JP6401038B2

JP6401038B2 - Cassette stage

Info

Publication number: JP6401038B2
Application number: JP2014254119A
Authority: JP
Inventors: 恒成清原
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-12-16
Filing date: 2014-12-16
Publication date: 2018-10-03
Anticipated expiration: 2034-12-16
Also published as: JP2016115838A

Description

本発明は、ウエーハを収容するカセットが載置されるカセットステージに関し、特に、大口径のウエーハを収容するオープン式のカセットが載置されるカセットステージに関する。 The present invention relates to a cassette stage on which a cassette that accommodates a wafer is placed, and more particularly to a cassette stage on which an open-type cassette that accommodates a large-diameter wafer is placed.

複数枚のウエーハが収容されたカセットは、加工装置に設けられたカセットステージ上に載置される。カセット内のウエーハは、加工装置の搬送手段によってカセットから取り出され、加工装置内に搬送される。加工装置内では、加工手段によりウエーハに対して研削等の加工が実施される。このような加工装置では、カセットからウエーハが取り出される際に、搬送手段がオペレータに接触するのを防止するため、カセット全体がカバーによって覆われる（例えば、特許文献１−４参照）。特許文献１−４に記載のカバーは、カセットより大きい箱型に形成されている。カバーは、カセットステージの周囲で昇降動作され、この昇降動作によって、カセットがカバーにより覆われて閉塞され、また、閉塞が解除されて開放される。 A cassette containing a plurality of wafers is placed on a cassette stage provided in the processing apparatus. The wafer in the cassette is taken out from the cassette by the conveying means of the processing apparatus and is transferred into the processing apparatus. In the processing apparatus, processing such as grinding is performed on the wafer by processing means. In such a processing apparatus, when the wafer is taken out from the cassette, the entire cassette is covered with a cover in order to prevent the conveying means from coming into contact with the operator (see, for example, Patent Documents 1-4). The cover described in Patent Documents 1-4 is formed in a box shape larger than the cassette. The cover is moved up and down around the cassette stage, and the cassette is covered and closed by the cover, and the cover is released and released.

特開２００７−２５０５６３号公報JP 2007-250563 A 特開２０１４−０８６６４３号公報JP 2014-086643 A 特開２００２−１１０７６０号公報JP 2002-110760 A 特開２００６−３３２３２６号公報JP 2006-332326 A

また、近年のウエーハの大口径化に伴い、カセットも大型化されている。したがって、カセットの大きさに合わせてカバーも大型化してしまい、大型化した分の重量が重くなってしまう。このようにカバーが重くなると、カバーの開閉動作の作業性に影響を及ぼすという問題があった。 In addition, with the recent increase in wafer diameter, cassettes are also becoming larger. Therefore, the cover is enlarged in accordance with the size of the cassette, and the weight of the increased size is increased. When the cover becomes heavy in this way, there is a problem that the workability of the opening and closing operation of the cover is affected.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、カセットを覆うカバーの動作を容易にすることができるカセットステージを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of these points, and an object thereof is to provide a cassette stage that can facilitate the operation of a cover that covers the cassette.

本発明のカセットステージは、複数枚のウエーハを収納可能にするカセットを載置する載置テーブルと、載置テーブルに載置されるカセットを覆うカバーと、カバーに備えるハンドルを把持し、カバーを昇降動作させることでカセットを閉塞および開放させるカバー開閉機構と、を備え、カバーがカセットを閉塞させた際、カセットからウエーハの搬入出を可能にするカセットステージであって、カバー開閉機構は、ハンドルの把持によって作動してカバーの上昇動作をアシストするアシスト機構を備えていることを特徴とする。 The cassette stage of the present invention grips a mounting table for mounting a cassette capable of storing a plurality of wafers, a cover for covering the cassette mounted on the mounting table, a handle provided in the cover, And a cover opening / closing mechanism that closes and opens the cassette by moving up and down, and a cassette stage that enables loading and unloading of wafers from the cassette when the cover closes the cassette. And an assist mechanism that assists the lifting operation of the cover by being actuated by gripping the cover.

この構成によれば、カバーを上昇動作させるときにハンドルを把持すると、アシスト機構によってカバーの上昇動作をアシストすることができ、カバーの動作の容易化を図ることができる。 According to this configuration, if the handle is gripped when the cover is raised, the assist mechanism can assist the cover raising operation, and the cover operation can be facilitated.

また、本発明のカセットステージにおいて、アシスト機構は、シリンダと、シリンダに供給されるエアーによりシリンダから進出入するロッドと、シリンダにエアーを供給および排出させる供給排出手段と、を含み、供給排出手段は、カバーを上昇させる方向にロッドを移動させカバーを上昇させるシリンダに供給するエアーの第１の圧力を設定する第１のレギュレータと、カバーを上昇させる方向にロッドを付勢させカバーを下降させるシリンダに供給するエアーの第２の圧力を設定する第２のレギュレータと、ハンドルの把持または把持の解除によって第１のレギュレータと第２のレギュレータとを切換えるバルブと、を備え、ハンドルを把持すると、バルブで切換えられ第１のレギュレータによりシリンダに第１の圧力のエアーが供給されカバーが上昇され、ハンドルの把持を止めると、バルブで切換えられ第２のレギュレータによりシリンダにエアーが供給されシリンダ内の圧力が第２の圧力に維持されつつカバーの自重によりシリンダからエアーを排出させカバーが下降されるとよい。 In the cassette stage of the present invention, the assist mechanism includes a cylinder, a rod that moves in and out of the cylinder by air supplied to the cylinder, and a supply / discharge unit that supplies and discharges air to and from the cylinder. The first regulator that sets the first pressure of the air supplied to the cylinder that moves the rod in the direction that raises the cover and raises the cover, and the rod that urges the rod in the direction that raises the cover and lowers the cover A second regulator that sets a second pressure of air supplied to the cylinder, and a valve that switches between the first regulator and the second regulator by gripping or releasing the grip, and gripping the handle, The first pressure regulator supplies air to the cylinder by the first regulator. When the cover is raised and gripping of the handle is stopped, the valve is switched and air is supplied to the cylinder by the second regulator, and the pressure in the cylinder is maintained at the second pressure, and the air is discharged from the cylinder by the weight of the cover. The cover should be lowered.

また、本発明のカセットステージにおいて、アシスト機構は、シリンダと、シリンダに供給されるエアーによりシリンダから進出入するロッドと、シリンダにエアーを供給および排出させる供給排出手段と、を含み、供給排出手段は、カバーの下降において、シリンダから所定量ずつエアーを排出させる絞り弁を備え、カバーの自重により圧縮されたシリンダ内のエアーを、絞り弁によって所定量ずつシリンダから排出させカバーを下降させるとよい。 In the cassette stage of the present invention, the assist mechanism includes a cylinder, a rod that moves in and out of the cylinder by air supplied to the cylinder, and a supply / discharge unit that supplies and discharges air to and from the cylinder. Is provided with a throttle valve that discharges air by a predetermined amount from the cylinder when the cover is lowered, and air in the cylinder compressed by its own weight is discharged from the cylinder by a predetermined amount by the throttle valve and the cover is lowered. .

また、本発明の上記カセットステージにおいて、第１のレギュレータおよび第２のレギュレータは、バルブにて供給するエアーの圧力を自在に変更可能とする圧力可変レギュレータとされ、カバーの位置を認識する位置認識部を備え、位置認識部が認識したカバーの位置に応じて圧力可変レギュレータでエアーの圧力を調節するとよい。この構成では、カバーの位置に応じ、アシスト機構によるカバーの昇降速度を調整することができる。 In the cassette stage of the present invention, the first regulator and the second regulator are variable pressure regulators that can freely change the pressure of the air supplied by the valve, and recognize the position of the cover. The air pressure may be adjusted with a pressure variable regulator according to the position of the cover recognized by the position recognition unit. In this configuration, the lifting speed of the cover by the assist mechanism can be adjusted according to the position of the cover.

本発明によれば、アシスト機構を有するので、カセットを覆うカバーの動作を容易にすることができる。 According to the present invention, since the assist mechanism is provided, the operation of the cover that covers the cassette can be facilitated.

第１の実施の形態に係るカセットステージが適用される加工装置の斜視図である。It is a perspective view of the processing apparatus to which the cassette stage which concerns on 1st Embodiment is applied. 第１の実施の形態に係るオープンカセット及びウエーハの斜視図である。It is a perspective view of the open cassette and wafer which concern on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係るカセットステージの側面図である。It is a side view of the cassette stage which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係るカセットステージのカバー開閉時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the cover opening / closing of the cassette stage which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係るカセットステージのカバー開閉時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the cover opening / closing of the cassette stage which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係るカセットステージのカバー開閉時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the cover opening / closing of the cassette stage which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係るカセットステージのカバーを開閉する際の固定部周辺の模式図である。It is a schematic diagram of the periphery of the fixed portion when opening and closing the cover of the cassette stage according to the first embodiment. 第１の実施の形態に係る供給排出手段の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the supply / discharge means which concerns on 1st Embodiment. 第２の実施の形態に係る供給排出手段の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the supply / discharge means which concerns on 2nd Embodiment. 変形例に係るカセットステージの固定部周辺の図７と同様の模式図である。It is a schematic diagram similar to FIG. 7 around the fixed part of the cassette stage according to the modification.

