JP6328537B2 - Plasma processing method and plasma processing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、粉体の表面改質等を行うプラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置に関するものである。   The present invention relates to a plasma processing method and a plasma processing apparatus for performing surface modification of powder and the like.

プラズマ処理装置では、プラズマガスが供給されるプラズマ発生室内に粉体を配置し、プラズマ発生室内で発生させた粉体にプラズマ処理を行う。また、複数の粉体が粉体の場合、プラズマ発生室内に気流を発生させて粉体を浮遊させる（特許文献１参照）。また、プラズマ発生室を回転させて粉体を浮遊させる（特許文献２参照）。   In the plasma processing apparatus, powder is disposed in a plasma generation chamber to which plasma gas is supplied, and plasma processing is performed on the powder generated in the plasma generation chamber. When the plurality of powders are powders, an air flow is generated in the plasma generation chamber to float the powders (see Patent Document 1). Further, the plasma generation chamber is rotated to float the powder (see Patent Document 2).

特公平７−６８３８２号公報Japanese Examined Patent Publication No. 7-68382 特開２０１２−１９６６６９号公報JP 2012-196669 A

しかしながら、特許文献１、２に記載のプラズマ処理装置では、プラズマ処理を行う度にプラズマ発生室内に付着した粉体を除去する必要がある。それ故、作業効率が低いという問題点がある。   However, in the plasma processing apparatuses described in Patent Documents 1 and 2, it is necessary to remove the powder adhering to the plasma generation chamber every time the plasma processing is performed. Therefore, there is a problem that work efficiency is low.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、粉体に対するプラズマ処理を効率よく行うことのできるプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a plasma processing method and a plasma processing apparatus capable of efficiently performing plasma processing on powder.

上記課題を解決するために、本発明に係るプラズマ処理方法では、複数の粉体をプラズマガスとともに密封した可搬式の容器の外側から電界を印加し、前記容器内にプラズマを発生させて前記粉体にプラズマ処理を行うプラズマ処理工程を有し、前記プラズマ処理工程では、第１電極および第２電極のうちの一方を他方に接近する方向に移動させて前記容器に前記第１電極および前記第２電極を押し付けた状態で前記電界を印加するとともに、前記第１電極を介して前記容器に振動を印加して前記複数の粉体を前記容器内で浮遊させることを特徴とする。本発明における「粉体」とは、粒子状のものの他、繊維状のものも含む意味である。 In order to solve the above problems, in the plasma processing method according to the present invention, an electric field is applied from the outside of a portable container in which a plurality of powders are sealed together with a plasma gas, and plasma is generated in the container to generate the powder. have a plasma treatment step of performing body plasma treatment, the plasma treatment step, the said container is moved toward the one of the first electrode and the second electrode to the other first electrode and the second The electric field is applied in a state where two electrodes are pressed, and vibration is applied to the container via the first electrode to suspend the plurality of powders in the container . The “powder” in the present invention is meant to include not only particles but also fibers.

また、本発明は、複数の粉体をプラズマガスとともに密封した可搬式の容器内に外側から電界を印加して前記容器内にプラズマを発生させるプラズマ処理装置であって、前記容器を挟む両側に配置された第１電極および第２電極と、第１加振器と、を含み、前記第１電極および前記第２電極のうちの一方を他方に接近する方向に移動させて前記容器に前記第１電極および前記第２電極を押し付けた状態で前記電界を印加し、前記第１加振器は、前記容器内にプラズマを発生させている期間、前記第１電極を介して前記容器に振動を印加して前記複数の粉体を前記容器内で浮遊させることを特徴とする。 The present invention also provides a plasma processing apparatus for generating plasma in the container by applying an electric field from the outside in a portable container in which a plurality of powders are sealed with plasma gas, on both sides of the container. First and second electrodes, and a first vibrator, wherein one of the first electrode and the second electrode is moved in a direction approaching the other to move the first electrode to the container. The electric field is applied in a state where one electrode and the second electrode are pressed, and the first vibrator vibrates the container via the first electrode during a period in which plasma is generated in the container. The plurality of powders are floated in the container by application .

