JP6397213B2

JP6397213B2 - X-ray inspection equipment

Info

Publication number: JP6397213B2
Application number: JP2014089816A
Authority: JP
Inventors: 格宮崎
Original assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Current assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Priority date: 2014-04-24
Filing date: 2014-04-24
Publication date: 2018-09-26
Anticipated expiration: 2034-04-24
Also published as: JP2015210097A

Description

本発明は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置に関し、特に、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置に関するものである。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects an inspection object using X-rays, and more particularly to an X-ray inspection apparatus that performs X-ray irradiation while conveying the inspection object.

一般に、Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量をＸ線ラインセンサで検出することで、被検査物中の異物（金属、ガラス、石、骨など）や欠陥の有無を判別し、被検査物の良否判定を行っている。 In general, an X-ray inspection apparatus irradiates X-rays from an X-ray generator to each type of inspection object (for example, meat, fish, processed food, pharmaceuticals, etc.) that are sequentially transported on a transport path at predetermined intervals. By detecting the amount of X-ray transmitted through the inspection object with an X-ray line sensor, it is possible to determine the presence or absence of foreign matter (metal, glass, stone, bone, etc.) or defects in the inspection object. A pass / fail judgment is made.

被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うこの種のＸ線検査装置において、Ｘ線ラインセンサは、基板の上に実装されたフォトダイオードと、フォトダイオード上に接着剤を介して設けられたシンチレータとを含んで構成される。このＸ線ラインセンサは、装置の運転中、Ｘ線発生器から照射されるＸ線に常時曝されるため、各部で着色、光子欠陥増大等の劣化が進行し、装置の運転時間の増大とともに輝度が低下する。したがって、Ｘ線ラインセンサの劣化や寿命について配慮する必要がある。 In this type of X-ray inspection apparatus that irradiates X-rays while carrying an object to be inspected, the X-ray line sensor is provided with a photodiode mounted on a substrate and an adhesive on the photodiode. And a scintillator. Since this X-ray line sensor is constantly exposed to X-rays emitted from the X-ray generator during operation of the apparatus, deterioration such as coloring and increased photon defects progresses in each part, and the operation time of the apparatus increases. The brightness decreases. Therefore, it is necessary to consider the deterioration and lifetime of the X-ray line sensor.

これに対し、従来、Ｘ線ラインセンサの寿命を定量的に事前に予測することにより、故障前にＸ線ラインセンサを交換することを可能にしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のものは、Ｘ線が照射される位置のフォトダイオードの暗電流と、Ｘ線が全く照射されない位置のフォトダイオードの暗電流とを比較し、その差が所定値以上となったときにＸ線ラインセンサが寿命であると判定している。 On the other hand, conventionally, it is known that the lifetime of an X-ray line sensor can be quantitatively predicted in advance so that the X-ray line sensor can be replaced before failure (for example, Patent Document 1). reference). The device described in Patent Document 1 compares the dark current of a photodiode at a position irradiated with X-rays with the dark current of a photodiode at a position where no X-rays are irradiated, and the difference becomes a predetermined value or more. It is determined that the X-ray line sensor is at the end of its life.

特許４５３０５２３号公報Japanese Patent No. 4530523

しかしながら、従来のＸ線検査装置は、Ｘ線ラインセンサの寿命を定量的に把握することはできるが、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせることについて検討されていないため、Ｘ線ラインセンサの寿命を延ばすことはできなかった。 However, although the conventional X-ray inspection apparatus can quantitatively grasp the life of the X-ray line sensor, it has not been studied to delay the deterioration rate of the X-ray line sensor. Could not be extended.

ここで、Ｘ線ラインセンサが劣化する劣化因子としては、フォトダイオードとシンチレータとを接着する接着剤の存在が関係していることが近年分かってきている。接着剤は、主として高分子樹脂から構成されているため、Ｘ線を受けた接着材の表面付近から２次電子やフリーラジカルが飛び出し、この２次電子やフリーラジカルがフォトダイオードを劣化させると考えられる。特に、Ｘ線検査装置で用いられるＸ線のエネルギー（概ね８０ｋｅＶ以下）では、Ｘ線による直接的なダメージよりも２次電子やフリーラジカルによるダメージが支配的であると考えられる。したがって、接着材に起因するフォトダイオードの劣化に対して配慮することが求められている。 Here, it has been found in recent years that the deterioration factor of the X-ray line sensor is related to the presence of an adhesive that bonds the photodiode and the scintillator. Since the adhesive is mainly composed of a polymer resin, it is thought that secondary electrons and free radicals jump out from the vicinity of the surface of the adhesive that has received X-rays, and the secondary electrons and free radicals deteriorate the photodiode. It is done. In particular, in the energy of X-rays (approximately 80 keV or less) used in the X-ray inspection apparatus, it is considered that damage due to secondary electrons and free radicals is more dominant than direct damage due to X-rays. Therefore, it is required to consider the deterioration of the photodiode caused by the adhesive.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせてＸ線ラインセンサの寿命を延ばすことができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。 Accordingly, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and provides an X-ray inspection apparatus capable of extending the life of the X-ray line sensor by delaying the deterioration rate of the X-ray line sensor. The purpose is to do.

