JP6362495B2 - レーザビーム評価装置 - Google Patents
レーザビーム評価装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6362495B2 JP6362495B2 JP2014192161A JP2014192161A JP6362495B2 JP 6362495 B2 JP6362495 B2 JP 6362495B2 JP 2014192161 A JP2014192161 A JP 2014192161A JP 2014192161 A JP2014192161 A JP 2014192161A JP 6362495 B2 JP6362495 B2 JP 6362495B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- optical fiber
- output
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
このレーザビーム評価装置によれば、レーザビームの3つの特性(空間光強度分布と出力経時変化とエネルギー)の測定を別々に行う必要が無く、同一のレーザビームに関するこれらの3つの特性を一括計測することが可能である。また、複数の特性測定装置の間の整合性や誤差を最小にするために行われていた個々の特性測定装置の長時間の調整作業を削減できる。
この構成によれば、レーザビームの3つの特性(空間光強度分布と出力経時変化とエネルギー)の測定を同時に行うことができる。
この構成によれば、レーザビーム特性に問題が生じている場合に、その問題がレーザ出射ユニットに起因するか否かを容易に判定することができる。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
レーザビーム評価装置の構成としては、図1に示したもの以外の種々の構成を適用することが可能である。また、3つの分割レーザビームLB1,LB2,LB3を得るための光学系としては、図1に示した結像光学系以外の種々の構成を採用することが可能である。
上記実施形態では、1レーザビームパルスのエネルギーを測定していたが、この代わりに、連続する所定の複数個のレーザビームパルスのエネルギーの合計を測定するようにしても良く、或いは、所定の時間内におけるレーザエネルギーの合計を測定するようにしてもよい。
200…レーザビーム評価装置
202…基盤
210…機械式マウント
212…レーザ出射ユニット
214…固定部
220…光ファイバアダプタ
222…アダプタ部
224…固定部
230…結像光学系
232…平行化レンズ
234…ビームスプリッタ
234a…表面(入射面)
234b…裏面
236…減光フィルタ
238…結像レンズ
250…光電効果型光センサ
260…レーザパワーメータ
270…出力波形レコーダ
280…データ解析装置
Claims (1)
- レーザ発振装置から出力されたレーザビームの評価を行うレーザビーム評価装置であって、
レーザビームの空間光強度分布を計測する2次元光センサアレイと、
レーザビームの出力経時変化を計測する光電効果型光センサと、
レーザビームのエネルギーを計測するレーザパワーメータと、
一つのレーザビームを3つの分割レーザビームに分割するビームスプリッタと、
を備え、
前記一つのレーザビームから分割された前記3つの分割レーザビームを用いて前記一つのレーザビームに関する空間光強度と出力経時変化とエネルギーを同時に計測することが可能であり、
前記レーザビーム評価装置は、更に、
前記レーザ発振装置から出力されたレーザビームを前記2次元光センサアレイに結像する結像光学系と、
光ファイバを介して前記レーザ発振装置と接続されたレーザ出射ユニットのビーム結像位置が、前記結像光学系の物体基準位置に位置決めされるように前記レーザ出射ユニットを固定する機械式マウントと、
前記レーザ発振装置に接続された光ファイバの出射端が、前記結像光学系の物体基準位置に位置決めされるように前記光ファイバを固定する光ファイバアダプタと、
を備え、
前記機械式マウントと前記光ファイバアダプタとを交換することによって、前記レーザ出射ユニットのビーム結像位置と前記光ファイバの出射端とのいずれかを前記結像光学系の物体基準位置に位置決めすることが可能であることを特徴とするレーザビーム評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014192161A JP6362495B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | レーザビーム評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014192161A JP6362495B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | レーザビーム評価装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016061750A JP2016061750A (ja) | 2016-04-25 |
JP6362495B2 true JP6362495B2 (ja) | 2018-07-25 |
Family
ID=55797685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014192161A Expired - Fee Related JP6362495B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | レーザビーム評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6362495B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106949961B (zh) * | 2017-03-22 | 2018-07-31 | 精微视达医疗科技(武汉)有限公司 | 光功率实时监测与反馈方法及装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3633904B2 (ja) * | 2002-03-15 | 2005-03-30 | 川崎重工業株式会社 | X線発生方法およびx線発生装置 |
US7486705B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
JP4677392B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2011-04-27 | 住友重機械工業株式会社 | パルスレーザ熱処理装置とその制御方法 |
JP2008122202A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Marubun Corp | ビーム観察装置 |
US8098438B2 (en) * | 2008-02-27 | 2012-01-17 | Dmitry Starodubov | Power monitoring device for powerful fiber laser systems |
US8526473B2 (en) * | 2008-03-31 | 2013-09-03 | Electro Scientific Industries | Methods and systems for dynamically generating tailored laser pulses |
JP5220941B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2013-06-26 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター | パルス整形装置、パルス整形方法、及び電子銃 |
-
2014
- 2014-09-22 JP JP2014192161A patent/JP6362495B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016061750A (ja) | 2016-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6462140B2 (ja) | 溶接シームの深さをリアルタイムで測定するための装置 | |
US10245683B2 (en) | Apparatus and method for beam diagnosis on laser processing optics | |
JP6283562B2 (ja) | 物体の3次元構造を検出する装置 | |
US8520218B2 (en) | Measuring method of refractive index and measuring apparatus of refractive index | |
KR102267532B1 (ko) | 레이저 빔을 모니터링하는 디바이스 및 방법 | |
CN101529200A (zh) | 确定表面和厚度 | |
US10481264B2 (en) | Laser processing device and laser processing system | |
JP6063166B2 (ja) | 干渉計方式により間隔測定するための機構 | |
US20210260663A1 (en) | Methods for detecting a working area of a generative manufacturing device and manufacturing devices for generatively manufacturing components from a powder material | |
WO2012170275A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
JP6362495B2 (ja) | レーザビーム評価装置 | |
WO2019187422A1 (ja) | 測距ユニット及び光照射装置 | |
JP2017037041A (ja) | 計測装置 | |
JP2009168519A (ja) | 光を分割する光学素子の検査装置及び光を分割する光学素子の検査方法 | |
US10247660B2 (en) | Laser displacement meter and laser ultrasonic inspection apparatus using the same | |
KR20160073785A (ko) | 레이저 가공 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법 | |
JP7064606B2 (ja) | レーザ加工システムの焦点位置を特定する装置、それを備えたレーザ加工システム、および、レーザ加工システムの焦点位置の特定方法 | |
US11016036B2 (en) | Reflected light measurement device | |
EP4078235A1 (fr) | Calibration d'un systeme lidar | |
JP2023509081A (ja) | 共焦点距離測定によるワークピースの制御された機械加工方法及び装置 | |
TWI583928B (zh) | 多功能雷射量測裝置及其方法 | |
JP2016038213A (ja) | 外形寸法測定装置及び外形寸法測定方法 | |
US11179800B2 (en) | Laser processing device | |
WO2016031890A1 (ja) | 断層像撮影装置 | |
KR102116618B1 (ko) | 광학 시편 표면 검사 장치 및 그 제어 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180626 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6362495 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |