JP6388332B2 - Memory inspection system and memory inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、メモリ検査システム及びメモリ検査方法に関する。 The present invention relates to a memory inspection system and a memory inspection method .

製造されたメモリデバイスの動作を検証する目的で、メモリ用エージングシステムを用いた動作検証が一般的に実施されている(例えば、特許文献1)。メモリ用エージングシステムは、接続された検査対象であるメモリデバイスに対し、データの書込み、読出し等を繰り返し行い、正常に読み書きが行われているか否かを検証するいわゆるテスタである。メモリ用エージングデバイスには所定の制御装置が搭載されており、当該制御装置が、予め組み込まれた動作検証用のプログラムに従って動作することで、動作検証がなされる。
なお、メモリデバイスが高温環境(或いは低温環境)におかれた場合であっても正常に動作するか否かを検証するために、メモリ用エージングシステムを高温環境下、低温環境下で動作させる場合もある。
In order to verify the operation of a manufactured memory device, operation verification using a memory aging system is generally performed (for example, Patent Document 1). The memory aging system is a so-called tester that repeatedly writes data to and reads data from a connected memory device to be inspected to verify whether the data is normally read or written. A predetermined control device is mounted on the memory aging device, and the operation verification is performed by the control device operating according to an operation verification program incorporated in advance.
In order to verify whether the memory device operates normally even in a high temperature environment (or low temperature environment), the memory aging system is operated in a high temperature environment or a low temperature environment. There is also.

特開2003−014821号公報JP 2003-014821 A

しかしながら、メモリ用エージングシステムを用いて高温、低温等の特殊な環境下でテストを実施した場合、メモリ用エージングシステムそのものが特殊な環境下に置かれたことによる特性変動が生じ、検査対象とするメモリデバイスの動作検証を正しく行うことができない場合があった。   However, when a test is performed in a special environment such as high temperature or low temperature using a memory aging system, the characteristics change due to the memory aging system itself being placed in a special environment, which is the inspection target. In some cases, the operation verification of the memory device could not be performed correctly.

この発明の目的は、上記課題に鑑みてなされたものであって、種々の環境下に置かれた場合であっても、検査対象とするメモリを精度よく検査可能なメモリ検査システム及びメモリ検査方法を提供することにある。 An object of the present invention is made in view of the above problems, and is a memory inspection system and a memory inspection method capable of accurately inspecting a memory to be inspected even when placed in various environments. Is to provide.

本発明の一態様は、メモリに対しアドレスを指定するためのアドレス指定信号を出力するアドレス指定部と、前記アドレス指定信号に同期する第1ラッチ信号を出力するラッチ信号出力部と、前記メモリから前記指定されたアドレスに対応するデータ信号の入力を受け付けるデータ入力部と、前記第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号の入力を受け付けるラッチ信号入力部と、前記第2ラッチ信号に指定されるタイミングに基づいて前記データ信号で示されるデータを読み取るデータ読取部と、を備えるメモリ検査用制御装置である。   According to one aspect of the present invention, an address designation unit that outputs an address designation signal for designating an address to a memory, a latch signal output unit that outputs a first latch signal synchronized with the address designation signal, and the memory A data input unit for receiving an input of a data signal corresponding to the designated address; and a second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the address designation signal. A memory test control device includes: a latch signal input unit that receives an input; and a data reading unit that reads data indicated by the data signal based on a timing specified by the second latch signal.

また、本発明の一態様は、上述のメモリ検査用制御装置と、前記第1ラッチ信号の入力を受け付けて、当該第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた前記第2ラッチ信号を出力する遅延発生部と、を備えるメモリ検査システムである。   In one embodiment of the present invention, the input of the first latch signal is received according to the above-described memory test control device, and the first latch signal is set in accordance with the delay time of the data signal with respect to the address designation signal. And a delay generation unit that outputs the second latch signal delayed by time.

また、本発明の一態様は、メモリに対しアドレスを指定するためのアドレス指定信号を出力するステップと、前記アドレス指定信号に同期する第1ラッチ信号を出力するステップと、前記メモリから前記指定されたアドレスに対応するデータ信号の入力を受け付けるステップと、前記第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号の入力を受け付けるステップと、前記第2ラッチ信号に指定されるタイミングに基づいて前記データ信号で示されるデータを読み取るステップと、を有するメモリ検査方法である。   According to another aspect of the present invention, there is provided a step of outputting an address designation signal for designating an address to the memory, a step of outputting a first latch signal synchronized with the address designation signal, and the designation from the memory. Receiving an input of a data signal corresponding to the address, receiving an input of a second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the address designation signal; Reading data indicated by the data signal based on timing designated by the second latch signal.

また、本発明の一態様は、メモリ検査システムのコンピュータを、メモリに対しアドレスを指定するためのアドレス指定信号を出力するアドレス指定手段、前記アドレス指定信号に同期する第1ラッチ信号を出力するラッチ信号出力手段、前記メモリから前記指定されたアドレスに対応するデータ信号の入力を受け付けるデータ入力手段、前記第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号の入力を受け付けるラッチ信号入力手段、前記第2ラッチ信号に指定されるタイミングに基づいて前記データ信号で示されるデータを読み取るデータ読取手段、として機能させるプログラムである。   According to another aspect of the present invention, there is provided an address designating unit for outputting an address designating signal for designating an address to a memory, and a latch for outputting a first latch signal synchronized with the address designating signal. A signal output means, a data input means for receiving an input of a data signal corresponding to the designated address from the memory, and the first latch signal is delayed by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the address designation signal. In addition, the program functions as latch signal input means for receiving the input of the second latch signal and data reading means for reading the data indicated by the data signal based on the timing specified by the second latch signal.

上述のメモリ検査システム及びメモリ検査方法によれば、種々の環境下に置かれた場合であっても、検査対象とするメモリを精度よく検査できる。 According to the memory inspection system and the memory inspection method described above, it is possible to accurately inspect a memory to be inspected even when placed in various environments.

第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置の機能構成を示す図である。It is a figure which shows the function structure of the control apparatus for memory inspection which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るメモリ検査システムの機能構成を示す図である。It is a figure which shows the function structure of the memory test | inspection system which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るメモリ検査システムの機能を説明する第1の図である。It is the 1st figure explaining the function of the memory inspection system concerning a 1st embodiment. 第1の実施形態に係るメモリ検査システムの機能を説明する第2の図である。It is a 2nd figure explaining the function of the memory test | inspection system which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係るメモリ検査システムの機能構成を示す図である。It is a figure which shows the function structure of the memory test | inspection system which concerns on 2nd Embodiment.

