JP6342538B2 - Surface treatment equipment - Google Patents

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JP6342538B2 JP2017056840A JP2017056840A JP6342538B2 JP 6342538 B2 JP6342538 B2 JP 6342538B2 JP 2017056840 A JP2017056840 A JP 2017056840A JP 2017056840 A JP2017056840 A JP 2017056840A JP 6342538 B2 JP6342538 B2 JP 6342538B2
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  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

本発明は、連続メッキ装置等の表面処理装置関する。 The present invention relates to the surface treatment apparatus such as a continuous plating apparatus.

表面処理装置例えばワーク表面をメッキ処理する電解メッキ処理装置として、メッキ槽内にて回路基板等のワークを連続搬送する連続メッキ処理装置が知られている。ワークは、給電レールに沿って搬送される搬送治具に垂下して保持され、給電レールから搬送治具を介して給電されながらめっき槽内を連続搬送される。メッキ槽には、陰極となるワーク搬送経路の両側に陽極が配置され、陰極−陽極間に電界を形成してメッキ液を電気分解してワーク表面をメッキする。   2. Description of the Related Art As a surface treatment apparatus, for example, an electroplating treatment apparatus for plating a work surface, a continuous plating treatment apparatus that continuously conveys a work such as a circuit board in a plating tank is known. The work is suspended and held by a conveyance jig conveyed along the power supply rail, and is continuously conveyed in the plating tank while being supplied with power from the power supply rail via the conveyance jig. In the plating tank, anodes are arranged on both sides of the work conveyance path serving as a cathode, and an electric field is formed between the cathode and the anode to electrolyze the plating solution to plate the work surface.

ここで、メッキ槽の上方に給電レールを配置した構造(特許文献1)に代えて、メッキ槽の上方から外れた位置にて、メッキ槽の長手方向と平行に給電レールを延設した構造が知られている(特許文献2)。こうすると、給電レール上を搬送治具が摺動する時に発生する粉塵が、メッキ槽内に落下混入することを防止できる点で優れている。   Here, instead of the structure in which the power supply rail is arranged above the plating tank (Patent Document 1), a structure in which the power supply rail is extended in parallel with the longitudinal direction of the plating tank at a position deviated from above the plating tank. Known (Patent Document 2). This is excellent in that dust generated when the conveying jig slides on the power supply rail can be prevented from falling into the plating tank.

特許第3025254号公報Japanese Patent No. 3025254 特許第3591721号公報Japanese Patent No. 3591721

特許文献2のように給電レールをメッキ槽の上方から外れた位置に配置すると、特許文献1のように給電レールの直下に搬送治具及びワークを垂下して安定支持する形態とは異なる。それにより、搬送治具及びワークの重心は給電レールを通る垂線上から外れるため、搬送治具には不要なモーメントが作用してしまう。   When the power supply rail is disposed at a position off the upper side of the plating tank as in Patent Document 2, the configuration is different from that in which the conveyance jig and the work are supported in a stable manner directly below the power supply rail as in Patent Document 1. As a result, the center of gravity of the transport jig and the work is deviated from the vertical line passing through the power supply rail, and an unnecessary moment acts on the transport jig.

よって、特許文献2に開示された搬送治具は、不要なモーメントによる弊害を抑制するために、特許文献1に開示された治具よりも複雑な構造となる。例えば特許文献2では、給電レールの側面に、搬送治具の脱落を防止するための外れ防止レールを設けており、給電レールの構造も複雑化している。   Therefore, the conveyance jig disclosed in Patent Document 2 has a more complicated structure than the jig disclosed in Patent Document 1 in order to suppress adverse effects caused by unnecessary moments. For example, in Patent Document 2, a detachment prevention rail is provided on the side surface of the power supply rail to prevent the conveyance jig from falling off, and the structure of the power supply rail is also complicated.

搬送治具に保持されたワークが液中を進行する時、平面視でワークの姿勢が搬送方向に対して交差するように傾くと、液の抵抗を受けてワークが屈曲して商品価値を損なう虞がある。また、搬送治具に保持されたワークが液中を進行する時、搬送治具が上下動すると、給電レールと搬送治具との電気的接触が不良となって、メッキ品質が劣化する虞もある。そのような事態を防止するために、搬送治具の走行を安定化させる構造は複雑化する。   When the workpiece held by the transfer jig advances in the liquid, if the workpiece is tilted so that it intersects the transfer direction in plan view, the workpiece will be bent due to the resistance of the liquid and the commercial value will be lost. There is a fear. In addition, when the work held by the transport jig advances in the liquid, if the transport jig moves up and down, the electrical contact between the power supply rail and the transport jig may be poor, and the plating quality may deteriorate. is there. In order to prevent such a situation, the structure for stabilizing the traveling of the conveying jig is complicated.

本発明の幾つかの態様は、表面処理槽の上方から外れた位置に配置されたレールに沿って搬送される搬送治具の構造を改良し、極めて安定して搬送治具を支持することができる表面処理装置を提供する。   Some aspects of the present invention can improve the structure of a transport jig that is transported along a rail disposed at a position off the top of the surface treatment tank, and can support the transport jig extremely stably. Provided is a surface treatment apparatus capable of performing

本発明の他の幾つかの発明は、極めて薄いワークであっても、液圧等によってワークを破損させることなく搬送できるワーク保持治具を提供する。   Some other inventions of the present invention provide a workpiece holding jig capable of conveying even a very thin workpiece without damaging the workpiece by hydraulic pressure or the like.

本発明のさらに他の態様は、案内レールとは別個に給電レールを設け、給電レールに給電される被給電部を、搬送治具の搬送状態とは独立して常時適度な接触圧にて給電レールと接触させることができる表面処理装置を提供する。   According to still another aspect of the present invention, a power supply rail is provided separately from the guide rail, and the power-supplied portion that is supplied with power to the power supply rail is always supplied with an appropriate contact pressure independently of the transport state of the transport jig. Provided is a surface treatment apparatus that can be brought into contact with a rail.

(1)本発明の一態様は、
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
を有する表面処理装置に関する。
(1) One aspect of the present invention is
A surface treatment tank containing a treatment liquid and having an upper end opening;
First and second guide rails extending along a first direction parallel to the longitudinal direction of the surface treatment tank at a position deviated from above the upper end opening of the surface treatment tank;
A plurality of transfer jigs supported by the first and second guide rails, each of which holds the workpiece in the treatment liquid of the surface treatment tank;
Have
Each of the plurality of jigs is
A horizontal arm portion extending along a second direction intersecting the first direction;
A first guided portion supported by one end of the horizontal arm portion and guided by the first guide rail;
A second guided portion supported on the other end side of the horizontal arm portion and guided by the second guide rail;
A vertical arm portion that is suspended from the horizontal arm portion at a position between the first guided portion and the second guided portion and holds the workpiece;
The present invention relates to a surface treatment apparatus having

このように、複数の搬送治具の各々は、ワークを保持する垂直アーム部を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部が、第1,第2案内レールに支持された両持ち支持構造を有する。従って、本実施形態では、特許文献2のような片持ち支持構造と比較して、不要なモーメントの発生を抑制し、上下動を抑えて安定してワークを水平搬送することができる。しかも、摺動部となる第1,第2案内レール及び第1,第2被案内部は、表面処理槽の上端開口の上方から外れた位置にあるので、粉塵等が表面処理槽内に落下してメッキ液を汚染することもない。   In this way, each of the plurality of conveying jigs has the first and second guided portions on the both end sides in the second direction B across the vertical arm portion that holds the workpiece as the first and second guide rails. It has a supported doubly supported structure. Therefore, in this embodiment, compared with a cantilever support structure as in Patent Document 2, generation of unnecessary moments can be suppressed, and vertical movement can be suppressed and the workpiece can be stably transported horizontally. In addition, the first and second guide rails and the first and second guided parts that are the sliding parts are located above the upper end opening of the surface treatment tank, so that dust or the like falls into the surface treatment tank. Thus, the plating solution is not contaminated.