［第１の実施の形態］
以下、図１から図３を参照して、第１の実施の形態に係る加工装置、オープンカセット、ウエーハ、及びカセットステージについて説明する。図１は、第１の実施の形態に係るカセットステージが適用される加工装置の斜視図である。図２は、第１の実施の形態に係るオープンカセット及びウエーハの斜視図である。図３は、第１の実施の形態に係るカセットステージの側面図である。なお、本実施の形態に係る加工装置（カセットステージ）は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。本実施の形態では、加工装置として研削装置を例に挙げて説明しているが、これに限定されず、例えば、加工装置として切削装置を適用してもよい。 [First Embodiment]
Hereinafter, a processing apparatus, an open cassette, a wafer, and a cassette stage according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a perspective view of a processing apparatus to which the cassette stage according to the first embodiment is applied. FIG. 2 is a perspective view of the open cassette and the wafer according to the first embodiment. FIG. 3 is a side view of the cassette stage according to the first embodiment. Note that the processing apparatus (cassette stage) according to the present embodiment is not limited to the configuration shown below, and can be changed as appropriate. In the present embodiment, the grinding apparatus is described as an example of the processing apparatus. However, the present invention is not limited to this. For example, a cutting apparatus may be applied as the processing apparatus.

図１に示すように、本実施の形態に係る加工装置１は、例えば、ウエーハＷ（図２参照）を研削加工する研削装置で構成される。加工装置１の正面には、複数枚のウエーハＷが収容されたオープンカセット（カセット）２が載置されるカセットステージ３が設けられている。また、加工装置１の正面には、オペレータが操作するための操作画面１０やスイッチ１１が設けられている。加工装置１は、ウエーハＷを搬送する搬送部１２とウエーハＷを研削加工する加工部１３とに分けられている。搬送部１２では、カセットステージ３に載置されたオープンカセット２からウエーハが搬送手段（不図示）によって取り出され、ウエーハＷは加工部１３に搬送される。そして、加工部１３では、加工手段（不図示）によって研削加工が実施される。 As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 which concerns on this Embodiment is comprised by the grinding apparatus which grinds the wafer W (refer FIG. 2), for example. A cassette stage 3 on which an open cassette (cassette) 2 containing a plurality of wafers W is placed is provided on the front surface of the processing apparatus 1. Further, an operation screen 10 and a switch 11 for an operator to operate are provided on the front surface of the processing apparatus 1. The processing apparatus 1 is divided into a transport unit 12 that transports the wafer W and a processing unit 13 that grinds the wafer W. In the transport unit 12, the wafer is taken out from the open cassette 2 placed on the cassette stage 3 by a transport unit (not shown), and the wafer W is transported to the processing unit 13. And in the process part 13, a grinding process is implemented by a process means (not shown).

本実施の形態に係るカセットステージ３は、前面及び後面が開口された箱型のオープンカセット２を一方の開口（後述する前開口２３（図２参照））が加工装置１の正面に向くように載置した後、他方の開口（後述する後開口２４（図２参照））をカバー３２で覆うように構成されている。 The cassette stage 3 according to the present embodiment is such that one opening (a front opening 23 described later (see FIG. 2)) of the box-shaped open cassette 2 with the front and rear surfaces opened faces the front of the processing apparatus 1. After the mounting, the other opening (a rear opening 24 (see FIG. 2) described later) is covered with a cover 32.

図２に示すように、本実施の形態に係るオープンカセット２は、前面及び後面が開口された箱型に形成される、いわゆるオープン式のカセットである。オープンカセット２は、鉛直方向に延びる一対の側壁２０と、一対の側壁２０の下端に連接される底壁（底面）２１と、底壁２１に対向（対面）し、一対の側壁の上端に連接される天井壁（天井面）２２とを備えている。側壁２０には、所定の間隔でウエーハＷを収容するための複数のスロット２０ａが形成されている。また、オープンカセット２の前面側にはウエーハＷの出し入れを可能にする前開口２３が形成され、後面側には前開口２３に対向して後開口２４が形成されている。後開口２４は、ウエーハＷの出し入れをさせないように、前開口２３に対して左右方向の幅が狭くなるように形成されている。すなわち、後開口２４は、ウエーハＷの外径より小さい左右幅を有している。 As shown in FIG. 2, the open cassette 2 according to the present embodiment is a so-called open-type cassette that is formed in a box shape whose front and rear surfaces are opened. The open cassette 2 has a pair of side walls 20 extending in the vertical direction, a bottom wall (bottom surface) 21 connected to the lower ends of the pair of side walls 20, and facing (facing) the bottom wall 21, and connected to the upper ends of the pair of side walls. The ceiling wall (ceiling surface) 22 is provided. The side wall 20 is formed with a plurality of slots 20a for accommodating the wafers W at predetermined intervals. A front opening 23 that allows the wafer W to be taken in and out is formed on the front side of the open cassette 2, and a rear opening 24 is formed on the rear side so as to face the front opening 23. The rear opening 24 is formed so that the width in the left-right direction is narrower than the front opening 23 so that the wafer W is not taken in and out. That is, the rear opening 24 has a lateral width smaller than the outer diameter of the wafer W.

また、ウエーハＷは、円板状に形成されており、表面が格子状に配列された分割予定ライン（不図示）によって複数のデバイス領域に区画されている。ウエーハＷは、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。ウエーハＷは、オープンカセット２の前開口２３から挿入され、各スロット２０ａに一枚ずつ収容された状態で、カセットステージ３（図３参照）に搬送される。 Further, the wafer W is formed in a disk shape, and the surface is partitioned into a plurality of device regions by division planned lines (not shown) arranged in a lattice shape. The wafer W may be a semiconductor substrate such as silicon or gallium arsenide, an inorganic material substrate such as ceramic, glass, or sapphire, or a semiconductor product package substrate. The wafers W are inserted from the front opening 23 of the open cassette 2 and are transported to the cassette stage 3 (see FIG. 3) while being accommodated one by one in each slot 20a.

図３に示すように、カセットステージ３は、加工装置１の搬送部１２の正面に配設され、鉛直方向に立設する直方体状のベース３０の上面に、略正方形状の載置テーブル３１を設けて構成される。ベース３０の正面側には開口３０ａが形成されており、ベース３０の内部には、オープンカセット２（図２参照）の後開口２４を塞ぐカバー３２や、カバー３２を開閉するカバー開閉機構３３等、カセットステージ３の構成部品が収容されている。 As shown in FIG. 3, the cassette stage 3 is disposed in front of the conveying unit 12 of the processing apparatus 1, and a substantially square mounting table 31 is placed on the upper surface of a rectangular parallelepiped base 30 that stands upright in the vertical direction. Provided and configured. An opening 30a is formed on the front side of the base 30. Inside the base 30, a cover 32 that closes the rear opening 24 of the open cassette 2 (see FIG. 2), a cover opening / closing mechanism 33 that opens and closes the cover 32, and the like. The component parts of the cassette stage 3 are accommodated.

載置テーブル３１上方であって搬送部１２正面には、オープンカセット２に対してウエーハＷを搬入出可能にするための搬入出口１４が形成されている。搬入出口１４は、オープンカセット２の左右幅より小さく、オープンカセット２の高さより大きい方形状に形成されている。搬入出口１４は、後述するシャッタ機構１５によって開閉される。 A loading / unloading port 14 for allowing the wafer W to be loaded into and unloaded from the open cassette 2 is formed above the mounting table 31 and in front of the transfer unit 12. The loading / unloading port 14 is formed in a rectangular shape that is smaller than the lateral width of the open cassette 2 and larger than the height of the open cassette 2. The loading / unloading port 14 is opened and closed by a shutter mechanism 15 described later.

載置テーブル３１には、オープンカセット２が載置されたことを検出するカセットセンサ３４が設けられている。カセットセンサ３４は、例えば、接触式のリミットセンサで構成され、載置テーブル３１の表面に対して上下に進退可能な接触片３４ａを有している。 The placement table 31 is provided with a cassette sensor 34 that detects that the open cassette 2 is placed. The cassette sensor 34 is constituted by, for example, a contact-type limit sensor, and has a contact piece 34 a that can move up and down with respect to the surface of the mounting table 31.

カバー３２は、ステンレス等の金属板により正面視長方形状の箱型で、前後方向の幅が左右方向に比べて小さくなるように形成されている。カバー３２の略下半部は、加工装置１側に僅かに屈曲されており、カバー３２の下端には、ベース３０の開口３０ａを塞ぐ遮蔽部材３５が取り付けられている。カバー３２は、上端にハンドル３６を備えている。ハンドル３６は、カバー３２の厚さ方向に２本並んで設けられ、一方のハンドル３６が他方のハンドル３６に対して、離反及び接近する方向に変位可能に支持されている。従って、オペレータが２本のハンドル３６を把持したときに接近する方向に変位し、ハンドル３６の把持を解除したときに、離反する方向に変位する。後述するアシスト機構５０を構成する検出手段５１では、かかる変位を入力としてハンドルの把持とその解除が検出される。なお、アシスト機構５０は、カバー開閉機構３３に備えられるものであり、その各構成については、後述する。 The cover 32 has a rectangular box shape when viewed from the front using a metal plate such as stainless steel, and is formed so that the width in the front-rear direction is smaller than that in the left-right direction. A substantially lower half of the cover 32 is slightly bent toward the processing apparatus 1, and a shielding member 35 that closes the opening 30 a of the base 30 is attached to the lower end of the cover 32. The cover 32 includes a handle 36 at the upper end. Two handles 36 are provided side by side in the thickness direction of the cover 32, and one handle 36 is supported so as to be displaceable and displaceable with respect to the other handle 36. Accordingly, when the operator grips the two handles 36, the operator moves in the approaching direction, and when the operator releases the gripping of the handle 36, the operator moves in the separating direction. The detecting means 51 constituting the assist mechanism 50 described later detects the grip and release of the handle by using the displacement as an input. The assist mechanism 50 is provided in the cover opening / closing mechanism 33, and each configuration thereof will be described later.