<第1の実施形態>
以下、第1の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置の機能構成を示す図である。
図1に示すメモリ検査用制御装置10は、アドレス指定部101と、ラッチ信号出力部102と、データ入力部103と、ラッチ信号入力部104と、データ読取部105と、を備えている。
アドレス指定部101は、検査対象であるメモリに対し、アドレスを指定するためのアドレス指定信号L1を出力する。ここで、「アドレス」とは、メモリに記憶されたデータの格納場所を特定する情報である。
ラッチ信号出力部102は、アドレス指定信号Saに同期する第1ラッチ信号L1を出力する。ここで、「同期する」とは、二値(High、Low)の値をとる論理信号において、基準となる所定のクロック信号が刻む周期と一致するように、HighからLow、LowからHighへと値が遷移することをいう。
データ入力部103は、検査対象であるメモリから、アドレス指定信号Saによって指定されたアドレスに対応するデータ信号Sdの入力を受け付ける。
ラッチ信号入力部104は、ラッチ信号出力部102から出力された第1ラッチ信号L1を、アドレス指定部101が出力したアドレス指定信号Saに対する、データ入力部103に入力されたデータ信号Sdの遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号L2の入力を受け付ける。ここで、「遅延時間」とは、アドレス指定信号Saにおける値の遷移のタイミングと、データ信号Sdにおける値の遷移のタイミングとの時間的なずれの度合いを示す情報である。
データ読取部105は、第2ラッチ信号L2に指定されるタイミングに基づいて、入力されたデータ信号Sdで示されるデータを読み取る。
<First Embodiment>
Hereinafter, a first embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram illustrating a functional configuration of the memory inspection control device according to the first embodiment.
The memory test control device 10 shown in FIG. 1 includes an address designating unit 101, a latch signal output unit 102, a data input unit 103, a latch signal input unit 104, and a data reading unit 105.
The address specifying unit 101 outputs an address specifying signal L1 for specifying an address to the memory to be inspected. Here, the “address” is information for specifying a storage location of data stored in the memory.
The latch signal output unit 102 outputs a first latch signal L1 synchronized with the address designation signal Sa. Here, “synchronize” means from high to low and from low to high so that the period of a predetermined clock signal that is a reference in a logic signal that takes a binary (High, Low) value coincides with the cycle. This means that the value transitions.
The data input unit 103 receives an input of the data signal Sd corresponding to the address specified by the address specification signal Sa from the memory to be inspected.
The latch signal input unit 104 uses the first latch signal L1 output from the latch signal output unit 102 as a delay time of the data signal Sd input to the data input unit 103 with respect to the address specifying signal Sa output from the address specifying unit 101. The input of the second latch signal L2 delayed by a time corresponding to is accepted. Here, the “delay time” is information indicating the degree of temporal deviation between the value transition timing in the addressing signal Sa and the value transition timing in the data signal Sd.
The data reading unit 105 reads the data indicated by the input data signal Sd based on the timing specified by the second latch signal L2.

図2は、第1の実施形態に係るメモリ検査システムの機能構成を示す図である。
図2に示すように、メモリ検査システム1は、上述したメモリ検査用制御装置10と、コネクタ11と、遅延発生部20と、バッファ201、202、203、204と、を備えている。
メモリ検査用制御装置10は、メモリ検査システム1のテストボード上に搭載された論理回路であって、例えば、CPLD(Complex Programmable Logic Device)等によって実現される。CPLDであるメモリ検査用制御装置10は、検査対象となるメモリ3に対する動作検証用の動作プログラムが予め記憶されている。メモリ検査用制御装置10は、当該プログラムに従って検査対象であるメモリ3に読み書きを繰り返し実施することで、メモリ3の動作の健全性、信頼性を検証する。
FIG. 2 is a diagram illustrating a functional configuration of the memory inspection system according to the first embodiment.
As shown in FIG. 2, the memory inspection system 1 includes the above-described memory inspection control device 10, a connector 11, a delay generation unit 20, and buffers 201, 202, 203, and 204.
The memory inspection control device 10 is a logic circuit mounted on a test board of the memory inspection system 1 and is realized by, for example, a CPLD (Complex Programmable Logic Device). The memory inspection control device 10 which is a CPLD stores in advance an operation program for operation verification on the memory 3 to be inspected. The memory inspection control apparatus 10 verifies the soundness and reliability of the operation of the memory 3 by repeatedly reading and writing the memory 3 to be inspected according to the program.

コネクタ11は、検査対象とするメモリ3を接続可能とするインターフェイスである。
遅延発生部20は、メモリ検査用制御装置10(ラッチ信号出力部102)が出力した第1ラッチ信号L1の入力を受け付けて、当該第1ラッチ信号L1を、所定時間だけ遅延させた第2ラッチ信号L2を出力する。ここで、遅延発生部20が遅延させる時間は、アドレス指定部101が出力したアドレス指定信号Saに対する、データ入力部103に入力されるデータ信号Sdの遅延時間に対応する。遅延発生部20の具体的な構成については後述する。
なお、遅延発生部20が出力した第2ラッチ信号L2は、メモリ検査用制御装置10(ラッチ信号入力部104)に入力される。
The connector 11 is an interface that enables connection of the memory 3 to be inspected.
The delay generation unit 20 receives an input of the first latch signal L1 output from the memory test control device 10 (latch signal output unit 102) and delays the first latch signal L1 by a predetermined time. The signal L2 is output. Here, the time that the delay generating unit 20 delays corresponds to the delay time of the data signal Sd input to the data input unit 103 with respect to the address specifying signal Sa output from the address specifying unit 101. A specific configuration of the delay generation unit 20 will be described later.
The second latch signal L2 output from the delay generation unit 20 is input to the memory test control device 10 (latch signal input unit 104).

検査対象であるメモリ3は、メモリ検査用制御装置10から出力されたアドレス指定信号Saの入力を受け付けると、当該アドレス指定信号Saが示すアドレスに指定される箇所に格納されたデータを読み出す。そして、メモリ3は、読み出したデータを示すデータ信号Sdを出力する。データ信号Sdは、メモリ検査用制御装置10に入力(返送)され、健全性の判定に用いられる。
アドレス指定用伝送配線Paは、メモリ検査用制御装置10から検査対象であるメモリ3に向けてアドレス指定信号Saを伝送する配線である。また、データ用伝送配線Pdは、メモリ3からメモリ検査用制御装置10に向けてデータ信号Sdを伝送する配線である。アドレス指定用伝送配線Pa、データ用伝送配線Pdは、それぞれ、複数の配線が束となって構成されるアドレスバス、データバスをなしている(図2には図示せず)。
When the memory 3 to be inspected receives the input of the address designation signal Sa output from the memory inspection control device 10, the memory 3 reads the data stored at the location designated by the address indicated by the address designation signal Sa. Then, the memory 3 outputs a data signal Sd indicating the read data. The data signal Sd is input (returned) to the memory inspection control device 10 and used for soundness determination.
The address designation transmission wiring Pa is a wiring for transmitting the address designation signal Sa from the memory inspection control device 10 to the memory 3 to be inspected. The data transmission wiring Pd is a wiring for transmitting the data signal Sd from the memory 3 to the memory inspection control device 10. Each of the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd forms an address bus and a data bus each having a plurality of wirings bundled together (not shown in FIG. 2).

