JP6317578B2 - Electrospray equipment - Google Patents

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Description

この発明は、エレクトロスプレー装置に関し、特に、ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置に関する。   The present invention relates to an electrospray apparatus, and more particularly to an electrospray apparatus that deposits a solution material sprayed from a nozzle as a thin film on a substrate.

従来、ノズルから噴霧された溶液材料を基板に薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。   Conventionally, an electrospray apparatus that deposits a solution material sprayed from a nozzle as a thin film on a substrate is known (see, for example, Patent Document 1).

上記特許文献１には、導電体ノズルと、導電体ノズル印加電源と、溶液材料供給装置とを備えるエレクトロスプレー装置が開示されている。このエレクトロスプレー装置は、溶液材料供給装置から導電体ノズルに溶液材料が供給されるとともに、導電体ノズル印加電源から導電体ノズルに電圧が印加されることにより、溶液材料が帯電するように構成されている。そして、帯電した溶液材料が、導電体ノズルと基板との間の電界により、基板に対して静電噴霧されるように構成されている。   Patent Document 1 discloses an electrospray apparatus including a conductor nozzle, a conductor nozzle application power source, and a solution material supply device. This electrospray device is configured so that the solution material is charged by supplying a solution material from the solution material supply device to the conductor nozzle and applying a voltage from the conductor nozzle application power source to the conductor nozzle. ing. The charged solution material is electrostatically sprayed onto the substrate by an electric field between the conductor nozzle and the substrate.

特開２０１２−１３５７０４号公報JP 2012-135704 A

しかしながら、上記特許文献１に記載されるような従来のエレクトロスプレー装置では、溶液材料の導電率が比較的大きい場合には、導電体ノズルに印加される電圧（電流）が溶液材料を伝達して、溶液材料が送液される導電体ノズル側とは反対側に配置される溶液材料供給装置（送液駆動部）などの機器を破損させてしまう場合があるという問題点がある。   However, in the conventional electrospray apparatus described in Patent Document 1, when the conductivity of the solution material is relatively large, the voltage (current) applied to the conductor nozzle transmits the solution material. However, there is a problem in that equipment such as a solution material supply device (liquid feeding drive unit) disposed on the side opposite to the conductor nozzle side where the solution material is fed may be damaged.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、溶液材料に印加される電圧（電流）に起因して、送液駆動部が破損されることを抑制することが可能なエレクトロスプレー装置を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and one object of the present invention is that the liquid feeding drive unit is damaged due to the voltage (current) applied to the solution material. It is an object of the present invention to provide an electrospray apparatus that can suppress this.

上記目的を達成するために、この発明の一の局面によるエレクトロスプレー装置は、ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置であって、溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧するノズルと、ノズルに溶液材料を送液するための送液駆動部と、ノズルと送液駆動部との間に設けられ、導電性を有する材料からなる継手本体部を含む継手部とを備え、継手本体部は、接地されており、ノズルは、複数設けられ、継手部には、複数のノズルの各々に送液駆動部から送液される溶液材料を送液する複数の配管が接続されているとともに、継手部は、溶液材料を複数の配管に分岐させるように構成されている。 In order to achieve the above object, an electrospray apparatus according to one aspect of the present invention is an electrospray apparatus that deposits a solution material sprayed from a nozzle as a thin film on a substrate, in which a voltage is applied to the solution material. A nozzle that sprays the liquid, a liquid-feeding drive unit that feeds the solution material to the nozzle, a joint unit that is provided between the nozzle and the liquid-feeding drive unit, and includes a joint main body unit made of a conductive material; comprising a joint main body is grounded, the nozzle is provided in plurality, the joint portion, a plurality of pipes for feeding a solution material is fed from the liquid supply driving unit to each of the plurality of nozzles While being connected, the joint is configured to branch the solution material into a plurality of pipes .

この一の局面によるエレクトロスプレー装置では、上記のように、ノズルと送液駆動部との間に設けられる継手部の継手本体部を接地することによって、ノズルに印加されて、溶液材料を伝達する電圧（電流）がノズルと送液駆動部との間の継手部で接地されるので、ノズルに印加される電圧（電流）が送液駆動部に印加されることを抑制することができる。これにより、溶液材料に印加される電圧（電流）に起因して、送液駆動部が破損されることを抑制することができる。その結果、送液駆動部に対して耐絶縁性の対策を図る必要がなくなるので、エレクトロスプレー装置の構成を簡略化することができる。   In the electrospray apparatus according to this one aspect, as described above, the joint body portion of the joint portion provided between the nozzle and the liquid feeding drive portion is grounded, whereby the solution material is transmitted to the nozzle. Since the voltage (current) is grounded at the joint between the nozzle and the liquid feeding drive unit, it is possible to suppress the voltage (current) applied to the nozzle from being applied to the liquid feeding drive unit. Thereby, it can suppress that the liquid feeding drive part is damaged due to the voltage (current) applied to the solution material. As a result, since it is not necessary to take measures against insulation against the liquid feeding drive unit, the configuration of the electrospray apparatus can be simplified.