カバー３２は、カバー開閉機構３３によって移動可能に構成され、オープンカセット２の後開口２４を開放する開放位置、後述する最上位置、及び後開口２４を塞ぐ閉塞位置の間で平行移動される。カバー開閉機構３３は、カバー３２を平行移動させる平行リンク機構を含んで構成される。平行リンク機構は、カバー３２とベース３０を連結する上アーム３７と下アーム３８とを備えている。上アーム３７の一端（図３に示す下側の端部）は、カバー３２側面の屈曲部分３２ａに相対回転可能に接続される。一方、上アーム３７の他端側（図３に示す上アーム３７の上側）は、上アーム３７の回転軸（支点）となる第１の連結部３７ａによってベース３０に接続される。 The cover 32 is configured to be movable by a cover opening / closing mechanism 33 and is translated between an open position where the rear opening 24 of the open cassette 2 is opened, an uppermost position which will be described later, and a closed position where the rear opening 24 is closed. The cover opening / closing mechanism 33 includes a parallel link mechanism that translates the cover 32. The parallel link mechanism includes an upper arm 37 and a lower arm 38 that connect the cover 32 and the base 30. One end of the upper arm 37 (the lower end portion shown in FIG. 3) is connected to the bent portion 32a on the side surface of the cover 32 so as to be relatively rotatable. On the other hand, the other end side of the upper arm 37 (the upper side of the upper arm 37 shown in FIG. 3) is connected to the base 30 by a first connecting portion 37a that serves as a rotation axis (fulcrum) of the upper arm 37.

下アーム３８は、直角三角形状の三角形状部３８ａの一角から長尺部３８ｂが延びた略Ｌ字状に形成されている。下アーム３８の一端（三角形状部３８ａの鋭角部分）は、カバー３２の最下端に相対回転可能に接続される。一方、下アーム３８の他端（長尺部３８ｂの先端）は、下アーム３８の回転軸（支点）となる第２の連結部３８ｃによってベース３０に接続される。また、三角形状部３８ａと長尺部３８ｂとの接続部分には、ベース３０の側面に向かって突出する軸部３８ｄが設けられている。この軸部３８ｄは、カバー３２を閉塞位置に固定する固定部の一部として機能する。固定部については後述する。また、下アーム３８の一端側には、三角形状部３８ａの一辺に沿って延びる板状の遮蔽部材３５が固定されている。この遮蔽部材３５は、カバー３２が閉塞位置に位置付けられたときにベース３０正面の開口３０ａを塞ぐ役割を果たす。 The lower arm 38 is formed in a substantially L shape in which a long portion 38b extends from one corner of a triangular portion 38a having a right triangle shape. One end of the lower arm 38 (the acute angle portion of the triangular portion 38a) is connected to the lowermost end of the cover 32 so as to be relatively rotatable. On the other hand, the other end of the lower arm 38 (the tip of the long portion 38b) is connected to the base 30 by a second connecting portion 38c that serves as a rotation axis (fulcrum) of the lower arm 38. Further, a shaft portion 38 d that protrudes toward the side surface of the base 30 is provided at a connection portion between the triangular portion 38 a and the long portion 38 b. The shaft portion 38d functions as a part of a fixing portion that fixes the cover 32 at the closed position. The fixing unit will be described later. A plate-shaped shielding member 35 extending along one side of the triangular portion 38a is fixed to one end side of the lower arm 38. The shielding member 35 plays a role of closing the opening 30a on the front surface of the base 30 when the cover 32 is positioned at the closing position.

ベース３０の側面には、水平方向に延在する長穴３０ｂが形成されている。長穴３０ｂは、第２の連結部３８ｃを支持すると共に、第２の連結部３８ｃの水平方向への移動を案内する。また、ベース３０の側面には、円弧状の溝３０ｃが形成されている。円弧状の溝３０ｃは、下アーム３８が第２の連結部３８ｃを支点に旋回したときの軸部３８ｄの旋回軌道に沿う形状を有している。円弧状の溝３０ｃの幅は、軸部３８ｄの外径より僅かに大きく形成されている。円弧状の溝３０ｃの最上端（片端）には、径方向外側に向かって僅かに下方に傾斜した傾斜部３０ｄが円弧状の溝３０ｃに連なって形成されている。この傾斜部３０ｄは、カバー３２を閉塞位置に固定する固定部の一部として機能する。 A long hole 30 b extending in the horizontal direction is formed on the side surface of the base 30. The long hole 30b supports the second connecting portion 38c and guides the movement of the second connecting portion 38c in the horizontal direction. An arcuate groove 30 c is formed on the side surface of the base 30. The arc-shaped groove 30c has a shape along the turning trajectory of the shaft portion 38d when the lower arm 38 turns around the second connecting portion 38c as a fulcrum. The width of the arc-shaped groove 30c is slightly larger than the outer diameter of the shaft portion 38d. At the uppermost end (one end) of the arc-shaped groove 30c, an inclined portion 30d that is slightly inclined downward in the radial direction is formed continuously to the arc-shaped groove 30c. The inclined portion 30d functions as a part of a fixing portion that fixes the cover 32 at the closed position.

また、傾斜部３０ｄの先端位置には、カバー３２が後開口２４を塞いだことを検出するカバーセンサ３９が設けられている。カバーセンサ３９は、例えば、接触式のリミットセンサで構成され、一端を支点に揺動可能な接触片３９ａを有している。軸部３８ｄが接触片３９ａに当接して接触片３９ａが傾動することにより、カバーセンサ３９がオンされる。 In addition, a cover sensor 39 that detects that the cover 32 has blocked the rear opening 24 is provided at the tip of the inclined portion 30d. The cover sensor 39 is constituted by, for example, a contact-type limit sensor, and has a contact piece 39a that can swing with one end as a fulcrum. The cover sensor 39 is turned on when the shaft 38d contacts the contact piece 39a and the contact piece 39a tilts.

また、カバー開閉機構３３は、アシスト機構５０を構成するエアー駆動のシリンダ装置４０を備えている。シリンダ装置４０は、円筒状のシリンダ４０ａと、シリンダ４０ａに供給されるエアーによりシリンダ４０ａから進出入するロッド４０ｂとを有している。ロッド４０ｂの先端（シリンダ装置４０の一端）は、上アーム３７において、カバー３２との連結部分３２ａと、第１の連結部３７ａとの間に設けられた第３の連結部３７ｂによって相対回転可能に連結される。一方、シリンダ４０ａの基端（シリンダ装置４０の他端）は、ブラケット４１を介してベース３０に揺動可能に連結される。 The cover opening / closing mechanism 33 includes an air-driven cylinder device 40 that constitutes the assist mechanism 50. The cylinder device 40 includes a cylindrical cylinder 40a and a rod 40b that enters and exits from the cylinder 40a by air supplied to the cylinder 40a. The tip of the rod 40b (one end of the cylinder device 40) can be relatively rotated in the upper arm 37 by a third connecting portion 37b provided between the connecting portion 32a with the cover 32 and the first connecting portion 37a. Connected to On the other hand, the base end of the cylinder 40a (the other end of the cylinder device 40) is swingably connected to the base 30 via the bracket 41.

また、加工装置１（カセットステージ３）には、上記したように、加工装置１の正面側に形成された搬入出口１４を開閉するシャッタ機構１５が設けられている。シャッタ機構１５は、オープンカセット２の前開口２３や搬入出口１４より大きい板状のシャッタ部１６と、シャッタ部１６を昇降駆動する鉛直シリンダ１７とを備えている。鉛直シリンダ１７は、鉛直方向に延びる円筒状のシリンダ本体１７ａ内部でエアーにより鉛直方向に進退可能なロッド１７ｂを有している。ロッド１７ｂの先端には、シャッタ部１６が取り付けられ、シリンダ本体１７ａは、ブラケット（不図示）を介してベース３０に固定されている。なお、シャッタ機構１５は、上記したカセットセンサ３４及びカバーセンサ３９がオンされた場合にのみ、鉛直シリンダ１７を駆動してシャッタ部１６を昇降させることができる。 Further, as described above, the processing device 1 (cassette stage 3) is provided with the shutter mechanism 15 that opens and closes the loading / unloading port 14 formed on the front side of the processing device 1. The shutter mechanism 15 includes a plate-like shutter portion 16 larger than the front opening 23 and the loading / unloading port 14 of the open cassette 2 and a vertical cylinder 17 that drives the shutter portion 16 up and down. The vertical cylinder 17 has a rod 17b that can be advanced and retracted in the vertical direction by air inside a cylindrical cylinder body 17a extending in the vertical direction. The shutter portion 16 is attached to the tip of the rod 17b, and the cylinder body 17a is fixed to the base 30 via a bracket (not shown). Note that the shutter mechanism 15 can raise and lower the shutter unit 16 by driving the vertical cylinder 17 only when the cassette sensor 34 and the cover sensor 39 are turned on.

また、カセットステージ３（載置テーブル３１）上にオープンカセット２を載置すると、上記したように、オープンカセット２の高さより搬入出口１４の方が大きいため、搬入出口１４の上側（オープンカセット２の前開口２３の外周と搬入出口１４との間）には、僅かに隙間１８が生じる（図４参照）。この隙間１８は、シャッタ機構１５では完全に塞ぐことができない。そこで、本実施の形態に係るカセットステージ３では、この隙間を塞ぐために、第２のカバー４２と第２のカバー開閉機構４３とが設けられている。 Further, when the open cassette 2 is placed on the cassette stage 3 (mounting table 31), as described above, the loading / unloading port 14 is larger than the height of the opening cassette 2, so the upper side of the loading / unloading port 14 (open cassette 2). A slight gap 18 is formed between the outer periphery of the front opening 23 and the carry-in / out port 14 (see FIG. 4). The gap 18 cannot be completely closed by the shutter mechanism 15. Therefore, in the cassette stage 3 according to the present embodiment, a second cover 42 and a second cover opening / closing mechanism 43 are provided to close this gap.

