JP6311154B2 - Tension control device - Google Patents

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Description

本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板(液晶用ガラス基板など)や金属板(金属ストリップ)の板状物(シリコン基板やプリント基板なども含む)、更には板厚の厚めの物体(以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。)に働く張力を制御する張力制御装置に関する。   The present invention relates to a film, a film-like object such as a metal foil, woven fabric, paper, tape, adhesive tape, or a plate (such as a silicon substrate or a glass strip) or a metal plate (metal strip). In addition, the present invention relates to a tension control device that controls tension acting on a thick object (hereinafter collectively referred to as a film-like object).

従来から、搬送中のフィルム状物に働く張力を制御する張力制御装置が知られている。例えば、特許文献1に記載された張力制御装置は、加圧空気の噴出を受けて生じる長尺シート状物の撓みにより当該長尺シート状物に働く張力を非接触で検出し、その検出結果に基づいて、長尺シート状物を搬送するローラを変速したり制動したりすることで、当該長尺シート状物に働く張力を制御する。   2. Description of the Related Art Conventionally, a tension control device that controls tension acting on a film-like object being conveyed is known. For example, the tension control device described in Patent Document 1 detects the tension acting on the long sheet-like material in a non-contact manner due to the deflection of the long sheet-like material generated by the ejection of pressurized air, and the detection result Based on the above, the tension acting on the long sheet material is controlled by shifting or braking the roller that conveys the long sheet material.

特開平05−322681号公報Japanese Patent Laid-Open No. 05-322681

しかしながら、特許文献1の張力制御装置は、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御できない。   However, the tension control device of Patent Document 1 cannot control the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御する張力制御装置を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said subject, and it aims at providing the tension control apparatus which controls distribution of the width direction of the tension | tensile_strength which acts on a film-like thing.

(1)本発明は、帯状のフィルム状物の走行方向に湾曲した曲面及び該曲面の前記走行方向の両端に連続する一対の平面からなる搬送面を有し、該搬送面に形成された複数の開口部から前記フィルム状物に流体を噴出することで該フィルム状物を該搬送面から浮揚させるチャンバーと、前記チャンバーを前後方向の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターと、前記チャンバーを上下方向の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターと、前記搬送面に左右方向に列になるように設けられ、該搬送面及び前記フィルム状物の間に介在する前記流体の圧力を検出する複数の圧力センサーと、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記ローリングアクチュエーター及び前記ヨーイングアクチュエーターを動作させる制御手段と、を備えている張力制御装置である。   (1) The present invention has a conveyance surface composed of a curved surface curved in the traveling direction of the belt-like film-like material and a pair of planes continuous to both ends of the curved surface in the traveling direction, and a plurality of the plurality of surfaces formed on the conveyance surface. A chamber that levitates the film-like material from the transfer surface by ejecting fluid from the opening to the film-like material, a rolling actuator that swings the chamber about an axis in the front-rear direction, and a vertical movement of the chamber And a plurality of pressure sensors for detecting the pressure of the fluid interposed between the transport surface and the film-like material, arranged in a row in the left-right direction on the transport surface And control means for operating the rolling actuator and the yawing actuator based on detection results of the plurality of pressure sensors A tension control device comprising a.

本発明によれば、複数の圧力センサーが搬送面に左右方向に列になるように設けられているので、搬送面及びフィルム状物の間に介在する流体の圧力を検出し、当該流体の圧力の幅方向の分布を把握できる。搬送面及びフィルム状物の間に介在する流体の圧力の幅方向の分布は、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布と相関があるので、複数の圧力センサーで検出した流体の圧力の幅方向の分布に基づいて、ローリングアクチュエーター及びヨーイングアクチュエーターを動作させることで、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を所望する態様に制御できる。   According to the present invention, since the plurality of pressure sensors are arranged in the left-right direction on the transport surface, the pressure of the fluid interposed between the transport surface and the film-like object is detected, and the pressure of the fluid The distribution in the width direction can be understood. The distribution in the width direction of the pressure of the fluid interposed between the transport surface and the film-like object has a correlation with the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object, so the width of the pressure of the fluid detected by multiple pressure sensors By operating the rolling actuator and the yawing actuator based on the direction distribution, the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object can be controlled in a desired manner.

(2)本発明はまた、前記チャンバーを上下方向に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターを備え、前記制御手段は、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記アップアンドダウンアクチュエーターを動作させる上記(1)に記載の張力制御装置である。   (2) The present invention also includes an up-and-down actuator that moves the chamber up and down, and the control unit operates the up-and-down actuator based on detection results of the plurality of pressure sensors. The tension control device according to 1).

上記発明によれば、アップアンドダウンアクチュエーターを動作させて、チャンバーを上下方向に移動させることで、フィルム状物に働く張力を、幅方向の全体にわたって増減させられる。   According to the said invention, the tension | tensile_strength which acts on a film-like thing can be increased / decreased over the whole width direction by operating an up-and-down actuator and moving a chamber to an up-down direction.