バッファ201〜204は、論理信号の中継の役割をなす論理回路であって、例えば、トランジスタを組み合わせてなるインバータで構成される。一般に、論理信号は、伝送配線を伝送する間に、電圧降下により信号強度(電圧)が減衰する。したがって、伝送配線に一つ又は複数のバッファ(インバータ)を直列に接続することで、当該伝送配線を伝送する論理信号の信号強度が増幅され、正しい論理値をもって伝送される。
図2に示すように、バッファ201、202は、アドレス指定用伝送配線Pa上において直列に設けられている。また、バッファ203、204は、データ用伝送配線Pd上において直列に設けられている。
ここで、バッファ201〜204は、いずれも複数のインバータの束で構成されており、上記アドレスバス、データバスを構成する配線の各々に対応するように接続されている。例えば、バッファ201〜204は、32bitのアドレスバス、データバスに対応可能なように32個のインバータの束で構成される。本実施形態において、これら複数のインバータは、全て同一の構造を有するトランジスタで形成される。トランジスタの「構造」とは、トランジスタの製造プロセス、設計サイズ等により規定される特徴である。即ち、バッファ201〜204の各々を構成するトランジスタは、少なくともその束に属する範囲内で、同一の製造プロセス、同一の設計サイズで製造されている。
The buffers 201 to 204 are logic circuits that act as relays of logic signals, and include, for example, inverters formed by combining transistors. In general, a signal intensity (voltage) of a logic signal is attenuated due to a voltage drop while being transmitted through a transmission line. Therefore, by connecting one or a plurality of buffers (inverters) in series to the transmission line, the signal intensity of the logical signal transmitted through the transmission line is amplified and transmitted with the correct logical value.
As shown in FIG. 2, the buffers 201 and 202 are provided in series on the addressing transmission line Pa. The buffers 203 and 204 are provided in series on the data transmission line Pd.
Here, each of the buffers 201 to 204 is constituted by a bundle of a plurality of inverters, and is connected so as to correspond to each of the wirings constituting the address bus and the data bus. For example, the buffers 201 to 204 are constituted by a bundle of 32 inverters so as to be compatible with a 32-bit address bus and data bus. In the present embodiment, the plurality of inverters are all formed of transistors having the same structure. The “structure” of a transistor is a characteristic defined by the transistor manufacturing process, design size, and the like. That is, the transistors constituting each of the buffers 201 to 204 are manufactured with the same manufacturing process and the same design size at least within the range belonging to the bundle.

次に、遅延発生部20の具体的な構成について詳細に説明する。
図2に示すように、遅延発生部20は、遅延用伝送配線Pnによって構成される。遅延用伝送配線Pnは、ラッチ信号出力部102が出力した第1ラッチ信号L1を伝送し、ラッチ信号入力部104まで伝送する配線である。本実施形態においては、第1ラッチ信号L1が当該遅延用伝送配線Pnを伝送して得られる信号が、上述の第2ラッチ信号L2である。
図2に示すように、遅延用伝送配線Pnは、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられた全てのバッファ201〜204を直列に接続するように形成されている。具体的には、遅延用伝送配線Pnは、アドレス指定用伝送配線Paに沿って、メモリ検査用制御装置10のラッチ信号出力部102とバッファ201とを接続するように引き回される。また、遅延用伝送配線Pnは、バッファ201とバッファ202、及び、バッファ202とバッファ203を順に接続するように引き回される。同様に、遅延用伝送配線Pnは、データ用伝送配線Pdに沿って、バッファ203とバッファ204、及び、バッファ204とメモリ検査用制御装置10のラッチ信号入力部104とを接続するように引き回される。
ここで、遅延用伝送配線Pnは、バッファ201〜204の各々を構成する32個(32bit)のインバータのうち、アドレス指定信号Sa又はデータ信号Sdの伝送に使用されていない少なくとも1個(1bit)のインバータを介して引き回される。
Next, a specific configuration of the delay generation unit 20 will be described in detail.
As shown in FIG. 2, the delay generator 20 is configured by a delay transmission line Pn. The delay transmission wiring Pn is a wiring that transmits the first latch signal L1 output from the latch signal output unit 102 and transmits the first latch signal L1 to the latch signal input unit 104. In the present embodiment, a signal obtained by transmitting the first latch signal L1 through the delay transmission line Pn is the above-described second latch signal L2.
As shown in FIG. 2, the delay transmission line Pn is formed so as to connect all the buffers 201 to 204 provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd in series. Yes. Specifically, the delay transmission line Pn is routed so as to connect the latch signal output unit 102 of the memory inspection control device 10 and the buffer 201 along the addressing transmission line Pa. Further, the delay transmission wiring Pn is routed so as to connect the buffer 201 and the buffer 202, and the buffer 202 and the buffer 203 in order. Similarly, the delay transmission line Pn is routed so as to connect the buffer 203 and the buffer 204 and the buffer 204 and the latch signal input unit 104 of the memory inspection control device 10 along the data transmission line Pd. Is done.
Here, the delay transmission line Pn is at least one (1 bit) that is not used for transmission of the addressing signal Sa or the data signal Sd among the 32 (32 bit) inverters constituting each of the buffers 201 to 204. Is routed through the inverter.

図3、図4は、それぞれ、第1の実施形態に係るメモリ検査システムの機能を説明する第1の図、第2の図である。
次に、図3、図4を参照しながら、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1の機能について詳細に説明する。
図3は、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1の対比例に係るメモリ検査システムの機能を示す図である。図3は、対比例に係るメモリ検査システムが搭載するメモリ検査用制御装置が出力するアドレス指定信号Sa、当該メモリ検査用制御装置に入力されるデータ信号Sd、及び、当該メモリ検査用制御装置の内部で生成される第1ラッチ信号L1のタイミングチャートを示している。
当該対比例に係るメモリ検査用制御装置は、第1ラッチ信号L1に指定されるタイミングに基づいて、入力されたデータ信号Sdで示されるデータを読み取る。
3 and 4 are a first diagram and a second diagram, respectively, for explaining the function of the memory inspection system according to the first embodiment.
Next, functions of the memory inspection system 1 according to the first embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.
FIG. 3 is a diagram illustrating functions of the memory inspection system according to the comparison of the memory inspection system 1 according to the first embodiment. FIG. 3 shows an address designation signal Sa output from the memory test control device mounted in the memory test system according to the comparison, a data signal Sd input to the memory test control device, and the memory test control device. The timing chart of the 1st latch signal L1 produced | generated internally is shown.
The control device for memory inspection according to the comparison reads the data indicated by the input data signal Sd based on the timing designated by the first latch signal L1.

図3上段を参照しながら、常温時において、対比例に係るメモリ検査用制御装置がアドレス指定信号Saを出力した場合の動作を説明する。この場合、当該アドレス指定信号Saの入力を受け付けたメモリ3は、上記メモリ検査用制御装置に向けて、当該アドレス指定信号Saに対応するデータ信号Sdを出力する。なお、常温時においては、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間は微小であり、ここでは、実質的に遅延が生じていないものとして説明する。   With reference to the upper part of FIG. 3, the operation in the case where the control device for memory inspection according to the comparison outputs the address designation signal Sa at normal temperature will be described. In this case, the memory 3 that has received the input of the address designation signal Sa outputs a data signal Sd corresponding to the address designation signal Sa to the memory test control device. Note that, at room temperature, the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa is very small, and here, description will be made assuming that there is substantially no delay.