本発明では、複数の粉体をプラズマガスとともに容器内に収容し、この状態で、容器の外側から電界を印加して容器内にプラズマを発生させ、粉体にプラズマ処理を行う。このため、粉体は、プラズマ処理の前および後のいずれにおいても、可搬式の容器内にあるため、プラズマ処理の後、粉体を容器内に収容したまま、次の工程に移行させることができる。従って、プラズマ処理装置のプラズマ発生室に直接粉体を搬入してプラズマ処理を行う場合と違って、プラズマ発生室に粉体が付着することがない。従って、プラズマ処理を行う度にプラズマ発生室内に付着した粉体を除去する必要がない等、プラズマ処理を効率よく行うことができる。また、容器に第１電極および第２電極を押し付けた状態で電界を印加するため、容器の外側にプラズマが発生することを抑制することができる。また、プラズマ処理の際、第１電極を介して容器に振動を印加するため、容器内において粉体が浮遊することになる。従って、容器内の粉体においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。また、粉体の表面においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。 In the present invention, a plurality of powders are accommodated in a container together with plasma gas, and in this state, an electric field is applied from the outside of the container to generate plasma in the container, and the powder is subjected to plasma treatment. For this reason, since the powder is in the portable container both before and after the plasma treatment, the powder can be transferred to the next step while being accommodated in the container after the plasma treatment. it can. Therefore, unlike the case where the powder is directly carried into the plasma generation chamber of the plasma processing apparatus and the plasma processing is performed, the powder does not adhere to the plasma generation chamber. Therefore, it is possible to perform the plasma processing efficiently, such that it is not necessary to remove the powder adhering to the plasma generation chamber each time the plasma processing is performed. Moreover, since an electric field is applied in the state which pressed the 1st electrode and the 2nd electrode against the container, it can suppress that a plasma generate | occur | produces on the outer side of a container. Further, since the vibration is applied to the container through the first electrode during the plasma treatment, the powder floats in the container. Therefore, it is possible to prevent the degree of plasma treatment from varying in the powder in the container. In addition, it is possible to suppress variation in the degree of plasma treatment on the surface of the powder.

本発明において、前記容器は、可撓性シートからなる袋である構成を採用することができる。かかる構成によれば、容器にかかるコストを低減することができる。   In the present invention, the container may be a bag made of a flexible sheet. According to this configuration, the cost for the container can be reduced.

本発明に係るプラズマ処理方法において、前記容器は、複数が繋がっており、前記複数の容器に対して順次、前記プラズマ処理工程を行うことが好ましい。また、本発明に係るプラズマ処理装置において、前記容器は、複数が繋がっており、前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させて、前記複数の容器内に対して順次、前記電界を印加することが好ましい。かかる構成によれば、粉体に対するプラズマ処理を効率よく行うことができる。この場合、本発明に係るプラズマ処理方法では、搬送装置によって前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させる態様を採用することができる。また、本発明に係るプラズマ処理装置は、前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させる搬送装置を有している態様を採用することができる。 In the plasma processing method according to the present invention, it is preferable that a plurality of the containers are connected, and the plasma processing step is sequentially performed on the plurality of containers. Further, in the plasma processing apparatus according to the present invention, a plurality of the containers are connected, and the plurality of containers are moved relative to the first electrode and the second electrode to move the plurality of containers into the plurality of containers. It is preferable to sequentially apply the electric field. According to such a configuration, it is possible to efficiently perform plasma processing on the powder. In this case, in the plasma processing method according to the present invention, it is possible to employ a mode in which the plurality of containers are moved relative to the first electrode and the second electrode by a transfer device. In addition, the plasma processing apparatus according to the present invention may employ a mode including a transfer device that moves the plurality of containers relative to the first electrode and the second electrode.

本発明に係るプラズマ処理方法において、前記プラズマ処理工程では、前記容器内での
前記プラズマの発生、および前記容器への振動の印加を行った後、前記容器を上下反転させて、再度、前記容器内での前記プラズマの発生、および前記容器への振動の印加を行う態様を採用することができる。 In the plasma processing method according to the present invention, in the plasma processing step,
After the generation of the plasma and the application of vibration to the container, the container is turned upside down to generate the plasma in the container and apply the vibration to the container again. Can be adopted .

本発明に係るプラズマ処理方法では、前記プラズマ処理工程の前に前記容器に振動を印加する加振工程を有することが好ましい。本発明に係るプラズマ処理装置は、前記容器内にプラズマを発生させる前に、前記容器に振動を印加する第２加振器を有することが好ましい。かかる構成によれば、容器内において粉体が浮遊することになる。従って、容器内の粉体においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。また、粉体の表面においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。   In the plasma processing method according to the present invention, it is preferable to have a vibration process for applying vibration to the container before the plasma processing process. The plasma processing apparatus according to the present invention preferably includes a second vibrator for applying vibration to the container before generating plasma in the container. According to such a configuration, the powder floats in the container. Therefore, it is possible to prevent the degree of plasma treatment from varying in the powder in the container. In addition, it is possible to suppress variation in the degree of plasma treatment on the surface of the powder.