(2)本発明の他の態様は、
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置であって、前記第1,第2案内レールの間にて、前記第1方向に沿って延設される給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
前記第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有する表面処理装置に関する。
(2) Another aspect of the present invention is:
A surface treatment tank containing a treatment liquid and having an upper end opening;
First and second guide rails extending along a first direction parallel to the longitudinal direction of the surface treatment tank at a position deviated from above the upper end opening of the surface treatment tank;
A power supply rail extending along the first direction between the first and second guide rails at a position outside the upper end opening of the surface treatment tank,
A plurality of conveying jigs arranged in the treatment liquid in the surface treatment tank to hold the workpieces, supported by the first and second guide rails, and fed with power in contact with the power supply rails; Have
Each of the plurality of jigs is
A horizontal arm portion extending along a second direction intersecting the first direction;
A first guided portion supported by one end of the horizontal arm portion and guided by the first guide rail;
A second guided portion supported on the other end side of the horizontal arm portion and guided by the second guide rail;
A vertical arm portion that is suspended from the horizontal arm portion at a position between the first guided portion and the second guided portion and holds the workpiece;
A power-supplied part that is supported by the horizontal arm at a position between the first guided part and the vertical arm part, and that contacts the power supply rail;
The present invention relates to a surface treatment apparatus having

本発明の他の態様では、第1,第2案内レールに追加して給電レールを有し、搬送治具は給電レールと接触する被給電部をさらに有する。給電レールは、表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置であって、第1,第2案内レールの間に配置されるので、搬送治具の被給電部は第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置に設けられる。そのため、垂直アーム部から第1被案内部までの距離は、垂直アーム部から第2被案内部までの距離も長くなる。もし、第2被案内部が存在しないと、第1被案内部から垂直アーム部に至る腕の長さは長くなり、搬送治具に作用する不要なモーメントは大きくなる。本発明の他の態様でも、本発明の一態様と同様に、第1,第2案内レールに支持された両持ち支持構造を有するので、搬送治具には不要なモーメントは作用しない。   In another aspect of the present invention, a power supply rail is provided in addition to the first and second guide rails, and the conveyance jig further includes a power-supplied portion that contacts the power supply rail. The power supply rail is located at a position deviated from above the upper end opening of the surface treatment tank and is disposed between the first and second guide rails. It is provided at a position between the vertical arm portion. Therefore, the distance from the vertical arm part to the first guided part becomes longer from the vertical arm part to the second guided part. If the second guided portion does not exist, the length of the arm from the first guided portion to the vertical arm portion becomes long, and an unnecessary moment acting on the conveying jig becomes large. In the other aspect of the present invention, as in the case of the first aspect of the present invention, since the both-end support structure is supported by the first and second guide rails, an unnecessary moment does not act on the conveying jig.

(3)本発明のさらに他の態様は、薄板状の矩形ワークを処理槽内の液中にて保持する治具であって、
前記矩形ワークの第一辺を把持する複数の第1チャック部材と、
前記矩形ワークの前記第一辺と第1方向にて対向する第2辺を把持する複数の第2チャック部材と、
前記矩形ワークを囲んで配置され、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材を支持する枠状部材と、
を有し、
前記枠状部材は、
前記複数の第1チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第1案内部と、
前記複数の第1チャック部材を、前記複数の第2チャック部材に対して前記第1方向に沿って遠ざかる一方向に移動付勢する第1付勢部材と、
を有するワーク保持治具に関する。
(3) Still another aspect of the present invention is a jig for holding a thin plate-like rectangular workpiece in a liquid in a processing tank,
A plurality of first chuck members for gripping the first side of the rectangular workpiece;
A plurality of second chuck members for gripping a second side facing the first side of the rectangular workpiece in a first direction;
A frame-shaped member disposed around the rectangular workpiece and supporting the plurality of first chuck members and the plurality of second chuck members;
Have
The frame-shaped member is
A first guide part that moves and guides the plurality of first chuck members movably in the first direction;
A first biasing member that moves and biases the plurality of first chuck members in one direction away from the plurality of second chuck members along the first direction;
The present invention relates to a workpiece holding jig.

本発明のワーク保持治具によれば、矩形ワークの対向二辺をそれぞれ把持する複数の第1,第2チャック部材のうち、少なくとも複数の第1チャック部材が第1方向にて可動である。よって、矩形ワークの厚さが薄くても、矩形ワークに常にテンションが付与されて平面を保つことができる。このため、矩形ワークの両面に均一膜厚で表面処理することができる。また、表面処理に際して矩形ワークが処理液に何度も出し入れされる際にも、ワークは撓みなく平面が保持されているので、撓み部に液圧が作用することがない。それにより、ワークが液圧によってチャックから脱落し、あるいはワークが破損することを防止できる。   According to the workpiece holding jig of the present invention, at least a plurality of first chuck members are movable in the first direction among the plurality of first and second chuck members that respectively hold the opposite two sides of the rectangular workpiece. Therefore, even when the rectangular workpiece is thin, a tension is always applied to the rectangular workpiece and the plane can be maintained. For this reason, it can surface-treat with a uniform film thickness on both surfaces of a rectangular workpiece. Further, even when the rectangular workpiece is repeatedly put in and out of the processing liquid during the surface treatment, the workpiece is held flat without being bent, so that the hydraulic pressure does not act on the bent portion. Thereby, it can prevent that a workpiece | work falls from a chuck | zipper by a hydraulic pressure, or a workpiece | work is damaged.

(4)本発明のさらに他の態様は、
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、
前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有し、
前記被給電部は、
前記給電レールに接触する接触部と、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付勢して、前記接触部に接触圧を付与する付勢部材と、
有する表面処理装置に関する。
(4) Still another aspect of the present invention is as follows:
A surface treatment tank containing a treatment liquid and having an upper end opening;
A guide rail and a power supply rail extending along a first direction parallel to the longitudinal direction of the surface treatment tank at a position deviated from above the upper end opening of the surface treatment tank;
A plurality of transfer jigs that are arranged in the treatment liquid of the surface treatment tank, hold the workpieces, are supported by the guide rails, and are supplied with power in contact with the power supply rails;
Have
Each of the plurality of jigs is
A horizontal arm portion extending along a second direction intersecting the first direction;
A guided portion supported by one end of the horizontal arm portion and guided by the guide rail;
A power-supplied part that is supported by the horizontal arm at a position between the guided part and the vertical arm part, and that contacts the power supply rail;
Have
The power-supplied part is
A contact portion that contacts the power supply rail;
A parallel link mechanism connecting the horizontal arm portion and the contact portion;
A biasing member which rotates urging the parallel link mechanism, imparts the contact pressure to the contact portion,
The present invention relates to a surface treatment apparatus having

本発明の他の態様によれば、案内レールとは別個に給電レールを設け、給電レールに給電される被給電部を、搬送治具の搬送状態とは独立して、常時適度な接触圧にて給電レールと接触させることができる。   According to another aspect of the present invention, the power supply rail is provided separately from the guide rail, and the power-supplied part that is supplied with power to the power supply rail is always kept at an appropriate contact pressure independently of the transport state of the transport jig. Can be brought into contact with the power supply rail.

本発明の実施形態に係る表面処理装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the surface treatment apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図1の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG. 搬送治具の斜視図である。It is a perspective view of a conveyance jig. 2つの案内レールと搬送治具とを示す図である。It is a figure which shows two guide rails and a conveyance jig. 搬送治具の平面図である。It is a top view of a conveyance jig. 搬送治具の正面図である。It is a front view of a conveyance jig. 陽極への電流制御系を示す図である。It is a figure which shows the electric current control system to an anode. 図8(A)(B)は、ワーク搬出時の電流漸次低減制御とワーク搬入時の電流漸次増加制御を示す図である。FIGS. 8A and 8B are diagrams showing current gradual reduction control during workpiece unloading and current gradual increase control during workpiece loading. ワーク保持治具の枠状部材の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the frame-shaped member of a workpiece holding jig. 可動板を押し下げてワークを保持する状態を示す図である。It is a figure which shows the state which pushes down a movable plate and hold | maintains a workpiece | work. 第1チャックによりワークを支持してテンションをかけた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which supported the workpiece | work with the 1st chuck | zipper and applied tension. 被給電部の詳細を示す図である。It is a figure which shows the detail of a to-be-powered part.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The present embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and all the configurations described in the present embodiment are indispensable as means for solving the present invention. Not necessarily.