第２のカバー４２は、加工装置１の左右方向に延び、下方が開口された箱型に形成されている。第２のカバー４２の左右方向の幅は、搬入出口１４の幅と略同一の大きさを有している。第２のカバー開閉機構４３は、三点リンク機構によって構成され、上記したカバー開閉機構３３によるカバー３２の開閉動作に連動して作動する。第２のカバー開閉機構４３は、第２のカバー４２に接続される第１のアーム４４と、第１のアーム４４に連結される第２のアーム４５とを備えている。第１のアーム４４は、上下に延びるように立設される。第１のアーム４４の上端には第２のカバー４２が接続される一方、第１のアーム４４の下端には第２のアーム４５の一端が相対回転可能に連結される。また、第１のアーム４４の中央から僅かに下方に位置する部分は、第１のアーム４４の回転軸（支点）となる第４の連結部４４ａによって、相対回転可能に加工装置１の筐体部分に接続される。 The second cover 42 is formed in a box shape that extends in the left-right direction of the processing apparatus 1 and is opened at the bottom. The width of the second cover 42 in the left-right direction is substantially the same as the width of the loading / unloading port 14. The second cover opening / closing mechanism 43 is constituted by a three-point link mechanism, and operates in conjunction with the opening / closing operation of the cover 32 by the cover opening / closing mechanism 33 described above. The second cover opening / closing mechanism 43 includes a first arm 44 connected to the second cover 42 and a second arm 45 coupled to the first arm 44. The first arm 44 is erected so as to extend vertically. The second cover 42 is connected to the upper end of the first arm 44, and one end of the second arm 45 is connected to the lower end of the first arm 44 so as to be relatively rotatable. Further, the portion of the first arm 44 that is located slightly below the center of the first arm 44 is a casing of the processing apparatus 1 that can be relatively rotated by a fourth connecting portion 44 a that serves as a rotation axis (fulcrum) of the first arm 44. Connected to the part.

第２のアーム４５は、水平方向に延びて形成され、上記したように一端（図３中右端）が第１のアーム４４の下端に相対回転可能に連結される。一方、第１のアーム４４の他端（図３中左端）は、上アーム３７の他端（図３中上端）に相対回転可能に連結される。ここで、第１の連結部３７ａは、カバー３２と上アーム３７との連結部分３２ａと、第２のアーム４５と上アーム３７とが連結される部分との間に位置している。 The second arm 45 is formed to extend in the horizontal direction, and one end (the right end in FIG. 3) is connected to the lower end of the first arm 44 so as to be relatively rotatable as described above. On the other hand, the other end (left end in FIG. 3) of the first arm 44 is connected to the other end (upper end in FIG. 3) of the upper arm 37 so as to be relatively rotatable. Here, the first connecting portion 37 a is located between a connecting portion 32 a between the cover 32 and the upper arm 37 and a portion where the second arm 45 and the upper arm 37 are connected.

次に、図４から図６を参照して、本実施の形態に係るカセットステージ３の動作について説明する。図４から図６は、本実施の形態に係るカセットステージのカバー開閉時の動作説明図である。 Next, the operation of the cassette stage 3 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 6 are operation explanatory views when the cover of the cassette stage according to the present embodiment is opened and closed.

図４に示すように、加工装置１では、カバー３２が最下位置（開放位置）に位置付けられており、カバー３２の一部及び遮蔽部材３５がベース３０の内部に収容されている。また、シャッタ部１６が最上位置に位置付けられており、搬入出口１４が上端部分を除いて塞がれている。複数枚のウエーハＷ（図２参照）が収容されたオープンカセット２は、図示しないカセット搬送手段又はオペレータによって、カセットステージ３に搬送される。 As shown in FIG. 4, in the processing apparatus 1, the cover 32 is positioned at the lowest position (open position), and a part of the cover 32 and the shielding member 35 are accommodated inside the base 30. Further, the shutter portion 16 is positioned at the uppermost position, and the loading / unloading port 14 is blocked except for the upper end portion. The open cassette 2 containing a plurality of wafers W (see FIG. 2) is transported to the cassette stage 3 by a cassette transport means or an operator (not shown).

オープンカセット２は、前開口２３を加工装置１の正面側（搬入出口１４側）に向けた状態で載置テーブル３１上に載置される。すると、オープンカセット２の底壁（底面）２１が接触片３４ａ（図３参照）に接触し、接触片３４ａが載置テーブル３１に押し込まれる。これにより、カセットセンサ３４がオンされ、カセットセンサ３４は、オープンカセット２がカセットステージ３に載置されたことを検出する。このとき、オープンカセット２の天井壁（天井面）２２と搬入出口１４との間には、僅かに隙間１８が空いている。 The open cassette 2 is placed on the placement table 31 with the front opening 23 facing the front side (the loading / unloading port 14 side) of the processing apparatus 1. Then, the bottom wall (bottom surface) 21 of the open cassette 2 comes into contact with the contact piece 34 a (see FIG. 3), and the contact piece 34 a is pushed into the mounting table 31. Thereby, the cassette sensor 34 is turned on, and the cassette sensor 34 detects that the open cassette 2 is placed on the cassette stage 3. At this time, there is a slight gap 18 between the ceiling wall (ceiling surface) 22 of the open cassette 2 and the loading / unloading port 14.

そして、ハンドル３６を把持することにより、シリンダ装置４０にエアーが供給される。シリンダ装置４０は、カバー３２や平行リンク機構の重さに抗してロッド４０ｂを斜め上方に押し出そうとする。ロッド４０ｂが押し出されると、上アーム３７は第１の連結部３７ａを中心に時計回りに旋回して、カバー３２が上昇される。カバー３２が上昇されると、下アーム３８及び遮蔽部材３５は第２の連結部３８ｃを中心に時計回りに旋回する。 Then, air is supplied to the cylinder device 40 by gripping the handle 36. The cylinder device 40 tries to push the rod 40b obliquely upward against the weight of the cover 32 and the parallel link mechanism. When the rod 40b is pushed out, the upper arm 37 pivots clockwise around the first connecting portion 37a, and the cover 32 is raised. When the cover 32 is raised, the lower arm 38 and the shielding member 35 pivot clockwise about the second connecting portion 38c.

また、上アーム３７の他端に連結された第２のアーム４５は、上アーム３７の旋回に連動して、加工装置１の内部（搬送部１２）に向かって押し出される。これにより、第１のアーム４４が第４の連結部４４ａを支点に回転する。そして、図５に示すように、カバー３２を最上位置まで引き上げると、第２のカバー４２が搬入出口１４から表出する。これにより、オープンカセット２と搬入出口１４との隙間１８が第２のカバー４２によって塞がれる。なお、図５に示す最上位置においては、オープンカセット２の後開口２４はカバー３２によって完全に塞がれておらず、後開口２４は僅かに外部に露出されている。 The second arm 45 connected to the other end of the upper arm 37 is pushed toward the inside of the processing apparatus 1 (conveying unit 12) in conjunction with the turning of the upper arm 37. As a result, the first arm 44 rotates around the fourth connecting portion 44a as a fulcrum. Then, as shown in FIG. 5, when the cover 32 is pulled up to the uppermost position, the second cover 42 is exposed from the loading / unloading port 14. As a result, the gap 18 between the open cassette 2 and the loading / unloading port 14 is closed by the second cover 42. In the uppermost position shown in FIG. 5, the rear opening 24 of the open cassette 2 is not completely blocked by the cover 32, and the rear opening 24 is slightly exposed to the outside.

カバー３２が最上位置に位置付けられた状態で、カバー３２を加工装置１側（前方）に向かって押し込むと、カバー３２は、上アーム３７との連結部分３２ａを中心に回転し、下アーム３８及び遮蔽部材３５は、後方に向かって水平移動される。そして、図６に示すように、カバー３２は、オープンカセット２の後開口２４を塞ぐ閉塞位置に位置付けられる。これにより、オープンカセット２の後開口２４はカバー３２で塞がれ、ベース３０の開口３０ａは、遮蔽部材３５によって塞がれる。また、このときカバーセンサ３９がオンされ、カバーセンサ３９は、後開口２４をカバー３２が塞いだことを検出する。なお、カバーセンサ３９がオンされる際の動作については後述する。 When the cover 32 is pushed toward the processing apparatus 1 side (forward) in a state where the cover 32 is positioned at the uppermost position, the cover 32 rotates around a connecting portion 32a with the upper arm 37, and the lower arm 38 and The shielding member 35 is moved horizontally toward the rear. As shown in FIG. 6, the cover 32 is positioned at a closed position that closes the rear opening 24 of the open cassette 2. Thereby, the rear opening 24 of the open cassette 2 is closed by the cover 32, and the opening 30 a of the base 30 is closed by the shielding member 35. At this time, the cover sensor 39 is turned on, and the cover sensor 39 detects that the cover 32 has closed the rear opening 24. The operation when the cover sensor 39 is turned on will be described later.

