JP6401032B2

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Publication number: JP6401032B2
Application number: JP2014241086A
Authority: JP
Inventors: 植田　義明; 義明植田; 倫一長田; 永一片山; 進也小川; 茂典高谷
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2014-11-28
Filing date: 2014-11-28
Publication date: 2018-10-03
Anticipated expiration: 2034-11-28
Also published as: JP2016103400A

Description

本発明は、希ガスを封入した放電器に関するものである。 The present invention relates to a discharger filled with a rare gas.

近年、携帯電話などの携帯機器にカメラ機能が設けられており、夜間および室内などにおいても明るい画像を撮像することが求められている。携帯機器に設ける照明装置には小型化が必要であり、従来ではＬＥＤを用いた照明装置が設けられている。しかし、ＬＥＤでは光量が低く、要求される光量の照明光を放射することができなかった。そこで、瞬間的に大光量の光を放射可能なキセノン放電管を用いた閃光発光器を小型化することが提案されている（特許文献１参照）。 In recent years, a camera function is provided in a mobile device such as a mobile phone, and it is required to capture a bright image at night and indoors. A lighting device provided in a portable device needs to be downsized, and conventionally, a lighting device using an LED is provided. However, the amount of light in the LED is low, and the required amount of illumination light cannot be emitted. Therefore, it has been proposed to reduce the size of a flash light emitting device using a xenon discharge tube capable of instantaneously emitting a large amount of light (see Patent Document 1).

特開２００４−１７１８２０号公報JP 2004-171820 A

しかし、特許文献１では、キセノン放電管の発光に用いる電力を充電するコンデンサの小型化を提案しているが、小型化の要求はさらに大きく、キセノン放電管そのものの小型化も求められる。しかし、キセノン放電管を単に小型化すると、キセノンを封入するガラスの耐久性、特に熱応力に対する耐久性が低下し得る。それゆえ、耐久性を考慮するとキセノン放電管の小型化には限界があり、結果として閃光発光器の小型化に限界があった。 However, Patent Document 1 proposes miniaturization of a capacitor for charging power used for light emission of a xenon discharge tube. However, there is a greater demand for miniaturization, and miniaturization of the xenon discharge tube itself is also required. However, if the xenon discharge tube is simply downsized, the durability of the glass enclosing xenon, particularly the durability against thermal stress, may be reduced. Therefore, considering the durability, there is a limit to downsizing the xenon discharge tube, and as a result, downsizing of the flash light emitter is limited.

したがって、かかる事情に鑑みてなされた本発明の目的は、要求される耐久性を有しながら小型化が可能な放電器を提供することである。 Accordingly, an object of the present invention made in view of such circumstances is to provide a discharger that can be miniaturized while having required durability.

本発明の一実施形態に係る放電器は、上面に互いに電気的に絶縁した一対の電極が形成され、内部に前記一対の電極と電気的に絶縁したトリガ電極が形成されたセラミック基板と、前記セラミック基板上の縁に外縁が沿って設けられた蓋体であって、下部が開口して凹部を有し、前記凹部内に前記一対の電極が位置して露出され、平面透視して前記トリガ
電極と前記凹部とが重なり、前記凹部内に希ガスが充填された光透過性の蓋体と、を備えている。 A discharger according to an embodiment of the present invention includes a ceramic substrate having a pair of electrodes electrically insulated from each other on an upper surface and a trigger electrode electrically insulated from the pair of electrodes therein, A lid provided with an outer edge along an edge on a ceramic substrate , wherein a lower portion has an opening and a recess, and the pair of electrodes are positioned and exposed in the recess, and the trigger is seen through a plane. electrode and the concave and Ri is Do heavy, noble gas in the recess is provided with a light-permeable lid filled.

本発明によれば、要求される耐久性を有しながら小型化が可能な放電器を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a discharger that can be reduced in size while having required durability.

本発明の第１実施形態に係る放電器１０を有する撮像装置１の外観図である。It is an external view of the imaging device 1 which has the discharger 10 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１の放電器１０の斜視図である。It is a perspective view of the discharger 10 of FIG. 図２の放電器１０の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the discharger 10 of FIG. 2. 図２の放電器１０の分解斜視図であって、セラミック基板１１と蓋体１２とを示している。FIG. 3 is an exploded perspective view of the discharger 10 of FIG. 2 and shows a ceramic substrate 11 and a lid body 12. 図２のＡ−Ａ線に沿った、放電器１０断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the discharger 10 taken along line AA in FIG. 2. 図４のセラミック基板１１を平面透視した図である。FIG. 5 is a plan view of the ceramic substrate 11 of FIG. 4. 図４のセラミック基板１１の底面図である。It is a bottom view of the ceramic substrate 11 of FIG. 図４のセラミック基板１１の分解斜視図であって、セラミック基板１１の上層１１ａおよび下層１１ｂを示している。It is a disassembled perspective view of the ceramic substrate 11 of FIG. 4, Comprising: The upper layer 11a and the lower layer 11b of the ceramic substrate 11 are shown. 本発明の第２実施形態に係る放電器２０の斜視図である。It is a perspective view of the discharger 20 which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図９の放電器２０の平面図である。FIG. 10 is a plan view of the discharger 20 of FIG. 9. 図９の放電器２０の分解斜視図であって、セラミック基板２１と蓋体１２とを示している。FIG. 10 is an exploded perspective view of the discharger 20 of FIG. 9 and shows a ceramic substrate 21 and a lid body 12. 図１１のセラミック基板２１を平面透視した図である。FIG. 12 is a plan perspective view of the ceramic substrate 21 of FIG. 11. 本発明の第３実施形態に係る放電器３０の断面図である。It is sectional drawing of the discharger 30 which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図１３の放電器３０の分解斜視図であって、セラミック基板１１と蓋体３２とを示している。FIG. 14 is an exploded perspective view of the discharger 30 of FIG. 13, showing the ceramic substrate 11 and a lid body 32. 本発明の第４実施形態に係る放電器４０の断面図である。It is sectional drawing of the discharge device 40 which concerns on 4th Embodiment of this invention. 図１５の放電器４０の分解斜視図であって、セラミック基板４１と蓋体３２とを示している。FIG. 16 is an exploded perspective view of the discharger 40 of FIG. 15 and shows a ceramic substrate 41 and a lid body 32.