1.表面処理装置の概要
図1は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置10は、回路基板等のワーク20をそれぞれ保持する複数の搬送冶具30が、図1の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図1では、循環搬送路100のうちのは平行な2つの直線搬送路110,120を示している。この2つの直線搬送路110,120は両端にて連結されてループ状の循環搬送路100を形成している。
1. Outline of Surface Treatment Apparatus FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a surface treatment apparatus such as a continuous plating treatment apparatus. In the continuous plating apparatus 10, a plurality of conveying jigs 30 each holding a workpiece 20 such as a circuit board are circulated and conveyed in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. In FIG. 1, two straight conveyance paths 110 and 120 in parallel of the circulation conveyance path 100 are shown. The two straight conveyance paths 110 and 120 are connected at both ends to form a loop-shaped circulation conveyance path 100.

循環搬送路100には、複数の搬送冶具30の各々に保持されたワーク20を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽(広義には表面処理槽)200と、メッキ槽200よりも循環搬送路100の上流に設けられて未処理のワーク20複数の搬送冶具30に搬入する搬入部(図示せ)と、メッキ槽200よりも循環搬送路100の下流に設けられて処理済みのワーク20を複数の搬送冶具30から搬出する搬出部(図示せず)とが設けられている。   In the circulation conveyance path 100, a plating tank (surface treatment tank in a broad sense) 200 for surface-treating, for example, plating the workpiece 20 held on each of the plurality of conveyance jigs 30, and the circulation conveyance path 100 more than the plating tank 200. An unprocessed workpiece 20 provided upstream and a carry-in portion (not shown) for carrying in a plurality of transfer jigs 30 and a plurality of transferred workpieces 20 provided downstream of the circulation transfer path 100 from the plating tank 200 An unloading part (not shown) for unloading from the jig 30 is provided.

本実施形態では、メッキ槽200は第2直線搬送路120に沿って設けられ、搬入部及び搬出部は第1直線搬送路110に設けられている。循環搬送路100には、メッキ槽200の上流側に配置される前処理槽群230と、メッキ槽200の下流側に配置される後処理槽群(図示せず)とをさらに有する。   In the present embodiment, the plating tank 200 is provided along the second straight conveyance path 120, and the carry-in part and the carry-out part are provided in the first straight conveyance path 110. The circulation conveyance path 100 further includes a pretreatment tank group 230 disposed on the upstream side of the plating tank 200 and a posttreatment tank group (not shown) disposed on the downstream side of the plating tank 200.

前処理槽群230は、搬入部210とメッキ槽200との間に、上流側から順に、例えば脱脂槽、湯洗槽、水洗槽、シャワー槽及び酸洗槽等を配置することで構成される。後処理槽は、メッキ槽200と搬出部との間に、上流側から順に、例えばシャワー槽及び水洗槽を配置することで構成される。なお、前処理槽群230及び後処理槽群の数や種類は適宜変更可能である。   The pretreatment tank group 230 is configured by arranging, for example, a degreasing tank, a hot water washing tank, a water washing tank, a shower tank, and a pickling tank in order from the upstream side between the carry-in unit 210 and the plating tank 200. . The post-treatment tank is configured by arranging, for example, a shower tank and a water washing tank in order from the upstream side between the plating tank 200 and the carry-out section. Note that the number and type of the pretreatment tank group 230 and the posttreatment tank group can be changed as appropriate.

2.搬送治具と2つの案内レール
図1に示すように、連続メッキ処理装置10は、メッキ液(広義には処理液)が収容され、上端開口201を有するメッキ槽(広義には表面処理槽)200を有する。連続メッキ処理装置10はさらに、図1の一部を拡大して示す図2に示すように、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にて、メッキ槽200の長手方向と平行な第1方向(紙面と垂直な方向)に沿って延設される第1案内レール130及び第2案内レール140を有する。複数の搬送冶具30は、メッキ槽200の処理液中に配置させてワーク20をそれぞれ保持し、第1,第2案内レール130,140に支持される。
2. Conveying jig and two guide rails As shown in FIG. 1, a continuous plating apparatus 10 includes a plating bath (a processing solution in a broad sense) and a plating bath (a surface treatment bath in a broad sense) having an upper end opening 201. 200. The continuous plating apparatus 10 is further parallel to the longitudinal direction of the plating tank 200 at a position off the upper end opening 201 of the plating tank 200, as shown in FIG. It has the 1st guide rail 130 and the 2nd guide rail 140 extended along the 1st direction (direction perpendicular | vertical to a paper surface). The plurality of transport jigs 30 are arranged in the processing solution of the plating tank 200 to hold the workpiece 20 and are supported by the first and second guide rails 130 and 140.

複数の治具30の各々は、図3〜図5に示すように、水平アーム部300と、第1被案内部310と、第2被案内部320と、垂直アーム部330と、を有する。水平アーム部300は、図3及び図5に示すように、第1方向(搬送方向)Aと直交(広義には交差)する第2方向Bに沿って延びる例えば2本の第1,第2水平アーム300A,300Bを有する。第1被案内部310は、図4に示すように、水平アーム部300一端側に支持されて、第1案内レール130に案内される。第2被案内部320は、図4に示すように、水平アーム部300の他端側に支持されて、第2案内レール140に案内される。垂直アーム部330は、図3及び図6に示すように、第1被案内部310と第2被案内部320との間の位置にて、水平アーム部300に固定された支持板331から垂下されてワーク20を保持する例えば2本の第1,第2水平アーム300A,300Bを有する。   As shown in FIGS. 3 to 5, each of the plurality of jigs 30 includes a horizontal arm portion 300, a first guided portion 310, a second guided portion 320, and a vertical arm portion 330. As shown in FIGS. 3 and 5, the horizontal arm unit 300 has, for example, two first and second lines extending along a second direction B that is orthogonal (crossed in a broad sense) to the first direction (conveying direction) A. It has horizontal arms 300A and 300B. As shown in FIG. 4, the first guided portion 310 is supported on one end side of the horizontal arm portion 300 and guided to the first guide rail 130. As shown in FIG. 4, the second guided portion 320 is supported on the other end side of the horizontal arm portion 300 and guided to the second guide rail 140. As shown in FIGS. 3 and 6, the vertical arm unit 330 is suspended from a support plate 331 fixed to the horizontal arm unit 300 at a position between the first guided unit 310 and the second guided unit 320. For example, two first and second horizontal arms 300A and 300B for holding the workpiece 20 are provided.

このように、複数の治具30の各々は、ワーク20を保持する垂直アーム部330を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部310,320が、第1,第2案内レール130,140に支持された両持ち梁の形態を有する。従って、本実施形態では、特許文献2のように片持ち梁の形態と比較して、搬送治具30の搬送中に亘って上下動を抑えて安定してワーク20を保持搬送することができる。しかも、摺動部となる第1,第2案内レール130,140及び第1,第2被案内部310,320は、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にあるので、粉塵等がメッキ槽200内に落下してメッキ液を汚染することがない。   As described above, each of the plurality of jigs 30 includes the first and second guided portions 310 and 320 on the both end sides in the second direction B across the vertical arm portion 330 that holds the workpiece 20. It has a form of a doubly supported beam supported by the second guide rails 130 and 140. Therefore, in this embodiment, compared with the cantilever form as in Patent Document 2, the workpiece 20 can be stably held and conveyed while suppressing vertical movement during the conveyance of the conveyance jig 30. . In addition, since the first and second guide rails 130 and 140 and the first and second guided portions 310 and 320 serving as the sliding portions are located away from above the upper end opening 201 of the plating tank 200, dust or the like Does not fall into the plating tank 200 and contaminate the plating solution.