このように、本実施の形態では、オープンカセット２の後開口２４をカバーで塞ぐだけで、搬送動作中に搬送手段が加工装置１の外側に露出するのを防止することができる。すなわち、オープンカセット２自体が、搬送手段の移動範囲を覆うカバーの一部として機能する。よって、オペレータと搬送手段とが衝突するのを防止することができ、オペレータの安全性を確保することができる。また、カバー３２自体をオープンカセット２の後開口２４を塞ぐだけの構成とすることができるため、オープンカセット２全体を覆う必要がなく、装置全体の大型化を防止することができる。さらに、平行リンク機構により、上下方向に延びるカバー３２を上下に平行移動させるだけで後開口２４を開閉することができるため、カバー３２の移動範囲（特に加工装置１の前後方向の移動範囲）が最小限に抑えられる。よって、カバー３２動作時におけるオペレータとカバー３２との接触可能性を低減することができ、よりオペレータの安全性を確保することができる。 As described above, in this embodiment, it is possible to prevent the conveying means from being exposed to the outside of the processing apparatus 1 during the conveying operation only by closing the rear opening 24 of the open cassette 2 with the cover. That is, the open cassette 2 itself functions as a part of the cover that covers the moving range of the transport means. Therefore, it is possible to prevent the operator and the transport unit from colliding with each other, and it is possible to ensure the safety of the operator. Further, since the cover 32 itself can be configured to only block the rear opening 24 of the open cassette 2, it is not necessary to cover the entire open cassette 2, and the overall size of the apparatus can be prevented. Furthermore, since the rear opening 24 can be opened and closed simply by moving the cover 32 extending in the vertical direction vertically by the parallel link mechanism, the movement range of the cover 32 (particularly, the movement range in the front-rear direction of the processing apparatus 1) is increased. Minimized. Therefore, the possibility of contact between the operator and the cover 32 during the operation of the cover 32 can be reduced, and the safety of the operator can be further ensured.

また、カセットセンサ３４及びカバーセンサ３９がオンされたことにより、シャッタ機構１５は、シャッタ部１６を下降させることができる。これにより、搬入出口１４が開放され、オープンカセット２の前開口２３が搬送部１２内に露出される。そして、搬送手段（不図示）は、オープンカセット２と搬送部１２との間で、ウエーハＷの搬入出が可能になる。 Further, when the cassette sensor 34 and the cover sensor 39 are turned on, the shutter mechanism 15 can lower the shutter unit 16. Thereby, the loading / unloading port 14 is opened, and the front opening 23 of the open cassette 2 is exposed in the transport unit 12. And a conveyance means (not shown) can carry in / out the wafer W between the open cassette 2 and the conveyance part 12. FIG.

次に、図７を参照して、カバーが閉塞位置で固定される様子について詳細に説明する。図７は、本実施の形態に係るカセットステージのカバーを開閉する際の固定部周辺の模式図である。 Next, how the cover is fixed at the closed position will be described in detail with reference to FIG. FIG. 7 is a schematic diagram of the periphery of the fixed portion when the cover of the cassette stage according to the present embodiment is opened and closed.

図７Ａに示すように、カバー３２（図４参照）の開放位置においては、軸部３８ｄが円弧状の溝３０ｃの最下端に位置付けられ、第２の連結部３８ｃは、長穴３０ｂの前端側（搬送部１２（図４参照）側）に位置付けられている。オペレータがハンドル３６（図４参照）を操作してカバー３２を上昇させると、長穴３０ｂ内における第２の連結部３８ｃの位置は変わることなく、軸部３８ｄは第２の連結部３８ｃを中心として円弧状の溝３０ｃに沿って旋回する。そして、図７Ｂに示すように、カバー３２の最上位置において、軸部３８ｄは、円弧状の溝３０ｃの最上端に位置付けられる。 As shown in FIG. 7A, in the open position of the cover 32 (see FIG. 4), the shaft portion 38d is positioned at the lowermost end of the arc-shaped groove 30c, and the second connecting portion 38c is on the front end side of the long hole 30b. It is positioned on the (conveying unit 12 (see FIG. 4) side). When the operator operates the handle 36 (see FIG. 4) to raise the cover 32, the position of the second connecting portion 38c in the elongated hole 30b does not change, and the shaft portion 38d is centered on the second connecting portion 38c. And turn along the arcuate groove 30c. 7B, the shaft portion 38d is positioned at the uppermost end of the arc-shaped groove 30c at the uppermost position of the cover 32.

最上位置からカバー３２をオープンカセット２（図５参照）に向かって前方に押し込むと、下アーム３８（図５参照）は後方に向かって水平移動される。そして、図７Ｃに示すように、第２の連結部３８ｃは、長穴３０ｂ（摺動部）に沿って後方に摺動されると共に、軸部３８ｄは、傾斜部３０ｄ（固定部）に沿って後下方に摺動される。長穴３０ｂは、カバー３２が最上位置から閉塞位置まで移動するのを案内する役割を果たす。このとき、傾斜部３０ｄは、水平方向に延びる長穴３０ｂの形状に対して、後方に向かって僅かに傾斜している。このため、下アーム３８が水平移動する際に、軸部３８ｄは、傾斜部３０ｄの上側エッジ３０ｅからの抵抗を受ける。そして、第２の連結部３８ｃが長穴３０ｂの後端に位置付けられ、軸部３８ｄは、傾斜部３０ｄの最下端の位置で固定される。また、軸部３８ｄがカバーセンサ３９の接触片３９ａに当接して接触片３９ａが傾動され、カバーセンサ３９がオンされる。これにより、カバーセンサ３９は、後開口２４がカバー３２によって閉塞されたことを検出する。このようにして、カバー３２は、オープンカセット２の後開口２４を塞ぐ閉塞位置に位置付けられ、固定部（軸部３８ｄ及び傾斜部３０ｄ）によって閉塞位置に固定される。 When the cover 32 is pushed forward from the uppermost position toward the open cassette 2 (see FIG. 5), the lower arm 38 (see FIG. 5) is moved horizontally toward the rear. As shown in FIG. 7C, the second connecting portion 38c is slid rearward along the long hole 30b (sliding portion), and the shaft portion 38d is along the inclined portion 30d (fixed portion). And then slid downward. The long hole 30b serves to guide the movement of the cover 32 from the uppermost position to the closed position. At this time, the inclined portion 30d is slightly inclined backward with respect to the shape of the elongated hole 30b extending in the horizontal direction. For this reason, when the lower arm 38 moves horizontally, the shaft portion 38d receives resistance from the upper edge 30e of the inclined portion 30d. And the 2nd connection part 38c is located in the rear end of the long hole 30b, and the axial part 38d is fixed in the position of the lowest end of the inclination part 30d. Further, the shaft portion 38d contacts the contact piece 39a of the cover sensor 39, the contact piece 39a is tilted, and the cover sensor 39 is turned on. Thereby, the cover sensor 39 detects that the rear opening 24 is closed by the cover 32. In this way, the cover 32 is positioned at the closed position that closes the rear opening 24 of the open cassette 2, and is fixed at the closed position by the fixing portions (the shaft portion 38d and the inclined portion 30d).

また、カバー３２を開く際には、ハンドル３６を把持してカバー３２を後方に引くことにより、カバー３２は、上アーム３７との連結部分３２ａを中心に回転し、最上位置に位置付けられる（図５参照）。このとき、下アーム３８が前方に移動されることにより、軸部３８ｄが円弧状の溝３０ｃの最上端に位置付けられ、第２の連結部３８ｃは長穴３０ｂの前端に位置付けられる。これにより、カバー３２の固定が解除される。ハンドル３６の把持を解除すると、カバー３２は自重によって下降される。これにより、カバー３２が開放位置に位置付けられ、オープンカセット２の後開口２４が開放される。 Further, when the cover 32 is opened, the cover 32 is rotated about the connecting portion 32a with the upper arm 37 and is positioned at the uppermost position by grasping the handle 36 and pulling the cover 32 backward (see FIG. 5). At this time, when the lower arm 38 is moved forward, the shaft portion 38d is positioned at the uppermost end of the arc-shaped groove 30c, and the second connecting portion 38c is positioned at the front end of the elongated hole 30b. Thereby, the fixing of the cover 32 is released. When the grip of the handle 36 is released, the cover 32 is lowered by its own weight. As a result, the cover 32 is positioned at the open position, and the rear opening 24 of the open cassette 2 is opened.

ここで、図３を参照して、アシスト機構５０について説明する。図３に示すように、アシスト機構５０は、上述したシリンダ装置４０に加え、ハンドル３６の基部側に設けられ、オペレータによるハンドル３６の把持とその解除とを検出する検出手段５１と、シリンダ装置４０のシリンダ４０ａにエアーを供給および排出させる供給排出手段６０とを備えている。検出手段５１は、検出結果に応じた作動信号を供給排出手段６０に出力する。供給排出手段６０は、給排管６１を介してシリンダ４０ａに接続されている。アシスト機構５０は、ハンドル３６の把持によって作動してカバー３２の上昇及び下降動作をアシストする。 Here, the assist mechanism 50 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the assist mechanism 50 is provided on the base side of the handle 36 in addition to the cylinder device 40 described above, and a detecting means 51 that detects gripping and release of the handle 36 by the operator, and the cylinder device 40. Supply and discharge means 60 for supplying and discharging air to the cylinder 40a. The detection unit 51 outputs an operation signal corresponding to the detection result to the supply / discharge unit 60. The supply / discharge means 60 is connected to the cylinder 40 a via the supply / discharge pipe 61. The assist mechanism 50 is operated by gripping the handle 36 and assists the raising and lowering operations of the cover 32.

図８Ａ及び図８Ｂは、第１の実施の形態に係る供給排出手段の概略構成図である。図８Ａ及び図８Ｂに示すように、供給排出手段６０は、エアー供給源６２と、シリンダ４０ａ（図３参照）に連通する給排管６１に接続されるバルブ６３と、バルブ６３とエアー供給源６２とを連通する供給管６４に設けられた第１調整手段としてのレギュレータ６５と、供給管６４とは別系統でバルブ６３に連通する排出管６６に設けられた第２調整手段としての絞り弁６７とを備えている。 8A and 8B are schematic configuration diagrams of the supply / discharge means according to the first embodiment. As shown in FIGS. 8A and 8B, the supply / discharge means 60 includes an air supply source 62, a valve 63 connected to a supply / discharge pipe 61 communicating with the cylinder 40a (see FIG. 3), a valve 63, and an air supply source. A regulator 65 as a first adjusting means provided in a supply pipe 64 communicating with 62 and a throttle valve as a second adjusting means provided in a discharge pipe 66 communicating with the valve 63 in a separate system from the supply pipe 64 67.