図3上段に示すように、アドレス指定信号Saと第1ラッチ信号L1とは、互いに同期するように出力される。そうすると、常温時においては、データ信号Sdは、アドレス指定信号Saに対し遅延が生じることなく入力されることから、このデータ信号Sdも、当該第1ラッチ信号L1と実質的に同期する。
ここで、対比例に係るメモリ検査用制御装置は、第1ラッチ信号L1に指定されるタイミング、即ち、第1ラッチ信号L1がLowからHighに遷移する時刻T1、T2、T3及びT4において、データ信号Sdから読み取るべきデータを抽出する。具体的には、図3上段に記載したデータ信号Sdの白丸に示す部分の論理値(High=1、Low=0)が読み取られる。図3上段に示す例によれば、時刻T1〜T4において読み取られた読取データは、“0101”となる。このように、常温時においては、第1ラッチ信号L1とデータ信号Sdとが実質的に同期して遷移するため、メモリ3に記憶されていたデータを正常に読み取ることができる。
As shown in the upper part of FIG. 3, the address designation signal Sa and the first latch signal L1 are output in synchronization with each other. Then, at normal temperature, the data signal Sd is input without causing a delay with respect to the addressing signal Sa, so that the data signal Sd is also substantially synchronized with the first latch signal L1.
Here, the control device for memory test according to the proportional relationship is configured to perform data transfer at the timing designated by the first latch signal L1, that is, at times T1, T2, T3, and T4 when the first latch signal L1 transits from Low to High. Data to be read is extracted from the signal Sd. Specifically, the logical value (High = 1, Low = 0) of the portion indicated by the white circle of the data signal Sd described in the upper part of FIG. 3 is read. According to the example shown in the upper part of FIG. 3, the read data read at times T1 to T4 is “0101”. As described above, at the normal temperature, the first latch signal L1 and the data signal Sd are shifted substantially in synchronization, so that the data stored in the memory 3 can be read normally.

一方、図3下段を参照しながら、高温時において、上記メモリ検査用制御装置がアドレス指定信号Saを出力した場合を説明する。この場合も、アドレス指定信号Saの入力を受け付けたメモリ3は、当該メモリ検査用制御装置に向けて、当該アドレス指定信号Saに対応するデータ信号Sdを出力する。ただし、高温時においては、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間が増大する。ここでは、所定の遅延時間td(図3下段参照)が生じるものとして説明する。   On the other hand, with reference to the lower part of FIG. 3, the case where the memory test control device outputs the address designation signal Sa at a high temperature will be described. Also in this case, the memory 3 that has received the input of the address designation signal Sa outputs a data signal Sd corresponding to the address designation signal Sa to the memory test control device. However, at a high temperature, the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa increases. Here, a description will be given assuming that a predetermined delay time td (see the lower part of FIG. 3) occurs.

遅延時間tdは、主にバッファ201、202、203、204の応答特性が劣化したことに起因して生じる。即ち、一般的なトランジスタは、高温になるほど抵抗値が増すため、インバータ素子として入力信号をつけ付けたタイミングから出力信号が出力されるまでの遅延時間が増加する。
バッファ201、202における応答特性の劣化により、アドレス用伝送配線Paを伝送するアドレス指定信号Saの伝達に要する時間が増大する。また、バッファ203、204における応答特性の劣化により、データ用伝送配線Pdを伝送するデータ信号Sdの伝達に要する時間が増大する。このように、アドレス指定信号Sa及びデータ信号Sdが伝送する配線上に接続された各バッファにおける応答の遅延の積み重ねにより、最終的に、データ信号Sdは、アドレス指定信号Saに対し遅延時間tdだけ遅延して入力される。
The delay time td is mainly caused by the deterioration of the response characteristics of the buffers 201, 202, 203, and 204. That is, since the resistance value of a general transistor increases as the temperature increases, the delay time from when the input signal is applied as the inverter element to when the output signal is output increases.
Due to the deterioration of the response characteristics in the buffers 201 and 202, the time required to transmit the address designation signal Sa transmitted through the address transmission line Pa increases. Further, due to the deterioration of the response characteristics in the buffers 203 and 204, the time required for transmitting the data signal Sd transmitted through the data transmission line Pd increases. As described above, due to the accumulation of response delays in the buffers connected to the wirings through which the addressing signal Sa and the data signal Sd are transmitted, the data signal Sd is finally delayed by the delay time td with respect to the addressing signal Sa. Input with a delay.

図3下段に示すように、高温時においても、アドレス指定信号Saは、第1ラッチ信号L1と同期するように出力される。しかしながら、データ信号Sdは、アドレス指定信号Saに対し遅延時間tdの遅延が生じて入力されることから、このデータ信号Sdは、当該第1ラッチ信号L1から遅延時間tdだけずれたタイミングで遷移する。
ここで、対比例に係るメモリ検査用制御装置は、常温時と同様に、第1ラッチ信号L1に指定されるタイミングT1、T2、T3及びT4において、データ信号Sdから読み取るべきデータを抽出する。具体的には、図3下段に記載したデータ信号Sdの白丸に示す部分の論理値が読み取られる。図3下段に示す例によれば、時刻T1〜T4において読み取られた読取データは、“0010”となる。このように、高温時においては、第1ラッチ信号L1に対し、データ信号Sdが遅延時間tdだけずれて遷移するため、メモリ3に記憶されていたデータを正常に読み取ることができない。そうすると、高温時において、本来、メモリ3自身は正常に動作しているにもかかわらず、メモリ検査システムの特性変動に起因して生じた読取エラーにより、正常なメモリ3が不良品であると判定されてしまう。
As shown in the lower part of FIG. 3, the addressing signal Sa is output so as to be synchronized with the first latch signal L1 even at a high temperature. However, since the data signal Sd is input with a delay of the delay time td relative to the addressing signal Sa, the data signal Sd transitions at a timing shifted from the first latch signal L1 by the delay time td. .
Here, the control device for memory inspection related to the comparison extracts data to be read from the data signal Sd at the timings T1, T2, T3, and T4 designated by the first latch signal L1, similarly to the normal temperature. Specifically, the logical value of the portion indicated by the white circle of the data signal Sd described in the lower part of FIG. 3 is read. According to the example shown in the lower part of FIG. 3, the read data read at times T1 to T4 is “0010”. As described above, at the time of high temperature, the data signal Sd is shifted from the first latch signal L1 by the delay time td, so that the data stored in the memory 3 cannot be read normally. Then, although the memory 3 itself is normally operating at a high temperature, it is determined that the normal memory 3 is a defective product due to a reading error caused by the characteristic variation of the memory inspection system. Will be.

図4は、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1の機能を示す図である。図4は、メモリ検査システム1が搭載するメモリ検査用制御装置10が出力するアドレス指定信号Sa、メモリ検査用制御装置10に入力されるデータ信号Sd、メモリ検査用制御装置10の内部で生成されて出力される第1ラッチ信号L1、及び、第1ラッチ信号L1が遅延発生部20(遅延用伝送配線Pn)を経ることで得られる第2ラッチ信号L2のタイミングチャートを示している。
第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置10(データ読取部105)は、第2ラッチ信号L2に指定されるタイミングに基づいて、入力されたデータ信号Sdで示されるデータを読み取る。
FIG. 4 is a diagram illustrating functions of the memory inspection system 1 according to the first embodiment. FIG. 4 shows an address designation signal Sa output from the memory inspection control device 10 installed in the memory inspection system 1, a data signal Sd input to the memory inspection control device 10, and is generated inside the memory inspection control device 10. 1 is a timing chart of the first latch signal L1 and the second latch signal L2 obtained by passing the first latch signal L1 through the delay generator 20 (delay transmission line Pn).
The memory inspection control device 10 (data reading unit 105) according to the first embodiment reads the data indicated by the input data signal Sd based on the timing specified by the second latch signal L2.