(3)本発明はまた、前記チャンバーの左側を上下に移動させる左側アクチュエーターと、前記チャンバーの右側を上下に移動させる右側アクチュエーターと、を備え、前記ローリングアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターの一方が動作することで実現し、前記アップアンドダウンアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に等速で動作することで実現する上記(2)に記載の張力制御装置である。   (3) The present invention also includes a left actuator that moves the left side of the chamber up and down, and a right actuator that moves the right side of the chamber up and down. The rolling actuator includes the left actuator and the right actuator. The left and right actuators operate in opposite directions, and the left and right actuators operate with relative speed in the same direction, or one of the left and right actuators operates, and the up and down actuator Is the tension control device according to the above (2) realized by the left actuator and the right actuator operating at the same speed in the same direction.

上記発明によれば、ローリングアクチュエーター及びアップアンドアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   According to the above invention, the rolling actuator and the up-and-actuator can be realized with a simple structure.

(4)本発明はまた、前記ヨーイングアクチュエーターとして、前記チャンバーの左右の一方に作用して前後に進退する進退アクチュエーターを備えている上記(1)〜(3)のいずれかに記載の張力制御装置である。   (4) The tension control device according to any one of (1) to (3), wherein the yaw actuator includes a forward / backward actuator that moves forward and backward by acting on one of the left and right sides of the chamber. It is.

上記発明によれば、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   According to the above invention, the yawing actuator can be realized with a simple structure.

(5)本発明はまた、前記ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向の軸回りに回転する回転アクチュエーターを備えている上記(1)〜(4)のいずれかに記載の張力制御装置である。   (5) The present invention is also the tension control device according to any one of (1) to (4), wherein the yawing actuator includes a rotary actuator that rotates about a vertical axis.

上記発明によれば、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   According to the above invention, the yawing actuator can be realized with a simple structure.

本発明の上記(1)〜(5)に記載の張力制御装置によれば、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御できる。   According to the tension control device described in the above (1) to (5) of the present invention, the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object can be controlled.

本発明の実施形態に係る張力制御装置の正面図である。It is a front view of the tension control device concerning the embodiment of the present invention. 図1に示す張力制御装置の平面図である。It is a top view of the tension control apparatus shown in FIG. 図1に示す張力制御装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the tension control device shown in FIG. 1. 図1に示す張力制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the tension control apparatus shown in FIG. (A)はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において左側に偏っている状況を示し、(B)は(A)に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。(A) shows the situation where the distribution of tension acting on the film-like material is biased to the left side, and (B) is a front view for explaining the movement of the tension control device in the situation shown in (A). (A)はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において右側に偏っている状況を示し、(B)は(A)に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。(A) shows the situation biased to the right in the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object, and (B) is a front view for explaining the movement of the tension control device in the situation shown in (A). (A)はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において全体的に過大になっている状況を示し、(B)は(A)に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。(A) shows the situation where the overall distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object is excessive, (B) is a front view explaining the movement of the tension control device in the situation shown in (A). is there. (A)はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において全体的に不足している状況を示し、(B)は(A)に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。(A) shows the situation where the overall distribution of tension acting on the film-like material is insufficient, and (B) is a front view for explaining the movement of the tension control device in the situation shown in (A). . (A)及び(B)は張力制御装置におけるヨーイングアクチュエーターの動きを説明する平面図である。(A) And (B) is a top view explaining the motion of the yawing actuator in a tension control apparatus.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る張力制御装置について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態にて説明する張力制御装置1の構成に限定されるものではない。   Hereinafter, a tension control device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the structure of the tension control apparatus 1 demonstrated by the following embodiment.

まず、図1〜図4を用いて、張力制御装置1の構成について説明する。図1は、張力制御装置1の正面図である。図2は、張力制御装置1の平面図である。図3は、張力制御装置1の構成を示すブロック図である。図4は、張力制御装置1の構成を示すブロック図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成を適宜省略する。そして、各図において、部材の厚みや大きさなどを適宜誇張して表現する。   First, the configuration of the tension control device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a front view of the tension control device 1. FIG. 2 is a plan view of the tension control device 1. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the tension control device 1. FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of the tension control device 1. Note that in each drawing, a part of the configuration is appropriately omitted for simplification of the drawing. In each drawing, the thickness and size of the member are exaggerated as appropriate.

図1〜図3に示される張力制御装置1は、搬送される帯状のフィルム状物F1に働く張力を制御するものであり、走行するフィルム状物F1の途中に配置される。この張力制御装置1は、圧縮された流体(本実施形態では、空気)を、搬送中のフィルム状物F1に噴き付けて、当該フィルム状物F1を浮揚させる。そして、張力制御装置1は、噴き付けた流体の圧力に基づいて、各種アクチュエーター14〜17を動作させることで、フィルム状物F1に働く張力を制御する。なお、フィルム状物F1を走行させる駆動源(図示省略)としては、BELLMATIC株式会社(東京都西多摩郡瑞穂町)が市販するサクションローラーなどを採用できる。   The tension control device 1 shown in FIGS. 1 to 3 controls the tension acting on the belt-like film-like material F1 being conveyed, and is arranged in the middle of the traveling film-like material F1. The tension control device 1 sprays a compressed fluid (air in the present embodiment) onto the film-like object F1 being conveyed, and causes the film-like object F1 to float. And the tension control apparatus 1 controls the tension | tensile_strength which acts on the film-like thing F1 by operating various actuators 14-17 based on the pressure of the sprayed fluid. In addition, as a drive source (illustration omitted) which runs the film-like thing F1, the suction roller etc. which BELLMATIC Co., Ltd. (Mizuho-cho, Nishitama-gun, Tokyo) marketed are employable.

