JP6324861B2 - Cryostat and outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent material and outgas evaluation method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法に関するものである。 The present invention relates to an outgas evaluation apparatus for a cryostat and a superconducting magnet constituting material, and an outgas evaluation method thereof.
高温超電導磁石は従来の低温超電導磁石に対して運用温度が高くなるため、クライオポンプ効果（後述）が弱まり、真空容器内にアウトガス（構造部材から放出されるガス）が蓄積しやすくなる。アウトガスが蓄積すると真空度が低下するため、超電導磁石への外部からの熱侵入が増加するという問題がある。 Since the operating temperature of the high temperature superconducting magnet is higher than that of the conventional low temperature superconducting magnet, the cryopump effect (described later) is weakened, and outgas (gas released from the structural member) is likely to accumulate in the vacuum vessel. When outgas accumulates, the degree of vacuum decreases, and there is a problem that heat penetration from the outside into the superconducting magnet increases.
そこで、アウトガスの発生源及び、アウトガスを吸着する吸着材（活性炭、ゼオライト等）について極低温での定量的な評価が必要となる。 Therefore, it is necessary to quantitatively evaluate the outgas generation source and the adsorbent that adsorbs the outgas (activated carbon, zeolite, etc.) at an extremely low temperature.
しかしながら、従来のアウトガス評価装置では、試料を加熱することによってガスの放出を促進することはできるものの、冷却機構は有していない。試料が極低温の状況ではガスの放出速度が異なるだけでなく、クライオポンプ効果もあるため、従来の装置では超電導磁石設計に必要なデータを取得できていなかった。 However, although the conventional outgas evaluation apparatus can accelerate gas release by heating the sample, it does not have a cooling mechanism. When the sample is at a very low temperature, not only the gas release rate is different, but also the cryopump effect, the data required for the design of the superconducting magnet could not be obtained with the conventional apparatus.
本発明は、上記状況に鑑みて、超電導磁石設計に必要なアウトガスの発生源及び、アウトガスを吸着する吸着材（活性炭、ゼオライト等) について極低温での定量的な評価データを取得することができるクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法を提供することを目的とする。 In view of the above situation, the present invention can obtain quantitative evaluation data at cryogenic temperatures for outgas generation sources necessary for superconducting magnet design and adsorbents (activated carbon, zeolite, etc.) that adsorb outgas. It is an object of the present invention to provide an outgas evaluation apparatus for a cryostat and a superconducting magnet constituent material and an outgas evaluation method thereof.
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置であって、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部に固定するとともに、前記極低温冷凍機によって、試料温度を３００Ｋ〜２０Ｋの範囲で制御可能にしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] A container equipped with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation device capable of measuring outgas from a sample under a cryogenic condition , wherein the sample is placed in the cryogenic refrigerator cooling unit. In addition to being fixed, the cryogenic refrigerator can control the sample temperature in the range of 300K to 20K .
〔２〕上記〔１〕記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部と接触させず、前記試料チャンバー内のチャンバー表面へ固定するとともに、前記極低温冷凍機によってクライオポンプ効果が存在する環境での、前記試料の室温状態におけるアウトガスの測定ができることを特徴とする。 [ 2 ] In the cryostat and the outgas evaluation apparatus for a superconducting magnet constituting material according to [1], the sample is fixed to the surface of the chamber in the sample chamber without being brought into contact with the cryogenic refrigerator cooling unit, and the electrode It is characterized in that the outgas in the room temperature state of the sample can be measured in an environment where the cryopump effect exists by a low temperature refrigerator .
〔３〕オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置であって、前記試料チャンバーは外部からガスを導入するための配管を備えており、前記試料に替えてアウトガスの吸着材を前記極低温冷凍機冷却部に固定し、この吸着材を冷却した状態で、前記ガスを前記試料チャンバーに導入することにより前記吸着材のガス吸着能力を測定することを可能にしたことを特徴とする。 [3] a container fitted with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation apparatus that enable measurement of outgas from a sample under extremely low temperature conditions, the sample chamber for introducing gas from the outside In this case, an outgas adsorbent instead of the sample is fixed to the cryogenic refrigerator cooling unit, and the adsorbent is cooled by introducing the gas into the sample chamber. It is possible to measure the gas adsorption capacity of a material .