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生器（９）と、Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（５１）と、前記Ｘ線発生器のＸ線発生中に被検査物（Ｗ）を搬送方向に搬送して前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサとの間を通過させる搬送部（２）と、を備えるＸ線検査装置において、前記Ｘ線ラインセンサは、複数のフォトダイオード（７１）が直線状に並べられてなるフォトダイオードアレイ（７２）と、前記フォトダイオードアレイが上面に実装される基板（７３）と、前記基板を下方から支持する基板支持部（７４ａ）を有する基板支持部材（７４）と、前記フォトダイオードアレイの上方に配置され、Ｘ線を光に変換するシンチレータ（７５）と、Ｘ線を透過する材料からなり前記シンチレータを上方から支持するシンチレータ支持部（７６ａ）を有するシンチレータ支持部材（７６）と、を備え、前記基板支持部材は前記シンチレータ支持部材と結合する基板支持部材側結合部（７４ｂ）および前記基板を挟持する基板側基板挟持部（７４ｃ）を有するとともに、前記シンチレータ支持部材は前記基板支持部材と結合するシンチレータ支持部材側結合部（７６ｂ）およびシンチレータ支持部材側基板挟持部（７６ｃ）を有し、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合し、前記基板側基板挟持部と前記シンチレータ支持部材側基板挟持部とを結合して、前記基板を挟持することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に接着剤を設けることなく、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイおよび前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とする。 An X-ray inspection apparatus according to the present invention includes an X-ray generator (9) for generating X-rays, an X-ray line sensor (51) for detecting X-rays, An X-ray inspection apparatus comprising: a transport unit (2) configured to transport an inspection object (W) in a transport direction and pass between the X-ray generator and the X-ray line sensor. A photodiode array (72) in which a plurality of photodiodes (71) are arranged in a straight line, a substrate (73) on which the photodiode array is mounted on an upper surface, and a substrate support section for supporting the substrate from below A substrate support member (74) having (74a), a scintillator (75) disposed above the photodiode array, for converting X-rays into light, and made of a material that transmits X-rays, and supports the scintillator from above. Shin Includes regulator support portion and the scintillator support member having a (76a) (76), the said substrate supporting member is the substrate support member-side coupling portion for coupling the scintillator support member (74b) and the substrate-side substrate sandwiching sandwiching the substrate The scintillator support member includes a scintillator support member side coupling portion (76b) and a scintillator support member side substrate clamping portion (76c) that are coupled to the substrate support member, and includes the substrate support member side coupling. And the scintillator support member side coupling portion , the substrate side substrate sandwiching portion and the scintillator support member side substrate sandwiching portion are coupled, and the substrate is sandwiched , whereby the photodiode array and the scintillator Without providing an adhesive between the substrate support portion and the scintillator support portion. The photodiode array and the scintillator, characterized in that it is non-displaceable positioning.

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部との同一部位に、第１ボルト（７９）が挿入される第１ボルト挿入孔（８１）がそれぞれ前記フォトダイオードアレイの幅方向に並んで複数形成され、前記基板支持部材側基板挟持部、前記シンチレータ支持部材側基板挟持部および前記基板の同一部位に、第２ボルト（８０）が挿入される第２ボルト挿入孔（８２）がそれぞれ形成され、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部は、前記第１ボルトの締結により結合され、前記基板側基板挟持部と前記シンチレータ支持部材側基板挟持部は、前記第２ボルトの締結により、前記基板を共締めした状態で結合されることを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the first bolt insertion hole (81) into which the first bolt (79) is inserted in the same portion of the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion. ) Are formed side by side in the width direction of the photodiode array, and a second bolt (80) is inserted into the same part of the substrate support member side substrate holding portion, the scintillator support member side substrate holding portion and the substrate. A second bolt insertion hole (82) is formed, and the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion are coupled by fastening the first bolt, and the substrate side substrate clamping portion and the The scintillator support member side substrate clamping portion is coupled in a state where the substrate is fastened together by fastening the second bolt .

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記シンチレータ支持部は、透明または黒色のＰＥＥＫ樹脂またはＰＥＴ樹脂からなることを特徴とする。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention is characterized in that the scintillator support portion is made of transparent or black PEEK resin or PET resin .

また、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生器（９）と、Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（５１）と、前記Ｘ線発生器のＸ線発生中に被検査物（Ｗ）を搬送方向に搬送して前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサとの間を通過させる搬送部（２）と、を備えるＸ線検査装置において、前記Ｘ線ラインセンサは、複数のフォトダイオード（７１）が直線状に並べられてなるフォトダイオードアレイ（７２）と、前記フォトダイオードアレイが上面に実装される基板（７３）と、前記基板を下方から支持する基板支持部（７４ａ）を有する基板支持部材（７４）と、前記フォトダイオードアレイの上方に配置され、Ｘ線を光に変換するシンチレータ（７５）と、Ｘ線を透過する材料からなり前記シンチレータを上方から接着剤（７７）により支持するシンチレータ支持部（７６ａ）を有するシンチレータ支持部材（７６）と、を備え、前記基板支持部材は前記シンチレータ支持部材と結合する基板支持部材側結合部（７４ｂ）を有するとともに、前記シンチレータ支持部材は前記基板支持部材と結合するシンチレータ支持部材側結合部（７６ｂ）を有し、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に隙間が形成されるとともに、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイ、前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とする。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes an X-ray generator (9) for generating X-rays, an X-ray line sensor (51) for detecting X-rays, and the X-ray generator generating X-rays. In the X-ray inspection apparatus, the X-ray inspection apparatus includes: a transport unit (2) configured to transport the object to be inspected (W) in the transport direction and pass between the X-ray generator and the X-ray line sensor. The sensor includes a photodiode array (72) in which a plurality of photodiodes (71) are arranged in a straight line, a substrate (73) on which the photodiode array is mounted, and a substrate that supports the substrate from below. A substrate support member (74) having a support portion (74a), a scintillator (75) disposed above the photodiode array and converting X-rays into light, and made of a material that transmits X-rays Adhesive from A scintillator support member (76) having a scintillator support portion (76a) supported by (77), and the substrate support member has a substrate support member side coupling portion (74b) coupled to the scintillator support member, The scintillator support member has a scintillator support member side coupling portion (76b) coupled to the substrate support member, and the photodiode is obtained by coupling the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion. A gap is formed between the array and the scintillator, and the substrate, the photodiode array, and the scintillator are non-displaceably positioned between the substrate support portion and the scintillator support portion. .