具体的に、張力制御装置1は、チャンバー10と、一対の供給管11,12と、台座13と、左側アクチュエーター14と、右側アクチュエーター15と、進退アクチュエーター16と、回転アクチュエーター17と、などを備えている。   Specifically, the tension control device 1 includes a chamber 10, a pair of supply pipes 11 and 12, a pedestal 13, a left actuator 14, a right actuator 15, an advance / retreat actuator 16, a rotation actuator 17, and the like. ing.

チャンバー10は、断面視でかまぼこ型をなす長尺形を呈する金属製のエアターンバーである。エアターンバーの詳細は、例えば、特開2013−023371号公報を参照されたい。ただし、チャンバー10は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。このチャンバー10は、両側面に設けられた一対の供給口(図示省略)と、フィルム状物F1を搬送する搬送面18と、を備えている。   The chamber 10 is a metal air turn bar that has an elongated shape that is shaped like a kamaboko in a cross-sectional view. For details of the air turn bar, see, for example, JP2013-023371A. However, the chamber 10 is not limited to being made of metal, and may be made of polyvinyl chloride, polyethylene, polypropylene, or the like. The chamber 10 includes a pair of supply ports (not shown) provided on both side surfaces, and a transport surface 18 that transports the film-like object F1.

一対の供給口(図示省略)には、それぞれ、供給管11又は12が接続される。チャンバー10内には、一対の供給管11,12を通じて一対の供給口から圧縮された流体が供給される。なお、供給口の一方を蓋などで閉塞して、一の供給管11又は12を通じて流体の供給を受けるようにしてもよい。例えば、供給管11が接続される供給口を蓋などで閉塞して、供給管12を通じて流体の供給を受けるようにしてもよい。   A supply pipe 11 or 12 is connected to a pair of supply ports (not shown), respectively. A fluid compressed from a pair of supply ports is supplied into the chamber 10 through a pair of supply pipes 11 and 12. Note that one of the supply ports may be closed with a lid or the like, and the fluid supplied through one supply pipe 11 or 12 may be received. For example, the supply port to which the supply pipe 11 is connected may be closed with a lid or the like so that the fluid is supplied through the supply pipe 12.

搬送面18は、断面視で半円弧形の曲面18aと、この曲面17bに滑らかに連続する一対の平面18bと、からなり、巻き付けられるフィルム状物F1と対向する。すなわち、搬送面18は、帯状のフィルム状物F1の走行方向に湾曲した曲面18aと、この曲面18aの走行方向の両端に連続する一対の平面18bと、からなる。この搬送面18には、一対の供給口(図示省略)から供給された、圧縮された流体を噴出する複数(多数)の開口部18cが形成されている。なお、複数の開口部18cは、プレス打抜き(パンチング)によって形成されていることが好ましいが、プレス打抜きに限定されるものではない。また、図面においては、表現上誇張して、複数の開口部18cを大きく描いているが、それぞれ、面積が0.0025πmm以上25πmm以下であることが好ましい。すなわち、径が0.1mm以上10mm以下であることが好ましい。 The conveyance surface 18 includes a semicircular curved surface 18a in a cross-sectional view and a pair of flat surfaces 18b smoothly connected to the curved surface 17b, and faces the film-like object F1 to be wound. That is, the conveyance surface 18 includes a curved surface 18a curved in the traveling direction of the belt-like film-like object F1 and a pair of flat surfaces 18b continuous at both ends of the curved surface 18a in the traveling direction. The transport surface 18 is formed with a plurality (a large number) of openings 18 c that eject compressed fluid supplied from a pair of supply ports (not shown). The plurality of openings 18c are preferably formed by press punching (punching), but are not limited to press punching. In the drawings, the plurality of openings 18c are drawn to be exaggerated in terms of expression, but the area is preferably 0.0025πmm 2 or more and 25πmm 2 or less, respectively. That is, the diameter is preferably 0.1 mm or more and 10 mm or less.

台座13には、チャンバー10が固定されている。この台座13は、各種アクチュエーター14〜17によって支持されており、当該各種アクチュエーターによって移動又は揺動させられる。結果、台座13に固定されているチャンバー10は、移動又は揺動させられる。   The chamber 10 is fixed to the pedestal 13. The pedestal 13 is supported by various actuators 14 to 17 and is moved or swung by the various actuators. As a result, the chamber 10 fixed to the pedestal 13 is moved or rocked.

具体的に、チャンバー10は、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15の少なくとも一方により、前後方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに揺動させられる(図5(B)及び図6(B)参照)。そして、チャンバー10は、進退アクチュエーター16又は回転アクチュエーター17により、上下方向(図面におけるZ軸方向)の軸回りに揺動させられる(図9(A)及び図9(B)参照)。また、チャンバー10は、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15により、上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させられる(図1参照)。   Specifically, the chamber 10 is swung around an axis in the front-rear direction (Y-axis direction in the drawing) by at least one of the left actuator 14 and the right actuator 15 (see FIGS. 5B and 6B). ). The chamber 10 is swung around the axis in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing) by the advance / retreat actuator 16 or the rotary actuator 17 (see FIGS. 9A and 9B). The chamber 10 is moved in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing) by the left actuator 14 and the right actuator 15 (see FIG. 1).