また、ノズルは、複数設けられ、継手部は、送液駆動部から送液される溶液材料を複数のノズル側に分岐させるように構成されている。ここで、ノズルが複数設けられている場合には、ノズルから送液駆動部側に流れる電流の大きさが、ノズルの数分、大きくなる（大電流が流れる）。この場合に、たとえ送液駆動部自身が接地されている場合でも、大電流が送液駆動部に流れることに起因して、送液駆動部が破損される場合がある。そこで、本発明では、継手部（継手本体部）を接地することによって、送液駆動部が破損されることを効果的に抑制することができる。 A plurality of nozzles are provided, and the joint portion is configured to branch the solution material fed from the liquid feeding drive unit to the plurality of nozzles. Here, in the case where a plurality of nozzles are provided, the magnitude of the current flowing from the nozzle to the liquid feed drive unit increases by the number of nozzles (a large current flows). In this case, even when the liquid feeding drive unit itself is grounded, the liquid feeding drive unit may be damaged due to a large current flowing through the liquid feeding drive unit. Therefore, in the present invention, it is possible to effectively prevent the liquid feeding drive unit from being damaged by grounding the joint part (joint body part).

上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、継手部は、継手本体部を覆うように設けられ継手本体部を外部から絶縁する絶縁部をさらに含む。このように構成すれば、溶液材料を伝達する電圧（電流）により継手本体部に電荷が蓄積された場合でも、継手部と周囲の機器との間で絶縁破壊が生じて周囲の機器に電圧（電流）が伝達されるのを絶縁部により抑制することができる。これにより、継手部と周囲の機器との間の間隔を小さくすることができるので、エレクトロスプレー装置の小型化を図ることができる。   In the electrospray device according to the above aspect, preferably, the joint portion further includes an insulating portion provided so as to cover the joint body portion and insulating the joint body portion from the outside. With this configuration, even when charges are accumulated in the joint body due to the voltage (current) that transmits the solution material, dielectric breakdown occurs between the joint and the surrounding equipment, and voltage ( Transmission of (current) can be suppressed by the insulating portion. Thereby, since the space | interval between a joint part and the surrounding apparatus can be made small, size reduction of an electrospray apparatus can be achieved.

上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、送液駆動部は、ポンプ部と、ポンプ部からノズル側に送液される溶液材料の流路を切り替える制御弁とを含み、継手部は、ノズルと制御弁との間に設けられている。このように構成すれば、ノズルに印加されて溶液材料を伝達する電圧（電流）に起因して、ポンプ部および制御弁が破損されることを抑制することができる。   In the electrospray apparatus according to the above aspect, preferably, the liquid feeding drive unit includes a pump unit and a control valve that switches a flow path of the solution material fed from the pump unit to the nozzle side, and the joint unit includes: It is provided between the nozzle and the control valve. If comprised in this way, it can suppress that a pump part and a control valve are damaged by the voltage (electric current) applied to a nozzle and transmitting a solution material.

上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、継手部は、導電性を有する材料からなる継手本体部を含む第１継手部と、それ以外の第２継手部とを含み、送液駆動部から送液される溶液材料は、第１継手部および第２継手部により段階的に複数の流路に分岐されて複数のノズルに送液されるように構成されており、溶液材料が最初に分岐される部分に設けられている継手部は、導電性を有する材料からなる継手本体部を含む第１継手部である。このように構成すれば、溶液材料は、最初に分岐される部分に設けられている第１継手部を必ず通過するので、この第１継手部（１つの第１継手部）のみを接地するだけで、複数のノズルに送液される全ての溶液材料を接地することができる。これにより、溶液材料が分岐された後の各々の部分で接地する場合（複数の個所で接地する場合）と異なり、エレクトロスプレー装置の構成を簡略化することができる。
In the electrospray device according to the aforementioned aspect preferably, joint hand portion includes a first coupling portion including a fitting body portion made of a conductive material, and a second joint portion of the otherwise liquid feed drive The solution material fed from the portion is configured to be branched into a plurality of flow paths stepwise by the first joint portion and the second joint portion and fed to the plurality of nozzles. The joint part provided in the part branched into 2 is a 1st joint part containing the joint main-body part which consists of material which has electroconductivity. If comprised in this way, since solution material will certainly pass the 1st joint part provided in the part branched initially, only this 1st joint part (one 1st joint part) is earth | grounded. Thus, all solution materials fed to the plurality of nozzles can be grounded. This makes it possible to simplify the configuration of the electrospray apparatus, unlike when grounding at each portion after the solution material is branched (when grounding at a plurality of locations).