本発明において、前記第１電極は、前記容器を下方から支持するステージとして利用され、前記第２電極には、前記第２電極を前記第１電極に接近する方向、および前記第１電極から離間する方向に移動させる昇降装置が設けられている態様を採用することができる。 Oite the present invention, the first electrode is used as a stage for supporting the container from below, wherein the second electrode, the direction approaching the second electrode to the first electrode, and the first electrode It is possible to adopt a mode in which an elevating device that moves in a direction away from the device is provided .

本発明において、前記粉体は、例えば、粉状のフッ素系樹脂材料、粉状の超電導材料、粉状の塗料原料、粉状の発色剤、粉状の炭素材料、粉状の希土類材料、粉状の触媒材料、粉状の電極材料、および粉状の薬剤の何れかからなる。   In the present invention, the powder may be, for example, a powdered fluororesin material, a powdered superconducting material, a powdered coating material, a powdered color former, a powdered carbon material, a powdered rare earth material, or a powder. The catalyst material is in the form of powder, electrode material in powder form, or powdered drug.

本発明では、複数の粉体をプラズマガスとともに容器内に収容し、この状態で、容器の外側から電界を印加して容器内にプラズマを発生させ、粉体にプラズマ処理を行う。このため、粉体は、プラズマ処理の前および後のいずれにおいても、可搬式の容器内にあるため、プラズマ処理の後、粉体を容器内に収容したまま、次の工程に移行させることができる。従って、プラズマ処理装置のプラズマ発生室に直接粉体を搬入してプラズマ処理を行う場合と違って、プラズマ発生室に粉体が付着することがない。従って、プラズマ処理を行う度にプラズマ発生室内に付着した粉体を除去する必要がない等、プラズマ処理を効率よく行うことができる。   In the present invention, a plurality of powders are accommodated in a container together with plasma gas, and in this state, an electric field is applied from the outside of the container to generate plasma in the container, and the powder is subjected to plasma treatment. For this reason, since the powder is in the portable container both before and after the plasma treatment, the powder can be transferred to the next step while being accommodated in the container after the plasma treatment. it can. Therefore, unlike the case where the powder is directly carried into the plasma generation chamber of the plasma processing apparatus and the plasma processing is performed, the powder does not adhere to the plasma generation chamber. Therefore, it is possible to perform the plasma processing efficiently, such that it is not necessary to remove the powder adhering to the plasma generation chamber each time the plasma processing is performed.

本発明を適用したプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置の一態様を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the one aspect | mode of the plasma processing method and plasma processing apparatus to which this invention is applied. 本発明に係るプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置で用いる容器の一態様を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the one aspect | mode of the container used with the plasma processing method and plasma processing apparatus which concern on this invention. 本発明に係るプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置で用いる容器に粉体およびプラズマガスを充填する方法の一態様を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the one aspect | mode of the method filled with powder and plasma gas in the container used with the plasma processing method and plasma processing apparatus which concern on this invention.

図面を参照して、本発明を適用したプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置を説明する。   A plasma processing method and a plasma processing apparatus to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

（全体構成）
図１は、本発明を適用したプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置の一態様を示す説明図である。 (overall structure)
FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a plasma processing method and a plasma processing apparatus to which the present invention is applied.

図１に示すように、本形態では、密封工程において、複数の粉体１をプラズマガス２とともに密封した可搬式の容器３内に収容した後、プラズマ処理装置５０において、容器３の外側から電界を印加して容器３内にプラズマを発生させて粉体１にプラズマ処理を行うプラズマ処理工程ＳＴ１を行う。   As shown in FIG. 1, in this embodiment, in the sealing step, after a plurality of powders 1 are housed in a portable container 3 sealed with a plasma gas 2, an electric field is applied from the outside of the container 3 in the plasma processing apparatus 50. Is applied to generate plasma in the container 3 and perform a plasma treatment on the powder 1 to perform a plasma treatment step ST1.

本形態において、プラズマガス２は、例えば、Ｈｅ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｋｒ、Ｘｅ等の不活性ガス、窒素ガス、水素ガス、ＣＯ2やＣＯ等の炭素酸化物ガス、Ｏ2等の酸化性ガス、クロロシランやアルコキシシランなどの有機シランを含む反応ガス、ＣＦ4等の反応ガス、エチレン、プロピレン等の重合性不飽和化合物ガス、フルオロカーボン系の含フッ素化合物、空気などを混合してなる反応ガスである。 In this embodiment, the plasma gas 2 is, for example, an inert gas such as He, Ar, Ne, Kr, or Xe, a nitrogen gas, a hydrogen gas, a carbon oxide gas such as CO 2 or CO, or an oxidizing gas such as O 2. A reaction gas comprising a mixture of a reaction gas containing an organic silane such as chlorosilane or alkoxysilane, a reaction gas such as CF 4 , a polymerizable unsaturated compound gas such as ethylene or propylene, a fluorocarbon-based fluorine-containing compound or air. is there.

