JP6354591B2 - X-ray analyzer - Google Patents
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Description
本発明はX線分析装置に関し、さらに詳しくは、エネルギ分散型のX線分析装置に関する。 The present invention relates to an X-ray analyzer, and more particularly to an energy dispersive X-ray analyzer.
X線分析装置においては、一般に、試料に励起用のX線を照射することによって生じる蛍光X線(特性X線)を検出し、その蛍光X線のエネルギ(波長)と強度(線量)を求める。試料から放出される蛍光X線(特性X線)は元素に固有のエネルギ(波長)を持つことから、蛍光X線のエネルギ(波長)を求めることによって試料に含まれる元素を同定することができ、その強度(線量)から元素の濃度を知ることができる。 In an X-ray analyzer, generally, fluorescent X-rays (characteristic X-rays) generated by irradiating a sample with excitation X-rays are detected, and energy (wavelength) and intensity (dose) of the fluorescent X-rays are obtained. . Since the fluorescent X-rays (characteristic X-rays) emitted from the sample have energy (wavelength) inherent to the element, the elements contained in the sample can be identified by obtaining the energy (wavelength) of the fluorescent X-rays. The concentration of the element can be known from the intensity (dose).
X線分析装置においては、蛍光X線のエネルギ(波長)の分析の仕方により、エネルギ分散型と波長分散型に分類される。エネルギ分散型のX線分析装置においては、試料から放出される蛍光X線をそのまま半導体検出器等からなるX線検出器で検出し、その検出出力の波高がX線のエネルギに相関することを利用し、X線検出器の出力信号を波長分析して波高ごと、つまりエネルギごとに弁別し、エネルギごとの線量を求める。一方、波長分散型のX線分析装置においては、試料から放出される蛍光X線を分光結晶を用いて波長ごとに分光し、特定波長の蛍光X線を選別してX線検出器で検出する。 The X-ray analyzer is classified into an energy dispersion type and a wavelength dispersion type depending on how to analyze the energy (wavelength) of fluorescent X-rays. In an energy dispersive X-ray analyzer, fluorescent X-rays emitted from a sample are directly detected by an X-ray detector such as a semiconductor detector, and the detected output wave height is correlated with the X-ray energy. Using this, the output signal of the X-ray detector is subjected to wavelength analysis and discriminated for each wave height, that is, for each energy, and the dose for each energy is obtained. On the other hand, in a wavelength dispersive X-ray analyzer, fluorescent X-rays emitted from a sample are dispersed for each wavelength using a spectroscopic crystal, and fluorescent X-rays having a specific wavelength are selected and detected by an X-ray detector. .
以上の2種のX線分析装置のうち、エネルギ分散型の装置では、波長選別を行わずに試料から放出された蛍光X線を直接的にX線検出器で検出するため、波長分散型の装置のように波長選択のための機械的な波長走査が不要であり、同時に多数の波長情報が得られることから、装置構成が簡単で、蛍光X線スペクトルを取得するための所要時間が短いという特徴がある(例えば特許文献1参照)。 Of the two types of X-ray analyzers described above, the energy dispersive type apparatus directly detects the fluorescent X-rays emitted from the sample without performing wavelength selection with an X-ray detector. Mechanical wavelength scanning for wavelength selection is not required as in the apparatus, and a large amount of wavelength information can be obtained at the same time. Therefore, the apparatus configuration is simple and the time required for acquiring the fluorescent X-ray spectrum is short. There is a feature (see, for example, Patent Document 1).
ところで、エネルギ分散型X線分先装置で用いられるX線検出器には、エネルギ分解能に優れたSi(Li)半導体検出器やシリコンドリフト検出器などが用いられるが、これらの検出器は、長時間にわたるX線の曝射により劣化する。エネルギ分散型X線分析装置においてX線検出器が劣化すると、当然のことながら正確な測定はできなくなる。したがって、ある程度以上劣化が進行する前にX線検出器を交換することが望ましいが、X線検出器の劣化を予測して交換時期を報知ないしは通知する機能を持つX線分析装置は現時点において知られていない。 By the way, Si (Li) semiconductor detectors and silicon drift detectors having excellent energy resolution are used as the X-ray detectors used in the energy dispersive X-ray tipping device. Deteriorated by X-ray exposure over time. If the X-ray detector deteriorates in the energy dispersive X-ray analyzer, it is natural that accurate measurement cannot be performed. Therefore, it is desirable to replace the X-ray detector before the deterioration proceeds to a certain extent. However, an X-ray analyzer having a function of predicting the deterioration of the X-ray detector and notifying or notifying the replacement time is currently known. It is not done.