3.搬送治具と2つの案内レールと給電レール
メッキ処理装置10では、ワーク20をカソード(陰極)とし、メッキ槽200がワーク20の搬送経路を挟んだ両側にアノード(陽極:例えば銅系アノードボール)410L,410Rを収容する円筒網バック(収容部)202,203設け、カソード−アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク20を電界メッキする。そのために、搬送中のワーク20に通電する必要がある。ワーク20に給電するためには、例えば、第1,第2案内レール130,140の少なくとも一方を給電レールとすることができる。この場合、搬送治具30を構成する部材のうち、第1,第2案内レール130,140からワーク20に給電する経路の材料を、電気導体で形成すれば良い。
3. Conveying jig, two guide rails and power supply rail In the plating apparatus 10, the workpiece 20 is a cathode (cathode), and the plating tank 200 has anodes (anode: for example, copper-based anode balls) on both sides of the conveying path of the workpiece 20. Cylindrical mesh bags (accommodating portions) 202 and 203 for accommodating 410L and 410R are provided, and an electric field is formed between the cathode and the anode to electrolyze the plating solution, and the workpiece 20 is electroplated. Therefore, it is necessary to energize the workpiece 20 being conveyed. In order to supply power to the workpiece 20, for example, at least one of the first and second guide rails 130 and 140 can be used as a power supply rail. In this case, among the members constituting the conveying jig 30, the material of the path for supplying power from the first and second guide rails 130 and 140 to the workpiece 20 may be formed of an electric conductor.

本実施形態では、図1及び図2に示すように、メッキ処理装置10は、第1,第2案内レール130,140とは別個に給電レール210を設けている。特に、本実施形態の給電レール210は、特開2009−132999に開示された電流制御方法を実施するために、図2に示すように、互いに絶縁された複数例えば4本の分割給電レール210A〜210Dを有する。複数の搬送治具30の各々は、4本の分割給電レール210A〜210Dのいずれか一つと接触して給電される被給電部340(図2〜図5)を有している。被給電部340は、第1被案内部310と垂直アーム部330との間の位置に配置されている。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the plating apparatus 10 is provided with a power supply rail 210 separately from the first and second guide rails 130 and 140. In particular, the power supply rail 210 of the present embodiment includes a plurality of, for example, four divided power supply rails 210A to 210A, which are insulated from each other, as shown in FIG. 2, in order to implement the current control method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-132999. 210D. Each of the plurality of conveying jigs 30 includes a power-supplied portion 340 (FIGS. 2 to 5) that is supplied with power in contact with any one of the four divided power supply rails 210 </ b> A to 210 </ b> D. The power-supplied part 340 is disposed at a position between the first guided part 310 and the vertical arm part 330.

このように、複数の治具30の各々は、被給電部340を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部310,320が、第1,第2案内レール130,140に支持された両持ち支持の形態を有する。従って、搬送治具30の搬送中に亘って、被給電部340の上下動を抑えて安定して給電レール210との接触を維持することができる。   As described above, each of the plurality of jigs 30 includes the first and second guide rails 130 with the first and second guided portions 310 and 320 on both ends in the second direction B across the power supplied portion 340. , 140 is supported on both ends. Therefore, the vertical movement of the power-supplied part 340 can be suppressed and the contact with the power supply rail 210 can be stably maintained during the conveyance of the conveyance jig 30.

4.分割給電レールを用いた電流制御方法
以下、特開2009−132999に開示された電流制御方法について、図7及び図8(A)(B)を参照して説明する。なお、図1に示すメッキ槽200は紙面に垂直な搬送方向に沿って例えば10数m以上の長さを有する。図7に示すメッキ槽ユニット200Aは単位ユニットを示し、複数のメッキ槽ユニット200Aを連接することで、図1のメッキ槽200が構成される。
4). Current Control Method Using Divided Feed Rail Hereinafter, the current control method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-132999 will be described with reference to FIGS. 7 and 8A and 8B. Note that the plating tank 200 shown in FIG. 1 has a length of, for example, more than 10 m along the conveyance direction perpendicular to the paper surface . A plating tank unit 200A shown in FIG. 7 represents a unit unit, and the plating tank 200 of FIG. 1 is configured by connecting a plurality of plating tank units 200A.

電源ユニット400A〜400Dは、対応する分割給電レール210A〜210Dを介して搬送中の各ワーク20に給電する。電源ユニット400A〜400Dは、一面Fl及び他面Frを有する各ワーク20に、設定電流値(A/dm)での定電流制御により給電可能である。さらに電源ユニット400A〜400Dは、メッキ槽ユニット200A内へワーク20を搬入する時には電流を漸増制御し、かつ、ワーク20を搬出する時には電流を漸減制御する。 The power supply units 400A to 400D supply power to the workpieces 20 being conveyed via the corresponding divided power supply rails 210A to 210D. The power supply units 400A to 400D can supply power to each workpiece 20 having the one surface Fl and the other surface Fr by constant current control at a set current value (A / dm 2 ). Furthermore, the power supply units 400A to 400D control gradually increasing the current when the workpiece 20 is carried into the plating tank unit 200A, and gradually decrease the current when the workpiece 20 is unloaded.

図7において、メッキ槽ユニット200Aでは、N枚(例えば、3枚)のワーク20(20A〜20Cまたは20B〜20D)を搬送治具30(30A〜30D)同時に全面浸漬状態で搬送方向Aに搬送可能である。全面浸漬状態とは、少なくともワーク20のメッキ処理対象面(一面Fl及び他面Fr)の全てが、図1及び図2に示す一つのメッキ槽ユニット200Aのメッキ液Q中に浸漬されている状態をいう。したがって、メッキ槽ユニット200Aの出口200B側からワーク20Aが搬出開始され、かつ入口200F側にワーク20Dが搬入開始される状態では、メッキ槽ユニット200A内には数が(N+1)つまり4枚のワーク20(20A〜20D)が浸漬されていることになる。   In FIG. 7, in the plating tank unit 200A, N pieces (for example, three pieces) of workpieces 20 (20A to 20C or 20B to 20D) are conveyed in the conveying direction A while being completely immersed in the conveying jig 30 (30A to 30D). Is possible. The whole surface immersion state is a state in which at least all of the surfaces to be plated (one surface Fl and the other surface Fr) of the workpiece 20 are immersed in the plating solution Q of one plating tank unit 200A shown in FIGS. Say. Therefore, in a state where the workpiece 20A is started to be carried out from the outlet 200B side of the plating tank unit 200A and the workpiece 20D is started to be carried into the inlet 200F side, the number of (N + 1), that is, four workpieces is placed in the plating tank unit 200A. 20 (20A-20D) will be immersed.

この状態において、ワーク20B〜20Cは全面浸漬状態で、ワーク20Aおよび20Dは部分浸漬状態である。部分浸漬状態とは、少なくともワーク20A,20Dのメッキ処理対象面(図10に示す一面Fl+他面Fr)の長さ方向の一部分が一つのメッキ槽ユニット200Aのメッキ液Q中に浸漬されている状態をいう。一つのメッキ槽ユニット200Aからはみ出した部分は、隣り合う他のメッキ槽ユニット200A内または他の処理槽に配置される。   In this state, the workpieces 20B to 20C are all immersed, and the workpieces 20A and 20D are partially immersed. In the partially immersed state, at least a part of the workpiece 20A, 20D in the length direction of the plating target surface (one surface Fl + other surface Fr shown in FIG. 10) is immersed in the plating solution Q of one plating tank unit 200A. State. The portion that protrudes from one plating tank unit 200A is arranged in another adjacent plating tank unit 200A or in another processing tank.