本発明によれば、上記のように、溶液材料に印加される電圧（電流）に起因して、送液駆動部が破損されることを抑制することができる。   According to the present invention, as described above, it is possible to prevent the liquid feeding drive unit from being damaged due to the voltage (current) applied to the solution material.

本発明の一実施形態によるエレクトロスプレー装置の概略の構成を示す全体図である。1 is an overall view showing a schematic configuration of an electrospray apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the nozzle of the electrospray apparatus by one Embodiment of this invention.

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１および図２を参照して、本実施形態によるエレクトロスプレー装置１００の構成について説明する。   The configuration of the electrospray apparatus 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図１に示すように、エレクトロスプレー装置１００は、複数のノズル１と、アースプレート２と、マスク３と、昇降ユニット４と、電源部５とを備えている。また、エレクトロスプレー装置１００は、ポンプ部６と、電磁弁７と、継手部８と、タンク部９とを備えている。なお、複数のノズル１、ポンプ部６、電磁弁７、継手部８およびタンク部９は、樹脂からなる配管１０により接続されている。また、アースプレート２とマスク３との間には、基板２００が配置されている。なお、ポンプ部６は、本発明の「送液駆動部」の一例である。また、電磁弁７は、本発明の「送液駆動部」および「制御弁」の一例である。また、継手部８は、本発明の「第１継手部」の一例である。   As shown in FIG. 1, the electrospray apparatus 100 includes a plurality of nozzles 1, a ground plate 2, a mask 3, an elevating unit 4, and a power supply unit 5. The electrospray apparatus 100 includes a pump unit 6, a solenoid valve 7, a joint unit 8, and a tank unit 9. The plurality of nozzles 1, the pump unit 6, the solenoid valve 7, the joint unit 8, and the tank unit 9 are connected by a pipe 10 made of resin. A substrate 200 is disposed between the earth plate 2 and the mask 3. The pump unit 6 is an example of the “liquid feeding drive unit” in the present invention. The electromagnetic valve 7 is an example of the “liquid feeding drive unit” and “control valve” in the present invention. The joint portion 8 is an example of the “first joint portion” in the present invention.

ノズル１は、溶液材料に電圧を印加した状態で、溶液材料を下方（Ｚ２方向）から上方（Ｚ１方向）に向かって噴霧するように構成されている。そして、ノズル１から噴霧された溶液材料が、基板２００に薄膜（図示せず）として堆積されるように構成されている。   The nozzle 1 is configured to spray the solution material from below (Z2 direction) to above (Z1 direction) while a voltage is applied to the solution material. The solution material sprayed from the nozzle 1 is configured to be deposited on the substrate 200 as a thin film (not shown).

アースプレート２は、たとえば金属板から構成されている。アースプレート２は、薄膜の形成時（図１に示す状態）に、基板２００に接触して基板２００を接地するように構成されている。   The earth plate 2 is made of, for example, a metal plate. The earth plate 2 is configured to contact the substrate 200 and ground the substrate 200 when the thin film is formed (state shown in FIG. 1).

また、マスク３は、基板２００とノズル１との間に配置されている。また、マスク３は、マスク３の両端部が昇降ユニット４に支持されており、昇降ユニット４の昇降とともに昇降するように構成されている。そして、マスク３は、基板２００とともに、昇降ユニット４によりアースプレート２側（Ｚ１方向側）に押圧されるように構成されている。また、マスク３には、開口部３ａが設けられており、開口部３ａから露出する基板２００の部分に薄膜が堆積されるように構成されている。   The mask 3 is disposed between the substrate 200 and the nozzle 1. Further, the mask 3 is configured such that both end portions of the mask 3 are supported by the lifting unit 4 and are lifted and lowered together with the lifting and lowering unit 4. The mask 3 is configured to be pressed together with the substrate 200 to the earth plate 2 side (Z1 direction side) by the lifting unit 4. The mask 3 is provided with an opening 3a so that a thin film is deposited on the portion of the substrate 200 exposed from the opening 3a.