一方、この種の分析装置における他の構成部材のうち、長期使用により劣化する部材、例えばX線管球については既に多くの提案がなされており、それらは基本的に、X線管球のON時間をカウントし、そのカウント値と、あらかじめ設定されている寿命ないしは保証時間との比較により交換時期に係る情報を報知するようにしている(例えば特許文献2参照)。 On the other hand, among other components in this type of analyzer, many proposals have already been made for members that deteriorate due to long-term use, such as X-ray tubes. Time is counted, and information related to the replacement time is reported by comparing the count value with a preset lifetime or guaranteed time (see, for example, Patent Document 2).
ところで、エネルギ分散型X線分析装置に用いられるX線検出器(半導体検出器)について、劣化してしまう前にその交換時期などを報知する機能を持たせようとした場合に、容易に考えられるのは前記した特許文献2等に示されているX線管球の交換時期報知と同様な機能である。すなわち、X線検出器のON時間を積算し、一定の時間に到達した時点で交換時期が到来した旨を報知する機能である。しかしながら、このような手法では、X線検出器の交換時期を正しく報知することはできない。 By the way, an X-ray detector (semiconductor detector) used in an energy dispersive X-ray analyzer can be easily considered when it is intended to have a function for notifying the replacement time before it deteriorates. This is the same function as the notification of the replacement time of the X-ray tube shown in Patent Document 2 and the like described above. That is, it is a function of accumulating the ON time of the X-ray detector and notifying that the replacement time has come when a certain time is reached. However, with such a method, it is impossible to correctly notify the replacement time of the X-ray detector.
すなわち、X線検出器は、当該検出器が曝されているX線の強度とエネルギが高い場合に劣化の可能性が高くなるのであり、単にX線検出器のON時間を積算しただけでは劣化の進行の程度を表すパラメータとはなり得ない。 That is, the X-ray detector has a high possibility of deterioration when the intensity and energy of the X-ray to which the detector is exposed is high, and it is deteriorated by simply integrating the ON time of the X-ray detector. It cannot be a parameter that represents the degree of progression.
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、エネルギ分散型X線分析装置におけるX線検出器の劣化を正確に推定して交換時期を報知することをその課題としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to accurately estimate the deterioration of the X-ray detector in the energy dispersive X-ray analyzer and notify the replacement time.
上記の課題を解決するため、本発明のX線分析装置は、試料に励起用X線を照射して生じる蛍光X線を検出するX線検出器と、そのX線検出器の出力信号の波高分析を行う波高分析手段と、その波高分析された信号を、あらかじめ設定された測定時間分だけ各波高ごとに計数する計数手段を有し、その計数結果から試料に含まれる元素とその濃度を求めるX線分析装置において、上記計数手段とは別に、検出器寿命予測用計数手段を備え、この検出器寿命予測用計数手段は、上記X線検出器の使用開始時点から、波高分析された信号を各波高ごとに常時計数して累積していくとともに、その検出器寿命予測用計数手段による計数結果が、あらかじめ設定されている条件に到達したか否かを判別する判別手段を有し、この判別手段による判別結果に基づき、上記条件に到達した時点で、上記X線検出器の交換時期到来の旨の報知を行う報知手段を備えていることによって特徴づけられる(請求項1)。 In order to solve the above problems, an X-ray analyzer of the present invention includes an X-ray detector that detects fluorescent X-rays generated by irradiating a sample with excitation X-rays, and a wave height of an output signal of the X-ray detector. It has a wave height analyzing means for performing analysis and a counting means for counting the wave height analyzed signal for each wave height for a preset measurement time, and the element contained in the sample and its concentration are obtained from the counting result. In the X-ray analysis apparatus, a detector life prediction counting means is provided separately from the counting means, and the detector life prediction counting means outputs a signal whose wave height has been analyzed from the start of use of the X-ray detector. There is a discriminating means for constantly counting and accumulating for each wave height, and discriminating whether or not the counting result by the detector life prediction counting means has reached a preset condition. Discrimination by means Based on, upon reaching the above condition, characterized by that it comprises a notifying means for reporting purport of arrival replacement timing of the X-ray detector (claim 1).