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部との間に所定厚さのスペーサー（７８）が介装され、前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に前記所定厚さに応じた隙間が形成されるとともに、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイ、前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とする。In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, a spacer (78) having a predetermined thickness is interposed between the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion, and the substrate support member side coupling is performed. A gap corresponding to the predetermined thickness is formed between the photodiode array and the scintillator, and the substrate support part and the scintillator support part The substrate, the photodiode array, and the scintillator are positioned so as not to be displaceable.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、フォトダイオードアレイとシンチレータとの間に接着剤が設けられていないので、Ｘ線の照射により接着剤から２次電子やフリーラジカル等が発生してフォトダイオードアレイを劣化させることがない。したがって、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせてＸ線ラインセンサの寿命を延ばすことができる。According to the X-ray inspection apparatus of the present invention, since no adhesive is provided between the photodiode array and the scintillator, secondary electrons, free radicals, and the like are generated from the adhesive by the X-ray irradiation, and photo There is no deterioration of the diode array. Therefore, the life of the X-ray line sensor can be extended by delaying the deterioration rate of the X-ray line sensor.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、シンチレータがフォトダイオードアレイとシンチレータ支持部との間で挟持されるため、シンチレータが密閉され、シンチレータが外部からの異物等により汚損されることを防止することができる。According to the X-ray inspection apparatus according to the present invention, since the scintillator is sandwiched between the photodiode array and the scintillator support portion, the scintillator is sealed, and the scintillator is prevented from being contaminated by foreign matter or the like from the outside. be able to.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、シンチレータとシンチレータ支持部との間に接着剤を設けることで、フォトダイオードアレイとシンチレータとの間に隙間を形成することができるので、接着剤で発生した２次電子やフリーラジカルを隙間で遮断してフォトダイオードアレイに到達することを防止することができる。According to the X-ray inspection apparatus according to the present invention, a gap can be formed between the photodiode array and the scintillator by providing an adhesive between the scintillator and the scintillator support portion. It is possible to prevent the secondary electrons and free radicals from being blocked by a gap and reaching the photodiode array.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、基板支持部材側結合部とシンチレータ支持部材側結合部との間に所定厚さのスペーサーを介装させることで、基板支持部材またはシンチレータ支持部材を設計変更することなく、フォトダイオードアレイとシンチレータとの間に所定厚さに応じた隙間を形成することができる。According to the X-ray inspection apparatus of the present invention, a substrate support member or a scintillator support member is designed by interposing a spacer having a predetermined thickness between the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion. Without change, a gap corresponding to a predetermined thickness can be formed between the photodiode array and the scintillator.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、第１ボルトを締結することで、基板支持部材側結合部とシンチレータ支持部材側結合部を強固に結合させることができる。According to the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion can be firmly coupled by fastening the first bolt.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、第２ボルトを締結することで、基板側基板挟持部とシンチレータ支持部材側基板挟持部を、基板を共締めした状態で強固に結合することができる。また、基板側基板挟持部とシンチレータ支持部材側基板挟持部により挟持された状態で、基板を安定して固定することができる。 According to the X-ray inspection apparatus of the present invention, by fastening the second bolt, the substrate-side substrate holding portion and the scintillator support member-side substrate holding portion can be firmly coupled with the substrate being fastened together. . In addition, the substrate can be stably fixed while being sandwiched between the substrate-side substrate sandwiching portion and the scintillator support member-side substrate sandwiching portion.

本発明に係るＸ線検査装置によれば、フォトダイオードアレイで発生した光がシンチレータ支持部で反射して再度フォトダイオードアレイ側に戻ってしまうことを防止することができる。 According to the X-ray inspection apparatus of the present invention, it is possible to prevent light generated by the photodiode array from being reflected by the scintillator support portion and returning to the photodiode array side again.

本発明は、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせてＸ線ラインセンサの寿命を延ばすことができるＸ線検査装置を提供することができる。 The present invention can provide an X-ray inspection apparatus capable of extending the life of an X-ray line sensor by delaying the deterioration rate of the X-ray line sensor.