図4上段を参照しながら、常温時において、第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置10(アドレス指定部101)がアドレス指定信号Saを出力した場合の動作を説明する。この場合、アドレス指定信号Saの入力を受け付けたメモリ3は、メモリ検査用制御装置10に向けて、当該アドレス指定信号Saに対応するデータ信号Sdを出力する。なお、常温時においては、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間は微小であり、ここでは、実質的に遅延が生じていないものとして説明する。
また、本実施形態においては、上述のとおり、ラッチ信号出力部102が、内部で生成した第1ラッチ信号L1を出力する。出力された第1ラッチ信号L1は、遅延用伝送配線Pnを伝送し、第2ラッチ信号L2としてラッチ信号入力部104に入力される。しかし、常温時においては、第1ラッチ信号L1に対する第2ラッチ信号L2の遅延時間も微小であるため、実質的に遅延が生じていないものとして説明する。
The operation when the memory test control device 10 (address specifying unit 101) according to the first embodiment outputs the address specifying signal Sa at room temperature will be described with reference to the upper part of FIG. In this case, the memory 3 that has received the input of the address designation signal Sa outputs a data signal Sd corresponding to the address designation signal Sa to the memory test control device 10. Note that, at room temperature, the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa is very small, and here, description will be made assuming that there is substantially no delay.
In the present embodiment, as described above, the latch signal output unit 102 outputs the internally generated first latch signal L1. The output first latch signal L1 is transmitted through the delay transmission line Pn and input to the latch signal input unit 104 as the second latch signal L2. However, since the delay time of the second latch signal L2 with respect to the first latch signal L1 is very small at room temperature, the description will be made assuming that there is substantially no delay.

図4上段に示すように、アドレス指定信号Saと第1ラッチ信号L1とは、互いに同期するように出力される。そうすると、常温時においては、データ信号Sdは、アドレス指定信号Saに対し遅延が生じることなく入力され、かつ、第2ラッチ信号L2は、第1ラッチ信号に対し遅延が生じることなく入力される。したがって、データ信号Sdと第2ラッチ信号L2とは、実質的に互いに同期する。
ここで、メモリ検査用制御装置10は、第2ラッチ信号L2に指定されるタイミング、即ち、第2ラッチ信号L2がLowからHighへ遷移する時刻T1、T2、T3及びT4において、データ信号Sdから読み取るべきデータを抽出する。具体的には、図4上段に記載したデータ信号Sdの白丸に示す部分の論理値(High=1、Low=0)が読み取られる。図4上段に示す例によれば、時刻T1〜T4において読み取られた読取データは、“0101”となる。このように、常温時においては、第2ラッチ信号L2とデータ信号Sdとが実質的に同期して遷移するため、メモリ3に記憶されていたデータを正常に読み取ることができる。
As shown in the upper part of FIG. 4, the address designation signal Sa and the first latch signal L1 are output in synchronization with each other. Then, at normal temperature, the data signal Sd is input without delay with respect to the address designation signal Sa, and the second latch signal L2 is input without delay with respect to the first latch signal. Therefore, the data signal Sd and the second latch signal L2 are substantially synchronized with each other.
Here, the memory test control device 10 starts from the data signal Sd at the timing specified by the second latch signal L2, that is, at times T1, T2, T3, and T4 when the second latch signal L2 transits from Low to High. Extract the data to be read. Specifically, the logical value (High = 1, Low = 0) of the portion indicated by the white circle of the data signal Sd described in the upper part of FIG. 4 is read. According to the example shown in the upper part of FIG. 4, the read data read at times T1 to T4 is “0101”. In this way, at the normal temperature, the second latch signal L2 and the data signal Sd transition in a substantially synchronized manner, so that the data stored in the memory 3 can be read normally.

一方、図4下段を参照しながら、高温時において、第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置10(アドレス指定部101)がアドレス指定信号Saを出力した場合を説明する。この場合も、アドレス指定信号Saの入力を受け付けたメモリ3は、メモリ検査用制御装置10に向けて、当該アドレス指定信号Saに対応するデータ信号Sdを出力する。ただし、高温時においては、主にバッファ201〜204の応答特性の劣化に起因して、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間が増大する。ここでは、所定の遅延時間td(図4下段参照)が生じるものとして説明する。   On the other hand, a case where the memory inspection control device 10 (address specifying unit 101) according to the first embodiment outputs the address specifying signal Sa at a high temperature will be described with reference to the lower part of FIG. Also in this case, the memory 3 that has received the input of the address designation signal Sa outputs a data signal Sd corresponding to the address designation signal Sa to the memory test control device 10. However, at high temperatures, the delay time of the data signal Sd with respect to the addressing signal Sa increases mainly due to the deterioration of the response characteristics of the buffers 201-204. Here, description will be made assuming that a predetermined delay time td (see the lower part of FIG. 4) occurs.

本実施形態においては、図2に示したように、遅延用伝送配線Pnは、アドレス指定用伝送配線Pa及びデータ用伝送配線Pd上に設けられたバッファ201〜204を直列に接続するように引き回される。したがって、第1ラッチ信号L1が遅延用伝送配線Pnを伝送して出力された第2ラッチ信号L2は、バッファ201〜204における応答特性の劣化により、当該第1ラッチ信号L1に対し所定の遅延時間だけ遅延する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the delay transmission line Pn is connected so that the buffers 201 to 204 provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd are connected in series. Turned. Therefore, the second latch signal L2 output by transmitting the first latch signal L1 through the delay transmission line Pn has a predetermined delay time with respect to the first latch signal L1 due to the deterioration of the response characteristics in the buffers 201-204. Just delay.

ここで、本実施形態に係るメモリ検査システム1において、遅延用伝送配線Pnは、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられたバッファ201〜204の総数と同じ数のバッファが設けられている。また、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に接続されたインバータを構成するトランジスタの構造と、遅延用伝送配線Pn上に接続されたインバータを構成するトランジスタの構造と、が一致するように構成されている。このようにすることで、バッファ201〜204を構成する全てのトランジスタの温度特性が同等となるため、アドレス指定用伝送配線Pa及びデータ用伝送配線Pd上に配されたバッファに生じる応答特性の劣化の度合いと、遅延用伝送配線Pn上に配されたバッファの応答特性の劣化の度合いと、が一致する。したがって、第2ラッチ信号L2の第1ラッチ信号L1に対する遅延時間は、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間tdと同等となる(図4下段参照)。   Here, in the memory inspection system 1 according to the present embodiment, the delay transmission line Pn is the same as the total number of buffers 201 to 204 provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd. Buffer is provided. Further, a structure of a transistor constituting an inverter connected on the addressing transmission line Pa and a data transmission line Pd, and a structure of a transistor constituting an inverter connected on the delay transmission line Pn, Are configured to match. By doing so, the temperature characteristics of all the transistors constituting the buffers 201 to 204 are equalized, and therefore the response characteristics deteriorate in the buffers arranged on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd. And the degree of deterioration of the response characteristics of the buffer arranged on the delay transmission line Pn coincide with each other. Accordingly, the delay time of the second latch signal L2 with respect to the first latch signal L1 is equivalent to the delay time td of the data signal Sd with respect to the addressing signal Sa (see the lower part of FIG. 4).