ここで、本発明においては、上記X線検出器の交換時期到来の条件が、上記検出器寿命予測用計数手段による各波高ごとの信号の計数値を、波高が高いほど重みを付して加算してなる重み付け加算値が、あらかじめ設定されているしきい値に到達していることとする構成(請求項2)を好適に採用することができる。 Here, in the present invention, the condition for arrival of the replacement time of the X-ray detector is that the count value of the signal for each wave height by the detector life prediction counting means is weighted and added as the wave height increases. It is possible to suitably employ a configuration (claim 2) in which the weighted addition value thus formed has reached a preset threshold value.
また、本発明においては、上記X線検出器の交換時期到来の条件が、上記検出器寿命予測用計数手段による各波高ごとの信号の計数値のうち、あらかじめ設定されている波高以上の高さの信号の計数値の合計が、あらかじめ設定されているしきい値に到達していることとする構成(請求項3)を採用することもできる。 Further, in the present invention, the condition for arrival of the replacement time of the X-ray detector is a height equal to or higher than a preset wave height among the count values of the signals for each wave height by the detector life prediction counting means. It is also possible to adopt a configuration (claim 3) in which the sum of the count values of the signals reaches a preset threshold value.
そして、本発明においては、上記検出器寿命予測用計数手段には、上記波高分析手段とは別に設けられる専用の波高分析手段により分析された信号が供給され、この専用の波高分析手段には、上記X線検出器からの信号を、あらかじめ設定されている短い信号整形時定数のもとに整形した信号が供給されるように構成する(請求項4)ことが好ましい。 In the present invention, the detector life prediction counting means is supplied with a signal analyzed by a dedicated wave height analyzing means provided separately from the wave height analyzing means. It is preferable that a signal obtained by shaping the signal from the X-ray detector based on a preset short signal shaping time constant is supplied (claim 4).
本発明は、X線検出器の劣化の進行度合いを表すパラメータとなり得る、当該検出器が曝されたX線の強度とエネルギを、自らの出力を波高分析して各波高ごとに計数していくことによって求めるとともに、その計数には、測定時間分の計数を行う分析用の計数手段とは別の計数手段(検出器寿命予測用計数手段)を用いて常時計数することで、課題を解決しようとするものである。 The present invention counts the intensity and energy of X-rays to which the detector is exposed, which can be a parameter indicating the degree of progress of the deterioration of the X-ray detector, by analyzing the output of the detector for each wave height. The problem is solved by always counting using a counting means (counting means for predicting the detector life) different from the counting means for analysis that counts for the measurement time. It is what.
すなわち、X線検出器の出力を波高分析し、各波高ごとに計数することによって当該検出器が曝されたX線の強度とエネルギを知ることができ、X線検出器の使用開始からの累積結果は、このX線検出器の劣化の進行を表すパラメータとなり得る。しかしながら、試料の分析のための計数手段(この種の分析装置が基本的構成要素として元来的に備えている計数手段)は、設定された測定時間分の検出器出力の波高(X線エネルギ)ごとの計数を行うものであり、この計数手段による計数結果を複数回の測定にわたって加算したとしても、測定時間外にX線検出器が曝されたX線に関する情報は含まれない。つまり、この種の分析装置においては、測定に先立って電流調整等のための期間を設けて、その間に蛍光X線を検出しながら調整作業を行う。したがって、この調整期間中にX線検出器が曝されるX線に関しては、分析用の計数手段による計数結果には含まれない。 That is, by analyzing the wave height of the output of the X-ray detector and counting each wave height, it is possible to know the intensity and energy of the X-rays to which the detector has been exposed, and the accumulation from the start of use of the X-ray detector. The result can be a parameter representing the progress of the deterioration of the X-ray detector. However, the counting means for analyzing the sample (the counting means that this type of analyzer originally has as a basic component) has a detector output wave height (X-ray energy) for a set measurement time. ), And even if the counting results of the counting means are added over a plurality of measurements, information on the X-rays to which the X-ray detector was exposed outside the measurement time is not included. That is, in this type of analyzer, a period for current adjustment is provided prior to measurement, and adjustment is performed while detecting fluorescent X-rays during that period. Therefore, X-rays to which the X-ray detector is exposed during this adjustment period are not included in the counting result by the counting means for analysis.