〔４〕オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法であって、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部に固定するとともに、前記極低温冷凍機によって、試料温度を３００Ｋ〜２０Ｋの範囲で制御可能であることを特徴とする。 [4] a container fitted with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation method capable of measuring outgas from a sample under cryogenic conditions , wherein the sample is placed in the cryogenic refrigerator cooling unit. While being fixed, the sample temperature can be controlled in the range of 300K to 20K by the cryogenic refrigerator .
〔５〕オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法であって、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部と接触させず、前記試料チャンバー内のチャンバー表面へ固定するとともに、前記極低温冷凍機によってクライオポンプ効果が存在する環境での、前記試料の室温状態におけるアウトガスの測定を行うことを特徴とする。 [5] a container fitted with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation method capable of measuring outgas from a sample under a cryogenic condition , wherein the sample is connected to the cryogenic refrigerator cooling unit. The sample is fixed to the chamber surface in the sample chamber without contact, and the cryogenic refrigerator is used to measure outgas in the room temperature state in an environment where a cryopump effect exists .
〔６〕オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法であって、前記試料チャンバーは外部からガスを導入するための配管を備えており、前記試料に替えてアウトガスの吸着材を前記極低温冷凍機冷却部に固定し、この吸着材を冷却した状態で、前記ガスを前記試料チャンバーに導入することにより前記吸着材のガス吸着能力を測定することを可能にしたことを特徴とする。 [6] a container fitted with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation method capable of measuring outgas from a sample under extremely low temperature conditions, the sample chamber for introducing gas from the outside In this case, an outgas adsorbent instead of the sample is fixed to the cryogenic refrigerator cooling unit, and the adsorbent is cooled by introducing the gas into the sample chamber. It is possible to measure the gas adsorption capacity of a material .
本発明によれば、クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法において、超電導磁石設計に必要なアウトガスの発生源及び、アウトガスを吸着する吸着材（活性炭、ゼオライト等) について極低温での定量的な評価データを取得することができる。 According to the present invention, in the outgas evaluation apparatus for a cryostat and a superconducting magnet constituent material and the outgas evaluation method thereof, an outgas generation source necessary for designing a superconducting magnet and an adsorbent that adsorbs the outgas (activated carbon, zeolite, etc.) Quantitative evaluation data can be acquired.
オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置であって、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部に固定するとともに、前記極低温冷凍機によって、試料温度を３００Ｋ〜２０Ｋの範囲で制御可能にした。 Samples with a container equipped with the orifice, and quadrupole mass spectrometer was placed upstream of the orifice, and a vacuum gauge arranged respectively upstream and downstream of the orifice, the cryogenic refrigerator cooling unit A cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation device capable of measuring outgas from a sample under cryogenic conditions, and fixing the sample to the cryogenic refrigerator cooling unit The sample temperature can be controlled in the range of 300K to 20K by the cryogenic refrigerator .
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
図１は本発明の第１実施例を示すクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置の構成図である。 FIG. 1 is a configuration diagram of a cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
この図において、１は試料、２は試料チャンバー（真空容器）、３は極低温冷凍機、４は極低温冷凍機冷却部、５は第１のゲートバルブ、６は第２のゲートバルブ、７は第３のゲートバルブ、８はガス導入配管、９はオリフィス９Ａを取り付けた容器、Ｐは真空計、Ｑは四重極型質量分析計、１０は真空排気装置である。
In this figure, 1 is a sample, 2 is a sample chamber (vacuum vessel), 3 is a cryogenic refrigerator, 4 is a cryogenic refrigerator cooling unit, 5 is a first gate valve, 6 is a second gate valve, 7 Is a third gate valve, 8 is a gas introduction pipe, 9 is a container fitted with an
この図に示すように、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置は、オリフィス法を用いたアウトガス評価装置であり、試料チャンバー（真空容器）２内に極低温冷凍機冷却部４を有している。この極低温冷凍機冷却部４により、試料１の温度を室温から極低温まで任意に設定することができる。具体的には、極低温冷凍機３により、試料１の温度は３００Ｋ〜２０Ｋの範囲で制御することができる。したがって、超電導磁石内の環境を再現した状態でのアウトガス測定も可能である。
As shown in this figure, the outgas evaluation apparatus for cryostat and superconducting magnet constituting material according to the present invention is an outgas evaluation apparatus using an orifice method, and a cryogenic
発生するアウトガスの分子量は、オリフィス９Ａの上流に備えた四重極型質量分析計Ｑにより、同定することができる。
The molecular weight of the generated outgas can be identified by the quadrupole mass spectrometer Q provided upstream of the
ここで、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置で採用しているオリフィス法について説明する。 Here, the orifice method employed in the outgas evaluation apparatus for a cryostat and a superconducting magnet constituent material of the present invention will be described.