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。It is a figure which shows the side surface and internal structure of the X-ray inspection apparatus which concern on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線ラインセンサの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the X-ray line sensor of the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線ラインセンサの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the X-ray line sensor of the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. （ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線ラインセンサの他の例を示す断面図である。(A), (b) is sectional drawing which shows the other example of the X-ray line sensor of the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線ラインセンサの作用を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the effect | action of the X-ray line sensor of the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示部５を筐体４の前面上部に備えている。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the configuration will be described. As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus 1 includes a transport unit 2 and a detection unit 3 inside a housing 4, and a display unit 5 at the upper front of the housing 4.

搬送部２は、被検査物である被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。 The transport unit 2 sequentially transports the inspection object W, which is an inspection object, at predetermined intervals. This conveyance part 2 is comprised by the belt conveyor arrange | positioned horizontally within the housing | casing 4, for example.

搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。 The transport unit 2 serves as a transport surface for the inspection object W loaded from the carry-in port 7 at a transport speed set in advance by driving the drive motor 6 shown in FIG. 1 toward the carry-out port 8 side (X direction in the figure). The belt surface 2a is conveyed. A space passing through the belt surface 2 a from the carry-in entrance 7 to the carry-out exit 8 within the housing 4 forms a transport path 21.

検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。 The detection unit 3 irradiates the inspection object W sequentially conveyed with X-rays in the inspection space 22 in the middle of the conveyance path 21 and detects X-rays transmitted through the inspection object W. An X-ray generator 9 disposed at a predetermined height above the inspection space 22 in the middle of 21 and an X-ray detector 10 disposed opposite to the X-ray generator 9 in the transport unit 2 are provided. ing.

Ｘ線発生源としてのＸ線発生器９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。 An X-ray generator 9 as an X-ray generation source has a configuration in which a cylindrical X-ray tube 12 provided in a metal box 11 is immersed in insulating oil (not shown). X-rays are generated by irradiating an anode target with an electron beam from 12 cathodes.

Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。 The X-ray tube 12 is arranged such that its longitudinal direction is the conveyance direction (X direction) of the inspection object W. X-rays generated by the X-ray tube 12 are irradiated toward the lower X-ray detector 10 so as to cross the transport direction (X direction) in a substantially triangular screen shape by a slit (not shown). It has become.

図２に示すように、ベルト面２ａの下方には支持フレーム６０が設けられており、この支持フレーム６０は、ベルト面２ａを下方から支持している。支持フレーム６０におけるＸ線発生器９の下方部位には、Ｘ線が通過可能な材料からなる窓材６１が設けられている。Ｘ線発生器９から照射されるＸ線は、この窓材６１を通過してその下方のＸ線検出器１０に到達するようになっている。Ｘ線検出器１０は、Ｘ線を検出するためのＸ線ラインセンサ５１を備えている。Ｘ線ラインセンサ５１の詳細な構成については後述する。 As shown in FIG. 2, a support frame 60 is provided below the belt surface 2a, and the support frame 60 supports the belt surface 2a from below. A window material 61 made of a material through which X-rays can pass is provided in a lower portion of the support frame 60 below the X-ray generator 9. X-rays emitted from the X-ray generator 9 pass through the window member 61 and reach the X-ray detector 10 below the window material 61. The X-ray detector 10 includes an X-ray line sensor 51 for detecting X-rays. The detailed configuration of the X-ray line sensor 51 will be described later.

搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。 On the ceiling portion 21a in the conveyance path 21, X-ray shielding shielding curtains 16 are suspended and arranged at a plurality of locations along the conveyance direction (X direction). The shielding curtain 16 is composed of a rubber sheet mixed with lead powder that shields X-rays and processed into a good shape (a state in which the upper part is connected and the lower part is divided into strips), and is conveyed from the inspection space 22. This prevents X-rays from leaking outside the housing 4 via the path 21.

遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。 In the present embodiment, two shielding curtains 16 are provided between the carry-in entrance 7 and the inspection space 22 and between the examination space 22 and the carry-out exit 8, respectively. Even when a gap is generated due to elastic deformation due to contact with the inspection object W, the other shielding curtain 16 shields X-rays, so that leakage of X-rays can be prevented without exceeding the leakage reference amount. An inner space surrounded by the shielding curtain 16 in the conveyance path 21 constitutes an inspection space 22.

Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器１０からのＸ線画像が入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物や欠陥の有無を検査する制御回路４０と、制御回路４０による検査結果等を表示出力する表示部５と、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力を行う設定操作部４５とを備えている。 The X-ray inspection apparatus 1 receives an X-ray image from the X-ray detector 10 and displays a control circuit 40 for inspecting the presence or absence of a foreign matter or a defect in the inspection object W and an inspection result by the control circuit 40. A display unit 5 for outputting, and a setting operation unit 45 for inputting setting of various parameters to the control circuit 40 are provided.

表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、ユーザに対する表示出力を行うようになっている。この表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定操作部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。 The display unit 5 is composed of a flat display or the like, and performs display output for the user. The display unit 5 displays the pass / fail judgment result of the inspected object W with characters or symbols such as “OK” and “NG”, and the inspection results such as the total number of inspections, the number of non-defective products, and the total number of NG as default settings. Alternatively, the screen is displayed based on a request by a predetermined key operation from the setting operation unit 45.

