JP6323266B2 - 蒸着マスクの検査方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の一実施形態の蒸着マスクの検査方法について具体的に説明する。一実施形態の蒸着マスクの検査方法は、スリット15が形成された金属マスク10と当該スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部25が形成された樹脂マスク20とが積層されてなる蒸着マスク100(図1(a)、図2〜図8参照)において、樹脂マスク20に形成されている開口部25の形状パターンが正常である否かを検査する検査方法である。そして、樹脂マスク20に形成されている開口部25の形状パターンが正常である否かを正確に行うことを目的とする一実施形態の蒸着マスクの検査方法は、図1(b)に示すように、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面(図1に示す形態では樹脂マスク20の上面)に、波長550nmの光線透過率が40%以下の色材層40を形成する色材層形成工程と、図1(c)に示すように、色材層40が形成された蒸着マスク100に対して可視光を照射し、樹脂マスク20に形成されている開口部25の検査を行う検査工程と、図1(d)に示すように、検査工程後に、蒸着マスク100から色材層40を除去する工程を含む。なお、図1は、一実施形態の蒸着マスクの検査方法を説明するための工程図であり、(a)〜(d)はともに蒸着マスクの部分概略断面図である。
本発明の一実施形態の蒸着マスクの検査方法(以下、一実施形態の検査方法という場合がある。)を説明するにあたり、当該検査方法に用いられる蒸着マスク100の一例について説明する。図2に示すように、一実施形態の検査方法に用いられる蒸着マスク100は、スリット15が形成された金属マスク10と当該スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部25が形成された樹脂マスク20とが積層された構成をとる。なお、図2(a)は、一実施形態の蒸着マスクを金属マスク10側から見た正面図であり、(b)は、(a)のA−A概略断面図である。
図2に示すように、樹脂マスク20には、複数の開口部25が設けられている。複数の開口部25は、金属マスク10と樹脂マスク20を積層したときに、金属マスク10のスリット15と重なる位置に設けられている。
図2(b)に示すように、樹脂マスク20の一方の面上には、金属マスク10が積層されている。金属マスク10は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びるスリット15が配置されている。スリット15は開口と同義である。スリットの配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びるスリットが、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びるスリットが、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びるスリットが縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向をさし、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状、ひし形形状等としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向(短手方向と言う場合もある)」とすればよい。
図2に示すように、一実施形態の蒸着マスクの検査方法に用いられる実施形態(A)の蒸着マスク100は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、樹脂マスク20の一方の面上に、複数のスリット15が設けられた金属マスク10が積層されてなり、樹脂マスク20には、複数画面を構成するために必要な開口部25が設けられ、各スリット15が、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。
次に、一実施形態の蒸着マスクの検査方法に用いられる実施形態(B)の蒸着マスクについて説明する。図7に示すように、実施形態(B)の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応した開口部25が複数設けられた樹脂マスク20の一方の面上に、1つのスリット(1つの貫通孔16)が設けられた金属マスク10が積層されてなり、当該複数の開口部25の全てが、金属マスク10に設けられた1つの貫通孔と重なる位置に設けられている点を特徴とする。
また、検査に用いる蒸着マスクとして、図10、11に示すように、フレーム付き蒸着マスク200を用いることもできる。検査に用いられる蒸着マスクには、フレーム付き蒸着マスクも含まれるものとする。フレーム付き蒸着マスク200は、フレーム60上に、蒸着マスク100が固定されてなる。蒸着マスク100は、上記で説明した各種の形態の蒸着マスクを適宜選択して用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。なお、各種の形態の蒸着マスクには、上記で説明した好ましい形態の蒸着マスク(実施形態(A)、実施形態(B)の蒸着マスク)も含まれるものとする。