コンダクタンスＣ〔ｍ3 ・ｓ-1〕（ガスの流れ易さ）のオリフィス９Ａを取り付けた容器９において、ポンプに対する上流側の圧力をＰ2 〔Ｐａ〕、下流側をＰ1 〔Ｐａ〕としたとき、オリフィス９Ａを通過する流量Ｑは以下の式で与えられる。
In the
Ｑ＝Ｃ（Ｐ2 −Ｐ1 ）［Ｐａ・ｍ3 ・ｓ-1］
Ｃ：コンダクタンス
Ｐ1 ：排気装置側（下流側）圧力
Ｐ2 ：チャンバ側（上流側）圧力
本発明に係るクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置による測定手順を以下に示す。
１．まず、試料１を試料チャンバー２内の極低温冷凍機冷却部４上に固定する。
２．全てのゲートバルブ５、６、７を開けて、真空排気装置１０により装置内の排気を行う。
３．次に、極低温冷凍機３を起動し、試料１を評価温度まで冷却する。
４．次に、第１のゲートバルブ５を閉じて、オリフィス９Ａを介して真空排気を継続する。
５．オリフィス９Ａの上流側圧力Ｐ2 と下流側圧力Ｐ1 との圧力差、およびオリフィス９Ａのコンダクタンスからガス放出速度を測定する。
Q = C (P 2 −P 1 ) [Pa · m 3 · s −1 ]
C: Conductance P 1 : Exhaust device side (downstream side) pressure P 2 : Chamber side (upstream side) pressure A measurement procedure using the cryostat and the outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent materials according to the present invention is shown below.
1. First, the
2. All the
3. Next, the
4). Next, the
5. The gas release rate is measured from the pressure difference between the upstream pressure P 2 and the downstream pressure P 1 of the
このように、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置により、極低温でのアウトガスの定量的な評価を行うことができる。 As described above, the outgas evaluation apparatus for cryostat and superconducting magnet constituent material according to the present invention can quantitatively evaluate the outgas at extremely low temperature.
図２は本発明の第２実施例を示すクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置の構成図である。 FIG. 2 is a configuration diagram of a cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation apparatus according to a second embodiment of the present invention.
ここでは、クライオポンプ効果が存在する環境下での、室温状態での試料のアウトガス測定を行うための実施例を示す。 Here, an example for performing outgas measurement of a sample at room temperature in an environment where the cryopump effect exists is shown.
まず、クライオポンプ効果について説明する。 First, the cryopump effect will be described.
図３は気体毎の飽和蒸気圧と温度の関係を示す図である。 FIG. 3 is a graph showing the relationship between the saturated vapor pressure and the temperature for each gas.
真空容器２内に極低温に冷却された面があると、その面にアウトガスが凝縮され捕捉される。極低温においては気体の飽和蒸気圧が極端に小さくなるため、このような現象が発生する。気体分子によって飽和蒸気圧が異なり、たとえば窒素や酸素などでは３０Ｋを下回ると急激に飽和蒸気圧が下がり、低温面にガスが捕捉される。
If there is a surface cooled to a very low temperature in the
そこで、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置を用いた測定では、図２に示すように、試料１１を極低温冷凍機冷却部４上ではなく、試料チャンバー２内の表面に固定するようにする。
Therefore, in the measurement using the cryostat and the outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent material according to the present invention, the
その後の測定手順は上記第１実施例と同様である。極低温冷凍機３により、試料チャンバー２内に極低温に冷却された面を作り出し、クライオポンプ効果が存在する環境下での室温状態の試料１１のアウトガスの測定を行う。
The subsequent measurement procedure is the same as in the first embodiment. The
このように、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置によれば、試料１１の固定方法を変更するだけで、クライオポンプ効果の存在する環境におけるアウトガスの定量的な評価を行うことができる。
Thus, according to the cryostat and the outgas evaluation apparatus for a superconducting magnet constituent material of the present invention, it is possible to perform quantitative evaluation of outgas in an environment where the cryopump effect exists only by changing the fixing method of the
図４は本発明の第３実施例を示すクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置の構成図である。 FIG. 4 is a configuration diagram of a cryostat and a superconducting magnet constituent material outgas evaluation apparatus showing a third embodiment of the present invention.