そこで、本発明においては、分析用の計数手段とは別に、検出器寿命予測用の計数手段を設け、この検出器寿命予測用計数手段については、X線検出器の使用開始から、その全ての出力の波高分析結果を各波高ごとに常時計数するようにした。これにより、X線検出器が曝された全てのX線に関する情報を蓄積していくことができる。 Therefore, in the present invention, a counting means for predicting the detector life is provided separately from the counting means for analysis, and all of the detector life prediction counting means from the start of use of the X-ray detector. The output wave height analysis results are always counted for each wave height. Thereby, the information regarding all the X-rays to which the X-ray detector is exposed can be accumulated.
そして、上記の検出器寿命予測用計数手段による計数結果が、あらかじめ設定されている条件に達したことを判別手段で判別して、X線検出器の交換時機到来の旨を報知することで、劣化してしまうまでにX線検出器の交換を促すことができる。 Then, the counting result by the detector life prediction counting means is determined by the determining means that the preset condition has been reached, and by notifying that the X-ray detector is ready for replacement, It is possible to prompt the user to replace the X-ray detector before it deteriorates.
X線検出器の交換時期到来の条件としては、請求項2に係る発明のように、検出器寿命予測用計数手段による各波高ごとの信号の計数値を、波高が高いほど、したがってX線エネルギが大きいほど、重みを付して加算してなる重み付け加算値がしきい値に到達していることとするか、あるいは、請求項3に係る発明のように、検出器寿命予測用計数手段による各波高ごとの信号の計数値のうち、あらかじめ設定されている波高以上の高さの信号の計数値の合計が、あらかじめ設定されているしきい値に到達していることとすることができ、いずれも、X線検出器が受けたダメージの大きさがある限度に達したことを条件として交換時期到来の判断を行うものである。
As a condition for the arrival of the replacement time of the X-ray detector, as in the invention according to claim 2, the count value of the signal for each wave height by the detector life prediction counting means is set such that the higher the wave height, the higher the X-ray energy. The larger the value is, the weighted addition value obtained by weighting and adding reaches the threshold value or, as in the invention according to
さらに、この種の分析装置におけるX線検出器の出力は、各種ノイズやベースライン変動などが含まれ、これらの影響を除去するために、波高分析手段の前段で信号が適宜に整形される。この整形のための時間は信号整形時定数、あるいはピーキングタイムと称され、この時間を長くするほどSNが向上し、結果的に正確な波高分析が可能となるが、この時間中に次の信号が発生する、いわゆるパイルアップ現象が生じる確率が高くなる。このパイルアップされた信号を、正規の信号として波高分析を行わないために、波高分析手段の前にパイルアップリジェクタと称される回路手段を設け、パイルアップした信号を排除する手段を設けている。このようにパイルアップした信号を排除すると、波高分析手段による分析結果は、X線検出器に入射したX線の一部が欠落したものとなり、これを検出器寿命予測用計数手段で計数しても、X線検出器が曝されたX線を正確に表すものではなくなる。 Furthermore, the output of the X-ray detector in this type of analyzer includes various noises and baseline fluctuations, and in order to remove these influences, the signal is appropriately shaped before the wave height analyzing means. The time for shaping is called a signal shaping time constant or peaking time, and the longer this time is, the more the SN improves. As a result, accurate wave height analysis becomes possible. The probability of occurrence of a so-called pile-up phenomenon occurs. In order not to perform wave height analysis on the piled-up signal as a regular signal, circuit means called a pile-up rejector is provided in front of the wave height analyzing means, and means for eliminating the piled-up signal is provided. . If the signal piled up in this way is excluded, the analysis result by the wave height analyzing means is a part of the X-rays incident on the X-ray detector missing, and this is counted by the detector life prediction counting means. However, the X-ray detector does not accurately represent the exposed X-rays.