ここで、同時に全面浸漬状態でメッキ槽ユニット200A内を搬送可能なワーク20の枚数がN(例えば、N=3枚)である場合には、分割給電レール210および電源ユニット400の数は(N+1)[=4]である。   Here, when the number of workpieces 20 that can be conveyed in the plating tank unit 200A in the entire surface immersion state is N (for example, N = 3), the number of the divided power supply rails 210 and the power supply units 400 is (N + 1). ) [= 4].

メッキ槽ユニット200A内(メッキ液Q中)には、図7に示すように、第1方向Aに延びる左右1対の陽極電極(銅系アノードボール)410L,410Rが対向配設されている。両陽極電極410L,410Rは、各搬送治具30(30A〜30D)に保持された各ワーク20(20A〜20D)に共通で、各陽極電極410L,410Rと搬送中の各ワーク20との間隔(極間距離)は一定(所定値)に維持されている。   In the plating tank unit 200A (in the plating solution Q), as shown in FIG. 7, a pair of left and right anode electrodes (copper-based anode balls) 410L and 410R extending in the first direction A are disposed facing each other. Both anode electrodes 410L and 410R are common to each workpiece 20 (20A to 20D) held by each conveyance jig 30 (30A to 30D), and the distance between each anode electrode 410L and 410R and each workpiece 20 being conveyed. The (distance between poles) is maintained constant (predetermined value).

さて、各電源ユニット400A〜400Dは、搬送治具30に保持されたワーク20毎(電源ユニット400毎)に電流値を設定変更可能で、かつ設定電流値Isでの定電流制御を行うことができる。   Now, each of the power supply units 400A to 400D can change the current value for each workpiece 20 (each power supply unit 400) held by the transfer jig 30, and can perform constant current control at the set current value Is. it can.

すなわち、各電源ユニット400A〜400Dは、ワーク20がメッキ槽ユニット200A内を全面浸漬状態で搬送されている期間中は定電流制御するが、ワーク20Aがメッキ槽ユニット200A内に部分浸漬状態で搬入されている期間中は電流漸増制御とし、ワーク20Dが部分浸漬状態で搬出されている期間中には電流漸減制御するように構成されている。隣り合う2つのメッキ槽ユニット200Aのそれぞれに部分浸漬状態であるワーク20は、下流側のメッキ槽ユニット200Aで電流漸減制御を受け、上流側のメッキ槽ユニット200Aで電流漸増制御を受ける。   That is, each of the power supply units 400A to 400D performs constant current control while the work 20 is being conveyed in the plating tank unit 200A in a fully immersed state, but the work 20A is carried into the plating tank unit 200A in a partially immersed state. The current gradually increasing control is performed during the period during which the workpiece 20D is being carried out in the partially immersed state, and the current gradually decreasing is controlled during the period when the workpiece 20D is being carried out in the partially immersed state. The workpiece 20 that is partially immersed in each of the two adjacent plating tank units 200A is subjected to current gradual decrease control by the downstream plating tank unit 200A and current gradual increase control by the upstream plating tank unit 200A.

すなわち、図8(A)において、ワーク20が部分浸漬搬入期間T12(=t1〜t2)中は、設定電流値Isに到達するまで時間長(処理面積)に比例させて電流(Iin)を漸増制御する。全面浸漬時(t2)に、設定電流値Isの定電流制御に切換えられる。ワーク20が部分浸漬搬出期間T34(=t3〜t4)中は、図8(B)に示すように、設定電流値Isの定電流制御から漸減制御に切換えられる。電流(Idg)は時間長(処理面積)に反比例して漸減制御される。   That is, in FIG. 8A, during the partial immersion loading period T12 (= t1 to t2), the current (Iin) is gradually increased in proportion to the time length (processing area) until the workpiece 20 reaches the set current value Is. Control. When the entire surface is immersed (t2), the control is switched to the constant current control of the set current value Is. During the partial immersion carry-out period T34 (= t3 to t4), as shown in FIG. 8B, the set current value Is is switched from the constant current control to the gradual decrease control. The current (Idg) is gradually reduced in inverse proportion to the time length (processing area).

この実施の形態によれば、ワーク20ごとに設定した電流値で連続メッキ処理を行えるから、各ワーク20に当該ワーク設定電流値に応じたバラツキのない膜厚で、均一かつ高品質なメッキ皮膜を形成することができる。   According to this embodiment, since a continuous plating process can be performed with a current value set for each workpiece 20, a uniform and high-quality plating film is formed on each workpiece 20 with a film thickness that does not vary according to the workpiece setting current value. Can be formed.

5.搬送治具の詳細な説明
5.1.被給電部
本実施形態に用いられる複数の搬送治具30の各々に設けられた被給電部340は、N個の分割給電レール210A〜210Dの一つと接触する。図7に示す複数の搬送治具30は、水平アーム部300に対して第2方向Bにて位置が異なるN箇所の各一つに被給電部340が取り付けられた第1〜第Nの搬送治具30A〜30Dを含む。第1〜第Nの搬送治具30A〜30Dの各一つが、N個の分割給電レール210A〜210Dの各一つと接触する。
5. Detailed description of transfer jig 5.1. Power-supplied part The power-supplied part 340 provided in each of the some conveyance jig 30 used for this embodiment contacts one of N division | segmentation electric power supply rails 210A-210D. The plurality of conveyance jigs 30 illustrated in FIG. 7 include first to Nth conveyances in which a power-supplied part 340 is attached to each one of N locations whose positions differ in the second direction B with respect to the horizontal arm unit 300. Includes jigs 30A-30D. Each one of the first to Nth conveying jigs 30A to 30D comes into contact with each one of the N divided power supply rails 210A to 210D.

本実施形態では、搬送治具30の部品を共通化して、複数の分割給電レール210A〜210Dの任意の一つと接触する構造を採用した。そのために、複数の搬送治具30(第1〜第Nの搬送治具30A〜30D)の各々は、図3に示すように、被給電部340を支持する支持部、例えば支持板350を有する。支持板350は、第2方向Bで異なる位置に設けられたN(N=4)個の取付部(例えばねじ孔)351〜354を有する。   In the present embodiment, a structure is adopted in which the parts of the conveying jig 30 are made in common and in contact with any one of the plurality of divided power supply rails 210A to 210D. For this purpose, each of the plurality of conveyance jigs 30 (first to Nth conveyance jigs 30A to 30D) includes a support part that supports the power-supplied part 340, for example, a support plate 350, as shown in FIG. . The support plate 350 has N (N = 4) attachment portions (for example, screw holes) 351 to 354 provided at different positions in the second direction B.

複数の搬送治具30(図7に示す第1〜第Nの搬送治具30A〜30D)の各々の被給電部340は、給電レール210(分割給電レール210A〜210D)に接触する接触部341をそれぞれ含む。接触部341は、N個の取付部351〜354の一つ(図3では取付部351)に、例えば蝶ネジ342により着脱自在に取り付けられる。このように、接触部341をN個の取付部351〜354の中から選択された一つに取り付けることで、部品を共通化しながら、第1〜第Nの搬送治具30A〜30Dを用意することができる。   Each of the power-supplied parts 340 of the plurality of conveyance jigs 30 (first to Nth conveyance jigs 30A to 30D shown in FIG. 7) is in contact with the power supply rail 210 (the divided power supply rails 210A to 210D). Respectively. The contact portion 341 is detachably attached to one of the N attachment portions 351 to 354 (the attachment portion 351 in FIG. 3), for example, with a thumbscrew 342. Thus, by attaching the contact portion 341 to one selected from among the N attachment portions 351 to 354, the first to Nth transport jigs 30A to 30D are prepared while sharing the components. be able to.