左側アクチュエーター14は、回転アクチュエーター17により水平面内で回転する回転プレート19に固定されている。この左側アクチュエーター14は、台座13の左側(張力制御装置1の正面に向かって右側)を支持すると共に、台座13の左側を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させる。結果、左側アクチュエーター14は、台座13に固定されているチャンバー10の左側を上下に移動させる。   The left actuator 14 is fixed to a rotary plate 19 that rotates in a horizontal plane by a rotary actuator 17. The left actuator 14 supports the left side of the pedestal 13 (right side as viewed from the front of the tension control device 1) and moves the left side of the pedestal 13 in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing). As a result, the left actuator 14 moves the left side of the chamber 10 fixed to the pedestal 13 up and down.

右側アクチュエーター15は、回転アクチュエーター17により水平面内で回転する回転プレート19に固定されている。この右側アクチュエーター15は、台座13の右側(張力制御装置1の正面に向かって左側)を支持すると共に、台座13の右側を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させる。結果、右側アクチュエーター15は、台座13に固定されているチャンバー10の右側を上下に移動させる。   The right actuator 15 is fixed to a rotating plate 19 that rotates in a horizontal plane by a rotary actuator 17. The right actuator 15 supports the right side of the pedestal 13 (left side toward the front of the tension control device 1) and moves the right side of the pedestal 13 in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing). As a result, the right actuator 15 moves the right side of the chamber 10 fixed to the pedestal 13 up and down.

これら左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15は、一体となって、チャンバー10を前後方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターとして機能する。具体的に、ローリングアクチュエーターは、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15が互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15の一方が動作することで実現する。   The left actuator 14 and the right actuator 15 together function as a rolling actuator that swings the chamber 10 about an axis in the front-rear direction (Y-axis direction in the drawing). Specifically, in the rolling actuator, the left actuator 14 and the right actuator operate in opposite directions, and the left actuator 14 and the right actuator 15 operate in the same direction with a relative speed, or the left actuator 14 and the right actuator 15. This is achieved by operating one of the two.

そして、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15は、一体となって、チャンバー10を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターとして機能する。具体的に、アップアンドダウンアクチュエーターは、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター14が互いに同一の方向に等速で動作することで実現する。   The left actuator 14 and the right actuator 15 function as an up-and-down actuator that moves the chamber 10 in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing). Specifically, the up-and-down actuator is realized by the left actuator 14 and the right actuator 14 operating at the same speed in the same direction.

進退アクチュエーター16は、揺動軸20回りに水平面内で揺動する揺動プレート21の左右の一方(本実施形態では左側(張力制御装置1の正面に向かって右側))に作用して前後(図面におけるY軸方向)に進退することで、揺動プレート21を揺動軸20回りに水平面内で揺動させる。すなわち、進退アクチュエーター16は、チャンバー10の左右の一方(本実施形態では左側(張力制御装置1の正面に向かって右側))に間接的に作用して前後(図面におけるY軸方向)に進退することで、当該チャンバー10を上下方向(図面におけるZ軸方向)の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターとして機能する。   The advancing / retreating actuator 16 acts on one of the left and right sides of the swing plate 21 that swings in the horizontal plane around the swing shaft 20 (in this embodiment, on the left side (right side as viewed from the front of the tension control device 1)). By moving forward and backward in the Y-axis direction in the drawing, the swing plate 21 is swung around the swing shaft 20 in a horizontal plane. That is, the advance / retreat actuator 16 acts indirectly on one of the left and right sides of the chamber 10 (in this embodiment, on the left side (right side as viewed from the front of the tension control device 1)) and moves back and forth (Y-axis direction in the drawing). Thus, it functions as a yawing actuator that swings the chamber 10 about an axis in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing).

回転アクチュエーター17は、進退アクチュエーター16により揺動軸20回りに水平面内で揺動する揺動プレート21に固定されている。この回転アクチュエーター17は、上下方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに回転することで、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15が固定されている回転プレート19を水平面内で回転させる。すなわち、回転アクチュエーター17は、チャンバー10を上下方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターとして機能する。   The rotary actuator 17 is fixed to a swing plate 21 that swings around a swing shaft 20 in a horizontal plane by an advance / retreat actuator 16. The rotary actuator 17 rotates about the axis in the vertical direction (Y-axis direction in the drawing) to rotate the rotary plate 19 to which the left actuator 14 and the right actuator 15 are fixed in a horizontal plane. That is, the rotary actuator 17 functions as a yawing actuator that swings the chamber 10 about an axis in the vertical direction (Y-axis direction in the drawing).

図4に示されるように、張力制御装置1は、更に、圧力センサー30と、演算表示器31と、モーターインバーター32と、ブロア33と、複数の圧力センサー34と、演算表示器35と、などを備えている。なお、これらの構成は、特許第4575533号公報に記載された装置を参考にすることができる。詳細は、当該特許第4575533号公報を参照されたい。   As shown in FIG. 4, the tension control device 1 further includes a pressure sensor 30, a calculation display 31, a motor inverter 32, a blower 33, a plurality of pressure sensors 34, a calculation display 35, and the like. It has. In addition, the structure described in the patent 4575533 can be referred for these structures. For details, refer to Japanese Patent No. 4575533.