以下、本発明を適用した放電器の実施形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る放電器１０を有する撮像装置１の外観図である。放電器１０は、例えばスマートフォンなどの携帯端末やデジタルカメラなどの撮像装置１に内蔵するものである。放電器１０は、例えば、希ガスの放電作用を利用して、ＬＥＤと比較して、瞬間的に大光量の閃光を発することができる。放電器１０を発光させる回路構成は、従来公知のキセノン放電管を用いた閃光発光器と同様である。図１に示す撮像装置１は、スマートフォンであって、表示面の裏面側に撮像可能なレンズを有する光学装置２や放電器１０を内蔵した発光装置３が設けられている。 Hereinafter, embodiments of a discharger to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external view of an imaging apparatus 1 having a discharger 10 according to the first embodiment of the present invention. The discharger 10 is built in the imaging device 1 such as a portable terminal such as a smartphone or a digital camera. For example, the discharger 10 can emit a flash of a large amount of light instantaneously as compared with an LED by using a discharge action of a rare gas. The circuit configuration for causing the discharger 10 to emit light is the same as that of a flash light emitter using a conventionally known xenon discharge tube. An imaging apparatus 1 shown in FIG. 1 is a smartphone, and is provided with an optical device 2 having a lens capable of imaging on the back side of a display surface and a light emitting device 3 incorporating a discharger 10.

図２は図１の放電器１０の斜視図であり、図３は図２の放電器１０の平面図である。また、図４は、図２の放電器１０の分解斜視図であって、セラミック基板１１と蓋体１２とを示し、図５は、図２のＡ−Ａ線に沿った放電器１０断面図である。図６は図４のセラミック基板１１を平面透視した図であり、図７は図４のセラミック基板１１の底面図であり、図８は図４のセラミック基板１１の分解斜視図であって、セラミック基板１１の上層１１ａおよび下層１１ｂを示している。 2 is a perspective view of the discharger 10 of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the discharger 10 of FIG. 4 is an exploded perspective view of the discharger 10 of FIG. 2, showing the ceramic substrate 11 and the lid 12, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the discharger 10 taken along the line AA of FIG. It is. 6 is a plan view of the ceramic substrate 11 of FIG. 4, FIG. 7 is a bottom view of the ceramic substrate 11 of FIG. 4, and FIG. 8 is an exploded perspective view of the ceramic substrate 11 of FIG. An upper layer 11a and a lower layer 11b of the substrate 11 are shown.

放電器１０は、図２〜図８に示すように、セラミック基板１１と、蓋体１２とを備えている。放電器１０は、上面１１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極１１１が形成され、内部に一対の電極１１１と電気的に絶縁したトリガ電極１１２が形成されたセラミック基板１１と、セラミック基板１１上の縁に外縁が沿って設けられた蓋体１２であって、下部が開口して一対の電極１１１が露出され、平面透視してトリガ電極１１２と重なる凹部Ｐを有し、凹部Ｐ内に希ガスが充填された光透過性の蓋体１２と、を備えている。なお、希ガスは、気体であって、例えばキセノンであり、蓋体１２の凹部Ｐにより塞がれた密閉空間に封止される。 As shown in FIGS. 2 to 8, the discharger 10 includes a ceramic substrate 11 and a lid 12. The discharger 10 includes a ceramic substrate 11 having a pair of electrodes 111 electrically insulated from each other on an upper surface 11aa, and a trigger electrode 112 electrically insulated from the pair of electrodes 111 therein. The lid 12 is provided with an outer edge along the outer edge thereof, the lower part is opened to expose the pair of electrodes 111, and has a recess P that overlaps with the trigger electrode 112 when seen in a plan view. And a light-transmitting lid body 12 filled with gas. The rare gas is a gas, for example, xenon, and is sealed in a sealed space closed by the concave portion P of the lid 12.

放電器１０は、図２〜図８に示すように、セラミック基板１１と、蓋体１２とを備えている。放電器１０は、上面１１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極１１１が形成され、内部に一対の電極１１１と電気的に絶縁したトリガ電極１１２が形成されたセラミック基板１１と、セラミック基板１１上の縁に外縁が沿って設けられた蓋体１２であって、下部が開口して一対の電極１１１が露出され、平面透視してトリガ電極１１２と重なる凹部Ｐを有し、凹部Ｐ内に希ガスが充填された光透過性の蓋体１２と、を備えている。換言すると、放電器１０は、上面１１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極１１１が形成され、内部に前記一対の電極１１１と電気的に絶縁したトリガ電極１１２が形成されたセラミック基板１１と、下部が開口した凹部Ｐを有する光透過性の蓋体１２であって、外縁がセラミック基板１１上の縁に沿うように設けられ、前記一対の電極１１１が凹部Ｐ内に
位置し、前記トリガ電極１１２が平面透視して凹部Ｐ内に位置する蓋体１２と、前記凹部Ｐ内に充填された希ガスと、を備えている。なお、希ガスは、気体であって、例えばキセノンであり、蓋体１２の凹部Ｐにより塞がれた密閉空間に封止される。 As shown in FIGS. 2 to 8, the discharger 10 includes a ceramic substrate 11 and a lid 12. The discharger 10 includes a ceramic substrate 11 having a pair of electrodes 111 electrically insulated from each other on an upper surface 11aa, and a trigger electrode 112 electrically insulated from the pair of electrodes 111 therein. The lid 12 is provided with an outer edge along the outer edge thereof, the lower part is opened to expose the pair of electrodes 111, and has a recess P that overlaps with the trigger electrode 112 when seen in a plan view. And a light-transmitting lid body 12 filled with gas. In other words, the discharger 10 includes a ceramic substrate 11 having a pair of electrodes 111 electrically insulated from each other on the upper surface 11aa and a trigger electrode 112 electrically insulated from the pair of electrodes 111 formed therein. A light-transmitting lid body 12 having a recess P having an opening at the bottom, the outer edge of which is provided along the edge on the ceramic substrate 11, the pair of electrodes 111 are positioned in the recess P, and the trigger electrode 112 includes a lid body 12 which is seen through the plane and is located in the recess P, and a rare gas filled in the recess P. The rare gas is a gas, for example, xenon, and is sealed in a sealed space closed by the concave portion P of the lid 12.

蓋体１２は、セラミック基板１１上の縁に外縁が沿って設けられる。蓋体１２は、下部が開口した凹部Ｐを有しており、凹部Ｐ内に希ガスが充填される光透過性の部材からなる。なお、蓋体１２は、例えば石英ガラスなどのガラスであり、少なくとも一部の帯域の可視光を透過する。なお、蓋体１２は、平面視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であって、短辺の長さが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、上下方向の厚みが１ｍｍ以上５ｍｍ以下に設定されている。また、凹部Ｐは、平面視して長辺および短辺を有する直方体状であって、長辺の長さが４ｍｍ以上１８ｍｍ以下であって、短辺の長さが１ｍｍ以上８ｍｍ以下であって、上下方向の深さが０．５ｍｍ以上４ｍｍ以下に設定されている。 The lid 12 is provided along the outer edge along the edge on the ceramic substrate 11. The lid body 12 has a recess P having an opening at the bottom, and is made of a light-transmitting member in which the recess P is filled with a rare gas. The lid 12 is made of glass such as quartz glass, for example, and transmits visible light in at least a part of the band. The lid 12 has a long side and a short side in a plan view, the length of the long side is 5 mm or more and 20 mm or less, the length of the short side is 2 mm or more and 10 mm or less, and the vertical direction Is set to 1 mm or more and 5 mm or less. The concave portion P has a rectangular parallelepiped shape having a long side and a short side in a plan view, the length of the long side is 4 mm or more and 18 mm or less, and the length of the short side is 1 mm or more and 8 mm or less. The depth in the vertical direction is set to 0.5 mm or more and 4 mm or less.