図12は、被給電部340の詳細を示している。被給電部340は、支持板350と接触部341とを例えば2本の平行リンク342A,342Bで連結する四節回転連鎖の平行リンク機構342を有する。2本のリンク342A,342Bは、付勢部材であるねじりコイルスプリング343,343により、常時時計廻り方向に移動付勢されている。この結果、接触部341を給電レール210に適度な接触圧にて接触させることができる。   FIG. 12 shows details of the power-supplied part 340. The power-supplied part 340 includes a parallel link mechanism 342 of a four-node rotating chain that connects the support plate 350 and the contact part 341 with, for example, two parallel links 342A and 342B. The two links 342A and 342B are constantly urged to move in the clockwise direction by torsion coil springs 343 and 343 which are urging members. As a result, the contact portion 341 can be brought into contact with the power supply rail 210 with an appropriate contact pressure.

また、2本の平行リンク342A,342Bは、上側支点が先行し、下側支点が後行するように傾斜している。この結果、接触部341は搬送治具30に引っ張られる形態で走行するので、走行が安定する。   Further, the two parallel links 342A and 342B are inclined so that the upper fulcrum precedes and the lower fulcrum follows. As a result, the contact portion 341 travels while being pulled by the conveyance jig 30, so that travel is stable.

なお、図12に示す被給電部340の構成は、案内レール130,140とは別個に給電レール210を有する表面処理装置に適用でき、案内レール及び給電レールが各1本であっても良い。従来のように案内レールと給電レールとを兼用すると、被給電部に過度の圧力が作用するので磨耗が激しく、被給電部の製品寿命が短くなる。本実施形態では、搬送治具30の走行とは独立して、被給電部340を給電レール210に対して適度な接触圧で接触させることができる。この結果、被給電部340を真鍮等で形成しても、寿命を延ばすことができる。   Note that the configuration of the power-supplied part 340 shown in FIG. 12 can be applied to a surface treatment apparatus having the power supply rail 210 separately from the guide rails 130 and 140, and there may be one guide rail and one power supply rail. When the guide rail and the power supply rail are used together as in the conventional case, excessive pressure acts on the power-supplied part, so that the wear is severe and the product life of the power-supplied part is shortened. In the present embodiment, the power-supplied part 340 can be brought into contact with the power supply rail 210 with an appropriate contact pressure independently of the traveling of the conveyance jig 30. As a result, even if the power-supplied part 340 is formed of brass or the like, the life can be extended.

5.2.第1,第2被案内部
第1被案内部310を案内する第1案内レール130は、縦断面にて、上面と、第1側面と、第1側面と対向する第2側面とを含み、例えば矩形に形成されている。
5.2. 1st, 2nd guided part The 1st guide rail 130 which guides the 1st guided part 310 contains the upper surface, the 1st side, and the 2nd side opposite to the 1st side in a longitudinal section, For example, it is formed in a rectangular shape.

第1案内レール130に案内される第1被案内部310は、第1案内レール130の上面と転接する第1ローラー311と、第1案内レール130の第1側面と転接する第2ローラー312と、第1案内レール130の第2側面と転接する第3ローラー313とを含んで構成することができる。また、第2被案内部320は、第2案内レール140の上面と転接する第4ローラー321を含むことができる。搬送治具30の第2方向Bの両端側で第1,第4ローラー311,321が第1,第2案内レール130,140の各上面と接触することで、搬送治具30を水平状態にて安定して走行させることができる。また、第2,第3ローラー312,313が第1案内レール130の両側面を挟むことで、搬送治具30が第2方向Bにて位置ずれすることを抑制できる。   The first guided portion 310 guided by the first guide rail 130 includes a first roller 311 that makes rolling contact with the upper surface of the first guide rail 130, and a second roller 312 that makes rolling contact with the first side surface of the first guide rail 130. The third roller 313 that is in rolling contact with the second side surface of the first guide rail 130 can be configured. The second guided part 320 may include a fourth roller 321 that is in rolling contact with the upper surface of the second guide rail 140. The first and fourth rollers 311 and 321 are in contact with the upper surfaces of the first and second guide rails 130 and 140 at both ends in the second direction B of the transport jig 30, so that the transport jig 30 is in a horizontal state. And can be driven stably. In addition, since the second and third rollers 312 and 313 sandwich the both side surfaces of the first guide rail 130, it is possible to suppress the displacement of the conveying jig 30 in the second direction B.

5.3 連続搬送駆動部
図2に示す連続搬送駆動部150は、搬送治具30の第1直線搬送路120(図1)を複数に分割した区間毎に一つ設けられている。この連続搬送駆動部150は、固定ガイド板151に沿って移動するリニアガイド152A,152Bを有するプッシャー153A,153Bを有する。2つのプッシャー153A,153Bは図示しないモーターによりそれぞれ独立して移動する。この2つのプッシャー153A,153Bにより、搬送治具30は一区間にて連続直線駆動される。2つのプッシャー153A,153Bは、一区間内にそれぞれ固有の駆動領域と、共通の駆動領域を有する。先ずプッシャー153が上流側の固有駆動領域にて搬送治具30を押動する。次に、共通の駆動領域にて搬送治具30を連続搬送する際に、プッシャー153Aからプッシャー153Bに受け継がれる。プッシャー153Aは、固有及び共通の駆動領域に亘って所定ストローク前進した後、元の位置に後退し、次の搬送治具30の搬送を受け持つ。プッシャー153Bも同様に動作する。
5.3 Continuous Transport Drive Unit One continuous transport drive unit 150 shown in FIG. 2 is provided for each section obtained by dividing the first linear transport path 120 (FIG. 1) of the transport jig 30 into a plurality of sections. The continuous conveyance driving unit 150 includes pushers 153A and 153B having linear guides 152A and 152B that move along the fixed guide plate 151. The two pushers 153A and 153B are independently moved by a motor (not shown). By these two pushers 153A and 153B, the conveying jig 30 is continuously driven in one section. The two pushers 153A and 153B each have a unique drive area and a common drive area in one section. First, the pusher 153 pushes the conveyance jig 30 in the unique drive region on the upstream side. Next, when the transport jig 30 is continuously transported in the common drive region, it is inherited from the pusher 153A to the pusher 153B. The pusher 153 </ b> A moves forward by a predetermined stroke over the unique and common drive areas, then moves back to the original position, and is responsible for transporting the next transport jig 30. The pusher 153B operates similarly.

プッシャー153A,153Bには、搬送治具30の第1被押動部360を押動する爪部材154A,154Bを有する。爪部材154A,154Bは、プッシャー153A,153Bの前進時に搬送治具30の第1被押動部360を押動する。爪部材154A,154Bは、プッシャー153A,153Bの後退時には、第1被押動部360の前進を妨げないように変位可能である。なお、搬送治具30は第2被押動部362を有し、第2被押動部362はメッキ槽20での連続搬送以外のときに用いられる。 The pushers 153A and 153B have claw members 154A and 154B that push the first pushed portion 360 of the conveying jig 30. The claw members 154A and 154B push the first pushed portion 360 of the transport jig 30 when the pushers 153A and 153B move forward. The claw members 154A and 154B can be displaced so as not to prevent the first pushed portion 360 from moving forward when the pushers 153A and 153B are retracted. The conveying jig 30 has a second pushed portion 362, and the second pushed portion 362 is used at times other than continuous conveyance in the plating tank 20.

5.4.フック部
図1〜図5に示すように、複数の搬送治具30の各々には、治具吊り下げ用のフック部370,370が設けられている。連続メッキ処理装置10は、図1に示すように、フック部370,370に係合して、搬送治具30保持されたワーク20を、メッキ槽200に対して昇降させる昇降部160をさらに有する。
5.4. Hook Section As shown in FIGS. 1 to 5, hook sections 370 and 370 for hanging the jig are provided in each of the plurality of conveying jigs 30. As shown in FIG. 1, the continuous plating apparatus 10 further includes an elevating unit 160 that engages with the hook units 370 and 370 to elevate and lower the workpiece 20 held by the conveying jig 30 with respect to the plating tank 200. .