圧力センサー30は、チャンバー10内に設けられている。この圧力センサー30は、チャンバー10内の流体の圧力を検出し、その検出結果を演算表示器31に出力する。   The pressure sensor 30 is provided in the chamber 10. The pressure sensor 30 detects the pressure of the fluid in the chamber 10 and outputs the detection result to the calculation display 31.

演算表示器31は、圧力センサー34の検出結果に基づいて、モーターインバーター32に制御信号を送信することで、当該モーターインバーター32によってブロア33を制御する。モーターインバーター32は、演算表示器31からの制御信号に基づいて、ブロア33を制御する。ブロア33は、流体(本実施形態では、圧縮した空気)を、供給管11,12を介してチャンバー10内に供給する。   The calculation indicator 31 controls the blower 33 by the motor inverter 32 by transmitting a control signal to the motor inverter 32 based on the detection result of the pressure sensor 34. The motor inverter 32 controls the blower 33 based on the control signal from the calculation display 31. The blower 33 supplies fluid (compressed air in this embodiment) into the chamber 10 through the supply pipes 11 and 12.

複数の圧力センサー34は、搬送面18に、厳密には搬送面18の裏側(チャンバー10の内側)に、左右方向(図面における)に列になるように設けられている。これら複数の圧力センサー34は、それぞれ、搬送面18及びフィルム状物F1の間に介在する流体の圧力を検出し、その検出結果を演算表示器35に出力する。   The plurality of pressure sensors 34 are provided on the transport surface 18, strictly speaking, on the back side of the transport surface 18 (inside the chamber 10) so as to be aligned in the left-right direction (in the drawing). Each of the plurality of pressure sensors 34 detects the pressure of the fluid interposed between the transport surface 18 and the film-like object F1 and outputs the detection result to the calculation display 35.

なお、複数の圧力センサー34が検出する流体の圧力は、フィルム状物F1に働く張力と相関がある。すなわち、複数の圧力センサー34が検出する流体の圧力の幅方向の分布は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布と相関がある。このように、複数の圧力センサー34は、間接的に、フィルム状物F1に働く張力を検出しているといえるので、本願書類においては、便宜上、複数の圧力センサー34が検出する対象を、フィルム状物F1に働く張力と表現することもある。   The fluid pressure detected by the plurality of pressure sensors 34 is correlated with the tension acting on the film-like object F1. That is, the distribution in the width direction of the pressure of the fluid detected by the plurality of pressure sensors 34 has a correlation with the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object F1. Thus, it can be said that the plurality of pressure sensors 34 indirectly detect the tension acting on the film-like object F1, so in the present document, for the sake of convenience, the object detected by the plurality of pressure sensors 34 is defined as a film. It may be expressed as a tension acting on the object F1.

演算表示器35は、複数の圧力センサー34の検出結果に基づいて、各種アクチュエーター14〜17に制御信号を送信することで、当該各種アクチュエーター14〜17を制御する。   The calculation indicator 35 controls the various actuators 14 to 17 by transmitting control signals to the various actuators 14 to 17 based on the detection results of the plurality of pressure sensors 34.

次に、図5を用いて、フィルム状物F1に働く張力が幅方向の左側に偏っている状況における張力制御装置1の動きを説明する。図5(A)は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布において左側に偏っている状況を示す。図5(B)は、図5(A)に示す状況における張力制御装置1の動きを説明する。   Next, the movement of the tension control device 1 in a situation where the tension acting on the film-like object F1 is biased to the left in the width direction will be described with reference to FIG. FIG. 5A shows a situation in which the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object F1 is biased to the left side. FIG. 5B illustrates the movement of the tension control device 1 in the situation shown in FIG.

図5(A)に示されるように、フィルム状物F1が蛇行すること等によって、フィルム状物F1に働く張力が幅方向(図面におけるX軸方向)の左側(図面における右側)に偏っている状況においては、図5(B)に示されるように、チャンバー10を前後方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーター(左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15)を動作させて、張力の偏りを無くすようにする。例えば、左側アクチュエーター14を収縮させることでチャンバー10の左側(図面における右側)を下方に移動させると共に、右側アクチュエーター15を伸張させることでチャンバー10の右側(図面における左側)を上方に移動させることになる。これにより、蛇行が解消されて張力の偏りが無くなる。   As shown in FIG. 5 (A), the tension acting on the film-like object F1 is biased to the left side (right side in the figure) in the width direction (X-axis direction in the figure) due to the meandering of the film-like substance F1. In the situation, as shown in FIG. 5B, the rolling actuators (left actuator 14 and right actuator 15) that swing the chamber 10 about the axis in the front-rear direction (Y-axis direction in the drawing) are operated, Try to eliminate tension bias. For example, the left actuator 14 is contracted to move the left side of the chamber 10 (right side in the drawing) downward, and the right actuator 15 is extended to move the right side of the chamber 10 (left side in the drawing) upward. Become. This eliminates meandering and eliminates the bias in tension.