セラミック基板１１は、矩形状であって、上面１１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極１１１が形成され、内部に一対の電極１１１と電気的に絶縁したトリガ電極１１２が形成されている。なお、セラミック基板１１は、平面視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であって、短辺の長さが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、上下方向の厚みが０．４ｍｍ以上４ｍｍ以下に設定されている。また、セラミック基板１１の側面には、キャスタレーション１１Ａが設けられている。 The ceramic substrate 11 has a rectangular shape, and a pair of electrodes 111 electrically insulated from each other is formed on the upper surface 11aa, and a trigger electrode 112 electrically insulated from the pair of electrodes 111 is formed therein. The ceramic substrate 11 has a long side and a short side in a plan view, the length of the long side is 5 mm or more and 20 mm or less, the length of the short side is 2 mm or more and 10 mm or less, and the vertical direction Is set to 0.4 mm or more and 4 mm or less. A castellation 11 A is provided on the side surface of the ceramic substrate 11.

セラミック基板１１は、複数のセラミック層を積層した構造である。図５，図８に示す本実施形態に係るセラミック基板１１は、二層構造であって、上層１１ａおよび下層１１ｂを示している。なお、本実施形態に係るセラミック基板１１は、二層構造であるが、これに限られない。 The ceramic substrate 11 has a structure in which a plurality of ceramic layers are laminated. The ceramic substrate 11 according to the present embodiment shown in FIGS. 5 and 8 has a two-layer structure, and shows an upper layer 11a and a lower layer 11b. In addition, although the ceramic substrate 11 which concerns on this embodiment is a two-layer structure, it is not restricted to this.

セラミック基板１１の上層１１ａおよび下層１１ｂは、板状の部材である。上層１１ａと下層１１ｂの間には、トリガ電極１１２が設けられている。トリガ電極１１２は、放電器１０を発光させるためのものであって、外部のトリガ回路からの信号に応じて、凹部Ｐ内での放電を開始させるものである。トリガ電極１１２は、平面透視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが２ｍｍ以上１５ｍｍ以下であって、短辺の長さが０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。なお、トリガ電極１１２は、セラミック基板１１の下層１１ｂの上面から下層１１ｂを貫通して、セラミック基板１１の下層１１ｂの下面１１ｂａに形成されている。 The upper layer 11a and the lower layer 11b of the ceramic substrate 11 are plate-shaped members. A trigger electrode 112 is provided between the upper layer 11a and the lower layer 11b. The trigger electrode 112 is for causing the discharger 10 to emit light, and for starting discharge in the recess P in accordance with a signal from an external trigger circuit. The trigger electrode 112 has a long side and a short side as seen in a plan view, the length of the long side is 2 mm or more and 15 mm or less, and the length of the short side is 0.5 mm or more and 5 mm or less. The trigger electrode 112 penetrates the lower layer 11b from the upper surface of the lower layer 11b of the ceramic substrate 11 and is formed on the lower surface 11ba of the lower layer 11b of the ceramic substrate 11.

また、一対の電極１１１は、セラミック基板１１の上面１１ａａに形成されている。一対の電極１１１は、セラミック基板１１の上面１１ａａにおいて、短辺の位置に設けられている。また、一対の電極１１１は、セラミック基板１１の短辺に沿った長さが、放電空間を形成する蓋体１２の凹部Ｐの短辺の長さより短く設定されている。それゆえ、蓋体１２は、セラミック基板１１の上面１１ａａに低融点ガラス等を介して直接密着されることから、放電器１０の製造時や作動時においてセラミック基板１１と蓋体１２との密着界面に生じる熱応力が低減できる。一対の電極１１１は、陰極または陽極として機能するため、両者の間の長さは、トリガ電極１１２の長辺よりも長くして、凹部Ｐの希ガス雰囲気中の電子が飛ぶ距離を長くして放電することによる光量を大きくしている。一対の電極１１１はそれぞれ、平面視してセラミック基板１１の長辺に沿った長さが１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、短辺に沿った長さが１ｍｍ以上８ｍｍ以下である。 Further, the pair of electrodes 111 is formed on the upper surface 11aa of the ceramic substrate 11. The pair of electrodes 111 is provided on the short side of the upper surface 11aa of the ceramic substrate 11. The pair of electrodes 111 is set such that the length along the short side of the ceramic substrate 11 is shorter than the length of the short side of the concave portion P of the lid 12 that forms the discharge space. Therefore, since the lid 12 is directly adhered to the upper surface 11aa of the ceramic substrate 11 via a low melting point glass or the like, the adhesion interface between the ceramic substrate 11 and the lid 12 at the time of manufacturing or operating the discharger 10. Can reduce the thermal stress generated. Since the pair of electrodes 111 function as a cathode or an anode, the length between them is made longer than the long side of the trigger electrode 112, and the distance that electrons in the rare gas atmosphere of the recess P fly is increased. The amount of light by discharging is increased. Each of the pair of electrodes 111 has a length along the long side of the ceramic substrate 11 of 1 mm to 10 mm in plan view, and a length along the short side of 1 mm to 8 mm.

一対の電極１１１のうち、一方電極１１１ａが陰極端子であって、他方電極１１１ｂが陽極端子である。一対の電極１１１は、図５に示すように、上層１１ａの上面１１ａａから側面に引き出されている。なお、上層１１ａおよび下層１１ｂの側面には、それぞれ半
円状のキャスタレーション１１Ａが設けられている。なお、キャスタレーション１１Ａの内面には、電極が形成されている。 Of the pair of electrodes 111, one electrode 111a is a cathode terminal and the other electrode 111b is an anode terminal. As shown in FIG. 5, the pair of electrodes 111 are drawn from the upper surface 11aa of the upper layer 11a to the side surfaces. A semicircular castellation 11A is provided on each of the side surfaces of the upper layer 11a and the lower layer 11b. An electrode is formed on the inner surface of the castellation 11A.

一対の電極１１１のうち、陰極端子となる一方電極１１１ａ上には、エミッタ膜１１１ａａが設けられている。エミッタ膜１１１ａａは、キセノンなどの希ガス雰囲気中において、トリガ電極１１２からの信号に起因して、放電現象を生じさせるものである。なお、エミッタ膜１１１ａａは、例えば蒸着法を用いて形成され、例えばタングステン酸バリウムなどの電子放出性物質、ならびにタンタルおよびニオブの混合物の少なくとも一方を薄膜化した材料によって、少なくとも一部が被覆される。 An emitter film 111aa is provided on one electrode 111a serving as a cathode terminal of the pair of electrodes 111. The emitter film 111aa generates a discharge phenomenon due to a signal from the trigger electrode 112 in a rare gas atmosphere such as xenon. The emitter film 111aa is formed using, for example, a vapor deposition method, and is at least partially covered with a material obtained by thinning at least one of an electron-emitting substance such as barium tungstate and a mixture of tantalum and niobium. .