メッキ槽200以外でワークを昇降させるのに、昇降レールを用いる必要がない。駆動力が小さくて済む。   It is not necessary to use a lifting rail to raise and lower the workpiece other than the plating tank 200. Small driving force is required.

5.5 垂直アーム部とワーク保持治具
垂直アーム部330は、図3及び図6に示すように例えば2本の垂直アーム330A,330Bを有する。この2本の垂直アーム330A,330Bにはワーク保持治具500が垂下して支持される。
5.5 Vertical Arm Unit and Workpiece Holding Jig The vertical arm unit 330 includes, for example, two vertical arms 330A and 330B as shown in FIGS. A workpiece holding jig 500 is suspended and supported on the two vertical arms 330A and 330B.

ワーク保持治具500は、ワーク20の厚さが100μm以下、好ましくは60μm以下のように極薄のワーク20に好適に用いられる。本実施形態では、ワーク20の厚さは例えば40μm=0.04mmである。   The workpiece holding jig 500 is suitably used for an extremely thin workpiece 20 such that the thickness of the workpiece 20 is 100 μm or less, preferably 60 μm or less. In the present embodiment, the thickness of the workpiece 20 is, for example, 40 μm = 0.04 mm.

ワーク保持治具500は、図3及び図6に示すように、矩形ワーク20の第一辺(例えば上辺)20aを把持する複数の第1チャック部材510と、矩形ワーク20の第一辺20aと第3方向(鉛直方向)Cにて対向する第2辺20bを把持する複数の第2チャック部材520と、矩形ワーク20を囲んで配置され、複数の第1チャック部材510及び複数の第2チャック部材520を支持する枠状部材530と、を有する。 Work holding fixture 500, as shown in FIGS. 3 and 6, a first chuck member 510 a plurality of gripping the first side (e.g. upper side) 20a of the rectangular workpiece 20, a first side 20a of the rectangular workpiece 20 A plurality of second chuck members 520 that grip the second side 20b facing each other in the third direction (vertical direction) C, and a plurality of first chuck members 510 and a plurality of second chucks that are disposed surrounding the rectangular workpiece 20. A frame-like member 530 that supports the member 520.

枠状部材530は、図9〜図11に示すように、複数の第1チャック部材510を、第3方向Cにて可動に移動案内する案内部540と、複数の第1チャック部材510を、複数の第2チャック部材520に対して第1方向に沿って遠ざかる一方向C1に移動付勢する付勢部材であるコイルスプリング550と、を有する。   As shown in FIGS. 9 to 11, the frame-shaped member 530 includes a guide portion 540 that moves and guides the plurality of first chuck members 510 in the third direction C, and the plurality of first chuck members 510. And a coil spring 550 that is an urging member that moves and urges the plurality of second chuck members 520 in one direction C1 moving away from the first direction.

具体的には、枠状部材530は、図10及び図11に示すように、固定板531と、固定板531に重ねて配置される可動板532とを含む。案内部540は、固定板531及び可動板532の一方例えば可動板532に形成されて第3方向Cを長手方向とする長孔533と、固定板531及び可動板の他方に形成されて長孔533に挿通される軸部例えばボルト軸534とを含む。コイルスプリング550は、固定板531に対して可動板532を一方向C1に押圧付勢する。   Specifically, the frame-like member 530 includes a fixed plate 531 and a movable plate 532 arranged so as to overlap the fixed plate 531 as shown in FIGS. 10 and 11. The guide portion 540 is formed in one of the fixed plate 531 and the movable plate 532, for example, the movable plate 532, and has a long hole 533 whose longitudinal direction is the third direction C, and is formed in the other of the fixed plate 531 and the movable plate. A shaft portion inserted through 533, for example, a bolt shaft 534 is included. The coil spring 550 presses and urges the movable plate 532 in one direction C <b> 1 against the fixed plate 531.

複数の第1チャック部材510及び複数の第2チャック部材520の各々に共通する構成を、第1チャック部材510を例に挙げて、図10及び図11を参照して説明する。第1チャック部材510は、ワーク20の第1面Flに接触する固定部材511と、固定部材511と対向する位置にてワーク20の第2面Frに接離可能に配置され、第2面Frに押圧接触される可動部材512とを含む。可動部材512は、押圧解除時に駆動される被駆動片512Aと、被駆動片512Aの非駆動時にヒンジ513を介してばね圧により常時固定部材側に押圧される押圧駆動片512Bと、押圧駆動片512Bの自由端部に形成された薄板状の押圧片512Cと、を含むことができる。   A configuration common to each of the plurality of first chuck members 510 and the plurality of second chuck members 520 will be described with reference to FIGS. 10 and 11 by taking the first chuck member 510 as an example. The first chuck member 510 is disposed so as to be in contact with and away from the second surface Fr of the workpiece 20 at a position facing the fixing member 511 and the fixing member 511 that contacts the first surface Fl of the workpiece 20. And a movable member 512 that is pressed into contact therewith. The movable member 512 includes a driven piece 512A that is driven when the pressure is released, a pressing drive piece 512B that is always pressed against the fixed member by spring pressure via the hinge 513 when the driven piece 512A is not driven, and a pressure driving piece. And a thin plate-like pressing piece 512 </ b> C formed at the free end of 512 </ b> B.

ワーク20をワーク保持治具500に取り付けるには、先ずワーク20の第2辺20bを複数の第2チャック部材520にて把持する。次に、ワーク20の第1辺20aを第2チャック部材510にて把持するために、最初に可動板532をコイルスプリング550の付勢力に抗して押し下げて、図10の状態に設定する。このとき、第1チャック部材510の被駆動片512Aを駆動して、図10に示すように押圧駆動片512Bを開放状態に設定しておく。次に、被駆動片512Aの駆動を解除することで、ワーク20の第1辺20aが第1チャック部材510にて把持される。最後に、可動板532への押し下げ力を解除する。これにより、可動板532はコイルスプリング550の付勢力により上昇され、ワーク20にテンションを付与して、ワーク20の平面性を維持することができる。
In order to attach the workpiece 20 to the workpiece holding jig 500, first, the second side 20 b of the workpiece 20 is gripped by the plurality of second chuck members 520. Next, in order to grip the first side 20a of the workpiece 20 by the second chuck member 510, the movable plate 532 is first pushed down against the urging force of the coil spring 550 and set to the state of FIG. At this time, the driven piece 512A of the first chuck member 510 is driven, and the pressing drive piece 512B is set in an open state as shown in FIG. Next, by releasing the drive of the driven piece 512 </ b> A, the first side 20 a of the workpiece 20 is gripped by the first chuck member 510. Finally, the pressing force on the movable plate 532 is released. As a result, the movable plate 532 is raised by the urging force of the coil spring 550, and tension can be applied to the workpiece 20 to maintain the planarity of the workpiece 20.

なお、ワーク20へのテンション付与は、第1チャック部材510及び第2チャック部材の少なくとも一方にて行うことができる。つまり、第2チャック部材520に、上述したテンション付与構造を採用しても良い。   Note that the tension applied to the workpiece 20 can be performed by at least one of the first chuck member 510 and the second chuck member. That is, the above-described tension applying structure may be employed for the second chuck member 520.

なお、上述した構造のワーク保持治具500は、ワーク保持治具500を複数同時に処理液に浸漬してするバッチ処理用としても用いることができる。この場合、第1,第2チャック部材510,520は上下に配置するものに限らず、左右の側辺に配置しても良い。   The workpiece holding jig 500 having the above-described structure can also be used for batch processing in which a plurality of workpiece holding jigs 500 are simultaneously immersed in a processing solution. In this case, the first and second chuck members 510 and 520 are not limited to be arranged vertically, and may be arranged on the left and right sides.