次に、図6を用いて、フィルム状物F1に働く張力が幅方向の右側に偏っている状況における張力制御装置1の動きを説明する。図6(A)は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布において右側に偏っている状況を示す。図6(B)は、図6(A)に示す状況における張力制御装置1の動きを説明する。   Next, the movement of the tension control device 1 in a situation where the tension acting on the film-like object F1 is biased to the right in the width direction will be described with reference to FIG. FIG. 6A shows a situation in which the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object F1 is biased to the right side. FIG. 6B explains the movement of the tension control device 1 in the situation shown in FIG.

図6(A)に示されるように、フィルム状物F1が蛇行すること等によって、フィルム状物F1に働く張力が幅方向(図面におけるX軸方向)の右側(図面における左側)に偏っている状況においては、図6(B)に示されるように、チャンバー10を前後方向(図面におけるY軸方向)の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーター(左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15)を動作させて、張力の偏りを無くすようにする。例えば、左側アクチュエーター14を伸張させることでチャンバー10の左側(図面における右側)を上方に移動させると共に、右側アクチュエーター15を収縮させることでチャンバー10の右側(図面における左側)を下方に移動させることになる。これにより、蛇行が解消されて張力の偏りが無くなる。   As shown in FIG. 6A, the tension acting on the film-like material F1 is biased to the right side (left side in the drawing) in the width direction (X-axis direction in the drawing) due to the meandering of the film-like material F1. In the situation, as shown in FIG. 6B, the rolling actuators (the left actuator 14 and the right actuator 15) that swing the chamber 10 around the axis in the front-rear direction (the Y-axis direction in the drawing) are operated. Try to eliminate tension bias. For example, the left actuator 14 is extended to move the left side of the chamber 10 (right side in the drawing) upward, and the right actuator 15 is contracted to move the right side of the chamber 10 (left side in the drawing) downward. Become. This eliminates meandering and eliminates the bias in tension.

次に、図7を用いて、フィルム状物F1に働く張力が全体的に過大になっている状況における張力制御装置1の動きを説明する。図7(A)は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布において全体的に過大になっている状況を示す。図7(B)は、図7(A)に示す状況における張力制御装置1の動きを説明する。   Next, the movement of the tension control device 1 in a situation where the tension acting on the film-like object F1 is excessively large will be described with reference to FIG. FIG. 7A shows a situation where the overall distribution of tension acting on the film-like object F1 is excessive. FIG. 7B explains the movement of the tension control device 1 in the situation shown in FIG.

図7(A)に示されるように、フィルム状物F1に働く張力が全体的に過大になっている状況においては、図7(B)に示されるように、チャンバー10を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させるアップアンドダウンアクチュエーター(左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15)を動作させて、張力を減らすようにする。すなわち、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15を収縮させることでチャンバー10を下方に移動させることになる。   As shown in FIG. 7A, in a situation where the tension acting on the film-like material F1 is excessively large as shown in FIG. 7B, the chamber 10 is moved in the vertical direction (in the drawing). The up-and-down actuators (left actuator 14 and right actuator 15) that are moved in the Z-axis direction are operated to reduce the tension. That is, the chamber 10 is moved downward by contracting the left actuator 14 and the right actuator 15.

次に、図8を用いて、フィルム状物F1に働く張力が全体的に不足している状況における張力制御装置1の動きを説明する。図8(A)は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布において全体的に不足している状況を示す。図8(B)は、図8(A)に示す状況における張力制御装置1の動きを説明する。   Next, the movement of the tension control device 1 in a situation where the tension acting on the film-like object F1 is totally insufficient will be described with reference to FIG. FIG. 8 (A) shows a situation in which the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object F1 is totally lacking. FIG. 8B explains the movement of the tension control device 1 in the situation shown in FIG.

図8(A)に示されるように、フィルム状物F1に働く張力が全体的に不足している状況においては、図8(B)に示されるように、チャンバー10を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させるアップアンドダウンアクチュエーター(左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15)を動作させて、張力を減らすようにする。すなわち、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15を伸張させることでチャンバー10を上方に移動させることになる。   As shown in FIG. 8A, in a situation where the tension acting on the film-like material F1 is generally insufficient, as shown in FIG. 8B, the chamber 10 is moved in the vertical direction (Z in the drawing). The up-and-down actuators (left actuator 14 and right actuator 15) moved in the axial direction are operated to reduce the tension. That is, the chamber 10 is moved upward by extending the left actuator 14 and the right actuator 15.

次に、図9を用いて、張力制御装置1におけるヨーイングアクチュエーター(進退アクチュエーター16又は回転アクチュエーター17)の動きを説明する。図9(A)は、張力制御装置1におけるヨーイングアクチュエーター(進退アクチュエーター16)の動きを説明する平面図である。図9(B)は、張力制御装置1におけるヨーイングアクチュエーター(回転アクチュエーター17)の動きを説明する平面図である。   Next, the movement of the yawing actuator (advance / retreat actuator 16 or rotation actuator 17) in the tension control device 1 will be described with reference to FIG. FIG. 9A is a plan view for explaining the movement of the yawing actuator (advance / retreat actuator 16) in the tension control device 1. FIG. FIG. 9B is a plan view for explaining the movement of the yawing actuator (rotary actuator 17) in the tension control device 1. FIG.

