016109431A (en) 2016-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6430800B2 (en) Mechanical encoders and actuators
JP6007131B2 (en) Steering angle sensor and electric power steering apparatus using the same
JP5943955B2 (en) Range switching device
CN103946588A (en) Linear actuator assembly having a magnetic sensor
US10465767B2 (en) Actuator
US20170001304A1 (en) Actuator
JP6567204B2 (en) Decelerator
JP2009160721A (en) Motorized rotary joint
JP2010246261A (en) Motor with deceleration mechanism and wiper motor
JP2015117787A (en) Electric actuator
JP2020173115A5 (en)
JP2008274971A (en) Actuator
KR102151386B1 (en) Reducer with position feedback apparatus
JP6882775B2 (en) Motor unit
KR101706985B1 (en) A transmission device for converting a torque
JP7199168B2 (en) electric actuator
JP6609916B2 (en) Actuator
KR20140145340A (en) Planetary Gear Apparatus
JP2004279065A (en) Rotation angle detecting apparatus
JP6685459B2 (en) Module bearing and power transmission device including the same
JP6565476B2 (en) Rotational linear motion conversion device, electric power steering device including the same, vehicle, and mechanical device
JP6686373B2 (en) Actuator
JP2016082787A (en) Motor and driving device
JP2011022074A (en) Multi-rotation angle detection device
KR102311785B1 (en) SBW Type Shift Actuator Device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170919

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181015

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181030

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181101

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6430800

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250