JP6339796B2 - 気相蒸着装置、これを用いる蒸着方法及び有機発光表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
10:有機発光表示装置
60:有機発光素子
100、200、300、400:気相蒸着装置
111、211、311、411:プラズマ発生器
120、220、320、420:支持棒
130、230、330、430:フィラメント部
103、203、303、403:反応空間
Claims (28)
- 基板に蒸着膜を形成するための気相蒸着装置であって、
第1原料ガスを供給されるように形成された供給部と、
前記供給部に連結された反応空間と、
前記反応空間内に配されたプラズマ発生器と、
前記第1原料ガスを含む蒸着原料物質を前記基板に注入する第1注入部と、
前記反応空間に配されて電源に連結されたフィラメント部と、を備え、
前記プラズマ発生器は、中空柱状を有して、前記供給部に対向する面に配された複数の第1ホール、及び前記第1注入部に対向する面に配された複数の第2ホールを備え、
前記フィラメント部は、前記プラズマ発生器で取り囲まれるように前記プラズマ発生器の内部に配されている気相蒸着装置。 - 前記フィラメント部を支持するように形成された支持棒をさらに備え、
前記フィラメント部は、前記支持棒に巻き取られた形態に配された請求項1に記載の気相蒸着装置。 - 前記フィラメント部は、金属材またはセラミックス材からなる請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記フィラメント部は、タングステン、タンタル、チタン、LaB6、BaO、またはSrOを含む請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記プラズマ発生器と前記フィラメント部との間に配され、中空柱状を有する中間部をさらに備える請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記中間部は、前記供給部に対向する面に配された複数の第1ホール、及び前記第1注入部に対向する面に配された複数の第2ホールを備える請求項5に記載の気相蒸着装置。
- 前記反応空間の内側面の領域のうち、前記プラズマ発生器に対応する対応面と前記プラズマ発生器との間の空間にプラズマが発生する請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記プラズマ発生器は、電圧が印加される電極である請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記反応空間と前記第1注入部との間に配され、前記反応空間及び前記第1注入部よりも小さな幅を持つ連結部が形成された請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記基板は、前記気相蒸着装置よりも地面に近い側に配され、前記第1注入部は地面に向かうように配された請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記基板は、前記気相蒸着装置よりも地面から遠い側に配され、前記第1注入部は、地面と逆方向に向かうように配された請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記基板と前記気相蒸着装置とは、相対的に移動するように形成された請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記第1注入部に隣接し、かつ前記第1注入部から離隔して形成された第2注入部をさらに備える請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記第2注入部は、前記基板方向に蒸着膜を形成する第2原料物質またはパージガスを注入する請求項13に記載の気相蒸着装置。
- 前記第1注入部に隣接し、かつ前記第1注入部から離隔して形成され、前記第1注入部の両側にそれぞれ配された第2注入部及び第3注入部をさらに備える請求項1に記載の気相蒸着装置。
- 前記第2注入部及び前記第3注入部は、それぞれパージガス、第2原料物質、及び第3原料物質からなる群から選択されたいずれか一つを基板方向に注入する請求項15に記載の気相蒸着装置。
- 前記第1注入部、第2注入部、及び前記第3注入部のそれぞれに隣接して配された複数の排気部をさらに備える請求項15に記載の気相蒸着装置。
- 前記複数の排気部は、少なくとも前記第1注入部と前記第2注入部との間に配された排気部、及び前記第1注入部と前記第3注入部との間に配された排気部を備える請求項17に記載の気相蒸着装置。
- 基板に蒸着膜を形成するための気相蒸着装置であって、
複数の第1領域、複数の第2領域、及び複数のパージ部を備え、
前記複数の第1領域のそれぞれは、
第1原料ガスを供給されるように形成された供給部と、
前記供給部に連結された反応空間と、
前記反応空間内に配されたプラズマ発生器と、
前記第1原料ガスを含む蒸着原料物質を前記基板に注入する第1注入部と、
前記反応空間に配されて電源に連結されたフィラメント部と、を備え、
前記複数の第2領域のそれぞれは、第2原料物質を前記基板方向に注入し、
前記パージ部は、前記基板方向にパージガスを注入し、
前記プラズマ発生器は、中空柱状を有して、前記供給部に対向する面に配された複数の第1ホール、及び前記第1注入部に対向する面に配された複数の第2ホールを備え、
前記フィラメント部は、前記プラズマ発生器で取り囲まれるように前記プラズマ発生器の内部に配されている気相蒸着装置。 - 前記複数のパージ部のうちのそれぞれのパージ部は、前記第1領域と前記第2領域との間に配された請求項19に記載の気相蒸着装置。
- 前記第1領域、第2領域、及びパージ部に隣接して配された複数の排気部をさらに備える請求項19に記載の気相蒸着装置。
- 基板に蒸着膜を形成するための蒸着方法であって、
供給部から反応空間に第1原料ガスを供給する段階と、
前記反応空間内に配されたプラズマ発生器を用いてプラズマを発生させる段階と、
前記第1原料ガスを、中空柱状を有する前記プラズマ発生器の複数のホールを通じて前記反応空間内から前記プラズマ発生器の内部に配されたフィラメント部に供給する段階と、
前記プラズマ発生器内の前記フィラメント部を用いて、前記第1原料ガスのうちの少なくとも一部がラジカル形態に変換されるように、前記フィラメント部に供給された前記第1原料ガスを活性化する段階と、
前記ラジカル形態の前記第1原料ガスを含む第1原料蒸着物質を前記プラズマ発生器から前記基板に注入する段階と、を含む蒸着方法。 - 前記フィラメント部は、熱及び熱電子を放出して前記第1原料ガスを活性化する段階を含む請求項22に記載の蒸着方法。
- 前記基板は、前記プラズマ発生器を含む気相蒸着装置に対して相対的に移動しつつ蒸着工程を行う請求項22に記載の蒸着方法。
- 気相蒸着装置を用いて有機発光表示装置を製造する方法であって、
前記有機発光表示装置は、第1電極、有機発光層を備える中間層、第2電極及び封止層を備え、
前記有機発光表示装置の少なくとも一つの薄膜を形成する段階は、
前記気相蒸着装置に対応するように基板を配する段階と、
前記気相蒸着装置の供給部から反応空間に第1原料ガスを供給する段階と、
前記反応空間内に配されたプラズマ発生器を用いてプラズマを発生させる段階と、
前記第1原料ガスを、中空柱状を有する前記プラズマ発生器の複数のホールを通じて前記反応空間内から前記プラズマ発生器の内部に配されたフィラメント部に供給する段階と、
前記プラズマ発生器内の前記フィラメント部を用いて、前記第1原料ガスのうちの少なくとも一部がラジカル形態に変換されるように、前記フィラメント部に供給された前記第1原料ガスを活性化する段階と、
前記ラジカル形態の前記第1原料ガスを含む第1原料蒸着物質を前記気相蒸着装置から前記基板に注入する段階と、を含む有機発光表示装置の製造方法。 - 前記有機発光表示装置の薄膜を形成する段階は、前記第2電極上に配される前記封止層を形成する段階である請求項25に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記有機発光表示装置の薄膜を形成する段階は、絶縁膜を形成する段階である請求項25に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記有機発光表示装置の薄膜を形成する段階は、導電膜を形成する段階である請求項25に記載の有機発光表示装置の製造方法。
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