また、電源部５は、複数のノズル１と、アースプレート２とに接続されており、複数のノズル１と、アースプレート２との間に電位差（電界）を生じさせるように構成されている。本実施形態では、複数のノズル１には、正電圧が印加されるとともに、アースプレート２は、接地されている。   The power supply unit 5 is connected to the plurality of nozzles 1 and the earth plate 2, and is configured to generate a potential difference (electric field) between the plurality of nozzles 1 and the earth plate 2. In the present embodiment, a positive voltage is applied to the plurality of nozzles 1 and the earth plate 2 is grounded.

ポンプ部６は、たとえばシリンジポンプから構成されており、複数のノズル１に、電磁弁７および継手部８を介して、溶液材料を送液するように構成されている。また、ポンプ部６は、シーケンサー（図示せず）などに接続されている。   The pump unit 6 is composed of, for example, a syringe pump, and is configured to send the solution material to the plurality of nozzles 1 via the electromagnetic valve 7 and the joint unit 8. The pump unit 6 is connected to a sequencer (not shown).

電磁弁７は、ポンプ部６と継手部８との間に設けられている。また、電磁弁７は、ポンプ部６からノズル１側に送液される溶液材料の流路を切り替えるように構成されている。具体的には、電磁弁７が流路を矢印Ａ方向（図１参照）に切り替えられた状態で、溶液材料が、ポンプ部６からノズル１側に送液される。また、電磁弁７が流路を矢印Ｂ方向（図１参照）に切り替えられた状態で、タンク部９に貯蔵される溶液材料が、ポンプ部６に充填（吸引）される。本実施形態では、溶液材料は、たとえば、有機ＥＬの正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）液、シランカップリング剤、Ａｇナノインク、Ｃｕナノインクなどからなる。これらの溶液材料は、一般的にエレクトロスプレー装置１００において用いられる溶液材料のうち、比較的高い導電率を有する。   The electromagnetic valve 7 is provided between the pump unit 6 and the joint unit 8. The electromagnetic valve 7 is configured to switch the flow path of the solution material fed from the pump unit 6 to the nozzle 1 side. Specifically, the solution material is fed from the pump unit 6 to the nozzle 1 side while the electromagnetic valve 7 is switched in the direction of arrow A (see FIG. 1). Further, the solution material stored in the tank unit 9 is filled (sucked) into the pump unit 6 in a state where the electromagnetic valve 7 is switched in the direction of arrow B (see FIG. 1). In the present embodiment, the solution material is, for example, an organic EL hole injection layer (HIL) solution, a silane coupling agent, an Ag nanoink, a Cu nanoink, or the like. These solution materials have a relatively high conductivity among the solution materials generally used in the electrospray apparatus 100.

ここで、本実施形態では、継手部８は、ノズル１と電磁弁７との間に設けられており、ポンプ部６から電磁弁７を介して送液される溶液材料を複数のノズル１側に分岐させるように構成されている。また、継手部８は、導電性を有する材料（たとえば、ＳＵＳ３１６など）からなる継手本体部８１を含むように構成されている。そして、継手本体部８１は、接地されている。継手本体部８１は、たとえば、継手本体部８１に螺合されたネジ部８２を介して接地されている。これにより、ノズル１側から溶液材料を伝達して流れる電流（電圧）は、ポンプ部６および電磁弁７側には流れずに、接地側に流れる。なお、継手部は、後述するように、導電性を有する継手部８と、導電性を有しない継手部１１（図２参照）とを含む。なお、継手部１１は、本発明の「第２継手部」の一例である。   Here, in the present embodiment, the joint portion 8 is provided between the nozzle 1 and the electromagnetic valve 7, and the solution material fed from the pump portion 6 through the electromagnetic valve 7 is supplied to the plurality of nozzles 1 side. It is comprised so that it may branch. Moreover, the joint part 8 is comprised so that the joint main-body part 81 which consists of material (for example, SUS316 etc.) which has electroconductivity may be included. The joint body 81 is grounded. The joint main body 81 is grounded via, for example, a screw part 82 screwed into the joint main body 81. Thereby, the current (voltage) flowing through the solution material from the nozzle 1 side flows to the ground side without flowing to the pump unit 6 and the electromagnetic valve 7 side. In addition, a joint part contains the joint part 8 which has electroconductivity, and the joint part 11 (refer FIG. 2) which does not have electroconductivity so that it may mention later. The joint portion 11 is an example of the “second joint portion” in the present invention.