この不具合を解消するのが請求項4に係る発明である。この請求項4に係る発明においては、分析用の波高分析手段(この種の分析装置が基本的構成要素として元来的に有している波高分析手段)とは別に、検出器寿命予測用計数手段に対して専用の波高分析手段を設け、これにより、分析用の波高分析手段への入力信号については、SNを高くして分析の正確性を確保するためにピーキングタイムを長く設定しながら、検出器寿命予測用計数手段に対して専用に設けた波高分析手段への入力信号はピーキングタイムを短くして多少SNが悪くてもパイルアップを生じさせることなく、検出器寿命予測用計数手段にX線検出器からの全ての出力に関する波高分析結果を導くことが可能となる。これにより、X線検出器に入射した全てのX線の情報が得られ、これをX線検出器の交換時期の判断のための情報として用いることで、より正確な寿命予測が実現できる。 The invention according to claim 4 solves this problem. In the invention according to claim 4, apart from the wave height analyzing means for analysis (the wave height analyzing means which this type of analyzer originally has as a basic component), the detector life prediction count A dedicated wave height analyzing means is provided for the means, and for this, an input signal to the wave height analyzing means for analysis is set while increasing the peaking time in order to increase the SN and ensure the accuracy of analysis, The input signal to the wave height analyzing means provided exclusively for the detector life prediction counting means shortens the peaking time, and does not cause pileup even if the SN is somewhat worse, so that the detector life prediction counting means can be used. It becomes possible to derive the wave height analysis results for all the outputs from the X-ray detector. As a result, information on all X-rays incident on the X-ray detector is obtained, and by using this information as information for determining the replacement time of the X-ray detector, more accurate life prediction can be realized.
本発明によれば、X線検出器が曝されたX線の強度とエネルギを正確に検出し、その累積結果から当該検出器の劣化の進行の程度を把握して、検出器交換時期に関しての報知を行うことができ、検出器劣化に起因する問題の発生を未然に防止することができる。 According to the present invention, the intensity and energy of the X-rays to which the X-ray detector is exposed are accurately detected, the degree of progress of deterioration of the detector is grasped from the accumulated result, and the detector replacement timing is determined. Notification can be performed, and the occurrence of problems due to detector deterioration can be prevented in advance.
以下、本発明の実施の形態について、その構成を表す図1を参照しつつ説明する。
X線管球1からのX線は、コリメータ等(図示略)により所要の大きさに絞られて励起用X線11として試料Wに照射される。この励起用X線11の照射により試料Wから蛍光X線12が放出され、その蛍光X線12はSi(Li)検出器やシリコンドリフト検出器などの半導体検出器からなるX線検出器2によって検出される。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The X-ray from the
X線検出器2の出力は、前置増幅器3により電圧信号に変換され、従来と同様に比例増幅・信号整形部4aにより増幅と信号整形がなされた後、マルチチャンネルアナライザ(MCA)に導かれる。MCAでは、波高分析部5aにおいて信号の波高分析が行われるとともに、計数部6aにおいて各波高ごとに信号が計数される。この計数はあらかじめ設定されている測定時間分だけ行われ、この信号の波高ごと、つまりエネルギごとの信号の計数結果は試料Wから放出された蛍光X線12のスペクトルを表すものであり、この蛍光X線スペクトル情報はデータ処理部に送られ、試料Wに含まれる元素とその濃度が求められる。計数部6aは測定時間が終了した時点で計数結果を上記のようにデータ処理部に送信した上で、その計数結果をリセットして次の測定に備える。
The output of the X-ray detector 2 is converted into a voltage signal by the
比例増幅・信号整形部4aでは、入力した信号を増幅して信号整形を行うことは前記したが、信号整形のための時間、つまりピーキングタイム(信号整形時定数)は可変となっており、通常は2〜20μsの間に設定される。このピーキングタイムを長くするほどSNが向上し、次段の波高分析部5aにより信号の波高を正確に分析することができる反面、信号の発生頻度が高い場合にはパイルアップ現象が生じる。比例増幅・信号整形部4aには、パイルアップした信号を波高分析部5aに送らないための機能、すなわちパイルアップリジェクタを備えており、パイルアップした信号については計数部6aでカウントしないように考慮されている。 In the proportional amplification / signal shaping unit 4a, as described above, the signal shaping is performed by amplifying the input signal, but the time for signal shaping, that is, the peaking time (signal shaping time constant) is variable. Is set between 2 and 20 μs. The longer the peaking time, the better the SN, and the wave height analyzer 5a in the next stage can accurately analyze the wave height of the signal. On the other hand, a pile-up phenomenon occurs when the frequency of signal generation is high. The proportional amplification / signal shaping unit 4a is provided with a function for preventing the piled-up signal from being sent to the wave height analyzing unit 5a, that is, a pile-up rejector, and considering that the piled-up signal is not counted by the counting unit 6a. Has been.
