JP6391489B2 - Motor control device - Google Patents

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Description

本発明は、複数のモータが共同して一つの可動部を駆動して可動部を高速高精度に位置決めできるモータ制御装置に関する。   The present invention relates to a motor control apparatus capable of positioning a movable part at high speed and high accuracy by a plurality of motors jointly driving one movable part.

マウンタ装置などの部品実装機では、可動部をモータにより高速に駆動して高精度に位置決めすることにより単位時間当たりの部品実装数を増やすことができる。これにより、部品実装作業による製造コストを低減することができる。
そして、たとえば多数のプリント基板を同時に実装することができる大きなテーブルを使用する大型のマウンタ装置では、該一つの可動部を複数のモータで高速に駆動することが考えられる。
In a component mounter such as a mounter device, the number of component mounts per unit time can be increased by driving the movable part at high speed by a motor and positioning with high accuracy. Thereby, the manufacturing cost by component mounting work can be reduced.
For example, in a large mounter apparatus using a large table on which a large number of printed boards can be mounted simultaneously, it is conceivable that the single movable part is driven at a high speed by a plurality of motors.

たとえば特許文献1のモータ制御装置は、一つの可動部を2台のモータで駆動している。2台のモータの各々はそれぞれに対応して設けられたモータ制御モデルおよびサーボコントローラにより制御される。サーボコントローラは、外部位置指令に基づいてモータの動きを実際に制御する。モータ制御モデルは、サーボコントローラの各要素に対応する要素モデルを有し、外部位置指令に基づいてモデルトルク、モデル速度、およびモデル位置を生成する。また、これらのモデル情報とサーボコントローラからフィードバックされる実際の制御での制御トルク、制御速度、制御位置との差分を演算し、その差分を一定の割合でサーボコントローラへ戻している。このようにモータ制御モデルにおいてサーボコントローラの制御誤差を演算し、その制御誤差をサーボコントローラへ戻すことにより、サーボコントローラはモータ制御モデルで生成されるモデルトルク、モデル速度、およびモデル位置に追従してモータの動きを制御し得る。
このように特許文献1のモータ制御装置は、モータ制御モデルとサーボコントローラとの誤差を外乱としてとらえてこれを位相補償することによりモデルとサーボコントローラの制御とのずれを抑えているので、複数のモータの制御系に同じモデルを用いることで軸間のずれ(同期誤差)を抑えることができると考えられる。
また、特許文献1とは異なり一つの可動部を1台のモータで駆動する場合には可動部がモータの駆動方向に対して傾くようにヨーイングすることがあるが、特許文献1のように一つの可動部を2台のモータで駆動することによりこのヨーイングを抑えることも期待し得ると考えられる。
For example, the motor control device disclosed in Patent Document 1 drives one movable part with two motors. Each of the two motors is controlled by a motor control model and a servo controller provided in correspondence with each other. The servo controller actually controls the movement of the motor based on the external position command. The motor control model has an element model corresponding to each element of the servo controller, and generates a model torque, a model speed, and a model position based on an external position command. Further, the difference between the model information and the control torque, control speed, and control position in the actual control fed back from the servo controller is calculated, and the difference is returned to the servo controller at a constant rate. Thus, by calculating the control error of the servo controller in the motor control model and returning the control error to the servo controller, the servo controller follows the model torque, model speed, and model position generated by the motor control model. The movement of the motor can be controlled.
As described above, the motor control device of Patent Document 1 suppresses the deviation between the control of the model and the servo controller by detecting the error between the motor control model and the servo controller as a disturbance and performing phase compensation on the error. By using the same model for the motor control system, it is considered that deviation between shafts (synchronization error) can be suppressed.
Unlike Patent Document 1, when one movable part is driven by a single motor, yawing may occur such that the movable part is inclined with respect to the driving direction of the motor. It can be expected that this yawing can be suppressed by driving two movable parts with two motors.

特開2003−345442号公報JP 2003-345442 A

しかしながら、特許文献1の手法では、サーボコントローラの制御応答が十分に高くないと、モデルとサーボコントローラとの間の制御誤差を十分に抑制することができない。そして、各モータの制御系において制御誤差を十分に抑制できない場合には、複数のモータの間での同期精度を確保することもできない。
その一方で、実際の機械系では、複数のモータに対して可動部を駆動するボールねじ等がねじり振動したり、複数のモータおよび可動部が取り付けられる機台が駆動により振動したりすることがあるため、個々の軸のサーボコントローラの制御応答を十分に高くすることができない。
このため、特許文献1の手法では、サーボコントローラの制御応答を十分に高くできない場合に複数のモータの間での同期精度を確保することができない。
However, in the method of Patent Document 1, unless the control response of the servo controller is sufficiently high, the control error between the model and the servo controller cannot be sufficiently suppressed. If the control error cannot be sufficiently suppressed in the control system of each motor, the synchronization accuracy among the plurality of motors cannot be ensured.
On the other hand, in an actual mechanical system, a ball screw or the like that drives a movable part with respect to a plurality of motors may be torsionally vibrated, or a machine base to which a plurality of motors and movable parts are attached may be vibrated by driving. For this reason, the control response of the servo controller for each axis cannot be made sufficiently high.
For this reason, in the method of Patent Document 1, when the control response of the servo controller cannot be sufficiently increased, it is not possible to ensure the accuracy of synchronization among a plurality of motors.

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、一つの可動部を複数のモータで駆動する機械において、フィードバック制御系の制御応答を十分に高めることができない場合であっても、指令に対する追従性を向上させる事ができ、さらに複数のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できるモータ制御装置を提供することにある。   The present invention has been made in order to solve such a problem, and its purpose is in a case where the control response of the feedback control system cannot be sufficiently enhanced in a machine in which one movable part is driven by a plurality of motors. Even so, it is an object to provide a motor control device that can improve the follow-up performance with respect to a command, further ensure synchronization accuracy among a plurality of motors, and as a result, realize high-speed and high-precision positioning. .

本発明のモータ制御装置は、共通の外部位置指令に基づいて駆動されるN個(N:2以上の自然数)のモータにより共同して1つの可動部を駆動するモータ制御装置であって、モータで駆動される可動部の動きに対応している可動部モデルを含むモデル制御系であって外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、N個のモータと1対1対応で設けられてモデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御するN個のフィードバック制御系と、を有し、(N−1)個のフィードバック制御系は、各々のモータを制御する際の制御誤差を、残りの1個のフィードバック制御系での制御誤差との差分により補償する。   A motor control device according to the present invention is a motor control device that drives one movable part jointly by N (N: a natural number of 2 or more) motors driven based on a common external position command. A model control system including a movable part model corresponding to the movement of the movable part driven by the motor, and generating a model command including a model position command from an external position command, and a pair of N motors N feedback control systems that are provided in correspondence with each other and feedback-control each motor based on a model command, and (N-1) feedback control systems are used for controlling each motor. The control error is compensated by the difference from the control error in the remaining one feedback control system.

本発明では、N個のフィードバック制御系の各々は、外部位置指令ではなく、モデル位置を含むモデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御する。しかも、外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系は、モータで駆動される可動部の動きに対応している可動部モデルを含むので、N個のフィードバック制御系はモデルに追従した安定的なフィードバック制御を互いに独立して実行し、N個のモータは外部位置指令に対して同様に追従するように制御され得る。
しかも、本発明では、(N−1)個のフィードバック制御系は、各々での制御誤差を、残りの1個のフィードバック制御系での制御誤差との差分により補償する。(N−1)個のフィードバック制御系は、各々の制御誤差が1個のフィードバック制御系の制御誤差に対してずれが生じないように同期させながら、各々のフィードバック制御を実行する。すなわち、N個のモータを互いに独立して制御を実行するN個のフィードバック制御系は、互いに独立して制御しながらも、1個のフィードバック制御系と(N−1)個のフィードバック制御系との間で生じ得る制御誤差のずれを補償することができる。これらN個のフィードバック制御系の間で生じ得る制御誤差のずれをN個のフィードバック制御系の間で補償することができる。
このため、本発明では、たとえば複数のモータから可動部までの機械系においてたとえば複数のモータの各々と可動部とを連結する複数のボールネジの間で摩擦力の差が生じたとしても、その摩擦力の差に起因する同期誤差を補償して抑制することができる。
しかも、本発明では、複数のフィードバック制御系の制御応答が高くなくとも又は高くできない場合でも、指令に対する追従性を向上させる事ができ、さらに複数のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。
In the present invention, each of the N feedback control systems feedback-controls each motor based on a model command including a model position instead of an external position command. In addition, since the model control system that generates the model command including the model position command from the external position command includes the movable part model corresponding to the movement of the movable part driven by the motor, the N feedback control systems are the models. Stable feedback control following the above is executed independently of each other, and the N motors can be controlled to follow the external position command in the same manner.
Moreover, in the present invention, the (N−1) feedback control systems compensate the control error in each by the difference from the control error in the remaining one feedback control system. The (N-1) feedback control systems execute each feedback control while synchronizing each control error so as not to cause a deviation from the control error of one feedback control system. That is, the N feedback control systems that execute control of the N motors independently of each other are controlled independently of each other, while one feedback control system and (N−1) feedback control systems It is possible to compensate for a control error shift that may occur between the two. A shift in control error that may occur between these N feedback control systems can be compensated between the N feedback control systems.
Therefore, in the present invention, for example, in a mechanical system from a plurality of motors to a movable part, even if a frictional force difference occurs between a plurality of ball screws that connect each of the plurality of motors to the movable part, for example, It is possible to compensate and suppress the synchronization error due to the force difference.
Moreover, in the present invention, even when the control responses of the plurality of feedback control systems are not high or cannot be improved, the followability to the command can be improved, and synchronization accuracy between the plurality of motors can be secured, As a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

図1は、本発明の第1実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a motor control device according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第2実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of a motor control device according to the second embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第3実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a motor control device according to the third embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第4実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of a motor control device according to the fourth embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係るモータ制御装置1のブロック図である。
図1のモータ制御装置1は、第1モータ2と第2モータ3との2個のモータが共同して一つの可動部を駆動して可動部を高速高精度に位置決めできるものである。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram of a motor control device 1 according to the first embodiment of the present invention.
The motor control device 1 of FIG. 1 is one in which two motors of a first motor 2 and a second motor 3 jointly drive one movable part and can position the movable part at high speed and high accuracy.

図1のモータ制御装置1は、可動部としてのテーブル4の制御位置を示す外部位置指令が入力されて各種の第1モデル指令を生成する第1モデル制御系10と、第1モータ2を含むフィードバックループを有して第1モデル指令に基づいて第1モータ2を実際に制御する第1フィードバック制御系30と、第1モデル制御系10と同じ外部位置指令が入力されて各種の第2モデル指令を供給する第2モデル制御系50と、第2モータ3を含むフィードバックループを有して第2モデル指令に基づいて第2モータ3を実際に制御する第2フィードバック制御系70と、を有する。
そして、本実施形態において、第1モデル指令は、第1モデル位置指令、第1モデル速度指令、第1モデルトルク指令である。また、第2モデル指令は、第2モデル位置指令、第2モデル速度指令、第2モデルトルク指令である。
The motor control device 1 in FIG. 1 includes a first model control system 10 that receives an external position command indicating a control position of a table 4 as a movable portion and generates various first model commands, and a first motor 2. A first feedback control system 30 that actually controls the first motor 2 based on the first model command with a feedback loop, and the same external position command as that of the first model control system 10 is input and various second models. A second model control system 50 that supplies a command; and a second feedback control system 70 that has a feedback loop including the second motor 3 and actually controls the second motor 3 based on the second model command. .
In the present embodiment, the first model command is a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command. The second model command is a second model position command, a second model speed command, and a second model torque command.