また、継手部８は、継手本体部８１を覆うように設けられ継手本体部８１を外部から絶縁する絶縁部８３を含む。絶縁部８３は、たとえば、テフロン（登録商標）からなり、継手本体部８１の外表面の略全面を覆うように設けられている。   The joint portion 8 includes an insulating portion 83 that is provided so as to cover the joint body portion 81 and insulates the joint body portion 81 from the outside. The insulating portion 83 is made of, for example, Teflon (registered trademark), and is provided so as to cover substantially the entire outer surface of the joint main body portion 81.

次に、図２を参照して、複数のノズル１と複数の継手部（継手部８および継手部１１）との接続方法について説明する。   Next, with reference to FIG. 2, the connection method of the some nozzle 1 and several joint parts (joint part 8 and joint part 11) is demonstrated.

図２に示すように、ノズル１は、複数（図２では、１２個）設けられる。また、継手部は、導電性を有する材料からなる１つの継手部８と、導電性を有しない（たとえば樹脂からなる）９個の継手部１１とを含む。なお、図２では、ノズル１は、１列に配置されているが、たとえば、複数のノズル１がマトリクス状（２次元状）に配置されていてもよい。そして、本実施形態では、ポンプ部６から電磁弁７を介して送液される溶液材料は、複数の継手部８および１１により段階的に複数の流路に分岐されて複数のノズル１に送液されるように構成されており、溶液材料が最初に分岐される部分に設けられている継手部は、導電性を有する材料からなる継手本体部８１を含む継手部８である。   As shown in FIG. 2, a plurality of nozzles 1 (12 in FIG. 2) are provided. The joint portion includes one joint portion 8 made of a material having conductivity and nine joint portions 11 having no conductivity (for example, made of resin). In FIG. 2, the nozzles 1 are arranged in one row, but for example, a plurality of nozzles 1 may be arranged in a matrix (two-dimensional). In the present embodiment, the solution material fed from the pump unit 6 via the solenoid valve 7 is branched into a plurality of flow paths stepwise by the plurality of joints 8 and 11 and sent to the plurality of nozzles 1. The joint portion that is configured to be liquefied and is provided at a portion where the solution material is first branched is a joint portion 8 including a joint body portion 81 made of a conductive material.

具体的には、ポンプ部６から電磁弁７を介して送液される溶液材料は、導電性を有する材料からなる継手部８に送液された後、導電性を有しない３個の継手部１１ａ側に分岐されて送液される。また、３個の継手部１１ａに送液された溶液材料は、それぞれ、さらに２個（合計６個）の継手部１１ｂ側に分岐されて送液される。そして、６個の継手部１１ｂに送液された溶液材料は、それぞれ、２個のノズル１（合計１２個）側に分岐されて送液される。すなわち、ポンプ部６から電磁弁７を介して送液される溶液材料は、トーナメント形式で、継手部８および継手部１１を介してノズル１に送液される。なお、溶液材料が最初に分岐される部分に設けられている継手部８の継手本体部８１が接地されている。   Specifically, the solution material fed from the pump unit 6 through the electromagnetic valve 7 is fed to the joint unit 8 made of a conductive material, and then the three joint units having no conductivity. Branched to the 11a side and fed. Moreover, the solution material sent to the three joint parts 11a is further branched and sent to the two joint parts 11b side (total of six parts). Then, the solution materials sent to the six joint portions 11b are branched to the two nozzles 1 (12 in total) and sent. That is, the solution material sent from the pump unit 6 via the electromagnetic valve 7 is sent to the nozzle 1 via the joint part 8 and the joint part 11 in a tournament form. In addition, the joint main-body part 81 of the joint part 8 provided in the part where a solution material branches first is grounded.

次に、本実施形態の効果について説明する。   Next, the effect of this embodiment will be described.

本実施形態では、上記のように、ノズル１と、ポンプ部６および電磁弁７との間に設けられる継手部８の継手本体部８１を接地することによって、ノズル１に印加されて、溶液材料を伝達する電圧（電流）がノズル１とポンプ部６および電磁弁７との間の継手部８で接地されるので、ノズル１に印加される電圧（電流）がポンプ部６および電磁弁７に印加されることを抑制することができる。これにより、溶液材料に印加される電圧（電流）に起因して、ポンプ部６および電磁弁７が破損されることを抑制することができる。その結果、ポンプ部６および電磁弁７に対して耐絶縁性の対策を図る必要がなくなるので、エレクトロスプレー装置１００の構成を簡略化することができる。   In the present embodiment, as described above, the joint body portion 81 of the joint portion 8 provided between the nozzle 1 and the pump portion 6 and the electromagnetic valve 7 is grounded, whereby the solution material is applied to the nozzle 1. Since the voltage (current) for transmitting is grounded at the joint portion 8 between the nozzle 1 and the pump portion 6 and the solenoid valve 7, the voltage (current) applied to the nozzle 1 is applied to the pump portion 6 and the solenoid valve 7. The application can be suppressed. Thereby, it can suppress that the pump part 6 and the solenoid valve 7 are damaged due to the voltage (current) applied to the solution material. As a result, since it is not necessary to take measures against insulation against the pump unit 6 and the electromagnetic valve 7, the configuration of the electrospray apparatus 100 can be simplified.