図4下段に示すように、高温時においても、アドレス指定信号Saは、第1ラッチ信号L1と同期するように出力される。しかしながら、データ信号Sdは、アドレス指定信号Saに対し遅延時間tdの遅延が生じて入力されることから、このデータ信号Sdは、当該第1ラッチ信号L1から遅延時間tdだけずれたタイミングでHighからLow、LowからHighへと遷移する。また、第2ラッチ信号L2も、第1ラッチ信号L1に対し遅延時間tdの遅延が生じて入力されることから、この第2ラッチ信号L2は、当該第1ラッチ信号L1から遅延時間tdだけずれたタイミングでHighからLow、LowからHighへと遷移する(図4下段参照)。その結果、データ信号Sdに対する第2ラッチ信号L2の遅延は、相対的にゼロとなる。   As shown in the lower part of FIG. 4, the addressing signal Sa is output so as to be synchronized with the first latch signal L1 even at a high temperature. However, since the data signal Sd is input with a delay of the delay time td relative to the addressing signal Sa, the data signal Sd is shifted from High at a timing shifted from the first latch signal L1 by the delay time td. Transition from Low, Low to High. Further, since the second latch signal L2 is also input with a delay of the delay time td relative to the first latch signal L1, the second latch signal L2 is shifted from the first latch signal L1 by the delay time td. Transition from High to Low and from Low to High at the same timing (see the lower part of FIG. 4). As a result, the delay of the second latch signal L2 with respect to the data signal Sd is relatively zero.

第1の実施形態に係るメモリ検査用制御装置10のデータ読取部105は、第2ラッチ信号L2に指定されるタイミング、即ち、遅延が生じた第2ラッチ信号L2がLowからHighへ遷移する時刻T1’、T2’、T3’及びT4’において、データ信号Sdから読み取るべきデータを抽出する。ここで、タイミングT1’、T2’、T3’、T4’は、それぞれ、第1ラッチ信号L1に指定されるタイミングT1、T2、T3、T4に対して遅延時間tdだけ遅延したタイミングとなる。
具体的には、図4下段に記載したデータ信号Sdの白丸に示す部分の論理値が読み取られる。図4下段に示す例によれば、時刻T1’〜T4’において読み取られた読取データは、“0101”となる。このように、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1は、高温時において、第1ラッチ信号L1に対し遅延時間tdだけ遅延して遷移するデータ信号Sdを、当該第1ラッチ信号L1に対し同等の遅延時間tdだけ遅延した第2ラッチ信号L2に基づいて読み取るため、メモリ3に記憶されていたデータを正常に読み取ることができる。
The data reading unit 105 of the memory test control device 10 according to the first embodiment has a timing designated by the second latch signal L2, that is, a time at which the delayed second latch signal L2 transits from Low to High. At T1 ′, T2 ′, T3 ′, and T4 ′, data to be read is extracted from the data signal Sd. Here, the timings T1 ′, T2 ′, T3 ′, and T4 ′ are timings delayed by a delay time td from the timings T1, T2, T3, and T4 specified by the first latch signal L1, respectively.
Specifically, the logical value of the portion indicated by the white circle of the data signal Sd described in the lower part of FIG. 4 is read. According to the example shown in the lower part of FIG. 4, the read data read at times T1 ′ to T4 ′ is “0101”. As described above, the memory test system 1 according to the first embodiment transfers the data signal Sd, which is delayed by the delay time td with respect to the first latch signal L1, at a high temperature, to the first latch signal L1. Since reading is performed based on the second latch signal L2 delayed by the equivalent delay time td, the data stored in the memory 3 can be read normally.

以上、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1は、検査に用いる信号(アドレス指定信号Sa、データ信号Sd)と同程度の遅延を意図的に生じさせたラッチ信号(第2ラッチ信号L2)に基づいてデータの読み取りを行うので、環境温度に起因して生じる特性変動が相殺され、メモリに記憶されたデータを正しく読み取ることができる。したがって、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1によれば、種々の環境下に置かれた場合であっても、検査対象とするメモリを精度よく検査できる。   As described above, in the memory inspection system 1 according to the first embodiment, the latch signal (second latch signal L2) that intentionally causes the same delay as the signals used for the inspection (address designation signal Sa, data signal Sd). Therefore, the characteristic variation caused by the environmental temperature is canceled, and the data stored in the memory can be read correctly. Therefore, according to the memory inspection system 1 according to the first embodiment, it is possible to accurately inspect a memory to be inspected even when placed in various environments.

また、本実施形態に係るメモリ検査システム1において、遅延用伝送配線Pnには、アドレス指定信号Saの伝送配線(アドレス指定用伝送配線Pa)上、及び、データ信号Sdの伝送配線(データ用伝送配線Pd)上に設けられたバッファの総数と同じ数のバッファが設けられている。これにより、第1ラッチ信号L1に対する第2ラッチ信号L2の遅延時間を、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間に近づけることができる。したがって、一層精度よくメモリを検査できる。   In the memory inspection system 1 according to the present embodiment, the delay transmission line Pn includes a transmission line for the address designation signal Sa (address designation transmission line Pa) and a transmission line for the data signal Sd (data transmission). The same number of buffers as the total number of buffers provided on the wiring Pd) are provided. Thereby, the delay time of the second latch signal L2 with respect to the first latch signal L1 can be brought close to the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa. Therefore, the memory can be inspected with higher accuracy.

また、本実施形態に係るメモリ検査システム1は、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造と、遅延用伝送配線Pn上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造と、が一致するように構成される。これにより、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられたバッファと、延用伝送配線Pn上に設けられたバッファと、の応答特性の温度依存性が同等となる。したがって、第1ラッチ信号L1に対する第2ラッチ信号L2の遅延時間を、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間に一層近づけることができる。   In addition, the memory inspection system 1 according to the present embodiment is provided on the transmission line Pa for addressing and the structure of the transistors constituting the buffers provided on the transmission line Pd for data and the transmission line Pn for delay. The structure of the transistor that constitutes the buffer is configured to match. As a result, the temperature dependence of the response characteristics of the buffer provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd and the buffer provided on the extension transmission line Pn are equal. . Therefore, the delay time of the second latch signal L2 with respect to the first latch signal L1 can be made closer to the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa.

また、第1の実施形態において、遅延用伝送配線Pnは、設計上可能な範囲で、アドレス指定用伝送配線Sa及びデータ用伝送配線Pdに沿うように配される。このようにすることで、アドレス指定用伝送配線Sa及びデータ用伝送配線Pdに生じる温度分布と、遅延用伝送配線Pnに生じる温度分布と、を近似させることができるので、第1ラッチ信号L1に対する第2ラッチ信号L2の遅延時間を、アドレス指定信号Saに対するデータ信号Sdの遅延時間に一層近づけることができる。   In the first embodiment, the delay transmission line Pn is arranged along the addressing transmission line Sa and the data transmission line Pd as far as possible in design. In this way, the temperature distribution generated in the addressing transmission line Sa and the data transmission line Pd and the temperature distribution generated in the delay transmission line Pn can be approximated. The delay time of the second latch signal L2 can be made closer to the delay time of the data signal Sd with respect to the address designation signal Sa.

以上、第1の実施形態に係るメモリ検査システム1について詳細に説明したが、本実施形態に係るメモリ検査システム1の具体的な態様は、上述のものに限定されることはなく、要旨を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を加えることは可能である。   As described above, the memory inspection system 1 according to the first embodiment has been described in detail. However, a specific aspect of the memory inspection system 1 according to the present embodiment is not limited to the above-described one, and departs from the gist. It is possible to add various design changes and the like within the range not to be performed.