第1フィードバック制御系30は、第1制御位置誤差生成器31、第1同期位置誤差生成器32、第1位置同期補償器33、第1同期補償位置誤差生成器34、第1位置制御器35、第1検出速度生成器36、第1制御速度誤差生成器37、第1速度制御器38、第1制御トルク生成器39、第1トルク指令ローパスフィルタ40、第1トルク制御器41、を有する。
そして、第1制御位置誤差生成器31、第1同期補償位置誤差生成器34、第1位置制御器35、第1制御速度誤差生成器37、第1速度制御器38、第1制御トルク生成器39、第1トルク指令ローパスフィルタ40、第1トルク制御器41、第1モータ2、および第1センサ42は、第1モータ2を実際に制御するフィードバックループを構成する。
The first feedback control system 30 includes a first control position error generator 31, a first synchronization position error generator 32, a first position synchronization compensator 33, a first synchronization compensation position error generator 34, and a first position controller 35. A first detection speed generator 36, a first control speed error generator 37, a first speed controller 38, a first control torque generator 39, a first torque command low-pass filter 40, and a first torque controller 41. .
The first control position error generator 31, the first synchronization compensation position error generator 34, the first position controller 35, the first control speed error generator 37, the first speed controller 38, and the first control torque generator 39, the first torque command low-pass filter 40, the first torque controller 41, the first motor 2, and the first sensor 42 constitute a feedback loop that actually controls the first motor 2.

第1モータ2は、たとえば同期モータである。
第1センサ42は、第1モータ2の回転位置を検出する。第1センサ42は、たとえば第1モータ2の回転子軸に取り付けられたロータリエンコーダである。ロータリエンコーダは、モータの回転子軸の位置に応じたパルス信号を出力する。パルス信号は、第1モータ2の回転位置や可動部としてのテーブル4の位置へ換算できる。
The first motor 2 is, for example, a synchronous motor.
The first sensor 42 detects the rotational position of the first motor 2. The first sensor 42 is a rotary encoder attached to the rotor shaft of the first motor 2, for example. The rotary encoder outputs a pulse signal corresponding to the position of the rotor shaft of the motor. The pulse signal can be converted into the rotational position of the first motor 2 and the position of the table 4 as a movable part.

第1制御位置誤差生成器31は、第1モデル制御系10から供給される第1モデル位置指令と第1センサ42から得られるテーブル4の第1検出位置とに基づいて、これらの位置誤差を示す第1制御位置誤差を生成する。第1制御位置誤差は、たとえば第1モデル位置指令から第1検出位置を減算したものでよい。
第1同期位置誤差生成器32は、自身の第1制御位置誤差と後述する第2制御位置誤差生成器71により生成される第2制御位置誤差とに基づいて、これらの制御位置誤差の差分(同期誤差)を示す第1同期位置誤差を生成する。第1同期位置誤差は、たとえば自身の第1制御位置誤差から他の第2制御位置誤差を減算したものでよい。この場合、第2フィードバック制御系70に対する第1フィードバック制御系30の同期誤差が得られる。
第1位置同期補償器33は、第1同期位置誤差から、第1位置同期誤差補償量を生成する。本実施形態において第1位置同期補償器33には、たとえば比例制御器または比例積分制御器を用いるとよい。
第1同期補償位置誤差生成器34は、第1フィードバック制御系30での制御位置誤差である第1制御位置誤差と、2個のフィードバック制御系間の同期位置誤差である第1位置同期誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第1制御位置誤差を生成する。同期補償処理後の第1制御位置誤差は、たとえば第1制御位置誤差と第1位置同期誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第1位置制御器35は、同期補償処理後の第1制御位置誤差から、第1制御速度を生成する。第1位置制御器35は、第1フィードバック制御系30での制御位置誤差と、第2フィードバック制御系70を基準とした第1フィードバック制御系30の同期位置誤差とに応じた第1制御速度を生成する。そして、第2フィードバック制御系70の制御位置と比較して第1フィードバック制御系30の制御位置が遅れると、第1制御速度は大きくなる。
The first control position error generator 31 calculates these position errors based on the first model position command supplied from the first model control system 10 and the first detection position of the table 4 obtained from the first sensor 42. The first control position error shown is generated. The first control position error may be, for example, a value obtained by subtracting the first detection position from the first model position command.
Based on its own first control position error and a second control position error 71 generated by a second control position error generator 71, which will be described later, the first synchronization position error generator 32 (the difference between these control position errors ( A first synchronization position error indicating a synchronization error) is generated. The first synchronization position error may be, for example, a value obtained by subtracting another second control position error from its own first control position error. In this case, the synchronization error of the first feedback control system 30 with respect to the second feedback control system 70 is obtained.
The first position synchronization compensator 33 generates a first position synchronization error compensation amount from the first synchronization position error. In the present embodiment, for example, a proportional controller or a proportional-integral controller may be used as the first position synchronization compensator 33.
The first synchronization compensation position error generator 34 compensates for a first control position error that is a control position error in the first feedback control system 30 and a first position synchronization error that is a synchronization position error between two feedback control systems. The first control position error after the synchronization compensation process is generated based on the amount. The first control position error after the synchronization compensation process may be, for example, a total value obtained by adding the first control position error and the first position synchronization error compensation amount.
The first position controller 35 generates a first control speed from the first control position error after the synchronization compensation process. The first position controller 35 has a first control speed corresponding to the control position error in the first feedback control system 30 and the synchronous position error of the first feedback control system 30 with the second feedback control system 70 as a reference. Generate. When the control position of the first feedback control system 30 is delayed as compared with the control position of the second feedback control system 70, the first control speed is increased.

第1検出速度生成器36は、第1センサ42が検出した回転位置からテーブル4の第1検出速度を生成する。
第1制御速度誤差生成器37は、第1制御速度、第1検出速度、および第1モデル速度指令に基づいて第1制御速度誤差を生成する。第1制御速度誤差は、たとえば第1制御速度から第1検出速度を減算して得られる制御速度誤差に対して、第1モデル速度指令を加算したものでよい。
第1速度制御器38は、第1制御速度誤差から、第1制御トルクを生成する。第1速度制御器38は、第1フィードバック制御系30での制御速度誤差と、第1モデル速度指令とに応じた第1制御トルクを生成する。そして、制御速度誤差および第1モデル速度指令の少なくとも一方が大きくなると、第1制御トルクは大きくなる。
The first detection speed generator 36 generates the first detection speed of the table 4 from the rotational position detected by the first sensor 42.
The first control speed error generator 37 generates a first control speed error based on the first control speed, the first detected speed, and the first model speed command. The first control speed error may be obtained by adding the first model speed command to the control speed error obtained by subtracting the first detection speed from the first control speed, for example.
The first speed controller 38 generates a first control torque from the first control speed error. The first speed controller 38 generates a first control torque according to the control speed error in the first feedback control system 30 and the first model speed command. When at least one of the control speed error and the first model speed command increases, the first control torque increases.

第1制御トルク生成器39は、第1制御トルクと第1モデルトルク指令とに基づいて第1合計制御トルクを生成する。第1合計制御トルクは、たとえば第1制御トルクと第1モデルトルク指令とを加算したものでよい。
第1トルク指令ローパスフィルタ40は、第1合計制御トルクをローパスフィルタ処理する。このローパスフィルタ処理により、第1合計制御トルクから高周波成分を除くことができる。このような高周波成分としては、たとえば第1センサ42による位置の量子化リップル成分がある。
第1トルク制御器41は、ローパスフィルタ処理後の第1合計制御トルクに基づいて第1モータ2を制御する。
The first control torque generator 39 generates a first total control torque based on the first control torque and the first model torque command. The first total control torque may be, for example, the sum of the first control torque and the first model torque command.
The first torque command low-pass filter 40 performs a low-pass filter process on the first total control torque. By this low pass filter process, the high frequency component can be removed from the first total control torque. As such a high frequency component, for example, there is a quantized ripple component at a position by the first sensor 42.
The first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque after the low pass filter process.

このような第1フィードバック制御系30で閉じたフィードバック制御により、第1フィードバック制御系30は、第1モデル制御系10から出力される第1モデル位置指令、第1モデル速度指令および第1モデルトルク指令にしたがって第1モータ2を回転駆動する。第1モータ2の回転にしたがってテーブル4は駆動される。
そして、第1フィードバック制御系30において制御位置または制御速度に誤差が生じると、または第2フィードバック制御系70の制御位置に対して第1フィードバック制御系30の制御位置がずれると、これらの誤差およびずれを抑制するように第1モータ2の駆動トルクが増減する。
これにより、第1モータ2からテーブル4までの機械系は、第1モデルトルク指令および第1モデル速度指令にしたがう動きで第1モデル位置指令の位置まで移動するように制御される。
By such feedback control closed by the first feedback control system 30, the first feedback control system 30 causes the first model position command, the first model speed command, and the first model torque output from the first model control system 10. The first motor 2 is rotationally driven according to the command. The table 4 is driven according to the rotation of the first motor 2.
If an error occurs in the control position or the control speed in the first feedback control system 30, or if the control position of the first feedback control system 30 is deviated from the control position of the second feedback control system 70, these errors and The drive torque of the first motor 2 increases or decreases so as to suppress the deviation.
Thus, the mechanical system from the first motor 2 to the table 4 is controlled to move to the position of the first model position command by movement according to the first model torque command and the first model speed command.

第1モデル制御系10は、外部位置指令を入力とし、第1フィードバック制御系30に対応するモデルを用いて第1フィードバック制御系30の仮想的な動作を演算し、第1フィードバック制御系30に与える第1モデル指令を生成する。
第1モデル位置指令は、テーブル4の制御位置を示す指令である。
第1モデル速度指令は、駆動中のテーブル4の制御速度を示す指令である。
第1モデルトルク指令は、駆動中のテーブル4の制御トルクを示す指令である。
そして、本実施形態の第1モデル制御系10は、第1フィードバック制御系30の動作を演算するために、第1モデル位置誤差演算器11、第1モデル位置制御器12、第1モデル速度演算器13、第1モデル速度誤差演算器14、第1モデル速度制御器15、第1モデルトルク指令ローパスフィルタ16、第1可動部モデル17、を有する。
そして、第1モデル位置誤差演算器11、第1モデル位置制御器12、第1モデル速度誤差演算器14、第1モデル速度制御器15、第1モデルトルク指令ローパスフィルタ16、および第1可動部モデル17は、第1モデル制御系10で閉じたフィードバックループを構成する。この第1モデル制御系10のフィードバックループは、第1フィードバック制御系30のフィードバックループと対応する。
The first model control system 10 receives an external position command, calculates a virtual operation of the first feedback control system 30 using a model corresponding to the first feedback control system 30, and sends the first feedback control system 30 to the first feedback control system 30. A first model command to be given is generated.
The first model position command is a command indicating the control position of the table 4.
The first model speed command is a command indicating the control speed of the table 4 being driven.
The first model torque command is a command indicating the control torque of the table 4 being driven.
Then, the first model control system 10 of the present embodiment calculates a first model position error calculator 11, a first model position controller 12, a first model speed calculation in order to calculate the operation of the first feedback control system 30. 13, a first model speed error calculator 14, a first model speed controller 15, a first model torque command low pass filter 16, and a first movable part model 17.
The first model position error calculator 11, the first model position controller 12, the first model speed error calculator 14, the first model speed controller 15, the first model torque command low-pass filter 16, and the first movable part The model 17 constitutes a feedback loop closed by the first model control system 10. The feedback loop of the first model control system 10 corresponds to the feedback loop of the first feedback control system 30.