以下、一実施形態の蒸着マスクの検査方法に用いられる蒸着マスクの製造方法について一例を挙げて説明する。一実施形態の蒸着マスクの検査方法に用いられる蒸着マスクは、樹脂板の一方の面上にスリット15が設けられた金属マスク10が積層された樹脂板付き金属マスクを準備し、次いで、樹脂板付き金属マスクに対し、金属マスク10側からスリット15を通してレーザーを照射して、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応する開口部25を形成することで得ることができる。
色材層形成工程は、図1(b)に示すように、上記で説明した蒸着マスク100において、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面に、波長550nmの光線透過率が40%以下の色材層40を形成する工程である。
検査工程は、図1(c)に示すように、色材層40が形成された蒸着マスク100に対して可視光を照射し、前記樹脂マスクに形成されている開口部の検査を行う工程である。具体的には、色材層40が形成された樹脂マスク20に可視光を照射し、樹脂マスク20において当該可視光を透過した領域と、透過しない領域とによって形成される陰影により、樹脂マスク20に形成された開口パターンの検査を行う工程である。図示する形態では、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない面側から樹脂マスク20に可視光を照射し、その透過光を金属マスク10の樹脂マスク20と接しない面側からカメラ等の撮像装置にて撮像し、撮像された透過光による陰影により、樹脂マスク20に形成された開口パターンの検査を行っているが、金属マスク10の樹脂マスク20と接しない面側から樹脂マスク20に可視光を照射し、その透過光を樹脂マスク20の金属マスク10と接しない面側からカメラ等の撮像装置にて撮像し、撮像された透過光による陰影により、樹脂マスク20に形成された開口パターンの検査を行ってもよい。つまり、可視光を照射する方向について特に限定されることはない。
除去工程は、図1(d)に示すように、検査工程後に、蒸着マスク100から色材層40を除去する工程である。
次に、他の実施形態の蒸着マスクの検査方法について説明する。他の実施形態の蒸着マスクの検査方法は、スリット15が形成された金属マスク10と当該スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部25が形成された樹脂マスク20とが積層され、当該樹脂マスク20の波長550nmの光線透過率が40%を超える蒸着マスク100において、樹脂マスク20に形成されている開口部25の形状パターンが正常である否かを検査する検査方法である。そして、他の実施形態の蒸着マスクの検査方法は、樹脂マスク20の金属マスク15と接しない側の面に色材層40を形成する色材層形成工程と、色材層40が形成された蒸着マスク100に対して可視光を照射し、樹脂マスク20に形成されている開口部25の検査を行う検査工程と、検査工程後に、色材層40を除去する除去工程とを含む。さらに、他の実施形態の蒸着マスク検査方法は、色材層形成工程において、樹脂マスク20と色材層40との積層体の波長550nmの光線透過率が40%以下となるように、樹脂マスク20の金属マスク10と接しない側の面に色材層40を形成することを特徴とする。
次に、一実施形態の有機半導体素子の製造方法について説明する。一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程で、フレームに固定される蒸着マスクは、スリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる。
10…金属マスク
15…スリット
16…貫通孔
20…樹脂マスク
25…開口部
40…色材層
60…フレーム
200…フレーム付き蒸着マスク
Claims (2)
- 蒸着マスクの検査方法であって、
前記検査に用いられる蒸着マスクが、スリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクであり、
前記樹脂マスクの前記金属マスクと接しない側の面に、波長550nmの光線透過率が40%以下の色材層を形成する色材層形成工程と、
前記色材層が形成された蒸着マスクに対して可視光を照射し、前記樹脂マスクに形成されている開口部の検査を行う検査工程と、
前記検査工程後に、前記色材層を除去する除去工程と、
を含むことを特徴とする蒸着マスクの検査方法。 - 蒸着マスクの検査方法であって、
前記検査に用いられる蒸着マスクが、スリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層され、当該樹脂マスクの波長550nmの光線透過率が40%を超える蒸着マスクであり、
前記樹脂マスクの前記金属マスクと接しない側の面に色材層を形成する色材層形成工程と、
前記色材層が形成された蒸着マスクに対して可視光を照射し、前記樹脂マスクに形成されている開口部の検査を行う検査工程と、
前記検査工程後に、前記色材層を除去する除去工程と、
を含み、
前記色材層形成工程では、前記樹脂マスクと前記色材層との積層体の波長550nmの光線透過率が40%以下となるように、前記樹脂マスクの前記金属マスクと接しない側の面に色材層を形成することを特徴とする蒸着マスクの検査方法。
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