ここでは、アウトガスを吸着する吸着材のガス吸収能力を測定するための実施例を示し、図１の試料１に替えて、極低温冷凍機冷却部４上には吸着材１２が設置される。
Here, an example for measuring the gas absorption capacity of an adsorbent that adsorbs outgas is shown, and an adsorbent 12 is installed on the cryogenic
本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置による吸着材のガス測定手順を以下に示す。
１．まず、吸着材１２を試料チャンバー２内の極低温冷凍機冷却部４上に固定する。
２．全てのゲートバルブ５、６、７を開けて、例えば、ターボ分子ポンプである真空排気装置１０により装置内の排気を行う。
３．次に、極低温冷凍機３を起動し、吸着材１２を評価温度まで冷却する。
４．次に、第１のゲートバルブ５および第２のゲートバルブ６を閉じて、真空排気を停止する。
５．吸着材１２の冷却は継続しながら、ガス導入配管８よりガスを外部から導入する。
６．試料チャンバー２内の圧力変化を測定することで、吸着材１２へのガス吸着量を求める。
The gas measurement procedure of the adsorbent by the outgas evaluation apparatus for the cryostat and the superconducting magnet constituting material of the present invention is shown below.
1. First, the adsorbent 12 is fixed on the cryogenic
2. All the
3. Next, the
4). Next, the
5. While cooling the adsorbent 12 is continued, gas is introduced from the outside through the
6). The amount of gas adsorbed on the adsorbent 12 is obtained by measuring the pressure change in the
このように、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置により、吸着材のガス吸着能力の定量的な評価を行うことができる。 As described above, the gas adsorption capacity of the adsorbent can be quantitatively evaluated by the cryostat and the outgas evaluation apparatus for a superconducting magnet constituting material according to the present invention.
図５は本発明の第４実施例を示すクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置の構成図である。 FIG. 5 is a configuration diagram of a cryostat and an outgas evaluation apparatus for a superconducting magnet constituent material according to a fourth embodiment of the present invention.
ここでは、アウトガス発生源である試料とアウトガスを吸着する吸着材の両方を配置し、吸着材が存在する中でのアウトガスの測定を行うための実施例を示す。 Here, an example for arranging both a sample as an outgas generation source and an adsorbent that adsorbs outgas and measuring outgas in the presence of the adsorbent will be described.
図５に示すように、試料２１は試料チャンバー２内の表面に固定する。一方、吸着材２２は極低温冷凍機冷却部４上に設置する。
As shown in FIG. 5, the
本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置による、吸着材が存在する中でのアウトガスの測定手順を以下に示す。
１．まず、試料２１を試料チャンバー２内の表面に固定し、吸着材２２を極低温冷凍機冷却部４上に固定する。
２．全てのゲートバルブ５、６、７を開けて、真空排気装置１０により装置内の排気を行う。
３．次に、極低温冷凍機３を起動し、吸着材２２を冷却する。
４．次に、第１のゲートバルブ５を閉じて、オリフィス９Ａを介して真空排気を継続する。
５．オリフィス９Ａの上流側圧力Ｐ2 と下流側圧力Ｐ1 との圧力差、およびオリフィス９Ａのコンダクタンスからガス放出速度を測定する。
The procedure for measuring outgas in the presence of an adsorbent using the cryostat and the outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent materials according to the present invention is shown below.