さて、この実施の形態の特徴は、上記の比例増幅・信号整形部4aから計数部6aまでの回路構成と同等の回路構成を、検出器寿命予測用としてもう一系統備えている点である。 The feature of this embodiment is that another circuit configuration equivalent to the circuit configuration from the proportional amplification / signal shaping unit 4a to the counting unit 6a is used for predicting the detector lifetime.
すなわち、前置増幅器3を経たX線検出器2からの出力は、上記した比例増幅・信号整形部4aの他に、別系統の比例増幅・信号整形部4bにも入力され、増幅と信号整形が行われる。ただし、この比例増幅・信号整形部4bにおけるピーキングタイムはあらかじめ短い時間に設定されている。これにより、信号のSNは多少悪くなるもののパイルアップ現象は生じず、比例増幅・信号整形部4bは前置増幅器3を介して入力されたX線検出器2からの信号を全て次段の波高分析部5bに送る。
In other words, the output from the X-ray detector 2 that has passed through the
波高分析部5bは前記した分析用の波高分析部5aと同じであり、入力された信号の波高分析を行い、計数部6bに供給する。計数部6bが波高分析された各波高ごとの信号をそれぞれに計数していくことは、前記した分析用の計数部6aと同じであるが、この計数部6bは、1回の測定が終了するごとに計数内容をリセットするのではなく、X線検出器2の使用開始時点からの信号計数を継続していく。また、この検出器寿命予測用の計数部6bでは、測定時間の間だけ信号を計数するのではなく、測定器に先立つ調整期間中に発生したX線検出器2からの出力についても計数する。
The wave
したがって、検出器寿命予測用の計数部6bの計数内容は、X線検出器2の使用開始時点から、検出器2より出力される信号の全てを各波高ごとに計数した結果であり、換言すれば、X線検出器2が使用開始時点から曝された全てのX線のエネルギごとの強度の累積値を表している。
Therefore, the count content of the detector
検出器寿命予測用の計数部6bの計数内容は、随時に重み付け加算部7に送られ、この重み付け加算部7では、その計数内容を、波高が高いほど重みを付して加算する。したがって、この重み付け加算値は、X線検出器2が使用開始時点から曝されている全てのX線の各エネルギごとの強度を、エネルギが高いほど重みを付して加算した値となり、X線検出器2が現時点までに受けたX線によるダメージを表すパラメータとなる。
The count content of the detector life
そして、この重み付け加算部7による重み付け加算値は、判定部8においてあらかじめ設定されているしきい値と比較され、この判定部8は、重み付け加算値がしきい値を越えた時点で、X線検出器2の交換時期が到来した旨の報知出力を発生する。この報知出力により、例えば装置の表示部にその旨の表示を行ったり、あるいは警報音を発生させたりして、オペレータにその旨を通知する。 Then, the weighted addition value by the weighting addition unit 7 is compared with a threshold value set in advance in the determination unit 8, and the determination unit 8 detects the X-ray when the weighted addition value exceeds the threshold value. A notification output indicating that the replacement time of the detector 2 has arrived is generated. By this notification output, for example, a display to that effect is displayed or an alarm sound is generated to notify the operator to that effect.