粉体１は、例えば、粉状のフッ素系樹脂材料、粉状の超電導材料、粉状の塗料原料、粉状の発色剤、粉状の炭素材料、粉状の希土類材料、粉状の触媒材料、粉状の電極材料、および粉状の薬剤等からなる。このため、粉体１に対するプラズマ処理によって、親水性や高い分散性等を備えた粉状のフッ素系樹脂材料や粉状の炭素材料を得ることができる。また、成形性や磁気特性の優れた粉状の超電導材料を得ることができる。また、分散性や発色性の高い粉状の塗料原料や粉状の発色剤を得ることができる。また、表面の活性度が高い粉状の薬剤を得ることができる。なお、フッ素系樹脂材料としては、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、テトラフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合体などを例示することができる。   The powder 1 is, for example, a powdered fluororesin material, a powdered superconducting material, a powdered coating material, a powdered color former, a powdered carbon material, a powdered rare earth material, or a powdered catalyst material. , Powdered electrode material, powdered drug and the like. For this reason, a powdery fluororesin material or a powdery carbon material having hydrophilicity and high dispersibility can be obtained by plasma treatment of the powder 1. Also, a powdery superconducting material having excellent moldability and magnetic properties can be obtained. In addition, a powdery coating material or a powdery color former having high dispersibility and color developability can be obtained. In addition, a powdery drug having high surface activity can be obtained. In addition, as the fluororesin material, tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), tetrafluoroethylene- Ethylene copolymer (ETFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer (ECTFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), polyvinyl fluoride (PVF), tetrafluoroethylene-fluoride A vinylidene copolymer etc. can be illustrated.

このようなプラズマ処理方法に用いるプラズマ処理装置５０は、複数の粉体１をプラズマガス２とともに密封した可搬式の容器３内に外側から電界を印加して容器３内にプラズマを発生させるプラズマ処理部７０に一対の（第１電極７１および第２電極７２）を有している。本形態において、第１電極７１および第２電極７２は平行平板電極であり、第１電極７１は、容器３を下方から支持するステージとして利用される。これに対して、第２電極７２には、矢印Ｂで示す昇降装置が設けられており、第２電極７２は、第１電極７１に接近する方向および第１電極７１から離間する方向に移動可能である。   The plasma processing apparatus 50 used for such a plasma processing method is a plasma processing for generating plasma in the container 3 by applying an electric field from the outside in the portable container 3 in which a plurality of powders 1 are sealed together with the plasma gas 2. The part 70 has a pair of (first electrode 71 and second electrode 72). In the present embodiment, the first electrode 71 and the second electrode 72 are parallel plate electrodes, and the first electrode 71 is used as a stage that supports the container 3 from below. In contrast, the second electrode 72 is provided with a lifting device indicated by an arrow B, and the second electrode 72 is movable in a direction approaching the first electrode 71 and a direction separating from the first electrode 71. It is.

また、第１電極７１には、コイルバネ７６を備えた第１加振器７５が設けられており、容器３の内部にプラズマを発生させている期間中、容器３に振動を印加する。   Further, the first electrode 71 is provided with a first vibrator 75 having a coil spring 76, and applies vibration to the container 3 during a period in which plasma is generated inside the container 3.

本形態のプラズマ処理装置５０は、容器３を搬送する搬送装置（矢印Ａで示す）を有しており、容器３は、自動的にプラズマ処理部７０に搬送される。ここで、プラズマ処理部７０に対して搬送方向の上流には、加振部６０が設けられている。加振部６０は、容器３を下方から支持するステージ６１と、コイルバネ６６を備えた第２加振器６５が設けられ
ており、プラズマ処理部７０において容器３の内部にプラズマを発生させる前に、容器３に振動を印加する加振工程ＳＴ２を行う。 The plasma processing apparatus 50 according to the present embodiment includes a transport apparatus (indicated by an arrow A) that transports the container 3, and the container 3 is automatically transported to the plasma processing unit 70. Here, an excitation unit 60 is provided upstream of the plasma processing unit 70 in the transport direction. The vibration unit 60 includes a stage 61 that supports the container 3 from below and a second vibration unit 65 that includes a coil spring 66. Before the plasma processing unit 70 generates plasma inside the container 3, the vibration unit 60 is provided. The vibration process ST2 for applying vibration to the container 3 is performed.