1. First, the
2. All the
3. Next, the
4). Next, the
5. The gas release rate is measured from the pressure difference between the upstream pressure P 2 and the downstream pressure P 1 of the
上記した構成により、試料２１と吸着材２２の組み合わせた場合、極低温でのアウトガスの定量的な評価を行うことができる。
With the above-described configuration, when the
なお、上記第１〜第４実施例では、圧力変化によるガス流量や吸着量の測定について説明したが、第１実施例でも述べたとおり、オリフィス９Ａの上流に備えた四重極型質量分析計Ｑにより、アウトガスの分子量を同定することができる。
In the first to fourth embodiments, the measurement of the gas flow rate and the adsorption amount due to the pressure change has been described. However, as described in the first embodiment, the quadrupole mass spectrometer provided upstream of the
図６は本発明に係るアウトガス測定例を示すアウトガス放出量を示す図、図７は本発明に係るアウトガス測定例を示す試料室温時におけるアウトガス分圧を示す図、図８は、本発明に係るアウトガス測定例を示す試料温度５０Ｋにおけるアウトガス分圧を示す図である。 FIG. 6 is a diagram showing an outgas discharge amount showing an example of outgas measurement according to the present invention, FIG. 7 is a diagram showing an outgas partial pressure at a room temperature of a sample showing an example of outgas measurement according to the present invention, and FIG. It is a figure which shows the outgas partial pressure in the sample temperature of 50K which shows the example of outgas measurement.
ここで、測定試料は、ガラス繊維強化プラスチック（ＧＦＲＰ）であり、形状は縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍ×厚み５ｍｍのものを使用した。試験条件は２４時間真空排気後に室温及び冷凍機を起動して５０Ｋで測定した。 Here, the measurement sample was glass fiber reinforced plastic (GFRP), and the shape was 120 mm long × 120 mm wide × 5 mm thick. The test conditions were measured at 50K after starting evacuation for 24 hours and starting the refrigerator at room temperature.
図６から明らかなように、室温（３０６Ｋ）でのガス放出速度と比較すると、５０Ｋでは約１／１０００までガスの放出が減少していることが分かる。 As is apparent from FIG. 6, it can be seen that the emission of gas is reduced to about 1/1000 at 50K as compared with the gas emission rate at room temperature (306K).
また、図７から明らかなように、試料が室温の場合、分子量１８（水）が主なアウトガスであり、分子量２（水素）、２８（窒素）、４４（二酸化炭素）などのガスも確認できる。 As is clear from FIG. 7, when the sample is at room temperature, the molecular weight of 18 (water) is the main outgas, and gases such as molecular weight of 2 (hydrogen), 28 (nitrogen), and 44 (carbon dioxide) can be confirmed. .
さらに、図８から明らかなように、試料温度が５０Ｋの場合、分子量２（水素）、２８（窒素）が確認できるが、室温と比較すると分圧は極めて小さいことが分かる。 Further, as is apparent from FIG. 8, when the sample temperature is 50K, molecular weights 2 (hydrogen) and 28 (nitrogen) can be confirmed, but it is understood that the partial pressure is extremely small as compared with room temperature.
これらの結果の比較からも、アウトガス発生源としての試料とアウトガスの吸着材の極低温下での測定が重要であることが示される。 Comparison of these results also shows that it is important to measure the sample as an outgas generation source and the adsorbent for outgas at extremely low temperatures.
このように、本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置によれば、室温から極低温までの試料のアウトガスを定量的に評価することができる。 Thus, according to the cryostat and the outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent material of the present invention, the outgas of the sample from room temperature to extremely low temperature can be quantitatively evaluated.
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。 In addition, this invention is not limited to the said Example, Based on the meaning of this invention, a various deformation | transformation is possible and these are not excluded from the scope of the present invention.
本発明のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置は、超電導磁石設計に必要なアウトガスの発生源及び、アウトガスを吸着する吸着材( 活性炭、ゼオライト等) について極低温での定量的な評価データを取得できるクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置として利用可能である。 The cryostat and the outgas evaluation apparatus for superconducting magnet constituent materials according to the present invention provide quantitative evaluation data at cryogenic temperatures for outgas generation sources necessary for superconducting magnet design and adsorbents (activated carbon, zeolite, etc.) that adsorb outgas. It can be used as an outgas evaluation device for cryostats and superconducting magnet constituent materials that can be obtained.
１，１１，２１ 試料
２ 試料チャンバー（真空容器）
３ 極低温冷凍機
４ 極低温冷凍機冷却部
５ 第１のゲートバルブ
６ 第２のゲートバルブ
７ 第３のゲートバルブ
８ ガス導入配管
９ オリフィスを取り付けた容器
９Ａ オリフィス
１０ 真空排気装置
１２，２２ 吸着材
Ｐ 真空計
Ｑ 四重極型質量分析計
1,11,21
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