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。   Although the present embodiment has been described in detail as described above, it will be easily understood by those skilled in the art that many modifications can be made without departing from the novel matters and effects of the present invention. Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention. For example, a term described at least once together with a different term having a broader meaning or the same meaning in the specification or the drawings can be replaced with the different term in any part of the specification or the drawings. All combinations of the present embodiment and the modified examples are also included in the scope of the present invention.

10 表面処理装置(連続メッキ処理装置)、20 ワーク、30 搬送治具、100 循環搬送路、110 第1直線搬送路、120 第2直線搬送路、130 第1案内レール、140 第2案内レール、141 上面、150 連続搬送駆動部、160 昇降部、200 表面処理槽(メッキ槽)、200A メッキ槽ユニット、201 上端開口、210 給電レール、210A〜210D 分割給電レール、300 水平アーム部、300A,300B 第1,第2水平アーム、310 第1被案内部、311 第1ローラー、312 第2ローラー、313 第3ローラー、320 第2被案内部、321 第4ローラー、330 垂直アーム部、330A,330B 第1,第2垂直アーム、331 支持部、332 保持部、340 被給電部、341 接触部、342 平行リンク機構、343 付勢部材、350 支持部(支持板)、360 被押動部、370 フック部、400A〜400D 電源、410L,410R 陽極、500 ワーク保持治具、510 第1チャック部材、520 第2チャック部材、530 枠状部材、531 固定板、532 可動板、533 長孔、534 軸部、540 案内部、A 第1方向(搬送方向)、B 第2方向、C 鉛直方向、Q 処理液(メッキ液)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surface treatment apparatus (continuous plating processing apparatus), 20 workpieces, 30 conveyance jig, 100 circulation conveyance path, 110 1st linear conveyance path, 120 2nd linear conveyance path, 130 1st guide rail, 140 2nd guide rail, 141 upper surface, 150 continuous conveyance drive unit, 160 elevating unit, 200 surface treatment tank (plating tank), 200A plating tank unit, 201 upper end opening, 210 power supply rail, 210A to 210D divided power supply rail, 300 horizontal arm part, 300A, 300B 1st, 2nd horizontal arm, 310 1st guided part, 311 1st roller, 312 2nd roller, 313 3rd roller, 320 2nd guided part, 321 4th roller, 330 Vertical arm part, 330A, 330B First and second vertical arms, 331 support section, 332 holding section, 340 powered section, 341 contact portion, 342 parallel link mechanism, 343 urging member, 350 support portion (support plate), 360 driven portion, 370 hook portion, 400A to 400D power supply, 410L, 410R anode, 500 work holding jig, 510 1 chuck member, 520 second chuck member, 530 frame member, 531 fixed plate, 532 movable plate, 533 long hole, 534 shaft portion, 540 guide portion, A first direction (conveying direction), B second direction, C Vertical direction, Q treatment solution (plating solution)

Claims (6)

処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
を有し、
前記第1案内レールは、上面と、前記上面に対して垂直な第1側面と、前記第1側面と平行な第2側面とを含み、
前記複数の搬送治具の各々の前記第1被案内部は、
前記第1案内レールの前記上面と転接する第1ローラーと、
前記第1案内レールの前記第1側面と転接する第2ローラーと、
前記第1案内レールの前記第2側面と転接し、前記第1被案内部の前記第2方向への位置ずれを前記第2ローラーと共に規制する第3ローラーと、
を含み、
前記複数の搬送治具の各々の前記第2被案内部は、前記第2案内レールの上面と転接する第4ローラーを含むことを特徴とする表面処理装置。
A surface treatment tank containing a treatment liquid and having an upper end opening;
First and second guide rails extending along a first direction parallel to the longitudinal direction of the surface treatment tank at a position deviated from above the upper end opening of the surface treatment tank;
A plurality of transfer jigs supported by the first and second guide rails, each of which holds the workpiece in the treatment liquid of the surface treatment tank;
Have
Each of the plurality of jigs is
A horizontal arm portion extending along a second direction intersecting the first direction;
A first guided portion supported by one end of the horizontal arm portion and guided by the first guide rail;
A second guided portion supported on the other end side of the horizontal arm portion and guided by the second guide rail;
A vertical arm portion that is suspended from the horizontal arm portion at a position between the first guided portion and the second guided portion and holds the workpiece;
I have a,
The first guide rail includes an upper surface, a first side surface perpendicular to the upper surface, and a second side surface parallel to the first side surface,
The first guided portion of each of the plurality of conveying jigs is
A first roller in rolling contact with the upper surface of the first guide rail;
A second roller in rolling contact with the first side surface of the first guide rail;
A third roller that is in rolling contact with the second side surface of the first guide rail and restricts the positional deviation of the first guided portion in the second direction together with the second roller;
Including
The surface treatment apparatus , wherein the second guided portion of each of the plurality of conveying jigs includes a fourth roller that is in rolling contact with the upper surface of the second guide rail .
請求項において、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記第1方向に沿って延設される給電レールをさらに有し、
前記給電レールは、互いに絶縁されたN(Nは2以上の整数)個の分割給電レールを有し、
前記複数の搬送治具は、前記水平アームに対して前記第2方向にて位置が異なるN箇所の各一つに接触部が取り付けられた第1〜第Nの搬送治具を含み、前記第1〜第Nの搬送治具の各一つが、前記N個の分割給電レールの各一つと前記接触部を介して接触することを特徴とする表面処理装置。
In claim 1 ,
A feed rail extending along the first direction at a position off the upper end opening of the surface treatment tank;
The power supply rail, insulated each other physician the N (N is an integer of 2 or more) pieces of divided supply rail,
The plurality of transport jigs include first to Nth transport jigs in which a contact portion is attached to each one of N locations whose positions differ in the second direction with respect to the horizontal arm portion , Each of the first to Nth conveying jigs is in contact with one of the N divided power supply rails via the contact portion .
請求項において、
前記第1〜第Nの搬送治具の各々は、前記接触部を前記第2方向で異なる位置に設けられたN個の取付部を含み、
記接触部が、前記N個の取付部の一つに取り付けられることを特徴とする表面処理装置。
In claim 2 ,
Each of the first to Nth transport jigs includes N attachment portions provided with the contact portions at different positions in the second direction,
Surface treatment apparatus prior SL contact portion, characterized in that attached to one of the N mount.
請求項において、
前記第1〜第Nの搬送治具の各々は、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付勢して、前記接触部に接触圧を付与する付勢部材と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
In claim 3 ,
Each of the first to Nth conveying jigs is
A parallel link mechanism connecting the horizontal arm portion and the contact portion;
A biasing member which rotates urging the parallel link mechanism, imparts the contact pressure to the contact portion,
A surface treatment apparatus comprising:
請求項において、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記第1方向に沿って延設される給電レールをさらに有し、
前記複数の搬送治具の各々は、
前記給電レールに接触する接触部と、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付勢して、前記接触部に接触圧を付与する付勢部材と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
In claim 1 ,
A feed rail extending along the first direction at a position off the upper end opening of the surface treatment tank;
Each of the plurality of transport jigs is
A contact portion that contacts the power supply rail;
A parallel link mechanism connecting the horizontal arm portion and the contact portion;
A biasing member that biases the parallel link mechanism to rotate and applies a contact pressure to the contact portion;
Surface treatment apparatus characterized by having a.
請求項4または5において、
前記平行リンク機構は、前記複数の搬送治具に設けられた第1支点と、前記接触部に設けられた第2支点とに回動自在に連結されるリンクを含み、
前記複数の搬送治具の前記第1方向に沿った搬送方向に対して、前記第1支点が前記第2支点よりも先行することを特徴とする表面処理装置。
In claim 4 or 5 ,
The parallel link mechanism includes a link rotatably connected to a first fulcrum provided on the plurality of conveying jigs and a second fulcrum provided on the contact portion,
The surface treatment apparatus according to claim 1, wherein the first fulcrum precedes the second fulcrum with respect to a conveyance direction along the first direction of the plurality of conveyance jigs .
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