ここで、容器３は絶縁性である。また、容器３は、複数が繋がった状態にあるため、複数の容器３は順次、加振部６０およびプラズマ処理部７０に搬送され、複数の容器３に対して順次、加振工程ＳＴ２およびプラズマ処理工程ＳＴ１が行われる。   Here, the container 3 is insulative. In addition, since a plurality of containers 3 are connected, the plurality of containers 3 are sequentially transferred to the vibration unit 60 and the plasma processing unit 70, and the vibration process ST2 and the plasma are sequentially performed on the plurality of containers 3. Processing step ST1 is performed.

（容器３の構成）
図２は、本発明に係るプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置で用いる容器の一態様を示す説明図である。図３は、本発明に係るプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置で用いる容器に粉体およびプラズマガスを充填する方法の一態様を示す説明図である。 (Configuration of container 3)
FIG. 2 is an explanatory view showing one embodiment of a container used in the plasma processing method and the plasma processing apparatus according to the present invention. FIG. 3 is an explanatory view showing an embodiment of a method of filling powder and plasma gas into a container used in the plasma processing method and the plasma processing apparatus according to the present invention.

図２に示すように、本形態では、容器３として可撓性シート３５からなる袋３０が用いられている。また、本形態では、袋３０として、四方のうち、一方が可撓性シートの折り返し部３１になっており、残る三方がシール部３２、３３、３３になっている。なお、本形態では、複数の容器３のうち、隣り合う容器３では、シール部３３が共有されている。   As shown in FIG. 2, in this embodiment, a bag 30 made of a flexible sheet 35 is used as the container 3. Moreover, in this form, as the bag 30, one of the four sides is a folded portion 31 of a flexible sheet, and the remaining three sides are seal portions 32, 33, 33. In the present embodiment, among the plurality of containers 3, the adjacent containers 3 share the seal portion 33.

かかる構成の袋３０は、図３に示す方法等によって、内部への粉体１およびプラズマガス２の充填が自動的に行われる。例えば、図３（ａ）において、可撓性シート３５は、連続した帯状シートとして供給され、搬送途中で、幅方向で２つに折り畳まれる。その結果、幅方向の一方に折り返し部３１が形成される。   The bag 30 having such a configuration is automatically filled with the powder 1 and the plasma gas 2 by the method shown in FIG. For example, in FIG. 3A, the flexible sheet 35 is supplied as a continuous belt-like sheet, and is folded into two in the width direction during conveyance. As a result, the folded portion 31 is formed on one side in the width direction.

次に、図３（ｂ）に示すように、長さ方向で離間する２個所がシールされ、２つのシール部３３が形成され、その結果、上方が開口した容器３が形成される。かかるシールには、例えば、加熱による熱融着等が利用される。   Next, as shown in FIG. 3B, two portions that are separated from each other in the length direction are sealed to form two seal portions 33. As a result, the container 3 having an open top is formed. For such a seal, for example, heat fusion by heating is used.

次に、図３（ｃ）に示すように、容器３の上方から粉体１が充填される。   Next, as shown in FIG. 3C, the powder 1 is filled from above the container 3.

次に、図３（ｄ）に示すように、容器３の内部に差し込まれた２本の管３７、３８によって、容器３の内部で空気がプラズマガス２に置換される。その際、２本の管３７、３８のうち、一方の管３７から容器３の内部の空気を吸引する一方、一方の管３８から容器３の内部にプラズマガス２を供給する。   Next, as shown in FIG. 3 (d), the air is replaced with the plasma gas 2 inside the container 3 by the two tubes 37 and 38 inserted into the container 3. At that time, of the two tubes 37, 38, the air inside the container 3 is sucked from one tube 37, while the plasma gas 2 is supplied from the one tube 38 to the inside of the container 3.

次に、図３（ｅ）に示すように、容器３の上方をシールし、シール部３２を形成される。かかるシールにも、例えば、加熱による熱融着等が利用される。このような工程によれば、容器３は、複数の粉体１をプラズマガス２とともに密封した状態となる。また、同様な工程を繰り返し行えば、複数の容器３が繋がった状態となり、いずれも容器３でも、複数の粉体１がプラズマガス２とともに密封された状態にある。   Next, as shown in FIG. 3E, the upper portion of the container 3 is sealed to form a seal portion 32. For the sealing, for example, heat fusion by heating is used. According to such a process, the container 3 is in a state in which the plurality of powders 1 are sealed together with the plasma gas 2. If the same process is repeated, a plurality of containers 3 are connected to each other, and in any container 3, the plurality of powders 1 are sealed together with the plasma gas 2.