一対の電極１１１およびトリガ電極１１２は、例えばタングステン、マンガンおよびモリブデン等のメタライズ層が用いられる。また、放電器１０の表面に露出する一対の電極１１１およびトリガ電極１１２は、例えば酸化防止のためにニッケル、金およびスズの少なくとも一方からなるめっき層、またはこれらを含む合金により被覆される。 For the pair of electrodes 111 and the trigger electrode 112, for example, a metallized layer of tungsten, manganese, molybdenum, or the like is used. In addition, the pair of electrodes 111 and the trigger electrode 112 exposed on the surface of the discharger 10 are covered with, for example, a plating layer made of at least one of nickel, gold, and tin, or an alloy containing these to prevent oxidation.

次に、本発明の実施形態に係る放電器１０の製造方法を説明する。本発明の実施形態に係る放電器１０の製造方法は、成形ステップ、印刷ステップ、生成ステップおよび封入ステップを含んで構成される。図８に示すように、セラミック基板１１は、例えば板状の上層１１ａおよび板状の下層１１ｂを積層させた積層体を用いて作製される。 Next, the manufacturing method of the discharger 10 which concerns on embodiment of this invention is demonstrated. The method for manufacturing the discharger 10 according to the embodiment of the present invention includes a forming step, a printing step, a generating step, and an enclosing step. As shown in FIG. 8, the ceramic substrate 11 is manufactured using, for example, a laminate in which a plate-like upper layer 11 a and a plate-like lower layer 11 b are laminated.

成形ステップにおいては、加工前のセラミックグリーンシートを準備する。具体的には、上層１１ａおよび下層１１ｂのそれぞれに対して予め定められた形状に成形する。上層１１ａは、板状のセラミックグリーンシートの側面に上下方向に貫通する半円状の溝を形成する。下層１１ｂは、中央部を貫通して、板状のセラミックグリーンシートの側面に上下方向に貫通する半円状の溝を形成する。なお、上層１１ａおよび下層１１ｂの溝は、両者の位置が一致させて形成されている。 In the forming step, a ceramic green sheet before processing is prepared. Specifically, each of the upper layer 11a and the lower layer 11b is molded into a predetermined shape. The upper layer 11a forms a semicircular groove penetrating in the vertical direction on the side surface of the plate-shaped ceramic green sheet. The lower layer 11b forms a semicircular groove penetrating in the vertical direction on the side surface of the plate-like ceramic green sheet through the central portion. Note that the grooves of the upper layer 11a and the lower layer 11b are formed so that the positions of both coincide with each other.

ここで、加工前のセラミックグリーンシートは、従来公知の方法で形成される。例えば、加工前のセラミックグリーンシートの原料の主成分には、チタニア系酸化物、ジルコン酸系酸化物等が用いられる。チタン酸バリウムを主成分とする焼結体を用いる場合には、例えば、チタン酸バリウム粉末に対して、所定量の酸化マグネシウム粉末、希土類元素の酸化物粉末および酸化マンガン粉末を配合し、さらに、必要に応じて焼結助剤としてガラス粉末を添加して素原量粉末を得る。次に、素原量粉末に有機ビヒクルを加えてセラミックスラリを調整し、次いで、ドクターブレード法またはダイコーダ法などの従来公知のシート成形法を用いて、加工前のセラミックグリーンシートが形成される。 Here, the ceramic green sheet before processing is formed by a conventionally known method. For example, titania-based oxides, zirconate-based oxides, and the like are used as the main component of the raw material of the ceramic green sheet before processing. When using a sintered body mainly composed of barium titanate, for example, a predetermined amount of magnesium oxide powder, rare earth oxide powder and manganese oxide powder are blended with barium titanate powder, If necessary, glass powder is added as a sintering aid to obtain raw powder. Next, an organic vehicle is added to the raw material powder to adjust the ceramic slurry, and then a ceramic green sheet before processing is formed using a conventionally known sheet forming method such as a doctor blade method or a die coder method.

成形ステップ後の印刷ステップにおいて、上層１１ａの上面に、一対の電極１１１を印刷する。また、下層１１ｂの上面に、トリガ電極１１２を印刷する。さらに、下層１１ｂの下面１１ｂａに、一対の電極１１１と電気的に接続される電極と、トリガ電極１１２と電気的に接続される電極を印刷する。また、両層の側面の溝に印刷して、キャスタレーション１１Ａを印刷する。 In the printing step after the forming step, the pair of electrodes 111 is printed on the upper surface of the upper layer 11a. In addition, the trigger electrode 112 is printed on the upper surface of the lower layer 11b. Further, an electrode electrically connected to the pair of electrodes 111 and an electrode electrically connected to the trigger electrode 112 are printed on the lower surface 11ba of the lower layer 11b. Further, the castellation 11A is printed by printing in the grooves on the side surfaces of both layers.

印刷ステップにおける、各電極は、例えばタングステン、モリブデンおよびマンガンなどの金属粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を添加混合して得た金属ペーストを、従来公知のスクリーン印刷法を用いて印刷する。 Each electrode in the printing step is printed by using a conventionally known screen printing method, for example, a metal paste obtained by adding and mixing a suitable organic binder and solvent to metal powder such as tungsten, molybdenum and manganese.

印刷ステップにおいて、さらに、印刷した陰極となる電極１１１ａの少なくとも一部の上に、例えばタングステン酸バリウム、ならびにタンタルおよびニオブの混合物の少なくとも一方を、蒸着成膜または接合させ、エミッタ膜１１１ａａを形成する。 In the printing step, further, for example, at least one of barium tungstate and a mixture of tantalum and niobium is vapor-deposited or bonded onto at least a part of the electrode 111a to be a printed cathode, thereby forming the emitter film 111aa. .

印刷ステップ後の生成ステップにおいて、上層１１ａおよび下層１１ｂを、積層して積層体を形成する。次に、積層させた積層体を焼成して、セラミック基板１１を生成する。 In the generation step after the printing step, the upper layer 11a and the lower layer 11b are stacked to form a stacked body. Next, the laminated body is fired to produce the ceramic substrate 11.

焼成条件としては、昇温速度を５℃／ｈから３００℃／ｈとして、脱脂を５００℃までの温度範囲で行い、次いで、昇温速度を２５℃／ｈから１０００℃／ｈとして、水素―窒素の混合ガスの還元雰囲気中にて１４００から１６００℃の範囲で０．５時間から４時間焼成する。さらに、焼成後の試料に対して、酸化雰囲気中、９００℃から１１００℃で再酸化処理を行う。 As firing conditions, the heating rate was 5 ° C./h to 300 ° C./h, degreasing was performed in a temperature range from 500 ° C., and then the heating rate was 25 ° C./h to 1000 ° C./h. Baking in a reducing atmosphere of a mixed gas of nitrogen at 1400 to 1600 ° C. for 0.5 to 4 hours. Furthermore, a reoxidation process is performed on the fired sample at 900 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere.