また、本実施形態では、上記のように、ノズル１を、複数設けて、継手部８を、ポンプ部６および電磁弁７から送液される溶液材料を複数のノズル１側に分岐させるように構成する。ここで、ノズル１が複数設けられている場合には、ノズル１からポンプ部６および電磁弁７側に流れる電流の大きさが、ノズル１の数分、大きくなる（大電流が流れる）。この場合に、たとえポンプ部６および電磁弁７自身が接地されている場合でも、大電流がポンプ部６および電磁弁７に流れることに起因して、ポンプ部６および電磁弁７が破損される場合がある。そこで、本実施形態では、継手部８（継手本体部８１）を接地することによって、ポンプ部６および電磁弁７が破損されることを効果的に抑制することができる。   In the present embodiment, as described above, a plurality of nozzles 1 are provided, and the joint portion 8 causes the solution material fed from the pump portion 6 and the electromagnetic valve 7 to branch to the plurality of nozzles 1 side. Configure. Here, when a plurality of nozzles 1 are provided, the magnitude of the current flowing from the nozzle 1 to the pump unit 6 and the solenoid valve 7 increases by the number of nozzles 1 (a large current flows). In this case, even when the pump unit 6 and the solenoid valve 7 are grounded, the pump unit 6 and the solenoid valve 7 are damaged due to a large current flowing through the pump unit 6 and the solenoid valve 7. There is a case. Therefore, in the present embodiment, it is possible to effectively prevent the pump portion 6 and the electromagnetic valve 7 from being damaged by grounding the joint portion 8 (joint body portion 81).

また、本実施形態では、上記のように、継手部８を、継手本体部８１を覆うように設けられ継手本体部８１を外部から絶縁する絶縁部８３を含むように構成する。これにより、溶液材料を伝達する電圧（電流）により継手本体部８１に電荷が蓄積された場合でも、継手部８と周囲の機器との間で絶縁破壊が生じて周囲の機器に電圧（電流）が伝達されるのを絶縁部８３により抑制することができる。その結果、継手部８と周囲の機器との間の間隔を小さくすることができるので、エレクトロスプレー装置１００の小型化を図ることができる。   In the present embodiment, as described above, the joint portion 8 is configured to include the insulating portion 83 provided so as to cover the joint body portion 81 and insulating the joint body portion 81 from the outside. As a result, even when charges are accumulated in the joint body 81 due to the voltage (current) that transmits the solution material, dielectric breakdown occurs between the joint 8 and the surrounding equipment, and voltage (current) is generated in the surrounding equipment. Can be suppressed by the insulating portion 83. As a result, since the space | interval between the coupling part 8 and the surrounding apparatus can be made small, size reduction of the electrospray apparatus 100 can be achieved.

また、本実施形態では、上記のように、ポンプ部６と、ポンプ部６からノズル１側に送液される溶液材料の流路を切り替える電磁弁７とを設けて、継手部８を、ノズル１と、ポンプ部６および電磁弁７との間に設ける。これにより、ノズル１に印加されて溶液材料を伝達する電圧（電流）に起因して、ポンプ部６および電磁弁７が破損されることを抑制することができる。   In the present embodiment, as described above, the pump unit 6 and the electromagnetic valve 7 for switching the flow path of the solution material fed from the pump unit 6 to the nozzle 1 side are provided, and the joint unit 8 is connected to the nozzle. 1 and between the pump unit 6 and the electromagnetic valve 7. Thereby, it can suppress that the pump part 6 and the solenoid valve 7 are damaged due to the voltage (current) applied to the nozzle 1 to transmit the solution material.