（プラズマ処理方法）
上記の容器３およびプラズマ処理装置５０を用いて粉体１にプラズマ処理を行うには、まず、図２および図３を参照して説明した密封工程において、複数の粉体１をプラズマガス２とともに密封した可搬式の容器３内に収容する。 (Plasma treatment method)
In order to perform plasma processing on the powder 1 using the container 3 and the plasma processing apparatus 50 described above, first, in the sealing step described with reference to FIGS. Housed in a sealed portable container 3.

次に、図１に示すプラズマ処理装置５０の加振部６０において、ステージ６１の上に容器３を載置した後、第２加振器６５によって容器３に振動を加える加振工程ＳＴ２を行い、粉体１を容器３内で浮遊した状態とする。   Next, in the vibration unit 60 of the plasma processing apparatus 50 shown in FIG. 1, after the container 3 is placed on the stage 61, a vibration process ST <b> 2 is performed in which vibration is applied to the container 3 by the second vibrator 65. The powder 1 is suspended in the container 3.

次に、容器３をプラズマ処理装置５０のプラズマ処理部７０に搬送して第１電極７１の上に載置する。この状態で、第２電極７２は上方の待機位置にある。次に、第１加振器７
５によって容器３に振動を加え、粉体１を容器３内でより浮遊した状態とする。次に、第１加振器７５によって容器３に振動を加えた状態のまま、第２電極７２を下降させて、第２電極７２によって容器３を第１電極７１に押し付けた状態とする。 Next, the container 3 is transported to the plasma processing unit 70 of the plasma processing apparatus 50 and placed on the first electrode 71. In this state, the second electrode 72 is in the upper standby position. Next, the first vibrator 7
5, the container 3 is vibrated to make the powder 1 float more in the container 3. Next, the second electrode 72 is lowered while the container 3 is vibrated by the first vibrator 75, and the container 3 is pressed against the first electrode 71 by the second electrode 72.

次に、第１電極７１と第２電極７２に高周波電圧を印加する。その結果、容器３の内部でプラズマが発生し、粉体１がプラズマ処理される。   Next, a high frequency voltage is applied to the first electrode 71 and the second electrode 72. As a result, plasma is generated inside the container 3 and the powder 1 is subjected to plasma treatment.

このようにして粉体１にプラズマ処理を行った後は、容器３をそのまま、使用してもよいし、粉体１を別の容器に詰め換えてもよい。また、容器３についてはそのままとし、容器３の内部からプラズマガス２を放出して、容器３の体積を縮小してもよい。   After the plasma treatment is performed on the powder 1 in this manner, the container 3 may be used as it is, or the powder 1 may be refilled into another container. Further, the container 3 may be left as it is, and the volume of the container 3 may be reduced by releasing the plasma gas 2 from the inside of the container 3.

また、粉体１に対してプラズマ処理をより均等に行うという観点からすれば、容器３を上下反転させて、再度、上記の加振工程ＳＴ２とプラズマ処理工程ＳＴ１とを行ってもよい。   Further, from the viewpoint of performing the plasma treatment on the powder 1 more evenly, the vibration step ST2 and the plasma treatment step ST1 may be performed again by inverting the container 3 upside down.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、複数の粉体１をプラズマガス２とともに、密封した容器３内に収容し、この状態で、容器３の外側から電界を印加して容器３内にプラズマを発生させ、粉体１にプラズマ処理を行う。このため、粉体１は、プラズマ処理の前および後のいずれにおいても、可搬式の容器３内にあるため、プラズマ処理の後、粉体１を容器３内に収容したまま、次の工程に移行させることができる。従って、プラズマ処理装置のプラズマ発生室に直接粉体を搬入してプラズマ処理を行う場合と違って、プラズマ発生室に粉体が付着することがない。従って、プラズマ処理を行う度にプラズマ発生室内に付着した粉体を除去する必要がない等、プラズマ処理を効率よく行うことができる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, a plurality of powders 1 are stored in a sealed container 3 together with a plasma gas 2, and in this state, an electric field is applied from the outside of the container 3 to generate plasma in the container 3. The powder 1 is subjected to plasma treatment. For this reason, since the powder 1 is in the portable container 3 both before and after the plasma treatment, the powder 1 is stored in the container 3 after the plasma treatment and is transferred to the next step. Can be migrated. Therefore, unlike the case where the powder is directly carried into the plasma generation chamber of the plasma processing apparatus and the plasma processing is performed, the powder does not adhere to the plasma generation chamber. Therefore, it is possible to perform the plasma processing efficiently, such that it is not necessary to remove the powder adhering to the plasma generation chamber each time the plasma processing is performed.

また、容器３は、可撓性シート３５からなる袋３０であるため、容器３にかかるコストを低減することができる。   Moreover, since the container 3 is the bag 30 which consists of the flexible sheet | seat 35, the cost concerning the container 3 can be reduced.