図9(A)に示されるように、ヨーイングアクチュエーターである進退アクチュエーター16を伸張させることで、チャンバー10は揺動軸20回りに右回りに揺動する。一方、図示は省略するが、ヨーイングアクチュエーターである進退アクチュエーター16を収縮させることで、チャンバー10は揺動軸20回りに左回りに揺動する。すなわち、進退アクチュエーター16を伸縮させることで、チャンバー10が上下方向(図面におけるZ軸方向)の軸回りに揺動する。   As shown in FIG. 9A, the chamber 10 swings clockwise around the swing shaft 20 by extending the advance / retreat actuator 16 that is a yawing actuator. On the other hand, although not shown, the chamber 10 swings counterclockwise around the swing shaft 20 by contracting the advance / retreat actuator 16 which is a yawing actuator. That is, by extending and retracting the advance / retreat actuator 16, the chamber 10 swings around an axis in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing).

図9(B)に示されるように、ヨーイングアクチュエーターである回転アクチュエーター17を右回りに回転させることで、チャンバー10は回転アクチュエーター17の軸回りに右回りに揺動する。一方、図示は省略するが、ヨーイングアクチュエーターである回転アクチュエーター17を左回りに回転させることで、チャンバー10は回転アクチュエーター17の軸回りに左回りに揺動する。すなわち、回転アクチュエーター17を回転させることで、チャンバー10が上下方向(図面におけるZ軸方向)の軸回りに揺動する。   As shown in FIG. 9B, the rotation of the rotary actuator 17 that is a yawing actuator clockwise rotates the chamber 10 clockwise around the axis of the rotary actuator 17. On the other hand, although not shown in the drawings, the chamber 10 swings counterclockwise around the axis of the rotary actuator 17 by rotating the rotary actuator 17 that is a yawing actuator counterclockwise. That is, by rotating the rotary actuator 17, the chamber 10 swings about an axis in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing).

なお、進退アクチュエーター16と回転アクチュエーター17のどちらを動作させるかは、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布の状況や、フィルム状物F1のねじれの状況などにより適宜決定すればよい。なお、フィルム状物F1のねじれの状況は、別途検出したり、フィルム状物F1に働く張力の幅方向の分布から別途算出したりすることになる。   It should be noted that which of the advance / retreat actuator 16 and the rotary actuator 17 is to be operated may be appropriately determined depending on the distribution of the tension acting on the film-like object F1 in the width direction, the twisting condition of the film-like object F1, and the like. Note that the state of twisting of the film-like object F1 is separately detected or separately calculated from the distribution in the width direction of the tension acting on the film-like object F1.

以上説明した張力制御装置1によれば、複数の圧力センサー24が搬送面18に左右方向(図面におけるX軸方向)に列になるように設けられているので、搬送面18及びフィルム状物F1の間に介在する流体の圧力を検出し、当該流体の圧力の幅方向(図面におけるX方向)の分布を把握できる。搬送面18及びフィルム状物F1の間に介在する流体の圧力の幅方向(図面におけるX軸方向)の分布は、フィルム状物F1に働く張力の幅方向(図面におけるX軸方向)の分布と相関があるので、複数の圧力センサー24で検出した流体の圧力の幅方向(図面におけるX軸方向)の分布に基づいて、各種アクチュエーター14〜17を動作させることで、フィルム状物F1に働く張力の幅方向(図面におけるX軸方向)の分布を所望する態様に制御できる。   According to the tension control device 1 described above, the plurality of pressure sensors 24 are provided on the conveyance surface 18 so as to be arranged in a line in the left-right direction (X-axis direction in the drawing), and therefore the conveyance surface 18 and the film-like object F1. The pressure of the fluid intervening between the two can be detected, and the distribution of the pressure of the fluid in the width direction (X direction in the drawing) can be grasped. The distribution in the width direction (X-axis direction in the drawing) of the pressure of the fluid interposed between the transport surface 18 and the film-like material F1 is the distribution in the width direction (X-axis direction in the drawing) of the tension acting on the film-like material F1. Since there is a correlation, the tension acting on the film-like object F1 by operating the various actuators 14 to 17 based on the distribution in the width direction of the fluid pressure detected by the plurality of pressure sensors 24 (X-axis direction in the drawing). The distribution in the width direction (X-axis direction in the drawing) can be controlled in a desired manner.

そして、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15をアップアンドダウンアクチュエーターとして動作させて、チャンバー10を上下方向(図面におけるZ軸方向)に移動させることで、フィルム状物F1に働く張力を、幅方向(図面におけるX軸方向)の全体にわたって増減させられる。   Then, by operating the left actuator 14 and the right actuator 15 as up-and-down actuators and moving the chamber 10 in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing), the tension acting on the film-like object F1 is changed in the width direction (drawing). In the X-axis direction).

また、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15が互いに反対の方向に動作し、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15が互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15の一方が動作することで、ローリングアクチュエーターを実現するので、ローリングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   Further, the left actuator 14 and the right actuator 15 operate in opposite directions, and the left actuator 14 and the right actuator 15 operate in the same direction with a relative speed, or one of the left actuator 14 and the right actuator 15 operates. Thus, since the rolling actuator is realized, the rolling actuator can be realized with a simple structure.