設定操作部４５は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択等を行うものである。なお、表示部５と設定操作部４５とを、タッチパネル式表示器として一体構成してもよい。 The setting operation unit 45 includes a plurality of keys and switches operated by the user, and performs setting input of various parameters and the like to the control circuit 40 and selection of an operation mode. The display unit 5 and the setting operation unit 45 may be integrally configured as a touch panel display.

制御回路４０は、Ｘ線検出器１０から受け取ったＸ線画像を一時的に記憶する一時記憶部４２と、この一時記憶部４２から読み出したデータに対してフィルタや特徴抽出するための画像処理を施す画像処理部４３と、画像処理されたデータに対して被検査物Ｗ中の異物や欠陥の有無を判定する判定部４４と、を備えている。 The control circuit 40 temporarily stores the X-ray image received from the X-ray detector 10, and performs image processing for extracting filters and features on the data read from the temporary storage unit 42. An image processing unit 43 to be applied, and a determination unit 44 that determines the presence or absence of foreign matter or defects in the inspection object W with respect to the image-processed data.

また、制御回路４０は制御部４６を備えている。この制御部４６は、ＣＰＵおよび制御プログラムの記憶領域または作業領域としてのメモリなどを備えて構成されており、設定操作部４５で設定された動作モードに基づいて、Ｘ線検査装置１の全体的な制御を行うようになっている。 Further, the control circuit 40 includes a control unit 46. The control unit 46 is configured to include a CPU and a storage area for a control program or a memory as a work area, and the entire X-ray inspection apparatus 1 is based on the operation mode set by the setting operation unit 45. Control is to be performed.

次に、Ｘ線ラインセンサ５１の詳細な構成について説明する。図３、図４に示すように、本実施形態では、Ｘ線ラインセンサ５１は、フォトダイオードアレイ７２と、基板７３と、基板支持部材７４と、シンチレータ７５と、シンチレータ支持部材７６とを備えている。 Next, a detailed configuration of the X-ray line sensor 51 will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, in this embodiment, the X-ray line sensor 51 includes a photodiode array 72, a substrate 73, a substrate support member 74, a scintillator 75, and a scintillator support member 76. Yes.

フォトダイオードアレイ７２は、複数のフォトダイオード７１が搬送部２の幅方向（Ｙ方向）に直線状に並べられたものから構成されている。基板７３は、ガラスエポキシ板から構成されており、その上面にフォトダイオードアレイ７２が実装されている。各フォトダイオード７１は、ボンディングワイヤー６２によって基板７３に電気的に接続されている。基板７３は信号線６３によって画像ボード６４に接続されている。 The photodiode array 72 includes a plurality of photodiodes 71 arranged in a straight line in the width direction (Y direction) of the transport unit 2. The substrate 73 is made of a glass epoxy plate, and a photodiode array 72 is mounted on the upper surface thereof. Each photodiode 71 is electrically connected to the substrate 73 by a bonding wire 62. The substrate 73 is connected to the image board 64 by a signal line 63.

基板支持部材７４は、放熱性に優れるアルミ等の材料を平板状に形成したものから構成されており、基板７３を下方から支持する基板支持部７４ａと、シンチレータ支持部材７６と結合する基板支持部材側結合部７４ｂと、基板７３を挟持する基板支持部材側基板挟持部７４ｃとを有している。基板支持部材側基板挟持部７４ｃは、基板支持部７４ａの一部として設けられており、基板７３を下方から支持するとともに、基板７３を挟持している。 The substrate support member 74 is composed of a flat plate formed of a material such as aluminum having excellent heat dissipation, and a substrate support member 74a that supports the substrate 73 from below and a substrate support member that is coupled to the scintillator support member 76. A side coupling portion 74b and a substrate support member side substrate clamping portion 74c for clamping the substrate 73 are provided. The substrate support member side substrate holding portion 74c is provided as a part of the substrate support portion 74a, and supports the substrate 73 from below and holds the substrate 73.

基板支持部材７４および画像ボード６４は、その下方のフレーム６５の上に載置されている。 The substrate support member 74 and the image board 64 are placed on the frame 65 below.

シンチレータ７５は、フォトダイオードアレイ７２の上方に配置されており、Ｘ線を光に変換するようになっている。 The scintillator 75 is disposed above the photodiode array 72 and converts X-rays into light.

シンチレータ支持部材７６は、Ｘ線が透過可能な材料を平板状に形成したものから構成されており、シンチレータ７５を上方から支持するシンチレータ支持部７６ａと、基板支持部材７４と結合するシンチレータ支持部材側結合部７６ｂと、基板７３を挟持するシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃとを有している。シンチレータ支持部材７６としては、透明または黒色のＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂またはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）樹脂が好ましい。また、シンチレータ支持部材７６は、シンチレータ７５を上方から支持可能な剛性を発揮する厚みおよび形状に形成することが好ましい。 The scintillator support member 76 is made of a flat plate formed of a material that can transmit X-rays. The scintillator support member 76 a that supports the scintillator 75 from above and the substrate support member 74 is connected to the scintillator support member side. The coupling portion 76b and a scintillator support member side substrate clamping portion 76c for clamping the substrate 73 are provided. The scintillator support member 76 is preferably a transparent or black PEEK (polyether ether ketone) resin or PET (polyethylene terephthalate) resin. Further, the scintillator support member 76 is preferably formed to have a thickness and shape that exhibits rigidity capable of supporting the scintillator 75 from above.