また、容器３（袋３０）は、複数が繋がっており、複数の容器３に対して順次、プラズマ処理工程ＳＴ１が行われる。従って、粉体１に対するプラズマ処理を効率よく行うことができる。   A plurality of containers 3 (bags 30) are connected, and the plasma processing step ST1 is sequentially performed on the plurality of containers 3. Therefore, the plasma treatment for the powder 1 can be performed efficiently.

また、プラズマ処理工程ＳＴ１中、容器３に振動を印加するため、容器３内において粉体１が浮遊することになる。また、プラズマ処理工程ＳＴ１の前に容器３に振動を印加する加振工程ＳＴ２を行うため、容器３内において粉体１がより浮遊することになる。従って、容器３内の粉体１においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。また、粉体１の表面においてプラズマ処理の程度がばらつくことを抑制することができる。   In addition, since the vibration is applied to the container 3 during the plasma processing step ST1, the powder 1 floats in the container 3. Moreover, since the vibration process ST2 which applies a vibration to the container 3 is performed before plasma processing process ST1, the powder 1 will float more in the container 3. FIG. Therefore, it is possible to prevent the degree of plasma treatment from varying in the powder 1 in the container 3. In addition, it is possible to prevent the degree of plasma treatment from varying on the surface of the powder 1.

また、プラズマ処理工程ＳＴ１では、容器３に第１電極７１および第２電極７２を押し付けた状態で電界を発生させるため、容器３の外側に無駄なプラズマが発生することを抑制することができる。   Further, in the plasma processing step ST1, since an electric field is generated with the first electrode 71 and the second electrode 72 pressed against the container 3, it is possible to suppress generation of useless plasma on the outside of the container 3.

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、容器３（袋３０）が繋がった状態でプラズマ処理を行ったが、容器３（袋３０）が１つずつ、分割されている構成を採用してもよい。 [Other embodiments]
In the said embodiment, although the plasma processing was performed in the state in which the container 3 (bag 30) was connected, you may employ | adopt the structure by which the container 3 (bag 30) is divided | segmented one by one.

上記実施の形態では、容器３として、三方に加熱シールが施された袋３０を用いたが、一方、二方、あるいは四方に加熱シールが施された袋３０を用いてもよい。また、シールについては、加熱シールに限らず、ファスナー等でシールされている容器３を用いてもよ
い。 In the above embodiment, as the container 3, the bag 30 that is heat-sealed in three directions is used. However, the bag 30 that is heat-sealed in two or four directions may be used. Moreover, about a seal | sticker, you may use the container 3 sealed not only with a heat seal but with a fastener.

上記実施の形態では、容器３として袋３０を用いたが、板材を折り曲げた箱型の容器等を用いてもよい。   In the above embodiment, the bag 30 is used as the container 3, but a box-type container or the like obtained by bending a plate material may be used.

１・・粉体、２・・プラズマガス、３・・容器、３０・・袋、３１・・折り返し部、３２、３３・・シール部、３５・・可撓性シート、５０・・プラズマ処理装置、６０・・加振部、６５・・第２加振器、７０・・プラズマ処理部、７１・・第１電極、７２・・第２電極、７５・・第１加振器、ＳＴ１・・プラズマ処理工程、ＳＴ２・・加振工程 1 ·· Powder 2 ·· Plasma gas 3 ·· Container 30 ·· Bag 31 ·· Folded part 32 · 33 ·· Seal part 35 ·· Flexible sheet 50 ·· Plasma processing apparatus , 60... Exciter, 65.. Second exciter, 70 .. Plasma processing unit, 71... First electrode, 72 ... Second electrode, 75 ... First exciter, ST 1. Plasma treatment process, ST2 ... Excitation process

Claims (13)