以上の本発明に係る実施形態によれば、X線検出器2の劣化による分析結果の誤差の発生を未然に防止することができる。しかも、その寿命予測は、X線検出器2が使用開始時点から曝された全てのX線のエネルギごとの強度に基づいているので、正確かつ過不足のない寿命の予測が可能である。 According to the above-described embodiment of the present invention, it is possible to prevent an error in the analysis result due to deterioration of the X-ray detector 2 in advance. In addition, since the life prediction is based on the intensity of each X-ray energy that the X-ray detector 2 has been exposed from the start of use, it is possible to accurately and accurately predict the life.
ここで、以上の実施の形態においては、重み付け加算値がしきい値に到達した時点でX線検出器の交換時期の到来を報知する例を示したが、複数のしきい値を設定しておき、交換時期の到来前に予備的な報知を行うようにしてもよい。 Here, in the above embodiment, the example in which the arrival of the replacement time of the X-ray detector is notified when the weighted addition value reaches the threshold value is shown, but a plurality of threshold values are set. Alternatively, preliminary notification may be performed before the replacement time arrives.
また、以上の実施の形態においては、計数部6bの計数内容を重み付け加算することにより寿命予測のためのパラメータとした例を示したが、本発明はこれに限定されることなく、例えば計数部6bの計数内容のうち、あらかじめ設定されているエネルギ以上のX線の計数値を単純加算したパラメータとすることもできる。
Moreover, in the above embodiment, although the example which set it as the parameter for lifetime prediction by weighting and adding the count content of the
さらに、以上の実施の形態においては、分析用の比例増幅・信号整形部4aとは別に、寿命予測用に専用の比例増幅・信号整形部4bを設けて、これにより整形された信号を、同じく専用の波高分析部5bにより波高分析して計数部6bによる計数に供した例を示したが、分析用の比例増幅・信号整形部4aと波高分析部5aを経た信号を、検出器寿命予測用の計数部6bにより常時計数して累積していく構成を採用してもよい。この構成では、信号のパイルアップが生じた場合に、パイルアップリジェクタによりその信号は排除されることになり、計数部6bの計数内容はX線検出器2が曝されたX線を必ずしも正確に表すものではなくなるが、パイルアップ現象の発生はさほど多くないこと、あるいはパイルアップ現象が生じる確率が、装置の通常使用ではさほど違わないことなどを考えると、その分を見越して判別部8におけるしきい値を小さくしておくことで、ほぼ正確な寿命予測を行うことができる。
Furthermore, in the above embodiment, a dedicated proportional amplification / signal shaping unit 4b for life prediction is provided separately from the proportional amplification / signal shaping unit 4a for analysis, and the signal shaped by this is similarly used. Although an example was shown in which the wave height was analyzed by the dedicated wave
1 X線管球
2 X線検出器
3 前置増幅器
4a,4b 比例増幅・信号整形部
5a,5b 波高分析部
6a,6b 計数部
7 重み付け加算部
8 判定部
11 励起用X線
12 蛍光X線
W 試料
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記計数手段とは別に、検出器寿命予測用計数手段を備え、この検出器寿命予測用計数手段は、上記X線検出器の使用開始時点から、波高分析された信号を各波高ごとに常時計数して累積していくとともに、その検出器寿命予測用計数手段による計数結果が、あらかじめ設定されている条件に到達したか否かを判別する判別手段を有し、この判別手段による判別結果に基づき、上記条件に到達した時点で、上記X線検出器の交換時期到来の旨の報知を行う報知手段を備えていることを特徴とするX線分析装置。 An X-ray detector for detecting fluorescent X-rays generated by irradiating the sample with X-rays for excitation, a pulse height analyzing means for analyzing the pulse height of the output signal of the X-ray detector, and the signal subjected to the pulse height analysis in advance In an X-ray analyzer having a counting means for counting for each wave height for a set measurement time, and obtaining an element contained in the sample and its concentration from the counting result,
In addition to the counting means, a detector life prediction counting means is provided. The detector life prediction counting means always counts the signal subjected to wave height analysis for each wave height from the start of use of the X-ray detector. And having a discriminating unit for discriminating whether or not the counting result by the detector life prediction counting unit has reached a preset condition, and based on the discrimination result by the discriminating unit An X-ray analysis apparatus comprising an informing means for informing that it is time to replace the X-ray detector when the above condition is reached.
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