生成ステップ後の封入ステップにおいて、希ガス雰囲気下において、蓋体１２の凹部Ｐが開放されている面を、平板状のセラミック基板１１と密着させ、希ガスを密閉空間に封入する。セラミック基板１１および蓋体１２の密着には、蓋体１２に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。 In the sealing step after the generation step, the surface of the lid 12 where the recess P is open is brought into close contact with the flat ceramic substrate 11 in a rare gas atmosphere, and the rare gas is sealed in the sealed space. For the adhesion between the ceramic substrate 11 and the lid 12, glass having a melting point lower than that of the glass used for the lid 12 is used.

上記成形ステップ、印刷ステップ、生成ステップおよび封入ステップを経ることにより、本発明の実施形態の放電器１０を製造可能である。 The discharger 10 according to the embodiment of the present invention can be manufactured through the molding step, the printing step, the generation step, and the encapsulation step.

以上のような構成の本発明の実施形態の放電器１０によれば、希ガスの封止において、セラミック基板１１を用いるので、ガラス管のみで希ガスを封止する従来の放電管に比べて、耐久性が向上する。また、放電器１０においても蓋体１２としてガラスが用いられるが、希ガスの放電により発生する熱がガラスに比べて熱伝導性が高いセラミック基板１１を介して放電器１０が実装される外部回路基板に放熱され、蓋体１２の温度上昇が抑制されるとともに、蓋体１２に発生する熱応力が低減される。それゆえ、蓋体１２も含めた放電器１０の耐久性が向上する。 According to the discharger 10 of the embodiment of the present invention configured as described above, since the ceramic substrate 11 is used for sealing the rare gas, compared with the conventional discharge tube in which the rare gas is sealed only by the glass tube. , Durability is improved. In the discharger 10, glass is used as the lid 12, but an external circuit in which the discharger 10 is mounted via the ceramic substrate 11, which generates heat due to rare gas discharge, has higher thermal conductivity than glass. The heat is radiated to the substrate, the temperature rise of the lid 12 is suppressed, and the thermal stress generated in the lid 12 is reduced. Therefore, the durability of the discharger 10 including the lid 12 is improved.

本発明の実施形態の放電器１０によれば、セラミック基板１１上の縁に外縁が沿って設けられた蓋体１２であって、下部が開口して一対の電極１１１が露出され、平面透視してトリガ電極１１２と重なる凹部Ｐを有し、凹部Ｐ内に希ガスが充填された光透過性の蓋体１２を備えたことで、一対の電極１１１の間で励起された希ガスの原子や分子が基底状態に戻ることによって放射される光は、セラミック基板１１の上面１１ａａで凹部Ｐの方向に反射され、放電器１０の輝度を向上させることができる。 According to the discharger 10 of the embodiment of the present invention, the lid 12 is provided on the edge of the ceramic substrate 11 along the outer edge, the lower part is opened, and the pair of electrodes 111 is exposed, and is seen through the plane. And having a recess P that overlaps the trigger electrode 112 and having the light-transmissive lid 12 filled with the rare gas in the recess P, the atoms of the rare gas excited between the pair of electrodes 111 The light emitted by returning the molecules to the ground state is reflected in the direction of the recess P by the upper surface 11aa of the ceramic substrate 11, and the luminance of the discharger 10 can be improved.

また、本発明の実施形態の放電器１０によれば、トリガ電極１１２は、平面透視して蓋体１２の凹部Ｐ内であり、セラミック基板１１の内部において長辺に沿って設けられていることで、凹部Ｐの内表面全体の面積において、トリガ電極１１２が設けられている面積を大きく確保することができ、放電作用の感度を良好に維持することができる。 Moreover, according to the discharger 10 of the embodiment of the present invention, the trigger electrode 112 is provided in the concave portion P of the lid body 12 as seen through the plane, and is provided along the long side inside the ceramic substrate 11. Thus, in the area of the entire inner surface of the recess P, a large area where the trigger electrode 112 is provided can be ensured, and the sensitivity of the discharge action can be maintained satisfactorily.

また、本発明の実施形態の放電器１０またはセラミック基板１１によれば、セラミック基板１１内には、平面透視して凹部Ｐと重なる箇所にトリガ電極１１２が設けられており、凹部Ｐ内の希ガスに対して下方または側方の両方から信号を入力することができ、放電作用の感度を良好にすることができる。また、セラミック基板１１が少しでも光を透過する材料からなる場合は、放電時の光を下方においても漏れ出にくくすることができる。 In addition, according to the discharger 10 or the ceramic substrate 11 of the embodiment of the present invention, the trigger electrode 112 is provided in the ceramic substrate 11 at a location that overlaps the concave portion P when seen in a plan view. A signal can be input from both the lower side and the side with respect to the gas, and the sensitivity of the discharge action can be improved. Moreover, when the ceramic substrate 11 is made of a material that transmits light even a little, it is possible to make it difficult for light at the time of discharge to leak out.

図９は、本発明の第２実施形態に係る放電器２０の斜視図であり、図１０は、図９の放電器２０の平面図である。また、図１１は図９の放電器２０の分解斜視図であって、セラミック基板２１と蓋体１２とを示し、図１２は図１１のセラミック基板２１を平面透視した図である。本実施形態の放電器２０は、第１実施形態の放電器１０に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。 FIG. 9 is a perspective view of the discharger 20 according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a plan view of the discharger 20 of FIG. 11 is an exploded perspective view of the discharger 20 of FIG. 9, showing the ceramic substrate 21 and the lid 12, and FIG. 12 is a plan view of the ceramic substrate 21 of FIG. The discharger 20 of the present embodiment is similar to the discharger 10 of the first embodiment, and corresponding portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

放電器２０は、図９〜図１２に示すように、前述の放電器１０に対して構成が異なるセ
ラミック基板２１と、構成が同じ蓋体１２とを備えている。 As shown in FIGS. 9 to 12, the discharger 20 includes a ceramic substrate 21 having a configuration different from that of the discharger 10 and a lid 12 having the same configuration.

セラミック基板２１は、矩形状であって、上面２１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極２１１が形成され、内部に一対の電極２１１と電気的に絶縁したトリガ電極２１２が形成されている。なお、セラミック基板２１は、平面視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であって、短辺の長さが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、上下方向の厚みが０．４ｍｍ以上４ｍｍ以下に設定されている。また、セラミック基板２１の側面には、キャスタレーション２１Ａが設けられている。 The ceramic substrate 21 has a rectangular shape, and a pair of electrodes 211 electrically insulated from each other is formed on the upper surface 21aa, and a trigger electrode 212 electrically insulated from the pair of electrodes 211 is formed therein. The ceramic substrate 21 has a long side and a short side in plan view, the length of the long side is 5 mm to 20 mm, the length of the short side is 2 mm to 10 mm, and the vertical direction Is set to 0.4 mm or more and 4 mm or less. A castellation 21 A is provided on the side surface of the ceramic substrate 21.