バルブ６３は、三方弁で構成される。バルブ６３は、給排管６１の接続先を、エアー供給源６２に連通する供給管６４と、絞り弁６７に連通する排出管６６とに切り換え可能に構成されている。バルブ６３は、検出手段５１の検出結果に基づく出力信号に応じて作動し、給排管６１の接続先を切り換える。バルブ６３は、図８Ａのように給排管６１と供給管６４とを連通させた場合に排出管６６との連通を遮断する一方、図８Ｂのように給排管６１と排出管６６とを連通させた場合に供給管６４との連通を遮断する。 The valve 63 is a three-way valve. The valve 63 is configured to be able to switch the connection destination of the supply / discharge pipe 61 between a supply pipe 64 communicating with the air supply source 62 and a discharge pipe 66 communicating with the throttle valve 67. The valve 63 operates according to an output signal based on the detection result of the detection means 51 and switches the connection destination of the supply / exhaust pipe 61. The valve 63 blocks the communication with the discharge pipe 66 when the supply / discharge pipe 61 and the supply pipe 64 are communicated as shown in FIG. 8A, while the supply / discharge pipe 61 and the discharge pipe 66 are disconnected as shown in FIG. 8B. When the communication is established, the communication with the supply pipe 64 is blocked.

レギュレータ６５は、エアー供給源６２から供給管６４、バルブ６３、給排管６１を介してシリンダ４０ａ（図３参照）に供給されるエアーを所定の圧力とする。レギュレータ６５は、本実施の形態では、圧力ゲージ６５ａで測定された値に対し、不図示の制御手段を介してエアーの圧力を調整可能に設けられている。絞り弁６７は、シリンダ４０ａから給排管６１、バルブ６３、排出管６６を通じて流れ込むエアーを大気と連通させ、所定量ずつ排出させる。 The regulator 65 sets the air supplied from the air supply source 62 to the cylinder 40a (see FIG. 3) through the supply pipe 64, the valve 63, and the supply / discharge pipe 61 to a predetermined pressure. In the present embodiment, the regulator 65 is provided so that the pressure of air can be adjusted via a control means (not shown) with respect to the value measured by the pressure gauge 65a. The throttle valve 67 communicates the air flowing from the cylinder 40a through the supply / discharge pipe 61, the valve 63, and the discharge pipe 66 with the atmosphere and discharges the air by a predetermined amount.

次に、図３及び図８を参照して、カバー３２及びバルブ６３の動作と、供給排出手段６０におけるエアーの流れとについて説明する。 Next, the operation of the cover 32 and the valve 63 and the air flow in the supply / discharge means 60 will be described with reference to FIGS.

オペレータによってハンドル３６が把持されると、２本のハンドル３６が接近して把持されたことが検出手段５１で検出される。この検出によって検出手段５１からバルブ６３に信号が送信され、バルブ６３が作動して図８Ａに示す下降位置に配置される。この下降位置において、バルブ６３により給排管６１と供給管６４とが連通される。そして、エアー供給源６２からのエアーがレギュレータ６５で所定の圧力とされてから、バルブ６３、給排管６１を介してシリンダ４０ａにエアーが供給される。 When the handle 36 is gripped by the operator, the detection means 51 detects that the two handles 36 are approached and gripped. By this detection, a signal is transmitted from the detection means 51 to the valve 63, and the valve 63 is operated to be placed at the lowered position shown in FIG. 8A. In this lowered position, the supply / exhaust pipe 61 and the supply pipe 64 are communicated by the valve 63. Then, after the air from the air supply source 62 is set to a predetermined pressure by the regulator 65, the air is supplied to the cylinder 40 a through the valve 63 and the supply / discharge pipe 61.

シリンダ４０ａにエアーが供給されると、シリンダ４０ａからロッド４０ｂが進出される。かかるロッド４０ｂの進出によって、カバー３２等の自重に抗して上アーム３７が時計回りに回転され、カバー３２が上昇される。つまり、ハンドル３６の把持によってアシスト機構５０が作動し、カバー３２の上昇動作がアシストされる。この上昇動作をアシストする力は、オペレータがカバー３２を上昇させる方向に力を加えなくても、カバー３２が上昇動作するように設定される。 When air is supplied to the cylinder 40a, the rod 40b advances from the cylinder 40a. The advancement of the rod 40b causes the upper arm 37 to rotate clockwise against the weight of the cover 32 and the like, and the cover 32 is raised. That is, the assist mechanism 50 is operated by gripping the handle 36, and the raising operation of the cover 32 is assisted. The force for assisting the raising operation is set so that the cover 32 moves up even if the operator does not apply a force in the direction of raising the cover 32.

なお、上昇動作をアシストする力は、図４に示す開放位置から図５に示す最上位置までカバー３２を上昇させるときだけでなく、図６に示す閉塞位置から図５に示す最上位置まで上昇させるときにも発揮される。 The force for assisting the raising operation is raised not only when the cover 32 is raised from the open position shown in FIG. 4 to the uppermost position shown in FIG. 5, but also from the closed position shown in FIG. 6 to the uppermost position shown in FIG. Sometimes it is demonstrated.

一方、オペレータがハンドル３６の把持を止めると、２本のハンドル３６が離間して把持が解除されたことが検出手段５１で検出される。この検出によって検出手段５１からバルブ６３に信号が送信され、バルブ６３が作動して給排管６１と供給管６４との連通が遮断され、給排管６１と排出管６６とが連通される（図８Ｂ参照）。この連通によって、シリンダ４０ａの内部が給排管６１、バルブ６３、排出管６６を通じ、絞り弁６７を介して大気と連通される。 On the other hand, when the operator stops gripping the handle 36, the detecting means 51 detects that the two handles 36 are separated and the grip is released. By this detection, a signal is transmitted from the detection means 51 to the valve 63, the valve 63 is operated, the communication between the supply / exhaust pipe 61 and the supply pipe 64 is cut off, and the supply / exhaust pipe 61 and the exhaust pipe 66 are communicated ( (See FIG. 8B). By this communication, the inside of the cylinder 40a is communicated with the atmosphere via the throttle valve 67 through the supply / discharge pipe 61, the valve 63, and the discharge pipe 66.

この状態で、例えば、カバー３２が図５に示す最上位置にある場合や、カバー３２を下降させる場合において、カバー３２の自重等が上アーム３７を介してロッド４０ｂに加わる。これにより、カバー３２が自重により下降してロッド４０ｂがシリンダ４０ａに進入され、シリンダ４０ａの内部のエアーが圧縮されシリンダ４０ａから押し出される。このとき、シリンダ４０ａからのエアーは絞り弁６７を介して所定量ずつ排出され、恰もダンパーのようにカバー３２の下降に抗する力が発揮される。つまり、ハンドル３６の把持の解除によってアシスト機構５０（特にバルブ６３）が作動し、カバー３２が勢いよく下降しないよう、カバー３２の下降動作がアシストされる。 In this state, for example, when the cover 32 is at the uppermost position shown in FIG. 5 or when the cover 32 is lowered, the weight of the cover 32 is applied to the rod 40 b via the upper arm 37. Thereby, the cover 32 is lowered by its own weight, the rod 40b enters the cylinder 40a, and the air inside the cylinder 40a is compressed and pushed out of the cylinder 40a. At this time, the air from the cylinder 40a is discharged by a predetermined amount through the throttle valve 67, and a force that resists the lowering of the cover 32 like a damper is exhibited. That is, the assist mechanism 50 (particularly the valve 63) is operated by releasing the grip of the handle 36, and the lowering operation of the cover 32 is assisted so that the cover 32 does not move down vigorously.

以上のように、本実施の形態に係るカセットステージ３によれば、ハンドル３６が把持されると、バルブ６３が作動されてシリンダ４０ａにエアーが供給され、カバー３２の上昇動作をアシストしてカバー３２の閉塞動作の容易化を図ることができる。また、カバー３２の下降動作がアシストされることで、カバー３２の下降速度をゆっくりとすることができ、平行リンク機構等に加わる負荷を軽減することができる。これらの作用、効果は、カバー３２が大型化される程、そのメリットが大きくなる。 As described above, according to the cassette stage 3 according to the present embodiment, when the handle 36 is gripped, the valve 63 is operated, air is supplied to the cylinder 40a, and the cover 32 is assisted by raising the cover 32. It is possible to facilitate the closing operation of 32. Further, by assisting the lowering operation of the cover 32, the lowering speed of the cover 32 can be made slow, and the load applied to the parallel link mechanism or the like can be reduced. The merit of these functions and effects increases as the cover 32 is enlarged.

また、検出手段５１の検出によりバルブ６３を作動させる説明としたが、ハンドル３６を把持または把持の解除によって直接的にバルブ６３を作動させても良い。更に、カバー３２の上昇動作をアシストするためにレギュレータ６５を備えたが、カバー３２の下降動作をアシストするためにレギュレータを備えて、シリンダ４０ａ内の圧力を一定に維持させ、カバー３２の自重による下降速度を調整させてもよく、かかる構成については、以下の第２の実施の形態に記載する。 Further, although the valve 63 is operated by detection by the detection means 51, the valve 63 may be directly operated by gripping the handle 36 or releasing the grip. Further, the regulator 65 is provided to assist the raising operation of the cover 32. However, the regulator 65 is provided to assist the lowering operation of the cover 32 so that the pressure in the cylinder 40a is maintained constant, and the weight of the cover 32 is reduced. The descending speed may be adjusted, and such a configuration will be described in a second embodiment below.