また、本実施形態では、上記のように、ノズル１を複数設けるとともに、導電性を有する材料からなる継手本体部８１を含む継手部８と、それ以外の継手部１１とを設けて、ポンプ部６から電磁弁７を介して送液される溶液材料を、複数の継手部８および１１により段階的に複数の流路に分岐されて複数のノズル１に送液されるように構成して、溶液材料が最初に分岐される部分に設けられる継手部を、導電性を有する材料からなる継手本体部８１を含む継手部８にする。これにより、溶液材料は、最初に分岐される部分に設けられている継手部８を必ず通過するので、この継手部８（１つの継手部８）のみを接地するだけで、複数のノズル１に送液される全ての溶液材料を接地することができる。その結果、溶液材料が分岐された後の各々の部分で接地する場合（複数の個所で接地する場合）と異なり、エレクトロスプレー装置１００の構成を簡略化することができる。   Further, in the present embodiment, as described above, a plurality of nozzles 1 are provided, a joint portion 8 including a joint body portion 81 made of a conductive material, and another joint portion 11 are provided to provide a pump portion. The solution material fed from 6 through the electromagnetic valve 7 is configured to be branched into a plurality of flow paths stepwise by the plurality of joint portions 8 and 11 and fed to the plurality of nozzles 1. A joint portion provided at a portion where the solution material is first branched is a joint portion 8 including a joint body portion 81 made of a conductive material. As a result, the solution material always passes through the joint portion 8 provided at the first branching portion, so that only the joint portion 8 (one joint portion 8) is grounded, so that the plurality of nozzles 1 can be connected. All solution materials to be fed can be grounded. As a result, the configuration of the electrospray apparatus 100 can be simplified, unlike the case where the solution material is grounded at each portion after branching (when the solution material is grounded at a plurality of locations).

なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。   The embodiments and examples disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments and examples but by the scope of claims for patent, and includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記実施形態では、ノズルが１２個設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ノズルが、１２個以外の複数の数設けられていてもよいし、１個設けられていてもよい。なお、ノズルが１個の場合では、ポンプ部から送液される溶液材料を分岐させる必要はないが、ノズルとポンプ部との間を接続する配管に導電性を有する材料からなる継手部を設けるとともに、この継手部を接地すればよい。   For example, in the above embodiment, an example in which twelve nozzles are provided has been described, but the present invention is not limited to this. For example, a plurality of nozzles other than 12 may be provided, or one nozzle may be provided. In the case of a single nozzle, there is no need to branch the solution material fed from the pump unit, but a joint made of a conductive material is provided in the pipe connecting the nozzle and the pump unit. At the same time, this joint may be grounded.

また、上記実施形態では、継手本体部に螺合されたネジ部を介して継手本体部が接地されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、継手本体部を直接接地するようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the joint main-body part was shown in the ground via the thread part screwed together by the joint main-body part, this invention is not limited to this. In the present invention, the joint body portion may be directly grounded.

また、上記実施形態では、継手本体部を外部から絶縁するために、テフロン（登録商標）により継手本体部の外表面を覆う例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、テフロン（登録商標）以外の絶縁材により継手本体部を覆うように構成してもよい。また、絶縁材からなる箱状の部材により、継手本体部を覆うようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, in order to insulate a joint main-body part from the outside, the example which covers the outer surface of a joint main-body part by Teflon (trademark) was shown, However, This invention is not limited to this. In this invention, you may comprise so that a coupling main-body part may be covered with insulating materials other than Teflon (trademark). Moreover, you may make it cover a coupling main-body part with the box-shaped member which consists of insulating materials.

また、上記実施形態では、溶液材料が最初に分岐される部分に配置される１つの継手部８（図２参照）の継手本体部が接地されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、継手部８よりもノズル１側に設けられる複数の継手部１１を、導電性を有する材料から構成するとともに、接地してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the joint main-body part of the one joint part 8 (refer FIG. 2) arrange | positioned in the part into which solution material is first branched was shown, this invention is shown to this. Not limited. For example, the plurality of joint portions 11 provided on the nozzle 1 side with respect to the joint portion 8 may be made of a conductive material and grounded.

また、上記実施形態では、溶液材料がトーナメント形式（図２参照）で複数の継手部を介して複数のノズルに送液される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、溶液材料が複数のノズルに並列に送液されるように構成してもよい。すなわち、１つの継手部を、溶液材料が入力される１つの入口を有するとともに、溶液材料が出力されるノズルの数分の出口を有するように構成して、溶液材料がこの１つの継手部を介して複数の（全ての）ノズルに送液されるように構成してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the solution material was sent to several nozzles via several joint parts in the tournament form (refer FIG. 2), this invention is not limited to this. For example, you may comprise so that solution material may be sent to a some nozzle in parallel. That is, one joint portion is configured to have one inlet to which the solution material is input and to have outlets corresponding to the number of nozzles to which the solution material is output. The liquid may be sent to a plurality of (all) nozzles.