セラミック基板２１は、前述の放電器１０が備えるセラミック基板１１と同様に二層構造であり、二層間にトリガ電極２１２が設けられている。トリガ電極２１２は、平面透視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが２ｍｍ以上１５ｍｍ以下であって、短辺の長さが１ｍｍ以上８ｍｍ以下である。なお、トリガ電極２１２は、セラミック基板２１の下層の上面から下層を貫通して、セラミック基板２１の下層の下面に形成されている。 The ceramic substrate 21 has a two-layer structure similar to the ceramic substrate 11 included in the discharger 10 described above, and a trigger electrode 212 is provided between the two layers. The trigger electrode 212 has a long side and a short side as seen through the plane, and the length of the long side is 2 mm or more and 15 mm or less, and the length of the short side is 1 mm or more and 8 mm or less. The trigger electrode 212 is formed on the lower surface of the lower layer of the ceramic substrate 21 through the lower layer from the upper surface of the lower layer of the ceramic substrate 21.

また、一対の電極２１１は、セラミック基板２１の上面２１ａａに形成されている。一対の電極２１１は、セラミック基板２１の上面２１ａａにおいて、短辺の位置に設けられている。一対の電極２１１は、前述の放電器１０が備える一対の電極１１１に対して、セラミック基板２１の短辺に沿った長さが長く設定されている。一対の電極２１１の、セラミック基板２１の短辺に沿った長さは、蓋体１２の凹部Ｐの短辺の長さと同じに設定されている。 The pair of electrodes 211 is formed on the upper surface 21aa of the ceramic substrate 21. The pair of electrodes 211 is provided on the short side of the upper surface 21aa of the ceramic substrate 21. The pair of electrodes 211 is set to have a longer length along the short side of the ceramic substrate 21 than the pair of electrodes 111 included in the discharger 10 described above. The length of the pair of electrodes 211 along the short side of the ceramic substrate 21 is set to be the same as the length of the short side of the recess P of the lid 12.

一対の電極２１１のうち、一方電極２１１ａが陰極端子であって、他方電極２１１ｂが陽極端子である。一対の電極２１１は、セラミック基板２１の上面２１ａａから側面に引き出されている。なお、セラミック基板２１の側面には、それぞれ半円状のキャスタレーション２１Ａが設けられている。なお、キャスタレーション２１Ａの内面には、電極が形成されている。また、一対の電極２１１のうち、陰極端子となる一方電極２１１ａ上には、エミッタ膜２１１ａａが設けられている。 Of the pair of electrodes 211, one electrode 211a is a cathode terminal and the other electrode 211b is an anode terminal. The pair of electrodes 211 is drawn from the upper surface 21aa of the ceramic substrate 21 to the side surface. A semicircular castellation 21 A is provided on each side surface of the ceramic substrate 21. An electrode is formed on the inner surface of the castellation 21A. In addition, an emitter film 211aa is provided on one electrode 211a serving as a cathode terminal of the pair of electrodes 211.

以上のような構成の本発明の実施形態の放電器２０によれば、セラミック基板２１の上面２１ａａに形成される一対の電極２１１の、セラミック基板２１の短辺に沿った長さが、放電空間を形成する蓋体１２の凹部Ｐの短辺の長さと同じに設定されているので、前述の放電器１０が奏する作用効果に加えて、一対の電極２１１からなる４か所の角部を起点とした不安定な放電を抑制できることから、一対の電極２１１の間で生じるアークの安定性を向上できる。 According to the discharger 20 of the embodiment of the present invention configured as described above, the length along the short side of the ceramic substrate 21 of the pair of electrodes 211 formed on the upper surface 21aa of the ceramic substrate 21 is the discharge space. Is set to be the same as the length of the short side of the recess P of the lid body 12, so that, in addition to the function and effect achieved by the discharger 10, four corners including a pair of electrodes 211 are used as starting points. Therefore, the stability of the arc generated between the pair of electrodes 211 can be improved.

図１３は、本発明の第３実施形態に係る放電器３０の断面図であり、図１４は、図１３の放電器３０の分解斜視図であって、セラミック基板１１と蓋体３２とを示している。本実施形態の放電器３０は、第１実施形態の放電器１０に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。 FIG. 13 is a cross-sectional view of the discharger 30 according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 14 is an exploded perspective view of the discharger 30 of FIG. 13 showing the ceramic substrate 11 and the lid 32. ing. The discharger 30 of this embodiment is similar to the discharger 10 of the first embodiment, and corresponding portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

放電器３０は、図１３，１４に示すように、前述の放電器１０に対して構成が同じセラミック基板１１と、構成が異なる蓋体３２とを備えている。なお、本実施形態の放電器３０は、セラミック基板１１に代えて、前述の放電器２０のセラミック基板２１を備える構成としてもよい。 As shown in FIGS. 13 and 14, the discharger 30 includes a ceramic substrate 11 having the same configuration as the above-described discharger 10 and a lid 32 having a different configuration. In addition, it is good also as a structure provided with the ceramic substrate 21 of the above-mentioned discharger 20 instead of the ceramic substrate 11 in the discharger 30 of this embodiment.

放電器３０は、上面１１ａａに互いに電気的に絶縁した一対の電極１１１が形成され、内部に一対の電極１１１と電気的に絶縁したトリガ電極１１２が形成されたセラミック基板１１と、セラミック基板１１上の縁に外縁が沿って設けられた蓋体３２であって、下部が開口して一対の電極１１１が露出され、平面透視してトリガ電極１１２と重なる凹部Ｐ
を有し、凹部Ｐ内に希ガスが充填された光透過性の蓋体３２と、を備えている。 The discharger 30 includes a ceramic substrate 11 having a pair of electrodes 111 electrically insulated from each other on an upper surface 11aa and a trigger electrode 112 electrically insulated from the pair of electrodes 111 therein. The lid 32 is provided with an outer edge along the outer edge thereof, the lower part is opened, the pair of electrodes 111 is exposed, and the recess P is overlapped with the trigger electrode 112 when seen in a plan view.
And a light-transmitting lid 32 filled with a rare gas in the recess P.

蓋体３２は、例えば石英ガラスなどのガラスであり、少なくとも一部の帯域の可視光を透過する、光透過性の部材からなり、本体部３２ａと一対の突出部３２ｂとを有する。 The lid 32 is made of, for example, glass such as quartz glass, is made of a light transmissive member that transmits visible light in at least a part of the band, and includes a main body portion 32a and a pair of projecting portions 32b.