また、図３〜図５に示すように、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとの同一部位には、第１ボルト７９が挿入される第１ボルト挿入孔８１がそれぞれ形成されている。第１ボルト挿入孔８１は、搬送部２の幅方向に複数設けられている。基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂは、第１ボルト７９の締結により結合されるようになっている。 As shown in FIGS. 3 to 5, first bolt insertion holes 81 into which the first bolts 79 are inserted are respectively formed in the same portions of the substrate support member side coupling portion 74 b and the scintillator support member side coupling portion 76 b. Is formed. A plurality of first bolt insertion holes 81 are provided in the width direction of the transport unit 2. The board support member side coupling portion 74 b and the scintillator support member side coupling portion 76 b are coupled by fastening the first bolt 79.

また、基板支持部材側基板挟持部７４ｃ、シンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃおよび基板７３の同一部位には、第２ボルト８０が挿入される第２ボルト挿入孔８２がそれぞれ形成されている。第２ボルト挿入孔８２は、搬送部２の幅方向に複数設けられている。基板支持部材側基板挟持部７４ｃとシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃは、第２ボルト８０の締結により、基板７３を共締めした状態で結合されるようになっている。 A second bolt insertion hole 82 into which the second bolt 80 is inserted is formed in the same portion of the substrate support member side substrate holding portion 74c, the scintillator support member side substrate holding portion 76c, and the substrate 73, respectively. A plurality of second bolt insertion holes 82 are provided in the width direction of the transport unit 2. The substrate support member side substrate sandwiching portion 74 c and the scintillator support member side substrate sandwiching portion 76 c are coupled with the substrate 73 being fastened together by fastening the second bolt 80.

本実施形態では、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとを第１ボルト７９の締結により結合するとともに、基板支持部材側基板挟持部７４ｃとシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃとを第２ボルト８０の締結により結合することで、シンチレータ７５がフォトダイオードアレイ７２とシンチレータ支持部７６ａとの間で挟持されるようになっている。また、これにより、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に接着剤を設けることなく、基板支持部７４ａとシンチレータ支持部７６ａとの間に基板７３、フォトダイオードアレイ７２およびシンチレータ７５が変位不能に位置決めされるようになっている。 In the present embodiment, the substrate support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b are coupled by fastening the first bolt 79, and the substrate support member side substrate clamping portion 74c and the scintillator support member side substrate clamping portion 76c. Are coupled by fastening the second bolt 80, so that the scintillator 75 is sandwiched between the photodiode array 72 and the scintillator support portion 76a. Further, this prevents the substrate 73, the photodiode array 72, and the scintillator 75 from being displaced between the substrate support portion 74a and the scintillator support portion 76a without providing an adhesive between the photodiode array 72 and the scintillator 75. It is designed to be positioned.

また、他の例として、図５（ａ）に示すように、シンチレータ７５とシンチレータ支持部７６ａとの間に接着剤７７を設けることで、シンチレータ７５をシンチレータ支持部７６ａに固定してもよい。この場合、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ支持部７６ａとの間でシンチレータ７５を挟持する必要がなくなる。このため、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとを結合したときに、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に隙間を形成しつつ、基板支持部７４ａとシンチレータ支持部７６ａとの間に基板７３、フォトダイオードアレイ７２、シンチレータ７５が変位不能に位置決めすることが可能となる。 As another example, as shown in FIG. 5A, the scintillator 75 may be fixed to the scintillator support portion 76a by providing an adhesive 77 between the scintillator 75 and the scintillator support portion 76a. In this case, it is not necessary to sandwich the scintillator 75 between the photodiode array 72 and the scintillator support portion 76a. Therefore, when the substrate support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b are coupled, the substrate support portion 74a and the scintillator support portion are formed while forming a gap between the photodiode array 72 and the scintillator 75. The substrate 73, the photodiode array 72, and the scintillator 75 can be positioned so as not to be displaced between the substrate 76a and the substrate 76a.

また、図５（ｂ）に示すように、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとの間に所定厚さｔのスペーサー７８を介装することで、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとを結合したときに、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に所定厚さｔに応じた隙間が形成されつつ、基板支持部７４ａとシンチレータ支持部７６ａとの間に基板７３、フォトダイオードアレイ７２、シンチレータ７５が変位不能に位置決めされるようになっていてもよい。図５（ｂ）では、隙間ｔは、スペーサー７８の厚さｔと等しくなっている。 Further, as shown in FIG. 5B, a spacer 78 having a predetermined thickness t is interposed between the substrate support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b, so that the substrate support member side coupling is performed. When the portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b are joined, a gap corresponding to a predetermined thickness t is formed between the photodiode array 72 and the scintillator 75, and the substrate support portion 74a and the scintillator support portion 76a. The substrate 73, the photodiode array 72, and the scintillator 75 may be positioned so as not to be displaced. In FIG. 5B, the gap t is equal to the thickness t of the spacer 78.

以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとを結合することで、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に接着剤を設けることなく、基板支持部７４ａとシンチレータ支持部７６ａとの間に基板７３、フォトダイオードアレイ７２およびシンチレータ７５が変位不能に位置決めされるようになっている。 As described above, in the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 couples the substrate support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b, so that the photodiode array The substrate 73, the photodiode array 72, and the scintillator 75 are positioned so as not to be displaced between the substrate support portion 74a and the scintillator support portion 76a without providing an adhesive between the 72 and the scintillator 75. .