また、上記実施形態では、ポンプ部（シリンジポンプ）と電磁弁とにより、溶液材料が送液（駆動）される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シリンジポンプ、電磁弁以外の構成により、溶液材料を送液するように構成してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the example in which solution material is liquid-fed (driven) by a pump part (syringe pump) and a solenoid valve was shown, this invention is not limited to this. In this invention, you may comprise so that solution material may be sent with structures other than a syringe pump and a solenoid valve.

また、上記実施形態では、溶液材料が下方から上方に向かってノズルから噴霧される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、溶液材料が上方から下方に向かってノズルから噴霧されるようにしてもよい。また、溶液材料が横方に向かってノズルから噴霧されるようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the solution material was sprayed from the nozzle toward the upper direction from the downward direction, the present invention is not limited to this. For example, the solution material may be sprayed from a nozzle from above to below. Alternatively, the solution material may be sprayed from the nozzle in the lateral direction.

１ ノズル
６ ポンプ部（送液駆動部）
７ 電磁弁（送液駆動部、制御弁）
８ 継手部（第１継手部）
１１ 継手部（第２継手部）
８１ 継手本体部
８３ 絶縁部
１００ エレクトロスプレー装置
２００ 基板 1 Nozzle 6 Pump part (Liquid feed drive part)
7 Solenoid valve (liquid feed drive unit, control valve)
8 Joint part (first joint part)
11 Joint (second joint)
81 Joint body 83 Insulation 100 Electrospray device 200 Substrate

Claims (4)

ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積するエレクトロスプレー装置であって、
前記溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧する前記ノズルと、
前記ノズルに前記溶液材料を送液するための送液駆動部と、
前記ノズルと前記送液駆動部との間に設けられ、導電性を有する材料からなる継手本体部を含む継手部とを備え、
前記継手本体部は、接地されており、
前記ノズルは、複数設けられ、
前記継手部には、前記複数のノズルの各々に前記送液駆動部から送液される前記溶液材料を送液する複数の配管が接続されているとともに、前記継手部は、前記溶液材料を前記複数の配管に分岐させるように構成されている、エレクトロスプレー装置。 An electrospray apparatus for depositing a solution material sprayed from a nozzle as a thin film on a substrate,
The nozzle sprayed in a state where a voltage is applied to the solution material;
A liquid feed driving unit for feeding the said solution material to said nozzle,
Provided between the nozzle and the liquid feeding drive unit, and including a joint part including a joint body part made of a conductive material,
The joint body portion is grounded,
A plurality of the nozzles are provided,
A plurality of pipes for feeding the solution material fed from the liquid feeding drive unit to each of the plurality of nozzles is connected to the joint unit, and the joint unit is configured to transfer the solution material to the nozzle unit. An electrospray device configured to be branched into a plurality of pipes . 前記継手部は、前記継手本体部を覆うように設けられ前記継手本体部を外部から絶縁する絶縁部をさらに含む、請求項１に記載のエレクトロスプレー装置。 The electrospray apparatus according to claim 1 , wherein the joint portion further includes an insulating portion provided so as to cover the joint body portion and insulating the joint body portion from the outside. 前記送液駆動部は、ポンプ部と、前記ポンプ部から前記ノズル側に送液される前記溶液材料の流路を切り替える制御弁とを含み、
前記継手部は、前記ノズルと前記制御弁との間に設けられている、請求項１または２に記載のエレクトロスプレー装置。 The liquid feeding drive unit includes a pump unit and a control valve that switches a flow path of the solution material fed from the pump unit to the nozzle side,
The joint portion is provided between the nozzle and the control valve, electrospray apparatus as claimed in claim 1 or 2. 前記継手部は、前記導電性を有する材料からなる前記継手本体部を含む第１継手部と、それ以外の第２継手部とを含み、
前記送液駆動部から送液される前記溶液材料は、前記第１継手部および前記第２継手部により段階的に複数の流路に分岐されて前記複数のノズルに送液されるように構成されており、
前記溶液材料が最初に分岐される部分に設けられている前記継手部は、前記導電性を有する材料からなる前記継手本体部を含む前記第１継手部である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のエレクトロスプレー装置。 Before SL joint includes a first joint portion including the joint main body made of a material having a conductivity, and a second joint portion otherwise,
The solution material fed from the liquid feeding drive unit is configured to be branched into a plurality of flow paths stepwise by the first joint part and the second joint part and fed to the plurality of nozzles. Has been
The said joint part provided in the part where the said solution material branches first is the said 1st joint part containing the said joint main-body part which consists of the said material which has the electroconductivity, Any one of Claims 1-3 . 2. The electrospray apparatus according to item 1.
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