第1モデル位置誤差演算器11は、第1制御位置誤差生成器31に対応するモデルにより第1モデル位置誤差を演算する。第1モデル位置誤差演算器11は、外部位置指令から、第1可動部モデル17から出力される第1モデル位置を減算して第1モデル位置誤差を演算する。
第1モデル位置制御器12は、第1位置制御器35に対応するモデルにより第1モデル速度を演算する。第1モデル位置制御器12は、第1モデル位置誤差から第1モデル速度を演算する。
第1モデル速度演算器13は、第1検出速度生成器36に対応するモデルにより第1モデル検出速度を演算する。第1モデル速度演算器13は、第1モデル位置から第1モデル検出速度を演算する。第1モデル検出速度は、第一モデル速度指令として第1フィードバック制御系30へ出力される。
第1モデル速度誤差演算器14は、第1制御速度誤差生成器37に対応するモデルにより第1モデル速度誤差を演算する。第1モデル速度誤差演算器14は、第1モデル速度から第1モデル検出速度を減算して第1モデル速度誤差を演算する。
第1モデル速度制御器15は、第1速度制御器38に対応するモデルにより第1モデルトルクを演算する。第1モデル速度制御器15は、第1モデル速度誤差から第1モデルトルクを演算する。第1モデルトルクは、第一モデルトルク指令として第1フィードバック制御系30へ出力される。
第1モデルトルク指令ローパスフィルタ16は、第1トルク指令ローパスフィルタ40に対応するモデルによりフィルタ演算を実施する。第1モデルトルク指令ローパスフィルタ16は、第1モデルトルクをローパスフィルタ処理する。
第1可動部モデル17は、第1モータ2からテーブル4までの機械系の動きに対応している可動部のモデルにより第1モデル位置を演算する。ここでは、第1モータ2、第1ボールネジ5からテーブル4までの機械系に対応する可動部モデルとして、それらの間でずれが生じない剛体モデルを用いる。第1可動部モデル17は、ローパスフィルタ処理後の第1モデルトルクから、第1モデル位置を演算する。第1モデル位置は、第一モデル位置指令として第1フィードバック制御系30へ出力される。
The first model position error calculator 11 calculates a first model position error using a model corresponding to the first control position error generator 31. The first model position error calculator 11 subtracts the first model position output from the first movable part model 17 from the external position command to calculate the first model position error.
The first model position controller 12 calculates a first model speed using a model corresponding to the first position controller 35. The first model position controller 12 calculates a first model speed from the first model position error.
The first model speed calculator 13 calculates the first model detected speed using a model corresponding to the first detected speed generator 36. The first model speed calculator 13 calculates the first model detection speed from the first model position. The first model detection speed is output to the first feedback control system 30 as a first model speed command.
The first model speed error calculator 14 calculates a first model speed error using a model corresponding to the first control speed error generator 37. The first model speed error calculator 14 subtracts the first model detection speed from the first model speed to calculate a first model speed error.
The first model speed controller 15 calculates a first model torque using a model corresponding to the first speed controller 38. The first model speed controller 15 calculates a first model torque from the first model speed error. The first model torque is output to the first feedback control system 30 as a first model torque command.
The first model torque command low-pass filter 16 performs filter calculation using a model corresponding to the first torque command low-pass filter 40. The first model torque command low pass filter 16 performs low pass filter processing on the first model torque.
The first movable part model 17 calculates the first model position based on the movable part model corresponding to the movement of the mechanical system from the first motor 2 to the table 4. Here, as the movable part model corresponding to the mechanical system from the first motor 2 and the first ball screw 5 to the table 4, a rigid body model in which no deviation occurs between them is used. The first movable part model 17 calculates the first model position from the first model torque after the low-pass filter processing. The first model position is output to the first feedback control system 30 as a first model position command.

このような第1フィードバック制御系30に対応するフィードバック制御により、第1モデル制御系10は、可動部を剛体とみなした場合における第1モデル位置指令、第1モデル速度指令および第1モデルトルク指令を生成する。
また、第1モデル制御系10の各要素には、テーブル4に所望の位置決め制御を可能とするための制御パラメータを設定すればよい。
たとえば、第1フィードバック制御系30は、機械系に振動を生じさせない安定なゲインになるようにパラメータを調整する。そして、第1モデル制御系10は、第1フィードバック制御系30の位置ゲインより少し高い位置ゲインを設定するようにする。このようにパラメータを設定することにより、機械系に振動を生じずに機械を高速駆動する事ができるようになる。
By such feedback control corresponding to the first feedback control system 30, the first model control system 10 causes the first model position command, the first model speed command, and the first model torque command when the movable part is regarded as a rigid body. Is generated.
Control parameters for enabling desired positioning control in the table 4 may be set in each element of the first model control system 10.
For example, the first feedback control system 30 adjusts the parameters so as to obtain a stable gain that does not cause vibration in the mechanical system. Then, the first model control system 10 sets a position gain that is slightly higher than the position gain of the first feedback control system 30. By setting the parameters in this way, the machine can be driven at high speed without causing vibration in the mechanical system.

第2フィードバック制御系70は、第2制御位置誤差生成器71、第2位置制御器75、第2検出速度生成器76、第2制御速度誤差生成器77、第2速度制御器78、第2制御トルク生成器79、第2トルク指令ローパスフィルタ80、第2トルク制御器81、を有する。
そして、第2制御位置誤差生成器71、第2位置制御器75、第2制御速度誤差生成器77、第2速度制御器78、第2制御トルク生成器79、第2トルク指令ローパスフィルタ80、第2トルク制御器81、第2モータ3、および第2センサ82は、第2モータ3を実際に制御するフィードバックループを構成する。
これら第2フィードバック制御系70の各構成要素は、第1フィードバック制御系30において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。ただし、第2位置制御器75は、第2制御位置誤差生成器71が生成した第2制御位置誤差から、第2制御速度を生成する。同期補償処理をしていない第2制御位置誤差に基づいて第2制御速度を生成する。
第2モデル制御系50は、第2モデル位置誤差演算器51、第2モデル位置制御器52、第2モデル速度演算器53、第2モデル速度誤差演算器54、第2モデル速度制御器55、第2モデルトルク指令ローパスフィルタ56、第2可動部モデル57、を有する。これら第2モデル制御系50の各構成要素は、第1モデル制御系10において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。第2モデル制御系50の各部のパラメータには、第1モデル制御系10と同じ値が設定される。
そして、以下の説明において、第2フィードバック制御系70および第2モデル制御系50での各種の信号名には、対応する第1フィードバック制御系30および第1モデル制御系10での各種の信号名の番号を第1から第2へ変更したものを使用する。
The second feedback control system 70 includes a second control position error generator 71, a second position controller 75, a second detection speed generator 76, a second control speed error generator 77, a second speed controller 78, and a second speed controller 78. A control torque generator 79, a second torque command low-pass filter 80, and a second torque controller 81 are included.
A second control position error generator 71, a second position controller 75, a second control speed error generator 77, a second speed controller 78, a second control torque generator 79, a second torque command low pass filter 80, The second torque controller 81, the second motor 3, and the second sensor 82 constitute a feedback loop that actually controls the second motor 3.
Each component of the second feedback control system 70 is the same as the component of the same name having a different number in the first feedback control system 30, and detailed description thereof is omitted. However, the second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error generated by the second control position error generator 71. A second control speed is generated based on a second control position error that has not been subjected to synchronization compensation processing.
The second model control system 50 includes a second model position error calculator 51, a second model position controller 52, a second model speed calculator 53, a second model speed error calculator 54, a second model speed controller 55, A second model torque command low-pass filter 56 and a second movable part model 57 are included. Each component of the second model control system 50 is the same as the component having the same name in the first model control system 10, and detailed description thereof is omitted. The same value as that of the first model control system 10 is set to the parameter of each part of the second model control system 50.
In the following description, various signal names in the second feedback control system 70 and the second model control system 50 include various signal names in the corresponding first feedback control system 30 and first model control system 10. Is used in which the number is changed from the first to the second.

なお、図1のモータ制御装置1において、第1センサ42は、第1モータ2と一体に構成されてよい。そして、第1モータ2および第1センサ42以外の第1フィードバック制御系30の構成要素と第1モデル制御系10とは、第1モータ2および第1センサ42と第1ケーブルで接続される第1モータ制御装置中の第1コンピュータ装置に実現されてよい。この場合、第1フィードバック制御系30の各構成要素は演算処理により各々の処理を実行することになり、第1モデル制御系10の各部の演算処理と好適に対応し得る。
同様に、第2センサ82は、第2モータ3と一体に構成されてよい。そして、第2モータ3および第2センサ82以外の第2フィードバック制御系70の構成要素と第2モデル制御系50とは、第2モータ3および第2センサ82と第2ケーブルで接続される第2モータ制御装置中の第2コンピュータ装置に実現されてよい。この場合、第2フィードバック制御系70の各構成要素は演算処理により各々の処理を実行することになり、第2モデル制御系50の各部の演算処理と好適に対応し得る。
また、このように第1モータ制御装置と第2モータ制御装置とを用いる場合、第1モータ制御装置と第2モータ制御装置とは通信ケーブルで連結され、第2モータ制御装置から第1モータ制御装置へ第2制御位置誤差を送信する必要がある。
この他にもたとえば、第1コンピュータ装置と第2コンピュータ装置は、単一のモータ制御装置内に設けられてもよい。
また、図1中の第1モータ2、第1センサ42、第2モータ3および第2センサ82以外の構成要素は、単一のモータ制御装置中の単一のコンピュータ装置に実現されてもよい。この場合、第2制御位置誤差は、たとえばプログラム間通信により送信し得る。
また、第1モデル制御系10と第2モデル制御系50とを1つのモデル制御系とし、この単一のモデル制御系から第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70へ共通のモデル指令を供給してもよい。
In the motor control device 1 of FIG. 1, the first sensor 42 may be configured integrally with the first motor 2. The components of the first feedback control system 30 other than the first motor 2 and the first sensor 42 and the first model control system 10 are connected to the first motor 2 and the first sensor 42 by a first cable. It may be realized in a first computer device in one motor control device. In this case, each component of the first feedback control system 30 executes each process by a calculation process, and can suitably correspond to the calculation process of each part of the first model control system 10.
Similarly, the second sensor 82 may be configured integrally with the second motor 3. The components of the second feedback control system 70 other than the second motor 3 and the second sensor 82 and the second model control system 50 are connected to the second motor 3 and the second sensor 82 by a second cable. It may be realized in a second computer device in a two-motor control device. In this case, each component of the second feedback control system 70 executes each process by a calculation process, and can suitably correspond to the calculation process of each part of the second model control system 50.
Further, when the first motor control device and the second motor control device are used in this way, the first motor control device and the second motor control device are connected by a communication cable, and the first motor control device is controlled from the second motor control device. A second control position error needs to be transmitted to the device.
In addition, for example, the first computer device and the second computer device may be provided in a single motor control device.
Moreover, components other than the 1st motor 2, the 1st sensor 42, the 2nd motor 3, and the 2nd sensor 82 in FIG. 1 may be implement | achieved in the single computer apparatus in a single motor control apparatus. . In this case, the second control position error can be transmitted, for example, by inter-program communication.
Further, the first model control system 10 and the second model control system 50 are made one model control system, and a common model command is transmitted from the single model control system to the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70. May be supplied.