［第２の実施の形態］
次に、図９を参照して、第２の実施の形態について説明する。なお、以下の説明において、第１の実施の形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いる場合があり、説明を省略若しくは簡略にする場合がある。図９Ａ及び図９Ｂは、第２の実施の形態に係る供給排出手段の概略構成図である。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In the following description, the same reference numerals may be used for the same or equivalent components as in the first embodiment, and the description may be omitted or simplified. 9A and 9B are schematic configuration diagrams of the supply / discharge means according to the second embodiment.

図９Ａ及び図９Ｂに示すように、第２の実施の形態に係る供給排出手段７０は、エアー供給源７２と、シリンダ４０ａ（図３参照）に連通する給排管６１に接続されるバルブ７３とを備えている。また、供給排出手段７０は、バルブ７３とエアー供給源７２とを連通する第１の配管７５に設けられた第１調整手段としての第１のレギュレータ７７と、第２調整手段として第２の配管７６に設けられた第２のレギュレータ７８と、給排管６１に設けられた絞り弁７９とを備えている。尚、第２のレギュレータ７８は、リリーフ式レギュレータを使用する。 As shown in FIGS. 9A and 9B, the supply / discharge means 70 according to the second embodiment is connected to an air supply source 72 and a supply / exhaust pipe 61 communicating with a cylinder 40a (see FIG. 3). And. The supply / discharge means 70 includes a first regulator 77 as a first adjustment means provided in a first pipe 75 that communicates the valve 73 and the air supply source 72, and a second pipe as a second adjustment means. A second regulator 78 provided at 76 and a throttle valve 79 provided at the supply / exhaust pipe 61 are provided. The second regulator 78 uses a relief type regulator.

バルブ７３は、三方弁で構成される。バルブ７３は、給排管６１の接続先を、第１の配管７５と第２の配管７６とに切り換え可能に構成されている。バルブ７３は、検出手段５１（図３参照）の検出結果に基づく出力信号に応じて作動し、給排管６１の接続先を切り換える。バルブ７３は、図９Ａのように給排管６１と第１の配管７５とを連通させた場合、第１の配管７５から給排管６１へのエアー供給を許容する一方、第２の配管７６との連通を遮断する。また、バルブ７３は、図９Ｂのように給排管６１と第２の配管７６とを連通させた場合、給排管６１から第２の配管７６へのエアー供給を許容する一方、第１の配管７５との連通を遮断する。 The valve 73 is a three-way valve. The valve 73 is configured to be able to switch the connection destination of the supply / exhaust pipe 61 between a first pipe 75 and a second pipe 76. The valve 73 operates according to the output signal based on the detection result of the detection means 51 (see FIG. 3), and switches the connection destination of the supply / exhaust pipe 61. The valve 73 allows the air supply from the first pipe 75 to the supply / exhaust pipe 61 when the supply / exhaust pipe 61 and the first pipe 75 are communicated as shown in FIG. 9A, while the second pipe 76. Block communication with. Further, the valve 73 allows air supply from the supply / discharge pipe 61 to the second pipe 76 when the supply / discharge pipe 61 and the second pipe 76 are communicated as shown in FIG. The communication with the pipe 75 is cut off.

第１のレギュレータ７７は、エアー供給源７２から第１の配管７５、バルブ７３、給排管６１を介してシリンダ４０ａ（図３参照）に供給されるエアーを所定の圧力とする。第２のレギュレータ７８は、エアー供給源７２から第２の配管７６に供給されるエアーと、給排管６１、バルブ７３を介して第２の配管７６に供給されるエアーを所定の圧力とする。各レギュレータ７７、７８は、圧力ゲージ７７ａ、７８ａで測定された値に対し、不図示の制御手段を介して各配管７５、７６のエアーの圧力を調整可能に設けられている。本実施の形態では、第１のレギュレータ７７で調整されるエアーの圧力の方が、第２のレギュレータ７８に比べて高圧に設定されている。つまり、第１のレギュレータ７７で設定する圧力は、カバー３２を上昇させることが可能な圧力（第１の圧力）に設定され、第２のレギュレータ７８で設定する圧力は、カバー３２が自重で下降することが可能な圧力（第２の圧力）で設定される。 The first regulator 77 sets the air supplied from the air supply source 72 to the cylinder 40a (see FIG. 3) through the first pipe 75, the valve 73, and the supply / discharge pipe 61 to a predetermined pressure. The second regulator 78 sets the air supplied from the air supply source 72 to the second pipe 76 and the air supplied to the second pipe 76 via the supply / discharge pipe 61 and the valve 73 to a predetermined pressure. . The regulators 77 and 78 are provided so that the air pressure of the pipes 75 and 76 can be adjusted with respect to the values measured by the pressure gauges 77a and 78a through a control means (not shown). In the present embodiment, the air pressure adjusted by the first regulator 77 is set to be higher than that of the second regulator 78. That is, the pressure set by the first regulator 77 is set to a pressure (first pressure) that can raise the cover 32, and the pressure set by the second regulator 78 is lowered by the weight of the cover 32. It is set at a pressure (second pressure) that can be performed.

絞り弁７９は、シリンダ４０ａから給排管６１に流れ込むエアーを大気と連通させ、所定量ずつ排出させる。なお、給排管６１において、絞り弁７９をバイパスする位置に逆止弁７９ａが設けられる。この逆止弁７９ａは、バルブ７３から給排管６１を介してシリンダ４０ａへのエアーの供給量を規制せず供給し、その反対方向のエアーの流れとなる排出量を規制する。 The throttle valve 79 causes the air flowing from the cylinder 40a to the supply / discharge pipe 61 to communicate with the atmosphere, and discharges the air by a predetermined amount. In the supply / discharge pipe 61, a check valve 79a is provided at a position where the throttle valve 79 is bypassed. The check valve 79a supplies air from the valve 73 to the cylinder 40a via the supply / exhaust pipe 61 without restriction, and restricts the discharge amount that is the air flow in the opposite direction.

次に、図３及び図９を参照して、カバー３２及びバルブ７３の動作と、供給排出手段７０におけるエアーの流れとについて説明する。 Next, the operation of the cover 32 and the valve 73 and the flow of air in the supply / discharge means 70 will be described with reference to FIGS.

オペレータによってハンドル３６が把持されると、２本のハンドル３６が接近して把持されたことが検出手段５１で検出される。この検出によって検出手段５１からバルブ７３に信号が送信され、バルブ７３が作動して図９Ａに示す位置において、バルブ７３により給排管６１と第１の配管７５とが連通される。そして、エアー供給源７２からのエアーが第１のレギュレータ７７で所定の圧力（第１の圧力）とされてから、バルブ７３、給排管６１、逆止弁７９ａを介してシリンダ４０ａにエアーが供給される。シリンダ４０ａにエアーが供給されると、第１の実施の形態と同様に、カバー３２の上昇動作がアシストされる。 When the handle 36 is gripped by the operator, the detection means 51 detects that the two handles 36 are approached and gripped. By this detection, a signal is transmitted from the detection means 51 to the valve 73, and the valve 73 is operated to connect the supply / exhaust pipe 61 and the first pipe 75 at the position shown in FIG. 9A. Then, after the air from the air supply source 72 is set to a predetermined pressure (first pressure) by the first regulator 77, the air is supplied to the cylinder 40a through the valve 73, the supply / discharge pipe 61, and the check valve 79a. Supplied. When air is supplied to the cylinder 40a, the raising operation of the cover 32 is assisted as in the first embodiment.

一方、オペレータがハンドル３６の把持を止めると、２本のハンドル３６が離間して把持が解除されたことが検出手段５１で検出される。この検出によって検出手段５１からバルブ７３に信号が送信され、バルブ７３が作動して図９Ｂに示す位置において、バルブ７３により給排管６１と第１の配管７５との連通が遮断され、給排管６１と第２の配管７６とが連通される。この連通によって、シリンダ４０ａ内のエアーがバルブ７３に向かって給排管６１を流れると共に、第２のレギュレータ７８によって給排管６１の圧力が一定に維持され絞り弁７９で流量が調整され大気へ排出される。 On the other hand, when the operator stops gripping the handle 36, the detecting means 51 detects that the two handles 36 are separated and the grip is released. As a result of this detection, a signal is transmitted from the detecting means 51 to the valve 73, and the valve 73 is operated to disconnect the communication between the supply / exhaust pipe 61 and the first pipe 75 at the position shown in FIG. The pipe 61 and the second pipe 76 are communicated. By this communication, the air in the cylinder 40a flows through the supply / exhaust pipe 61 toward the valve 73, and the pressure of the supply / exhaust pipe 61 is maintained constant by the second regulator 78, and the flow rate is adjusted by the throttle valve 79 to the atmosphere. Discharged.