この構成により、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に接着剤が設けられていないので、図６に示すように、Ｘ線の照射により接着剤から２次電子（図中ｅ⁻と記す）やフリーラジカル（図中ＯＨ⁻と記す）等が発生してフォトダイオードアレイ７２を劣化させることがない。したがって、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせてＸ線ラインセンサ５１の寿命を延ばすことができる。 With this configuration, since no adhesive is provided between the photodiode array 72 and the scintillator 75, as shown in FIG. 6, secondary electrons (denoted by e ^{− in the} figure) are irradiated from the adhesive by X-ray irradiation. And free radicals (denoted by OH ^{− in the} figure) or the like is not generated and the photodiode array 72 is not deteriorated. Therefore, the life of the X-ray line sensor 51 can be extended by delaying the deterioration rate of the X-ray line sensor.

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、シンチレータ７５がフォトダイオードアレイ７２とシンチレータ支持部７６ａとの間で挟持されるようになっている。 In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 is configured such that the scintillator 75 is sandwiched between the photodiode array 72 and the scintillator support portion 76a.

この構成により、シンチレータ７５がフォトダイオードアレイ７２とシンチレータ支持部７６ａとの間で挟持されるため、シンチレータ７５が密閉され、シンチレータ７５が外部からの異物等により汚損されることを防止することができる。 With this configuration, since the scintillator 75 is sandwiched between the photodiode array 72 and the scintillator support portion 76a, the scintillator 75 is sealed, and the scintillator 75 can be prevented from being contaminated by foreign matters or the like. .

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、シンチレータ７５とシンチレータ支持部７６ａとの間に接着剤７７を設けている。 In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes an adhesive 77 between the scintillator 75 and the scintillator support portion 76a.

この構成により、シンチレータ７５とシンチレータ支持部７６ａとの間に接着剤７７を設けることで、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に隙間を形成することができるので、接着剤７７で発生した２次電子やフリーラジカルを隙間で遮断してフォトダイオードアレイ７２に到達することを防止することができる。 With this configuration, by providing the adhesive 77 between the scintillator 75 and the scintillator support portion 76a, a gap can be formed between the photodiode array 72 and the scintillator 75. It is possible to prevent secondary electrons and free radicals from reaching the photodiode array 72 by being blocked by a gap.

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂとの間に所定厚さｔのスペーサー７８を介装している。 In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes a spacer 78 having a predetermined thickness t between the substrate support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b. Disguise.

この構成により、基板支持部材またはシンチレータ支持部材７６を設計変更することなく、フォトダイオードアレイ７２とシンチレータ７５との間に所定厚さｔに応じた隙間を形成することができる。 With this configuration, a gap corresponding to the predetermined thickness t can be formed between the photodiode array 72 and the scintillator 75 without changing the design of the substrate support member or the scintillator support member 76.

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂは、第１ボルト７９の締結により結合されるようになっている。 In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 is configured such that the substrate support member side coupling portion 74 b and the scintillator support member side coupling portion 76 b are coupled by fastening the first bolt 79. It has become.

この構成により、第１ボルト７９を締結することで、基板支持部材側結合部７４ｂとシンチレータ支持部材側結合部７６ｂを強固に結合させることができる。 With this configuration, by fastening the first bolt 79, the board support member side coupling portion 74b and the scintillator support member side coupling portion 76b can be firmly coupled.

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、基板支持部材側基板挟持部７４ｃとシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃは、第２ボルト８０の締結により、基板７３を共締めした状態で結合されるようになっている。 Further, in the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes the substrate support member side substrate sandwiching portion 74c and the scintillator support member side substrate sandwiching portion 76c that are connected to each other by fastening the second bolt 80. 73 are joined together.

この構成により、第２ボルト８０を締結することで、基板支持部材側基板挟持部７４ｃとシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃを、基板を共締めした状態で強固に結合することができる。また、基板支持部材側基板挟持部７４ｃとシンチレータ支持部材側基板挟持部７６ｃにより挟持された状態で、基板７３を安定して固定することができる。 With this configuration, by fastening the second bolt 80, the substrate support member side substrate holding portion 74c and the scintillator support member side substrate holding portion 76c can be firmly coupled with the substrate being fastened together. In addition, the substrate 73 can be stably fixed while being sandwiched between the substrate support member side substrate sandwiching portion 74c and the scintillator support member side substrate sandwiching portion 76c.

また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線ラインセンサ５１は、シンチレータ支持部材７６の全体またはシンチレータ支持部７６ａは、透明または黒色のＰＥＥＫ樹脂またはＰＥＴ樹脂から構成されている。 In the X-ray inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the X-ray line sensor 51 includes the entire scintillator support member 76 or the scintillator support portion 76a made of transparent or black PEEK resin or PET resin.

この構成により、フォトダイオードアレイ７２で発生した光がシンチレータ支持部７６ａで反射して再度フォトダイオードアレイ７２側に戻ってしまうことを防止することができる。 With this configuration, it is possible to prevent light generated in the photodiode array 72 from being reflected by the scintillator support portion 76a and returning to the photodiode array 72 side again.