次に、図1のモータ制御装置1の動作について説明する。   Next, the operation of the motor control device 1 in FIG. 1 will be described.

テーブル4の位置を制御するために、第1モデル制御系10および第2モデル制御系50には、上位のコントローラから共通の外部位置指令が同時に供給される。   In order to control the position of the table 4, a common external position command is simultaneously supplied from the host controller to the first model control system 10 and the second model control system 50.

外部位置指令が供給された第1モデル制御系10は、外部位置指令から第1モデル位置を減算し、第1モデル位置誤差から第1モデル速度を演算する。また、第1モデル速度から第1モデル検出速度を減算し、第1モデル速度誤差から第1モデルトルクを演算する。また、ローパスフィルタ処理後の第1モデルトルクから、第1モデル位置を演算する。また、第1モデル位置から第1モデル検出速度を演算する。この一連の演算処理により、第1モデル制御系10は、第1モデル指令として第1モデル位置指令、第1モデル速度指令、第1モデルトルク指令を生成して第1フィードバック制御系30へ出力する。   The first model control system 10 supplied with the external position command subtracts the first model position from the external position command, and calculates the first model speed from the first model position error. Further, the first model detected speed is subtracted from the first model speed, and the first model torque is calculated from the first model speed error. Further, the first model position is calculated from the first model torque after the low-pass filter processing. Further, the first model detection speed is calculated from the first model position. Through this series of arithmetic processing, the first model control system 10 generates a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command as the first model command and outputs the first model position command, the first model speed command, and the first model torque command to the first feedback control system 30. .

第1モデル指令が供給された第1フィードバック制御系30は、第1モデル位置指令と第1センサ42から得られるテーブル4の第1検出位置との位置誤差を示す第1制御位置誤差を生成する。
また、第1フィードバック制御系30は、自身の第1制御位置誤差と第2制御位置誤差生成器71により生成される第2制御位置誤差との位置誤差の差分(同期誤差)を示す第1同期位置誤差を生成し、第1位置同期誤差補償量を生成する。また、第1制御位置誤差と第1位置同期誤差補償量とから同期補償処理後の第1制御位置誤差を生成し、第1制御速度を生成する。
また、第1フィードバック制御系30は、第1制御速度、第1検出速度、および第1モデル速度指令から第1制御速度誤差を生成し、第1制御トルクを生成する。
また、第1フィードバック制御系30は、第1制御トルクおよび第1モデルトルク指令から第1合計制御トルクを生成し、ローパスフィルタ処理する。そして、第1トルク制御器41は、ローパスフィルタ処理後の第1合計制御トルクに基づいて第1モータ2を制御する。第1センサ42は、第1モータ2の回転位置を検出する。また、第1検出速度生成器36は、第1センサ42が検出した回転位置から第1検出速度を生成する。
The first feedback control system 30 to which the first model command is supplied generates a first control position error indicating a position error between the first model position command and the first detection position of the table 4 obtained from the first sensor 42. .
The first feedback control system 30 also includes a first synchronization indicating a position error difference (synchronization error) between the first control position error of the first feedback control system 30 and the second control position error generated by the second control position error generator 71. A position error is generated, and a first position synchronization error compensation amount is generated. Further, the first control position error after the synchronization compensation processing is generated from the first control position error and the first position synchronization error compensation amount, and the first control speed is generated.
Further, the first feedback control system 30 generates a first control speed error from the first control speed, the first detected speed, and the first model speed command, and generates a first control torque.
The first feedback control system 30 generates a first total control torque from the first control torque and the first model torque command, and performs a low pass filter process. Then, the first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque after the low pass filter process. The first sensor 42 detects the rotational position of the first motor 2. The first detection speed generator 36 generates a first detection speed from the rotational position detected by the first sensor 42.

また、第1モデル制御系10と同時に同じ外部位置指令が供給される第2モデル制御系50は、上述した第1モデル制御系10と同じフィードバック制御を実行する。第2モデル制御系50から第2モデル指令が供給される第2フィードバック制御系70も、上述した第1フィードバック制御系30と同じフィードバック制御を実行する。   The second model control system 50 to which the same external position command is supplied simultaneously with the first model control system 10 performs the same feedback control as the first model control system 10 described above. The second feedback control system 70 to which the second model command is supplied from the second model control system 50 also executes the same feedback control as the first feedback control system 30 described above.

そして、本実施形態において第1モデル制御系10と第2モデル制御系50とは、モータからテーブル4までの機械系を剛体とみなした可動部モデルを含む同じフィードバックループで構成され、且つ、同時に入力される共通の外部位置指令のみに基づいてモデル指令を演算する。このため、第1モデル制御系10と第2モデル制御系50とは、互いに独立して別々にモデル演算をしながらも同じ外部位置指令に基づいて同じモデル指令を同時に演算して出力し得る。たとえば第1モデルトルク指令と第2モデルトルク指令とは同じ値になり得る。
また、本実施形態において、フィードバック制御系は、制御位置誤差生成器、位置制御器、制御速度誤差生成器、速度制御器、制御トルク生成器、トルク指令ローパスフィルタ、トルク制御器、モータ、およびセンサによりフィードバックループを構成し、モデル制御系は、モデル位置誤差演算器、モデル位置制御器、モデル速度演算器、モデル速度誤差演算器、モデル速度制御器、モデルトルク指令ローパスフィルタ、可動部モデルによりフィードバックループを構成している。モデル制御系は、フィードバック制御系と好適に対応付けることができる。
よって、第1モータ2および第2モータ3は、同じモデルトルク指令に基づいて同時に同様に駆動されることになる。第1モータ2と第2モータ3とは、互いに同期した状態でテーブル4を高速に駆動することができる。その結果、第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70の制御ループ応答が低いままでも、互いに同期した第1モータ2および第2モータ3による2軸同時駆動を実現でき、テーブル4を高速に駆動することができる。
このため、本実施形態とは異なり1個のモータでテーブル4を駆動する場合にはテーブル4が駆動軸の軸方向に対して傾くヨーイングを起こすことがあるが、本実施形態では2個のモータとテーブル4とがテーブル4に対して並べて設けられる2つのボールネジにより連結され、かつ2個のモータが互いに同期してテーブル4を駆動するのでそのようなヨーイングを好適に抑制できる。
In the present embodiment, the first model control system 10 and the second model control system 50 are configured by the same feedback loop including a movable part model in which the mechanical system from the motor to the table 4 is regarded as a rigid body, and at the same time. The model command is calculated based only on the input common external position command. For this reason, the first model control system 10 and the second model control system 50 can simultaneously calculate and output the same model command based on the same external position command while separately performing model calculations independently of each other. For example, the first model torque command and the second model torque command can be the same value.
In this embodiment, the feedback control system includes a control position error generator, a position controller, a control speed error generator, a speed controller, a control torque generator, a torque command low pass filter, a torque controller, a motor, and a sensor. The model control system is fed back by the model position error calculator, model position controller, model speed calculator, model speed error calculator, model speed controller, model torque command low pass filter, and moving part model. A loop is configured. The model control system can be suitably associated with the feedback control system.
Therefore, the first motor 2 and the second motor 3 are simultaneously driven in the same manner based on the same model torque command. The first motor 2 and the second motor 3 can drive the table 4 at high speed while being synchronized with each other. As a result, even if the control loop responses of the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 remain low, two-axis simultaneous drive by the first motor 2 and the second motor 3 synchronized with each other can be realized, and the table 4 can be operated at high speed Can be driven.
For this reason, unlike the present embodiment, when the table 4 is driven by a single motor, the table 4 may cause yawing in which the table 4 is inclined with respect to the axial direction of the drive shaft. In this embodiment, two motors are used. And the table 4 are connected to each other by two ball screws provided side by side with respect to the table 4, and the two motors drive the table 4 in synchronization with each other, so that yawing can be suitably suppressed.

しかも、本実施形態において第1フィードバック制御系30は、第2フィードバック制御系70と同じモデル指令に追従してフィードバック制御を実行するだけでなく、第2フィードバック制御系70との制御位置誤差とのずれを補償するようにフィードバック制御を実行する。第1フィードバック制御系30は、第1同期位置誤差生成器32により第2フィードバック制御系70の制御位置誤差との差分を演算し、第1位置同期補償器33により該差分を補償する第1位置同期誤差補償量を演算し、第1同期補償位置誤差生成器34により同期補償処理後の第1制御位置誤差を生成する。よって、第1フィードバック制御系30と第2フィードバック制御系70との2軸間の位置誤差の間でのずれを第1フィードバック制御系30と第2フィードバック制御系70との間で補償できる。特に、第1位置同期補償器33として比例積分制御器を用いることにより、該ずれが定常的に発生しないようにできる。
このため、本実施形態のように第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70を同じ剛体モデルに追従させることにより軸間の制御ずれが発生し難いように同期制御しつつも、さらにそれでも発生する可能性がある同期誤差を併せて効果的に抑制することができる。たとえば剛体モデルでは、機械系において発生する可能性があるボールネジ間の摩擦力の差に起因する同期誤差については考慮しておらず制御により抑制することはできないが、そのような同期誤差についても併せて効果的に抑制することができる。
In addition, in the present embodiment, the first feedback control system 30 not only executes the feedback control following the same model command as the second feedback control system 70 but also the control position error with the second feedback control system 70. Feedback control is executed so as to compensate for the deviation. The first feedback control system 30 calculates a difference from the control position error of the second feedback control system 70 by the first synchronization position error generator 32, and a first position that compensates the difference by the first position synchronization compensator 33. A synchronization error compensation amount is calculated, and a first control position error after synchronization compensation processing is generated by the first synchronization compensation position error generator 34. Therefore, the shift between the position errors between the two axes of the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 can be compensated between the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70. In particular, by using a proportional-plus-integral controller as the first position synchronization compensator 33, the deviation can be prevented from occurring steadily.
For this reason, the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 are made to follow the same rigid model as in the present embodiment, and the synchronous control is performed so that the control deviation between the axes hardly occurs. It is possible to effectively suppress synchronization errors that may occur. For example, in the rigid body model, the synchronization error due to the difference in frictional force between ball screws that may occur in the mechanical system is not considered and cannot be suppressed by control. Can be effectively suppressed.

このように本実施形態では、一つの可動部を複数個(ここでは2個)のモータで駆動する機械において剛体モデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、個々のモータを制御する制御系のフィードバック応答を高めることができない場合でも位置指令に対する追従性を向上させることができる。さらに、軸間の位置誤差を複数(ここでは2個)のフィードバック制御系の間で補償しているので、摩擦力の差などに起因する同期誤差についても併せて効果的に抑制できる。そして、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても軸間の位置誤差を効果的に小さく抑えて同期精度を高めることができる。   As described above, in this embodiment, each model control system is configured using a rigid body model in a machine in which one movable part is driven by a plurality of (here, two) motors, and the actual model is made to follow the model. By causing the feedback control system to execute control, it is possible to improve the followability to the position command even when the feedback response of the control system that controls the individual motors cannot be enhanced. Further, since the position error between the axes is compensated between a plurality of (here, two) feedback control systems, it is possible to effectively suppress the synchronization error due to the difference in frictional force. And even if the control response of each feedback control system is not high, the position error between the axes can be effectively reduced to increase the synchronization accuracy.

また、本実施形態では、モデル制御系は、フィードバック制御系の動きに影響されない。
よって、複数のモデル制御系から出力される複数のモデル位置は同じ値(指令)になる。複数のフィードバック制御系は、同じ値(指令)によるモデル位置に基づいて、各々のモータを同様に制御し得る。
また、モデル制御系は、たとえば複数のフィードバック制御系に共通のものとすることができる。
In the present embodiment, the model control system is not affected by the movement of the feedback control system.
Therefore, the plurality of model positions output from the plurality of model control systems have the same value (command). The plurality of feedback control systems can similarly control each motor based on the model position based on the same value (command).
The model control system can be common to a plurality of feedback control systems, for example.