例えば、他の実施形態に係るメモリ検査システム1において、遅延用伝送配線Pnに設けられるバッファの数は、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられたバッファの総数と、必ずしも同じ数である必要はない。
また、他の実施形態に係るメモリ検査システム1において、アドレス指定用伝送配線Pa上、及び、データ用伝送配線Pd上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造と、遅延用伝送配線Pn上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造とは、必ずしも一致するように構成されなくともよい。
即ち、遅延用伝送配線Pn上に配されるバッファの数、及び、当該バッファを構成するトランジスタの構造は、第1ラッチ信号を所望の遅延時間だけ遅延させるという目的が達成可能な範囲で変更可能である。例えば、遅延用伝送配線Pnは、一つのバッファのみを有する態様であってもよい。この場合であっても、遅延用伝送配線Pnは、当該一つのバッファに基づいて、第1ラッチ信号を所定の遅延時間だけ遅延させることができる。
For example, in the memory inspection system 1 according to another embodiment, the number of buffers provided in the delay transmission line Pn is the total number of buffers provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd. And the number need not necessarily be the same.
In the memory inspection system 1 according to another embodiment, the structure of the transistors constituting the buffers provided on the addressing transmission line Pa and the data transmission line Pd and the delay transmission line Pn are also provided. The structure of the transistor included in the provided buffer is not necessarily matched.
In other words, the number of buffers arranged on the delay transmission line Pn and the structure of the transistors constituting the buffers can be changed as long as the purpose of delaying the first latch signal by a desired delay time can be achieved. It is. For example, the delay transmission line Pn may have only one buffer. Even in this case, the delay transmission line Pn can delay the first latch signal by a predetermined delay time based on the one buffer.

また、上述の各実施形態において、遅延発生部20は、少なくとも一つ以上のバッファを有する遅延用伝送配線Pnで構成されるものとして説明したが、他の実施形態においてはこの態様に限定されない。例えば、他の実施形態に係る遅延発生部20は、遅延発生用の論理回路(遅延用論理回路)で構成される態様であってもよい。ここで、遅延用論理回路は、入力された論理信号(第1ラッチ信号L1)を、予め規定された所定の時間だけ遅延させて出力する機能を有する。   Further, in each of the above-described embodiments, the delay generation unit 20 has been described as being configured by the delay transmission wiring Pn having at least one buffer, but the other embodiments are not limited to this mode. For example, the delay generation unit 20 according to another embodiment may be configured by a delay generation logic circuit (delay logic circuit). Here, the delay logic circuit has a function of delaying and outputting the input logic signal (first latch signal L1) for a predetermined time.

<第2の実施形態>
以下、第2の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図5は、第2の実施形態に係るメモリ検査システムの機能構成を示す図である。なお、第1の実施形態と同一の機能構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
図5に示すように、第2の実施形態に係るメモリ検査システム1の遅延発生部20は、遅延用伝送配線Pnと、メモリ内配線Pmと、を有してなる。ここで、メモリ内配線Pmは、検査対象であるメモリ3内に形成された信号配線であって、コネクタ11を介して遅延用伝送配線Pnと電気的に接続される。
<Second Embodiment>
Hereinafter, the second embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 5 is a diagram illustrating a functional configuration of the memory inspection system according to the second embodiment. In addition, about the same function structure as 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 5, the delay generation unit 20 of the memory inspection system 1 according to the second embodiment includes a delay transmission line Pn and an in-memory line Pm. Here, the in-memory wiring Pm is a signal wiring formed in the memory 3 to be inspected, and is electrically connected to the delay transmission wiring Pn via the connector 11.

具体的には、本実施形態に係る遅延用伝送配線Pnは、アドレス指定用伝送配線Paに沿って、メモリ検査用制御装置10のラッチ信号出力部102とバッファ201、及び、バッファ201とバッファ202とを順次接続するように引き回される。また、遅延用伝送配線Pnは、バッファ202とコネクタ11の接続点X1を接続するように引き回される。これにより、遅延用伝送配線Pnは、接続点X1を介してメモリ内配線Pmと電気的に接続される。   Specifically, the delay transmission line Pn according to the present embodiment includes the latch signal output unit 102 and the buffer 201 and the buffer 201 and the buffer 202 of the memory test control device 10 along the addressing transmission line Pa. Are sequentially connected to each other. The delay transmission line Pn is routed so as to connect the buffer 202 and the connection point X1 of the connector 11. Thereby, the delay transmission line Pn is electrically connected to the in-memory line Pm via the connection point X1.

メモリ用配線Pmは、メモリ3内部において、コネクタ11の接続点X1と、コネクタ11の他の接続点X2とを電気的に接続するように配されている(図5参照)。メモリ用配線Pmは、接続点X2を介して、他方側の遅延用伝送配線Pnに接続される。当該他方側の遅延用伝送配線Pnは、データ用伝送配線Pdに沿って、接続点X2とバッファ203、バッファ203とバッファ204、バッファ204とラッチ信号入力部104とを接続するように引き回される。
ラッチ信号出力部102が出力した第1ラッチ信号L1は、上述のように配された遅延用伝送配線Pn及びメモリ内配線Pmを経由して、第2ラッチ信号L2としてラッチ信号入力部104に入力される。
The memory wiring Pm is arranged inside the memory 3 so as to electrically connect the connection point X1 of the connector 11 and the other connection point X2 of the connector 11 (see FIG. 5). The memory wiring Pm is connected to the delay transmission wiring Pn on the other side via the connection point X2. The other delay transmission line Pn is routed so as to connect the connection point X2 and the buffer 203, the buffer 203 and the buffer 204, and the buffer 204 and the latch signal input unit 104 along the data transmission line Pd. The
The first latch signal L1 output from the latch signal output unit 102 is input to the latch signal input unit 104 as the second latch signal L2 via the delay transmission wiring Pn and the in-memory wiring Pm arranged as described above. Is done.

ここで、アドレス指定信号Saは、メモリ検査システム1からコネクタ11を経由してメモリ3に入力される。同様に、データ信号Sdは、メモリ3からコネクタ11を経由してメモリ検査システム1に入力される。したがって、コネクタ11の電気的特性が所定の温度依存性を有する場合、コネクタ11の電気的特性の変動に起因して遅延が生じ得る。   Here, the address designation signal Sa is input from the memory inspection system 1 to the memory 3 via the connector 11. Similarly, the data signal Sd is input from the memory 3 to the memory inspection system 1 via the connector 11. Therefore, when the electrical characteristics of the connector 11 have a predetermined temperature dependence, a delay may occur due to fluctuations in the electrical characteristics of the connector 11.