つまり、カバー３２を下降させる場合は、カバー３２等の自重が上アーム３７を介してロッド４０ｂに加わり、カバー３２が自重により下降してロッド４０ｂがシリンダ４０ａに進入され、シリンダ４０ａの内部のエアーが押し出されて排出される。このとき、シリンダ４０ａからのエアーは、絞り弁７９によって所定量ずつバルブ７３を介して第２の配管７６に流れ込む。第２の配管７６ではエアー供給源７２から供給されるエアーの圧力が第２のレギュレータ７８で所定の第２の圧力に維持されるので、カバー３２を上昇させる方向にロッド４０ｂを付勢させつつカバー３２を下降させる。これにより、恰もダンパーのようにカバー３２の下降に抗する力が発揮され、カバー３２の下降動作がアシストされる。この下降動作をアシストする力は、オペレータがカバー３２やハンドル３６に力を加えないときに、カバー３２等が自重で下降するより遅い速度で下降するように設定される。 That is, when the cover 32 is lowered, its own weight such as the cover 32 is applied to the rod 40b via the upper arm 37, the cover 32 is lowered by its own weight and the rod 40b enters the cylinder 40a, and the air inside the cylinder 40a Is pushed out and discharged. At this time, the air from the cylinder 40 a flows into the second pipe 76 through the valve 73 by a predetermined amount by the throttle valve 79. In the second pipe 76, the pressure of the air supplied from the air supply source 72 is maintained at a predetermined second pressure by the second regulator 78, so that the rod 40 b is urged in the direction of raising the cover 32. The cover 32 is lowered. As a result, a force against the lowering of the cover 32 like a damper is exhibited, and the lowering operation of the cover 32 is assisted. The force for assisting the lowering operation is set so that the cover 32 and the like descend at a slower speed than when the operator does not apply force to the cover 32 and the handle 36 when the operator lowers the weight.

以上のように、第２の実施の形態に係る供給排出手段７０によれば、カバー３２の下降動作の際に、第２のレギュレータ７８によってシリンダ４０ａ内の圧力を一定にすることができる。これにより、カバー３２の下降速度の安定化を図ることができる。その為、絞り弁７９を備える構成としたが、絞り弁７９を用いなくても良い。 As described above, according to the supply / discharge means 70 according to the second embodiment, the pressure in the cylinder 40a can be made constant by the second regulator 78 when the cover 32 is lowered. As a result, the lowering speed of the cover 32 can be stabilized. For this reason, the throttle valve 79 is provided, but the throttle valve 79 may not be used.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.

例えば、本実施の形態では、シリンダ装置４０が上アーム３７に連結される構成としたが、この構成に限定されない。シリンダ装置４０は、カバー３２の昇降移動をアシストすればどの位置に連結されてもよく、例えば、カバー３２に直接連結されてもよいし、下アーム３８に連結されてもよい。 For example, in the present embodiment, the cylinder device 40 is connected to the upper arm 37, but is not limited to this configuration. The cylinder device 40 may be connected to any position as long as it assists the lifting and lowering movement of the cover 32. For example, the cylinder device 40 may be directly connected to the cover 32 or may be connected to the lower arm 38.

また、本実施の形態では、オープンカセット２と搬入出口１４との隙間１８を塞ぐために、第２のカバー４２及び第２のカバー開閉機構４３を備える構成としたが、この構成に限定されない。第２のカバー４２及び第２のカバー開閉機構４３は、必ずしも設けられなくてよい。 In the present embodiment, the second cover 42 and the second cover opening / closing mechanism 43 are provided to close the gap 18 between the open cassette 2 and the loading / unloading port 14, but the present invention is not limited to this configuration. The second cover 42 and the second cover opening / closing mechanism 43 are not necessarily provided.

また、本実施の形態では、軸部３８ｄが下アーム３８に形成され、ベース３０には、第２の連結部３８ｃを支点とした下アーム３８の旋回起動に沿った円弧状の溝３０ｃが形成される構成としたが、この構成に限定されない。軸部３８ｄは上アーム３７に形成されてもよい。この場合、ベース３０には、第１の連結部３７ａを支点とした上アーム３７の旋回起動に沿った円弧状の溝が形成される。 Further, in the present embodiment, the shaft portion 38d is formed in the lower arm 38, and the arcuate groove 30c is formed in the base 30 along the turning activation of the lower arm 38 with the second connecting portion 38c as a fulcrum. However, the present invention is not limited to this configuration. The shaft portion 38 d may be formed on the upper arm 37. In this case, the base 30 is formed with an arc-shaped groove along the turning activation of the upper arm 37 with the first connecting portion 37a as a fulcrum.

図１０は、変形例に係るカセットステージの固定部周辺の図７と同様の模式図である。図１０に示すように、円弧状の溝３０ｃに沿う位置において、溝３０ｃにおける軸部３８ｄの位置を検出する位置認識部８０を設けた構成としてもよい。位置認識部８０は、軸部３８ｄの位置を検出し、この検出結果に基づいてカバー３２の上下位置を認識する機能を備えている。また、位置認識部８０を設けると共に、上記の各レギュレータ６５、７７、７８を圧力可変レギュレータとし、バルブ６３、７３にて供給するエアーの圧力を自在に変更可能とするとよい。これにより、位置認識部８０が認識したカバー３２の位置に応じ、レギュレータ６５、７７、７８でエアーの圧力を調整することで、カバー３２の位置に応じ、カバー３２の昇降速度を調整することができる。 FIG. 10 is a schematic view similar to FIG. 7 around the fixed part of the cassette stage according to the modification. As shown in FIG. 10, it is good also as a structure which provided the position recognition part 80 which detects the position of the axial part 38d in the groove | channel 30c in the position along the circular arc-shaped groove | channel 30c. The position recognition unit 80 has a function of detecting the position of the shaft portion 38d and recognizing the vertical position of the cover 32 based on the detection result. In addition to providing the position recognition unit 80, the regulators 65, 77, and 78 may be variable pressure regulators so that the pressure of the air supplied by the valves 63 and 73 can be freely changed. As a result, by adjusting the air pressure with the regulators 65, 77, 78 according to the position of the cover 32 recognized by the position recognition unit 80, the lifting speed of the cover 32 can be adjusted according to the position of the cover 32. it can.

また、ハンドル３６は、オペレータによる把持及びその解除によって、上記のようにカバー３２の動作をアシストする方向を切り換え可能である限りにおいて、設置数を１本にする等、種々の変更が可能である。 Further, the handle 36 can be variously changed, for example, the number of the handles 36 can be set as long as the direction of assisting the operation of the cover 32 can be switched as described above by grasping and releasing by the operator. .

また、カバー３２は、オープンカセット２の全体を覆う大きさ及び形状のものに変更してもよい。 Further, the cover 32 may be changed to a size and shape that covers the entire open cassette 2.

また、平行リンク機構は、カバー３２を昇降動作させることでオープンカセット２を閉塞および開放できる限りにおいて、他のリンク機構としてもよい。 The parallel link mechanism may be another link mechanism as long as the open cassette 2 can be closed and opened by moving the cover 32 up and down.

以上説明したように、本発明は、カセットを覆うカバーの動作を容易にすることができるという効果を有し、特に、大口径のウエーハを収容するオープン式のカセットが載置されるカセットステージに有用である。 As described above, the present invention has an effect of facilitating the operation of the cover that covers the cassette, and in particular, in a cassette stage on which an open-type cassette that accommodates a large-diameter wafer is placed. Useful.

Ｗウエーハ
１加工装置
２オープンカセット（カセット）
３カセットステージ
３１載置テーブル
３２カバー
３３カバー開閉機構
３６ハンドル
５０アシスト機構
４０ａシリンダ
４０ｂロッド
６０供給排出手段
６３バルブ
６５レギュレータ
６７絞り弁
７７第１のレギュレータ（レギュレータ）
７８第２のレギュレータ（レギュレータ）
７９絞り弁
８０位置認識部 W Wafer 1 Processing equipment 2 Open cassette (cassette)
3 cassette stage 31 mounting table 32 cover 33 cover opening / closing mechanism 36 handle 50 assist mechanism 40a cylinder 40b rod 60 supply / discharge means 63 valve 65 regulator 67 throttle valve 77 first regulator (regulator)
78 Second regulator (regulator)
79 Throttle valve 80 Position recognition unit

Claims

A mounting table for mounting a cassette capable of storing a plurality of wafers, a cover for covering the cassette mounted on the mounting table, a handle provided for the cover, and a lifting / lowering operation of the cover A cover opening / closing mechanism for closing and opening the cassette, and when the cover closes the cassette, the cassette stage allows the wafer to be carried in and out of the cassette,
The cassette stage characterized in that the cover opening / closing mechanism includes an assist mechanism that is operated by gripping the handle to assist the raising operation of the cover.

The assist mechanism includes a cylinder, a rod that advances and enters from the cylinder by air supplied to the cylinder, and supply / discharge means for supplying and discharging air to the cylinder,
The supply / discharge means is:
A first regulator that sets a first pressure of air supplied to the cylinder that moves the rod in a direction to raise the cover and raises the cover; and urges the rod in a direction to raise the cover A second regulator that sets a second pressure of air supplied to the cylinder that lowers the cover; and a valve that switches between the first regulator and the second regulator by gripping or releasing the handle; With
When the handle is gripped, the valve is switched by the first regulator, the first pressure air is supplied to the cylinder by the first regulator, and the cover is raised.
When gripping of the handle is stopped, the valve is switched and air is supplied to the cylinder by the second regulator, and the pressure in the cylinder is maintained at the second pressure, and air is discharged from the cylinder by the weight of the cover. The cassette stage according to claim 1, wherein the cassette stage is discharged and the cover is lowered.

The assist mechanism includes a cylinder, a rod that advances and enters from the cylinder by air supplied to the cylinder, and supply / discharge means for supplying and discharging air to the cylinder,
The supply / discharge means is:
A throttle valve for discharging air from the cylinder by a predetermined amount when the cover is lowered,
3. The cassette stage according to claim 1, wherein the air in the cylinder compressed by the weight of the cover is discharged from the cylinder by a predetermined amount by the throttle valve and the cover is lowered.

The first regulator and the second regulator are pressure variable regulators that can freely change the pressure of air supplied by the valve,
The cassette stage according to claim 2, further comprising a position recognition unit that recognizes the position of the cover, wherein the pressure of the air is adjusted by the variable pressure regulator in accordance with the position of the cover recognized by the position recognition unit.