このように、本実施形態では、1つの可動部を共同して可動させる2個のモータを共通の外部位置指令で、かつ、同じ剛体モデルでモデル追従制御を行う事により、2個のフィードバック制御系に与えるトルク指令を全軸で同一にする事ができ、これにより、フィードバック制御系の制御応答が高くなくても、複数のフィードバック制御系の制御誤差の間でずれが発生し難いように制御を実行できる。しかも、それでも2個のフィードバック制御系の間で生じ得る微小な制御誤差のずれを2個のフィードバック制御系の間で補償している。よって、同期誤差が発生し難く制御を実行する2個のフィードバック制御系の間で制御誤差のずれが発生することがあったとしても、それを抑えることができる。2個のモータの制御系は、同期ずれを発生し難い制御と同期ずれを抑える制御とが二重化された制御により1つの可動部を2個のモータで制御する場合での2個のモータの同期精度を高めることができる。   As described above, in the present embodiment, two feedback controls are performed by performing model follow-up control with the same rigid body model for the two motors that move the movable part together in a common external position command. The torque command given to the system can be made the same for all axes, so that even if the control response of the feedback control system is not high, it is difficult to cause a deviation between the control errors of multiple feedback control systems. Can be executed. In addition, a slight deviation in control error that may occur between the two feedback control systems is compensated between the two feedback control systems. Therefore, even if a control error shift occurs between the two feedback control systems that execute the control because the synchronization error hardly occurs, it can be suppressed. The control system of the two motors synchronizes the two motors in the case where one movable part is controlled by two motors by the control in which the control that hardly causes the synchronization deviation and the control that suppresses the synchronization deviation is duplicated. Accuracy can be increased.

なお、上記実施形態は、可動部を2個のモータで駆動するために、2組のモデル制御系およびフィードバック制御系を用いる例である。また、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器を、1つ目のフィードバック制御系に適用した例である。
この他にも、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、2つ目のフィードバック制御系に適用してもよい。
さらに他にも、可動部を3個以上のモータで駆動してもよい。この場合、モデル制御系およびフィードバック制御系は、基本的にモータと同数組で設ければよい。また、N(Nは2以上の自然数)個のモータを使用する場合、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、(Nー1)個のフィードバック制御系に設ければよい。この(Nー1)個のフィードバック制御系において(Nー1)個の同期位置誤差生成器は、残りの1個のフィードバック制御系の制御位置誤差との間で位置同期誤差を生成すればよい。
The above embodiment is an example in which two sets of model control system and feedback control system are used in order to drive the movable part with two motors. In addition, the synchronization position error generator, the position synchronization compensator, and the synchronization compensation position error generator are applied to the first feedback control system.
In addition, the synchronization position error generator, the position synchronization compensator, and the synchronization compensation position error generator may be applied to the second feedback control system.
In addition, the movable part may be driven by three or more motors. In this case, the model control system and the feedback control system may basically be provided in the same number of sets as the motor. When N (N is a natural number of 2 or more) motors are used, the synchronization position error generator, the position synchronization compensator, and the synchronization compensation position error generator are added to (N−1) feedback control systems. What is necessary is just to provide. In the (N−1) feedback control systems, the (N−1) synchronization position error generators may generate a position synchronization error with the control position error of the remaining one feedback control system. .

[第2実施形態]
図2は、本発明の第2実施形態に係るモータ制御装置1のブロック図である。
図2のモータ制御装置1は、図1のものと比べて、第2フィードバック制御系70が第2同期位置誤差生成器72、第2位置同期補償器73、および第2同期補償位置誤差生成器74を有する点で異なる。
第2同期位置誤差生成器72、第2位置同期補償器73、および第2同期補償位置誤差生成器74は、第1同期位置誤差生成器32、第1位置同期補償器33、および第1同期補償位置誤差生成器34と対応する。
第2同期位置誤差生成器72は、自身の第2制御位置誤差と第1制御位置誤差生成器31により生成される第1制御位置誤差とに基づいて、これらの制御位置誤差の差分(同期誤差)を示す第2同期位置誤差を生成する。第2同期位置誤差は、たとえば自身の第2制御位置誤差から他の第1制御位置誤差を減算したものでよい。この場合、第1フィードバック制御系30に対する第2フィードバック制御系70の同期誤差が得られる。
第2位置同期補償器73は、第2同期位置誤差から、第2位置同期誤差補償量を生成する。本実施形態では、第1フィードバック制御系30と第2フィードバック制御系70との間で相互に補償をかけているので、第1位置同期補償器33および第2位置同期補償器73には比例制御器を用いるとよい。
第2同期補償位置誤差生成器74は、第2フィードバック制御系70での制御位置誤差である第2制御位置誤差と、2個のフィードバック制御系間の同期位置誤差である第2位置同期誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第2制御位置誤差を生成する。同期補償処理後の第2制御位置誤差は、たとえば第2制御位置誤差と第2位置同期誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第2位置制御器75は、同期補償処理後の第2制御位置誤差から、第2制御速度を生成する。第2位置制御器75は、第2フィードバック制御系70での制御位置誤差と、第1フィードバック制御系30を基準とした第2フィードバック制御系70の同期位置誤差とに応じた第2制御速度を生成する。そして、第1フィードバック制御系30の制御位置と比較して第2フィードバック制御系70の制御位置が遅れると、第2制御速度は大きくなる。
これ以外の図2のモータ制御装置1の構成および動作は、図1のもの同様であり、説明を省略する。
[Second Embodiment]
FIG. 2 is a block diagram of the motor control device 1 according to the second embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 2, the second feedback control system 70 includes a second synchronization position error generator 72, a second position synchronization compensator 73, and a second synchronization compensation position error generator as compared with the motor control device 1 of FIG. 1. It differs in having 74.
The second synchronization position error generator 72, the second position synchronization compensator 73, and the second synchronization compensation position error generator 74 are the first synchronization position error generator 32, the first position synchronization compensator 33, and the first synchronization. Corresponding to the compensation position error generator 34.
Based on the second control position error of its own and the first control position error generated by the first control position error generator 31, the second synchronization position error generator 72 generates a difference (synchronization error) between these control position errors. ) To generate a second synchronization position error. The second synchronization position error may be, for example, a value obtained by subtracting another first control position error from its own second control position error. In this case, the synchronization error of the second feedback control system 70 with respect to the first feedback control system 30 is obtained.
The second position synchronization compensator 73 generates a second position synchronization error compensation amount from the second synchronization position error. In the present embodiment, since compensation is applied between the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70, the first position synchronization compensator 33 and the second position synchronization compensator 73 are proportionally controlled. Use a vessel.
The second synchronization compensation position error generator 74 compensates for a second control position error that is a control position error in the second feedback control system 70 and a synchronization position error between the two feedback control systems. The second control position error after the synchronization compensation process is generated based on the amount. The second control position error after the synchronization compensation process may be, for example, a total value obtained by adding the second control position error and the second position synchronization error compensation amount.
The second position controller 75 generates a second control speed from the second control position error after the synchronization compensation process. The second position controller 75 has a second control speed corresponding to the control position error in the second feedback control system 70 and the synchronization position error of the second feedback control system 70 with the first feedback control system 30 as a reference. Generate. When the control position of the second feedback control system 70 is delayed as compared with the control position of the first feedback control system 30, the second control speed increases.
The other configuration and operation of the motor control device 1 of FIG. 2 are the same as those of FIG.

そして、本実施形態では、第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70は、2軸間の位置誤差を2個のフィードバック制御系の間で互いに補償できる。その結果、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても、軸間の位置誤差を小さくして同期精度を高めることができる。第1実施形態よりも更に高い同期精度を期待し得る。
このため、たとえば第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70を同じ剛体モデルに追従させることにより同期誤差が発生し難いようにしつつも、さらにそれでもたとえば機械系において発生し得るボールネジ間の摩擦力の差などに起因する同期位置誤差が発生することがあったとしてもその機械系の摩擦力の差などに起因する軸間の同期互いに、誤差を第1実施形態より効果的に抑制することができる。
このように本実施形態では、一つの可動部を複数個(ここでは2個)のモータで駆動する機械において剛体モデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、個々のモータを制御する制御系のフィードバック応答を高めることができない場合でも位置指令に対する追従性を向上させることができる。さらに、軸間の位置誤差を2個のフィードバック制御系の間で相互に補償しているので、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても軸間の位置誤差を第1実施形態より更に小さく抑えて同期精度を更に高めることができる。
In the present embodiment, the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 can compensate for the position error between the two axes between the two feedback control systems. As a result, even if the control response of each feedback control system is not high, the position error between the axes can be reduced and the synchronization accuracy can be increased. Higher synchronization accuracy can be expected than in the first embodiment.
For this reason, for example, by causing the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 to follow the same rigid body model, it is difficult to generate a synchronization error. Even if a synchronization position error due to a force difference or the like may occur, the errors between the shafts due to a difference in the frictional force of the mechanical system are more effectively suppressed than the first embodiment. Can do.
As described above, in this embodiment, each model control system is configured using a rigid body model in a machine in which one movable part is driven by a plurality of (here, two) motors, and the actual model is made to follow the model. By causing the feedback control system to execute control, it is possible to improve the followability to the position command even when the feedback response of the control system that controls the individual motors cannot be enhanced. Further, since the position error between the axes is mutually compensated between the two feedback control systems, even if the control response of each feedback control system is not high, the position error between the axes is further increased than in the first embodiment. The synchronization accuracy can be further increased by keeping it small.