しかし、第2の実施形態に係るメモリ検査システム1によれば、遅延用伝送配線Pnは、検査対象であるメモリ3が接続されたコネクタ11、及び、当該メモリ3内に形成されたメモリ内配線Pmを介して引き回されている。このようにすることで、第1ラッチ信号L1に対する第2ラッチ信号L2の遅延時間に、コネクタ11の電気特性の影響を加味することができる。したがって、コネクタ11の電気特性の影響が加味された第2ラッチ信号に基づいて、データの読み取りを実施することで、コネクタ11で生じ得る電気特性の変動による影響を相殺することができ、メモリ3のデータを一層精度よく読み取ることができる。   However, according to the memory inspection system 1 according to the second embodiment, the delay transmission wiring Pn includes the connector 11 to which the memory 3 to be inspected is connected, and the in-memory wiring formed in the memory 3. It is routed through Pm. By doing in this way, the influence of the electrical characteristic of the connector 11 can be added to the delay time of the second latch signal L2 with respect to the first latch signal L1. Therefore, by reading data based on the second latch signal in which the influence of the electrical characteristics of the connector 11 is taken into account, the influence due to the fluctuation of the electrical characteristics that can occur in the connector 11 can be offset, and the memory 3 Can be read with higher accuracy.

以上、第2の実施形態に係るメモリ検査システム1によれば、ラッチ信号を遅延させるための伝送配線の構成を、アドレス指定信号Sa及びデータ信号Sdが伝送する伝送配線の構成に一層近づけることができるので、検査対象とするメモリを更に精度よく検査できる。   As described above, according to the memory inspection system 1 according to the second embodiment, the configuration of the transmission wiring for delaying the latch signal can be made closer to the configuration of the transmission wiring for transmitting the address specification signal Sa and the data signal Sd. As a result, the memory to be inspected can be inspected more accurately.

また、上述の各実施形態においては、メモリ検査用制御装置10の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより各手順を行うものとしている。ここで、上述したメモリ検査用制御装置10の各処理の過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって上記各種処理が行われる。ここで、コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、DVD−ROM、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。
また、メモリ検査用制御装置10の各機能構成が、ネットワークで接続される複数の装置に渡って具備される態様であってもよい。
In each of the above-described embodiments, a program for realizing the function of the memory inspection control device 10 is recorded on a computer-readable recording medium, and the program recorded on the recording medium is read by a computer system. Each procedure is to be performed by executing. Here, each process of the memory inspection control device 10 described above is stored in a computer-readable recording medium in the form of a program, and the above-described various processes are performed by the computer reading and executing the program. Is called. Here, the computer-readable recording medium refers to a magnetic disk, a magneto-optical disk, a CD-ROM, a DVD-ROM, a semiconductor memory, and the like. Alternatively, the computer program may be distributed to the computer via a communication line, and the computer that has received the distribution may execute the program.
In addition, each functional configuration of the memory inspection control device 10 may be provided across a plurality of devices connected via a network.

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものとする。   As mentioned above, although some embodiment of this invention was described, these embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the invention described in the claims and equivalents thereof, as long as they are included in the scope and gist of the invention.

1 メモリ検査システム
10 メモリ検査用制御装置
101 アドレス指定部
102 ラッチ信号出力部
103 データ入力部
104 ラッチ信号入力部
105 データ読取部
11 コネクタ
20 遅延発生部
201、202、203、204 バッファ
3 メモリ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Memory inspection system 10 Memory inspection control apparatus 101 Address designation part 102 Latch signal output part 103 Data input part 104 Latch signal input part 105 Data reading part 11 Connector 20 Delay generation part 201, 202, 203, 204 Buffer 3 Memory

Claims (4)

メモリに対しアドレスを指定するためのアドレス指定信号を出力するアドレス指定部と、
前記アドレス指定信号に同期する第1ラッチ信号を出力するラッチ信号出力部と、
前記メモリから前記指定されたアドレスに対応するデータ信号の入力を受け付けるデータ入力部と、
前記第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号の入力を受け付けるラッチ信号入力部と、
前記第2ラッチ信号に指定されるタイミングに基づいて前記データ信号で示されるデータを読み取るデータ読取部と、
を備えるメモリ検査用制御装置と、
前記第1ラッチ信号の入力を受け付けて、当該第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた前記第2ラッチ信号を出力する遅延発生部と、
を備え、
前記遅延発生部は、
一つ以上のバッファが設けられた遅延用伝送配線であり、
前記遅延用伝送配線は、
前記アドレス指定信号の伝送配線上、及び、前記データ信号の伝送配線上に設けられたバッファの総数と同じ数のバッファが設けられている
メモリ検査システム。
An address designating unit for outputting an address designating signal for designating an address to the memory;
A latch signal output unit for outputting a first latch signal synchronized with the address designation signal;
A data input unit for receiving an input of a data signal corresponding to the designated address from the memory;
A latch signal input unit for receiving an input of a second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the addressing signal;
A data reading unit that reads data indicated by the data signal based on the timing specified by the second latch signal;
A memory inspection control device comprising:
A delay generator for receiving the input of the first latch signal and outputting the second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the addressing signal;
With
The delay generator is
A transmission line for delay provided with one or more buffers,
The delay transmission wiring is
A memory inspection system in which the same number of buffers as the total number of buffers provided on the address specification signal transmission line and the data signal transmission line are provided .
前記アドレス指定信号の伝送配線上、及び、前記データ信号の伝送配線上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造と、前記遅延用伝送配線上に設けられたバッファを構成するトランジスタの構造と、が一致する
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ検査システム。
A structure of a transistor constituting a buffer provided on the transmission wiring of the addressing signal and a transmission line of the data signal; and a structure of a transistor constituting a buffer provided on the transmission wiring for delay; The memory inspection system according to claim 1 , wherein:
前記遅延用伝送配線は、
更に、前記メモリが接続されたコネクタを介して引き回されている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のメモリ検査システム。
The delay transmission wiring is
The memory inspection system according to claim 1 , wherein the memory is routed through a connector to which the memory is connected.
メモリに対しアドレスを指定するためのアドレス指定信号を出力するステップと、
前記アドレス指定信号に同期する第1ラッチ信号を出力するステップと、
前記メモリから前記指定されたアドレスに対応するデータ信号の入力を受け付けるステップと、
前記第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた第2ラッチ信号の入力を受け付けるステップと、
前記第2ラッチ信号に指定されるタイミングに基づいて前記データ信号で示されるデータを読み取るステップと、
遅延発生部が、前記第1ラッチ信号の入力を受け付けて、当該第1ラッチ信号を、前記アドレス指定信号に対する前記データ信号の遅延時間に応じた時間だけ遅延させた前記第2ラッチ信号を出力するステップと、
を有し、
前記遅延発生部は、
一つ以上のバッファが設けられた遅延用伝送配線であり、
前記遅延用伝送配線は、
前記アドレス指定信号の伝送配線上、及び、前記データ信号の伝送配線上に設けられたバッファの総数と同じ数のバッファが設けられている
メモリ検査方法。
Outputting an address designation signal for designating an address to the memory;
Outputting a first latch signal synchronized with the addressing signal;
Receiving an input of a data signal corresponding to the designated address from the memory;
Receiving an input of a second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to a delay time of the data signal with respect to the addressing signal;
Reading the data indicated by the data signal based on the timing specified by the second latch signal;
A delay generation unit receives the input of the first latch signal and outputs the second latch signal obtained by delaying the first latch signal by a time corresponding to the delay time of the data signal with respect to the address designation signal. Steps,
Have
The delay generator is
A transmission line for delay provided with one or more buffers,
The delay transmission wiring is
The same number of buffers as the total number of buffers provided on the address signal transmission wiring and the data signal transmission wiring are provided.
Memory inspection method.
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