本体部３２ａは、下部が開口して希ガスが充填される凹部Ｐを有し、平面視して長辺および短辺を有した矩形容器状に形成されている。本体部３２ａを平面視した長辺の長さが４．４ｍｍ以上１９ｍｍ以下であって、短辺の長さが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、上下方向の厚みが１ｍｍ以上５ｍｍ以下に設定されている。また、凹部Ｐは、平面視して長辺および短辺を有する直方体状であって、長辺の長さが４ｍｍ以上１８ｍｍ以下であって、短辺の長さが１ｍｍ以上８ｍｍ以下であって、上下方向の深さが０．５ｍｍ以上４ｍｍ以下に設定されている。 The main body 32a has a recess P that is open at the bottom and is filled with a rare gas, and is formed in a rectangular container shape having a long side and a short side in plan view. The length of the long side in plan view of the main body 32a is 4.4 mm or more and 19 mm or less, the length of the short side is 2 mm or more and 10 mm or less, and the thickness in the vertical direction is set to 1 mm or more and 5 mm or less. Yes. The concave portion P has a rectangular parallelepiped shape having a long side and a short side in a plan view, the length of the long side is 4 mm or more and 18 mm or less, and the length of the short side is 1 mm or more and 8 mm or less. The depth in the vertical direction is set to 0.5 mm or more and 4 mm or less.

一対の突出部３２ｂは、本体部３２ａの外縁における２つの短辺下端部から、それぞれ外方に突出して設けられている。一対の突出部３２ｂはそれぞれ、本体部３２ａの短辺下端部からの突出長さが０．３ｍｍ以上３ｍｍ以下である。 The pair of protruding portions 32b are provided to protrude outward from the lower ends of the two short sides at the outer edge of the main body portion 32a. Each of the pair of protruding portions 32b has a protruding length from the lower end portion of the short side of the main body portion 32a of 0.3 mm or more and 3 mm or less.

本実施形態の放電器３０を製造するに際しては、生成ステップ後の封入ステップでは、希ガス雰囲気下において、蓋体３２の本体部３２ａの凹部Ｐが開放されている面、および一対の突出部３２ｂの下面を、平板状のセラミック基板１１と密着させ、希ガスを密閉空間に封入する。セラミック基板１１および蓋体３２の密着には、蓋体３２に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。 When manufacturing the discharger 30 of the present embodiment, in the sealing step after the generation step, the surface of the main body 32a of the lid 32 where the concave portion P is opened and the pair of protrusions 32b in a rare gas atmosphere. The lower surface of the substrate is brought into close contact with the plate-like ceramic substrate 11, and a rare gas is sealed in the sealed space. For the close contact between the ceramic substrate 11 and the lid 32, glass having a melting point lower than that of the glass used for the lid 32 is used.

以上のような構成の本発明の実施形態の放電器３０によれば、蓋体３２が放電空間を形成する凹部Ｐを有する本体部３２ａと、該本体部３２ａの短辺下端部から外方に突出して設けられる一対の突出部３２ｂとを有しているので、セラミック基板１１との密着面積が大きくなり、セラミック基板１１との密着力を大きくすることができる。よって、セラミック基板１１の上面１１ａａに形成される一対の電極１１１に機械的応力や熱応力が加わったとしても、蓋体３２とセラミック基板１１との間の密着破壊が生じることを抑制することができる。また、本発明の実施形態の放電器３０によれば、前述の放電器１０が奏する作用効果に加えて、本体部３２ａの短辺下端部の剛性を向上できる。それゆえ、セラミック基板１１の下面１１ｂａに延設された一対の電極２１１を介して、放電器３０をはんだ等で外部回路基板に接続する際に、セラミック基板１１の短辺下端部に生じる熱応力によってセラミック基板１１や蓋体１２の端部にクラックや割れ等が生じることを抑制できる。 According to the discharger 30 of the embodiment of the present invention having the above-described configuration, the lid 32 has the main body 32a having the recess P that forms the discharge space, and outward from the lower end of the short side of the main body 32a. Since it has a pair of protrusion part 32b provided by protruding, the contact | adherence area with the ceramic substrate 11 becomes large, and the contact | adhesion power with the ceramic substrate 11 can be enlarged. Therefore, even if mechanical stress or thermal stress is applied to the pair of electrodes 111 formed on the upper surface 11aa of the ceramic substrate 11, it is possible to suppress the occurrence of adhesion failure between the lid 32 and the ceramic substrate 11. it can. Further, according to the discharger 30 of the embodiment of the present invention, in addition to the operational effects achieved by the discharger 10 described above, the rigidity of the lower end of the short side of the main body 32a can be improved. Therefore, when the discharger 30 is connected to the external circuit board by solder or the like via the pair of electrodes 211 extending on the lower surface 11ba of the ceramic substrate 11, the thermal stress generated at the lower end of the short side of the ceramic substrate 11 Therefore, it is possible to suppress the occurrence of cracks and cracks at the end portions of the ceramic substrate 11 and the lid body 12.

図１５は、本発明の第４実施形態に係る放電器４０の断面図であり、図１６は、図１５の放電器４０の分解斜視図であって、セラミック基板４１と蓋体３２とを示している。本実施形態の放電器４０は、第３実施形態の放電器３０に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。 15 is a cross-sectional view of the discharger 40 according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is an exploded perspective view of the discharger 40 of FIG. 15, showing the ceramic substrate 41 and the lid 32. ing. The discharger 40 of this embodiment is similar to the discharger 30 of the third embodiment, and corresponding portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

放電器４０は、図１５，１６に示すように、前述の放電器３０に対して構成が異なるセラミック基板４１と、構成が同じ蓋体３２とを備えている。なお、本実施形態の放電器４０は、蓋体３２に代えて、前述の放電器１０，２０の蓋体１２を備える構成としてもよい。 As shown in FIGS. 15 and 16, the discharger 40 includes a ceramic substrate 41 having a configuration different from that of the discharger 30 and a lid 32 having the same configuration. In addition, it is good also as a structure provided with the cover body 12 of the above-mentioned discharger 10 and 20 instead of the cover body 32 instead of the discharge body 40 of this embodiment.

セラミック基板４１は、矩形板状の基部４１ａと、該基部４１ａの外縁に沿って、基部４１ａの上面から上方に突出して設けられる枠状の凸部４１ｂと、を有する。そして、凸部４１ｂの上面４１ａａにおいて、基部４１ａの短辺に対応する位置に、陰極端子となる電極４１１ａと、陽極端子となる電極４１１ｂとが形成され、基部４１ａの内部に電極４
１１ａ，４１１ｂと電気的に絶縁したトリガ電極４１２が形成されている。 The ceramic substrate 41 includes a rectangular plate-like base portion 41a and a frame-like convex portion 41b provided so as to protrude upward from the upper surface of the base portion 41a along the outer edge of the base portion 41a. Then, on the upper surface 41aa of the convex portion 41b, an electrode 411a serving as a cathode terminal and an electrode 411b serving as an anode terminal are formed at positions corresponding to the short sides of the base portion 41a, and the electrode 4 is formed inside the base portion 41a.
A trigger electrode 412 that is electrically insulated from 11a and 411b is formed.