[第3実施形態]
図3は、本発明の第3実施形態に係るモータ制御装置1のブロック図である。
図3のモータ制御装置1は、図1のものと比べて、第1フィードバック制御系30が、第1同期速度誤差生成器43、第1速度同期補償器44、第1同期補償速度誤差生成器45、を有する点で異なる。
第1同期速度誤差生成器43は、自身の第1制御速度誤差と第2制御速度誤差生成器77により生成される第2制御速度誤差とに基づいて、これらの制御速度誤差の差分(同期速度誤差)を示す第1同期速度誤差を生成する。第1同期速度誤差は、たとえば自身の第1制御速度誤差から他の第2制御速度誤差を減算したものでよい。この場合、第2フィードバック制御系70に対する第1フィードバック制御系30の同期速度誤差が得られる。
第1速度同期補償器44は、第1同期速度誤差から、第1速度誤差補償量を生成する。第1速度同期補償器44は、たとえば比例制御器でよい。また、定常的な速度のずれを補償する場合には、比例積分制御器を用いるとよい。
第1同期補償速度誤差生成器45は、第1フィードバック制御系30での制御速度誤差である第1制御速度誤差と、2個のフィードバック制御系間の同期速度誤差である第1速度誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第1制御速度誤差を生成する。同期補償処理後の第1制御速度誤差は、たとえば第1制御速度誤差と第1速度誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第1速度制御器38は、同期補償処理後の第1制御速度誤差から、第1制御トルクを生成する。第1速度制御器38は、第1フィードバック制御系30での制御速度誤差と、第1モデル速度指令と、軸間の同期速度誤差とに応じた第1制御トルクを生成する。そして、第1フィードバック制御系30の制御速度と比較して第2フィードバック制御系70の制御速度が遅れると、第1制御トルクは大きくなる。
これにより、第1フィードバック制御系30は、第2フィードバック制御系70との軸間の同期位置誤差だけでなく、さらに軸間の同期速度誤差についても補償できる。
これ以外の図3のモータ制御装置1の構成および動作は、図1のもの同様であり、説明を省略する。
[Third Embodiment]
FIG. 3 is a block diagram of the motor control device 1 according to the third embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 3, the first feedback control system 30 includes a first synchronization speed error generator 43, a first speed synchronization compensator 44, and a first synchronization compensation speed error generator as compared to the motor control apparatus 1 of FIG. 1. 45.
Based on the first control speed error of its own and the second control speed error generated by the second control speed error generator 77, the first synchronous speed error generator 43 determines the difference between these control speed errors (synchronous speed). A first synchronous speed error indicating an error) is generated. The first synchronization speed error may be, for example, a value obtained by subtracting another second control speed error from its own first control speed error. In this case, a synchronous speed error of the first feedback control system 30 with respect to the second feedback control system 70 is obtained.
The first speed synchronization compensator 44 generates a first speed error compensation amount from the first synchronization speed error. The first speed synchronization compensator 44 may be, for example, a proportional controller. Further, when compensating for a steady speed deviation, a proportional-integral controller may be used.
The first synchronization compensation speed error generator 45 includes a first control speed error that is a control speed error in the first feedback control system 30 and a first speed error compensation amount that is a synchronization speed error between the two feedback control systems. Based on the above, the first control speed error after the synchronization compensation process is generated. The first control speed error after the synchronization compensation process may be, for example, a total value obtained by adding the first control speed error and the first speed error compensation amount.
The first speed controller 38 generates a first control torque from the first control speed error after the synchronization compensation process. The first speed controller 38 generates a first control torque according to the control speed error in the first feedback control system 30, the first model speed command, and the synchronous speed error between the axes. When the control speed of the second feedback control system 70 is delayed as compared with the control speed of the first feedback control system 30, the first control torque increases.
Thereby, the first feedback control system 30 can compensate not only for the synchronization position error between the axes with the second feedback control system 70 but also for the synchronization speed error between the axes.
The other configuration and operation of the motor control device 1 of FIG. 3 are the same as those of FIG.

そして、本実施形態において第1フィードバック制御系30は、第2フィードバック制御系70との間での2軸間の位置誤差を2個のフィードバック制御系の間で補償するだけでなく、2軸間の速度誤差をも2個のフィードバック制御系の間で補償する。第1フィードバック制御系30は、第1同期速度誤差生成器43により第2フィードバック制御系70の制御速度誤差との差分を演算し、第1速度同期補償器44により該差分を補償する第1速度誤差補償量を演算し、第1同期補償速度誤差生成器45により同期補償処理後の第1制御速度誤差を生成する。その結果、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても、軸間の位置誤差および速度誤差を小さく抑えて同期精度を高めることができる。第1実施形態よりも更に高い精度を同期させることを期待し得る。
このため、たとえば第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70を同じ剛体モデルに追従させることにより同期誤差が発生し難いようにしつつも、さらにそれでもたとえば機械系において発生し得るボールネジ間の摩擦力の差などに起因する同期位置誤差や同期速度誤差が発生することがあってもそれらの同期誤差を効果的に抑制することができる。
このように本実施形態では、一つの可動部を複数個(ここでは2個)のモータで駆動する機械において剛体モデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、個々のモータを制御する制御系のフィードバック応答を高めることができない場合でも位置指令に対する追従性を向上させることができる。
In the present embodiment, the first feedback control system 30 not only compensates the position error between the two axes with the second feedback control system 70 between the two feedback control systems, but also between the two axes. Is also compensated between the two feedback control systems. The first feedback control system 30 calculates a difference from the control speed error of the second feedback control system 70 by the first synchronous speed error generator 43, and compensates the difference by the first speed synchronous compensator 44. The error compensation amount is calculated, and the first control compensation speed error generator 45 generates the first control speed error after the synchronization compensation processing. As a result, even if the control response of each feedback control system is not high, it is possible to suppress the position error and the speed error between the axes and to increase the synchronization accuracy. It can be expected to synchronize with higher accuracy than in the first embodiment.
For this reason, for example, by causing the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 to follow the same rigid body model, it is difficult to generate a synchronization error. Even if a synchronization position error or a synchronization speed error due to a force difference or the like occurs, the synchronization error can be effectively suppressed.
As described above, in this embodiment, each model control system is configured using a rigid body model in a machine in which one movable part is driven by a plurality of (here, two) motors, and the actual model is made to follow the model. By causing the feedback control system to execute control, it is possible to improve the followability to the position command even when the feedback response of the control system that controls the individual motors cannot be enhanced.

なお、上記実施形態は、可動部を2個のモータで駆動するために、2組のモデル制御系およびフィードバック制御系を用いる例である。また、同期速度誤差生成器、速度同期補償器、および同期補償速度誤差生成器を、1つ目のフィードバック制御系に適用した例である。
この他にも、同期速度誤差生成器、速度同期補償器、および同期補償速度誤差生成器は、2つ目のフィードバック制御系に適用してもよい。
さらに他にも、可動部を3個以上のモータで駆動してもよい。この場合、モデル制御系およびフィードバック制御系は、基本的にモータと同数組で設ければよい。また、N(Nは2以上の自然数)個のモータを使用する場合、同期速度誤差生成器、速度同期補償器、および同期補償速度誤差生成器は、(Nー1)個のフィードバック制御系に設ければよい。この(Nー1)個のフィードバック制御系において(Nー1)個の同期速度誤差生成器は、残りの1個のフィードバック制御系の制御速度誤差との間で位置同期誤差を生成すればよい。
The above embodiment is an example in which two sets of model control system and feedback control system are used in order to drive the movable part with two motors. Further, this is an example in which a synchronous speed error generator, a speed synchronous compensator, and a synchronous compensated speed error generator are applied to the first feedback control system.
In addition, the synchronous speed error generator, the speed synchronous compensator, and the synchronous compensated speed error generator may be applied to the second feedback control system.
In addition, the movable part may be driven by three or more motors. In this case, the model control system and the feedback control system may basically be provided in the same number of sets as the motor. When N (N is a natural number of 2 or more) motors are used, the synchronous speed error generator, the speed synchronous compensator, and the synchronous compensated speed error generator are added to (N−1) feedback control systems. What is necessary is just to provide. In the (N−1) feedback control systems, the (N−1) synchronization speed error generators may generate a position synchronization error with the control speed error of the remaining one feedback control system. .

[第4実施形態]
図4は、本発明の第4実施形態に係るモータ制御装置1のブロック図である。
図4のモータ制御装置1は、図3のものと比べて、第2フィードバック制御系70が、第2同期速度誤差生成器83、第2速度同期補償器84、および第2同期補償速度誤差生成器85、を有する点で異なる。
第2同期速度誤差生成器83、第2速度同期補償器84、および第2同期補償速度誤差生成器85は、第1同期速度誤差生成器43、第1速度同期補償器44、および第1同期補償速度誤差生成器45に対応する。
第2同期速度誤差生成器83は、自身の第2制御速度誤差と第1制御速度誤差生成器37により生成される第1制御速度誤差とに基づいて、これらの制御速度誤差の差分(同期速度誤差)を示す第2同期速度誤差を生成する。第2同期速度誤差は、たとえば自身の第2制御速度誤差から他の第1制御速度誤差を減算したものでよい。この場合、第1フィードバック制御系30に対する第2フィードバック制御系70の同期速度誤差が得られる。
第2速度同期補償器84は、第2同期速度誤差から、第2速度誤差補償量を生成する。本実施形態では、第1フィードバック制御系30と第2フィードバック制御系70との間で相互に補償をかけているので、第1速度同期補償器44および第2速度同期補償器84には比例制御器を用いるとよい。
第2同期補償速度誤差生成器85は、第2フィードバック制御系70での制御速度誤差である第2制御速度誤差と、2個のフィードバック制御系間の同期速度誤差である第2速度誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第2制御速度誤差を生成する。同期補償処理後の第2制御速度誤差は、たとえば第2制御速度誤差と第2速度誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第2速度制御器78は、同期補償処理後の第2制御速度誤差から、第2制御トルクを生成する。第2速度制御器78は、第2フィードバック制御系70での制御速度誤差と、第2モデル速度指令と、軸間の同期速度誤差とに応じた第2制御トルクを生成する。そして、第2フィードバック制御系70の制御速度と比較して第1フィードバック制御系30の制御速度が遅れると、第2制御トルクは大きくなる。
これ以外の図4のモータ制御装置1の構成および動作は、図3のものと同様であり、説明を省略する。
[Fourth Embodiment]
FIG. 4 is a block diagram of a motor control device 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 4, the second feedback control system 70 includes a second synchronization speed error generator 83, a second speed synchronization compensator 84, and a second synchronization compensation speed error generation, as compared with that of FIG. 3. The difference is that the device 85 is provided.
The second synchronization speed error generator 83, the second speed synchronization compensator 84, and the second synchronization compensation speed error generator 85 are the first synchronization speed error generator 43, the first speed synchronization compensator 44, and the first synchronization. This corresponds to the compensation speed error generator 45.
Based on the second control speed error of its own and the first control speed error generated by the first control speed error generator 37, the second synchronous speed error generator 83 generates a difference between these control speed errors (synchronous speed). A second synchronization speed error indicating an error) is generated. The second synchronization speed error may be, for example, a value obtained by subtracting another first control speed error from its own second control speed error. In this case, a synchronization speed error of the second feedback control system 70 with respect to the first feedback control system 30 is obtained.
The second speed synchronization compensator 84 generates a second speed error compensation amount from the second synchronization speed error. In this embodiment, since compensation is applied between the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70, the first speed synchronization compensator 44 and the second speed synchronization compensator 84 are proportionally controlled. Use a vessel.
The second synchronization compensation speed error generator 85 is a second control speed error that is a control speed error in the second feedback control system 70 and a second speed error compensation amount that is a synchronization speed error between the two feedback control systems. Based on the above, the second control speed error after the synchronization compensation process is generated. The second control speed error after the synchronization compensation process may be, for example, a total value obtained by adding the second control speed error and the second speed error compensation amount.
The second speed controller 78 generates a second control torque from the second control speed error after the synchronization compensation process. The second speed controller 78 generates a second control torque according to the control speed error in the second feedback control system 70, the second model speed command, and the inter-axis synchronous speed error. When the control speed of the first feedback control system 30 is delayed as compared with the control speed of the second feedback control system 70, the second control torque increases.
The other configuration and operation of the motor control device 1 shown in FIG. 4 are the same as those shown in FIG.