以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線ラインセンサの劣化速度を遅らせてＸ線ラインセンサの寿命を延ばすことができるという効果を有し、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置として有用である。 As described above, the X-ray inspection apparatus according to the present invention has the effect that the deterioration rate of the X-ray line sensor can be delayed and the life of the X-ray line sensor can be extended. It is useful as an X-ray inspection apparatus that performs irradiation of rays.

１Ｘ線検査装置
２搬送部
１０Ｘ線検出器
５１Ｘ線ラインセンサ
７１フォトダイオード
７２フォトダイオードアレイ
７３基板
７４基板支持部材
７４ａ基板支持部
７４ｂ基板支持部材側結合部
７４ｃ基板支持部材側基板挟持部
７５シンチレータ
７６シンチレータ支持部材
７６ａシンチレータ支持部
７６ｂシンチレータ支持部材側結合部
７６ｃシンチレータ支持部材側基板挟持部
７７接着剤
７８スペーサー
７９第１ボルト
８０第２ボルト
８１第１ボルト挿入孔
８２第２ボルト挿入孔
Ｗ被検査物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray inspection apparatus 2 Conveyance part 10 X-ray detector 51 X-ray line sensor 71 Photodiode 72 Photodiode array 73 Substrate 74 Substrate support member 74a Substrate support part 74b Substrate support member side coupling | bond part 74c Substrate support member side board | substrate clamping part 75 scintillator 76 scintillator support member 76a scintillator support portion 76b scintillator support member side coupling portion 76c scintillator support member side substrate clamping portion 77 adhesive 78 spacer 79 first bolt 80 second bolt 81 first bolt insertion hole 82 second bolt insertion hole W Inspection object

Claims

An X-ray generator (9) for generating X-rays;
An X-ray line sensor (51) for detecting X-rays;
A transport unit (2) for transporting an object to be inspected (W) in the transport direction during passage of X-rays from the X-ray generator and passing between the X-ray generator and the X-ray line sensor. In X-ray inspection equipment,
The X-ray line sensor
A photodiode array (72) in which a plurality of photodiodes (71) are arranged in a straight line;
A substrate (73) on which the photodiode array is mounted;
A substrate support member (74) having a substrate support portion (74a) for supporting the substrate from below;
A scintillator (75) disposed above the photodiode array for converting X-rays into light;
A scintillator support member (76) made of a material that transmits X-rays and having a scintillator support portion (76a) for supporting the scintillator from above,
The substrate support member has a substrate support member side coupling portion (74b) that couples to the scintillator support member and a substrate side substrate clamping portion (74c) that clamps the substrate , and the scintillator support member is coupled to the substrate support member. A scintillator support member side coupling portion (76b) and a scintillator support member side substrate clamping portion (76c) for clamping the substrate ,
By coupling the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion, coupling the substrate side substrate sandwiching portion and the scintillator support member side substrate sandwiching portion, and sandwiching the substrate , The substrate, the photodiode array, and the scintillator are non-displaceably positioned between the substrate support portion and the scintillator support portion without providing an adhesive between the photodiode array and the scintillator. X-ray inspection equipment.

First bolt insertion holes (81) into which first bolts (79) are inserted are aligned in the width direction of the photodiode array at the same portion of the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion. Is formed in multiple,
A second bolt insertion hole (82) into which a second bolt (80) is inserted is formed in the same part of the substrate support member side substrate sandwiching portion, the scintillator support member side substrate sandwiching portion, and the substrate, respectively.
The substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion are coupled by fastening the first bolt, and the substrate side substrate clamping portion and the scintillator support member side substrate clamping portion are fastened by the second bolt. The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the X-ray inspection apparatus is coupled in a state where the substrates are fastened together .

The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the scintillator support portion is made of transparent or black PEEK resin or PET resin .

An X-ray generator (9) for generating X-rays;
An X-ray line sensor (51) for detecting X-rays;
A transport unit (2) for transporting an object to be inspected (W) in the transport direction during passage of X-rays from the X-ray generator and passing between the X-ray generator and the X-ray line sensor. In X-ray inspection equipment,
The X-ray line sensor
A photodiode array (72) in which a plurality of photodiodes (71) are arranged in a straight line;
A substrate (73) on which the photodiode array is mounted;
A substrate support member (74) having a substrate support portion (74a) for supporting the substrate from below;
A scintillator (75) disposed above the photodiode array for converting X-rays into light;
A scintillator support member (76) comprising a scintillator support portion (76a) made of a material that transmits X-rays and supporting the scintillator from above with an adhesive (77),
The substrate support member has a substrate support member side coupling portion (74b) coupled to the scintillator support member, and the scintillator support member has a scintillator support member side coupling portion (76b) coupled to the substrate support member,
A gap is formed between the photodiode array and the scintillator by coupling the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion, and the substrate support portion and the scintillator support portion The X-ray inspection apparatus is characterized in that the substrate, the photodiode array, and the scintillator are positioned so as not to be displaceable .

A spacer (78) having a predetermined thickness is interposed between the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion,
A gap corresponding to the predetermined thickness is formed between the photodiode array and the scintillator by coupling the substrate support member side coupling portion and the scintillator support member side coupling portion, and the substrate support The X-ray inspection apparatus according to claim 4, wherein the substrate, the photodiode array, and the scintillator are positioned so as not to be displaceable between a scintillator and the scintillator support portion .