セラミック基板４１において、基部４１ａは、長辺の長さが５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であって、短辺の長さが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であって、上下方向の厚みが０．４ｍｍ以上４ｍｍ以下に設定されている。また、凸部４１ｂの、基部４１ａの上面からの突出高さは０．２ｍｍ以上２ｍｍ以下であって、基部４１ａの長辺方向縁端からの長さは１ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、基部４１ａの短辺方向縁端からの長さは０．５ｍｍ以上４ｍｍ以下である。また、セラミック基板４１の側面には、キャスタレーション４１Ａが設けられている。 In the ceramic substrate 41, the base 41a has a long side length of 5 mm to 20 mm, a short side length of 2 mm to 10 mm, and a vertical thickness of 0.4 mm to 4 mm. Has been. Further, the protruding height of the convex portion 41b from the upper surface of the base portion 41a is 0.2 mm or more and 2 mm or less, and the length from the edge in the long side direction of the base portion 41a is 1 mm or more and 5 mm or less. The length from the edge in the short side direction is 0.5 mm or more and 4 mm or less. A castellation 41 A is provided on the side surface of the ceramic substrate 41.

セラミック基板４１において、基部４１ａは二層構造であり、二層間にトリガ電極４１２が設けられている。トリガ電極４１２は、平面透視して長辺および短辺を有し、長辺の長さが２ｍｍ以上１５ｍｍ以下であって、短辺の長さが１ｍｍ以上８ｍｍ以下である。なお、トリガ電極４１２は、基部４１ａの下層の上面から下層を貫通して、基部４１ａの下層の下面４１ｂａに形成されている。 In the ceramic substrate 41, the base 41a has a two-layer structure, and a trigger electrode 412 is provided between the two layers. The trigger electrode 412 has a long side and a short side as seen in a plan view. The length of the long side is 2 mm or more and 15 mm or less, and the length of the short side is 1 mm or more and 8 mm or less. The trigger electrode 412 is formed on the lower surface 41ba of the lower layer of the base portion 41a through the lower layer from the upper surface of the lower portion of the base portion 41a.

また、電極４１１ａ，４１１ｂは、凸部４１ｂの上面４１ａａから側面に引き出されている。なお、セラミック基板４１の側面には、それぞれ半円状のキャスタレーション４１Ａが設けられている。なお、キャスタレーション４１Ａの内面には、電極が形成されている。また、陰極端子となる電極４１１ａ上には、エミッタ膜４１１ａａが設けられている。 The electrodes 411a and 411b are drawn from the upper surface 41aa of the convex portion 41b to the side surface. A semicircular castellation 41 A is provided on each side surface of the ceramic substrate 41. An electrode is formed on the inner surface of the castellation 41A. An emitter film 411aa is provided over the electrode 411a serving as a cathode terminal.

本実施形態の放電器４０を製造するに際しては、生成ステップ後の封入ステップでは、希ガス雰囲気下において、蓋体３２の本体部３２ａの凹部Ｐが開放されている面、および一対の突出部３２ｂの下面を、セラミック基板４１の凸部４１ｂと密着させ、希ガスを密閉空間に封入する。セラミック基板４１および蓋体３２の密着には、蓋体３２に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。 In manufacturing the discharger 40 according to the present embodiment, in the sealing step after the generation step, the surface of the main body 32a of the lid 32 where the concave portion P is opened and the pair of protrusions 32b in a rare gas atmosphere. The lower surface of the ceramic substrate 41 is brought into close contact with the convex portion 41b of the ceramic substrate 41, and a rare gas is sealed in the sealed space. For the adhesion between the ceramic substrate 41 and the lid 32, glass having a melting point lower than that of the glass used for the lid 32 is used.

以上のような構成の本発明の実施形態の放電器４０によれば、セラミック基板４１は、矩形板状の基部４１ａと、該基部４１ａの外縁に沿って、基部４１ａの上面から上方に突出して設けられる枠状の凸部４１ｂと、を有するので、前述の放電器３０が奏する作用効果に加えて、放電器４０の内部に充填される希ガスの量を向上でき、放電器４０の光出力を向上できるという作用効果を奏する。 According to the discharger 40 of the embodiment of the present invention configured as described above, the ceramic substrate 41 protrudes upward from the upper surface of the base 41a along the rectangular plate-like base 41a and the outer edge of the base 41a. Since the frame-shaped convex portion 41b is provided, the amount of rare gas filled in the discharger 40 can be improved in addition to the effects obtained by the discharger 30, and the light output of the discharger 40 can be improved. There is an effect that can be improved.

本発明を図面や実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形や修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形や修正は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。 Although the present invention has been described based on the drawings and examples, it should be noted that those skilled in the art can easily make various modifications and corrections based on the present disclosure. Therefore, it should be noted that these variations and modifications are included in the scope of the present invention.

１撮像装置
２光学装置
３発光装置
１０，２０，３０，４０放電器
１１，２１，４１セラミック基板
１１ａ上層
１１ｂ下層
１１１，２１１，４１１一対の電極
１１２，２１２，４１２トリガ電極
１２，３２蓋体
Ｐ凹部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image pick-up device 2 Optical device 3 Light-emitting device 10, 20, 30, 40 Discharger 11, 21, 41 Ceramic substrate 11a Upper layer 11b Lower layer 1111, 211, 411 A pair of electrodes 112, 212, 412 Trigger electrode 12, 32 Lid P Recess

Claims

A ceramic substrate having a pair of electrodes electrically insulated from each other on the upper surface, and a trigger electrode electrically insulated from the pair of electrodes inside;
A lid body provided with an outer edge along an edge on the ceramic substrate, wherein a lower portion has an opening and a recess, and the pair of electrodes are located and exposed in the recess, and are seen through a plane. a trigger electrode and the concave and Ri is Do heavy, discharger noble gas in the recess is provided with a light-permeable lid filled.

The discharger according to claim 1, wherein
The discharger has a rectangular parallelepiped shape having a long side and a short side in a plan view, and the pair of electrodes are provided on the upper surface located on the short side.

The discharger according to claim 1 or 2,
The pair of electrodes is formed on the lower surface of the ceramic substrate from the upper surface of the ceramic substrate through the side surface of the ceramic substrate, and the trigger electrode is formed on the lower surface of the ceramic substrate from the inside of the ceramic substrate. A discharger characterized by having

A discharger according to any one of claims 1 to 3,
The discharger characterized in that the rare gas is xenon.

The discharger according to claim 1, wherein
The ceramic substrate has a structure in which a plurality of ceramic layers including an upper layer are laminated, and the pair of electrodes are drawn from the upper surface of the upper layer to the side surface.