そして、本実施形態では、第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70は、2軸間の位置誤差を2個のフィードバック制御系の間で互いに補償するだけでなく、2軸間の速度誤差をも2個のフィードバック制御系の間で互いに補償する。その結果、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても、軸間の位置誤差および速度誤差を小さく抑えて同期精度を高めることができる。第3実施形態よりも更に高い同期精度を期待し得る。
このため、たとえば第1フィードバック制御系30および第2フィードバック制御系70を同じ剛体モデルに追従させることにより同期誤差が発生し難いようにしつつも、さらにそれでもたとえば機械系において発生し得るボールネジ間の摩擦力の差などに起因する同期位置誤差や同期速度誤差が発生することがあってもそれらの同期誤差を第3実施形態より効果的に抑制することができる。
このように本実施形態では、一つの可動部を複数個(ここでは2個)のモータで駆動する機械において剛体モデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、個々のモータを制御する制御系のフィードバック応答を高めることができない場合でも位置指令に対する追従性を向上させることができる。さらに、軸間の位置誤差および速度誤差の双方を複数(ここでは2個)のフィードバック制御系の間で互いに直接的に補償しているので、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても軸間の位置誤差および速度誤差を第3実施形態より更に小さく抑えて同期精度を更に高めることができる。
In this embodiment, the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 not only compensate for the position error between the two axes between the two feedback control systems, but also the speed between the two axes. The error is also compensated for between the two feedback control systems. As a result, even if the control response of each feedback control system is not high, the position error and the speed error between the axes can be suppressed to be small and the synchronization accuracy can be improved. A higher synchronization accuracy than that of the third embodiment can be expected.
For this reason, for example, by causing the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 to follow the same rigid body model, it is difficult to generate a synchronization error. Even if a synchronization position error or a synchronization speed error due to a force difference or the like occurs, the synchronization error can be more effectively suppressed than in the third embodiment.
As described above, in this embodiment, each model control system is configured using a rigid body model in a machine in which one movable part is driven by a plurality of (here, two) motors, and the actual model is made to follow the model. By causing the feedback control system to execute control, it is possible to improve the followability to the position command even when the feedback response of the control system that controls the individual motors cannot be enhanced. Further, since both the position error and the speed error between the axes are directly compensated for among the plurality (here, two) of feedback control systems, even if the control response of each feedback control system is not high. The position error and the speed error between the axes can be further reduced as compared with the third embodiment, and the synchronization accuracy can be further increased.

以上の実施形態は、本発明の好適な実施形態の例であるが、本発明は、これに限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変形または変更が可能である。   The above embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications or changes can be made without departing from the scope of the invention.

たとえば上記実施形態のモータ制御装置1は、第1モータ2と第2モータ3との2個のモータが共同して一つの可動部を駆動している。
この他にもたとえば、モータ制御装置1は、3個以上のモータが共同して一つの可動部を駆動してよい。この場合、モデル制御系およびフィードバック制御系は、モータの個数と同数としてよい。
また、モデル制御系は、フィードバック制御系の個数より少なくてもよい。この場合、1つのモデル制御系から複数のフィードバック制御系へ共通のモデル制御指令を出力すればよい。N個(N:2以上の自然数)のモータに対して、フィードバック制御系をN個で設けるとともにモデル制御系をN個以下の個数で設けるようにしてよい。
For example, in the motor control device 1 of the above-described embodiment, two motors of the first motor 2 and the second motor 3 jointly drive one movable part.
In addition, for example, in the motor control device 1, three or more motors may jointly drive one movable part. In this case, the number of model control systems and feedback control systems may be the same as the number of motors.
Further, the number of model control systems may be smaller than the number of feedback control systems. In this case, a common model control command may be output from one model control system to a plurality of feedback control systems. N feedback control systems may be provided for N motors (N: a natural number of 2 or more), and model control systems may be provided for N motors or less.

上記実施形態においてモデル制御系の構成要素は、基本的にそれに追従して実際に制御を実行するフィードバック制御系の構成要素と一対一対応としている。そして、モータからテーブル4までの機械系に対応するモデルとして、可動部モデルのみによる、振動が生じない剛体モデルを採用している。
この他にもたとえば、モデル制御系の構成要素は、それに追従して実際に制御を実行するフィードバック制御系の構成要素と一対一に対応していなくてもよい。モデル制御系は、モデル指令に基づいて動作するフィードバック制御系において振動が略生じないモデル指令を生成できればよい。
In the above-described embodiment, the components of the model control system basically have a one-to-one correspondence with the components of the feedback control system that actually performs control following that. As a model corresponding to the mechanical system from the motor to the table 4, a rigid body model that does not cause vibration is used, which is based only on the movable part model.
In addition to this, for example, the constituent elements of the model control system may not correspond one-to-one with the constituent elements of the feedback control system that actually executes control following the control. The model control system only needs to be able to generate a model command that hardly causes vibrations in a feedback control system that operates based on the model command.

1…モータ制御装置
2…第1モータ
3…第2モータ
4…テーブル(可動部)
5…第1ボールネジ
6…第2ボールネジ
10…第1モデル制御系
11…第1モデル位置誤差演算器
12…第1モデル位置制御器
13…第1モデル速度演算器
14…第1モデル速度誤差演算器
15…第1モデル速度制御器
16…第1モデルトルク指令ローパスフィルタ(モデルローパスフィルタ)
17…第1可動部モデル
30…第1フィードバック制御系
31…第1制御位置誤差生成器
32…第1同期位置誤差生成器
33…第1位置同期補償器
34…第1同期補償位置誤差生成器
35…第1位置制御器
36…第1検出速度生成器
37…第1制御速度誤差生成器
38…第1速度制御器
39…第1制御トルク生成器
40…第1トルク指令ローパスフィルタ(制御ローパスフィルタ)
41…第1トルク制御器
42…第1センサ
43…第1同期速度誤差生成器
44…第1速度同期補償器
45…第1同期補償速度誤差生成器
50…第2モデル制御系
51…第2モデル位置誤差演算器
52…第2モデル位置制御器
53…第2モデル速度演算器
54…第2モデル速度誤差演算器
55…第2モデル速度制御器
56…第2モデルトルク指令ローパスフィルタ(モデルローパスフィルタ)
57…第2可動部モデル
70…第2フィードバック制御系
71…第2制御位置誤差生成器
72…第2同期位置誤差生成器
73…第2位置同期補償器
74…第2同期補償位置誤差生成器
75…第2位置制御器
76…第2検出速度生成器
77…第2制御速度誤差生成器
78…第2速度制御器
79…第2制御トルク生成器
80…第2トルク指令ローパスフィルタ(制御ローパスフィルタ)
81…第2トルク制御器
82…第2センサ
83…第2同期速度誤差生成器
84…第2速度同期補償器
85…第2同期補償速度誤差生成器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Motor control apparatus 2 ... 1st motor 3 ... 2nd motor 4 ... Table (movable part)
5 ... 1st ball screw 6 ... 2nd ball screw 10 ... 1st model control system 11 ... 1st model position error calculator 12 ... 1st model position controller 13 ... 1st model speed calculator 14 ... 1st model speed error calculation 15 ... first model speed controller 16 ... first model torque command low pass filter (model low pass filter)
17 ... 1st movable part model 30 ... 1st feedback control system 31 ... 1st control position error generator 32 ... 1st synchronous position error generator 33 ... 1st position synchronous compensator 34 ... 1st synchronous compensation position error generator 35 ... 1st position controller 36 ... 1st detection speed generator 37 ... 1st control speed error generator 38 ... 1st speed controller 39 ... 1st control torque generator 40 ... 1st torque command low pass filter (control low pass) filter)
41 ... 1st torque controller 42 ... 1st sensor 43 ... 1st synchronous speed error generator 44 ... 1st speed synchronous compensator 45 ... 1st synchronous compensation speed error generator 50 ... 2nd model control system 51 ... 2nd Model position error calculator 52 ... second model position controller 53 ... second model speed calculator 54 ... second model speed error calculator 55 ... second model speed controller 56 ... second model torque command low pass filter (model low pass) filter)
57 second movable part model 70 second feedback control system 71 second control position error generator 72 second synchronization position error generator 73 second position synchronization compensator 74 second synchronization compensation position error generator 75 ... second position controller 76 ... second detection speed generator 77 ... second control speed error generator 78 ... second speed controller 79 ... second control torque generator 80 ... second torque command low pass filter (control low pass) filter)
81 ... second torque controller 82 ... second sensor 83 ... second synchronization speed error generator 84 ... second speed synchronization compensator 85 ... second synchronization compensation speed error generator

Claims (5)