さらに、左側アクチュエーター14及び右側アクチュエーター15が互いに同一の方向に等速で動作することで、アップアンドダウンアクチュエーターを実現するので、アップアンドダウンアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   Furthermore, since the left and right actuators 14 and 15 operate at the same speed in the same direction as each other, an up-and-down actuator is realized. Therefore, the up-and-down actuator can be realized with a simple structure.

そして、ヨーイングアクチュエーターとして、チャンバー10の左右の一方に作用して前後(図面におけるY軸方向)に進退する進退アクチュエーター16を備えているので、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   Since the yawing actuator is provided with the advance / retreat actuator 16 which acts on one of the left and right sides of the chamber 10 and advances / retreats in the front / rear direction (Y-axis direction in the drawing), the yawing actuator can be realized with a simple structure.

また、ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向(図面におけるZ軸方向)の軸回りに回転する回転アクチュエーター17を備えているので、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。   Further, since the rotary actuator 17 that rotates about the axis in the vertical direction (Z-axis direction in the drawing) is provided as the yawing actuator, the yawing actuator can be realized with a simple structure.

本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。また、各変形例の構成は、可能な範囲で他の変形例に適用できる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit and technical idea thereof. Moreover, the structure of each modification is applicable to another modification as far as possible.

すなわち、上記実施形態において、各構成の位置、大きさ、長さ、形状、材質、向き、数量などは適宜変更できる。   That is, in the above embodiment, the position, size, length, shape, material, orientation, quantity, and the like of each component can be changed as appropriate.

1 張力制御装置
10 チャンバー
14 左側アクチュエーター
15 右側アクチュエーター
16 進退アクチュエーター
17 回転アクチュエーター
18 搬送面
18a 曲面
18b 平面
18c 開口部
34 圧力センサー
35 演算表示器(制御手段)
F1 フィルム状物
1 Tension Control Device 10 Chamber 14 Left Actuator 15 Right Actuator 16 Advance / Retreat Actuator 17 Rotation Actuator 18 Transport Surface 18a Curved Surface 18b Plane 18c Opening 34 Pressure Sensor 35 Operation Indicator (Control Unit)
F1 film

Claims (5)

帯状のフィルム状物の走行方向に湾曲した曲面及び該曲面の前記走行方向の両端に連続する一対の平面からなる搬送面を有し、該搬送面に形成された複数の開口部から前記フィルム状物に流体を噴出することで該フィルム状物を該搬送面から浮揚させるチャンバーと、
前記チャンバーを前後方向の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターと、
前記チャンバーを上下方向の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターと、
前記搬送面に左右方向に列になるように設けられ、該搬送面及び前記フィルム状物の間に介在する前記流体の圧力を検出する複数の圧力センサーと、
前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記ローリングアクチュエーター及び前記ヨーイングアクチュエーターを動作させる制御手段と、を備えている張力制御装置。
A belt-like film-like object having a curved surface curved in the running direction and a conveying surface comprising a pair of planes continuous at both ends of the curved surface in the running direction, and the film-like shape from a plurality of openings formed in the conveying surface A chamber in which the film-like object is levitated from the conveying surface by ejecting fluid to
A rolling actuator that swings the chamber around a longitudinal axis;
A yawing actuator that swings the chamber about a vertical axis;
A plurality of pressure sensors that are arranged in a row in the left-right direction on the transport surface, and that detect the pressure of the fluid interposed between the transport surface and the film-like object;
A tension control device comprising: control means for operating the rolling actuator and the yawing actuator based on detection results of the plurality of pressure sensors.
前記チャンバーを上下方向に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターを備え、
前記制御手段は、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記アップアンドダウンアクチュエーターを動作させる請求項1に記載の張力制御装置。
An up-and-down actuator for moving the chamber in the vertical direction;
The tension control apparatus according to claim 1, wherein the control unit operates the up-and-down actuator based on detection results of the plurality of pressure sensors.
前記チャンバーの左側を上下に移動させる左側アクチュエーターと、
前記チャンバーの右側を上下に移動させる右側アクチュエーターと、を備え、
前記ローリングアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターの一方が動作することで実現し、
前記アップアンドダウンアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に等速で動作することで実現する請求項2に記載の張力制御装置。
A left actuator that moves the left side of the chamber up and down;
A right actuator that moves the right side of the chamber up and down, and
In the rolling actuator, the left actuator and the right actuator operate in directions opposite to each other, and the left actuator and the right actuator operate in the same direction with a relative speed, or one of the left actuator and the right actuator. Is realized by operating,
The tension control device according to claim 2, wherein the up-and-down actuator is realized by the left actuator and the right actuator operating at a constant speed in the same direction.
前記ヨーイングアクチュエーターとして、前記チャンバーの左右の一方に作用して前後に進退する進退アクチュエーターを備えている請求項1〜3のいずれかに記載の張力制御装置。   The tension control device according to any one of claims 1 to 3, further comprising an advancing / retreating actuator that acts on one of the left and right sides of the chamber and moves back and forth as the yawing actuator. 前記ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向の軸回りに回転する回転アクチュエーターを備えている請求項1〜4のいずれかに記載の張力制御装置。   The tension control device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a rotary actuator that rotates about a vertical axis as the yawing actuator.
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