複数の粉体をプラズマガスとともに密封した可搬式の容器の外側から電界を印加し、前記容器内にプラズマを発生させて前記粉体にプラズマ処理を行うプラズマ処理工程を有し、
前記プラズマ処理工程では、第１電極および第２電極のうちの一方を他方に接近する方向に移動させて前記容器に前記第１電極および前記第２電極を押し付けた状態で前記電界を印加するとともに、前記第１電極を介して前記容器に振動を印加して前記複数の粉体を前記容器内で浮遊させることを特徴とするプラズマ処理方法。 A plurality of powder an electric field is applied from the outside of the container portable was sealed with Plasma gas by generating plasma have a plasma treatment step of performing a plasma treatment on the powder in the container,
In the plasma processing step, one of the first electrode and the second electrode is moved in a direction approaching the other, and the electric field is applied while the first electrode and the second electrode are pressed against the container. And applying a vibration to the container through the first electrode to suspend the plurality of powders in the container . 前記容器は、可撓性シートからなる袋であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理方法。   The plasma processing method according to claim 1, wherein the container is a bag made of a flexible sheet. 前記容器は、複数が繋がっており、
前記複数の容器に対して順次、前記プラズマ処理工程を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ処理方法。 A plurality of the containers are connected,
The plasma processing method according to claim 1, wherein the plasma processing step is sequentially performed on the plurality of containers. 搬送装置によって前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ処理方法。 The plasma processing method according to claim 3 , wherein the plurality of containers are moved relative to the first electrode and the second electrode by a transfer device . 前記プラズマ処理工程の前に前記容器に振動を印加する加振工程を有することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。   5. The plasma processing method according to claim 1, further comprising an excitation step of applying vibration to the container before the plasma processing step. 前記プラズマ処理工程では、前記容器内での前記プラズマの発生、および前記容器への振動の印加を行った後、前記容器を上下反転させて、再度、前記容器内での前記プラズマの発生、および前記容器への振動の印加を行うことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。 In the plasma treatment step, after the generation of the plasma in the container and the application of vibration to the container, the container is turned upside down to generate the plasma in the container again, and 6. The plasma processing method according to claim 1, wherein vibration is applied to the container . 前記粉体は、粉状のフッ素系樹脂材料、粉状の超電導材料、粉状の塗料原料、粉状の発
色剤、粉状の炭素材料、粉状の希土類材料、粉状の触媒材料、粉状の電極材料、および粉状の薬剤の何れかからなることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。 The powder is powdered fluororesin material, powdered superconducting material, powdered coating material, powdered color former, powdered carbon material, powdered rare earth material, powdered catalyst material, powder The plasma processing method according to any one of claims 1 to 6, wherein the plasma processing method comprises any one of an electrode material and a powdery drug. 複数の粉体をプラズマガスとともに密封した可搬式の容器内に外側から電界を印加して前記容器内にプラズマを発生させるプラズマ処理装置であって、
前記容器を挟む両側に配置された第１電極および第２電極と、第１加振器と、を含み、
前記第１電極および前記第２電極のうちの一方を他方に接近する方向に移動させて前記容器に前記第１電極および前記第２電極を押し付けた状態で前記電界を印加し、
前記第１加振器は、前記容器内にプラズマを発生させている期間、前記第１電極を介して前記容器に振動を印加して前記複数の粉体を前記容器内で浮遊させることを特徴とするプラズマ処理装置。 A plasma processing apparatus for generating plasma in the container by applying an electric field from the outside in a portable container in which a plurality of powders are sealed together with plasma gas ,
A first electrode and a second electrode disposed on both sides of the container, and a first vibrator,
Moving the one of the first electrode and the second electrode in a direction approaching the other and applying the electric field with the first electrode and the second electrode pressed against the container;
The first vibrator applies a vibration to the container through the first electrode to float the plurality of powders in the container during a period in which plasma is generated in the container. A plasma processing apparatus. 前記第１電極は、前記容器を下方から支持するステージとして利用され、
前記第２電極には、前記第２電極を前記第１電極に接近する方向、および前記第１電極から離間する方向に移動させる昇降装置が設けられていることを特徴とする請求項８に記載のプラズマ処理装置。 The first electrode is used as a stage for supporting the container from below,
The lifting / lowering device that moves the second electrode in a direction approaching the first electrode and a direction separating from the first electrode is provided in the second electrode. Plasma processing equipment. 前記容器内にプラズマを発生させる前に、前記容器に振動を印加する第２加振器を有することを特徴とする請求項８または９に記載のプラズマ処理装置。   10. The plasma processing apparatus according to claim 8, further comprising a second vibrator for applying vibration to the container before generating plasma in the container. 10. 前記容器は、可撓性シートからなる袋であることを特徴とする請求項８乃至１０の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 The plasma processing apparatus according to claim 8 , wherein the container is a bag made of a flexible sheet . 前記容器は、複数が繋がっており、
前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させて、前記複数の容器内に対して順次、前記電界を印加することを特徴とする請求項８乃至１１の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 A plurality of the containers are connected,
The plurality of containers are moved relative to the first electrode and the second electrode, and the electric field is sequentially applied to the plurality of containers. The plasma processing apparatus according to one item. 前記複数の容器を前記第１電極および前記第２電極に対して相対移動させる搬送装置を有していることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマ処理装置。 The plasma processing apparatus according to claim 12 , further comprising a transfer device that moves the plurality of containers relative to the first electrode and the second electrode .
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