1つの可動部の位置を指示する共通の外部位置指令に基づいて駆動されるN個(N:2以上の自然数)のモータに各々連結されたボールネジにより共同して可動部を駆動させることにより、前記可動部を位置決めするモータ制御装置であって、
前記モータで駆動される前記可動部の動きを、前記モータから当該モータに連結された各ボールネジにより共同して駆動される前記可動部までの機械系を記述する剛体モデルによって表現した可動部モデルを含むモデル制御系であって、前記外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、
N個の前記モータと1対1対応で設けられて前記モデル指令に基づいて各々の前記モータをフィードバック制御するN個のフィードバック制御系と、
を有し、
前記外部位置指令は、前記可動部の位置を指示する指令であり、
前記モデル制御系は、N個の前記フィードバック制御系と1対1に対応するようにN個で設けられ、
N個の前記モデル制御系は、同じフィードバックループの構成により共通の前記外部位置指令から同じ前記モデル位置指令を生成し、
各前記モデル制御系はさらに、
前記外部位置指令から、前記可動部モデルから出力されるモデル位置を減算してモデル位置誤差を演算するモデル位置誤差演算器を有し、
N個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
前記モデル位置指令および各々の前記モータの位置を検出するセンサが検出した位置に基づいてこれらの位置誤差を示す制御位置誤差を生成する制御位置誤差生成器を有し、 (N−1)個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
各々の前記制御位置誤差と残りの1個の前記フィードバック制御系の前記制御位置誤差との差分を生成する同期位置誤差生成器を有し、
各々の前記モータを制御する際の前記制御位置誤差と、残りの1個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との間の差分により、(N−1)個の前記フィードバック制御系における前記制御位置誤差と、残り1個の前記フィードバック制御系における前記制御位置誤差との間の差分を補償し、
各前記モデル制御系はさらに、
前記モデル位置誤差からモデル速度を演算するモデル位置制御器と、
前記可動部モデルから出力される前記モデル位置から前記モデル指令の一つであるモデル速度指令としてのモデル検出速度を演算するモデル速度演算器と、
前記モデル速度から前記モデル検出速度を減算してモデル速度誤差を演算するモデル速度誤差演算器と、
前記モデル速度誤差から前記モデル指令の一つであるモデルトルク指令としてのモデルトルクを演算するモデル速度制御器と、
前記モデルトルクをローパスフィルタ処理するモデルローパスフィルタと、を有し、 前記モータで駆動される前記可動部の動きに対応している前記可動部モデルにより、ローパスフィルタ処理後の前記モデルトルクに基づいて前記モデル位置を演算し、
N個の前記フィードバック制御系の各々は、
前記制御位置誤差から制御速度を生成する位置制御器と、
各々の前記モータの位置を検出する前記センサが検出した位置から検出速度を生成する検出速度生成器と、
前記制御速度、前記検出速度、および前記モデル速度指令に基づいて前記制御速度と前記検出速度との速度誤差に対して前記モデル速度指令を加えた制御速度誤差を生成する制御速度誤差生成器と、
前記制御速度誤差から制御トルクを生成する速度制御器と、
前記制御トルクと前記モデルトルク指令とに基づいてこれらの合計を示す合計制御トルクを生成する制御トルク生成器と、
前記合計制御トルクをローパスフィルタ処理する制御ローパスフィルタと、
ローパスフィルタ処理後の前記合計制御トルクに基づいて各々の前記モータを制御するトルク制御器と、を有し、
N−1個の前記フィードバック制御系における前記位置制御器は、前記補償後の前記制御位置誤差から前記制御速度を生成し、残り1個の前記フィードバック制御系における前記位置制御器は、前記補償をしていない前記制御位置誤差から前記制御速度を生成する
モータ制御装置。
One of the N driven based on the common external position command for instructing the position of the movable part: by driving a more jointly movable portion (N 2 or greater natural number) respectively linked ball screw motor A motor control device for positioning the movable part ,
The movement of the movable part driven by the said motor, the movable portion represented by rigid-body model that describes the mechanical system from the said motor to said movable part driven jointly by the ball screw coupled to the motor A model control system including a model, wherein the model control system generates a model command including a model position command from the external position command; and
N feedback control systems provided in a one-to-one correspondence with the N motors and performing feedback control of the respective motors based on the model command;
Have
The external position command is a command for instructing the position of the movable part,
N model control systems are provided in a one-to-one correspondence with the N feedback control systems,
N model control systems generate the same model position command from the common external position command with the same feedback loop configuration,
Each said model control system further includes
A model position error calculator that calculates a model position error by subtracting a model position output from the movable part model from the external position command;
Each of the N feedback control systems further includes:
A control position error generator for generating a control position error indicating these position errors based on the model position command and a position detected by a sensor that detects the position of each of the motors; Each of the feedback control systems further includes
A synchronous position error generator for generating a difference between each of the control position errors and the control position error of the remaining one feedback control system;
Due to the difference between the control position error when controlling each motor and the control position error in the remaining one feedback control system, the (N−1) feedback control systems Compensating for the difference between the control position error and the control position error in the remaining one feedback control system;
Each said model control system further includes
A model position controller for calculating a model velocity from the model position error;
A model speed calculator for calculating a model detection speed as a model speed command which is one of the model commands from the model position output from the movable part model;
A model speed error calculator for calculating a model speed error by subtracting the model detection speed from the model speed;
A model speed controller that calculates a model torque as a model torque command that is one of the model commands from the model speed error;
A model low-pass filter for low-pass filtering the model torque, and based on the model torque after the low-pass filter processing by the movable part model corresponding to the movement of the movable part driven by the motor Calculating the model position;
Each of the N feedback control systems is
A position controller for generating a control speed from the control position error;
A detection speed generator that generates a detection speed from the position detected by the sensor that detects the position of each of the motors;
A control speed error generator that generates a control speed error by adding the model speed command to a speed error between the control speed and the detected speed based on the control speed, the detected speed, and the model speed command;
A speed controller for generating a control torque from the control speed error;
A control torque generator for generating a total control torque indicating the sum of these based on the control torque and the model torque command;
A control low-pass filter for low-pass filtering the total control torque;
A torque controller that controls each of the motors based on the total control torque after low-pass filter processing;
The position controllers in the N−1 feedback control systems generate the control speed from the compensated control position error, and the position controllers in the remaining one feedback control system perform the compensation. A motor control device that generates the control speed from the control position error that is not performed.
1つの可動部の位置を指示する共通の外部位置指令に基づいて駆動されるN個(N:2以上の自然数)のモータに各々連結されたボールネジにより共同して可動部を駆動させることにより、前記可動部を位置決めするモータ制御装置であって、
前記モータで駆動される前記可動部の動きを、前記モータから当該モータに連結された各ボールネジにより共同して駆動される前記可動部までの機械系を記述する剛体モデルによって表現した可動部モデルを含むモデル制御系であって、前記外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、
N個の前記モータと1対1対応で設けられて前記モデル指令に基づいて各々の前記モータをフィードバック制御するN個のフィードバック制御系と、
を有し、
前記外部位置指令は、前記可動部の位置を指示する指令であり、
前記モデル制御系は、N個の前記フィードバック制御系と1対1に対応するようにN個で設けられ、
N個の前記モデル制御系は、同じフィードバックループの構成により共通の前記外部位置指令から同じ前記モデル位置指令を生成し、
各前記モデル制御系はさらに、
前記外部位置指令から、前記可動部モデルから出力されるモデル位置を減算してモデル位置誤差を演算するモデル位置誤差演算器を有し、
N個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
前記モデル位置指令および各々の前記モータの位置を検出するセンサが検出した位置に基づいてこれらの位置誤差を示す制御位置誤差を生成する制御位置誤差生成器を有し、 (N−1)個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
各々の前記制御位置誤差と残りの1個の前記フィードバック制御系の前記制御位置誤差との差分を生成する同期位置誤差生成器を有し、
各々の前記モータを制御する際の前記制御位置誤差と、残りの1個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との間の差分により、(N−1)個の前記フィードバック制御系における前記制御位置誤差と、残り1個の前記フィードバック制御系における前記制御位置誤差との間の差分を補償し、
N個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
前記制御位置誤差から制御速度を生成する位置制御器と、
各々の前記モータの位置を検出する前記センサが検出した位置から検出速度を生成する検出速度生成器と、
前記制御速度、前記検出速度、および前記モデル指令の一つであるモデル速度指令に基づいて前記制御速度と前記検出速度との速度誤差に対して前記モデル速度指令を加えた制御速度誤差を生成する制御速度誤差生成器と、を有し、
N−1個の前記フィードバック制御系における前記位置制御器は、前記補償後の前記制御位置誤差から前記制御速度を生成し、残り1個の前記フィードバック制御系における前記位置制御器は、前記補償をしていない前記制御位置誤差から前記制御速度を生成し、
(N−1)個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
各々の前記制御速度誤差と残りの1個の前記フィードバック制御系の前記制御速度誤差との差分を生成する同期速度誤差生成器、を有し、
各々の前記モータを制御する際の前記制御速度誤差を、残りの1個の前記フィードバック制御系での前記制御速度誤差との差分により補償し、
各前記モデル制御系はさらに、
前記モデル位置誤差からモデル速度を演算するモデル位置制御器と、
前記可動部モデルから出力される前記モデル位置から前記モデル指令の一つであるモデル速度指令としてのモデル検出速度を演算するモデル速度演算器と、
前記モデル速度から前記モデル検出速度を減算してモデル速度誤差を演算するモデル速度誤差演算器と、
前記モデル速度誤差から前記モデル指令の一つであるモデルトルク指令としてのモデルトルクを演算するモデル速度制御器と、
前記モデルトルクをローパスフィルタ処理するモデルローパスフィルタと、を有し、 前記モータで駆動される前記可動部の動きに対応している前記可動部モデルにより、ローパスフィルタ処理後の前記モデルトルクに基づいて前記モデル位置を演算し、
N個の前記フィードバック制御系の各々はさらに、
前記制御速度誤差から制御トルクを生成する速度制御器と、
前記制御トルクと前記モデルトルク指令とに基づいてこれらの合計を示す合計制御トルクを生成する制御トルク生成器と、
前記合計制御トルクをローパスフィルタ処理する制御ローパスフィルタと、
ローパスフィルタ処理後の前記合計制御トルクに基づいて各々の前記モータを制御するトルク制御器と、を有し、
N−1個の前記フィードバック制御系における前記速度制御器は、前記補償後の前記制御速度誤差から前記制御トルクを生成し、残り1個の前記フィードバック制御系における前記速度制御器は、前記補償をしていない前記制御速度誤差から前記制御トルクを生成する
モータ制御装置。
One of the N driven based on the common external position command for instructing the position of the movable part: by driving a more jointly movable portion (N 2 or greater natural number) respectively linked ball screw motor A motor control device for positioning the movable part ,
The movement of the movable part driven by the said motor, the movable portion represented by rigid-body model that describes the mechanical system from the said motor to said movable part driven jointly by the ball screw coupled to the motor A model control system including a model, wherein the model control system generates a model command including a model position command from the external position command; and
N feedback control systems provided in a one-to-one correspondence with the N motors and performing feedback control of the respective motors based on the model command;
Have
The external position command is a command for instructing the position of the movable part,
N model control systems are provided in a one-to-one correspondence with the N feedback control systems,
N model control systems generate the same model position command from the common external position command with the same feedback loop configuration,
Each said model control system further includes
A model position error calculator that calculates a model position error by subtracting a model position output from the movable part model from the external position command;
Each of the N feedback control systems further includes:
A control position error generator for generating a control position error indicating these position errors based on the model position command and a position detected by a sensor that detects the position of each of the motors; Each of the feedback control systems further includes
A synchronous position error generator for generating a difference between each of the control position errors and the control position error of the remaining one feedback control system;
Due to the difference between the control position error when controlling each motor and the control position error in the remaining one feedback control system, the (N−1) feedback control systems Compensating for the difference between the control position error and the control position error in the remaining one feedback control system;
Each of the N feedback control systems further includes:
A position controller for generating a control speed from the control position error;
A detection speed generator that generates a detection speed from the position detected by the sensor that detects the position of each of the motors;
Based on the control speed, the detected speed, and the model speed command which is one of the model commands, a control speed error is generated by adding the model speed command to the speed error between the control speed and the detected speed. A control speed error generator,
The position controllers in the N−1 feedback control systems generate the control speed from the compensated control position error, and the position controllers in the remaining one feedback control system perform the compensation. Generating the control speed from the control position error that is not
Each of the (N-1) feedback control systems further includes:
A synchronous speed error generator for generating a difference between each of the control speed errors and the control speed error of the remaining one feedback control system;
The control speed error when controlling each of the motors is compensated by a difference from the control speed error in the remaining one feedback control system,
Each said model control system further includes
A model position controller for calculating a model velocity from the model position error;
A model speed calculator for calculating a model detection speed as a model speed command which is one of the model commands from the model position output from the movable part model;
A model speed error calculator for calculating a model speed error by subtracting the model detection speed from the model speed;
A model speed controller that calculates a model torque as a model torque command that is one of the model commands from the model speed error;
A model low-pass filter for low-pass filtering the model torque, and based on the model torque after the low-pass filter processing by the movable part model corresponding to the movement of the movable part driven by the motor Calculating the model position;
Each of the N feedback control systems further includes:
A speed controller for generating a control torque from the control speed error;
A control torque generator for generating a total control torque indicating the sum of these based on the control torque and the model torque command;
A control low-pass filter for low-pass filtering the total control torque;
A torque controller that controls each of the motors based on the total control torque after low-pass filter processing;
The speed controllers in the N−1 feedback control systems generate the control torque from the compensated control speed error, and the speed controllers in the remaining one feedback control system perform the compensation. A motor control device that generates the control torque from the control speed error that is not performed.
N個の前記フィードバック制御系には、前記モデル制御系から同じ前記モデル位置指令が同時に入力される、
請求項1または2記載のモータ制御装置。
The N model feedback control systems are simultaneously input with the same model position command from the model control system.
The motor control device according to claim 1 or 2.
前記フィードバック制御系は、2個であり、
各前記フィードバック制御系は、自身における前記制御位置誤差と、他方の前記フィードバック制御系における前記制御位置誤差との間の差分をそれぞれ求め、
2個の前記フィードバック制御系は、各々での前記モータを制御するための前記制御位置誤差を、他方の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との差分により互いに補償する
請求項1記載のモータ制御装置。
There are two feedback control systems,
Each of the feedback control systems obtains a difference between the control position error in itself and the control position error in the other feedback control system,
2. The motor according to claim 1, wherein the two feedback control systems compensate each other for the control position error for controlling the motor in each of them by a difference from the control position error in the other feedback control system. Control device.
前記フィードバック制御系は、2個であり、
各前記フィードバック制御系は、自身における前記制御速度誤差と、他方の前記フィードバック制御系における前記制御速度誤差との間の差分をそれぞれ求め、
2個の前記フィードバック制御系は、各々での前記モータを制御するための前記制御速度誤差を、他方の前記フィードバック制御系での前記制御速度誤差との差分により互いに補償する
請求項2記載のモータ制御装置。
There are two feedback control systems,
Each feedback control system obtains a difference between the control speed error in itself and the control speed error in the other feedback control system,
3. The motor according to claim 2, wherein the two feedback control systems compensate each other for the control speed error for controlling the motor in each by a difference from the control speed error in the other feedback control system. Control device.
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